KR20100135045A - 롤러 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

롤러 어셈블리는 외측면에 제1 키홈 및 상기 제1 키홈 양측에 제1 및 제2 링홈이 형성된 회전축과, 회전축이 삽입되는 관통홀을 가지며 회전축과 함께 회전하도록 회전축에 결합되고 관통홀의 내측면에 제1 키홈과 마주하게 제2 키홈을 가지는 롤러와, 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 회전축과 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하는 키 부재와, 제1 및 제2 링홈에 각각 설치되어 롤러의 축방향 미끄러짐을 방지하는 제1 및 제2 스냅링을 포함한다. 따라서, 롤러의 회전 미끄럼 및 축방향 미끄럼을 방지하며, 조립 구조를 간소화 하여 공정 간소화 및 원가를 절감한다.

Description

롤러 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Roller assembly and apparatus for treating a substrate having the same}
본 발명은 롤러 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 디스플레이 장치의 제조 과정에서 평판형 기판을 수평 방향으로 이송하는데 이용되는 롤러 어셈블리 및 이를 갖는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정 디스플레이 장치와 같은 평판형 디스플레이 장치의 제조에는 유리 기판과 같은 평판형 기판이 사용되며, 상기 유리 기판 상에 회로 패턴들을 형성하기 위한 다양한 단위 공정들이 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 기판 상에 막을 형성하는 증착 공정, 상기 막을 목적하는 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 유리 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 상기 유리 기판을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 수행될 수 있다.
상기 기판은 기판 이송 부재에 의해 기판 처리 장치로 이송되어 상기 단위 공정들이 수행되거나, 상기 기판 처리 장치 내에서 이송 부재에 의해 이송되면서 상기 단위 공정들이 수행될 수 있다. 상기 기판 처리 장치에서 사용되는 기판 이송 부재는 롤러 어셈블리를 포함하며, 롤러 어셈블리는 회전축과 상기 회전축에 설치되어 함께 회전하면서 기판을 이송하는 롤러를 포함한다.
여기서, 상기 롤러는 기판의 안정적인 이송을 위하여 일정한 위치에 고정되어야 한다. 따라서 종래에는 롤러를 회전축에 고정하기 위하여 보스(boss) 부재, 프레스 링(press ring) 및 키(key) 들이 조립되고, 스크류 볼트를 이용하여 상기 보스 부재를 고정하였다.
하지만, 종래 보스 부재, 프레스 링, 키 및 스크류 볼트를 이용한 롤러 고정 방식은 부품 수 증가로 조립 공정이 복잡하고, 그에 따른 부품 단가 및 공임비가 증가되는 문제점이 있다. 또한 스크류 볼트가 장시간 사용함에 따라 취약해져 롤러가 미끄러지는 문제점이 있으며, 부품 수 증가에 따른 무게 증가로 회전축에 처짐이 발생하여 이송 신뢰성을 저하시키는 요인이 되고 있다.
따라서 본 발명을 통해 해결하고자 하는 일 과제는 롤러의 미끄러짐 문제를 해결하고, 롤러의 고정 구조를 간소화하여 조립을 간략화하며, 무게 절감으로 회전축의 처짐을 개선하여 기판의 이송 신뢰성을 향상시킬 수 있는 롤러 어셈블리를 제공하는 것이다.
또한, 상기 롤러 어셈블리를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 롤러 어셈블리는 회전축과, 롤러와, 키 부재와, 제1 및 제2 스냅링을 포함한다. 상기 회전축은 기판의 이송 방향과 수직한 방향으로 연장되고, 외측면에 제1 키홈 및 상기 제1 키홈 양측에 제1 및 제2 링홈이 형성된다. 상기 롤러는 상기 회전축이 삽입되는 관통홀을 가지며 상기 회전축과 함께 회전하도록 상기 회전축에 결합되고, 상기 관통홀의 내측면에 상기 제1 키홈과 마주하게 제2 키홈을 가지며, 상기 기판을 지지하여 이송하는 역할을 한다. 상기 키 부재는 상기 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 상기 회전축과 상기 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지한다. 상기 제1 및 제2 스냅링은 상기 제1 및 제2 링홈에 각각 설치되어 상기 롤러의 축방향 미끄러짐을 방지한다.
