KR20090111266A - 취성 기판의 브레이크 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 제1 챔버, 상기 제1 챔버에 결합되며 압축공기를 이용하여 열전달 및 팽창 특성의 물성을 갖는 액체를 제1 챔버 내로 분사하는 노즐부, 상기 노즐부에 의해 제1 챔버 내로 분사된 액적을 가열하여 습윤포화증기 또는 건조포화증기로 상 변화시키는 제1 히터를 포함하는 증기발생수단;상기 제1 챔버와 연결관에 의해 소통 가능한 상태로 연결되는 제2 챔버, 상기 제2 챔버 내로 유입된 습윤포화증기 또는 건조포화증기를 가열하는 제2 히터를 포함하는 증기가열수단 및;상기 증기가열수단으로부터 배기된 가열증기를 취성 기판에 분사하여 스크라이브 라인의 크랙을 확산시켜 브레이크하는 가열증기 분사수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
- 제1항에 있어서,상기 노즐부에는 제1 챔버 내로 분사되는 액적의 크기나 속도를 조절하기 위한 조절밸브가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
- 제1항에 있어서,상기 연결관은 제1 챔버 내에 위치하는 일 측 외주면에 증기 유입구인 슬릿을 형성하고,타 측에는 제2 챔버로 증기를 배기하는 배출구를 형성한 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
- 제1항에 있어서,상기 제1 히터는 노즐부와 마주보게 제1 챔버에 설치되는 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
- 제4항에 있어서,상기 제1 챔버는 노즐부와 마주보는 면이 적어도 부분적으로 개방되며,상기 개방된 부분은 제2 히터에 의해 가열된 제2 챔버의 일 측면에 의해 밀폐된 상태로 되고,상기 제2 챔버의 일 측면이 제1 히터가 되는 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
- 제5항에 있어서,상기 제2 챔버는 그 내부온도가 하락하는 것을 방지하는 온도유지수단을 구비하되,상기 온도유지수단은 상기 제1 챔버의 개방된 부분을 밀폐하는 부분을 제외한 모든 내벽에 부착되는 다공체의 세라믹인 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
- 제6항에 있어서,상기 제2 챔버는 스크라이브 헤드에 결합되며,상기 제2 챔버와 스크라이브 헤드 사이에는 단열성을 가지는 단열블록이 개재되는 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
- 제1항에 있어서,상기 증기가열수단에 의해 가열된 가열증기는 건조포화증기 또는 과열증기인 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
- 제1항에 있어서,상기 가열증기 분사수단은 가열증기를 배기하는 배기홀이 형성된 제2 챔버의 일 측면 바깥쪽에 가열증기 분사용 블록을 설치하여서 이루어지되,상기 제2 챔버의 일 측면과 마주보는 가열증기 분사용 블록의 면에는 일 측 단부가 상기 배기홀과 연결되며 타 측 단부는 취성 기판을 향하여 개방된 슬릿을 형성한 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
- 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,취성 기판이 재치되는 테이블의 양측에 평행하게 배치된 가이드 레일을 따라 슬라이드 이동 가능하게 가이드 바를 설치하되,상기 증기발생수단 또는 증기가열수단, 가열증기 분사수단 중 적어도 하나는 상기 가이드 바를 따라 이동 가능하게 설치하는 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
- 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,취성 기판이 재치되는 테이블의 양측에 평행하게 배치된 가이드 레일을 따라 슬라이드 이동 가능하게 노즐 유닛을 설치하되,상기 가열증기 분사수단을 노즐 유닛과 소통 가능하게 연결하는 것을 특징으로 하는 취성 기판의 브레이크 장치.
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