KR20100132599A - 히팅 재킷 및 히팅 재킷의 제조방법 - Google Patents

히팅 재킷 및 히팅 재킷의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체, LCD, LED, 태양 전지 등의 반도체 관련 산업분야의 생산 라인에 설치되는 배관을 감싸며, 상기 배관의 가열을 위한 열 공급을 담당하는 히팅 재킷으로서, 열선이 미리 설정된 패턴으로 배치되어 발생된 열을 상기 배관에 전달하는 열선고정부재와; 상기 열선고정부재 외측에 배치되는 외피부재와; 상기 열선고정부재와 외피부재 사이에 배치되며, 상기 열선에서 발생된 열을 단열시키기 위한 단열부재;를 포함하며, 상기 열선고정부재에 배치되는 열선은 상기 열선고정부재에 봉제 고정되는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 열선고정부재에 배치되는 열선을 봉제 고정시켜 미리 설정된 패턴과 가공오차 범위 내에서 동일한 배치가 구현될 수 있으며, 배관에 전달되는 열을 균등하게 분포시켜 반도체 생산 수율의 증대를 구현시킬 수 있고, 열선고정부재와 열선의 고정 공정을 자동화시킴으로써, 히팅 재킷의 생산 수율을 증대시키고, 원단에서 발생되는 분진으로부터 작업자를 배재시켜 작업자의 작업 환경을 개선시킬 수 있다.
히팅 재킷, 열선, 봉제

Description

히팅 재킷 및 히팅 재킷의 제조방법{HEATING JACKET AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME}
본 발명은 히팅 재킷 및 히팅 재킷의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 열선고정부재에 배치되는 열선을 자동화된 제조 장치에 의해 봉제 고정시켜, 미리 설정된 패턴에 따라 정확하게 열선을 고정시킴과 동시에 열선 고정에 있어 수작업을 배재하여 열선을 안정적으로 고정시키며, 공정의 자동화에 따라 제품의 생산성을 향상시킬 수 있는 히팅 재킷 및 히팅 재킷의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치를 제조하기 위한 반도체 기판의 가공 공정들은 다양한 공정 가스들을 사용한다.
예를 들면, 화학기상증착(CVD: Chemical Vapor Deposition) 또는 건식 식각 공정에서 포스핀(PH3), 실란(SiH4), 디클로로 실란(SiH2Cl2), 암모니아(NH3) 및 산화질소(N2O) 등의 가스를 사용한다.
상기와 같은 반도체 가공 공정의 경우, 상기 공정이 완료되면 배기 라인을 통해 공정 챔버로부터 암모니아 클로라이드 가스(NH4Cl) 등과 같은 반응 부산물이 배출된다.
여기서, 상기 반응 부산물을 수송하는 배기 라인을 상온으로 그대로 유지하는 경우에는 상기 암모니아 클로라이드 가스는 고화 침전되어 상기 배기 라인의 벽면에 들러붙어 파우더의 침전, 고착이 진행될 수 있다.
이러한 내벽의 파우더 침착은 파이프 또는 튜브의 내벽이 전체 또는 일부가 막히게 되어 생산 공정의 효율 저하 및 폭발 등과 같은 사고가 발생할 수 있다.
따라서, 상기 파이프 또는 튜브의 온도를 일정하게 유지시켜 파이프 또는 튜브의 내벽이 막히는 것을 방지하기 위하여 상기 배기 라인의 외측면을 감싸는 히팅 재킷을 이용하고 있다.
도 1 은 종래의 기술에 따른 히팅 재킷의 상태도이다.
도 1 을 참조하면, 종래의 기술에 따른 히팅 재킷은, 열선(120)이 배치된 열선고정부재(100)와 상기 열선고정부재(100) 외측에 배치되는 외피부재(200)와 상기 열선고정부재(100)와 외피부재(200)의 사이에 배치되는 단열부재(300)를 포함하며, 열선고정부재(100)와 단열부재(300)와 외피부재(200)가 순차적으로 적층 및 권취되어 반도체 생산 공정에 설치된 배관(P)을 감싸도록 마련된다.
