KR20100083790A

KR20100083790A - 진공 펌프

Info

Publication number: KR20100083790A
Application number: KR1020107008225A
Authority: KR
Inventors: 울리히 정; 크리스티안 하리크
Original assignee: 욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하
Priority date: 2007-09-19
Filing date: 2008-09-16
Publication date: 2010-07-22
Also published as: DE102007044690A1; EP2191140A1; WO2009037255A1; TW200925430A; CN101802414A; CA2698485A1; US20100196180A1; JP2010539387A

Abstract

본원 발명은 펌프 로터(16), 능동 자석 베어링(20, 21), 상기 자석 베어링(20, 21)과 연관된 안전 베어링(22, 23), 상기 펌프 로터(16)를 구동하기 위한 다수의 스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃)을 가지는 모터 스테이터(72)를 구비하는 전기 구동 모터(18), 베이스 콘택(62, 63, 64), 브레이크 콘택(44, 45, 46) 및 작동 콘택(47, 48, 49)을 각각 포함하는 다수의 체인저를 구비하는 브레이크 릴레이(42), 그리고 단락-회로 지점(60)을 포함하는 진공 펌프(10)에 관한 것이며, 상기 단락-회로 지점(60)을 통해서 상기 브레이크 릴레이(42)의 모든 브레이크 콘택(44, 45, 46)이 직접적으로 상호연결된다. 상기 모든 스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃)이 상기 체인저의 베이스 콘택(62, 63, 64)에 연결되고 그리고 브레이크 릴레이(42)의 브레이크 콘택(44, 45, 46)을 경유하여 그리고 단락-회로 지점(60)을 경유하여 직접적으로 상호연결될 수 있으며 그리고 작동 콘택(47, 48, 49)을 경유하여 인버터 모듈(32)에 연결될 수 있다.

Description

진공 펌프{VACUUM PUMP}

본 발명은 안전 베어링을 구비한 신속-작동형(fast-running) 자석-베어링 진공 펌프에 관한 것이다.

예를 들어, 터보분자(turbomolecular) 진공 펌프와 같은 신속-작동형 진공 펌프가 수만 내지 수십만(several 10,000 to 100,000) rpm의 공칭 회전 속도로 작동된다. 그러한 진공 펌프에서, 펌프 로터(rotor)를 지지하는데 있어서 무마찰 자석 베어링이 특히 유용하다. 자석 베어링이 고장 났을 때, 충격시에, 그리고 자석 베어링이 그 기능을 전혀 또는 일부 하지 못할 때, 펌프 로터는 롤러 또는 슬라이딩 베어링으로 구성될 수 있는 하나 또는 다수의 연관된 기계적 안전 베어링에 의해서 지지된다. 공칭 회전 속도로 구동되었다면 진공 펌프가 코스트 다운(coast down; 관성 회전)되는데는 몇 시간이 소요될 수 있을 것이다. 만약 자석 베어링의 고장 중에 이러한 것이 발생한다면, 안전 베어링이 심하게 응력을 받게 되며 그에 따라 일부만이 소위 풀 코스팅(full coastings)을 견딜 수 있을 것이다.

이러한 관점에서, 본 발명의 목적은 안전 베어링이 자석 베어링의 고장시에도 손상을 되는 것을 신뢰성 있게 방지할 수 있는 진공 펌프를 제공하는 것이다.

본 발명에 따라, 이러한 목적은 특허청구범위 제1항의 특징들에 의해서 달성된다.

