KR20100013679A - Air knife apparatus - Google Patents

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KR20100013679A
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Abstract

PURPOSE: An air knife apparatus for drying a substrate is provided to improve interchangeability and drying efficiency by controlling air spraying amount and spray pressure. CONSTITUTION: An air knife apparatus for drying a substrate comprises a main body(2), a first and a second chamber part(4a,4b), a discharge unit(6), and a flow control unit(8). The main body has an air injection hole inside. The first chamber part provides air(A) for drying from an air inlet. The second chamber part is apart from the first chamber. The discharge unit has a first and a second outlet. The first and the second outlet spray the air for drying to the outside. The flow control unit controls the supply quantity of the air for drying air provided to the first and the second chamber.

Description

에어나이프 장치{air knife apparatus}Air knife apparatus

본 발명은 에어나이프 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판표시소자용 기판을 건조하는 작업에 사용되며, 특히 듀얼(dual) 분사 방식으로 건조용 공기를 분사하면서 기판을 간편하게 건조할 수 있는 에어나이프 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air knife device, and more particularly, to an operation of drying a substrate for a flat panel display device, and in particular, an air knife that can easily dry a substrate while injecting drying air in a dual spray method. Relates to a device.

평판표시소자용 기판을 세정하는 작업은 주로 유체분사노즐과 같은 세정유니트를 구비한 챔버 형태의 세정장치 내에서 기판 표면을 향하여 세정액(예: deionized water)을 분사(공급)하는 방식으로 진행된다.The cleaning of the substrate for the flat panel display device is mainly performed by spraying (supplying) a cleaning liquid (for example, deionized water) toward the substrate surface in a chamber-type cleaning apparatus having a cleaning unit such as a fluid spray nozzle.

이처럼, 상기 세정장치로 기판을 세정할 때 기판에 묻어 있는 잔존 세정액을 제거하면서 기판을 건조 처리하는 것이 매우 중요하다. 예를들어, 세정 작업 후 잔존 세정액이 기판 측에 묻어 있으면 표면에 얼룩(water spot)이 발생하여 세정 품질을 저하시키는 한 요인이 될 수 있다.As such, when the substrate is cleaned by the cleaning apparatus, it is very important to dry-process the substrate while removing the remaining cleaning liquid from the substrate. For example, if the remaining cleaning liquid is buried on the substrate side after the cleaning operation, water spots may be generated on the surface, which may be a factor that degrades the cleaning quality.

그러므로, 기판의 세정 작업과 연계하여 건조 작업을 진행하며, 이러한 건조 작업은 대부분 에어나이프를 이용하여 건조용 공기로 기판의 잔존 세정액을 불어내면서 제거 및 건조하는 방식이 널리 알려져 있다.Therefore, a drying operation is performed in connection with a cleaning operation of the substrate, and a method of removing and drying the drying operation while blowing out the remaining cleaning liquid of the substrate with air for drying is mostly performed using an air knife.

이러한 기판 건조 작업에 사용하는 에어나이프는 2003년 특허 출원되어 2004 년 12월 31일 자로 공개된 특허공개 제10-2004-0110783호가 있다.The air knife used for such a substrate drying operation is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-2004-0110783 filed on December 31, 2004.

상기 특허공개 제10-2004-0110783호는, 에어나이프의 몸체 내측에 복수의 공기분사구가 형성된 멀티앵글노즐을 구비하고, 이 멀티앵글노즐은 상기 몸체 하부면에서 전/후로 이격 배치된 전방분사구와 후방분사구로 구성된 듀얼(dual) 분사 구조로 되어 있다.The Patent Publication No. 10-2004-0110783 has a multi-angle nozzle formed with a plurality of air injector spheres inside the body of the air knife, the multi-angle nozzle and the front injection sphere is spaced apart from the front and rear of the body It has a dual injection structure composed of a rear injection port.

즉, 상기 특허공개 제10-2004-0110783호는, 기판 건조 작업시 상기 전방분사구와 후방분사구를 통해 기판을 향하여 서로 다른 분사 각도로 공기를 분사할 수 있으므로 기판의 클리닝 거리를 증대시킨 상태로 건조 작업을 진행할 수 있다.That is, the Patent Publication No. 10-2004-0110783, the air can be injected at different injection angles toward the substrate through the front injection port and the rear injection port during the substrate drying operation, so that the drying distance of the substrate to increase the cleaning distance You can work on it.

하지만, 상기한 특허공개 제10-2004-0110783호의 에어나이프 장치는, 기판의 건조 작업시 다음과 같은 문제가 발생할 수 있다.However, the air knife device of the above-mentioned Patent Publication No. 10-2004-0110783, the following problems may occur during the drying operation of the substrate.

즉, 상기 에어나이프 몸체로 공기를 분사할 때 상기 멀티앵글노즐의 전방분사구와 후방분사구의 공기 분사량(분사 비율)을 적절하게 조절 및 설정할 수 없다.That is, when injecting air into the air knife body, the air injection amount (injection ratio) of the front injection port and the rear injection port of the multi-angle nozzle cannot be properly adjusted and set.

이와 같은 구조에 의하면, 기판 사이즈나 형태 또는 작업 여건에 따라 이와 부합하는 공기 분사 환경을 제공할 수 없으므로 만족할 만한 작업 호환성 및 설비의 효율성을 얻기가 어렵다.According to such a structure, it is difficult to obtain a satisfactory work compatibility and equipment efficiency because it is not possible to provide a corresponding air blowing environment according to the substrate size, shape or working conditions.

