KR20100124569A - 무한회전기능을 갖는 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

무한회전기능을 갖는 웨이퍼 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 이송장치의 회전축들을 무한회전가능하도록 하는 회전수단을 구비하여 회전동작시, 모터 케이블의 꼬임으로 인한 단선 및 이로 인한 여러 문제점의 발생을 방지하는 무한회전 기능을 갖는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다. 구성은 웨이퍼 이송장치에 있어서, 강도 보강을 위한 플랜지부의 내측으로 결합되어 승하강 및 회전동작하며, 중앙부로는 상호 간격을 두고 수직으로 위치하여 회전운동에 의해 동력을 떨어져 있는 곳에 전하는 L축과 R축을 관통 형성한 L축 및 R축 지지체와; 상기 L축 및 R축 지지체의 하부로 결합 형성되는 승하강 및 회전가능한 드라이브 유닛 하우징을 회전시키기 위한 T축인 휠 플레이트와 T축 구동모터와, 상기 L축과 R축을 회전시키기 위한 중실축, 상기 중실축의 외주로 형성되는 R축 중공환축과 R축 구동모터 및 상기 R축 중공환축과 동심원을 이루도록 R축 중공환축의 외주에 끼움 결합할 수 있는 속이 빈 중공 상태를 이루는 L축 중공환축과 L축 구동모터로 이루어지는 회전수단과; 상기 드라이브 유닛 하우징의 양측면으로 결합 형성되며 일측면에는 상기 L축 및 R축 지지체를 상하로 이동가능하도록 하는 레일과 이송 브래킷을 형성한 지주와, 상기 이송 브래킷과 결합되어 승하강을 이루도록 축방향으로 회전동작하는 Z축인 볼 스크류와 상기 볼 스크류와 치 결합되도록 내부에 암스크류를 형성한 볼스크류 너트 하우징과 볼스크류 브래킷 및 Z축 구동모터로 이루어지는 승하강수단; 을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
웨이퍼, 이송장치, 동심원, 무한 회전

Description

무한회전기능을 갖는 웨이퍼 이송장치{a wafer transfer apparatus has a infinity otation function}
본 발명은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 이송장치의 회전축들을 무한회전가능하도록 하는 회전수단을 구비하여 회전동작시, 모터 케이블의 꼬임으로 인한 단선 및 이로 인한 여러 문제점의 발생을 방지하는 무한회전 기능을 갖는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼 이송장치는 진공 환경과 같이 특수한 환경에서 사용하는 산업용 로봇의 하나이다.
그러나, 이와 같은 종래의 웨이퍼 이송장치는 각 회전축(L,R,T,Z)이 케이블이 형성된 모터와 직접 연결되어 있고, 또 상기 T축의 회전 각도는 예컨대, 330도, 380도, 420도 등과 같이 제한되어 있다.
뿐만 아니라, 상기 L축과 R축은 구동 모터가 T축 회전체에 부착되어 있기 때문에, T축의 회전시 L축과 R축의 구동 모터에 연결된 케이블이 상호 간섭에 의해 좌.우로 꼬임현상이 발생하게 되고, 그로 인해 모터 케이블이 단선되어 동작 및 기능불능과 같은 여러가지 문제점을 유발하게 된다.
또, 종래의 웨이퍼 이송장치는 T축의 구동을 위해 주로 다이렉트 드라이브를 사용함으로써 진공부분을 대기부분과 차단하기 위해서 다이렉트 드라이브 부분에 밀폐 구조물들이 직접 부착이 되어 고비용이 소요되는 문제점이 있었다.
