KR20090101404A - Method of manufacturing coreless printed circuit board - Google Patents

Method of manufacturing coreless printed circuit board

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KR20090101404A
KR20090101404A KR1020080035903A KR20080035903A KR20090101404A KR 20090101404 A KR20090101404 A KR 20090101404A KR 1020080035903 A KR1020080035903 A KR 1020080035903A KR 20080035903 A KR20080035903 A KR 20080035903A KR 20090101404 A KR20090101404 A KR 20090101404A
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KR1020080035903A
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김상진
조원진
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대덕전자 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A method for manufacturing a coreless PCB is provided to reduce the process time and cost through a plasma process by reducing the thickness of a solder resist. CONSTITUTION: A method for manufacturing a coreless PCB comprises the following steps of: forming a film type solder resist(110) on upper/lower surfaces of a carrier(10) and then forming a copper foil(111) on the result; selectively etching a dry film layer(120) on which a pattern is formed according to a predetermined circuit pattern to selectively expose the solder resist layer; and then forming a gold/nickel plating layer on the exposed carrier.

Description

코어리스 인쇄회로기판 제조 방법{METHOD OF MANUFACTURING CORELESS PRINTED CIRCUIT BOARD}Coreless printed circuit board manufacturing method {METHOD OF MANUFACTURING CORELESS PRINTED CIRCUIT BOARD}

본 발명은 인쇄회로기판(PCB; Printed Circuit Board) 제조 기술에 관한 것으로, 특히 코어리스 인쇄회로기판(Coreless PCB) 제조 공법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 플립칩(flip chip) 공법이 적용되는 인쇄회로기판 제조에 관한 것으로 코어리스 패키지 기판(coreless package substrate)의 평탄도를 향상시키는 기술에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a printed circuit board (PCB) manufacturing technology, and more particularly to a coreless PCB manufacturing method. More specifically, the present invention relates to a printed circuit board manufacturing to which a flip chip method is applied, and a technique for improving the flatness of a coreless package substrate.

도1a 내지 도1q는 종래 기술에 따른 코어리스 기판을 제작하는 공정 순서를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도1a를 참조하면, 우선 절연층(10a)를 중앙으로 하여 양면에 동박(10b, 10c)을 도포하고 있는 캐리어(10)를 제작한다. 이때에, 양면의 동박(10b, 10c)는 절연층(10a)으로부터 벗겨내어 필오프(peel off)되어 질 수 있다.1A to 1Q are diagrams schematically showing a process sequence for manufacturing a coreless substrate according to the prior art. Referring to FIG. 1A, first, a carrier 10 having copper foils 10b and 10c coated on both surfaces thereof is prepared with the insulating layer 10a as the center. At this time, the copper foils 10b and 10c of both sides may be peeled off from the insulating layer 10a.

이어서, 도1b를 참조하면 캐리어(10)의 양면에 프리프레그(PREPREG)와 같은 절연층(20)을 적층하고, 패드를 형성하기 위해 프리프레그 절연층(20)을 선택적으로 가공하여 개구부(30)를 형성한다(도1c). 이어서, 도1d를 참조하면 패드 형성을 위하여 개구되어 노출된 동박 표면 위에 Au/Ni 도금을 수행하여 금도금 층(35)과 니켈 층(36)을 형성한다. Subsequently, referring to FIG. 1B, an insulating layer 20 such as a prepreg (PREPREG) is laminated on both sides of the carrier 10, and the prepreg insulating layer 20 is selectively processed to form a pad, thereby opening the opening 30. ) Is formed (Fig. 1C). Next, referring to FIG. 1D, Au / Ni plating is performed on the exposed and exposed copper foil surface to form a gold plating layer 35 and a nickel layer 36.