예를들어, 기판 표면에 세정액이 많이 묻어 있는 상태에서 상기 전방분사구로 잔존 세정액을 1차로 불어낼 때 공기의 분사 압력이 크면 세정액이 분사 압력에 의해 불규칙하게 튀어 오르는 현상이 발생할 수 있다.For example, when a large amount of cleaning liquid is deposited on the surface of the substrate, when the residual cleaning liquid is first blown into the front injection hole, if the injection pressure of air is large, the cleaning solution may be irregularly splashed by the injection pressure.

특히, 상기와 같이 건조 작업 중에 잔존 세정액이 기판에서 불규칙하게 튀어 오르는 현상이 발생하면 기판의 다른 부분에 달라붙어서 건조 효율을 저하시킬 뿐 만 아니라, 이차 오염(water spot)을 유발하는 한 요인이 될 수 있다.In particular, if the residual cleaning liquid splashes irregularly from the substrate during the drying operation as described above, it may stick to other parts of the substrate to reduce the drying efficiency and also cause a second water spot. Can be.

이러한 문제들은 기판 사이즈나 작업 여건에 따라 상기 전방 및 후방분사구의 분사 환경을 적절하게 조절 및 설정할 수 있도록 제어가 가능한 수단을 구비하고 있지 않기 때문이다.These problems are due to the fact that there is no controllable means to properly adjust and set the spraying environment of the front and rear injection ports according to the substrate size or working conditions.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서,The present invention has been proposed to solve the above problems,

본 발명의 목적은, 듀얼(dual) 분사 방식으로 건조용 공기를 분사하면서 기판의 건조 작업을 진행할 수 있으며, 특히 공기 분사량과 분사 압력의 조절이 가능하여 한층 향상된 건조 효율과 작업 호환성을 확보할 수 있는 에어나이프 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention, the drying operation of the substrate can be carried out while injecting the drying air in a dual injection method, in particular, it is possible to adjust the air injection amount and the injection pressure to ensure further improved drying efficiency and work compatibility The present invention provides an air knife device.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여,In order to achieve the object as described above,

내부에 공기유입구를 구비한 본체;A main body having an air inlet therein;

상기 본체 내측에 형성되어 상기 공기유입구로부터 건조용 공기를 공급받는 제1 챔버부;A first chamber part formed inside the main body to receive drying air from the air inlet;

상기 공기유입구를 사이에 두고 제1 챔버부와 이격 형성되는 제2 챔버부;A second chamber part spaced apart from the first chamber part with the air inlet therebetween;

상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부의 건조용 공기를 외부로 분사하기 위한 제1 토출구와 제2 토출구를 제공하는 토출부;A discharge unit providing a first discharge port and a second discharge port for injecting drying air to the outside of the first chamber part and the second chamber part;

상기 공기유입구 측에서 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부 측으로 공급되는 건 조용 공기의 공급량을 제어하는 유량제어수단;Flow control means for controlling a supply amount of dry air supplied from the air inlet side to the first chamber portion and the second chamber portion;

을 포함하는 에어나이프 장치를 제공한다.It provides an air knife device comprising a.

이와 같은 본 발명은, 상기 토출부의 제1 및 제2 토출구의 분사 환경을 상기 유량제어수단으로 제어하면서 기판의 건조 작업을 진행할 수 있다.In the present invention as described above, the drying operation of the substrate can be performed while controlling the injection environment of the first and second discharge ports of the discharge portion by the flow rate control means.

특히, 상기 유량제어수단은 상기 제1 및 제2 챔버부 측으로 공급되는 건조용 공기의 분배량을 한 가지 이상의 비율로 조절 및 설정 가능하게 이루어지므로 예를들어, 기판 사이즈나 건조 작업 여건에 따라 이와 부합하도록 상기 제1 토출구와 제2 토출구의 분사 환경(공기 분사량 비율)을 한 가지 이상의 타입으로 간편하게 설정할 수 있다.In particular, the flow rate control means is made possible to adjust and set the distribution amount of the drying air supplied to the first and second chamber portion at one or more ratios, for example, depending on the substrate size or drying operation conditions The injection environment (air injection rate ratio) of the first discharge port and the second discharge port can be simply set to one or more types so as to conform.

이와 같은 유량제어수단의 구조 및 작용에 의하면, 예를들어, 두 개의 분사구에서 항상 일정한 비율로 공기를 분사하는 종래의 듀얼 분사 타입의 에어나이프들과 비교할 때 한층 향상된 건조 효율과 작업 호환성을 확보할 수 있다.According to the structure and operation of such a flow control means, for example, compared to the conventional dual injection type air knife, which always injects air at a constant rate in two nozzles, it is possible to obtain improved drying efficiency and work compatibility. Can be.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.Embodiments of the present invention are described to the extent that those of ordinary skill in the art can practice the present invention.

따라서, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.Therefore, since the embodiments of the present invention may be modified in various other forms, the claims of the present invention are not limited to the embodiments described below.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 바람직한 설치 상태를 나타낸 도면으로서, 도면 부호 2는 본체를 지칭하고, 이 본체(2)는 도면에서와 같이 건조용 챔버(D1)와 이송수단(D2)을 구비한 통상의 기판건조장치(D) 내부에 설치될 수 있다.1 is a view showing a preferred installation state of the air knife device according to an embodiment of the present invention, 2 denotes a main body, the main body 2 is conveyed with the drying chamber (D1) as shown in the figure It can be installed inside a conventional substrate drying apparatus (D) having a means (D2).

