JP2005189720A - Photosensitive resin composition, photosensitive transfer material and image forming method - Google Patents

Photosensitive resin composition, photosensitive transfer material and image forming method Download PDF

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享 杉山
Hirotaka Matsumoto
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition capable of achieving photosetting up to a deep portion of a film even with a small light exposure, a photosensitive transfer material capable of forming a black matrix having a high optical density and little disarray, and an image forming method. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition contains at least an alkali-soluble binder, a photopolymerization initiator, a polyfunctional monomer and a light shielding agent, wherein the polyfunctional monomer is a dipentaerythritol polyacrylate compound having a viscosity of ≤4,000 mPa s. The photosensitive transfer material and the image forming method use the same. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、膜深部まで十分に光硬化できる感光性樹脂組成物、並びに、これを用いた感光性転写材料および画像形成方法に関する。特に、本発明の感光性樹脂組成物、感光性転写材料および画像形成方法は、セルフアライメント露光方式によるカラーフィルターの作製等に好適に利用される。   The present invention relates to a photosensitive resin composition that can be sufficiently photocured to a deep part of a film, and a photosensitive transfer material and an image forming method using the same. In particular, the photosensitive resin composition, the photosensitive transfer material, and the image forming method of the present invention are suitably used for producing a color filter by a self-alignment exposure method.

従来、カラーフィルターを作製するにあたり、R(赤)、G(緑)、B(青)の各画素の間隔には、表示コントラストの向上等の目的で、ブラックマトリックスが各画素の間隔に形成されている。ブラックマトリックスの形成方法としては、クロム等の金属膜をブラックマトリックスとして用いる方法や遮光性顔料等を分散させた感光性樹脂組成物を用いる方法等が知られている。   Conventionally, when a color filter is manufactured, a black matrix is formed at intervals of pixels for the purpose of improving display contrast and the like at intervals of pixels of R (red), G (green), and B (blue). ing. As a method for forming a black matrix, a method using a metal film such as chromium as a black matrix, a method using a photosensitive resin composition in which a light-shielding pigment or the like is dispersed, and the like are known.

上記ブラックマトリックスの形成方法の中では、感光性樹脂組成物を用いる方法が、金属薄膜を用いる方法に比べ、製造コスト等の点で有利であるとされている。遮光性顔料等を分散させた感光性樹脂を用いる方法によれば、遮光性顔料等を分散した感光性樹脂層を塗布または印刷等の方法により基板上に形成し、パターン露光と現像の工程とを経てブラックマトリックスが形成される。   Among the methods for forming the black matrix, a method using a photosensitive resin composition is considered to be advantageous in terms of manufacturing cost and the like as compared with a method using a metal thin film. According to a method using a photosensitive resin in which a light-shielding pigment or the like is dispersed, a photosensitive resin layer in which the light-shielding pigment or the like is dispersed is formed on a substrate by a method such as coating or printing, and pattern exposure and development steps. Through this process, a black matrix is formed.

上記感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリックスの形成方法としては、着色顔料、アクリル系モノマー、顔料分散剤、光重合開始剤、希釈溶媒、および、密着性向上剤を主成分とする光硬化性アクリル系着色組成物を用いた方法が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。かかる方法によれば、上記アクリル系モノマーとしてジペンタエリスリトールペンタアクリレートまたはジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等を用いることで密着力に優れ、シミ等のない均一な色彩パターンを形成することができるとされている。   As a method for forming a black matrix using the above photosensitive resin composition, photocurability mainly composed of a color pigment, an acrylic monomer, a pigment dispersant, a photopolymerization initiator, a dilution solvent, and an adhesion improver. A method using an acrylic coloring composition has been proposed (see, for example, Patent Document 1). According to such a method, it is said that by using dipentaerythritol pentaacrylate or dipentaerythritol hexaacrylate as the acrylic monomer, it is possible to form a uniform color pattern having excellent adhesion and no stains. .

ブラックマトリックスの機能の一つとしてはTFT基板等における配線部からの光漏れを防止することがあり、これはコントラストの向上を目的とするものである。かかる目的を達成する為には、ブラックマトリックスの光学濃度が高い程望ましい。しかし、感光性樹脂層に含まれる遮光剤は可視光のみでなく、感光性樹脂層の露光時に露光波長である紫外線をも吸収してしまう。このため、上述の感光性樹脂組成物を用いる方法では、ブラックマトリックスの光学濃度を高めるために感光性樹脂組成物の遮光剤(顔料、カーボンブラック)等を調整しても、例えば、ガラス基板の裏面(画素が設けられていない面:非画素形成面)から光(例えば、紫外線)を照射した場合には、感光性樹脂層の上部まで十分に硬化させることが困難になってしまう。このように、十分に硬化させないまま感光性樹脂層を現像すると、不完全硬化部までもが除去されてしまい、ブラックマトリックスを形成した際に、所望の膜厚を得ることができず、光学濃度も低下してしまう。
特許第2768137号明細書
One of the functions of the black matrix is to prevent light leakage from the wiring portion of the TFT substrate or the like, which is intended to improve contrast. In order to achieve such an object, the higher the optical density of the black matrix, the better. However, the light-shielding agent contained in the photosensitive resin layer absorbs not only visible light but also ultraviolet rays that are the exposure wavelength when the photosensitive resin layer is exposed. Therefore, in the method using the photosensitive resin composition described above, even if the light shielding agent (pigment, carbon black) or the like of the photosensitive resin composition is adjusted to increase the optical density of the black matrix, for example, the glass substrate When light (for example, ultraviolet rays) is irradiated from the back surface (surface where no pixel is provided: non-pixel formation surface), it becomes difficult to sufficiently cure the photosensitive resin layer. As described above, when the photosensitive resin layer is developed without being sufficiently cured, even the incompletely cured portion is removed, and when the black matrix is formed, a desired film thickness cannot be obtained, and the optical density is reduced. Will also decline.
Japanese Patent No. 2768137

上述の問題を解決すべく、本発明の第1の目的は、低露光量でも膜深部まで光硬化することが可能な感光性樹脂組成物を提供することである。
本発明の第2の目的は、光学濃度が高く、配向乱れの少ないブラックマトリックスを形成可能な感光性転写材料および画像形成方法を提供することである。
In order to solve the above-mentioned problems, a first object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that can be photo-cured to a film deep portion even with a low exposure amount.
A second object of the present invention is to provide a photosensitive transfer material and an image forming method capable of forming a black matrix having a high optical density and little alignment disorder.

上記課題は、下記の手段によって解決される。
<1> 少なくとも、アルカリ可溶性バインダーと、光重合開始剤と、多官能性モノマーと、遮光剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、前記多官能性モノマーが、粘度4000mPa・s以下のジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物である。
The above problem is solved by the following means.
<1> A photosensitive resin composition containing at least an alkali-soluble binder, a photopolymerization initiator, a polyfunctional monomer, and a light-shielding agent, wherein the polyfunctional monomer has a viscosity of 4000 mPa · s or less. It is a photosensitive resin composition characterized by being a dipentaerythritol polyacrylate compound.

<2> 前記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物は、ジペンタエリスリトールのアルコール部の少なくとも1カ所が2価の連結基を介してアクリレート化された化合物であることを特徴とする上記<1>の感光性樹脂組成物である。   <2> The photosensitivity according to <1>, wherein the dipentaerythritol polyacrylate compound is a compound in which at least one alcohol portion of dipentaerythritol is acrylated via a divalent linking group. It is a resin composition.

<3> 前記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物は、ジペンタエリスリトールのアルコール部の少なくとも1カ所をラクトン又はアルキレンオキシド化合物と付加反応した後にアクリレート化された化合物であることを特徴とする上記<1>または<2>の感光性樹脂組成物である。   <3> The above-mentioned <1>, wherein the dipentaerythritol polyacrylate compound is an acrylated compound after an addition reaction of at least one alcohol portion of dipentaerythritol with a lactone or alkylene oxide compound. <2> The photosensitive resin composition.

<4> 前記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物は、ジペンタエリスリトールのアルコール部の少なくとも1カ所をε−カプロラクトンと付加反応した後にアクリレート化された化合物であることを特徴とする上記<1>〜<3>の感光性樹脂組成物である。   <4> The above-mentioned <1> to <3, wherein the dipentaerythritol polyacrylate compound is a compound that is acrylated after addition reaction with ε-caprolactone in at least one alcohol portion of dipentaerythritol. > Photosensitive resin composition.

<5> 仮支持体上に、少なくとも、上記<1>〜<4>の感光性樹脂組成物を用いてなる感光性樹脂層を有することを特徴とする感光性転写材料である。   <5> A photosensitive transfer material having a photosensitive resin layer formed by using at least the photosensitive resin composition of the above <1> to <4> on a temporary support.

<6> 仮支持体上に、少なくとも、上記<1>〜<4>の感光性樹脂組成物を用いてなる感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いた画像形成方法であって、前記感光性転写材料の前記感光性樹脂層と基板とを密着させるラミネート工程と、前記感光性転写材料から仮支持体を除去する除去工程と、前記感光性樹脂層をパターン露光する露光工程と、パターン露光された前記感光性樹脂層を現像して前記基板上に画像を形成する画像形成工程と、を含むことを特徴とする画像形成方法である。   <6> An image forming method using a photosensitive transfer material having a photosensitive resin layer using at least the photosensitive resin composition of the above <1> to <4> on a temporary support, A laminating step in which the photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material and the substrate are in intimate contact, a removing step of removing the temporary support from the photosensitive transfer material, an exposure step of pattern exposing the photosensitive resin layer, and a pattern An image forming step of developing the exposed photosensitive resin layer to form an image on the substrate.

<7> 前記基板が光透過性を有し、且つ、前記露光工程は、前記基板側から光を照射して前記感光性樹脂層のパターン露光をおこなうことを特徴とする上記<6>の画像形成方法である。   <7> The image according to <6>, wherein the substrate has light transparency, and the exposure step performs pattern exposure of the photosensitive resin layer by irradiating light from the substrate side. It is a forming method.

本発明によれば、低露光量でも膜深部まで光硬化することが可能な感光性樹脂組成物を提供することができる。また、本発明によれば、光学濃度が高く、配向性および遮光性に優れたブラックマトリックスを形成可能な感光性転写材料および画像形成方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the photosensitive resin composition which can be photocured to the film deep part even with a low exposure amount can be provided. Further, according to the present invention, it is possible to provide a photosensitive transfer material and an image forming method capable of forming a black matrix having a high optical density and excellent orientation and light shielding properties.

《感光性樹脂組成物》
本発明の感光性樹脂組成物は、少なくとも、アルカリ可溶性バインダーと、光重合開始剤と、多官能性モノマーと、遮光剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、前記多官能性モノマーが、粘度4000mPa・s以下のジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物であることを特徴とする。尚、本発明において、「ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物」とは、アクリレート部の少なくとも1カ所が他の置換基で置換されたアクリレート化合物を意味する。
<< Photosensitive resin composition >>
The photosensitive resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition containing at least an alkali-soluble binder, a photopolymerization initiator, a polyfunctional monomer, and a light-shielding agent, and the polyfunctional monomer. Is a dipentaerythritol polyacrylate compound having a viscosity of 4000 mPa · s or less. In the present invention, the “dipentaerythritol polyacrylate compound” means an acrylate compound in which at least one portion of the acrylate portion is substituted with another substituent.

本発明の感光性樹脂組成物は、上記多官能モノマーとして、粘度4000mPa.s以下のジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物を用いることで、ブラックマトリックスを形成するために感光性樹脂層とした際に、低露光量でも膜深部まで光硬化することが可能となる。これにより、ブラックマトリックスを形成した際に、光学濃度の低下や膜減りによって、遮光性の低下や配向乱れが発生するのを防止することができる。
ここで、「配向乱れ」とは、ブラックマトリックスの膜減りによって、ブラックマトリックスの上辺が隣接する着色画素の上辺よりも低くなり、段差が生じて液晶分子の配向が乱れることをいう。上記配向乱れがあると、画素の輝度が低下したり、着色画素とブラックマトリックスとの間から光漏れをおこす場合がある。
The photosensitive resin composition of the present invention has a viscosity of 4000 mPa.s as the polyfunctional monomer. By using a dipentaerythritol polyacrylate compound of s or less, when a photosensitive resin layer is formed to form a black matrix, it is possible to photocure even to a film deep portion even with a low exposure amount. Thereby, when the black matrix is formed, it is possible to prevent the deterioration of the light shielding property and the disorder of the alignment due to the decrease of the optical density and the reduction of the film.
Here, the “alignment disorder” means that the upper side of the black matrix becomes lower than the upper side of the adjacent colored pixel due to the reduction in the film thickness of the black matrix, and the alignment of the liquid crystal molecules is disturbed. When the alignment is disturbed, the luminance of the pixel may be lowered, or light may leak from between the colored pixel and the black matrix.

