KR20090105059A - 스크린 마스크 세정 장치 - Google Patents

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KR20090105059A
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Abstract

본 발명은 스크린 마스크 세정 장치에 있어서, 내부에서 스크린 마스크의 세정이 이루어지는 공간부가 형성된 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 스크린 마스크를 세정하는 세정부를 구비하며, 상기 세정부는 상기 스크린 마스크에 세정 약품을 분사하는 약품분사 노즐부, 스크린 마스크에 린스액을 분사하는 린스 노즐부, 및 상기 스크린 마스크를 건조시키는 건조 노즐부로 이루어진 스크린 마스크 세정 장치를 제공한다.

Description

스크린 마스크 세정 장치{Screen mask cleansing apparatus}
본 발명은 마스크 세정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 한 챔버 내에서 세정, 린스, 및 건조가 가능한 마스크 세정 장치에 관한 것이다.
전계 발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서, 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.
전계 발광 디스플레이 장치는 발광층(EML : Emission layer) 형성 물질에 따라 무기 전계발광 디스플레이 장치와 유기 전계발광 디스플레이 장치로 구분되며, 이 중 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 무기 전계 발광 디스플레이 장치에 비하여 휘도, 구동전압 및 응답속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 장점을 가지고 있다.
일반적인 유기 전계 발광 디스플레이 장치는 기판과, 상기 기판 상에 형성되며 복수 개의 화소를 이루는 복수 개의 유기 전계 발광 소자들과, 상기 유기 전계 발광 소자들의 상부에 배치되는 밀봉기판을 구비한다.
상기 기판과 상기 밀봉기판은 밀봉부재에 의해 합착된다. 밀봉부재는 실런 트 등이 사용될 수 있다. 상기 밀봉부재가 밀봉기판 상의 특정 위치에 도포되는데, 이를 위해 스크린 마스크가 이용된다. 즉, 스크린 마스크 상에는 소정의 패턴이 형성되어 있으며, 상기 스크린 마스크를 상기 밀봉기판 상에 배치한 후 상기 스크린 마스크 상에 밀봉부재 페이스트를 도포한 다음, 스퀴즈러버(squeegee rubber)로 상기 페이스트에 압출력을 가함으로써, 상기 스크린 마스크 상에 형성된 패턴을 통해 노출된 부분에만 상기 페이스트가 도포되도록 하는 것이다.
또한, 유기 전계 발광 디스플레이 장치에서는 셀 씰(cell seal)이 사용된다. 각각의 셀 씰은 각각의 화소를 봉지하는 기능을 한다. 셀 씰 또한 스크린 마스크를 이용하여 도포한다.
상기와 같은 스크린 마스크를 이용하여 페이스트를 도포 후에는 상기 스크린 마스크 상에도 상기 페이스트의 일부가 남아 있게 되며, 상기 스크린 마스크를 재활용하기 위해서는 상기 스크린 마스크에 부착된 물질을 제거하여야 한다.
종래에는 스크린 마스크에 부착된 물질을 제거하기 위해 약품을 도포하고, 물로 상기 약품을 씻어내고, 공기를 분사하여 상기 약품과 물을 제거하는 공정을 각각의 챔버에서 수행하였다. 즉, 종래의 스크린 마스크 세정 장치는 약품을 도포하는 챔버, 물을 분사하는 챔버, 및 건조하는 챔버로 이루어졌다.
그러나, 상기와 같은 종래의 스크린 마스크 세정 장치는 적어도 세 개의 챔버로 구성되므로 세정 장치의 제조 비용이 높으며, 관리 유지 비용이 증가하며, 제 조 공정이 복잡하였다. 또한, 상기 스크린 마스크 세정 장치를 이용하여 스크린 마스크를 세정하는 경우 적어도 세 개의 챔버를 이동하면서 세정하게 되므로 세정 공정이 복잡하며, 세정 공정의 시간이 지연되는 문제점이 있었다.