여기서, 일 실시예에 따르면 상기 제1 링홈과 상기 제2 링홈 사이의 간격은 상기 제1 및 제2 스냅링이 상기 롤러의 양 측면에 각각 접촉하도록 상기 롤러의 폭에 대응한다.
다른 실시예에 따르면, 롤러 어셈블리에서 상기 제1 및 제2 스냅링은 회전을 방지하기 위하여 각각 내측면에 적어도 하나의 돌기를 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 링홈은 각각 상기 제1 및 제2 스냅링의 돌기에 대응하는 요홈을 가질 수 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 공정 챔버와, 다수의 롤러 어셈블리들과, 구동부와, 처리액 제공부를 포함한다. 상기 공정 챔버는 평판형 기판에 대한 처리 공정이 수행된다. 상기 다수의 롤러 어셈블리들은 상기 공정 챔버의 내부에 상기 기판의 이송 방향을 따라 배열되고, 상기 기판을 지지하여 이송한다. 상기 구동부는 상기 기판의 이송을 위해 회전력을 제공하여 상기 다수의 롤러 어셈블리들을 회전시킨다. 상기 처리액 제공부는 상기 공정 챔버 내부에 배치되어 상기 기판 상으로 상기 처리 공정을 위한 처리액을 제공한다. 특히, 상기 각 롤러 어셈블리는 회전축과, 롤러와, 키 부재와, 제1 및 제2 스냅링을 포함한다. 상기 회전축은 기판의 이송 방향과 수직한 방향으로 연장되고, 외측면에 제1 키홈 및 상기 제1 키홈 양측에 제1 및 제2 링홈이 형성된다. 상기 롤러는 상기 회전축이 삽입되는 관통홀을 가지며 상기 회전축과 함께 회전하도록 상기 회전축에 결합되고, 상기 관통홀의 내측면에 상기 제1 키홈과 마주하게 제2 키홈을 가지며, 상기 기판을 지지하여 이송한다. 상기 키 부재는 상기 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 상기 회전축과 상기 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지한다. 상기 제1 및 제2 스냅링은 상기 제1 및 제2 링홈에 각각 설치되어 상기 롤러의 축방향 미끄러짐을 방지한다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 롤러 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 따르면, 회전축에 키홈 및 한 쌍의 링홈을 형성하고 키 부재 및 스냅링을 이용하여 롤러를 고정함으로써, 롤러를 고정하기 위한 구조를 간소화로 조립공정을 간소화하며, 원가를 절감할 수 있다.
또한, 스냅링 및 키 부재를 통해 고정되므로 장시간 사용에도 롤러의 미끄러짐을 안정적으로 억제할 수 있으며, 스냅링 또는 키 부재의 파손시에도 교체가 용이하여 유지에 소요되는 관리비용을 절감할 수 있다.
또한, 회전축에 롤러를 고정하기 위한 구성이 간소화 및 경량화 됨으로써, 회전축에 가해지는 하중이 적어져 회전축의 처짐 현상을 개선하여 기판의 이송 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 롤러 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 대하여 설명한다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실 제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤러 어셈블리를 나타내는 개략적인 분해 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 롤러 어셈블리의 개략적인 조립 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 롤러 어셈블리(100)는 회전축(110)과, 롤러(120)와, 키 부재(130)와, 제1 스냅링(140) 및 제2 스냅링(150)을 포함한다.
상기 롤러 어셈블리(100)는 평판형 디스플레이 장치의 제조 과정에서 유리 기판과 같은 평판형 기판을 지지하고, 수평 방향으로 이송하기 위하여 바람직하게 사용될 수 있다.
상기 회전축(110)은 기판의 이송 방향에 대하여 수직한 방향으로 연장하며, 기판을 이송하기 위하여 외부로부터 회전력을 제공받아 회전한다. 본 실시예에서 상기 회전축(110)은 외측면에 제1 키홈(112)과, 제1 링홈(114) 및 제2 링홈(116)을 갖는다.
