KR20100022168A - 반도체 소자 테스트용 챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트용 챔버에 관한 것으로, 내부에 포함된 히터와 증발기를 이용해 내부 공간을 가열시키거나 냉각시키는 테스트룸과, 신뢰성 검사를 위한 컴퓨터가 설치되는 PC룸과, 테스트룸의 외부에 설치되며 상기 증발기의 열을 챔버 밖으로 배출시키는 냉동장치부와, 테스트룸과 PC룸 사이의 단열을 위한 단열벽과, 챔버의 내부를 개방하거나 폐쇄하기 위한 도어부와, 챔버로 유입된 수납장치를 고정시키는 착탈장치부와, 상기 수납장치의 용이한 유입과 외부수송을 위한 롤러부, 사용자의 입력을 받아들이고 챔버의 각 상태를 표시하는 제어장치부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이에 의해, 테스트룸 내부의 온도를 효율적으로 제어할 수 있으며, 밀폐성과 단열성이 우수하고, 누전과 산화부식과 바닥면의 미끄러움을 방지할 수 있는 반도체 소자 테스트용 챔버를 제공할 수 있다.

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Description

반도체 소자 테스트용 챔버{CHAMBER FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE}

본 발명은 반도체 소자의 신뢰성 검사를 수행하기 위한 챔버에 관한 것으로서, 특히, 복수개의 증발기와 냉동기 및 단열재료가 포함되어 효과적으로 챔버 내부의 온도를 제어할 수 있고, 독립적으로 개방 및 폐쇄동작이 가능한 도어부와 미세한 동작제어가 가능한 착탈장치부와 반도체 소자 수납장치의 용이한 반입과 배출이 가능한 롤러부가 마련된 반도체 소자 테스트용 챔버에 관한 것이다.

일반적으로, 번인검사(burn-in test)는, 반도체 소자를 소비자에게 공급하기 전에 또는 시스템에 장착하기 전에 초기 불량소자를 찾아내기 위한 신뢰성 검사의 일종이다.

여기서, 번인검사는 반도체 소자를 특정 환경스트레스 상태에 놓고, 결함이나 이상이 있거나, 곧바로 불량이 될 것 같은 반도체 소자를 제거하는 것이다.

즉, 번인검사는, 약 80 ~ 125℃의 높은 온도로 반도체 소자에 열적 스트레스를 가하는데 번인검사가 진행되는 동안 반도체 소자는 높은 온도와 높은 전계가 인가된 상태에서 동작하므로 불량 메커니즘이 가속된다.

따라서, 수명이 길지 않은 초기 불량 반도체 소자들은 번인검사가 진행되는 동안 가혹조건을 견디지 못하고 불량을 발생시킨다.

이러한 번인검사를 통과한 양품 반도체 소자는 오랜 기간의 수명을 보장해 줄 수 있기 때문에 시스템의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

한편, 종래의 번인검사용 챔버의 경우, 챔버 내부의 온도를 상승시키거나 하강시키기 위한 히터와 냉각기의 배치가 효율적이지 못해, 챔버 내부 온도를 제어할 때 여러운 점이 많이 있었다.

특히, 종래의 냉각기의 경우, 고온 상태의 테스트가 진행될 때 미세하게 온도를 낮추거나 일정한 온도로 유지하기 위해서 통상적으로 대용량의 냉각기가 그대로 사용되는 경우가 있는데, 이로 인한 냉각의 효율성이 떨어지고 전력의 소모가 심하다는 문제점이 있었다.

또한, 챔버 내부의 급격한 온도변화로 인해 필수적으로 결로현상이 발생할 수 있으나 이에 대한 대비가 미비하여 챔버의 전자계통에 누선이나 단락, 물에 의한 부식 등의 문제가 발생하거나, 챔버 바닥에 물이 고여 사용자 및 수송기기가 미끄러지는 경우가 많았다.

한편, 일반적으로 종래의 도어 개폐장치는 여닫이문 형식으로 마련되어 있는 경우가 많았다.

이와 같이, 일측이 힌지로 고정된 도어는 개폐시 챔버의 전방에 도어의 회동반경만큼의 공간이 필요하게 되며, 슬라이딩하는 두개 이상의 도어를 양측방향으로 개방하는 경우에도 챔버의 양측으로 각각 도어의 면적만큼의 공간이 필요하게 되므로 공간활용도가 떨어지는 문제점이 있었다.

또한, 번인검사가 진행되는 챔버 내부로 운반된 수납용기(매거진, magazine)는 수납용기에 포함된 반도체소자나 솔리드 스테이트 디스크(SSD : Solid State Disk) 등의 반도체 소자와 챔버의 테스트장비와의 전기적인 접속을 위해서, 챔버 내부에 안정적으로 고정될 필요가 있다.

그런데, 이와 같은 수납용기 고정을 위해서 인력을 이용하여 수동으로 수납용기를 테스트장비에 착탈시키는 경우, 착탈을 위한 인력이 추가적으로 투입되어야 하고, 작업시간이 많이 소요되고, 챔버 내의 좁은 공간으로 인해 착탈작업이 용이하지 못하다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위해 마련된 것으로써, 본 발명의 목적은 밀폐성능과 단열성능이 우수하고, 효율적으로 테스트룸의 온도를 변화시킬 수 있는 반도체 소자 테스트용 챔버를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 상호 독립적고 효율적인 냉동이 가능한 챔버 내의 증발기 및 냉동기를 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 챔버의 결로나 누수로 인한 누전, 바닥면의 미끄러움, 산화부식 등을 방지하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 테스트중인 반도체 소자의 산화를 방지하고 챔버 내부의 청결도를 유지하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 신뢰성 테스트를 위한 컴퓨터들을 안전하게 거치시키고, 컴퓨터에서 발생하는 열을 외부로 배출시켜 컴퓨터의 성능과 내구성을 높이는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 챔버 도어의 개방 정도를 높이고, 도어가 챔버 내에서 차지하는 면적을 줄이는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 챔버의 각 도어가 개별적으로 개방 및 폐쇄동작이 가능하여 사용자의 임의대로 챔버의 개방상태가 마련될 수 있게하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 챔버의 도어가 개방 또는 폐쇄동작시, 사람이나 물건이 기동선상에 위치하고 있을 때 도어와 사람이나 물건과의 충돌을 방지하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 정밀한 착탈동작 제어가 가능하고, 작동이 신속하고, 간단한 구조를 가지며, 적은 공간을 차지하는 착탈장치부를 마련하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 센서를 통해 착탈장치부의 각 실린더의 동작상태를 파악하는 것이 용이한 반도체 소자 테스트용 챔버를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 테스트용 컴퓨터와 반도체 소자 사이에서 발생할 수 있는 물리적인 압력을 줄이는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 반도체 소자가 수납된 수납용기의 신속한 착탈이 가능하고, 상기 수납용기가 정확한 위치에 고정될 수 있으며, 상기 수납용기가 착탈장치부에 의해서 고정될 때 고정의 안정도를 높일 수 있는 반도체 소자 테스트용 챔버를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 챔버의 상태를 효과적으로 파악할 수 있고, 터치스크린 입력방식을 통해 용이하게 사용자의 입력을 받는데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 챔버는, 복수개의 히터와 증발기를 이용하여 챔버 내부의 온도를 낮추거나 높임으로써 고온 및 저온의 극한환경이 조성되는 테스트룸과, 상기 테스트룸에서 가동시험중인 반도체 소자에 유선으로 직접 연결되어 실제적인 신뢰성검사를 수행하는 컴퓨터들과 그 컴퓨터를 거치시키는 PC렉이 설치되는 PC룸과, 상기 테스트룸 외부에 복 수개로 설치되며 상기 테스트룸 내부에 마련되는 증발기에 연결되어 그 증발기의 열을 외부로 배출시키는 냉동기를 포함하는 냉동장치부와, 상기 테스트룸과 상기 상기 PC룸 사이에 위치하여 상기 테스트룸 내부의 냉기와 열이 테스트룸 외부로 전달되는 것을 막고, 챔버 내로 유입된 반도체 소자와 PC룸의 컴퓨터들을 직접 연결시켜주는 커넥터를 포함하는 단열벽과, 상기 테스트룸에서 검사가 수행될 때 챔버의 내부공간의 기밀을 유지하고, 챔버 개방 및 폐쇄시 챔버와 챔버 주변부의 공간을 적게 차지하기 위해 복수개의 도어와 실린더와 레일로 마련되어 챔버 전면에 설치되는 도어부와, 상기 테스트룸과 단열벽 사이에 마련되며, 상기 테스트룸에서 검사가 시행될 때 유입된 반도체 소자 수납장치를 안전하게 착탈시키기 위한 착탈장치부와, 상기 착탈장치부 전면에 마련되고, 챔버 내부에 유입된 반도체 소자 수납장치가 상기 테스트룸 내부에 안착되기 위해서 이동되거나 검사종료 후 챔버 외부로 이송될 때 가이드레일로써 제공되며, 수납장치의 용이한 수송을 위한 복수개의 롤러가 구비된 롤러부와, 챔버 외부에 마련되며 사용자로부터 입력값을 받아들임으로써 상기 테스트룸과 PC룸과 냉동장치부와 도어부와 롤러부와 착탈장치부의 동작을 제어하고, 챔버 각부의 상태를 디스플레이장치를 통해서 출력하는 제어장치부를 포함하며,

상기 테스트룸에 히터에 의해서 가열되거나 증발기에 의해서 냉각된 공기를 테스트룸의 각부로 이송시키는 순환모터와, 상기 순환모터로부터 발생된 공기의 흐름을 효과적으로 테스트룸의 각부로 이송시키기 위한 덕트가 추가적으로 포함되고, 상기 테스트룸의 내부 접합부에 기밀유지 및 단열보강을 위한 수용성 우레탄 폼 단 열재와 내열 실리콘이 도포되는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 테스트룸에 마련되는 복수개의 증발기는, 상기 히터의 측면에 마련되며 상기 테스트룸이 고온에서 동작될 때 테스트룸의 온도를 낮추기 위한 소용량의 고온용 제1증발기와, 상기 테스트룸의 측면의 넓은 공간에 걸쳐서 마련되며 상기 테스트룸이 저온에서 동작될 때 테스트룸의 온도를 낮추기 위한 대용량의 저온용 제2증발기로 마련되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 증발기는 상기 냉동장치부의 냉동기에 개별적으로 하나씩 연결됨으로써, 각각의 증발기가 독립적으로 테스트룸에 대한 냉동동작이 가능할 수 있다.

