JP5644992B2 - Colored radiation-sensitive composition, color filter, and color liquid crystal display element - Google Patents
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Description
本発明は、着色感放射線性組成物、カラーフィルタ及びカラー液晶表示素子に関わり、より詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子、有機EL表示素子、電子ペーパー等に用いられるカラーフィルタに有用な着色層の形成に用いられる感放射線性組成物、当該感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えるカラーフィルタ、並びに当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子に関する。 The present invention relates to a colored radiation-sensitive composition, a color filter, and a color liquid crystal display element. More specifically, the present invention relates to a transmissive or reflective color liquid crystal display device, a color imaging tube element, an organic EL display element, electronic paper and the like. RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION USED FOR FORMATION OF COLORED LAYER USEFUL FOR COLOR FILTER USED, COLOR FILTER HAVING COLORED LAYER FORMED USING THE RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION, AND COLOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY ELEMENT HAVING THE COLOR FILTER About.
着色感放射線性組成物を用いてカラーフィルタを形成する方法として、基板上あるいは予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色感放射線組成物の塗膜を形成して、所定のパターンを有するフォトマスクを介して放射線を照射(以下、「露光」という。)し、現像して未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、各色の画素を得る方法(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)が知られている。 As a method of forming a color filter using a colored radiation-sensitive composition, a coating film of a colored radiation-sensitive composition is formed on a substrate or a substrate on which a light-shielding layer having a desired pattern has been previously formed, and a predetermined pattern is formed. A method of obtaining pixels of each color by irradiating radiation (hereinafter referred to as “exposure”) through a photomask having, developing and dissolving and removing unexposed portions, and then post-baking (for example, patent documents) 1 and Patent Document 2).
このようなカラーフィルタを具備する液晶表示素子には高輝度化と色再現領域の拡大が求められており、そのためカラーフィルタについても近年ますます高い光透過率と高い色純度を有することが要求されている。
緑色画素については、輝度が高くかつ色再現領域が広いカラーフィルタを提供することができる材料として、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を含有する顔料組成物が知られており注目されている(例えば、特許文献3参照)。しかしながら、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を含有する顔料組成物を用いて形成された緑色画素は、従来用いられてきたC.I.ピグメントグリーン7やC.I.ピグメントグリーン36に比べて、耐溶剤性に著しく劣るという問題があった。
A liquid crystal display device having such a color filter is required to have higher brightness and an expanded color reproduction region. For this reason, color filters are required to have higher light transmittance and higher color purity in recent years. ing.
For green pixels, a pigment composition containing a polyhalogenated zinc phthalocyanine pigment is known as a material capable of providing a color filter having high luminance and a wide color reproduction region (for example, patents). Reference 3). However, green pixels formed using a pigment composition containing a polyhalogenated zinc phthalocyanine pigment have been used for C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Compared to Pigment Green 36, there was a problem that the solvent resistance was remarkably inferior.
以上のような背景から、輝度が高くしかも耐溶剤性に優れた緑色画素を形成することができる感放射線性組成物の開発が強く求められている。 From the background as described above, development of a radiation sensitive composition capable of forming a green pixel having high luminance and excellent solvent resistance is strongly demanded.
本発明の目的は、輝度が高くしかも優れた耐溶剤性を示す緑色画素を形成することができる感放射線性組成物を提供することにある。
更に本発明の目的は、前記感放射線性組成物から形成された緑色画素を備えてなるカラーフィルタ、および当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a radiation-sensitive composition capable of forming a green pixel having high luminance and excellent solvent resistance.
Furthermore, the objective of this invention is providing the color liquid crystal display element which comprises the color filter provided with the green pixel formed from the said radiation sensitive composition, and the said color filter.
斯かる実情に鑑み、本発明者らは、鋭意研究を行ったところ、意外にも、ポリハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料であるC.I.ピグメントグリーン58を、特定の含有比率にあるアルカリ可溶性樹脂および多官能単量体と共に含有せしめることにより上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成した。 In view of such circumstances, the present inventors have conducted extensive research and surprisingly found that C.I. which is a polyhalogenated zinc phthalocyanine pigment. I. It has been found that the above-mentioned problems can be solved by including Pigment Green 58 together with an alkali-soluble resin and a polyfunctional monomer having a specific content ratio, and the present invention has been completed.
即ち、本発明は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、および(D)感放射線性重合開始剤を含有する着色感放射線性組成物であって、(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58を含有し、かつ(C)多官能性単量体の含有量が(B)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して100質量部より多く400質量部以下であることを特徴とする着色感放射線性組成物を提供するものである。
本発明でいう「放射線」は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を含むものを意味する。
That is, the present invention is a colored radiation-sensitive composition containing (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, and (D) a radiation-sensitive polymerization initiator. (A) C.I. I. Pigment Green 58 is included, and the content of (C) the polyfunctional monomer is more than 100 parts by mass and less than or equal to 400 parts by mass with respect to 100 parts by mass of (B) alkali-soluble resin. A radiation-sensitive composition is provided.
The “radiation” as used in the present invention means a substance including visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray and the like.
また、本発明は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体、および(D)感放射線性重合開始剤を含有する着色感放射線性組成物であって、(A)着色剤として臭素化塩素化亜鉛フタロシアニンを含有し、かつ(C)多官能性単量体の含有量が(B)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して100質量部より多く400質量部以下であることを特徴とする着色感放射線性組成物を提供するものである。
また、本発明は、該着色感放射線性組成物を用いて形成された緑色画素を備えてなるカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子をも提供するものである。
The present invention also provides a colored radiation-sensitive composition containing (A) a colorant, (B) an alkali-soluble resin, (C) a polyfunctional monomer, and (D) a radiation-sensitive polymerization initiator. And (A) containing brominated chlorinated zinc phthalocyanine as a colorant, and (C) the content of polyfunctional monomer is more than 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of (B) alkali-soluble resin. The present invention provides a colored radiation-sensitive composition characterized by being no more than part by mass.
The present invention also provides a color filter including a green pixel formed using the colored radiation-sensitive composition, and a color liquid crystal display element including the color filter.
本発明の着色感放射線性組成物を用いることにより、輝度が高くしかも優れた耐溶剤性を示す緑色画素を形成することができる。
したがって、本発明の着色感放射線性組成物を用いて形成された緑色画素を備えてなるカラーフィルタは、例えば、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示素子、カラー撮像管素子、カラーセンサー、有機EL表示素子、電子ペーパー等に極めて有用である。
By using the colored radiation-sensitive composition of the present invention, a green pixel having high luminance and excellent solvent resistance can be formed.
Therefore, a color filter including a green pixel formed using the colored radiation-sensitive composition of the present invention includes, for example, a transmissive or reflective color liquid crystal display element, a color imaging tube element, a color sensor, and an organic EL. It is extremely useful for display elements, electronic paper, and the like.
本発明の着色感放射線性組成物(以下、単に「感放射線性組成物」ということがある。)において、(A)着色剤は、C.I.ピグメントグリーン58を含有するものである。C.I.ピグメントグリーン58は、臭素化塩素化亜鉛フタロシアニンであり、下記式(1)で表される構造であることが好ましい。 In the colored radiation-sensitive composition of the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as “radiation-sensitive composition”), (A) the colorant is C.I. I. Pigment Green 58 is contained. C. I. Pigment Green 58 is brominated chlorinated zinc phthalocyanine and preferably has a structure represented by the following formula (1).
(式(1)において、Xは、相互に独立して、水素原子、塩素原子または臭素原子を示し、全てのXのうち10〜15個は臭素原子、1〜6個は塩素原子である。)
本発明の感放射線性組成物は、C.I.ピグメントグリーン58以外の他の着色剤をさらに含有することができる。他の着色剤としては、特に限定されるものでなく、顔料、染料及び天然色素の何れをも使用することができるが、カラーフィルタには高純度で高光透過性の発色と耐熱性が求められることから、有機顔料が好ましい。
本発明において、C.I.ピグメントグリーン58の含有割合は、輝度の高い緑色画素を得るという意味において、全着色剤中、好ましくは20〜100質量%、特に好ましくは35〜75質量%である。
前記他の着色剤としては、例えば、カラーインデックスにおいてピグメントに分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)名が付されている顔料を挙げることができる。
(In Formula (1), X shows a hydrogen atom, a chlorine atom, or a bromine atom mutually independently, 10-15 pieces of all X are a bromine atom, and 1-6 are a chlorine atom. )
The radiation-sensitive composition of the present invention includes C.I. I. Other colorants other than CI Pigment Green 58 can be further contained. Other colorants are not particularly limited, and any of pigments, dyes, and natural pigments can be used, but color filters are required to have high purity and high light transmission color and heat resistance. Therefore, an organic pigment is preferable.