상기 제1 키홈(112)은 회전축(110)의 외측면 일부에 형성되며, 제1 키홈(112)에는 상기 키 부재(130)의 일부가 삽입된다. 따라서 제1 키홈(112)은 키 부재(130)에 대응하는 형상을 가지며, 특히 삽입된 키 부재(130)가 유동하지 않도록 유격 없이 키 부재(130)가 삽입될 수 있는 형상 및 크기를 갖는 것이 바람직하다. 제1 키홈(112)은 키 부재(130)의 일부분이 삽입되는 정도의 깊이로 형성된다. 예를 들어, 제1 키홈(112)은 키 부재(130)의 절반이 삽입되는 깊이로 형성된다.
상기 제1 링홈(114) 및 제2 링홈(114, 116)은 제1 키홈(112)의 양측에 형성된다. 즉, 회전축(110)의 축방향에 대하여 제1 키홈(112)을 기준으로 일측에 제1 링홈(114)이 위치하고, 제1 링홈(114)의 반대편 타측에 제2 링홈(116)이 위치한다. 제1 및 제2 링홈(114, 116)에는 각각 제1 및 제2 스냅링(140, 150)이 설치된다. 즉, 제1 링홈(114)에는 제1 스냅링(140)의 안쪽 일부분이 삽입되고, 제2 링홈(116)에는 제2 스냅링(150)의 안쪽 일부분이 삽입된다. 여기서, 제1 및 제2 링홈(114, 116)은 제1 및 제2 스냅링(140, 150)에 대응하는 형상을 갖게 되는데, 제1 및 제2 링홈(114, 116)은 실질적으로 서로 동일한 형상을 갖는다. 따라서, 제1 링홈(114)에 대해서만 설명하며, 제2 링홈(116)에 대한 설명은 대신하기로 한다. 제1 링홈(114)은 회전축(110)의 외주면을 따라서 형성된다. 예를 들어, 회전축(110)은 외주면을 따라서 소정 깊이로 형성된 띠 형상의 홈 구조일 수 있다.
또한, 제1 링홈(114)에는 하나 이상의 제1 요홈(114a)이 구비될 수 있다. 제1 요홈(114a)은 제2 링홈(114)의 바닥면 일부분에 정 깊이로 형성된다. 제1 요홈(114a)은 제1 스냅링(140)이 제1 링홈(114)에 삽입됐을 때, 제1 스냅링(140)이 회전축(110)의 회전방향으로 유동하지 않게 고정하기 위한 구성이다. 제1 요홈(114a)에 대해서는 이하 제1 스냅링(140)의 설명으로 보충한다. 따라서, 제2 링홈(116)에는 하나 이상의 제2 요홈(116a)이 구비될 수 있다.
상기의 설명에서 제1 및 제2 링홈(114, 116)의 형상에 대해서 설명하였으나, 이는 일 실시예에 따른 구성일분 한정적이지 않다. 제1 및 제2 링홈(114, 116)은 다양한 형상을 가지며, 특히 제1 및 제2 스냅링(140, 150)의 구조(혹은 형상)에 대응한다. 즉, 제1 및 제2 링홈(114, 116)은 각각 제1 및 제2 스냅링(140, 150)이 축방향에 대한 이동 없이 고정될 수 있는 구조면 충분하다. 예컨대, 제1 및 제2 링 홈(114, 116)은 회전축(110)의 외주면을 따라서 불연속적으로 형성된 호 형태의 홈들로 이루어질 수도 있다.
제1 및 제2 링홈(114, 116) 사이의 간격은 롤러(120)의 폭에 대응한다. 예컨대, 제1 및 제2 링홈(114, 116) 사이의 간격은 제1 및 제2 링홈(114, 116)에 각각 설치된 제1 및 제2 스냅링(140, 150)이 롤러(120)의 양측면에 접촉할 수 있게 형성하는 것이 바람직하다. 따라서, 롤러(120)의 축방향 이동을 최소화 할 수 있다.
