KR20100108621A - Radiation-sensitive composition for the formation of colored layers, color filters, and color liquid crystal displays - Google Patents
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Abstract
본 발명은 저노광량으로서도 적절한 순테이퍼 형상으로 잔막률이나 밀착성도 우수한 화소를 형성할 수 있는 착색층 형성용 감방사선성 조성물을 제공하는 것이다. 또한, (A) 착색제, (B) 알칼리 가용성 수지, (C) 다관능성 단량체, 및 (D) 광 중합 개시제를 함유하는 착색층 형성용 감방사선성 조성물로서, (C) 다관능성 단량체로서, 분자 내에 카프로락톤 구조와 2개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 화합물을 (B) 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대하여 100 내지 300 중량부 함유하는 것을 특징으로 하는 착색층 형성용 감방사선성 조성물에 관한 것이다.This invention provides the radiation sensitive composition for colored layer formation which can form the pixel excellent also in residual film rate and adhesiveness in a suitable taper shape as a low exposure amount. Moreover, as a radiation sensitive composition for colored layer formation containing (A) colorant, (B) alkali-soluble resin, (C) polyfunctional monomer, and (D) photoinitiator, (C) polyfunctional monomer is a molecule | numerator The radiation sensitive composition for colored layer formation containing 100-300 weight part of compounds which have a caprolactone structure and two or more polymerizable unsaturated bonds with respect to 100 weight part of (B) alkali-soluble resins is contained.
Description
본 발명은 착색층 형성용 감방사선성 조성물, 컬러 필터 및 컬러 액정 표시 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 투과형 또는 반사형의 컬러 액정 표시 장치, 컬러 촬상관 소자 등에 이용되는 컬러 필터에 유용한 착색층의 형성에 이용되는 감방사선성 조성물, 해당 감방사선성 조성물로부터 형성된 착색층을 갖는 컬러 필터, 및 해당 컬러 필터를 구비하는 컬러 액정 표시 소자에 관한 것이다.The present invention relates to a radiation-sensitive composition for forming a colored layer, a color filter, and a color liquid crystal display device, and more particularly, to a color layer useful for a color filter used in a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color image tube device, or the like. The radiation sensitive composition used for formation, the color filter which has a colored layer formed from this radiation sensitive composition, and the color liquid crystal display element provided with this color filter.
착색 감방사선성 조성물을 이용하여 컬러 필터를 형성하는 방법으로서, 기판 상 또는 미리 원하는 패턴의 차광층을 형성한 기판 상에, 착색 감방사선 조성물의 도막을 형성하고, 소정의 패턴을 갖는 포토마스크를 통해 방사선을 조사(이하, 「노광」이라고 함)하고, 현상하여 미노광부를 용해 제거하고, 그 후 후-베이킹함으로써, 각 색의 화소를 얻는 방법(예를 들면, 특허 문헌 1 및 2 참조)이 알려져 있다.A method of forming a color filter using a colored radiation-sensitive composition, wherein a coating film of a colored radiation-sensitive composition is formed on a substrate or on a substrate on which a light shielding layer having a desired pattern is formed in advance, and a photomask having a predetermined pattern is formed. A method of obtaining pixels of each color by irradiating radiation (hereinafter referred to as "exposure"), developing, dissolving and removing unexposed portions, and then post-baking (see Patent Documents 1 and 2, for example). This is known.
그리고, 최근 컬러 필터의 기술 분야에서는 노광량을 줄여 택트 타임을 단축하는 것이 주류로 되어 있는데 더하여, 컬러 액정 표시 소자에 대한 고 색순도화의 요구에 대응하기 위해, 착색 감방사선성 조성물 중에서 차지하는 안료의 함유 비율이 점점 더 높아지는 경향이 있다. 이와 같이 착색 감방사선성 조성물 중에서 차지하는 안료의 함유 비율이 높아짐과 동시에, 화소 패턴을 형성할 때의 노광량이 적어지면, 화소 패턴의 단면 형상이 역테이퍼(오버행)가 되는 경향이 있다. 그 결과, 화소 패턴 상에 형성되는 ITO 등의 투명 전극이 단선되어 버리는 문제가 현재화되고 있다.In recent years, in the technical field of color filters, it has become mainstream to reduce the exposure time and shorten the tact time. In addition, in order to meet the demand for high color purity for color liquid crystal display devices, the content of pigments in the colored radiation-sensitive composition is included. The ratio tends to be higher and higher. Thus, when the content rate of the pigment which occupies in a coloring radiation sensitive composition becomes high and the exposure amount at the time of forming a pixel pattern becomes small, there exists a tendency for the cross-sectional shape of a pixel pattern to become a reverse taper (overhang). As a result, the problem that the transparent electrode, such as ITO formed on a pixel pattern, disconnects is present.
화소 패턴의 단면 형상이 역테이퍼가 되는 문제에 대하여, 예를 들면 특허 문헌 3, 4에서는 연쇄 이동제를 함유시킨 조성물을 이용하는 것이 제안되어 있다. 그러나, 이러한 수법에서는 노광량이 적어지면, 잔막률이나 밀착성이 충분한 화소 패턴을 형성하는 것이 곤란하였다. 또한, 단면 형상이 순테이퍼라도, 그의 테이퍼각이 너무 완만하면, 화소 패턴의 경사 부분이 길어져 화소의 엣지에서 막 두께가 얇아지는 부분이 생겨, 원하는 색채가 재현될 수 없는 문제점도 일어나고 있다.For the problem that the cross-sectional shape of the pixel pattern becomes an inverse taper, for example, Patent Documents 3 and 4 propose using a composition containing a chain transfer agent. However, in such a technique, when the exposure amount decreases, it is difficult to form a pixel pattern with sufficient residual film rate and adhesion. In addition, even if the cross-sectional shape is a forward taper, if the taper angle is too slow, the inclined portion of the pixel pattern becomes long, resulting in a portion where the film thickness becomes thin at the edge of the pixel, resulting in a problem that the desired color cannot be reproduced.
또한, 컬러 필터의 양산 과정에서, 다양한 공정에서 발생하는 이물질이나 색 불균일 등이 검사 공정을 정체시켜 생산 효율을 저하시키는 문제도 현재화하고 있다.In addition, in the mass production process of color filters, foreign matters, color irregularities, and the like, which occur in various processes, stagnate the inspection process to reduce the production efficiency.
본 발명은 이상과 같은 사정에 기초하여 이루어진 것으로, 그의 과제는 저노광량으로서도 적절한 순테이퍼 형상으로 잔막률이나 밀착성도 우수한 화소를 형성할 수 있는 신규한 착색층 형성용 감방사선성 조성물을 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and its problem is to provide a novel radiation-sensitive composition for forming a colored layer which can form a pixel having excellent residual film ratio and adhesiveness in an appropriate forward taper shape even with a low exposure amount. Is in.
또한 본 발명의 목적은 상기 착색층 형성용 감방사선성 조성물로부터 형성된 화소를 구비하여 이루어지는 컬러 필터, 및 해당 컬러 필터를 구비하는 컬러 액정 표시 소자를 제공하는 데에 있다.Moreover, the objective of this invention is providing the color filter which comprises the pixel formed from the radiation sensitive composition for colored layer formation, and the color liquid crystal display element provided with this color filter.
이러한 실정을 감안하여 본 발명자들은 예의 연구를 행한 바, 다관능성 단량체로서, 분자 내에 카프로락톤 구조와 2개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 화합물을 특정량 함유하는 착색층 형성용 감방사선성 조성물이 상기 과제를 해결할 수 있음을 발견하여, 본 발명을 완성하였다.In view of such circumstances, the present inventors earnestly studied, and as a multifunctional monomer, the radiation-sensitive composition for forming a colored layer containing a specific amount of a compound having a caprolactone structure and two or more polymerizable unsaturated bonds in the molecule is described above. The present invention was found to be able to solve the problem.
즉, 본 발명은 (A) 착색제, (B) 알칼리 가용성 수지, (C) 다관능성 단량체, 및 (D) 광 중합 개시제를 함유하는 착색층 형성용 감방사선성 조성물로서, (C) 다관능성 단량체로서, 분자 내에 카프로락톤 구조와 2개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 화합물을 (B) 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대하여 100 내지 300 중량부 함유하는 것을 특징으로 하는 착색층 형성용 감방사선성 조성물을 제공하는 것이다.That is, this invention is a radiation sensitive composition for colored layer formation containing (A) coloring agent, (B) alkali-soluble resin, (C) polyfunctional monomer, and (D) photoinitiator, (C) polyfunctional monomer A radiation sensitive composition for forming a colored layer, comprising 100 to 300 parts by weight of a compound having a caprolactone structure and two or more polymerizable unsaturated bonds in a molecule (B) based on 100 parts by weight of an alkali-soluble resin. To provide.
또한, 본 발명은 상기 감방사선성 조성물을 이용하여 형성된 화소를 구비하여 이루어지는 컬러 필터, 및 상기 컬러 필터를 구비하는 컬러 액정 표시 소자도 제공하는 것이다.Moreover, this invention also provides the color filter which comprises the pixel formed using the said radiation sensitive composition, and the color liquid crystal display element provided with the said color filter.
본 발명의 감방사선성 조성물에 따르면, 노광량을 줄여 택트 타임을 단축하는데 더하여, 착색 감방사선성 조성물 중에서 차지하는 안료의 함유 비율이 높더라도, 적절한 순테이퍼 형상으로 잔막률이나 밀착성도 우수한 화소 패턴을 형성할 수 있다. 또한, 본 발명의 감방사선성 조성물에 따르면, 높은 생산 효율로 컬러 필터를 제조할 수 있다.According to the radiation-sensitive composition of the present invention, in addition to reducing the exposure amount to shorten the tact time, even if the content ratio of the pigment in the colored radiation-sensitive composition is high, an appropriate pure taper shape also forms a pixel pattern excellent in residual film ratio and adhesion. can do. Moreover, according to the radiation sensitive composition of this invention, a color filter can be manufactured with high production efficiency.
따라서, 본 발명의 감방사선성 조성물은 전자 공업 분야에서의 컬러 액정 표시 소자용 컬러 필터를 비롯하여, 컬러 촬상관 소자, 컬러 센서 등의 각종 용도의 컬러 필터의 제조에 매우 바람직하게 사용할 수 있다.Therefore, the radiation sensitive composition of this invention can be used very favorably for manufacture of the color filter of various uses, such as a color image sensor element, a color sensor, in addition to the color filter for color liquid crystal display elements in the electronic industry.
도 1은 화소 패턴의 단면 형상을 나타내는 모식도이다. 1 is a schematic diagram showing a cross-sectional shape of a pixel pattern.
착색층 형성용 감방사선성 조성물Radiation-sensitive composition for colored layer formation
본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 조성물(이하, 단순히 「감방사선성 조성물」이라는 경우가 있음)에 있어서의 「착색층」이란, 컬러 필터에 이용되는 화소 및/또는 블랙 매트릭스를 포함하는 층을 의미한다.The "colored layer" in the radiation sensitive composition for forming a colored layer of the present invention (hereinafter may be simply referred to as a "radiation sensitive composition") is a layer containing a pixel and / or a black matrix used for a color filter. Means.
이하, 본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 조성물의 구성 성분에 대해서 설명한다.Hereinafter, the structural component of the radiation sensitive composition for colored layer formation of this invention is demonstrated.
-(A) 착색제--(A) colorant-
본 발명에 있어서의 (A) 착색제로서는 특별히 한정되는 것은 아니고, 유기 안료, 무기 안료의 어느 것이어도 된다.It does not specifically limit as (A) coloring agent in this invention, Any of an organic pigment and an inorganic pigment may be sufficient.
유기 안료로서는, 예를 들면 컬러 인덱스(C.I.; The Society of Dyers and Colourists사 발행)에 있어서 피그먼트로 분류되어 있는 화합물, 구체적으로는 하기와 같은 컬러 인덱스(C.I.) 번호가 부여되어 있는 것을 들 수 있다.Examples of the organic pigments include compounds classified as pigments in color indices (issued by The Society of Dyers and Colorists, Inc.), and specifically those given the following color index (CI) numbers. have.