상기 이송수단(D2)은 상기 건조용 챔버(D1) 내부 일측에서 타측으로 기판(G)을 이송할 수 있도록 예를들어, 복수 개의 이송용 로울러(R)들로 구성되는 통상의 로울러 컨베이어 타입의 구조로 이루어질 수 있다.The transfer means (D2) is a conventional roller conveyor type composed of a plurality of transfer rollers (R), for example, to transfer the substrate (G) from one side to the other side inside the drying chamber (D1). It may be made of a structure.

즉, 상기 본체(2)는 좌/우로 연장 형성된 장방형의 타입으로 이루어지며, 상기 건조용 챔버(D1) 내부에서 기판(G)의 일면(윗면)과 대응하도록 상기 이송수단(D2)의 이송 구간 상에 설치될 수 있다.That is, the main body 2 is formed in a rectangular type extending left / right, and the transfer section of the transfer means D2 to correspond to one surface (upper surface) of the substrate G in the drying chamber D1. It can be installed on.

그리고, 도 2를 참조하면 상기 본체(2) 내측에는 외부에서 건조용 공기(A, 예: Clean Dry Air)가 공급되기 위한 통로를 제공하는 공기유입구(H)가 마련된다.In addition, referring to FIG. 2, an air inlet H is provided inside the main body 2 to provide a passage for supplying drying air A (eg, clean dry air) from the outside.

상기 공기유입구(H)는 상기 본체(2)의 일측 단부를 관통하여 타측으로 연장 형성된 구조를 갖는다.The air inlet (H) has a structure that extends to the other side through one end of the main body (2).

상기 공기유입구(H)는 도면에는 나타내지 않았지만 기판(G)의 건조 작업에 사용하는 통상의 공기공급장치로부터 건조용 공기(A)를 공급받도록 관체로 연결되며, 건조용 공기(A)의 공급 라인 상에는 유량계와 압력계, 필터와 같은 각종 유체 공급 및 제어용 주변 기기들이 설치된다.Although not shown in the drawing, the air inlet (H) is connected to the tubular body so that the drying air (A) is supplied from a conventional air supply device used for drying the substrate (G), the supply line of the drying air (A) On top of this, various fluid supply and control peripherals such as a flow meter, a pressure gauge and a filter are installed.

상기 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치는, 제1 챔버부(4a)와 제2 챔버부(4b)를 포함한다.The air knife device according to the embodiment of the present invention includes a first chamber portion 4a and a second chamber portion 4b.

상기 제1 챔버부(4a)와 제2 챔버부(4b)는 상기 공기유입구(H)로부터 건조용 공기(A)를 공급받을 수 있도록 상기 본체(2) 내측에 각각 형성된다.The first chamber portion 4a and the second chamber portion 4b are formed inside the main body 2 so that the drying air A can be supplied from the air inlet H.

즉, 상기 제1 챔버부(4a)는 도 2에서와 같이 상기 공기유입구(H)의 건조용 공기(A)가 일정량 담겨질 수 있는 크기의 챔버로 이루어진다.That is, the first chamber portion 4a is formed as a chamber of a size that can contain a predetermined amount of drying air (A) of the air inlet (H) as shown in FIG.

상기 제1 챔버부(4a)는 상기 본체(2) 내측에서 상기 공기유입구(H)를 사이에 두고 일측편에 형성된다.The first chamber portion 4a is formed at one side with the air inlet H therebetween inside the main body 2.

그리고, 상기 제2 챔버부(4b)는 도 2에서와 같이 상기 공기유입구(H)의 건조용 공기(A)가 일정량 담겨질 수 있는 크기의 챔버로 이루어지며, 상기 본체(2) 내측에서 상기 공기유입구(H)를 사이에 두고 상기 제1 챔버부(4a)와 이격 형성된다.In addition, the second chamber part 4b is formed of a chamber having a size in which a predetermined amount of drying air A of the air inlet H is contained, as shown in FIG. 2, and the air inside the main body 2. It is spaced apart from the first chamber portion 4a with an inlet H therebetween.

상기 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치는, 토출부(6)를 포함한다.The air knife device according to the embodiment of the present invention includes a discharge part (6).

상기 토출부(6)는 상기 제1 및 제2 챔버부(4a, 4b)의 건조용 공기(A)를 외부로 분사하기 위한 제1 및 제2 토출부(6a, 6b)를 제공하기 위한 것으로서 복수 개의 블레이드 결합에 의해 형성될 수 있다.The discharge part 6 is to provide first and second discharge parts 6a and 6b for injecting the drying air A of the first and second chamber parts 4a and 4b to the outside. It can be formed by combining a plurality of blades.

즉, 상기 토출부(6)는, 도 2 및 도 3에서와 같이, 상기 제1 챔버부(4a)와 제2 챔버부(4b) 사이에 위치하는 제1 토출용 블레이드(B1)와, 이 제1 토출용 블레이드(B1)의 일면과 마주하는 상태로 이격 배치되어 상기 제1 챔버부(4a)와 연통된 제1 토출구(6a)를 형성하는 제2 토출용 블레이드(B2)와, 상기 제1 토출용 블레이드(B1)의 타면과 마주하는 상태로 이격 배치되어 상기 제2 챔버부(4b)와 연통된 제2 토출구(6b)를 형성하는 제3 토출용 블레이드(B3)를 포함하여 이루어질 수 있다.That is, as shown in FIGS. 2 and 3, the discharge part 6 includes a first discharge blade B1 positioned between the first chamber part 4a and the second chamber part 4b, and A second ejection blade B2 which is spaced apart to face one surface of the first ejection blade B1 to form a first ejection opening 6a communicating with the first chamber portion 4a; 1 may include a third discharge blade B3 spaced apart from the other surface of the discharge blade B1 to form a second discharge hole 6b communicating with the second chamber part 4b. have.

