KR20140000375A

KR20140000375A - 기판세정장치

Info

Publication number: KR20140000375A
Application number: KR1020120067139A
Authority: KR
Inventors: 김상영
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2012-06-22
Filing date: 2012-06-22
Publication date: 2014-01-03
Also published as: KR101983355B1

Abstract

본 발명은 일면에 패드영역이 형성된 기판을 이송하는 이송롤러; 및 이송되는 상기 기판의 패드영역에 일정의 탄성력을 형성하여 접하도록 세정롤러를 위치시키고, 상기 세정롤러를 회전시켜 상기 패드영역을 세정하는 패드세정유닛을 포함하는 기판세정장치를 제공한다.

Description

기판세정장치{APPARATUS FOR CLEANING PANEL}

본 발명은 기판세정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 폭에 따라 세정 위치의 조절이 가능하며, 기판의 패드영역에 탄성력을 제공하여 정밀세정을 실시할 수 있는 기판세정장치에 관한 것이다.

근래에 들어, 액정표시소자는 콘트라스트(contrast) 비가 크고, 계조 표시나 동화상 표시에 적합하며 전력소비가 작다는 장점 때문에, CRT(cathode ray tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되고 있다.

상기 액정패널(이하, '기판'이라 함.)은 서로 대향하는 상,하부 기판과 그 사이에 형성된 액정층으로 구성되는데, 하부기판에 구동회로를 부착하기 위한 패드부가 외부로 노출되어 있어 제거되지 않은 칩에 의해 패드부 불량이 발생하게 된다.

즉, 제거되지 않은 칩에 의해 패드부 패턴간의 쇼트(short)가 발생하여 라인이 독립적으로 구동되지 못한다.

구체적으로, 상기 기판은 매트릭스 배열의 박막트랜지스터 및 화소전극이 형성된 하부기판과 컬러필터층이 형성된 상부기판 사이에 접착제 역할을 하는 실런트(sealant)를 개재하여 두 기판을 대향 합착시킨 후, 상기 실런트를 경화시킴으로써 두 기판을 완전히 접착시킨다.

이후, 접착된 상,하부 기판을 필요한 크기로 절단하기 위해서 스크라이브 휠(scribe wheel)로서 크랙(crack)을 형성하고, 브레이크 바(break bar)를 이용하여 직접적인 충격을 가함으로써 셀을 분리한다.

다음, 절단된 두 기판 사이에 액정을 주입함으로써 소정의 기판을 형성하고, 스크라이브/브레이크 공정에서의 액정패널의 절단면 및 모서리를 일정 메쉬(mesh)를 가진 연마 숫돌을 사용하여 그라인딩(grinding) 해준다.

그라인딩 공정은 이후 액정 모듈의 조립 및 세트 장착을 할 때 액정패널의 절단면의 깨짐을 방지하기 위한 공정이다.

그러나, 상기 그라인딩 후에 기판의 패드면에는 이물질이 잔류하게 도니다.

따라서, 상기 공정 후에는 패드 세정과정이 반드시 요구된다.

대한민국 공개번호 제10-2003-0025086호(공개일: 2003년03월28일) 상기와 같이 기판의 패드를 세정하기 위한 세정장치를 제공한다.

종래의 상기 세정장치는 일정 길이의 회전축에 브러쉬가 설치되기 때문에, 회전시 상하로의 진동이 발생되어 기판의 패드에 대한 세정효율이 하락되는 문제점을 갖는다.

또한, 종래에는 회전되는 브러쉬와 기판의 패드가 접촉되는 경우에 발생되는 충격력을 완충할 수 없기 때문에, 기판 자체의 파손이 발생하고, 정밀 세정이 어려운 문제점이 있다.