본 발명의 진공 펌프는 다수의 체인저(changers)를 구비하는 브레이크 릴레이(brake relay)를 포함하며, 상기 각각의 체인저는 베이스 콘택, 브레이크 콘택 및 작동 콘택(operational contact)을 구비한다. 체인징 커넥션이 한편으로 베이스 콘택과 다른 한편으로 작동 콘택 또는 브레이크 콘택 사이에 형성된다. 브레이크 콘택은 직접적으로 상호연결되며(interconnected), 그에 따라 공통 단락-회로 지점(common short-circuit point)을 형성한다. 구동 모터의 스테이터(stator) 코일은 체인저의 베이스 콘택에 연결된다. 체인저의 제동 위치에서, 스테이터 코일이 단-회로 지점을 통해서 전기적으로 직접적으로 상호연결된다. 체인저의 작동 위치에서, 스테이터 코일은 작동 콘택을 통해서 인버터 모듈에 개별적으로 연결된다. 구동 모터의 작동에 필요한 전기적 위상 패턴(phase pattern)이 인버터 모듈 내에서 생성된다. 문제가 없는 작동 중에, 스테이터 코일은 체인저의 작동 콘택을 통해서 인버터 모듈에 연결되고, 상기 인버터 모듈은 각각의 스테이터 코일을 위한 상응 위상 패턴을 생성한다. 상응하는 체인저가 각각의 스테이터 코일에 대해서 제공된다.

문제나 고장이 발생한 경우에, 브레이크 릴레이가 제동 지점으로 전환되며, 그에 따라 스테이터 코일이 더이상 인버터 모듈에 연결되지 않고 서로 직접적으로 독점적으로(exclusively) 연결된다. 브레이크 릴레이를 체인저로 구성한 단순한 구성으로 인해서 그리고 고장이나 문제발생시에 작동 위치로부터 제동 위치로 단순하게 스위칭되기 때문에, 문제 발생의 경우에 신뢰성 높은 전환이 매우 단순한 방식으로 구현된다.

브레이크 릴레이가 제동 위치로 전환된 후에, 구동 모터가 발전기로서 작동한다. 구동 모터 스테이터 코일 내의 발전기에서 생산된 전기 에너지는 진공 펌프의 하우징을 통해서 열로서 버퍼링되거나 발산된다. 브레이크 릴레이 및 스테이터 코일에 의해서 실질적으로 형성되는 전체 브레이크 장치는 극히 단순하고 그리고 견고하며 그에 따라 신뢰성이 높다 할 것이다. 고장시에, 체인저로부터 제동 위치로의 즉각적인 전환 그리고 제동 효과의 즉각적인 시작으로 인해서, 회전 속도의 신속하고도 효과적인 감소가 달성될 수 있을 것이다.

특히 인버터 모듈 자체에 결함이 있고 그리고 파괴 위험에 대한 원인이 있는 경우에, 스테이터 코일로부터의 인버터 모듈의 즉각적인 분리는 그러한 고장이 탐지된 후에 인버터 모듈의 유해한 영향을 방지할 수 있다.

바람직하게, 스테이터 코일 및 스테이터 라미네이션(lamination)에 의해서 실질적으로 형성되는 모터 스테이터가 공기 갭을 사이에 두지 않은 상태로 열 흡수 본체에 연결된다. 예를 들어, 경계면이 큰-표면 접촉을 이루도록 그리고 양호한 열 전도를 제공하도록, 모터 스테이터가 상응하는 형상의 열 흡수 본체에 압입될 수 있다. 가능하다면, 열 전도성 페이스트, 열 전도성 필름 등과 같은 보조 수단을 이용하는 양호한 열 전도 상태에서 열 흡수 본체가 모터 스테이터에 연결될 수 있을 것이다. 열 흡수 본체를 제공함으로써, 제동의 경우에 스테이터 코일 내에서 발생되는 열이 효과적으로 그리고 신뢰성 높게 발산될 수 있게 하여 큰 열 용량으로 저장될 수 있게 하거나 또는 대기 분위기로 발산될 수 있게 한다.

바람직한 실시예에서, 모터 스테이터와 열 흡수 본체 사이의 평균 열 저항은 0.1 k/W 미만이다. 이러한 방식에서, 보다 많은 제동이 이루어지고(high braking efforts) 그리고 모터 스테이터와 열 흡수 본체 사이에 경계면이 작은 경우에도, 제동 열의 신뢰가능한 발산이 보장되고 그리고 스테이터 코일의 과열이 방지된다.

