KR20100003693A - Defect inspection method and defect inspection apparatus - Google Patents

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KR20100003693A
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

PURPOSE: A defect inspection method and a defect inspection apparatus are provided to control the excessive inspection by controlling that the defect is to be removed. CONSTITUTION: A defect inspection apparatus comprises a sending unit(2), a testing station(3), an image processor, and a controller. The sending unit consecutively sends back the objects. The testing station consecutively inspects the returned objects. The image processor consecutively detects deformity and processes the image of the tested objects. The controller excludes deformity which does not affect the objects, if a plurality of objects is detected consecutively.

Description

결함 검사방법 및 결함 검사장치{Defect Inspection Method and Defect Inspection Apparatus}Defect Inspection Method and Defect Inspection Apparatus

본 발명은, 검사대상물의 검사시 과도한 검사를 방지하여 검사효율을 향상시킨 결함 검사방법 및 결함 검사장치에 관한 것이다. The present invention relates to a defect inspection method and a defect inspection apparatus which prevents excessive inspection during inspection of an inspection object and improves inspection efficiency.

일반적으로, 검사대상물을 자동으로 검사하는 자동 검사장치에서는, 검사중에 발생한 접촉 불량이나 먼지 부착 등에 의한 결함은, 검사대상물의 통상의 결함과 구별되지 않고, 그대로 결함으로 판단된다. 이를 해소하기 위하여, 검출된 결함이, 접촉 불량 등에 의한 결함인 것인지, 검사대상물의 통상의 결함인 것인지 불분명한 경우에, 반복해 검사되는 것이 있다. 이 같은 예로 특허문헌 1이 있다. In general, in an automatic inspection apparatus that automatically inspects an inspection object, a defect due to contact failure, dust adhesion, or the like, generated during inspection, is not distinguished from a normal defect of the inspection object, and is judged as a defect as it is. In order to solve this problem, the detected defect may be repeatedly inspected if it is unclear whether the detected defect is a defect due to a poor contact or the like or a normal defect of the inspection object. There is patent document 1 as such an example.

상기 특허문헌 1의 플랫패널 화질 검사장치에서는, 선(線) 결함이 검출되면, 접촉 재시도 장치를 가동시켜, 예를 들어 3회 반복해 검사한다. 반복 검사하여, 선 결함이 감소하지 않으면, 불량품으로 판단된다.In the flat panel image quality inspection apparatus of the said patent document 1, when a line defect is detected, a contact retry apparatus is operated, for example, it repeats and inspects three times. If the inspection is repeated and the line defects do not decrease, it is judged as defective.

특허문헌 1: 일본 특허출원 공개 제2000-146756호 공보 Patent Document 1: Japanese Patent Application Publication No. 2000-146756

그러나, 상기 종래의 검사장치는, 불량품 검출수단으로서는 유효한 장치이지만, 다수의 검사대상물을 연속적으로 검사할 때에는, 검사효율이 나쁘다. 즉, 1개의 검사대상물에 대해 3번이나 반복해 검사하면, 1개의 검사대상물에 대해 과도한 검사가 되어 검사시간이 길어져, 검사효율이 나빠져 버리는 문제가 있다.However, the conventional inspection apparatus is an effective apparatus for detecting defective products, but has a poor inspection efficiency when continuously inspecting a large number of inspection objects. That is, if one inspection object is repeatedly inspected three times, one inspection object is excessively inspected and the inspection time becomes long, resulting in a problem of poor inspection efficiency.

본 발명의 목적은, 검사대상물의 과도한 검사를 억제하여 검사효율을 향상시킨 결함 검사방법 및 결함 검사장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a defect inspection method and a defect inspection apparatus which suppresses excessive inspection of an inspection object and improves inspection efficiency.

본 발명에 따른 결함 검사방법은, 상기 과제를 해결하기 위해 만들어진 것으로, 검사대상물의 결함의 유무를 검사함과 동시에 복수의 검사대상물을 연속해 검사하는 결함 검사방법으로서, 연속해 검사된 복수의 검사대상물에 걸쳐, 동일 또는 그 근방의 위치에 동일한 결함이 복수 검출된 경우, 그 결함을 검사대상물에 기인하는 결함이 아닌 것으로 판단해 제외하는 것을 특징으로 한다.The defect inspection method according to the present invention has been made to solve the above problems, and is a defect inspection method for continuously inspecting a plurality of inspection objects while inspecting the presence or absence of a defect of an inspection object. When a plurality of identical defects are detected at the same or in the vicinity of the object over the object, the defect is judged to be not a defect due to the inspection object, and is excluded.

본 발명에 따른 결함 검사장치는, 상기 검사대상물을 연속적으로 반송(搬送)하는 반송수단과, 상기 반송수단에 의해 반송된 상기 검사대상물을 연속적으로 검사하는 검사부와, 상기 검사부에서 연속적으로 검사된 검사대상물의 화상을 처리하여 결함을 검출하는 화상처리부와, 상기 화상처리부에서 연속해 검사된 복수의 검사대상물에 걸쳐, 동일 또는 그 근방의 위치에 동일한 결함이 복수 검출된 경우, 그 결함을 검사대상물에 기인하는 결함이 아닌 것으로 판단해 제외하는 제어부를 갖춘 것을 특징으로 한다.The defect inspection apparatus according to the present invention includes a conveying means for continuously conveying the inspected object, an inspecting portion for continuously inspecting the inspected object conveyed by the conveying means, and an inspected continuously inspected by the inspecting portion. When a plurality of identical defects are detected at the same or in the vicinity of the image processing unit for processing an image of the object and detecting defects, and a plurality of inspection objects continuously inspected by the image processing unit, the defects are detected on the inspection object. It is characterized by including a control unit for determining that it is not a defect caused.

