KR20100019325A - Short-arc typed discharge lamp and method for manufacturing the same - Google Patents

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KR20100019325A
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Abstract

PURPOSE: A discharge lamp with a shape of short arc and a manufacturing method thereof are provided to prevent a wrinkle on a metal foil and a breakdown of a seal unit while turning on the discharge lamp. CONSTITUTION: A discharge lamp with a shape of short arc comprises: a pair of external seal tube(12) installed in both sides of a light emitting tube; an internal seal tube(11) welded to the external seal tube on the same axis direction of the external seal tube; a first electricity collecting plate(4) electrically connected to an electrode; plural metal foils electrically connected to the first electricity collecting plate; a glass member(6) welded to the inside of the internal seal tube to insert the plural metal foils between the internal seal tube and the glass member; and an external lead rod(7) electrically connected to a second electricity collecting plate electrically combined with the metal foils.

Description

쇼트 아크형 방전 램프와 그 제조 방법{SHORT-ARC TYPED DISCHARGE LAMP AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}Short arc-type discharge lamp and manufacturing method {SHORT-ARC TYPED DISCHARGE LAMP AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은, 반도체나 액정의 제조 분야 등에서 사용되는 쇼트 아크형 방전 램프와 그의 제조 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a short arc type discharge lamp used in the field of semiconductor, liquid crystal production, and the like and a method of manufacturing the same.

종래부터, 반도체나 액정 기판의 노광용으로 이용되는 쇼트 아크형 방전 램프의 점등시에는, 높은 점등 압력을 유지하면서 방전 공간 내와 그 램프 외부의 기밀성을 확보하는 목적에서, 몰리브덴 등의 금속박을 유리와 봉착시켜 시일하는 방법이 채용되고 있다. Conventionally, at the time of lighting of a short arc type discharge lamp used for exposure of a semiconductor or a liquid crystal substrate, metal foil, such as molybdenum, is made with glass for the purpose of ensuring the airtightness inside and outside of the lamp space, maintaining high lighting pressure. The method of sealing and sealing is employ | adopted.

이와 같이 몰리브덴 등의 금속박에 의해 시일된 한 겹 시일 구조를 가지는 쇼트 아크형 방전 램프는, 예를 들면 특허 문헌 1에 개시된 바와 같이 주지이다. Thus, the short arc type discharge lamp which has a one-ply seal structure sealed by metal foil, such as molybdenum, is well known as disclosed in patent document 1, for example.

최근의 반도체나 액정 기판의 노광에는, 반도체 처리시의 스루풋을 올리는 것이나, 액정 기판이나 컬러 필터를 대상으로 한 대면적 조사시의 처리 능력을 향상하는 것이 요구되고 있다. In recent years, exposure of semiconductors and liquid crystal substrates has been required to increase throughput during semiconductor processing and to improve processing capability at the time of large-area irradiation for liquid crystal substrates and color filters.

이러한 요구에 대해, 노광용의 광원에 사용하는 쇼트 아크형 방전 램프는, 투입 전력을 종래 이상으로 높게 하는 것으로 대응하고 있다. 이에 따라, 전극이 대형화하여, 전극이 매우 무거워지고 있다. In response to these demands, the short arc type discharge lamp used for the light source for exposure respond | corresponds by making input power higher than before. As a result, the electrodes are enlarged, and the electrodes become very heavy.

쇼트 아크형 방전 램프는, 특허 문헌 1에 나타내는 바와 같이, 전극의 일단만이 유지된 캔틸레버 구조이다. 그 때문에, 전극이 무거워지면, 제조 시에 있어서, 전극의 축부를 통해 금속박에 매우 큰 응력이 걸려, 시일 후의 금속박에 주름이 형성되거나, 금속박 자체가 파단하는 일이 있었다. 그리고, 금속박에 주름이 형성된 상태로 쇼트 아크형 방전 램프를 점등시키면, 시일부 구조가 파손된다는 문제가 있었다. As shown in Patent Literature 1, the short arc discharge lamp has a cantilever structure in which only one end of an electrode is held. Therefore, when an electrode becomes heavy, at the time of manufacture, very large stress is applied to the metal foil through the shaft part of an electrode, the wrinkles may be formed in the metal foil after sealing, or the metal foil itself may break. And when a short arc type discharge lamp is lighted in the state in which wrinkles were formed in the metal foil, there existed a problem that a seal part structure was broken.

이러한 문제에 대응하기 위해, 본 출원인은, 특허 문헌 2에 있어서, 이중 시일 구조를 가지는 쇼트 아크형 방전 램프를 제안했다. 도 6은, 종래의 이중 시일 구조를 가지는 쇼트 아크형 방전 램프의 전체 구성을 나타낸다. In order to cope with such a problem, the present applicant has proposed a short arc type discharge lamp having a double seal structure in Patent Document 2. 6 shows the overall configuration of a short arc type discharge lamp having a conventional double seal structure.

발광관(1)은 수은을 봉입한 석영 유리제의 관이다. 양극(2), 음극(3)은, 각각, 발광관 내에 배치된 본체부(21, 31)와, 외측 시일관 내를 향해 연장되는 축부(22, 32)를 가진다. The light emitting tube 1 is a tube made of quartz glass enclosed with mercury. The anode 2 and the cathode 3 each have main body portions 21 and 31 disposed in the light emitting tube, and shaft portions 22 and 32 extending toward the outer seal tube.

쇼트 아크형 방전 램프는, 외측 시일관(12), 내측 시일관(11), 금속박(10) 및 유리 부재(6)에 의해 기밀하게 시일된 이중 시일 구조를 가진다. 이하에, 양극(2)측의 시일부 구조에 대해서 설명하는데, 음극측의 시일부 구조도 양극측과 동일하다. The short arc type discharge lamp has a double seal structure that is hermetically sealed by the outer seal tube 12, the inner seal tube 11, the metal foil 10, and the glass member 6. Hereinafter, although the seal part structure on the anode 2 side will be described, the seal part structure on the cathode side is also the same as the anode side.

외측 시일관(12)은, 발광관(1)의 양단에 연속하는 원통형상 부분이다. The outer seal tube 12 is a cylindrical portion continuous to both ends of the light emitting tube 1.

내측 시일관(11)은, 기밀 시일을 위한 원통형상의 유리 부재이다. The inner seal pipe 11 is a cylindrical glass member for hermetic seal.

유리 부재(6)는 2개소에 형성된 바닥이 있는 구멍에 있어서, 축부(22)와, 외 부 리드봉(7)을 유지한다. The glass member 6 holds the axial part 22 and the external lead rod 7 in the bottomed hole formed in two places.

전극 유지체(5)는 축부(22)를 유지하기 위한 개구를 가지는 통형상체이다. The electrode holder 5 is a cylindrical body having an opening for holding the shaft portion 22.

외부 리드 유지체(9)는 외부 리드봉(7)을 유지하기 위한 개구를 가지는 통형상체이다. The external lead holder 9 is a cylindrical body having an opening for holding the external lead rod 7.

금속박(10)은, 유리 부재(6)와 내측 시일관(11) 사이에 개재하여, 제1 집전판(4)과 제2 집전판(8)을 전기적으로 접속한다. The metal foil 10 electrically connects the first collector plate 4 and the second collector plate 8 between the glass member 6 and the inner seal tube 11.

제1 집전판(4)은, 축부(22)와 금속박(10)을 전기적으로 접속하는 금속제의 부재이다. The first collector plate 4 is a metal member that electrically connects the shaft portion 22 and the metal foil 10.

제2 집전판(8)은, 외부 리드봉(7)과 금속박(10)을 전기적으로 접속하는 금속제의 부재이다. The second collector plate 8 is a metal member that electrically connects the external lead rod 7 and the metal foil 10 to each other.

도 7은, 종래의 쇼트 아크형 방전 램프의 1차 시일의 절차를 도시한 단면도이다. 편의상, 양극측의 시일 구조만을 설명한다. 이하의 (a)~(f)의 절차를 순차적으로 행함으로써, (g)에 나타내는 전극 마운트가 완성된다. 7 is a cross-sectional view showing the procedure of the primary seal of a conventional short arc type discharge lamp. For convenience, only the seal structure on the anode side will be described. By sequentially performing the following procedures (a) to (f), the electrode mount shown in (g) is completed.

(a)에 나타내는 바와 같이, 축부(22), 전극 유지체(5), 제1 집전판(4), 유리 부재(6), 금속박(10), 제2 집전판(8), 외부 리드봉(7), 외부 리드봉 유지체(9), 마운트 리본(23)에 의해 구성되는 전극 마운트 구성체를 준비한다. As shown in (a), the shaft part 22, the electrode holder 5, the 1st collector plate 4, the glass member 6, the metal foil 10, the 2nd collector plate 8, an external lead rod (7), the electrode mount structure comprised by the external lead rod holding body 9 and the mounting ribbon 23 is prepared.

(b)에 나타내는 바와 같이, 전극 마운트 구성체를, 배기용의 지관(枝管)(11a)을 구비하는 내측 시일관(11)의 내부에 삽입한다. As shown in (b), the electrode mount structure is inserted into the inner seal pipe 11 provided with the branch pipe 11a for exhaust.