그리고 나면, 기판의 양면 위에 화학동(40)을 실시하고(도1e), 화학동(40) 위에 드라이 필름(D/F)을 밀착하고 사진/현상/식각 공정을 실시하여 선정된 회로 패턴에 따라 드라이 필름 패턴(42)을 형성한다. 이어서, 도1g에 도시한 대로 동도금을 실시하여 기판 표면에 동도금 층(44)을 형성한다. Then, chemical copper 40 is applied on both sides of the substrate (FIG. 1E), dry film (D / F) is adhered on the chemical copper 40, and a photo / developing / etching process is performed on the selected circuit pattern. Accordingly, the dry film pattern 42 is formed. Subsequently, copper plating is performed as shown in Fig. 1G to form a copper plating layer 44 on the substrate surface.

드라이 필름(42)를 식각 박리하고 나서 플래시 에칭을 진행하면 도1h에 도시된 대로, 노출된 화학동(40)의 표면이 식각되어 동도금 층(44)이 화학동(40) 위에만 형성된 모습을 지니게 된다. 이어서, 도1i를 참조하면, 절연층(49)과 동박(50)을 적층하여 가열 가압 라미네이트 공정을 수행한다. When the dry film 42 is etched away and then flash etched, as shown in FIG. 1H, the exposed surface of the chemical copper 40 is etched to show that the copper plating layer 44 is formed only on the chemical copper 40. Will be carried. Subsequently, referring to FIG. 1I, the insulating layer 49 and the copper foil 50 are laminated to perform a hot press lamination process.

이어서, 레이저 드릴링 공정을 진행하여 선정된 회로 패턴에 따라 개구부(52)를 형성하고 화학동(53)을 실시하여 기판 표면에 동박을 형성한다(도1j). 다시, 도1k를 참조하면, 기판 양면에 드라이 필름을 밀착하고 미리 선정된 회로 패턴에 따라 사진/현상/식각 공정을 진행함으로써 드라이 필름(55)을 패턴 형성한다. 그리고 나면, 선택적으로 제거된 드라이 필름(55) 패턴에 대해 동도금을 진행하여 동도금 층(56)을 형성한다.Subsequently, the laser drilling process is performed to form the opening 52 in accordance with the selected circuit pattern, and chemical copper 53 is performed to form copper foil on the substrate surface (Fig. 1J). Referring again to FIG. 1K, the dry film 55 is patterned by closely attaching the dry film to both surfaces of the substrate and performing a photo / developing / etching process according to a predetermined circuit pattern. Then, copper plating is performed on the selectively removed dry film 55 pattern to form a copper plating layer 56.

다시, 드라이 필름(55)을 식각 박리하고 플래시 에칭을 실시하여 도1l에 도시한 바와 같이, 플래시 에칭된 화학동(53) 위에 동도금(56)이 형성되도록 한다. 이어서, 도1m을 참조하면, 선택적으로 선정된 회로 패턴에 따라 제1차로 솔더 레지스트(PSR; 60)를 도포하고, 솔더 레지스트가 덮이지 않은 노출된 동박 위에 니켈(61)과 금(62)을 수행하여 Ni/Au를 도포한다(도1n).Again, the dry film 55 is etched off and subjected to flash etching so that copper plating 56 is formed on the flash etched chemical copper 53, as shown in FIG. Subsequently, referring to FIG. 1M, a first solder resist (PSR) 60 is first applied according to an selectively selected circuit pattern, and nickel 61 and gold 62 are coated on the exposed copper foil not covered with the solder resist. Ni / Au is applied to apply (Fig. 1N).

그리고 나면, 라우터(router)를 이용하여 기판을 개별 절단함으로써 도1o에서와 같이 캐리어(10)의 중간 절연층(10a)을 기준으로 하여 상하 두 부위로 분리하도록 기판을 필오프 벗겨 낸다. 즉, 도1o를 참조하면, 기판은 상하 2개의 기판으로 분리된다.Subsequently, the substrate is individually cut by using a router to peel off the substrate so that the substrate is separated into two upper and lower portions based on the intermediate insulating layer 10a of the carrier 10 as shown in FIG. That is, referring to FIG. 1O, the substrate is separated into two substrates.