위와 같이, 본 발명에 따르면, 연속해 검사된 여러장의 검사대상물에 걸쳐, 동일 또는 근사한 위치에 동일한 결함이 복수 검출된 경우, 그 결함을 검사대상물에 기인한 결함이 아닌 것으로 판단해 제외하기 때문에, 검사대상물의 과도한 검사를 억제할 수 있어, 검사효율을 향상시킬 수 있다. As described above, according to the present invention, when a plurality of identical defects are detected at the same or an approximate position over a plurality of continuously inspected objects, the defects are determined to be not caused by the inspection object, and thus excluded. Excessive inspection of the inspection object can be suppressed, and inspection efficiency can be improved.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 결함 검사방법 및 결함 검사장치에 관하여, 첨부된 도면을 참조하면서 설명한다. 여기서는, 검사대상물로서 액정패널을 예로 들어 설명한다. 또한, 결함 검사방법을 실시하기 위한 결함 검사장치로서 점등 검사장치를 예로 들어 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the defect inspection method and defect inspection apparatus which concern on embodiment of this invention are demonstrated, referring an accompanying drawing. Here, the liquid crystal panel is taken as an example to be described. The lighting inspection apparatus will be described as an example of the defect inspection apparatus for carrying out the defect inspection method.

점등 검사장치(1)는, 도2 및 도3에 나타나 있듯이, 액정패널의 각 전극에 도시되지 않은 프로브(접촉자)를 접촉시켜 검사신호를 인가하면서 백라이트를 점등시켜 결함의 유무를 검사함과 동시에 복수의 액정패널을 연속해 검사하기 위한 장치이다. As shown in Fig. 2 and Fig. 3, the lighting inspection device 1 contacts a probe (contactor), not shown, to each electrode of the liquid crystal panel to turn on the backlight while applying a test signal to inspect the presence of defects. An apparatus for continuously inspecting a plurality of liquid crystal panels.

점등 검사장치(1)는 주로, 반송수단(2)과, 검사수단(3)을 갖추어 구성되어 있다. The lighting test apparatus 1 mainly comprises the conveying means 2 and the inspection means 3.

반송수단(2)은, 액정패널을 연속적으로 반송하기 위한 수단이다. 상기 반송수단(2)은, 반송장치(6)와, 반송용 로봇(도시되지 않음)을 갖추어 구성되어 있다.The conveying means 2 is a means for conveying a liquid crystal panel continuously. The conveying means 2 is equipped with the conveying apparatus 6 and the conveying robot (not shown).

반송장치(6)는, 롤러 컨베이어(7)를 갖추어 구성되어 있다. 롤러 컨베이어(7)는, 그 양쪽에 상류쪽 컨베이어(도시되지 않음) 및 하류쪽 컨베이어(도시되지 않음)가 각각 접속되어, 복수의 액정패널이 연속적으로 반송되도록 되어 있다. 상기 반송장치(6)에 의해 상류쪽에서 반송되어 온 액정패널은 검사수단(3)에서 검사되고, 검사종료 후의 액정패널이 하류쪽으로 반송된다. The conveying apparatus 6 is equipped with the roller conveyor 7, and is comprised. In the roller conveyor 7, the upstream conveyor (not shown) and the downstream conveyor (not shown) are connected, respectively, and the several liquid crystal panels are conveyed continuously. The liquid crystal panel conveyed from the upstream side by the said conveying apparatus 6 is inspected by the test | inspection means 3, and the liquid crystal panel after completion | finish of an inspection is conveyed downstream.

반송용 로봇(도시되지 않음)은, 롤러 컨베이어(7)에 옮겨 온 액정패널을 검사수단(3)에 반입하고, 검사종료 후의 액정패널을 검사수단(3)에서 롤러 컨베이어(7)로 되돌리기 위한 장치이다. 상기 반송용 로봇으로는, 기존의 장치를 사용할 수 있다. The transport robot (not shown) carries the liquid crystal panel transferred to the roller conveyor 7 into the inspection means 3, and returns the liquid crystal panel after the completion of the inspection from the inspection means 3 to the roller conveyor 7. Device. As the transfer robot, an existing device can be used.

검사수단(3)은, 반입된 액정패널의 각 전극에 프로브를 접촉시켜, 그 액정패널을 점등시키고(또는 배후에서 백라이트로 조명하고), 검사신호를 인가하여 결함의 유무를 검사하는 장치이다.The inspection means 3 is a device which contacts each electrode of the carried liquid crystal panel, lights up the liquid crystal panel (or illuminates the backlight with the backlight), and applies an inspection signal to inspect the presence of a defect.