(c)에 나타내는 바와 같이, 내측 시일관(11)의 양단부를 버너 등으로 가열하여 시일한 후, 배기용의 지관(11a)을 통해 내측 시일관(11) 내를 배기하여 진공 상 태로 한다. As shown in (c), after the both ends of the inner seal pipe 11 are heated and sealed with a burner or the like, the inside of the inner seal pipe 11 is evacuated through the exhaust pipe 11a to be in a vacuum state.

(d)에 나타내는 바와 같이, 전극 유지체(5), 유리 부재(6) 및 외부 리드봉 유지체(9) 주위의 내측 시일관(11)을 버너로 가열함으로써, 전극 유지체(5), 유리 부재(6) 및 외부 리드봉 유지체(9)의 3개의 부품을 내측 시일관(11)에 용착한다. 내측 시일관(11)과 유리 부재(6) 사이에 복수의 금속박(10)을 끼우고 용착하여 시일함으로써, 내측 시일관(11)과 외부 사이의 기밀 상태를 실현하고 있다. As shown in (d), the electrode holder 5 is heated by heating the inner seal pipe 11 around the electrode holder 5, the glass member 6, and the outer lead rod holder 9 with a burner. Three parts of the glass member 6 and the external lead rod holding body 9 are welded to the inner seal pipe 11. By sealing the plurality of metal foils 10 between the inner seal tube 11 and the glass member 6, and welding them, the airtight state between the inner seal tube 11 and the outside is realized.

(e)에 나타내는 2개소에 있어서 내측 시일관(11)을 절단한다. The inner seal pipe 11 is cut in two places shown in (e).

(f)에 나타내는 바와 같이, 축부(22)의 선단부를 본체부(21)의 바닥이 있는 구멍(21a)에 감입한다. As shown in (f), the tip end of the shaft portion 22 is inserted into the bottomed hole 21a of the main body portion 21.

(g)는 완성한 전극 마운트(20')를 나타낸다. (g) shows the completed electrode mount 20 '.

도 8은, 종래의 쇼트 아크형 방전 램프의 2차 시일의 절차를 도시한 단면도이다. 이하의 (a)~(d)의 절차를 순차적으로 행함으로써, 기밀하게 시일된 시일부 구조가 완성된다. Fig. 8 is a cross-sectional view showing the procedure of the secondary seal of the conventional short arc type discharge lamp. By sequentially performing the following steps (a) to (d), the seal part structure sealed in airtightness is completed.

(a)에 나타내는 바와 같이, 전극 마운트(20')를 외측 시일관(12) 내에 삽입한다. As shown in (a), the electrode mount 20 'is inserted into the outer seal tube 12. As shown in FIG.

(b)에 나타내는 바와 같이, 양극(2)의 본체부(21)와 축부(22)의 일부를 발광관의 내부에 배치함과 함께, 본체부(21)를 제외한 전극 마운트(20')의 구성 부품 모두를 외측 시일관(12) 내부에 배치한다. As shown in (b), a part of the main body portion 21 and the shaft portion 22 of the anode 2 is disposed inside the light emitting tube, and the electrode mount 20 'except for the main body portion 21 is disposed. All the components are arranged inside the outer seal tube 12.

(c)에 나타내는 바와 같이, 외측 시일관(12)의 단부를 버너로 가열함으로써 시일하여, 발광관(1)에 설치된 도시하지 않은 배기용의 지관을 통해, 발광관(1)과 외측 시일관(12)의 내부를 배기하여 진공 상태로 한다. As shown in (c), the end of the outer seal tube 12 is sealed by heating with a burner, and the light emitting tube 1 and the outer seal tube are provided through an unillustrated exhaust pipe provided in the light emitting tube 1. The inside of (12) is evacuated to a vacuum state.

(d)에 나타내는 바와 같이, 외측 시일관(12)의 D의 부분을 버너 등으로 가열함으로써, 내측 시일관(11)과 외측 시일관(12)을 용착한다. 상기한 바와 같이 내측 시일관(11)과 유리 부재(6)가, 복수의 금속박(10)을 내측 시일관(11)과 유리 부재(6) 사이에 끼운 상태로 가열하여 용착되어 있다. 따라서, 내측 시일관(11)과 외측 시일관(12)이 용착됨으로써, 외측 시일관(12)의 내부와 외부 사이의 기밀 상태가 실현된다. As shown in (d), the inner seal pipe 11 and the outer seal pipe 12 are welded by heating a portion of D of the outer seal pipe 12 with a burner or the like. As described above, the inner seal tube 11 and the glass member 6 are welded by heating the plurality of metal foils 10 in a state sandwiched between the inner seal tube 11 and the glass member 6. Therefore, the inner seal pipe 11 and the outer seal pipe 12 are welded to realize an airtight state between the inside and the outside of the outer seal pipe 12.

[특허 문헌 1] 일본국 특허 제3379438호[Patent Document 1] Japanese Patent No. 3379438

[특허 문헌 2] 일본국 공개특허 2005-243484호[Patent Document 2] Japanese Patent Laid-Open No. 2005-243484

종래의 이중 시일 구조를 가지는 쇼트 아크형 방전 램프는, 내측 시일관(11)과 유리 부재(6)를 용착하여 1차 시일을 완료한 후에, 중량이 큰 전극의 본체부(21)를 축부(22)에 감입한다. 즉, 이중 시일 구조를 가지는 쇼트 아크형 방전 램프는, 1차 시일을 행하는 단계에 있어서, 중량이 큰 전극의 본체부(21)가 축부(22)의 선단측에 감입되어 있지 않기 때문에, 제조 시에 금속박(10)에 주름이 형성되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 점등시에 외측 시일관(12)이 파손될 걱정이 없다. In the short arc type discharge lamp having the conventional double seal structure, after welding the inner seal tube 11 and the glass member 6 to complete the primary seal, the main body portion 21 of the heavy electrode has a shaft portion ( 22). That is, the short arc type discharge lamp having the double seal structure has no main body portion 21 of the heavy electrode in the front end side of the shaft portion 22 in the step of performing the primary seal. The wrinkles can be prevented from forming in the metal foil 10. Therefore, there is no worry that the outer seal pipe 12 will be damaged at the time of lighting.

그러나, 종래의 이중 시일 구조를 가지는 쇼트 아크형 방전 램프는, 상기한 바와 같이, 외측 시일관(12)과 내측 시일관(11)이, 내측 시일관(11)의 전체 길이에 걸쳐 버너 등으로 가열되어 용착되기 때문에, 이하와 같은 문제가 새롭게 발생했다. However, in the short arc type discharge lamp having the conventional double seal structure, as described above, the outer seal tube 12 and the inner seal tube 11 are burner or the like over the entire length of the inner seal tube 11. Since it is heated and welded, the following problems arose newly.

상기 도 8(d)에 나타내는 바와 같이, 외측 시일관(12)의, 내측 시일관(11)의 전체 길이에 상당하는 영역 D를 버너 등으로 가열하고 있어, 용착의 범위가 길기 때문에, 가열에 시간이 걸림과 함께, 버너 등을 구동하기 위해서 매우 큰 에너지가 필요했다. 따라서, 종래의 이중 시일 구조를 가지는 쇼트 아크형 방전 램프는, 생산 효율이 나쁘다는 문제가 있었다. As shown to the said FIG.8 (d), the area | region D corresponding to the full length of the inner seal pipe 11 of the outer seal pipe 12 is heated with a burner etc., and since the range of welding is long, it is suitable for heating. As time went by, very large energy was needed to drive a burner or the like. Therefore, the conventional short arc type discharge lamp has a problem of poor production efficiency.

또, 종래의 쇼트 아크형 방전 램프는, 상기한 도 8(b)에 나타낸 바와 같이, 전극 마운트(20')를 외측 시일관(12) 내에 삽입하는 절차를 행할 때에, 본체부(21) 및 축부(22)를 외측 시일관(12)의 중심축에 일치시키는 것이 필요해진다. 이 위치 맞춤은 내측 시일관(11)의 외경과 외측 시일관(12)의 내경은 반드시 일치하고 있지 않기 때문에, 외부 리드봉(7)의 기단부에 설치된 마운트 리본(23)의 신축력을 이용함으로써 행해진다. 이 위치 맞춤은, 작업자의 고도의 숙련을 필요로 하며, 작업자마다 위치 정밀도의 차이가 발생한다는 문제가 있었다. 이와 같이, 종래의 이중 시일 구조를 가지는 쇼트 아크형 방전 램프는, 전극 마운트(20')를 외측 시일관(12) 내에 삽입하여, 본체부(21) 및 축부(22)를 적절한 위치에 배치하는 것이 곤란했다. In addition, in the conventional short arc type discharge lamp, as shown in FIG. 8 (b) described above, the main body 21 and the main body 21 are used when the electrode mount 20 'is inserted into the outer seal tube 12. It is necessary to align the shaft portion 22 with the central axis of the outer seal tube 12. This positioning is performed by using the elastic force of the mount ribbon 23 provided in the base end of the outer lead rod 7, since the outer diameter of the inner seal pipe 11 and the inner diameter of the outer seal pipe 12 do not necessarily correspond. All. This positioning requires a high level of skill of the operator, and there is a problem that a difference in position accuracy occurs for each operator. As described above, the short arc discharge lamp having the conventional double seal structure inserts the electrode mount 20 'into the outer seal tube 12 to arrange the main body portion 21 and the shaft portion 22 at appropriate positions. It was difficult.

