KR20100050951A - 실런트 경화장치 및 이의 제어방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 실런트 경화장치 및 이의 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display)를 형성하는 두 패널의 합착을 위하여 도포된 실런트를 경화하기 위한 실런트 경화장치 및 이의 제어방법에 관한 것으로서, 상기 목적을 구현하기 위하여, 본 발명은 챔버, 상기 챔버의 상부에 위치하는 램프, 상기 챔버 내부에 실런트가 도포된 기판이 안착되는 스테이지, 상기 스테이지의 상측에서 마스크의 가장자리를 흡착하여 고정시키는 흡착기, 그리고 상기 챔버의 내측에서 상기 흡착기를 승강시킬 수 있는 흡착기 승강기를 구비하는 실런트 경화장치에 의해 달성될 수 있다.

Description

실런트 경화장치 및 이의 제어방법 {SEALANT CURING APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLING THEREOF }
본 발명은 실런트 경화장치 및 이의 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display)를 형성하는 두 패널의 합착을 위하여 도포된 실런트를 경화하기 위한 실런트 경화장치 및 이의 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(LCD:liquid crystal display)는 전공정에서 제조된 TFT 기판과 컬러필터을 합착시킨 후 액정을 두 기판 사이로 주입함으로써 제조된다. 이때 두 기판의 합착을 위하여 사용되는 실런트는 기판의 가장자리를 따라 도포되어 합착된 기판 내의 액정이 외부로 누출되지 않도록 유리기판을 밀봉시키는 역할을 한다.
한편, 기판에 도포된 실런트는 두 기판의 합착 후에 실런트 경화장치에 의하여 경화된다. 그런데 기판의 가장자리에 도포된 실런트 외에 액정에 자외선이 입사되면 액정을 열화시켜 액정의 수명을 단축시킨다. 따라서 경화시 실런트가 도포된 영역에만 선택적으로 자외선이 입사되도록 하기 위하여 실런트 경화시 마스크가 사 용된다.
그러나 마스크를 사용하더라도 마스크와 기판의 간격 및 얼라인이 정밀하게 제어되지 못하면 마스크를 통과한 광이 실런트 영역외의 다른 영역 예를 들어 액정에 입사되어 액정표시장치의 품질을 저하시키는 문제점이 발생할 수 있다. 또한, 이를 극복하기 위하여 투명한 재질의 패널을 이용하여 상기 마스크를 고정시키는 방법이 제안되었으나, 패널을 형성하는 재질의 비용이 높아 제조 원가가 증가하는 문제점이 발생하였다.
본 발명에서는 기판의 실런트를 경화하기 위하여 사용되는 마스크와 기판의 위치를 정교하게 제어할 수 있는 실런트 경화장치 및 이의 제어방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 마스크를 고정시키는 구성 및 방식을 개선하여 제조원가를 절감할 수 있는 실런트 경화장치 및 이의 제어방법을 제공하기 위함이다.
상기 목적을 구현하기 위하여, 본 발명은 챔버, 상기 챔버의 상부에 위치하는 램프, 상기 챔버 내부에 실런트가 도포된 기판이 안착되는 스테이지, 상기 스테이지의 상측에서 마스크의 가장자리를 흡착하여 고정시키는 흡착기, 그리고 상기 챔버의 내측에서 상기 흡착기를 승강시킬 수 있는 흡착기 승강기를 구비하는 실런트 경화장치에 의해 달성될 수 있다.
여기서, 상기 흡착기는 복수개의 흡착포트가 설치되는 적어도 두 개 이상의 흡착바로 구성될 수 있다. 그리고, 상기 흡착바는 각각이 상기 흡착기 승강기와 결합되도록 설치되는 것이 가능하다.
한편, 상기 흡착기는 상기 흡착기 승강기에 의해 상기 램프와 인접한 위치까지 상승할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 실런트 경화장치는 상기 스테이지를 승강할 수 있는 승강기를 더 포함하고, 상기 스테이지는 상기 승강기에 의해 상기 램프와 인접한 위치까지 상승할 수 있도록 구성되는 것이 바람직 하다.