바람직한 실시예에서, 온도 센서는 모터 스테이터 및/또는 열 흡수 본체, 온도 센서에 의해서 측정된 온도를 함수로 하여 전기적 제동 작용력(effort)에 영향을 미치는 파워 스위치와 연관된다. 그에 따라, 스테이터 코일의 과열은 완전히 신뢰할 수 있는 방식으로 방지된다. 파워 스위치는 단일-스테이지 디자인 또는 연속적인 디자인일 수 있을 것이다.

바람직한 실시예에서, 열 흡수 본체는 펌프 하우징에 의해서 형성된다. 그에 따라, 모터 스테이터가 펌프 하우징에, 직접적으로 또는 간접적으로, 그리고 양호한 열 전도 상태에서 연결된다. 바람직하게, 펌프 하우징은 알루미늄으로 제조되는데, 이는 알루미늄이 양호한 열 전도도 및 열용량 특성을 가지기 때문이다.

대체적인 또는 추가적인 실시예로서, 열 흡수 본체는 또한 펌프 하우징 및 모터 스테이터 또는 스테이터 라미네이션과 상이한 다른 물질로 제조된 독립적인 열 흡수 본체에 의해서 형성될 수 있을 것이다. 예를 들어, 열 흡수 본체는 상(phase)의 변환이 30 ℃ 내지 80 ℃ 에서 이루어지는 물질로 제조될 수 있다. 상의 변환은 항상 많은 양의 열에너지 소모를 수반하기 때문에, 그러한 디자인의 열 흡수 요소는 큰 온도 상승 없이 많은 양의 에너지를 흡수할 수 있을 것이다. 예를 들어, 적절한 물질로 저온 금속, 왁스, 물 등이 있다. 상기 온도 범위에서 고체와 액체 사이에서 상이 변환되는 물질이 가역적인 거동을 보여주는데 반하여, 열 흡수 요소의 물질로서 물을 이용하는 것은 비가역적 상 변환으로 제한된다. 제동 후에, 물은 다시 충진될 수 있어야 할 것이다.

바람직하게, 브레이크 콘택은 정상상태에서 폐쇄된 콘택이며 작동 콘택은 정상상태에서 개방된 브레이크 릴레이의 콘택이다. 일반적으로, 브레이크 콘택은 또한 정상상태에서 개방된 콘택으로 구성될 수 있고 그리고 정상상태에서 폐쇄된 콘택이 작동 콘택으로 구성될 수 있을 것이다. 그러나, 브레이크 릴레이의 작동을 위한 에너지 공급이 차단된 경우에, 그러한 구성은 브레이크 릴레이가 제동 상태 또는 제동 위치로 전환될 수 없게 하는 효과를 가질 수 있을 것이다. 그에 따라, 모터 코일의 상호연결을 위해서 브레이크 릴레이의 정상상태 폐쇄형 콘택들을 이용하는 것이 바람직할 것이다.

바람직하게, 안전 베어링은 슬라이딩 베어링으로 디자인된다. 바람직하게, 브레이크 릴레이는 기계적 릴레이이다. 전자적 릴레이와 대조적으로, 기계적 릴레이 만이 진공 펌프의 나머지 조정부 및 제어부로부터 구동 모터의 스테이터 코일을 진정하게 전기적(galvanic)으로 분리할 수 있을 것이다. 에너지 공급의 완전한 차단의 경우에, 기계적 릴레이는 고장 위치 또는 제동 위치가 되는 휴지(rest) 위치를 자동적으로 가질 수 있을 것이며, 그에 따라 체인저 콘택들의 의도하지 않은 회로 단락 및 합선과 관련하여 높은 정도의 안전도가 달성될 수 있을 것이다.

