KR20100094255A - 진공 리플로우 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 진공에서 웨이퍼를 리플로우 솔더링하기 위한 진공 리플로우 장치로서,측면에 개구부가 형성된 챔버하우징과 상기 챔버하우징의 내부에 마련된 히터를 갖는 챔버유닛;웨이퍼 척과 차폐벽을 구비하되, 상기 차폐벽이 상기 개구부를 막아 밀폐된 챔버를 한정할 때, 상기 웨이퍼 척이 상기 챔버에 들어가 위치하는 척유닛; 및진공펌프를 이용해 상기 챔버에 진공을 형성하는 진공형성유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 웨이퍼는 보트에 올려진 보트 온 웨이퍼의 상태로 상기 웨이퍼 척에 올려지되, 상기 보트는, 웨이퍼 안착부와, 상기 웨이퍼를 상기 보트로부터 분리하기 위해 상기 웨이퍼 안착부의 안쪽에 형성된 분리구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 히터는 상기 챔버에 들어온 상기 웨이퍼 척의 아래에 위치하도록 설치된 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 1에 있어서, 상기 차폐벽의 전방에는 상기 웨이퍼 척이 결합되고 상기 차폐벽의 후방에는 상기 개구부의 개폐를 위해 상기 차폐벽을 전진 또는 후퇴시 키는 액츄에이터가 결합된 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 4에 있어서, 상기 척유닛은, 상기 차폐벽에 결합된 채 상기 웨이퍼 척의 아래에 인접되게 위치하여, 냉각물질을 상기 웨이퍼 척에 가하는 냉각관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 4에 있어서, 상기 척유닛은 상기 차폐벽에 결합된 채 베드의 가이드를 따라 슬라이딩되는 슬라이딩 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 1에 있어서, 주 공급관을 통해 상기 챔버에 포믹산, 질소 및 그들의 혼합물 중 어느 하나를 선택적으로 공급하기 위한 포믹산-질소 공급유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 7에 있어서, 상기 포믹산-질소 공급유닛은, 포믹산 액이 담긴 채 상기 주 공급관에 관로로 연결되는 버블링 용기와, 포믹산-질소 버블링을 일으키기 위해 상기 버블링 용기 내로 버블링 질소를 공급하는 버블링 질소 공급관을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 8에 있어서, 상기 주 공급관은 자체 구비된 밸브 개폐에 의해 질소 의 흐름을 선택적으로 허용하며, 상기 질소의 선택적 공급 및 그에 의한 질소와 포믹산의 혼합에 의해 포믹산의 농도를 조절하도록 구성된 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 7에 있어서, 상기 챔버하우징은 다수의 샤워홀을 구비한 채 상기 챔버의 상측에 설치된 샤워헤드를 포함하며, 상기 포믹산은 상기 다수의 샤워홀을 통해 상기 챔버에 분사되는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 2에 있어서, 상기 보트 온 웨이퍼 또는 상기 보트를 파지하여 운반하기 위한 보트 핑거와, 상기 보트로부터 분리되어 있는 웨이퍼를 흡착하여 운반하기 위한 웨이퍼암이 구비된 로봇유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 11에 있어서, 상기 보트 온 웨이퍼를 복수의 개수로 보관 가능한 보트 카세트를 더 포함하되, 상기 로봇유닛은 상기 보트 핑거를 이용해 상기 보트 카세트의 해당 슬롯으로부터 상기 보트 온 웨이퍼를 꺼내어 상기 웨이퍼 척에 올리도록 작동되는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 12에 있어서,상기 챔버유닛에서 리플로우 솔더링을 거친 후 이동된 상기 보트 온 웨이퍼 로부터 상기 보트와 상기 웨이퍼를 분리하기 위한 보트 분리유닛을 더 포함하며,상기 보트 분리유닛은, 상기 보트 온 웨이퍼를 받치는 받침 블록과, 상기 받침 블록의 중앙에서 상기 보트의 분리 구멍 위까지 상승하여 상기 웨이퍼를 보트로부터 이격 분리시키는 중앙핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 12에 있어서, 상기 보트와 분리된 상태의 웨이퍼가 보관되는 웨이퍼 카세트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 12에 있어서, 상기 보트 온 웨이퍼로부터 상기 웨이퍼와 분리된 상기 보트의 보관을 위한 보트 보관소를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 12에 있어서, 상기 로봇유닛은 상기 보트 카세트의 해당 슬롯에 상기 보트 온 웨이퍼가 있는지를 감지하는 매핑 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, 상기 히터는 할로겐 램프인 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 9에 있어서, 상기 포믹산-질소 공급유닛은, 상기 챔버 내 웨이퍼 냉각을 위해 포믹산 공급을 차단하고 상기 주 공급관을 통해 질소를 상기 챔버 내에 공급하도록 구성된 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 12에 있어서,본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 리플로우 장치는, 보트 분리유닛을 생략하는 대신, 챔버유닛에서 리플로우 솔더링을 거친 후 이동된 보트 온 웨이퍼로부터 상기 보트와 상기 웨이퍼를 분리하고, 분리된 보트만을 보관하는 보트 보관소를 더 포함하며, 상기 보트 보관소는 보트 온 웨이퍼가 위치하는 바닥 플레이트의 중앙에서 상기 보트의 분리 구멍 위까지 상승하여 상기 웨이퍼를 보트로부터 이격 분리시키는 중앙핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
- 청구항 19에 있어서, 상기 보트 보관소는 상기 웨이퍼가 분리된 보트를 상승 유지시키기 위한 에지핀들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 리플로우 장치.
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