KR102011270B1 - 포토마스크 세정장치 - Google Patents

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Abstract

포토마스크 세정장치가 개시된다. 실시예에 따르면, 포토마스크가 수직하게 세워져서 고정되며, 전후방향으로 이동될 수 있도록 구동수단을 구비한 지그; 지그가 통과될 수 있도록 입구와 출구가 양측에 형성된 본체;를 포함하고, 본체의 내측에 형성되며, 입구에 근접하면서 2개가 한쌍으로 수직하게 형성되고, 소정 간격으로 이격되게 배치된 봉체와, 상기 각 봉체의 외면에 형성되어 포토마스크의 표면에 접촉되는 세정부재로 이루어진 세척부; 한쌍의 봉체를 각기 회전시키는 회전 구동부; 한쌍의 봉체를 좌우로 이동시키는 간격조절부;를 포함하여 구성된다.
이에 따르면, 공정을 보다 간소화하여 비용과 시간을 절감할 수 있고, 로딩/언로딩 장비가 필요없어 설치 비용이 절감될 수 있으며, 양면을 동시에 세척함으로써 효율이 월등히 향상될 수 있고, 한대의 세척장치를 이용하여 다양한 크기의 포토마스크에 적용될 수 있어 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

Description

포토마스크 세정장치{Photomask Cleaning Apparatus}
본 발명은 포토마스크 세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 웨이퍼 또는 디스플레이 기판 등에 박막 패턴을 형성하는 데에 사용되는 포토마스크를 세정하는 포토마스크 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 유기발광표시소자(Organic Light Emitting Diode : OLED) 및 박막트랜지스터 액정표시소자(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display : TFT-LCD)와 같은 평판표시소자의 양극기판을 제조함에 있어 포토리소그래피(photolithography) 공정이 이용되고 있다.
포토리소그래피 공정은 식각대상층 상에 감광성 수지(photoresist)를 도포하는 단계와, 감광성 수지의 특정 부분에 포토마스크를 이용해서 빛을 조사시키는 노광 단계와, 소정 화학용액을 이용해서 노광되거나 또는 노광되지 않은 감광성 수지 부분을 제거하는 현상 단계로 구성된다.
이와 같은 포토리소그래피 공정에 있어서, 노광 공정에서 사용하는 포토마스크의 세정 상태는 생산 수율에 큰 영향을 미치는 중요한 요인이 된다.
포토마스크(photomask)는 석영이나 유리 기판 위에 반도체의 미세 회로를 형상화한 것이다.
한편 포토마스크의 표면에 잔재된 잔류물을 제거하기 위해 세정작업이 필요하다.
종래 세정작업은 감광성 수지 박리액, 이소프로필 알코올 등과 같은 화학 약품(이하, '세정액'이라 칭함)을 사용하여 수행하였다.
종래 기술에 따르는 세척 기능을 가진 장비들은 포토마스크 단면을 회전판위에 올려놓고 천천히 회전을 시킨다.
회전되는 포토마스크 위를 로봇 팔에 부착되어 있는 스크럽 패드를 회전시키며 일정 압력으로 문질러서 세척을 하게 된다.
그 후에 초순수 증류(DI) 세척 후에 반대쪽으로 로봇 팔을 이용하여 돌려 같은 동작을 반복한 후에 세척 및 드라이 후 언로딩을 하는 구조다.
이러한 구조로 고가의 장비는 포토마스크 로딩 장비-> 전 처리실 화학용액 -> 회전 및 브러시 세척실 -> DI 세척실 -> 마스크 언로딩 장비등으로 구성된다.
이러한 종래 기술은 구성이 복잡하고 다단계의 공정으로 이루지고 있어 작업효율이 저하되고 공정에 따른 비용도 증가될 수 밖에 없는 문제점이 있었다.
