KR20100040114A - Plasma display panel filter - Google Patents

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KR20100040114A
KR20100040114A KR1020080099189A KR20080099189A KR20100040114A KR 20100040114 A KR20100040114 A KR 20100040114A KR 1020080099189 A KR1020080099189 A KR 1020080099189A KR 20080099189 A KR20080099189 A KR 20080099189A KR 20100040114 A KR20100040114 A KR 20100040114A
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박성완
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    • H01J11/20Constructional details
    • H01J11/34Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
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Abstract

PURPOSE: A plasma display panel filter is provided to improve optical transmittance since there is no need an additional oxide layer. CONSTITUTION: A plasma display panel filter comprises a transparent substrate(200), at least repetition films(202), and a second high refractive transparent thin film layer(204). The repetition film is arranged on the transparent substrate. The repetition film comprises a first high refractive transparent thin film layer, a first oxide layer, and a metal thin film layer. The second high refractive transparent thin film layer is arranged on the repetition film. The first high refractive transparent thin film layer is formed with the titanium dioxide(TiO2).

Description

플라즈마 디스플레이 패널 필터{PLASMA DISPLAY PANEL FILTER}Plasma Display Panel Filter {PLASMA DISPLAY PANEL FILTER}

본 발명은 PDP 필터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광투과율이 향상되도록 추가적인 산화물층이 형성되지 않는 PDP 필터에 관한 것이다. The present invention relates to a PDP filter, and more particularly, to a PDP filter in which no additional oxide layer is formed to improve light transmittance.

플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP)는 현재 널리 사용되고 있는 디스플레이 소자로서, 기술 특성상 전자파 및 근적외선 등을 방출하므로 이들을 차단하기 위한 PDP 필터가 PDP 패널 위에 부착된다. 이러한 PDP 필터는 일반적으로 아래의 도 1과 같은 구조를 가진다. Plasma Display Panels (PDPs) are widely used display devices, and because of their technical characteristics, they emit electromagnetic waves and near infrared rays, and thus, PDP filters are provided on the PDP panels to block them. Such a PDP filter generally has a structure as shown in FIG. 1 below.

도 1은 일반적인 PDP 필터를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a general PDP filter.

도 1을 참조하면, PDP 필터는 순차적으로 형성된 투명 기판(100), 제 1 반복막(102-1), 제 2 반복막(102-2) 및 제 2 고굴절 투명박막층(Nb2O5, 104)으로 이루어진다. Referring to FIG. 1, a PDP filter may include a transparent substrate 100, a first repeating film 102-1, a second repeating film 102-2, and a second high refractive index thin film layer Nb 2 O 5 , 104 sequentially formed. )

제 1 반복막(102-1)은 투명 기판(100) 위에 형성되며, 제 1-1 고굴절 투명박막층(Nb2O5, 110-1), 제 1-1 산화물층(ITO, 112-1), 제 1-1 금속박막층(Ag, 114-1) 및 제 2-1 산화물층(ITO, 116-1)으로 이루어진다.The first repeating film 102-1 is formed on the transparent substrate 100, and the first-refractive refractive thin film layers Nb 2 O 5 and 110-1 and the first-first oxide layer ITO 112-1 are formed on the transparent substrate 100. , 1-1 metal thin film layers (Ag, 114-1) and 2-1 oxide layers (ITO, 116-1).

제 2 반복막(102-2)은 제 2-1 산화물층(116-1) 위에 형성되며, 제 1-2 고굴절 투명박막층(Nb2O5, 110-2), 제 1-2 산화물층(ITO, 112-2), 제 1-2 금속박막층(Ag, 114-2) 및 제 2-2 산화물층(ITO, 116-2)으로 이루어진다. The second repeating film 102-2 is formed on the 2-1 oxide layer 116-1, the 1-2 high refractive index thin film layers Nb 2 O 5 , 110-2, and the 1-2 oxide layer ( ITO, 112-2), 1-2 metal thin film layers (Ag, 114-2) and 2-2 oxide layers (ITO, 116-2).