本発明の感光性樹脂組成物は、少なくとも、アルカリ可溶性バインダーと、光重合開始剤と、多官能性モノマーと、遮光剤と、を含んでなり、必要に応じて、溶媒や紫外線吸収剤や界面活性剤およびその他の添加剤を含むことができる。以下、本発明の感光性樹脂組成物の各成分について詳述する。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises at least an alkali-soluble binder, a photopolymerization initiator, a polyfunctional monomer, and a light-shielding agent, and, if necessary, a solvent, an ultraviolet absorber, or an interface. Activators and other additives can be included. Hereinafter, each component of the photosensitive resin composition of this invention is explained in full detail.

(アルカリ可溶性バインダー)
本発明に用いるアルカリ可溶性バインダーとしては、顔料の分散安定性、および、後述する多官能性モノマーや光重合開始剤との相溶性がよく、アルカリ現像液に対する溶解性や塗布液調製時の有機溶剤溶解性、強度、軟化温度等が適切であるものが好ましい。
(Alkali-soluble binder)
As the alkali-soluble binder used in the present invention, the dispersion stability of the pigment and the compatibility with the polyfunctional monomer and photopolymerization initiator described later are good, the solubility in an alkali developer and the organic solvent at the time of preparing the coating solution Those having suitable solubility, strength, softening temperature and the like are preferable.

本発明において、「アルカリ可溶性」とは、下記のアルカリ物質の水溶液、またはこれに水と混和性のある有機溶媒を混合したものに可溶であることを指す。アルカリ性物質、および水と混和性のある適当な有機溶剤としては、現像液に用いられるものと同様の「アルカリ性物質」および「水と混和性の有機溶剤」と同様のものを挙げることができる。   In the present invention, the term “alkali-soluble” means soluble in an aqueous solution of the following alkaline substance or a mixture of this with an organic solvent miscible with water. Examples of the alkaline substance and the appropriate organic solvent miscible with water include the same “alkaline substance” and “water-miscible organic solvent” as those used in the developer.

上記アルカリ可溶性バインダーは、水不溶性であってもよいし、水溶性であってもよい。具体的に、水不溶性のアルカリ可溶性バインダーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するポリマー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号等の各明細書に記載されている様なメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が好適に挙げられる。また、側鎖にカルボン酸基を有するセルローズ誘導体も使用できる。この他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも有用である。特に好ましくは、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸の共重合体およびベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。   The alkali-soluble binder may be water-insoluble or water-soluble. Specifically, the water-insoluble alkali-soluble binder includes a polymer having a carboxylic acid group in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, and JP-B-54. Methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, croton as described in the specifications of JP-A-25-25957, JP-A-59-53836, JP-A-59-71048, etc. Preferable examples include acid copolymers, maleic acid copolymers, and partially esterified maleic acid copolymers. Cellulose derivatives having a carboxylic acid group in the side chain can also be used. In addition, a polymer having a hydroxyl group added to a polymer having a hydroxyl group is also useful. Particularly preferably, a copolymer of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid described in U.S. Pat. No. 4,139,391 and multi-component copolymer of benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers Coalescence can be mentioned.

また、水溶性のアルカリ可溶性バインダーとしては、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキシド、ポリビニルアルコール等を挙げることができる。その他に、種々の特性、例えば硬化膜の強度を改良するために、現像特性等を損なわない範囲でアルカリ不溶のポリマーを併用することができる。この様なポリマーとしては、アルコール可溶性ナイロンまたはエポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the water-soluble alkali-soluble binder include polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide, and polyvinyl alcohol. In addition, in order to improve various properties such as the strength of the cured film, an alkali-insoluble polymer can be used in combination as long as the development properties and the like are not impaired. Examples of such a polymer include alcohol-soluble nylon and epoxy resin.

上記アルカリ可溶性バインダーは、2種以上を併用することもできる。
本発明において、上記アルカリ可溶性バインダーの感光性樹脂組成物における固形分含有量は10〜95質量%が好ましく、より好ましくは20〜90質量%である。上記含有量が10質量%〜95質量%の範囲内にあると、感光樹脂層とした際に粘着性が高くなりすぎるのを防止することができ、さらに、露光によって形成される画像の強度および光感応度を向上させることができる。
Two or more of the alkali-soluble binders can be used in combination.
In this invention, 10-95 mass% is preferable, and, as for solid content in the photosensitive resin composition of the said alkali-soluble binder, More preferably, it is 20-90 mass%. When the content is in the range of 10% by mass to 95% by mass, it is possible to prevent the adhesiveness from becoming too high when the photosensitive resin layer is formed, and the strength of the image formed by exposure and Photosensitivity can be improved.

(光重合開始剤)
本発明に用いる光重合開始剤としては、可視光線や紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の照射(露光)により、後述の重合性モノマーの重合反応を開始させる活性種を発生し得る化合物であり、公知の光重合開始剤若しくは光重合開始剤系の中から適宜に選択することができる。
(Photopolymerization initiator)
As a photopolymerization initiator used in the present invention, an active species that initiates a polymerization reaction of a polymerizable monomer described later is generated by irradiation (exposure) of radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, and X-ray. And can be appropriately selected from known photopolymerization initiators or photopolymerization initiator systems.

上記光重合開始剤としては、例えば、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、等を挙げることができる。   Examples of the photopolymerization initiator include trihalomethyl group-containing compounds, acridine compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds, and polynuclear quinone compounds. Compounds, xanthone compounds, diazo compounds, and the like.

上記光重合開始剤として、具体的には、特開2001−117230公報に記載されている、トリハロメチル基が置換したトリハロメチルオキサゾール誘導体またはs−トリアジン誘導体、米国特許第4239850号明細書に記載のトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第4212976号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合物などのトリハロメチル基含有化合物;   Specific examples of the photopolymerization initiator described in JP-A-2001-117230 include trihalomethyloxazole derivatives or s-triazine derivatives substituted with a trihalomethyl group, as described in US Pat. No. 4,239,850. Trihalomethyl group-containing compounds such as trihalomethyl-s-triazine compounds and trihalomethyloxadiazole compounds described in US Pat. No. 4,221,976;

9−フェニルアクリジン、9−ピリジルアクリジン、9−ピラジニルアクリジン、1,2−ビス(9−アクリジニル)エタン、1,3−ビス(9−アクリジニル)プロパン、1,4−ビス(9−アクリジニル)ブタン、1,5−ビス(9−アクリジニル)ペンタン、1,6−ビス(9−アクリジニル)ヘキサン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン、1,8−ビス(9−アクリジニル)オクタン、1,9−ビス(9−アクリジニル)ノナン、1,10−ビス(9−アクリジニル)デカン、1,11−ビス(9−アクリジニル)ウンデカン、1,12−ビス(9−アクリジニル)ドデカン等のビス(9−アクリジニル)アルカン、等のアクリジン系化合物;   9-phenylacridine, 9-pyridylacridine, 9-pyrazinylacridine, 1,2-bis (9-acridinyl) ethane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, 1,4-bis (9-acridinyl) ) Butane, 1,5-bis (9-acridinyl) pentane, 1,6-bis (9-acridinyl) hexane, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,8-bis (9-acridinyl) octane 1,9-bis (9-acridinyl) nonane, 1,10-bis (9-acridinyl) decane, 1,11-bis (9-acridinyl) undecane, 1,12-bis (9-acridinyl) dodecane, etc. Acridine compounds such as bis (9-acridinyl) alkane;

6−(p−メトキシフェニル)−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、6−〔p−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンなどのトリアジン系化合物;そのほか、9,10−ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケトン、ベンゾフェノン/ミヒラーズケトン、ヘキサアリールビイミダゾール/メルカプトベンズイミダゾール、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン/アミン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が挙げられる。   6- (p-methoxyphenyl) -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis ( Triazine compounds such as trichloromethyl) -s-triazine; 9,10-dimethylbenzphenazine, Michler's ketone, benzophenone / Michler's ketone, hexaarylbiimidazole / mercaptobenzimidazole, benzyldimethyl ketal, thioxanthone / amine, 2,2 ′ -Bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like.

これらのうち本発明における光重合開始剤としては、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物から選択される少なくとも1種が好ましく、特に、トリハロメチル基含有化合物およびアクリジン系化合物から選択される少なくとも1種が好ましい。このトリハロメチル基含有化合物とアクリジン系化合物は、汎用性があり且つ安価である点で有用である。   Among these, the photopolymerization initiator in the present invention is preferably at least one selected from a trihalomethyl group-containing compound, an acridine compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, and a triazine compound, and particularly a trihalomethyl group. At least one selected from a containing compound and an acridine compound is preferred. The trihalomethyl group-containing compound and the acridine compound are useful in that they are versatile and inexpensive.

上記トリハロメチル基含有化合物としては、2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾールが好ましい。また、上記アクリジン系化合物としては、9−フェニルアクリジンが好ましい。更に好ましくは、6−〔p−(N,N−ビス(エトキシカルボニルメチル)アミノ)フェニル〕−2,4−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−ブトキシスチリル)−5−トリクロロメチル−1,3,4−オキサジアゾール等のトリハロメチル基含有化合物、およびミヒラーズケトン、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが挙げられる。   As the trihalomethyl group-containing compound, 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole is preferable. The acridine compound is preferably 9-phenylacridine. More preferably, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-butoxystyryl) -5 Trihalomethyl group-containing compounds such as trichloromethyl-1,3,4-oxadiazole, and Michler's ketone, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl- 1,2'-biimidazole is mentioned.

上記光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明において、上記光重合開始剤の感光性樹脂組成物における固形分含有量は0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜10質量%がさらに好ましい。上記含有量が0.1〜20質量%の範囲内にあると、感光性樹脂組成物の光硬化の程度および強度を十分高めることができ、さらに形成された画像が脆く下部に削れるのを防止することができる。
The said photoinitiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
In this invention, 0.1-20 mass% is preferable, and solid content in the photosensitive resin composition of the said photoinitiator has more preferable 0.5-10 mass%. When the content is in the range of 0.1 to 20% by mass, the degree and strength of photocuring of the photosensitive resin composition can be sufficiently increased, and further, the formed image is prevented from being fragile and scraping downward. can do.

−水素供与体−
上記光重合開始剤は、水素供与体を併用して構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をより良化することができる点で、以下で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここで「水素供与体」とは、露光にって上記光重合開始剤から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物をいう。
-Hydrogen donor-
The photopolymerization initiator may be configured using a hydrogen donor in combination. The hydrogen donor is preferably a mercaptan compound or an amine compound as defined below from the viewpoint that sensitivity can be further improved. Here, the “hydrogen donor” refers to a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from the photopolymerization initiator upon exposure.

上記メルカプタン系化合物とは、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、好ましくは1〜3個、更に好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「メルカプタン系水素供与体」という場合がある。)である。また、上記アミン系化合物とは、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、更に好ましくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水素供与体」という場合がある。)である。尚、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有していてもよい。   The mercaptan-based compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having one or more mercapto groups directly bonded to the mother nucleus, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 (hereinafter referred to as “ It may also be referred to as a “mercaptan-based hydrogen donor”. The amine-based compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus ( Hereinafter, it may be referred to as “amine-based hydrogen donor”). These hydrogen donors may have a mercapto group and an amino group at the same time.

上記メルカプタン系水素供与体の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミノピリジン、等が挙げられ、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、2−メルカプトベンゾチアゾールが特に好ましい。   Specific examples of the mercaptan hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-2, 5-dimethylaminopyridine and the like can be mentioned, and 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

上記アミン系水素供与体の具体例としては、4、4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4、4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられ、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが特に好ましい。   Specific examples of the amine hydrogen donor include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, ethyl- 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like can be mentioned, and 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone are preferable. 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferred.

上記水素供与体は、単独または2種以上を混合して使用することができる。尚、形成された画像(画素)が現像時に基板から脱落するのを防止し、且つ強度および感度を向上させる観点からは、1種以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使用することが好ましい。   These hydrogen donors can be used alone or in admixture of two or more. From the viewpoint of preventing the formed image (pixel) from falling off the substrate during development and improving the strength and sensitivity, one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors are used. It is preferable to use in combination with the body.

上記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組合せの具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、2−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンである。   Specific examples of the combination of the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-. Examples thereof include bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone. More preferred combinations are 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and a particularly preferred combination is 2-mercaptobenzobenzone. Thiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone.