검사수단(3)은, 도3에 나타나 있듯이 주로, 촬상(撮像)장치(11)와, 화상 처리장치(12)와, 화상 표시장치(13)로 구성되어 있다. As shown in FIG. 3, the inspection means 3 is mainly composed of an imaging device 11, an image processing device 12, and an image display device 13.

촬상장치(11)는, 검사대상이 되는 액정패널(14)에 표시된 화상을 촬영하는 촬상수단이다. 상기 촬상장치(11)는, 렌즈계(15)와, 촬상소자(16)와, 초점맞춤수단(도시되지 않음)과, 패널 컨트롤부(17)와, 제어수단(18)으로 구성되어 있다. 또한, 액정패널(14), 렌즈계(15) 및 촬상소자(16)는, 암실(19) 내에 수납되어, 외부 빛을 차단하고 있다. 또한, 암실(19) 내에는, 액정패널(14)을 지지하여 위치 맞추기 등을 하는 검사 스테이지, 프로브 유닛(모두 도시되지 않음) 등도 설치되어 있다. The imaging device 11 is imaging means for shooting an image displayed on the liquid crystal panel 14 to be inspected. The imaging device 11 includes a lens system 15, an imaging device 16, a focusing means (not shown), a panel control unit 17, and a control means 18. In addition, the liquid crystal panel 14, the lens system 15, and the imaging device 16 are accommodated in the dark room 19 to block external light. In the dark chamber 19, an inspection stage for supporting the liquid crystal panel 14 and aligning, and a probe unit (both not shown) are provided.

렌즈계(15)는, 암실(19) 내에서 상기 액정패널(14)과 촬상소자(16) 사이에 위치하여 초점을 조정하기 위한 광학장치이다. 렌즈계(15)는, 1개의 렌즈 또는 복수의 렌즈, 필터 등을 조합시켜 구성되어 있다. 촬상소자(16)는, 액정패널(14)을 위에서부터 촬영하기 위한 소자이다. 촬상소자(16)는 구체적으로는 CCD소자를 사용한 카메라로 구성되어 있다.The lens system 15 is an optical device for adjusting focus by being located between the liquid crystal panel 14 and the imaging device 16 in the dark room 19. The lens system 15 is configured by combining one lens, a plurality of lenses, a filter, or the like. The imaging element 16 is an element for photographing the liquid crystal panel 14 from above. The imaging element 16 is specifically comprised by the camera using a CCD element.

초점맞춤수단은, 상기 렌즈계(15) 및 촬상소자(16)를 일체로 이동시켜 상기 액정패널(14)의 화상에 대해 초점 맞추기를 하는 장치이다.The focusing means is a device for focusing the image of the liquid crystal panel 14 by moving the lens system 15 and the imaging device 16 integrally.

패널 컨트롤부(17)는, LCD패널용 전원(22)과, LCD패널 구동신호 발생기(23)로 구성되어 있다. LCD패널용 전원(22)에 의해 액정패널(14)에 전원이 공급되고, LCD패널 구동신호 발생기(23)에서 발생시킨 구동신호에 의해 액정패널(14)이 구동된다. 이에 의해, 액정패널(14)이 발광되고, 적당한 검사용 화상이 표시된다.The panel control unit 17 is composed of an LCD panel power supply 22 and an LCD panel drive signal generator 23. Power is supplied to the liquid crystal panel 14 by the LCD panel power supply 22, and the liquid crystal panel 14 is driven by the drive signal generated by the LCD panel drive signal generator 23. As a result, the liquid crystal panel 14 emits light, and an appropriate inspection image is displayed.

제어수단(18)은 점등 검사장치(1) 전체를 제어하기 위한 장치이다. 제어수단(18)은, 구체적으로는 제어기능을 갖춘 컴퓨터에 의해 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 하나의 컴퓨터로 화상 처리장치(12)와 제어수단(18)의 두 기능을 갖추고 있다. 또한, 제어수단(18)을 하나의 컴퓨터로, 화상 처리장치(12)를 다른 하나의 컴퓨터로 각각 구성해도 된다. 또한, 다른 구성이어도 된다.The control means 18 is a device for controlling the lighting inspection device 1 as a whole. The control means 18 is specifically comprised by the computer with a control function. In this embodiment, one computer is provided with two functions, the image processing apparatus 12 and the control means 18. In addition, you may comprise the control means 18 with one computer, and the image processing apparatus 12 with the other computer, respectively. Moreover, another structure may be sufficient.

제어수단(18)은, 초점맞춤 처리기능과, 접사 처리기능과, 도1에 나타나 있는 처리기능을 갖추고 있다. The control means 18 has a focusing processing function, a macro processing function, and a processing function shown in FIG.

