KR20100026103A - 임프린트 장치 - Google Patents

Abstract

평판표시소자용 기판 측에 식각 및 비식각 영역을 임프린트(imprint) 방식으로 간편하게 구분할 수 있는 임프린트 장치를 개시한다.

이러한 임프린트 장치는, 프레임과, 일정 크기의 챔버와 이 챔버를 개방 가능하게 차단하는 게이트를 구비하고 상기 프레임 내측에 위치하는 챔버케이스와, 기판을 로딩하는 로딩면을 구비하고 상기 챔버케이스 내부에 위치하는 스테이지와, 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 임프린트면을 구비하고 상기 스테이지 위쪽에 위치하는 스템프와, 상기 스템프와 기판이 서로 합착/분리되도록 상기 스테이지 또는 상기 스템프를 상/하로 이동시키는 임프린트용 구동부와, 상기 챔버케이스 외측에 배치되며 기판 측에 임프린트된 패턴들을 자외선으로 경화하기 위한 경화유니트 그리고, 상기 경화유니트를 상기 챔버케이스의 게이트를 통해 상기 챔버 내부/외부로 수평 이동시킬 수 있도록 상기 프레임 상에 설치되는 경화용 구동부를 포함한다.

식각 및 비식각 영역 구분, 임프린트(imprint) 작업, 경화유니트, 유브이 램프, 경화용 구동부, 로봇 아암(robot arm), 장치의 소형화, 경화 작업성 향상

Description

임프린트 장치{imprint apparatus}

본 발명은 평판표시소자용 기판 측에 식각 및 비식각 영역을 임프린트(imprint) 방식으로 간편하게 구분할 수 있으며, 특히 기판 측에 임프린트된 패턴의 경화 작업시 한층 향상된 작업성을 확보할 수 있는 임프린트 장치에 관한 것이다.

평판표시소자용 기판 측에 식각 및 비식각 영역을 구분하는 작업 방법으로는 임프린트(imprint) 방식이 널리 알려져 있으며 평판형의 스템프를 구비한 임프린트 장치가 사용된다.

상기 임프린트 장치의 일반적인 구조를 간략하게 설명하면, 챔버부와, 이 챔버부 내부에 위치하는 스템프와, 이 스템프와 합착/분리가 가능하게 기판을 로딩하는 스테이지와, 기판 측에 임프린트된 패턴을 유브이(U.V) 램프로 경화하는 경화부를 포함하여 이루어진다.

상기한 임프린트 장치로 기판 측에 패턴을 형성할 때 기판 측에 임프린트된 패턴을 상기 경화부로 균일하게 경화하는 작업이 중요하다.

상기 경화부는, 대체로 기판의 일측에서 타측을 향하여 유브이 램프를 수평 이동시키면서 자외선을 조사하는 스캔(scan) 경화 방식의 구조로 이루어진다.

즉, 상기한 스캔 경화 방식은, 상기 챔버부의 두 개의 챔버케이스(상부 챔버케이스 및 하부 챔버케이스)가 상/하 방향으로 분리될 때 이들 사이로 유브이 램프를 수평 이동시키면서 기판을 향하여 스캔 방식으로 자외선을 조사하는 것이다.

하지만, 상기와 같은 스캔 경화 방식의 경화부 구조에 의하면, 경화 작업 중에 다음과 같은 문제가 발생할 수 있다.

즉, 경화 작업시 상기 유브이 램프의 수평 이동이 가능하도록 챔버부의 상부 챔버케이스와, 하부 챔버케이스를 매번 분리/결합하는 과정을 거쳐야 하므로 공정이 복잡하고, 과다한 홀딩 시간이 발생될 수 있다.

이처럼, 경화 작업 중에 홀딩 시간이 과다하게 발생하면 기판을 연속으로 처리하기가 어려우므로 만족할 만한 작업성과 생산성을 기대할 수 없다.

