KR20090128765A - 기판 이송 장치 및 그의 사이드 롤러 구동 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 복수 개의 사이드 롤러를 구비하는 기판 이송 장치 및 그의 사이드 롤러 구동 방법에 관한 것이다. 기판 이송 장치는 기판의 크기에 대응하여 기판의 양측면을 가이드하여 기판이 이동 경로를 벗어나는 것을 방지하는 복수 개의 사이드 롤러들을 구비한다. 사이드 롤러들은 기판 크기에 따라 한쌍으로 구비된다. 사이드 롤러들은 기판 크기에 대응하여 서로 다른 높이로 배치된다. 따라서 기판 이송 장치는 기판의 크기에 대응하여 한쌍의 해당 사이드 롤러들이 기판의 양측면과 접촉되도록 상부 또는 하부로 이동한다. 본 발명에 의하면, 기판의 크기에 대응하여 사이드 롤러를 상하로 이동시킴으로써, 구동 공간 및 레이아웃(layout)에 따른 공간적인 제한을 해결할 수 있다.
기판 이송 장치, 사이드 롤러, 기판 크기, 상하 구동

Description

기판 이송 장치 및 그의 사이드 롤러 구동 방법{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND METHOD FOR DRIVING SIDE ROLLER THEREOF}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 사이드 롤러의 정렬 방식 변경을 통하여 레이아웃을 최적화하기 위한 기판 이송 장치 및 그의 구동 방법에 관한 것이다.
평판 디스플레이 제조용 기판을 처리하는 기판 처리 장치는 일련의 공정을 수행하는 처리 유닛들 및 처리 유닛들을 따라 기판을 이송시키는 컨베이어(conveyor) 등의 기판 이송 장치를 구비한다. 이러한 기판 이송 장치는 기판의 측면과 접촉하여 기판의 이송 경로에서의 이탈을 방지하는 복수 개의 사이드 롤러들을 구비한다.
도 1을 참조하면, 일반적인 기판 이송 장치(10)는 기판(S)의 측면을 지지하는 챔버 프레임(12)에 복수 개의 샤프트(6)들이 균일한 간격으로 배치된다. 샤프트(6)들은 기판(S)의 이동 방향과 수직하는 방향으로 평행하게 배치된다. 샤프트(6)들은 공정시 기판(S)이 각각의 처리 유닛들 간에 순차적으로 이동하도록 제공된다.
챔버 프레임(12)은 기판(S)의 양측면을 지지하여 기판(S)이 이동 경로를 벗어나는 것을 방지하는 복수 개의 사이드 롤러(2)들이 설치된다. 즉, 챔버 프레임(12)은 양측에서 기판(S)에 대응하여 배치되는 사이드 롤러(side roller)(2)를 지지하는 롤러 지지축(4)이 설치된다. 사이드 롤러(2)는 공정시 기판(S)의 측면을 따라 일렬로 배치된다. 사이드 롤러(2)는 공정시 기판(S)의 측면과 접촉되면 회전되도록 설치된다.
이러한 기판 이송 장치(10)는 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 크기에 대응하여 양측 사이드 롤러(2)의 위치를 각각 좌우로 이동시키는 구동부(18)를 구비한다. 구동부(18)는 롤러 지지축(4)과 연결되는 지지부(14, 16)를 좌우로 이동시킨다. 지지부(14, 16)는 예컨대, 롤러 지지축(4)과 수직으로 연결되는 샤프트(14), 샤프트(14)와 수직으로 연결되는 스크류 지지부재(16) 등을 포함한다. 예를 들어, 구동부(18)는 기판(S)의 크기가 작은 경우, 사이드 롤러(2)를 기판(S) 중심 방향으로 이동시켜서 기판(S) 측면과 접촉하도록 구동하고, 기판(S)의 크기가 큰 경우에는 사이드 롤러(2)를 기판(S) 가장자리 방향으로 이동시켜서 기판(S) 측면과 접촉하도록 구동한다.