In the present invention, C.I. I. The content ratio of Pigment Green 58 is preferably 20 to 100% by mass, and particularly preferably 35 to 75% by mass in the total colorant in the sense of obtaining a green pixel with high luminance.
Examples of the other colorant include compounds classified as pigments in the color index, specifically, pigments having the following color index (CI) names. .
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36;
C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメントイエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピグメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー211、C.I.ピグメントイエロー219;
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36;
C. I. Pigment yellow 12, C.I. I. Pigment yellow 13, C.I. I. Pigment yellow 14, C.I. I. Pigment yellow 17, C.I. I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 31, C.I. I. Pigment yellow 55, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 155, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment yellow 168, C.I. I. Pigment yellow 180, C.I. I. Pigment yellow 211, C.I. I. Pigment yellow 219;
C.I.ピグメントオレンジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレンジ14、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピグメントオレンジ61、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメントオレンジ68、C.I.ピグメントオレンジ70、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオレンジ72、C.I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントオレンジ74; C. I. Pigment orange 5, C.I. I. Pigment orange 13, C.I. I. Pigment orange 14, C.I. I. Pigment orange 24, C.I. I. Pigment orange 34, C.I. I. Pigment orange 36, C.I. I. Pigment orange 38, C.I. I. Pigment orange 40, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 46, C.I. I. Pigment orange 49, C.I. I. Pigment orange 61, C.I. I. Pigment orange 64, C.I. I. Pigment orange 68, C.I. I. Pigment orange 70, C.I. I. Pigment orange 71, C.I. I. Pigment orange 72, C.I. I. Pigment orange 73, C.I. I. Pigment orange 74;
C.I.ピグメントレッド1、C.I.ピグメントレッド2、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッド17、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグメントレッド32、C.I.ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド170、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド178、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメントレッド187、C.I.ピグメントレッド202、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッド207、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメントレッド214、C.I.ピグメントレッド220、C.I.ピグメントレッド221、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメントレッド243、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、C.I.ピグメントレッド262、C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド272。
これら他の着色剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
C. I. Pigment red 1, C.I. I. Pigment red 2, C.I. I. Pigment red 5, C.I. I. Pigment red 17, C.I. I. Pigment red 31, C.I. I. Pigment red 32, C.I. I. Pigment red 41, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 144, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 166, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 170, C.I. I. Pigment red 171, C.I. I. Pigment red 176, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 178, C.I. I. Pigment red 179, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 185, C.I. I. Pigment red 187, C.I. I. Pigment red 202, C.I. I. Pigment red 206, C.I. I. Pigment red 207, C.I. I. Pigment red 209, C.I. I. Pigment red 214, C.I. I. Pigment red 220, C.I. I. Pigment red 221, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 242, C.I. I. Pigment red 243, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment red 255, C.I. I. Pigment red 262, C.I. I. Pigment red 264, C.I. I. Pigment Red 272.
These other colorants can be used alone or in admixture of two or more.
これら他の着色剤のうち、緑色の画素を形成するにあたっては、C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー180、C.I.ピグメントイエロー219等が好ましい。 Among these other colorants, C.I. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180, C.I. I. Pigment Yellow 219 and the like are preferable.
本発明において、C.I.ピグメントグリーン58および他の着色剤は、必要に応じて、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法や、これらの組み合わせ等により精製して使用することができる。また、C.I.ピグメントグリーン58および他の着色剤は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用することができる。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば特開平8−259876号公報に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマーなどを挙げることができる。
本発明において、(A)着色剤の含有割合は、輝度および色純度の高い緑色画素を形成するという意味において、全固形分中、好ましくは5〜70質量%、特に好ましくは5〜60質量%である。ここで固形分とは、後述する溶媒以外の成分である。
In the present invention, C.I. I. Pigment Green 58 and other colorants can be purified and used by recrystallization method, reprecipitation method, solvent washing method, sublimation method, vacuum heating method, or a combination thereof, if necessary. In addition, C.I. I. Pigment Green 58 and other colorants can be used by modifying the particle surface with a polymer, if desired. Examples of the polymer that modifies the particle surface of the pigment include the polymers described in JP-A-8-259876 and various commercially available polymers or oligomers for dispersing pigments.
In the present invention, the content ratio of (A) the colorant is preferably 5 to 70% by mass, particularly preferably 5 to 60% by mass in the total solid content in the sense that a green pixel having high luminance and color purity is formed. It is. Here, solid content is components other than the solvent mentioned later.
本発明の感放射線性組成物に含有される(B)アルカリ可溶性樹脂は、着色層を形成する際の現像処理工程において用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、通常、カルボキシル基、フェノール性水酸基等の酸性官能基を有する重合体である。なかでも、カルボキシル基を有する重合体を含有するものが好ましく、特に、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体(以下、「カルボキシル基含有不飽和単量体」という。)と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体(以下、「共重合性不飽和単量体」という。)との共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体」という。)が好ましい。 The (B) alkali-soluble resin contained in the radiation-sensitive composition of the present invention is particularly limited as long as it is soluble in the alkali developer used in the development processing step when forming the colored layer. Although not intended, it is usually a polymer having an acidic functional group such as a carboxyl group or a phenolic hydroxyl group. Among these, those containing a polymer having a carboxyl group are preferred, and in particular, an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxyl groups (hereinafter referred to as “carboxyl group-containing unsaturated monomer”). Copolymers (hereinafter referred to as “carboxyl group-containing copolymers”) with other copolymerizable ethylenically unsaturated monomers (hereinafter referred to as “copolymerizable unsaturated monomers”) are preferred. .
カルボキシル基含有不飽和単量体としては、例えば、
(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、桂皮酸の如き不飽和モノカルボン酸;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸の如き不飽和ジカルボン酸またはその無水物;
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕の如き2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル;
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート等を挙げることができる。
前記カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
本発明において、カルボキシル基含有不飽和単量体としては、(メタ)アクリル酸、こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等が好ましく、特に(メタ)アクリル酸が好ましい。
これらのカルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
As the carboxyl group-containing unsaturated monomer, for example,
Unsaturated carboxylic acids such as (meth) acrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid;
Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or anhydrides thereof;
Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] of polyvalent carboxylic acids such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] ester;
Examples thereof include mono (meth) acrylates of polymers having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate.
The said carboxyl group-containing unsaturated monomer can be used individually or in mixture of 2 or more types.
In the present invention, the carboxyl group-containing unsaturated monomer is preferably (meth) acrylic acid, succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl], ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, Particularly preferred is (meth) acrylic acid.
These carboxyl group-containing unsaturated monomers can be used alone or in admixture of two or more.
カルボキシル基含有共重合体において、カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合は、好ましくは5〜50質量%、さらに好ましくは10〜40質量%である。この場合、該共重合割合が少なすぎると、得られる感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、一方多すぎると、アルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像する際に、画素の基板からの脱落や画素表面の膜荒れを来たしやすくなる傾向がある。 In the carboxyl group-containing copolymer, the copolymerization ratio of the carboxyl group-containing unsaturated monomer is preferably 5 to 50% by mass, and more preferably 10 to 40% by mass. In this case, if the copolymerization ratio is too small, the solubility of the resulting radiation-sensitive composition in an alkaline developer tends to decrease, while if too large, the solubility in an alkaline developer becomes excessive and alkali development is caused. When developing with a liquid, the pixel tends to drop off from the substrate or the surface of the pixel becomes rough.