이러한 구조의 PDP 필터를 제조하는 공정을 살펴보면, 고굴절 투명박막층(110-2 또는 104)은 산소 분위기에서 반응성 성막법을 사용함에 의해 형성된다. 다만, 이 공정에서 다량의 산소 가스가 사용된다. 이 경우, 고굴절 투명박막층(110-2 또는 104)이 해당 금속박막층(114-1 또는 114-2) 상에 직접적으로 코팅되면, 금속박막층(114-1 또는 114-2)의 전기 전도도가 상기 산소 가스에 의해 열화될 수 있었다. 따라서, 종래의 PDP 필터는 투명박막층(110-2 또는 104)과 해당 금속박막층(114-1 또는 114-2) 사이에 제 2 산화물층(116-1 또는 116-2)을 형성하여, 상기 산소 가스로부터 금속박막층(114-1 또는 114-2)을 보호하였다. 그러나, 제 2 산화물층(116-1 또는 116-2)으로 인하여 상기 PDP 필터의 두께가 두꺼워졌으며, 그 결과 상기 PDP 필터의 광투과율이 저하될 뿐만 아니라 제조 비용이 상승하고 제조 공정 시간이 증가되는 단점이 있었다.Looking at the process of manufacturing a PDP filter having such a structure, the high refractive index transparent film layer (110-2 or 104) is formed by using a reactive film forming method in an oxygen atmosphere. However, a large amount of oxygen gas is used in this process. In this case, when the high refractive transparent thin film layer 110-2 or 104 is directly coated on the metal thin film layer 114-1 or 114-2, the electrical conductivity of the metal thin film layer 114-1 or 114-2 is the oxygen. Could be degraded by gas. Therefore, in the conventional PDP filter, the second oxide layer 116-1 or 116-2 is formed between the transparent thin film layer 110-2 or 104 and the metal thin film layer 114-1 or 114-2, and the oxygen The metal thin film layer 114-1 or 114-2 was protected from the gas. However, the thickness of the PDP filter is increased due to the second oxide layer 116-1 or 116-2. As a result, not only the light transmittance of the PDP filter is lowered, but also the manufacturing cost is increased and the manufacturing process time is increased. There was a downside.

고굴절 투명박막층들(110-1, 110-2 및 104)을 살펴보면, 고굴절 투명박막층들(110-1, 110-2 및 104)은 모두 동일한 두께를 가지고 형성된다. 이러한 구조의 PDP 필터에 대한 반사 특성 및 반사색상 특성을 실험적으로 측정하면, 저반사 영역(반사율 약 8% 이하)의 파장 구간이 상당히 좁게 형성되었으며, PDP 패널의 경사에 따라 반사색상이 많이 변화되었다. 즉, 상기 PDP 필터의 저반사 특성 및 반사 색상 특성이 떨어지는 문제점이 있었다. Referring to the high refractive transparent thin film layers 110-1, 110-2, and 104, the high refractive transparent thin film layers 110-1, 110-2, and 104 are formed to have the same thickness. When experimentally measuring the reflection characteristics and the reflection color characteristics of the PDP filter having such a structure, the wavelength range of the low reflection region (reflectance of about 8% or less) was formed to be quite narrow, and the reflection color changed much according to the inclination of the PDP panel. . That is, the low reflection characteristics and the reflection color characteristics of the PDP filter are inferior.

본 발명의 일 목적은 광투과율을 향상시키기 위하여 추가적인 산화물층을 형성하지 않는 구조를 가지는 PDP 필터를 제공하는 것이다.One object of the present invention is to provide a PDP filter having a structure that does not form an additional oxide layer in order to improve light transmittance.

본 발명의 다른 목적은 저반사 특성 및 반사색상 특성을 개선하기 위하여 고굴절 투명박막층들 중 중간의 고굴절 투명박막층의 두께가 최하부의 고굴절 투명박막층의 두께와 최상부의 고굴절 투명박막층의 두께의 합보다 크게 설정된 PDP 필터를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to set the thickness of the middle high refractive index thin film layer among the high refractive index transparent thin film layer to be greater than the sum of the thickness of the lowermost high refractive index transparent thin film layer and the thickness of the uppermost high refractive index transparent thin film layer in order to improve the low reflection characteristics and the reflective color characteristics. It is to provide a PDP filter.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP 필터는 투명 기판; 상기 투명 기판 위에 배열되며, 제 1 고굴절 투명박막층, 제 1 산화물층 및 금속박막층을 가지는 적어도 하나의 반복막; 및 상기 반복막 위에 배열된 제 2 고굴절 투명박막층을 포함한다. 여기서, 상기 제 1 고굴절 투명박막층은 이산화티타늄(TiO2)로 이루어지며, 상기 이산화티타늄(TiO2)은 TiOX (x=1.5~1.99) 타겟을 사용하여 산소 분위기에서 형성된다. In order to achieve the above object, a PDP filter according to an embodiment of the present invention is a transparent substrate; At least one repeating layer arranged on the transparent substrate and having a first high refractive index transparent thin film layer, a first oxide layer and a metal thin film layer; And a second high refractive index transparent thin film layer arranged on the repeating film. Here, the first high refractive index transparent thin film layer is made of titanium dioxide (TiO 2 ), the titanium dioxide (TiO 2 ) is formed in an oxygen atmosphere using a TiO X (x = 1.5 ~ 1.99) target.