본 발명의 목적은, 기판의 폭에 따라 세정위치의 조절이 가능하며, 기판의 패드영역에 탄성력을 제공하여 정밀세정을 실시할 수 있는 기판세정장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은, 기판의 패드영역을 세정할 때 발생되는 진동을 최소화할수 있는 기판세정장치에 관한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 기판의 패드영역을 세정하는 패드브러쉬와 같은 세정롤러의 파손을 방지할 수 있는 기판세정장치에 관한 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은, 기판의 패드영역의 다수 위치에서 동시에 세정함으로써, 세정 효율을 향상시킬 수 있는 기판세정장치에 관한 것이다.

상기 세정롤러는, 상기 기판의 이송방향을 따라 상기 패드영역의 다수 위치에 접하도록 배치되어 이송되는 상기 기판의 패드영역을 반복적으로 세정하는 것이 바람직하다.

상기 패드세정유닛은, 상기 기판의 이송방향과 직교되는 상기 기판의 폭 방향을 따라 일정 간격 이격되도록 각각 설치되어, 이송되는 상기 기판의 서로 다른 위치에 형성된 패드영역을 동시에 세정하는 것이 바람직하다.

상기 패드세정유닛은, 서로 독립되는 동력을 사용하여 상기 세정롤러를 회전시키는 것이 바람직하다.

상기 기판세정장치는, 폭조절유닛을 구비하는 것이 바람직하다.

상기 폭조절유닛은, 상기 기판의 폭방향을 따라 일정길이를 갖도록 형성하여 상기 기판의 인근에 설치되며, 상기 각 패드세정유닛이 이동 가능하게 설치되는 가이드부와, 상기 각 패드세정유닛을 상기 가이드부를 따라 이동시키는 이동부와, 상기 이동부를 사용하여, 상기 기판의 폭에 따라 상기 각 패드세정유닛의 상기 세정롤러를 이동 위치시켜, 상기 폭을 갖는 상기 기판의 상기 각 패드영역에 접하도록 하는 제어부를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 제어부에는, 상기 기판의 폭에 대한 위치 정보가 미리 설정될 수 있다.

상기 제어부는, 위치 감지부와 연결될 수 있다.

상기 위치 감지부는, 이송되는 상기 기판의 폭에 대한 위치정보를 실시간으로 감지하여, 감지된 상기 위치 정보를 상기 제어부로 전송하는 것이 바람직하다.

상기 패드세정유닛은, 상기 패드영역에 접하고 외부 동력을 제공 받아 회전되는 상기 세정롤러를 갖는 롤러지지부와, 상기 세정롤러를 상기 패드영역에 일정의 탄성력이 형성하여 접하도록 상기 롤러지지체를 탄성지지하는 탄성제공부와, 상기 동력을 제공하는 동력제공부를 구비하는 것이 바람직하다.

상기 탄성 제공부는, 상기 롤러지지부의 하방에 설치되는 베이스와, 상기 베이스로부터 직립상태로 일정 길이 연장되고, 상단에 지지단을 갖는 지지대와, 상기 베이스와 상기 지지단을 잇도록 설치되어, 상기 롤러지지부의 승강을 안내하는 다수의 안내축과, 상기 각 안내축에 설치되며, 상기 베이스와 상기 롤러지지부 및, 상기 롤러지지부와 상기 지지단을 서로 탄성 지지하여 상기 탄성력을 형성하는 다수의 탄성 부재를 구비하는 것이 바람직하다.

상기 각 안내축은, 상기 탄성력을 가변 조절하기 위해 상기 베이스와 상기 지지단에 스크류 결합되어 상하로의 레벨이 가변되는 것이 바람직하다.

상기 각 안내축은, 교체 가능하도록 상기 베이스와 상기 지지단으로부터 탈착 가능한 것이 바람직하다.

상기 패드세정유닛은, 상기 기판의 패드영역이 세정되는 세정공간 내에 설치될 수 있다.

상기 동력제공부는 외부 이물질이 투입되지 않도록 방수커버에 의해 에워싸이는 것이 바람직하다.

본 발명은, 기판의 폭에 따라 세정위치의 조절이 가능하며, 기판의 패드영역에 탄성력을 제공하여 정밀세정을 실시할 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은, 기판의 패드영역을 세정할 때 발생되는 진동을 최소화할수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 기판의 패드영역을 세정하는 패드브러쉬와 같은 세정롤러의 파손을 방지할 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은, 기판의 패드영역의 다수 위치에서 동시에 세정함으로써, 세정 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 갖는다.