초점맞춤 처리기능은, 상기 촬상장치(11)로 촬영한 화상으로부터 상기 액정패널(14)의 결함을 검사할 때, 상기 촬상장치(11)의 상기 초점맞춤수단을 제어하여 상기 액정패널(14)에 대해 초점 맞추기를 하기 위한 처리기능이다. 초점맞춤수단은, 상기 렌즈계(15)를 이동시켜, 통상 피치(pitch)의 액정패널의 화상에 대한 통상 촬영상태 또는 좁은 화소 피치의 소형 액정패널의 화상에 대한 매크로 촬영(접사)상태로 초점 맞추기를 한 후에는, 렌즈계(15)를 움직이지 않고, 렌즈계(15)와 액정패널(14) 사이의 거리를 일정하게 유지한다.The focusing processing function controls the focusing means of the imaging device 11 when inspecting a defect of the liquid crystal panel 14 from an image photographed by the imaging device 11 to control the liquid crystal panel 14. This is a processing function to focus on. The focusing means moves the lens system 15 to focus in a normal photographing state for an image of a liquid crystal panel of a normal pitch or in a macro photographing (macro) state of an image of a small liquid crystal panel of a narrow pixel pitch. After that, the distance between the lens system 15 and the liquid crystal panel 14 is kept constant without moving the lens system 15.

제어수단(18)은, 촬상장치(11)를 제어해 화상을 수신하고, 그 화상정보를 뒤에서 설명하는 기억수단에 기억하고, 뒤에서 설명하는 도1의 처리기능에 근거하여 적절히 화상정보를 읽어내 처리한다.The control means 18 controls the imaging device 11 to receive an image, stores the image information in a storage means described later, and reads the image information as appropriate based on the processing function of FIG. 1 described later. Process.

화상 처리장치(12)는, 촬상장치(11)로 촬영한 화상을 처리하여, 화상 표시장치(13)에 표시시키기 위한 장치이다. 화상 처리장치(12)는, 촬상장치(11)로 촬영한 화상을 기억하는 기억수단(도시되지 않음)을 갖추고 있다. 상기 기억수단에 기억한 화상정보를 적절히 읽어내 비교처리하고, 결함을 검출한다. 화상 처리장치(12)는, 구체적으로는 화상 처리기능을 갖춘 컴퓨터에 의해 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 위에서 설명한 바와 같이, 하나의 컴퓨터로 화상 처리장치(12)와 제어수단(18)의 기능을 갖추고 있다. 또한, 화상 처리장치(12)에는, 키보드(24)나 마우스(25)가 적절히 접속된다.The image processing apparatus 12 is an apparatus for processing the image photographed by the imaging device 11 and displaying it on the image display apparatus 13. The image processing apparatus 12 is equipped with the storage means (not shown) which memorize | stores the image | photographed with the imaging device 11. As shown in FIG. The image information stored in the storage means is appropriately read and compared, and a defect is detected. The image processing apparatus 12 is comprised by the computer with an image processing function specifically ,. In the present embodiment, as described above, one computer is provided with the functions of the image processing apparatus 12 and the control means 18. In addition, the keyboard 24 and the mouse 25 are suitably connected to the image processing apparatus 12.

화상 표시장치(13)는, 촬상장치(11)로 촬영되어, 화상 처리장치(12)에서 화 상처리된 화상 데이터를 표시하기 위한 장치이다. 화상 표시장치(13)는, 결함 화상용 모니터(27)와, 조작용 모니터(28)로 구성되어 있다. 결함 화상용 모니터(27)는, 촬상장치(11)로 촬영하고 화상 처리장치(12)에서 처리한 후의 액정패널(14)의 표면의 화상을 표시한다. 조작용 모니터(28)는, 촬상장치(11)의 초점 맞추기 등을 할 때 액정패널(14)을 표시한다. 오퍼레이터는, 상기 조작용 모니터(28)를 보면서 촬상장치(11)의 초점 맞추기 등의 조작을 하고, 결함 화상용 모니터(27)를 보고, 액정패널(14)에 표시 얼룩이 없는지 검사한다.The image display device 13 is a device for displaying image data captured by the imaging device 11 and damaged by the image processing device 12. The image display device 13 is composed of a defective image monitor 27 and an operation monitor 28. The defect image monitor 27 displays an image of the surface of the liquid crystal panel 14 after shooting with the imaging device 11 and processing by the image processing device 12. The operation monitor 28 displays the liquid crystal panel 14 when focusing the image pickup device 11 or the like. The operator performs operations such as focusing of the imaging device 11 while looking at the operation monitor 28, looks at the defect image monitor 27, and checks whether the liquid crystal panel 14 is free of display irregularities.

제어수단(18)은 또, 액정패널(14)의 반송도 제어한다. 제어수단(18)은, 반송장치(6), 반송용 로봇 등을 제어하여, 액정패널(14)을 상류쪽에서 반송해 검사수단(3)에 반입하고, 검사종료 후의 액정패널(14)을 검사수단(3)에서 반송장치(6) 쪽으로 되돌려 하류로 반송하는, 일련의 동작에 따라 각 장치의 구동 모터 등을 제어한다.The control means 18 also controls the conveyance of the liquid crystal panel 14. The control means 18 controls the conveying apparatus 6, the conveying robot, etc., conveys the liquid crystal panel 14 from upstream, carries it in to the inspection means 3, and inspects the liquid crystal panel 14 after completion | finish of an inspection. The drive motor etc. of each apparatus are controlled according to a series of operation | movement which returns from the means 3 to the conveying apparatus 6, and conveys downstream.