이에 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 회전축 각각을 상호 간섭 없이 360도 이상 또는 무한회전이 가능하게 하여 각 모터 케이블의 꼬임 및 모터 케이블의 꼬임으로 인한 단선을 방지하도록 함으로써, 저렴한 케이블을 이용하여 원활한 동작과 기능을 이루도록 하는 무한회전기능을 갖는 웨이퍼 이송장치를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 웨이퍼 이송장치에 있어서, 강도 보강을 위한 플랜지부의 내측으로 결합되어 승하강 및 회전동작하며, 중앙부로는 상호 간격을 두고 수직으로 위치하여 회전운동에 의해 동력을 떨어져 있는 곳에 전하는 L축과 R축을 관통 형성한 L축 및 R축 지지체와; 상기 L축 및 R축 지지체의 하부로 결합 형성되는 승하강 및 회전가능한 드라이브 유닛 하우징을 회전시키기 위한 T축인 휠 플레이트와 T축 구동모터와, 상기 L축과 R축을 회전시키기 위한 중실축, 상기 중실축의 외주로 형성되는 R축 중공환축과 R축 구동모터 및 상기 R축 중공환축과 동심원을 이루도록 R축 중공환축의 외주에 끼움 결합할 수 있는 속이 빈 중공 상태를 이루는 L축 중공환축과 L축 구동모터로 이루어지는 회전수단과; 상기 드라 이브 유닛 하우징의 양측면으로 결합 형성되며 일측면에는 상기 L축 및 R축 지지체를 상하로 이동가능하도록 하는 레일과 이송 브래킷을 형성한 지주와, 상기 이송 브래킷과 결합되어 승하강을 이루도록 축방향으로 회전동작하는 Z축인 볼 스크류와 상기 볼 스크류와 치 결합되도록 내부에 암스크류를 형성한 볼스크류 너트 하우징과 볼스크류 브래킷 및 Z축 구동모터로 이루어지는 승하강수단; 을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 R축 중공환축에 결합되는 제 1 R축 연결 풀리와 제 2 R축 연결 풀리 및 L축 중공환축에 결합되는 제 1 L축 연결 풀리와 제 2 L축 연결 풀리의 내경으로는 볼베어링이 형성되어 축간의 간섭 없이 무한 고속회전 가능함과 동시에 상기 T축 구동모터와, R축 구동모터 및 L축 구동모터에 연결된 케이블의 꼬임이 방지되도록 하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 T축인 휠 플레이트와 L축 및 R축을 회전시키는 L축 중공환축, R축 중공환축을 통해, T축, L축 및 R축 각각을 상호 간섭없이 360도 이상 또는 무한 회전을 가능하도록 함으로써 모터 케이블의 꼬임 현상을 방지하여, 고가의 로봇 케이블을 사용하지 않고 일반 케이블을 사용하더라도 기존기술에서 케이블에 발생하는 문제를 해소할 수 있는 효과가 있다.
또, 상기 T축의 회전시 어느 임의 각도에 위치하더라도, L축과 R축의 초기 위치는 항상 일정하게 유지하는 효과를 도모할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 무한 회전기능을 갖는 웨이퍼 이송장치의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 보다 구체적으로 설명한다.
여기서, 하기의 모든 도면에서 동일한 기능을 갖는 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 반복적인 설명은 생략하며, 아울러 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 것으로서, 이것은 고유의 통용되는 의미로 해석되어야 함을 명시한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 개략적인 분해 상태를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 결합 상태를 확대하여 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치의 요부 단면을 개략적으로 나타낸 도면이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 T축 동작 상태를 나타낸 도면이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 L축과 R축 동작 상태를 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명은 L축 및 R축 지지체(120)와 회전수단(130)과, 승하강수단(140)으로 대별되어 이루어진다.
상기 L축 및 R축 지지체(120)는 외측으로는 강도 보강을 위한 플랜지부(121)가 형성되고, 내측 중앙으로는 상호 간격을 두고 수직으로 위치하여 회전운동에 의해 동력을 떨어져 있는 곳에 전하도록 하단부에 L축 풀리(133c)를 결합 형성한 L축(122)과 R축 풀리(134d)를 결합 형성한 R축(123)이 관통 형성된다.
또, 상기 L축 및 R축 지지체(120)는 상기 플랜지부(121)의 내측에서 상기 회전수단(130) 및 승하강수단(140)의 동작에 의해 승하강 및 회전동작하도록 구성된 다.
여기서, 상기 L축 및 R축 지지체(120)는 도시하지는 않았지만 내부에, 진공챔버(미도시)와 외부 케이스(미도시)가 회전운동을 할때 발생하는 틈에 자속(magnetic flux)에 의해 액체 Ring인 진공막을 형성하여 밀봉을 구현하는 부품인 자성유체씰(magnetic fluid seal)이 일체로 형성된다.
