KR20100055802A - 세정액을 분사하기 위한 노즐 및 이를 포함하는 기판 세정 장치 - Google Patents

세정액을 분사하기 위한 노즐 및 이를 포함하는 기판 세정 장치 Download PDF

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Abstract

기판을 세정하기 위하여 상기 기판 상에 세정액을 분사하는 세정액 분사 노즐에 있어서, 상기 세정액은 한 쌍의 플레이트들에 의해 형성되는 슬릿을 통해 상기 기판 상으로 분사되며, 상기 세정액과 상기 세정액을 미스트(mist) 형태로 형성하기 위한 에어가 상기 플레이트들 중 하나를 통해 상기 슬릿 내부로 공급된다. 상기 세정액과 에어가 상기 슬릿 내부에서 혼합되므로 상기 기판을 세정하기 위하여 소요되는 세정액 및 에어의 사용량을 감소시킬 수 있으며, 또한 상기 기판 상으로 균일하게 세정액을 분사할 수 있다.

Description

세정액을 분사하기 위한 노즐 및 이를 포함하는 기판 세정 장치 {Nozzle for jetting a cleaning solution and apparatus for cleaning a substrate having the same}
본 발명은 세정액을 분사하기 위한 노즐 및 이를 포함하는 기판 세정 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 평판 디스플레이 장치의 제조에서 기판 상의 불순물을 제거하기 위하여 상기 기판 상으로 세정액을 분사하는 노즐 및 이를 포함하는 기판 세정 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 장치의 제조에서 유리 기판과 같은 대면적 기판에 대하여 소정의 처리 공정들이 수행될 수 있다. 예를 들면, 식각 공정, 스트립 공정, 세정 공정, 건조 공정, 등과 같은 단위 공정들이 상기 기판에 대하여 수행될 수 있으며, 상기 단위 공정들을 수행하기 위한 장치는 일반적으로 인라인 방식으로 기판을 이동시키면서 수행될 수 있다.
특히, 상기 세정 공정을 수행하기 위한 장치는 다수의 롤러들을 이용하여 상기 기판을 수평 방향으로 이송할 수 있으며, 상기 기판 상으로 세정액을 공급할 수 있다. 예를 들면, 상기 세정 장치는 상기 기판 상의 불순물을 제거하기 위하여 상 기 기판을 브러싱하는 다수의 브러시들과 상기 브러시들 상으로 세정액을 공급하는 샤워 노즐과 상기 브러시들에 의해 일차 세정된 기판 상으로 고압의 이류체를 분사하여 상기 기판을 이차 세정하는 이류체 분사 노즐과 상기 기판 상의 세정액을 제거하기 위한 에어 나이프 등을 포함할 수 있다.
상기 이류체 분사 노즐은 상기 기판 상의 불순물을 제거하기 위하여 고압의 세정액과 에어를 혼합하여 미스트(mist) 형태로 분사할 수 있다. 상기 이류체 분사 노즐은 상기 세정액과 에어가 혼합되는 공간을 갖는 파이프 배관과 상기 파이프 배관을 통해 형성되며 상기 미스크 형태의 세정액을 분사하는 다수의 노즐들을 포함할 수 있다. 그러나, 상기 파이프 배관 내의 공간에서 상기 세정액과 에어가 혼합되기 때문에 상기 기판 상으로 분사되는 이류체에서 세정액의 농도가 균일하지 않으며, 또한 상기 기판 상에 가해지는 힘이 일정하지 않을 수 있다. 결과적으로, 상기 이류체 분사 노즐과 상기 기판 사이의 간격을 일정하게 유지하는 경우에도 균일한 세정이 이루어지기 어려우며, 목적하는 세정 효과를 얻기 위하여 소요되는 세정액과 에어의 양이 상대적으로 많기 때문에 상기 세정 공정을 수행하는데 소요되는 비용이 증가될 수 있다.
