KR20100013874A - 이미지 중첩 장치 및 방법 - Google Patents

이미지 중첩 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20100013874A
KR20100013874A KR1020080075601A KR20080075601A KR20100013874A KR 20100013874 A KR20100013874 A KR 20100013874A KR 1020080075601 A KR1020080075601 A KR 1020080075601A KR 20080075601 A KR20080075601 A KR 20080075601A KR 20100013874 A KR20100013874 A KR 20100013874A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
image
center
images
virtual
area
Prior art date
Application number
KR1020080075601A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100951418B1 (ko
Inventor
장동영
홍석기
임영환
Original Assignee
재단법인 서울테크노파크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 재단법인 서울테크노파크 filed Critical 재단법인 서울테크노파크
Priority to KR1020080075601A priority Critical patent/KR100951418B1/ko
Publication of KR20100013874A publication Critical patent/KR20100013874A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100951418B1 publication Critical patent/KR100951418B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00—Details of television systems
    • H04N5/222—Studio circuitry; Studio devices; Studio equipment
    • H04N5/262—Studio circuits, e.g. for mixing, switching-over, change of character of image, other special effects ; Cameras specially adapted for the electronic generation of special effects
    • H04N5/265—Mixing
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00—Details of television systems
    • H04N5/222—Studio circuitry; Studio devices; Studio equipment
    • H04N5/262—Studio circuits, e.g. for mixing, switching-over, change of character of image, other special effects ; Cameras specially adapted for the electronic generation of special effects
    • H04N5/2624—Studio circuits, e.g. for mixing, switching-over, change of character of image, other special effects ; Cameras specially adapted for the electronic generation of special effects for obtaining an image which is composed of whole input images, e.g. splitscreen

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Image Processing (AREA)

Abstract

본 발명은 이미지 중첩 장치 및 방법에 관한 것으로, 물체를 복수의 이미지로 분할하여 고해상도로 촬영하고 복수의 이미지 중 겹치는 영역을 중첩시켜 하나의 이미지로 통합하는 기능을 갖는다.
하나의 물체를 복수의 이미지로 분할하여 고해상도로 촬영하고, 촬영된 복수의 이미지 중 겹치는 영역을 중첩함으로써, 고가의 소프트웨어 없이 물체를 고해상도로 표현할 수 있는 효과가 있다. 또한, 물체가 고해상도로 표현되어 물체의 결함 지점이나 결함 사항을 정확하게 파악할 수 있는 효과가 있다.
카메라, 스코프, 이미지, 중첩, 램프, 분할

