KR20100116400A - 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 (a) 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 챔버 내에 분무하는 단계; (b) 분무된 마이크로 액적을 가열하여 에어로졸이 형성되도록 하는 단계; 및 (c) 상기 에어로졸을 노즐을 통해 분사하여 기판에 증착시키는 단계; 를 포함하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 분무하는 미세노즐; 분무된 마이크로 액적을 수용하고 가열하여 에어로졸화시키는 가열챔버; 가열챔버 내의 에어로졸을 분사하는 분사노즐; 및 내부에 기판이 설치되어 있고, 배기부가 구비된 증착챔버; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치를 함께 제공한다.
마이크로 액적, 나노구조체, 박막, 증착

Description

액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법 및 장치{Method and Apparatus depositing trans-phase aerosol}
본 발명은 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 가열하여 용매를 기화시킴으로써 에어로졸을 형성하고, 상기 에어로졸을 고속으로 기판에 충돌시켜 박막을 제조하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법 및 마이크로 액적을 분무하고, 분무된 마이크로 액적을 가열하여 에어로졸화시키고, 에어로졸을 분사하여 기판에 증착시키는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명은 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 직접적으로 에어로졸화시켜 고속으로 기판에 증착시키는 방법에 관한 것으로서, 상기 원료분말로써는 나노입자, 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(Graphene) 등을 적용할 수 있다.
고상 분말을 기판에 증착시키기 위한 종래의 방법으로서는 에어로졸증착법(AD법)과 콜드스프레이법을 들 수 있다.
에어로졸증착법은 약 1기압 미만의 불활성 기체안에 분산된 에어로졸 파트클 을 진공 팽창 원리에 의해 가속시킨 후 기판에 초고속으로 가속시켜 박막을 제조하는 방법이며, 이는 주로 깨지기 쉬운 세라믹 분말(수백에서 수천 나노미터 크기)을 증착시키는 경우에 유리하다.
콜드스프레이법은 용사법을 개량시킨 것으로서 고압가스가 노즐을 통하여 분사될 때의 가속력을 통하여 원료분말을 모재에 부착시키는 기술이며, 이는 금속 나노분말을 증착시키는 경우에 유리하다.
상기 에어로졸증착법과 콜드스프레이법 모두 초고속으로 가속된 원료입자들이 기판에 충돌할 때의 충돌에너지 일부가 결합형성 에너지로 전환되는 과정을 거쳐 박막으로 성장이 일어나게 된다. 그러나 위 두 가지 방법은 기상에서 원료입자들의 균일분산이 매우 어려워 정밀한 막, 나노구조체막의 제조가 어렵다.
한편, 액상 콜로이드 제조 및 분산 기술을 통하여 원료분말을 균일한 개개의 입자로 분리시키려는 많은 노력이 있었으며 그 결과물로는 나노입자형 콜로이드, 탄소나노튜브 분산액, 그래핀 분산액 등이 있다. 이들 액상 분산액들은 바인더 및 첨가제를 함유할 수 있으며 액상 코팅 기술들 즉, 잉크젯 프린팅, 스템프법, 스크린 프린팅, 스핀코팅, 딥 코팅 등을 통하여 많은 산업제품들이 출시되고 있다.
이들 액상 분산액을 이용한 코팅방법은 저가 공정으로서 대면적화가 용이하지만 바인더 및 첨가제의 영향으로 나노입자, CNT, 그래핀 고유의 물성 발현이 어렵다는 단점이 있다.
본 발명은 종래의 고상증착법(에어로졸증착법, 콜드스프레이법)과 액상코팅법을 동시에 개량시킨 독특한 원료분말 증착기술을 개발하여 기존 기술로는 실현하기 어려웠던 나노입자 코팅막, CNT 코팅막, 그래핀 코팅막 등을 제공할 수 있는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법 및 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명은 다양한 입자형 분말이 균일하게 분산된 마이크로 액적 분무를 기반으로 하여 에어로졸증착기술, 펄스 초음속 가속법, 콜드스프레이법 등의 기술을 접목시킴으로서 원료분말들을 초고속 증착 원리에 의하여 기판에 충돌시켜 나노구조체(박막)를 얻어내는 기술에 관한 것이다.