상술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위한 본 발명의 일 목적은 세정액 사용량을 감소시키면서 세정력을 개선할 수 있는 세정액 분사 노즐을 제공하는데 있다.
상술한 바와 같은 문제점들을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은 세정액 사용량을 감소시키면서 세정력을 개선할 수 있는 세정액 분사 노즐을 포함하는 기판 세정 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 세정액 분사 노즐은 기판을 세정하기 위하여 상기 기판 상에 세정액을 분사할 수 있다. 상기 세정액은 한 쌍의 플레이트들에 의해 형성되는 슬릿을 통해 상기 기판 상으로 분사될 수 있으며, 상기 세정액과 상기 세정액을 미스트(mist) 형태로 형성하기 위한 에어가 상기 플레이트들 중 하나를 통해 상기 슬릿 내부로 공급될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급 라인은 상기 플레이트들 중 하나의 중앙 부위에 연결되며 상기 에어를 공급하기 위한 에어 공급 라인은 상기 세정액 공급 라인이 연결된 부위를 중심으로 상기 세정액이 분사되는 노즐 단부에 대향하는 부위에 연결될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 플레이트들 중 하나에는 돌출부가 형성될 수 있고, 상기 플레이트들 중 다른 하나에는 상기 돌출부가 삽입되는 오목부가 형성될 수 있으며, 상기 슬릿은 상기 돌출부와 오목부 사이에서 연장할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 돌출부와 상기 오목부는 상기 플레이트들의 중앙 부위와 상기 노즐 단부 사이에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 슬릿은 상기 세정액이 분사되는 부위의 제1 폭과 상기 세정액과 상기 에어가 혼합되는 부위의 제2 폭을 가질 수 있으며, 상기 제2 폭은 상기 제1 폭보다 크게 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 세정액이 분사되는 슬릿의 폭은 약 0.05 내지 0.1mm 정도일 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판 세정 장치는, 제1 수평 방향으로 일정 간격 이격되어 배치되며 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 회전축들과, 상기 회전축들에 장착되어 기판을 지지하는 롤러들과, 상기 기판을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위하여 상기 회전축들을 회전시키기 위한 구동부와, 상기 기판 상으로 세정액을 분사하기 위하여 상기 기판 상부에 배치되어 상기 제2 수평 방향으로 연장하는 세정액 분사 노즐을 포함할 수 있다. 상기 분사 노즐은 상기 세정액을 분사하기 위한 슬릿을 형성하는 한 쌍의 플레이트들을 포함할 수 있다. 상기 세정액은 상기 한 쌍의 플레이트들에 의해 형성되는 슬릿을 통해 상기 기판 상으로 분사될 수 있으며, 상기 세정액과 상기 세정액을 미스트(mist) 형태로 형성하기 위한 에어가 상기 플레이트들 중 하나를 통해 상기 슬릿 내부로 공급될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 세정액과 에어는 세정액 분사 노즐에 형성된 슬릿 내에서 혼합될 수 있으며 상기 슬릿을 통해 미스트 형태로 기판 상에 분사될 수 있다. 상기 분사 노즐을 구성하는 한 쌍의 플레이트는 오목부와 돌출부를 가질 수 있으며, 상기 슬릿은 상기 오목부와 돌출부 사이를 통해 연장할 수 있다. 따라서, 상기 기판 상에 보다 균일하게 세정액이 분사될 수 있다.
또한, 종래의 파이프 배관과 비교하여 상기 슬릿의 공간이 상대적으로 작기 때문에 상기 분사 노즐로 공급되는 세정액의 압력과 에어의 압력을 종래의 기술에서보다 낮게 할 수 있다. 따라서, 종래의 기술에서보다 작은 용량의 펌프가 사용 가능하므로 상기 기판 건조 장치의 크기가 감소될 수 있으며 또한 기판 건조 장치의 제조 비용이 절감될 수 있다.
