KR20100010965A - 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자를 제조하기 위해 웨이퍼 카세트를 운반하는 과정에서 내부에 적재되어 있는 복수 장의 웨이퍼가 유동하지 않도록 고정해줌으로써 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조에 관한 것이다.

이를 실현하기 위한 본 발명은 웨이퍼가 이송적재될 수 있도록 내부 양측면에 복수의 슬롯이 형성되는 웨이퍼 카세트를 포함하는 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조에 있어서, 상기 슬롯은 이송되는 웨이퍼가 진입되는 초입부와, 상기 초입부를 통해 이송된 웨이퍼가 안착되는 적재부로 이루어지되 상기 적재부는 적재된 웨이퍼가 유동하는 것을 방지할 수 있도록 상기 초입부에 비해 상하 틈새가 좁게 형성된 것을 특징으로 한다.

웨이퍼 카세트, 슬롯, 유동방지, 스크래치

Description

웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조 {Structure for preventing sliding of wafer in cassette}

본 발명은 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자를 제조하기 위해 웨이퍼 카세트를 운반하는 과정에서 내부에 적재되어 있는 복수 장의 웨이퍼가 유동하지 않도록 고정해줌으로써 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속 증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하는 일련의 과정을 통해 이루어진다. 이렇게 반도체 소자로 제조되기까지 웨이퍼는 웨이퍼 카세트에 복수 장 적재되어 각 공정을 수행하는 각각의 제조설비로의 이송과정을 거치게 된다.

도 1은 종래 웨이퍼 카세트의 내부구조를 보여주는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 I-I선 단면도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 웨이퍼 카세트(10)는 외곽프레임을 이루는 몸체프레임(11)과, 상기 몸체프레임(11) 내부 양 측면의 수직으로 소정간격 이격되게 복 수개 형성되어 수평방향으로 이송되는 웨이퍼(W)의 저면을 지지 적재하는 슬롯(13)으로 이루어진다. 이 경우 상기 웨이퍼(W)는 로봇암(20)에 의해 반송된다.

상기 슬롯(13)은 도 2에 도시된 바와 같이, 로봇암(20)을 이용하여 웨이퍼(W)의 원활한 로딩/언로딩이 이루어지게 함과 아울러 로봇암(20)이 적재된 웨이퍼(W) 사이사이에 삽입될 수 있는 공간을 마련해줄 수 있도록 웨이퍼(W)의 두께보다 대략 두 배 이상의 틈새(t)가 형성된다.

그러나 상기 웨이퍼 카세트(10)를 운반하는 과정에서 발생하는 흔들림 또는 충격에 의해 슬롯(13)에 적재된 복수 장의 웨이퍼(W)가 틈새(t) 내에서 유동하게 된다. 이 경우 상기 슬롯(13)에 적재된 복수의 웨이퍼(W)가 심하게 유동하게 되면서 파손 및 스크래치가 발생하게 되는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 반도체 소자를 제조하기 위해 웨이퍼 카세트를 운반하는 과정에서 내부에 적재되어 있는 복수 장의 웨이퍼가 유동하지 않도록 고정해줌으로써 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조를 제공하는데 그 목적이 있다.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조는, 웨이퍼가 이송적재될 수 있도록 내부 양측면에 복수의 슬롯이 형성되는 웨이퍼 카세트를 포함하는 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조에 있어서, 상기 슬롯은 웨이퍼가 이송 진입되는 초입부와, 상기 초입부를 통해 이송된 웨이퍼가 안착되는 적재부로 이루어지되 상기 적재부는 적재된 웨이퍼가 유동하는 것을 방지할 수 있도록 상기 초입부에 비해 상하 틈새가 좁게 형성된 것을 특징으로 한다.

이 경우 상기 적재부는 상기 슬롯의 중간지점에 곡면으로 돌출형성된 것을 특징으로 한다.

또한 상기 적재부에는 이송적재된 웨이퍼가 수평상태를 유지할 수 있도록 평탄면이 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조는, 웨이퍼 카세트 운반시 내부에 적재된 웨이퍼를 고정시켜 줌으로써 웨이퍼의 파손 및 스크래치를 방지해줌 으로써 반도체 소자의 생산량을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.