도1p를 참조하면, 종래 기술은 알칼리 에칭을 진행하여 캐리어 동박(10b, 10c)을 벗겨내고, 캐리어 동박이 벗겨진 기판 표면에 선정된 회로 패턴에 따라 선택적으로 솔더 레지스트(PSR; 65)를 제2차로 도포한다(도1q). Referring to FIG. 1P, the prior art performs an alkali etching to peel off the carrier copper foils 10b and 10c, and selectively applies a solder resist (PSR) 65 to the second circuit pattern on the surface of the substrate from which the carrier copper foil is peeled off. Apply with tea (Fig. 1q).

그런데, 도1a 내지 도1q에 도시한 종래 기술에 따라 인쇄회로기판을 형성한 경우 기판 표면에 형성된 솔더 레지스트의 단차로 인하여 표면 평탄도가 좋지 않기 때문에 다이 본딩 시에 문제가 발생할 수 있다. However, when the printed circuit board is formed according to the prior art shown in FIGS. 1A to 1Q, problems may occur during die bonding since the surface flatness is not good due to the step difference of the solder resist formed on the substrate surface.

또한, 종래기술의 경우 솔더 레지스트 도포를 위하여 솔더 레지스트 잉크를 도포하고, 세미 큐어(semi cure) 절차, 노광, 현상 및 포스트 큐어(post cure) 절차를 진행하여야 하므로 솔더 레지스트 형성을 위하여 소요되는 총 공정 시간이 큰 단점이 있다. 더욱이, 종래 기술은 상기 솔더레지스트 도포 공정을 2회(도1m 및 도1q)나 진행하여야 한다. 그 결과, 코어리스 기판 제조 시간과 비용이 상승하는 문제점이 있다.In addition, in the prior art, a solder resist ink is applied to apply a solder resist, and a semi cure procedure, exposure, development, and post cure procedure must be performed. This is a big disadvantage. Moreover, the prior art requires that the solder resist application process be performed twice (Figs. 1M and 1Q). As a result, there is a problem that coreless substrate manufacturing time and cost increase.

따라서, 본 발명의 제1 목적은 평탄도가 양호한 솔더 레지스트를 구비한 코어 리스 인쇄회로기판 제조 공법을 제공하는 데 있다.Accordingly, it is a first object of the present invention to provide a coreless printed circuit board manufacturing method having a solder resist having good flatness.

본 발명의 제2 목적은 상기 제1 목적에 부가하여, 솔더 레지스트 형성을 간단하고 저비용으로 진행할 수 있는 코어 리스 인쇄회로기판 제조 공법을 제공하는데 있다.A second object of the present invention is to provide a method for manufacturing a coreless printed circuit board in which solder resist formation can be performed simply and at low cost, in addition to the first object.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 노광 방식의 필름 타입 솔더 레지스트를 도포하며, 패드 형성을 위하여 고비용의 레이저 가공 대신에 플라즈마 가공을 진행하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the present invention is characterized by applying a film type solder resist of the exposure method, and to perform a plasma processing instead of expensive laser processing to form a pad.

본 발명은 종래 기술과 달리 솔더 레지스트의 두께를 얇게 할 수 있으므로 패드 형성을 위하여 레이저 가공을 하는 대신에 플라즈마 가공을 수행할 수 있으므로 가공 시간을 절약하고 그 결과 공정 비용을 절감할 수 있다. 또한, 필름 타입의 솔더 레지스트는 에폭시 타입의 솔더 레지스트에 비하여 평탄도가 양호하므로 다이 본딩 작업 시에 불량을 최소화할 수 있다. 또한, 본 발명은 코어 리스 공정 최초 적용 시에 동박을 포함하여 적층하므로 솔더 레지스트 필름에 도금을 할 수 있는 장점이 있다.In the present invention, since the thickness of the solder resist can be reduced, unlike the prior art, plasma processing can be performed instead of laser processing for pad formation, thereby saving processing time and consequently reducing processing costs. In addition, since the film type solder resist has better flatness than the epoxy type solder resist, defects can be minimized during die bonding. In addition, the present invention has the advantage that can be plated on the solder resist film because the laminate including the copper foil at the time of the first application of the coreless process.

도1a 내지 도1q는 종래 기술에 따른 코어리스 기판을 제작하는 공정 순서를 개략적으로 나타낸 도면.1A to 1Q schematically show a process sequence for manufacturing a coreless substrate according to the prior art.