그리고, 상기 두 개의 챔버케이스를 분리/결합하거나, 이들 사이를 가로지르는 방향으로 상기 유브이 램프를 이동시키기 위한 각종 구동장치(예: 모터, 실린더) 및 이송장치(예: 레일)들을 추가로 설치해야 하므로 구조가 복잡할 뿐만 아니라, 제작비가 과다하게 소요된다.

또한, 상기 챔버케이스 및 유브이 램프의 이동을 위한 공간을 상기 챔버부 주변에 별도로 확보해야 하므로 장치의 소형화를 실현하기 어렵다.

그리고, 상기 챔버부가 두 개의 챔버케이스로 구성되면, 이들의 결합면 사이에 틈새가 발생하여 안정적인 밀폐성을 유지하기 어렵다.

특히, 상기한 문제점들은 챔버부 사이즈가 크면 클수록 더욱 뚜렷하게 발생 하므로 상기와 같은 종래의 스캔 방식의 경화부 구조로는 기판 사이즈가 점차 대면적화 되어 가는 추세에 적극적으로 대응하기 어렵다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,

본 발명의 목적은, 특히 기판 측에 임프린트된 패턴들을 스캔 방식으로 간편하게 경화할 수 있는 임프린트 장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,

프레임;

일정 크기의 챔버와 이 챔버를 개방 가능하게 차단하는 게이트를 구비하고 상기 프레임 내측에 위치하는 챔버케이스;

기판을 로딩하는 로딩면을 구비하고 상기 챔버케이스 내부에 위치하는 스테이지와, 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 임프린트면을 구비하고 상기 스테이지 위쪽에 위치하는 스템프;

상기 스템프와 기판이 서로 합착/분리되도록 상기 스테이지 또는 상기 스템프를 상/하로 이동시키는 임프린트용 구동부;

상기 챔버케이스 외측에 배치되며 기판 측에 임프린트된 패턴들을 자외선으로 경화하기 위한 경화유니트;

상기 경화유니트를 상기 챔버케이스의 게이트를 통해 상기 챔버 내부/외부로 수평 이동시킬 수 있도록 상기 프레임 상에 설치되는 경화용 구동부;

를 포함하는 임프린트 장치를 제공한다.

이와 같은 본 발명은, 일체형의 챔버케이스 내부에서 스템프와 기판을 서로 합착/분리하면서 임프린트 방식으로 기판의 일면(레진층)에 패턴을 간편하게 형성할 수 있다.

그리고, 상기 일체형의 챔버케이스 외부에는 경화용 구동부에 의해 상기 챔버케이스의 게이트를 통과하면서 챔버 내/외부를 향하여 수평 이동이 가능하게 작동하는 경화유니트가 구비된다.

이와 같은 구조에 의하면, 기판 측에 임프린트된 패턴들을 향하여 스캔 방식으로 자외선을 조사하면서 간편하게 경화할 수 있다.

특히, 상기와 같이 일체형의 챔버케이스 일면(게이트)을 통해 상기 경화유니트를 이동시키면서 스캔 방식으로 경화하는 구조는 예를들어, 일정 크기로 분할 형성된 두 개의 챔버케이스 사이로 유브이 램프를 이동시키면서 스캔 방식으로 경화하는 종래의 구조와 비교할 때 다음과 같은 장점이 있다.

즉, 유브이 램프가 통과하기 위한 통로를 확보하기 위하여 두 개의 챔버케이스를 매번 분리/결합하지 않아도 되므로 경화 작업이 간단하고 이에 소요되는 시간을 대폭 줄일 수 있다.

더욱이, 두 개의 챔버케이스 사이를 가로지르는 방향으로 유브이 램프를 이동시키기 위한 이송용 주변장치(예: 이송레일)들을 설치하지 않아도 되므로 구조가 더욱 간단할 뿐만 아니라, 챔버케이스들의 분리/결합을 위한 이동 공간을 추가로 확보하지 않아도 되므로 장치의 소형화를 실현할 수 있다.