더욱이 제어수단(18)은, 검사 스테이지 등을 구동하여 액정패널(14)의 각 전극에 프로브를 접촉시키는 제어, 상기 액정패널(14)의 배후에서 백라이트로 조명시키는 제어, 프로브에서 각 전극으로 검사신호를 인가하는 제어 등을 한다. 검사수단(3)에서는, 반송수단(2)에 의해 반송된 액정패널(14)을 연속적으로 검사한다.Further, the control means 18 controls the probe to contact each electrode of the liquid crystal panel 14 by driving an inspection stage or the like, a control to illuminate the backlight behind the liquid crystal panel 14, and inspects each electrode in the probe. Control to apply a signal. In the test | inspection means 3, the liquid crystal panel 14 conveyed by the conveyance means 2 is test | inspected continuously.

나아가, 제어수단(18)은, 검사수단(3)에서 연속해 검사된 여러장의 액정패널(14)에 걸쳐, 동일 또는 근사한 위치에 동일한 결함이 검출된 경우, 그 결함을 액정패널(14)에 기인한 결함이 아닌 것으로 판단해 제외하고, 결함으로 간주하지 않는 처리기능(도1에 나타나 있는 처리기능)을 갖는다. Furthermore, when the same defect is detected in the same or an approximate position over the several liquid crystal panels 14 continuously inspected by the inspection means 3, the control means 18 transmits the defect to the liquid crystal panel 14. It has a processing function (the processing function shown in FIG. 1) not regarded as a defect except judging that it is not a defect caused.

이어서, 위 구성의 점등 검사장치(1)를 사용한 결함 검사방법에 관해 설명한다. 여기서는, 도1의 플로 차트(flow chart)를 토대로 제어수단(18)의 동작을 중심으로 설명한다. Next, the defect inspection method using the lighting inspection apparatus 1 of the said structure is demonstrated. Here, the explanation will be given focusing on the operation of the control means 18 based on the flow chart of FIG.

우선, 액정패널(14)을 반입한다(스텝 S1). 액정패널(14)은, 상류쪽 컨베이어에서 롤러 컨베이어(7)까지 반송되고, 반송용 로봇에 의해 롤러 컨베이어(7)에서 검사수단(3) 내로 반입된다. 반입된 액정패널(14)은, 검사 스테이지 위에 놓인다. First, the liquid crystal panel 14 is carried in (step S1). The liquid crystal panel 14 is conveyed from the upstream conveyor to the roller conveyor 7 and carried into the inspection means 3 from the roller conveyor 7 by the conveying robot. The loaded liquid crystal panel 14 is placed on the inspection stage.

이어서, 검사를 개시한다(스텝 S2). 검사 스테이지 위에 놓인 액정패널(14)은, 위치가 맞추어지면서 그 전극과 프로브 유닛의 프로브가 정합되어 서로 접촉된다. 또한, LCD패널용 전원(22)에 의해 액정패널(14)이 점등되고, LCD패널 구동신호 발생기(23)에 의해 프로브에서 각 전극으로 구동신호가 인가되어, 액정패널(14)의 점등검사가 행해진다.Next, inspection is started (step S2). As the position of the liquid crystal panel 14 placed on the inspection stage is aligned, the electrodes of the probe unit and the probe of the probe unit are matched with each other. In addition, the liquid crystal panel 14 is turned on by the LCD panel power supply 22, and a drive signal is applied from the probe to each electrode by the LCD panel drive signal generator 23, so that the lighting test of the liquid crystal panel 14 is performed. Is done.

이어서, 촬상처리를 한다(스텝 S3). 촬상장치(11)로, 점등된 액정패널(14)의 표면의 화상을 수신한다. 수신된 화상정보는, 제어수단(18)의 기억수단에 일단 기억된다.Next, an imaging process is performed (step S3). The image pickup device 11 receives an image of the surface of the lit liquid crystal panel 14. The received image information is once stored in the storage means of the control means 18.

이어서, 화상처리를 한다(스텝 S4). 화상 처리장치(12)에서 상기 기억수단에 기억한 화상정보가 처리되어 결함의 유무가 검사된다.Next, image processing is performed (step S4). The image information stored in the storage means in the image processing apparatus 12 is processed to check for the presence of a defect.

이어서, 검사결과를 취득해(스텝 S5), 다른 검사결과와 비교한다. 이 때문에, 최근 M매(枚)의 액정패널(14)의 검사결과를 상기 기억수단에서 읽어내어, 이들을 비교한다(스텝 S6). 여기서는, 비교대상 매수를 M매로 했지만, 구체적인 매수는 여러 조건에 따라 설정된다. 예를 들어, 처리 총수나 요구되는 정밀도 등의 조건에 따라 설정된다. 본 실시형태에서는 10매로 하고 있다. 최근 10매의 액정패널(14)의 검사결과를 읽어내 비교한다. 즉, 연속해 검사된 10매의 액정패널(14)을 비교한다. Next, an inspection result is acquired (step S5), and it compares with another inspection result. For this reason, the inspection result of the recent M liquid crystal panel 14 is read by the said storage means, and these are compared (step S6). Here, the number of sheets to be compared is set to M sheets, but the specific number of sheets is set according to various conditions. For example, it is set according to conditions, such as the total number of processes and the required precision. In this embodiment, 10 sheets are used. The inspection results of the last 10 liquid crystal panels 14 are read and compared. That is, the 10 liquid crystal panels 14 continuously inspected are compared.