추가적으로, 상기 기판 상으로 보다 균일한 세정 미스트와 에어가 분사될 수 있으므로 종래의 이류체 분사 노즐과 비교하여 동일한 세정 효과를 얻기 위하여 요구되는 세정액 및 에어의 사용량이 감소될 수 있다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 유사한 요소들에 대하여는 전체적으로 유사한 참조 부호들이 사용될 것이며 또한, "및/또는"이란 용어는 관련된 항목들 중 어느 하나 또는 그 이상의 조합을 포함한다.
다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다. 이들 용어들은 단지 다른 요소로부터 하나의 요소를 구별하기 위하여 사용되는 것이다. 따라서, 하기에서 설명되는 제1 요소, 조성, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 제2 요소, 조성, 영역, 층 또는 부분으로 표현될 수 있을 것이다.
공간적으로 상대적인 용어들, 예를 들면, "하부" 또는 "바닥" 그리고 "상부" 또는 "맨위" 등의 용어들은 도면들에 설명된 바와 같이 다른 요소들에 대하여 한 요소의 관계를 설명하기 위하여 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면에 도시된 방위에 더하여 장치의 다른 방위들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 도면들 중 하나에서 장치가 방향이 바뀐다면, 다른 요소들의 하부 쪽에 있는 것으로 설명된 요소들이 상기 다른 요소들의 상부 쪽에 있는 것으로 맞추어질 것이다. 따라서, "하부"라는 전형적인 용어는 도면의 특정 방위에 대하여 "하부" 및 "상부" 방위 모두를 포함할 수 있다. 이와 유사하게, 도면들 중 하나에서 장치가 방향이 바뀐다면, 다른 요소들의 "아래" 또는 "밑"으로서 설명된 요소들은 상기 다른 요소들의 "위"로 맞추어질 것이다. 따라서, "아래" 또는 "밑"이란 전형적인 용어는 "아래"와 "위"의 방위 모두를 포함할 수 있다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 하기에서 사용된 바와 같이, 단수의 형태로 표시되는 것은 특별히 명확하게 지시되지 않는 이상 복수의 형태도 포함한다. 또한, "포함한다" 및/또는 "포함하는"이란 용어가 사용되는 경우, 이는 언급된 형태들, 영역들, 완전체들, 단계들, 작용들, 요소들 및/또는 성분들의 존재를 특징짓는 것이며, 다른 하나 이상의 형태들, 영역들, 완전체들, 단계들, 작용들, 요소들, 성분들 및/또는 이들 그룹들의 추가를 배제하는 것은 아니다.
달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들인 단면 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화들은 예상될 수 있는 것들 이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차들을 포함하는 것이다. 예를 들면, 평평한 것으로서 설명된 영역은 일반적으로 거칠기 및/또는 비선형적인 형태들을 가질 수 있다. 또한, 도해로서 설명된 뾰족한 모서리들은 둥글게 될 수도 있다. 따라서, 도면들에 설명된 영역들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상들은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 분사 노즐을 포함하는 기판 세정 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 분사 노즐(100)을 포함하는 기판 세정 장치(10)는 평판 디스플레이 장치의 제조에서 유리 기판과 같은 대면적 기판(2)을 세정하기 위하여 사용될 수 있다. 특히, 상기 기판(2)으로부터 수 내지 수십 마이크로미터 정도의 크기를 갖는 불순물을 제거하기 위하여 사용될 수 있다.
상기 기판 세정 장치(10)는 상기 기판(2)에 대한 세정 공정이 수행되는 공정 챔버(12)를 포함할 수 있으며, 상기 기판(2)은 상기 공정 챔버(12) 내에서 수평 방향으로 이송될 수 있다.
예를 들면, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 공정 챔버(12) 내에는 다수의 회전축들이 제1 수평 방향으로 일정 간격 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 상기 회전축들은 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 서로 평행하게 연장할 수 있다.