도2a 내지 도2v는 본 발명의 양호한 실시예에 따라 코어리스 인쇄회로기판을 제작하는 공법을 나타낸 도면.2A-2V illustrate a method of fabricating a coreless printed circuit board in accordance with a preferred embodiment of the present invention.

도3은 본 발명의 양호한 실시예에 따라 플라즈마 에칭을 수행한 후의 동박 표면 및 Ni/Au 도금을 수행한 후의 단면을 나타낸 도면.Figure 3 shows a copper foil surface after plasma etching and a cross section after performing Ni / Au plating according to a preferred embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 캐리어              10: carrier

20, 49 : 절연층          20, 49: insulation layer

30, 52,141 : 개구부      30, 52,141: opening

35, 130, 174 : 금도금 층    35, 130, 174: gold plated layer

36, 131, 173 : 니켈 층    36, 131, 173: nickel layer

40, 53, 135 : 화학동     40, 53, 135: chemical copper

42, 55, 120, 136 : 드라이 필름42, 55, 120, 136: dry film

110 : 필름 타입 솔더 레지스트             110: film type solder resist

본 발명은 캐리어를 코어로 하여 상기 캐리어 양 표면에 도전층과 절연층의 적층 구조물을 제작한 후, 상기 적층 구조물로부터 상기 캐리어를 분리하여 제거하는 코어 리스 인쇄회로기판을 제조하는 방법에 있어서, (a) 캐리어 상하 표면 위에 필름 타입의 솔더 레지스트를 형성하고, 그 위에 동박을 형성하는 단계; (b) 상기 필름 타입의 솔더 레지스트의 동박 층을 소정의 회로 패턴에 따라 표면에 패턴 형성된 드라이 필름 층을 마스크로 하여 선택 식각함으로써, 상기 솔더 레지스트 층을 선택적으로 노출하고, 상기 패턴 형성된 드라이 필름 마스크 하에 노출된 솔더 레지스트 층을 식각함으로써 캐리어 표면을 선택적으로 노출하고, 노출된 캐리어 표면에 금/니켈 도금층을 형성하는 단계; (c) 상기 패턴 형성된 드라이 필름을 박리 제거하고 기판 표면 전체에 대해 화학 동도금을 실시하여 표면에 동박을 형성하는 단계; (d) 상기 기판 표면의 동박 위에 소정의 회로 패턴에 따라 드라이 필름을 패턴 형성하고, 상기 패턴 형성된 드라이 필름을 마스크로 하여 동도금을 실시하여 마스크에 대해 노출된 화학동 위에만 구리를 충진하여 평탄한 동박층을 형성한 후 상기 드라이 필름을 박리 제거하고 플래시 에칭을 함으로써 상기 드라이 필름이 선택적으로 형성되어 있던 위치의 솔더 레지스트를 노출함으로써 패드를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 기판을 라우터로 절단하여 상기 기판으로부터 캐리어를 필오프 분리하여 상하 두 개의 기판으로 분리하고, 알칼리 에칭을 수행하여 상기 캐리어 동박을 상기 두 개의 기판으로부터 박리 제거하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법을 제공한다.The present invention provides a method for manufacturing a coreless printed circuit board which separates and removes a carrier from the laminated structure after fabricating a laminated structure of a conductive layer and an insulating layer on both surfaces of the carrier using a carrier as a core. a) forming a film type solder resist on the carrier upper and lower surfaces, and forming copper foil thereon; (b) selectively etching the copper foil layer of the film type solder resist using a dry film layer patterned on the surface according to a predetermined circuit pattern as a mask, thereby selectively exposing the solder resist layer, and forming the patterned dry film mask. Selectively exposing the carrier surface by etching the exposed solder resist layer, and forming a gold / nickel plating layer on the exposed carrier surface; (c) peeling off the patterned dry film and performing chemical copper plating on the entire surface of the substrate to form copper foil on the surface; (d) Dry film is patterned according to a predetermined circuit pattern on the copper foil on the surface of the substrate, and copper plating is performed using the patterned dry film as a mask to fill copper only on the chemical copper exposed to the mask to form a flat copper foil. Forming a pad by exposing the solder resist at a position where the dry film was selectively formed by peeling and removing the dry film and flash etching after forming a layer; And (e) cutting the substrate with a router to separate the carrier from the substrate by peeling off the carrier, separating the carrier into two upper and lower substrates, and performing an alkali etching to peel off and remove the carrier copper foil from the two substrates. Provided is a circuit board manufacturing method.