한국 특허출원 10-2007-0137534호
본 발명은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 포토마스크의 세정 공정을 보다 간소화하여 비용과 시간을 절감할 수 있고, 로딩/언로딩 장비가 필요없어 설치 비용이 절감될 수 있으며, 양면을 동시에 세척함으로써 효율이 월등히 향상될 수 있고, 한대의 세척장치를 이용하여 다양한 크기의 포토마스크에 적용될 수 있어 비용을 절감할 수 있는 포토마스크 세정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 본 발명의 목적은, 포토마스크가 수직하게 세워져서 고정되며, 전후방향으로 이동될 수 있도록 구동수단을 구비한 지그; 지그가 통과될 수 있도록 입구와 출구가 양측에 형성된 본체;를 포함하고, 본체의 내측에 형성되며, 입구에 근접하면서 2개가 한쌍으로 수직하게 형성되고, 소정 간격으로 이격되게 배치된 봉체와, 상기 각 봉체의 외면에 형성되어 포토마스크의 표면에 접촉되는 세정부재로 이루어진 세척부; 한쌍의 봉체를 각기 회전시키는 회전 구동부; 한쌍의 봉체를 좌우로 이동시키는 간격조절부;를 포함하는 포토마스크 세정장치에 의해 달성될 수 있다.
상기 봉체는 외주면에 다수의 노즐공이 형성되고, 상기 노즐공을 통해 세정액이 분사될 수 있는 것을 특징으로 한다.
상기 세정부재는 패드의 표면에 다수의 미세모가 형성되어 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 간격조절부는 봉체의 하부에 형성된 축에 결합된 롤러와, 상기 롤러가 결합되며 직진운동하도록 본체의 하부에 형성된 레일홈과, 상기 봉체의 축에 일단이 연결된 로드와, 상기 로드가 인출 또는 인입되게 결합되는 액츄에이터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 한쌍의 봉체 각각의 세정부재를 세척하는 자가세척수단이 포함될 수 있다.
상기 본체의 내부에 형성되며, 세척부의 일측에 형성되며 세척부를 통과한 후 포토마스크의 표면에 잔류된 세정액을 제거하는 초순수 증류수를 분사하는 증류수 분사부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 포토마스크의 잔여 증류수를 건조시키는 에어를 분사하는 에어분사부가 포함되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 공정을 보다 간소화하여 비용과 시간을 절감할 수 있고, 로딩/언로딩 장비가 필요없어 설치 비용이 절감될 수 있으며, 양면을 동시에 세척함으로써 효율이 월등히 향상될 수 있고, 한대의 세척장치를 이용하여 다양한 크기의 포토마스크에 적용될 수 있어 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 포토마스크 세정장치를 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 포토마스크 세정장치를 나타낸 평면도,
도 3은 본 발명에 따른 포토마스크 세정장치를 나타낸 정면도,
도 4는 본 발명에 따른 포토마스크 세정장치의 자가세척 작동을 나타낸 평면도.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.
이에 앞서, 후술하는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 것으로서, 이는 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 개념과 당해 기술분야에서 통용 또는 통상적으로 인식되는 의미로 해석되어야 함을 명시한다.
또한, 본 발명과 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
여기서, 첨부된 도면들은 기술의 구성 및 작용에 대한 설명과 이해의 편의 및 명확성을 위해 일부분을 과장하거나 간략화하여 도시한 것으로서, 각 구성요소가 실제의 크기와 정확하게 일치하는 것은 아니다.
첨부된 도면 중에서, 도 1은 본 발명에 따른 포토마스크 세정장치를 나타낸 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 포토마스크 세정장치를 나타낸 평면도, 도 3은 본 발명에 따른 포토마스크 세정장치를 나타낸 정면도, 도 4는 본 발명에 따른 포토마스크 세정장치의 자가세척 작동을 나타낸 평면도이다.
도 1 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 일 실시태양에 따른 포토마스크 세정장치(A)는, 포토마스크가 수직하게 세워져서 고정되며, 전후방향으로 이동될 수 있도록 구동수단을 구비한 지그(100); 지그(100)가 통과될 수 있도록 입구와 출구가 양측에 형성된 본체(200);를 포함하고, 본체(200)의 내부에 형성된 세척부(W)와, 세척부(W)를 구동시키는 회전 구동부(300)와, 세척부(W)의 간격을 조절하는 간격조절부(400)를 포함하여 구성된다.