C.I. 피그먼트 옐로우 12, C.I. 피그먼트 옐로우 13, C.I. 피그먼트 옐로우14, C.I. 피그먼트 옐로우 17, C.I. 피그먼트 옐로우 20, C.I. 피그먼트 옐로우 24, C.I. 피그먼트 옐로우 31, C.I. 피그먼트 옐로우 55, C.I. 피그먼트 옐로우 83, C.I. 피그먼트 옐로우 93, C.I. 피그먼트 옐로우 109, C.I. 피그먼트 옐로우 110, C.I. 피그먼트 옐로우 138, C.I. 피그먼트 옐로우 139, C.I. 피그먼트 옐로우 150, C.I. 피그먼트 옐로우 153, C.I. 피그먼트 옐로우 154, C.I. 피그먼트 옐로우 155, C.I. 피그먼트 옐로우 166, C.I. 피그먼트 옐로우 168, C.I. 피그먼트 옐로우 211;C.I. Pigment Yellow 12, C.I. Pigment Yellow 13, C.I. Pigment Yellow 14, C.I. Pigment Yellow 17, C.I. Pigment Yellow 20, C.I. Pigment Yellow 24, C.I. Pigment Yellow 31, C.I. Pigment Yellow 55, C.I. Pigment Yellow 83, C.I. Pigment Yellow 93, C.I. Pigment Yellow 109, C.I. Pigment Yellow 110, C.I. Pigment Yellow 138, C.I. Pigment Yellow 139, C.I. Pigment Yellow 150, C.I. Pigment Yellow 153, C.I. Pigment Yellow 154, C.I. Pigment Yellow 155, C.I. Pigment Yellow 166, C.I. Pigment Yellow 168, C.I. Pigment yellow 211;
C.I. 피그먼트 오렌지 5, C.I. 피그먼트 오렌지 13, C.I. 피그먼트 오렌지 14, C.I. 피그먼트 오렌지 24, C.I. 피그먼트 오렌지 34, C.I. 피그먼트 오렌지 36, C.I. 피그먼트 오렌지 38, C.I. 피그먼트 오렌지 40, C.I. 피그먼트 오렌지 43, C.I. 피그먼트 오렌지 46, C.I. 피그먼트 오렌지 49, C.I. 피그먼트 오렌지 61, C.I. 피그먼트 오렌지 64, C.I. 피그먼트 오렌지 68, C.I. 피그먼트 오렌지 70, C.I. 피그먼트 오렌지 71, C.I. 피그먼트 오렌지 72, C.I. 피그먼트 오렌지 73, C.I. 피그먼트 오렌지 74;C.I. Pigment Orange 5, C.I. Pigment Orange 13, C.I. Pigment Orange 14, C.I. Pigment Orange 24, C.I. Pigment Orange 34, C.I. Pigment Orange 36, C.I. Pigment Orange 38, C.I. Pigment Orange 40, C.I. Pigment Orange 43, C.I. Pigment Orange 46, C.I. Pigment Orange 49, C.I. Pigment Orange 61, C.I. Pigment Orange 64, C.I. Pigment Orange 68, C.I. Pigment Orange 70, C.I. Pigment Orange 71, C.I. Pigment Orange 72, C.I. Pigment Orange 73, C.I. Pigment orange 74;
C.I. 피그먼트 레드 1, C.I. 피그먼트 레드 2, C.I. 피그먼트 레드 5, C.I. 피그먼트 레드 17, C.I. 피그먼트 레드 31, C.I. 피그먼트 레드 32, C.I. 피그먼트 레드 41, C.I. 피그먼트 레드 122, C.I. 피그먼트 레드 123, C.I. 피그먼트 레드 144, C.I. 피그먼트 레드 149, C.I. 피그먼트 레드 166, C.I. 피그먼트 레드 168, C.I. 피그먼트 레드 170, C.I. 피그먼트 레드 171, C.I. 피그먼트 레드 175, C.I. 피그먼트 레드 176, C.I. 피그먼트 레드 177, C.I. 피그먼트 레드 178, C.I. 피그먼트 레드 179, C.I. 피그먼트 레드 180, C.I. 피그먼트 레드 185, C.I. 피그먼트 레드 187, C.I. 피그먼트 레드 202, C.I. 피그먼트 레드 206, C.I. 피그먼트 레드 207, C.I. 피그먼트 레드 209, C.I. 피그먼트 레드 214, C.I. 피그먼트 레드 220, C.I. 피그먼트 레드 221, C.I. 피그먼트 레드 224, C.I. 피그먼트 레드 242, C.I. 피그먼트 레드 243, C.I. 피그먼트 레드 254, C.I. 피그먼트 레드 255, C.I. 피그먼트 레드 262, C.I. 피그먼트 레드 264, C.I. 피그먼트 레드 272;C.I. Pigment Red 1, C.I. Pigment Red 2, C.I. Pigment Red 5, C.I. Pigment Red 17, C.I. Pigment Red 31, C.I. Pigment Red 32, C.I. Pigment Red 41, C.I. Pigment Red 122, C.I. Pigment Red 123, C.I. Pigment Red 144, C.I. Pigment Red 149, C.I. Pigment Red 166, C.I. Pigment Red 168, C.I. Pigment Red 170, C.I. Pigment Red 171, C.I. Pigment Red 175, C.I. Pigment Red 176, C.I. Pigment Red 177, C.I. Pigment Red 178, C.I. Pigment Red 179, C.I. Pigment Red 180, C.I. Pigment Red 185, C.I. Pigment Red 187, C.I. Pigment Red 202, C.I. Pigment Red 206, C.I. Pigment Red 207, C.I. Pigment Red 209, C.I. Pigment Red 214, C.I. Pigment Red 220, C.I. Pigment Red 221, C.I. Pigment Red 224, C.I. Pigment Red 242, C.I. Pigment Red 243, C.I. Pigment Red 254, C.I. Pigment Red 255, C.I. Pigment Red 262, C.I. Pigment Red 264, C.I. Pigment red 272;
C.I. 피그먼트 바이올렛 1, C.I. 피그먼트 바이올렛 19, C.I. 피그먼트 바이올렛 23, C.I. 피그먼트 바이올렛 29, C.I. 피그먼트 바이올렛 32, C.I. 피그먼트 바이올렛 36, C.I. 피그먼트 바이올렛 38;C.I. Pigment Violet 1, C.I. Pigment Violet 19, C.I. Pigment Violet 23, C.I. Pigment Violet 29, C.I. Pigment violet 32, C.I. Pigment Violet 36, C.I. Pigment violet 38;
C.I. 피그먼트 블루 15, C.I. 피그먼트 블루 15:3, C.I. 피그먼트 블루 15:4, C.I. 피그먼트 블루 15:6, C.I. 피그먼트 블루 60, C.I. 피그먼트 블루 80;C.I. Pigment Blue 15, C.I. Pigment Blue 15: 3, C.I. Pigment Blue 15: 4, C.I. Pigment Blue 15: 6, C.I. Pigment Blue 60, C.I. Pigment blue 80;
C.I. 피그먼트 그린 7, C.I. 피그먼트 그린 36, C.I. 피그먼트 그린 58;C.I. Pigment Green 7, C.I. Pigment Green 36, C.I. Pigment green 58;
C.I. 피그먼트 브라운 23, C.I. 피그먼트 브라운 25;C.I. Pigment Brown 23, C.I. Pigment brown 25;
C.I. 피그먼트 블랙 1, C.I. 피그먼트 블랙 7.C.I. Pigment Black 1, C.I. Pigment Black 7.
본 발명에 있어서, 유기 안료는 재결정법, 재침전법, 용제 세정법, 승화법, 진공 가열법이나, 이들의 조합에 의해 정제하여 사용할 수도 있다.In the present invention, the organic pigment may be purified by recrystallization, reprecipitation, solvent washing, sublimation, vacuum heating, or a combination thereof.
또한, 상기 무기 안료로서는, 예를 들면 산화티탄, 황산바륨, 탄산칼슘, 산화아연, 황산납, 황색납, 아연황, 벵갈라(적색 산화철(III)), 카드뮴적, 군청, 감청, 산화크롬녹, 코발트녹, 앰버, 티탄 블랙, 합성 철흑, 카본 블랙 등을 들 수 있다.Examples of the inorganic pigment include titanium oxide, barium sulfate, calcium carbonate, zinc oxide, lead sulfate, yellow lead, zinc sulfur, bengal (red iron oxide (III)), cadmium, ultramarine blue, royal blue, and chromium oxide. And cobalt rust, amber, titanium black, synthetic iron black, carbon black and the like.
이들 착색제는 원한다면, 그의 입자 표면을 중합체로 개질하여 사용할 수도 있다. 안료의 입자 표면을 개질하는 중합체로서는, 예를 들면 일본 특허 공개 (평)8-259876호 공보에 기재된 중합체나, 시판되고 있는 각종 안료 분산용의 중합체 또는 올리고머 등을 들 수 있다. 카본 블랙 표면의 중합체 피복 방법에 대해서는, 예를 들면 일본 특허 공개 (평)9-71733호 공보, 일본 특허 공개 (평)9-95625호 공보, 일본 특허 공개 (평)9-124969호 공보 등에 개시되어 있다.These colorants may be used by modifying their particle surface with a polymer, if desired. As a polymer which modifies the particle surface of a pigment, the polymer of Unexamined-Japanese-Patent No. 8-259876, the polymer for various pigment dispersions, and oligomer etc. which are marketed are mentioned, for example. About the polymer coating method of the carbon black surface, it is disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 9-71733, Unexamined-Japanese-Patent No. 9-95625, Unexamined-Japanese-Patent No. 9-124969, etc., for example. It is.
상기 착색제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The said coloring agent can be used individually or in mixture of 2 or more types.
본 발명의 감방사선성 조성물을 화소의 형성에 이용하는 경우, 화소에는 고정밀한 발색과 내열성이 요구되는 점에서, (A) 착색제로서는 발색성이 높고 내열성이 높은 착색제, 특히 내열 분해성이 높은 착색제가 바람직하고, 구체적으로는 유기 착색제가 바람직하고, 특히 유기 안료가 바람직하게 이용된다.In the case where the radiation-sensitive composition of the present invention is used for formation of a pixel, since the pixel requires high color development and heat resistance, the (A) colorant is preferably a colorant having high color development and high heat resistance, particularly a colorant having high thermal decomposition resistance. Specifically, an organic colorant is preferable, and an organic pigment is especially used preferably.
한편, 본 발명의 감방사선성 조성물을 블랙 매트릭스의 형성에 이용하는 경우, 블랙 매트릭스에는 차광성이 요구되는 점에서, (A) 착색제로서는 유기 안료 또는 카본 블랙이 바람직하게 이용된다.On the other hand, when the radiation sensitive composition of this invention is used for formation of a black matrix, since a light shielding property is calculated | required by a black matrix, organic pigment or carbon black is used suitably as (A) coloring agent.
본 발명의 감방사선성 조성물은 착색제의 함유량이 감방사선성 조성물의 전 고형분 중 30 중량% 이상이 되는 경우라도, 적절한 순테이퍼 형상이며 잔막률이나 밀착성도 우수한 화소를 형성할 수 있다. 또한, 본 발명에 있어서, 착색제의 함유량은 현상성을 확보하는 관점에서, 감방사선성 조성물의 전 고형분 중, 바람직하게는 70 중량% 이하, 특히 바람직하게는 60 중량% 이하이다. 여기서, 고형분이란, 후술하는 용매 이외의 성분이다.The radiation sensitive composition of the present invention can form a pixel having an appropriate forward taper shape and excellent residual film ratio and adhesion even when the content of the colorant is 30% by weight or more in the total solid of the radiation sensitive composition. In addition, in this invention, content of a coloring agent is 70 weight% or less in total solids of a radiation sensitive composition from a viewpoint of ensuring developability, Preferably it is 60 weight% or less. Here, solid content is components other than the solvent mentioned later.
본 발명에 있어서의 착색제는 원한다면, 분산제, 분산 보조제와 함께 사용할 수 있다.The coloring agent in this invention can be used together with a dispersing agent and a dispersal auxiliary agent if desired.
상기 분산제로서는, 예를 들면 양이온계, 음이온계, 비이온계나 양쪽성 등의 적절한 분산제를 사용할 수 있지만, 중합체 분산제가 바람직하다. 구체적으로는 변성 아크릴계 공중합체, 아크릴계 공중합체, 폴리우레탄, 폴리에스테르, 고분자 공중합체의 알킬암모늄염 또는 인산에스테르염, 양이온성 빗형 그래프트 중합체 등을 들 수 있다. 여기서, 양이온성 빗형 그래프트 중합체란, 복수의 염기성 기(양이온성의 관능기)를 갖는 줄기 중합체 1분자에, 2분자 이상의 가지 중합체가 그래프트 결합한 구조의 중합체를 말하며, 예를 들면 줄기 중합체부가 폴리에틸렌이민, 가지 중합체부가 ε-카프로락톤인 개환 중합체로 구성되는 중합체를 들 수 있다. 이들 분산제 중에서, 변성 아크릴계 공중합체, 폴리우레탄, 양이온성 빗형 그래프트 중합체가 바람직하다.As the dispersant, suitable dispersants such as cationic, anionic, nonionic, amphoteric and the like can be used, but a polymer dispersant is preferable. Specifically, a modified acrylic copolymer, acrylic copolymer, polyurethane, polyester, alkylammonium salt or phosphate ester salt of a high molecular copolymer, cationic comb graft polymer, etc. are mentioned. Here, the cationic comb graft polymer refers to a polymer having a structure in which two or more branch polymers are graft-bonded to one molecule of a stem polymer having a plurality of basic groups (cationic functional groups), and for example, the stem polymer moiety is polyethylenimine or eggplant. The polymer comprised from the ring-opening polymer whose polymer part is epsilon -caprolactone is mentioned. Of these dispersants, modified acrylic copolymers, polyurethanes, and cationic comb graft polymers are preferred.
이러한 분산제는 상업적으로 입수할 수 있고, 예를 들면 변성 아크릴계 공중합체로서, Disperbyk-2000, Disperbyk-2001, BYK-LPN6919, BYK-LPN21116(이상, 빅케미(BYK)사 제조), 폴리우레탄으로서, Disperbyk-161, Disperbyk-162, Disperbyk-165, Disperbyk-167, Disperbyk-170, Disperbyk-182(이상, 빅케미(BYK)사 제조), 솔스퍼스 76500(루브리졸(주) 제조), 양이온성 빗형 그래프트 중합체로서, 솔스퍼스 24000(루브리졸(주) 제조), 아지스퍼 PB821, 아지스퍼 PB822(아지노모또 파인테크노(주) 제조) 등을 들 수 있다.Such dispersants are commercially available, for example, as modified acrylic copolymers, such as Disperbyk-2000, Disperbyk-2001, BYK-LPN6919, BYK-LPN21116 (above, manufactured by BYK), and polyurethanes. Disperbyk-161, Disperbyk-162, Disperbyk-165, Disperbyk-167, Disperbyk-170, Disperbyk-182 (above, manufactured by BYK Corporation), Solsperth 76500 (manufactured by Lubrizol Co., Ltd.), cationic Examples of the comb graft polymer include Solsper 24000 (manufactured by Lubrizol Co., Ltd.), Azisper PB821, and Ajisper PB822 (manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.).
이들 분산제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 분산제의 함유량은 현상성 등을 양호하게 하는 점에서, (A) 착색제 100 중량부에 대하여, 통상 100 중량부 이하, 바람직하게는 0.5 내지 100 중량부, 더욱 바람직하게는 1 내지 70 중량부, 특히 바람직하게는 10 내지 50 중량부이다.These dispersants can be used individually or in mixture of 2 or more types. Since content of a dispersing agent improves developability etc., it is 100 weight part or less normally with respect to 100 weight part of (A) coloring agents, Preferably it is 0.5-100 weight part, More preferably, it is 1-70 weight part, Especially Preferably it is 10-50 weight part.
상기 분산 보조제로서는, 예를 들면 청색 안료 유도체, 황색 안료 유도체 등을 들 수 있고, 구체적으로는, 예를 들면 구리 프탈로시아닌 유도체 등을 들 수 있다.As said dispersing adjuvant, a blue pigment derivative, a yellow pigment derivative, etc. are mentioned, for example, Specifically, a copper phthalocyanine derivative etc. are mentioned, for example.