상기 제1 토출용 블레이드(B1)는 도 2에서와 같이 상기 제1 및 제2 챔버 부(4a, 4b) 사이에 형성된 격벽(2a)의 하부와 일측이 연결 상태로 상기 본체(2) 측에 설치된다.As shown in FIG. 2, the first discharge blade B1 has a lower side and one side of the partition 2a formed between the first and second chamber portions 4a and 4b on the main body 2 side. Is installed.

상기 제2 및 제3 토출용 블레이드(B2, B3)는 상기 제1 토출용 블레이드(B1)의 일면 및 타면 측에 각각 배치되어 이들 사이로 제1 및 제2 토출구(6a, 6b)가 형성되도록 상기 본체(2) 측에 설치된다.The second and third ejection blades B2 and B3 are disposed on one side and the other side of the first ejection blade B1 so that the first and second ejection openings 6a and 6b are formed therebetween. It is installed in the main body 2 side.

그리고, 상기 제1 및 제2 토출구(6a, 6b)의 일측(위쪽) 단부는 상기 제1 및 제2 챔버부(4a, 4b)와 각각 연통되고, 타측(아래쪽) 단부는 하측으로 진행하면 점차 유로 폭이 좁아지는 형태로 이루어진다.One end (upper end) of the first and second discharge ports 6a and 6b communicates with the first and second chamber parts 4a and 4b, respectively, and the other end (lower) end gradually goes downward. The flow path is narrowed.

상기 각 토출구(6a, 6b)의 좌/우측 사이에는 복수 개의 지점에 보강판(6c)들이 이격 형성된 구조를 갖는다. 이 보강판(6c)들은 상기 토출용 블레이드(B1, B2, B3)들이 도 2에서와 같이 서로 겹쳐진 상태로 결합할 때 형태가 변화되지 않도록 안정적으로 지지하는 역할을 한다.The reinforcing plates 6c are spaced apart at a plurality of points between the left and right sides of the discharge ports 6a and 6b. These reinforcement plates 6c serve to stably support the discharge blades B1, B2 and B3 so that their shape does not change when they are combined in an overlapping state as shown in FIG.

상기 제1 및 제2 토출구(6a, 6b)의 토출 갭 크기는 일반적으로 0.06mm 내지 0.15mm 범위 내로 이루어지며, 상기 제1 토출구(6a)는 상기 제2 토출구(6b)보다 두 배 이상의 갭 크기를 갖도록 형성하면 좋다.The discharge gap sizes of the first and second discharge ports 6a and 6b are generally in the range of 0.06 mm to 0.15 mm, and the first discharge hole 6a is twice the gap size than the second discharge hole 6b. It may be formed to have.

이처럼, 상기 제1 토출구(6a)의 크기를 더 크게 형성하면, 건조용 공기(A)의 분사량이 많아지므로 기판(G)의 건조 작업시 기판(G)으로부터 많은 양의 세정액(W)을 1차로 간편하게 제거할 수 있다.In this way, when the size of the first discharge port 6a is made larger, the injection amount of the drying air A increases, so that a large amount of the cleaning liquid W is removed from the substrate G during the drying operation of the substrate G. Easy to remove by car

상기한 토출용 블레이드(B1, B2, B3)들은 상기 본체(2) 길이와 대응하는 길이를 갖도록 도 3에서와 같이 장방형의 블레이드 형태로 각각 이루어져서, 상기 제 1 및 제2 토출구(6a, 6b)의 토출 끝단이 도 4에서와 같이 슬릿(slit) 형태로 연장되어 서로 평행한 상태로 제공되며, 상기 보강판(6c)들에 의해 복수 개로 분할 형성된 토출 단부를 갖는다.The discharge blades B1, B2, and B3 are formed in a rectangular blade shape as shown in FIG. 3 so as to have a length corresponding to the length of the main body 2, and thus the first and second discharge ports 6a and 6b. As shown in FIG. 4, the discharging end of is extended in a slit form and provided in parallel to each other, and has a discharging end divided into a plurality by the reinforcing plates 6c.

상기 토출부(6)는 예를들어, 건조용 공기(A)의 분사 중에 상기 제1 및 제2, 제3 토출용 블레이드(B1, B2, B3)의 결합 틈새 사이로 압력이 손실되지 않도록 도면에는 나타내지 않았지만 통상의 방법(예: 시일재)으로 시일 처리된다.For example, the discharge part 6 may have a pressure such that pressure is not lost between the engagement gaps of the first, second, and third discharge blades B1, B2, and B3 during injection of the drying air A. Although not shown, it is sealed by conventional methods (eg, sealing materials).

그리고, 상기 제1 및 제2, 제3 토출용 블레이드(B1, B2, B3)들은 도면에는 나타내지 않았지만 상기 본체(2)의 하부면과 통상의 방법(예: 볼트 체결)으로 결합된다.The first, second, and third discharge blades B1, B2, and B3 are coupled to the lower surface of the main body 2 by a conventional method (eg, bolt fastening), although not shown in the drawing.

상기한 토출부(6)는 예를들어, 도 2에서와 같이 상기 건조용 챔버(D1) 내에서 상기 이송수단(D2)에 의해 기판(G)이 이송될 때 상기 제1 토출구(6a)로 건조용 공기(A)를 분사하면서 기판(G)의 잔존 세정액(W, 예: deionized water)을 1차로 불어내고, 상기 제2 토출구(6b)는 상기 제1 토출구(6a) 후방에서 기판(G)의 잔존 세정액(W)을 2차로 불어낼 수 있다.For example, as shown in FIG. 2, the discharge part 6 is transferred to the first discharge port 6a when the substrate G is transferred by the transfer means D2 in the drying chamber D1. While blowing the drying air A, the remaining cleaning liquid W (eg, deionized water) of the substrate G is blown first, and the second discharge port 6b is disposed behind the first discharge port 6a. The remaining washing liquid (W) of) can be blown out secondarily.