また、共重合性不飽和単量体としては、例えば、
マレイミド:
N−フェニルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(アクリジニル)マレイミドの如きN−位置換マレイミド;
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルフェノール、m−ビニルフェノール、p−ビニルフェノール、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテルの如き芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデンの如きインデン類;
Examples of the copolymerizable unsaturated monomer include:
Maleimide:
N-phenylmaleimide, N-o-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N- N-substituted maleimides such as succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3-maleimidopropionate, N- (acridinyl) maleimide;
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylphenol, m-vinyl Phenol, p-vinylphenol, p-hydroxy-α-methylstyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m-vinylbenzylmethyl ether, p-vinylbenzylmethyl ether, o-vinylbenzylglycidyl ether, m-vinylbenzylglycidyl ether , Aromatic vinyl compounds such as p-vinylbenzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;
メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレートの如き不飽和カルボン酸エステル; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) Acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl ( (Meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, methoxydi Propylene glycol (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, Unsaturated carboxylic acid esters such as glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) acrylate, ethylene oxide modified (meth) acrylate of paracumylphenol;
グリシジル(メタ)アクリレートの如き不飽和カルボン酸グリシジルエステル;
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルの如きカルボン酸ビニルエステル;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルの如き他の不飽和エーテル;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンの如きシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミドの如き不飽和アミド;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンの如き脂肪族共役ジエン;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサンの如き重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー等を挙げることができる。
これらの共重合性不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl benzoate;
Other unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Examples thereof include a macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the end of a polymer molecular chain such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, and polysiloxane.
These copolymerizable unsaturated monomers can be used alone or in admixture of two or more.
本発明において、共重合性不飽和単量体としては、N−位置換マレイミド、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル、重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマーよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するものが好ましく、さらにはN−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、スチレン、α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、メチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性(メタ)アクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマーよりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有するものが好ましい。 In the present invention, as the copolymerizable unsaturated monomer, an N-substituted maleimide, an aromatic vinyl compound, an unsaturated carboxylic acid ester, or a macromonomer having a mono (meth) acryloyl group at the end of the polymer molecular chain. Those containing at least one selected from the group consisting of N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, styrene, α-methylstyrene, p-hydroxy-α-methylstyrene, methyl (meth) acrylate, n -Butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, 4-hydroxyphenyl (meth) Acrylate, paracumylfe What contains at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of an ethylene oxide modified | denatured (meth) acrylate of a polyol, a polystyrene macromonomer, and a polymethylmethacrylate macromonomer is preferable.
また、本発明においては、例えば、特開平5−19467号公報、特開平6−230212号公報、特開2008−181095号公報等に開示されているように、側鎖に(メタ)アクリロイル基等の重合性不飽和結合を有するカルボキシル基含有共重合体を、アルカリ可溶性樹脂として使用することもできる。 In the present invention, for example, as disclosed in JP-A-5-19467, JP-A-6-230212, JP-A-2008-181095, etc., a (meth) acryloyl group or the like is present in the side chain. The carboxyl group-containing copolymer having a polymerizable unsaturated bond can also be used as an alkali-soluble resin.
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」ともいう。)は、通常、1,000〜45,000、好ましくは3,000〜20,000である。Mwが小さすぎると、得られる被膜の残膜率が低下したり、パターン形状、耐熱性が損なわれたり、また電気特性が悪化するおそれがあり、一方大きすぎると、解像度が低下したり、パターン形状が損なわれたり、またスリットノズル方式による塗布時に乾燥異物が発生し易くなるおそれがある。
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂のMwと、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)の比(Mw/Mn)は、好ましくは1.0〜5.0、より好ましくは1.0〜3.0である。
The weight average molecular weight in terms of polystyrene (hereinafter also referred to as “Mw”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) of the alkali-soluble resin in the present invention is usually 1,000 to 45,000. Preferably it is 3,000-20,000. If the Mw is too small, the remaining film ratio of the resulting coating may decrease, the pattern shape and heat resistance may be impaired, and the electrical characteristics may deteriorate. On the other hand, if the Mw is too large, the resolution may be reduced. There is a possibility that the shape is damaged, and that dry foreign matter is likely to be generated at the time of application by the slit nozzle method.
In addition, the ratio (Mw / Mn) of Mw of the alkali-soluble resin in the present invention to the polystyrene-equivalent number average molecular weight (hereinafter referred to as “Mn”) measured by gel permeation chromatography (GPC, elution solvent: tetrahydrofuran) is , Preferably 1.0 to 5.0, more preferably 1.0 to 3.0.
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、例えば、(メタ)アクリル酸等の不飽和単量体を、適当な溶媒中、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。 The alkali-soluble resin in the present invention includes, for example, an unsaturated monomer such as (meth) acrylic acid, 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2, 4-dimethylvaleronitrile) and 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile) can be produced by polymerization in the presence of a radical polymerization initiator.
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、上記のように不飽和単量体をラジカル重合した後に、極性の異なる有機溶媒を2種以上用いる再沈殿法を経て精製することができる。即ち、重合後の良溶媒中の溶液を、必要に応じてろ過あるいは遠心分離などによって不溶な不純物を除去したのち、大量(通常は、ポリマー溶液体積の5〜10倍量)の沈殿剤(貧溶媒)中に注いで、共重合体を再沈殿させることにより精製する。その際、ポリマー溶液中に残っている不純物のうち、沈殿剤に可溶な不純物は液相に残り、精製されたアルカリ可溶性樹脂から分離される。
この再沈殿法に使用される良溶媒/沈殿剤の組み合わせとしては、例えば、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘキサン、メチルエチルケトン/n−ヘキサン、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート/n−ヘプタン、メチルエチルケトン/n−ヘプタン等を挙げることができる。
The alkali-soluble resin in the present invention can be purified through a reprecipitation method using two or more organic solvents having different polarities after radical polymerization of an unsaturated monomer as described above. That is, after removing insoluble impurities from the solution in a good solvent after polymerization by filtration or centrifugation as necessary, a large amount (usually 5 to 10 times the volume of the polymer solution) of a precipitant (poor) Purification by pouring into the solvent) and reprecipitation of the copolymer. At that time, of the impurities remaining in the polymer solution, impurities soluble in the precipitant remain in the liquid phase and are separated from the purified alkali-soluble resin.
Examples of the good solvent / precipitant combination used in this reprecipitation method include diethylene glycol monomethyl ether acetate / n-hexane, methyl ethyl ketone / n-hexane, diethylene glycol monomethyl ether acetate / n-heptane, and methyl ethyl ketone / n-heptane. Can be mentioned.
また、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、その共重合成分となる各不飽和単量体を、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)等のラジカル重合開始剤、およびピラゾール−1−ジチオカルボン酸シアノ(ジメチル)メチルエステル、ピラゾール−1−ジチオカルボン酸ベンジルエステル、テトラエチルチウラムジスルフィド、ビス(ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(4−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(5−メチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(3,4,5−トリメチル−ピラゾール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビス(ピロール−1−イルチオカルボニル)ジスルフィド、ビスチオベンゾイルジスルフィド等のイニファターとして作用する分子量制御剤の存在下、不活性溶媒中で、反応温度を、通常、0〜150℃、好ましくは50〜120℃として、リビングラジカル重合することにより製造することができる。 In addition, the alkali-soluble resin in the present invention comprises 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) as the unsaturated monomer as the copolymer component. ), Radical polymerization initiators such as 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), and pyrazole-1-dithiocarboxylic acid cyano (dimethyl) methyl ester, pyrazole-1-dithiocarboxylic acid Benzyl ester, tetraethylthiuram disulfide, bis (pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (3-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (4-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide Bis (5-methyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) di In the presence of a molecular weight regulator that acts as an iniferter such as rufide, bis (3,4,5-trimethyl-pyrazol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bis (pyrrol-1-ylthiocarbonyl) disulfide, bisthiobenzoyl disulfide In the inert solvent, the reaction temperature is usually 0 to 150 ° C., preferably 50 to 120 ° C., and can be produced by living radical polymerization.
さらに、本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、その共重合成分となる各不飽和単量体を、上記ラジカル重合開始剤、および連鎖移動剤として作用する多価チオール化合物の存在下、適当な溶媒中でラジカル重合することにより製造することができる。ここで、多価チオール化合物とは、1分子中に2個以上のチオール基を有する化合物をいい、例えば、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、テトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(チオグリコレート)、1,4―ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5,−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン等を挙げることができる。 Furthermore, the alkali-soluble resin in the present invention is prepared by mixing each unsaturated monomer serving as a copolymerization component in a suitable solvent in the presence of the radical polymerization initiator and a polyvalent thiol compound that acts as a chain transfer agent. It can be produced by radical polymerization. Here, the polyvalent thiol compound means a compound having two or more thiol groups in one molecule, for example, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropio). Nate), tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (thioglycolate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryl) Oxy) butane, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), 1,3,5, -tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H , 5H) -trione and the like.