바람직한 실시예에서, 릴레이 콘택이 브레이크 릴레이의 제어를 위해서 제공되며, 그러한 제어는 전기 모듈에 연결된 고장 보고 입력부(failure report input)를 가지고 있으며, 하나 이상의 전기 모듈로부터 고장 보고 신호가 고장 보고 입력부로 인가된다면 릴레이 제어부는 브레이크 릴레이를 고장 상태로 전환시킨다. 이러한 의미에서 전기 모듈이 인버터 모듈, 컴퓨팅 모듈, 컴퓨팅 모듈의 작동을 모니터링하는 워치독(watchdog) 모듈, 파워 공급부 모듈 및/또는 자기 베어링 제어 모듈일 수 있을 것이다. 전술한 각각의 모듈은 별도의 신호 라인을 통해서 릴레이 제어부의 별도의 고장 보고 입력부에 연결되는 것이 바람직하다.

릴레이 제어부는 본질적으로 브레이크 릴레이를 제어하는 모듈이다. 릴레이 제어부는 진공 펌프의 각각의 전기 모듈에 각각 연결된, 펌프 로터의 작동에 직접적으로 또는 간접적으로 연관된, 그리고 특히 구동 모터 및 자석 베어링의 작동에 연관된 다수의 고장 보고 입력부를 가진다. 그에 따라, 만약 모듈들 중 릴레이 제어부의 고장 보고 입력부에 연결된 하나의 모듈만이 릴레이 제어부로 고장 보고를 전송한다면, 브레이크 릴레이는 고장 상태로 전환된다.

특히, 인버터 모듈 자체가 결함을 가지고 그리고 잠재적인 파괴의 원인이 되는 경우에, 모터 코일로부터 인버터 모듈을 신속하게 분리하는 것은 그러한 고장의 감지 후에 인버터 모듈의 추가적인 유해한 영향을 방지하게 될 것이다.

고장 상태 또는 제동 상태는 인버터 모듈에 의해서 즉각적으로 시작되는 것이 아니다. 인버터 모듈의 선택은 브레이크 릴레이 또는 릴레이 제어의 기능에 영향을 미치지 않는다.

브레이크 릴레이는 작동 상태 또는 작동 위치에 있고, 이때 다음과 같은 경우에 모터 코일은 인버터 모듈에 연결된다: 즉

- 전기 전압 공급부가 너무 낮은 또는 너무 높은 전압을 제공하지 않는 경우,

- 컴퓨팅 모듈이 다른 모듈들 중 어느 하나에서의 고장을 탐지하지 않은 경우,

- 컴퓨팅 모듈의 정확한 기능을 다시(in turn) 모니터링하는 워치독 모듈이 오작동을 탐지하지 않은 경우, 그리고

- 펌프 유닛과 제어 유닛 사이의 중요 전기 라인이 차단되지 않은 경우.

물론, 추가적인 진공 펌프의 모듈들 및 부품들이 릴레이 제어부의 고장 보고 입력부에 연결될 수 있을 것이다.

바람직하게, 안전 베어링은 슬라이딩 베어링으로 디자인된다. 일반적으로, 슬라이딩 베어링은 롤러 베어링 보다 더 경제적이다. 고장 또는 제동의 경우에 펌프 로터의 신뢰가능한 제동은 슬라이딩 베어링의 마모를 상당히 줄인다. 그에 따라, 높은 공칭 회전 속도 및 큰 펌프 로터 질량 상태에서도, 보다 저비용의 슬라이딩 베어링을 안전 베어링으로 이용할 수 있을 것이다.

본원 발명의 바람직한 실시예에서, 진공 펌프는 터보분자 진공 펌프이다. 터보분자 진공 펌프는 통상적으로 몇 만(several 10,000) rpm의 매우 높은 회전 속도로 작동되며, 그러한 이유로 자석 베어링을 관련된 각각의 안전 베어링과 함께 이용하는 것이 특히 적절하다 할 것이다.

이하에서는, 첨부 도면을 참조하여 본원 발명의 2가지 실시예를 설명한다.

도 1은 고장 또는 제동의 경우에 구동 모터의 스테이터 코일을 회로 단락(short-circuits) 시키는 브레이크 릴레이를 구비하는 진공 펌프를 도시한 도면으로서, 열 흡수 본체가 펌프 하우징에 의해서 형성되는 것을 도시한 진공 펌프의 개략도이다.
도 2는 도 1에 도시된 바와 같은 진공 펌프를 도시한 도면으로서, 독립적인 열 흡수 요소에 의해서 열 흡수 본체가 형성된다는 점이 상이한, 진공 펌프의 개략도이다.