그리고, 상기 증발기는, 상기 테스트룸이 고온에서 동작될 때 상기 히터와 상기 고온용 증발기가 함께 작동하여 테스트룸의 온도를 조절하게 되고, 상기 테스트룸이 저온에서 동작될 때 상기 히터와 상기 고온용 증발기와 상기 저온용 증발기가 함께 작동하여 테스트룸의 온도를 조절하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 상기 테스트룸 바닥에 결로 등으로 인해 발생된 물을 배출시키는 배수구가 마련되어 있고, 테스트룸이 도어부에 의해 밀폐된 이후 반도체 소자의 산화를 방지하고 챔버 내부를 정화하기 위해 지속적으로 질소 가스가 충전될 수 있다.

한편, 상기 테스트룸과 상기 도어부의 도어의 테두리가 맞닿는 패킹라인부분에 테스트룸의 외부와 내부의 온도차이에 의해 발생될 수 있는 결로를 방지하기 위한 열선이 마련될 수 있다.

그리고, 상기 PC렉의 측면에 PC렉에 설치되는 컴퓨터에서 발생되는 열을 순환시키기 위한 복수개의 팬(Fan)과, 상기 팬을 수납하기 위한 팬케이스와, 팬케이스 측면에 마련되며 펜의 작동을 위한 전력선과 펜의 동작을 제어하기 위한 제어선이 접촉되는 팬커넥터가 포함될 수 있다.

여기서, 상기 PC룸 내부에 설치된 컴퓨터들에서 발생되는 열을 PC룸 밖으로 배출시키는 라디에이터가 상기 PC룸의 상부에 마련될 수 있다.

또한, 상기 냉동장치부가 설치되는 챔버 내부의 바닥면에 냉동기의 누수를 감지하는 누수감지센서가 마련될 수 있다.

그리고, 상기 단열벽은 두 개의 실리콘판과 한 개의 에폭시글라스(Epoxy Glass)판으로 마련되며, 상기 구성요소들의 배열이 실리콘판 - 에폭시글라스판 - 실리콘판인 형태로 형성될 수 있다.

바람직하게는, 상기 단열벽의 PC룸 쪽 측면에 결로 방지를 위한 러버히터(Rubber Heater)가 추가적으로 마련될 수 있다.

한편, 상기 도어부의 도어마다 개별적으로 가동레일부와 고정레일부가 마련되어있고, 상기 고정레일부의 길이와 상기 가동레일부의 전후진 운동거리가 각각 상이한 구조로 마련됨으로써, 각 도어마다 독립적인 개방 및 폐쇄동작이 실행될 수 있다.

그리고, 상기 도어부의 도어의 측면에 복수개의 센서가 마련되어있어서, 상기 도어가 개방 및 폐쇄될 때 도어와 도어의 이동경로상에 존재하는 사람이나 물체와의 충돌을 감지할 수 있다.

바람직하게는, 상기 도어부의 도어를 수평으로 이동시키는 실린더가 공압식 로드레스(Rodless)실린더로 마련되고, 도어의 상측 및 하측에 도어의 원활한 수평이동을 위한 롤러가 설치될 수 있다.

그리고, 상기 착탈장치부에 수납용기에 착탈거치되어 수납용기를 고정하기 위한 핑거와, 측면에 복수 개의 상기 핑거가 설치되며 외부로부터 인가된 동력에 의해 상하 운동을 하게 되는 업다운플레이트와, 상기 업다운플레이트의 일측면에 접하여 마련되어 있으며 외부로부터 인가된 동력에 의한 상하운동에 따라 상기 업다운플레이트를 전후로 가동시킬 수 있는 캠(Cam) 구조를 포함하고 있는 전후진플레이트와, 상기 업다운플레이트의 일측에 결합되어 상기 업다운플레이트의 상하운동을 위한 동력을 제공하는 업다운실린더와, 상기 전후진플레이트의 일측에 결합되어 상기 전후진플레이트의 상하운동을 위한 동력을 제공하는 전후진실린더가 포함될 수 있다.

한편, 상기 착탈장치부의 전후진플레이트의 캠구조는, 상기 전후진플레이트의 내부에 사선으로 마련된 캠 홈과, 상기 전후진플레이트의 일측면에 위치하고, 상기 전후진플레이트가 상하로 가동될 때에 위치가 변화되지 않는 가이드블록고정부와, 상기 업다운플레이트의 일측면에 위치하고, 상기 업다운플레이트와 업다운플레이트의 타측면에 접하고 있는 상기 전후진플레이트를 함께 관통하여 상기 가이드블록고정부까지 연결되어, 상기 전후진플레이트가 상하로 이동될 때, 상기 캠 홈을 따라 전후로 이동하여 상기 업다운플레이트가 전후로 이동하게끔 동력을 전달하는 가이드블록가동부와, 상기 가이드블록가동부가 전후로 가동될 때, 가이드로서 제공 되는 가이드레일을 포함할 수 있다.

여기서, 상기 착탈장치부의 업다운플레이트에 상기 업다운실린더와의 체결을 위한 일(一)자형 홈이 마련되어 있고, 상기 업다운플레이트에서 상기 가이드블록가동부가 관통하는 부분에 | 형 홈이 마련됨으로써, 상기 업다운플레이트와 상기 전후진플레이트가 독립적으로 작동될 수 있다.

또한, 상기 착탈장치부의 전후진실린더는 실린더의 기동범위를 제한하는 가동제한부를 포함하는데, 상기 전후진실린더의 샤프트 말단에 설치된 상기 가동제한부의 기동범위 내에 중간정지블록을 삽입함으로써, 상기 전후진실린더의 가동범위를 축소시킬수 있다.

여기서, 상기 착탈장치부의 업다운실린더와 전후진실린더와 중간정지실린더에 각 실린더의 상태를 확인하기 위한 감지센서가 포함될 수 있다.

한편, 상기 착탈장치부와 상기 롤러부 사이에, 상기 단열벽에 포함되는 커넥터를 노출시킬 수 있는 개구가 형성된 판이 포함될 수 있으며, 상기 판 표면에, 반도체 소자 수납용기가 고정장치에 의해 착탈될 때 올바른 위치에 고정되게 하는 원기둥 형상의 위치고정핀이 일정한 간격으로 설치될 수 있다.

그리고, 상기 제어장치부는 터치스크린 방식을 통해서 사용자의 조작입력을 받아들일 수 있다.

본 발명에 의해, 밀폐성능과 단열성능이 우수하고, 효율적으로 테스트룸의 온도를 변화시킬 수 있는 반도체 소자 테스트용 챔버를 마련할 수 있다.

또한, 테스트룸의 증발기와 냉동장치부의 냉동기가 복수개로 마련됨으로써, 상호 독립적인 냉동을 효율적으로 수행할 수 있다.

또한, 챔버 내부와 도어부에 결로를 방지하는 열선과, 결로로 인하여 발생한 물을 배출시키는 배수구와, 챔버 바닥의 수분을 감지하는 센서가 마련되어있음으로써, 물에 의해 발생될 수 있는 누전 또는 산화부식 또는 바닥면의 미끄럼 등을 방지할 수 있다.

또한, 테스트룸 내부에 질소 가스가 충전됨으로써 테스트중인 반도체 소자가 산화되는 것을 막을 수 있고, 챔버 내부의 청결도를 유지할 수 있다.

또한, PC렉을 통해 컴퓨터들이 설치됨으로써 컴퓨터들이 안전하게 거치될 수 있으며, PC렉 측면의 팬과 PC룸 상부의 라디에이터의 작동을 통해 효과적으로 컴퓨터의 발열을 제어할 수 있다.

또한, 챔버가 개방상태일 때, 챔버의 전면에 위치한 도어가 전후로 겹쳐서 챔버 전면 좌측 또는 우측 한쪽에 모여 정렬함으로써, 챔버의 개방 정도를 높일 수 있고, 도어가 챔버 내에서 차지하는 면적을 줄일 수 있다.

또한, 챔버의 각 도어가 개별적으로 개방 및 폐쇄동작이 가능하여 사용자의 임의대로 챔버의 개방상태가 마련될 수 있다.

또한, 챔버의 도어에 센서가 부착됨으로써, 챔버의 도어가 개방 또는 폐쇄동작시, 사람이나 물건이 기동선상에 위치하고 있을 때 도어와 사람이나 물건과의 충돌을 방지할 수 있다.

또한, 작동이 신속하고, 간단한 구조를 가지며, 적은 공간을 차지하는 착탈 장치부를 마련할 수 있으며, 수납용기를 고정시키는 핑거의 전후진 및 상하이동이 독립적으로 조절됨으로써 정밀한 착탈동작 제어가 가능하다.

또한, 착탈장치부의 각 실린더에 센서를 구비함으로써 상기 실린더의 작동상태를 파악하고 통제하는 것이 용이한 착탈장치부를 마련할 수 있다.

또한, 테스트용 컴퓨터와 반도체 소자 사이의 전기적인 접속이 이루어진 이후, 미세한 정도로 착탈장치부에 마련된 핑거의 고정을 해제함으로써, 테스트용 컴퓨터와 반도체 소자 사이에서 발생할 수 있는 물리적인 압력을 줄일 수 있다.

또한, 롤러부의 롤러를 통해서 반도체 소자가 수납된 수납용기의 신속한 착탈이 가능하고, 롤러부의 판에 위치고정핀이 마련됨으로써 상기 수납용기가 정확한 위치에 고정될 수 있으며, 상기 수납용기가 착탈장치부에 의해서 고정될 때 고정의 안정도를 높일 수 있다.

또한, 제어장치부에 터치스크린 방식이 사용되어 용이하게 사용자의 조작을 입력받을 수 있고, 챔버의 상태를 효과적으로 표시할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명하기로 한다.

이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바 람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 챔버의 전체 모습을 도시한 사시도이며, 도 2는 챔버 내부의 평면도이다.

그리고, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 챔버 내부의 정면도이고, 도 4는 챔버 내부의 좌측면도이며, 도 5는 챔버 내부의 우측면도이다.