Description

이미지 중첩 장치 및 방법{Apparatus and method for merging image}
본 발명은 이미지 중첩 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 물체를 복수의 이미지로 분할하여 고해상도로 촬영하고 복수의 이미지 중 겹치는 영역을 중첩시켜 하나의 이미지로 통합하는 이미지 중첩 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 칩의 불량 여부는 소정의 장비를 사용하여 결함을 위치 측정하는 것이 일반적이다. 가령, 분석 장비의 모니터에 보여지는 칩의 이미지는 약 세가지로 구분하여 볼 수 있다. 제1 이미지창에 보여지는 이미지(제1 이미지)는 실제 칩의 이미지(Scope Image)이고, 제2 이미지창에서 보여지는 이미지(제2 이미지)는 제1 이미지의 크기에 대한 전기적 결함의 존재 여부를 나타내는 이미지(OBIRCH Image)이고, 제3 이미지창에 보여지는 이미지(제3 이미지)는 제1 이미지에 제2 이미지를 중첩시켜 발견된 전기적 결함이 최초의 제1 이미지의 어느 위치에 존재하는지를 나타내는 이미지(Superimpose Image)이다.
그런데, 칩의 전기 배선이 매우 복잡하여 결함 검출에 사용되는 렌즈(detection lenses)의 해상도 한계를 넘어가면 제1 이미지창에서 보여지는 실제 칩의 이미지의 해상도가 낮아 결함 존재 여부를 판별하기 어렵다.
종래에는 해상도를 높이기 위해서 렌즈를 이동시켜 칩을 분할 촬영한 후, 소프트웨어 프로그램을 통해 분할 촬영된 이미지를 조합하여 제1 이미지창에 실제 칩의 이미지를 표시하였다. 그러나, 이와 같은 소프트웨어는 단가가 높아 일반적인 칩의 결함 여부를 판단하는데 사용되기 어렵다는 문제점이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 하나의 물체를 고해상도의 이미지로 표현할 수 있는 이미지 중첩 장치 및 방법을 을 제공하는 것이다.
본 발명의 한 특징에 따르면, 복수의 이미지를 연결하여 하나의 통합 이미지로 스캐닝 하는 방법이 제공된다. 이 방법은, 제1 영역을 가지는 제1 이미지를 촬영하는 단계, 상기 제1 이미지의 중심과 중심 사이의 거리가 제1 간격이며 상기 제1 영역을 가지는 제2 이미지를 촬영하는 단계, 상기 제1 이미지의 중심과 상기 제2 이미지의 중심 사이의 거리가 상기 제1 간격보다 짧은 제2 간격이 되도록 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지를 연결하고, 겹쳐지는 부분은 중첩시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 이미지 중첩 장치가 제공된다. 이 장치는, 물체를 복수의 가상 이미지로 분할하는 분할 개수를 설정하는 분할 설정부, 상기 복수의 가상 이미지 중 제1 가상 이미지의 중심과 중심이 갖고 제1 가상 이미지보다 큰 제1 영역을 갖는 제1 이미지를 촬영하고, 제2 가상 이미지의 중심과 중심이 갖고 상기 제2 가상 이미지보다 큰 제2 영역을 갖는 제2 이미지를 촬영하는 카메라, 상기 카메라와 연결되어 있고 상기 카메라가 상기 제1 및 제2 이미지를 촬영하는 시간 동안 정지한 후 이동하는 스코프, 상기 제1 가상 이미지의 중심과 상기 제1 이미지의 중심을 일치시키고, 상기 제2 가상 이미지의 중심과 상기 제2 이 미지의 중심을 일치시키고, 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지의 영역 중 겹치는 영역을 중첩시키는 이미지 통합부를 포함한다.
본 발명의 실시 예에서는 하나의 물체를 고해상도의 복수의 이미지로 분할하여 촬영함으로써, 물체를 고해상도로 표현할 수 있고 물체의 결함 지점이나 결함 사항을 정확하게 파악할 수 있다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서에 기재된 "…부", "…기", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
본 발명은 어떤 물체를 고해상도로 촬영하기 위해서 물체를 분할하여 고해상 도의 복수의 이미지로 촬영하고, 촬영한 복수의 이미지를 조합하여 하나의 고행사도의 통합 이미지로 표시하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 복수의 이미지는 스코프(120)와 카메라에 의해서 촬영되고 통합 이미지는 디스플레이부에 하나의 이미지로 표시된다.
아래에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 중첩 장치 및 방법에 대해서 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 중첩 장치의 개략적인 구성도이고,도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이부에 표시되는 이미지 영역을 예시적으로 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 스코프(120)의 이동 경로를 예시적으로 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 복수의 이미지를 하나의 통합 이미지로 중첩시키는 단계를 나타내는 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 시스템은 스테이지(100), CCD(Charge Couple Device) 카메라(110), 스코프(Scope)(120), 램프(130), 디스플레이부(140), 분할 설정부(200), CCD 카메라 제어부(210), 램프 제어부(220), 스코프 이동 제어부(230), 스테이지 이동 제어부(240) 및 이미지 통합부(250)를 포함한다.
스테이지(100)는 상하좌우로 이동이 가능하도록 모터(도시하지 않음)가 장착되어 있고, 촬영되는 물체를 고정하는 장치이다. 본 발명의 실시 예에서 물체는 웨이퍼(wafer) 및 칩(chip)과 같이 복잡한 배선이나 미세한 결함이 발생할 수 있는 장치들이다.
스코프(120)는 스테이지(100)의 상부에 위치하고, 사용자는 대안렌즈와 대물 렌즈를 조정하여 배율을 결정한다. 배율이 높을 수록 스코프(120)와 CCD 카메라(110)를 통해 촬영되는 물체의 해상도가 높아진다. 스코프(120)의 측면에는 램프(130)가 연결되는 램프 연결부가 구비되어 있고, 스코프(120)의 상면에는 CCD 카메라(110)가 연결되는 카메라 연결부가 구비되어 있다.
CCD 카메라(110)는 스코프(120)의 카메라 연결부에 연결되어 CCD 카메라 제어부(210)에서 설정된 셔터(Shutter) 속도에 따라 스코프(120)를 통해 인식되는 물체를 촬영한다.
이때, 스코프(120)의 하부에는 상하좌우로 이동이 가능한 모터가 장착되어 있고, 이 모터는 스코프 이동 제어부(230)에 의해 동작된다. 스코프(120)와 CCD 카메라(110)는 연결되어 있으므로, 스코프(120)와 함께 CCD 카메라(110)는 동일한 방향으로 이동한다.