본 발명의 주된 목적은 그것 자체의 제조 비용을 절감할 수 있으며, 스크린 마스크에 부착된 물질을 신속하고 효율적으로 제거할 수 있는 스크린 마스크 세정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 관한 스크린 마스크 세정 장치는, 스크린 마스크 세정 장치에 있어서, 내부에서 스크린 마스크의 세정이 이루어지는 공간부가 형성된 챔버와, 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 스크린 마스크를 세정하는 세정부를 구비하며, 상기 세정부는 상기 스크린 마스크에 세정 약품을 분사하는 약품분사 노즐부, 스크린 마스크에 린스액을 분사하는 린스 노즐부, 및 상기 스크린 마스크를 건조시키는 건조 노즐부로 이루어진다.
본 발명에 있어서, 상기 약품분사 노즐부는 상기 린스 노즐부 아래로 이격되어 배치되며, 린스 노즐부는 상기 건조 노즐부 아래로 이격되어 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 세정부는 상기 스크린 마스크의 양면을 대향하도록 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 세정부를 상기 스크린 마스크의 표면에 따라 상하로 이동시키는 세정부 이동수단를 더 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 세정부 이동수단은, 상기 세정부의 이동을 가이드하 는 가이드 로드와, 회전에 의해 상기 세정부를 상하로 이동시키는 볼 스크류와, 상기 볼 스크류를 회전시키는 액츄에이터;를 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 챔버를 개폐하는 셔터를 더 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 린스액은 탈이온화수를 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 건조 노즐부는 고압의 공기를 분사할 수 있다.
상기와 같이 이루어진 본 발명의 스크린 마스크 세정 장치에 따르면, 스크린 마스크 세정 공정을 간소화할 수 있으며, 스크린 마스크의 세정 약품에 의한 오염을 막을 수 있다.
이하, 첨부된 도면에 도시된 본 발명의 실시예를 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 그러나. 본 발명은 이 밖에도 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면 상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 마스크 세정 장치(100)를 개략적으로 나타내는 정면도이며, 도 2는 도 1의 스크린 마스크 세정 장치(100)를 개략적으로 나타내는 좌측면도이며, 도 3은 도 1의 스크린 마스크 세정 장치(100)를 나타 내는 평면도이고, 도 4는 도 1의 스크린 마스크 세정 장치(100)의 세정부(111, 112)와 스크린 마스크(M)의 배치 관계를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1 내지 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 마스크 세정 장치(100)는 챔버(110), 및 검사 수단(120)을 구비할 수 있다.
챔버(110)는 그 내부에 스크린 마스크(M)의 세정이 이루어지는 공간부(101)를 형성한다. 챔버(110)의 공간부(101)에는 세정부(111, 112), 세정부 이동수단(113), 스크린 마스크 지지부(115), 및 스크린 마스크 이송부(116)가 배치된다. 스크린 마스크(M)는 스크린 마스크 이송부(116)에 의해 챔버(110)의 공간부(101)로 이송되며, 공간부(101)에서 세정부(111, 112)에 의해 약품분사, 린스, 및 건조과정을 거친다.
세정부(111, 112)는 챔버(110) 내부에 배치되어 스크린 마스크(M)를 세정한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 세정부(111, 112)는 스크린 마스크(M)의 양면에 대향하도록 배치된다. 즉, 스크린 마스크(M)의 일면을 향하여 세정부(111)가 배치되며, 스크린 마스크(M)의 타면을 향하도록 세정부(112)가 배치된다. 각각의 세정부(111, 112)는 스크린 마스크(M)의 양쪽면을 항하여 약품을 분사하고, 물을 분사하며, 공기를 분사하여 스크린 마스크(M)를 세정시킨다.
세정부(111, 112)는 세정부 이동수단(113)에 의해 스크린 마스크(M)에 대해 상하로 이동하게 된다. 즉, 세정부(111, 112)는 스크린 마스크(M)에 대해 상하로 이동하면서 약품분사, 린스, 건조를 행하게 된다.