상기 회전축들에는 다수의 롤러들(14)이 장착될 수 있으며, 상기 기판(2)은 상기 롤러들(14)에 의해 지지될 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 회전축들은 구동부와 연결될 수 있으며, 상기 기판(2)은 상기 구동부로부터 제공되는 회전력에 의해 상기 제1 수평 방향으로 이송될 수 있다.
상기 구동부로는 회전력을 제공하기 위한 모터가 사용될 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 회전축들의 단부에는 제1 마그네틱 풀리들이 장착될 수 있으며, 상기 공정 챔버(12)의 외측에는 상기 제1 마그네틱 풀리들과 마주하도록 제2 마그네틱 풀리들이 장착될 수 있다. 상기 제1 마그네틱 풀리들과 제2 마그네틱 풀리들은 자기력에 의해 서로 연동할 수 있으며, 상기 공정 챔버(12)의 일 측벽을 사이에 두고 배치될 수 있다.
상기 제2 마그네틱 풀리들 각각은 구동 풀리들과 연결될 수 있으며, 상기 구동 풀리들은 벨트에 의해 서로 연결될 수 있다. 상기 구동부는 상기 제2 마그네틱 풀리들 중 하나에 연결될 수 있으며, 이에 따라 상기 구동부로부터 제공되는 회전력이 상기 롤러들(14) 전체에 일정하게 전달될 수 있다.
상기 기판(2)의 상부에는 상기 기판(2) 상으로 세정액을 공급하기 위한 제1 샤워 노즐들(202)과 제2 샤워 노즐들(204)이 상기 제1 수평 방향으로 배열될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 샤워 노즐들(202, 204) 사이에는 상기 기판(2) 상으로 세정액을 미스트 형태로 분사하기 위한 세정액 분사 노즐들(100)이 배치될 수 있다.
상기 세정액으로는 탈이온수가 사용될 수 있다. 그러나, 그 이외의 다른 세 정액이 사용될 수도 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 분사 노즐을 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 세정액 분사 노즐을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 분사 노즐(100)은 상기 기판(2)의 이송 방향에 대하여 수직하는 방향으로 연장하는 한 쌍의 플레이트들(110, 120)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 분사 노즐(100)은 제1 플레이트(110)와 제2 플레이트(120)를 포함할 수 있으며, 상기 제1 플레이트(110)와 제2 플레이트(120) 사이에서 상기 세정액을 상기 기판(2) 상으로 분사하기 위한 슬릿(130)이 형성될 수 있다.
또한, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 플레이트(110)와 제2 플레이트(120) 사이에는 상기 세정액이 상기 세정액 분사 노즐(100)의 상부 및 양쪽 측부를 통해 누설되는 것을 방지하는 밀봉 부재(102)가 개재될 수 있다.
상기 제1 플레이트(110)의 중앙 부위에는 상기 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급부(140)가 세정액 공급 라인(142)에 의해 연결될 수 있다. 상기 세정액 공급 라인(142)은 상기 제1 플레이트(110)를 통하여 상기 슬릿(130)과 연결될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 다수의 세정액 공급 라인들(142)이 상기 제1 플레이트(110)의 중앙 부위들에 연결될 수 있다.
또한, 상기 세정액 공급 라인(142)이 연결된 부위를 중심으로 상기 세정액이 분사되는 노즐 단부에 대향하는 부위에는 상기 분사 노즐(100)로 에어를 공급하기 위한 에어 공급부(150)가 에어 공급 라인(152)에 의해 연결될 수 있다. 상기 에어 공급 라인(152)은 상기 제1 플레이트(110)를 통하여 상기 슬릿(130)과 연결될 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 다수의 에어 공급 라인(152)이 상기 제1 플레이트(110)의 상단 부위들에 연결될 수 있다.