도 1 및 도 2는 전기 연결 라인(40)을 통해서 상호 연결된 펌프 유닛(12) 및 제어 유닛(14)에 의해서 형성된 터보분자 진공 펌프(10)를 도시한다.

펌프 유닛(12) 내에서, 진공 펌프(10)는 전기 구동 모터(18)에 의해서 100,000 rpm 이하의 공칭 회전 속도로 구동되는 펌프 로터(16)를 포함한다. 로터 샤프트가 2개의 자석 베어링(20, 21) 내에서 자기적으로 지지되며, 상기 자석 베어링(20, 21)은 각각 다축적으로(multiaxial) 그리고 함께 5-축 자석 베어링을 형성한다. 자석 베어링(20, 21)은 기계적 슬라이딩 베어링 또는 롤러 베어링으로서 디자인된 안전 베어링(22, 23)과 연관된다.

구동 모터(18)는 3-상 DC 브러시 모터이고 3개의 스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃)을 가진다. 그러나, 구동 모터가 또한 비동기식 장치 또는 리럭턴스 모터(reluctance motor)일 수 있을 것이다.

펌프 유닛(12)은 3개의 체인저를 구비하는 브레이크 릴레이(42)를 더 포함한다. 체인저는 3개의 베이스 콘택(62, 63, 64), 정상상태에서 개방된 콘택으로 구성되는 3개의 작동 콘택(47, 48, 49), 정상상태에서 폐쇄된 콘택으로 구성되는 3개의 브레이크 콘택(44, 45, 46)을 포함한다. 3개의 스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃) 각각은 베이스 콘택(62, 63, 64)에 개별적으로 연결된다. 브레이크 콘택(44, 45, 46)은 파워 스위치(54)를 통해서 직접적으로 각각 상호연결된다. 파워 스위치(54) 뒤쪽으로 3개의 브레이크 콘택(44, 45, 46)을 연결하는 것은 단락-회로 지점(60)을 형성한다.

파워 스위치(54)는 열 전도 방식으로 모터 스테이터(72)에 체결되는 온도 센서(58)와 커플링된다. 제동 중에 스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃)의 과열이 임박하였을 때 파워 스위치(54)가 개방되고, 그리고 온도 센서(58)에 의해서 탐지된 모터 스테이터(72)의 온도가 허용가능한 온도까지 다시 떨어졌을 때에만 폐쇄될 것이다. 또한, 파워 스위치(54)는 제동 작용력의 연속적인 가변 제어를 위해서 디자인될 수도 있을 것이다.

도 1의 진공 펌프(10)는 모터 스테이터(72)를 통해서 알루미늄 펌프 하우징(70)에 열 전도 방식으로 직접적으로 연결된다. 열 전도성 페이스트 또는 열 전도성 필름 형태의 열 전도성 층(68)이 모터 스테이터(72)와 펌프 하우징(70) 사이에 제공된다. 열 전도성 층(68)은 모터 스테이터(72)와 하우징(70) 사이의 양호한 열 전도성 연결을 제공하며, 그에 따라 그 지역에서 낮은 열 저항이 얻어진다. 예를 들어 양호한 열 전도성의 주조 질량체(casting mass) 내에 주조함으로써 및/또는 형상-결합(form-fit) 코일 지지부를 이용함으로써, 스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃)이 모터 스테이터의 스테이터 라미네이션에 대해서 양호한 열 전도 방식으로 연결된다. 제동 에너지의 일부가 스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃) 내에서 발산되기 때문에, 낮은 열 저항이 스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃)로부터 열 흡수 본체(70)로의 양호한 열 전도를 보장한다. 도 1의 실시예에서, 하우징(70)은 열 흡수 본체(70)를 형성한다.

