KR20100052190A - 평판 표시 소자 제조 시스템 - Google Patents

평판 표시 소자 제조 시스템 Download PDF

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KR20100052190A
KR20100052190A KR1020080111105A KR20080111105A KR20100052190A KR 20100052190 A KR20100052190 A KR 20100052190A KR 1020080111105 A KR1020080111105 A KR 1020080111105A KR 20080111105 A KR20080111105 A KR 20080111105A KR 20100052190 A KR20100052190 A KR 20100052190A
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이만영
박창준
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세메스 주식회사
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    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
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Abstract

개시된 평판 표시 소자 제조 시스템은 평판 표시 소자 제조 장치와 연결되고, 프로그램에 의하여 정보를 처리함으로써 평판 표시 소자를 제조할 때 상기 평판 표시 소자 제조 장치를 제어하기 위한 컴퓨터를 포함한다. 그리고 상기 컴퓨터의 기억부와 연결되고, 상기 컴퓨터의 기억부의 저장 용량의 사용량을 확인하는 확인부, 및 상기 확인부와 연결되고, 상기 확인부에 의해 상기 저장 용량의 사용량이 일정 용량을 초과하는 것으로 확인될 경우 상기 저장 용량이 일정 용량을 초과하는 것을 경보하는 경보부를 구비하는 감시 장치를 더 포함한다.