本発明において、(B)アルカリ可溶性樹脂の含有量は、(A)着色剤100質量部に対して、通常、10〜1,000質量部、好ましくは20〜500質量部である。この場合、アルカリ可溶性樹脂の含有量が少なすぎると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣や地汚れが発生するおそれがあり、一方多すぎると、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。 In this invention, content of (B) alkali-soluble resin is 10-1,000 mass parts normally with respect to 100 mass parts of (A) coloring agents, Preferably it is 20-500 mass parts. In this case, if the content of the alkali-soluble resin is too small, for example, the alkali developability may be reduced, or a residue or background stain may occur on the unexposed portion of the substrate or on the light shielding layer. Since the colorant concentration is relatively lowered, it may be difficult to achieve the target color density as a thin film.
本発明における(C)多官能性単量体は、より耐溶剤性を高めるためには、7個以上の重合性不飽和結合を有する単量体(以下、「多官能性単量体(C3)」という)を含有する。
このような多官能性単量体(C3)と一緒に用いることができる、2〜3個の重合性不飽和結合を有する単量体(以下、「多官能性単量体(c1)」という。)として、例えば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、トリス〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕フォスフェート、イソシアヌル酸エチレンオキシド変性トリアクリレート等を挙げることができる。
(C) in the present invention the polyfunctional monomer in order to enhance the good Ri solvent resistance, monomers having 7 or more polymerizable unsaturated bond (hereinafter, "multifunctional monomer ( C3) "hereinafter) it contains.
A monomer having 2 to 3 polymerizable unsaturated bonds (hereinafter referred to as “polyfunctional monomer (c1)”, which can be used together with such a polyfunctional monomer (C3). .), For example, ethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri ( (Meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, monoesterified product of pentaerythritol tri (meth) acrylate and succinic acid, tris [2- (meth) acryloyloxyethyl] phosphate, isocyanuric acid ethylene oxide modified triacrylate, etc. Raise Door can be.
また、4〜6個の重合性不飽和結合を有する単量体(以下、「多官能性単量体(c2)」という。)として、例えば、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート(ペンタエリスリトールトリアクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートとの反応物)等を挙げることができる。 Examples of the monomer having 4 to 6 polymerizable unsaturated bonds (hereinafter referred to as “polyfunctional monomer (c2)”) include, for example, pentaerythritol tetra (meth) acrylate and dipentaerythritol penta. (Meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, monoesterified product of dipentaerythritol penta (meth) acrylate and succinic acid, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, pentaerythritol triacrylate hexamethylene diisocyanate ( And a reaction product of pentaerythritol triacrylate and hexamethylene diisocyanate).
7個以上の重合性不飽和結合を有する単量体は、トリペンタエリスリトールヘプタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、下記式(2)で表される化合物のうち、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと多官能イソシアネートを反応して得られる化合物またはジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと多官能エポキシ化合物を反応して得られる化合物である。 Monomers having 7 or more polymerizable unsaturated bond, of the Application Benefits pentaerythritol hepta (meth) acrylate, tripentaerythritol octa (meth) acrylate, a compound represented by the following formula (2), dipenta It is a compound obtained by reacting erythritol penta (meth) acrylate with a polyfunctional isocyanate or a compound obtained by reacting dipentaerythritol penta (meth) acrylate with a polyfunctional epoxy compound.
(式(2)において、R1は、相互に独立して、水素原子またはメチル基を示し、R2は2価の有機基を示す。)
上記式(2)で表される化合物のうち、例えば、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと四塩基酸二無水物を反応させて得られる化合物は、多官能性単量体(C3)と一緒に用いることができる。
(In Formula (2), R 1 independently represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 2 represents a divalent organic group.)
Among the above-mentioned formula (2), compounds represented by For example, compounds obtained by reacting dipentaerythritol penta (meth) acrylate and tetracarboxylic acid dianhydride, polyfunctional monomer and (C3) It can be used in actual together.
前記多官能イソシアネートの具体例としては、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等を挙げることができる。
また、前記四塩基酸二無水物の具体例としては、無水ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸無水物、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート、グリセリンビス(アンヒドロトリメリテートモノアセテート)、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロヘキシセンテトラカルボン酸二無水物等を挙げることができる。
また、前記多官能エポキシ化合物の具体例としては、トリス(グリシジルフェニル)メタン、トリグリシジルイソシアヌレート、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、ビス(3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル)アジペート、メチレンビス(3,4−エポキシシクロヘキサン)、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、水素化ビスフェノールAジグリシジルエーテル、ノボラック型エポキシ樹脂等を挙げることができる。
Specific examples of the polyfunctional isocyanate include tolylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate.
Specific examples of the tetrabasic acid dianhydride include pyromellitic anhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, naphthalenetetracarboxylic dianhydride, diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride. , Cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, oxydiphthalic anhydride, ethylene glycol bisanhydro trimellitate, glycerin bis (anhydro trimellitate monoacetate), benzophenone tetracarboxylic dianhydride, methylcyclohexylene tetracarboxylic An acid dianhydride etc. can be mentioned.
Specific examples of the polyfunctional epoxy compound include tris (glycidylphenyl) methane, triglycidyl isocyanurate, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, bis (3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl). ) Adipate, methylene bis (3,4-epoxycyclohexane), bisphenol A diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, novolac type epoxy resin and the like.
本発明において、多官能性単量体としては、特に、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレートと多官能イソシアネートを反応させて得られる化合物が好ましい。
本発明において、多官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
In the present invention, as a polyfunctional monomer, in particular, compounds obtained by reacting dipentaerythritol penta (meth) acrylate and a polyfunctional isocyanate are preferred.
In the present invention, the polyfunctional monomer, as possible out be used alone or in combination of two or more.
本発明において(C)多官能性単量体の含有量は、(B)アルカリ可溶性樹脂100質量部に対して100質量部より多く400質量部以下であり、好ましくは110〜300質量部である。この場合、多官能性単量体の含有量が少なすぎると、所望の効果が得られず、一方多すぎると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生じやすくなる傾向がある。
また、多官能性単量体(c3)の含有割合は、所望の効果を高める点から、全多官能性単量体中、好ましくは30質量%以上、さらに好ましくは50質量%以上である。
一般に感放射線性組成物中に多官能性単量体をより多く含有量せしめれば、形成される画素の硬化性が高まり耐溶剤性も向上すると予測されるが、本発明者らによれば、C.I.ピグメントグリーン58を用いる場合、単に多官能性単量体をより多く含有量せしめるだけでは十分な耐溶剤性が得られない。すなわち、多官能性単量体の含有量はアルカリ可溶性樹脂に対する比率で調整されることが重要であり、これは画素が形成される放射線露光部も、アルカリ可溶性樹脂の存在により、現像時にはアルカリ現像液による浸食を受けるためであると考えられる。
In this invention, content of (C) polyfunctional monomer is more than 100 mass parts with respect to 100 mass parts of (B) alkali-soluble resin, and is 400 mass parts or less, Preferably it is 110-300 mass parts. . In this case, if the content of the polyfunctional monomer is too low, the desired effect cannot be obtained. In particular, there is a tendency that dirt, film residue, etc. are likely to occur.
In addition, the content of the polyfunctional monomer (c3) is preferably 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more in the total polyfunctional monomer, from the viewpoint of enhancing a desired effect.
In general, it is expected that if the polyfunctional monomer is contained in the radiation-sensitive composition in a larger amount, the curability of the formed pixel is increased and the solvent resistance is improved. , C.I. I. When using CI Pigment Green 58, sufficient solvent resistance cannot be obtained simply by adding more polyfunctional monomer. In other words, it is important that the content of the polyfunctional monomer is adjusted by the ratio with respect to the alkali-soluble resin. This is because the radiation exposure area where the pixels are formed is also alkali-developed during development due to the presence of the alkali-soluble resin. This is thought to be due to liquid erosion.