이상으로부터, 본 발명의 목적은, 상기한 종래의 문제를 해소함으로써, 이중 시일 구조를 가지는 쇼트 아크형 방전 램프의 생산의 효율을 높이는 것을 목적으로 한다. In view of the above, an object of the present invention is to improve the efficiency of production of a short arc type discharge lamp having a double seal structure by solving the above-described conventional problem.

본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프는, 발광관과, 그 양단에 연속하는 한 쌍의 외측 시일관과, 상기 외측 시일관의 내측에 당해 외측 시일관과 동일축 상에 배치되어 상기 외측 시일관에 용착된 내측 시일관과, 상기 발광부의 내부에 대향하여 배치되는 본체부와 그 기단측에 연속하여 외측 시일관의 기단측을 향해 연장되는 축부로 이루어지는 한 쌍의 전극과, 상기 전극에 전기적으로 접속된 제1 집전판과, 상기 제1 집전판에 전기적으로 접속된 복수의 금속박과, 상기 복수의 금속박이 서로 겹치지 않고 외주면에 배치되어, 상기 복수의 금속박을 사이에 끼우도록 상기 내측 시일관의 내부에 용착된 유리 부재와, 상기 금속박에 전기적으로 접속된 제2 집전판과, 상기 제2 집전판에 전기적으로 접속된 외부 리드봉을 구비한 쇼트 아크형 방전 램프에 있어서, 상기 내측 시일관은, 상기 외측 시일관에 용착되지 않고 상기 외측 시일관의 단부로부터 외부로 신장되는 부위를 가지는 것을 특징으로 한다. The short arc type discharge lamp of the present invention comprises a light emitting tube, a pair of outer seal tubes continuous at both ends thereof, and an inner seal tube disposed on the same axis as the outer seal tube and arranged on the outer seal tube. A pair of electrodes formed of a welded inner seal tube, a main body portion that faces the inside of the light emitting portion, and a shaft portion that extends toward the proximal end of the outer seal tube and is electrically connected to the electrodes. The first current collector plate, the plurality of metal foils electrically connected to the first current collector plate, and the plurality of metal foils are disposed on an outer circumferential surface without overlapping each other, so as to sandwich the plurality of metal foils therebetween. In the short arc type discharge lamp provided with the glass member welded to the said metal foil, the 2nd electrical power collector plate electrically connected to the said metal foil, and the external lead rod electrically connected to the said 2nd electrical power collector plate, The inner seal tube is characterized by having a portion extending outward from an end of the outer seal tube without being welded to the outer seal tube.

또, 본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프는, 상기 외측 시일관이 상기 제1 집전판의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있는 것을 특징으로 한다. The short arc discharge lamp of the present invention is further characterized in that the outer seal tube extends radially outward of the first collector plate.

또, 본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프는, 상기 외측 시일관의 전체 길이가, 상기 내측 시일관의 전체 길이보다도 짧은 것을 특징으로 한다. Moreover, the short arc type discharge lamp of this invention is characterized in that the full length of the said outer seal tube is shorter than the full length of the said inner seal tube.

또한, 본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프는, 상기 발광관 내에, 발광 물질로서 수은이 봉입되어 있는 것을 특징으로 한다. The short arc discharge lamp of the present invention is further characterized in that mercury is enclosed in the light emitting tube as a light emitting material.

본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프의 이중 시일 구조를 실현하기 위한 전극 마운트는, 본체부와 그 기단측에 연속하는 축부로 이루어지는 전극과, 상기 전극에 전기적으로 접속된 제1 집전판과, 상기 제1 집전판에 전기적으로 접속된 복수의 금속박과, 상기 복수의 금속박이 서로 겹치지 않고 외주면에 배치된 유리 부재와, 상기 복수의 금속박에 전기적으로 접속된 제2 집전판과, 상기 제2 집전판에 전기적으로 접속된 외부 리드봉과, 상기 금속박을 사이에 끼우도록 상기 유리 부재의 직경 방향 바같쪽에 용착된 내측 시일관을 가지며, An electrode mount for realizing a double seal structure of a short arc type discharge lamp of the present invention includes an electrode comprising a main body portion and a shaft portion continuous to the proximal end thereof, a first current collector plate electrically connected to the electrode, and the first mount. A plurality of metal foils electrically connected to a first current collector plate, a glass member disposed on an outer circumferential surface of the plurality of metal foils without overlapping each other, a second current collector plate electrically connected to the plurality of metal foils, and the second current collector plate An outer lead rod electrically connected to the inner lead tube and an inner seal tube welded to a bar in the radial direction of the glass member so as to sandwich the metal foil therebetween;

내측 시일관이 상기 제1 집전판의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있음과 함께, 상기 외부 리드봉의 기단부를 넘어 연장되어 있는 것을 특징으로 한다. The inner seal tube extends radially outward of the first current collecting plate and extends beyond the proximal end of the outer lead rod.

본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프의 제조 방법은, 본체부와 그 기단측에 연속하는 축부로 이루어지는 전극과, 상기 전극에 전기적으로 접속된 제1 집전판과, 상기 제1 집전판에 전기적으로 접속된 복수의 금속박과, 상기 복수의 금속박이 서로 겹치지 않고 외주면에 배치된 유리 부재와, 상기 복수의 금속박에 전기적으로 접속된 제2 집전판과, 상기 제2 집전판에 전기적으로 접속된 외부 리드봉과, 상기 금속박을 사이에 끼우도록 상기 유리 부재의 직경 방향 바깥쪽에 용착된 내측 시일관을 가지는 전극 마운트를 조립하는 절차와, The manufacturing method of the short arc type discharge lamp of this invention is an electrode which consists of a main-body part and the shaft part continuous to the base end side, the 1st collector plate electrically connected to the said electrode, and the said 1st collector plate electrically connected. A plurality of metal foils, a glass member disposed on an outer circumferential surface of the plurality of metal foils without overlapping each other, a second collector plate electrically connected to the plurality of metal foils, and an external lead rod electrically connected to the second collector plate; And assembling an electrode mount having an inner seal tube welded to the outer side in the radial direction of the glass member so as to sandwich the metal foil therebetween;

상기 전극 마운트를, 상기 내측 시일관이 외측 시일관의 단부로부터 외부로 신장되도록, 외측 시일관 내에 삽입하는 절차와,Inserting the electrode mount into an outer seal tube such that the inner seal tube extends outward from an end of the outer seal tube;

상기 외측 시일관과, 당해 외측 시일관 내에 배치된 상기 내측 시일관을 용착하는 절차를 행하는 것을 특징으로 한다. A procedure for welding the outer seal tube and the inner seal tube disposed in the outer seal tube is performed.

본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프는, 유리 부재와, 내측 시일관과, 유리 부재와 내측 시일관 사이에 끼워진 금속박과, 외측 시일관에 의해 구성되는 이중 시일 구조를 가진다. 따라서, 종래와 마찬가지로 제조 시에 있어서 금속박에 주름이 형성되는 일이 없어져, 쇼트 아크형 방전 램프의 점등시에 있어서의 시일부의 파손을 확실하게 방지할 수 있다. The short arc type discharge lamp of this invention has the double seal structure comprised by a glass member, an inner seal tube, the metal foil sandwiched between a glass member and an inner seal tube, and an outer seal tube. Therefore, as in the prior art, wrinkles are not formed in the metal foil at the time of manufacture, and damage to the seal portion at the time of lighting of the short arc type discharge lamp can be reliably prevented.

또한, 본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프는, 상기 내측 시일관이, 상기 외측 시일관에 용착되지 않고 외측 시일관의 단부로부터 외부로 신장되는 부위를 가진다. 따라서, 내측 시일관이, 그 전체 길이 중 한정된 개소에서만 외측 시일관에 용착되므로, 내측 시일관과 외측 시일관을 가열하여 용착하기 위해서 필요로 하는 시간이 단축되고, 또한, 용착하기 위해 필요한 에너지를 저감할 수 있다. 따라서, 본 발명의 이중 시일 구조를 채용함으로써, 쇼트 아크형 방전 램프의 생산의 효율을 높일 수 있다. Moreover, the short arc type discharge lamp of this invention has the site | part which the said inner seal tube extends outward from the edge part of an outer seal tube, without being welded to the said outer seal tube. Therefore, since the inner seal pipe is welded to the outer seal pipe only at a limited position among the entire lengths, the time required for heating and welding the inner seal pipe and the outer seal pipe is shortened, and energy required for welding is reduced. Can be reduced. Therefore, the efficiency of production of a short arc type discharge lamp can be improved by employing the double seal structure of the present invention.

도 1은 본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프의 전체 구성예를 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing an example of the entire configuration of a short arc type discharge lamp of the present invention.

동 도면의 쇼트 아크형 방전 램프는, 대체로 구형상으로 형성된 발광관(1)과, 그 양단에 연속하여 형성된 한 쌍의 외측 시일관(12)을 구비한다. The short arc type discharge lamp of the same figure is provided with the light emitting tube 1 formed in substantially spherical shape, and the pair of outer seal tubes 12 formed in the both ends continuously.