본 발명은 (a) 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 분무하는 단계; (b) 분무된 마이크로 액적을 가열하여 에어로졸이 형성되도록 하는 단계; 및 (c) 상기 에어로졸을 분사하여 기판에 증착시키는 단계; 를 포함하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법을 제공한다.
본 발명은 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 분무하는 미세노즐; 분무된 마이크로 액적을 수용하고 가열하여 에어로졸화시키는 가열챔버; 가열챔버 내의 에 어로졸을 분사하는 분사노즐; 및 내부에 기판이 설치되어 있고, 배기부가 구비된 증착챔버; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치를 함께 제공한다.
본 발명에 따른 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치 및 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법을 적용하면 균일하면서 원료분말의 고유물성이 확보되는 나노구조체(박막)을 얻을 수 있다. 이러한 나노구조체는 촉매, 투명전도막, 방열판, 센서 등의 분야에 새로운 소재를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법의 원리를 설명한 개략도이다. 도 2는 본 발명에 따른 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치의 제1실시예에 대한 모식도이다. 도 3은 본 발명에 따른 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치의 제2실시예에 대한 모식도이다. 도 4는 본 발명의 장치와 방법을 사용하여 제조된 은 나노입자 증착막의 SEM사진이다. 도 5는 본 발명의 장치와 방법을 사용하여 제조된 탄소나노튜브 얇은 증착막의 SEM사진이다. 도 6은 본 발명의 장치와 방법을 사용하여 제조된 탄소나노튜브 두꺼운 증착막의 SEM사진이다. 도 7은 본 발명의 장치와 방법을 사용하여 제조된 그래핀 증착막의 SEM사진이다.
이하에서는 첨부된 도면과 함께 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
Ⅰ. 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법
본 발명은 (a) 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 분무하는 단계; (b) 분무된 마이크로 액적을 가열하여 에어로졸이 형성되도록 하는 단계; 및 (c) 상기 에어로졸을 분사하여 기판에 증착시키는 단계; 를 포함하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법을 제공한다. 이하에서는 각 단계별로 상세히 설명하기로 한다.
1. (a)단계
상기 (a)단계와 같이 마이크로 액적을 분무하는 과정은 기존에 널리 알려진 스프레이법(spray method), 초음파 분무법 등을 통하여 쉽게 시행할 수 있다. 유사한 기술로서 파이로졸 코팅법(pyrosol coating method) 또는 상업 CVD법이 있는데, 이 방법들은 뜨거운 기판 위에서 유기금속 시약이 녹아 있는 마이크로 액적이 CVD 원리에 의하여 열분해 되어 박막으로 성장이 되는 기술로서 본 발명의 증착원리와는 다르다.
상기 원료분말로서는 나노입자를 적용할 수 있으며, 특히, 나노튜브형 입자를 적용할 수 있다. 이와 같이 나노튜브형 입자를 적용하는 경우에는 나노파티클형 입자, 나노선형 입자, 나노로드형입자, 나노벨트형 입자, 나노판형 입자 중 어느 하나 이상을 원료분말로 더 포함시킬 수 있다.
또한, 상기 원료분말로는 탄소나노튜브를 적용할 수 있는데, 이 경우 탄소나노튜브는 보론(B), 인(P) 등의 불순물이 도핑된 것을 적용할 수 있으며, 여기에 다른 나노입자들을 더 포함시켜 적용할 수 있다.
또한, 상기 원료분말로는 나노판(Nanosheet)을 적용할 수 있으며, 특히 그래핀을 적용할 수 있다. 상기 그래핀은 보론(B), 인(P) 등의 불순물이 도핑된 것을 적용할 수 있으며, 여기에 다른 나노입자들을 더 포함시켜 적용할 수 있다.