본 발명의 일 실시예에 따른 PDP 필터에서 고굴절 투명박막층을 TiOX (x=1.5~1.99) 타겟을 사용하여 소량의 산소 분위기에서 형성하므로, 상기 고굴절 투명박막층과 해당 금속층 사이에 별도의 산화물층을 형성하지 않아도 된다. 따라 서, 상기 PDP 필터의 두께가 얇아질 수 있어서 광투과율이 향상되며, 상기 PDP 필터의 제조 단가 및 시간이 감소할 수 있는 장점이 있다. In the PDP filter according to the embodiment of the present invention, since the high refractive index transparent thin film layer is formed in a small amount of oxygen using TiO X (x = 1.5 to 1.99) target, a separate oxide layer is formed between the high refractive index transparent thin film layer and the metal layer. It does not have to be formed. Therefore, the thickness of the PDP filter can be thin, so that the light transmittance is improved, and the manufacturing cost and time of the PDP filter can be reduced.

본 발명의 다른 실시예에 따른 PDP 필터에서 고굴절 투명박막층들 중 중간에 위치하는 고굴절 투명박막층의 두께가 최하부의 고굴절 투명박막층의 두께와 최상부의 고굴절 투명박막층의 두께의 합보다 크게 형성되므로, 상기 PDP 필터의 저반사 특성 및 반사색상 특성이 개선될 수 있다. In the PDP filter according to another embodiment of the present invention, since the thickness of the high refractive transparent thin film layer positioned in the middle of the high refractive transparent thin film layers is formed to be greater than the sum of the thickness of the lowermost high refractive transparent thin film layer and the uppermost high refractive transparent thin film layer, The low reflection and reflective color characteristics of the filter can be improved.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. As the invention allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the written description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. When a component is referred to as being "connected" or "connected" to another component, it may be directly connected to or connected to that other component, but it may be understood that other components may be present in between. Should be. On the other hand, when a component is said to be "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that there is no other component in between.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것 으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 자세히 설명하도록 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP 필터를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a PDP filter according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 실시예의 PDP 필터는 PDP 패널로부터 발생되는 전자파 및 근적외선 등을 차단하는 소자로서, 순차적으로 배열된 투명 기판(200), 적어도 하나의 반복막(202) 및 제 2 고굴절 투명박막층(204)을 포함한다. Referring to FIG. 2, the PDP filter according to the present embodiment is an element that blocks electromagnetic waves and near infrared rays generated from a PDP panel, and includes a transparent substrate 200, at least one repeating film 202, and a second high refractive index transparent array. The thin film layer 204 is included.

투명 기판(200)은 가시광선에 대한 투과율이 우수한 물질로 이루어지며, 예를 들어 폴리에틸렌텔레프탈레이트(Poly ethylene terephthalate, PET) 등과 같은 플라스틱 필름층, 아크릴 수지 등으로 이루어진 플라스틱 시트 또는 디스플레이용으로 사용되는 반강화 유리 등으로 이루어질 수 있다. 이러한 투명 기판(200)은 80% 이상의 가시광선 투과율을 가지며, 내열성을 가지는 것이 바람직하다. The transparent substrate 200 is made of a material having excellent transmittance to visible light, for example, a plastic film layer such as polyethylene terephthalate (PET), a plastic sheet made of acrylic resin, or the like used for display Semi-tempered glass; The transparent substrate 200 has a visible light transmittance of 80% or more, and preferably has heat resistance.

반복막(202)은 실질적으로 전자파 및 근적외선 등을 차단하는 막으로서, 투명 기판(200) 위에 배열된다. 다만, 복수의 반복막들(202), 예를 들어 4개의 반복막들(202)이 투명 기판(200) 위에 순차적으로 배열될 수 있다. The repeating film 202 is a film that substantially blocks electromagnetic waves, near infrared rays, and the like, and is arranged on the transparent substrate 200. However, a plurality of repeating layers 202, for example four repeating layers 202, may be sequentially arranged on the transparent substrate 200.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 하나의 반복막(202)은 제 1 고굴절 투명박막층(210), 산화물층(212) 및 금속박막층(214)으로 이루어진다. According to one embodiment of the present invention, one repeating film 202 includes a first high refractive index transparent thin film layer 210, an oxide layer 212 and a metal thin film layer 214.

제 1 고굴절 투명박막층(210)은 투명 기판(200) 위에 배열되며, 고굴절 특징을 가지면서 가시광선에 대한 투과율이 우수한 산화물로 이루어진다. 바람직하게는, 제 1 고굴절 투명박막층(210)은 지구상에 많이 존재하고 값이 싸면서 우수한 광학 특성을 가지는 이산화티타늄(TiO2)으로 이루어진다. 여기서, 제 1 고굴절 투명박막층(210)은 약 10㎚ 내지 약 35㎚의 두께를 가질 수 있다. 물론, 제 1 고굴절 투명박막층(210)은 고굴절 특징을 가지면서 높은 투명성을 가지는 한 특정 물질로 제한되지는 않으며, SnO2 등과 물질로 이루어질 수도 있다. The first high refractive index transparent thin film layer 210 is arranged on the transparent substrate 200 and is made of an oxide having high refractive index and excellent transmittance to visible light. Preferably, the first high refractive index transparent thin film layer 210 is made of titanium dioxide (TiO 2 ), which exists a lot on the earth and is inexpensive and has excellent optical properties. Here, the first high refractive index transparent thin film layer 210 may have a thickness of about 10nm to about 35nm. Of course, the first high refractive transparent thin film layer 210 is not limited to a specific material as long as it has high refractive characteristics and high transparency, and may be made of SnO 2 or the like material.