도 2의 실시예에서, 열 흡수 본체는 모터 스테이터(72)를 둘러싸고 그리고 양호한 열 전도 방식으로 서로 커플링되는 독립적인 열 흡수 요소(66)에 의해서 형성된다. 열 흡수 요소는 30 ℃ 내지 80 ℃의 범위에서 응집(aggregate) 상태가 변화되는 물질, 예를 들어 왁스로 형성된다. 열 흡수 요소 물질로 적합한 다른 물질에는 납이나 유사 물질과 같은 저온 금속이 포함될 수 있을 것이다. 물 또한 열 흡수 요소 물질로서 이용될 수 있지만, 액체 상태로부터 기체 상태로의 상 전환은 비가역적이 될 것이다.

제어 유닛(14)은 모든 다른 모듈 및 부품들로 전압을 공급하는 파워 공급 모듈(30), 모터 코일(19₁, 19₂, 19₃)로 에너지를 공급(energizing)하는 인버터 모듈(32), 자석 베어링(20, 21)을 제어하기 위한 자석 베어링 제어 모듈(34), 특히 자석 베어링 제어 모듈(34) 및 인버터 모듈(32)을 제어하고 모니터링하기 위한 컴퓨팅 모듈(36), 컴퓨팅 모듈(36)의 기능을 모니터링하기 위한 워치독 모듈(38), 그리고 베이스 릴레이(42)를 제어하기 위한 릴레이 제어부(28)를 포함한다.

릴레이 제어부(28)는 상응 전기 신호 라인을 통해서 인버터 모듈(32), 컴퓨팅 모듈(36) 및 워치독 모듈(38)에 연결된 다수의 고장 보고 입력부를 포함한다. 만약 3개의 상기 모듈(32, 36, 38) 중 하나 만이 릴레이 제어부(28)의 상응하는 고장 보고 입력부로 고장 신호를 전송한다면, 릴레이 제어부(28)는 도면들에 도시된 고장 또는 제동 상태로 브레이크 릴레이(42)를 전환시킨다. 브레이크 릴레이(42)는 순수한 기계적 릴레이이다.

자석 베어링 제어 모듈(34) 및 파워 공급 모듈(30)은 상응 신호 라인을 통해서 릴레이 제어 모듈(28)의 고장 보고 입력부로 또한 선택적으로 연결될 수 있을 것이다.

그 대신에, 펌프 로터(16)만이 1, 2, 3 또는 4 개의 축에 의해서 자기적으로 그리고 능동적으로 지지되는 반면, 다른 축들은 수동적으로 또는 기계적으로 지지될 수 있을 것이다.

워치독 모듈(38)은 통상적으로 몇 마이크로초 내지 밀리초인 일정한(in regular) 간격으로 컴퓨팅 모듈(36)에 의해서 통지를 받는다. 협의(agreed) 통지 신호가 도달하지 않는 경우, 워치독 모듈(38)은 릴레이 제어부(28)로 고장 신호를 발송한다.

유사하게, 진공 펌프의 또는 진공 로터(16)의 즉각적인 제동을 정당화하는 비정규적인 경우(irregularity)를 상기 모듈(32, 36)이 내부적 또는 외부적으로 탐지하였을 때, 인버터 모듈(32) 및/또는 컴퓨팅 모듈(36)은 릴레이 제어부(28)로 고장 신호를 직접적으로 발송할 수 있을 것이다.

컴퓨팅 모듈(36)은 또한 자석 베어링 제어 모듈(34) 및 파워 공급 모듈(30)의 기능을 모니터링할 수 있다.

펌프 유닛(12)과 제어 유닛(14) 사이의 전기 연결 라인(40)의 단락이 발생한 경우에, 마찬가지로 모터 코일(19₁, 19₂, 19₃)이 단락-회로가 되도록(short-circuited) 브레이크 릴레이(42)는 자동적으로 브레이크 상태 또는 제동 위치를 추정할 것이다.