이와 같은 구조에 의하면, 세정된 기판(G)에 묻어 있는 잔존 세정액(W)을 상기 토출부(6)의 제1 토출구(6a)와 제2 토출구(6b)를 이용하여 두 번(1차, 2차)에 걸쳐서 건조용 공기(A)로 불어내면서 제거하는 방식으로 건조 작업을 진행할 수 있다.According to this structure, the residual cleaning liquid W buried in the cleaned substrate G is twice (first, using the first discharge port 6a and the second discharge port 6b of the discharge part 6). The drying operation can be carried out by blowing the blowing air into the drying air (A) over the second).

그리고, 상기한 본체(2)는, 상기 기판건조장치(D)의 건조용 챔버(D1) 내부에서 상기 기판(G)의 이송 구간 상에 다음과 같이 설치하면 좋다.In addition, the main body 2 may be provided on the transfer section of the substrate G in the drying chamber D1 of the substrate drying apparatus D as follows.

예를들어, 상기 본체(2)는 도 5를 기준으로 할 때 기판(G) 이송 구간과 대응하는 임의의 수직 기준선(K1)으로부터 제1 경사각도(Q1) 범위 내로 경사지게 설치할 수 있다. 상기 제1 경사각도(Q1)는 대략 30도 내지 38도 범위로 형성하면 좋다.For example, the main body 2 may be installed to be inclined within a range of the first inclination angle Q1 from any vertical reference line K1 corresponding to the substrate G transfer section when referring to FIG. 5. The first inclination angle Q1 may be formed in a range of approximately 30 degrees to 38 degrees.

만일, 상기한 제1 경사각도(Q1) 범위보다 크면 상기 제1 및 제2 토출구(6a, 6b)로 기판(G)을 향하여 건조용 공기(A)를 분사할 때 분사 압력이 쉽게 손실되어 만족할 만한 제거 효율을 얻기가 어렵고, 상기한 제1 경사각도(Q1) 범위보다 작으면 건조용 공기(A)의 분사 압력에 의해 기판(G)에 묻어 있는 잔존 세정액(W)이 불규칙하게 튀는 현상이 발생할 수 있다.If it is larger than the first inclination angle Q1, the spray pressure is easily lost when spraying the drying air A toward the substrate G through the first and second discharge holes 6a and 6b. If it is difficult to obtain a sufficient removal efficiency and is smaller than the above-described first inclination angle Q1, the residual cleaning liquid W buried in the substrate G may be irregularly splashed by the injection pressure of the drying air A. May occur.

한편, 상기 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치는, 유량제어수단(8)을 포함한다.On the other hand, the air knife device according to an embodiment of the present invention includes a flow control means (8).

상기 유량제어수단(8)은 건조용 공기(A)의 분사 환경(분사량)을 제어(조절 및 설정)할 수 있도록 구성된다.The flow rate control means 8 is configured to control (adjust and set) the injection environment (injection amount) of the drying air A.

도 6을 참조하면, 상기 유량제어수단(8)은, 유량분배기(T1)와, 이 유량분배기(T1)를 구동하는 구동기(T2)를 포함하여 이루어진다.Referring to Fig. 6, the flow rate control means 8 includes a flow rate distributor T1 and a driver T2 for driving the flow rate distributor T1.

상기 유량분배기(T1)는 상기 제1 및 제2 챔버부(4a, 4b)로 공급되는 건조용 공기(A)의 공급량을 일정 비율로 조절할 수 있도록 상기 본체(2) 내측에 위치된다.The flow rate distributor T1 is positioned inside the main body 2 so as to adjust a supply amount of the drying air A supplied to the first and second chamber portions 4a and 4b at a predetermined ratio.

즉, 상기 유량분배기(T1)는, 도 2에서와 같이 상기 공기유입구(H)와 대응하는 외부면 둘레를 가지며 내부에 공급 통로(H1)를 갖는 중공 파이프 또는 튜브 형태로 이루어질 수 있으며, 상기 공기유입구(H) 내측에서 상기 공급 통로(H1)의 중심 축선을 기준으로 회전 가능하게 셋팅된다.That is, the flow rate distributor T1 may be formed in the form of a hollow pipe or tube having an outer periphery corresponding to the air inlet H and a supply passage H1 therein, as shown in FIG. Inside the inlet (H) is rotatably set with reference to the central axis of the supply passage (H1).

그리고, 상기 유량분배기(T1)의 외부면에는 상기 제1 및 제2 챔버부(4a, 4b)와 대응하여 건조용 공기(A)의 공급량을 제어하기 위한 조절부(10)가 형성된다.And, on the outer surface of the flow distributor (T1) is formed an adjusting unit 10 for controlling the supply amount of the drying air (A) corresponding to the first and second chamber (4a, 4b).

상기 조절부(10)는 상기 유량분배기(T1)가 상기 공기유입구(H) 내측에서 중심부를 기준으로 회전할 때 상기 제1 챔버부(4a)와 제2 챔버부(4b) 간의 건조용 공기(A)의 분사량을 한 가지 타입 이상의 비율로 조절 및 설정할 수 있도록 형성된다.The control unit 10 is the drying air between the first chamber portion 4a and the second chamber portion 4b when the flow rate distributor T1 rotates about the central portion inside the air inlet H. It is formed to adjust and set the injection amount of A) in more than one type of ratio.