상기 롤러(120)는 중앙에 회전축(110)이 삽입되는 관통홀(121)을 가지며, 회전축(110)과 함께 회전하도록 회전축(110)에 결합된다. 즉, 롤러(120)는 회전축(110)의 외주면을 감싸도록 회전축(110)에 끼워져 회전축(110)이 회전함에 따라 함께 회전한다. 롤러(120)는 기판과 직접 접촉하여 기판을 지지하는 역할을 하며, 회전축(110)과 함께 회전함으로써 지지된 기판을 이송한다. 따라서 도시하진 않았지만 롤러(120)의 둘레(기판 접촉부)에는 기판과 미끄러짐을 억제하고, 기판에 가해지는 충격을 완화하기 위한 탄성 부재로 이루어지거나 구비될 수 있다.
또한, 롤러(120)는 관통홀(121)의 내측면에 제2 키홈(122)을 갖는다. 제2 키홈(122)은 롤러(120)가 회전축(110)에 결합됐을 때, 제1 키홈(112)에 마주하게 위치한다. 제2 키홈(122)에는 키 부재(130)의 일부분이 삽입된다. 따라서 제2 키홈(122)은 키 부재(130)에 대응하는 형상을 가지며, 삽입된 키 부재(130)가 적어도 회전방향에 대하여 유격 없이 삽입될 수 있는 형상 및 크기를 갖는 것이 바람직하다. 제2 키홈(122)은 키 부재(130)의 일부분이 삽입되는 깊이로 형성되며, 일 예로 키 부재(130)의 절반이 삽입되는 깊이로 형성될 수 있다. 따라서, 키 부재(130)는 마주하게 위치한 제1 및 제2 키홈(112, 122)이 형성하는 공간에 삽입되는 구조를 갖는다. 한편, 제2 키홈(124)은 회전축(110)에 롤러(120)를 용이하게 설치할 수 있도록 적어도 일축방향이 개구된 구조를 가질 수 있다.
상기 키 부재(130)는 제1 및 제2 키홈(112, 122)에 삽입되며, 회전축(110)과 롤러(120) 사이의 회전미끄럼을 방지하는 역할을 한다. 키 부재(130)는 일부분이 제1 키홈(112)에 삽입되고 다른 일부분이 제2 키홈(122)에 삽입된다. 키 부재(130)는 롤러(120)가 회전축(110)의 회전으로 함께 회전할 때 미끄러지지 않고 함께 회전할 수 있도록 걸림턱 역할을 한다. 이때, 안정적인 회전미끄럼 방지를 위하여 키 부재(130)는 유격 없이 제1 및 제2 키홈(112, 122)에 삽입되는 것이 바람직할 것이다. 키 부재(130)가 유격을 갖고 삽입되면 유격만큼의 회전 미끄럼이 발생할 수 있어 바람직하지 못하다. 상기 키 부재(130)는 예를 들어 육면체 형상을 가질 수 있다. 이와 달리, 키 부재(130)는 구, 원기둥, 반원기둥 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있다. 키 부재(130)의 형상은 회전축(110)과 롤러(120)의 회전미끄럼을 방지할 수 있는 형상이면 충분하다.
상기 제1 스냅링(140) 및 제2 스냅링(150)은 회전축(110)에 형성된 제1 및 제2 링홈(114, 116)에 각각 설치된다. 예컨대, 제1 및 제2 스냅링(140, 150)은 안쪽 일부분이 제1 및 제2 링홈(114, 116)에 각각 삽입되는 구조를 갖는다. 제1 및 제2 스냅링(140, 150)은 제1 및 제2 링홈(114, 116)에 설치됨으로써, 롤러(120)의 축방향 미끄러짐을 방지하는 역할을 한다. 따라서, 안정적으로 축방향 미끄러짐을 방지하기 위하여 제1 및 제2 스냅링(140, 150)은 롤러(120)의 양측면에 접촉할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
제1 스냅링(140)은 일부분이 개구된 링 형상(예컨대 'C'자 형상)으로, 소정 두께의 판 구조를 가질 수 있다. 이러한, 제1 스냅링(140)의 내경은 제1 링홈(114)에 삽입될 수 있도록 회전축(110)의 외경보다 작게 구성된다. 제1 스냅링(140)의 외경은 롤러(120)의 측면을 지지하기 위하여 롤러(120)의 관통홀(112) 보다는 크고, 롤러(120)의 외경보다는 작게 구성된다. 즉, 제1 스냅링(140)은 안쪽 일부분이 제1 링홈(114)에 삽입되어 고정되면서 롤러(120)의 측면을 지지할 수 있도록 형성된다. 따라서, 롤러(120)의 축방향 미끄러짐을 방지한다.