상술한 바와 같이, 기판 이송 장치(10)는 기판(S)의 크기에 대응하여 사이드 롤러(2)를 좌우로 이동시킴으로써, 챔버 프레임(12)의 측부 및 하단부에서 구동 공간이 증가되어 기판 이송 장치(10)의 전체 레이아웃(layout)이 증가되며, 이로 인하여 설치, 유지 보수 등의 공간적인 제한을 받게 된다.
본 발명의 목적은 레이아웃을 최적화하기 위한 기판 이송 장치 및 그의 사이드 롤러 구동 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 기판의 크기에 대응하여 복수 개의 사이드 롤러를 구비하는 기판 이송 장치 및 그의 사이드 롤러 구동 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 기판 이송 장치는 기판의 크기에 대응하여 기판의 양측면을 가이드하는 어느 한쌍의 사이드 롤러들을 상하로 구동하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 기판 이송 장치는 레이아웃의 최적화를 가능하게 한다.
본 발명의 기판 이송 장치는, 기판의 양측에 배치되어 상기 기판의 측면을 가이드하는 복수 개의 사이드 롤러들과; 상기 기판의 크기에 대응하여 상기 사이드 롤러들을 한 쌍씩 서로 다른 높이로 지지하는 복수 개의 롤러 지지축과; 상기 롤러 지지축들을 연결하는 연결부재 및; 상기 기판의 크기에 대응하여 상기 사이드 롤러 중 어느 한 쌍이 상기 기판의 측면과 접촉하도록 상기 연결부재를 상하로 이동시키는 구동부를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 사이드 롤러는 상기 기판의 중심 부분으로부터 가장자리 부분으로 갈수록 더 높은 위치에 배치된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 롤러 지지축들은 상기 기판의 중심 부분으로부 터 가장자리 부분으로 갈수록 더 높은 길이로 상기 사이드 롤러들을 지지한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 구동부는 상기 기판이 이송되는 위치에 상기 사이드 롤러들이 위치되도록 상기 연결부재를 상하로 이동시킨다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 복수 개의 사이드 롤러들을 구비하는 기판 이송 장치에서, 상기 사이드 롤러를 구동하는 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 기판의 크기에 대응하여 상기 기판의 측면을 가이드하도록 한쌍의 상기 사이드 롤러들을 상부 또는 하부로 이동시킨다.
한 실시예에 있어서, 상기 이동시키는 것은; 상기 기판이 이송되는 위치에 한쌍의 상기 사이드 롤러들이 위치되도록 이동시킨다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 이송 장치는 기판의 크기에 대응하여 사이드 롤러를 상하로 이동시킴으로써, 구동 공간 및 레이아웃(layout)에 따른 공간적인 제한을 해결할 수 있다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 기판(S)의 크기에 대응하여 복수 개의 사이드 롤러(side roller)(110 : 112 ~ 116)들이 서로 다른 높이로 배치된다. 기판 이송 장치(100)는 기판(S)의 양측면을 지지하여 기판(S)이 이동 경로를 벗어나는 것을 방지하는 복수 개의 사이드 롤러(110 : 112 ~ 116)들이 챔버 프레임(102) 내부의 양측에 서로 다른 높이로 설치된다. 사이드 롤러(110)는 공정시 기판(S)의 측면을 따라 일렬로 배치되어, 기판 이송 시, 기판(S)의 측면과 접촉되면 회전되도록 설치된다.
또 기판 이송 장치(100)는 기판(S)의 측면을 지지하는 챔버 프레임(102)에 복수 개의 샤프트(106)들이 균일한 간격으로 기판(S)의 이동 방향과 수직하는 방향으로 평행하게 배치된다. 또 사프트(106)들에는 각각 복수 개의 롤러(108)들이 기판(S)의 이동 방향과 동일한 방향으로 일정한 간격으로 배치된다.