발광관(1)의 내부에는, 양극(2)의 본체부(21)와, 음극(3)의 본체부(31)가, 서로 마주보고 배치됨과 함께, 발광 물질인 수은이 봉입되어 있다. Inside the light emitting tube 1, the main body 21 of the positive electrode 2 and the main body 31 of the negative electrode 3 face each other, and mercury, which is a light emitting material, is enclosed.

양극(2)은, 그 선단측이 둥글게 형성된 본체부(21)와, 당해 본체부(21)의 기 단측에 이어지는 봉형상의 축부(22)에 의해 구성된다. 축부(22)의 선단부가, 본체부(21)의 기단측에 형성된 바닥이 있는 구멍(21a)에 감입되어 있다. The anode 2 is comprised by the main-body part 21 in which the front end side was rounded, and the rod-shaped shaft part 22 connected to the base end side of the said main-body part 21. As shown in FIG. The distal end portion of the shaft portion 22 is fitted into the bottomed hole 21a formed on the proximal end side of the main body portion 21.

음극(3)은, 그 선단측이, 양극(2)의 본체부(21)를 향함에 따라 점차 축경하는 테이퍼부를 가지는 본체부(31)와, 당해 본체부(31)의 기단측에 이어지는 봉형상의 축부(32)에 의해 구성된다. 축부(32)의 선단부가, 본체부(31)의 기단측에 형성된 바닥이 있는 구멍(31a)에 감입되어 있다. The negative electrode 3 has a main body portion 31 having a tapered portion gradually reduced in diameter as its distal end faces the main body portion 21 of the positive electrode 2, and a rod-shaped shape that extends to the proximal end side of the main body portion 31. It is comprised by the shaft part 32 of an image. The distal end portion of the shaft portion 32 is fitted into the bottomed hole 31a formed on the proximal end side of the main body portion 31.

양극(2) 및 음극(3)은, 예를 들면 텅스텐으로 이루어지는 각 본체부(21, 31) 및 각 축부(22, 32)에 의해 구성된다. The positive electrode 2 and the negative electrode 3 are constituted by the main body portions 21 and 31 and the respective shaft portions 22 and 32 made of, for example, tungsten.

양극(2) 및 음극(3)은, 상기와 같이 각 본체부(21, 31)와 각 축부(22, 32)가 서로 다른 부재여도 되고, 각 본체부와 각 축부가 일체로 형성되어 있어도 된다. As for the positive electrode 2 and the negative electrode 3, the main body parts 21 and 31 and the axial parts 22 and 32 may be mutually different members, and each main body part and each axial part may be integrally formed. .

수은의 봉입량은, 예를 들면 20mg/cc 이상이다. Mercury encapsulation amount is 20 mg / cc or more, for example.

도 2는 도 1의 쇼트 아크형 방전 램프의 이중 시일 구조의 확대 단면도를 나타낸다. 음극측의 시일부 구조에 대해서는, 설명을 생략하지만, 양극측의 시일부 구조와 동일하다. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the double seal structure of the short arc type discharge lamp of FIG. 1. The description of the seal portion structure on the cathode side is omitted, but the same as the seal portion structure on the anode side.

축부(22)의 기단부에는, 금속제의 제1 집전판(4)이 설치되어 있다. 제1 집전판(4)은, 그 중앙에 관통 구멍(4a)을 가지는 원판형상을 가지고 있다. 축부(22)는 그 기단부가 제1 집전판(4)의 관통 구멍(4a)을 관통하고, 제1 집전판(4)의 기단면으로부터 신장되도록 배치되어, 예를 들면 용접 등에 의해 제1 집전판(4)의 개구 단부에 고정되어 있다. At the base end of the shaft portion 22, a metal first collector plate 4 is provided. The first collector plate 4 has a disk shape having a through hole 4a in the center thereof. The shaft portion 22 is arranged such that its base end penetrates the through hole 4a of the first current collector plate 4 and extends from the base end surface of the first current collector plate 4. It is fixed to the opening edge part of the front plate 4.

전극 유지체(5)는 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 통형상의 부재이며, 그 선단 부분이 내측 시일관(11)의 선단부로부터 신장되지 않고 그 전체가 내측 시일관(11)의 안쪽에 수용되며, 제1 집전판(4)에 인접하여 배치된다. 축부(22)는 전극 유지체(5)의 중앙에 형성된 관통 구멍(5a)을 관통하여 배치된다. The electrode holder 5 is a tubular member made of, for example, quartz glass, and the tip portion thereof is not extended from the tip portion of the inner seal tube 11, and the whole thereof is housed inside the inner seal tube 11. And adjacent to the first collector plate 4. The shaft portion 22 is disposed through the through hole 5a formed in the center of the electrode holder 5.

유리 부재(6)는 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 기둥형상의 부재이며, 제1 집전판(4)에 인접하여 배치되어 있다. 유리 부재(6)에는, 축부(22)와 외부 리드봉(7)을 유지하기 위한 바닥이 있는 구멍(6a, 6b)이, 선단측과 기단측의 쌍방에 각각 형성되어 있다. 유리 부재(6)의 선단측의 바닥이 있는 구멍(6a)에는, 축부(22)의 기단부가 감입되어, 축부(22)가 유지된다. 유리 부재(6)의 기단측의 바닥이 있는 구멍(6b)에는, 외부 리드봉(7)의 선단부가 감입되어, 외부 리드봉(7)이 유지된다. The glass member 6 is a columnar member made of, for example, quartz glass, and is disposed adjacent to the first collector plate 4. In the glass member 6, bottomed holes 6a and 6b for holding the shaft portion 22 and the external lead rod 7 are formed at both the front end side and the base end side, respectively. The base end part of the shaft part 22 is penetrated into the bottomed hole 6a of the front end side of the glass member 6, and the shaft part 22 is hold | maintained. In the bottomed hole 6b of the base end side of the glass member 6, the front-end | tip part of the outer lead rod 7 is penetrated, and the outer lead rod 7 is hold | maintained.

외부 리드봉(7)은, 예를 들면 텅스텐에 의해 구성되는 봉형상의 부재이며, 그 선단부에는, 금속제의 제2 집전판(8)이 설치되어 있다. 제2 집전판(8)은, 그 중앙에 관통 구멍(8a)을 가지는 원판형상을 가지고 있다. 외부 리드봉(7)은, 그 선단부가 제2 집전판(8)의 관통 구멍(8a)을 관통하고, 제2 집전판(8)의 선단면으로부터 신장되도록 배치되어, 예를 들면 용접 등에 의해 제2 집전판(8)의 개구 단부에 고정되어 있다. The outer lead rod 7 is a rod-shaped member made of tungsten, for example, and a metal current collector plate 8 is provided at the tip portion thereof. The second collector plate 8 has a disk shape having a through hole 8a in the center thereof. The outer lead rod 7 is arranged such that its tip portion penetrates the through hole 8a of the second collector plate 8 and extends from the tip surface of the second collector plate 8, for example, by welding or the like. It is fixed to the opening edge part of the 2nd collector plate 8.

외부 리드봉 유지체(9)는 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 통형상의 부재이며, 제2 집전판(8)에 인접하여 배치된다. 외부 리드봉(7)은, 외부 리드봉 유지체(9)의 관통 구멍(9a)을 관통하여 배치된다. The external lead rod holder 9 is a cylindrical member made of, for example, quartz glass, and is disposed adjacent to the second current collector plate 8. The outer lead rod 7 is disposed through the through hole 9a of the outer lead rod holder 9.

유리 부재(6)의 측주면(側周面)에는, 복수의 금속박(10)이, 서로 겹치지 않 고, 외측 시일관(12)의 관축 방향과 평행하게 늘어서 배치된다. 각 금속박(10)은, 예를 들면, 몰리브덴 등의 금속으로 이루어진다. 각 금속박(10)은, 예를 들면 용접 등에 의해, 그 선단부가 제1 집전판(4)의 측주면에 전기적으로 접속됨과 함께 그 기단부가 제2 집전판(8)의 측집면에 전기적으로 접속된다. On the side circumferential surface of the glass member 6, the some metal foil 10 is arrange | positioned in parallel with the tube axis direction of the outer side seal tube 12, without overlapping each other. Each metal foil 10 consists of metals, such as molybdenum, for example. Each metal foil 10 is electrically connected to the side circumferential surface of the first collector plate 4 while the tip thereof is electrically connected to the side collector surface of the second collector plate 8, for example, by welding or the like. do.

내측 시일관(11)은, 예를 들면 석영 유리로 이루어지는 직관형상의 부재이며, 전극 유지체(5), 유리 부재(6) 및 외부 리드봉 유지체(9)의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있음과 함께, 그 선단이 발광관(1)의 안쪽으로 신장되지 않도록 배치된다. 내측 시일관(11)과 유리 부재(6)가, 복수의 금속박(10)을 양자의 사이에 끼우고, 버너 등에 의해 가열되어 용착된다. 내측 시일관(11)은, 외측 시일관(12)의 기단부로부터 외부로 신장되는 부위(11x)를 가진다. The inner seal pipe 11 is a straight tubular member made of, for example, quartz glass, and extends radially outward of the electrode holder 5, the glass member 6, and the outer lead rod holder 9. In addition, the tip thereof is disposed so as not to extend into the light emitting tube 1. The inner seal pipe 11 and the glass member 6 sandwich the plurality of metal foils 10 therebetween, and are heated and welded by a burner or the like. The inner seal pipe 11 has a portion 11x extending outward from the proximal end of the outer seal pipe 12.