도 1은 본 발명의 기판세정장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 패드세정유닛을 보여주는 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따르는 세정롤러들을 통해 기판의 패드영역을 세정하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따르는 패드세정유닛을 보여주는 분해사시도이다.
도 5는 본 발명에 따르는 롤러지지부와 탄성제공부와의 결합관계를 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따르는 롤러지지부와 탄성제공부와의 다른 결합관계를 보여주는 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따르는 패드세정유닛의 폭조절이 가능한 예를 보여주는 사시도이다.
도 8은 본 발명에 따르는 위치감지부의 일 예를 보여주는 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기판세정장치를 설명한다.

도 1은 본 발명의 기판세정장치를 보여주고, 도 2는 도 1의 패드세정유닛을 보여준다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 기판세정장치는 TFT 글래스와, 컬러필터글래스를 서로 합착한 기판(10)을 그라인더를 사용하여 연마한 이후, 기판(10)의 패드영역(11)에 잔류하는 이물질을 세정하는 장치이다.

상기 기판세정장치는 크게 본체(20)와, 이송부(100)와, 패드세정유닛(200)으로 구성된다.

상기 본체(20)의 일측부에는 패드영역(11)이 형성된 기판(10)이 인입되는 인입구(21)가 형성된다.

상기 이송부(100)는 상기 본체(20)에 일 방향을 따라 간격을 형성하여 배치되는 다수의 회전축(110)과, 상기 각 회전축(110)에 설치되며, 기판(10)의 하면에 접하는 다수의 이송롤러(120)와, 상기 회전축(110)을 회전시키는 회전부(130)로 구성될 수 있다.

상기 다수의 회전축(110)의 설치 방향을 따라 기판(10)의 이송경로가 형성된다.

상기 다수의 이송롤러(120)가 회전됨으로써, 기판(10)은 이송경로를 따라 일정의 이송속도로 이송된다.

상기 패드세정유닛(200)은 기판(10)의 이송경로를 기준으로 이송부(100)의 양측부에 설치된 상태에서, 기판(10)의 패드영역(11)에 일정의 탄성력을 제공하면서 상기 패드영역(11)을 세정한다.

도 2 및 도 4는 도 1의 패드세정유닛을 보여준다.

도 2 및 도 4를 참조 하면, 본 발명의 패드세정유닛(200)은 롤러지지부(210)와, 탄성제공부(220)와, 동력제공부(230)와, 제어부(240)로 구성된다. 각 패드세정유닛(200)은 이송부(100)의 양측부에서 서로 마주보도록 설치된다.

상기 롤러지지부(210)는 롤러지지부몸체(211)를 갖는다.

상기 롤러지지부몸체(211)의 측부, Y축을 따라 회전축(212)이 관통되도록 설치된다. 상기 회전축(212)의 양단은 Y축을 따라 롤러지지부몸체(211)의 전후방으로 돌출된다.

상기 회전축(212)의 일단은 세정롤러(214)의 중심과 연결된다.

상기 세정롤러(214)는 일정의 직경을 갖도록 형성되고, 상기 세정롤러(214)의 원주면에는 기판(10)의 패드영역(11)과 접촉되는 일정의 세정면이 형성된다.

상기롤러지지부몸체(211)에는 상하, Z축을 따르고, 일정 간격을 형성하는 두 개 또는 그 이상의 안내홀(213)이 형성된다.

그리고, 상기 회전축(212)의 타단에는 구동롤러(P)의 중심이 연결된다. 상기 구동롤러(P)는 외부 동력을 전달받아 회전되고, 이 회전으로 인해 상기 회전축(212)이 회전될 수 있다. 상기 동력은 후술되는 동력제공부(230)로부터 전달받는다.