본 발명의 양호한 실시예로서, 상기 단계(d)에 후속하여 상기 기판의 표면에 절연층과 동박을 적층 라미네이트하고 소정의 회로 패턴에 따라 식각 및 도금 공정을 반복하여 적층 구조물을 형성하는 단계를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 적층 구조물을 형성하는 단계는 (d-a) 상기 기판 표면에 절연층과 동박을 적층 라미네이트하고, 상기 절연층과 동박을 소정의 회로 패턴에 따라 선택적으로 식각 개구하여 상기 솔더 레지스트 하부의 동박층 표면이 노출되도록 하고 화학동을 실시하여 표면 동박과 내층 동박층이 서로 접속되도록 하는 단계; (d-b) 상기 기판 표면의 동박 위에 소정의 회로 패턴에 따라 드라이 필름을 패턴 형성하고, 상기 패턴 형성된 드라이 필름을 마스크로 하여 동도금을 실시하여 마스크에 대해 노출된 화학동 위에만 구리를 충진하여 평탄한 동박층을 형성한 후 상기 드라이 필름을 박리 제거하고 플래시 에칭을 함으로써 상기 드라이 필름이 선택적으로 형성되어 있던 위치의 화학동을 식각 제거하는 단계; 및 (d-c) 상기 기판 표면에 솔더 레지스트를 선택적으로 형성하고 노출된 동박 표면에 니켈/금 도금층을 형성하여 패드를 형성하는 단계를 포함할 수 있다. In a preferred embodiment of the present invention, subsequent to the step (d), further comprising the step of laminating an insulating layer and a copper foil on the surface of the substrate and repeating the etching and plating process according to a predetermined circuit pattern to form a laminated structure. It provides a printed circuit board manufacturing method comprising the. The forming of the laminate structure of the present invention may include: (da) laminating an insulating layer and a copper foil on the substrate surface, and selectively etching opening the insulating layer and the copper foil according to a predetermined circuit pattern to form a copper foil layer under the solder resist. Allowing the surface to be exposed and performing chemical copper so that the surface copper foil and the inner layer copper foil layer are connected to each other; (db) A flat copper foil is formed by patterning a dry film on a copper foil on the surface of the substrate according to a predetermined circuit pattern and copper plating using the patterned dry film as a mask to fill copper only on the chemical copper exposed to the mask. Etching away the chemical copper at the position where the dry film was selectively formed by peeling and removing the dry film and flash etching after forming a layer; And (d-c) forming a pad by selectively forming a solder resist on the substrate surface and forming a nickel / gold plating layer on the exposed copper foil surface.

이하에서는, 첨부 도면 도2 및 도3을 참조하여 본 발명의 양호한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings Figures 2 and 3 will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도2a를 참조하면, 우선 동박(10b, 10c)이 절연층(10a) 양면에 피복되어 있는 캐리어(10)에서 시작한다. 도2b를 참조하면, 캐리어(10) 양면 표면 전체에 대해 필름 타입 솔더 레지스트(SR; 110)와 동박(111)을 적층한다. 즉, 캐리어 동박(10b, 10c) 표면에 솔더 레지스트(110)와 동박(111)을 피복 형성한다. 여기서, 필름 타입의 솔더 레지스트(110) 위에 형성하는 동박(111)은 동박 포일을 적층하거나 또는 도금 방식으로 형성할 수 있다. Referring to FIG. 2A, first, the copper foils 10b and 10c start with the carrier 10 coated on both surfaces of the insulating layer 10a. Referring to FIG. 2B, a film type solder resist (SR) 110 and a copper foil 111 are laminated on the entire surface of the carrier 10 both surfaces. That is, the soldering resist 110 and the copper foil 111 are coat | covered and formed on the surface of carrier copper foil 10b, 10c. Here, the copper foil 111 formed on the film-type soldering resist 110 may be formed by laminating or plating a copper foil foil.