여기서, 상기 열선고정부재(100)와 열선(120)과의 고정방법은, 미리 설계된 패턴에 따라 간이 지그(jig)를 이용하여 수작업으로 열선(120)을 밴딩시키고, 밴딩된 열선(120)을, 도 1 에서와 같은, 고정용 띠(140)에 삽입시킨 후, 상기 열선(120)이 고정된 고정용 띠(140)의 일부분에 봉제부(150)를 형성하여 열선고정부재(100)에 봉제시킴으로 이루어졌다.
여기서, 상기 종래의 기술에 의한 히팅 재킷은, 상기 열선(120)이 일부분에 국한(고정용 띠 부분)되어 고정되며, 상기 고정용 띠(140)의 봉제부(150)가 상기 열선고정부재(100)에 봉제 고정됨으로써, 상기 단열부재(300) 및 외피부재(200)와의 권취 시, 상기 열선(120)이 설계된 패턴에 따라 정확하게 배치되지 못한다는 문제점이 있었다.
또한, 상기 열선(120)이 고정용 띠(140)에 삽입되는 형태로 마련되어 권취 시, 외력에 의해 패터닝된 열선(120)에 흐트러짐이 발생하는 문제점이 있었다.
따라서, 상기 열선(120)의 배치가 정확하게 배치되지 않고, 흐트러짐이 발생할 경우, 배관(P)에 전달되는 열이 균등하게 분포되지 않아 배관(P)의 전체 면적에 일정한 온도를 전달시키지 못하게 되며, 이러한 열 분포의 불균형은 반도체 생산 수율의 저하를 초래한다는 문제점이 있었다.
또한, 상기 열선고정부재(100)와 열선(120)의 고정이 수작업으로 진행됨에 따라, 히팅 재킷의 생산 수율이 저하되며, 히팅 재킷의 주요 원자재인 실리카(Silica) 등의 원단에서 발생되는 분진이 작업자에게 전달될 수 있어 작업자에게 위험요소로 작용할 수 있다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은, 열선고정부재에 배치되는 열선을 봉제 고정시켜 미리 설정된 패턴과 가공오차 범위 내에서 동일한 배치가 구현되는 히팅 재킷 및 히팅 재킷의 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 열선고정부재에 고정되는 열선이 안정적으로 고정될 수 있는 히팅 재킷 및 히팅 재킷의 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 배관에 전달되는 열을 균등하게 분포시켜 반도체 생산 수율의 증대를 구현시킬 수 있는 히팅 재킷 및 히팅 재킷의 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 열선고정부재와 열선의 고정 공정을 자동화시킴으로써, 히팅 재킷의 생산 수율을 증대시키고, 원단에서 발생되는 분진으로부터 작업자를 배재시켜 작업자의 작업 환경을 개선시킬 수 있는 히팅 재킷 및 히팅 재킷의 제조방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 반도체, LCD, LED, 태양 전지 등의 반도체 관련 산업분야의 생산 라인에 설치되는 배관을 감싸며, 상기 배관의 가열을 위한 열 공급을 담당하는 히팅 재킷으로서, 열선이 미리 설정된 패턴으로 배치되어 발생된 열을 상기 배관에 전달하는 열선고정부재와; 상기 열선고정부재 외측에 배치되는 외피부재와; 상기 열선고정부재와 외피부재 사이에 배치되며, 상기 열선에서 발생된 열을 단열시키기 위한 단열부재;를 포함하며, 상기 열선고정부재에 배치되는 열선은 상기 열선고정부재에 봉제 고정되는 히팅 재킷에 의해 달성될 수 있다.
여기서, 상기 히팅 재킷은 상기 열선고정부재와 단열부재와 외피부재가 적층된 후, 상기 배관에 권취될 수 있다.
또한, 상기 외피부재의 내면과 이에 대응되는 외면의 일측에는 각각 벨크로가 형성되어 상호 결합되도록 구성될 수 있다.
한편, 상기 열선고정부재에 봉제 고정되는 열선은, 상기 열선 패턴의 길이 방향을 가로지르는 봉제부가 일정 간격으로 형성되어 상기 열선을 고정시키도록 마련될 수 있다.
여기서, 상기 열선고정부재는 유리 섬유 또는 실리콘 유리섬유 또는 실리카(Silica)가 함유된 합성수지 섬유 중 어느 하나로 마련될 수 있다.