상기 탄성제공부(220)는, 베이스(223)와, 다수의 안내축(222)과, 다수의 탄성 부재(224)와, 지지대(221)로 구성된다.

상기 베이스(223)는 상기 롤러지지부(210)의 하부에 설치되고, 판 상으로 형성된다.

상기 지지대(220)는 상기 베이스(223)로부터 상방을 따라 연장되어 형성된다. 즉, 상기 지지대(220)는 상기 베이스(223)와 일체로 형성될 수 있다. 물론, 상기 지지대(220)는 상기 베이스(223)와 별도의 구성으로 형성될 수도 있다.

상기 지지대(220)는 상기 롤러지지부몸체(211)의 측면부와 밀착되도록 형성된다, 상기 지지대(220)의 상단에는 롤러지지부몸체(211)의 상면과 평행하도록 연장되는 지지단(221a)이 형성된다.

상기 지지대(221)는 전체적으로 'ㄱ' 형상으로 형성된다. 여기서, 상기 지지단(221a)은 상기 롤러지지부몸체(211)의 상면과 일정 높이 이격되도록 형성된다.

여기서, 상기 지지대(221)의 직립된 부분의 내측면은 상기 롤러지지부몸체(211)의 일측면에 밀착될 수 있다.

상기 지지단(221a)에는 하방으로 일정 길이 연장되는 다수의 안내축(222)이 형성된다.

상기 각 안내축(222)은 베이스(223)에 형성되는 각 안내홀(213)을 관통하도록 설치된다.

여기서, 상기 다수의 탄성부재(224)는, 제 1탄성부재(224a)와, 제 2탄성부재(224b)로 구성된다.

상기 제 1탄성부재(224a)는 상기 롤러지지부몸체(211)의 상면과 지지단(221a)의 하면 사이에 설치된다. 상기 제 1탄성부재(224a)는 각 안내축(222)을 외감하도록 설치된다.

따라서, 상기 제 1탄성부재(224a)는 롤러지지부몸체(211)와 지지단(221a)을 서로 탄성 지지한다.

상기 제 2탄성부재(224b)는 상기 롤러지지부몸체(211)의 하면과 베이스(223)의 상면의 사이에 설치된다.

따라서, 상기 제 2탄성부재(224b)는 롤러지지부몸체(211)와 베이스(223)를 서로 탄성 지지한다.

다음은, 상기의 구성을 참조로 하여, 본 발명의 기판세정장치의 작용을 설명한다.

도 1을 참조 하면, 기판(10)은 도시되지 않은 이송장치를 통하여 본체(20)에 형성된 인입구(21)로 인입된다. 여기서, 상기 기판(10)의 하면 양측부에는 패드영역(11)이 형성된다.

이에 따라, 상기 기판(10)은 본체(20)의 내부에 형성된 세정공간으로 인입될 수 있다.

이어, 이송부(100)는 인입되는 기판(10)을 기판(10)의 이송경로를 따라 이송시킨다.

여기서, 상기 이송부(100)의 양측부에는 서로 마주보도록 패드세정유닛(200)이 설치된다.

상기 각 패드세정유닛(200)에 포함되는 세정롤러(214)는 도 3에 도시되는 바와 같이, 서로 일정 간격 이격되어 설치되도록 두 개로 구비된다.

상기 각 세정롤러(214)의 회전 방식은 다음과 같다.

제어부(240)는 모터와 같은 동력제공부(230)를 동작시키고, 상기 동력제공부(230)는 각 패드세정유닛(200)의 구동롤러(P)로 동력을 전달한다.

즉, 동력제공부(230)의 구동롤러(P)와 각 패드세정유닛(200)의 구동롤러(P)는 서로 동력전달밸트(C)로 연결되어, 동력제공부(230)로부터의 동력을 각 패드세정유닛(200)의 구동롤러(P)로 전달한다.

그리고, 각 패드세정유닛(200)의 구동롤러(P)는 회전축(212)을 회전시키고, 상기 회전축(212)의 회전에 의해 세정롤러(214)는 회전된다.