上記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供与体(M)とアミン系水素供与体(A)との質量比(M:A)は、通常1:1〜1:4が好ましく、1:1〜1:3がより好ましい。
上記水素供与体の感光性樹脂組成物における含有量としては、感光性樹脂組成物の全固形分(質量)の0.1〜20質量%が好ましく、0.5〜10質量%が特に好ましい。
When the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor are combined, the mass ratio (M: A) of the mercaptan hydrogen donor (M) and the amine hydrogen donor (A) is usually 1: 1-1: 4 is preferable, and 1: 1-1: 3 is more preferable.
As content in the photosensitive resin composition of the said hydrogen donor, 0.1-20 mass% of the total solid (mass) of the photosensitive resin composition is preferable, and 0.5-10 mass% is especially preferable.

(多官能性モノマー)
本発明における多官能性モノマーとしては、粘度4000mPa・s以下のジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物が用いられる。
ここでジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物の「粘度」は温度25℃において測定した粘度である。上記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物の粘度は例えば、JIS−K7117(1987年)に記載される方法により測定することができる。
(Multifunctional monomer)
As the polyfunctional monomer in the present invention, a dipentaerythritol polyacrylate compound having a viscosity of 4000 mPa · s or less is used.
Here, the “viscosity” of the dipentaerythritol polyacrylate compound is a viscosity measured at a temperature of 25 ° C. The viscosity of the dipentaerythritol polyacrylate compound can be measured, for example, by the method described in JIS-K7117 (1987).

上記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物の粘度としては、4000mPa・s以下が好ましく、3000mPa・s以下がさらに好ましい。また、上記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物の粘度の下限は特に限定ないが、通常、500mPa・s程度以上である。   The viscosity of the dipentaerythritol polyacrylate compound is preferably 4000 mPa · s or less, and more preferably 3000 mPa · s or less. The lower limit of the viscosity of the dipentaerythritol polyacrylate compound is not particularly limited, but is usually about 500 mPa · s or more.

上述の通り、本発明において「ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物」とは、アクリレート部の少なくとも1カ所が他の置換基で置換されたアクリレート化合物を意味する。上記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物としては、ジペンタエリスリトールのアルコール部の少なくとも1カ所が2価の連結基を介してアクリレート化された化合物であることが好ましい。
上記2価の連結基としては、アルキレン基やアリーレン基等が挙げられる。
As described above, in the present invention, “dipentaerythritol polyacrylate compound” means an acrylate compound in which at least one portion of the acrylate portion is substituted with another substituent. The dipentaerythritol polyacrylate compound is preferably a compound in which at least one alcohol portion of dipentaerythritol is acrylated via a divalent linking group.
Examples of the divalent linking group include an alkylene group and an arylene group.

また、上記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物としては、ジペンタエリスリトールのアルコール部の少なくとも1カ所を、ラクトン又はアルキレンオキシド化合物と付加反応した後にアクリレート化された化合物であることが好ましく、ジペンタエリスリトールのアルコール部の少なくとも1カ所を、ε−カプロラクトンと付加反応した後にアクリレート化された化合物であることが更に好ましい。具体的に、上記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物としては、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールのアクリル酸エステルが好ましい。   The dipentaerythritol polyacrylate compound is preferably a compound obtained by acrylated after at least one alcohol portion of dipentaerythritol is subjected to an addition reaction with a lactone or alkylene oxide compound. More preferably, the compound is an acrylated compound after an addition reaction with ε-caprolactone in at least one part. Specifically, the dipentaerythritol polyacrylate compound is preferably an acrylate ester of ε-caprolactone-modified dipentaerythritol.

本発明におけるジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物の具体例としては、例えば、下記の一般式(1)および(2)で表される化合物が挙げられる。但し、本発明はこれに限定されるものではない。   Specific examples of the dipentaerythritol polyacrylate compound in the present invention include compounds represented by the following general formulas (1) and (2). However, the present invention is not limited to this.

Figure 2005189720
〔一般式(1)において、X1〜X6は、単結合、または、下記構造式(1)〜(7)で表される連結基を表す。但し、X1〜X6のうち少なくとも一つは、下記構造式(1)〜(7)で表される連結基である。〕
Figure 2005189720
[In General formula (1), X < 1 > -X < 6 > represents the coupling group represented by a single bond or following Structural formula (1)-(7). However, at least one of X 1 to X 6 is a linking group represented by the following structural formulas (1) to (7). ]

Figure 2005189720
Figure 2005189720

Figure 2005189720
〔一般式(2)において、Y1〜Y6は、−OC(=O)CH=CH2、または、下記構造式(8)で表される連結基を表す。但し、Y1〜Y6のうち少なくとも一つは、下記構造式(8)で表される連結基である。〕
Figure 2005189720
In [Formula (2), Y 1 to Y 6 is, -OC (= O) CH = CH 2, or represents a linking group represented by the following structural formula (8). However, at least one of Y 1 to Y 6 is a linking group represented by the following structural formula (8). ]

Figure 2005189720
Figure 2005189720

本発明におけるジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物として具体的には、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールのアクリル酸エステルに加えて、例えば、エチレンオキサイド若しくはプロピレンオキサイド付加物のアルキル酸エステルや、アクリロイルオキシエチルフォスフェート等が挙げられる。   Specifically, as the dipentaerythritol polyacrylate compound in the present invention, in addition to the acrylic acid ester of ε-caprolactone-modified dipentaerythritol, for example, an alkyl acid ester of ethylene oxide or propylene oxide adduct, or acryloyloxyethyl phosphate Etc.

本発明における多官能性モノマーは、本発明の効果を損なわない範囲で、上記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物と公知の重合性モノマーとを併用することができる。上記公知の重合性モノマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を有する重合性モノマーが挙げられる。上記エチレン性不飽和二重結合を有する重合性モノマーとは、分子内に少なくとも1個の付加重合が可能なエチレン性不飽和結合を有し、好ましくは沸点が常圧で100℃以上のモノマー化合物である。   The polyfunctional monomer in the present invention can be used in combination with the dipentaerythritol polyacrylate compound and a known polymerizable monomer as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of the known polymerizable monomer include polymerizable monomers having an ethylenically unsaturated double bond. The polymerizable monomer having an ethylenically unsaturated double bond is a monomer compound having at least one ethylenically unsaturated bond capable of addition polymerization in the molecule, and preferably having a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure. It is.

上記エチレン性不飽和二重結合を有する重合性モノマーの具体例としては、例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシドやプロピレンオキシドを付加反応した後で(メタ)アクリレート化したもの;特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号の各公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレートやメタクリレート等を挙げることができ、なかでも、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等が特に好ましい例として挙げられる。   Specific examples of the polymerizable monomer having an ethylenically unsaturated double bond include, for example, monofunctional acrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, and the like. Functional methacrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentylglycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra ( (Meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipenta Rithritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate And (meth) acrylates after addition reaction of ethylene oxide or propylene oxide with polyfunctional alcohols such as trimethylolpropane and glycerin; Japanese Examined Patent Publication Nos. 48-41708, 50-6034, and Japanese Patent Publication No. 51-37193 Polyurethane acrylates described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, JP-B-52-30490 Polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates, which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid, among others, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) ) Acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate and the like are particularly preferred examples.

本発明における多官能性モノマーは、2種以上を混合して使用することもできる。
本発明における多官能性モノマーの感光性樹脂組成物中の固形分含有量は5〜50質量%が好ましく、より好ましくは10〜40質量%である。該含有量が5〜50質量%の範囲内にあると、光感度や画像の強度が低くなるのを防止することができ、感光性樹脂層を形成した際に粘着性が過剰になりにくく、取扱い性に優れる。
Two or more kinds of polyfunctional monomers in the present invention can be mixed and used.
As for solid content in the photosensitive resin composition of the polyfunctional monomer in this invention, 5-50 mass% is preferable, More preferably, it is 10-40 mass%. When the content is in the range of 5 to 50% by mass, it is possible to prevent the photosensitivity and the strength of the image from being lowered, and the adhesiveness is hardly excessive when the photosensitive resin layer is formed. Excellent handleability.

(遮光剤)
本発明において「遮光剤」とは、感光性樹脂層を形成した際に波長400nm〜650nmにおける平均光透過率を5%以下に調整しうるものを意味する。本発明の感光性組成物を用いて形成した感光性樹脂層は、このように光透過率が小さい層であっても露光部が充分に硬化しうるものである。
本発明における遮光剤として、具体的には、カーボンブラック、顔料、染料、金属粒子、等が挙げられる。
(Light-shielding agent)
In the present invention, the “light-shielding agent” means a substance capable of adjusting the average light transmittance at a wavelength of 400 nm to 650 nm to 5% or less when the photosensitive resin layer is formed. Even if the photosensitive resin layer formed using the photosensitive composition of the present invention is a layer having such a low light transmittance, the exposed portion can be sufficiently cured.
Specific examples of the light-shielding agent in the present invention include carbon black, pigments, dyes, and metal particles.

また、上記遮光剤は、上記感光性樹脂層中に均一に分散されていることが好ましいことから、5μm以下の粒径のものが好ましく、粒径が1μm以下のものがより好ましく、0.5μm以下の粒径のものが特に好ましい。   The light-shielding agent is preferably dispersed uniformly in the photosensitive resin layer, so that the particle size is preferably 5 μm or less, more preferably 1 μm or less, and more preferably 0.5 μm. The following particle diameters are particularly preferred.

上記顔料の具体例としては、ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.I.42595)、オーラミン(C.I.41000)、ファット・ブラックHB(C.I.26150)、モノライト・イエローGT(C.I.ピグメントイエロー12)、パーマネント・イエローGR(C.I.ピグメント・イエロー17)、パーマネント・イエローHR(C.I.ピグメント・イエロー83)、パーマネント・カーミンFBB(C.I.ピグメント・レッド146)、ホスターバームレッドESB(C.I.ピグメント・バイオレット19)、パーマネント・ルビーFBH(C.I.ピグメント・レッド11)ファステル・ピンクBスプラ(C.I.ピグメント・レッド81)モナストラル・ファースト・ブルー(C.I.ピグメント・ブルー15)、モノライト・ファースト・ブラックB(C.I.ピグメント・ブラック1)、およびカーボンが好適に挙げられる。   Specific examples of the pigment include Victoria Pure Blue BO (C.I. 42595), Auramin (C.I. 41000), Fat Black HB (C.I. 26150), Monolite Yellow GT (C.I. Pigment Yellow 12), Permanent Yellow GR (C.I. Pigment Yellow 17), Permanent Yellow HR (C.I. Pigment Yellow 83), Permanent Carmine FBB (C.I. Pigment Red 146) ), Hoster Balm Red ESB (CI Pigment Violet 19), Permanent Ruby FBH (CI Pigment Red 11) Fastel Pink B Supra (CI Pigment Red 81) Monastral First Blue (CI Pigment Blue 15 Mono Light Fast Black B (C.I. Pigment Black 1), and carbon is preferably exemplified.

黄色顔料としては、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー86、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー117、C.I.ピグメントイエロー125、C.I.ピグメントイエロー137、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー147、C.I.ピグメントイエロー148、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168等が好ましい。   Examples of yellow pigments include C.I. I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 86, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 117, C.I. I. Pigment yellow 125, C.I. I. Pigment yellow 137, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 147, C.I. I. Pigment yellow 148, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment Yellow 168 and the like are preferable.

オレンジ顔料としては、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ55、C.I.ピグメントオレンジ59、C.I.ピグメントオレンジ61等が好ましい。   Examples of orange pigments include C.I. I. Pigment orange 36, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 51, C.I. I. Pigment orange 55, C.I. I. Pigment orange 59, C.I. I. Pigment Orange 61 and the like are preferable.

赤色顔料としては、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド97、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド192、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド217、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド223、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド226、C.I.ピグメントレッド227、C.I.ピグメントレッド228、C.I.ピグメントレッド240、C.I.ピグメントレッド48:1等が好ましい。   Examples of red pigments include C.I. I. Pigment red 9, C.I. I. Pigment red 97, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 192, C.I. I. Pigment red 215, C.I. I. Pigment red 216, C.I. I. Pigment red 217, C.I. I. Pigment red 220, C.I. I. Pigment red 223, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 226, C.I. I. Pigment red 227, C.I. I. Pigment red 228, C.I. I. Pigment red 240, C.I. I. Pigment Red 48: 1 and the like are preferable.

バイオレット顔料としては、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット30、C.I.ピグメントバイオレット37、C.I.ピグメントバイオレット40、C.I.ピグメントバイオレット50等が好ましい。   Examples of violet pigments include C.I. I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment violet 23, C.I. I. Pigment violet 29, C.I. I. Pigment violet 30, C.I. I. Pigment violet 37, C.I. I. Pigment violet 40, C.I. I. Pigment Violet 50 and the like are preferable.