외측 시일관(12)은, 예를 들면 석영 유리에 의해 직관형상으로 형성되고, 그 선단부가 발광관(1)의 단부에 연결되어 있다. 외측 시일관(12)은, 전극 유지체(5) 및 제1 집전판(4)의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있는 것이 바람직하다. 외측 시일관(12)의 내부에는, 예를 들면 버너 등으로 가열됨으로써, 동일축에 내측 시일관(11)이 용착되어 있다. 내측 시일관(11)은, 외측 시일관(12)보다도 전체 길이가 길어져 있으며, 외측 시일관(12)과 용착되지 않고, 외측 시일관(12)의 기단부로부터 바깥쪽으로 신장되는 부위(11x)를 가지고 있다. The outer seal tube 12 is formed in a straight tube shape, for example, by quartz glass, and its tip portion is connected to an end of the light emitting tube 1. It is preferable that the outer seal pipe 12 extends radially outward of the electrode holder 5 and the first collector plate 4. Inside the outer seal pipe 12, the inner seal pipe 11 is welded on the same axis by heating with a burner or the like, for example. The inner seal pipe 11 has a longer length than the outer seal pipe 12, and is not welded to the outer seal pipe 12, and has a portion 11x extending outward from the proximal end of the outer seal pipe 12. Have.

상기 구성을 가지는 쇼트 아크형 방전 램프는, 소정의 램프 전력으로 점등 구동함으로써, 양극(2)과 음극(3)의 사이에서 방전이 형성되어, 파장 365nm의 자외선이 발광관(1)의 바깥쪽으로 출사한다. The short arc type discharge lamp having the above structure is driven to be turned on at a predetermined lamp power, so that a discharge is formed between the anode 2 and the cathode 3, and ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm are directed outward of the light emitting tube 1. Exit.

쇼트 아크형 방전 램프의 점등 조건은, 예를 들면, 램프 전력이 10kW 이상이다. As for the lighting conditions of a short arc-type discharge lamp, lamp electric power is 10 kW or more, for example.

양극(2)의 본체부(21)는 이러한 점등 조건에 견딜 수 있도록 하기 위해, 예를 들면, φ30mm 이상, 중량이 800g 이상이다. The main body portion 21 of the anode 2 has a diameter of 30 mm or more and a weight of 800 g or more, for example, in order to withstand such lighting conditions.

다음에, 도 3은 도 1에 나타내는 쇼트 아크형 방전 램프의 1차 시일의 절차를 도시한 단면도이다. 도 3의 (a)~(f)에 나타내는 절차를 순차적으로 행함으로써, (g)에 나타내는 전극 마운트가 완성된다. 이하에서는, 「전극 마운트 구성체」는, 내측 시일관이 용착되어 있지 않은 것을 의미하고, 「전극 마운트」는, 내측 시일관이 용착된 것을 의미한다. Next, FIG. 3 is sectional drawing which showed the procedure of the primary seal of the short arc type discharge lamp shown in FIG. The electrode mount shown to (g) is completed by performing the procedure shown to FIG. 3 (a)-(f) sequentially. Hereinafter, "electrode mount structure" means that the inner seal tube is not welded, and "electrode mount" means that the inner seal tube is welded.

(a)는 전극 마운트 구성체를 제조하는 절차를 나타낸다. 선단측과 기단측의 쌍방에 바닥이 있는 구멍(6a, 6b)이 형성된 유리 부재(6), 기단부에 제1 집전판(4)이 고정된 축부(22), 전극 유지체(5), 선단부에 제2 집전판(8)이 고정됨과 함께 기단측에 마운트 리본(23)이 설치된 외부 리드봉(7), 외부 리드봉 유지체(9), 및 복수의 금속박(10)을 준비한다. 축부(22)의 기단부를 유리 부재(6)의 선단측의 바닥이 있는 구멍(6a)에 감입함과 함께, 축부(22)의 선단부가 전극 유지체(5)의 관통 구멍(5a)을 관통하도록 전극 유지체(5)를 배치한다. 동시에, 외부 리드봉(7)의 선단부를 유리 부재(6)의 기단측의 바닥이 있는 구멍(6b)에 감입함과 함께, 외부 리드봉(7)의 기단부가 외부 리드봉 유지체(9)의 관통 구멍(9a)을 관통하도록 외부 리드 유지체(9)를 배치한다. 마지막으로, 복수의 금속박(10)을 유리 부재(6)의 측주면 상에 서로 겹쳐지지 않도록 배치하고, 각 금속박(10)의 선단부를 제1 집전판(4) 의 측주면에 용접 등에 의해 고정함과 함께, 각 금속박(10)의 기단부를 제2 집전판(8)의 측주면에 용접 등에 의해 고정한다. (a) shows the procedure for manufacturing the electrode mount construct. Glass member 6 with bottomed holes 6a and 6b formed at both the front end side and the proximal side, the shaft portion 22 at which the first current collector plate 4 is fixed to the proximal end, the electrode holder 5, and the tip end portion. The second current collector plate 8 is fixed at the same time, and an external lead rod 7, an external lead rod holder 9, and a plurality of metal foils 10 provided with a mount ribbon 23 on the proximal end are prepared. While protruding the proximal end of the shaft 22 into the bottomed hole 6a at the distal end of the glass member 6, the distal end of the shaft 22 penetrates the through hole 5a of the electrode holder 5. The electrode holder 5 is disposed so as to be disposed. At the same time, the tip end of the outer lead rod 7 is inserted into the bottomed hole 6b on the proximal side of the glass member 6, and the proximal end of the outer lead rod 7 is the outer lead rod holder 9 The external lead holder 9 is disposed so as to pass through the through hole 9a. Finally, the plurality of metal foils 10 are arranged so as not to overlap each other on the side circumferential surface of the glass member 6, and the tip end of each metal foil 10 is fixed to the side circumferential surface of the first current collector plate 4 by welding or the like. In addition, the base end of each metal foil 10 is fixed to the side peripheral surface of the second current collector plate 8 by welding or the like.

(b)는 (a)에서 제조한 전극 마운트 구성체를 내측 시일관(11)의 내부에 삽입하는 절차를 나타낸다. 전극 마운트 구성체를 내측 시일관(11) 내에 삽입하여, 전극 마운트 구성체의 전체가 내측 시일관(11)의 내부에 수용되도록 한다. 내측 시일관(11)의 전체 길이는, 전극 마운트 구성체의 전체 길이보다도 상당히 크다. 전극 마운트 구성체는, 마운트 리본(23)의 신축력을 이용하여, 축부(22)가 내측 시일관(11)의 중심축에 일치하도록 배치된다. (b) shows a procedure of inserting the electrode mount structure manufactured in (a) into the inner seal tube 11. The electrode mount structure is inserted into the inner seal tube 11 so that the entirety of the electrode mount structure is received inside the inner seal tube 11. The total length of the inner seal tube 11 is considerably larger than the total length of the electrode mount structure. The electrode mount structure is arranged such that the shaft portion 22 coincides with the central axis of the inner seal tube 11 by using the stretching force of the mount ribbon 23.

(c)는 내측 시일관(11)의 양단부를 시일하는 절차를 나타낸다. 내측 시일관(11)의 쌍방의 단부를 버너 등으로 가열하여 완전히 봉한다. 그리고, 내측 시일관(11)에 설치된 배기용의 지관(11a)을 통해, 내측 시일관(11) 내를 배기하여 진공 상태로 한다. 내측 시일관(11)의 배기가 완료된 후에 배기용의 지관(11a)을 완전히 봉한다. (c) shows the procedure of sealing both ends of the inner seal pipe 11. Both ends of the inner seal pipe 11 are completely sealed by heating with a burner or the like. And the inside of the inner seal pipe 11 is exhausted through the branch pipe 11a for exhaust provided in the inner seal pipe 11, and it will be in a vacuum state. After the exhaust of the inner seal pipe 11 is completed, the branch pipe 11a for exhaust is completely sealed.

(d)는 내측 시일관(11)을 전극 마운트 구조체에 용착하는 절차를 나타낸다. 복수의 금속박(10)을 유리 부재(6)와 내측 시일관(11) 사이에 끼운 상태로, 내측 시일관(11)의, 유리 부재(6)의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있는 개소를 버너 등으로 가열한다. 내측 시일관(11)이, 열에 의해 축경하여 유리 부재(6)에 용착한다. 또한, 내측 시일관(11)의, 전극 유지체(5) 및 외부 리드봉 유지체(9)의 직경 방향으로 연장되어 있는 개소를, 동일하게 하여 가열하여 용착한다. (d) shows a procedure of welding the inner seal tube 11 to the electrode mount structure. Burner etc. are extended in the radial direction outward of the glass member 6 of the inner seal pipe 11 in the state which pinched | interposed the glass member 6 and the inner seal pipe 11 in the state. Heated to. The inner seal pipe 11 is reduced in diameter by heat and welded to the glass member 6. Moreover, the part extended in the radial direction of the electrode holder 5 and the outer lead rod holder 9 of the inner seal pipe 11 is heated in the same manner, and is welded.