Claims

진공 펌프(10)로서:
펌프 로터(16);
능동 자석 베어링(20, 21);
상기 자석 베어링(20, 21)과 연관된 안전 베어링(22, 23);
상기 펌프 로터(16)를 구동하기 위한 다수의 스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃)을 가지는 모터 스테이터(72)를 구비하는 전기 구동 모터(18);
베이스 콘택(62, 63, 64), 브레이크 콘택(44, 45, 46) 및 작동 콘택(47, 48, 49)을 각각 포함하는 다수의 체인저를 구비하는 브레이크 릴레이(42); 그리고
단락-회로 지점(60)을 포함하며,
상기 단락-회로 지점(60)을 통해서 상기 브레이크 릴레이(42)의 모든 브레이크 콘택(44, 45, 46)이 직접적으로 상호연결되며,
상기 모든 스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃)이 상기 체인저의 베이스 콘택(62, 63, 64)에 연결되고 그리고 브레이크 릴레이(42)의 브레이크 콘택(44, 45, 46)을 경유하여 그리고 단락-회로 지점(60)을 경유하여 직접적으로 상호연결될 수 있으며 그리고 작동 콘택(47, 48, 49)을 경유하여 인버터 모듈(32)에 연결될 수 있는
진공 펌프(10).
제 1 항에 있어서,
스테이터 코일(19₁, 19₂, 19₃) 및 스테이터 라미네이션을 포함하는 모터 스테이터(72)가 그 사이에 공기 갭이 없는 상태에서 열 흡수 본체(70; 66)에 연결되는
진공 펌프(10).
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 모터 스테이터(72)와 상기 열 흡수 본체(70; 66) 사이의 열적 연결부가 0.1 k/W 미만의 평균 열 저항을 가지는
진공 펌프(10).
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
온도 센서(58)가 모터 스테이터(72) 및/또는 열 흡수 본체(70; 66)와 연관되고, 파워 스위치(54)가 상기 온도 센서(58)에 의해서 측정된 온도에 따라 전기적 제동 작용력에 영향을 미치는
진공 펌프(10).
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 열 흡수 본체가 펌프 하우징(70)에 의해서 형성되는
진공 펌프(10).
제 5 항에 있어서,
상기 펌프 하우징(70)이 알루미늄으로 제조되는
진공 펌프(10).
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 열 흡수 본체가 펌프 하우징(70)과 다른 물질로 형성된 독립적인 열 흡수 본체(66)에 의해서 형성되는
진공 펌프(10).
제 7 항에 있어서,
상기 열 흡수 요소(66)는 상 변환 온도가 30℃ 내지 80℃ 인 물질로 형성되는
진공 펌프(10).
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 브레이크 콘택(44, 45, 46)은 정상상태에서 폐쇄된 콘택이고 그리고 상기 작동 콘택(47, 48, 49)은 정상상태에서 개방된 콘택인
진공 펌프(10).
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 브레이크 릴레이(42)가 기계적인 릴레이인
진공 펌프(10).
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 안전 베어링(22, 23)이 슬라이딩 베어링으로 구성되는
진공 펌프(10).
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 진공 펌프(10)가 터보분자 진공 펌프인
진공 펌프(10).
제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
전기 모듈(32, 36, 38)에 연결된 고장 보고 입력부를 구비하는 릴레이 제어부(28)가 제공되고, 상기 전기 모듈(32, 36, 38) 중 하나 이상으로부터의 고장 신호가 고장 보고 입력부에 존재하는 경우에 상기 릴레이 제어부(28)는 브레이크 콘택(44, 45, 46)을 폐쇄하는 제동 상태로 상기 브레이크 릴레이(42)를 전환하는
진공 펌프(10).
제 13 항에 있어서,
상기 전기 모듈이 인버터 모듈(32), 컴퓨팅 모듈(36), 상기 컴퓨팅 모듈(36)의 작동을 모니터링하는 워치독 모듈(38), 파워 공급부 모듈(30) 및/또는 자기 베어링 제어 모듈(34)이며, 상기 각각의 모듈(32, 36, 38)은 별도의 신호 라인을 통해서 제어 릴레이(28)의 고장 보고 입력부에 연결되는
진공 펌프(10).