青色顔料としては、C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー22、C.I.ピグメントブルー60、C.I.ピグメントブルー64等が好ましい。
緑色顔料としては、C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36等が好ましい。
ブラウン顔料としては、C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラウン26等が好ましい。
黒色顔料としては、C.I.ピグメントブラック7、C.Iピグメントブラック10等が好ましい。
Examples of blue pigments include C.I. I. Pigment blue 15, C.I. I. Pigment blue 15: 6, C.I. I. Pigment blue 22, C.I. I. Pigment blue 60, C.I. I. Pigment Blue 64 and the like are preferable.
Examples of green pigments include C.I. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment Green 36 and the like are preferable.
Examples of the brown pigment include C.I. I. Pigment brown 23, C.I. I. Pigment brown 25, C.I. I. Pigment Brown 26 and the like are preferable.
Examples of black pigments include C.I. I. Pigment black 7, C.I. I pigment black 10 or the like is preferable.

上記遮光剤は、単独で、または2種以上混合して用いることができる。
本発明における遮光剤の感光性樹脂組成物中の固形分含有量は、1〜60質量%が好ましく、2〜50質量%がより好ましい。
The said light-shielding agent can be used individually or in mixture of 2 or more types.
1-60 mass% is preferable and, as for solid content in the photosensitive resin composition of the light-shielding agent in this invention, 2-50 mass% is more preferable.

(熱重合防止剤)
本発明の感光性樹脂組成物には、更に熱重合防止剤を添加することが好ましい。該熱重合防止剤の具体例としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
(Thermal polymerization inhibitor)
It is preferable to further add a thermal polymerization inhibitor to the photosensitive resin composition of the present invention. Specific examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6- t-butylphenol), 2,2′-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, phenothiazine and the like.

更に、本発明の感光性樹脂組成物には、目的および必要に応じて、公知の添加剤、例えば可塑剤、界面活性剤、溶剤等を添加することができる。   Furthermore, a known additive such as a plasticizer, a surfactant, a solvent and the like can be added to the photosensitive resin composition of the present invention as required and necessary.

本発明の感光性樹脂組成物により形成された遮光膜の厚さは1μm〜3μmが好ましい。該遮光膜の厚さが1μm〜3μmにあると、遮光膜内の顔料濃度が高くなって現像性が悪化するのを防止することができ、現像性および画像形成再現性等を向上させることができる。上記遮光膜の膜厚は上記の範囲においては任意に設定可能である。特にカラーフィルター作製時には完成品カラーフィルターの平坦性が良好であることが望まれ、従って、この場合にはその他の着色層(赤、青、緑の各着色層等)と同じ膜厚に設定することが望ましい。   As for the thickness of the light shielding film formed with the photosensitive resin composition of this invention, 1 micrometer-3 micrometers are preferable. When the thickness of the light-shielding film is 1 μm to 3 μm, the pigment concentration in the light-shielding film can be prevented from increasing and the developability can be prevented, and the developability and image formation reproducibility can be improved. it can. The film thickness of the light shielding film can be arbitrarily set within the above range. In particular, it is desirable that the finished product color filter has good flatness when producing a color filter. In this case, therefore, the thickness is set to the same thickness as other colored layers (red, blue, green colored layers, etc.). It is desirable.

本発明の感光性樹脂組成物は公知の方法で基板上に塗布することができる。具体的にはスピナー、ホワイラー、ローラーコーター、カーテンコーター、ナイフコーター、ワイヤーバーコーター、エクストルーダー等を用いて塗布し乾燥させて、目的とする遮光性感光樹脂層を基板上に設けるこができる。特に、仮支持体上に少なくとも本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成した感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いて、基板上に転写する方式が好ましい。その具体的な転写材料としては特開平4−208940、特開平5−72724、特開平5−80503、特開平5−173320に記載の転写材料が用いられる。   The photosensitive resin composition of this invention can be apply | coated on a board | substrate by a well-known method. Specifically, a desired light-shielding photosensitive resin layer can be provided on the substrate by applying and drying using a spinner, a winder, a roller coater, a curtain coater, a knife coater, a wire bar coater, an extruder, or the like. In particular, a method of transferring onto a substrate using a photosensitive transfer material having at least a photosensitive resin layer formed using the photosensitive resin composition of the present invention on a temporary support is preferable. As specific transfer materials, transfer materials described in JP-A-4-208940, JP-A-5-72724, JP-A-5-80503 and JP-A-5-173320 are used.

透明基板を通した露光(裏面露光)に際して、光源は遮光性感光樹脂層の感光特性に応じて選択され、例えば超高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、アルゴンレーザー等の公知の光源が使用できる。特許第3308038号に記載の様に400nm以上の波長の光透過率が2%以下である光学フィルター等を併用してもよい。また、予め基板上に形成される赤色、緑色、青色画素は特許第3308038号に記載の様に遮光性感光樹脂層の感光波長域における上記各画素の光透過率が2%以下にすることが好ましい。   For exposure through the transparent substrate (backside exposure), the light source is selected according to the photosensitive characteristics of the light-shielding photosensitive resin layer, and known light sources such as an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, and an argon laser can be used. . As described in Japanese Patent No. 3308038, an optical filter having a light transmittance of 2% or less at a wavelength of 400 nm or more may be used in combination. Further, as described in Japanese Patent No. 3308038, the red, green, and blue pixels formed on the substrate in advance may have a light transmittance of 2% or less for each pixel in the photosensitive wavelength region of the light-shielding photosensitive resin layer. preferable.

《感光性転写材料》
本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に、少なくとも、本発明の感光性樹脂組成物を用いてなる感光性樹脂層を有し、必要に応じて、熱可塑性樹脂層や中間層等を有していてもよい。また、本発明の感光性転写材料は、感光性樹脂層を保護するためのカバーシートを有してなることが好ましい。
<Photosensitive transfer material>
The photosensitive transfer material of the present invention has at least a photosensitive resin layer using the photosensitive resin composition of the present invention on a temporary support, and if necessary, a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, or the like. You may have. Moreover, it is preferable that the photosensitive transfer material of this invention has a cover sheet for protecting the photosensitive resin layer.

本発明の感光性転写材料の構成として、具体的には、特開平4−208940号公報に開示された、仮支持体への接着力が小さい分離層および遮光性感光樹脂層を有する転写材料、特開平5−173320号公報に開示された、仮支持体上に熱可塑性樹脂層、中間層および遮光性感光樹脂層を有し、該仮支持体と熱可塑性樹脂層との間の接着力が最も小さい感光性転写材料、特開平5−72724号公報に開示された熱可塑性樹脂層、分離層および遮光性感光樹脂層を有し、該熱可塑性樹脂層と分離層との間の接着力が最も小さい転写材料、特開平5−80503号公報に開示された仮支持体の上に熱可塑性樹脂層、中間層および遮光性感光樹脂層を有し、該仮支持体と熱可塑性樹脂層との間の接着力が最も小さい感光性転写材料、等が適用できる。   Specifically, as a configuration of the photosensitive transfer material of the present invention, disclosed in JP-A-4-208940, a transfer material having a separation layer having a low adhesive force to a temporary support and a light-shielding photosensitive resin layer, JP, 5-173320, A has a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and a light-shielding photosensitive resin layer on a temporary support, and the adhesive force between the temporary support and the thermoplastic resin layer is It has the smallest photosensitive transfer material, the thermoplastic resin layer disclosed in JP-A-5-72724, a separation layer and a light-shielding photosensitive resin layer, and has an adhesive force between the thermoplastic resin layer and the separation layer. The smallest transfer material, having a thermoplastic resin layer, an intermediate layer and a light-shielding photosensitive resin layer on the temporary support disclosed in JP-A-5-80503, and comprising the temporary support and the thermoplastic resin layer Photosensitive transfer material with the smallest adhesive strength between Kill.

(熱可塑性樹脂層)
上記熱可塑性樹脂層は、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、アルカリ可溶性であることが好ましい。上記樹脂成分としては、実質的な軟化点が80℃以下であることが好ましい。また、熱可塑性樹脂層は、仮支持体と感光性樹脂層との間に設けることが好ましい。
軟化点が80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。
(Thermoplastic resin layer)
The thermoplastic resin layer preferably includes at least a resin component and is alkali-soluble. As said resin component, it is preferable that a substantial softening point is 80 degrees C or less. The thermoplastic resin layer is preferably provided between the temporary support and the photosensitive resin layer.
Examples of alkali-soluble thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate copolymers, vinyltoluene and (meth) acrylic. Examples thereof include saponification products of acid ester copolymers, saponification products such as poly (meth) acrylic acid esters, and (meth) acrylic acid ester copolymers such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate.

上記熱可塑性樹脂層には、上記熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に全日本プラスチック成形工業連合会編著「プラスチック性能便覧」(日本プラスチック工業連盟、工業調査会発行、1968年10月25日発行)による、軟化点が約80℃以下の有機高分子の内アルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。   In the thermoplastic resin layer, at least one of the thermoplastic resins can be appropriately selected and used. Further, “All-Japan Plastic Molding Industry Federation” edited by “Plastic Performance Handbook” (published by Japan Plastic Industry Federation, Industrial Research Council, 1968). Which is soluble in an aqueous alkali solution of an organic polymer having a softening point of about 80 ° C. or less, issued on October 25, 1980).

また、軟化点が80℃以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を80℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が80℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤或いは界面活性剤、離型剤、等を添加することもできる。   In addition, for an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, by adding various plasticizers compatible with the polymer substance to the organic polymer substance, the substantial softening point is 80 ° C. or lower. It can also be used by lowering. In addition, these organic polymer substances include various polymers, supercooling substances, adhesion improvers or interfaces within the range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support. Activators, mold release agents, and the like can also be added.

上記可塑剤の好ましい具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェートビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。   Preferable specific examples of the plasticizer include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, and cresyl diphenyl phosphate biphenyl diphenyl phosphate.

上記熱可塑性樹脂層の厚みは6μm以上であることが好ましい。厚みが6μm以上であると、下地の凹凸が1μm以上であっても完全に吸収することが可能となる。また、上記厚みの上限については、転写の際、遮光性感光樹脂層側に残留した場合の現像性および製造適性等から約100μm以下が好ましく、約50μm以下がさらに好ましい。   The thickness of the thermoplastic resin layer is preferably 6 μm or more. When the thickness is 6 μm or more, even if the unevenness of the base is 1 μm or more, it can be completely absorbed. The upper limit of the thickness is preferably about 100 μm or less, more preferably about 50 μm or less, from the viewpoint of developability and manufacturability when remaining on the light-shielding photosensitive resin layer side during transfer.

上記仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設ける場合、溶液状に調製した熱可塑性樹脂層形成用の塗布液を、スピンコーター、バーコーター等を用いた公知の塗布法を用いることができる。   When the thermoplastic resin layer is provided on the temporary support, a known coating method using a spin coater, a bar coater, or the like can be used for the coating liquid for forming the thermoplastic resin layer prepared in the form of a solution.

(感光性樹脂層)
本発明における感光性樹脂層は、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成される。このため、アルカリ可溶性に構成され、光重合開始剤、本発明における多官能性モノマー、および遮光剤を少なくとも含有する層である。また、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。この感光性樹脂層は、該層を構成する各成分を含む感光性樹脂組成物を、例えば溶液状の塗布液に調製し、これをスピンコーターやバーコーター等を用いた公知の塗布法により塗布等して仮支持体上に層状に設けることで形成することができる。
(Photosensitive resin layer)
The photosensitive resin layer in the present invention is formed using the photosensitive resin composition of the present invention. For this reason, it is a layer comprised by alkali solubility, and contains at least a photoinitiator, the polyfunctional monomer in this invention, and a light-shielding agent. Moreover, the other component may be included as needed. For this photosensitive resin layer, a photosensitive resin composition containing each component constituting the layer is prepared, for example, as a solution coating solution, and this is applied by a known coating method using a spin coater, a bar coater, or the like. For example, it can be formed by providing a layer on the temporary support.

本発明における感光性樹脂層の厚みは0.5〜10μmが好ましく、1〜5μmがさらに好ましい。   The thickness of the photosensitive resin layer in the present invention is preferably 0.5 to 10 μm, more preferably 1 to 5 μm.