2. (b)단계
상기 (b)단계와 같이 분무된 마이크로 액적을 가열하는 것은 마이크로 액적 속에 포함된 액상 부분을 기화시킨다는 의미를 가지며, 이는 본 발명에서 매우 중요한 의미를 가진다. 마이크로 액적의 가열을 위해서는 본 발명의 원리가 도시된 도 1에 보이는 바와 같이 마이크로 액적을 가열존에 통과시킬 수 있으며, 이렇게 가열존을 통과한 마이크로 액적은 순식간에 기화된다. 이 때 마이크로 액적 속에 균일하게 분산되어 있던 고상 미립자들은 자연스럽게 기화된 용매속에 둘러싸여 자동적으로 에어로졸화 된다. 이 과정에서 순간적인 압력 증가 현상이 생긴다. 이 때, 기화된 용매들은 캐리어 기체로서 역할을 수행한다.
3. (c)단계
상기 (c)단계는 「에어로졸을 분사하여 기판에 증착」시키는 단계이므로 1) 진공팽창 원리에 의한 기존의 에어로졸증착법에 의해 시행하거나, 2) 펄스 진공팽창 원리에 의한 기존의 펄스 초음속 가속법에 의해 시행하거나, 3) 고압 노즐 분사 원리에 의한 콜드스프레이법에 의해 시행할 수 있다.
이 때, 본 (c)단계를 상기 에어로졸증착법에 의해 시행하는 경우에는 분사 전 에어로졸의 압력은 1기압 이하가 적당하고, 펄스 초음속 가속법에 의해 시행하는 경우에는 수십 기압 이하가 적당하며, 콜드스프레이법에 의하는 경우에는 수십 기압 이상이 적당하다.
한편, 본 (c)단계는 에어로졸을 100~400m/sec의 속도로 분사, 증착시키는 것이 더욱 바람직하다. 이러한 고속 가속에 의한 박막형성원리는 다음 예를 통하여 설명할 수 있다.
4nm의 에어로졸 증착 방법에 관한 논문이 있다(Appl. Phys. Lett. 91,093118, 2007). 이 논문에서는 진공팽창원리(AD법)에 의하여 4nm의 입자가 약 200m/sec로 가속되어 실리콘 기판 위에 충돌하여 기판-나노입자간 그리고 나노입자-나노입자간 직접적인 결합을 갖는 예가 소개되어 있다. 이 논문에서는 임계가속을 가지는 입자가 기판에 충돌할 경우 막대한 충돌에너지가 발생하여 이 충돌에너지의 일부가 결합형성(bond formation)을 하는데 소모되어 입자-기판, 입자-입자간 직접적인 결합이 가능해짐을 설명하고 있다. 일반적인 AD법에서는 충돌 속도가 50m/sec 가량에서도 직접적인 결합형성이 가능하여 강한 세라믹 박막 제조가 가능하다.
따라서, 본 발명에서도 액상 콜로이드 및 분산액으로부터 제공되는 나노입 자, 나노로드, 나노와이어, CNT, 그래핀 등이 충분한 가속력만 확보되면 강한 충돌에너지에 의하여 입자-기판간, 입자-입자간 결합형성이 가능하고 이에 따른 박막 형성이 가능하다.
Ⅱ. 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치
본 발명은 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 분무하는 미세노즐(10); 분무된 마이크로 액적을 수용하고 가열하여 에어로졸화시키는 가열챔버(20); 가열챔버(20) 내의 에어로졸을 분사하는 분사노즐(30); 및 내부에 기판(40)이 설치되어 있고, 배기부가 구비된 증착챔버(50); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치 제공한다.
