KR20100028292A - 클린룸의 글래스 기판 냉각 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 클린룸 내에서 컨베이어에 놓인 글래스 기판의 냉각을 위해 제공되는 것으로서,상기 컨베이어를 따라 글래스 기판이 이동되는 작업 챔버에 제공되며,상기 컨베이어의 상부에서 글래스 기판을 향하여 냉각 공기를 토출하여 글래스 기판을 냉각하는 냉각공기 토출장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 글래스 기판 냉각 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 냉각공기 토출장치는 적어도 하나의 디퓨져 또는 노즐로 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 글래스 기판 냉각 시스템.
- 제 2 항에 있어서,상기 디퓨져 또는 노즐은 글래스 기판의 폭 방향으로 배치되는 제 1 디퓨져 또는 노즐; 및상기 제 1 디퓨져 또는 노즐의 글래스 진행 방향 뒤쪽으로, 상기 글래스 기판의 진행 방향을 따라 중심부에 배치되는 제 2 디퓨져 또는 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 글래스 기판 냉각 시스템.
- 제 2 항에 있어서,클린룸의 액세스 플로어 하부로 배치되며, 냉매의 유입관 및 유출관이 연결되며, 상기 클린룸 액세스 플로어 하부 공기를 유입하여 상기 냉매와 열교환을 통해 냉각하는 냉각부와, 상기 냉각부에 의해 냉각된 공기를 토출압으로 토출하는 팬부 및 여과필터가 설치된 필터부를 포함하는 냉각기; 및상기 냉각기로부터 제공되는 냉각기가 유동하는 경로로서 상기 액세스 플로어를 통과하여 클린룸 내부로 연장하고, 글래스 기판이 이동되는 작업 챔버 상부로 연장되어 상기 냉각공기 토출장치가 연결되는 에어 덕트를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 글래스 기판 냉각 시스템.
- 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 글래스 기판이 상기 디퓨져 또는 노즐이 설치되어 냉각이 이루어지는 위치로 진입하는 것을 감지하기 위한 감지센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 글래스 기판 냉각 시스템.
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