도 1 내지 도 5을 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 챔버는, 복수개의 히터(110)와 증발기(120, 130)를 이용하여 챔버 내부의 온도를 낮추거나 높임으로써 고온 및 저온의 환경을 조성하기 위한 테스트룸(100)과, 상기 테스트룸(100)에서 가동시험중인 반도체 소자에 유선으로 직접 연결되어 실제적인 신뢰성검사를 수행하는 컴퓨터(210)들과 그 컴퓨터를 거치시키는 PC렉(220)이 설치되는 PC룸(200)과, 상기 테스트룸(100) 외부에 복수개로 설치되며 상기 테스트룸(100) 내부에 마련되는 증발기(120, 130)에 연결되어 그 증발기(120, 130)의 열을 외부로 배출시키는 냉동기(310, 320)를 포함하는 냉동장치부와, 상기 테스트룸(100)과 상기 PC룸(200) 사이에 위치하여 상기 테스트룸(100) 내부의 냉기와 열이 테스트룸(100) 외부로 전달되는 것을 막고, 챔버 내로 유입된 반도체 소자와 PC룸(200)의 컴퓨터(210)들을 직접 연결시켜주는 커넥터(430)를 포함하는 단열벽(400)과, 상기 테스트룸(100)에서 검사가 수행될 때 챔버의 내부공간의 기밀을 유지하고, 챔버를 개방 및 폐쇄시키기 위한 도어부(500)와, 상기 테스트룸(100)과 단열벽(400) 사이에 마련되며, 상기 테스트룸(100)에서 검사가 시행될 때 유입된 반도체 소자 수납장치를 안전하게 착탈시키기 위한 착탈장치부(600)와, 상기 착탈장치부(600) 전면에 마련되고, 챔버 내부에 유입된 반도체 소자 수납장치가 상기 테스트룸(100) 내부에 안착되기 위해서 이동되거나 검사종료 후 챔버 외부로 이송될 때 가이드레일로써 제공되며, 수납장치의 용이한 수송을 위한 복수개의 롤러(710)가 구비된 롤러부(700)와, 챔버 외부에 마련되며 사용자로부터 입력값을 받아들임으로써 상기 테스트룸(100)과 PC룸(200)과 냉동장치부(300)와 도어부(500)와 롤러부(600)와 착탈장치부(700)의 동작을 제어하고, 챔버 각부의 상태를 디스플레이장치를 통해서 출력하는 제어장치부(800)를 포함한다.

또한, 도 1 내지 5에 도시된 바와 같이, 챔버의 전체적인 형상은 직육면체형으로 형성되어있으며, 챔버의 정면쪽에 테스트룸(100)이 마련되어있고, 후면쪽에 PC룸(200)이 마련되어있으며, 좌측면에 냉동장치부(300)가 설치될 수 있는데, 이에 한정되지는 않는다.

한편, 도 6은 테스트룸(100)의 구조를 도시한 개략도이다.

도 6에 따르면, 상기 테스트룸(100)은 히터(110)에 의해서 가열되거나 증발기(120, 130)에 의해서 냉각된 공기를 테스트룸(100)의 각부로 이송시키는 순환모터(140)와, 상기 순환모터로부터 발생된 공기의 흐름을 효과적으로 테스트룸의 각부로 이송시키기 위한 덕트(150)가 포함된다.

또한, 테스트룸(100) 내부의 온도를 효과적으로 제어하기 위해서 증발기가 복수개로 설치되어있는데, 상기 복수개의 증발기는, 상기 히터(110)의 측면에 마련되며 상기 테스트룸(100)이 고온에서 동작될 때 테스트룸(100)의 온도를 낮추기 위한 소용량의 고온용 제1증발기(120)와, 상기 테스트룸의 측면의 넓은 공간에 걸쳐서 마련되며 상기 테스트룸이 저온에서 동작될 때 테스트룸의 온도를 낮추기 위한 대용량의 저온용 제2증발기(130)로 마련될 수 있다.

그리고, 상기 제1증발기(120)와 제2증발기(130)는 후술하는 냉동장치부(300)의 제1냉동기(310)와 제2냉동기(320)에 개별적으로 하나씩 연결됨으로써, 각각의 증발기가 독립적으로 테스트룸(100)에 대한 냉동동작이 가능하다.

여기서, 상기 히터(110)와 제1증발기(120)와 제2증발기(130)가 유기적으로 동조하여 작동됨으로써, 테스트룸(100)의 내부온도를 미세하게 제어할 수 있다.

다시 말해, 상기 히터(110)에 의한 테스트룸(100) 내부의 가열과, 제1증발기(120)와 제2증발기(130)의 냉동 동작의 상호 보상을 통해 테스트룸(100)의 온가 제어된다.

보다 상세하게는, 상기 테스트룸(100)이 고온에서 동작될 때 상기 히터(110)와 상기 고온용 제1증발기(120)가 함께 작동하여 테스트룸(100)의 온도를 조절하게 되고, 상기 테스트룸(100)이 저온에서 동작될 때 상기 히터(110)와 상기 고온용 제1증발기(120)와 상기 저온용 제2증발기(130)가 함께 작동하여 테스트룸(100)의 온도를 조절하게 된다.

상술한 바와 같은 히터(110)와 증발기의 작동에 의해, 바람직하게는, 테스트룸(100)의 내부온도가 -15℃ ~ +100℃의 범위로 설정될 수 있으며, ±3℃의 오차범 위 내에서 테스트룸(100)의 내부온도를 일정하게 유지할 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.

표 1은 상기 테스트룸(100)에서 반도체 소자 신뢰도 테스트가 진행될 때 실제적으로 조성될 수 있는 온도변화의 예시를 나타낸 것으로, 이에 한정되는 것은 아니다.

한편, 보다 상세한 온도제어를 위해서, 테스트룸(100)내부의 덕트(150) 양 끝쪽에 온도감지센서(160)가 마련될 수 있는데, 상기 온도감지센서(160)는 열전대(TC : Thermal Couple)로 구성될 수 있다.

여기서, 열전대는 각기 다른 재질로 만들어진 두 개의 전선을 접합시켰을 때, 접합점의 온도 차이에 따라 발생하는 미세한 전압을 측정하여 온도를 검출하는 장치이다.

그리고, 상기 테스트룸(100) 바닥에 결로 등으로 인해 발생된 물을 배출시키는 배수구가 마련되어 있어, 테스트룸(100)의 내부의 습도를 조절할 수 있고 바닥면의 미끄러움을 방지할 수 있다.

또한, 테스트룸(100)이 후술하는 도어부(500)에 의해 밀폐된 이후, 테스트중인 반도체 소자의 산화를 방지하고 챔버 내부를 정화하기 위해 지속적으로 질소 가스가 충전될 수 있는데, 이러한 질소 가스 충전은 테스트가 진행되는 동안 지속적으로 이루어지게 된다.

그리고, 테스트룸(100)과 후술하는 도어부(500)의 도어(510)의 테두리가 맞닿는 패킹라인부분에 테스트룸(100)의 외부와 내부의 온도차이에 의해 발생될 수 있는 결로를 방지하기 위한 열선이 마련될 수 있다.

이러한 상기 열선에 의해, 테스트룸(100)의 테두리 부분에서 테스트룸(100) 내부와 외부의 온도 차이를 줄이고, 결로현상으로 인해 발생할 수 있는 수분을 증발시킬 수 있다.

또한, 상기 테스트룸(100)의 내부 접합부에 기밀유지 및 단열보강을 위한 수용성 우레탄 폼 단열재와 내열 실리콘이 도포될 수 있다.

여기서, 상기 수용성 우레탄 폼 단열재와 내열 실리콘은 상기 테스트룸(100) 뿐만 아니라, 밀폐성 및 단열성이 요구되는 챔버의 각 부분에 도포될 수 있으며, 이로 인해 챔버 내부의 테스트 환경에 대한 신뢰도를 높이고 챔버 각부에서 발생될 수 있는 결로현상을 방지할 수 있다.

도 7은 PC렉(220)의 형상을 도시한 사시도이며, 도 8은 PC렉(220)에 설치된 낙하방지브라켓(250)을 도시한 부분 사시도이다.

도 5와 도 7과 도 8을 참조하면, PC룸(200) 내부에 설치된 컴퓨터(210)들에서 발생되는 열을 PC룸(200) 밖으로 배출시키는 라디에이터(240)가 상기 PC룸(200)의 상부에 마련될 수 있다.

또한, 상기 PC렉(220)의 측면에 PC렉(220)에 거치되는 컴퓨터(210)에서 발생되는 열을 순환시키기 위한 복수개의 팬(Fan)과, 상기 팬을 수납하기 위한 팬케이스(230)와, 팬케이스(230) 측면에 설치되며 펜의 작동을 위한 전력선과 펜의 동작을 제어하기 위한 제어선이 접촉되는 팬커넥터(231)가 마련될 수 있다.

여기서, 상기 제어선은 후술하는 제어장치부(800)에 연결된다.

그리고, 상기 팬케이스(230)는 상기 PC렉(220)의 좌우 양측에 구비될 수 있으며, 바람직하게는 한 측면당 4개의 팬이 설치될 수 있다.

또한, 하나의 PC렉(220)에 16개의 컴퓨터(210)가 설치될 수 있으며, 바람직하게는, 한 번의 테스트에서 512개의 반도체 소자를 검사할 수 있도록 마련된 경우, 두 개의 PC렉(220)에 32개의 컴퓨터(210)가 설치됨으로써, 각 컴퓨터(210) 마다 16개의 반도체 소자가 연결될 수 있는데, 이에 한정되지 않는다.

그리고, 상기 PC렉(220)에 낙하방지브라켓(250)이 마련되어있어, 외부로부터 가해진 충격이나 거치상태의 불안정으로 인해 PC렉(220)에 설치된 컴퓨터(210)가 PC렉(220)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.

상술한 바와 같이 PC룸(200)이 마련됨으로써, 신뢰성 테스트를 수행하기 위한 컴퓨터(210)들을 안전하게 거치시킬 수 있고, 상기 컴퓨터(210)에서 발생하는 열들을 효과적으로 PC룸(200) 외부로 배출할 수 있으며, 이를 통해 상기 컴퓨터(210)들의 내구성을 증가시킬 수 있다.

도 9는 냉동장치부(300)의 형상을 도시한 사시도이다.

도 9를 참조하면, 냉동장치부(300)는 챔버의 좌측면에 위치하게 되는데, 제1냉동기(310)와 제2냉동기(320)의 2개의 냉동기로 마련될 수 있다.

여기서, 제1냉동기(310)는 테스트룸(100)의 제1증발기(120)와 연결되고 제2냉동기(320)는 제2증발기(130)와 연결되어, 상기 증발기들에서 취합된 열들을 테스트룸(100) 외부로 배출하게 된다.