도 2는 본 발명에 따른 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치의 제1실시예를 도시한 것이다. 마이크로 액적의 분무량이 소량일 경우에는 별도의 수송기체(불활성 가스 혹은 반응성 가스)의 보조를 받을 수 있다. 이를 위해서는 원료분말용액을 저장하는 원료저장챔버(80); 및 상기 원료저장챔버(80)와 가열챔버(20)를 연결하며, 상기 가열챔버(20)측 말단은 상기 미세노즐(10)과 결합된 마이크로튜브(90); 및 상기 원료저장챔버(80) 내에 수송기체를 주입하여 원료분말용액을 액적화시키는 가스공급장치(100); 를 더 포함하여 구성할 수 있다. 이러한 구성은 콜드 스프레이처럼 고압 분무 가스가 요구되는 경우에 유리하다.
상기 미세노즐(10)을 통하여 분무되는 마이크로 액적은 가열챔버(20)를 통과하게 된다. 가열챔버(20)를 통하여 형성되는 에어로졸은 분사노즐(30)을 통하여 가속되어 증착챔버(50) 내에서 기판(40)에 충돌하게 된다. 에어로졸을 기판(40)에 분사증착시키는 방법으로서 에어로졸증착법 또는 펄스 초음속 가속법을 적용하는 경우에는 상기 분사노즐(30)을 통해 배출되는 수송기체를 가속시키기 위해 증착챔버(50) 내의 기체를 고속으로 펌핑하는 배기부(60)가 더 구비되어야 한다. 또한, 상기 증착챔버(50)에는 기판(40)을 회전시키거나 상하좌우로 이동시킬 수 있는 구동장치(70)를 더 포함하여 구성함으로써 대면적 기판 코팅시나 기판의 전후면 코팅시의 작업효율을 높일 수 있다. 특히 대면적 기판 코팅의 경우에는 기판을 인라인으로 이동시킬 수 있으며, 유연성 소재로 이루어진 기판은 롤투롤(roll to roll)법을 통하여 코팅된 기판의 대량 생산이 가능하게 된다. 이 경우 상기 분사노즐은 가늘고 긴 슬릿타입이 적당하다.
도 3에 도시된 제2실시예는 상기 가열챔버가 상기 증착챔버 내에 구비된 것을 특징으로 하며, 다른 구성요소에 대한 내용은 전술한 바와 같다.
이하에서는 본 발명에 따른 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법 및 장치를 통해 구현된 나노구조물을 소개하고자 한다.
도 4는 상용 실버 콜로이드 용액을 이용하여 증착한 실시예이다. 증착 시간 은 약 20초이며, 증착원리는 에어로졸 증착원리를 사용하였다. 가열챔버의 압력은 약 500-700torr, 증착챔버의 압력은 약 15torr였다. 마이크로 액적은 미세노즐을 통하여 마이크로 펌프에 의하여 토출시켰다. 기타 가습기 원리를 이용한 초음파 분무 장치를 이용하여도 비슷한 결과를 얻어낼 수 있었다.
도 5는 상용 CNT 분산액을 이용하여 증착한 실시예이다. 증착 시간은 약 1분이며, 증착원리는 에어로졸 증착원리를 사용하였다. 가열챔버의 압력은 약 500-700torr, 증착챔버의 압력은 약 10torr였다. 미세노즐을 통하여 액적을 가열부로 토출시켰다.
도 6은 도 5의 증착 조건을 늘려서 실시한 예이다. 증착 시간은 약 5분이었다.
도 7은 그래핀 용액을 이용하여 증착한 실시한 예이다. 증착 시간은 약 2분이며, 증착원리는 에어로졸 증착원리를 사용하였다. 가열챔버의 압력은 약 650torr, 증착챔버의 압력은 약 15torr였다. 미세노즐을 통하여 액적을 가열부로 토출시켰다. 그래핀 용액은 무수 황산과 흑연의 반응에 의해 생성되는 상용 탄소 층간화합물을 마이크로 웨이브(2450MHz)로 처리하여 팽창 흑연을 제조하고, 이 팽창 흑연을 적당한 용매에 넣고 초음파 분쇄하여 제조하였다.