本発明に用いる(D)感放射線性重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等の放射線の露光により、前記(C)多官能性単量体の重合を開始しうる活性種を発生する化合物である。
このような感放射線性重合開始剤としては、例えば、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物、オニウム塩系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、ジアゾ系化合物、イミドスルホナート系化合物等を挙げることができる。
The radiation-sensitive polymerization initiator (D) used in the present invention initiates polymerization of the polyfunctional monomer (C) by exposure to radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, and X-ray. It is a compound that generates a possible active species.
Examples of such radiation-sensitive polymerization initiators include thioxanthone compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, O-acyloxime compounds, onium salt compounds, benzoin compounds, and benzophenone compounds. , Α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, diazo compounds, imide sulfonate compounds, and the like.
本発明において、感放射線性重合開始剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。感放射線性重合開始剤としては、チオキサントン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、O−アシルオキシム系化合物の群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。また、C.I.ピグメントグリーン58を含有する感放射線性組成物は、該顔料の凝集異物を発生しやすく、凝集異物を低減するという意味においては、チオキサントン系化合物を含有することが好ましい。 In this invention, a radiation sensitive polymerization initiator can be used individually or in mixture of 2 or more types. The radiation sensitive polymerization initiator is preferably at least one selected from the group of thioxanthone compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, triazine compounds, and O-acyloxime compounds. In addition, C.I. I. The radiation-sensitive composition containing CI Pigment Green 58 is preferable to contain a thioxanthone compound in the sense that it easily generates aggregated foreign substances of the pigment and reduces the aggregated foreign substances.
本発明においては、前記チオキサントン系化合物と他の感放射線性重合開始剤とを組み合わせて使用することがさらに好ましい。この場合において、チオキサントン系化合物の含有割合は、全感放射線性重合開始剤中、好ましくは1〜75質量%、特に好ましくは5〜50質量%である。このような感放射線性重合開始剤を用いることにより、高感度でしかも分散安定性に優れた感放射線性組成物を得ることができる。 In the present invention, it is more preferable to use the thioxanthone compound in combination with another radiation-sensitive polymerization initiator. In this case, the content ratio of the thioxanthone compound is preferably 1 to 75% by mass, and particularly preferably 5 to 50% by mass in the total radiation-sensitive polymerization initiator. By using such a radiation sensitive polymerization initiator, a radiation sensitive composition having high sensitivity and excellent dispersion stability can be obtained.
本発明における好ましい感放射線性重合開始剤のうち、チオキサントン系化合物の具体例としては、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2−ドデシルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等を挙げることができる。
これらのチオキサントン系化合物のうち、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントンが好ましい。
前記チオキサントン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among preferred radiation-sensitive polymerization initiators in the present invention, specific examples of thioxanthone compounds include thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2-dodecylthioxanthone, and 2,4-dimethylthioxanthone. 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and the like.
Of these thioxanthone compounds, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, and 2,4-diethylthioxanthone are preferable.
The thioxanthone compounds can be used alone or in admixture of two or more.
また、前記アセトフェノン系化合物の具体例としては、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシル・フェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン等を挙げることができる。
これらのアセトフェノン系化合物のうち、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オンが好ましい。
前記アセトフェノン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Specific examples of the acetophenone compound include 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropane- 1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpho And linophenyl) butan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, and the like.
Among these acetophenone compounds, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) ) Butan-1-one, 2- (4-methylbenzyl) -2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one are preferred.
The acetophenone compounds can be used alone or in admixture of two or more.
また、前記ビイミダゾール系化合物の具体例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることができる。
これらのビイミダゾール系化合物のうち、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましい。
前記ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Specific examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-bi Imidazole, 2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra Phenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2, 2'-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrafe 1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2 ′ -Bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like can be mentioned.
Among these biimidazole compounds, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2 , 4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5 , 5′-Tetraphenyl-1,2′-biimidazole is preferred.
The biimidazole compounds can be used alone or in admixture of two or more.
なお、感放射線性重合開始剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、水素供与体を併用することが、感度を高めることができる点で好ましい。ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。水素供与体としては、例えば、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール等のメルカプタン系水素供与体、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のアミン系水素供与体を挙げることができる。本発明において、水素供与体は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができるが、メルカプタン系水素供与体を使用することが好ましい。
本発明において、水素供与体をビイミダゾール系化合物と併用する場合、水素供与体の含有量は、ビイミダゾール系化合物100質量部に対して、好ましくは1〜300質量部、特に好ましくは5〜200質量部、さらに好ましくは10〜150質量部である。この場合、水素供与体の含有量が少なすぎると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一方多すぎると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。
In addition, when using a biimidazole-type compound as a radiation sensitive polymerization initiator, it is preferable at the point which can improve a sensitivity to use a hydrogen donor together. The “hydrogen donor” as used herein means a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from a biimidazole compound by exposure. Examples of the hydrogen donor include mercaptan-based hydrogen donors such as 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like. And an amine-based hydrogen donor. In the present invention, the hydrogen donor can be used alone or in admixture of two or more, but it is preferable to use a mercaptan-based hydrogen donor.
In the present invention, when a hydrogen donor is used in combination with a biimidazole compound, the content of the hydrogen donor is preferably 1 to 300 parts by mass, particularly preferably 5 to 200 parts per 100 parts by mass of the biimidazole compound. Part by mass, more preferably 10 to 150 parts by mass. In this case, if the content of the hydrogen donor is too small, the effect of improving the sensitivity tends to be reduced. On the other hand, if the content is too large, the formed colored layer tends to be detached from the substrate during development.
また、前記トリアジン系化合物の具体例としては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン系化合物を挙げることができる。
前記トリアジン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Specific examples of the triazine compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2 -(5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloro Methyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxy) Phenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4- Triazine-based compounds having a halomethyl group such as xystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine Can be mentioned.
The triazine compounds can be used alone or in admixture of two or more.
また、前記O−アシルオキシム系化合物の具体例としては、1,2−ヘプタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、1,2−オクタンジオン,1−〔4−(ベンゾイル)フェニル〕−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(3−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−(9−エチル−6−ベンゾイル−9H−カルバゾール−3−イル)−、1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)ベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)等を挙げることができる。 Specific examples of the O-acyloxime compound include 1,2-heptanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime), 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime), 1,2-octanedione, 1- [4- (benzoyl) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime), ethanone , 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (3- Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- (9-ethyl-6-benzoyl-9H-carbazol-3-yl)-, 1- O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl- 6- (2-Methyl-5-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5) -Tetrahydropyranylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4 (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) benzoyl} -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl) -4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylmethoxy) Benzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9H-carbazole- 3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydropyranylmethoxy) Cibenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1, 3-Dioxolanyl) methoxybenzoyl} -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) and the like.
これらのO−アシルオキシム系化合物のうち、1,2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)フェニル〕−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)、エタノン,1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9H−カルバゾール−3−イル〕−,1−(O−アセチルオキシム)が好ましい。
前記O−アシルオキシム系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Among these O-acyloxime compounds, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl]-, 2- (O-benzoyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-Methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl)- 9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime), ethanone, 1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) Methoxybenzoyl} -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) is preferred.
The O-acyloxime compounds can be used alone or in admixture of two or more.
本発明において、感放射線性重合開始剤の含有量は、(C)多官能性単量体100質量部に対して、通常、0.01〜120質量部、好ましくは1〜100質量部、さらに好ましくは1〜70質量部である。この場合、感放射線性重合開始剤の含有量が少なすぎると、露光による硬化が不十分となり、画素パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方多すぎると、形成された画素パターンが現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。 In this invention, content of a radiation sensitive polymerization initiator is 0.01-120 mass parts normally with respect to 100 mass parts of (C) polyfunctional monomers, Preferably it is 1-100 mass parts, Furthermore, Preferably it is 1-70 mass parts. In this case, if the content of the radiation-sensitive polymerization initiator is too small, curing by exposure may be insufficient, and it may be difficult to obtain a color filter in which a pixel pattern is arranged according to a predetermined arrangement. If it is too high, the formed pixel pattern tends to drop off from the substrate during development.
本発明の感放射線性組成物は、上記(A)〜(D)成分を含有するものであるが、必要に応じて他の添加剤をさらに含有することもできる。
ここで他の添加剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリ(フロオロアルキルアクリレート)類等の高分子化合物;ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等の現像残渣改善剤等を挙げることができる。
Although the radiation sensitive composition of this invention contains the said (A)-(D) component, it can also contain another additive as needed.