이에 따라, ±A의 범위에서 어드레스가 일치한 것이 있는지 없는지를 판단한다(스텝 S7). 즉, 동일 또는 그 근방의 위치에 동일한 결함이 있는지 없는지를 판단한다. 여기서, ±A의 범위는 여러 조건에 따라 설정된다. 구체적으로는, 프로브와 전극의 접촉불량에 의한 선 결함이나, 백라이트 쪽에 부착된 먼지 등의, 액정패널(14)에 기인한 결함이 아닌 결함(외부에 기인하는 결함)을 식별하기 위해 설정하는 값이다. 프로브와 전극의 접촉불량에 의한 선 결함 등은, 액정패널(14)이 바뀌어도 같은 위치에 발생하지만, 검사 스테이지의 위치맞춤 정밀도나 카메라의 정밀도 등의 여러 조건에 따라, 수신된 화상 상에서는, 같은 위치의 결함이 복수의 화상 상에서 약간 어긋나는 경우가 있다. 이 어긋난 범위로 ±A의 범위를 설정한다. 검사 스테이지의 위치맞춤 정밀도 등이 높은 경우는 ±A의 범위가 좁고, 낮은 경우는 넓어진다. 즉, 어긋난 범위는 상기 각 정밀도에 맞춰 적절히 설정된다. As a result, it is determined whether or not the addresses match in the range of ± A (step S7). In other words, it is determined whether or not there are identical defects at the same or near position. Here, the range of ± A is set according to various conditions. Specifically, a value set to identify defects (defects caused by the outside) that are not defects caused by the liquid crystal panel 14, such as line defects due to poor contact between the probe and the electrode, and dust adhered to the backlight. to be. Line defects due to poor contact between the probe and the electrode occur at the same position even when the liquid crystal panel 14 is changed. However, the same position is determined on the received image according to various conditions such as the alignment accuracy of the inspection stage and the accuracy of the camera. May be slightly shifted on a plurality of images. Set this range to ± A. If the inspection stage has high alignment accuracy or the like, the range of ± A is narrow, and if it is low, the range is wide. In other words, the shifted range is appropriately set in accordance with the above-described precisions.

스텝 S7에 있어서 ±A의 범위에서 어드레스가 일치하는 것이 없는 경우는, 그 화상 상의 결함을 통상의 결함으로서 취급한다(스텝 S8). 통상의 결함으로서, 그 위치 정밀도가 상기 기억수단에 기억된다.If the address does not coincide in the range of ± A in step S7, the defect on the image is treated as a normal defect (step S8). As a normal defect, the positional accuracy is stored in the storage means.

스텝 S7에 있어서 ±A의 범위에서 어드레스가 일치하는 것이 있는 경우는, 그것이 최근 M매(10매)의 액정패널(14) 검사에서 N회 이상 검출됐는지 아닌지를 판단한다(스텝 S9). 여기서는, N회를 3회로 설정하고 있다. 2회일 경우는 우연의 일치라고 할 수도 있지만, 3회일 경우는 우연일 가능성이 낮으므로, 3회로 설정하고 있다. 선 결함이나 먼지 등에 의한 결함은, 진동이나 바람 등의 외부요인이 없는 한 거의 변화하지 않는다. 이 때문에, 프로브의 침압(probe pressure)의 변화 등의 검출조건이 변동하지 않는 한, 한번 결함이 검출되면, 그 결함은, 같은 어드레스에서 반복해 검출된다. 이 특징을 이용하여, 패널에 기인한 결함과 그 이외의 결함을 구별하기 위해, ±A의 범위에서 어드레스가 일치하는 결함이 3회 이상 검출됐는지 아닌지를 판단한다. 또한, 상기 검출조건 등의 변동 폭이 큰 경우는, 2회 또는 4회 이상으로 설정하는 경우도 있을 수 있다.In the case where an address coincides in a range of ± A in step S7, it is determined whether or not it has been detected at least N times by the inspection of the liquid crystal panel 14 of M sheets (10 sheets) recently (step S9). Here, N times is set to three times. If it is two times, it may be said to be coincidence, but if it is three times, since it is unlikely to be coincidence, it is set to three times. Defects caused by line defects or dust hardly change unless there are external factors such as vibration and wind. For this reason, once a defect is detected, unless a detection condition such as a change in probe pressure changes, the defect is repeatedly detected at the same address. By using this feature, in order to distinguish between defects caused by the panel and other defects, it is determined whether or not a defect whose address matches in the range of ± A has been detected three or more times. In addition, when the fluctuation range of the said detection conditions etc. is large, it may be set to twice or four times or more.