상기 제1 스냅링(140)은 내측면에 하나 이상의 제1 돌기(141)를 가질 수 있다. 제1 돌기(141)는 제1 스냅링(140)이 제1 링홈(114)에 설치됐을 때, 제1 링홈(114)에 형성된 제1 요홈(141a)에 삽입된다. 따라서, 제1 돌기(141)는 제1 스냅링(140)이 회전축(110)에 대하여 회전하지 않도록 고정하는 역할을 한다. 제1 스냅링(140)이 회전축(110)에 대하여 회전하게 되면, 롤러(120)의 측면과 사이에 마찰이 발생하여 바람직하지 않다. 따라서, 제1 스냅링(140)이 회전하지 않고 고정될 수 있도록 제1 스냅링(140)의 내측면에 하나 이상의 제1 돌기(141)가 구비될 수 있다.
상기 제2 스냅링(150)은 실질적으로 제1 스냅링(140)과 동일하므로 그 상세한 설명은 생략한다.
상기 제1 및 제2 스냅링(140, 150)은 상기에서 설명한 것으로 한정되지 않고, 다양하게 변경될 수 있다. 제1 및 제2 스냅링(140, 150)은 제1 및 제2 링 홈(114, 116)에 설치되어 롤러(120)의 양측을 지지함으로써 롤러(120)의 축방향 미끄러짐을 방지할 수 있으면 충분하다. 예를 들어, 제1 및 제2 스냅링(140, 150)은 'U'자 형상을 가질 수도 있고, 내측면에 돌기가 없는 형상을 가질 수도 있다. 또한, 앞서 언급한 바 있듯이 제1 및 제2 스냅링(140, 150)에 대응하여 제1 및 제2 링홈(114, 116)의 형상도 변경될 수 있다.
한편, 상기 롤러 어셈블리(100)에서는 회전축(110)에 하나의 롤러(120)가 설치 및 고정되는 것을 예시적으로 설명하였다. 하지만, 상기 롤러 어셈블리(100)는 회전축(110)에 두 개 이상의 롤러(120)가 설치되며, 롤러(120)들을 고정하기 위한 키 부재(130)와 제1 및 제2 스냅링(140, 150)들이 각각 구비된다. 즉, 롤러 어셈블리(100)는 회전축(110)에 다수의 롤러(120)들이 설치된 구조를 갖는다.
이와 같은 롤러 어셈블리(100)는 키 부재(130)와 제1 및 제2 스냅링(140, 150)을 사용하여 롤러(120)를 회전축(110)에 고정한다. 따라서, 롤러(120)의 고정에 소요되는 부품을 간략화하고, 고정 구조를 간략화 할 수 있다. 따라서, 롤러(120)의 조립 공정을 간소화 할 수 있어 원가를 절감할 수 있다. 또한, 롤러(120)를 고정하기 위한 부재들이 간소화 및 경량화 됨으로써, 회전축(110)에 가해지는 하중이 감소되어 회전축(110)의 처짐(휘어짐)을 감소시켜, 이를 통해서 이송 신뢰성을 개선한다.
이하, 언급한 롤러 어셈블리(100)를 포함하는 기판 처리 장치에 대하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 도 면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(200)는 공정 챔버(210), 다수의 롤러 어셈블리들(100), 구동부(220) 및 처리액 제공부(230)를 포함한다.
상기 공정 챔버(210)는 기판(G)을 수용하며 기판(G)에 대한 처리 공정을 수행하기 위한 공정 공간을 제공한다. 상기 공정 챔버(210)는 평판형 디스플레이 장치의 제조에 사용될 수 있다. 예를 들어, 유리 기판과 같은 평판형 기판(G)에 대한 처리 공정으로 식각, 세정, 스트립, 현상, 린스 등과 같은 공정이 수행하기 위하여 사용될 수 있다. 공정 챔버(210)는 예시적으로 도시된 것이며, 이와 유사한 처리 챔버들이 일렬로 배치될 수 있다.