(e)는 전극 마운트 구조체에 용착한 내측 시일관(11)의 단부를 절단하는 절 차를 나타낸다. 동 도면 (e)에 나타내는 2개소에 있어서 내측 시일관을 절단한다. 절단 개소는 전극 유지체(5)의 선단면보다도 약간 축부(22) 선단쪽의 개소이다. (e) shows the procedure of cutting the edge part of the inner seal pipe 11 welded to the electrode mount structure. The inner seal tube is cut in two places shown in the same figure (e). The cutting point is a location slightly closer to the tip end of the shaft portion 22 than the tip face of the electrode holder 5.

(f)는 전극 마운트 구성체의 축부(22)에 양극(2)의 본체부(21)를 장착하는 절차를 나타낸다. 축부(22)의 선단부를 본체부(21)의 기단측에 설치된 바닥이 있는 구멍(21a)에 감입한다(f) shows a procedure for mounting the main body portion 21 of the positive electrode 2 to the shaft portion 22 of the electrode mount structure. The tip end of the shaft portion 22 is inserted into the bottomed hole 21a provided on the proximal side of the main body portion 21.

도 (g)는 완성한 전극 마운트(20)를 나타낸다. (G) shows the completed electrode mount 20.

여기서, 완성한 전극 마운트(20)의 내측 시일관(11)은, 외부 리드봉(7)의 기단부를 넘어 연장되어 있는 부위(11b)를 가지는 것이 바람직하다. 즉, 도 3(e)의 내측 시일관(11)을 절단하는 절차에 있어서는, 외부 리드봉(7)의 기단부를 넘어 연장되어 있는 부위(11b)를 남기도록 내측 시일관(11)을 절단하는 것이 좋다. 이와 같이 한 경우는, 후술하는 2차 시일에 있어서, 외측 시일관(12)에 대한 전극 마운트(20)의 위치 맞춤의 절차를 용이하게 행할 수 있다. Here, it is preferable that the inner seal pipe 11 of the completed electrode mount 20 has the site | part 11b extended beyond the base end of the outer lead rod 7. As shown in FIG. That is, in the procedure of cutting the inner seal pipe 11 of FIG. 3E, the inner seal pipe 11 is cut so as to leave the portion 11b extending beyond the proximal end of the outer lead rod 7. It is good. In such a case, in the secondary seal which will be described later, a procedure for aligning the electrode mount 20 with respect to the outer seal tube 12 can be easily performed.

다음에, 도 4는 도 1에 나타내는 쇼트 아크형 방전 램프의 2차 시일의 절차를 도시한 단면도이다. 도 4의 (a)~(c)에 나타내는 절차를 순차적으로 행함으로써, 도 1에 나타내는 쇼트 아크형 방전 램프가 완성된다. Next, FIG. 4 is sectional drawing which showed the procedure of the secondary seal of the short arc type discharge lamp shown in FIG. By sequentially performing the procedures shown in FIGS. 4A to 4C, the short arc discharge lamp shown in FIG. 1 is completed.

(a)는 전극 마운트(20)를 외측 시일관(12)의 중심축에 대해 위치 맞춤하는 절차를 나타낸다. 한쪽의 외측 시일관(12)을 한쪽의 시일용 선반(41)에 고정한다. 동시에, 전극 마운트(20)의 내측 시일관(11)을 다른쪽의 시일용 선반(42)에 고정한다. 이때, 내측 시일관(11)의, 외부 리드봉(7)의 기단부를 넘어 연장되어 있는 부위(11b)를 다른쪽의 시일용 선반(42)에 고정함으로써, 양극(2)의 축부(22)를 외측 시일관(12)의 중심축에 대해 용이하게 일치시킬 수 있다. 즉, 내측 시일관(11)이, 외부 리드봉(7)의 기단부를 넘어 연장되어 있는 부위(11b)를 가짐으로써, 당해 부위를 시일용 선반(42)에 의해 유지할 수 있기 때문에, 전극 마운트(20)를 외측 시일관(12)에 대해서 위치 맞춤하는 절차를 용이하게 행할 수 있다. (a) shows a procedure for positioning the electrode mount 20 with respect to the central axis of the outer seal tube 12. One outer seal pipe 12 is fixed to one seal shelf 41. At the same time, the inner seal pipe 11 of the electrode mount 20 is fixed to the other seal shelf 42. At this time, the shaft portion 22 of the anode 2 is fixed by fixing the portion 11b of the inner seal tube 11 that extends beyond the proximal end of the outer lead rod 7 to the other seal shelf 42. Can be easily coincided with the central axis of the outer seal tube 12. That is, since the inner seal pipe 11 has a portion 11b extending beyond the proximal end of the outer lead rod 7, the portion can be held by the seal shelf 42, so that the electrode mount ( The procedure for aligning 20 with respect to the outer seal tube 12 can be easily performed.

(b)는 전극 마운트(20)를 발광관(1) 및 외측 시일관(12)의 내부에 삽입하는 절차를 나타낸다. (b) shows a procedure of inserting the electrode mount 20 into the light emitting tube 1 and the outer seal tube 12.

전극 마운트(20)가 고정된 다른쪽의 시일용 선반(42)을 한쪽의 시일용 선반(41)을 향해 이동시킴으로써, 전극 마운트(20)을 다른쪽의 외측 시일관(12) 내에 삽입한다. 이때, 외측 시일관(12)이 전극 유지체(5) 및 제1 집전판(4)의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있음과 함께, 내측 시일관(11)의 기단부가 외측 시일관(12)의 기단부로부터 바깥쪽으로 신장되도록 한다. The electrode mount 20 is inserted into the other outer seal tube 12 by moving the other seal shelf 42 on which the electrode mount 20 is fixed toward one seal shelf 41. At this time, the outer seal tube 12 extends radially outwardly of the electrode holder 5 and the first current collector plate 4, and the proximal end of the inner seal tube 11 is formed of the outer seal tube 12. Make it extend outward from the proximal end.

(c)는 외측 시일관(12)을 전극 마운트(20)에 용착하는 절차를 나타낸다. 희가스나 질소 등의 불활성 가스를 발광관(1) 내에 충만하게 한 후에, 외측 시일관(12)의 동 도면에 나타내는 B의 개소를 버너 등으로 가열한다. 외측 시일관(12)이 열에 의해 축경하여 내측 시일관(11)과 용착한다. 불활성 가스를 발광관(1)에 충만하게 하는 목적은, 양극(2)의 본체부(21)나 축부(22) 등의 금속제의 부재가 산화하는 것을 방지하기 위해서이다. (c) shows a procedure of welding the outer seal tube 12 to the electrode mount 20. After filling the light emitting tube 1 with an inert gas such as a rare gas or nitrogen, the portion B shown in the same figure of the outer seal tube 12 is heated with a burner or the like. The outer seal pipe 12 is reduced in diameter by heat to weld to the inner seal pipe 11. The purpose of filling the light emitting tube 1 with the inert gas is to prevent oxidation of metal members such as the main body portion 21 and the shaft portion 22 of the anode 2.

또한, 음극측의 이중 시일 구조에 대해서는, 상기한 양극측의 이중 시일 구조와 동일하기 때문에 설명은 생략한다. In addition, since the double seal structure of the cathode side is the same as that of the double seal structure of the said anode side, description is abbreviate | omitted.

이상의 본 발명의 쇼트 아크 형태 방전 램프는, 1차 시일 시에, 중량이 큰 전극의 본체부(21)가 축부(22)의 선단부에 설치되어 있지 않기 때문에, 금속박(10)에 주름이 형성되지 않는다. 또한, 본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프는, 종래의 이중 시일 구조를 가지는 쇼트 아크형 방전 램프와 비교하여, 2차 시일에 있어서, 외측 시일관(12)을 가열하는 전체 길이를 단축할 수 있다. 이에 관해, 이하에 도 5을 이용하여 자세하게 설명한다. In the short arc type discharge lamp of the present invention, since the main body portion 21 of the large electrode is not provided at the tip end portion of the shaft portion 22 at the time of the first seal, wrinkles are not formed on the metal foil 10. Do not. In addition, the short arc type discharge lamp of the present invention can shorten the overall length of heating the outer seal tube 12 in the secondary seal, as compared with the short arc type discharge lamp having a conventional double seal structure. . This will be described in detail with reference to FIG. 5 below.

도 5는, 본 발명의 이중 시일 구조에 의한 효과를, 종래의 이중 시일 구조와 비교하여 도시한 확대 단면도이다. 동 도면 (b)에 나타내는 바와 같이, 종래의 이중 시일 구조는, 외측 시일관(12)의 전체 길이가 상대적으로 내측 시일관(11)의 전체 길이보다도 길게 되어 있다. 따라서, 2차 시일에 있어서는, 외측 시일관(12)의, 내측 시일관(11)의 전체 길이에 상당하는 범위 D를 버너 등으로 가열하고 있다. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the effect of the double seal structure of the present invention in comparison with a conventional double seal structure. As shown to the same figure (b), in the conventional double seal structure, the total length of the outer seal pipe 12 is relatively longer than the total length of the inner seal pipe 11. Therefore, in the secondary seal, the range D corresponding to the entire length of the inner seal tube 11 of the outer seal tube 12 is heated with a burner or the like.