또한, 상기와 같은 일체형의 챔버케이스 구조에 의하면, 예를들어 챔버를 진공압 또는 대기압 상태로 전환할 때 케이스들의 결합 틈새를 통해 압력이 손실되는 것을 최대한 방지할 수 있는 밀폐성을 유지할 수 있다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.

본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.

따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면 부호 2는 프레임을 지칭한다.

상기 프레임(2)은 임프린트(imprint) 작업을 진행하기 위한 일종의 작업대 역할을 하는 것으로서, 여러 개의 금속바를 통상의 방법(용접, 볼팅)으로 연결 고정한 사각의 프레임체 형태로 이루어질 수 있다.

상기 프레임(2) 내측에는 챔버케이스(4)가 위치된다.

상기 챔버케이스(4)는 예를들어, 스테인레스 스틸과 같은 금속판으로 외부면이 형성되고, 이 외부면이 서로 연결 결합된 일체형의 박스 형태로 이루어진다.

상기 챔버케이스(4) 내부에는 일정 크기의 챔버(C)가 구비되며, 이 챔버(C) 는 기판(G)을 수용할 수 있는 크기로 형성된다.

그리고, 상기 챔버케이스(4)의 측면에는 도 1에서와 같이 게이트(D)가 설치된다.

상기 게이트(D)는 기판(G)이 수평하게 눕혀진 상태로 통과할 수 있는 크기를 갖도록 개구된 형태로 형성된다.

상기 게이트(D)는 예를들어, 통상의 셔터(shutter)가 상/하 방향 또는 좌/우 방향으로 슬라이드되면서 개폐되는 구조로 이루어질 수 있다.

상기 게이트(D)는 예를들어, 도 2에서와 같이 상기 챔버케이스(4) 측면에서 상/하로 이격된 두 군데 지점에 각각 형성하여 하부 게이트(D)는 기판(G)이나 후술하는 스템프(8)의 로딩/언로딩을 위한 통로로 사용하고, 상부 게이트(D)는 후술하는 경화유니트(10)의 통로로 사용할 수도 있다.

상기 챔버케이스(4)는 상기 프레임(2) 상에서 도 1에서와 같은 수평 프레임부(2a) 측에 바닥면이 얹혀진 상태로 고정 설치할 수 있다. 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 예를들어, 내부에 완충용 유체가 채워져서 충격이나 진동을 흡수할 수 있는 실린더 형태의 연결구를 이용하여 상기 챔버케이스(4)의 한 군데 이상의 지점이 상기 프레임(2) 측에 고정할 수도 있다.

그리고, 상기 챔버케이스(4)는 도 1에서와 같이 통상의 진공 펌프(P)와 연결되어 이 진공 펌프(P)의 펌핑에 의해 상기 챔버(C) 내부를 진공압 또는 대기압 분위기로 전환이 가능하게 이루어진다.

이와 같은 챔버케이스(4)의 구조에 의하면, 상기 챔버(C) 내부가 진공압 분 위기인 상태에서 기판(G)의 레진층(G1, 예: 감광성 수지)을 누르면서 임프린트 작업을 진행할 수 있다. 그러므로, 임프린트 작업을 진행할 때 합착면 사이에 미세 기포가 발생하는 것을 억제함과 아울러 간편하게 제거할 수 있다.

특히, 상기 챔버케이스(4)가 일체형의 박스 형태로 이루어지면, 예를들어 두 개의 챔버용 케이스에 의해 챔버를 형성하는 종래의 케이스와 비교할 때 구조가 간단할 뿐만 아니라, 챔버(C)를 진공압 상태로 전환할 때 한층 향상된 밀폐성을 유지할 수 있다.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는 스테이지(6)와 스템프(8)를 포함한다.