-(B) 알칼리 가용성 수지--(B) alkali-soluble resin-
본 발명의 감방사선성 조성물에 함유되는 (B) 알칼리 가용성 수지는 착색층을 형성할 때의 현상 처리 공정에서 이용되는 알칼리 현상액에 대하여 가용성을 갖는 것이면, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 통상 카르복실기, 페놀성 수산기 등의 산성 관능기를 갖는 중합체이다. 그 중에서도, 카르복실기를 갖는 중합체를 함유하는 것이 바람직하고, 특히 1개 이상의 카르복실기를 갖는 에틸렌성 불포화 단량체(이하, 「카르복실기 함유 불포화 단량체」라고 함)와 다른 공중합 가능한 에틸렌성 불포화 단량체(이하, 「공중합성 불포화 단량체」라고 함)와의 공중합체(이하, 「카르복실기 함유 공중합체」라고 함)가 바람직하다. 또한, 본원 명세서에 있어서, (메트)아크릴산이란 메타크릴산 또는 아크릴산을 나타낸다.The alkali-soluble resin (B) contained in the radiation-sensitive composition of the present invention is not particularly limited as long as it has solubility with respect to the alkaline developer used in the development step in forming the colored layer, but is usually carboxyl group or phenolic. It is a polymer which has acidic functional groups, such as a hydroxyl group. Especially, it is preferable to contain the polymer which has a carboxyl group, and especially the ethylenically unsaturated monomer which can copolymerize another ethylenically unsaturated monomer (henceforth "carboxyl group-containing unsaturated monomer") which has one or more carboxyl groups (henceforth "in air" And a copolymer (hereinafter referred to as "carboxyl group-containing copolymer") are preferred. In addition, in this specification, (meth) acrylic acid represents methacrylic acid or acrylic acid.
카르복실기 함유 불포화 단량체로서는, 예를 들면As a carboxyl group-containing unsaturated monomer, for example
(메트)아크릴산, 크로톤산, α-클로로아크릴산, 신남산과 같은 불포화 모노카르복실산;Unsaturated monocarboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid and cinnamic acid;
말레산, 무수 말레산, 푸마르산, 이타콘산, 무수 이타콘산, 시트라콘산, 무수 시트라콘산, 메사콘산과 같은 불포화 디카르복실산 또는 그의 무수물;Unsaturated dicarboxylic acids or anhydrides thereof such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid;
숙신산모노〔2-(메트)아크릴로일옥시에틸〕, 프탈산모노〔2-(메트)아크릴로일옥시에틸〕과 같은 2가 이상의 다가 카르복실산의 모노〔(메트)아크릴로일옥시알킬〕에스테르;Mono ((meth) acryloyloxyalkyl] of a divalent or higher polyhydric carboxylic acid such as monosuccinic acid [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] ester;
ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트와 같은 양쪽 말단에 카르복시기와 수산기를 갖는 중합체의 모노(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.and mono (meth) acrylates of polymers having a carboxyl group and a hydroxyl group at both ends, such as? -carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.
본 발명에 있어서, 카르복실기 함유 불포화 단량체로서는 (메트)아크릴산, 숙신산모노〔2-(메트)아크릴로일옥시에틸〕, ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트 등이 바람직하고, 특히(메트)아크릴산이 바람직하다.In the present invention, as the carboxyl group-containing unsaturated monomer, (meth) acrylic acid, monosuccinic acid [2- (meth) acryloyloxyethyl],? -Carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, and the like are preferable, and in particular (meth) Acrylic acid is preferred.
이들 카르복실기 함유 불포화 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.These carboxyl group-containing unsaturated monomers can be used individually or in mixture of 2 or more types.
또한, 공중합성 불포화 단량체로서는, 예를 들면As the copolymerizable unsaturated monomer, for example,
N-페닐말레이미드, N-o-히드록시페닐말레이미드, N-m-히드록시페닐말레이미드, N-p-히드록시페닐말레이미드, N-벤질말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-숙신이미딜-3-말레이미드벤조에이트, N-숙신이미딜-4-말레이미드부티레이트, N-숙신이미딜-6-말레이미드카프로에이트, N-숙신이미딜-3-말레이미드프로피오네이트, N-(아크리디닐)말레이미드와 같은 N-위치 치환 말레이미드;N-phenylmaleimide, No-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-succinimidyl-3 -Maleimidebenzoate, N-succinimidyl-4-maleimidebutyrate, N-succinimidyl-6-maleimide caproate, N-succinimidyl-3-maleimide propionate, N- (acridy N-position substituted maleimide, such as nil) maleimide;
스티렌, α-메틸스티렌, o-비닐톨루엔, m-비닐톨루엔, p-비닐톨루엔, p-클로로스티렌, o-메톡시스티렌, m-메톡시스티렌, p-메톡시스티렌, o-비닐페놀, m-비닐페놀, p-비닐페놀, p-히드록시-α-메틸스티렌, o-비닐벤질메틸에테르, m-비닐벤질메틸에테르, p-비닐벤질메틸에테르, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르와 같은 방향족 비닐 화합물;Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylphenol, m-vinylphenol, p-vinylphenol, p-hydroxy-α-methylstyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m-vinylbenzylmethyl ether, p-vinylbenzylmethyl ether, o-vinylbenzyl glycidyl ether, aromatic vinyl compounds such as m-vinylbenzyl glycidyl ether and p-vinyl benzyl glycidyl ether;
인덴, 1-메틸인덴과 같은 인덴류;Indenes such as indene and 1-methylindene;
메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, n-프로필(메트)아크릴레이트, i-프로필(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, i-부틸(메트)아크릴레이트, sec-부틸(메트)아크릴레이트, t-부틸(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 3-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 3-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 시클로헥실(메트)아크릴레이트, 페닐(메트)아크릴레이트, 2-메톡시에틸(메트)아크릴레이트, 2-페녹시에틸(메트)아크릴레이트, 메톡시디에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 메톡시디프로필렌글리콜(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 4-히드록시페닐(메트)아크릴레이트, 파라쿠밀페놀의 에틸렌옥사이드 변성 (메트)아크릴레이트와 같은 불포화 카르복실산에스테르;Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate , Benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol ( Meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropyl Lenglycol (meth) acrylate, methoxydipropylene glycol (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl (meth) acrylate, 2- Unsaturated carboxyl such as hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, ethylene oxide modified (meth) acrylate of paracumylphenol Acid esters;
글리시딜(메트)아크릴레이트와 같은 불포화 카르복실산글리시딜에스테르;Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate;
아세트산비닐, 프로피온산비닐, 부티르산비닐, 벤조산비닐과 같은 카르복실산비닐에스테르;Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate;
비닐메틸에테르, 비닐에틸에테르, 알릴글리시딜에테르와 같은 다른 불포화 에테르;Other unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, allyl glycidyl ether;
(메트)아크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴, 시안화비닐리덴과 같은 시안화비닐 화합물;Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile and vinylidene cyanide;
(메트)아크릴아미드, α-클로로아크릴아미드, N-2-히드록시에틸(메트)아크릴아미드와 같은 불포화 아미드;Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
1,3-부타디엔, 이소프렌, 클로로프렌과 같은 지방족 공액 디엔;Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene and chloroprene;
폴리스티렌, 폴리메틸(메트)아크릴레이트, 폴리-n-부틸(메트)아크릴레이트, 폴리실록산과 같은 중합체 분자쇄의 말단에 모노(메트)아크릴로일기를 갖는 거대 단량체 등을 들 수 있다.And macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the ends of polymer molecular chains such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, and polysiloxane.
이들 공중합성 불포화 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.These copolymerizable unsaturated monomers can be used individually or in mixture of 2 or more types.
본 발명에 있어서, 공중합성 불포화 단량체로서는 N-위치 치환 말레이미드, 방향족 비닐 화합물, 불포화 카르복실산에스테르, 및 중합체 분자쇄의 말단에 모노(메트)아크릴로일기를 갖는 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상을 함유하는 것이 바람직하고, 또한 N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, 스티렌, α-메틸스티렌, p-히드록시-α-메틸스티렌, 메틸(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 알릴(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 4-히드록시페닐(메트)아크릴레이트, 파라쿠밀페놀의 에틸렌옥사이드 변성 (메트)아크릴레이트, 폴리스티렌 거대 단량체, 폴리메틸메타크릴레이트 거대 단량체로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상을 함유하는 것이 바람직하고, 특히 N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, 스티렌, α-메틸스티렌, 메틸(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 글리세롤모노(메트)아크릴레이트, 및 파라쿠밀페놀의 에틸렌옥사이드 변성 (메트)아크릴레이트로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상을 함유하는 것이 바람직하다.In the present invention, the copolymerizable unsaturated monomer is selected from the group consisting of an N-position substituted maleimide, an aromatic vinyl compound, an unsaturated carboxylic acid ester, and a macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the terminal of the polymer molecular chain. It is preferable to contain 1 or more types, N-phenylmaleimide, N-cyclohexyl maleimide, styrene, (alpha) -methylstyrene, p-hydroxy- (alpha) -methylstyrene, methyl (meth) acrylate, n -Butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate , 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, group consisting of ethylene oxide modified (meth) acrylate of paracumylphenol, polystyrene macromonomer, polymethyl methacrylate macromonomer It is preferable to contain 1 or more types selected from these, Especially N-phenylmaleimide, N-cyclohexyl maleimide, styrene, (alpha) -methylstyrene, methyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, Containing at least one member selected from the group consisting of 2-ethylhexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, and ethylene oxide modified (meth) acrylate of paracumylphenol It is preferable.
본 발명에 있어서는, 예를 들면 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트 등의 히드록실기를 갖는 공중합성 불포화 단량체를 공중합한 알칼리 가용성 수지에, 2-(메트)아크릴로일옥시에틸이소시아네이트 등의 불포화 이소시아네이트 화합물을 반응시킴으로써, 알칼리 가용성 수지의 측쇄에 중합성 불포화 결합을 도입할 수 있다.In the present invention, for example, 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate is used in alkali-soluble resin obtained by copolymerizing a copolymerizable unsaturated monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate. By reacting an unsaturated isocyanate compound, a polymerizable unsaturated bond can be introduced into the side chain of alkali-soluble resin.
카르복실기 함유 공중합체에 있어서, 카르복실기 함유 불포화 단량체의 공중합 비율은, 바람직하게는 5 내지 50 중량%, 더욱 바람직하게는 10 내지 40 중량%이다. 이 공중합 비율이 너무 적으면, 얻어지는 감방사선성 조성물의 알칼리 현상액에 대한 용해성이 저하되는 경향이 있고, 한편 너무 많으면, 알칼리 현상액에 대한 용해성이 과대해져, 알칼리 현상액에 의해 현상할 때에, 화소의 기판으로부터의 탈락이나 화소 표면의 막 거칠음을 초래하기 쉬워지는 경향이 있다.In the carboxyl group-containing copolymer, the copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer is preferably 5 to 50% by weight, more preferably 10 to 40% by weight. If the copolymerization ratio is too small, the solubility of the resulting radiation-sensitive composition in the alkali developer tends to decrease. On the other hand, when the copolymerization ratio is too high, the solubility in the alkaline developer becomes excessive, and when developing with the alkali developer, the substrate of the pixel It tends to be easy to cause dropout from the film or roughness of the pixel surface.
본 발명에 있어서의 알칼리 가용성 수지의 겔 투과 크로마토그래피(GPC, 용출 용매: 테트라히드로푸란)로 측정한 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량(이하, 「Mw」라고도 함)은, 통상 1,000 내지 45,000, 바람직하게는 3,000 내지 20,000이다. Mw가 너무 작으면, 얻어지는 피막의 잔막률 등이 저하되거나, 패턴 형상, 내열성 등이 손상되거나, 또한 전기 특성이 악화될 우려가 있고, 한편 너무 크면, 해상도가 저하되거나, 패턴 형상이 손상되거나, 또한 슬릿 노즐 방식에 의한 도포시에 건조 이물질이 발생하기 쉬워질 우려가 있다.The polystyrene reduced weight average molecular weight (hereinafter also referred to as "Mw") measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is usually 1,000 to 45,000, preferably 3,000 to 20,000. If Mw is too small, the remaining film ratio or the like of the resulting film may be lowered, the pattern shape, heat resistance, or the like may be impaired, or the electrical characteristics may be deteriorated. If the Mw is too large, the resolution is reduced or the pattern shape is damaged, Moreover, there exists a possibility that a dry foreign material may arise easily at the time of application | coating by a slit nozzle system.
또한, 본 발명에 있어서의 알칼리 가용성 수지의 겔 투과 크로마토그래피(GPC, 용출 용매: 테트라히드로푸란)로 측정한 폴리스티렌 환산 수 평균 분자량(이하, 「Mn」이라고도 함)은, 통상 1,000 내지 45,000, 바람직하게는 3,000 내지 20,000이다.In addition, the polystyrene reduced number average molecular weight (henceforth "Mn") measured by the gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of alkali-soluble resin in this invention is 1,000-45,000 normally, Preferably Preferably 3,000 to 20,000.
또한, 본 발명에 있어서의 알칼리 가용성 수지의 Mw와 Mn의 비(Mw/Mn)는 바람직하게는 1.0 내지 5.0, 보다 바람직하게는 1.0 내지 4.0이다.Moreover, ratio (Mw / Mn) of Mw and Mn of alkali-soluble resin in this invention becomes like this. Preferably it is 1.0-5.0, More preferably, it is 1.0-4.0.
본 발명에 있어서의 알칼리 가용성 수지는 공지된 방법에 의해 제조할 수 있지만, 예를 들면 일본 특허 공개 제2003-222717호 공보, 일본 특허 공개 제2006-259680호 공보, 국제 공개 제07/029871호 공보 등에 개시되어 있는 방법에 의해, 그의 구조나 Mw, Mw/Mn을 제어할 수도 있다.Although alkali-soluble resin in this invention can be manufactured by a well-known method, For example, Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-222717, Unexamined-Japanese-Patent No. 2006-259680, International Publication No. 07/029871. The structure, Mw, and Mw / Mn can also be controlled by the method disclosed in these.
본 발명에 있어서, 알칼리 가용성 수지는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.In this invention, alkali-soluble resin can be used individually or in mixture of 2 or more types.