예를들어, 상기 제1 챔버부(4a)와 상기 제2 챔버부(4b) 간의 건조용 공기(A) 분사량 비율을 1(제1 챔버부):1(제2 챔버부) 또는 4(제1 챔버부):1(제2 챔버부)로 분배할 수 있는 제1 및 제2 조절용 홀부(V1, V2)로 구성되는 제1 조절부(10a)와 제2 조절부(10b)로 이루어질 수 있다.For example, the ratio of the injection amount of drying air A between the first chamber portion 4a and the second chamber portion 4b is 1 (first chamber portion): 1 (second chamber portion) or 4 (second 1 chamber part): the first adjusting part 10a and the second adjusting part 10b constituted by the first and second adjusting hole parts V1 and V2, which can be distributed to the second chamber part. have.

이처럼, 건조용 공기(A)의 분배량 비율을 조절하는 구조는 상기한 분사 비율과 비례하도록 상기 제1 조절부(10a) 및 제2 조절부(10b)들의 조절용 홀부(V1, V2) 크기를 적절하게 형성하면 된다.As such, the structure for adjusting the distribution ratio of the drying air (A) is to adjust the size of the adjusting holes (V1, V2) of the first control unit 10a and the second control unit 10b to be proportional to the injection ratio. What is necessary is just to form suitably.

그리고, 상기 유량분배기(T1)와 공기유입구(H)의 결합 틈새 사이에는 도 2에서와 같이 시일부재(C)를 더 설치하면 좋다.In addition, the sealing member C may be further provided between the coupling gaps between the flow rate distributor T1 and the air inlet H as shown in FIG. 2.

상기 시일부재(C)는 고무나 실리콘을 사용할 수 있으며, 상기 유량분배기(T1)와 공기유입구(H)의 결합 틈새 사이에 설치하면, 건조용 공기(A)가 결합 틈새를 통해 외부로 유실되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 유량분배기(T1)의 회전시 마찰을 최대한 줄일 수 있다. The sealing member (C) may use rubber or silicon, and when installed between the coupling gap of the flow distributor (T1) and the air inlet (H), the drying air (A) is lost to the outside through the coupling gap Not only can be prevented, the friction during rotation of the flow splitter (T1) can be reduced as much as possible.

그리고, 상기 구동기(T2)는 도 6에서와 같은 스텝핑 모터를 구동원으로 사용 하고, 이 모터 축 단부와 상기 유량분배기(T1) 일단을 연결한 구조로 이루어질 수 있다.In addition, the driver T2 uses a stepping motor as shown in FIG. 6 as a driving source, and may have a structure in which the motor shaft end is connected to one end of the flow distributor T1.

즉, 상기 구동기(T2)는, 스텝핑 모터의 구동시 모터 축의 회전 각도만큼 상기 공기유입구(H) 내부에서 상기 유량분배기(T1)를 일정 각도로 회전시키면서 건조용 공기(A)의 분사량 비율의 조절 및 설정이 가능하게 구동할 수 있다.That is, the driver T2 adjusts the injection amount ratio of the drying air A while rotating the flow distributor T1 at a predetermined angle inside the air inlet H by the rotation angle of the motor shaft when the stepping motor is driven. And setting can be driven.

상기 구동기(T2)는 상기와 같이 통상의 스탭핑 모터에 의한 구동방식 이외에도 예를들어, 도면에는 나타내지 않았지만 실린더 구동방식 또는 벨트 구동방식, 스크류 구동방식, 래크/피니언 구동방식 등으로 동력을 전달하면서 상기 유량분배기(T1)를 구동할 수도 있다.The driver T2 transmits power in a cylinder driving method, a belt driving method, a screw driving method, a rack / pinion driving method, etc. in addition to the driving method by a normal stepping motor as described above. The flow rate distributor T1 may be driven.

이러한 구동 구조는 해당 분야에서 일반적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.Since such a driving structure can be easily implemented by those skilled in the art, more detailed description thereof will be omitted.

상기한 유량제어수단(8)은 다음과 같은 동작에 의해 상기 본체(2) 내측에서 상기 제1 챔버부(4a) 및 제2 챔버부(4b) 측에 공급되는 건조용 공기(A) 공급량을 적절하게 분배할 수 있다.The flow rate control means 8 supplies the amount of drying air A supplied from the inside of the main body 2 to the first chamber portion 4a and the second chamber portion 4b by the following operation. It can distribute suitably.

예를들어, 상기 구동기(T2)로 상기 유량분배기(T1)를 회전시켜서 도 2에서와 같이 상기 제1 조절부(10a)의 제1 조절용 홀부(V1)들이 상기 제1 및 제2 챔버부(4a, 6a)와 일치(연통)하도록 셋팅할 수 있다.For example, by rotating the flow rate distributor T1 with the driver T2, as shown in FIG. 2, the first adjusting hole parts V1 of the first adjusting part 10a are formed in the first and second chamber parts ( 4a, 6a) can be set to match (communicate).

이와 같은 셋팅 상태에 의하면, 상기 제1 조절부(10a)의 제1 조절용 홀부(V1)들에 의해 상기 공기유입구(H)에서 상기 제1 및 제2 챔버부(4a, 4b) 측으로 공급되는 건조용 공기(A)의 분사량 비율을 1:1로 설정할 수 있다.According to the setting state as described above, the drying supplied to the first and second chamber portions 4a and 4b from the air inlet H by the first adjusting hole portions V1 of the first adjusting portion 10a. The injection ratio of the air A can be set to 1: 1.