상기 스테이지(6)는 기판(G)을 로딩하는 로딩면(6a)을 구비하고, 도 1에서와 같이 상기 챔버케이스(4) 내부에서 상기 로딩면(6a)이 수평한 상태로 위치된다.

그리고, 상기 스템프(8)는 기판(G)의 레진층(G1)을 눌러서 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 임프린트면(8a)을 구비한 연질의 패드 타입으로 이루어진다.

즉, 상기 스템프(8)는 기판(G)과 대응하는 크기로 이루어지며, 상기 챔버(C) 내부에서 상기 임프린트면(8a)과 상기 로딩면(6a)이 서로 평행하게 마주하는 상태로 상기 스테이지(6) 위쪽에 배치된다.

상기 스템프(8)의 양쪽면 중에서 상기 임프린트면(8a)의 반대면에는 백플레이트(8b)가 부착된다. 이 백플레이트(8b)는 상기 임프린트면(8a)을 평탄하게 잡아주는 역할을 하는 것으로서, 유리판이나 석영판 중에서 어느 하나를 사용할 수 있다.

그리고, 상기 스템프(8)는 도 1에서와 같은 홀더플레이트(8c)와 복수 개의 지지바(8d)들에 의해 상기 챔버(C) 내부에서 상기 스테이지(6)와 평행한 상태로 이격 설치될 수 있다.

즉, 상기 백플레이트(8b)의 테두리부를 잡아줄 수 있도록 상기 홀더플레이트(8c)를 결합하고, 이 홀더플레이트(8c)를 상기 지지바(8d)들에 의해 상기 챔버(C) 바닥면으로부터 일정 높이로 지지할 수 있도록 연결 고정하면 된다.

따라서, 상기 스테이지(6)와 상기 스템프(8)는 상기 챔버케이스(4)의 챔버(C)에서 서로 평행한 상태로 합착/분리될 수 있는 상태로 제공된다.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 임프린트용 구동부(10)를 포함한다.

상기 임프린트용 구동부(10)는 상기 스테이지(6) 또는 스템프(8) 중에서 어느 하나를 임프린트 동작이 가능하게 구동하기 위한 것이다.

이를 위하여 본 실시 예에서는 도 1에서와 같이 피스톤 로드(M1)를 구비한 실린더(M)로 상기 스테이지(6)를 업/다운시키면서 상기 스템프(8)를 향하여 임프린트 동작되도록 하고 있다.

상기 실린더(M)는 상기 챔버케이스(4) 하측에서 수평 프레임부(2a) 측에 고정되고, 상기 피스톤 로드(M1)는 상기 챔버케이스(4)의 바닥면을 관통하여 상기 스테이지(6)의 저면과 연결 고정될 수 있다.

이때, 상기 실린더(M) 본체와 상기 챔버케이스(4)의 저면 사이에는 상기 피스톤 로드(M1)를 감싸는 상태로 통상의 벨로우즈관(T, bellows tube)을 연결 설치 하면 좋다.

이처럼, 벨로우즈관(T)을 연결 설치하면, 예를들어 상기 챔버(C) 내부를 진공압 분위기로 전환할 때 상기 챔버케이스(4) 바닥면의 관통 틈새 사이로 압력이 해제되는 것을 방지할 수 있다.

이와 같은 임프린트용 구동부(10)의 구조에 의하면, 상기 실린더(M)의 피스톤 로드(M1)로 상기 스테이지(6)를 위로 밀거나 아래로 당기면서 상기 스템프(8)를 향하여 임프린트 동작이 가능하게 구동할 수 있다.

즉, 상기 실린더(M)로 상기 스테이지(6)를 도 3에서와 같이 위로 밀어서 상기 스템프(8)의 임프린트면(8a)에 의해 기판(G)의 레진층(G1)이 눌려지도록 합착할 수 있다. 이러한 합착 동작에 의해 상기 임프린트면(8s)과 대응하는 패턴(G2)들을 상기 기판(G)의 레진층(G1)에 임프린트 방식으로 간편하게 형성할 수 있다.