본 발명의 원료 콜로이드 중 CNT, 그래핀은 보론(B), 인(P)의 불순물 소량이 도핑된 것을 사용할 수 있으며, 아울러 소표면 개질이 된 것일 수 있다.
또 다른 본 발명의 원료 콜로이드들은 서로 다른 콜로이드들을 상호 혼용하여 사용할 수 있다. 이 경우 하나의 용기 속에 혼용하여 단일 노즐을 통하여 분무될 수 있고 또한 별도의 용기에 분리시킨 후 별도의 노즐을 통하여 같은 가열챔버로 분무될 수 있다.
현재 다양한 콜로이드 및 분산 기술이 발전하여 금속나노입자, 합금나노입자, 형광체 분말, 반도체 분말, 산화물 분말, 나노로드, 나노와이어, 나노튜브 등이 다양하게 적용 될 수 있다.
따라서 본 발명을 통해 얻은 나노구조물은 나노입자, 나노로드, 나노와이어, 나노튜브, 나노쉬트 (nano sheet) 등의 액상 콜로이드 및 분산액을 기초로 하여 (a) 별도의 바인더 수지를 포함하지 않고, (b) 촉매를 사용하지 않으며, (c) 대부분 원료분말들이 기판 위에 직접 결합(화학결합) 되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
도 1은 본 발명에 따른 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법의 원리를 설명한 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치의 제1실시예에 대한 모식도이다.
도 3은 본 발명에 따른 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치의 제2실시예에 대한 모식도이다.
도 4는 본 발명의 장치와 방법을 사용하여 제조된 은 나노입자 증착막의 SEM사진이다.
도 5는 본 발명의 장치와 방법을 사용하여 제조된 탄소나노튜브 얇은 증착막의 SEM사진이다.
도 6은 본 발명의 장치와 방법을 사용하여 제조된 탄소나노튜브 두꺼운 증착막의 SEM사진이다.
도 7은 본 발명의 장치와 방법을 사용하여 제조된 그래핀 증착막의 SEM사진이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 미세노즐 20 : 가열챔버
30 : 분사노즐 40 : 기판
50 : 증착챔버 60 : 배기부
70 : 구동장치 80 : 원료저장챔버
90 : 마이크로튜브 100 : 가스공급장치

Claims (21)

  1. (a) 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 분무하는 단계;
    (b) 분무된 마이크로 액적을 가열하여 에어로졸이 형성되도록 하는 단계; 및
    (c) 상기 에어로졸을 분사하여 기판에 증착시키는 단계; 를 포함하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  2. 제1항에서,
    상기 원료분말은 나노입자임을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  3. 제1항에서,
    상기 원료분말은 나노튜브형 입자임을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  4. 제3항에서,
    상기 원료분말에는 나노파티클형 입자, 나노선형 입자, 나노로드형입자, 나 노벨트형 입자, 나노판형 입자 중 어느 하나 이상이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  5. 제1항에서,
    상기 원료분말은 탄소나노튜브임을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  6. 제5항에서,
    상기 탄소나노튜브는 불순물이 도핑된 것임을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  7. 제6항에서,
    상기 원료분말에는 나노입자가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  8. 제1항에서,
    상기 원료분말은 나노판(Nanosheet)임을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  9. 제1항에서,
    상기 원료분말은 그래핀임을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  10. 제9항에서,
    상기 그래핀은 불순물이 도핑된 것임을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  11. 제9항에서,
    상기 원료분말은 나노입자가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  12. 제1항에서,
    상기 (b)단계는 분무된 마이크로 액적을 가열존에 통과시킴으로써 시행함을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  13. 제1항에서,
    상기 (c)단계는 진공팽창 원리에 의한 에어로졸증착법에 의해 시행함을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  14. 제1항에서,
    상기 (c)단계는 펄스 진공팽창 원리에 의한 펄스 초음속 가속법에 의해 시행함을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  15. 제1항에서,
    상기 (c)단계는 고압 노즐 분사 원리에 의한 콜드스프레이법에 의해 시행함을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  16. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에서,
    상기 (c)단계는 에어로졸을 100~400m/sec의 속도로 분사, 증착시키는 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법.