Examples of other additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds such as polyvinyl alcohol and poly (fluoroalkyl acrylates); nonionic surfactants, cationic surfactants, and anionic surfactants. Surfactants such as surfactants; vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2- Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) Ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyl Adhesion promoters such as methoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol) Antioxidants such as 2,6-di-t-butylphenol; UV absorbers such as 2- (3-tert-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenones; Anticoagulation agents such as sodium polyacrylate; development residue improvers such as malonic acid, adipic acid, itaconic acid, citraconic acid, fumaric acid, and mesaconic acid.
本発明において、感放射線性組成物は、適宜の方法により調製することができ、例えば、(A)〜(D)成分を、溶媒や添加剤と共に、混合することにより調製することができる。好ましい感放射線性組成物の調製方法としては、C.I.ピグメントグリーン58を含有してなる着色剤を溶媒中、分散剤および必要に応じて添加する分散助剤の存在下で、場合により(B)成分の一部と共に、例えばビーズミル、ロールミル等を用いて、粉砕しつつ混合・分散して着色剤分散液とし、この着色剤分散液に、(B)〜(D)成分と、必要に応じてさらに追加の溶媒や添加剤を添加し、混合することにより調製する方法を挙げることができる。 In the present invention, the radiation-sensitive composition can be prepared by an appropriate method, and for example, it can be prepared by mixing the components (A) to (D) together with a solvent and additives. Preferred methods for preparing the radiation sensitive composition include C.I. I. In a solvent, in the presence of a dispersing agent and a dispersing aid to be added as necessary, a coloring agent containing CI Pigment Green 58 is optionally used together with a part of the component (B), for example, using a bead mill, a roll mill or the like. Mix and disperse while pulverizing to obtain a colorant dispersion, and add (B) to (D) components and, if necessary, additional solvents and additives to the colorant dispersion and mix. The method of preparing by can be mentioned.
前記着色剤分散液の調製に使用される溶媒としては、後述する溶媒を挙げることができる。
また、前記着色剤分散液の調製に使用される分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系や両性等の適宜の分散剤を使用することができるが、ポリマー分散剤が好ましい。具体的には、変性アクリル系共重合体、アクリル系共重合体、ポリウレタン、ポリエステル、高分子共重合体のアルキルアンモニウム塩又はリン酸エステル塩、カチオン性グラフトポリマー等を挙げることができる。ここで、カチオン性グラフトポリマーとは、複数の塩基性基(カチオン性の官能基)を有する幹ポリマー1分子に、2分子以上の枝ポリマーがグラフト結合した構造のポリマーをいい、例えば、幹ポリマー部がポリエチレンイミン、枝ポリマー部がε−カプロラクトンの開環重合体で構成されるポリマーが挙げられる。これら分散剤の中で、変性アクリル系共重合体、ポリウレタン、カチオン性グラフトポリマーが好ましい。
Examples of the solvent used for the preparation of the colorant dispersion include the solvents described later.
Moreover, as a dispersing agent used for preparation of the said colorant dispersion liquid, suitable dispersing agents, such as a cation type | system | group, anionic type | system | group, nonionic type | system | group, and amphoteric, can be used, for example, but a polymer dispersing agent is preferable. Specifically, a modified acrylic copolymer, an acrylic copolymer, polyurethane, polyester, an alkyl ammonium salt or a phosphate ester salt of a polymer copolymer, a cationic graft polymer, and the like can be given. Here, the cationic graft polymer refers to a polymer having a structure in which two or more branch polymers are grafted to one molecule of a backbone polymer having a plurality of basic groups (cationic functional groups). Examples thereof include a polymer composed of a ring-opening polymer having a part of polyethyleneimine and a branch polymer part of ε-caprolactone. Among these dispersants, modified acrylic copolymers, polyurethanes, and cationic graft polymers are preferable.
このような分散剤は商業的に入手することができ、例えば、変性アクリル系共重合体として、Disperbyk−2000、Disperbyk−2001(以上、ビックケミー(BYK)社製)、ポリウレタンとして、Disperbyk−161、Disperbyk−162、Disperbyk−165、Disperbyk−167、Disperbyk−170、Disperbyk−182(以上、ビックケミー(BYK)社製)、ソルスパース76500(ルーブリゾール(株)社製)、カチオン性グラフトポリマーとして、ソルスパース24000(ルーブリゾール(株)社製)、アジスパーPB821、アジスパーPB822、アジスパーPB823、アジスパーPB824、アジスパーPB827(味の素ファインテクノ株式会社製)等を挙げることができる。 Such a dispersant can be obtained commercially, for example, Disperbyk-2000, Disperbyk-2001 (above, manufactured by BYK Corporation) as a modified acrylic copolymer, Disperbyk-161 as polyurethane, Disperbyk-162, Disperbyk-165, Disperbyk-167, Disperbyk-170, Disperbyk-182 (above, manufactured by BYK Chemy (BYK)), Solsperse 76500 (manufactured by Lubrizol Corp.), Solsperse 24000 as a cationic graft polymer (Manufactured by Lubrizol Co., Ltd.), Ajisper PB821, Azisper PB822, Azisper PB823, Azisper PB824, Azisper PB827 (Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd.), and the like.
これらの分散剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。分散剤の含有量は、(A)着色剤100質量部に対して、通常、100質量部以下、好ましくは0.5〜100質量部、さらに好ましくは1〜70質量部、特に好ましくは10〜50質量部である。この場合、分散剤の含有量が100質量部を超えると、現像性等が損なわれるおそれがある。 These dispersants can be used alone or in admixture of two or more. Content of a dispersing agent is 100 mass parts or less normally with respect to 100 mass parts of (A) coloring agents, Preferably it is 0.5-100 mass parts, More preferably, it is 1-70 mass parts, Most preferably, it is 10-10 mass parts. 50 parts by mass. In this case, when the content of the dispersant exceeds 100 parts by mass, developability and the like may be impaired.
本発明の感放射線性組成物は、前記(A)〜(D)成分を必須成分とし、必要に応じて前記添加剤成分を含有するが、溶媒を配合し液状組成物として調製することもできる。
前記溶媒としては、感放射線性組成物を構成する(A)〜(D)成分や添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。
The radiation-sensitive composition of the present invention comprises the components (A) to (D) as essential components and, if necessary, the additive component, but can also be prepared as a liquid composition by blending a solvent. .
As the solvent, the components (A) to (D) and additive components constituting the radiation-sensitive composition are dispersed or dissolved, and do not react with these components and have appropriate volatility. Can be appropriately selected and used.
このような溶媒としては、例えば、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテルの如き(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル;
As such a solvent, for example,
Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n- Butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, di Propylene glycol mono Chirueteru, dipropylene glycol mono -n- propyl ether, dipropylene glycol mono -n- butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, such as tripropylene glycol monoethyl ether (poly) alkylene glycol monoalkyl ether;
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネートの如き(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフランの如きエーテル類;
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノンの如きケトン類;
Ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxy (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as butyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate;
Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran;
Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone;
プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート等のジアセテート類;
乳酸メチル、乳酸エチルの如き乳酸アルキルエステル;
2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;
トルエン、キシレンの如き芳香族炭化水素;
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドンの如きアミドまたはラクタム類を挙げることができる。
Diacetates such as propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanediol diacetate;
Lactic acid alkyl esters such as methyl lactate and ethyl lactate;
Ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2-hydroxy Methyl 3-methylbutanoate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, Other esters such as n-propyl butyrate, i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, ethyl 2-oxobutanoate;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene;
Mention may be made of amides or lactams such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone.
これらの溶媒のうち、顔料分散性、顔料以外の成分の溶解性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセテート、乳酸エチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸エチルが好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Of these solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol from the viewpoints of pigment dispersibility, solubility of components other than pigment, and coating properties. Dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, propylene glycol diacetate, propylene glycol diacetate, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,6-hexanediol diacetate, ethyl lactate, 3- Ethyl methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methoxybutyl Cetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-amyl formate, i-amyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, i-propyl butyrate, butyric acid n-Butyl and ethyl pyruvate are preferred.
The said solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.