세정부 이동수단(113)은 볼 스크류(113a, 114a), 액츄에이터(113b, 114b), 및 가이드 로드(113c,114c)로 이루어질 수 있다. 볼 스크류(113a, 114a)는 세정부(111, 112)에 수직으로 배치되며, 그 회전에 의해 세정부(111, 112)를 스크린 마스크(M)에 대해 상하로 이동시킨다. 액츄에이터(113b, 114b)는 볼 스크류(113a, 114a)를 회전시키는 기능을 한다. 도 1에서 도시된 바와 같이 체인이나 풀리를 매개로 하여 액츄에이터(113b, 114b)의 회전력을 볼 스크류(113a, 114a)에 전달할 수 있다. 그러나 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 액츄에이터(113b)에 직접 볼 스크류(113a, 114a)가 결합될 수 있다. 가이드 로드(113c,114c)는 볼 스크류(113a, 114a)와 이격되어 배치되며 세정부(111, 112)와 수직을 이룬다. 가이드 로드(113c,114c)는 세정부(111, 112)의 상하 이동이 안정적으로 수행되도록 가이드하는 기능을 한다. 가이드 로드(113c,114c)는 도 1에 도시된 바와 같이 볼 스크류(113a, 114a) 좌우로 배치될 수 있다.
세정부(111, 112)는 약품분사 노즐부(111a, 112a), 린스 노즐부(111b, 112b), 및 건조 노즐부(111c, 112)를 구비한다.
약품분사 노즐부(111a, 112a)는 약품을 스크린 마스크(M)에 분사한다. 약품분사 노즐부(111a, 112a)는 도 3에 도시된 바와 같이 약품 공급부(150)와 배관(미도시)에 의해 연결되어 약품을 공급받는다. 약품분사 노즐부(111a, 112a)에서 분사된 약품은 스크린 마스크(M)에 양표면에 분사되어 스크린 마스크(M)에 남아있는 물질, 즉 남은 페이스트를 제거시킨다. 페이스트는 약품과 페이스트 사이의 화학적 반응에 의해서 제거될 뿐만 아니라 약품이 고압으로 분사됨으로써 물리적 분사력에 의해 스크린 마스크(M) 표면의 페이스트가 제거될 수 있다. 분사된 약품과 약품에 의해 제거된 페이스트는 약품 탱크(141)로 수거된다. 약품 탱크(141)로 수거된 약품은 다른 공정에 의해 재활용될 수 있다.
린스 노즐부(111b, 112b)는 스크린 마스크(M)에 분사된 약품을 씻어내는 기능을 한다. 린스 노즐부(111b, 112b)에서 분사되는 린스액은 탈이온화수일 수 있다. 그러나, 본 발명은 이에 한정하는 것은 아니며, 상기 약품을 씻어낼 수 있는 용액이라면 다른 종류의 물질도 사용될 수 있다. 린스액은 고압으로 분사되어 스크린 마스크(M)의 표면에 남아 있는 약품을 제거시킬 수 있다. 린스 노즐부(111b, 112b)는 약품분사 노즐부(111a, 112a) 상부에 배치된다. 상부에 배치된 린스 노즐부(111b, 112b)에서 린스액이 분사되므로 약품 분사 후 약품분사 노즐부(111a, 112a)에 잔존하는 약품을 씻어낼 수 있다. 이에 따라, 세정 약품에 의해 스크린 마스크의 2차 오염을 막을 수 있다.
건조 노즐부(111c, 112)는 린스액으로 스크린 마스크(M) 표면에 있는 약품을 제거한 후 스크린 마스크(M)에 남아 있는 린스액을 건조시킨다. 건조 노즐부(111c, 112c)는 고압의 공기를 분사하여 스크린 마스크(M) 표면에 있는 린스액을 건조시킨다.
상기와 같이 본 발명은 종래의 스크린 마스크 세정 장치와 달리, 하나의 챔버(110) 내에 약품분사 노즐부(111a, 112a), 린스 노즐부(111b, 112b), 및 건조 노즐부(111c, 112c)를 모두 구비하고 있으므로 스크린 마스크 세정 장치의 제조 공정을 단순화시킬 수 있으며 또한 제조 비용을 절감시킬 수 있다. 또한, 한 챔버(110) 내에서 스크린 마스크(M)의 세정 공정이 이루어지므로, 스크린 마스크(M) 세정 공정이 단순화된다.
