KR20100122704A - 글라스 기판 세정 유닛 및 이를 갖는 글라스 기판 세정 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 글라스 기판을 세정하기 위한 시스템에 있어서:글라스 기판을 수평 반송하는 컨베이어 유닛; 및상기 컨베이어 유닛에 의해 반송되는 글라스 기판의 이송 경로상에 설치되며, 글라스 기판의 표면상의 이물질을 원형의 궤적을 그리는 회전하는 스크러빙 힘을 작용시켜 제거하는 스크러빙 부재를 갖는 세정 유닛들을 포함하되;상기 스크러빙 부재는구동모터에 의해 회전되는 샤프트;상기 샤프트에 연결되는 홀더;상기 홀더에 설치되는 세정헤드; 및상기 홀더와 상기 세정헤드 사이에 설치되어 상기 세정헤드의 저면 전체가 글라스 기판 표면에 맞닿도록 상기 세정 헤드에 탄성력을 제공하는 평행도 보정 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 기판을 세정하기 위한 시스템.
- 제1항에 있어서,상기 평행도 보정 부재는복수의 코일스프링들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 글라스 기판을 세정하기 위한 시스템.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 홀더는상기 평행도 보정부재가 위치되는 내부공간을 갖고, 상기 세정헤드가 노출되는 개구를 갖는 몸체를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 기판을 세정하기 위한 시스템.
- 제3항에 있어서,상기 세정헤드는상기 탄성부재와 접촉하도록 상기 홀더의 내부 공간에 위치되는 베이스판;상기 베이스판의 저면에 설치되고 상기 홀더의 개구를 통해 노출되는 연마패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 기판을 세정하기 위한 시스템.
- 제2항에 있어서,상기 세정 유닛들은상기 컨베이어 유닛에 의해 이동되는 글라스 기판의 상면을 세정하는 제1 세정 유닛들; 및상기 컨베이어 유닛에 의해 이동되는 글라스 기판의 저면을 세정하는 제2 세정 유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 기판을 세정하기 위한 시스템.
- 제5항에 있어서,상기 제1세정 유닛들과 상기 제2세정 유닛들은 글라스 기판을 사이에 두고 서로 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는 글라스 기판을 세정하기 위한 시스템.
- 글라스 기판의 표면상의 이물질을 제거하는 세정 유닛에 있어서:글라스 기판의 표면으로 세정액을 분사하면서 글라스 기판의 표면을 원형의 궤적을 그리는 회전하는 스크러빙 힘을 작용시켜 글라스 기판상의 이물질을 제거하는 스크러빙 부재를 포함하되;상기 스크러빙 부재는구동모터에 의해 회전되는 샤프트;상기 샤프트에 연결되는 홀더;상기 홀더에 설치되는 세정헤드; 및상기 홀더와 상기 세정헤드 사이에 설치되어 상기 세정헤드의 저면 전체가 글라스 기판 표면에 맞닿도록 상기 세정 헤드에 탄성력을 제공하는 복수의 스프링들을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 기판을 세정하는 세정 유닛.
- 제7항에 있어서,상기 홀더는상기 평행도 보정부재가 위치되는 내부공간을 갖고, 상기 세정헤드가 노출되는 개구를 갖는 몸체를 포함하고,상기 세정헤드는상기 탄성부재와 접촉하도록 상기 홀더의 내부 공간에 위치되는 베이스판;상기 베이스판의 저면에 설치되고 상기 홀더의 개구를 통해 노출되는 연마패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 기판을 세정하는 세정 유닛.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020090041731A KR101069889B1 (ko) | 2009-05-13 | 2009-05-13 | 글라스 기판 세정 유닛 및 이를 갖는 글라스 기판 세정 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
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KR1020090041731A KR101069889B1 (ko) | 2009-05-13 | 2009-05-13 | 글라스 기판 세정 유닛 및 이를 갖는 글라스 기판 세정 시스템 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100122704A true KR20100122704A (ko) | 2010-11-23 |
KR101069889B1 KR101069889B1 (ko) | 2011-10-05 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140000375A (ko) * | 2012-06-22 | 2014-01-03 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판세정장치 |
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2009
- 2009-05-13 KR KR1020090041731A patent/KR101069889B1/ko active IP Right Grant
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KR20140000375A (ko) * | 2012-06-22 | 2014-01-03 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판세정장치 |
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