また、前記溶媒と共に、ベンジルエチルエーテル、ジ−n−ヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
前記高沸点溶媒は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
Along with the solvent, benzyl ethyl ether, di-n-hexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate In addition, a high boiling point solvent such as diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, ethylene glycol monophenyl ether acetate can be used in combination.
The high boiling point solvents can be used alone or in admixture of two or more.
溶媒の含有量は、特に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、通常、5〜50質量%となる量が好ましく、特に10〜40質量%となる量が好ましい。 The content of the solvent is not particularly limited, but from the viewpoint of applicability, stability, etc. of the resulting radiation-sensitive composition, the total concentration of each component excluding the solvent of the composition is usually An amount of 5 to 50% by mass is preferable, and an amount of 10 to 40% by mass is particularly preferable.
本発明のカラーフィルタは、本発明の感放射線性組成物から形成された緑色画素を備えるものである。
以下に、本発明のカラーフィルタを形成する方法について説明する。
まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、本発明の緑色顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、緑色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレイを形成する。
その後、赤色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗布、プレベーク、露光、現像およびポストベークを行って、赤色の画素アレイおよび青色の画素アレイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを得る。但し、本発明においては、各色の画素を形成する順序は、前記のものに限定されない。
The color filter of the present invention includes a green pixel formed from the radiation-sensitive composition of the present invention.
The method for forming the color filter of the present invention will be described below.
First, on the surface of the substrate, if necessary, a light shielding layer is formed so as to partition a portion for forming a pixel, and a liquid of the radiation sensitive composition in which the green pigment of the present invention is dispersed on the substrate. After applying the composition, pre-baking is performed to evaporate the solvent and form a coating film. Next, this coating film is exposed through a photomask, and then developed using an alkali developer to dissolve and remove the unexposed portions of the coating film, and then post-baked, whereby a green pixel pattern is formed in a predetermined pattern. A pixel array arranged in an array is formed.
Then, using the liquid composition of each radiation-sensitive composition in which a red or blue pigment is dispersed, each liquid composition is coated, pre-baked, exposed, developed and post-baked in the same manner as described above, and then red. By sequentially forming the pixel array and the blue pixel array on the same substrate, a color filter in which the pixel arrays of the three primary colors of red, green and blue are arranged on the substrate is obtained. However, in the present invention, the order of forming the pixels of each color is not limited to the above.
画素を形成する際に使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
感放射線性組成物の液状組成物を基板に塗布する際には、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の塗布法を採用することができるが、特に、スピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。
塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好ましくは0.2〜8.0μm、特に好ましくは0.2〜6.0μmである。
Examples of the substrate used when forming the pixel include glass, silicon, polycarbonate, polyester, aromatic polyamide, polyamideimide, and polyimide.
In addition, these substrates may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition, etc., if desired.
When applying a liquid composition of a radiation sensitive composition to a substrate, an appropriate application such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), a slit die coating method, a bar coating method, an ink jet method, etc. Although a method can be employed, a spin coating method and a slit die coating method are particularly preferable.
The coating thickness is usually 0.1 to 10 μm, preferably 0.2 to 8.0 μm, particularly preferably 0.2 to 6.0 μm as the film thickness after drying.
画素を形成する際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、一般的には10〜10,000J/m2が好ましい。
また、前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−5−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で5〜300秒が好ましい。
For example, visible rays, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, X-rays, and the like can be used as the radiation used when forming the pixels, but radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable.
In general, the exposure dose of radiation is preferably 10 to 10,000 J / m 2 .
Examples of the alkali developer include sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, choline, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, An aqueous solution such as 5-diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonene is preferred.
An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol, a surfactant, or the like can be added to the alkaline developer. In addition, it is usually washed with water after alkali development.
As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied. The development conditions are preferably 5 to 300 seconds at room temperature.
このようにして得られる本発明のカラーフィルタは、輝度が高くかつ色再現領域が広いため、カラー液晶表示素子、カラー撮像管素子、カラーセンサー、有機EL表示素子、電子ペーパー等に極めて有用である。 Since the color filter of the present invention thus obtained has high luminance and a wide color reproduction region, it is extremely useful for color liquid crystal display elements, color image pickup tube elements, color sensors, organic EL display elements, electronic paper, and the like. .
以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。なお、実施例中の、実施例1〜10、13、14および18は参考例である。
Hereinafter, the embodiment of the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples. In Examples, Examples 1 to 10, 13, 14, and 18 are reference examples.
着色剤分散液の調製
調製例1
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート136質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−1)を調製した。
Preparation of colorant dispersion Preparation Example 1
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with CI Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and propylene glycol methyl as a solvent A mixed liquid composed of 136 parts by mass of ether acetate was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (A-1).
調製例2
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー150との60/40(質量比)混合物40質量部、分散剤としてソルスパース76500(ルーブリゾール(株)社製、固形分濃度50%)22質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート138質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−2)を調製した。
Preparation Example 2
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 60/40 (mass ratio) mixture with Pigment Yellow 150, 22 parts by mass of Solsperse 76500 (manufactured by Lubrizol Co., Ltd., solid content concentration 50%) as a dispersant, and propylene glycol methyl ether acetate 138 as a solvent A mixed liquid consisting of parts by mass was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (A-2).
調製例3
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン58(DIC社製)とC.I.ピグメントイエロー138との40/60(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、および溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート136質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−3)を調製した。
Preparation Example 3
(A) C.I. I. Pigment Green 58 (manufactured by DIC) and C.I. I. 40 parts by mass of a 40/60 (mass ratio) mixture with Pigment Yellow 138, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and propylene glycol methyl as a solvent A mixed liquid consisting of 136 parts by mass of ether acetate was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (A-3).
調製例4
(A)着色剤としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー150との55/45(質量比)混合物40質量部、分散剤としてDisperbyk−2001(ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)24質量部、並びに溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート136質量部からなる混合液を、ビーズミルにより12時間混合・分散して、顔料分散液(A−4)を調製した。
Preparation Example 4
(A) C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. 40 parts by mass of 55/45 (mass ratio) mixture with Pigment Yellow 150, 24 parts by mass of Disperbyk-2001 (BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) as a dispersant, and propylene glycol methyl as a solvent A mixed liquid composed of 136 parts by mass of ether acetate was mixed and dispersed by a bead mill for 12 hours to prepare a pigment dispersion (A-4).
(B)アルカリ可溶性樹脂の合成
合成例1
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)2.5質量部およびエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート200質量部を仕込み、引き続きメタクリル酸15質量部、ω−カルボキシジカプロラクトンモノアクリレート10質量部、N−フェニルマレイミド15質量部、2−エチルヘキシルメタクリレート33質量部、スチレン12質量部、グリセロールモノメタクリレート15質量部およびα−メチルスチレンダイマー(連鎖移動剤)5.0質量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を80℃に昇温し、この温度を保持して3時間重合した。その後、反応溶液を100℃に昇温して、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)0.5質量部を追加し、さらに1時間重合を継続することにより、樹脂溶液(固形分濃度=30質量%)を得た。得られた樹脂は、Mw=14,000、Mn=5,700であった。この樹脂溶液を「樹脂溶液(B−1)」とする。
(B) Synthesis of alkali-soluble resin Synthesis Example 1
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 2.5 parts by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by mass of ethylene glycol monomethyl ether acetate, followed by 15 parts by mass of methacrylic acid, ω -10 parts by weight of carboxydicaprolactone monoacrylate, 15 parts by weight of N-phenylmaleimide, 33 parts by weight of 2-ethylhexyl methacrylate, 12 parts by weight of styrene, 15 parts by weight of glycerol monomethacrylate and α-methylstyrene dimer (chain transfer agent) After charging 0 parts by mass and substituting with nitrogen, the reaction solution was heated to 80 ° C. while gently stirring and polymerized for 3 hours while maintaining this temperature. Thereafter, the temperature of the reaction solution was raised to 100 ° C., 0.5 part by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added, and polymerization was continued for another hour, whereby a resin solution ( Solid content concentration = 30% by mass) was obtained. The obtained resin was Mw = 14,000 and Mn = 5,700. This resin solution is referred to as “resin solution (B-1)”.