상기한 임프린트용 구동부(10)는 실린더(M)를 사용하는 구조에 한정되는 것은 아니다. 예를들어, 도면에는 나타내지 않았지만 모터 축과 연결된 스크류의 정/역 회전에 의한 동력 전달 방식으로 상기 스테이지(6)를 업/다운시킬 수도 있으며 이외에도 본 발명의 목적을 만족하는 동력 발생 및 전달 구조는 다양하게 실시할 수 있다.

그리고, 상기 스테이지(6) 또는 스템프(8) 중에서 어느 하나는 상기 챔버케이스(4) 내부에서 합착 위치의 정렬이 가능하게 셋팅된다.

즉, 도면에는 나타내지 않았지만 예를들어, 마이크로 카메라와, 위치 조절용 스테이지(예: UVW 스테이지, 매뉴얼 스테이지)를 이용하여 통상의 방법으로 상기 스테이지(6) 또는 스템프(8)의 위치를 전/후, 좌/우 방향으로 조절하면서 합착 위치를 정렬 및 보정할 수 있다.

이와 같은 위치 정렬 구조는 해당 분야에서 일반적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.

한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 임프린트 장치는, 경화유니트(12)를 포함한다.

상기 경화유니트(12)는 기판(G) 측에 임프린트된 패턴(G2)을 자외선으로 경화하기 위한 것이다.

상기 경화유니트(12)는 유브이 램프(12a)로 구성되며, 도 1에서와 같이 상기 챔버케이스(4)의 게이트(D)와 대응하도록 배치된다.

상기 유브이 램프(12a)는 전기를 공급받아서 자외선을 발생하는 통상의 구조로 이루어지며, 후술하는 경화용 구동부(14)에 의해 기판(G)의 일측에서 타측으로 이동하면서 스캔 방식으로 레진층(G1)을 원활하게 경화할 수 있는 다양한 크기 및 형태(예; 봉 타입의 램프)로 이루어진다.

그리고, 상기 경화유니트(12)는 상기 유브이 램프(12a)와 대응하는 반사판(R)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.

즉, 상기 반사판(R)은 일면에 반사면(R1)을 구비하고, 이 반사면(R1)이 상기 유브이 램프(12a)의 외부면 중에서 윗면과 대응하도록 설치할 수 있다.

상기한 반사판(R)은 통상의 조명장치에 사용하는 리플렉터(reflector)와 같은 구조로 이루어져서 상기 유브이 램프(12a)에서 발생하는 자외선이 상기 기판(G) 을 향하여 더욱 원활하게 조사되도록 할 수 있다.

상기 경화유니트(12)는 경화용 구동부(14)에 스캔(scan) 방식으로 경화 작업을 진행할 수 있도록 작동된다.

즉, 상기 경화용 구동부(14)는 도 1에서와 같이 복수 개의 아암 즉, 제1 아암(A1)과, 제2 아암(A2) 그리고 제3 아암(A3)들이 관절 운동이 가능하게 연결된 로봇 아암(A)을 사용할 수 있다.

상기 제1 아암(A1)은 상기 챔버케이스(4) 위쪽에서 상기 프레임(2)의 일측과 일단이 고정된 고정단이고, 상기 제3 아암(A3)은 고정단으로부터 관절 운동에 의해 자유 이동이 가능한 자유단이다.

그리고, 상기 아암(A1, A2, A3)들 중에서 자유단 측의 제3 아암(A3)은 전체 길이의 확장 또는 축소가 가능한 가변형의 아암 구조로 이루어진다.

이러한 가변형의 제3 아암(A3)은 예들들어, 도면에는 나타내지 않았지만 서로 직경을 달리하는 원통형 슬라이드부재들이 슬라이드 가능하게 끼움 결합된 구조(예: 안테나)이거나, 실린더의 피스톤 로드와 같은 구조로 이루어져서 유압(油壓)에 의해 슬라이드 되면서 연결 길이가 확장되거나 축소되는 구조일 수 있다.