Description

평판 표시 소자 제조 시스템{System of manufacturing flat panel display}
본 발명은 평판 표시 소자 제조 시스템에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 평판 표시 소자 장치의 자동화 구축 등에 사용하기 위하여 프로그램에 의하여 정보를 처리하는 컴퓨터를 구비하는 평판 표시 소자 제조 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 표시 소자의 제조에서는 박막 적층 공정, 포토리소그라피 공정, 식각 공정, 세정 공정 등과 같은 단위 공정들을 수행한다. 그리고 언급한 단위 공정들의 수행에서는 단위 공정들에 사용되는 평판 표시 소자 제조 장치의 자동화 등을 구축하고 있다. 이에, 단위 공정들이 수행을 위한 제조 장치에 프로그램에 의해여 정보를 처리하는 컴퓨터를 더 구비시킴으로써, 평판 표시 소자 제조 장치는 컴퓨터를 구비하는 평판 표시 소자 제조 시스템으로 구축되는 것이다.
그러나 컴퓨터를 구비하는 평판 표시 소자 제조 시스템은 그 사용 환경에 따라 제조 시스템 자체가 다운되는 상황이 종종 발생한다. 일예로써, 컴퓨터의 기억부인 하드 디스크(hard disk)의 저장 용량이 여유 공간 없이 풀(full)로 찼을 경우 컴퓨터가 다운되면서 이로 인해 제조 시스템 자체가 함께 다운되는 상황이 발생하는 것이다.
이와 같이 종래의 컴퓨터를 구비하는 평판 표시 소자 제조 시스템은 컴퓨터의 관리 소홀로 인하여 제조 시스템 자체에 영향을 끼침으로써 평판 표시 소자의 제조에 따른 생산성을 저하시키는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 컴퓨터의 사용 환경을 안정적으로 구축할 수 있는 평판 표시 소자 제조 시스템을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 평판 표시 소자 제조 시스템은 평판 표시 소자 제조 장치와 연결되고, 프로그램에 의하여 정보를 처리함으로써 평판 표시 소자를 제조할 때 상기 평판 표시 소자 제조 장치를 제어하기 위하여 상기 프로그램을 입력하는 입력부, 상기 프로그램을 출력하는 출력부, 상기 프로그램을 기억하는 기억부, 상기 프로그램을 연산하는 연산부 및 상기 프로그램을 처리하는 제어부를 포함하는 컴퓨터를 구비하는 평판 표시 소자 제조 시스템에 있어서, 상기 컴퓨터의 기억부와 연결되고, 상기 컴퓨터의 기억부의 저장 용량의 사용량을 확인하는 확인부, 및 상기 확인부와 연결되고, 상기 확인부에 의해 상기 저장 용량의 사용량이 일정 용량을 초과하는 것으로 확인될 경우 상기 저장 용량이 일정 용량을 초과하는 것을 경보하는 경보부를 구비하는 감시 장치를 더 포함한다.
언급한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 평판 표시 소자 제조 시스템에서, 상기 컴퓨터의 출력부가 화상을 디스플레이하는 모니터로 구비될 때, 상기 감시 장치의 경보부는 상기 모니터에 상기 저장 용량이 일정 용량을 초과하는 것을 디스플레이하는 팝업창으로 구비될 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 의하면 평판 표시 소자 제조 장치에 연결되는 컴퓨터의 기억부의 저장 용량의 사용량을 계속적으로 감시하고, 이에 대한 조치를 적절하게 취함으로써 컴퓨터의 다운으로 인하여 평판 표시 소자 제조 시스템이 함께 다운되는 것을 충분하게 감소시킬 수 있다.
이에, 언급한 본 발명의 평판 표시 소자 제조 시스템을 사용할 경우에는 컴퓨터로 인하여 제조 시스템 자체가 다운되는 상황을 감소시킴으로써 평판 표시 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 충분하게 기대할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들 어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자 제조 시스템을 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 평판 표시 소자 제조 시스템(100)은 평판 표시 소자 제조 장치(10), 평판 표시 소자 제조 장치(10)와 연결되는 컴퓨터(12) 그리고 컴퓨 터(12)와 연결되는 감시 장치(14) 등을 포함한다.
구체적으로, 평판 표시 소자 제조 장치(10)의 경우에는 평판 표시 소자의 제조를 위한 단위 공정들에 해당하는 것으로써, 예를 들면 박막 적층 공정의 수행을 위한 제조 장치, 포토리소그라피 공정의 수행을 위한 제조 장치, 식각 공정의 수행을 위한 제조 장치, 세정 공정의 수행을 위한 제조 장치 등을 들 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에서 언급한 평판 표시 소자 제조 장치(10)는 특정 공정의 수행을 위한 제조 장치에 한정되지는 않는다. 즉, 본 발명의 일 실시예에서 언급한 평판 표시 소자 제조 장치(10)는 박막 적층 공정의 수행을 위한 제조 장치, 포토리소그라피 공정의 수행을 위한 제조 장치, 식각 공정의 수행을 위한 제조 장치, 세정 공정의 수행을 위한 제조 장치 등을 모두 포함할 수 있는 것이다.
그리고 언급한 컴퓨터(12)는 평판 표시 소자의 제조에 따른 자동화 등을 구축하기 위한 것으로써, 평판 표시 소자 제조 장치(10)에 연결된다. 이에, 평판 표시 소자 제조 장치(10)는 컴퓨터(12)와 연결되고, 프로그램에 의하여 정보를 처리함으로써, 평판 표시 소자를 제조할 때 평판 표시 소자 제조 장치(10)를 적절하게 제어하여 자동화 등을 구축하는 것이다. 특히, 언급한 컴퓨터(12)는 입력부(12a), 출력부(12b), 기억부(12c), 연산부(12d), 제어부(12e) 등을 포함한다. 구체적으로, 입력부(12a)는 프로그램을 입력하기 위한 부재로써, 예를 들면 키보드, 터치 패드 등을 들 수 있다. 출력부(12b)는 프로그램을 출력하고, 현재 상황 등을 알려주는 부재로써, 예를 들면 모니터, 알람(alarm) 등을 들 수 있다. 기억부(12c)는 프로그램을 기억(저장)하는 부재로써, 예를 들면 하드 디스크, 메모리 카드 등을 들 수 있다. 연산부(12d)와 제어부(12e)는 프로그램을 연산하고, 처리하는 부재로써, 예들 들면 중앙 처리 부재(CPU) 등을 들 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자 제조 시스템(100)은 평판 표시 소자 제조 장치(10)에 프로그램에 의하여 정보를 처리하는 컴퓨터(12)를 연결함으로써 평판 표시 소자의 제조에 따른 적절한 제어를 통하여 자동화 등을 구축하고 있는 것이다.
아울러, 언급한 감시 장치(14)는 컴퓨터(12)의 기억부(12c)의 저장 용량를 감시하는 것으로써, 확인부(14a)와 경보부(14b)를 포함한다. 특히, 감시 장치(14)의 확인부(14a)는 컴퓨터(12)의 기억부(12c)와 연결되어 컴퓨터(12)의 기억부(12c)의 저장 용량의 사용량을 확인하는 부재이다. 그리고 감시 장치(14)의 경보부(14b)는 확인부(14a)와 연결되고, 언급한 확인부(14a)에 의해 컴퓨터(12)의 기억부(12c)의 저장 용량의 사용량이 일정 용량을 초과하는 것으로써 확인될 경우 컴퓨터(12)의 기억부(12c)의 저장 용량이 일정 용량을 초과하는 것을 경보하는 부재이다. 이에, 언급한 감시 장치(14)는 확인부(14a)를 사용하여 컴퓨터(12)의 기억부(12c)의 저장 용량의 사용량을 감시하고, 그 감시 결과를 경보부(14b)를 통하여 경보하는 구성을 갖는다.
도 2는 도 1의 평판 표시 소자 제조 시스템의 컴퓨터의 출력부에 디스플레이되는 팝업창을 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 언급한 감시 장치(14)의 경보부(14a)에 대한 예로써, 컴퓨터(12)의 출력부(12b)가 화상을 디스플레이하는 모니터로 구비될 경우 감시 장 치(14)의 경보부(14b)는 컴퓨터(12)의 출력부(12b)인 모니터에 컴퓨터(12)의 기억부(12c)의 저장 용량이 일정 용량을 초과하는 것을 디스플레이하는 팝업창으로 구비될 수 있다. 즉, 본 발명의 일 실시예에서 감시 장치(14)의 경보부(14b)는 아래와 같이 별도 구성을 가질 수도 있지만, 언급한 팝업창으로도 충분하다. 그리고 언급한 감시 장치(14)의 경보부(14b)는 팝업창에 한정되지는 않는다. 이에, 감시 장치(14)의 경보부(14b)에 대한 다른 예로서 알람, 경광등 등을 들 수도 있다.
아울러 본 발명의 일 실시예에서 감시 장치(14)의 확인부(14a)의 경우에도 별도의 프로그램이 내장된 칩(chip) 등을 포함할 수 있지만, 이와 같이 별도 구성이 아닌 언급한 컴퓨터(12)의 제어부(12e)에 컴퓨터(12)의 기억부(12c)의 저장 용량의 사용량을 확인할 수 있는 프로그램을 내장시킴에 의해 감시 장치(14)의 확인부(14a)로 이용할 수도 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 감시 장치(14)는 별도의 장치적 구성도 가능하지만, 기존의 컴퓨터(12)의 출력부(12b)와 제어부(12e)를 언급한 바와 같이 적절하게 이용함에 의해서도 그 구성이 가능하다.
이하, 언급한 평판 표시 소자 제조 시스템(100)을 사용하는 예에 대하여 설명하기로 한다.
평판 표시 소자 제조 장치(10)를 사용하여 단위 공정을 수행한다. 이때, 언급한 단위 공정의 경우에는 컴퓨터(12)에 의해 프로그램된 정보를 통하여 수행이 이루어진다. 즉, 평판 표시 소자 제조 장치(10)에 부속되는 각각의 부재들을 컴퓨터(12)에 내장된 프로그램에 따라 운전하도록 하는 것이다. 이와 같이, 평판 표시 소자 제조 장치(10)를 사용하여 계속적으로 단위 공정을 수행함에 따라 컴퓨터(12)의 기억부(12c)에는 각각의 데이터가 계속적으로 기억, 즉 저장된다. 이에, 감시 장치(14)의 확인부(14a)는 컴퓨터(12)의 기억부(12c)의 저장 용량의 사용량을 계속적으로 확인한다. 그리고 확인 결과 컴퓨터(12)의 기억부(12c)의 저장 용량의 사용량이 일정 용량을 초과할 경우 감시 장치(14)의 경보부(14b)를 통하여 작업자 등에게 그 결과를 알려준다. 이어서, 작업자가 적절한 조치를 취함으로써 평판 표시 소자 제조 시스템(100)의 다운 없이 계속적으로 단위 공정을 수행할 수 있다.
따라서 본 발명은 평판 표시 소자 제조 장치에 연결되는 컴퓨터가 다운되는 상황에 의해 평판 표시 소자 제조 시스템이 다운되는 상황을 충분하게 감소시킬 수 있다. 이에, 본발명의 평판 표시 소자 제조 시스템은 자동화 등을 요구하는 최근의 평판 표시 소자의 제조에 보다 적극적으로 이용할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자 제조 시스템을 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 평판 표시 소자 제조 시스템의 컴퓨터의 출력부에 디스플레이되는 팝업창을 나타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 평판 표시 소자 제조 장치 12: 컴퓨터
14 : 감시 장치
100 : 평판 표시 소자 제조 시스템