상기와 같이 각 증발기마다 별도의 냉동기가 연결됨으로써, 하나의 냉동기가 마련되었을 때에 비하여 부하가 적고 냉동효율이 높은 구조가 용이하게 마련될 수 있다.

상기 제1냉동기(310)와 제2냉동기(320)는 테스트룸(100)의 신속한 온도제어를 위해서 테스트룸(100)의 기온을 15분 이내에 25℃에서 -15℃의 온도로 냉각할 수 있는 반밀폐형 응축기를 포함할 수 있는데, 이외에도 다양한 방식의 응축기가 사용될 수 있다.

또한, 각 냉동기는 PLC(Programmable Logic Controller)가 내장되어있어, 사용자의 조작입력과는 별도로 냉동 동작 수행이 가능하며, RS-232 (Recommanded Standard 232) 통신회선을 통해서 후술하는 제어장치부(800)에 냉동기의 상태가 표시될 수 있다.

즉, 냉동기 자체 감지장치에 의해서, 냉동기에 포함되는 응축기의 압력과 테스트룸(100)의 각 증발기로부터 가해지는 압력 및 냉매의 누출여부, 냉매의 상태 등의 정보가 생성될 수 있으며, 이러한 정보들은 제어장치부(800)에 전송된다.

여기서, 상기 PLC는 제어장치 내부에 존재하는 보조 릴레이, 타이머, 카운터를 IC칩이나 트랜지스터 등의 집적 소자로 대체시켜 기계장치의 작업순서의 제어가 가능하도록 구성된 제어장치로써, 데이터 연산 및 산술연산, 데이터 전송 등의 기능을 추가하여 피드백(Feedback) 제어를 수행하도록 할 수 있다.

이러한 PLC를 통해서 고도의 작업을 용이하게 제어할 수 있고, 사용자가 임의로 프로그램을 작성하여 PLC가 장착된 장치가 이전과는 다른 기능을 수행하도록 조작할 수 있다.

그리고 상기 RS-232는 직렬 이진 데이터 전송을 위한 통신 표준 규약의 하나로써, 모뎀 등 각종 통신기나 컴퓨터의 주변장치를 연결하는데 사용되는 규약이다.

물론, 냉동기의 제어를 위한 PLC와 정보 전달을 위한 RS-232회선은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과하며, 이외의 구성을 가질 수 있다.

한편, 상기 냉동장치부(300)가 설치되는 챔버 내부의 바닥면에 냉동기의 누수를 감지하는 누수감지센서가 추가적으로 마련될 수 있는데, 상기 누수감지센서를 통해 냉동장치부(300)의 누수를 감시함으로써 누전이나 냉동기의 이상을 용이하게 예방할 수 있다.

도 10은 단열벽(400)에 포함되는 커넥터(430)를 통해 테스트룸(100)과 PC룸(200)을 전기적으로 연결되는 구조를 도시한 개략적인 단면도이다.

그리고, 도 11은 커넥터(430)의 형상을 도시한 사시도이며, 도 12는 단열벽(400)과 커넥터(430)의 형상을 도시한 사시도이다.

도 11을 참조하면, 단열벽(400)은 두 개의 실리콘판(410)과 한 개의 에폭시글라스(Epoxy Glass)판(420)으로 마련되며, 상기 구성요소들의 배열이 실리콘판(410) - 에폭시글라스판(420) - 실리콘판(410)의 순서로 마련되어있다.

이와 같이 단열성이 뛰어난 실리콘판(410)과 에폭시글라스판(420)이 다층구조를 형성하여 마련됨으로써, 테스트룸(100)과 PC룸(200) 사이의 열교환을 효과적으로 차단할 수 있다.

그리고, 상기 단열벽(400)의 내부에는 커넥터(430)들의 설치될 수 있는 개구가 상기 커넥터(430)의 개수만큼 마련되어 있는데, 신축성이 있는 실리콘판(410)에 마련된 개구는 상기 커넥터(430)의 단면적보다 미세하게 작은 크기로 형성되어 있어, 상기 커넥터(430)가 단열벽(400)에 결합되었을 때 쉽게 이탈되지 않고, 단열벽(400)의 밀폐성을 높일 수 있다.

또한, 도 10을 참조하면, 실리콘판(410)과 에폭시글라스판(420)으로 이루어진 단열벽(400)의 PC룸(200) 쪽 측면에 러버히터(Rubber Heater)(440)가 추가적으로 마련될 수 있다.

여기서, 상기 러버히터(440)는 단열성이 우수한 고무 등의 고분자 수지로 만들어진 판형의 구조물로서, 러버히터(440) 내부에 열선이 마련되어 있다.

상기 열선에서 발생하는 열에 의해 결로현상 등으로 인해 발생할 수 있는 수분을 증발시켜 PC룸(200) 내부에 물이 고이는 것을 방지할 수 있다.

한편, 상기 커넥터(430)는 도 10에 도시된 바와 같이 테스트룸(100)에 반입된 반도체 소자와 PC룸(200)에 설치되는 컴퓨터(210) 사이의 전기적인 접속을 위해 마련된 것이다.

이와 같은 목적을 달성하기 위해, 상기 커넥터(430)는 반도체 소자와 접촉되는 브라켓(435)과 반도체 소자에 전력을 공급하는 전원케이블(431)과 PC룸(200)의 컴퓨터와 연결되는 데이터케이블(433)으로 마련되어 있으며, 몸체는 에폭시글라스로 구성될 수 있다.

이러한 구성을 가지는 상기 커넥터(430)는 각 반도체 소자와 1:1로 접촉하여 반도체 소자에서 생성되는 데이터와 컴퓨터로부터 생성된 데이터들을 용이하게 전송할 수 있고, 단열벽(400)의 단열성을 보완할 수 있다.

도 13은 개방상태의 도어부(500)를 도시한 사시도이며, 도 14는 폐쇄상태의 도어부(500)를 도시한 사시도이며, 도 15는 도어부(500)의 상부를 상세하게 도시한 부분도이다.

여기서, 도 13 내지 도 14를 참조하면, 상기 도어부(500)의 도어(510)마다 개별적으로 가동레일부(530)와 고정레일부(520)가 마련되어있고, 상기 고정레일부(520)의 길이와 상기 가동레일부(530)의 전후진 운동거리가 각각 상이한 구조로 마련되어있다.

이와 같이 도어부(500)가 마련됨으로써, 각 도어(510)별로 독립적인 개방 및 폐쇄동작이 가능하다.

또한, 각 도어(510)들이 레일(520, 530)을 따라 수평으로 이동함으로써 챔버가 개방되거나 폐쇄되며, 챔버 개방시 도 13에 도시된 바와 같이 각 도어(510)들이 전후로 겹쳐서 배열됨으로써, 챔버 및 챔버 주위의 공간을 효율적으로 이용할 수 있다.

한편, 챔버가 개방 또는 폐쇄될 때, 도어부(500) 각 구성요소들의 작동순서는 다음과 같다.

도 13을 참조하면, 챔버가 개방 상태로 이행될 때, 가동레일부(530)가 전후이동실린더부(550)에 의해 챔버의 정면을 향해 전진함으로써, 고정레일부(520)와 가동레일부(530)가 열을 맞추게 되고, 이를 통해 일(一)자로 마련된 레일들을 따라 각각의 도어(510)들이 상기 고정레일부(520)의 일측으로 이동하며, 이에 따라 상기 도어(510)들이 챔버의 입구 한쪽에 전후로 겹치게 배열하게 된다.

그리고, 도 14를 참조하면, 챔버가 폐쇄 상태로 이행될 때, 도어부(500)의 도어(510)들이 일(一)자로 마련된 레일들을 따라 수평이동실린더부(540)에 의해 각 도어마다 할당된 가동레일부(530)까지 이동하게 되고, 가동레일부(530)에 각 도어(510)들이 적재되면 전후이동실린더부(550)가 가동레일부(530)를 챔버의 안쪽을 향해 끌어당김으로써, 각 도어(510)에 의해서 챔버가 완전히 폐쇄된다.

바람직하게는, 도어(510)의 측면에 복수개의 센서(570)가 마련되어있어서, 상기 도어(510)가 개방 및 폐쇄될 때 도어(510)와 도어(510)의 이동경로상에 존재하는 사람이나 물체와의 충돌을 감지할 수 있다.

그리고, 상기 도어(510)를 수평으로 이동시키는 실린더가 공압식 로드레스(Rodless)실린더로 마련될 수 있다.

여기서, 로드레스 실린더란, 실린더의 구성요소중 피스톤 로드가 없는 실린더이다.

즉, 일반 공압 실린더가 피스톤 로드의 왕복운동을 통해 동력을 전달하는 방식인데 비해, 로드레스 실린더는 피스톤의 움직임을 요크나 마그넷, 체인 등을 통해 행정길이 범위 내에서 테이블을 직선운동시켜 동력을 전달하는 것이다.

따라서, 로드레스 실린더를 사용하면 설치면적이 극소화되는 장점이 있으며, 전진 또는 후진시의 피스톤 단면적이 같아 중간 정지특성이 양호하다는 이점도 있다.

그리고, 도 15에 도시된 바와 같이, 도어(510)의 상측 및 하측에 도어(510)의 원활한 수평이동을 위한 롤러(560)가 설치될 수 있는데, 상기 롤러(560)에 의해 정숙하고 마찰이 적은 도어(510)의 움직임을 구현할 수 있다.

한편, 도 16는 도어부(500)의 힌지커버(Hinge Cover)(580)를 도시한 사시도이다.

도 5 및 도 16을 참조하면, 상기 힌지커버(580)는 챔버 외부에 경첩으로 연결될 수 있으며, 이를 통해 자유롭게 힌지커버(580)를 상하로 개폐할 수 있다.

이러한 힌지커버(580)가 마련됨으로써, 도어부(500)의 실린더들과 레일들이 외부의 충격으로부터 보호될 수 있다.

도 17은 한 조의 착탈장치부(600)의 전면과 후면의 전체적인 모습을 도시한 사시도이며, 도 18은 착탈장치부(600)의 업다운플레이트(620)와 전후진플레이트(630)가 상하로 이동함으로써, 업다운플레이트(620)에 마련된 핑거(610)가 전진, 후진, 상승, 하강하는 모습을 나타낸 작동도이다.