챔버(110)에는 스크린 마스크(M)를 지지하고 클램핑할 수 있는 지지부(115)를 더 구비할 수 있다. 지지부(115)는 클램핑부(115a), 높이조절부(115b), 및 연결부(115c)로 이루어진다. 클램핑부(115a)는 스크린 마스크(M)를 지지하고 클램핑하는 기능을 수행한다. 높이조절부(115b)는 클램핑부(115a)의 상하로 이동시켜 다양한 크기의 스크린 마스크(M)를 지지하고 클램핑할 수 있도록 한다. 클램핑부(115a)는 유압식 실린더일 수 있다. 연결부(115c)는 클램핑부(115a)와 높이조절부(115b)을 연결하는 높이조절부(115b)에서의 동력을 클램핑부(115a)에 전달한다.
챔버(110)는 그 일측부에 셔터(118)를 구비한다. 셔터(118)는 스크린 마스크(M)가 이동될 수 있도록 개방되며, 챔버(110) 내에서 세정공정이 수행될 때는 차단된다.
스크린 마스크(M)의 이동은 스크린 마스크 이송부(116)에 의해 수행된다. 스크린 마스크 이송부(116)는 구동 롤러(116a)와 구동 모터(116b)로 이루어진다. 복수 개의 구동 롤러(116a)는 챔버(110)의 바닥부에 배치된다. 구동 롤러(116a)는 구동 모터(116b)에 의해 회전하여 스크린 마스크(M)를 이동시킨다.
검사 수단(120)은 챔버(110)에서 세정이 끝난 스크린 마스크(M)의 세정 상태를 검사는 기능을 수행한다. 검사 수단(120)은 도 1에서와 같이 셔터(118)가 설치된 챔버(110)의 일측부에 배치될 수 있다. 도 2는 검사 수단(120)의 좌측면도를 개략적으로 나타낸다. 도 2를 참조하면, 검사 수단(120)은 스크린 마스크(M)의 일면과 이격되어 배치된 백라이트(121)를 구비한다. 챔버(110)에서 세정을 마친 스 크린 마스크(M)는 검사 수단(120)으로 이동한다. 검사 수단(120)의 소정의 위치에 스크린 마스크(M)가 위치하게 되면 백라이트(121)가 스크린 마스크(M)의 일면을 향하여 빛을 비추게 되며, 사용자는 백라이트(121)에 방출된 빛을 이용하여 스크린 마스크(M)의 세정 상태를 육안으로 검사한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크린 마스크 세정 장치(200)를 개략적으로 나타내는 정면도이며, 도 6은 도 5의 스크린 마스크 세정 장치(200)를 개략적으로 평면도이다.
도 5의 스크린 마스크 세정 장치(200)는 제1 챔버(110), 제2 챔버(130), 및 검사 수단(120)을 구비한다. 이들 중 제1 챔버(110)와 검사 수단(120)은 도 1의 스크린 마스크 세정 장치(100)의 챔버(110) 및 검사 수단(120)와 동일한 구성요소로 이루어지며, 도 5의 스크린 마스크 세정 장치(200)는 제1 챔버(110) 일측부에 제2 챔버(130)가 배치된다는 점에서 도 1의 스크린 마스크 세정 장치(100)와 차이가 있다. 도 5에 도시된 제1 챔버(110)와 검사 수단(120)은 도 1에 도시된 챔버(110) 및 검사 수단(120)과 동일하므로 이하에서는 이들에 대한 설명은 생략한다.
OLED의 제조 공정 중 인캡슐레이션(encapsulation) 공정은 유기 발광부가 형성된 기판을 밀봉기판을 봉지하는 공정과 유기 발광부의 각각의 화소를 봉지하는 공정으로 이루진다. 상기 기판을 상기 밀봉기판으로 봉지하는 공정은 밀봉기판의 외곽부에 외곽 씰(seal)을 제1 스크린 마스크를 이용하여 도포하고 상기 기판과 밀 봉기판을 봉지한다. 또한, 각각의 화소 전극을 봉지하는 공정은 각각의 화소에 대응되는 밀봉기판 상에 제2 스크린 마스크를 이용하여 셀 씰(cell seal)을 패터닝한다. 이에 따라 외곽 씰을 패터닝하는데 사용되는 제1 스크린 마스크와, 셀 씰을 패터닝하는데 사용되는 제2 스크린 마스크를 세정하는 것이 필요하다.