이때, 상기 흡착포트는 상기 흡착바의 하면에 설치되어, 상기 마스크를 상기 흡착바의 하면에 고정시키도록 구성될 수 있다. 또는, 상기 흡착포트는 상기 흡착바의 하면 및 외측면에 설치되어, 상기 마스크를 상기 흡착바의 하면에 고정시키면서 외측 방향의 수평력을 부여하도록 구성되는 것도 가능하다.
한편, 상기와 같은 본 발명의 목적은 흡착기로 마스크의 양 측 가장자리를 흡착하여 상기 마스크를 고정시키고, 상기 마스크가 상측에 설치된 램프에 근접하도록 상기 흡착기를 상승시키고, 상기 마스크와 대응되는 위치에 실런트가 도포된 기판이 위치하도록 상기 기판이 안착되는 스테이지를 이동시키고, 상기 램프에서 광을 조사하여 상기 마스크의 패턴을 따라 상기 기판을 노광시키는 실런트 경화장치의 제어방법에 의해 달성될 수도 있다.
여기서, 상기 마스크와 대응되는 위치에 상기 기판이 위치하도록, 상기 기판과 상기 마스크가 인접하도록 상기 스테이지를 상승시킨 후, 상기 기판과 상기 마스크를 얼라인하기 위해 상기 스테이지를 수평 이동 또는 회전시킬 수 있다.
한편, 본 제어방법에 의할 경우 상기 흡착기의 하면에 구비되는 흡착포트가 상기 마스크의 가장자리를 흡착하여, 상기 마스크를 고정시킬 수 있다.
나아가, 상기 마스크의 처짐을 방지하도록, 상기 흡착기의 외측면에 구비되는 흡착포트로 상기 마스크를 흡착하여 이중으로 고정시키는 것도 가능하다.
이후, 상기 램프에서 광을 조사하는 것이 종료되면, 상기 흡착기 및 상기 스테이지를 하강시켜 공정을 종료할 수 있다.
본 발명에 의할 경우 마스크를 고정하는 구성요소를 간단하게 구성하여 저렴한 비용으로 공정을 수행할 수 있는 장점을 갖는다.
또한, 마스크와 기판이 램프와 인접한 상태로 노광이 이루어지는 바, 실런트의 경화효율이 개선되어 제품의 불량률을 감소시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 이하, 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서는 중복되는 설명을 피한다.
도 1은 본 실시예에 따른 실런트 경화장치를 도시한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 실런트 경화장치는 챔버(100)를 구비한다. 챔버(100) 상부에는 자외선을 챔버(100) 내부로 조사하는 복수개의 램프(111)가 설치된 램프 하우징(110)이 설치된다.
챔버(100) 내부에는 기판(S)이 안착되는 기판 스테이지(140)가 설치된다. 기판 스테이지(140) 상에는 다수개의 기판 지지포트(150)가 구비될 수 있다. 기판 지지포트(150)는 진공흡착으로 기판(S)을 흡착할 수 있다. 따라서 실질적으로 기판(S)은 기판 지지포트(150)에 흡착 지지될 수 있다.
기판 스테이지(140)의 외측 주변에는 복수개의 클램프(미도시)가 구비될 수 있다. 여기서, 클램프는 기판(S)이 기판 스테이지(140)에 안착되었을 때 기판(S)을 고정시키는 역할을 수행할 수 있다.
기판 스테이지(140)의 가장자리 부분에는 복수개의 조명창(141)이 설치될 수 있다. 조명창(141)은 기판(S)과 마스크(M)를 얼라인하기 위하여 사용되는 카메라(180)가 기판(S)과 마스크(M)에 형성되는 얼라인 마크(미도시)를 촬영할 수 있도록 한다.