사이드 롤러(110)들은 챔버 프레임(102)의 양측에서 기판(S)의 크기에 대응하여 서로 다른 높이로 배치하기 위해, 기판(S)의 크기에 대응하여 서로 다른 높이의 롤러 지지축(4)들에 설치된다. 사이드 롤러(110)들은 기판(S)의 중심으로부터 가장자리 방향으로 갈수록 더 높은 위치에 설치된다. 즉, 사이드 롤러(110)들은 기판(S)의 크기에 따라 양측에 한 쌍씩 서로 다른 높이로 지지하는 복수 개의 롤러 지지축(120)들과 연결된다. 롤러 지지축(120)들은 하단부가 연결부재(130)에 의해 체결된다. 그리고 연결부재(130)는 구동부(104)에 의해 상하로 이동된다.
예컨대, 기판 이송 장치(100)는 제 1 내지 제 3 사이드 롤러(112 ~ 116) 들과, 이들을 각각 지지하는 제 1 내지 제 3 롤러 지지축(122 ~ 126)들을 포함한다. 제 1 사이드 롤러(112)들은 제 1 롤러 지지축(122)들에 의해 챔버 프레임(102)에 인접하게 배치되고, 제 2 및 제 3 사이드 롤러(114, 116)들은 각각 제 2 및 제 3 롤러 지지축(124, 126)들에 의해 지지되어, 챔버 프레임(102)의 가장자리로부터 내부 중앙 부분으로 배치된다. 그러므로 제 1 사이드 롤러(112)들은 제 3 사이드 롤러(116)들보다 큰 기판을 가이드한다.
따라서 본 발명의 기판 이송 장치(100)는 기판(S)의 크기에 대응하여 양측 사이드 롤러(110)의 위치를 각각 상하로 이동시켜서 기판(S)의 크기와 일치되는 위치의 해당 사이드 롤러(112, 114 또는 116)들이 기판(S)의 측면에 접촉되도록 구동한다. 즉, 구동부(104)는 기판(S)이 이동되는 위치에 해당 사이드 롤러(112, 114 또는 116)가 위치하도록 연결부재(130)를 상하로 구동한다. 예를 들어, 구동부(18)는 기판(S)의 크기가 작은 경우, 제 1의 사이드 롤러(2)들이 기판(S)의 측면과 접촉하도록 연결부재(130)를 상부로 이동하고, 기판(S)의 크기가 큰 경우에는 제 3 사이드 롤러(2)들이 기판(S) 측면과 접촉하도록 하부로 이동한다. 이 때, 구동부(104)는 기판(S)이 이송되는 위치에 해당 사이드 롤러들이 위치되도록 연결부재(130)를 상하로 이동시킨다.
그리고 도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 사이드 롤러 구동 수순을 도시한 흐름도이다.
도 4를 참조하면, 단계 S150에서 기판 이송 장치(100)로 기판(S)이 로딩되면, 단계 S152에서 기판(S)의 크기를 판별하고, 단계 S154에서 판별된 기판(S)의 크기에 따라 양측면이 접촉하도록 해당 사이드 롤러(112, 114 또는 116)들을 상부 또는 하부로 이동시킨다. 이 때, 사이드 롤러(112, 114 또는 116)들은 기판(S)이 이송되는 위치에 이동된다. 이어서 단계 S156에서 사이드 롤러(112, 114 또는 116)들에 의해 가이드하여 기판(S)을 이송한다.