上記のほか、本発明における感光性樹脂層には、必要に応じて、更に公知の添加剤、例えば、可塑剤、充填剤、安定化剤、重合禁止剤、界面活性剤、溶剤、密着促進剤等を含有させることができる。
また、本発明における感光性樹脂層を構成する感光性樹脂組成物は、少なくとも150℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。かかる観点からは、相溶性の可塑剤を添加することで改質することができる。
In addition to the above, the photosensitive resin layer according to the present invention may further include known additives such as plasticizers, fillers, stabilizers, polymerization inhibitors, surfactants, solvents, adhesion promoters as necessary. Etc. can be contained.
In addition, the photosensitive resin composition constituting the photosensitive resin layer in the present invention is preferably softened or tacky at a temperature of 150 ° C. or less, and is preferably thermoplastic. From such a viewpoint, it can be modified by adding a compatible plasticizer.

(中間層)
本発明の感光性転写材料には、中間層を設けることもできる。
上記中間層は、熱可塑性樹脂層や感光性樹脂層を重層塗布した際の混合防止、これらの層の間の密着力の調整、転写の際に遮光性感光樹脂層側に残留して酸素遮断の機能を発揮するもの、等の種々の機能を持たせることができ、例えば、酸素遮断機能を有するものとしては、水またはアルカリ水溶液に分散または溶解し、低い酸素透過性を示すものの中から公知のものを適用できる。特開昭46−2121号や特公昭56−40824号の各公報に記載の、ポリビニルエーテル/無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン/マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、およびこれらの2種以上の組合せ等が挙げられる。
(Middle layer)
The photosensitive transfer material of the present invention can be provided with an intermediate layer.
The above intermediate layer prevents mixing when a thermoplastic resin layer or a photosensitive resin layer is applied in multiple layers, adjusts the adhesion between these layers, and remains on the light-shielding photosensitive resin layer side during transfer to block oxygen For example, those having an oxygen barrier function are known from those that are dispersed or dissolved in water or an aqueous alkali solution and exhibit low oxygen permeability. Can be applied. Polyvinyl ether / maleic anhydride polymer, water-soluble salt of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose ethers, water-soluble of carboxyalkyl starch described in JP-A Nos. 46-2121 and 56-40824 Water-soluble salts of the group consisting of salts, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, various polyacrylamides, various water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, various starches, and the like, Examples include styrene / maleic acid copolymers, maleate resins, and combinations of two or more thereof.

特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンの組合せである。ポリビニルアルコールは鹸化率が80%以上であるものが好ましく、ポリビニルピロリドンの含有量は中間層固形分の1〜75質量%が好ましく、より好ましくは1〜60質量%である。
中間層の厚みは、酸素の透過性と、現像時間または中間層除去時間の観点から、0.1〜5μm程度が好ましく、0.5〜2μm程度が特に好ましい。
Particularly preferred is a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone. The polyvinyl alcohol preferably has a saponification rate of 80% or more, and the content of polyvinyl pyrrolidone is preferably 1 to 75% by mass, more preferably 1 to 60% by mass, based on the solid content of the intermediate layer.
The thickness of the intermediate layer is preferably about 0.1 to 5 μm, particularly preferably about 0.5 to 2 μm, from the viewpoint of oxygen permeability and development time or intermediate layer removal time.

(仮支持体)
上記仮支持体としては、化学的および熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン(R)、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。仮支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当であり、好ましくは20〜150μmである。
(Temporary support)
The temporary support can be appropriately selected from those that are chemically and thermally stable and made of a flexible material. Specifically, a thin sheet or a laminate thereof such as Teflon (R), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, or polypropylene is preferable. As thickness of a temporary support body, 5-300 micrometers is suitable, Preferably it is 20-150 micrometers.

《画像形成方法》
本発明の感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリックスの形成方法としては、本発明の感光性転写材料を用い転写法を利用した下記の本発明の画像形成方法を用いることが好ましい。本発明の画像形成方法は、基板上に多色画素およびブラックマトリックスが形成されたカラーフィルターの形成方法として好適に用いることができる。本発明の画像形成方法は、上述の本発明の感光性転写材料を用いた画像形成方法であって、上記感光性転写材料の感光性樹脂層と基板とを密着させるラミネート工程と、上記感光性転写材料から仮支持体を除去する除去工程と、上記感光性樹脂層をパターン露光する露光工程と、パターン露光された上記感光性樹脂層を現像して前記基板上に画像を形成する画像形成工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明の画像形成方法においては、上記基板として光透過性を有する基板(以下、「透明基板」という場合がある。)を用い、さらに、上記露光工程において上記基板側(基板の上記感光性樹脂層が密着していない側:以下「裏面」という場合がある。)から光を照射して上記感光性樹脂層のパターン露光をおこなってもよい。
<Image forming method>
As a method for forming a black matrix using the photosensitive resin composition of the present invention, it is preferable to use the following image forming method of the present invention using a transfer method using the photosensitive transfer material of the present invention. The image forming method of the present invention can be suitably used as a method for forming a color filter in which multicolor pixels and a black matrix are formed on a substrate. The image forming method of the present invention is an image forming method using the above-described photosensitive transfer material of the present invention, in which the photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material and a substrate are in close contact with each other, and the photosensitive property described above. A removal step for removing the temporary support from the transfer material, an exposure step for pattern exposure of the photosensitive resin layer, and an image formation step for developing the pattern-exposed photosensitive resin layer to form an image on the substrate. It is characterized by including these. In the image forming method of the present invention, a light-transmitting substrate (hereinafter sometimes referred to as “transparent substrate”) is used as the substrate, and the substrate side (the photosensitive of the substrate is used) in the exposure step. The photosensitive resin layer may be subjected to pattern exposure by irradiating light from the side where the photosensitive resin layer is not in close contact: hereinafter referred to as “back surface” in some cases.

上記ラミネート工程は、上記感光性転写材料の感光性樹脂層の表面と基板とを少なくとも加熱しながら密着させて積層体とする工程である。また、上記ラミネート工程においては、加圧しながら上記感光性樹脂層と基板とをラミネートするのが好ましい。該ラミネートの諸条件は上記感光性樹脂層の素材等を考慮にいれて適宜決定される。   The laminating step is a step of forming a laminate by closely contacting the surface of the photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material and the substrate while heating. In the laminating step, it is preferable to laminate the photosensitive resin layer and the substrate while applying pressure. Various conditions for the lamination are appropriately determined in consideration of the material of the photosensitive resin layer and the like.

上記除去工程は、本発明の感光性転写材料と基板とからなる積層体から、感光性転写材料の仮支持体を剥離する工程である。この際、仮支持体の剥離とともに、アルカリ可溶性熱可塑性樹脂層も同時に剥離する態様としてもよい。   The said removal process is a process of peeling the temporary support body of the photosensitive transfer material from the laminated body which consists of the photosensitive transfer material of this invention, and a board | substrate. At this time, the alkali-soluble thermoplastic resin layer may be peeled off at the same time as the temporary support is peeled off.

上記露光工程は、上記感光性樹脂層に光または放射線を画像様に照射して、パターンを形成する工程である。感光性樹脂層へのパターン形成は、可視光線や紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を照射することによりおこなうことができる。
本発明においては、例えば、波長365nmまたは405nmの紫外線を好適に用いることができる。また、光源としては、超高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、アルゴンレーザー等が好適に挙げられ、特許第3308038号号公報に記載の、400nm以上の波長の光透過率が2%以下である光学フィルター等を併用してもよい。
The exposure step is a step of irradiating the photosensitive resin layer with light or radiation imagewise to form a pattern. Pattern formation on the photosensitive resin layer can be performed by irradiating visible light, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, X-rays, or the like.
In the present invention, for example, ultraviolet light having a wavelength of 365 nm or 405 nm can be suitably used. Moreover, as a light source, a super high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, an argon laser, etc. are mentioned suitably, The light transmittance of the wavelength of 400 nm or more as described in the patent No. 3308038 is 2% or less An optical filter or the like may be used in combination.

基板の裏面から露光を行ういわゆる裏面露光方式は、既に多色画素が形成されている透明基板に上記感光性樹脂層をラミネートした場合に特に有効な方式である。この場合、透明基板の裏面から露光すると、透明基板の画像形成面側(以下、「オモテ面」という場合がある。)の多色画素が設けられていない領域(非画素部)にラミネートされた感光性樹脂層のみが露光され硬化する。この露光は、基板の裏面から均一に行える態様であれば、全面に一括して行なってもよいし、複数に分割して行なってもよい。   The so-called back exposure method in which exposure is performed from the back surface of the substrate is a particularly effective method when the above-described photosensitive resin layer is laminated on a transparent substrate on which multicolor pixels are already formed. In this case, when exposed from the back surface of the transparent substrate, it was laminated to an area (non-pixel portion) where the multicolor pixels on the image forming surface side (hereinafter sometimes referred to as “front surface”) of the transparent substrate are not provided. Only the photosensitive resin layer is exposed and cured. As long as the exposure can be performed uniformly from the back surface of the substrate, the exposure may be performed on the entire surface or may be performed in a plurality of divisions.

上記裏面露光方式においては、透明基板の裏面から露光した場合に、多色画素がフォトマスクの役割を果たし、画像形成面側(オモテ面)において多色画素を介在せず基板表面に直に設けられた上記感光樹脂組成物へのみ露光行われることとなる。この際、多色画素を介在して(多色画素の上に)設けられた上記感光樹脂層は、多色画素によって光が吸収されるため露光および硬化はされない。   In the above backside exposure method, when exposed from the backside of the transparent substrate, the multicolor pixels serve as a photomask, and are provided directly on the substrate surface without interposing the multicolor pixels on the image forming surface side (front surface). Only the obtained photosensitive resin composition is exposed. At this time, the photosensitive resin layer provided via the multicolor pixels (on the multicolor pixels) is not exposed and cured because the light is absorbed by the multicolor pixels.

このように、裏面から全面露光する場合には、各着色画像が遮光マスクとして機能するため、マスクの位置合わせの工程が不要となる。このためマスクの位置ズレ等の不安が解消され、着色画素が形成されていない部分の全ての部分に遮光性画像(ブラックマトリックス)を隙間なく形成することが可能となる。   As described above, when the entire surface is exposed from the back surface, each colored image functions as a light-shielding mask, so that a mask alignment step is not necessary. For this reason, anxiety such as misalignment of the mask is eliminated, and a light-shielding image (black matrix) can be formed without any gaps in all the portions where the colored pixels are not formed.

また、上記露光工程においては、透明基板表面に本発明における感光性樹脂層を一様にラミネートした後、基板の裏面から画像様露光して、パターンを形成してもよい。この場合、ブラックマトリックスの形成後に、色相の異なる複数の他の感光性転写材料(即ち、感光性樹脂層に赤、緑、青等の顔料、染料等が添加された感光性転写材料)を用い、上記同様の画像形成工程を色相分だけ繰り返し行って着色画素を形成することにより、複数色からなるパターン画像(カラーフィルタ)を形成することができる。   Moreover, in the said exposure process, after laminating the photosensitive resin layer in this invention uniformly on the transparent substrate surface, imagewise exposure may be performed from the back surface of a board | substrate, and a pattern may be formed. In this case, after the black matrix is formed, a plurality of other photosensitive transfer materials having different hues (that is, photosensitive transfer materials in which pigments such as red, green, and blue, and dyes are added to the photosensitive resin layer) are used. A pattern image (color filter) composed of a plurality of colors can be formed by repeating the same image forming process as described above for the hue and forming colored pixels.

なお、各着色画素形成用の感光性転写材料としては、例えば、本発明の感光性転写材料における遮光剤を含有する感光性樹脂層を、着色材料を含有する感光性樹脂層に代えた感光性転写材料、等が好ましい。具体的には、例えば、特開平5−80503号公報、特開平10−22158号公報、特開2001−221909号公報、等に記載の感光性転写材料が好適に用いられる。   In addition, as the photosensitive transfer material for forming each colored pixel, for example, the photosensitive resin layer containing the light shielding agent in the photosensitive transfer material of the present invention is replaced with a photosensitive resin layer containing a coloring material. A transfer material or the like is preferable. Specifically, for example, photosensitive transfer materials described in JP-A-5-80503, JP-A-10-22158, JP-A-2001-221909, and the like are preferably used.

上記画像形成工程は、露光後の上記感光樹脂層を現像し、遮光像(ブラックマトリックス)を形成する工程である。当該工程は、現像液等を用いた現像によって、上記感熱記録層のパターン露光されていない領域(未硬化領域)を除去することで画像(ブラックマトリックス)を形成する。上記現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液を用いることができ、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。   The image forming step is a step of developing the exposed photosensitive resin layer to form a light-shielded image (black matrix). In this step, an image (black matrix) is formed by removing the unexposed region (uncured region) of the thermal recording layer by development using a developer or the like. As the developer, a dilute aqueous solution of an alkaline substance can be used, and further a small amount of an organic solvent miscible with water may be added.