기판 스테이지(140)의 하부에는 기판 스테이지(140)를 X축 Y축으로 이동 및 회전시키는 정렬 스테이지(170)가 구비된다. 그리고 정렬 스테이지(170)의 테두리 부분에는 복수개의 카메라(180)가 위치할 수 있다.
정렬 스테이지(170)의 하부에는 정렬 스테이지(170) 및 기판 스테이지(140)의 수직방향의 위치를 조절할 수 있도록 정렬 스테이지(170) 및 기판 스테이지(140)를 승하강 시키는 승강기(191)와 승강축(190)이 구비된다. 승강기(191)는 정역회전모터를 이용하여 구성될 수 있고, 승강축(190)은 볼 스크류를 포함하여 구성될 수 있다. 또는 다른 실시예로 승강축(190)은 접철식 동작이 가능한 복수개의 링크 구조물로 실시될 수도 있다.
한편, 챔버(100) 내부에는 기판 스테이지(140)의 상측으로 마스크(M)를 흡착하기 위한 흡착기(120)가 설치된다. 도 2는 본 실시예에 따른 흡착기(120)와 흡착기 승강기(130)를 도시한 사시도이다.
여기서 상기 기판(S)은 내측에 실런트가 부분적으로 포함되며, 상기 실런트는 램프(111)로부터 조사되는 자외선에 노광되면서 경화가 이루어진다. 따라서, 상기 마스크(M)는 기판(S)의 상측에서, 마스크(M)에 형성된 패턴을 이용하여 기판(S)을 부분적으로 노광시킨다. 이때, 상기 흡착기(120)는 상기 마스크(M)를 흡착하여 마스크(M)의 위치를 고정시키는 역할을 수행할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 흡착기(120)는 복수개의 흡착바(122)를 포함하여 구성된다. 그리고, 각각의 흡착바(122)는 진공흡착력이 제공될 수 있도록 공기 흡착유로(미도시)가 내부에 형성되고, 도면에는 도시되지 않았으나 다수개의 흡착포트(121)는 내부의 공기 흡착유로와 연결되도록 설치될 수 있다.
이때, 각각의 흡착바(122)는 마스크(M)의 상측에서 마스크(M)의 양측에 위치하도록 설치될 수 있으며, 각각의 흡착포트(121)는 마스크(M)의 가장자리를 흡착하여 마스크(M)를 고정시킬 수 있다.
특히, 최근 들어 PDA, 노트북에 사용되는 소형 기판을 생산하는데 사용되는 마스크(M)의 경우, 마스크(M)의 양측 가장자리만을 고정하는 것으로도 자중이 크지 않아 처짐 현상 없이 마스크(M)를 고정시키는 것이 가능하다. 이 경우, 일반적으로 흡착기가 자외선이 투과율을 고려하여 가격이 높은 수정(quartz)을 이용하는 것을 감안할 때, 규모가 작은 흡착기를 구성하는 것이 가능하여 제조원가를 절감하는 효과를 갖는다.
본 실시예의 흡착기(120)는 상기 마스크(M)의 양측에 대향되도록 설치되는 두 개의 흡착바(122)를 이용하여 구성하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 4개의 흡착바(122)를 이용하는 것도 가능하며, 이 이외에도 기술적 사상을 같이 하는 다른 실시예 또한 본 발명에 해당한다.
흡착기 승강기(130)는 흡착기(120)와 연결되어 흡착기(120)를 챔버(100)의 내측에서 상하 방향으로 승강시키도록 구성될 수 있다. 따라서, 본 실시예의 복수 개의 흡착바(122)는 각각이 흡착기 승강기(130)에 연결되어 승강이 가능하다. 다만, 마스크(M)의 수평도를 유지하기 위하여 각각의 흡착바(122)는 동일한 높이를 유지하도록 제어되는 것이 바람직하다.
하나의 흡착기(120) 승강기는 LM 가이드와 LM 가이드에 설치된 볼스크류, 그리고 직류모터로 구성되거나 또는 하나의 리니어 모터일 수 있다.