본 발명의 일 실시예에 따르면, TiO2로 이루어진 제 1 고굴절 투명박막층(210)은 산화물 타겟(target), 즉 TiOX (x=1.5~1.99) 타겟을 사용하여 산소 분위기에서 코팅함에 의해 형성될 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하겠다. According to an embodiment of the present invention, the first high refractive index transparent thin film layer 210 made of TiO 2 may be formed by coating in an oxygen atmosphere using an oxide target, that is, a TiO X (x = 1.5 to 1.99) target. Can be. Detailed description thereof will be described later.

산화물층(212)은 금속박막층(214)과의 굴절률 차에 의해 금속박막층(214)의 가시광 반사를 방지하는 역할을 수행하며, 가시광에 대한 높은 투명도를 가진다. 이러한 산화물층(212)은 인듐, 티탄, 지르코늄, 알루미늄, 주석, 아연 등의 금속 산화물 또는 이들 금속 산화물들의 혼합물 등으로 이루어질 수 있다. The oxide layer 212 serves to prevent visible light reflection of the metal thin film layer 214 by the difference in refractive index with the metal thin film layer 214, and has a high transparency to visible light. The oxide layer 212 may be made of a metal oxide such as indium, titanium, zirconium, aluminum, tin, zinc, or a mixture of these metal oxides.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 산화물층(212)은 성막 속도가 빠르고 금속박막층(214)과의 밀착성 등이 우수한 AZO 또는 ITO로 이루어질 수 있다. 다만, ITO의 원료물질은 인듐(In)의 생산단가가 높고 플라즈마에 노출되는 경우 열화되어 특성이 변화되므로, 단가가 저렴하면서 플라즈마에 대한 내구성이 우수한 AZO가 산화물층(212)의 재료로 사용되는 것이 바람직하다. According to an embodiment of the present invention, the oxide layer 212 may be made of AZO or ITO having a high film forming speed and excellent adhesion to the metal thin film layer 214. However, since the raw material of ITO has a high production cost of indium (In) and deteriorates when it is exposed to plasma, its properties change, so that AZO is used as the material of the oxide layer 212 with low cost and excellent durability against plasma. It is preferable.

또한, 산화물층(212)은 약 0.3㎚ 내지 약 0.7㎚의 두께를 가진다. Further, oxide layer 212 has a thickness of about 0.3 nm to about 0.7 nm.

금속박막층(214)은 접지 역할을 수행하는 커버(미도시) 등에 연결되어 PDP 패널로부터 발생되는 전자파 등을 차단시키며, 따라서 전도성이 우수한 은 또는 은을 함유한 합금으로 이루어진다. 이러한 금속박막층(214)은 약 1㎚ 내지 약 1.3㎚의 두께를 가질 수 있다. The metal thin film layer 214 is connected to a cover (not shown) which serves as a ground and blocks electromagnetic waves generated from the PDP panel, and thus is made of silver or an alloy containing silver having excellent conductivity. The metal thin film layer 214 may have a thickness of about 1 nm to about 1.3 nm.

제 2 고굴절 투명박막층(204)은 금속박막층(214) 상에 형성되며, TiO2로 이루어질 수 있다. 여기서, TiO2로 이루어진 제 2 고굴절 투명박막층(204)은 산화물 타겟, 즉 TiOX (x=1.5~1.99) 타겟을 사용하여 산소 분위기에서 코팅함에 의해 형성될 수 있다. 여기서, 제 2 고굴절 투명박막층(204)은 약 10㎚ 내지 약 35㎚의 두께를 가진다.The second high refractive index transparent thin film layer 204 is formed on the metal thin film layer 214 and may be made of TiO 2 . Here, the second high refractive index transparent thin film layer 204 made of TiO 2 may be formed by coating in an oxygen atmosphere using an oxide target, that is, a TiO X (x = 1.5 to 1.99) target. Here, the second high refractive transparent thin film layer 204 has a thickness of about 10 nm to about 35 nm.

종래 PDP 필터를 제조하는 공정에서는, 고굴절 투명박막층(Nb2O5)을 코팅하 는 과정에서 대량의 산소 가스가 사용되므로, 상기 산소 가스로 인하여 금속박막층(Ag)의 전기 전도도가 열화될 수 있어서 고굴절 투명박막층(Nb2O5)을 형성하기 전에 금속박막층(Ag) 위에 산화물층(ITO)을 더 형성하였다. 즉, 산화물층(ITO)은 금속박막층(Ag)의 전기 전도도의 열화를 방지하는 역할을 수행하였다. In the process of manufacturing a conventional PDP filter, since a large amount of oxygen gas is used in the process of coating the high refractive transparent thin film layer (Nb 2 O 5 ), the electrical conductivity of the metal thin film layer (Ag) may be degraded due to the oxygen gas Before forming the high refractive transparent thin film layer (Nb 2 O 5 ), an oxide layer (ITO) was further formed on the metal thin film layer (Ag). That is, the oxide layer ITO serves to prevent degradation of the electrical conductivity of the metal thin film layer Ag.