여기서 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조를 보여주는 개략적인 구성도이고, 도 4는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도이며, 도 5는 도 3의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명은 몸체의 외곽을 이루는 몸체프레임(110)과, 상기 몸체프레임(110) 내부 양 측면의 수직으로 소정간격 이격되게 복수 개 형성되어 로봇암(200)에 의해 수평방향으로 이송되는 웨이퍼(W)의 저면을 지지적재하는 슬롯(130)으로 이루어진 웨이퍼 카세트(100)의 구성은 종래와 동일하다.

이 경우 상기 복수 장의 웨이퍼(W)가 적재된 웨이퍼 카세트(100)를 운반하는 과정에서 발생하는 충격 또는 흔들림에 의해 슬롯(130)에 적재된 웨이퍼(W)가 좌우로 유동하는 것을 방지할 수 있는 구조가 마련되어야 한다.

이를 구현하기 위한 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조는, 상기 슬롯(130)은 수평방향으로 이송되는 웨이퍼(W)가 진입하는 초입부(131)와, 상기 초입부(131)를 통해 이송된 웨이퍼(W)가 안착될 수 있도록 돌출형성된 적재부(133)로 이루어진다.

다시 말해서 상기 적재부(133)는 이송적재된 웨이퍼(W)가 유동하는 것을 방지할 수 있도록 초입부(131)의 틈새(t1)에 비해 상기 적재부(133)의 상하 틈새(t2)가 좁게 형성된다. 즉, 상기 적재부(133)는 슬롯(130)의 중간지점에 돌출형성된다. 따라서 상기 적재부(133)에 이송 적재된 웨이퍼(W)는 마치 상하면이 고정된 듯한 효과를 얻을 수 있게 됨으로써 웨이퍼(W)가 외부의 흔들림이나 충격에 의해 유동하는 것을 방지할 수 있게 된다.

이 경우 상기 적재부(133)는 슬롯(130)의 중간지점에 완만한 곡면으로 돌출형성됨으로써 로봇암(200)에 의해 초입부(131)에서 적재부(133)로 이송되는 웨이퍼(W)가 슬롯(130)의 내측면에 충돌하지 않고 원활한 이송이 이루어질 수 있게 된다.

또한 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 적재부(133)의 가장 돌출된 부분은 이송적재되는 웨이퍼(W)가 수평상태를 유지할 수 있도록 평탄면(133a)으로 형성되는 것이 바람직하다. 따라서 슬롯(130) 내의 적재부(133)에 적재된 웨이퍼(W)가 흔들거리지 않고 보다 안정되게 적재시킬 수 있다.

이와 같은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조에 의하면, 반도체 소자를 제조하는 과정에서 복수 장의 웨이퍼(W)를 웨이퍼 카세트(100)에 적재하여 운반하는 경우, 상기 웨이퍼(W)는 슬롯(130)에 각각 돌출형성된 적재부(133)에 적재됨으로써 외부의 충격이나 흔들림에도 웨이퍼(W)가 유동하는 것을 방지할 수 있게 된다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않으며 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능함은 물론이다.

도 1은 종래 웨이퍼 카세트의 내부구조를 보여주는 개략적인 구성도,

도 2는 도 1의 I-I선 단면도,

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조를 보여주는 개략적인 구성도,

도 4는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도,

도 5는 도 3의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 웨이퍼 카세트 110 : 몸체프레임

130 : 슬롯 131 : 초입부

133 : 적재부 133a : 평탄면

W : 웨이퍼

Claims (3)

1. 웨이퍼가 이송적재될 수 있도록 내부 양측면에 복수의 슬롯이 형성되는 웨이퍼 카세트를 포함하는 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조에 있어서,

   상기 슬롯은 웨이퍼가 이송 진입되는 초입부와, 상기 초입부를 통해 이송된 웨이퍼가 안착되는 적재부로 이루어지되 상기 적재부는 적재된 웨이퍼가 유동하는 것을 방지할 수 있도록 상기 초입부에 비해 상하 틈새가 좁게 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 적재부는 상기 슬롯의 중간지점에 곡면으로 돌출형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 적재부에는 이송적재된 웨이퍼가 수평상태를 유지할 수 있도록 평탄면이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 적재구조.

Images