이하에서는 전술한 바와 같이 구성된 실런트 경화장치의 제어방법에 대한 실시예를 설명한다.
도 3은 본 실시예에 따른 실런트 경화장치의 제어방법을 설명하는 순서도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 제어방법은 흡착기(120)로 마스크(M)의 양 측 가장자리를 흡착하여 상기 마스크(M)를 고정(S100)시키고, 상기 마스크(M)가 상측에 설치된 램프에 근접하도록 상기 흡착기(120)를 상승(S110)시키고, 상기 마스크와 대응되는 위치에 실런트가 도포된 기판이 위치하도록 상기 기판(S)이 안착되는 기판 스테이지(140)를 이동(S120)시키고, 상기 램프에서 자외선을 조사하여 상기 마스크(M)의 패턴을 따라 상기 기판(S)을 노광(S130)시키도록 제어될 수 있다.
이하에서는 각각의 단계를 보다 구체적으로 설명한다.
도 4는 본 실시예에 따른 실런트 경화장치에서 마스크가 흡착기로 흡착된 상태에서 기판과의 위치관계를 도시한 도면이다.
최초로 상기 마스크(M)가 로봇암(미도시) 등에 의해 반입되어 기판 스테이지(140)의 지지포트(150) 상에 안착한다. 그리고 흡착기 승강부(130)에 의해 흡착기(120)가 하강하면, 흡착기(120)는 흡착포트(121)를 이용하여 상기 마스크(M)의 양 측을 흡착시켜 마스크(M)를 고정한다. 그리고, 도 4에 도시된 바와 같이, 다시 흡착기 승강기(130)에 의해 흡착기(120)는 상측의 램프(111) 방향으로 상승하여 램프(111)에 최대한 인접한 위치로 설정될 수 있다.
도 5는 본 실시예에 따른 실런트 경화장치에서 기판 스테이지의 위치가 설정된 상태를 도시한 도면이다.
상기 흡착기(120)의 위치가 고정된 후, 기판(S)을 로봇암을 이용하여 기판 스테이지(140)의 지지포트(150)상에 안착한다. 이때, 전술한 클램프(미도시)에 의하여 기판(S)이 기판 스테이지(140) 상에 단단히 고정이 이루어질 수 있다. 기판(S)의 고정이 이루어지면 마스크(M)와 기판(S)이 서로 대응되는 위치에 위치하도록 상기 기판 스테이지(140)의 위치를 이동시킨다. 여기서, 마스크(M)와 기판(S)이 서로 대응되는 위치라 하는 것은 마스크(M)의 패턴에 의해 선택적으로 투과되는 자외선이 상기 기판(S)의 실란트가 형성되는 부분으로 조사되도록 배열하는 것을 의미한다.
본 단계에서는 우선, 기판(S)과 마스크(M)가 인접하여 위치할 수 있도록 기판 스테이지(140)를 상승시킬 수 있다(S121). 기판(S)과 마스크(M)의 간격이 좁을수록 마스크(M)의 패턴에 의해 기판(S)의 부분 노광이 정교하게 진행될 수 있는 바, 승강기(191)를 제어하여 마스크(M)와 기판(S)의 간격이 최대한 밀착할 수 있도록 기판 스테이지(140)를 상승시키는 것이 바람직하다.
이때, 상기 흡착기(120)는 전술한 바와 같이 램프(111)에 최대한 인접하여 위치하는 바, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 기판(S) 또한 상기 흡착기(120)에 고 정된 마스크(M)와 최대한 인접하는 위치까지 상기 기판 스테이지(140)가 상승할 수 있다. 이 경우, 램프(111)와 기판(S)이 인접할수록 노광에 의한 실런트의 경화가 효과적으로 진행되는 바, 기판의 접착 불량을 최소화 할 수 있다.