구체적으로는, 도4 및 도5에 나타낸 것과 같은 상태로 판단한다. 도4는 선 결함의 검출예이다. 여기서는, 1회째에 1개의 선 결함이 검출되고, 2회째에 2개의 선 결함이 검출되고, 10회째에 1개의 선 결함이 검출되고 있다. 그리고, 1회째와 10회째의 선 결함의 어드레스와, 2회째의 2개의 선 결함 중 1개의 어드레스가 일치하기 때문에, 도4의 예에서는, 액정패널(14)에 기인한 결함이 아닌 결함을, 착오로 검출한 것으로서, 결함으로 보지 않고 제외한다. 또한, 도5는 먼지에 의한 결함의 검출예이다. 여기서는, 1회째에 1개의 점 결함이 검출되고, 2회째에 1개의 점 결함이 검출되고, 3회째에 2개의 점 결함이 검출되고, 4회째에 1개의 점 결함이 검출되고 있다. 그리고, 1회째의 점 결함은 화면상 오른쪽 위에 1개, 2회째의 점 결함은 화면상 왼쪽 위에 1개, 3회째의 점 결함은 화면상 왼쪽 위와 중앙 쪽에 2개, 4회째의 점 결함은 화면상 왼쪽 위에 1개 검출되고 있다. 그리고, 2회째와 4회째의 점 결함의 어드레스와, 3회째의 2개의 점 결함 중 1개의 어드레스가 일치하기 때문에, 도5의 예에서는, 액정패널(14)에 기인한 결함이 아닌 결함을, 착오로 검출한 것으 로서, 결함으로 보지 않고 제외한다.Specifically, determination is made as shown in FIG. 4 and FIG. 5. 4 is an example of detection of line defects. Here, one line defect is detected at the first time, two line defects are detected at the second time, and one line defect is detected at the tenth time. And since the address of the 1st and 10th line defects and the address of one of the 2nd line defects of 2nd match, in the example of FIG. 4, the defect which is not a defect which originates in the liquid crystal panel 14, We detected by mistake and exclude without seeing as defect. 5 is a detection example of the defect by dust. Here, one point defect is detected at the first time, one point defect is detected at the second time, two point defects are detected at the third time, and one point defect is detected at the fourth time. Then, the first point defect is one on the upper right of the screen, the second point defect is one on the upper left of the screen, and the third point defect is two on the upper left and center of the screen, and the fourth point defect is on the screen. One upper left is detected. Since the address of the second and fourth point defects and the address of one of the third two point defects coincide with each other, in the example of FIG. 5, a defect that is not caused by the liquid crystal panel 14 is identified. It was detected by mistake and excluded without considering it as a defect.

스텝 S9에서 N회(3회) 미만의 검출인 경우는, 그 화상 상의 결함을 통상의 결함으로서 취급한다(스텝 S8).In the case of detection less than N times (three times) in step S9, the defect on the image is treated as a normal defect (step S8).

스텝 S9에서 N회(3회) 이상 검출된 경우는, 그 화상 상의 결함은, 접촉불량에 의한 선 결함이나 백라이트 쪽에 부착된 먼지 등의, 액정패널(14)에 기인한 결함이 아닌 결함을 착오로 검출한 것으로서, 결함으로 보지 않고 제외하고, 그 위치정보를 기억부(14)에 기록한다(스텝 S10). 또한, 필요에 따라 경고 표시, 경보 등을 결함 화상용 모니터(27) 또는 조작용 모니터(28)에 표시해 주의를 환기한다. 오퍼레이터는, 상기 경고 표시 등을 바탕으로, 필요에 따라 원인을 확인하고, 메인터넌스(maintenance)를 한다. In the case where N times (three times) or more are detected in Step S9, the defect on the image is mistaken for a defect that is not caused by the liquid crystal panel 14 such as a line defect due to poor contact or dust adhered to the backlight. The position information is recorded in the storage unit 14, except that it is detected as a defect and not viewed as a defect (step S10). In addition, a warning indication, an alarm, etc. are displayed on the defect image monitor 27 or the operation monitor 28 as needed, and call attention. The operator checks the cause and maintains it as needed based on the above warning indication.

이어서, 검사를 종료하고(스텝 S11), 액정패널(14)을 외부로 배출해 새로운 액정패널(14)과 교환하고(스텝 S12), 스텝 S1으로 되돌아가 상기 처리를 반복해, 연속적으로 검사한다.Subsequently, the inspection is finished (step S11), the liquid crystal panel 14 is discharged to the outside and replaced with a new liquid crystal panel 14 (step S12), the process returns to step S1, and the above process is repeated to continuously inspect.

위와 같이, 동일한 액정패널(14)을 반복해 검사하지 않고, 다른 액정패널(14)의 검사결과와 비교한 것을 바탕으로, 검출 결함이 그 액정패널(14)에 기인한 결함인지 아닌지를 판단하여, 그 액정패널(14)에 기인한 결함이 아닌 것으로 판단한 결함을 제외하고 검사하기 때문에, 과도한 검사를 방지할 수 있어, 액정패널(14)에 기인한 결함을 안정적으로 얻을 수 있다. 그 결과, 검사효율을 향상시킬 수 있다. As described above, instead of repeatedly inspecting the same liquid crystal panel 14, it is determined whether or not a detection defect is a defect due to the liquid crystal panel 14 based on comparison with the inspection result of another liquid crystal panel 14. Since inspection is performed except the defect judged not to be the defect resulting from the liquid crystal panel 14, excessive inspection can be prevented and the defect resulting from the liquid crystal panel 14 can be obtained stably. As a result, the inspection efficiency can be improved.