그리고, 도 19은 착탈장치부(600)의 업다운플레이트(620)와 전후진플레이트(630)의 분해도이며, 도 20는 착탈장치부(600)의 중간정지실린더(660)와 중간정지블록(661) 및 감지센서(680)을 도시한 부분 사시도이다.

도 18 내지 도 19에 도시된 바에 따르면, 상기 착탈장치부(600)는, 수납용기에 착탈거치되어 수납용기를 고정하기 위한 핑거(610)와, 측면에 복수 개의 상기 핑거(610)가 설치되며 외부로부터 인가된 동력에 의해 상하 운동을 하게 되는 업다운플레이트(620)와, 상기 업다운플레이트(620)의 일측면에 접하여 마련되어 있으며 외부로부터 인가된 동력에 의한 상하운동에 따라 상기 업다운플레이트(620)를 전후로 가동시킬 수 있는 캠(Cam) 구조를 포함하고 있는 전후진플레이트(630)와, 상기 업다운플레이트(620)의 일측에 결합되어 상기 업다운플레이트(620)의 상하운동을 위한 동력을 제공하는 업다운실린더(640)와, 상기 전후진플레이트(630)의 일측에 결합되어 상기 전후진플레이트(630)의 상하운동을 위한 동력을 제공하는 전후진실린더(650)를 포함한다.

여기서, 상기 핑거(610)는 "ㄴ"자 형상으로 마련되며, 수평방향으로 뻗어나온 부분 말단에 상방으로 형성되는 걸림쇠(611)를 포함할 수 있다.

즉, 상기 핑거(610)는 상기 핑거(610)의 전면 말단에 형성된 걸림쇠(611)를 통해서 실질적인 수납용기 고정을 수행하고, 후면에 마련된 걸림쇠(612)을 통해서 고정된 수납용기를 밀어낼 수 있다.

그리고, 상기 핑거(610)는 한 개의 핑거가 독자적으로 수납용기를 고정하는데 사용될 수 있으나, 바람직하게는, 하나의 수납용기를 고정하기 위해서 4 개의 핑가(10)가 사용될 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.

한편, 상기 업다운플레이트(620)는 몸체가 직사각형의 얇은 플레이트 모양으로 형성되고, 측면에 복수 개의 상기 핑거(610)가 일정한 간격으로 설치될 수 있는 돌출부를 포함하는 형상으로 마련될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태로 제작될 수 있다.

상기 돌출부 마다 상기 핑거(610)가 한 개씩 설치가 되어, 상기 업다운플레이트(620)의 움직임에 따라서 상기 핑거(610)가 함께 움직이게 된다.

바람직하게는, 상기 한 개의 업다운플레이트(620)마다 8 개의 상기 핑거(610)가 설치될 수 있으며, 2 개의 핑거(610)가 짝을 이루어 챔버에 유입되는 수납용기를 고정시키는 경우, 상기 짝을 이루는 핑거(610)들 사이의 간격이 멀게 마련되어 수납용기의 상부와 하부를 고정하고, 상기 핑거(610) 짝들 사이의 간격은 좁게 마련됨으로써, 수납용기에 대한 고정력을 높이는 동시에 한 번에 많은 수납용기를 고정할 수 있는 구성으로 마련될 수 있다.

그리고, 상기 업다운플레이트(620)와 후술하는 업다운실린더(640)가 결속되는 부분에 일(一)자형 홈(622)이 마련되어 있으며, 상기 업다운플레이트(620)의 내부에는 | 형 홈(624)이 마련되어 있다.

상기 업다운플레이트(620)의 일측면에 접하여 마련된 상기 전후진플레이트(630)는 몸체가 직사각형의 얇은 플레이트 모양으로 형성될 수 있으며, 후술하는 전후진실린더(650)와의 용이한 체결을 위하여, 상기 전후진실린더(650)와 결합되는 부분이 정면에서 바라보았을 때 "ㄴ"자 형으로 꺾인 모습으로 마련될 수 있다.

그리고, 상기 전후진플레이트는(630)는 후술하는 전후진실린더(650)에 의해서 상하로 운동하게 되는데, 이러한 전후진플레이트(630)의 상하운동을 상기 업다운플레이트(620)의 전후진 운동으로 변환시키는 캠(Cam) 구조를 포함하고 있다.

여기서, 캠이란, 서로 다른 운동방향을 가지거나 서로 다른 운동방식을 가진 두 개의 물체를 연결해주는 운동력 전달수단을 말하는 것으로, 각 물체의 운동상태에 따라서 다양한 모습을 가진다.

즉, 회전운동과 상하왕복운동을 연결하기 위해서 판형의 판캠으로 구성될 수 있고, 수평왕복운동과 상하왕복운동을 연결하기 위해서 직동캠으로 구성될 수 있으며, 회전운동과 좌우한정운동을 연결하기 위해서 확동캠 형태로 마련될 수 있다.

특히, 본 발명에서는 캠 홈을 이용함으로써, 상기 전후진플레이트(630)의 상하운동이 전후진운동으로 변환되어 상기 업다운플레이트(620)에 전달되는데, 캠의 구조가 이러한 형태에 한정되는 것은 아니다.

한편, 도 19에 도시된 바에 따르면, 상기 착탈장치부(600)의 전후진플레이트(630)의 캠구조는, 상기 전후진플레이트(630)의 내부에 사선으로 마련된 캠 홈(6320)과, 상기 전후진플레이트(630)의 일측면에 위치하고, 상기 전후진플레이트(630)가 상하로 가동될 때에 위치가 변화되지 않는 가이드블록고정부(6340)와, 상기 업다운플레이트(620)의 일측면에 위치하고, 상기 업다운플레이트(620)와 업다운플레이트(620)의 타측면에 접하고 있는 상기 전후진플레이트(630)를 함께 관통하여 상기 가이드블록고정부(6340)까지 연결되어, 상기 전후진플레이트(630)가 상하로 이동될 때, 상기 캠 홈(6320)을 따라 전후로 이동하여 상기 업다운플레이트(620)가 전후로 이동하게끔 동력을 전달하는 가이드블록가동부(6360)와, 상기 가이드블록가동부(6360)가 전후로 가동될 때, 가이드로서 제공되는 가이드레일(6380)을 포함한다.

여기서, 상기 사선 홈(6320)은 상기 전후진플레이트(630)의 내부에 마련되며, 전후진플레이트(630)의 전면에서 시작하여 아래로 내려갈수록 전후진플레이트(630)의 후면쪽으로 비스듬히 내려오면서 마련된 길고 가는 형상의 개구로서 마련될 수 있다.

그리고, 상기 사선 홈(6320)의 경사에 따라서 전후진플레이트(630)의 움직이는 거리 대비 업다운플레이트(620)의 움직이는 거리가 달라진다.

즉, 사선 홈(6320)의 경사가 90˚에 가까워지면, 전후진플레이트(630)의 상하운동 거리에 비해서 업다운플레이트(620)의 전후이동거리가 짧아진다.

반대로, 사선 홈(6320)의 경사가 0˚에 가까워지면, 전후진플레이트(630)의 상하운동 거리에 비해서 업다운플레이트(620)의 전후이동거리가 길어진다.

그리고, 사선 홈(6320)의 경사가 45˚에 가까워지면, 전후진플레이트(630)의 상하운동 거리와 업다운플레이트(620)의 전후이동거리가 같아진다.

여기서, 상기 사선 홈(6320)의 경사가 45˚이하가 되면, 전후진플레이트(630)와 업다운플레이트(620)를 연결하는 가이드블록가동부(6360)에 무리한 힘이 가해질 수 있으므로, 상기 사선 홈(6320)의 경사가 45˚이상이 되는 것이 바람직하지만 이에 한정되는 것은 아니다.

이와 같은 형상으로 사선 홈(6320)의 모습이 마련됨으로써, 상기 전후진플레이트(630)가 상승하면 상기 업다운플레이트(620)가 후진하여, 상기 업다운플레이트(620)에 마련된 핑거(610)가 수납용기를 당겨서 고정할 수 있게 된다.

바람직하게는, 상기 사선 홈(6320)은 상기 각 전후진플레이트(630) 마다 4개를 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.

그리고, 상기 가이드블록고정부(6340)는 상기 전후진플레이트(630)의 넓은 측면과 얇은 면을 감싸는 형태로 마련되어 수평 단면이 "ㄴ"자 모양으로 형성될 수 있다.

그리고, 도면에 도시되어있지는 않지만, 상기 가이드블록고정부(6340)의 상기 전후진플레이트(630)와 접하는 면에 일(一)자형 홈이 있어, 상기 전후진플레이트(630)와 상기 업다운플레이트(620)의 상하운동과는 무관하게, 일정한 위치에 고정될 수 있다.

그리고, 상기 가이드블록고정부(6340)가 후술하는 가이드블록가동부(6360)와 연결되고, 상기 가이드블록고정부(6340)가 상기 전후진플레이트(630)의 측면을 감쌈으로써, 상기 전후진플레이트(630)와 상기 업다운플레이트(620)의 수평적 위치를 일정한 간격으로 유지시킬 수 있고, 전후진플레이트(630)의 상하운동시 궤도의 역할을 수행할 수도 있다.

또한, 상기 전후진플레이트(630)와 상기 가이드블록고정부(6340) 사이의 마찰력을 줄이기 위해, 상기 전후진플레이트(630)에 상기 가이드블록고정부(6340)가 접하는 면의 가장자리에 롤러(6300)가 마련될 수 있다.

바람직하게는, 상기 롤러(6300)는 각 가이드블록고정부(6340)마다 2 개씩 설치될 수 있다.

상기 가이드블록가동부(6360)는 직사각형 판과 판 중앙부에서 상방으로 돌출된 원기둥이 결합된 형상으로 마련될 수 있으며, 상기 원기둥을 통해서 상기 업다운플레이트(620)와 전후진플레이트(630)를 관통하여 두 부분을 연결하게 된다.

그리고, 상기 가이드블록가동부(6360)는 상기 업다운플레이트(620)와 전후진플레이트(630)를 관통하는 상기 원기둥의 마찰력을 줄이기 위해서 복수 개의 링(6364)과 와셔(6362)를 추가적으로 포함할 수 있다.

한편, 상기 가이드블록가동부(6360)의 원기둥은 상기 전후진플레이트(630)가 상하로 운동할 때, 상기 사선 홈(6320)의 경사를 따라 전후로 운동하게 되고, 이러한 전후 운동을 상기 업다운플레이트(620)에 전달하는 역할을 한다.