그러나, 본 발명의 PDP 필터를 제조하는 공정에서는, 산화 상태를 유지하지만 전기가 통할 수 있는 수준의 전도도를 가지는 타켓, 즉 TiOX (x=1.5~1.99) 타겟을 이용하므로, 대량으로 산소를 투입하지 않고도 제 2 고굴절 투명박막층(204)을 형성할 수 있다. 상세하게는, 종래의 고굴절 투명박막층을 형성할 때에는 아르곤과 산소 가스가 각기 약 200sccm 사용되었으나, 본 발명의 제 2 고굴절 투명박막층(204)을 형성할 때에는 아르곤이 약 200sccm 이 사용될 때 산소 가스는 약 5sccm(아르곤 대비 약 2.5%)이 사용될 수 있다. 즉, 제 2 고굴절 투명박막층(204)을 형성하기 위하여 적은 양의 산소 가스만이 사용된다. 결과적으로, 제 2 고굴절 투명박막층(204)을 형성하는 과정에서 금속박막층(Ag)의 전기 전도도가 거의 열화되지 않으며, 따라서 종래 기술에서와 달리 금속박막층(214)과 제 2 고굴절 투명박막층(204) 사이에 별도의 산화물층이 존재하지 않아도 된다. However, in the process of manufacturing the PDP filter of the present invention, since a target that maintains an oxidation state but has a conductivity level, that is, electricity, that is, a TiO X (x = 1.5 to 1.99) target, oxygen is added in a large amount. It is possible to form the second high refractive transparent thin film layer 204 without having to. Specifically, when the high refractive index transparent thin film layer of the conventional argon and oxygen gas was used about 200sccm, respectively, when forming the second high refractive index transparent thin film layer 204 of the present invention, the oxygen gas is about 200sccm 5 sccm (about 2.5% of argon) may be used. That is, only a small amount of oxygen gas is used to form the second high refractive transparent thin film layer 204. As a result, the electrical conductivity of the metal thin film layer Ag is hardly deteriorated in the process of forming the second high refractive transparent thin film layer 204, and thus, unlike the prior art, the metal thin film layer 214 and the second high refractive transparent thin film layer 204 There is no need for a separate oxide layer in between.

요컨대, 본 발명의 PDP 필터는 TiOX (x=1.5~1.99) 타겟을 사용하여 고굴절 투명박막층(204)을 형성한다. 결과적으로, 금속박막층(214)과 제 2 고굴절 투명박막층(204) 사이에 별도의 산화물층이 형성되지 않아도 된다. 따라서, 본 발명의 PDP 필터의 두께가 종래의 PDP 필터보다 얇게 형성될 수 있으며, 그 결과 상기 PDP 필터의 광투과율이 향상될 수 있다. 또한, 추가적인 산화물층이 요구되지 않으므로, 타켓 비용, 즉 제조 비용이 절감될 뿐만 아니라 증착 공정도 간소화될 수 있다. In short, the PDP filter of the present invention forms a high refractive index transparent thin film layer 204 using a TiO X (x = 1.5 to 1.99) target. As a result, a separate oxide layer does not need to be formed between the metal thin film layer 214 and the second high refractive index transparent thin film layer 204. Therefore, the thickness of the PDP filter of the present invention can be formed thinner than the conventional PDP filter, and as a result, the light transmittance of the PDP filter can be improved. In addition, since no additional oxide layer is required, not only the target cost, that is, the manufacturing cost, but also the deposition process can be simplified.

위 도 2에서는, 하나의 반복막(202)만을 도시하였으나, 복수의 반복막들(202)이 투명 기판(200) 위에 순차적으로 배열될 수 있다. 이 경우에도, 고굴절 투명박막층 형성시 TiOX (x=1.5~1.99) 타겟을 사용하므로, 반복막(202) 내에서 상기 고굴절 투명박막층과 그 하부의 금속박막층 사이에 별도의 산화물층을 형성하지 않을 수 있다. 또한, 반복막들(202) 중 일부 고굴절 투명박막층은 다른 고굴절 투명박막층 또는 제 2 고굴절 투명박막층(204)의 두께와 다른 두께를 가질 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 첨부된 도면을 참조하여 후술하겠다. In FIG. 2, only one repeating film 202 is illustrated, but a plurality of repeating films 202 may be sequentially arranged on the transparent substrate 200. Even in this case, since the TiO X (x = 1.5 to 1.99) target is used to form the high refractive transparent thin film layer, a separate oxide layer is not formed between the high refractive transparent thin film layer and the lower metal thin film layer in the repeating film 202. Can be. In addition, some of the high refractive index transparent thin film layers of the repeating layers 202 may have a thickness different from that of the other high refractive index transparent thin film layer or the second high refractive index transparent thin film layer 204. Detailed description thereof will be described later with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 4개의 금속박막층들을 포함하는 PDP 필터를 도시한 단면도이고, 도 4는 도 3의 PDP 필터에 대한 광투과율 그래프를 도시한 도면이다. 3 is a cross-sectional view illustrating a PDP filter including four metal thin film layers according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a diagram illustrating a light transmittance graph of the PDP filter of FIG. 3.