지그(100)는 포토마스크(P)의 양측면을 협지하여 수직하게 세워 고정하도록 상부 양측에 결합부(120)가 형성되고, 하부에는 구동수단이 형성되어 본체(200)에 인입되도록 전진작동하거나 본체(200)로부터 인출될 수 있도록 후진작동하게 된다.
일 실시예에 따른 구동수단(170)은, 포토마스크(P)의 규격에 적합하게 형성된 체인(172)과, 체인(172)의 구동방향을 정역 제어하고 스피드를 제어하는 서보 모터(174)로 구성된다.
PLC제어로 서보 모터(174)가 구동되어 지그(100)가 좌우 반복 운동 및 포토마스크(P)의 이송을 제어하게 된다.
또는 다른 실시예에 따르는 구동수단(170)은 도시되지 않았지만, 지그(100)의 하부에 다수로 형성되는 롤러와, 롤러를 회전 구동시키는 모터로 구성될 수도 있다.
세척부(W)는 상기 본체(200)의 내측에 형성되며, 입구에 근접하면서 2개가 한쌍으로 수직하게 형성되어 포토마스크의 양면에 대응되게 형성되는 봉체(2)와, 상기 각 봉체(2)의 외면에 형성되어 포토마스크(P)의 표면에 접촉되는 세정부재(3)로 이루어진다.
한쌍의 봉체(2)는 여러쌍이 소정 간격으로 이격되게 배치된다.
설명의 편의상 도 1에 도시된 바와 같이, 좌측 한쌍을 제1봉체(21,22)로 정하고, 우측 한쌍을 제2봉체(21',22')로 정한다.
한쌍의 봉체(2)가 양측에 각기 배치되므로 2쌍의 봉체(21,22)(21'22')로 세척부(W)를 구성하게 된다.
좌,우측 2쌍의 봉체(21,22)(21'22')는 간격을 조절함으로써 포토마스크(P)의 크기에 적합하게 조절될 수 있다.
2쌍의 봉체(21,22)(21'22')의 간격 조절은 간격조절부(400)에 의해 실행된다.
세척부(W)에서 포토마스크(P)의 크기별로 각 봉체(2)가 전진하여 고정되기 전에 포토마스크(P)가 이탈하지 않도록 가이드롤(미도시)이 형성된다.
가이드롤이 포토마스크(P) 하부를 고정식으로 하고, 상부를 상하이동식으로 가변하여 인치별로 포토마스크(P)를 지지해줄 수 있다.
상기 봉체(2)는 원통형이며, 2개가 서로 대칭되면서 수직하게 배치되어 한쌍을 구성하되 한쌍의 봉체(21,22)(21'22')는 소정 간격으로 이격되어 형성된다.
각각의 봉체(21,22)(21'22')는 상단과 하단에 각기 베어링(25)이 형성되며, 상,하부의 베어링(25)은 본체(200)의 상,하부에 형성된 레일(미도시)에 결합되어 베어링(25)의 롤링 구동에 의해 전후진 작동이 안내될 수 있다.
봉체(2)의 내부에는 외부에 형성된 세정액을 공급하는 약액 공급부(Q)와 연결되며, 봉체(2)의 외주면에 다수의 노즐공(미도시)이 형성된다.
따라서 약액 공급부(Q)로부터 봉체(2)의 노즐공을 통해 세정액이 분사될 수 있다.
세정용 약액으로는 종래에는 황산과 과산화수소등을 섞어 사용하게 되며 이는 유출시 인체에 치명적인 손상을 가하는 물질들이다.
또한 작업자들이 작업실 내부를 수시로 열었다가 닫기 때문에 고가의 제품의 경우는 밀폐공간으로 만드는 경우가 많다.
반면 본 발명에 적용되는 세정액은 고농축의 알칼리수로써 이를 이용하면 인체에 무해하며 물에 희석되어 배출이 가능하다.