  17. 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 분무하는 미세노즐;
    분무된 마이크로 액적을 수용하고 가열하여 에어로졸화시키는 가열챔버;
    가열챔버 내의 에어로졸을 분사하는 분사노즐; 및
    내부에 기판이 설치되어 있고, 배기부가 구비된 증착챔버; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치.
  18. 제17항에서,
    상기 증착챔버는 배기부가 더 구비된 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치.
  19. 제17항에서,
    상기 증착챔버 내부의 기판을 회전시키거나 상하좌우로 이동시킬 수 있는 구동장치; 를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치.
  20. 제17항에서,
    원료분말용액을 저장하는 원료저장챔버;
    상기 원료저장챔버와 가열챔버를 연결하며, 상기 가열챔버측 말단은 상기 미세노즐과 결합된 마이크로튜브; 및
    상기 원료저장챔버 내에 수송기체를 주입하여 원료분말용액을 액적화시키는 가스공급장치; 를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치.
  21. 제17항 내지 제20항 중 어느 한 항에서,
    상기 가열챔버는 상기 증착챔버 내에 구비된 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101281881B1 (ko) * 2011-07-12 2013-07-05 성균관대학교산학협력단 도핑한 그라파이트로 부터 그래핀의 전해증착하는 방법
KR20150118001A (ko) * 2014-04-10 2015-10-21 고려대학교 산학협력단 은-나노와이어 증착 장치 및 이의 제어 방법
KR20150136740A (ko) * 2014-05-28 2015-12-08 인제대학교 산학협력단 박막 제조 장치
KR20160073875A (ko) * 2014-12-17 2016-06-27 한국생산기술연구원 금속분말 제조방법 및 이의 제조장치
KR20180129450A (ko) * 2017-05-26 2018-12-05 인제대학교 산학협력단 마이크로파 및 네블라이저를 이용한 용액 공정 장치
CN113796945A (zh) * 2021-10-29 2021-12-17 苏州海宇新辰医疗科技有限公司 一种冷冻消融管

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2196846C2 (ru) 1995-11-13 2003-01-20 Дзе Юниверсити оф Коннектикут Наноструктурные сырьевые материалы для термического напыления
US6358567B2 (en) 1998-12-23 2002-03-19 The Regents Of The University Of California Colloidal spray method for low cost thin coating deposition
KR100691161B1 (ko) * 2005-05-12 2007-03-09 삼성전기주식회사 전계방출 에미터전극 제조방법

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101281881B1 (ko) * 2011-07-12 2013-07-05 성균관대학교산학협력단 도핑한 그라파이트로 부터 그래핀의 전해증착하는 방법
KR20150118001A (ko) * 2014-04-10 2015-10-21 고려대학교 산학협력단 은-나노와이어 증착 장치 및 이의 제어 방법
KR20150136740A (ko) * 2014-05-28 2015-12-08 인제대학교 산학협력단 박막 제조 장치
KR20160073875A (ko) * 2014-12-17 2016-06-27 한국생산기술연구원 금속분말 제조방법 및 이의 제조장치
KR20180129450A (ko) * 2017-05-26 2018-12-05 인제대학교 산학협력단 마이크로파 및 네블라이저를 이용한 용액 공정 장치
CN113796945A (zh) * 2021-10-29 2021-12-17 苏州海宇新辰医疗科技有限公司 一种冷冻消融管
CN113796945B (zh) * 2021-10-29 2023-08-18 苏州海宇新辰医疗科技有限公司 一种冷冻消融管

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