上記アルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類(例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩類(例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。上記現像液におけるアルカリ性物質の濃度は、0.01〜30質量%が好ましく、pHは8〜14が好ましい。   Examples of the alkaline substance include alkali metal hydroxides (for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (for example, sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (for example, sodium bicarbonate, Potassium bicarbonate), alkali metal silicates (for example, sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (for example, sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine Tetraalkylammonium hydroxides (for example, tetramethylammonium hydroxide), trisodium phosphate, and the like. The concentration of the alkaline substance in the developer is preferably from 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably from 8 to 14.

上記水と混和性の有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。上記水と混和性の有機溶剤の濃度は0.1〜30質量%が好ましい。更に、公知の界面活性剤を添加することもできる。上記現像液に対する界面活性剤の濃度としては0.01〜10質量%が好ましい。   Examples of the water-miscible organic solvent include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether, and benzyl. Preferable examples include alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, and N-methylpyrrolidone. The concentration of the water-miscible organic solvent is preferably 0.1 to 30% by mass. Furthermore, a known surfactant can also be added. The concentration of the surfactant with respect to the developer is preferably 0.01 to 10% by mass.

上記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性樹脂層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組合わせてもよい。現像液の液温度は、通常室温付近から40℃が好ましい。現像時間は、感光性樹脂組成物の種類、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等によるが、通常10秒〜2分程度である。現像時間が短すぎると非露光部の現像が不充分となると同時に紫外線の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると露光部もエッチングされることがある。また、現像処理の後に水洗工程を入れることも可能である。   The developer can be used as a bath solution or a spray solution. When removing the uncured portion of the photosensitive resin layer, a method such as rubbing with a rotating brush or a wet sponge in a developer may be combined. The liquid temperature of the developer is usually preferably from about room temperature to 40 ° C. The development time is usually about 10 seconds to 2 minutes, depending on the type of photosensitive resin composition, the alkalinity and temperature of the developer, and the type and concentration when an organic solvent is added. If the development time is too short, the development of the non-exposed area may be insufficient, and the UV absorbance may be insufficient, and if it is too long, the exposed area may be etched. It is also possible to place a water washing step after the development processing.

更に、画像形成工程においては、感光性樹脂層の未露光部を除去した後に、必要に応じて加熱処理(ベーク処理)を施す加熱工程を設けてもよい。加熱工程は、現像後に各色の画素やブラックマトリックスを有する基板を、電気炉、乾燥器等の中で加熱、或いは、赤外線ランプで照射する工程である。上記加熱工程における加熱温度および加熱時間は、感光性樹脂組成物の組成や形成された感光性樹脂層の厚みに依存するが、一般に充分な耐溶剤性、耐アルカリ性、および紫外線吸光度を獲得する観点から、約120℃〜約250℃で約10分〜約120分間であることが好ましい。   Furthermore, in the image forming process, after removing the unexposed portion of the photosensitive resin layer, a heating process for performing a heating process (baking process) as necessary may be provided. The heating step is a step of heating the substrate having each color pixel or black matrix after development in an electric furnace, a dryer or the like, or irradiating with an infrared lamp. The heating temperature and heating time in the heating step depend on the composition of the photosensitive resin composition and the thickness of the formed photosensitive resin layer, but generally have sufficient solvent resistance, alkali resistance, and a viewpoint of obtaining ultraviolet absorbance. From about 120 ° C. to about 250 ° C. for about 10 minutes to about 120 minutes.

−基板−
上記基板(永久支持体)としては、金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性を有し、寸度安定性の良好なガラスや合成樹脂フィルムが挙げられる。上記基板の厚さはその目的により異なるものであるが、通常0.7〜1.1mm程度である。
-Board-
As said board | substrate (permanent support body), a metallic support body, a metal bonding support body, glass, a ceramic, a synthetic resin film, etc. can be used. Particularly preferred is a glass or synthetic resin film having transparency and good dimensional stability. The thickness of the substrate varies depending on the purpose, but is usually about 0.7 to 1.1 mm.

以下、本発明の画像形成方法を用いたブラックマトリックスの形成方法について具体的に説明する。
まず、仮支持体上に、熱可塑性樹脂層、中間層、および感光性樹脂層がこの順に形成された後、更に該感光性樹脂層上にカバーシートが設けられた本発明の感光性転写材料を用意する。
Hereinafter, a black matrix forming method using the image forming method of the present invention will be specifically described.
First, after the thermoplastic resin layer, the intermediate layer, and the photosensitive resin layer are formed in this order on the temporary support, the photosensitive transfer material of the present invention is further provided with a cover sheet on the photosensitive resin layer. Prepare.

次いで、カバーシートを剥離除去した後、露出した感光性樹脂層の表面を、各色(赤、青、緑)の画素が設けられた透明基板に貼り合わせ、、ラミネータ等を通して加熱、加圧して積層し、積層体を形成する。上記ラミネータとしては、従来公知のラミネーター、真空ラミネーター等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。   Next, after peeling off and removing the cover sheet, the exposed surface of the photosensitive resin layer is bonded to a transparent substrate provided with pixels of each color (red, blue, and green), and heated and pressurized through a laminator or the like for lamination. Then, a laminated body is formed. As the laminator, those appropriately selected from conventionally known laminators, vacuum laminators and the like can be used, and an auto-cut laminator can also be used to further increase the productivity.

次いで、熱可塑性樹脂層と仮支持体との間、または熱可塑性樹脂層と中間層との間で剥離して仮支持体を除去する。仮支持体を除去したのち、基板の裏面から上記感光性樹脂層に対し、全面に紫外線を照射する。この場合、透明画素には既に各色の画素が形成されているため、該画素群がマスクの役割を果たす。照射後、所定の処理液を用いて現像処理して未露光部を除去し、必要に応じて、ベーク処理を施して画素間にブラックマトリックスを形成することができる。   Next, the temporary support is removed by peeling between the thermoplastic resin layer and the temporary support or between the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. After removing the temporary support, the entire surface is irradiated with ultraviolet rays from the back surface of the substrate to the photosensitive resin layer. In this case, since each color pixel has already been formed in the transparent pixel, the pixel group serves as a mask. After irradiation, development processing is performed using a predetermined processing solution to remove unexposed portions, and baking processing can be performed as necessary to form a black matrix between pixels.

尚、ブラックマトリックスを形成した後に、各色の画素を形成する場合には、透明基板に上記感熱記録層を一様にラミネートし、仮支持体を除去した後に、上記感光性樹脂層を画像様に露光して行う。この場合には、ブラックマトリックスを形成した後に、着色画素用の感光性転写材料を用いて同様の操作を繰り返すことにより所望の色相からなるカラーフィルタを形成することができる。
以上のようにして、着色画素およびブラックマトリックスを基板上に有するカラーフィルタを形成することができる。
In addition, when forming each color pixel after forming the black matrix, the above thermal recording layer is uniformly laminated on a transparent substrate, the temporary support is removed, and then the above photosensitive resin layer is image-like. Perform by exposure. In this case, after forming the black matrix, a color filter having a desired hue can be formed by repeating the same operation using a photosensitive transfer material for colored pixels.
As described above, a color filter having colored pixels and a black matrix on a substrate can be formed.

《カラーフィルタ》
本発明の感光性組成物は、カラーフィルターのブラックマトリックスを形成するために好適に用いることができる。カラーフィルターは、基板上に一色以上の着色画素およびブラックマトリックスが少なくとも設けられて構成される。
具体的なカラーフィルタの作製方法は、既述の通りであるが、本発明の感光性転写材料を用いた転写法により作製することによって、均一厚のパターンを容易に形成することができ、光学濃度が高く、かつ充分な膜厚のブラックマトリックスを有するカラーフィルタを作製することができる。。
《Color filter》
The photosensitive composition of the present invention can be suitably used for forming a black matrix of a color filter. The color filter is configured by providing at least one or more colored pixels and a black matrix on a substrate.
The specific method for producing the color filter is as described above, but by producing it by the transfer method using the photosensitive transfer material of the present invention, a uniform thickness pattern can be easily formed. A color filter having a black matrix having a high density and a sufficient film thickness can be produced. .

以下に、本発明の実施例を説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。なお、以下の実施例において、特に断りのない限り「%」および「部」はいずれも質量基準である。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples. In the following examples, “%” and “part” are based on mass unless otherwise specified.

[実施例1]
<ブラックマトリックス形成用感光性転写材料の作製>
(熱可塑性樹脂層の形成)
仮支持体として、厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートベースフィルム(PETベースフィルム)を準備した。該フィルム上に、下記組成を混合して得た熱可塑性樹脂層用塗布液をスピンコーターにより塗布し、120℃のオーブン内で5分間乾燥して、PETベースフィルム上に層厚15μmの熱可塑性樹脂層を形成した。
[Example 1]
<Preparation of photosensitive transfer material for black matrix formation>
(Formation of thermoplastic resin layer)
A 75 μm thick polyethylene terephthalate base film (PET base film) was prepared as a temporary support. A thermoplastic resin layer coating solution obtained by mixing the following composition on the film was applied by a spin coater, dried in an oven at 120 ° C. for 5 minutes, and a thermoplastic resin having a layer thickness of 15 μm on the PET base film. A resin layer was formed.

−熱可塑性樹脂層用塗布液の組成−
・ベンジルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/メチルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 4.5部
(共重合比4.5/11.7/55/28.8:重量平均分子量80000)
・スチレン/アクリル酸共重合体 15部
(共重合組成比60/40:重量平均分子量8000)
・2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニルプロパン]
7部
・フッ素系界面活性剤 1.5部
(商品名:F−176PF、大日本インキ(株)製)
・プロピレングリコールモノメチルエーテル 28部
・メチルエチルケトン 27部
-Composition of coating solution for thermoplastic resin layer-
Benzyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer 4.5 parts (copolymerization ratio 4.5 / 11.7 / 55 / 28.8: weight average molecular weight 80000)
Styrene / acrylic acid copolymer 15 parts (copolymerization composition ratio 60/40: weight average molecular weight 8000)
2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenylpropane]
7 parts, 1.5 parts of fluorosurfactant (trade name: F-176PF, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)
・ Propylene glycol monomethyl ether 28 parts ・ Methyl ethyl ketone 27 parts

(中間層の形成)
次に、下記組成を混合して中間層用塗布液を調製し、上記熱可塑性樹脂層上に、スピンコーターにより更に中間層用塗布液を塗布した。その後、100℃のオーブンで2分間乾燥し、熱可塑性樹脂層上に層厚1.6μmの中間層を形成した。
(Formation of intermediate layer)
Next, the following composition was mixed to prepare an intermediate layer coating solution, and the intermediate layer coating solution was further applied onto the thermoplastic resin layer by a spin coater. Thereafter, it was dried in an oven at 100 ° C. for 2 minutes to form an intermediate layer having a layer thickness of 1.6 μm on the thermoplastic resin layer.

−中間層用塗布液の組成−
・ポリビニルアルコール(PVA−205,(株)クラレ製) 13部
・ポリビニルピロリドン 6部
(商品名:PVP−K30,五協産業(株)製)
・メタノール 173部
・イオン交換水 211部
-Composition of coating solution for intermediate layer-
・ Polyvinyl alcohol (PVA-205, manufactured by Kuraray Co., Ltd.) 13 parts ・ Polyvinylpyrrolidone 6 parts (trade name: PVP-K30, manufactured by Gokyo Sangyo Co., Ltd.)
・ Methanol 173 parts ・ Ion-exchanged water 211 parts

(遮光性感光性樹脂層の形成)
次に、下記組成を混合して、遮光性感光性樹脂層用塗布液を調製した。そして、上記中間層上に遮光性感光性樹脂層用塗布液をスピンコーターにより塗布した。その後、100℃のオーブンで2分間乾燥し、厚み3μmの遮光性感光性樹脂層を形成した。更に、感光性樹脂層上にカバーフィルムとして12μm厚のポリプロピレンフィルムを室温下でラミネートし、PETベースフィルム上に熱可塑性樹脂層、中間層、遮光性感光性樹脂層、およびカバーフィルムがこの順に積層されてなる、本発明の感光性転写材料を得た。
(Formation of light-shielding photosensitive resin layer)
Next, the following composition was mixed and the coating liquid for light-shielding photosensitive resin layers was prepared. And the coating liquid for light-shielding photosensitive resin layers was apply | coated with the spin coater on the said intermediate | middle layer. Then, it dried for 2 minutes in 100 degreeC oven, and formed the light-shielding photosensitive resin layer of thickness 3 micrometers. Furthermore, a 12 μm-thick polypropylene film is laminated as a cover film on the photosensitive resin layer at room temperature, and a thermoplastic resin layer, an intermediate layer, a light-shielding photosensitive resin layer, and a cover film are laminated in this order on the PET base film. Thus, the photosensitive transfer material of the present invention was obtained.