Claims (2)

  1. 평판 표시 소자 제조 장치와 연결되고, 프로그램에 의하여 정보를 처리함으로써 평판 표시 소자를 제조할 때 상기 평판 표시 소자 제조 장치를 제어하기 위하여 상기 프로그램을 입력하는 입력부, 상기 프로그램을 출력하는 출력부, 상기 프로그램을 기억하는 기억부, 상기 프로그램을 연산하는 연산부 및 상기 프로그램을 처리하는 제어부를 포함하는 컴퓨터를 구비하는 평판 표시 소자 제조 시스템에 있어서,
    상기 컴퓨터의 기억부와 연결되고, 상기 컴퓨터의 기억부의 저장 용량의 사용량을 확인하는 확인부; 및
    상기 확인부와 연결되고, 상기 확인부에 의해 상기 저장 용량의 사용량이 일정 용량을 초과하는 것으로 확인될 경우 상기 저장 용량이 일정 용량을 초과하는 것을 경보하는 경보부를 구비하는 감시 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자 제조 시스템.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 컴퓨터의 출력부가 화상을 디스플레이하는 모니터로 구비될 때, 상기 감시 장치의 경보부는 상기 모니터에 상기 저장 용량이 일정 용량을 초과하는 것을 디스플레이하는 팝업창으로 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자 제조 시스템.
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