상기 공정 챔버(210)는 내부에서 기판(G)을 수평 방향으로 이송하면서 처리 공정을 수행한다. 따라서, 상기 공정 챔버(210)의 내부에는 기판(G)을 이송하기 위해 다수의 롤러 어셈블리(100)들이 구비된다.
상기 다수의 롤러 어셈블리(100)들은 기판(G)의 이송 방향을 따라서 배열된다. 각 롤러 어셈블리(100)는 회전축(110), 롤러(120), 키 부재(130), 제1 스냅링(140) 및 제2 스냅링(150)을 포함한다. 여기서, 상기 롤러 어셈블리(100)는 앞서 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 롤러 어셈블리(100)와 실질적으로 동일하므로 동일 부재에 대하여 동일 부호를 사용하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 다수의 롤러 어셈블리(100)들 각각은 제1 지지부(172) 및 제2 지지 부(174)에 의해 회전 가능하도록 지지된다. 또한, 다수의 롤러 어셈블리(100)들은 비접촉 방식으로 외부로부터 회전력을 제공받는다. 따라서, 적어도 하나의 롤러 어셈블리(100)는 회전력을 제공받기 위하여 일단에 제1 마그네틱 풀리(180)가 연결된다. 제1 마그네틱 풀리(180)는 공정 챔버(210)의 측면에 인접하게 배치된다. 또한, 제1 마그네틱 풀리(180)는 원주 방향을 따라서 다수개의 제1 자성체(182)들을 갖는다.
상기 구동부(220)는 기판(G)을 이송하기 위하여 상기 다수의 롤러 어셈블리(100)들에 회전력을 제공하여 회전시키는 역할을 한다. 구동부(220)는 회전력을 발생시키는 구동 모터(221)와, 구동 모터(221)의 회전력을 롤러 어셈블리(100)로 전달하기 위한 제2 마그네틱 풀리(222)를 포함한다. 구동 모터(221)는 예시적이며, 회전력을 발생시킬 수 있는 구성이면 충분하다. 제2 마그네틱 풀리(222)는 공정 챔버(210)의 측벽을 사이에 두고 제1 마그네틱 풀리(180)의 마주하게 배치된다. 제2 마그네틱 풀리(222)는 원주 방향을 따라서 다수개의 제2 자성체(223)들을 갖는다. 제2 자성체(223)들은 제1 자성체(182)와 짝을 이루고, 서로 인력이 작용한다. 따라서 제2 마그네틱 풀리(222)가 회전함에 따라 제1 마그네틱 풀리(180)가 회전한다.
상기 다수의 롤러 어셈블리(100)들에 의해 이송되는 기판(G)의 상부에는 기판(G)을 처리하기 위한 처리액을 공급하는 처리액 제공부(230)가 배치될 수 있다.
상기 처리액 제공부(230)는 외부로부터 제공되는 처리액을 기판(G)으로 공급하여 기판(G)에 대한 처리 공정을 수행한다. 상기 처리액의 종류는 기판(G)에 대한 처리 공정에 따른다. 예를 들어, 기판(G)에 대한 식각 공정을 진행하기 위해서는 식각액을 제공하고, 세정 공정을 진행하기 위해서는 세정액을 제공하도록 구성될 수 있다. 또한, 처리액 제공부(230)는 이송되는 기판(G)의 폭에 대응하여 처리액을 공급할 수 있도록 구성된다. 예컨대, 처리액 제공부(230)는 기판(G)의 폭에 대응하는 길이를 가질 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 롤러 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치는 회전축에 롤러들의 고정이 키 부재 및 한 쌍의 스냅링에 의해 이루어짐으로써, 롤러의 고정 구조를 간소화하여 롤러의 조립 공정을 간소화 할 수 있다. 또한, 구조 간소화 및 조립 공정을 간소화함으로써, 제조 원가를 절감할 수 있다.
또한, 롤러를 고정하기 위한 요소들이 간소화되어 무게가 절감됨으로써, 회전축에 가해지는 하중이 감소되며, 하중의 감소로 회전축의 처짐을 개선하게 된다.