그리고, 상기 가이드레일(6380)은 챔버의 내부에 고정되는 부분으로, 상기 가이드블록가동부(6360)가 전후로 운동시 궤도로서 마련된 것이다.

또한, 상기 가이드레일(6380)은 상기 가이드블록가동부(6360)가 레일에서 이탈하는 것을 방지하기 위해 이탈방지부(6382)를 추가적으로 포함할 수 있다.

상술한 바와 같은 구성으로 마련된 상기 캠 구조의 작동 순서는 아래와 같다.

상기 전후진플레이트(630)의 기본 상태가 상승상태인 것으로 가정하였을 때, 상기 전후진플레이트(630)가 하강하게 되면, 상기 사선 홈(6320)을 따라 가이드블록가동부(6360)가 이동하게 된다.

이때, 상기 가이드블록가동부(6360)는, 상기 사선 홈(6320)이 전후진플레이트(630)의 전면 방향 윗쪽에서 후면 방향 아래쪽으로 마련되어있음으로 인해, 전후진플레이트(630)가 하강할 때 전면 방향으로 미끄러져 이동하게 된다.

즉, 상기 가이드블록가동부(6360)의 원기둥이 전후진플레이트(630) 상에서는 후면 아래쪽에서 전면 윗쪽으로 상대적인 사선이동을 한 것이지만, 절대적인 위치의 관점에서, 이 사선이동은 전후진플레이트(630)의 하강운동과 가이드블록가동부(6360)의 원기둥부의 전진운동으로 분리되는 것이다.

그리고, 상기 가이드블록가동부(6360)는 챔버 내에 고정된 가이드레일(6380)을 따라 수평으로 전진하게 됨으로써, 상기 업다운플레이트(620)에 마련된 | 형 홈(624)을 수평 전방으로 밀게 되어 상기 업다운플레이트(620) 전체가 전진하게 된다.

그리고, 상기 전후진플레이트(630)가 상승하게 되면, 상기 가이드블록가동부(6360)의 원기둥이 상기 사선 홈(6320)을 따라 전면 윗쪽에서 후면 아래쪽으로 이동하게 되고, 이와 같은 움직임에 의해서 상기 아이드블록가동부(360)가 업다운플레이트(620)의 | 형 홈(624)을 뒤로 잡아당겨, 전체 업다운플레이트(620)가 후진하게 된다.

한편, 상술한 바와 같이, 상기 업다운플레이트(620)에 일(一)자형 홈(622)이 있어, 상기 전후진플레이트(630)의 상하운동에 의해서 상기 업다운플레이트(620)가 전후로 이동될 때, 상기 업다운플레이트(620)의 수직적인 위치가 변하지 않는다.

또한, 상술한 바와 같이, 상기 업다운플레이트(620)에 | 형 홈(624)이 있어, 상기 업다운플레이트(620)가 상하로 이동하는 경우에도, 상기 전후진플레이트(630)에 아무런 영향을 주지 않게 된다.

즉, 상기 업다운플레이트(620)에 의한 핑거(610)의 상하운동과 상기 전후진플레이트(630)에 의한 핑거(610)의 전후진운동은 별개의 동작으로, 후술하는 제어장치부(800)의 제어신호에 따라서 독자적으로 상기 핑거(610)의 전후상하 운동을 조작할 수 있게 된다.

상기 업다운실린더(640)은 수평방향 단면이 원인 기둥의 형상으로 마련된 파이프와 상기 파이프의 반경보다 작은 크기의 반경을 가지는 원기둥 형상의 샤프트로 마련되어 있으며, 상기 파이프에 가해지는 압력에 의해서 상기 샤프트가 상하로 이동하게 된다.

그리고, 상기 샤프트의 끝에 상기 업다운플레이트(620)의 일측이 결합되어 있어, 상기 업다운실린더(640)의 동력이 상기 업다운플레이트(620)에 전달이 된다.

한편, 상기 전후진실린더(650)도 상기 업다운실린더(640)와 마찬가지로 원기둥 형상의 파이프와 샤프트로 마련되며, 샤프트를 통해서 결합된 상기 전후진플레이트(630)가 상하로 움직이게 한다.

그리고, 상기 핑거(610)의 강한 고정력을 위해 상기 업다운실린더(640)보다 큰 구경의 실린더로 마련될 수 있는데, 바람직하게는, 상기 전후진실린더(650)는 파이프의 지름이 125mm인 것으로 마련될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

또한, 상기 전후진플레이트(630)와 연결된 샤프트의 반대쪽 끝에 상기 전후진실린더(650)의 기동범위를 제한하는 가동제한부(670)가 마련될 수 있다.

상기 가동제한부는 상기 업다운실린더(640)에도 마련될 수 있다.

즉, 상기 전후진실린더(650)의 샤프트가 아래로 이동하는 경우 상기 가동제한부(670)도 함께 아래로 이동하게 되는데, 실린더의 구조물에 상기 가동제한부(670)가 걸리는 한도까지 상기 샤프트가 아래로 이동할 수 있게 된다.

다시 말해, 상기 가동제한부(670)가 이동하는 폭 만큼 상기 전후진실린더(650)의 샤프트가 이동하게 되고, 상기 샤프트에 의해서 상기 전후진플레이트(630)가 상하로 이동하면서 상기 업다운플레이트(620)를 전후진시키게 되므로, 상기 가동제한부(670)의 이동거리와 상기 업다운플레이트(620)에 마련된 핑거(610)의 이동거리가 비례하는 관계를 가지게 된다.

그래서, 상기 가동제한부(670)의 이동거리를 제한함으로써 상기 핑거(610)의 전후 운동 거리를 줄일 수 있는데, 이것은 상기 가동제한부(670)의 기동경로 상에 중간정지블록(661)을 끼워넣음으로써 달성될 수 있다.

여기서, 상기 중간정지블록(661)은 상기 전후진실린더(650)의 상부에 위치하고 있는 중간정지실린더(660)에 의해서 전진 또는 후진하게 된다.

즉, 필요에 따라 상기 중간정지실린더(660)를 제어함으로써, 상기 중간정지블록(661)을 작동시켜, 상기 가동제한부(670)의 운동을 제한할 수 있다.

한편, 도 20에 도시된 바와 같이, 상기 업다운실린더(640)와 상기 전후진실린더(650)와 상기 중간정지실린더(660)의 작동상태를 감지하기 위한 감지센서(680)가 마련될 수 있다.

상기 감지센서(680)는 상기 업다운실린더(640)의 가동제한부와 상기 전후진실린더(650)의 가동제한부(670)와 상기 중간정지실린더(660)의 상기 중간정지블록(661)의 움직임을 감지한다.

즉, 상기 감지센서(680)가 상하로 각각 2 개가 마련될 수 있어, 상기 가동제한부(670)에 연결된 상기 업다운실린더(640)와 전후진실린더(650)의 상승 및 하강 상태를 감지할 수 있게 된다.

그리고, 상기 중간정지블록(661)의 전후진 상태를 감지하기 위해서 상기 중간정지블록(661)의 기동경로 전방에 1 개의 감지센서(680)가 마련될 수 있는데 이에 한정되는 것은 아니다.

상술한 바와 같이, 상기 감지센서(680)를 통해서 상기 실린더들의 상태를 감지함으로써, 정확한 실린더의 제어가 가능해지고, 실린더의 오작동이 감지되었을 때 신속하게 문제를 해결할 수 있다.

한편, 상기 업다운실린더(640)와 상기 전후진실린더(650)와 상기 중간정지실린더(660)는 유압식 실린더 또는 공압식 실린더로 마련될 수 있는데, 바람직하게는, 기름이 유출되는 현상이 없고 용이하게 직선운동을 구현할 수 있는 공압식 실린더로 마련될 수 있지만 이에 한정되는 것은 아니다.

그리고, 업다운플레이트(620)에 설치된 복수 개의 핑거(610)와 한 개의 업다운플레이트(620)와 한 개의 전후진플레이트(630)와 한 개의 업다운실린더(640)와 한 개의 전후진실린더(650)와 한 개의 중간정지실린더(660)로 마련된 착탈장치부가 2 개로 한 조를 이룰 수 있다.

상기 한 조를 이루는 착탈장치부는, 바람직하게는, 2 개의 조로써 본 발명에 따른 수납용기 착탈장치에 마련할 수 있는데, 이에 한정되는 것은 아니며, 챔버의 넓이에 따라서 착탈장치에 포함되는 착탈장치부의 수를 늘일 수 있다.

상술한 바와 같이, 상기 업다운플레이트(620)에 8 개의 핑거가 마련되고, 4 개의 핑거로써 한 개의 수납용기를 고정하는 경우, 상기 2 개의 조로써 마련된 착탈장치는 한 번에 8 개의 수납용기를 고정할 수 있다.

한편, 상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 수납용기 착탈장치의 동작순서는 다음과 같다.

기본적으로, 업다운플레이트(620)에 마련된 핑거(610)는 업다운플레이트(620)와 연결된 업다운실린더(640)가 하강 상태에 있고, 전후진플레이트(630)에 연결된 전후진실린더(650)도 하강 상태에 있음으로써, 전진 - 하강 상태에 있게 된다.

이런 상태에서, 챔버 내에 수납용기가 유입되어 착탈장치부(600)에 근접하게 되면, 상기 업다운실린더(640)에 의해서 상기 업다운플레이트(620)가 상승하게 되고, 상기 업다운플레이트(620)에 마련된 핑거(610)가 상기 수납용기의 착탈부에 닿게 된다.

그 다음, 상기 전후진실린더(650)에 의해서 상기 전후진플레이트(630)가 상승하여, 이에 따라서 상기 전후진플레이트(630)의 캠 구조가 작동함으로써, 상기 업다운플레이트(620)가 후진하게 된다.

즉, 상기와 같이 업다운플레이트(620)가 후진함으로써, 상기 업다운플레이트(620)에 마련된 핑거(610)의 걸림쇠(611)에 결합된 상기 수납용기의 착탈부를 끌어당겨, 단열벽(400)에 마련된 커넥터(430)와 상기 수납용기 내부에 있는 반도체 소자와의 전기적인 접촉을 가능하게 한다.

바람직하게는, 상기 핑거(610)를 통해서 수납용기가 18mm 정도 당겨지게 되는데, 이에 한정되는 것은 아니다.