따라서, 기판(10)의 패드영역(11)은 다수의 위치에서 상기와 같이 회전되는 세정롤러들(214)의 원주면과 접하고, 이송되면서 다중 또는 반복적으로 세정될 수 있다. 즉, 패드영역(11)에서의 세정효율은 세정롤러(214)의 개수에 비례할 수 있다.

이에 따라, 본 발명은 이송되는 기판(10)의 패드영역(11)을 반복적으로 세정하여 세정효율을 향상시킴과 아울러, 제조되는 기판의 품질향상을 도모할 수 있다.

또한, 상기 각 패드세정유닛(200)의 세정롤러(214)는 기판(10)의 패드영역(11)에 일정의 탄성력을 형성하도록 접할 수 있다.

도 2 및 도 4를 참조 하면, 세정롤러(214)를 회전지지하는 롤러지지부몸체(211)는 제 1,2탄성부재(224a,224b)에 의해 일정의 탄성을 유지할 수 있다.

따라서, 각 패드세정유닛(200)에서의 세정롤러(214)는 상하로의 탄성력을 유지한 상태에서, 기판(10)에 형성된 패드영역(11)과 접할 수 있다.

이에 따라, 본 발명은 세정롤러(214)를 이송되는 기판(10)에 형성되는 패드영역(11)에 탄성을 가하여 회전시킴으로써, 패드영역(11)과의 밀착력을 향상시키기고, 이로 인하여 패드영역(11)에 형성된 이물질을 효율적으로 제거할 수 있다.

더하여, 본 발명은 상기와 같이 탄성을 사용하여 세정롤러(214)를 패드영역(11)에 밀착시킴으로써, 패드영역(11)의 형상(예, 단차지는 등의 형상)에 상관없이 패드영역(11)을 효율적으로 세정할 수 있다.

또한, 본 발명은 각 패드세정유닛(200)에서의 각 세정롤러(214)를 독립적인 회전축(212)을 구비하여 회전시키고, 롤러지지부(210)를 탄성 지지함으로써, 세정롤러(214)의 회전축(212)에 무리한 힘이 발생되는 것을 방지함과 아울러, 세정롤러(214)를 안정적으로 회전시킬 수 있다.

이에 따라, 기판(10)의 패드영역(11)은 회전되는 세정롤러(214)와의 무리한 접촉이 이루어지지 않기 때문에, 패드영역(11) 세정시 기판(10)의 파손을 미연에 방지할 수 있다.

한편, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 각 패드세정유닛(200)에는 두 개의 롤러지지부(210)가 구비된다. 상기 각 롤러지지부(210)는 각 탄성부재(224)에 의해 탄성지지된다.

본 발명에서는, 각 롤러지지부(210)를 탄성지지하는 각 탄성부재(224)의 탄성력을 서로 다르게 조절할 수도 있다. 이는 다른 탄성계수를 갖는 탄성부재(224)를 사용하는 등의 방법으로 실시할 수 있다. 따라서, 각 세정롤러(214)는 서로 다른 탄성력으로 기판(10)의 패드영역(11)에 접할 수 있다.

따라서, 본 발명은 각 세정롤러(214)를 이송되는 기판(10)의 패드영역(11)에 점진적으로 커지는 탄성력을 가하도록 접하도록 함으로써, 초기 세정시 패드영역(11)에 무리한 탄성력이 가해지지 않도록 할 수 있다.

또한, 본 발명은 베이스(223) 상에서 롤러지지부(210)가 각 안내축(222)에 의해 상하를 따라 승강 안내됨으로써, 롤러지지부(210)의 승강 동작시 틀어짐을 방지할 수 있고, 이로 인해, 세정롤러(214)를 사용하여 패드영역(11)에 균일한 탄성력을 제공하여 패드영역(11)을 안정적으로 밀착 세정할 수 있다.

도 5는 본 발명에 따르는 롤러지지부와 탄성제공부와의 결합관계를 보여준다.

한편, 도 5를 참조 하면, 본 발명은 각 패드세정유닛(200)의 각 롤러지지부(210)를 탄성지지하는 탄성력을 가변적으로 조절할 수 있다.