도 3을 참조하면, 본 실시예의 PDP 필터는 순차적으로 적층된 투명 기판(300), 제 1 반복막(302-1), 제 2 반복막(302-2), 제 3 반복막(302-3), 제 4 반복막(302-4) 및 제 2 고굴절 투명박막층(304)을 포함한다. Referring to FIG. 3, the PDP filter of the present embodiment may include a transparent substrate 300, a first repeating film 302-1, a second repeating film 302-2, and a third repeating film 302-3 sequentially stacked. ), A fourth repeating film 302-4, and a second high refractive index transparent thin film layer 304.

제 1 반복막(302-1)은 투명 기판(300) 위에 순차적으로 적층된 제 1-1 고굴절 투명박막층(310-1), 제 1-1 산화물층(312-1) 및 제 1-1 금속박막층(314-1)으로 이루어진다. The first repeating film 302-1 is a 1-1 high refractive index transparent film layer 310-1, a 1-1 oxide layer 312-1, and a 1-1 metal sequentially stacked on the transparent substrate 300. The thin film layer 314-1 is formed.

제 2 반복막(302-2)은 제 1-1 금속박막층(314-1) 위에 순차적으로 적층된 제 1-2 고굴절 투명박막층(310-2), 제 1-2 산화물층(312-2) 및 제 1-2 금속박막층(314-2)으로 이루어진다. The second repeating film 302-2 is the first 1-2 high refractive transparent film layer 310-2 and the 1-2 oxide layer 312-2 sequentially stacked on the 1-1 metal thin film layer 314-1. And the first 1-2 metal thin film layer 314-2.

제 3 반복막(302-3)은 제 1-2 금속박막층(314-2) 위에 순차적으로 적층된 제 1-3 고굴절 투명박막층(310-3), 제 1-3 산화물층(312-3) 및 제 1-3 금속박막층(314-3)으로 이루어진다. The third repeating film 302-3 is a first high refractive index thin film layer 310-3 and a third oxide layer 312-3 that are sequentially stacked on the first metal thin film layer 314-2. And the first metal thin film layer 314-3.

제 4 반복막(302-4)은 제 1-3 금속박막층(314-3) 위에 순차적으로 적층된 제 1-4 고굴절 투명박막층(310-4), 제 1-4 산화물층(312-4) 및 제 1-4 금속박막층(314-4)으로 이루어진다. The fourth repeating film 302-4 is the first to fourth high refractive index transparent film layers 310-4 and the first-4 oxide layer 312-4 stacked on the first to third metal thin film layers 314-3. And a first-4 metal thin film layer 314-4.

이러한 구조의 PDP 필터에서, 제 1-1 고굴절 투명박막층(310-1)은 25㎚의 두께를 가지고, 제 1-1 산화물층(312-1)은 0.5㎚의 두께를 가지며, 제 1-1 금속박막층(314-1)은 1㎚의 두께를 가지도록 설정된다. 또한, 제 1-2 고굴절 투명박막층(310-2)은 55㎚의 두께를 가지고, 제 1-2 산화물층(312-2)은 0.5㎚의 두께를 가지며, 제 1-2 금속박막층(314-2)은 1㎚의 두께를 가지도록 설정된다. 게다가, 또한, 제 1-3 고굴절 투명박막층(310-3)은 55㎚의 두께를 가지고, 제 1-3 산화물층(312-3)은 0.5㎚의 두께를 가지며, 제 1-3 금속박막층(314-3)은 1㎚의 두께를 가지도록 설정된다. 더욱이, 또한, 제 1-4 고굴절 투명박막층(310-4)은 55㎚의 두께를 가지고, 제 1-4 산화물층(312-4)은 0.5㎚의 두께를 가지며, 제 1-4 금속박막층(314-4)은 1㎚의 두께를 가지고, 제 2 고굴절 투명박막층(304)은 25㎚의 두께를 가지도록 설정된다. In the PDP filter having such a structure, the 1-1 high refractive index transparent thin film layer 310-1 has a thickness of 25 nm, the 1-1 oxide layer 312-1 has a thickness of 0.5 nm, and the 1-1 The metal thin film layer 314-1 is set to have a thickness of 1 nm. In addition, the 1-2 high refractive index thin film layer 310-2 has a thickness of 55nm, the 1-2 oxide layer 312-2 has a thickness of 0.5nm, the 1-2 metal thin film layer 314- 2) is set to have a thickness of 1 nm. Furthermore, the 1-3 high refractive index thin film layer 310-3 has a thickness of 55 nm, the 1-3 oxide layer 312-3 has a thickness of 0.5 nm, and the 1-3 metal thin film layer ( 314-3) is set to have a thickness of 1 nm. Furthermore, the 1-4th high refractive index transparent thin film layer 310-4 has a thickness of 55 nm, the 1-4 oxide layer 312-4 has a thickness of 0.5 nm, and the 1-4 metal thin film layer ( 314-4) has a thickness of 1 nm, and the second high refractive index transparent thin film layer 304 is set to have a thickness of 25 nm.