또, 상기 L축(122)과 R축(123)의 상단부로는 상기 회전수단(130)의 동작시 웨이퍼의 이송을 위해 슬라이딩 동작하는 웨이퍼 받침부(111),(113)를 갖는 L축 아암(112) 및 R축 아암(114)으로 이루어지는 이송수단(110)이 결합 형성된다.
상기 이송수단(110)의 L축 아암(112)과 R축 아암(114)은 상기 L축 및 R축 지지체(120)의 내부에 위치되는 L축(122)과 R축(123) 각각의 상부에 높이차를 두면서 설치되어 웨이퍼(Wafer) 등의 작업 대상물을 탑재하여 다른 위치로 이송하게 된다.
상기 이송수단(110)의 구성에 대해서는 일반적으로 알려진 기술과 동일하므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
상기 회전수단(130)은 상기 L축 및 R축 지지체(120)의 하부로 승하강 및 회전가능한 드라이브 유닛 하우징(131)이 결합 형성되고, 상기 드라이브 유닛 하우징(131)의 내측으로는 회전동작을 이루기 위한 T축인 휠 플레이트(132b)가 결합 형성되며, 상기 휠 플레이트(132b)의 일측으로는 이 휠 플레이트(132b)를 회전시키기 위해 타이밍 벨트(B)로 연결된 T축 모터 풀리(132a)와, 이 T축 모터 풀리(132a)를 동작시키는 T축 구동모터(132)가 형성된다.
여기서, 상기 휠 플레이트(132b)는 일측면 즉, 상면 또는 하면이 상기 드라 이브 유닛 하우징(131)과 일체로 회전가능하도록 결합 형성되는 것이 바람직하다.
또, 상기 드라이브 유닛 하우징(131)의 내부 중앙부로는 중실축(135a)이 형성되고, 상기 중실축(135a)의 상부 외주로는 상기 R축(123)의 R축 풀리(134d)와 결합되어 회전하도록 제 1 R축 연결 풀리(134c)를 결합하고, 하부 외주에는 제 2 R축 연결 풀리(134b)를 결합한 R축 중공환축(135b)이 형성된다.
상기 제 2 R축 연결 풀리(134b)의 일측으로는 이 제 2 R축 연결 풀리(134b)의 구동을 위한 R축 모터 풀리(134a)를 결합한 R축 구동모터(134)가 형성된다.
또한, 상기 R축 중공환축(135b)의 외주 즉, 상기 제 1 R축 연결 풀리(134c)와 제 2 R축 연결 풀리(134b)의 사이에는 상부 외주에 상기 L축(122)의 L축 풀리(133c)와 결합되어 회전하도록 제 1 L축 연결 풀리(133d)를 결합하고, 하부 외주에는 제 2 L축 연결 풀리(133b)를 결합한 속이 빈 중공 상태를 이루는 L축 중공환축(136)이 상기 R축 중공환축(135b)과 동심원을 이루도록 끼움 형성된다.
상기 제 2 L축 연결 풀리(133b)의 일측으로는 이 제 2 L축 연결 풀리(133b)의 구동을 위한 L축 모터 풀리(133a)를 결합한 L축 구동모터(133)가 형성된다. 이에 따라, 상기 L축(122)과 R축(123) 및 T축인 휠 플레이트(132b)를 상호 간섭없이 개별적으로 무한 회전동작시킬 수 있다.
여기서, 상기 R축 중공환축(135b)에 결합되는 제 1 R축 연결 풀리(134c)와 제 2 R축 연결 풀리(134b) 및 L축 중공환축(136)에 결합되는 제 1 L축 연결 풀리(133d)와 제 2 L축 연결 풀리(133b)의 내경으로는 볼베어링(미도시)에 의해 지지되어 상호 축간의 간섭 없이 고속회전 가능하도록 하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 모든 풀리와 풀리의 연결은 타이밍 벨트(B)로 연결하는 것이 바람직하다.
이러한 구조는 T축인 상기 휠 플레이트(132b)가 회전 할 경우에도 R축(123), L축(122) 및 T축인 휠 플레이트(132b)는 서로 기구적인 간섭과 회전각도에 제한없이 고속회전이 가능하도록 한다.