반도체 소자의 신뢰성 테스트가 진행되기에 앞서, 상기 반도체 소자와 상기 커넥터(430)에 가해지는 압력을 해제하기 위해서 상기 전후진실린더(650)가 하강하게 되는데, 이때, 중간정지실린더(660)가 중간정지블록(661)을 상기 전후진실린더(650)의 가동제한부(670)의 하부에 밀어넣음으로써, 상기 전후진실린더(650)는 미세한 정도로만 하강하게 된다.

바람직하게는, 상기 가동제한부(670)로 인해, 상기 전후진실린더(650)를 통해 전후진플레이트(630)가 하강하게 되고, 이로써 상기 업다운플레이트(620)와 상기 핑거(610)가 3mm 정도만 전진하게 되는데, 이 거리에 한정되지 않는다.

상기 핑거(610)가 상기와 같이 미세하게 전진할 때, 상기 핑거(610)의 턱(612)부분이 상기 수납용기의 착탈부를 밀어줌으로써, 상기 커넥터(430)와 상기 수납용기의 반도체 소자 사이의 전기적인 접속을 유지하면서도 둘 사이에 발생될 수 있는 물리적인 압력을 완화할 수 있어, 양호한 신뢰도 테스트 환경을 조성할 수 있다.

신뢰도 테스트가 완료된 후, 상기 가동제한부(670)와 맞물린 중간정지블록(661)을 용이하게 후진시키기 위해, 상기 가동제한부(670)가 연결된 전후진실린더(650)가 미세한 정도로 상승하게 된다.

그리고, 상기 중간정지실린더(660)가 중간정지블록(661)을 후진시켜 상기 가동제한부(670)의 기동범위에 장애물이 사라지게 되면, 상기 전후진실린더(650) 및 전후진플레이트(630)가 하강하여 상기 업다운플레이트(620)를 전진시킴으로써, 상기 핑거(610)가 핑거(610)에 마련된 턱(612)으로 상기 수납용기의 착탈부를 밀어내어, 상기 수납용기의 반도체 소자와 챔버의 커넥터(430) 사이의 전기적 접속을 해제하게 된다.

마지막으로, 상기 업다운실린더(640) 및 업다운플레이트(620)가 하강함으로써, 상기 핑거(610)가 상기 수납용기로부터 완전하게 떨어지게 된다.

이를 통해, 상기 핑거(610)는 기본적인 상태인 전진 - 하강 상태로 돌아가게 되고, 차후에 유입되는 수납용기를 고정할 수 있게 된다.

한편, 상기 업다운플레이트(620)와 전후진플레이트(630)는 독립적인 작동이 가능함으로, 상기와는 다른 동작순서를 가질 수 있어, 다양한 상황에 대처할 수 있다.

도 21은 롤러부(700)의 전체적인 형상을 도시한 사시도이며, 도 22은 롤러부(700)에 마련된 롤러(710), 멈춤턱(740), 위치고정핀(720), 개구(750)의 형성을 도시한 부분사시도이다.

도 21 내지 도 22에 도시된 바에 따르면, 상기 착탈장치부(600)와 상기 롤러부(700) 사이에, 상기 단열벽(400)에 포함되는 커넥터(430)를 노출시킬 수 있는 개구(750)가 형성된 판(730)이 포함될 수 있다.

상기 판(730) 표면에, 원기둥 형상의 위치고정핀(720)이 일정한 간격으로 설치될 수 있는데, 상기 위치고정핀(720)은 반도체 소자 수납용기가 고정장치에 의해 착탈될 때 정해진 위치에 바르게 고정되게 하며, 상기 착탈장치부(600)에 의해서 반도체 소자 수납용기가 고정될 때, 고정의 안정도를 더욱 높여주게 된다.

그리고, 도 22에 도시된 바와 같이, 롤러부(700)는 반도체 소자 수납용기의 하부를 지지하는 대구경의 롤러(710)와 수납용기의 측면을 둘러싸는 소구경의 롤러(710)가 마련되어 있어, 상기 롤러부(700)를 통해 수납용기가 이동될 때, 궤도에서 이탈되는 것을 막을 수 있다.

또한, 상기 판(730)의 표면에 멈춤턱(740)이 마련되어 있어, 수납용기가 필요이상으로 판(730)에 근접하여, 상기 판(730)과 수납용기가 충돌하는 것을 방지하는 역할을 한다.

한편, 상기 판(730)의 내부에 가로로 마련된 개구(750)는 단열벽(400)의 커넥터(430)의 브라켓(435)이 노출되는 부분이며, 세로로 마련된 개구(750)는 착탈장치부(600)의 핑거(610)가 노출되는 부분이다.

도 23는 제어장치부(800)의 구조와 연결방식을 도시한 블럭도이다.

제어장치부(800)는 챔버의 각부로부터 전해진 정보들을 취합하여 스크린에 표시하고, 사용자의 입력을 받아 챔버의 각 구성요소들이 사용자가 원하는 방식으로 작동하게 하는 제어 및 정보통신의 중심부이다.

즉, 제어장치부(800)는 제어장치부(800)에 마련된 다수의 통신포트(통신 Card 1 port, 2port, I/O card)를 통해, 테스트룸(100) 내부의 덕트(150)의 온도, 순환모터의 회전수(140), 증발기(120, 130)의 압력, PC룸(200)의 온도, PC렉(220)에 마련된 팬의 회전속도, 제1냉동기(310) 및 제2냉동기(320)에 포함된 응축기의 압력, 냉동장치부(300)의 누수여부, 도어부(500)의 작동순서 및 상태, 착탈장치부(600)의 작동순서 및 상태 등의 정보를 스크린을 통해서 표시하게 된다.

이 때, 상기 정보들을 효과적으로 표시하고, 사용자의 조작입력을 용이하게 받아들이기 위하여, 상기 제어부의 스크린은 터치스크린 방식으로 마련될 수 있다.

즉, 상기 터치스크린 방식이 사용됨으로써, 하나의 스크린을 통해서 정보의 출력과 입력을 동시에 처리할 수 있어, 제어장치부(800)가 챔버에서 차지하는 면적을 줄이고, 사용자의 조작성을 증대시킬 수 있다.

이러한 제어장치부(800)의 터치스크린은 조작의 편의성을 위해 챔버 전면 외측의 우측 상부에 일반인의 평균적인 신장의 가슴부위 정도의 높이에 마련될 수 있다.

도 22에 의하면, 제어장치부(800)는 온도 콘트롤러 카드를 통해서 테스트룸(100)의 히터(110)를 제어하게 되는데, 이 때, 상기 히터(110)의 효율적인 제어를 위해서 SSR(Solid State Relay)가 사용될 수 있다.

여기서, 상기 SSR은 전자식 릴레이로서 작은 DC전압으로 AC전원을 이용하는 장비를 제어할 때 사용하는 소자로서, SSR 입력단에 입력전원이 인가되면 출력단 2개의 단자사이에 전류가 흐르게 되는 원리로 신호를 제어하게 된다.

상기 SSR에 대한 상세한 내용은 이미 공지된 내용이므로 생략하도록 한다.

한편, 제어장치부(800)를 통해서 테스트룸(100)의 순환모터(140)를 제어할 때, 인버터제어방식을 이용할 수 있다.

여기, 상기 인버터제어방식은 구동장비의 정확한 제어가 가능하고, 구동장비의 설치 및 운전이 용이한 제어방식이다.

즉, 인버터제어방식을 이용함으로써, 상기 순환모터(140)의 회전수를 서서히 줄여주는 슬로프 기능을 구현할 수 있고, 간단한 스위치로 정역 제어가 가능하며, 인버터 내부에 다양한 순환모터(140) 회전속도를 저장하는 경우, 다단속도 스위치 접점을 이용하여 별도의 외부 가변조작 없이 용이하게 회전속도를 변화시킬 수 있다.

이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 챔버의 전체 모습을 도시한 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 챔버 내부의 평면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 챔버 내부의 정면도이다.

도 4는 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 챔버 내부의 좌측면도이다.

도 5는 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트용 챔버 내부의 우측면도이다.

도 6은 테스트룸의 구조를 도시한 개략도이다.

도 7은 PC렉의 형상을 도시한 사시도이다.

도 8은 PC렉에 설치된 낙하방지브라켓을 도시한 부분 사시도이다.

도 9는 냉동장치부의 형상을 도시한 사시도이다.

도 10은 단열벽에 포함되는 커넥터를 통해 테스트룸과 PC룸을 전기적으로 연결되는 구조를 도시한 개략적인 단면도이다.

도 11은 커넥터의 형상을 도시한 사시도이다.

도 12는 단열벽과 커넥터의 형상을 도시한 사시도이다.

도 13은 개방상태의 도어부를 도시한 사시도이다.

도 14는 폐쇄상태의 도어부를 도시한 사시도이다.

도 15은 도어부의 상부를 상세하게 도시한 부분도이다.

도 16는 도어부의 힌지커버를 도시한 사시도이다.

도 17은 한 조의 착탈장치부의 전면과 후면의 전체적인 모습을 도시한 사시 도이다.

도 18은 착탈장치부의 업다운플레이트와 전후진플레이트가 상하로 이동함으로써, 업다운플레이트에 마련된 핑거가 전진, 후진, 상승, 하강하는 모습을 나타낸 작동도이다.

도 19은 착탈장치부의 업다운플레이트와 전후진플레이트의 분해도이다.

도 20는 착탈장치부의 중간정지실린더와 중간정지블록을 도시한 부분 사시도이다.

도 21은 롤러부의 전체적인 형상을 도시한 사시도이다.

도 22은 롤러부에 마련된 롤러, 멈춤턱, 위치고정핀, 개구의 형성을 도시한 부분사시도이다.