이상에서, 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 종래기술에 따른 기판 이송 장치의 일부 구성을 나타내는 사시도;
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치의 구성을 나타내는 도면;
도 3은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 구성을 나타내는 도면; 그리고
도 4는 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 사이드 롤러 구동 수순을 도시한 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 기판 이송 장치 102 : 챔버 프레임
104 : 구동부 106 : 샤프트
108 : 롤러 110, 112 ~ 116 : 사이드 롤러
120, 122 ~ 126 : 롤러 지지축 130 : 연결부재

Claims (6)

  1. 기판 이송 장치에 있어서:
    기판의 양측에 배치되어 상기 기판의 측면을 가이드하는 복수 개의 사이드 롤러들과;
    상기 기판의 크기에 대응하여 상기 사이드 롤러들을 한 쌍씩 서로 다른 높이로 지지하는 복수 개의 롤러 지지축과;
    상기 롤러 지지축들을 연결하는 연결부재 및;
    상기 기판의 크기에 대응하여 상기 사이드 롤러 중 어느 한 쌍이 상기 기판의 측면과 접촉하도록 상기 연결부재를 상하로 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 사이드 롤러는 상기 기판의 중심 부분으로부터 가장자리 부분으로 갈수록 더 높은 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 롤러 지지축들은 상기 기판의 중심 부분으로부터 가장자리 부분으로 갈수록 더 높은 길이로 상기 사이드 롤러들을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 기판이 이송되는 위치에 상기 사이드 롤러들이 위치되도록 상기 연결부재를 상하로 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 복수 개의 사이드 롤러들을 구비하는 기판 이송 장치에서, 상기 사이드 롤러를 구동하는 방법에 있어서:
    기판의 크기에 대응하여 상기 기판의 측면을 가이드하도록 한쌍의 상기 사이드 롤러들을 상부 또는 하부로 이동시키는 것을 특징으로 하는 구동 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이동시키는 것은;
    상기 기판이 이송되는 위치에 한쌍의 상기 사이드 롤러들이 위치되도록 이동시키는 것을 특징으로 하는 구동 방법.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102969259A (zh) * 2011-08-31 2013-03-13 细美事有限公司 处理基板的装置和方法
KR101308136B1 (ko) * 2011-08-31 2013-09-12 세메스 주식회사 기판 처리 장치
CN103723491A (zh) * 2013-11-25 2014-04-16 安徽赛耐尔机械制造有限公司 多晶硅包装箱运输皮带机
CN108155137A (zh) * 2016-12-02 2018-06-12 株式会社日立国际电气 基板处理装置及半导体器件的制造方法
KR102162092B1 (ko) * 2020-06-25 2020-10-06 주식회사 지에스아이 메쉬망 정렬장치 및 이를 구비한 메쉬망 이송로봇
CN115478256A (zh) * 2021-06-15 2022-12-16 佳能特机株式会社 输送装置以及成膜装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100616291B1 (ko) * 2004-06-01 2006-08-28 주식회사 디엠에스 기판 이송 안내 장치
JP4641859B2 (ja) 2005-04-26 2011-03-02 セントラル硝子株式会社 ガラス板収納用箱状容器の位置調整装置
JP2007142304A (ja) 2005-11-22 2007-06-07 Casio Comput Co Ltd 板状体搬送装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102969259A (zh) * 2011-08-31 2013-03-13 细美事有限公司 处理基板的装置和方法
KR101308136B1 (ko) * 2011-08-31 2013-09-12 세메스 주식회사 기판 처리 장치
TWI479589B (zh) * 2011-08-31 2015-04-01 Semes Co Ltd 用於處理基板之設備及方法
CN102969259B (zh) * 2011-08-31 2016-05-18 细美事有限公司 处理基板的装置
CN103723491A (zh) * 2013-11-25 2014-04-16 安徽赛耐尔机械制造有限公司 多晶硅包装箱运输皮带机
CN108155137A (zh) * 2016-12-02 2018-06-12 株式会社日立国际电气 基板处理装置及半导体器件的制造方法
KR102162092B1 (ko) * 2020-06-25 2020-10-06 주식회사 지에스아이 메쉬망 정렬장치 및 이를 구비한 메쉬망 이송로봇
CN115478256A (zh) * 2021-06-15 2022-12-16 佳能特机株式会社 输送装置以及成膜装置
CN115478256B (zh) * 2021-06-15 2023-12-15 佳能特机株式会社 输送装置以及成膜装置

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