상기 제3 아암(A3)의 일단에는 도 1에서와 같은 상태로 상기 경화유니트(12)가 통상의 방법으로 고정 설치된다.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 로봇 아암(A)의 자유단 측 제3 아암(A3)이 도 3에서와 같이 작동하면서 상기 챔버케이스(4)의 게이트(D)를 통해 챔버(C) 내부로 상기 경화유니트(12)를 수평 이동시킬 수 있다.

그러므로, 이와 같이 작용에 의해, 기판(G)의 일측에서 타측을 향하여 상기 경화유니트(12)를 이동시키면서 스캔 방식으로 자외선을 조사하여 기판(G)의 패턴(G2)을 경화할 수 있다.

특히, 상기한 경화용 구동부(14)는, 예를들어 두 개의 챔버케이스 사이를 가로지르는 방향으로 레일을 설치하고, 이 레일을 따라 램프를 이동시키는 종래의 구동 방식과 비교할 때 구동 구조가 간단할 뿐만 아니라, 구동 계통의 유지 보수를 간편하게 진행할 수 있다.

또한, 상기 경화용 구동부(14)는 도 1에서와 같이 프레임(2) 외측으로 벗어나지 않고 내측 공간에서만 작동이 가능하므로 장치의 소형화를 실현할 수 있다.

상기한 경화용 구동부(14)는 기판(G)과 스템프(8)가 도 3에서와 같이 합착된 상태에서 상기 스템프(8) 위로 상기 경화유니트(12)를 이동시키는 구조에 한정되는 것은 아니다.

예를들어, 도 4에서와 같이 기판(G)과 스템프(8)가 합착이 분리된 상태에서 이들 사이로 상기 경화유니트(12)를 이송시킬 수도 있다. 이와 같은 구동 구조는 기판(G)의 레진층(G1)을 향하여 자외선을 직접 조사할 수 있으므로 자외선이 상기 스템프(8)를 통과할 때 발생할 수 있는 문제(왜곡 및 광량 저하)들을 개선할 수 있다.

그리고, 상기에서는 로봇 아암(A)으로 상기 경화유니트(12)를 스캔 방식으로 직접 이동시키는 것을 일예로 설명하고 있지만 본 발명이 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다.

예를들어, 도 5에서와 같이 상기 로봇 아암(A)을 제1 및 제2 아암(A1, A2)으로 연결 형성하고, 이 제2 아암(A2) 측에 별도의 수평 이송부(L)를 더 설치할 수도 있다.

상기 수평 이송부(L)는, 레일(L1)과, 이 레일(L1)을 따라 이동하는 이동체(L2)로 구성되며, 상기 이동체(L2) 일측에 상기 경화유니트(12)가 고정된다.

상기 레일(L1)은 통상의 "LM 가이드"를 사용할 수 있으며, 도 5에서와 같이 상기 로봇 아암(A)의 제2 아암(A2) 일측과 연결 고정된다.

상기 이동체(L2)는 도면에는 나타내지 않았지만 별도의 구동장치로부터 동력을 전달받아서 상기 레일(L1)을 따라 이동하도록 통상의 방법으로 고정 설치된다.

즉, 상기 레일(L1) 상에서 상기 이동체(L2)가 이동하면, 상기 경화유니트(12)가 상기 레일(L1) 구간을 따라 함께 이동될 수 있다. 이러한 레일 이송 방식은 상기 챔버(C) 내부에서 상기 경화유니트(12)의 수평 이송 안정성을 더욱 확보할 수 있다.

이와 같은 수평 이송부(L)의 구조에 의하면, 도 5에서와 같이 상기 챔버(C) 내부에서 기판(G)의 패턴(G2)들을 스캔 방식으로 경화할 수 있도록 상기 경화유니트(12)를 더욱 간편하게 구동할 수 있다.