도 23는 제어장치부의 구조와 연결방식을 도시한 블럭도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 테스트룸 110 : 히터

120 : 제1증발기 130 : 제2증발기

140 : 순환모터 150 : 덕트

160 : 온도감지센서 200 : PC룸

210 : 컴퓨터 220 : PC렉

230 : 팬케이스 231 : 팬커넥터

240 : 라디에이터 250 : 낙하방지브라켓

300 : 냉동장치부 310 : 제1냉동기

320 : 제2냉동기 400 : 단열벽

410 : 실리콘판 420 : 에폭시글라스판

430 : 커넥터 431 : 전원케이블

433 : 데이터케이블 435 : 브라켓

440 : 러버히터 500 : 도어부

510 : 도어 520 : 고정레일부

530 : 가동레일부 540 : 수평이동실린더부

550 : 전후이동실린더부 560 : 롤러

570 : 센서 580 : 힌지커버

600 : 착탈장치부 610 : 핑거

611 : 걸림쇠 612 : 턱

620 : 업다운플레이트 622 : 일(一)자형 홈

624 : | 형 홈 630 : 전후진플레이트

640 : 업다운실린더 650 : 전후진실린더

660 : 중간정지실린더 670 : 가동제한부

661 : 중간정지블록 680 : 감지센서

6300 : 롤러 6320 : 사선 홈

6340 : 가이드블록고정부 6360 : 가이드블록가동부

6362 : 와셔 6364 : 링

6380 : 가이드레일 6382 : 이탈방지부

700 : 롤러부 710 : 롤러

720 : 위치고정핀 730 : 판

740 : 멈춤턱 750 : 개구

800 : 제어장치부 1000 : 공기흐름

Claims (21)

1. 복수개의 히터와 증발기를 이용하여 챔버 내부의 온도를 낮추거나 높임으로써 고온 및 저온의 환경을 조성하기 위한 테스트룸과;

   상기 테스트룸에서 가동시험중인 반도체 소자에 유선으로 직접 연결되어 실제적인 신뢰성검사를 수행하는 컴퓨터들과 그 컴퓨터를 거치시키는 PC렉이 설치되는 PC룸과;

   상기 테스트룸 외부에 복수개로 설치되며 상기 테스트룸 내부에 마련되는 증발기에 연결되어 그 증발기의 열을 외부로 배출시키는 냉동기를 포함하는 냉동장치부와;

   상기 테스트룸과 상기 PC룸 사이에 위치하여 상기 테스트룸 내부의 냉기와 열이 테스트룸 외부로 전달되는 것을 막고, 챔버 내로 유입된 반도체 소자와 PC룸의 컴퓨터들을 직접 연결시켜주는 커넥터를 포함하는 단열벽과;

   상기 테스트룸에서 검사가 수행될 때 챔버의 내부공간의 기밀을 유지하고, 챔버를 개방 및 폐쇄시키기 위한 도어부와;

   상기 테스트룸과 단열벽 사이에 마련되며, 상기 테스트룸에서 검사가 시행될 때 유입된 반도체 소자 수납장치를 안전하게 착탈시키기 위한 착탈장치부와;

   상기 착탈장치부 전면에 마련되고, 챔버 내부에 유입된 반도체 소자 수납장치가 상기 테스트룸 내부에 안착되기 위해서 이동되거나 검사종료 후 챔버 외부로 이송될 때 가이드레일로써 제공되며, 수납장치의 용이한 수송을 위한 복수개의 롤 러가 구비된 롤러부와;

   챔버 외부에 마련되며 사용자로부터 입력값을 받아들임으로써 상기 테스트룸과 PC룸과 냉동장치부와 도어부와 롤러부와 착탈장치부의 동작을 제어하고, 챔버 각부의 상태를 디스플레이장치를 통해서 출력하는 제어장치부를 포함하며,

   상기 테스트룸에 히터에 의해서 가열되거나 증발기에 의해서 냉각된 공기를 테스트룸의 각부로 이송시키는 순환모터와, 상기 순환모터로부터 발생된 공기의 흐름을 효과적으로 테스트룸의 각부로 이송시키기 위한 덕트가 추가적으로 포함되고,

   상기 테스트룸의 내부 접합부에 기밀유지 및 단열보강을 위한 수용성 우레탄 폼 단열재와 내열 실리콘이 도포되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
2. 제1항에 있어서,

   상기 테스트룸에 마련되는 복수개의 증발기는, 상기 히터의 측면에 마련되며 상기 테스트룸이 고온에서 동작될 때 테스트룸의 온도를 낮추기 위한 소용량의 고온용 제1증발기와, 상기 테스트룸의 측면의 넓은 공간에 걸쳐서 마련되며 상기 테스트룸이 저온에서 동작될 때 테스트룸의 온도를 낮추기 위한 대용량의 저온용 제2증발기로 마련되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
3. 제2항에 있어서,

   상기 증발기는 상기 냉동장치부의 냉동기에 개별적으로 하나씩 연결됨으로 써, 각각의 증발기가 독립적으로 테스트룸에 대한 냉동동작이 가능한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
4. 제3항에 있어서,

   상기 증발기는, 상기 테스트룸이 고온에서 동작될 때 상기 히터와 상기 고온용 증발기가 함께 작동하여 테스트룸의 온도를 조절하게 되고, 상기 테스트룸이 저온에서 동작될 때 상기 히터와 상기 고온용 증발기와 상기 저온용 증발기가 함께 작동하여 테스트룸의 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
5. 제4항에 있어서,

   상기 테스트룸 바닥에 결로 등으로 인해 발생된 물을 배출시키는 배수구가 마련되어 있고, 테스트룸이 도어부에 의해 밀폐된 이후 반도체 소자의 산화를 방지하고 챔버 내부를 정화하기 위해 지속적으로 질소 가스가 충전되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
6. 제5항에 있어서,

   상기 테스트룸과 상기 도어부의 도어의 테두리가 맞닿는 패킹라인부분에 테스트룸의 결로를 방지하기 위한 열선이 마련되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
7. 제6항에 있어서,

   상기 PC렉의 측면에 PC렉에 설치되는 컴퓨터에서 발생되는 열을 순환시키기 위한 복수개의 팬(Fan)과, 상기 팬을 수납하기 위한 팬케이스와, 팬케이스 측면에 마련되며 펜의 작동을 위한 전력선과 펜의 동작을 제어하기 위한 제어선이 접촉되는 팬커넥터가 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
8. 제7항에 있어서,

   상기 PC룸 내부에 설치된 컴퓨터들에서 발생되는 열을 PC룸 밖으로 배출시키는 라디에이터가 상기 PC룸의 상부에 마련되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
9. 제8항에 있어서,

   상기 냉동장치부가 설치되는 챔버 내부의 바닥면에 냉동기의 누수를 감지하는 누수감지센서가 마련되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
10. 제9항에 있어서,

    상기 단열벽은 두 개의 실리콘판과 한 개의 에폭시글라스(Epoxy Glass)판으로 마련되며, 상기 구성요소들의 배열이 실리콘판 - 에폭시글라스판 - 실리콘판인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
11. 제10항에 있어서,

    상기 단열벽의 PC룸 쪽 측면에 결로 방지를 위한 러버히터(Rubber Heater)가 추가적으로 마련되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
12. 제11항에 있어서,

    상기 도어부의 도어마다 개별적으로 가동레일부와 고정레일부가 마련되어있고, 상기 고정레일부의 길이와 상기 가동레일부의 전후진 운동거리가 각각 상이한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
13. 제12항에 있어서,

    상기 도어부의 도어의 측면에 사람이나 물체의 존재유무를 감지할 수 있는 복수개의 센서가 마련된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
14. 제13항에 있어서,

    상기 도어부의 도어를 수평으로 이동시키는 실린더가 공압식 로드레스(Rodless)실린더로 마련되고, 도어의 상측 및 하측에 도어의 원활한 수평이동을 위한 롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
15. 제14항에 있어서,

    상기 착탈장치부는,

    수납용기에 착탈거치되어 수납용기를 고정하기 위한 핑거와;

    측면에 복수 개의 상기 핑거가 설치되며 외부로부터 인가된 동력에 의해 상하 운동을 하게 되는 업다운플레이트와;

    상기 업다운플레이트의 일측면에 접하여 마련되어 있으며 외부로부터 인가된 동력에 의한 상하운동에 따라 상기 업다운플레이트를 전후로 가동시킬 수 있는 캠(Cam) 구조를 포함하고 있는 전후진플레이트와;

    상기 업다운플레이트의 일측에 결합되어 상기 업다운플레이트의 상하운동을 위한 동력을 제공하는 업다운실린더와;

    상기 전후진플레이트의 일측에 결합되어 상기 전후진플레이트의 상하운동을 위한 동력을 제공하는 전후진실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
16. 제15항에 있어서,

    상기 착탈장치부의 전후진플레이트의 캠구조는,

    상기 전후진플레이트의 내부에 사선으로 마련된 캠 홈과;

    상기 전후진플레이트의 일측면에 위치하고, 상기 전후진플레이트가 상하로 가동될 때에 위치가 변화되지 않는 가이드블록고정부와;

    상기 업다운플레이트의 일측면에 위치하고, 상기 업다운플레이트와 업다운플레이트의 타측면에 접하고 있는 상기 전후진플레이트를 함께 관통하여 상기 가이드 블록고정부까지 연결되어, 상기 전후진플레이트가 상하로 이동될 때, 상기 캠 홈을 따라 전후로 이동하여 상기 업다운플레이트가 전후로 이동하게끔 동력을 전달하는 가이드블록가동부와;

    상기 가이드블록가동부가 전후로 가동될 때, 가이드로서 제공되는 가이드레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
17. 제16항에 있어서,

    상기 착탈장치부의 업다운플레이트에 상기 업다운실린더와의 체결을 위한 일(一)자형 홈이 마련되어 있고, 상기 업다운플레이트에서 상기 가이드블록가동부가 관통하는 부분에 | 형 홈이 마련됨으로써, 상기 업다운플레이트와 상기 전후진플레이트가 독립적으로 동작가능한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
18. 제17항에 있어서,

    상기 착탈장치부의 전후진실린더는 실린더의 기동범위를 제한하는 가동제한부를 포함하는데, 상기 전후진실린더의 샤프트 말단에 설치된 상기 가동제한부의 기동범위 내에 중간정지블록을 삽입함으로써, 상기 전후진실린더의 가동범위를 축소시킬수 있는 중간정지실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
19. 제 18항에 있어서,

    상기 착탈장치부의 업다운실린더와 전후진실린더와 중간정지실린더에 각 실린더의 상태를 확인하기 위한 감지센서가 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
20. 제19항에 있어서,

    상기 착탈장치부와 상기 롤러부 사이에, 상기 단열벽에 포함되는 커넥터를 노출시킬 수 있는 개구가 형성된 판이 포함될 수 있으며, 상기 판 표면에, 반도체 소자 수납용기가 고정장치에 의해 착탈될 때 정해진 위치에 바르게 고정되게 하는 원기둥 형상의 위치고정핀이 일정한 간격으로 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.
21. 제20항에 있어서,

    상기 제어장치부는 터치스크린 방식을 통해서 사용자의 조작입력을 받아들이는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 챔버.

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