이에 반해, 동 도면 (a)에 나타내는 바와 같이, 본 원의 이중 시일 구조는, 외측 시일관(12)의 전체 길이가 상대적으로 내측 시일관(11)의 전체 길이보다도 짧음으로써, 내측 시일관(11)이 외측 시일관(12)의 기단부로부터 바깥쪽으로 신장되는 부위(11x)를 가지는 구조이다. 따라서, 2차 시일에 있어서는 동 도면 (a)에 나타내는 B의 범위를 버너 등으로 가열하는 것만으로, 이중 시일 구조를 실현할 수 있다.  On the other hand, as shown to the same figure (a), in the double seal structure of this application, since the total length of the outer seal pipe 12 is relatively shorter than the total length of the inner seal pipe 11, an inner seal pipe ( 11) has a structure 11x extending outward from the proximal end of the outer seal tube 12. Therefore, in the secondary seal, the double seal structure can be realized only by heating the range of B shown in the drawing (a) with a burner or the like.

동 도면 (a), (b)을 대비하면, 본 원의 B의 범위가 종래의 D의 범위보다도 짧은 것이 명백하다. 본 발명의 이중 시일 구조를 채용함으로써, 외측 시일관(12)의 가열에 필요로 하는 시간을 단축함과 함께 가열에 필요로 하는 에너지를 저감할 수 있기 때문에, 쇼트 아크형 방전 램프의 생산의 효율을 높일 수 있다. In contrast to the figures (a) and (b), it is clear that the range of B herein is shorter than that of the conventional D. By adopting the double seal structure of the present invention, the time required for heating the outer seal pipe 12 can be shortened, and the energy required for heating can be reduced, so that the efficiency of the production of the short arc type discharge lamp is reduced. Can increase.

또한, 본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프는, 내측 시일관(11)의 외측 시일관(12)에 용착되어 있지 않은 부위(11x)가, 외측 시일관(12)의 기단부로부터 외부로 신장되어 있는 구조이기 때문에, 이하의 효과를 기대할 수 있다. 이하에서는, 도 2에 나타내는 이중 시일 구조에 기초하여 설명한다. Moreover, in the short arc type discharge lamp of this invention, the site | part 11x which is not welded to the outer seal pipe 12 of the inner seal pipe 11 is extended from the base end of the outer seal pipe 12 to the outside. Because of the structure, the following effects can be expected. Hereinafter, it demonstrates based on the double seal structure shown in FIG.

외부 리드봉(7)과 외부 리드봉 유지체(9) 사이에는, 미소한 공극이 형성되기 때문에, 당해 공극을 통해 대기중의 산소가 침입한다. 몰리브덴으로 이루어지는 각 금속박(10)이 예를 들면 350℃ 이상의 고온 상태가 된 경우는, 금속박(10)이 상기 공극을 통해 침입한 산소와 반응하여 산화 몰리브덴을 생성함으로써 열화하여, 쇼트 아크형 방전 램프를 점등할 수 없게 될 우려가 있다. 이러한 사정으로부터, 몰리브덴으로 이루어지는 각 금속박(10)의 온도를 가능한한 낮게 하는 것이 바람직하다. Since a small gap is formed between the outer lead rod 7 and the outer lead rod holder 9, oxygen in the atmosphere penetrates through the gap. When each of the metal foils 10 made of molybdenum is at a high temperature of 350 ° C. or higher, for example, the metal foils 10 deteriorate by reacting with oxygen introduced through the voids to generate molybdenum oxide, and thus a short arc discharge lamp. There is a fear that the LED cannot be turned on. From such a situation, it is preferable to make the temperature of each metal foil 10 which consists of molybdenum as low as possible.

본 발명의 이중 시일 구조에 의하면, 내측 시일관(11)과 유리 부재(6) 사이에 끼워진 복수의 금속박(10)이, 외측 시일관(12)의 내부에 배치되어 있지 않은 구조이다. 즉, 금속박(10)의 주위에 내측 시일관(11)만을 연장시킴으로써, 점등시의 금속박(10)의 온도를 종래의 이중 시일 구조에 비해 낮게 할 수 있다. According to the double seal structure of this invention, the some metal foil 10 interposed between the inner seal pipe 11 and the glass member 6 is a structure which is not arrange | positioned inside the outer seal pipe 12. As shown in FIG. That is, by extending only the inner seal pipe 11 around the metal foil 10, the temperature of the metal foil 10 at the time of lighting can be made low compared with the conventional double seal structure.

또한, 본 발명은, 외측 시일관(12)과 내측 시일관(11)의 쌍방이, 전극 유지체(5)와 제1 집전판(4)의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있는 구조이기 때문에, 이하의 효과를 기대할 수 있다. 이하에서는, 도 1에 나타내는 쇼트 아크형 방전 램프에 기초하여 설명한다. In addition, since this invention has a structure in which both the outer seal pipe 12 and the inner seal pipe 11 extend in the radial direction outer side of the electrode holder 5 and the 1st collector board 4, it is the following. You can expect the effect of. Hereinafter, it demonstrates based on the short arc type discharge lamp shown in FIG.

제1 집전판(4)의 외경은, 금속과 유리의 열팽창 계수의 상이를 고려하여, 전극 유지체(5)의 외경에 비해 상대적으로 작아져 있다. 그 때문에, 제1 집전판(4)의 양측에 배치된 전극 유지체(5)의 기단부 및 유리 부재(6)의 선단부와, 그 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있는 유리 사이에는, 각각 불가피하게 쐐기형상의 공극이 형성된다. 즉, 제1 집전판(4)의 주변에는, 쐐기형상의 공극이 형성된다. The outer diameter of the first collector plate 4 is relatively smaller than the outer diameter of the electrode holder 5 in consideration of the difference in the coefficient of thermal expansion of the metal and glass. Therefore, between the proximal end of the electrode holder 5 and the distal end of the glass member 6 disposed on both sides of the first current collector plate 4 and the glass extending outward in the radial direction, they are inevitably wedge shaped. Voids are formed. That is, wedge-shaped voids are formed around the first collector plate 4.

제1 집전판(4)의 주변은, 상기 공극의 발생에 의해, 기계적으로 약한 개소라고 할 수 있다. 쇼트 아크형 방전 램프의 점등시에 발광관 내의 내압이 제1 집전판(4) 부근의 공극에 인가된 경우는, 당해 공극의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있는 유리에 크랙이 발생하고, 이 크랙이 유리의 직경 방향을 향해 진행한다는 문제가 발생한다. The periphery of the 1st collector board 4 can be said to be a mechanically weak location by generation | occurrence | production of the said space | gap. When the internal pressure in the light emitting tube is applied to the gap near the first current collector plate 4 when the short arc discharge lamp is turned on, a crack occurs in the glass extending outward in the radial direction of the gap. The problem of advancing toward the radial direction of glass arises.

따라서, 본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프는, 외측 시일관(12)과 내측 시일관(11)의 쌍방이, 적어도 제1 집전판(4)의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성함으로써, 제1 집전판(4)의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있는 유리의 두께가 커져, 발광관(1)의 내압에 대한 강도와 기계적 강도 쌍방을 높일 수 있으므로, 상기한 크랙의 진행을 확실하게 방지할 수 있다. Therefore, it is preferable that the short arc type discharge lamp of the present invention has a configuration in which both the outer seal tube 12 and the inner seal tube 11 extend at least outward in the radial direction of the first current collector plate 4. Do. By configuring in this way, the thickness of the glass extended in the radially outward direction of the 1st electrical power collector plate 4 becomes large, and since both the intensity | strength and mechanical strength with respect to the internal pressure of the light emitting tube 1 can be raised, advancing the said crack Can be reliably prevented.

또한, 도 1은, 양극(2)측과 음극(3)측의 쌍방의 내측 시일관(11)이 당해 내측 시일관(11)에 용착된 쌍방의 외측 시일관(12)의 기단부로부터 바깥쪽으로 신장되는 구성을 구비하는 쇼트 아크형 방전 램프를 나타내지만, 이것은 본 발명의 일실시 형태에 지나지 않는다. 예를 들면, 본 발명은, 양극측의 내측 시일관이 당해 내측 시일관에 용착된 외측 시일관의 기단부로부터 외부로 신장되는 부위를 가지고 있으며, 음극측의 이중 시일 구조가 상기 서술한 종래의 이중 시일 구조와 동일해도 되고, 또, 음극측을 특허 문헌 1에 나타내는 바와 같은 한 겹 시일 구조로 할 수도 있다. In addition, FIG. 1: shows that the inner side seal pipe 11 of both sides of the anode 2 side and the cathode 3 side is welded outward from the base end of both outer seal pipes 12 welded to the said inner seal pipe 11. Although the short arc type discharge lamp which has the structure extended | stretched is shown, this is only one Embodiment of this invention. For example, this invention has the site | part which extends outward from the base end part of the outer side seal tube welded to the said inner side seal tube to the outer side, and the double side seal structure of the negative electrode side is the conventional double mentioned above. It may be the same as the seal structure, and the cathode side may also be a single-layer seal structure as shown in Patent Document 1.

즉, 본 발명의 이중 시일 구조는, 양극측과 음극측의 쌍방에 적용할 수도 있고, 양극측 또는 음극측의 어느 한 쪽에만 적용할 수도 있다. That is, the double seal structure of the present invention may be applied to both the anode side and the cathode side, or may be applied only to either the anode side or the cathode side.