한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 열선고정부재를 제조하는 단계(S100); 상기 제조된 열선고정부재를 단열부재와 외피부재에 결합시켜 히팅 재킷을 제조하는 단계(S200);를 포함하는 히팅 재킷의 제조방법으로서, 상기 열선고정부재를 제조하는 단계(S100)는, 열선이 배치 및 고정될 원단부재를 열선고정장치의 작업 테이블에 거치시키는 단계(S110); 열선공급수단으로부터 열선을 제공받아 미리 정해진 패턴에 따라 열선을 상기 원단부재의 상면에 배치시키는 단계(S120); 상기 배치된 열선을 봉제수단에 의해 봉제 고정시키는 단계(S130);로 이루어지는 히팅 재킷의 제조방법에 의해 달성될 수도 있다.
여기서, 상기 원단부재를 열선고정장치의 작업 테이블에 거치시키는 단계(S110)는, 상기 원단부재를 y축으로 이송시키는 이송부에 고정시키는 단계이다.
또한, 상기 S120 단계에서 상기 열선공급수단은 상기 봉제수단을 경유하여 열선을 공급하며, 상기 열선은 상기 봉제수단에 의해 상기 원단부재의 상면에 배치될 수 있다.
여기서, 상기 S120 단계와 S130 단계는 상기 봉제수단에 의해 열선이 배치됨과 동시에 열선의 봉제가 이루어지는 단계일 수 있다.
또한, 상기 봉제수단은 상기 열선고정장치의 구동부에 결합되며, 상기 구동부는 제어부의 제어에 따라 상기 봉제수단을 x축으로 이송시키도록 마련될 수 있다..
본 발명에 의해, 열선고정부재에 배치되는 열선을 봉제 고정시켜 미리 설정된 패턴과 가공오차 범위 내에서 동일한 배치가 구현될 수 있다.
또한, 열선고정부재에 고정되는 열선이 안정적으로 고정될 수 있다.
또한, 배관에 전달되는 열을 균등하게 분포시켜 반도체 생산 수율의 증대를 구현시킬 수 있다.
또한, 열선고정부재와 열선의 고정 공정을 자동화시킴으로써, 히팅 재킷의 생산 수율을 증대시키고, 원단에서 발생되는 분진으로부터 작업자를 배재시켜 작업자의 작업 환경을 개선시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
또한, 본 발명에 따른 히팅 재킷은, 열선과 전기적으로 연결되어 상기 열선에 전원을 공급하는 전원공급부 및 공급되는 전압을 조절하기 위한 제어수단의 구성을 포함하고 있으나, 본 발명의 특징부(봉제에 의한 열선 고정)와는 상관관계가 미흡하여 이하에서는 별도의 설명을 기재하지 않음을 밝혀둔다.
도 2 는 본 발명에 따른 히팅 재킷의 상태도이며, 도 3 은 본 발명에 따른 열선이 봉제 고정된 열선고정부재의 평면도이며, 도 4 는 본 발명에 따른 열선고정장치의 사시도이다.
도 2 내지 도 4 를 참조하면, 본 발명에 따른 히팅 재킷은, 반도체, LCD, LED, 태양 전지 등의 반도체 관련 산업분야의 생산 라인에 설치되는 배관(P)을 감싸며, 상기 배관(P)의 가열을 위한 열 공급을 담당하는 히팅 재킷으로서, 열선(12) 이 미리 설정된 패턴으로 배치되어 발생된 열을 상기 배관(P)에 전달하는 열선고정부재(10)와; 상기 열선고정부재(10) 외측에 배치되는 외피부재(20)와; 상기 열선고정부재(10)와 외피부재(20) 사이에 배치되며, 상기 열선(12)에서 발생된 열을 단열시키기 위한 단열부재(30);를 포함하며, 상기 열선고정부재(10)에 배치되는 열선(12)은 상기 열선고정부재(10)에 봉제 고정된다.
여기서, 본 발명에 따른 히팅 재킷은, 도 2 에서와 같이, 상기 열선(12)이 봉제 고정된 열선고정부재(10)와 단열부재(30)와 외피부재(20)가 순차적으로 적층되어 마련될 수 있으며, 반도체 생산 라인에 설치되는 배관(P)에 권취 및 결합되어 상기 배관(P)의 온도을 일정하게 유지시키는 역할을 수행한다.