램프(130)는 스코프(120)의 램프 연결부에 연결되어 대물렌즈와 대안렌즈 사이에 빛을 공급한다. 이때, 빛의 세기는 램프 제어부(220)에 의해 제어된다.
디스플레이부(140)는 CCD 카메라(110)에 의해 촬영된 복수의 이미지를 표시하고, 이미지 통합부(250)에서 합산된 통합 이미지를 표시한다.
이때, 도 2에 도시된 바와 같이, 물체를 촬영하기 전에 사용자는 디스플레이부(140)에 표시되는 통합 이미지를 몇 개의 가상 이미지(복수의 이미지와 동일한 이미지임)로 분할 촬영할지 원하는 분할 개수를 설정할 수 있다. 이때, 분할 개수가 많으면 많을수록 이미지의 영역이 작아지므로 통합 이미지의 해상도는 높아진다. 디스플레이부(140)에 표시되는 통합 이미지의 영역이 한정된 영역이므로, 사용 자가 설정한 분할 개수에 따라 하나의 가상 이미지의 영역(MXN)이 결정된다.
분할 설정부(200)는 사용자가 입력하는 분할 개수에 따라 디스플레이부(140)의 통합 이미지를 분할 개수의 가상 이미지로 분할 설정한다. 즉, 분할 설정부(200)는 사용자가 분할 개수를 9로 입력하면, 디스플레이부(140)의 통합 이미지의 영역(도2에서는 15X15)을 9개의 가상 이미지 영역(도 2에서는 5X5)으로 분할 설정한다. 분할 설정부(200)는 CCD 카메라(110)에 의해 촬영되는 이미지의 영역이 가상 이미지 영역보다 크도록 이미지 영역(도 2에서는 7.5X7.5)을 설정한다.
분할 설정부(200)는 분할 개수와 가상 이미지의 크기 등의 정보를 CCD 카메라 제어부(210) 및 스코프 이동 제어부(230)로 출력한다.
본 발명의 실시 예에서는 가상 이미지와 중심이 같고 가상 이미지보다 크기가 큰 영역의 이미지를 분할 개수만큼 촬영한다. 즉, 가상 이미지는 촬영되는 복수의 이미지와 동일한 이미지일 수 있다.
CCD 카메라 제어부(210)는 분할 설정부(200)에서 입력되는 정보에 따라 CCD 카메라(110)를 통해 촬영하는 하나의 이미지의 영역을 결정한다. 즉, CCD 카메라 제어부(210)는 처음으로 촬영하는 제1 이미지가 첫 번째 가상 이미지와 중심이 갖고 가상 이미지의 영역보다 큰 영역(도2에서는 7.5X7.5)을 갖도록 CCD 카메라(110)로 제어신호를 출력한다. 또한, CCD 카메라 제어부(210)는 램프(130)의 빛의 세기를 고려하여 셔터 속도를 설정하고, 설정된 셔터 속도에 따라 CCD 카메라(110)가 동작하도록 CCD 카메라(110)로 제어신호를 출력한다.
램프 제어부(220)는 스코프(120)를 통해 물체가 잘 보일 수 있도록 램프의 빛의 세기를 제어한다.
스코프 이동 제어부(230)는 분할 설정부(200)에서 입력되는 정보에 따라 스코프(120)가 상하좌우로 이동하도록 스코프(120)의 모터를 제어한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 9개의 이미지를 촬영할 경우 스코프 이동 제어부(230)는 스코프(120)의 이동 경로를 다양하게 제어할 수 있다. 도 3에서는 3가지의 스코프(120) 이동 경로를 예시하였지만, 본 발명은 이에 한정하지 않고 사용자의 목적에 따라 스코프(120) 이동 경로를 다양하게 변경할 수 있다.
이때, 스코프 이동 제어부(230)는 스코프(120)가 CCD 카메라(110)의 셔터 속도만큼 정지한 다음에 다음 이동 경로로 이동하도록 제어한다.
스테이지 이동 제어부(240)는 스코프(120)와 물체 사이의 초점이 맞으면서 스코프(120)와 스테이지(100)가 적정 거리를 유지하게 스테이지(100)의 상하좌우 이동을 제어한다.
이미지 통합부(250)는 CCD 카메라(110)를 통해 촬영된 복수의 이미지를 하나의 통합 이미지로 중첩한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 이미지 통합부는 처음으로 촬영된 제1 이미지의 중심과 제1 가상 이미지의 중심을 일치시키고, 다음으로 촬영된 제2 이미지의 중심과 제2 가상 이미지의 중심을 일치시킨다. 그리고, 이미지 통합부는 제1 이미지와 제2 이미지에서 겹쳐지는 영역은 중첩(merge)시킨다.
이어, 이미지 통합부(250)는 촬영된 제3 이미지의 중심과 제3 가상 이미지의 중심을 일치시킨 후, 제2 이미지와 제3 이미지에서 겹쳐지는 영역을 중첩시킨다. 이와 같은 단계를 반복하여 이미지 통합부(250)는 복수의 이미지를 하나의 통합 이 미지로 통합하고, 통합 이미지를 디스플레이부(140)로 전송한다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 중첩 방법을 나타내는 플로우 차트이다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 사용자는 디스플레이를 통해 보여지는 물체를 몇 개의 가상 이미지로 분할하여 촬영할지 분할 개수를 결정한다(S501). 그러면, 스코프 이동 제어부(230)는 분할 개수에 따라 스코프(120)의 이동 경로가 결정하고(S502), CCD 카메라 제어부(220)는 복수의 가상 이미지 각각과 중심이 갖고 가상 이미지보다 큰 영역을 차지하도록 복수의 이미지의 촬영 영역을 설정한다(S503).
그러면, 스코프 이동 제어부(230)의 제어신호에 따라 스코프(120)가 이동하고, CCD 카메라 제어부(220)의 제어신호에 따라 CCD 카메라(110)는 복수의 이미지를 촬영한다(S504).
이렇게 촬영된 복수의 이미지는 이미지 통합부(250)로 순서대로 전송된다.
이미지 통합부(250)는 CCD 카메라(110)에서 순서대로 입력되는 복수의 이미지의 중심과 분할된 가상 이미지 각각의 중심을 일치시킨 후(S505), 촬영된 이미지 중 일부 겹쳐지는 영역은 중첩시킨다(S506).
이와 같이, 본 발명의 실시 예에서는 물체를 고해상도를 갖는 복수의 이미지로 분할하여 촬영함으로써, 물체를 고해상도로 표현할 수 있다. 복수의 이미지 중 겹치는 영역을 중첩시킴으로써, 고가의 소프트웨어 없이 복수의 이미지를 하나의 이미지로 통합할 수 있다. 물체가 고해상도로 표현됨으로써, 사용자는 물체의 결함 지점이나 결함 사항을 정확하게 파악할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시 예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 중첩 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이부에 표시되는 이미지 영역을 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 스코프의 이동 경로를 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 복수의 이미지를 하나의 통합 이미지로 중첩시키는 단계를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 이미지 중첩 방법을 나타내는 플로우 차트이다.