베이스(223)에 형성되는 제 1안내홀들(223a)이 형성되고, 지지대(221)의 지지단(221a)에는 제 2안내홀들(H)이 형성된다. 상기 제 1안내홀들(223a)은 스크류홀일 수 있다.

본 발명에 따르는 지지대(221)의 하단은 베이스(223)를 관통하여 승강 가능할 수 있다.

본 발명에 따르는 안내축들(222')의 일단은 각 제 2안내홀(H)을 관통하고, 타단은 각 제 1안내홀(223a)을 관통하여, 하부에 위치된 각 너트(N)와 너트 체결된다.

그리고, 롤러지지부몸체(211)의 상부 및 하부에는 상술한 바와 같이, 제 1,2탄성부재(224a,224b)가 설치된다.

또한, 도 6은 본 발명에 따르는 롤러지지부(210)와 탄성제공부(220)와의 다른 결합관계를 보여준다.

도 6에 도시되는 바와 같이, 본 발명은 각 안내축(222")을 각 제 1,2안내홀(223a,H)에 스크류 체결함으로써, 상기와 같은 작용을 취할 수 있다.

따라서, 본 발명은 각 안내축(222")을 조임 또는 풀어짐 방향으로 회전시킴에 따라, 상승 또는 하강 동작될 있다. 이때, 지지대(221)는 베이스(223)를 관통하여 승강이 안내된다.

본 발명은, 안내축(222',222")을 상하를 따라 레벨을 조절하여, 롤러지지부(210)에 가해지는 탄성력을 가변적으로 조절함으로써, 각 세정롤러(214)를 통한 기판(10)의 패드영역(11)의 세정효율을 가변적으로 조절할 수 있다.

도 5의 경우, 안내축(222')을 회전시키면, 안내축(222')의 일단은 제 2안내홀(H)에서 공회전하고, 안내축(222')의 타단은 제 1안내홀(223a)에서 스크류결합된 상태에서 조여지거나 풀어질 수 있다. 이와 같은 동작을 통해, 지지대(221)의 지지단(221a)과 베이스(223)의 사이 간격을 조절할 수 있다.

따라서, 롤러지지부몸체(211)의 상하에서의 각 탄성부재(224a,224b)의 탄성력을 조절할 수 있다.

도 6의 경우, 안내축(222")을 회전시키면, 안내축(222")은 제 1,2안내홀(223a,H)과 서로 스크류 결합되기 때문에, 안내축(222")의 회전에 따라 지지대(221)의 지지단(221a)과 베이스(223)의 사이 간격을 조절할 수 있다.

따라서, 롤러지지부몸체(211)의 상하에서의 각 탄성부재(224a,224b)의 탄성력을 조절할 수 있다. 이러한 경우, 탄성력 조절로 인한 지지대(221)와 베이스(223) 간에 작용되는 힘을 분산시킬 수 있다 .

또한, 본 발명은 안내축(222',222")을 상기와 같이 베이스(223) 및 지지대(221)로부터 탈착가능하게 함으로써, 탄성부재(224)가 변형되는 등의 문제가 발생되는 경우, 이를 새로운 탄성부재로 교체 설치하여 안정적인 패드영역 세정을 실시하도록 할 수 있다.

도 7은 본 발명에 따르는 패드세정유닛의 폭조절이 가능한 예를 보여주고, 도 8은 본 발명에 따르는 위치감지부의 일 예를 보여준다.

도 7을 참조 하면, 본 발명은 세정공간으로 인입되는 기판(10)의 사이즈에 대응되도록 각 패드세정유닛(200)의 폭을 가변 조절하여 위치시킬 수 있다.

본 발명의 기판세정장치는 폭조절유닛(300)을 갖는다.

상기 폭조절유닛(300)은, 가이드부(310)와, 이동부(320)로 구성된다.