상기 세정부재(3)는 봉체의 외주면에 형성두께로 형성된 패드이며, 패드의 표면에 다수의 미세모가 형성되어 이루어진다.
다수의 미세모는 브러쉬 보다 연하면서도 밀도가 높아 세척율이 종래 브러쉬보다 더욱 향상될 수 있다.
바람직하게는 세정부재(3)는 정전기 방지 소재로 이루어진다.
미세모의 소재를 정전기 방지소재로 형성할 수 있는 것이다.
정전기는 포토마스크(P)에 불량을 초래할 우려가 있으므로 이를 미연에 방지하기 위해 정전기 방지 소재를 적용하였다.
간격조절부(400)는, 좌,우측에 배치된 제1,2봉체(21,22)(21'22')의 하부에 각기 형성된 축에 결합된 롤러(410)와, 상기 롤러(410)가 결합되며 직진운동하도록 본체(200)의 하부에 형성된 레일홈(210)과, 상기 봉체(2)의 축에 일단이 연결된 로드(420)와, 상기 로드(420)가 인출 또는 인입되게 결합되는 액츄에이터(430)를 포함하여 구성된다.
일 실시예에 따르면, 상기 액츄에이터(430)는 유압 또는 공압의 동력으로 왕복 작동되는 피스톤이 구비되어 상기 로드(420)를 작동시키는 실린더유닛이다.
다른 실시예에 따르면, 상기 액츄에이터(430)는 상기 로드(420)에 형성된 랙기어와, 상기 랙기어와 치차 결합되는 피니언기어 및 상기 피니언기어가 연결된 축을 갖는 모터로 구성된 것일 수 있다.
간격조절부(400)의 작동에 의해 양측의 제1,2봉체(21,22)는 서로 상반되게 이동되어 간격이 좁혀지거나 넓어지면서 간격이 조절될 수 있다.
한편 상기 제1,2봉체(21,22)(21'22') 각각의 세정부재(3)를 세척하는 자가세척수단(600)이 포함될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 자가세척수단(600)은 한쌍의 봉체(21,22)에 각기 형성된 간격조절부(400)의 구동에 의해 봉체(21,22)가 서로 근접되도록 하여 각 세정부재(3)가 접촉되고, 이 접촉된 상태에서 각기 회전함으로써 각각의 세정부재(3)가 서로 세척되도록 하는 것이다.
일 실시예에 따르면, 상기 자가세척수단(600)은, 각 봉체(21,22)에 연결된 로드(610)와, 상기 로드(610)가 인출 또는 인입되는 작동을 하는 실린더유닛(620)을 포함하여 구성된다.
도 4에 나타낸 바와같이, 봉체(21,22)는 각기 구비된 실린더유닛(620)의 작동에 의해 로드(610)가 인출되면 서로 접근하게 되어 각각의 세정부재(3)가 접촉되고, 각 봉체(2)의 회전에 의해 상대 봉체의 세정부재(3)를 세척할 수 있게 된다.
도 4의 (a)는 봉체(21,22)가 이격된 상태이고, 도 4의 (b)는 봉체(21,22)가 근접된 상태를 나타낸다.
한편 도 2에 도시된 바와 같이, 제1,2봉체(21,22)(21'22')를 각기 회전시키는 회전 구동부(300)가 포함된다.
일 실시예에 따르면, 회전 구동부(300)는 제1,2봉체(21,22)(21'22')의 하부에 형성된 피니언기어(310)가 형성되고, 피니언기어(310)와 체인(320)으로 연결된 스프로킷이 축에 결합된 모터(330)로 구성된다.
바람직하게는 한개의 모터(330)가 양측 2개의 봉체(21,21')(22,22')에 동시에 회전동력을 제공하도록 연결된다.
한편 본체(200)의 내부에 형성되며, 세척부(W)의 일측에 형성되며 세척부(W)를 통과한 후 포토마스크(P)의 표면에 잔류된 세정액을 제거하는 초순수 증류수(DI WATER)를 분사하는 증류수 분사부(700)가 형성된다.