Claims (7)

  1. 복수의 이미지를 연결하여 하나의 통합 이미지로 스캐닝 하는 방법에 있어서,
    제1 영역을 가지는 제1 이미지를 촬영하는 단계,
    상기 제1 이미지의 중심과 중심 사이의 거리가 제1 간격이며 상기 제1 영역을 가지는 제2 이미지를 촬영하는 단계, 그리고
    상기 제1 이미지의 중심과 상기 제2 이미지의 중심 사이의 거리가 상기 제1 간격보다 짧은 제2 간격이 되도록 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지를 연결하고, 겹쳐지는 부분은 중첩시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 중첩 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 통합 이미지를 제2 영역을 가지는 복수의 가상 이미지로 분할하는 분할 개수를 결정하는 단계를 더 포함하며,
    상기 분할 개수와 상기 복수의 이미지의 개수는 동일하고, 상기 제2 영역은 상기 제1 영역보다 작은 영역인 것을 특징으로 하는 이미지 중첩 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 중첩시키는 단계는,
    상기 복수의 가상 이미지 중 제1 가상 이미지의 중심과 상기 제1 이미지의 중심을 일치시키는 단계,
    상기 복수의 가상 이미지 중 제2 가상 이미지의 중심과 상기 제2 이미지의 중심을 일치시키는 단계, 그리고
    상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지가 겹쳐지는 부분을 중첩시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 중첩 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 가상 이미지의 중심과 상기 제2 가상 이미지의 중심을 연결하는 제1 선의 벡터 값은 상기 제1 이미지의 중심과 상기 제2 이미지의 중심을 연결하는 제2 선의 벡터 값과 동일한 것을 특징으로 하는 이미지 중첩 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 이미지는 고해상도의 이미지인 것을 특징으로 하는 이미지 중첩 방법.
  6. 물체를 복수의 가상 이미지로 분할하는 분할 개수를 설정하는 분할 설정부,
    상기 복수의 가상 이미지 중 제1 가상 이미지의 중심과 중심이 갖고 제1 가상 이미지보다 큰 제1 영역을 갖는 제1 이미지를 촬영하고, 제2 가상 이미지의 중심과 중심이 갖고 상기 제2 가상 이미지보다 큰 제2 영역을 갖는 제2 이미지를 촬 영하는 카메라,
    상기 카메라와 연결되어 있고 상기 카메라가 상기 제1 및 제2 이미지를 촬영하는 시간 동안 정지한 후 이동하는 스코프, 그리고
    상기 제1 가상 이미지의 중심과 상기 제1 이미지의 중심을 일치시키고, 상기 제2 가상 이미지의 중심과 상기 제2 이미지의 중심을 일치시키고, 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지의 영역 중 겹치는 영역을 중첩시키는 이미지 통합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 중첩 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지는 고해상도의 이미지인 것을 특징으로 하는 이미지 중첩 장치.
KR1020080075601A 2008-08-01 2008-08-01 이미지 중첩 장치 및 방법 KR100951418B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080075601A KR100951418B1 (ko) 2008-08-01 2008-08-01 이미지 중첩 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080075601A KR100951418B1 (ko) 2008-08-01 2008-08-01 이미지 중첩 장치 및 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100013874A true KR20100013874A (ko) 2010-02-10
KR100951418B1 KR100951418B1 (ko) 2010-04-07