외곽 씰과 셀 씰은 서로 다른 페이스트를 사용하게 되는 경우 이들 씰을 세정하는 사용되는 세정약품 또한 다른 종류를 사용한다. 종류가 다른 세정약품이 하나의 챔버에 사용되는 경우에는 종류가 다른 세정약품들이 서로 화학반응을 일으킬 수 있으며, 경우에 따라서는 세정약품의 세정력을 감소시킬 수 있다. 따라서, 도 6에 도시된 스크린 마스크 세정 장치(200)는 제1 챔버(110)에서는 외곽 씰을 패터닝하는데 사용된 제1 스크린 마스크를 세정하며, 제2 챔버(130)에서는 셀 씰을 패터닝하는테 사용된 제2 스크린 마스크를 세정하는데 사용될 수 있다.
이 경우 외곽 씰을 패터닝하는데 사용된 제1 스크린 마스크는 상술한 바와 같이 제1 챔버(110)에서 세정 과정을 거친 후 검사 수단(120)으로 이동하여 검사를 받게 된다. 그러나, 셀 씰을 패터닝하는테 사용된 제2 스크린 마스크는 제1 챔버(110)를 거쳐 제2 챔버(130)로 이동하게 되며, 제2 챔버(130)에서 세정과정이 이루어진다.
도 5에 도시된 스크린 마스크 세정 장치(200)의 제1 챔버(110)는 도 1의 챔버(110)와 달리 제2 챔버(130)가 배치되는 측면에 셔터(119)를 구비한다. 셔터(119)는 제2 스크린 마스크가 제1 챔버(110)와 제2 챔버(130) 사이를 이동할 때 개폐된다. 제2 스크린 마스크가 제1 챔버(110)를 거져 제2 챔버(130)로 들어갈 때 제2 챔버(130)의 셔터(138)이 개방되며, 제2 스크린 마스크가 제2 챔버(130)에서 세정되는 동안 셔터(138)는 닫힌다.
제2 스크린 마스크는 제2 챔버(130)에서 구동부(136)에 의해 이동된다. 구동부(136)는 구동 롤러(136a)와 구동 모터(136b)로 이루어지며, 구동 롤러(136a)는 구동 모터(136b)에 의해 회전하여 제2 스크린 마스크를 이동시킨다.
제2 스크린 마스크는 스크린 마스크 지지부(135)에 의해 지지되고 클램핑된다. 지지부(135)는 클램핑부(135a), 높이조절부(135b), 및 연결부(135c)로 이루어지며, 클램핑부(115a)는 제2 스크린 마스크를 지지하고 클램핑하는 기능을 수행한다. 높이조절부(135b)는 클램핑부(135a)의 상하로 이동시켜 다양한 크기의 제2 스크린 마스크를 지지하고 클램핑할 수 있도록 한다. 클램핑부(125a)는 유압식 실린더일 수 있다. 연결부(135c)는 클램핑부(125a)와 높이조절부(125b)을 연결하는 높이조절부(135b)에서의 동력을 클램핑부(135a)에 전달한다.
제2 스크린 마스크의 세정은 세정부(131, 132)에 의해 이루어진다. 세정부(131, 132) 각각은 제2 스크린 마스크의 양면을 향도록 배치된다.
세정부(131, 132)는 세정부 이동수단(133)에 의해 제2 스크린 마스크에 대해 상하로 이동하게 된다. 즉, 세정부(131, 132)는 제2 스크린 마스크에 대해 상하로 이동하면서 약품분사, 린스, 건조를 행하게 된다. 세정부 이동수단(133)은 볼 스크류(133a, 134a), 액츄에이터(133b), 및 가이드 로드(133c,134c)로 이루어진다. 볼 스크류(133a, 134a)는 회전에 의해 세정부(131, 132)를 이동시키며, 액츄에이터(133b, 134b)는 볼 스크류(133a, 134a)에 회전력을 공급하며, 가이드 로 드(133c,134c)는 세정부(131, 132)의 상하 이동을 가이드하는 역할을 수행한다.