따라서, 상기한 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 상기 챔버케이스(4) 내부에서 도 3에서와 같이 상기 스템프(8)로 기판(G)의 레진층(G1)을 누르는 임프린트 동작에 의해 상기 기판(G) 측에 패턴(G2)을 간편하게 형성할 수 있다.

그리고, 임프린트 동작 후에는 상기 경화용 구동부(14)로 상기 챔버케이 스(4)의 게이트(D)를 통해 도 3에서와 같이 상기 경화유니트(12)를 수평 방향으로 이동시키면서 스캔 경화 방식으로 기판(G)의 패턴(G2)들을 간편하게 경화 처리할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.

도 2는 도 1의 게이트의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 임프린트용 구동부와 경화용 구동부의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.

도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 경화용 구동부의 다른 작용을 설명하기 위한 도면이다.

도 5는 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 경화용 구동부의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

2: 프레임 4: 챔버케이스 6: 스테이지

8: 스템프 10: 임프린트용 구동부 12: 경화유니트

14: 경화용 구동부 G: 기판 C: 챔버

Claims (8)

1. 프레임;

   일정 크기의 챔버와 이 챔버를 개방 가능하게 차단하는 게이트를 구비하고 상기 프레임 내측에 위치하는 챔버케이스;

   기판을 로딩하는 로딩면을 구비하고 상기 챔버케이스 내부에 위치하는 스테이지와, 식각 및 비식각 영역을 구분하기 위한 임프린트면을 구비하고 상기 스테이지 위쪽에 위치하는 스템프;

   상기 스템프와 기판이 서로 합착/분리되도록 상기 스테이지 또는 상기 스템프를 상/하로 이동시키는 임프린트용 구동부;

   상기 챔버케이스 외측에 배치되며 기판 측에 임프린트된 패턴들을 자외선으로 경화하기 위한 경화유니트;

   상기 경화유니트를 상기 챔버케이스의 게이트를 통해 상기 챔버 내부/외부로 수평 이동시킬 수 있도록 상기 프레임 상에 설치되는 경화용 구동부;

   를 포함하는 임프린트 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 챔버케이스는,

   외부면이 서로 연결 결합된 일체형의 박스 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 게이트는,

   일정 크기의 개구부와, 이 개구부를 개폐하는 셔터를 포함하며,

   상기 챔버케이스 측면에서 한 군데 지점 또는 복수 개의 지점에 형성되는 임프린트 장치.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 임프린트용 구동부는,

   피스톤 로드를 구비한 실린더를 구동원으로 사용하고,

   상기 실린더의 피스톤 로드로 상기 스테이지 또는 스템프를 밀거나 당기면서 합착/분리 동작이 이루어지도록 구동하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
5. 청구항 1에 있어서,

   상기 경화유니트는,

   유브이 램프로 구성되며,

   상기 챔버케이스 외측에서 상기 게이트와 대응하는 지점에 위치하는 임프린트 장치.
6. 청구항 1에 있어서,

   상기 경화용 구동부는,

   복수 개의 아암들이 관절 운동이 가능하게 연결되어 고정단과 자유단을 갖는 로봇 아암을 사용하고,

   상기 로봇 아암의 고정단은 상기 프레임 일측에 고정 설치되고, 자유단에는 상기 경화유니트가 고정 설치되는 임프린트 장치.
7. 청구항 6에 있어서,

   상기 자유단 측의 아암은,

   길이가 확장 또는 축소되는 길이 가변형의 아암으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
8. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,

   상기 로봇 아암은,

   수평 이송부를 더 포함하며,

   상기 수평 이송부는,

   레일과, 이 레일을 따라 이동 가능하게 설치되며 일측에 상기 경화유니트가 설치되는 이동체로 구성되며,

   상기 레일의 일측 단부가 상기 로봇 아암의 자유단과 연결 고정되는 임프린트 장치.

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