한편, 승강기(191)에 의해 기판 스테이지(140)의 수직 방향의 위치가 설정되면, 이후에는 정렬 스테이지(170)를 이용하여 기판(S)과 마스크(M)를 얼라인 시킨다(S122). 이때, 정렬 스테이지(170)는, 승강기(191)에 의해 기판 스테이지(140)가 상승하는 경우, 상기 기판 스테이지(140)와 같이 상승하도록 구성되는 것이 바람직하다. 따라서, 기판 스테이지(140)가 상승되어 기판(S)과 마스크(M)가 근접하면 카메라(180)는 조명창(141)을 통하여 기판(S)과 마스크(M)에 형성된 얼라인 마크를 촬영한다. 그리고, 얼라인 상태를 측정하여, 상태에 따라 정렬 스테이지(170)는 기판 스테이지(140)를 X축, Y축 방향으로 이동 또는 회전시켜 기판(S)과 마스크를 정교하게 얼라인한다.
상기 단계들이 완료되어 기판(S)과 마스크(M)가 램프(111)와 인접하는 위치에서 얼라인이 이루어진 상태로 고정되면 램프(111)에서 광을 조사하여 기판(S)을 노광시킨다. 즉, 마스크(M)의 패턴에 의해 램프(111)의 자외선은 기판(S)의 실런트가 도포된 영역에 한정되어 입사하여 실런트를 경화시킨다.
이후, 램프(111)에 의한 노광이 완료되면 상기 흡착기(120) 및 상기 기판 스테이지(140)는 초기위치로 하강하여 공정을 마무리할 수 있다. 물론, 다른 기판(S)에 대한 경화 공정이 추가적으로 수행된다면, 흡착기(120)는 상측에 상태에서 상기 기판 스테이지(140)만이 하강하여 기판(S)을 교체한 후 경화공정을 연속적으로 진 행하는 것도 가능하다.
이하에서는 본 발명에 따른 다른 실시예를 추가적으로 설명하도록 한다. 다만, 전술한 실시예와 공통되는 구성요소에 대해서는 동일한 이하, 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서는 중복되는 설명을 피한다.
도 6은 다른 실시예에 따른 흡착기 및 흡착기 승강기를 도시한 사시도이다.
전술한 실시예의 흡착기(120)는 하면에 흡착포트(121)가 구성되는 흡착바(122)를 사용하여 마스크(M)의 가장자리를 고정시키는 구성을 이용하였다. 이는 마스크(M)가 소정 크기 이하인 경우에는 충분히 적용 가능하나, 마스크(M)가 소정 크기 이상인 경우에는 마스크(M)의 중심부에서 처짐이 발생할 우려가 있다. 전술한 실시예의 경우 양측의 흡착바(122)의 흡착포트(121)에서 상향의 진공 흡착력만이 작용하는 바 마스크(M)의 자중이 커지는 경우 처짐이 발생할 수 있는 것이다.
따라서, 본 실시예에 따른 흡착바(122)는 흡착포트(121)가 흡착바(122)의 하면 뿐만 아니라 외측면에도 형성되도록 구성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에 의할 경우, 마스크(M)의 일측 가장자리는 하면의 흡착포트(121) 및 외측면의 흡착포트(121)에 의해 이중으로 고정되는 것이 가능하다. 특히, 외측면의 흡착포트(121)에서는 마스크의 내측방향으로 진공흡착력이 작용하는 바, 흡착바(122) 하면에 고정되는 마스크(M)의 양측에서 외측으로 당겨주는 수평력이 작용하여 처짐을 방지할 수 있다.
본 실시예에 의할 경우, 마스크(M)가 기판 스테이지(140) 상에 안착되면 흡착바(122)하면에 위치하는 흡착포트(121)에 의해 우선적으로 흡착이 이루어지고, 이후에 마스크의 가장자리가 도 4의 화살표 방향으로 접혀지도록 유도되어 외측면에 위치하는 흡착포트(121)에 의해 흡착이 이루어질 수 있다. 따라서, 도시되지는 않았으나, 흡착바(122) 내측에 형성되는 공기 흡착 유로는 하면의 흡착포트(121)와 외측면의 흡착포트(121)의 흡착이 순차적으로 진행되도록 유로를 선택적으로 개폐하는 삼방 밸브 등의 제어부재를 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 마스크가 하면의 흡착포트에 흡착된 후, 잘 펼쳐진 상태에서 상기 외측면의 흡착포트에 흡착될 수 있도록 마스크의 가장자리를 가이드 하는 별도의 가이드 부재를 더 포함하여 구성할 수도 있다.