이러한 두께로 설정한 후 광투과율을 측정한 결과 도 4에 도시된 바와 같이 가시광선 영역, 특히 약 500㎚ 파장 부근에서 높은 광투과율을 획득하였다. 종래와 비교할 때, 종래의 PDP 필터에서는 550㎚ 파장에서 약 80%의 광투과율이 획득되는 반면에, 본 실시예의 PDP 필터에서는 550㎚ 파장에서 약 85%의 광투과율을 획득하였다. 즉, 본 실시예의 PDP 필터의 광투과율이 종래의 PDP 필터의 광투과율보다 높아질 수 있다. As a result of measuring the light transmittance after setting to such a thickness, as shown in FIG. Compared with the prior art, about 80% light transmittance is obtained at 550 nm wavelength in the conventional PDP filter, while about 85% light transmittance is obtained at the 550 nm wavelength in the PDP filter of this embodiment. That is, the light transmittance of the PDP filter of the present embodiment can be higher than the light transmittance of the conventional PDP filter.

위의 PDP 필터 구조를 다시 살펴보면, 제 1-2 고굴절 투명박막층(310-2), 제 1-3 고굴절 투명박막층(310-3) 또는 제 1-4 고굴절 투명박막층(310-4)의 두께(55㎚)는 제 1-1 고굴절 투명박막층(301-1)의 두께(25㎚)와 제 2 고굴절 투명박막층(304)의 두께 합(㎚)보다 크다는 것이 확인된다. 이렇게 두께를 설정하면, 저반사 영역(반사율 약 8% 이하)의 파장 구간이 더 넓어지고 PDP 패널의 경사와 관계없이 반사색상의 변화가 거의 일어나지 않았다. 즉, PDP 필터의 저반사 특성 및 반사색상 특성이 개선될 수 있다. Looking back at the PDP filter structure, the thickness of the 1-2 high refractive index transparent thin film layer 310-2, 1-3 high refractive index transparent thin film layer 310-3 or 1-4 high refractive index transparent thin film layer 310-4 ( 55 nm) is confirmed to be larger than the thickness (25 nm) of the 1-1 high refractive index transparent thin film layer 301-1 and the thickness (nm) of the 2nd high refractive index transparent thin film layer 304. FIG. When the thickness is set in this way, the wavelength range of the low reflection region (reflectance of about 8% or less) is wider, and the change in the reflection color hardly occurs regardless of the inclination of the PDP panel. That is, the low reflection characteristic and the reflection color characteristic of the PDP filter can be improved.

위의 도 2 및 도 3에서 도시하지는 않았지만, 투명 기판(200 또는 300)의 하부에 색보정막, 근적외선 차폐막 및 반사방지막 등이 더 형성될 수도 있다. Although not shown in FIGS. 2 and 3 above, a color correction film, a near-infrared shielding film, and an anti-reflection film may be further formed under the transparent substrate 200 or 300.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 PDP 필터를 도시한 단면도이다. 5 is a cross-sectional view illustrating a PDP filter according to another embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 실시예의 PDP 필터는 순차적으로 적층된 투명 기판(500), 제 1 반복막(502-1), 제 2 반복막(502-2) 및 제 2 고굴절 투명박막층(504)을 포함한다. Referring to FIG. 5, the PDP filter of the present embodiment may include a transparent substrate 500, a first repeating film 502-1, a second repeating film 502-2, and a second high refractive index transparent film layer 504 sequentially stacked. It includes.

제 1 반복막(502-1)은 제 1-1 고굴절 투명박막층(510-1), 제 1-1 산화물 층(512-1), 제 1-1 금속박막층(514-1) 및 제 2-1 산화물층(516-1)으로 이루어진다. The first repeating film 502-1 includes the first-1 high refractive index transparent film layer 510-1, the first-1 oxide layer 512-1, the first-1 metal thin film layer 514-1, and the second-second film. 1 oxide layer 516-1.

제 2 반복막(502-2)은 제 1-2 고굴절 투명박막층(510-2), 제 1-2 산화물층(512-2), 제 1-2 금속박막층(514-2) 및 제 2-2 산화물층(516-2)으로 이루어진다. The second repeating film 502-2 includes the 1-2 high refractive index thin film layer 510-2, the 1-2 oxide layer 512-2, the 1-2 metal thin film layer 514-2, and the 2-second film. 2 oxide layer 516-2.