도 1은 본 발명의 쇼트 아크형 방전 램프의 전체의 구성예를 도시한 단면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing which shows the structural example of the whole short arc discharge lamp of this invention.

도 2는 쇼트 아크형 방전 램프의 이중 시일 구조의 확대 단면도를 나타낸다. 2 shows an enlarged cross-sectional view of a double seal structure of a short arc type discharge lamp.

도 3은 쇼트 아크형 방전 램프의 1차 시일의 절차를 도시한 단면도이다. 3 is a cross-sectional view showing the procedure of the primary seal of the short arc type discharge lamp.

도 4는 쇼트 아크형 방전 램프의 2차 시일의 절차를 도시한 단면도이다. 4 is a cross-sectional view showing the procedure of the secondary seal of the short arc type discharge lamp.

도 5는 본 발명의 효과를 종래의 이중 시일 구조와 비교하여 도시한 확대 단면도이다. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the effect of the present invention in comparison with a conventional double seal structure.

도 6은 종래의 쇼트 아크형 방전 램프의 전체의 구성을 도시한 단면도이다. Fig. 6 is a sectional view showing the entire structure of a conventional short arc type discharge lamp.

도 7은 종래의 쇼트 아크형 방전 램프의 1차 시일의 절차를 도시한 단면도이다. 7 is a cross-sectional view showing the procedure of the primary seal of a conventional short arc type discharge lamp.

도 8은 종래의 쇼트 아크형 방전 램프의 2차 시일의 절차를 도시한 단면도이다. 8 is a sectional view showing a procedure of the secondary seal of the conventional short arc type discharge lamp.

<부호의 설명><Description of the code>

1 : 발광관 2 : 양극1: light-emitting tube 2: anode

21 : 본체부 22 : 축부21: body portion 22: shaft portion

3 : 음극 31 : 본체부3: cathode 31: main body

32 : 축부 4 : 제1 집전판32: shaft portion 4: first collector plate

5 : 전극 유지체 6 : 유리 부재5: electrode holder 6: glass member

7 : 외부 리드봉 8 : 제2 집전판7: external lead rod 8: second collector plate

9 : 외부 리드봉 유지체 10 : 금속박9 external lead rod holder 10 metal foil

11 : 내측 시일관 11a : 지관11: inner seal pipe 11a: branch pipe

11b : 외부 리드봉의 기단부를 넘어 연장되어 있는 부위11b: portion extending beyond the proximal end of the outer lead rod

11x : 외측 시일관의 기단부로부터 외부로 신장되어 있는 부위11x: Site extending from the proximal end of the outer seal tube to the outside

12 : 외측 시일관 20 : 전극 마운트12: outer seal tube 20: electrode mount

23 : 마운트 리본 41 : 한쪽의 시일용 선반23: mount ribbon 41: one side shelf

42 : 다른쪽의 시일용 선반 42: seal shelf on the other side

Claims (6)

발광관과, 그 양단에 연속하는 한 쌍의 외측 시일관과, 상기 외측 시일관의 내측에 당해 외측 시일관과 동일축 상에 배치되어 상기 외측 시일관에 용착(溶着)된 내측 시일관과, 상기 발광부의 내부에 대향하여 배치되는 본체부와 그 기단측에 연속하여 외측 시일관의 기단측을 향해 연장되는 축부로 이루어지는 한 쌍의 전극과, 상기 전극에 전기적으로 접속된 제1 집전판과, 상기 제1 집전판에 전기적으로 접속된 복수의 금속박과, 상기 복수의 금속박이 서로 겹치지 않고 외주면에 배치되고, 상기 복수의 금속박을 사이에 끼우도록 상기 내측 시일관의 내부에 용착된 유리 부재와, 상기 금속박에 전기적으로 접속된 제2 집전판과, 상기 제2 집전판에 전기적으로 접속된 외부 리드봉을 구비한 쇼트 아크형 방전 램프에 있어서, A light emitting tube, a pair of outer seal tubes continuous at both ends thereof, an inner seal tube disposed on the same axis as the outer seal tube and welded to the outer seal tube inside the outer seal tube; A pair of electrodes comprising a main body portion disposed to face the interior of the light emitting portion and a shaft portion extending toward the base end side of the outer seal tube, the first collector plate electrically connected to the electrode; A plurality of metal foils electrically connected to the first current collector plate, and a plurality of metal foils disposed on an outer circumferential surface of the plurality of metal foils without overlapping each other, and welded to the inside of the inner seal tube so as to sandwich the plurality of metal foils therebetween; In the short arc type discharge lamp provided with the 2nd electrical power collector plate electrically connected to the said metal foil, and the external lead rod electrically connected to the said 2nd electrical power collector plate, 상기 내측 시일관은, 상기 외측 시일관에 용착되지 않고 상기 외측 시일관의 단부로부터 외부로 신장되는 부위를 가지는 것을 특징으로 하는 쇼트 아크형 방전 램프. The said inner seal pipe | tube is a short arc type discharge lamp characterized by having the site | part extended outward from the edge part of the said outer seal pipe | tube without welding to the said outer seal pipe | tube. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 외측 시일관은, 상기 제1 집전판의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 쇼트 아크형 방전 램프.The outer seal tube extends radially outward of the first current collecting plate. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 외측 시일관의 전체 길이가, 상기 내측 시일관의 전체 길이보다도 짧은 것을 특징으로 하는 쇼트 아크형 방전 램프. The total length of the said outer seal pipe | tube is shorter than the full length of the said inner seal pipe | tube, The short arc type discharge lamp characterized by the above-mentioned. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 발광관 내에, 발광 물질로서 수은이 봉입되어 있는 것을 특징으로 하는 쇼트 아크형 방전 램프.A short arc discharge lamp comprising mercury as a light emitting material in the light emitting tube. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 쇼트 아크형 방전 램프를 제조하기 위해서 사용하는 전극 마운트로서, As an electrode mount used for manufacturing the short arc type discharge lamp of any one of Claims 1-4, 본체부와 그 기단측에 연속하는 축부로 이루어지는 전극과, 상기 전극에 전기적으로 접속된 제1 집전판과, 상기 제1 집전판에 전기적으로 접속된 복수의 금속박과, 상기 복수의 금속박이 서로 겹치지 않고 외주면에 배치된 유리 부재와, 상기 복수의 금속박에 전기적으로 접속된 제2 집전판과, 상기 제2 집전판에 전기적으로 접속된 외부 리드봉과, 상기 금속박을 사이에 끼우도록 상기 유리 부재의 직경 방향 바깥쪽에 용착된 내측 시일관을 가지며, The electrode which consists of a main-body part and the shaft part continuous to the base end side, the 1st collector plate electrically connected to the said electrode, the some metal foil electrically connected to the said 1st collector plate, and the said some metal foil do not overlap each other. The glass member disposed on the outer circumferential surface thereof, the second current collector plate electrically connected to the plurality of metal foils, the external lead rod electrically connected to the second current collector plate, and the diameter of the glass member so as to sandwich the metal foil therebetween. Has an inner seal tube welded outward in the direction, 상기 내측 시일관이, 상기 제1 집전판의 직경 방향 바깥쪽으로 연장되어 있음과 함께, 상기 외부 리드봉의 기단부를 넘어 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 전극 마운트.The inner seal tube extends radially outward of the first current collecting plate and extends beyond the proximal end of the outer lead rod. 본체부와 그 기단측에 연속하는 축부로 이루어지는 전극과, 상기 전극에 전 기적으로 접속된 제1 집전판과, 상기 제1 집전판에 전기적으로 접속된 복수의 금속박과, 상기 복수의 금속박이 서로 겹치지 않고 외주면에 배치된 유리 부재와, 상기 복수의 금속박에 전기적으로 접속된 제2 집전판과, 상기 제2 집전판에 전기적으로 접속된 외부 리드봉과, 상기 금속박을 사이에 끼우도록 상기 유리 부재의 직경 방향 바깥쪽에 용착된 내측 시일관을 가지는 전극 마운트를 조립하는 절차와, An electrode comprising a main body portion and a shaft portion continuous to the proximal end thereof, a first current collector plate electrically connected to the electrode, a plurality of metal foils electrically connected to the first current collector plate, and the plurality of metal foils mutually The glass member disposed on the outer circumferential surface without overlapping, the second current collector plate electrically connected to the plurality of metal foils, the external lead rod electrically connected to the second current collector plate, and the metal foil so as to sandwich the metal member therebetween. A procedure of assembling an electrode mount having an inner seal tube welded outward in a radial direction, 상기 전극 마운트를, 상기 내측 시일관이 외측 시일관의 단부로부터 외부로 신장되도록, 외측 시일관 내에 삽입하는 절차와,Inserting the electrode mount into an outer seal tube such that the inner seal tube extends outward from an end of the outer seal tube; 상기 외측 시일관을, 당해 외측 시일관 내에 배치된 상기 내측 시일관에 용착하는 절차를 행하는 것을 특징으로 하는 쇼트 아크형 방전 램프의 제조 방법.A process for welding the outer seal tube to the inner seal tube disposed in the outer seal tube is carried out.
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