−遮光性感光性樹脂層用塗布液の組成−
・C.I.PB60分散液 20.97部
(商品名:SPB−10、富士写真フイルム(株)製)
・C.I.PY139分散液 6.38部
(商品名:YT−20、富士フイルムアーチ(株)製)
・C.I.PB15:6分散液 1.74部
(商品名:RT−2−2、富士フイルムアーチ(株)製)
・C.I.PV23分散液 2.98部
(商品名:CFP−FF−802V、富士フイルムアーチ(株)製)
・カーボンブラック分散液 8.37部
(商品名:7270M、御国色素(株)製、アルカリ可溶性樹脂(メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリレート共重合体(共重合体組成比(モル比)55/11.7/4.5/28.8)、平均分子量800000)を10%含有)
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 17.61部
(MMPG−AC)
・メチルエチルケトン 34.76部
・界面活性剤 0.07部
(商品名:メガファックF−176PF、大日本インキ(株)製)
・ヒドロキノンモノメチルエーテル 0.0021部
・ジペンタエリスリトールカプロラクトンのアクリル酸エステル
(商品名:KAYARAD DPCA−20、日本化薬(株)製、粘度2200mPa・s) 4.53部
・9−フェニルアクリジン 0.23部
・2−メルカプト−5−メチルメルカプト−1,3,4−チアジアゾール
0.23部
-Composition of coating solution for light-shielding photosensitive resin layer-
・ C. I. PB60 dispersion 20.97 parts (trade name: SPB-10, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.)
・ C. I. 6.38 parts of PY139 dispersion (trade name: YT-20, manufactured by FUJIFILM Arch Corporation)
・ C. I. PB15: 6 dispersion 1.74 parts (trade name: RT-2-2, manufactured by FUJIFILM Arch Corporation)
・ C. I. PV23 dispersion 2.98 parts (trade name: CFP-FF-802V, manufactured by FUJIFILM Arch Corporation)
Carbon black dispersion 8.37 parts (trade name: 7270M, manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd., alkali-soluble resin (methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylate copolymer (copolymer composition ratio (molar ratio)) ) 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8), 10% average molecular weight 800000))
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 17.61 parts (MMPG-AC)
・ Methyl ethyl ketone 34.76 parts ・ Surfactant 0.07 parts (Product name: Megafac F-176PF, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)
Hydroquinone monomethyl ether 0.0021 parts Dipentaerythritol caprolactone acrylic acid ester (trade name: KAYARAD DPCA-20, Nippon Kayaku Co., Ltd., viscosity 2200 mPa · s) 4.53 parts 9-phenylacridine 0. 23 parts 2-mercapto-5-methylmercapto-1,3,4-thiadiazole
0.23 parts

尚、ジペンタエリスリトールカプロラクトンのアクリル酸エステルの粘度は、JIS−K7117(1987年)に記載によって測定した。   In addition, the viscosity of the acrylic ester of dipentaerythritol caprolactone was measured according to JIS-K7117 (1987).

<着色画素形成用感光性転写材料の作製>
上記ブラックマトリックス形成用感光性転写材料の作製において、「遮光性感光性樹脂層用塗布液」を、下記の組成の赤色感光性樹脂層用塗布液、緑色感光性樹脂層用塗布液、および青色感光性樹脂層用塗布液の各々に変更した他は同様にして、赤色画素形成用、緑色画素形成用、および青色画素形成用の3種の感光性転写材料を得た。
<Preparation of photosensitive transfer material for forming colored pixels>
In the production of the black matrix-forming photosensitive transfer material, the “light-shielding photosensitive resin layer coating solution” is used as a red photosensitive resin layer coating solution, a green photosensitive resin layer coating solution, and blue Three types of photosensitive transfer materials for red pixel formation, green pixel formation, and blue pixel formation were obtained in the same manner except that each of the coating liquids for the photosensitive resin layer was changed.

−赤色感光性樹脂層用塗布液の組成−
・C.I.PR254分散液 21.65部
(商品名:RT−107、富士フイルムアーチ(株)製)
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 31.20部
(MMPG−AC)
・メチルエチルケトン 34.96部
・界面活性剤 0.06部
(商品名:メガファックF−176PF、大日本インキ(株)製)
・フェノチアジン 0.0012部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 4.97部
(共重合比=72/28、重量平均分子量30000)
・ジぺンタエリスリトールヘキサアクリレート 4.92部
・2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール 0.31部
・7−{〔−4(ジエチルアミノ)−6−(3−ヒドロキシメチルピペリジノ)−s−トリアジニル(2)〕−アミノ}−3−フェニルクマリン
1.50部
・2,4,6−トリス〔2,4ビス(メトキシカルボニルオキシ)フェニル〕−1,3,5−トリアジン 0.37部
-Composition of coating solution for red photosensitive resin layer-
・ C. I. 21.65 parts of PR254 dispersion (trade name: RT-107, manufactured by FUJIFILM Arch Corporation)
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 31.20 parts (MMPG-AC)
・ Methyl ethyl ketone 34.96 parts ・ Surfactant 0.06 parts (Brand name: Megafac F-176PF, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)
-Phenothiazine 0.0012 parts-Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer 4.97 parts (copolymerization ratio = 72/28, weight average molecular weight 30000)
Dipentaerythritol hexaacrylate 4.92 parts 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole 0.31 parts 7-{[-4 (diethylamino)- 6- (3-Hydroxymethylpiperidino) -s-triazinyl (2)]-amino} -3-phenylcoumarin
1.50 parts · 2,4,6-tris [2,4bis (methoxycarbonyloxy) phenyl] -1,3,5-triazine 0.37 parts

−緑色感光性樹脂層用塗布液の組成−
・C.I.PG36分散液 15.86部
(商品名:GT−2、富士フイルムアーチ(株)製)
・C.I.PY138分散液 11.06部
(商品名:YT−123、富士フイルムアーチ(株)製)
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 10.25部
(MMPG−AC)
・メチルエチルケトン 51.49部
・界面活性剤 0.19部
(商品名:メガファックF−176PF、大日本インキ(株)製)
・フェノチアジン 0.004部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 4.47部
(共重合比=72/28、重量平均分子量30000)
・ジぺンタエリスリトールヘキサアクリレート 5.27部
・2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール 0.193部
・7−{〔−4(ジエチルアミノ)−6−(3−ヒドロキシメチルピぺリジノ)−s−トリアジニル(2)〕−アミノ}−3−フェニルクマリン
1.26部
-Composition of coating solution for green photosensitive resin layer-
・ C. I. PG36 dispersion 15.86 parts (trade name: GT-2, manufactured by FUJIFILM Arch Corporation)
・ C. I. 11.06 parts of PY138 dispersion (trade name: YT-123, manufactured by FUJIFILM Arch Corporation)
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 10.25 parts (MMPG-AC)
・ Methyl ethyl ketone 51.49 parts ・ Surfactant 0.19 parts (Product name: Megafac F-176PF, manufactured by Dainippon Ink, Inc.)
・ Phenothiazine 0.004 part ・ Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer 4.47 parts (copolymerization ratio = 72/28, weight average molecular weight 30000)
Dipentaerythritol hexaacrylate 5.27 parts 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole 0.193 parts 7-{[-4 (diethylamino)- 6- (3-Hydroxymethylpiperidino) -s-triazinyl (2)]-amino} -3-phenylcoumarin
1.26 parts

−青色感光性樹脂層用塗布液の組成−
・C.I.PB15:6分散液 32.93部
(商品名:7075M、御国色素(株)製)
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 0.69部
(MMPG−AC)
・メチルエチルケトン 52.50部
・界面活性剤 0.12部
(商品名:メガファックF−176PF、大日本インキ(株)製)
・フェノチアジン 0.022部
・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 8.10部
(共重合比=78/22、分子量40000)
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 5.19部
・2−トリクロロメチル−5−(p−スチリルスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール 0.20部
・2,4,6−トリス(2,4ビス(メトキシカルボニルオキシ)フェニル〕−1,3,5−トリアジン 0.25部
-Composition of coating solution for blue photosensitive resin layer-
・ C. I. PB15: 6 dispersion 32.93 parts (trade name: 7075M, manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd.)
Propylene glycol monomethyl ether acetate 0.69 parts (MMPG-AC)
・ Methyl ethyl ketone 52.50 parts ・ Surfactant 0.12 parts (Product name: Megafac F-176PF, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)
・ Phenothiazine 0.022 parts ・ Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer 8.10 parts (copolymerization ratio = 78/22, molecular weight 40000)
Dipentaerythritol hexaacrylate 5.19 parts 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole 0.20 parts 2,4,6-tris (2,4 Bis (methoxycarbonyloxy) phenyl] -1,3,5-triazine 0.25 part

《カラーフィルターの作製》
ガラス基板をシランカップリング剤溶液(商品名:KBM−603;1%希釈液、信越化学(株)製)に3分間浸漬した。その後、10秒水洗し、エアガンで水切り後、110℃のオーブンで5分間乾燥して、シランカップリング処理ガラス基板を得た。
<Production of color filter>
The glass substrate was immersed in a silane coupling agent solution (trade name: KBM-603; 1% diluent, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) for 3 minutes. Thereafter, it was washed with water for 10 seconds, drained with an air gun, and then dried in an oven at 110 ° C. for 5 minutes to obtain a silane coupling treated glass substrate.

上記により得られた赤色画素用感光性転写材料からカバーフィルムを除去した。その後、上記シランカップリング処理ガラス基板と該赤色画素用感光性転写材料の感光性樹脂層とが接するように重ね合わせ、ラミネータ(商品名:ファーストラミネーター8B−550−80、大成ラミネータ(株)製)を用いて張り合わせた。尚、張り合わせは、2kg/m2の加圧、130℃のローラー温度、0.2m/minの送り条件でおこなった。続いて、ポリエチレンテレフタレートの仮支持体を、熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。次いで、アライナーMAP−1200L(大日本スクリーン(株)製)を用い、赤色画素用フォトマスクを介して、超高圧水銀灯(2kW)にて、感光性樹脂層に60cmの距離から3秒間露光を行った(照射エネルギー:20mJ/cm2)。次いで所定の処理液(商品名:T−PD2、富士写真フイルム(株)製;10倍希釈液)を用いて、熱可塑性樹脂層および中間層を除去した。その後、所定の処理液(商品名:T−CD1、富士写真フイルム(株)製;5倍希釈液)にて感光性樹脂層を現像して未露光部分を除去した。更に所定の処理液(商品名:T−SD1、富士写真フイルム(株)製、10倍希釈液)にてブラシをかけながら現像残膜を除去し、ガラス基板上に赤色画素パターンを得た。更に画素パターンの硬化を進めるため、上記アライナーにて基板の表裏から基板全面を500mJ/cm2でポスト露光し、220℃のオーブンで20分間焼成した。 The cover film was removed from the red pixel photosensitive transfer material obtained as described above. Thereafter, the silane coupling treated glass substrate and the photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material for red pixels are overlapped so that a laminator (trade name: First Laminator 8B-550-80, manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.) ). The pasting was performed under a pressure of 2 kg / m 2 , a roller temperature of 130 ° C., and a feed condition of 0.2 m / min. Subsequently, the temporary support of polyethylene terephthalate was peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer, and the temporary support was removed. Next, using the aligner MAP-1200L (manufactured by Dainippon Screen Co., Ltd.), the photosensitive resin layer was exposed for 3 seconds from a distance of 60 cm with a super high pressure mercury lamp (2 kW) through a photomask for red pixels. (Irradiation energy: 20 mJ / cm 2 ). Subsequently, the thermoplastic resin layer and the intermediate layer were removed using a predetermined treatment solution (trade name: T-PD2, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd .; 10-fold diluted solution). Thereafter, the photosensitive resin layer was developed with a predetermined processing solution (trade name: T-CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd .; 5-fold diluted solution) to remove unexposed portions. Further, the developing residual film was removed while brushing with a predetermined processing solution (trade name: T-SD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) to obtain a red pixel pattern on the glass substrate. In order to further cure the pixel pattern, the entire surface of the substrate was post-exposed at 500 mJ / cm 2 from the front and back of the substrate with the above aligner and baked in an oven at 220 ° C. for 20 minutes.