도 5 및 6의 세정부(131, 132)는 도 1 내지 4에서의 세정부(131, 132)와 같이 약품을 분사하는 약품분사 노즐부(131a, 132a)과, 탈이온화수와 같은 린스액을 분사는 린스 노즐부(131b, 132b), 및 린스액을 건조시키는 건조 노즐부(131c, 132)로 이루어진다. 린스 노즐부(131b, 132b)는 약품분사 노즐부(131a, 132a) 상부에 배치되며, 건조 노즐부(131c, 132)는 린스 노즐부(131b, 132b) 상부에 배치되므로 약품 분사 후 약품분사 노즐부(131a, 132a)에 잔존하는 약품을 씻어낼 수 있다.
약품분사 노즐부(131a, 132a)에서 분사된 약품은 약품 탱크(150)에 수거되며, 린스 노즐부(131b, 132b)에서 분사된 린스액은 린스액 탱크(151)에 수거된다.
제2 스크린 마스크는 상기와 같이 제2 챔버(130)에서 약품 세정, 린스, 및 건조를 끝내고 나면 검사 수단(120)으로 이송되어 세정 상태를 검사받게 된다.
도 5 및 6에 도시된 스크린 마스크 세정 장치(200)는 제1 챔버(110)에서 외곽 씰을 패터닝하는데 사용된 제1 스크린 마스크를 세정하며, 제2 챔버(130)에서 셀 씰을 패터닝하는테 사용된 제2 스크린 마스크를 세정하는데, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 챔버(110)에서 셀 씰을 패터닝하는데 사용된 제2 스크린 마스크를 세정하며, 제2 챔버(130)에서 외곽 씰을 패터닝하는테 사용된 제1 스크린 마스크를 세정할 수 있다. 또한, 본 발명은 사용되는 세정약품의 종류에 따라 3개 이상의 챔버를 구비할 수 있다.
본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사 상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크린 마스크 세정 장치를 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1의 스크린 마스크 세정 장치를 나타내는 좌측면도이다.
도 3은 도 1의 스크린 마스크 세정 장치를 나타내는 평면이다.
도 4는 도 1의 세정부와 스크린 마스크와의 배치를 개략적으로 나타내는 모식도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크린 마스크 세정 장치를 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 6은 도 5의 스크린 마스크 세정 장치를 나타내는 평면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100, 200: 스크린 마스크 세정 장치
110, 130: 챔버
120: 검사수단
111, 112, 131, 132: 세정부
113, 114, 133, 134: 세정부 이동수단
115, 135: 지지부
116, 136: 스크린 마스크 이송부

Claims (8)

  1. 스크린 마스크 세정 장치에 있어서,
    내부에서 스크린 마스크의 세정이 이루어지는 공간부가 형성된 챔버; 및
    상기 챔버 내부에 배치되어 상기 스크린 마스크를 세정하는 세정부;를 구비하며,
    상기 세정부는 상기 스크린 마스크에 세정 약품을 분사하는 약품분사 노즐부, 스크린 마스크에 린스액을 분사하는 린스 노즐부, 및 상기 스크린 마스크를 건조시키는 건조 노즐부로 이루어진 스크린 마스크 세정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 약품분사 노즐부는 상기 린스 노즐부 아래로 이격되어 배치되며, 린스 노즐부는 상기 건조 노즐부 아래로 이격되어 배치되는 스크린 마스크 세정 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 세정부는 상기 스크린 마스크의 양면을 대향하도록 배치되는 스크린 마스크 세정 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 세정부를 상기 스크린 마스크의 표면에 따라 상하로 이동시키는 세정부 이동수단를 더 구비하는 스크린 마스크 세정 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 세정부 이동수단은,
    상기 세정부의 이동을 가이드하는 가이드 로드:
    회전에 의해 상기 세정부를 상하로 이동시키는 볼 스크류; 및
    상기 볼 스크류를 회전시키는 액츄에이터;를 구비하는 스크린 마스크 세정 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 챔버를 개폐하는 셔터를 더 구비하는 스크린 마스크 세정 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 린스액은 탈이온화수를 포함하는 스크린 마스크 세정 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 건조 노즐부는 고압의 공기를 분사하는 스크린 마스크 세정 장치.
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