KR20100027842A - 전기수력학적 분무방식의 미세 전도성라인 패터닝 장치 및이를 이용한 패터닝 방법 - Google Patents
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- 전도성 입자가 포함된 용액(2)을 수력학적 압력에 의해 분무하는 노즐(10);상기 노즐(10)과 상기 노즐(10)에서 분무된 용액(2)이 패터닝되는 패터닝대상물(1) 사이에 위치되는 중간전극(20); 및상기 노즐(10)과 중간전극(20)에 전위차를 두고 전압을 공급하는 전원공급장치(40);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 분무방식의 미세 전도성라인 패터닝 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 중간전극(20)은,상기 노즐(10)에서 분무된 용액(2)이 통과가능한 관통홀이 형성된 링 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 분무방식의 미세 전도성라인 패터닝 장치.
- 제1항에 있어서,직경 20nm의 실버나노 입자가 에틸렌글리콜에 5:1의 비율로 혼합된 잉크를 용액(20)으로 하며, 상기 노즐(10)이 140~860㎛의 내경을 가지고, 0.1~10㎕/min의 유량으로 용액(2)을 분무하는 경우,상기 전원공급장치(40)는 상기 용액(2)의 유량에 비례하여 상기 노즐(10)과 중간전극(20)에 1~10kv의 전위차를 부여하며, 상기 중간전극(20)은 상기 전위차에 비례하여 상기 패터닝대상물(1)과 10㎛~2mm의 간격을 두고 설치되는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 분무방식의 미세 전도성라인 패터닝 장치.
- 제1항에 있어서,상기 패터닝대상물(1)이 상면에 안착, 고정되며, 상기 패터닝대상물(1)을 지정경로로 이동시키며 정위치에 정지된 상태의 상기 노즐(10)에서 분사되는 용액(2)을 지정형상으로 패터닝시키는 스테이지;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 분무방식의 미세 전도성라인 패터닝 장치.
- 제1항에 있어서,상기 노즐(10)에서 분무되는 용액(2)과 상기 패터닝대상물(1)에 패터닝된 액적간의 전기적인 영향을 차단가능한 유전소재로 구성되어 상기 중간전극(20)과 패터닝대상물(1) 사이에 위치되는 유전체(30);를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 분무방식의 미세 전도성라인 패터닝 장치.
- 제5항에 있어서, 상기 유전체(30)는,상기 노즐(10)에서 분무된 용액(2)이 통과가능한 관통홀이 형성된 막 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 분무방식의 미세 전도성라인 패터닝 장치.
- 제5항에 있어서,직경 20nm의 실버나노 입자가 에틸렌글리콜에 5:1의 비율로 혼합된 잉크를 용액(20)으로 하며, 상기 노즐(10)이 140~860㎛의 내경을 가지고, 0.1~10㎕/min의 유량으로 용액(2)을 분무하는 경우,상기 전원공급장치(40)는 상기 용액(2)의 유량에 비례하여 상기 노즐(10)과 중간전극(20)에 1~10kv의 전위차를 부여하며, 상기 중간전극(20)은 상기 전위차에 비례하여 상기 패터닝대상물(1)과 10㎛~2mm의 간격을 두고 설치되고, 상기 유전체(30)는 상기 중간전극(20)과 0~1.99mm의 간격을 두고 설치되는 것을 특징으로 하는 전기수력학적 분무방식의 미세 전도성라인 패터닝 장치.
- 전도성 물질을 패터닝하는 방법에 있어서,전도성 입자가 포함된 용액(2)을 수력학적 압력에 의해 분무하는 용액분무단계;용액(2)을 분무하는 노즐(10)과 상기 노즐(10) 하측에 이격설치된 중간전극(20) 사이에 형성되는 전기장에 의해 상기 노즐(10)의 내경에 비해 보다 축소된 직경을 가지도록 상기 노즐(10) 하단에 맺힌 액적을 원뿔형상으로 변환시키는 전기장적용단계; 및상기 노즐(10)과 중간전극(20) 사이에 형성되는 전기장에 의해 축경된 액주를 상기 중간전극(20)을 통과하여 패터닝대상물(1)측으로 공급하며 패터닝을 수행하는 패터닝단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세 전도성라인 패터닝 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 전기장적용단계는,상기 노즐(10) 하단에 맺힌 액적이 원뿔형상으로 변환되도록 상기 노즐(10)과 중간전극(20)에 전위차를 두고 전압을 인가, 조정하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 전도성라인 패터닝 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 패터닝단계는,상기 노즐(10) 하단에 맺힌 액적이 원뿔형상으로 변환된 상태를 유지하면서 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 전도성라인 패터닝 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 패터닝단계는,상기 노즐(10)을 정위치에 유지하면서 용액(2)을 상기 패터닝대상물(1)측으로 분사시키고, 상기 패터닝대상물(1)을 지정경로로 이동시키면서 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 전도성라인 패터닝 방법.
- 제10항에 있어서, 상기 패터닝단계는,상기 중간전극(20)과 패터닝대상물(1) 사이에 설치된 유전체(30)에 의해 상기 노즐(10)에서 분무되는 용액(2)과 상기 패터닝대상물(1)에 패터닝된 액적간의 전기적인 영향이 차단된 상태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 전도성라인 패터닝 방법.
- 제12항에 있어서, 상기 패터닝단계는,상기 노즐(10)에서 분무되는 용액(2)이 링 형상의 상기 중간전극(20)과, 상기 중간전극(20)에 대응되는 위치에 관통홀이 형성된 막 형상의 유전체(30)를 순차 적으로 통과하며 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 전도성라인 패터닝 방법.
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