이 경우, 실런트 경화장치는 소형의 마스크 뿐 만 아니라 소정 크기 이상의 마스크의 경우에도 처짐 현상 없이 마스크를 고정시키는 것이 가능하다.
도 1은 본 실시예에 따른 실런트 경화장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 실시예에 따른 흡착기와 흡착기 승강기를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 실시예에 따른 실런트 경화장치의 제어방법을 설명하는 순서도이다.
도 4는 본 실시예에 따른 실런트 경화장치에서 마스크가 흡착기로 흡착된 상태에서 기판과의 위치관계를 도시한 도면이다.
도 5는 본 실시예에 따른 실런트 경화장치에서 기판 스테이지의 위치가 설정된 상태를 도시한 도면이다.
도 6은 다른 실시예에 따른 흡착기 및 흡착기 승강기를 도시한 사시도이다.

Claims (12)

  1. 챔버;
    상기 챔버의 상부에 위치하는 램프;
    상기 챔버 내부에 실런트가 도포된 기판이 안착되는 기판 스테이지;
    상기 기판 스테이지의 상측에서 마스크의 가장자리를 흡착하여 고정시키는 흡착기; 그리고,
    상기 챔버의 내측에서 상기 흡착기를 승강시킬 수 있는 흡착기 승강기;를 구비하는 실런트 경화장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 흡착기는 복수개의 흡착포트가 설치되는 적어도 두 개 이상의 흡착바로 구성되는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 흡착바는 각각 상기 흡착기 승강기와 결합되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 흡착기는 상기 흡착기 승강기에 의해 상기 램프와 인접한 위치까지 상 승할 수 있는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 기판 스테이지를 승강할 수 있는 승강기를 더 포함하고, 상기 기판 스테이지는 상기 승강기에 의해 상기 램프와 인접한 위치까지 상승할 수 있는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 흡착포트는 상기 흡착바의 하면에 설치되어, 상기 마스크를 상기 흡착바의 하면에 고정시키는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 흡착포트는 상기 흡착바의 하면 및 외측면에 설치되어, 상기 마스크를 상기 흡착바의 하면에 고정시키면서 외측 방향의 수평력을 부여하는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치.
  8. 흡착기로 마스크의 가장자리를 흡착하여 상기 마스크를 고정시키고,
    상기 마스크가 상측에 설치된 램프에 근접하도록 상기 흡착기를 상승시키고;
    상기 마스크와 대응되는 위치에 실런트가 도포된 기판이 위치하도록 상기 기판이 안착되는 기판 스테이지를 이동시키고,
    상기 램프에서 광을 조사하여 상기 마스크의 패턴을 따라 상기 기판을 노광시키는 실런트 경화장치의 제어방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 마스크와 대응되는 위치에 상기 기판이 위치하도록,
    상기 기판과 상기 마스크가 인접하도록 상기 기판 스테이지를 상승시킨 후,
    상기 기판 스테이지를 수평 이동 또는 회전시켜 상기 기판과 상기 마스크를 얼라인하는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치의 제어방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 흡착기의 하면에 구비되는 흡착포트가 상기 마스크의 가장자리를 흡착하여, 상기 마스크를 고정시키는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치의 제어방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 마스크의 처짐을 방지하도록, 상기 흡착기의 외측면에 구비되는 흡착포트로 상기 마스크를 흡착하여 고정시키는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치의 제어방법.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 램프에서 광을 조사하는 것이 종료되면, 상기 흡착기 및 상기 기판 스 테이지를 하강시키는 것을 특징으로 하는 실런트 경화장치의 제어방법.
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