즉, 상기 T축인 휠 플레이트(132b)는 상기 L축(122)과 R축(123)의 외부에서 회전하고, 상기 L축(122)과 R축(123)은 동심원을 이루도록 형성된 L축 중공환축(136)과 R축 중공환축(135b)에 각각 연결되어 상호 별도로 각각 회전 동작할 수 있으므로 상호 간섭이 발생하지 않을 뿐만 아니라, 무한회전이 가능하여 상기 T축 구동모터(132)와, R축 구동모터(134) 및 L축 구동모터(133)에 연결된 케이블(C)의 꼬임이 방지되게 된다.
이와 같이, 상기 이송수단(110)의 L축 아암(112)과 R축 아암(114)의 구동축인 L축(122) 및 R축(123)이 무한 회전이 가능함으로 T축인 휠 플레이트(132b)에서 L축 구동모터(133)와 R축 구동 모터(134)를 분리 형성할 수 있다, 이에 따라, 상기 T축인 휠 플레이트(132b)의 회전동작시 L축 구동모터(133) 및 R축 구동 모터(134)는 회전하지 않게 된다.
즉, 상기 L축 구동모터(133) 및 R축 구동 모터(134)의 움직임에 연동하는 모터 케이블(C)은 Z축인 볼스크류(144)의 상하 움직임에 의해서만 상하 움직임이 발생되며, T축인 휠 플레이트(132b)의 회전에 의한 케이블(C)의 꼬임 현상은 전혀 발생하지 않게 된다.
따라서, 모터 케이블(C)의 움직임이 적어 고가의 로봇케이블을 사용하지 않고 일반 케이블을 사용하더라도 종래 기술에서 케이블(C)에 발생하는 문제를 해소할 수 있게 된다.
또한, 상기 T축인 휠 플레이트(132b)는 360도 이상 무한 회전 기능은 중앙의 중실축(135a)과 이 중실축(135a)을 중심으로 L축 중공환축(136) 및 R축 중공환축(135b)이 조합되어 T축인 휠 플레이트(132b) 뿐만 아니라 L축(122)과 R축(123) 또한 무한 회전이 가능하여 T축인 휠 플레이트(132b)가 회전하여 어느 임의 각도에 위치하더라도, L축(122)과 R축(123)의 초기 위치는 항상 일정하게 유지된다.
상기 승하강 수단(140)은, 상기 드라이브 유닛 하우징(131)의 양측면으로 결합 형성되어 상기 드라이브 유닛 하우징(131)과 L축 및 R축 지지체(120)를 상하로 이동가능하도록 레일(142)과 이송 브래킷(143)을 각각 형성한 한쌍의 지주(141)와, 상기 이송 브래킷(143) 중 어느 하나의 일측과 결합되어 이송 브래킷(143)의 승하강을 이루도록 축방향으로 회전동작하는 Z축인 볼스크류(144)와 상기 볼스크류(144)와 치(齒)결합되도록 내부에 암스크류를 형성한 스크류 너트 하우징(145)이 형성된다.
또, 상기 스크류 너트 하우징(145)의 대향하는 하부에는 상기 볼스크류(144)의 하단을 지지하는 볼스크류 브래킷(146)이 형성되고, 이 볼스크류 브래킷(146)의 하부 내측에는 상기 볼스크류(144)의 하단과 결합되는 Z축 풀리(147)가 형성되며, 상기 Z축 풀리(147)의 일측으로는 타이밍 밸트(B)에 의해 상기 Z축 풀리(147)와 연결되는 Z축 모터 풀리(149)가 형성된다.
또한, 상기 Z축 모터 풀리(149)에는 이 Z축 모터 풀리(149)에 동력을 전달하는 Z축 구동모터(148)가 결합 형성된다.
이에 따라, 상기 Z축 구동모터(148)가 동작하게 되면, Z축 모터 풀리(149)가 연동하여 회전하게 되고, 타이밍 벨트(B)를 통해 회전력은 상기 Z축 풀리(147)로 전달되며, 이와 동시에 상기 볼스크류(144)가 상기 스크류 너트 하우징(145)의 내부에 형성된 암스크류를 타고 축방향으로 회전되면서 이 회전력이 상하 직선운동으로 변화되어 상기 한쌍의 지주(141)) 일측면과 각각 결합된 상기 드라이브 유닛 하우징(131)과 R축 L축 지지체(120)를 상하로 승하강시키게 된다.