즉, 금속박막층(514-1 또는 514-2)과 고굴절 투명박막층(510-2 또는 504) 사이에 제 2 산화물층(516-1 또는 516-2)이 형성될 수 있다. 여기서, 고굴절 투명박막층(510-1, 510-2 또는 504) 형성시 TiOX (x=1.5~1.99) 타겟을 사용하므로, 제 2 산화물층(516-1 또는 516-2)은 형성되더다도 최대한 얇게 형성될 수 있다. That is, the second oxide layer 516-1 or 516-2 may be formed between the metal thin film layer 514-1 or 514-2 and the high refractive index transparent thin film layer 510-2 or 504. Here, since the TiO X (x = 1.5 to 1.99) target is used to form the high refractive index thin film layer 510-1, 510-2, or 504, the second oxide layer 516-1 or 516-2 is formed as much as possible. It can be formed thin.

상기한 본 발명의 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다. The embodiments of the present invention described above are disclosed for purposes of illustration, and those skilled in the art having ordinary knowledge of the present invention may make various modifications, changes, and additions within the spirit and scope of the present invention. Should be considered to be within the scope of the following claims.

도 1은 일반적인 PDP 필터를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a general PDP filter.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 PDP 필터를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a PDP filter according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 4개의 금속박막층들을 포함하는 PDP 필터를 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a PDP filter including four metal thin layers according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 PDP 필터에 대한 광투과율 그래프를 도시한 도면이다.4 is a diagram illustrating a light transmittance graph for the PDP filter of FIG. 3.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 PDP 필터를 도시한 단면도이다. 5 is a cross-sectional view illustrating a PDP filter according to another embodiment of the present invention.

Claims (5)

투명 기판;Transparent substrates; 상기 투명 기판 위에 배열되며, 제 1 고굴절 투명박막층, 제 1 산화물층 및 금속박막층을 가지는 적어도 하나의 반복막; 및At least one repeating layer arranged on the transparent substrate and having a first high refractive index transparent thin film layer, a first oxide layer and a metal thin film layer; And 상기 반복막 위에 배열된 제 2 고굴절 투명박막층을 포함하되,Including a second high refractive index transparent thin film layer arranged on the repeating film, 상기 제 1 고굴절 투명박막층은 이산화티타늄(TiO2)로 이루어지며, 상기 이산화티타늄(TiO2)은 TiOX (x=1.5~1.99) 타겟을 사용하여 산소 분위기에서 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 필터. The first high refractive index thin film layer is made of titanium dioxide (TiO 2 ), the titanium dioxide (TiO 2 ) is formed in an oxygen atmosphere using a TiO X (x = 1.5 ~ 1.99) target plasma display panel (PDP) filter. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 산화물층은 산화 아연(AZO)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 PDP 필터. The PDP filter according to claim 1, wherein the first oxide layer is made of zinc oxide (AZO). 제 1 항에 있어서, 상기 반복막은,The method of claim 1, wherein the repeating film, 상기 투명 기판 위에 순차적으로 배열된 제 1-1 고굴절 투명박막층, 제 1-1 산화물층 및 제 1-1 금속박막층; 및A 1-1 high refractive index transparent thin film layer, a 1-1 oxide layer and a 1-1 metal thin film layer sequentially arranged on the transparent substrate; And 상기 제 1-1 금속박막층 위에 순차적으로 배열된 제 1-2 고굴절 투명박막층, 제 1-2 산화물층 및 제 1-2 금속박막층을 포함하되,Including the 1-2 high refractive index thin film layer, the 1-2 oxide layer and the 1-2 metal thin film layer sequentially arranged on the 1-1 metal thin film layer, 상기 제 1-2 고굴절 투명박막층의 두께는 상기 제 1-1 고굴절 투명박막층의 두께와 상기 제 2 고굴절 투명 박막층의 두께의 합보다 큰 것을 특징으로 하는 PDP 필터. The thickness of the 1-2 high refractive index transparent thin film layer is a PDP filter, characterized in that greater than the sum of the thickness of the 1-1 high refractive index transparent thin film layer and the thickness of the second high refractive index transparent thin film layer. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 고굴절 투명박막층은 상기 제 1 고굴절 투명박막층과 다른 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 PDP 필터. The PDP filter according to claim 1, wherein the second high refractive transparent thin film layer is made of a different material from the first high refractive transparent thin film layer. 제 1 항에 있어서, 상기 반복막은 상기 제 1 고굴절 투명박막층, 상기 제 1 산화물층 및 상기 금속박막층 외에 상기 금속박막층 위에 배열되는 제 2 산화물층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 PDP 필터. The PDP filter according to claim 1, wherein the repeating film further comprises a second oxide layer arranged on the metal thin film layer in addition to the first high refractive index transparent thin film layer, the first oxide layer, and the metal thin film layer.
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