Family

ID=42087810

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080075601A KR100951418B1 (ko) 2008-08-01 2008-08-01 이미지 중첩 장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100951418B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101364686B1 (ko) * 2012-02-24 2014-02-19 건양대학교산학협력단 핸드스캐너를 이용한 분할이미지 재구성 방법 및 장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4205220B2 (ja) 1998-09-03 2009-01-07 リコーマイクロエレクトロニクス株式会社 外観検査方法及びその装置
KR100312964B1 (ko) 1999-06-18 2001-11-03 오희범 다중카메라 영상 합성시스템 및 영상 합성 방법
JP3620715B2 (ja) 2001-01-25 2005-02-16 セイコーエプソン株式会社 ディジタルカメラ及び画像ファイル方法
KR100605027B1 (ko) * 2004-02-25 2006-07-26 시냅스이미징(주) 카메라 또는 검사 대상의 이동 중 영상 획득에 의한영상검사방법 및 영상검사장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR100951418B1 (ko) 2010-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9265186B2 (en) Camera system for aligning components of a PCB
WO2015080480A1 (ko) 웨이퍼 영상 검사 장치
KR20090023553A (ko) 반도체 불량 해석 장치, 불량 해석 방법 및 불량 해석 프로그램
JP3300479B2 (ja) 半導体デバイス検査システム
JP2851151B2 (ja) ワイヤボンディング検査装置
US10147174B2 (en) Substrate inspection device and method thereof
TW201918439A (zh) 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置
KR20180015139A (ko) 투명 기판의 내부 결함을 검출하기 위한 광학 디바이스 및 이를 위한 방법
US7865012B2 (en) Semiconductor failure analysis apparatus which acquires a failure observed image, failure analysis method, and failure analysis program
KR100679550B1 (ko) 결함검출기 및 결함검출방법
JP6903270B2 (ja) 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
KR100951418B1 (ko) 이미지 중첩 장치 및 방법
CN114222909A (zh) 晶片外观检查装置和方法
JP4279412B2 (ja) 半導体デバイス検査装置
JP2009192371A (ja) 外観検査装置及び外観検査方法
JP2008298693A (ja) 検査条件決定方法
KR100740250B1 (ko) 비전 검사 시스템 및 그를 이용한 검사 방법
JP2018194378A (ja) ウェハ異常箇所検出用装置およびウェハ異常箇所特定方法
KR101351004B1 (ko) 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치
JP2004212218A (ja) 試料検査方法及び検査装置
JP2004286584A (ja) 欠陥検査装置
KR101351000B1 (ko) 복수 개의 검사 모드를 가지는 인라인 카메라 검사 장치
JP2005045194A (ja) 針痕読取装置および針痕読取方法
JPS62180252A (ja) プリント基板検査装置
JP2005021916A (ja) 欠陥修正機能付き顕微鏡装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130325

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140124

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150430

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160311

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170317

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190329

Year of fee payment: 10