그리고, 도 7에서와 같이 상기 제2 조절부(10b)의 제2 조절용 홀부(V2)들이 상기 제1 및 제2 챔버부(4a, 6a)와 일치(연통)하도록 셋팅할 수 있다.As shown in FIG. 7, the second adjusting hole parts V2 of the second adjusting part 10b may be set to match (communicate) with the first and second chamber parts 4a and 6a.

이와 같은 셋팅 상태에 의하면, 상기 제2 조절부(10b)의 제2 조절용 홀부(V2)들에 의해 상기 공기유입구(H)에서 상기 제1 및 제2 챔버부(4a, 4b) 측으로 공급되는 건조용 공기(A)의 분사량 비율을 4:1로 설정할 수 있다.According to the setting state as described above, the drying supplied from the air inlet H to the first and second chamber portions 4a and 4b by the second adjusting hole portions V2 of the second adjusting portion 10b. The injection quantity ratio of the air A can be set to 4: 1.

그러므로, 상기한 유량제어수단(8)의 조작에 의해 상기 제1 및 제2 챔버부(4a, 4b)측으로 공급되는 건조용 공기(A)의 분배량을 조절하면서 상기 토출부(6)의 제1 및 제2 토출구(6a, 6b)의 분사 환경을 적절하게 제어할 수 있다.Therefore, the discharge part 6 of the discharge part 6 is controlled while adjusting the distribution amount of the drying air A supplied to the first and second chamber parts 4a and 4b by the operation of the flow rate control means 8 described above. The injection environment of the 1st and 2nd discharge ports 6a and 6b can be controlled suitably.

상기에서는 유량제어수단(8)의 조절부(10)가 제1 및 제2 조절부(10a, 10b)로 구성되어 두 가지 타입의 분배 비율(1:1 또는 4:1)로 제어하는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 본 발명이 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다.In the above, the control unit 10 of the flow control means 8 is composed of the first and second control units (10a, 10b) to control two types of distribution ratio (1: 1 or 4: 1) Although shown in description and drawing, this invention is not limited to this structure.

예를들어, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 조절부(10)가 제3 조절부를 더 포함하도록 형성하여 세 가지 타입의 분배 비율로 제어가 가능하게 셋팅하거나, 이외에도 작업 여건과 부합하도록 두 가지 이상의 분배 비율 타입으로 건조용 공기(A)의 공급량 비율을 조절 및 설정이 가능하게 이루어질 수도 있다.For example, although not shown in the drawings, the control unit 10 may be configured to further include a third control unit to control the three types of distribution ratios, or to set two or more distribution ratio types to match the working conditions. As a result, it is possible to adjust and set the supply ratio of the air for drying (A).

따라서, 상기한 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치는, 기판(G)을 향하여 건조용 공기(A)를 분사하면 건조 작업을 진행할 때 기판(G) 사이즈나 형태 또는 작업 여건과 부합하도록 상기 유량제어수단(8)을 이용하여 상기 토출부(6)의 제1 및 제2 토출구(6a, 6b)의 분사 환경(분사량 비율)을 한 가지 이상의 타입으로 설정할 수 있으므로 한층 향상된 작업 호환성과 건조 효율을 확보할 수 있다.Therefore, the air knife device according to an embodiment of the present invention, when spraying the drying air (A) toward the substrate (G) to match the substrate (G) size or shape or working conditions when the drying operation proceeds. By using the flow rate control means 8, the injection environment (injection amount ratio) of the first and second discharge ports 6a and 6b of the discharge part 6 can be set to one or more types, further improving work compatibility and drying. Efficiency can be secured.

그리고, 상기에서는 본체(2)를 도 1에서와 같이 이송수단(D2)의 이송 구간 내에서 기판(G)의 일면(윗면)과 대응하도록 설치한 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이 또한 본 발명이 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다.In the above description, the main body 2 is installed to correspond to one surface (upper surface) of the substrate G in the transport section of the transport means D2 as shown in FIG. 1. The invention is not limited to the above structure.

예를들어, 상기 이송수단(D2)의 이송 구간 내에서 기판(G)의 일면(윗면) 및 타면(저면)과 대응하도록 도 8에서와 같이 이송 구간을 사이에 두고 상/하 지점에 각각 이격 설치할 수도 있으며, 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 기판(G)의 이송 구간 내에서 한 군데 이상의 지점에 이격 설치할 수도 있다.For example, in the transfer section of the transfer means D2, the upper and lower points of the transfer section are spaced apart from each other, as shown in FIG. In addition, although not shown in the drawing, it may be provided to be spaced apart from one or more points within the transfer section of the substrate (G).

이와 같은 구조에 의하면, 기판(G)의 이송 중에 이 기판(G)의 일면 및 타면을 향하여 한 군데 이상의 지점에서 건조용 공기(A)를 분사하는 방식으로 건조 작업을 진행할 수 있다.According to this structure, the drying operation can be performed by spraying the drying air A at one or more points toward one surface and the other surface of the substrate G during the transfer of the substrate G.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 바람직한 설치 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a view schematically showing a preferred installation state of the air knife device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 내부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.2 is a view schematically showing the internal structure of an air knife device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 토출부의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining the detailed structure of the discharge portion of the air knife device according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 토출부의 토출 단부 구조를 나타낸 도면이다.4 is a view showing the discharge end structure of the discharge portion of the air knife device according to an embodiment of the present invention.