이때, 상기 Z축 구동모터(148)의 정회전 또는 역회전 동작에 의해 상기 Z축 모터 풀리(149)가 연동하여 정회전 또는 역회전하면서 상기 볼스크류(144)의 정회전과 역회전 동작을 이루도록 하여 상하 직선운동으로 변화시키게 된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 작용 상태를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치(100)를 동작하도록 L축 구동모터(133) 또는 R축 구동모터(134)를 구동시키면 상기 L축 모터 풀리(133a) 또는 R축 모터 풀리(134a)가 회전하게 되면서 타이밍 벨트(B)를 통해 연결된 상기 제 2 L축 연결 풀리(133b) 및 제 2 R축 연결 풀리(134b)가 회전하면서 동시에 제 1 L축 연결 풀리(133d)와 제 1 R축 연결 풀리(134c)도 연동하게 되면서 L축 풀리(133c) 및 R축 풀리(134d)와 함께 L축(122) 또는 R축(123)을 회전시키게 된다.
이에 따라, 상기 L축(122) 또는 R축(123)의 상단부에 연결된 L축 아암(112) 또는 R축 아암(114)이 슬라이드 동작된다.
이때, 상기 L축 아암(112) 또는 R축 아암(114)의 슬라이드 정지 위치는 상기 L축 구동모터(133) 및 R축 구동모터(134)의 출력축의 반대측에 내장된 로터리 인코더(미도시)에 의해 제어되도록 구성된다.
또, 상기 승하강 수단(140)의 동작은, Z축 구동모터(148)를 구동시키게 되면 상기 Z축 모터 풀리(149)와, Z축 풀리(147)가 회전동작하게 되고, 이에 따라 상기 볼스크류(144)가 스크류 너트 하우징(145) 내에서 회전하면서 상승하게 된다. 이와 동시에 상기 한쌍의 지주(141)에 각각 형성된 레일(142)을 따라 이동 브래킷(143)이 상승하면서 상기 L축 및 R축 지지체(120) 및 드라이브 유닛 하우징(131)을 상승시킨다. 이에 의해 상기 L축 및 R축 지지체(120)의 상부에 설치된 L축 아암(112) 및 R축 아암(114)이 승강하게 된다.
여기서, 상기 L축 및 R축 지지체(120) 및 드라이브 유닛 하우징(131)의 상하 방향의 정지 위치는 상기 Z축 구동모터(148)의 출력축의 반대측에 내장된 로터리 인코더(미도시)에 의해 제어되도록 구성된다.
이와 같은 승하강 수단(140)에 의해 상하 이동이 어렵거나 또는 핀 위에 놓여진 작업물을 용이하게 수취할 수 있게 된다.
다음, 상기 T축 구동모터(132)를 동작시키게 되면, 상기 T축 모터 풀리(132a)가 회전동작하면서 타이밍 벨트(B)에 의해 연결된 T축인 휠 플레이트(132b)를 회전시키게 되고, 이와 동시에 상기 L축 및 R축 지지체(120) 및 드라이브 유닛 하우징(131)이 일체로 선회되며, 이에 의해 상기 L축 및 R축 지지체(120)의 상부에 설치된 L축 아암(112) 및 R축 아암(114)을 전체 선회시키게 된다.
여기서, 상기 선회 방향의 정지 위치는 T축 구동모터(132)의 출력축의 반대측에 내장된 로터리 인코더에 의하여 제어되도록 구성된다.
이에 따라, 이송장치에 대하여 방사상으로 배치된 처리 유닛으로의 웨이퍼 이송이 용이하게 가능해진다.
또한, 상기 T축 구동모터(132)의 동작시 T축인 휠 플레이트(132b)의 회전에 의한 모터 케이블(C)의 꼬임 현상은 전혀 발생하지 않으며, 또 L축 구동모터(133) 및 R축 구동모터(134)의 움직임은 Z축인 볼스크류(144)의 상하 움직임에 의해서만 케이블(C)의 상하 움직임만 발생되므로 꼬임 현상은 전혀 발생하지 않게 된다.