증류수 분사부(700)는 포토마스크(P)의 양면에 대응되게 이격배치되는 복수의 관체(710)이며, 각 관체의 외주면에 다수의 증류수 분사노즐(720)이 형성되고, 상기 각 관체에 증류수를 공급하는 증류수 공급부(E)를 포함하여 구성된다.
한편 증류수 분사부(700)를 통과한 후 포토마스크(P)의 표면에 잔재될 수 있는 증류수를 건조시키도록 에어를 분사하는 에어분사부(800)가 형성된다.
에어분사부(800)는 다수의 에어노즐(820)이 외주면에 형성된 에어관체(810)와, 상기 에어관체(810)에 에어를 공급하는 에어공급부(R)를 포함하고, 에어관체(810)는 포토마스크(P)의 양면에 대응되도록 이격 배치되어 형성된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
1. 포토마스크(P)의 규격을 설정한다. 6인치∼14인치의 규격으로 설정한다.
2. 규격에 맞는 SUS Chain이 자동으로 포토마스크(P)를 장착 할 수 있는 위치로 이동한다.
3. 포토마스크(P)를 규격에 맞는 지그(100)에 장착하여 대기 위치에 놓는다.
4. 스타트 신호와 함께 포토마스크(P)가 장착된 지그(100)를 본체(200)의 내부 세척실로 인입시켜 세척부(W)로 이송한다.
5. 봉체(2)가 회전되며, 세정부재(3)가 회전하면서 포토마스크(P)에 밀착된다.
6. 간격조절부(400)가 양측의 봉체(2)를 서로 상반되게 이동시켜 양측의 봉체(2) 간의 간격이 좁혀지거나 넓어지도록 하여 포토마스크(P)의 면적에 적합한 위치로 설정된다.
7. 봉체(2)의 노즐로부터 세정액이 분사된다.
8. 포토마스크(P)가 장착된 지그(100)가 규격에 맞게 선정된 속도로 좌우 이송한다.
9. 셋팅된 시간동안 지그(100)의 왕복운동 및 봉체(2)의 세정부재(3)의 회전을 반복한다.
10. 셋팅된 시간 완료 후 세척수(DI)를 분사하여 상기 동작을 반복하며 잔여 PR이물질을 제거한다.
11. 한쌍의 봉체(2)가 이격되어 포토마스크(P)로부터 이격되도록 한다.
12. 지정된 시간(수초 정도)간 세척수(DI)를 분사하여 좌우 이동하여 마지막 이 물질을 제거한다.
13. 지그(100)가 더 인입되어 포토마스크(P)가 에어 샤워공간으로 이동하고, 에어 를 분사하여 물기를 제거한다.
14. 작업 완료된 포토마스크(P)가 배출 지그에 삽입되어 작업을 완료한다.
본 발명의 세정액인 고농축 알칼리수을 이용하여 PR을 제거하는 실험을 했다.
방법은 1mm 두께의 PR을 글라스에 도포 후 UV 경화를 한다. 그 후 알칼리수에 5분간 침전시킨 후 측정한다.
그 결과 아래 사진과 같이 99%로 세척이 되는 것을 확인하였다.
<사진 1. WPR 계열이 코팅된 PR을 고농축 알칼리수에 5분간 침전한 결과>
웨이퍼 위에 PR코팅 알칼리수 침전 세척 후 결과
Figure 112018010713847-pat00001
Figure 112018010713847-pat00002
Figure 112018010713847-pat00003
이러한 결과를 토대로 각종 PR에 대한 실험과 고농축수의 희석률을 조정하여 인체에 무해한 용액을 사용하여 기존의 업체에서 사용되는 위험한 화학용액을 대체할 수 있다.