따라서, 본 발명에 따른 롤러 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치는 회전축에 롤러를 고정하는 구조를 간소화하여 조립 공정 간소화 및 원가를 절감하기 위하여 사용될 수 있다. 또한, 하중 감소를 통해 회전축의 휘어짐을 개선함으로써 이송 신뢰성을 확보하기 위한 롤러 어셈블리 및 기판 처리 장치에서 바람직하게 사용할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있 음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 롤러 어셈블리를 나타내는 개략적인 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 롤러 어셈블리의 개략적인 조립 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100: 롤러 어셈블리 110: 회전축
112: 제1 키홈 114: 제1 링홈
114a: 제1 요홈 116: 제2 링홈
116a: 제2 요홈 120: 롤러
121: 관통홀 122: 제2 키홈
130: 키 부재 140: 제1 스냅링
141: 제1 돌기 150: 제2 스냅링
151: 제2 돌기 172, 174: 제1 및 제2 지지부
180: 제1 마그네틱 풀리 182: 제1 자성체
200: 기판 처리 장치 210: 공정 챔버
220: 구동부 221: 구동 모터
222: 제2 마그네틱 풀리 223: 제2 자성체
230: 처리액 제공부

Claims (4)

  1. 기판의 이송 방향과 수직한 방향으로 연장되고, 외측면에 제1 키홈 및 상기 제1 키홈 양측에 제1 및 제2 링홈이 형성된 회전축;
    상기 회전축이 삽입되는 관통홀을 가지며 상기 회전축과 함께 회전하도록 상기 회전축에 결합되고, 상기 관통홀의 내측면에 상기 제1 키홈과 마주하게 제2 키홈을 가지며, 상기 기판을 지지하여 이송하기 위한 롤러;
    상기 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 상기 회전축과 상기 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하는 키 부재; 및
    상기 제1 및 제2 링홈에 각각 설치되어 상기 롤러의 축방향 미끄러짐을 방지하는 제1 및 제2 스냅링을 포함하는 롤러 어셈블리.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 링홈과 상기 제2 링홈 사이의 간격은 상기 제1 및 제2 스냅링이 상기 롤러의 양 측면에 각각 접촉하도록 상기 롤러의 폭에 대응하는 것을 특징으로 하는 롤러 어셈블리.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 스냅링은 회전을 방지하기 위하여 각각 내측면에 적어도 하나의 돌기를 가지며,
    상기 제1 및 제2 링홈은 각각 상기 제1 및 제2 스냅링의 돌기에 대응하는 요홈을 갖는 것을 특징으로 하는 롤러 어셈블리.
  4. 평판형 기판에 대한 처리 공정이 수행되는 공정 챔버;
    상기 공정 챔버의 내부에 상기 기판의 이송 방향을 따라 배열되고, 상기 기판을 지지하여 이송하는 다수의 롤러 어셈블리들;
    상기 기판의 이송을 위해 회전력을 제공하여 상기 다수의 롤러 어셈블리들을 회전시키는 구동부; 및
    상기 공정 챔버 내부에 배치되어 상기 기판 상으로 상기 처리 공정을 위한 처리액을 제공하는 처리액 제공부를 포함하며,
    상기 각 롤러 어셈블리는
    기판의 이송 방향과 수직한 방향으로 연장되고, 외측면에 제1 키홈 및 상기 제1 키홈 양측에 제1 및 제2 링홈이 형성된 회전축;
    상기 회전축이 삽입되는 관통홀을 가지며 상기 회전축과 함께 회전하도록 상기 회전축에 결합되고, 상기 관통홀의 내측면에 상기 제1 키홈과 마주하게 제2 키홈을 가지며, 상기 기판을 지지하여 이송하기 위한 롤러;
    상기 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 상기 회전축과 상기 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하는 키 부재; 및
    상기 제1 및 제2 링홈에 각각 설치되어 상기 롤러의 축방향 미끄러짐을 방지하는 제1 및 제2 스냅링을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3912933A1 (de) * 2020-05-22 2021-11-24 AQS Logistic Systems GmbH Rollenbahn für den transport von einzelgütern wie z.b. beladenen paletten, oder containerboxxen

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