상기 슬릿(130)을 한정하는 제1 플레이트(110)의 내측면 부위에는 오목부(112)가 형성될 수 있으며, 상기 슬릿(130)을 한정하는 제2 플레이트(120)의 내측면 부위에는 상기 오목부(112)에 삽입되는 돌출부(122)가 형성될 수 있다. 상기 오목부(112)와 돌출부(122)는 상기 분사 노즐(100)의 연장 방향으로 연장될 수 있다. 상기 오목부(112)와 돌출부(122)는 상기 세정액을 균일하게 분사하기 위하여 구비될 수 있다.
상기 슬릿(130)은 상기 제1 및 제2 플레이트들(110, 120)의 하단 부위들로부터 상기 오목부(112)와 돌출부(122) 사이를 경유하여 상방으로 연장할 수 있다. 특히, 상기 오목부(112)와 돌출부(122)는 상기 세정액 공급 라인들(142)이 연결된 부위보다 아래에 위치될 수 있다. 즉, 상기 오목부(112)와 돌출부(122)는 상기 제1 및 제2 플레이트들(110, 120)의 중앙 부위와 상기 노즐 단부 사이에 배치될 수 있다.
즉, 상기 슬릿(130)은 상기 에어 공급 라인(152)이 연결되는 제1 슬릿(132), 상기 세정액 공급 라인(142)이 연결되는 제2 슬릿(134), 상기 오목부(112)와 돌출부(122) 사이의 제3 슬릿(136) 및 상기 제1 플레이트(110)와 제2 플레이트(120)의 하단 부위들 사이의 제4 슬릿(138)을 포함할 수 있다.
상기 세정액과 에어는 상기 제2 슬릿(134)에서 혼합될 수 있다. 여기서, 상 기 제1 슬릿(132), 제3 슬릿(136) 및 제4 슬릿(138)은 제1 폭을 가질 수 있으며, 상기 제2 슬릿(134)은 제2 폭을 가질 수 있다. 이때, 상기 제2 폭은 제1 폭보다 큰 것이 바람직하다. 예를 들면, 상기 제1 폭은 약 0.05 내지 0.1mm 정도일 수 있으며, 상기 제2 폭은 0.1 내지 1.0mm 정도일 수 있다.
즉, 상기 세정액과 에어는 상기 제2 슬릿(134) 내에서 혼합될 수 있으며, 상기 세정액의 압력과 상기 에어의 압력에 의해 세정 미스트가 형성될 수 있으며, 상기 세정 미스트는 상기 제3 슬릿(136)과 제4 슬릿(138)을 통해 상기 기판(2) 상으로 균일하게 분사될 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 다수의 세정액 공급 라인들(142)로부터 공급된 세정액이 상기 다수의 에어 공급 라인들(152)로부터 공급된 에어와 상기 제2 슬릿(134) 내에서 혼합되므로 종래의 파이프 배관 내에서 형성되는 세정 미스트보다 균일한 세정 미트스가 형성될 수 있으며, 상기 세정 미스트는 상기 오목부(112)와 돌출부(122) 사이의 제3 슬릿(136)을 경유하여 상기 제4 슬릿(138)을 통해 상기 기판(2) 상으로 분사되므로 상기 기판(2) 상에는 보다 균일한 세정 미스트가 제공될 수 있다.
또한, 종래의 파이프 배관과 비교하여 상기 제2 슬릿(134)의 공간이 상대적으로 작기 때문에 상기 분사 노즐(100)로 공급되는 세정액의 압력과 에어의 압력을 종래의 기술에서보다 낮게 할 수 있다. 따라서, 종래의 기술에서보다 작은 용량의 펌프가 사용 가능하므로 상기 기판 건조 장치(10)의 크기가 감소될 수 있으며 또한 기판 건조 장치(10)의 제조 비용이 절감될 수 있다.
추가적으로, 상기 기판(2) 상으로 보다 균일한 세정 미스트와 에어가 분사될 수 있으므로 종래의 이류체 분사 노즐과 비교하여 동일한 세정 효과를 얻기 위하여 요구되는 세정액 및 에어의 사용량이 감소될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 파이프 배관과 다수의 노즐들을 포함하는 종래의 이류체 분사 노즐과 비교하여 본 발명의 실시예들에 따른 세정액 분사 노즐은 보다 균일한 세정 미스트를 상기 기판 상으로 분사할 수 있다.