[변형예][Modification]

상기 실시형태에서는, 결함 검사장치로서 액정패널(14)의 점등 검사장치를 예로 들어 설명했으나, 본 발명은 점등 검사장치에 한정되는 것은 아니고, 본 출원인이 앞서 제안한 인라인 자동 검사장치(일본 특허출원 제2007-41247호) 같은 다른 검사장치에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다. 또한, 액정패널 이외의 검사대상물에 적용할 수 있다.In the above embodiment, the lighting inspection apparatus of the liquid crystal panel 14 is described as an example of the defect inspection apparatus. However, the present invention is not limited to the lighting inspection apparatus, but the inline automatic inspection apparatus proposed by the present applicant (Japanese Patent Application No. The present invention can also be applied to other inspection devices such as 2007-41247. Moreover, it can apply to test objects other than a liquid crystal panel.

상기 실시형태에서는, 전극에 프로브가 접촉하는 방식의 검사장치를 예로 들어 설명했으나, 비접촉으로 검사를 하는 검사장치의 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다. In the above embodiment, the inspection apparatus in which the probe is in contact with the electrode has been described as an example, but the present invention can also be applied to an inspection apparatus that performs inspection by non-contact.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치의 제어부에서의 처리기능을 나타낸 플로 차트이다. 1 is a flowchart showing processing functions in a control unit of a lighting inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도2는 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치를 나타낸 사시도이다.2 is a perspective view showing an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도3은 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 검사수단을 나타낸 구성도이다. 3 is a block diagram showing inspection means of the inspection apparatus according to the embodiment of the present invention.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치에서 선 결함을 검출한 예를 나타낸 모식도이다. 4 is a schematic diagram showing an example of detecting a line defect in the lighting inspection apparatus according to the embodiment of the present invention.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 점등 검사장치에서 먼지 부착에 의한 결함을 검출한 예를 나타낸 모식도이다. 5 is a schematic diagram showing an example of detecting a defect due to dust adhesion in the lighting test apparatus according to the embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부호에 대한 설명** Description of Major Symbols in Drawings *

1: 점등 검사장치 2: 반송(搬送)수단1: lighting inspection device 2: conveying means

3: 검사수단 6: 반송장치3: inspection means 6: conveying device

7: 롤러 컨베이어 11: 촬상(撮像)장치7: Roller Conveyor 11: Imaging Device

12: 화상 처리장치 13: 화상 표시장치12: image processing apparatus 13: image display apparatus

14: 액정패널 15: 렌즈계14 liquid crystal panel 15 lens system

16: 촬상소자 17: 패널 컨트롤부16: Image pickup device 17: Panel control part

18: 제어수단 19: 암실18: control means 19: darkroom

22: LCD패널용 전원 23: LCD패널 구동신호 발생기22: LCD panel power source 23: LCD panel drive signal generator

24: 키보드 25: 마우스24: Keyboard 25: Mouse

27: 결함 화상용 모니터 28: 조작용 모니터27: monitor for defective images 28: monitor for operation

Claims (2)

검사대상물의 결함의 유무를 검사함과 동시에 복수의 검사대상물을 연속해 검사하는 결함 검사방법으로서, As a defect inspection method which inspects the presence or absence of a defect of an inspection object and simultaneously inspects a plurality of inspection objects. 연속해 검사된 복수의 검사대상물에 걸쳐, 동일 또는 그 근방의 위치에 동일한 결함이 복수 검출된 경우에, 그 결함을 검사대상물에 기인하는 결함이 아닌 것으로 판단해 제외하는 것을 특징으로 하는 결함 검사방법.In the case where a plurality of identical defects are detected at the same or near position over a plurality of continuously inspected objects, the defect inspection method is determined to exclude that the defect is not caused by the inspection object. . 검사대상물의 결함의 유무를 검사함과 동시에 복수의 검사대상물을 연속해 검사하는 결함 검사장치로서, A defect inspection apparatus that inspects a plurality of inspection objects continuously while inspecting whether there is a defect in an inspection object, 상기 검사대상물을 연속적으로 반송(搬送)하는 반송수단; Conveying means for continuously conveying the inspection object; 상기 반송수단에 의해 반송된 상기 검사대상물을 연속적으로 검사하는 검사부;An inspection unit for continuously inspecting the inspection object conveyed by the conveying means; 상기 검사부에서 연속적으로 검사된 검사대상물의 화상을 처리하여 결함을 검출하는 화상처리부; 및An image processing unit which processes an image of the inspection object continuously inspected by the inspection unit to detect a defect; And 상기 화상처리부에서 연속해 검사된 복수의 검사대상물에 걸쳐, 동일 또는 그 근방의 위치에 동일한 결함이 복수 검출된 경우에, 그 결함을 검사대상물에 기인하는 결함이 아닌 것으로 판단해 제외하는 제어부;A control unit for judging that the defect is not caused by the inspection object and excluding the defect when a plurality of identical defects are detected at the same or in the vicinity of the plurality of inspection objects continuously inspected by the image processing unit; 를 갖춘 것을 특징으로 하는 결함 검사장치.Defect inspection device characterized in that provided with.
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