본 발명에 있어서, (B) 알칼리 가용성 수지의 함유량은 (A) 착색제 100 질량부에 대하여, 통상 10 내지 1,000 질량부가 바람직하고, 특히 20 내지 500 질량부가 바람직하다. 알칼리 가용성 수지의 함유량이 너무 적으면, 예를 들면 알칼리 현상성이 저하되거나, 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 잔사나 바탕 오염이 발생할 우려가 있고, 한편 너무 많으면, 상대적으로 착색제 농도가 저하되기 때문에, 박막으로서 목적으로 하는 색 농도를 달성하는 것이 곤란해질 우려가 있다.In this invention, 10-1,000 mass parts is preferable normally with respect to 100 mass parts of (A) coloring agents, and, as for content of (B) alkali-soluble resin, 20-500 mass parts is especially preferable. If the content of the alkali-soluble resin is too small, for example, alkali developability may decrease, or residues or ground contamination may occur on the substrate or the light shielding layer of the unexposed portion, and when too large, the colorant concentration decreases relatively. Therefore, it is difficult to achieve the target color density as a thin film.
-(C) 다관능성 단량체--(C) polyfunctional monomer-
본 발명에 있어서의 다관능성 단량체는 2개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 단량체를 포함하고, 분자 내에 카프로락톤 구조와 2개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 화합물(이하, 「카프로락톤 구조 함유 다관능성 단량체」라고 하는 경우가 있음)을 (B) 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대하여 100 내지 300 중량부, 바람직하게는 100 내지 250 중량부 함유하는 것이다. 카프로락톤 변성 다관능성 단량체의 함유량이 100 중량부 미만이면, 원하는 효과가 손상될 우려가 있고, 한편 300 중량부를 초과하면, 기판에 대한 밀착성이 저하될 우려가 있다.The polyfunctional monomer in this invention contains the monomer which has a 2 or more polymerizable unsaturated bond, and has a caprolactone structure and 2 or more polymerizable unsaturated bonds in a molecule ("caprolactone structure containing polyfunctional monomer" May be 100 to 300 parts by weight, and preferably 100 to 250 parts by weight based on 100 parts by weight of the (B) alkali-soluble resin. If content of a caprolactone modified polyfunctional monomer is less than 100 weight part, there exists a possibility that a desired effect may be impaired, and when it exceeds 300 weight part, there exists a possibility that adhesiveness to a board | substrate may fall.
카프로락톤 구조 함유 다관능성 단량체로서는, 예를 들면 트리메틸올에탄, 디트리메틸올에탄, 트리메틸올프로판, 디트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨, 트리펜타에리트리톨, 글리세린, 디글리세롤, 트리메틸올멜라민 등의 다가 알코올과, (메트)아크릴산 및 ε-카프로락톤을 에스테르화함으로써 얻어지는 ε-카프로락톤 구조 함유 다관능 (메트)아크릴레이트를 들 수 있다. 그 중에서도 하기 화학식 1로 표시되는 카프로락톤 구조 함유 다관능성 단량체가 저노광량으로서도 적절한 순테이퍼 형상의 화소를 형성할 수 있는 관점에서 바람직하다.Examples of caprolactone structure-containing polyfunctional monomers include trimethylol ethane, ditrimethylol ethane, trimethylol propane, ditrimethylol propane, pentaerythritol, dipentaerythritol, tripentaerythritol, glycerin, diglycerol, and trimethyl. (Epsilon) -caprolactone structure containing polyfunctional (meth) acrylate obtained by esterifying polyhydric alcohols, such as olmelamine, and (meth) acrylic acid and (epsilon) -caprolactone. Especially, the caprolactone structure containing polyfunctional monomer represented by following General formula (1) is preferable at the point which can form the pixel of an appropriate forward taper shape also as a low exposure amount.
(화학식 중, 6개의 R은 모두가 하기 화학식 2로 표시되는 기이거나, 또는 6개의 R 중 1 내지 5개가 하기 화학식 2로 표시되는 기이고, 나머지가 하기 화학식 3으로 표시되는 기임)(In the formula, all 6 R is a group represented by the following formula (2), or 1 to 5 of the six R is a group represented by the formula (2), the rest is a group represented by the formula (3)
(화학식 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, m은 1 또는 2의 수를 나타내고, 「*」는 결합손인 것을 나타냄)(In formula, R <1> represents a hydrogen atom or a methyl group, m represents the number of 1 or 2, and it shows that "*" is a bond.)
(화학식 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, 「*」는 결합손인 것을 나타냄)(In formula, R <1> represents a hydrogen atom or a methyl group, and it shows that "*" is a bond.)
상기 화학식 1로 표시되는 화합물 중, 화학식 2로 표시되는 기가 2개 이상인 것이 바람직하고, 3개 이상인 것이 보다 바람직하고, 6개인 화합물이 특히 바람직하다.It is preferable that the group represented by Formula (2) is two or more among the compound represented by the said Formula (1), It is more preferable that it is three or more, The compound of six is especially preferable.
이러한 카프로락톤 구조 함유 다관능성 단량체는, 예를 들면 닛본 가야꾸(주)로부터 KAYARAD DPCA 시리즈로서 시판되어 있고, DPCA-20(상기 화학식 1 내지 3에 있어서 m=1, 화학식 2로 표시되는 기의 수=2, R1이 전부 수소 원자인 화합물), DPCA-30(상기 화학식 1 내지 3, m=1, 화학식 2로 표시되는 기의 수=3, R1이 전부 수소 원자인 화합물), DPCA-60(상기 화학식 1 내지 3, m=1, 화학식 2로 표시되는 기의 수=6, R1이 전부 수소 원자인 화합물), DPCA-120(상기 화학식 1 내지 3에 있어서 m=2, 화학식 2로 표시되는 기의 수=6, R1이 전부 수소 원자인 화합물) 등을 들 수 있다.Such caprolactone structure-containing polyfunctional monomers are commercially available as, for example, KAYARAD DPCA series from Nippon Kayaku Co., Ltd. Number = 2, a compound in which R 1 is all a hydrogen atom), DPCA-30 (the number of groups represented by the above formulas 1 to 3, m = 1, formula 2 = 3, a compound in which R 1 is all hydrogen atoms), DPCA -60 (the above formulas 1 to 3, m = 1, the number of groups represented by the formula (2) = 6, R 1 are all hydrogen atoms), DPCA-120 (m = 2 in the above formulas 1 to 3, formula The number of groups represented by 2 = 6, the compound in which all of R 1 are hydrogen atoms), and the like.
본 발명에 있어서, 카프로락톤 구조 함유 다관능성 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.In this invention, a caprolactone structure containing polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.
본 발명에 있어서는 잔막률을 높이는 점에서, 카프로락톤 구조 함유 다관능성 단량체와 함께, 다른 다관능성 단량체를 병용하는 것이 바람직하고, 특히 카프로락톤 구조를 갖지 않고 2개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 화합물과 병용하는 것이 바람직하다.In the present invention, from the viewpoint of increasing the residual film ratio, it is preferable to use another polyfunctional monomer together with the caprolactone structure-containing polyfunctional monomer, and in particular, a compound having two or more polymerizable unsaturated bonds without a caprolactone structure; It is preferable to use together.
다른 다관능성 단량체로서는, 예를 들면As another polyfunctional monomer, for example
에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트류;Di (meth) acrylates of alkylene glycols such as ethylene glycol and propylene glycol;
폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜 등의 폴리알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트류;Di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol;
글리세린, 트리메틸올프로판, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨 등의 3가 이상의 다가 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트류나, 이들의 디카르복실산 변성물;Poly (meth) acrylates of trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, and these dicarboxylic acid modified substances;
폴리에스테르, 에폭시 수지, 우레탄 수지, 알키드 수지, 실리콘 수지, 스피란 수지 등의 올리고(메트)아크릴레이트류;Oligo (meth) acrylates such as polyester, epoxy resin, urethane resin, alkyd resin, silicone resin and spiran resin;
양쪽 말단 히드록시폴리-1,3-부타디엔, 양쪽 말단 히드록시폴리이소프렌, 양쪽 말단 히드록시폴리카프로락톤 등의 양쪽 말단 히드록실화 중합체의 디(메트)아크릴레이트류;Di (meth) acrylates of both terminal hydroxylated polymers such as both terminal hydroxypoly-1,3-butadiene, both terminal hydroxypolyisoprene and both terminal hydroxypolycaprolactone;
트리스〔2-(메트)아크릴로일옥시에틸〕포스페이트나, 이소시아누르산에틸렌옥사이드 변성 트리아크릴레이트 등을 들 수 있다.Tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate, an isocyanuric acid ethylene oxide modified triacrylate, etc. are mentioned.
이들 다른 다관능성 단량체 중, 3가 이상의 다가 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트류나 이들의 디카르복실산 변성물, 구체적으로는 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사메타크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트와 숙신산과의 모노에스테르화물, 펜타에리트리톨트리메타크릴레이트와 숙신산과의 모노에스테르화물, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트와 숙신산과의 모노에스테르화물, 디펜타에리트리톨펜타메타아크릴레이트와 숙신산과의 모노에스테르화물 등이 바람직하고, 특히 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트와 숙신산과의 모노에스테르화물 및 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트와 숙신산과의 모노에스테르화물이 착색층의 강도가 높고, 착색층의 표면 평활성이 우수하고, 미노광부의 기판 상 및 차광층 상에 바탕 오염, 막 잔여물 등을 발생시키기 어려운 점에서 바람직하다.Among these other polyfunctional monomers, poly (meth) acrylates of trivalent or higher polyhydric alcohols and their dicarboxylic acid modified substances, specifically trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol Triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylic Laterate, dipentaerythritol hexamethacrylate, monoester of pentaerythritol triacrylate and succinic acid, monoester of pentaerythritol trimethacrylate and succinic acid, dipentaerythritol pentaacrylate and succinic acid Monoester, dipentaerythritol pentametha Monoesters of acrylate and succinic acid are preferable, and trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol triacryl Monoesters of the rate and succinic acid and monoesters of dipentaerythritol pentaacrylate and succinic acid have high strength of the colored layer, excellent surface smoothness of the colored layer, and on the substrate and the light shielding layer of the unexposed part. It is preferable in that it is difficult to generate background contamination, film residue, and the like.
상기 다른 다관능성 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The said other polyfunctional monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.
본 발명에 있어서의 (C) 전 다관능성 단량체의 함유량은 (B) 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대하여, 바람직하게는 100 내지 400 중량부, 더욱 바람직하게는 100 내지 300 중량부이다. 합계 함유량이 너무 적으면, 본 발명의 원하는 효과가 손상될 우려가 있고, 한편 너무 많으면, 예를 들면 알칼리 현상성이 저하되거나, 미노광부의 기판 상 또는 차광층 상에 바탕 오염, 막 잔여물 등이 발생하기 쉬워지는 경향이 있다.Content of the (C) all polyfunctional monomer in this invention becomes like this. Preferably it is 100-400 weight part, More preferably, it is 100-300 weight part with respect to 100 weight part of (B) alkali-soluble resin. If the total content is too small, the desired effect of the present invention may be impaired. On the other hand, if too much, alkali developability is lowered, for example, background contamination on the substrate or the light shielding layer of the unexposed portion, film residue, and the like. This tends to be easy to occur.
또한, (C) 전 다관능성 단량체 중의 카프로락톤 구조 함유 다관능성 단량체의 함유 비율은, 바람직하게는 25 내지 100 중량%, 더욱 바람직하게는 50 내지 75 중량%이다. 카프로락톤 구조 함유 다관능성 단량체를 이러한 함유 비율로 사용함으로써, 저노광량으로서도 적절한 순테이퍼 형상의 화소를 형성할 수 있다.Moreover, the content rate of the caprolactone structure containing polyfunctional monomer in all the (C) polyfunctional monomers becomes like this. Preferably it is 25-100 weight%, More preferably, it is 50-75 weight%. By using a caprolactone structure containing polyfunctional monomer in such a content ratio, the pixel of an appropriate forward taper shape can be formed also as a low exposure amount.
또한, 본 발명에 있어서는 다관능성 단량체의 일부를, 중합성 불포화 결합을 1개 갖는 단관능성 단량체로 대체할 수도 있다.In addition, in this invention, a part of polyfunctional monomer can also be replaced by the monofunctional monomer which has one polymerizable unsaturated bond.
상기 단관능성 단량체로서는, 예를 들면 숙신산모노〔2-(메트)아크릴로일옥시에틸〕, 프탈산모노〔2-(메트)아크릴로일옥시에틸〕과 같은 2가 이상의 다가 카르복실산의 모노〔(메트)아크릴로일옥시알킬〕에스테르, ω-카르복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트와 같은 양쪽 말단에 카르복시기와 수산기를 갖는 중합체의 모노(메트)아크릴레이트, N-(메트)아크릴로일모르폴린, N-비닐피롤리돈, N-비닐-ε-카프로락탐 등 이외에, 시판품으로서 M-5600(상품명, 도아 고세이(주) 제조) 등을 들 수 있다.As said monofunctional monomer, mono [of bivalent or more polyvalent carboxylic acids, such as monosuccinic acid [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], for example, Mono (meth) acrylate, N- (meth) acryloyl, of a polymer having a carboxyl group and a hydroxyl group at both ends, such as (meth) acryloyloxyalkyl] ester and ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate In addition to morpholine, N-vinylpyrrolidone, N-vinyl-ε-caprolactam and the like, M-5600 (trade name, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), etc. may be mentioned as a commercial item.
이들 단관능성 단량체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 단관능성 단량체의 함유 비율은 다관능성 단량체와 단관능성 단량체의 합계에 대하여, 통상 90 중량% 이하, 바람직하게는 50 중량% 이하이다. 단관능성 단량체의 함유 비율이 너무 많으면, 얻어지는 착색층의 강도나 표면 평활성이 불충분해질 우려가 있다.These monofunctional monomers can be used individually or in mixture of 2 or more types. The content rate of a monofunctional monomer is 90 weight% or less normally with respect to the sum total of a polyfunctional monomer and a monofunctional monomer, Preferably it is 50 weight% or less. When there are too many content rates of a monofunctional monomer, there exists a possibility that the intensity | strength and surface smoothness of the colored layer obtained may become inadequate.