여기서, 상기 열선고정부재(10)는 열전도율과 내열성이 뛰어난 가요성 원단으로 마련되는 구성요소로서, 상기 열선(12)이 일면에 미리 설정된 패턴으로 배치되며 상기 열선(12)에 의해 발생된 열을 상기 배관(P)에 전달시키는 역할을 수행한다.
또한, 상기 열선고정부재(10)는 유리 섬유재질 또는 실리콘 유리섬유 등으로 마련될 수 있으며, 후술하여 설명할 열선고정장치(50)에 의해 상기 열선(12)이 봉제부(15)에 의해 고정될 수 있다.
한편, 상기 단열부재(30)는 열전도율이 낮은 탄성재질로 마련되는 구성요소로서, 상기 열선고정부재(10)와 후술하여 설명할 외피부재(20) 사이에 배치되어 상기 열선고정부재(10)의 열선(12)으로부터 발생된 열이 외부로 발산되는 것을 방지하는 역할을 수행한다.
여기서, 상기 단열부재(30)는 실리콘 수지 또는 유리섬유 또는 석면 등으로 마련될 수 있으며, 상기 열선(12)에서 발생된 열을 효율적으로 차단시키는 여러 재질로 마련될 수도 있다.
한편, 상기 외피부재(20)는 본 발명에 따른 히팅 재킷의 최외각에 구비되는 구성요소로써, 상기 단열부재(30)를 통과한 열이 외부로 발산되는 것을 추가적으로 방지하는 역할을 수행한다.
여기서, 상기 외피부재(20)는 상기 단열부재(30)와 같이 열전도율이 낮은 재질로 마련될 수 있으며, 바람직하게는 실리콘 수지 또는 유리섬유로 마련될 수 있다.
또한, 상기 외피부재(20)는 본 발명에 따른 히팅 재킷을 상기 배관(P)에 결합시키기 위한 결합수단을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 결합수단은, 도 2 에서와 같이, 상기 외피부재(20)의 내면과 이에 대응되는 외면의 일측에 각각 형성되는 벨크로(22)로 마련되어 상호 결합될 수 있다.
또한, 상기 결합수단은 상기 벨크로(22)외에 지퍼 등과 같은 결합수단으로도 마련될 수 있으며, 상기 권취되는 외피부재(20)의 일측과 타측을 상호 결합시키는 여러가지 결합수단으로 마련될 수도 있다.
한편, 상기 열선(12)이 배치된 열선고정부재(10)는, 도 4 에서와 같이, 상기 열선(12)을 공급하는 열선공급수단(52)과; 상기 열선공급수단(52)으로부터 열선(12)을 제공받아 상기 열선(12)을 배치시킴과 동시에 봉제 고정시키는 봉제수 단(54)과; 상기 봉제수단(54)을 x축으로 구동시키는 구동부(56)와; 원단부재를 y축으로 이송시키는 이송부(58)와; 상기 봉제수단(54)과 구동부(56) 및 이송부(58)를 제어하는 제어부(미도시);를 포함하는 열선고정장치(50)에 의해 제작될 수 있다.
여기서, 상기 열선고정장치(50)는 열선공급수단(52), 봉제수단(54), 구동부(56), 이송부(58), 제어부 등의 구성요소를 포함하며, 상기 구성요소들의 작동에 의해 상기 원단부재 상에 열선(12)을 배치 및 봉제시키는 역할을 수행한다.
여기서, 상기 열선공급수단(52)은 상기 열선고정부재(10)에 배치되는 열선(12)을 후술하여 설명할 봉제수단(54)에 공급하기 위한 구성요소로서, 열선(12)이 거치된 도르레 형태로 마련될 수 있다.
또한, 상기 봉제수단(54)은 상기 열선공급수단(52)으로부터 공급받은 열선(12)과 열선(12)을 고정시키기 위한 봉제부(15)를 상기 열선고정부재(10) 상에 봉제시키는 구성요소이다.
여기서, 상기 봉제수단(54)은 후술하여 설명할 구동부(56)에 고정되며 제어부의 제어에 의해 일정간격으로 봉제를 수행하도록 마련될 수 있다.
한편, 상기 열선고정부재(10) 상에 배치되는 열선(12)의 패턴은 하기의 구동부(56)와 이송부(58)의 동작에 의해 구현될 수 있다.
여기서, 상기 구동부(56)는 상기 봉제수단(54)을 x축으로 왕복 이동시키는 구성요소로서, 도 4 에서와 같이, 프레임에 고정되어 좌, 우 측으로 슬라이딩 구동되도록 마련될 수 있다.