따라서, 상기 세정액 분사 노즐을 포함하는 기판 세정 장치의 크기 및 제조 비용이 감소될 수 있으며, 상기 기판의 세정 공정에 소요되는 세정액 및 에어의 사용량을 감소시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 분사 노즐을 포함하는 기판 세정 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 세정액 분사 노즐을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 세정액 분사 노즐을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
2 : 기판 10 : 기판 세정 장치
12 : 공정 챔버 14 : 롤러
100 : 세정액 분사 노즐 110 : 제1 플레이트
112 : 오목부 120 : 제2 플레이트
122 : 돌출부 130 : 슬릿
140 : 세정액 공급부 142 : 세정액 공급 라인
150 : 에어 공급부 152 : 에어 공급 라인

Claims (7)

  1. 기판을 세정하기 위하여 상기 기판 상에 세정액을 분사하는 세정액 분사 노즐에 있어서,
    상기 세정액은 한 쌍의 플레이트들에 의해 형성되는 슬릿을 통해 상기 기판 상으로 분사되며, 상기 세정액과 상기 세정액을 미스트(mist) 형태로 형성하기 위한 에어가 상기 플레이트들 중 하나를 통해 상기 슬릿 내부로 공급되는 것을 특징으로 하는 세정액 분사 노즐.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급 라인은 상기 플레이트들 중 하나의 중앙 부위에 연결되며 상기 에어를 공급하기 위한 에어 공급 라인은 상기 세정액 공급 라인이 연결된 부위를 중심으로 상기 세정액이 분사되는 노즐 단부에 대향하는 부위에 연결되는 것을 특징으로 하는 세정액 분사 노즐.
  3. 제2항에 있어서, 상기 플레이트들 중 하나에는 돌출부가 형성되어 있으며, 상기 플레이트들 중 다른 하나에는 상기 돌출부가 삽입되는 오목부가 형성되어 있고, 상기 슬릿은 상기 돌출부와 오목부 사이에서 연장하는 것을 특징으로 하는 세정액 분사 노즐.
  4. 제3항에 있어서, 상기 돌출부와 상기 오목부는 상기 플레이트들의 중앙 부위 와 상기 노즐 단부 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 세정액 분사 노즐.
  5. 제2항에 있어서, 상기 슬릿은 상기 세정액이 분사되는 부위의 제1 폭과 상기 세정액과 상기 에어가 혼합되는 부위의 제2 폭을 가지며, 상기 제2 폭은 상기 제1 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 세정액 분사 노즐.
  6. 제1항에 있어서, 상기 세정액이 분사되는 슬릿의 폭은 0.05 내지 0.1mm인 것을 특징으로 하는 세정액 분사 노즐.
  7. 제1 수평 방향으로 일정 간격 이격되어 배치되며 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 서로 평행하게 연장하는 회전축들;
    상기 회전축들에 장착되어 기판을 지지하는 롤러들;
    상기 기판을 상기 제1 수평 방향으로 이동시키기 위하여 상기 회전축들을 회전시키기 위한 구동부; 및
    상기 기판 상으로 세정액을 분사하기 위하여 상기 기판 상부에 배치되어 상기 제2 수평 방향으로 연장하는 세정액 분사 노즐을 포함하되,
    상기 세정액 분사 노즐은 상기 세정액을 기판 상으로 분사하기 위한 슬릿을 형성하는 한 쌍의 플레이트들을 포함하며, 상기 세정액과 상기 세정액을 미스트(mist) 형태로 형성하기 위한 에어가 상기 플레이트들 중 하나를 통해 상기 슬릿 내부로 공급되는 것을 특징으로 하는 기판 세정 장치.
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