-(D) 광 중합 개시제--(D) photoinitiator-
본 발명에 있어서의 광 중합 개시제는 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등의 방사선의 노광에 의해, 상기 (C) 다관능성 단량체 및 경우에 따라 사용되는 단관능성 단량체의 중합을 개시할 수 있는 활성종을 발생하는 화합물이다.The photopolymerization initiator in the present invention initiates polymerization of the (C) polyfunctional monomer and the monofunctional monomer used in some cases by exposure to radiation such as visible light, ultraviolet ray, far ultraviolet ray, electron beam, and X-ray. It is a compound that generates active species.
이러한 광 중합 개시제로서는, 예를 들면 티오크산톤계 화합물, 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 트리아진계 화합물, O-아실옥심계 화합물, 오늄염계 화합물, 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물, α-디케톤계 화합물, 다핵 퀴논계 화합물, 크산톤계 화합물, 디아조계 화합물, 이미드술포네이트계 화합물 등을 들 수 있다.As such a photoinitiator, a thioxanthone type compound, an acetophenone type compound, a biimidazole type compound, a triazine type compound, O-acyl oxime type compound, an onium salt type compound, a benzoin type compound, a benzophenone type compound, (alpha)-diketone type compound, a multinuclear quinone type compound, a xanthone type compound, a diazo type compound, an imide sulfonate type compound, etc. are mentioned.
본 발명에 있어서, 광 중합 개시제는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있지만, 본 발명에 있어서의 광 중합 개시제로서는 티오크산톤계 화합물, 아세토페논계 화합물, 비이미다졸계 화합물, 트리아진계 화합물 및 O-아실옥심계 화합물 군에서 선택되는 1종 이상을 함유하는 것이 바람직하다.Although the photoinitiator can be used individually or in mixture of 2 or more types, as a photoinitiator in this invention, a thioxanthone type compound, an acetophenone type compound, a biimidazole type compound, and a triazine type It is preferable to contain 1 or more types chosen from a compound and an O-acyl oxime type compound group.
본 발명에 있어서의 바람직한 광 중합 개시제 중, 티오크산톤계 화합물의 구체예로서는 티오크산톤, 2-클로로티오크산톤, 2-메틸티오크산톤, 2-이소프로필티오크산톤, 4-이소프로필티오크산톤, 2,4-디클로로티오크산톤, 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2,4-디이소프로필티오크산톤 등을 들 수 있다.As a specific example of a thioxanthone type compound among the preferable photoinitiators in this invention, thioxanthone, 2-chloro thioxanthone, 2-methyl thioxanthone, 2-isopropyl thioxanthone, 4-isopropyl thi Orcanthone, 2, 4- dichloro thioxanthone, 2, 4- dimethyl thioxanthone, 2, 4- diethyl thioxanthone, 2, 4- diisopropyl thioxanthone, etc. are mentioned.
또한, 상기 아세토페논계 화합물의 구체예로서는 2-메틸-1-〔4-(메틸티오)페닐〕-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-(4-메틸벤질)-2-(디메틸아미노)-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온 등을 들 수 있다.Specific examples of the acetophenone compounds include 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4 -Morpholinophenyl) butan-1-one, 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, and the like.
또한, 상기 비이미다졸계 화합물의 구체예로서는 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸, 2,2'-비스(2,4,6-트리클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 등을 들 수 있다.Further, specific examples of the biimidazole compound include 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2' -Bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole etc. are mentioned.
또한, 광 중합 개시제로서 비이미다졸계 화합물을 이용하는 경우, 수소 공여체를 병용하는 것이 감도를 개량할 수 있는 점에서 바람직하다. 여기서 말하는 「수소 공여체」란, 노광에 의해 비이미다졸계 화합물로부터 발생한 라디칼에 대하여, 수소 원자를 공여할 수 있는 화합물을 의미한다. 수소 공여체로서는, 예를 들면 2-머캅토벤조티아졸, 2-머캅토벤조옥사졸 등의 머캅탄계 수소 공여체, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등의 아민계 수소 공여체를 들 수 있다. 본 발명에 있어서, 수소 공여체는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있지만, 1종 이상의 머캅탄계 수소 공여체와 1종 이상의 아민계 수소 공여체를 조합하여 사용하는 것이 추가로 감도를 개량할 수 있는 점에서 바람직하다.Moreover, when using a biimidazole type compound as a photoinitiator, using a hydrogen donor together is preferable at the point which can improve a sensitivity. The "hydrogen donor" here means the compound which can donate a hydrogen atom with respect to the radical which generate | occur | produced from the biimidazole type compound by exposure. Examples of the hydrogen donor include mercaptan-based hydrogen donors such as 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, and 4,4'-bis (di Amine hydrogen donors, such as ethylamino) benzophenone, are mentioned. In the present invention, the hydrogen donor may be used alone or in combination of two or more thereof, but the combination of one or more mercaptan-based hydrogen donors and one or more amine-based hydrogen donors may further improve sensitivity. It is preferable at the point.
또한, 상기 트리아진계 화합물의 구체예로서는 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-〔2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐〕-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-〔2-(푸란-2-일)에테닐〕-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-〔2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐〕-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-〔2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐〕-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-에톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-n-부톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진 등의 할로메틸기를 갖는 트리아진계 화합물을 들 수 있다.In addition, specific examples of the triazine-based compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [ 2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4, 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis ( Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4 Triazine type compounds which have halomethyl groups, such as a 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, are mentioned.
또한, O-아실옥심계 화합물의 구체예로서는 1,2-옥탄디온,1-〔4-(페닐티오)페닐〕-,2-(O-벤조일옥심), 에타논,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-,1-(O-아세틸옥심), 에타논,1-〔9-에틸-6-(2-메틸-4-테트라히드로푸라닐메톡시벤조일)-9H-카르바졸-3-일〕-,1-(O-아세틸옥심), 에타논,1-〔9-에틸-6-{2-메틸-4-(2,2-디메틸-1,3-디옥솔라닐)메톡시벤조일}-9H-카르바졸-3-일〕-,1-(O-아세틸옥심) 등을 들 수 있다.In addition, specific examples of the O-acyl oxime compound include 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl- 6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydro Furanylmethoxybenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2- Dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl} -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like.
본 발명에 있어서, 아세토페논계 화합물 등의 비이미다졸계 화합물 이외의 광 라디칼 발생제를 이용하는 경우에는 증감제를 병용할 수도 있다. 이러한 증감제로서는, 예를 들면 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4-디에틸아미노아세토페논, 4-디메틸아미노프로피오페논, 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산 2-에틸헥실, 2,5-비스(4-디에틸아미노벤잘)시클로헥사논, 7-디에틸아미노-3-(4-디에틸아미노벤조일)쿠마린, 4-(디에틸아미노)칼콘 등을 들 수 있다.In this invention, when using radical radicals other than biimidazole type compounds, such as an acetophenone type compound, a sensitizer can also be used together. As such a sensitizer, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylamino acetophenone, 4-dimethylamino propiophenone, for example. Ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoic acid, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) cyclohexanone, 7-diethylamino-3- (4-diethylaminobenzoyl ) Coumarin, 4- (diethylamino) chalcone, and the like.
본 발명에 있어서, 광 중합 개시제의 함유량은 (C) 다관능성 단량체 100 중량부에 대하여, 통상 0.01 내지 120 중량부, 바람직하게는 1 내지 100 중량부이다. 광 중합 개시제의 함유량이 너무 적으면, 노광에 의한 경화가 불충분해져, 착색층 패턴이 소정의 배열에 따라서 배치된 컬러 필터를 얻는 것이 곤란해질 우려가 있고, 한편 너무 많으면, 형성된 착색층이 현상시에 기판으로부터 탈락하기 쉬워지는 경향이 있다.In this invention, content of a photoinitiator is 0.01-120 weight part normally with respect to 100 weight part of (C) polyfunctional monomers, Preferably it is 1-100 weight part. When there is too little content of a photoinitiator, hardening by exposure may become inadequate and it may become difficult to obtain the color filter by which the colored layer pattern was arrange | positioned according to a predetermined | prescribed arrangement, and when too many, when the formed colored layer develops It tends to be easy to drop off from the substrate.
-첨가제--additive-
본 발명의 감방사선성 조성물은 상기 (A) 내지 (D) 성분을 함유하는 것이지만, 필요에 따라서 다른 첨가제를 추가로 함유할 수도 있다.Although the radiation sensitive composition of this invention contains the said (A)-(D) component, it may further contain other additive as needed.
여기서 다른 첨가제로서는, 예를 들면 유리, 알루미나 등의 충전제; 폴리비닐알코올, 폴리(플루오로알킬아크릴레이트)류 등의 고분자 화합물; 비이온계 계면활성제, 양이온계 계면활성제, 음이온계 계면활성제 등의 계면활성제; 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란 등의 밀착 촉진제; 2,2-티오비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), 2,6-디-t-부틸페놀 등의 산화 방지제; 2-(3-t-부틸-5-메틸-2-히드록시페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논류 등의 자외선 흡수제; 폴리아크릴산나트륨 등의 응집 방지제; 말론산, 아디프산, 이타콘산, 시트라콘산, 푸마르산, 메사콘산 등의 알칼리 용해성 개선제 등을 들 수 있다.As another additive here, For example, fillers, such as glass and an alumina; Polymer compounds such as polyvinyl alcohol and poly (fluoroalkyl acrylate) s; Surfactants such as nonionic surfactants, cationic surfactants, and anionic surfactants; Vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclo Hexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, etc. Adhesion promoter; Antioxidants such as 2,2-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol) and 2,6-di-t-butylphenol; Ultraviolet absorbers such as 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenones; Aggregation inhibitors such as sodium polyacrylate; And alkali solubility improving agents such as malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, and mesaconic acid.
-용매--menstruum-
본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 조성물은 상기 (A) 내지 (D) 성분을 필수 성분으로 하고, 필요에 따라서 상기 첨가제 성분을 함유하지만, 통상 용매를 배합하여 액상 조성물로서 제조된다.Although the radiation sensitive composition for colored layer formation of this invention makes the said (A)-(D) component an essential component, and contains the said additive component as needed, it is normally manufactured as a liquid composition by mix | blending a solvent.
상기 용매로서는 감방사선성 조성물을 구성하는 (A) 내지 (D) 성분이나 첨가제 성분을 분산 또는 용해하고, 이들 성분과 반응하지 않고, 적합한 휘발성을 갖는 것인 한, 적절히 선택하여 사용할 수 있다.As said solvent, as long as it does disperse | distribute or melt | dissolve or melt | dissolve the component (A)-(D) and additive component which comprise a radiation sensitive composition, and does not react with these components, it can select suitably and can use.
이러한 용매로서는, 예를 들면As such a solvent, for example
에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 트리에틸렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜모노-n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노에틸에테르 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르류;Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n -Propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene Glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tri (Poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monoethyl ether;
에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트, 3-메틸-3-메톡시부틸아세테이트 등의 (폴리)알킬렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류;Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as 3-methyl-3-methoxybutyl acetate;
디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 테트라히드로푸란 등의 다른 에테르류;Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether and tetrahydrofuran;
메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논 등의 케톤류;Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, and 3-heptanone;
락트산메틸, 락트산에틸 등의 락트산알킬에스테르류;Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;
2-히드록시-2-메틸프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 에톡시아세트산에틸, 히드록시아세트산에틸, 2-히드록시-3-메틸부탄산메틸, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산에틸, 아세트산 n-프로필, 아세트산 i-프로필, 아세트산 n-부틸, 아세트산 i-부틸, 포름산 n-아밀, 아세트산 i-아밀, 프로피온산 n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산 n-프로필, 부티르산 i-프로필, 부티르산 n-부틸, 피루브산메틸, 피루브산에틸, 피루브산 n-프로필, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 2-옥소부탄산에틸 등의 다른 에스테르류;Ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2 Hydroxy-3-methylbutyrate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n- formic acid Amyl, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, butyric acid i-propyl, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, 2 Other esters such as ethyl oxobutyrate;
톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소류;Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;
N,N-디메틸포름아미드, N,N-디메틸아세트아미드, N-메틸피롤리돈 등의 아미드 또는 락탐류 등을 들 수 있다.Amides or lactams such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone and the like.
이들 용매 중, 용해성, 안료 분산성, 도포성 등의 측면에서, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 시클로헥사논, 2-헵타논, 3-헵타논, 락트산에틸, 3-메톡시프로피온산에틸, 3-에톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 3-메틸-3-메톡시부틸프로피오네이트, 아세트산 n-부틸, 아세트산 i-부틸, 포름산 n-아밀, 아세트산 i-아밀, 프로피온산 n-부틸, 부티르산에틸, 부티르산 i-프로필, 부티르산 n-부틸, 피루브산에틸 등이 바람직하다.Among these solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, and 3-methoxybutyl acetate in terms of solubility, pigment dispersibility, and coating properties. , Diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, ethyl lactate, 3-methoxy propionate ethyl, 3-ethoxypropionate methyl, 3-ethoxypropionic acid Ethyl, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, i-propyl butyrate, butyric acid n -Butyl, ethyl pyruvate, etc. are preferable.
상기 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.The said solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.
또한, 상기 용매와 함께, 벤질에틸에테르, 디-n-헥실에테르, 아세토닐아세톤, 이소포론, 카프로산, 카프릴산, 1-옥탄올, 1-노난올, 벤질알코올, 아세트산벤질, 벤조산에틸, 옥살산디에틸, 말레산디에틸, γ-부티로락톤, 탄산에틸렌, 탄산프로필렌, 에틸렌글리콜모노페닐에테르아세테이트 등의 고비점 용매를 병용할 수도 있다.Furthermore, with the solvent, benzyl ethyl ether, di-n-hexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate And high boiling point solvents such as diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, and ethylene glycol monophenyl ether acetate.
이들 고비점 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.These high boiling point solvents can be used individually or in mixture of 2 or more types.
용매의 함유량은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 얻어지는 감방사선성 조성물의 도포성, 안정성 등의 측면에서, 해당 조성물의 용매를 제외한 각 성분의 합계 농도가 통상 5 내지 50 중량%, 바람직하게는 10 내지 40 중량%가 되는 양이 바람직하다.Although content of a solvent is not specifically limited, From the viewpoint of the applicability | paintability, stability, etc. of the radiation sensitive composition obtained, the total concentration of each component except the solvent of the said composition is 5-50 weight% normally, Preferably it is 10-40. The amount which becomes weight% is preferable.