상기 가이드부(310)는 마주보도도록 설치되는 패드세정유닛(200)의 하방에서, 기판(10)의 이송 방향과 직교되는 방향을 따라 일정 간격을 형성하여 설치되는 다수의 볼스크류를 포함한다.

그리고, 상기 각 패드세정유닛(200)의 베이스(223)의 하단에는 다수의 홀형성부(260)가 형성되고, 상기 홀형성부(260)에는 상기 볼스크루(310)가 스크류 연결되는 볼스크류홀(261)이 형성된다.

따라서, 서로 마주보도록 설치된 패드세정유닛(200)의 베이스(223)는 볼스크류에 의해 연결된다.

또한, 상기 각 볼스크류는 회전모터와 같은 이동부(320)에 의해 회전된다. 상기 이동부(320)는 제어부(240)의 제어에 의해 동작된다.

따라서, 상기 각 볼스크류의 회전방향에 따라 각 패드세정유닛(200)의 폭은 가변 조절될 수 있다.

상기 제어부(240)는 상기 기판(10)의 폭에 따라 각 패드세정유닛(200)의 상기 세정롤러(214)를 이동 위치시켜, 상기 폭을 갖는 상기 기판(10)의 상기 각 패드영역(11)에 접하도록 할 수 있다.

따라서, 본 발명은 이송되는 기판(10)의 폭에 대응되도록 패드세정유닛들(200)의 폭을 조절하여, 기판(10)에 형성된 패드영역들(11)을 세정함으로써, 다양한 기판 폭 사이즈에 대응할 수 있도록 할 수 있다.

또한, 본 발명에서는, 제어부(240)에 미리 다양한 기판(10)의 폭에 대한 위치정보를 미리 설정할 수 있다.

따라서, 본 발명은 패드영역(11) 세정을 개시하는 경우, 도시되지 않은 선택부를 사용하여 상기 위치정보 중 해당 폭을 갖는 기판을 택하면, 제어부(240)는 볼스크류 및 이동부(320)를 사용하여 해당 폭에 상응되도록 각 패드세정유닛(200)의 세정롤러(214)의 폭을 가변조절하여 위치시킬 수 있다.

이에 더하여, 도 7 및 도 8을 참조 하면, 상기 제어부(240)는 위치감지부(330)와 연결된다. 상기 위치감지부(330)는 이송되는 기판(10)의 양측부까지의 폭(W1,W2)을 측정하여, 이를 제어부(240)로 전송한다. 상기 위치감지부(330)는 광센서 또는 초음파센서일 수 있다.

상기 제어부(240)는 상기 측정된 폭을 기초로 기판(10)의 폭(W0-(W1+W2))을 산출할 수 있다. 여기서, 상기 기판(10)의 양측방에 위치되는 위치감지부(330) 간의 폭(W0)은 미리설정된다.

따라서, 본 발명은 이송되는 기판(10)의 폭을 실시간으로 감지하여, 기판(10) 이송시 마다 실시간으로 패드세정유닛들(200)의 위치를 조절할 수 있기 때문에, 서로 다른 폭의 기판을 제조하는 라인에 공통적으로 채택할 수 있는 잇점을 갖는다.

한편, 본 발명에서 언급된 동력제공부(230)는 방수커버(미도시)에 의해 에워싸일 있다.

또한, 본 발명에 따르는 패드세정유닛(200)은 기판(10)의 패드영역(11)이 세정되는 본체(20) 내의 세정공간에 설치된다.

따라서, 본 발명은 패드세정유닛(200)을 세정공간에 위치시켜 세정롤러(214)를 회전시키는 회전축(212)의 길이를 최소화할 수 있고, 이에 따라, 회전시 축(212)의 진동 증가를 억제하도록 할 수 있다.

더하여, 본 발명은 모터와 같은 동력제공부(230)를 방수커버를 통해 에워싸이도록 함으로써, 이물질 투입에 의한 동력제공부(230)의 작동불량을 미연에 방지할 수 있다.