実施例1
液状組成物の調製
顔料分散液(A−1)500質量部、(B)アルカリ可溶性樹脂として樹脂溶液(B−1)50質量部(固形分換算)、(C)多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート100質量部、(D)感放射線性重合開始剤として2,4−ジエチルチオキサントン10質量部、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製、商品名IRGACURE OX02)10質量部、並びに溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて固形分濃度が20%になるよう混合して、液状組成物(G−1)を調製した。
液状組成物(G−1)について、下記の手順にしたがって、評価を行った。評価結果を表2に示す。
Example 1
Preparation of liquid composition 500 parts by mass of pigment dispersion (A-1), (B) 50 parts by mass (solid content conversion) of resin solution (B-1) as alkali-soluble resin, (C) polyfunctionality 100 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate as a monomer, (D) 10 parts by mass of 2,4-diethylthioxanthone as a radiation sensitive polymerization initiator, ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) (manufactured by Ciba Specialty Chemicals, trade name: IRGACURE OX02) and solid using propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent A liquid composition (G-1) was prepared by mixing so that the partial concentration was 20%.
The liquid composition (G-1) was evaluated according to the following procedure. The evaluation results are shown in Table 2.
現像残渣および耐溶剤性評価
液状組成物(G−1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2膜が形成されたソーダガラス基板上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のホットプレートで4分間プレベークを行って、プレベーク後の膜厚が2.5μmとなる4枚の塗膜を形成した。
次いで、これらの基板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよび436nmの各波長を含む放射線2,000J/m2の露光量で露光した。その後、これらの基板に対して23℃の0.04重量%水酸化カリウム水溶液からなる現像液を現像圧1kgf/cm2(ノズル径1mm)で1分間吐出することにより、シャワー現像を行ったのち、さらに220℃で30分間ポストベークを行って、基板上に200×200μmの緑色のドットパターンを形成した。
The development residue and the solvent resistance evaluation liquid composition (G-1) were applied on a soda glass substrate on which a SiO 2 film for preventing elution of sodium ions was formed on the surface using a spin coater, and then 90 ° C. Was baked for 4 minutes on the hot plate, and four coating films having a film thickness of 2.5 μm after pre-baking were formed.
Next, after these substrates were cooled to room temperature, the coating film was exposed with a radiation dose of 2,000 J / m 2 including wavelengths of 365 nm, 405 nm, and 436 nm through a photomask using a high-pressure mercury lamp. . After that, after developing a developer consisting of a 0.04 wt% aqueous potassium hydroxide solution at 23 ° C. for 1 minute at a developing pressure of 1 kgf / cm 2 (nozzle diameter 1 mm), these substrates were subjected to shower development. Further, post-baking was performed at 220 ° C. for 30 minutes to form a 200 × 200 μm green dot pattern on the substrate.
得られたドットパターンを光学顕微鏡にて観察し、未露光部のガラス基板上に現像残渣が全く認められなかった場合を○、若干現像残渣が認められた場合を△、酷く現像残渣が認められた場合を×として、評価した。
また、上記ドットパターンが形成された基板を、60℃のN−メチルピロリドンに10、20、30、40分間浸漬した。その結果、浸漬後にドットパターンが保持されており且つ浸漬後のN−メチルピロリドンが全く着色しなかった場合を○、浸漬後にドットパターンは保持されているものの浸漬後のN−メチルピロリドンが若干着色した場合を△、浸漬後に基板から剥離するドットパターンが観察されると共に浸漬後のN−メチルピロリドンが着色した場合を×、として評価した。
The obtained dot pattern was observed with an optical microscope. When no development residue was observed on the unexposed portion of the glass substrate, ○, when a slight development residue was observed, Δ, severe development residue was observed. The case was evaluated as x.
The substrate on which the dot pattern was formed was immersed in N-methylpyrrolidone at 60 ° C. for 10, 20, 30, and 40 minutes. As a result, the case where the dot pattern was retained after immersion and the N-methylpyrrolidone after immersion was not colored at all; the dot pattern was retained after immersion, but the N-methylpyrrolidone after immersion was slightly colored The case was evaluated as Δ, and the case where the dot pattern peeled off from the substrate after immersion was observed and the N-methylpyrrolidone after immersion was colored as x.
色度特性の評価
液状組成物(G−1)を、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するSiO2膜が形成されたソーダガラス基板上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、90℃のホットプレートで4分間プレベークを行って、膜厚の異なる3枚の塗膜を形成した。
得られたドットパターンについて、カラーアナライザー(大塚電子(株)製MCPD2000)を用い、C光源、2度視野にて、CIE表色系における色度座標値(x,y)及び刺激値(Y)を測定した。測定結果より、一定の色度座標値yでの色度座標値x、刺激値(Y)を求めた。評価結果を表2に示す。Y値が大きいほど光透過率(輝度)が高いことを示す。
Evaluation of Chromaticity Characteristics After applying the liquid composition (G-1) on a soda glass substrate on which a SiO 2 film that prevents elution of sodium ions is formed on the surface using a spin coater, a hot 90 ° C. The plate was pre-baked for 4 minutes to form three coating films having different film thicknesses.
About the obtained dot pattern, using a color analyzer (MCPD2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.), a C light source, a chromaticity coordinate value (x, y) and a stimulus value (Y) in the CIE color system with a 2-degree field of view. Was measured. From the measurement results, a chromaticity coordinate value x and a stimulus value (Y) at a constant chromaticity coordinate value y were obtained. The evaluation results are shown in Table 2. The larger the Y value, the higher the light transmittance (brightness).
実施例2〜18および比較例1〜10
実施例1において、含有成分の種類と量を表1に示すように変更した以外は実施例1と同様にして、液状組成物(G−2)〜(G−28)を調製した。
次いで、液状組成物(G−1)に代えてそれぞれ液状組成物(G−2)〜(G−28)を用いた以外は、実施例1と同様にして評価を行った。結果を表2に示す。
Examples 2-18 and Comparative Examples 1-10
In Example 1, the liquid composition (G-2)-(G-28) was prepared like Example 1 except having changed the kind and quantity of the containing component as shown in Table 1.
Next, evaluation was performed in the same manner as in Example 1 except that the liquid compositions (G-2) to (G-28) were used instead of the liquid composition (G-1). The results are shown in Table 2.
表1において、各成分は下記のとおりである。
C−1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
C−2:ペンタエリスリトールテトラアクリレート
C−3:ペンタエリスリトールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート
C−4:ジペンタエリスリトールペンタアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート(ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートとの反応物)
C−5:ビスコート#802(トリペンタエリスリトールオクタアクリレートとトリペンタエリスリトールヘプタアクリレートの混合物)
D−1:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(商品名IRGACURE OX02、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)
D−2:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン(商品名イルガキュア369、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製)
D−3:2,4−ジエチルチオキサントン
In Table 1, each component is as follows.
C-1: Dipentaerythritol hexaacrylate C-2: Pentaerythritol tetraacrylate C-3: Pentaerythritol triacrylate hexamethylene diisocyanate C-4: Dipentaerythritol pentaacrylate hexamethylene diisocyanate (dipentaerythritol pentaacrylate and hexamethylene diisocyanate Reaction product)
C-5: Biscote # 802 (mixture of tripentaerythritol octaacrylate and tripentaerythritol heptaacrylate)
D-1: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) (trade name IRGACURE OX02, Ciba Specialty・ Made by Chemicals
D-2: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one (trade name Irgacure 369, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
D-3: 2,4-diethylthioxanthone
表1、2から明らかなように、C.I.ピグメントグリーン58を特定の含有比率にあるアルカリ可溶性樹脂および多官能単量体と共に含有せしめることにより、輝度が高く耐溶剤性に優れた緑色画素を形成することができ、しかも現像残渣の生じることのない感放射線性組成物が得られることが分かる。比較例1、3から明らかなように、単に多官能単量体をより多く含有せしめるだけでは、十分な耐溶剤性を達成することができない。 As is clear from Tables 1 and 2, C.I. I. By including CI Pigment Green 58 together with an alkali-soluble resin and a polyfunctional monomer having a specific content ratio, a green pixel having high luminance and excellent solvent resistance can be formed, and a development residue is generated. It can be seen that no radiation sensitive composition is obtained. As is clear from Comparative Examples 1 and 3, sufficient solvent resistance cannot be achieved simply by adding more polyfunctional monomer.
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