본 발명에 있어서, 감방사선성 조성물은 적절한 방법에 의해 제조할 수 있고, 예를 들면 (A) 내지 (D) 성분을 용매나 첨가제와 함께, 혼합함으로써 제조할 수 있지만, 안료를 용매 중, 분산제 및 필요에 따라서 첨가하는 분산 보조제의 존재하에서, 경우에 따라 (B) 성분의 일부와 함께, 예를 들면 비드밀, 롤밀 등을 이용하여, 분쇄하면서 혼합ㆍ분산시켜 안료 분산액으로 하고, 이것을 (B) 내지 (D) 성분과, 필요에 따라서 추가로 추가 용매나 첨가제를 첨가하여, 혼합함으로써 제조하는 것이 바람직하다.In the present invention, the radiation-sensitive composition can be produced by a suitable method, and for example, can be produced by mixing the components (A) to (D) with a solvent or an additive, but the pigment is dispersed in a solvent, And in the presence of a dispersing aid added as needed, optionally with a part of component (B), for example, using a bead mill, a roll mill, etc., mixing and dispersing while grinding to obtain a pigment dispersion (B). It is preferable to manufacture by adding and mixing (D) component (D) with further solvent and additive as needed.
-컬러 필터의 형성 방법-Formation method of color filter
다음으로, 본 발명의 감방사선성 조성물을 이용하여, 본 발명의 컬러 필터를 형성하는 방법에 대해서 설명한다.Next, the method of forming the color filter of this invention using the radiation sensitive composition of this invention is demonstrated.
컬러 필터를 형성하는 방법은, 통상 적어도 하기 (1) 내지 (4)의 공정을 포함하고 있다.The method of forming a color filter normally includes the process of following (1)-(4) at least.
(1) 기판 상에 본 발명의 감방사선성 조성물의 도막을 형성하는 공정.(1) Process of forming the coating film of the radiation sensitive composition of this invention on a board | substrate.
(2) 상기 도막의 적어도 일부에 노광하는 공정.(2) The process of exposing to at least one part of the said coating film.
(3) 노광 후의 도막을 현상하는 공정.(3) The process of developing the coating film after exposure.
(4) 현상 후의 도막을 후-베이킹하는 공정.(4) The process of post-baking the coating film after image development.
이하, 이들 공정에 대해서 순차 설명한다.Hereinafter, these processes are demonstrated one by one.
(1) 공정(1) process
우선, 기판의 표면 상에 필요에 따라서, 화소를 형성하는 부분을 구획하도록 차광층(블랙 매트릭스)을 형성하고, 이 기판 상에 예를 들면 적색의 (A) 착색제를 함유하는 본 발명의 감방사선성 조성물을 통상 액상 조성물로서 도포한 후, 예비 베이킹하고 용매를 증발 제거함으로써, 도막을 형성한다.First, as needed, the light-shielding layer (black matrix) is formed so that the part which forms a pixel may be divided on the surface of a board | substrate, and the radiation of the present invention which contains a red (A) colorant, for example on this board | substrate. The coating composition is usually formed by applying the composition as a liquid composition, followed by prebaking and evaporation of the solvent.
이 공정에서 사용되는 기판으로서는, 예를 들면 유리, 실리콘, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 방향족 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리이미드, 폴리에테르술폰 이외에, 환상 올레핀의 개환 중합체나 그의 수소 첨가물 등을 들 수 있다.As a board | substrate used at this process, a ring-opening polymer of cyclic olefin, its hydrogenated substance, etc. other than glass, silicone, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, polyimide, polyether sulfone are mentioned, for example. have.
또한, 이들 기판에는 원한다면, 실란 커플링제 등에 의한 약품 처리, 플라즈마 처리, 이온 플레이팅, 스퍼터링, 기상 반응법, 진공 증착 등의 적절한 전 처리를 실시할 수도 있다.If desired, these substrates may also be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating, sputtering, vapor phase reaction, vacuum deposition, or the like.
액상 조성물을 기판에 도포할 때에는 회전 도포법, 유연 도포법, 롤 도포법, 슬릿 다이 코터를 이용하는 도포법 등의 적절한 도포법을 채용할 수 있지만, 회전 도포법, 슬릿 다이 코터를 이용하는 도포법이 바람직하다.When applying a liquid composition to a board | substrate, the appropriate coating methods, such as a spin coating method, the flexible coating method, the roll coating method, and the coating method using a slit die coater, can be employ | adopted, but the spin coating method and the coating method using a slit die coater are employ | adopted. desirable.
예비 베이킹의 조건은, 통상 70 내지 110 ℃에서 2 내지 4분 정도이다. 또한, 본 발명의 감방사선성 조성물에 따르면, 예비 베이킹 공정을 생략하더라도 화소 및 블랙 매트릭스를 형성할 수 있다.The conditions of prebaking are about 2 to 4 minutes at 70-110 degreeC normally. In addition, according to the radiation sensitive composition of the present invention, the pixel and the black matrix can be formed even if the preliminary baking step is omitted.
도포 두께는 용매 제거 후의 막 두께로서, 통상 1.0 내지 10 μm, 바람직하게는 1.0 내지 6.0 μm, 특히 바람직하게는 1.0 내지 4.0 μm이다.The coating thickness is a film thickness after removal of the solvent, which is usually 1.0 to 10 m, preferably 1.0 to 6.0 m, and particularly preferably 1.0 to 4.0 m.
(2) 공정(2) process
그 후, 형성된 도막의 적어도 일부에 노광한다. 이 경우, 도막의 일부에 노광할 때에는 통상 소정의 패턴을 갖는 포토마스크를 통해 노광한다.Then, it exposes to at least one part of the formed coating film. In this case, when exposing to a part of coating film, it exposes normally through the photomask which has a predetermined pattern.
노광에 사용되는 방사선으로서는, 예를 들면 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 사용할 수 있지만, 파장이 190 내지 450 nm의 범위에 있는 방사선이 바람직하다.As radiation used for exposure, visible light, an ultraviolet-ray, an ultraviolet ray, an electron beam, X-rays, etc. can be used, for example, but the radiation in the range whose wavelength is 190-450 nm is preferable.
방사선의 노광량은, 통상 10 내지 10,000 J/㎡이다. 본 발명의 감방사선성 조성물에 따르면, 800 J/㎡ 이하의 노광량, 나아가 600 J/㎡ 이하의 노광량이라도 적절한 순테이퍼 형상이며 잔막률과 밀착성도 우수한 화소를 형성할 수 있다. 또한, 노광량의 하한은 조도가 높은 광원을 사용한 경우의 제어성 측면에서, 200 J/㎡ 이상인 것이 바람직하다.The exposure amount of radiation is 10-100,000 J / m <2> normally. According to the radiation sensitive composition of this invention, even if it is an exposure amount of 800 J / m <2> or less, and the exposure amount of 600 J / m <2> or less, a suitable taper shape and excellent residual film rate and adhesiveness can be formed. Moreover, it is preferable that the minimum of exposure amount is 200 J / m <2> or more from a controllability viewpoint at the time of using the light source with high illuminance.
(3) 공정(3) process
그 후, 현상액, 바람직하게는 알칼리 현상액을 이용하여 현상하고, 도막의 미노광부를 용해 제거한다.Then, it develops using a developing solution, Preferably alkaline developing solution, and removes and removes the unexposed part of a coating film.
상기 알칼리 현상액으로서는, 예를 들면 탄산나트륨, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 테트라메틸암모늄히드록시드, 콜린, 1,8-디아자비시클로-[5.4.0]-7-운데센, 1,5-디아자비시클로-[4.3.0]-5-노넨 등의 수용액이 바람직하다.Examples of the alkaline developer include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, 1,5-diazabi, and the like. Aqueous solutions, such as cyclo- [4.3.0] -5-nonene, are preferable.
상기 알칼리 현상액에는, 예를 들면 메탄올, 에탄올 등의 수용성 유기 용제나 계면활성제 등을 적량 첨가할 수도 있다.An appropriate amount of water-soluble organic solvents such as methanol and ethanol, surfactants, and the like may be added to the alkaline developer.
현상 처리법으로서는 샤워 현상법, 스프레이 현상법, 딥(침지) 현상법, 퍼들 현상법 등을 적용할 수 있다.As the developing treatment method, a shower developing method, a spray developing method, a dip (immersion) developing method, a puddle developing method and the like can be applied.
현상 조건은 상온에서 10 내지 300초 정도가 바람직하다.As for image development conditions, about 10 to 300 second is preferable at normal temperature.
-(4) 공정-(4) process
그 후, 현상후의 도막을 후-베이킹함으로써, 감방사선성 조성물의 경화물을 포함하는 적색의 화소 패턴이 소정의 배열로 배치된 기판을 얻을 수 있다.Subsequently, by post-baking the coating film after development, the board | substrate with which the red pixel pattern containing the hardened | cured material of a radiation sensitive composition was arrange | positioned in a predetermined | prescribed arrangement can be obtained.
후-베이킹의 조건은 180 내지 230 ℃에서 20 내지 40분 정도가 바람직하다.As for the post-baking conditions, about 20 to 40 minutes are preferable at 180-230 degreeC.
이와 같이 하여 형성된 화소의 막 두께는, 통상 0.5 내지 5.0 μm, 바람직하게는 1.0 내지 3.0 μm이다.The film thickness of the pixel formed in this way is 0.5-5.0 micrometers normally, Preferably it is 1.0-3.0 micrometers.
또한, 녹색의 (A) 착색제를 함유하는 녹색 감방사선성 조성물을 이용하여, 상기 (1) 내지 (4) 공정을 반복함으로써, 녹색의 화소 패턴을 동일 기판 상에 형성하고, 추가로 청색의 (A) 착색제를 함유하는 청색 감방사선성 조성물을 이용하여, 상기 (1) 내지 (4) 공정을 반복함으로써, 청색의 화소 패턴을 동일 기판 상에 형성함으로써, 적색, 녹색 및 청색의 3원색의 화소 패턴이 소정의 배열로 배치된 화소 어레이를 기판 상에 형성할 수 있다. 단, 각 색의 화소 패턴의 형성 순서는 임의로 선택할 수 있다.In addition, by repeating the above steps (1) to (4) using a green radiation-sensitive composition containing a green (A) colorant, a green pixel pattern is formed on the same substrate, and a blue ( A) By repeating the above steps (1) to (4) using a blue radiation-sensitive composition containing a colorant, a blue pixel pattern is formed on the same substrate, thereby red, green, and blue pixels of three primary colors. A pixel array in which patterns are arranged in a predetermined array can be formed on a substrate. However, the formation order of the pixel pattern of each color can be arbitrarily selected.
흑색의 (A) 착색제를 함유하는 녹색 감방사선성 조성물을 이용하여, 상기 (1) 내지 (4) 공정을 행함으로써, 블랙 매트릭스를 형성할 수 있다.A black matrix can be formed by performing said process (1)-(4) using the green radiation sensitive composition containing black (A) coloring agent.
컬러 필터Color filter
본 발명의 컬러 필터는 본 발명의 감방사선성 조성물로부터 상기한 바와 같이 형성된 화소 및/또는 블랙 매트릭스를 갖는 것이다.The color filter of this invention has the pixel and / or black matrix formed as mentioned above from the radiation sensitive composition of this invention.
컬러 액정 표시 소자Color liquid crystal display element
본 발명의 컬러 액정 표시 소자는 본 발명의 컬러 필터를 구비하는 것이다.The color liquid crystal display element of this invention is equipped with the color filter of this invention.
상기한 바와 같이 형성된 컬러 필터 상에는 필요에 따라서 보호막을 형성한 후, 투명 도전막을 스퍼터링에 의해 형성한다. 투명 도전막으로서는 산화인듐-산화주석을 포함하는 ITO막, 산화인듐-산화아연을 포함하는 IZO막 등을 들 수 있다. 본 발명의 감방사선성 조성물을 이용하여 형성된 화소 패턴의 단면 형상은 순테이퍼이기 때문에, 투명 전극이 단선되는 경우는 없다. 또한, 테이퍼각이 너무 완만해지는 경우도 없기 때문에, 화소의 엣지에서 막 두께가 얇아지는 부분이 생기는 경우도 없다. 따라서, 전기 특성과 색도 특성이 우수한 고품질의 컬러 액정 표시 소자를 제작할 수 있다.On the color filter formed as mentioned above, after forming a protective film as needed, a transparent conductive film is formed by sputtering. Examples of the transparent conductive film include an ITO film containing indium oxide-tin oxide, an IZO film containing indium oxide-zinc oxide, and the like. Since the cross-sectional shape of the pixel pattern formed using the radiation sensitive composition of this invention is a forward taper, a transparent electrode does not disconnect. In addition, since the taper angle is not too gentle, there is no case where the film thickness becomes thin at the edge of the pixel. Therefore, the high quality color liquid crystal display element excellent in the electrical characteristic and chromaticity characteristic can be manufactured.
또한, 본 발명의 컬러 액정 표시 소자의 1개의 형태로서, 본 발명의 착색층 형성용 감방사선성 조성물을 이용하여, 박막 트랜지스터 기판 어레이 상에, 상술한 바와 같이 하여 화소 및/또는 블랙 매트릭스를 형성함으로써, 특히 우수한 특성을 갖는 컬러 액정 표시 소자를 제작할 수 있다.Moreover, as one form of the color liquid crystal display element of this invention, using the radiation sensitive composition for colored layer formation of this invention, a pixel and / or a black matrix are formed on a thin film transistor substrate array as mentioned above. Thereby, the color liquid crystal display element which has especially excellent characteristic can be manufactured.
<실시예 1>≪ Example 1 >
이하, 실시예를 들어, 본 발명의 실시 형태를 더욱 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명은 하기 실시예로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, an Example is given and embodiment of this invention is described further more concretely. However, the present invention is not limited to the following examples.