또한, 상기 이송부(58)는 상기 원단부재를 y축으로 이송시키는 구성요소로 서, 상기 원단부재의 일측과 체결되어 상기 원단부재를 이송시키도록 마련될 수 있다.
즉, 상기 구동부(56)의 x축 이동과 상기 이송부(58)의 y축 이동 및 봉제수단(54)의 봉제를 통해 상기 열선고정부재(10) 상에 배치 및 봉제 고정되는 열선(12)의 패턴을 형성시킬 수 있으며, 형성된 봉제부(15)에 의해 열선(12)이 상기 열선고정부재(10)에 정밀하게 배치 및 고정될 수 있다.
따라서, 상기 열선고정부재(10)에 봉제 고정되는 열선(12)은, 도 3 에서와 같이, 열선 패턴의 길이 방향을 가로지르는 봉제부(15)가 일정 간격으로 형성되어 상기 열선(12)을 안정적으로 고정시키도록 마련될 수 있다.
아울러, 도 2 내지 4 에서는 상기 열선(12)이 지그재그 형태의 패턴으로 배치된 것으로 도시되었지만, 열선(12)의 패턴은 이에 한정되지 않으며 미리 설계된 여러 형태의 패턴으로 형성될 수도 있다.
이하, 본 발명에 따른 히팅 재킷의 제조방법에 대해 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 히팅 재킷의 제조방법은, 열선고정부재를 제조하는 단계(S100); 상기 제조된 열선고정부재를 단열부재와 외피부재에 결합시켜 히팅 재킷을 제조하는 단계(S200);를 포함하는 히팅 재킷의 제조방법으로서, 상기 열선고정부재를 제조하는 단계(S100)는, 열선이 배치 및 고정될 원단부재를 열선고정장치의 작업 테이블에 거치시키는 단계(S110); 열선공급수단으로부터 열선을 제공받아 미리 정해진 패턴에 따라 열선을 상기 원단부재의 상면에 배치시키는 단계(S120); 상 기 배치된 열선을 봉제수단에 의해 봉제 고정시키는 단계(S130);를 포함할 수 있다.
먼저, 상기 원단부재를 작업 테이블에 거치시킨다.(S110)
여기서, 상기 원단부재를 열선고정장치의 작업 테이블에 거치시키는 단계는, 상기 원단부재를 y축으로 이송시키는 이송부에 고정시키는 단계이다.
또한, 상기 이송부는 상기 원단부재를 y축으로 이송시키며, 후술할 구동부는 봉제수단을 x축으로 이송시킴으로써, 미리 설정된 다양한 패턴(형상)의 열선 패턴을 상기 원단부재 상에 봉제 고정시킨다.
다음, 열선공급수단으로부터 열선을 제공받아 열선을 상기 원단부재의 상면에 배치시킨다.(S120)
여기서, 상기 S120 단계에서 상기 열선공급수단은 봉제수단을 경유하여 열선을 공급하며, 상기 열선은 상기 봉제수단에 의해 상기 원단부재의 상면에 배치될 수 있다.
다음, 배치된 열선을 봉제수단으로 봉제 고정시킨다.(S130)
여기서, 상기 S120 단계와 S130 단계는 상기 봉제수단에 의해 열선이 배치됨과 동시에 열선의 봉제가 이루어지는 단계일 수 있다.
또한, 상기 봉제수단은 상기 열선고정장치의 구동부에 결합되며, 상기 구동부는 제어부의 제어에 따라 상기 봉제수단을 x축으로 이송시키도록 마련될 수 있다.
즉, 상기 제어부는 전술한 구동부(봉제수단의 x축 이송)와 이송부(원단부재 의 y축 이송)를 제어하여 상기 원단부재 상에 다양한 패턴의 열선 패턴을 형성할 수 있다.
전술한 단계로 제조된 열선고정부재(열선이 배치되고 봉제 고정된)는 단열부재 및 외피부재와 결합됨으로써, 본 발명에 따른 히팅 재킷이 제조될 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 히팅 재킷은, 열선고정부재에 배치되는 열선을 봉제 고정시켜 미리 설정된 패턴과 가공오차 범위 내에서 동일한 배치가 구현될 수 있으며, 배관에 전달되는 열을 균등하게 분포시켜 반도체 생산 수율의 증대를 구현시킬 수 있고, 열선고정부재와 열선의 고정 공정을 자동화시킴으로써, 히팅 재킷의 생산 수율을 증대시키고, 원단에서 발생되는 분진으로부터 작업자를 배재시켜 작업자의 작업 환경을 개선시킬 수 있다.