100 : 이동부 110 : 회전축
120 : 이송롤러 130 : 회전모터
200 : 패드세정유닛 210 : 롤러지지부
211 : 롤러지지부몸체 220 : 탄성제공부
221 : 지지대 221a : 지지단
222, 222', 222" : 안내축 223 : 베이스
224 : 탄성부재 230 : 동력제공부
240 : 제어부 300 : 폭조절유닛
310 : 가이드부 320 : 이동부
330 : 위치감지부

Claims

일면에 패드영역이 형성된 기판을 이송하는 이송롤러; 및
이송되는 상기 기판의 패드영역에 일정의 탄성력을 형성하여 접하도록 세정롤러를 위치시키고, 상기 세정롤러를 회전시켜 상기 패드영역을 세정하는 패드세정유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 1항에 있어서,
상기 세정롤러는,
상기 기판의 이송방향을 따라 상기 패드영역의 다수 위치에 접하도록 배치되어 이송되는 상기 기판의 패드영역을 반복적으로 세정하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 1항 또는 제2항에 있어서,
상기 패드세정유닛은,
상기 기판의 이송방향과 직교되는 상기 기판의 폭 방향을 따라 일정 간격 이격되도록 각각 설치되어, 이송되는 상기 기판의 서로 다른 위치에 형성된 패드영역을 동시에 세정하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 3항에 있어서,
상기 패드세정유닛은,
서로 독립되는 동력을 사용하여 상기 세정롤러를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 3항에 있어서,
상기 기판세정장치는, 폭조절유닛을 구비하되,
상기 폭조절유닛은,
상기 기판의 폭방향을 따라 일정길이를 갖도록 형성하여 상기 기판의 인근에 설치되며, 상기 각 패드세정유닛이 이동 가능하게 설치되는 가이드부와,
상기 각 패드세정유닛을 상기 가이드부를 따라 이동시키는 이동부와,
상기 이동부를 사용하여, 상기 기판의 폭에 따라 상기 각 패드세정유닛의 상기 세정롤러를 이동 위치시켜, 상기 폭을 갖는 상기 기판의 상기 각 패드영역에 접하도록 하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 5항에 있어서,
상기 제어부에는,
상기 기판의 폭에 대한 위치 정보가 미리 설정되는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 5항에 있어서,
상기 제어부는, 위치 감지부와 연결되되,
상기 위치 감지부는, 이송되는 상기 기판의 폭에 대한 위치정보를 실시간으로 감지하여, 감지된 상기 위치 정보를 상기 제어부로 전송하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 패드세정유닛은,
상기 패드영역에 접하고 외부 동력을 제공 받아 회전되는 상기 세정롤러를 갖는 롤러지지부와,
상기 세정롤러를 상기 패드영역에 일정의 탄성력이 형성하여 접하도록 상기 롤러지지체를 탄성지지하는 탄성제공부와,
상기 동력을 제공하는 동력제공부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 8항에 있어서,
상기 탄성 제공부는,
상기 롤러지지부의 하방에 설치되는 베이스와,
상기 베이스로부터 직립상태로 일정 길이 연장되고, 상단에 지지단을 갖는 지지대와,
상기 베이스와 상기 지지단을 잇도록 설치되어, 상기 롤러지지부의 승강을 안내하는 다수의 안내축과,
상기 각 안내축에 설치되며, 상기 베이스와 상기 롤러지지부 및, 상기 롤러지지부와 상기 지지단을 서로 탄성 지지하여 상기 탄성력을 형성하는 다수의 탄성 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 9항에 있어서,
상기 각 안내축은, 상기 탄성력을 가변 조절하기 위해 상기 베이스와 상기 지지단에 스크류 결합되어 상하로의 레벨이 가변되는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 10항에 있어서,
상기 각 안내축은,
교체 가능하도록 상기 베이스와 상기 지지단으로부터 탈착 가능한 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
제 9항에 있어서,
상기 패드세정유닛은,
상기 기판의 패드영역이 세정되는 세정공간 내에 설치되며,
상기 동력제공부는 외부 이물질이 투입되지 않도록 방수커버에 의해 에워싸이는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.