안료 분산액의 제조Preparation of Pigment Dispersion
제조예 1Preparation Example 1
(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 레드 254/C.I. 피그먼트 레드 177/C.I. 피그먼트 옐로우 150=20/70/10(중량비) 혼합물 20 중량부, 분산제로서 Disperbyk-2001(빅케미(BYK)사 제조)을 5 중량부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 고형분 농도가 25%가 되도록 이용하고, 비드밀에 의해 처리하여, 안료 분산액 (R1)을 제조하였다.(A) As a coloring agent, C.I. Pigment Red 254 / C.I. Pigment Red 177 / C.I. Pigment Yellow 150 = 20/70/10 (weight ratio) 20 parts by weight of a mixture, 5 parts by weight of Disperbyk-2001 (manufactured by BYK) as a dispersant (in terms of solids), and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent. It was used so that solid content concentration might be 25%, it processed by the bead mill, and the pigment dispersion liquid (R1) was produced.
제조예 2Production Example 2
(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 레드 254를 20 중량부, 분산제로서 Disperbyk-2001(빅케미(BYK)사 제조)을 5 중량부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 고형분 농도가 25%가 되도록 이용하고, 비드밀에 의해 처리하여, 안료 분산액 (R2)를 제조하였다.(A) As a coloring agent, C.I. 20 parts by weight of Pigment Red 254, 5 parts by weight (in terms of solids) of Disperbyk-2001 (manufactured by BYK) as a dispersant, and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent so that the solid content concentration is 25%. , Bead mill, to prepare a pigment dispersion (R2).
제조예 3Production Example 3
(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 레드 254/C.I. 피그먼트 레드 242/C.I. 피그먼트 옐로우139=30/60/10(중량비) 혼합물 20 중량부, 분산제로서 Disperbyk-2001(빅케미(BYK)사 제조)을 5 중량부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 고형분 농도가 25%가 되도록 이용하고, 비드밀에 의해 처리하여, 안료 분산액 (R3)을 제조하였다.(A) As a coloring agent, C.I. Pigment Red 254 / C.I. Pigment Red 242 / C.I. Pigment Yellow 139 = 30/60/10 (weight ratio) 20 parts by weight of a mixture, 5 parts by weight of Disperbyk-2001 (manufactured by BYK) as a dispersant (in terms of solids), and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent. It was used so that solid content concentration might be 25%, it processed by the bead mill, and the pigment dispersion liquid (R3) was produced.
제조예 4Preparation Example 4
(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 그린 36/C.I. 피그먼트 옐로우 150=50/50(중량비) 혼합물 20 중량부, 분산제로서 Disperbyk-2001(빅케미(BYK)사 제조)을 5 중량부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 고형분 농도가 25%가 되도록 이용하고, 비드밀에 의해 처리하여, 안료 분산액 (G1)을 제조하였다.(A) As a coloring agent, C.I. Pigment Green 36 / C.I. Pigment Yellow 150 = 50/50 (weight ratio) 20 parts by weight of the mixture, 5 parts by weight of Disperbyk-2001 (manufactured by BYK) as a dispersant (in terms of solids), and propylene glycol monomethyl ether acetate as the solvent. Was used to be 25%, and treated with a bead mill to prepare a pigment dispersion (G1).
제조예 5Preparation Example 5
(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 그린 58/C.I. 피그먼트 옐로우 150=60/40(중량비) 혼합물 20 중량부, 분산제로서 Disperbyk-2001(빅케미(BYK)사 제조)을 5 중량부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 고형분 농도가 25%가 되도록 이용하고, 비드밀에 의해 처리하여, 안료 분산액 (G2)를 제조하였다.(A) As a coloring agent, C.I. Pigment Green 58 / C.I. Pigment Yellow 150 = 60/40 (weight ratio) 20 parts by weight of a mixture, 5 parts by weight of Disperbyk-2001 (manufactured by BYK) as a dispersant (in terms of solids), and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent. Was used to be 25%, and treated with a bead mill to prepare a pigment dispersion (G2).
제조예 6Preparation Example 6
(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 그린 36/C.I. 피그먼트 옐로우 150=60/40(중량비) 혼합물 20 중량부, 분산제로서 Disperbyk-2001(빅케미(BYK)사 제조)을 5 중량부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 고형분 농도가 25%가 되도록 이용하고, 비드밀에 의해 처리하여, 안료 분산액 (G3)을 제조하였다.(A) As a coloring agent, C.I. Pigment Green 36 / C.I. Pigment Yellow 150 = 60/40 (weight ratio) 20 parts by weight of a mixture, 5 parts by weight of Disperbyk-2001 (manufactured by BYK) as a dispersant (in terms of solids), and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent. Was used to be 25%, and treated with a bead mill to prepare a pigment dispersion (G3).
제조예 7Preparation Example 7
(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 블루 15:6을 20 중량부, 분산제로서 Disperbyk-2001(빅케미(BYK)사 제조)을 5 중량부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 고형분 농도가 25%가 되도록 이용하고, 비드밀에 의해 처리하여, 안료 분산액 (B1)을 제조하였다.(A) As a coloring agent, C.I. 20 parts by weight of Pigment Blue 15: 6, 5 parts by weight of Disperbyk-2001 (manufactured by BYK Co., Ltd.) as a dispersant (in terms of solids), and a propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent so that the solid content concentration is 25%. It used and processed by the bead mill and manufactured the pigment dispersion (B1).
제조예 8Preparation Example 8
(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 블루 15:6/C.I. 피그먼트 바이올렛 23=80/20(중량비) 혼합물 20 중량부, 분산제로서 Disperbyk-2001(빅케미(BYK)사 제조)을 5 중량부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 고형분 농도가 25%가 되도록 이용하고, 비드밀에 의해 처리하여, 안료 분산액 (B2)를 제조하였다.(A) As a coloring agent, C.I. Pigment Blue 15: 6 / C.I. Pigment Violet 23 = 80/20 (weight ratio) 20 parts by weight of the mixture, 5 parts by weight (in terms of solids) of Disperbyk-2001 (manufactured by BYK Corporation) as a dispersant, and propylene glycol monomethyl ether acetate as the solvent. Was used to be 25%, and treated with a bead mill to prepare a pigment dispersion (B2).
제조예 9Preparation Example 9
(A) 착색제로서 C.I. 피그먼트 블루 15:6/C.I. 피그먼트 바이올렛 23=60/40(중량비) 혼합물 20 중량부, 분산제로서 Disperbyk-2001(빅케미(BYK)사 제조)을 5 중량부(고형분 환산), 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 고형분 농도가 25%가 되도록 이용하고, 비드밀에 의해 처리하여, 안료 분산액 (B3)을 제조하였다.(A) As a coloring agent, C.I. Pigment Blue 15: 6 / C.I. Pigment Violet 23 = 60/40 (weight ratio) 20 parts by weight of a mixture, 5 parts by weight of Disperbyk-2001 (manufactured by BYK) as a dispersant (in terms of solids), and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent Was used to be 25%, and treated with a bead mill to prepare a pigment dispersion (B3).
알칼리 가용성 수지의 합성Synthesis of Alkali Soluble Resin
합성예 1Synthesis Example 1
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 3 중량부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하고, 계속해서 메타크릴산 15 중량부, 벤질메타크릴레이트 35 중량부, N-페닐말레이미드 19 중량부, 글리세롤메타크릴레이트 10 중량부, 스티렌 11 중량부, ω-카르복시폴리카프로락톤모노아크릴레이트 10 중량부, 및 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐(연쇄 이동제) 5 중량부를 투입하고, 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하고, 반응 용액의 온도를 80 ℃로 상승시켜, 이 온도를 3시간 유지하여 중합함으로써, 공중합체 용액을 얻었다. 얻어진 수지는 Mw=11,000, Mn=5,000, 고형분 농도=33.0%였다. 이 공중합체를 「알칼리 가용성 수지 (B-1)」로 한다.3 parts by weight of 2,2'-azobisisobutyronitrile and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid and benzyl methacrylate 35 Parts by weight, 19 parts by weight of N-phenylmaleimide, 10 parts by weight of glycerol methacrylate, 11 parts by weight of styrene, 10 parts by weight of ω-carboxypolycaprolactone monoacrylate, and 2,4-diphenyl-4-methyl- 5 parts by weight of 1-pentene (chain transfer agent) was added thereto, followed by nitrogen substitution. Thereafter, the mixture was stirred gently, the temperature of the reaction solution was raised to 80 ° C, and the copolymer solution was obtained by maintaining the polymerization for 3 hours. Obtained resin was Mw = 11,000, Mn = 5,000 and solid content concentration = 33.0%. Let this copolymer be "alkali-soluble resin (B-1)."
합성예 2Synthesis Example 2
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 153 중량부, 메타크릴산 15 중량부, 벤질메타크릴레이트 35 중량부, N-페닐말레이미드 11 중량부, 2-아크릴로일옥시에틸숙신산 20 중량부, 스티렌 19 중량부, 및 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐(연쇄 이동제) 5 중량부를 투입하고, 이어서 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 3 중량부를 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 47 중량부에 용해시킨 용액을 투입하고 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하고, 반응 용액의 온도를 80 ℃로 상승시켜, 이 온도를 4시간 유지하고 중합한 후, 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 0.5 중량부를 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 9.5 중량부에 용해시킨 용액을 투입하고, 계속해서 반응 용액의 온도를 100 ℃로 상승시켜, 이 온도를 1시간 유지하고 추가로 중합함으로써, 공중합체 용액을 얻었다. 얻어진 수지는 Mw=10,000, Mn=6,000, 고형분 농도=30.0%였다. 이 공중합체를 「알칼리 가용성 수지 (B-2)」로 한다.153 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, 15 parts by weight of methacrylic acid, 35 parts by weight of benzyl methacrylate, 11 parts by weight of N-phenylmaleimide, 2-acryloyloxyethyl in a flask equipped with a cooling tube and a stirrer 20 parts by weight of succinic acid, 19 parts by weight of styrene, and 5 parts by weight of 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene (chain transfer agent) were added, followed by 3 parts by weight of 2,2'-azobisisobutyronitrile. A solution dissolved in 47 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate was added thereto, followed by nitrogen substitution. Thereafter, the mixture was stirred gently, the temperature of the reaction solution was raised to 80 ° C, the temperature was maintained for 4 hours, and the polymerization was carried out, followed by polymerization of 0.5 parts by weight of 2,2'-azobisisobutyronitrile at 9.5 weight of propylene glycol monomethyl ether acetate. The solution which melt | dissolved in the part was thrown in, and then the temperature of the reaction solution was raised to 100 degreeC, this temperature was hold | maintained for 1 hour, and also the superposition | polymerization was obtained. Obtained resin was Mw = 10,000, Mn = 6,000 and solid content concentration = 30.0%. Let this copolymer be "alkali-soluble resin (B-2)."
합성예 3Synthesis Example 3
냉각관, 교반기를 구비한 플라스크에 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 5 중량부, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200 중량부를 투입하고, 계속해서 메타크릴산 15 중량부, 벤질메타크릴레이트 35 중량부, N-페닐말레이미드 25 중량부, 글리세롤메타크릴레이트 10 중량부, 스티렌 15 중량부, 및 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐(연쇄 이동제) 7.5 중량부를 투입하고, 질소 치환하였다. 그 후 완만히 교반하고, 반응 용액의 온도를 80 ℃로 상승시켜, 이 온도를 3시간 유지하여 중합함으로써, 공중합체 용액을 얻었다. 얻어진 수지는 Mw=7,000, Mn=3,500, 고형분 농도=32.0%였다. 이 공중합체를 「알칼리 가용성 수지 (B-3)」으로 한다.5 parts by weight of 2,2'-azobisisobutyronitrile and 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate were added to a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, followed by 15 parts by weight of methacrylic acid and benzyl methacrylate 35 Parts by weight, 25 parts by weight of N-phenylmaleimide, 10 parts by weight of glycerol methacrylate, 15 parts by weight of styrene, and 7.5 parts by weight of 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene (chain transfer agent), Nitrogen substitution. Thereafter, the mixture was stirred gently, the temperature of the reaction solution was raised to 80 ° C, and the copolymer solution was obtained by maintaining the polymerization for 3 hours. Obtained resin was Mw = 7,000, Mn = 3,500 and solid content concentration = 32.0%. Let this copolymer be "alkali-soluble resin (B-3)."
실시예 1Example 1
안료 분산액 (R1) 100 중량부, (B) 알칼리 가용성 수지로서 알칼리 가용성 수지 (A-1) 10 중량부(고형분 환산), (C) 다관능성 단량체로서 닛본 가야꾸사 제조 KAYARAD DPCA-60(화학식 1 중, m=1, 화학식 2로 표시되는 기의 수=6인 화합물)/디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트=50/50(중량비) 혼합물 15 중량부, (D) 광 중합 개시제로서 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온(시바ㆍ스페셜티ㆍ케미컬즈사 제조, 상품명 이르가큐어 369) 5 중량부, 및 용매로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 고형분 농도가 25 중량%가 되도록 혼합하여, 액상 조성물 (S-1)을 제조하였다.100 parts by weight of the pigment dispersion (R1), (B) 10 parts by weight of the alkali-soluble resin (A-1) as the alkali-soluble resin (in terms of solids), and (C) the polyfunctional monomer manufactured by KAYARAD DPCA-60 (Formula 1) 15 parts by weight of the mixture represented by m = 1, the number of groups represented by the formula (2) = / dipentaerythritol hexaacrylate = 50/50 (weight ratio), (D) 2-benzyl- as a photopolymerization initiator 5 parts by weight of 2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one (available from Ciba Specialty Chemicals, trade name Irgacure 369), and propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent The liquid mixture was mixed so that the concentration might be 25% by weight to prepare a liquid composition (S-1).
액상 조성물 (S-1)에 대해서, 하기의 절차에 따라서 평가를 행하였다. 평가 결과를 표 2에 나타내었다.The liquid composition (S-1) was evaluated according to the following procedure. The evaluation results are shown in Table 2.