이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.
첨부의 하기 도면들은, 전술한 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 이해시키기 위한 것이므로, 본 발명은 하기 도면에 도시된 사항에 한정 해석되어서는 아니 된다.
도 1 은 종래의 기술에 따른 히팅 재킷의 상태도이며,
도 2 는 본 발명에 따른 히팅 재킷의 상태도이며,
도 3 은 본 발명에 따른 열선이 봉제 고정된 열선고정부재의 평면도이며,
도 4 는 본 발명에 따른 열선고정장치의 사시도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10 : 열선고정부재 12 : 열선
20 : 외피부재 22 : 벨크로
30 : 단열부재 50 : 열선고정장치
52 : 열선공급수단 54 : 봉제수단
56 : 구동부 58 : 이송부
P : 배관

Claims (10)

  1. 반도체 생산 라인에 설치되는 배관을 감싸며, 상기 배관의 가열을 위한 열 공급을 담당하는 히팅 재킷으로서,
    열선이 미리 설정된 패턴으로 배치되어 발생된 열을 상기 배관에 전달하는 열선고정부재와;
    상기 열선고정부재 외측에 배치되는 외피부재와;
    상기 열선고정부재와 외피부재 사이에 배치되며, 상기 열선에서 발생된 열을 단열시키기 위한 단열부재;를 포함하며,
    상기 열선고정부재에 배치되는 열선은 상기 열선고정부재에 봉제 고정되는 것을 특징으로 하는 히팅 재킷.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 히팅 재킷은 상기 열선고정부재와 단열부재와 외피부재가 적층된 후, 상기 배관에 권취되는 것을 특징으로 하는 히팅 재킷.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 외피부재의 내면과 이에 대응되는 외면의 일측에는 각각 벨크로가 형성되어 상호 결합되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 히팅 재킷.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 열선고정부재에 봉제 고정되는 열선은, 상기 열선 패턴의 길이 방향을 가로지르는 봉제부가 일정 간격으로 형성되어 상기 열선을 고정시키는 것을 특징으로 하는 히팅 재킷.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 열선고정부재는 유리 섬유 또는 실리콘 유리섬유 또는 실리카(Silica)가 함유된 합성수지 섬유 중 어느 하나로 마련되는 것을 특징으로 하는 히팅 재킷.
  6. 열선고정부재를 제조하는 단계(S100);
    상기 제조된 열선고정부재를 단열부재와 외피부재에 결합시켜 히팅 재킷을 제조하는 단계(S200);를 포함하는 히팅 재킷의 제조방법으로서,
    상기 열선고정부재를 제조하는 단계(S100)는,
    열선이 배치 및 고정될 원단부재를 열선고정장치의 작업 테이블에 거치시키는 단계(S110);
    열선공급수단으로부터 열선을 제공받아 미리 정해진 패턴에 따라 열선을 상기 원단부재의 상면에 배치시키는 단계(S120);
    상기 배치된 열선을 봉제수단에 의해 봉제 고정시키는 단계(S130);를 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅 재킷의 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 원단부재를 열선고정장치의 작업 테이블에 거치시키는 단계(S110)는, 상기 원단부재를 y축으로 이송시키는 이송부에 고정시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅 재킷의 제조방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 S120 단계에서 상기 열선공급수단은 상기 봉제수단을 경유하여 열선을 공급하며, 상기 열선은 상기 봉제수단에 의해 상기 원단부재의 상면에 배치되는 것을 특징으로 하는 히팅 재킷의 제조방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 S120 단계와 S130 단계는 상기 봉제수단에 의해 열선이 배치됨과 동시에 열선의 봉제가 이루어지는 단계인 것을 특징으로 하는 히팅 재킷의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 봉제수단은 상기 열선고정장치의 구동부에 결합되며, 상기 구동부는 제어부의 제어에 따라 상기 봉제수단을 x축으로 이송시키는 것을 특징으로 하는 히팅 재킷의 제조방법.
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