<기존 장비와의 차별성 및 신규성>
미국 일본 본 발명
세척방법 단면 회전 세척 단면 회전세척 양면동시세척
화학용액 황산,과산화수소 황산 희석액 고농축 알칼리수
세척 시간 60분 이상 60분 이상 20분 이상
브러시 타입 스크럽 패드 스크럽 패드 미세모 원통형
종래에는 단면을 회전시켜 세척하는 방식을 사용하고 있으며, 양면 세척 장비의 경우 로봇팔이 단면 세척이 끝난 제품을 다시 반대면으로 돌려 세척하는 방식이었다.
이에 반해 본 발명은 포토마스크를 세워 양면 세척을 하는 것으로 로봇팔이나 각종 센서의 사용을 줄였으며, 고가인 장비의 가격을 낮출 수 있으므로 중소 반도체 소자 개발 업자에게 보급이 용이해질 수 있다.
한편, 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 안에서 예시되지 않은 여러 가지 변형과 응용이 가능함은 물론 구성요소의 치환 및 균등한 타실시 예로 변경할 수 있으므로 본 발명의 특징에 대한 변형과 응용에 관계된 내용은 본 발명의 범위 내에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
2 : 봉체 3 : 세정부재
21 : 제1봉체 22 : 제2봉체
100 : 지그 200 : 본체
P : 포토마스크 170 : 구동수단
400 : 간격조절부 410 : 롤러
430 ; 액츄에이터 600 : 자가세척수단

Claims (10)

  1. 포토마스크가 수직하게 세워져서 고정되며, 전후방향으로 이동될 수 있도록 구동수단을 구비한 지그;
    상기 지그가 통과될 수 있도록 입구와 출구가 양측에 형성된 본체;를 포함하고,
    상기 본체의 내측에 형성되며, 입구에 근접하면서 포토마스크의 양면에 대응되도록 한쌍으로 이루어지는 봉체와, 상기 한쌍의 봉체는 좌,우측에 소정 간격으로 이격되게 배치되며, 상기 각 봉체의 외면에 형성되어 포토마스크의 표면에 접촉되는 세정부재로 이루어진 세척부;
    상기 봉체를 각기 회전시키는 회전 구동부; 및
    상기 좌,우측에 배치되는 한쌍의 봉체 간의 간격을 조절하는 간격조절부;를 포함하며,
    상기 봉체는 외주면에 다수의 노즐공이 형성되고, 상기 노즐공을 통해 세정액이 분사될 수 있는 것을 특징으로 하는 포토마스크 세정장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 세정부재는 패드의 표면에 다수의 미세모가 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 포토마스크 세정장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 세정부재는 미세모는 정전기 방지 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 포토마스크 세정장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 간격조절부는
    상기 봉체의 하부에 형성된 축에 결합된 롤러와, 상기 롤러가 결합되며 직진운동하도록 본체의 하부에 형성된 레일홈과, 상기 봉체의 축에 일단이 연결된 로드와, 상기 로드가 인출 또는 인입되게 결합되는 액츄에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 세정장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 한쌍의 봉체 각각의 세정부재를 세척하는 자가세척수단이 포함되고,
    상기 자가세척수단은, 한쌍의 봉체에 각기 형성된 작동부의 동작에 의해 각 봉체가 근접되도록 하여 각 세정부재가 접촉되도록 하여 회전에 의해 세척되도록 하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 세정장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 본체의 내부에 형성되며, 세척부의 일측에 형성되며 세척부를 통과한 후 포토마스크의 표면에 잔류된 세정액을 제거하는 초순수 증류수를 분사하는 증류수 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 세정장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 증류수 분사부는 포토마스크의 양면에 대응되게 이격배치되는 복수의 관체이며, 각 관체의 외주면에 다수의 증류수 분사노즐이 형성되고, 상기 각 관체에 증류수를 공급하는 증류수 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 세정장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 포토마스크의 잔여 증류수를 건조시키는 에어를 분사하는 에어분사부가 포함되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 세정장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 에어분사부는 다수의 에어노즐이 외주면에 형성된 에어관체와, 상기 에어관체에 에어를 공급하는 에어공급부를 포함하고, 에어관체는 포토마스크의 양면에 대응되도록 이격 배치되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 세정장치.

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