감도의 평가Evaluation of sensitivity
액상 조성물 (S-1)을 유리 기판의 표면 상에 스핀 코터를 이용하여 도포한 후, 90 ℃의 핫 플레이트에서 4분간 예비 베이킹을 행하여, 막 두께 1.3 μm의 도막을 형성하였다. 이어서, 이 기판을 실온으로 냉각한 후, 기판 상의 도막에 고압 수은 램프를 이용하여, 포토마스크를 통해 400 J/㎡의 노광량으로 노광하였다. 그 후, 기판 상의 도막에 23 ℃의 0.04 중량% 수산화칼륨 수용액을 1 kgf/㎠의 현상압(노즐 직경 1 mm)으로 60초간 토출함으로써, 샤워 현상을 행한 후, 추가로 220 ℃에서 30분간 후-베이킹을 행하여, 200×200 μm의 도트 패턴을 형성하였다.After apply | coating a liquid composition (S-1) on the surface of a glass substrate using a spin coater, prebaking was performed for 4 minutes on the 90 degreeC hotplate, and the coating film of 1.3 micrometers in thickness was formed. Subsequently, after cooling this board | substrate to room temperature, it exposed by the exposure amount of 400 J / m <2> through the photomask using the high pressure mercury lamp to the coating film on the board | substrate. Thereafter, a 0.04% by weight aqueous potassium hydroxide solution at 23 ° C. was discharged to a coating film on the substrate at a developing pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter of 1 mm) for 60 seconds, after which a shower development was performed, followed by further 30 minutes at 220 ° C. Baking was performed to form a dot pattern of 200 x 200 m.
상기 패턴의 형성에 있어서 얻어진 기판 상의 도트 패턴을 주사형 전자 현미경으로 관찰하여 막 두께를 측정함으로써, 잔막률(후-베이킹 후의 막 두께×100/1.3)을 산출하였다. 잔막률이 높을수록, 감도가 양호하다고 할 수 있다.The residual film ratio (film thickness after post-baking x 100 / 1.3) was computed by observing the dot pattern on the board | substrate obtained in formation of the said pattern with the scanning electron microscope, and measuring a film thickness. The higher the residual film ratio, the better the sensitivity.
밀착성 평가Adhesion Evaluation
액상 조성물 (S-1)을 유리 기판의 표면 상에, 스핀 코터를 이용하여 도포한 후, 90 ℃의 핫 플레이트에서 4분간 예비 베이킹을 행하여, 막 두께 1.3 μm의 도막을 형성하였다. 이어서, 이 기판을 실온으로 냉각한 후, 고압 수은 램프를 이용하여, 기판 상의 도막에 400 J/㎡의 노광량으로 노광하였다. 그 후, 도막에 23 ℃의 0.04 중량% 수산화칼륨 수용액을 1 kgf/㎠의 현상압(노즐 직경 1 mm)으로 60초간 토출함으로써, 샤워 현상을 행한 후, 추가로 220 ℃에서 30분간 후-베이킹을 행하였다.After apply | coating a liquid composition (S-1) on the surface of a glass substrate using a spin coater, prebaking was performed for 4 minutes on the 90 degreeC hotplate, and the coating film of 1.3 micrometers in thickness was formed. Subsequently, after cooling this board | substrate to room temperature, it exposed to the coating film on a board | substrate by the exposure amount of 400 J / m <2> using the high pressure mercury lamp. Thereafter, a 0.04% by weight aqueous potassium hydroxide solution at 23 DEG C was discharged to the coating film at a developing pressure of 1 kgf / cm < 2 > (nozzle diameter of 1 mm) for 60 seconds, after which a shower development was performed, followed by post-baking at 220 DEG C for 30 minutes. Was performed.
이어서, JIS K5400 규격에 따라서, 경화막을 100개의 격자 모양으로 크로스 컷팅하여, 밀착성 평가를 행하였다. 그리고, 격자의 박리가 생기지 않은 경우를 ○, 격자 중 1 내지 10개가 박리되는 경우를 △, 격자이 10개보다 많이 박리되는 경우를 ×로서, 평가하였다.Next, the cured film was cross-cut in 100 grid | lattices form according to JISK5400 standard, and adhesive evaluation was performed. (Circle) and the case where 1-10 pieces of a lattice are peeled as (circle) and the case where more than 10 lattice peels were evaluated as (x).
단면 형상 및 현상 내성의 평가Evaluation of cross section shape and developing resistance
액상 조성물 (S-1)을 유리 기판의 표면 상에, 스핀 코터를 이용하여 도포한 후, 90 ℃의 핫 플레이트에서 4분간 예비 베이킹을 행하여, 막 두께 1.3 μm의 도막을 형성하였다. 이어서, 이 기판을 실온으로 냉각한 후, 기판 상의 도막에 고압 수은 램프를 이용하여, 포토마스크를 통해 400 J/㎡의 노광량으로 노광하였다. 그 후, 기판 상의 도막에 23 ℃의 0.04 중량% 수산화칼륨 수용액을 1.5 kgf/㎠의 현상압(노즐 직경 1 mm)으로 60초간 토출함으로써 샤워 현상을 행하였다. 이어서, 220 ℃에서 30분간 후-베이킹을 행하여, 기판 상에 90 μm의 스트라이프상 화소 패턴을 형성하였다.After apply | coating a liquid composition (S-1) on the surface of a glass substrate using a spin coater, prebaking was performed for 4 minutes on the 90 degreeC hotplate, and the coating film of 1.3 micrometers in thickness was formed. Subsequently, after cooling this board | substrate to room temperature, it exposed by the exposure amount of 400 J / m <2> through the photomask using the high pressure mercury lamp to the coating film on the board | substrate. Thereafter, shower development was performed by discharging a 0.04% by weight aqueous potassium hydroxide solution at 23 ° C. for 60 seconds at a developing pressure of 1.5 kgf / cm 2 (nozzle diameter 1 mm) to the coating film on the substrate. Subsequently, post-baking was carried out at 220 ° C. for 30 minutes to form a 90 μm striped pixel pattern on the substrate.
이어서, 얻어진 스트라이프상 화소 패턴을 광학 현미경에 의해 관찰하고, 패턴 엣지의 결함 유무를 관찰하였다.Next, the obtained stripe pixel pattern was observed with the optical microscope, and the presence or absence of the defect of a pattern edge was observed.
또한, 얻어진 화소 패턴의 단면 형상을 주사형 전자 현미경(SEM)에 의해 관찰하여, 도 1에 나타내는 테이퍼각을 측정하였다. 이 테이퍼각이 80도 이상이면, 투명 전극막이 단선되어 버릴 우려가 있다. 한편, 테이퍼각이 20도 이하이면, 화소 패턴의 경사 부분이 길어져, 화소의 엣지에서 막 두께가 얇아지는 부분이 생겨 버린다. 이상적인 테이퍼각은 30 내지 70도이다.Moreover, the cross-sectional shape of the obtained pixel pattern was observed with the scanning electron microscope (SEM), and the taper angle shown in FIG. 1 was measured. If this taper angle is 80 degrees or more, there exists a possibility that a transparent electrode film may be disconnected. On the other hand, when the taper angle is 20 degrees or less, the inclined portion of the pixel pattern becomes long, and the portion where the film thickness becomes thin at the edge of the pixel is generated. The ideal taper angle is 30 to 70 degrees.
실시예 2 내지 12 및 비교예 1 내지 11Examples 2-12 and Comparative Examples 1-11
액상 조성물의 각 성분의 종류 및 양을 표 1에 나타내는 대로 한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여, 액상 조성물 (S-2) 내지 (S-23)을 제조하였다.The liquid compositions (S-2) to (S-23) were prepared in the same manner as in Example 1 except that the kind and amount of each component of the liquid composition were as shown in Table 1.
이어서, 액상 조성물 (S-1) 대신에 각각 액상 조성물 (S-2) 내지 (S-23)을 이용한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 평가를 행하였다. 결과를 표 2에 나타내었다.Next, it evaluated similarly to Example 1 except having used liquid compositions (S-2)-(S-23) instead of liquid composition (S-1), respectively. The results are shown in Table 2.
표 1에 있어서, 각 성분은 하기 대로이다.In Table 1, each component is as follows.
C-1: 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트C-1: dipentaerythritol hexaacrylate
C-2: 펜타에리트리톨테트라메타크릴레이트C-2: pentaerythritol tetramethacrylate
C-3: 상기 화학식 1 내지 3에 있어서 m=1, 화학식 2로 표시되는 기의 수=6, R1이 전부 수소 원자인 화합물(상품명 KAYARAD DPCA-60, 닛본 가야꾸사 제조)C-3: the compound of the formulas 1-3, m = 1, the number of groups represented by the formula (2) = 6, and R 1 are all hydrogen atoms (trade names KAYARAD DPCA-60, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
C-4: 상기 화학식 1 내지 3에 있어서 m=2, 화학식 2로 표시되는 기의 수=6, R1이 전부 수소 원자인 화합물(상품명 KAYARAD DPCA-120, 닛본 가야꾸사 제조)C-4: In the said Chemical Formulas 1-3, m = 2, the number of groups represented by Formula 2 = 6, and R <1> are all hydrogen atoms (brand name KAYARAD DPCA-120, the Nippon Kayaku Co., Ltd. make).
C-5: 상기 화학식 1 내지 3에 있어서 m=1, 화학식 2로 표시되는 기의 수=2, R1이 전부 수소 원자인 화합물(상품명 KAYARAD DPCA-20, 닛본 가야꾸사 제조)C-5: In the above formulas 1 to 3, m = 1, the number of groups represented by the formula (2) = 2, and R 1 are all hydrogen atoms (trade names KAYARAD DPCA-20, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
C-6: 상기 화학식 1 내지 3에 있어서 m=1, 화학식 2로 표시되는 기의 수=3, R1이 전부 수소 원자인 화합물(상품명 KAYARAD DPCA-30, 닛본 가야꾸사 제조)C-6: In the above Chemical Formulas 1 to 3, m = 1, the number of groups represented by the Chemical Formula 2 = 3, and R 1 are all hydrogen atoms (trade names KAYARAD DPCA-30, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
D-1: 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온(상품명 이르가큐어 369, 시바ㆍ스페셜티ㆍ케미컬즈사 제조)D-1: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one (trade name Irgacure 369, manufactured by Ciba Specialty Chemicals, Inc.)
D-2: 2-메틸-1-〔4-(메틸티오)페닐〕-2-모르폴리노프로판-1-온(상품명 이르가큐어 907, 시바ㆍ스페셜티ㆍ케미컬즈사 제조)D-2: 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane-1-one (trade name Irgacure 907, manufactured by Ciba Specialty Chemicals, Inc.)
D-3: 에타논,1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일]-,1-(O-아세틸옥심)(상품명 이르가큐어 OXE02, 시바ㆍ스페셜티ㆍ케미컬즈사 제조)D-3: ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) (trade name Irgacure OXE02, Ciba ㆍ specialty chemicals)
D-4: 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,5,4',5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸D-4: 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,5,4 ', 5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole
D-5: 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논D-5: 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone
D-6: 2-머캅토벤조티아졸D-6: 2-mercaptobenzothiazole
표 2로부터, 다관능성 단량체로서 분자 내에 카프로락톤 구조와 2개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 화합물을 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대하여 100 내지 300 중량부 함유하는 착색층 형성용 감방사선성 조성물을 사용한 경우(실시예 1 내지 12), 이상적인 순테이퍼 형상이 형성되고, 밀착성도 우수한 것을 알 수 있었다.From Table 2, a radiation sensitive composition for forming a colored layer containing 100 to 300 parts by weight of a compound having a caprolactone structure and two or more polymerizable unsaturated bonds in a molecule as a polyfunctional monomer is used based on 100 parts by weight of an alkali-soluble resin. In the case (Examples 1-12), it turned out that an ideal forward taper shape is formed and it is excellent also in adhesiveness.
한편, 다관능성 단량체로서 분자 내에 카프로락톤 구조와 2개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 화합물을 함유하지 않는 것(비교예 8 및 11)을 사용한 경우, 화소 패턴이 역테이퍼 형상이 되는 것을 알 수 있었다. 또한, 분자 내에 카프로락톤 구조와 2개 이상의 중합성 불포화 결합을 갖는 화합물의 함유량이 알칼리 가용성 수지 100 중량부에 대하여 100 중량부 미만이면(비교예 1, 2, 4 내지 7, 9 및 10), 이상적인 순테이퍼 형상이 형성되지 못할 뿐 아니라 화소 패턴에 결함이 발생하는 경우가 있고, 한편 300 중량부를 초과하면(비교예 3), 밀착성이 떨어지는 것을 알 수 있었다.
On the other hand, when the polyfunctional monomer was used without containing a compound having a caprolactone structure and two or more polymerizable unsaturated bonds (Comparative Examples 8 and 11), it was found that the pixel pattern became an inverse taper shape. . Further, if the content of the compound having a caprolactone structure and two or more polymerizable unsaturated bonds in the molecule is less than 100 parts by weight relative to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin (Comparative Examples 1, 2, 4 to 7, 9 and 10), Not only did an ideal forward taper shape not be formed, but a defect might generate | occur | produce in a pixel pattern, and when 300 weight part exceeded (comparative example 3), it turned out that adhesiveness is inferior.
Claims (8)
<화학식 1>
(화학식 중, 6개의 R은 모두가 하기 화학식 2로 표시되는 기이거나, 또는 6개의 R 중 1 내지 5개가 하기 화학식 2로 표시되는 기이고, 나머지가 하기 화학식 3으로 표시되는 기임)
<화학식 2>
(화학식 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, m은 1 또는 2의 수를 나타내고, 「*」는 결합손인 것을 나타냄)
<화학식 3>
(화학식 중, R1은 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, 「*」는 결합손인 것을 나타냄)The radiation sensitive composition for forming a colored layer according to claim 1, wherein the compound having a caprolactone structure and two or more polymerizable unsaturated bonds in the molecule is a compound represented by the following general formula (1).
<Formula 1>
(In the formula, all 6 R is a group represented by the following formula (2), or 1 to 5 of the six R is a group represented by the formula (2), the rest is a group represented by the formula (3)
<Formula 2>
(In formula, R <1> represents a hydrogen atom or a methyl group, m represents the number of 1 or 2, and it shows that "*" is a bond.)
<Formula 3>
(In formula, R <1> represents a hydrogen atom or a methyl group, and it shows that "*" is a bond.)
The manufacturing method of the color filter containing the process of forming a colored layer by exposure amount of 800 J / m <2> or less using the radiation sensitive composition for colored layer formation in any one of Claims 1-5.
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