따라서, 케이블(C)의 움직임이 적어 고가의 로봇 케이블을 사용하지 않고 일반 케이블을 사용하더라도 기존기술에서 케이블에 발생하는 문제를 해소할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 균등한 타 실시 예로의 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 분해 상태를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 결합 상태를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송장치의 요부 단면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 T축 동작 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 웨이퍼 이송장치의 L축과 R축 동작 상태를 나타낸 도면이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※
110 : 이송수단 111, 113 : 웨이퍼 받침부
112 : L축 아암(L AXIS ARM) 114 : R축 아암
120 : L축 및 R축 지지체 121 : 플랜지
122 : L축 123 : R축
130 : 회전수단 131 : 드라이브 유닛 하우징
132 : T축 구동모터 132a : T축 모터 풀리
132b : 휠 플레이트 133 : L축 구동모터
133a : L축 모터 풀리 133b : 제 2 L축 연결 풀리
133c : L축 풀리 133d : 제 1 L축 연결 풀리
134 : R축 구동 모터 134a : R축 모터 풀리
134b : 제 2 R축 연결 풀리 134c : 제 1 R축 연결 풀리
134d : R축 풀리 135a : 중실축
135b : R축 중공환축 136 : L축 중공환축
140 : 승하강수단 141 : 지주
142 : 레일 143 : 이송 브래킷
144 : 볼 스크류 145 : 스크류 너트 하우징
146 : 볼 스크류 브래킷 147 : Z축 풀리
148 : Z축 구동모터 149 : Z축 모터 풀리
B : 타이밍 벨트 C : 모터 케이블
100 : 웨이퍼 이송장치

Claims (2)

  1. 웨이퍼 이송장치에 있어서,
    강도 보강을 위한 플랜지부의 내측으로 결합되어 승하강 및 회전동작하며, 중앙부로는 상호 간격을 두고 수직으로 위치하여 회전운동에 의해 동력을 떨어져 있는 곳에 전하는 L축과 R축을 관통 형성한 L축 및 R축 지지체와;
    상기 L축 및 R축 지지체의 하부로 결합 형성되는 승하강 및 회전가능한 드라이브 유닛 하우징을 회전시키기 위한 T축인 휠 플레이트와 T축 구동모터와, 상기 L축과 R축을 회전시키기 위한 중실축, 상기 중실축의 외주로 형성되는 R축 중공환축과 R축 구동모터 및 상기 R축 중공환축과 동심원을 이루도록 R축 중공환축의 외주에 끼움 결합할 수 있는 속이 빈 중공 상태를 이루는 L축 중공환축과 L축 구동모터로 이루어지는 회전수단과;
    상기 드라이브 유닛 하우징의 양측면으로 결합 형성되며 일측면에는 상기 L축 및 R축 지지체를 상하로 이동가능하도록 하는 레일과 이송 브래킷을 형성한 지주와, 상기 이송 브래킷과 결합되어 승하강을 이루도록 축방향으로 회전동작하는 Z축인 볼 스크류와 상기 볼 스크류와 치 결합되도록 내부에 암스크류를 형성한 볼스크류 너트 하우징과 볼스크류 브래킷 및 Z축 구동모터로 이루어지는 승하강수단; 을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 무한 회전 기능을 갖는 웨이퍼 이송장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 R축 중공환축에 결합되는 제 1 R축 연결 풀리와 제 2 R축 연결 풀리 및 L축 중공환축에 결합되는 제 1 L축 연결 풀리와 제 2 L축 연결 풀리의 내경으로는 볼베어링이 형성되어 축간의 간섭 없이 무한 고속회전 가능함과 동시에 상기 T축 구동모터와, R축 구동모터 및 L축 구동모터에 연결된 케이블의 꼬임이 방지되도록 하는 것을 특징으로 하는 무한 회전 기능을 갖는 웨이퍼 이송장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230061938A (ko) * 2021-10-29 2023-05-09 주식회사 라온테크 직접구동 모터 기반의 웨이퍼 이송 로봇 장치

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