도 5는 도 1의 본체의 바람직한 설치 상태(각도)를 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining a preferred installation state (angle) of the main body of FIG.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 유량제어수단 구조를 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining the structure of the flow control means of the air knife device according to an embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 유량제어수단 작용을 설명하기 위한 도면이다.7 is a view for explaining the operation of the flow control means of the air knife device according to an embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 다른 설치 상태를 설명하기 위한 도면이다.8 is a view for explaining another installation state of the air knife device according to an embodiment of the present invention.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명][Description of Symbols for Main Parts of Drawing]

2: 본체 4a: 제1 챔버부 4b: 제2 챔버부2: main body 4a: first chamber portion 4b: second chamber portion

6: 토출부 6a: 제1 토출구 6b: 제2 토출구 6: discharge part 6a: first discharge port 6b: second discharge port

8: 유량제어수단 10: 조절부 G: 기판8: flow control means 10: control part G: substrate

W: 세정액 A: 건조용 공기 T1: 유량분배기W: Cleaning liquid A: Drying air T1: Flow distributor

T2: 구동기T2: Driver

Claims (9)

내부에 공기유입구를 구비한 본체;A main body having an air inlet therein; 상기 본체 내측에 형성되어 상기 공기유입구로부터 건조용 공기를 공급받는 제1 챔버부;A first chamber part formed inside the main body to receive drying air from the air inlet; 상기 공기유입구를 사이에 두고 제1 챔버부와 이격 형성되는 제2 챔버부;A second chamber part spaced apart from the first chamber part with the air inlet therebetween; 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부의 건조용 공기를 외부로 분사하기 위한 제1 토출구와 제2 토출구를 제공하는 토출부;A discharge unit providing a first discharge port and a second discharge port for injecting drying air to the outside of the first chamber part and the second chamber part; 상기 공기유입구 측에서 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부 측으로 공급되는 건조용 공기의 공급량을 제어하는 유량제어수단;Flow control means for controlling a supply amount of drying air supplied from the air inlet side to the first chamber portion and the second chamber portion; 을 포함하는 에어나이프 장치.Air knife device comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부는,The first chamber portion and the second chamber portion, 상기 공기유입구의 건조용 공기가 일정량 담겨질 수 있는 크기를 갖는 챔버로 이루어지는 에어나이프 장치.Air knife device comprising a chamber having a size that can hold a predetermined amount of drying air of the air inlet. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 토출부는,The discharge portion, 상기 본체 하부에서 상기 제1 챔버부와 제2 챔버부의 경계 지점에 위치하는 제1 토출용 블레이드;A first discharge blade positioned at a boundary point between the first chamber portion and the second chamber portion below the main body; 상기 제1 토출용 블레이드의 일면과 대응하도록 배치되어 이들 사이로 상기 제1 챔버부와 연통된 제1 토출구를 형성하는 제2 토출용 블레이드;A second ejection blade disposed to correspond to one surface of the first ejection blade to form a first ejection opening communicating with the first chamber part therebetween; 상기 제1 토출용 블레이드의 타면과 대응하도록 배치되어 이들 사이로 상기 제2 챔버부와 연통된 제2 토출구를 형성하는 제3 토출용 블레이드;A third discharge blade which is disposed to correspond to the other surface of the first discharge blade and forms a second discharge port communicating with the second chamber portion therebetween; 를 포함하여 이루어지는 에어나이프 장치.Air knife device comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 유량제어수단은,The flow control means, 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부 측에 공급되는 건조용 공기를 분배하는 조절부를 구비하고 상기 공기유입구 내측에 위치되는 유량분배기;A flow rate distributor having an adjustment unit for distributing drying air supplied to the first chamber unit and the second chamber unit, and positioned inside the air inlet; 상기 조절부에 의해 건조용 공기의 분배량을 조절할 수 있도록 상기 유량분배기를 구동하는 구동기;A driver for driving the flow rate distributor to adjust the distribution amount of drying air by the control unit; 를 포함하는 에어나이프 장치.Air knife device comprising a. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 유량분배기는,The flow splitter, 상기 공기유입구 내부면과 대응하는 외부면을 갖는 중공 파이프나 튜브 형태로 이루어지는 에어나이프 장치.An air knife device having a hollow pipe or tube having an outer surface corresponding to the inner surface of the air inlet. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 조절부는,The control unit, 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부와 대응하는 두 개의 조절용 홀부가 한 조로 구성되며,Two adjusting hole parts corresponding to the first chamber part and the second chamber part are composed of a pair, 상기 유량분배기 외부면에서 복수 개의 지점에 형성되는 에어나이프 장치.Air knife device formed in a plurality of points on the outer surface of the flow distributor. 청구항 6에 있어서,The method according to claim 6, 상기 두 개의 조절용 홀부는,The two adjusting hole portion, 서로 동일 또는 다른 크기의 통로를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.Air knife device, characterized in that formed to have a passage of the same or different size with each other. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 구동기는,The driver, 스텝핑 모터 또는 실린더, 벨트/풀리, 래크/피니언을 이용하여 동력을 발생 및 전달하면서 상기 유량분배기가 중공부 축선을 중심으로 회전할 수 있도록 구동하는 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.And a stepping motor or cylinder, belt / pulley, rack / pinion to drive the flow distributor to rotate about the hollow axis while generating and transmitting power. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 본체는,The main body, 기판의 이송 방향과 대응하는 임의의 수직 기준선으로부터 제1 경사각도 범 위 내로 경사지게 설치되며,It is installed to be inclined into the first inclination angle range from any vertical reference line corresponding to the transfer direction of the substrate, 상기 제1 경사각도는 30도 내지 38도 범위로 이루어지는 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.The first angle of inclination is an air knife device, characterized in that made in the range of 30 to 38 degrees.
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