次いで、緑色画素用感光性転写材料を用い、同様に赤色画素パターン付きガラス基板上に緑色感光性転写材料を貼り合わせ、仮支持体除去、パターン露光、熱可塑性樹脂層および中間層除去、現像、残膜処理を行い、更にポスト露光を行い、220℃のオーブンにて20分焼成して、赤色画素および緑色画素パターンが設けられたカラーフィルタ基板を得た。   Next, using the green pixel photosensitive transfer material, similarly, the green photosensitive transfer material is laminated on a glass substrate with a red pixel pattern, temporary support removal, pattern exposure, thermoplastic resin layer and intermediate layer removal, development, Residual film processing was performed, post-exposure was performed, and baking was performed in an oven at 220 ° C. for 20 minutes to obtain a color filter substrate on which red pixels and green pixel patterns were provided.

次いで、青色画素用感光性転写材料を用い、同様に赤色および緑色画素パターン付きガラス基板上に青色感光性転写材料を貼り合わせ、仮支持体除去、パターン露光、熱可塑性樹脂層および中間層除去、現像、残膜処理を行い、更にポスト露光を行い、220℃のオーブンにて20分焼成して、赤色画素、緑色画素および青色画素パターンが設けられたカラーフィルタ基板を得た。   Then, using the blue pixel photosensitive transfer material, similarly, the blue photosensitive transfer material is bonded onto the glass substrate with red and green pixel patterns, temporary support removal, pattern exposure, thermoplastic resin layer and intermediate layer removal, Development, residual film treatment was performed, post-exposure was performed, and baking was performed in an oven at 220 ° C. for 20 minutes to obtain a color filter substrate provided with red pixel, green pixel, and blue pixel patterns.

続いて、ブラックマトリックス形成用の感光性転写材料からカバーフィルムを除去し、この感光性転写材料の黒色感光性樹脂層の表面と、赤色、緑色、および青色画像を有するガラス基板の赤色、緑色、青色画像が設けられている側の表面とが接するように重ね合わせ、上記同様にして上記ラミネータを用いて貼り合わせた。引き続き、PETベースフィルム(仮支持体)を遮光性感光性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。そして、アライナーMAP−1200L(大日本スクリーン(株)製)を用いて、赤色、緑色、および青色画像を有しない裏面(画像非形成面側)から超高圧水銀灯(2kW)により70mJ/cm2で露光を行ない、更に赤色画像等の場合と同様にして現像、ポスト露光を行い、240℃のオーブンで50分間焼成して、赤色画像、緑色画像、および青色画像を有しない非画像部に黒色の遮光性画像(ブラックマトリックス)を形成した。以上のようにして、赤色画像、緑色画像、および青色画像とこれらの間に形成されたブラックマトリックスとからなるカラーフィルタを得た。 Subsequently, the cover film is removed from the photosensitive transfer material for forming the black matrix, the surface of the black photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material, and the red, green, and red of the glass substrate having red, green, and blue images, The layers were superposed so as to be in contact with the surface on which the blue image was provided, and bonded together using the laminator in the same manner as described above. Subsequently, the PET base film (temporary support) was peeled off at the interface with the light-shielding photosensitive resin layer, and the temporary support was removed. Then, using an aligner MAP-1200L (manufactured by Dainippon Screen Co., Ltd.), a super high pressure mercury lamp (2 kW) from the back side (image non-formation side) having no red, green, and blue images at 70 mJ / cm 2 Perform exposure and further development and post-exposure in the same manner as in the case of a red image, etc., and baked in an oven at 240 ° C. for 50 minutes to form a black image on a non-image portion having no red image, green image, and blue image. A light-shielding image (black matrix) was formed. As described above, a color filter composed of a red image, a green image, and a blue image and a black matrix formed therebetween was obtained.

[実施例2〜4]
実施例1の「遮光性感光性樹脂層用塗布液の組成」において、本発明におけるジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ポリアクリレート化合物(商品名:KAYARAD DPCA−20、日本化薬(株)製、粘度2200mPa・s)を、表1に示すジペンタエリスリトールカプロラクトンのアクリル酸エステルに各々変更した以外は実施例1と同様にして、本発明のカラーフィルターを作製した。
[Examples 2 to 4]
In “Composition of coating solution for light-shielding photosensitive resin layer” in Example 1, dipentaerythritol caprolactone-modified polyacrylate compound according to the present invention (trade name: KAYARAD DPCA-20, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., viscosity: 2200 mPa · A color filter of the present invention was produced in the same manner as in Example 1 except that s) was changed to acrylic esters of dipentaerythritol caprolactone shown in Table 1, respectively.

実施例1〜4において得られたカラーフィルターを用いて作製した液晶パネルは、ブラックマトリックス部の遮光性が良好であり、配向乱れが実用上発生しないという結果が得られた。   The liquid crystal panels produced using the color filters obtained in Examples 1 to 4 had a good light shielding property at the black matrix portion, and the result that alignment disorder did not occur practically was obtained.

また、エクストルーダ型塗布機を用いて、実施例1〜4において使用した遮光性感光性樹脂層用塗布液を、直接上記実施例1で得られたカラーフィルター基板上に塗布・乾燥した後、裏面露光及び現像したところ、実施例1〜4と同様に、良好なブラックマトリックス付きカラーフィルターを得ることができた。   Moreover, after applying and drying the light-sensitive photosensitive resin layer coating solution used in Examples 1 to 4 directly on the color filter substrate obtained in Example 1 above using an extruder type coating machine, the back surface When exposed and developed, a good color filter with a black matrix could be obtained as in Examples 1 to 4.

[比較例1]
実施例1の「遮光性感光性樹脂層用塗布液の組成」において、本発明におけるジペンタエリスリトールカプロラクトン変性ポリアクリレート化合物(商品名:KAYARAD DPCA−20、日本化薬(株)製、粘度2200mPa・s)を、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)(粘度6700mPa・s)に変更した以外は実施例1と同様にして、比較用のカラーフィルターを作製した。
[Comparative Example 1]
In “Composition of coating solution for light-shielding photosensitive resin layer” in Example 1, dipentaerythritol caprolactone-modified polyacrylate compound according to the present invention (trade name: KAYARAD DPCA-20, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., viscosity: 2200 mPa · A comparative color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that s) was changed to dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA) (viscosity 6700 mPa · s).

[比較例2]
実施例1の「遮光性感光性樹脂層用塗布液の組成」において、ジペンタエリスリトールカプロラクトンのアクリル酸エステル(商品名:KAYARAD DPCA−20、日本化薬(株)製、粘度2200mPa・s)を、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート(商品名:KAYARAD D−310、日本化薬(株)製、粘度3300mPa・s)に変更した以外は実施例1と同様にして、比較用のカラーフィルターを作製した。
[Comparative Example 2]
In “Composition of Coating Solution for Light-Sensitive Photosensitive Resin Layer” in Example 1, acrylic acid ester of dipentaerythritol caprolactone (trade name: KAYARAD DPCA-20, Nippon Kayaku Co., Ltd., viscosity: 2200 mPa · s) A comparative color filter was produced in the same manner as in Example 1, except that the dipentaerythritol pentaacrylate (trade name: KAYARAD D-310, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., viscosity 3300 mPa · s) was used.

《評価》
上記より得られたカラーフィルタの遮光性画像部分(ブラックマトリックス部分)について、光学濃度および膜厚(μm)を以下のように評価した。評価結果を下記表1に示す。
<Evaluation>
The optical density and film thickness (μm) of the light-shielding image portion (black matrix portion) of the color filter obtained above were evaluated as follows. The evaluation results are shown in Table 1 below.

1.光学濃度
光学濃度は、マクベス透過型濃度計TD−904型(白黒濃度(ビジュアル);マクベス社製)により測定した。
1. Optical Density The optical density was measured with a Macbeth transmission type densitometer TD-904 (black and white density (visual); manufactured by Macbeth).

2.膜厚(μm)
ブラックマトリックスの膜厚(μm)は、微細形状測定測定器P−10型(ケーエルエー・テンコール社製)により測定した。
2. Film thickness (μm)
The film thickness (μm) of the black matrix was measured by a fine shape measuring instrument P-10 type (manufactured by KLA Tencor).

Figure 2005189720
Figure 2005189720

表1からわかるように、粘度が4000mPa・sである本発明におけるジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物を含有する本発明の感光性組成物および感光性転写材料を用いて形成された実施例のカラーフィルターは、ブラックマトリックスの光学濃度が高く、また、膜減りも発生していなかった。このため、遮光性に優れ、配向乱れも見られなかった。更に、感光性樹脂層を形成した際に波長400nm〜650nmにおける平均光透過率を5%以下であった。
これに対し比較例のカラーフィルターは、ブラックマトリックスの光学濃度に劣り、所望の膜厚を得ることができなかった。このため、遮光性に劣り、配向乱れが認められた。
これらの結果により、本発明の感光性組成物は、同量の照射量であっても膜深部まで十分に硬化されていることがわかる。
As can be seen from Table 1, the color filter of the example formed using the photosensitive composition and photosensitive transfer material of the present invention containing the dipentaerythritol polyacrylate compound of the present invention having a viscosity of 4000 mPa · s is The optical density of the black matrix was high, and no film loss occurred. For this reason, it was excellent in light-shielding property, and alignment disorder was not seen. Furthermore, when the photosensitive resin layer was formed, the average light transmittance at a wavelength of 400 nm to 650 nm was 5% or less.
On the other hand, the color filter of the comparative example was inferior in the optical density of the black matrix and could not obtain a desired film thickness. For this reason, it was inferior to light-shielding property and orientation disorder was recognized.
From these results, it can be seen that the photosensitive composition of the present invention is sufficiently cured to the deep part of the film even with the same amount of irradiation.

Claims (7)

少なくとも、アルカリ可溶性バインダーと、光重合開始剤と、多官能性モノマーと、遮光剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記多官能性モノマーが、粘度4000mPa・s以下のジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
A photosensitive resin composition containing at least an alkali-soluble binder, a photopolymerization initiator, a polyfunctional monomer, and a light-shielding agent,
The photosensitive resin composition, wherein the polyfunctional monomer is a dipentaerythritol polyacrylate compound having a viscosity of 4000 mPa · s or less.
前記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物は、ジペンタエリスリトールのアルコール部の少なくとも1カ所が2価の連結基を介してアクリレート化された化合物であることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the dipentaerythritol polyacrylate compound is a compound in which at least one alcohol portion of dipentaerythritol is acrylated via a divalent linking group. Stuff. 前記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物は、ジペンタエリスリトールのアルコール部の少なくとも1カ所をラクトン又はアルキレンオキシド化合物と付加反応した後にアクリレート化された化合物であることを特徴とする請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。   The dipentaerythritol polyacrylate compound is a compound that is acrylated after addition reaction of at least one alcohol portion of dipentaerythritol with a lactone or an alkylene oxide compound. Photosensitive resin composition. 前記ジペンタエリスリトールポリアクリレート化合物は、ジペンタエリスリトールのアルコール部の少なくとも1カ所をε−カプロラクトンと付加反応した後にアクリレート化された化合物であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。   The dipentaerythritol polyacrylate compound is a compound that is acrylated after addition reaction with ε-caprolactone in at least one alcohol portion of dipentaerythritol. Photosensitive resin composition. 仮支持体上に、少なくとも、請求項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いてなる感光性樹脂層を有することを特徴とする感光性転写材料。   A photosensitive transfer material comprising a photosensitive resin layer formed by using at least the photosensitive resin composition according to claim 1 on a temporary support. 仮支持体上に、少なくとも、請求項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いてなる感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いた画像形成方法であって、
前記感光性転写材料の前記感光性樹脂層と基板とを密着させるラミネート工程と、
前記感光性転写材料から仮支持体を除去する除去工程と、
前記感光性樹脂層をパターン露光する露光工程と、
パターン露光された前記感光性樹脂層を現像して前記基板上に画像を形成する画像形成工程と、
を含むことを特徴とする画像形成方法。
An image forming method using a photosensitive transfer material having at least a photosensitive resin layer using the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 on a temporary support,
A laminating step for bringing the photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material into close contact with the substrate;
Removing the temporary support from the photosensitive transfer material;
An exposure step of pattern exposing the photosensitive resin layer;
An image forming step of developing the pattern-exposed photosensitive resin layer to form an image on the substrate;
An image forming method comprising:
前記基板が光透過性を有し、且つ、前記露光工程は、前記基板側から光を照射して前記感光性樹脂層のパターン露光をおこなうことを特徴とする請求項6に記載の画像形成方法。   The image forming method according to claim 6, wherein the substrate is light transmissive, and in the exposure step, pattern exposure of the photosensitive resin layer is performed by irradiating light from the substrate side. .
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