이어서, 드라이 필름(D/F; 120)을 표면에 밀착하고 선정된 회로 패턴에 따라 노광/현상/식각 공정을 진행하여 드라이 필름 패턴(120)을 형성한다. 도2d를 참조하면, 패턴 형성된 드라이 필름 패턴(120)이 노출하고 부위에 대해 플라즈마 식각을 진행하여, 노출된 동박(111)과 이하 솔더 레지스트 층(110)를 선택적으로 식각한다. 이때에, 본 발명의 경우 솔더 레지스트(110) 층의 두께가 얇으므로 레이저 드릴링 대신에 값싼 플라즈마 식각 공정을 진행할 수 있다. 물론, 플라즈마 식각 대신에 레이저 가공을 진행할 수 있다. Subsequently, the dry film (D / F) 120 is brought into close contact with the surface and the exposure / developing / etching process is performed according to the selected circuit pattern to form the dry film pattern 120. Referring to FIG. 2D, the patterned dry film pattern 120 is exposed and plasma etching is performed on the portion, thereby selectively etching the exposed copper foil 111 and the solder resist layer 110 below. At this time, in the case of the present invention, since the thickness of the solder resist 110 layer is thin, a cheap plasma etching process may be performed instead of laser drilling. Of course, laser processing may be performed instead of plasma etching.

이어서, 도2e를 참조하면 금 도금과 니켈 도금을 실시하여 Au 층(130)과 Ni 층(131)을 형성한다. 도2f를 참조하면, 패드 동박 표면 위에 Ni/Au 층을 선택적으로 도금하기 위하여 사용하였던 드라이 필름 패턴(120)을 박리 제거한다. 도2g를 참조하면, 기판 전면에 대하여 화학동(135)을 도금하여 도포한다. Next, referring to FIG. 2E, the Au layer 130 and the Ni layer 131 are formed by performing gold plating and nickel plating. Referring to FIG. 2F, the dry film pattern 120 used to selectively plate the Ni / Au layer on the pad copper foil surface is peeled off. Referring to Figure 2g, the chemical copper 135 is plated and applied to the entire surface of the substrate.

도2h를 참조하면, 기판 전면에 드라이 필름(D/F; 136)을 밀착하고 미리 정해진 회로 패턴에 따라 드라이 필름을 사진/현상/식각하여 드라이 필름을 패턴 형성한다. 이어서, 전기 동 도금을 실시하면 패턴 형성된 드라이 필름(136)이 마스크 하지 않고 노출하고 있는 표면에 대해 동박(137)이 채워지면서 형성된다(도2i 참조).Referring to FIG. 2H, the dry film (D / F) 136 is brought into close contact with the entire surface of the substrate, and the dry film is patterned by photographing / developing / etching the dry film according to a predetermined circuit pattern. Subsequently, when copper plating is performed, the patterned dry film 136 is formed while the copper foil 137 is filled on the surface exposed without masking (see FIG. 2I).

그리고 나면, 사용하였던 드라이 필름(136)은 박리 제거하고(도2j), 도2k에서와 같이 플래시 에칭을 실시하여 표면 동박을 약간 식각 제거한다. 그 결과, 도2k에 도시된 바와 같이, 드라이 필름 박리에 의해 노출된 화학동과 그 아래 면의 동박은 플래시 에칭으로 인하여 제거되어 솔더 레지스트가 노출되게 된다.Then, the dry film 136 used is peeled off (FIG. 2J), and flash etching is performed as shown in FIG. 2K to slightly etch away the surface copper foil. As a result, as shown in Fig. 2K, the chemical copper exposed by dry film peeling and the copper foil on the bottom thereof are removed due to flash etching to expose the solder resist.

이어서, 레진 계열의 절연층(138)과 동박(140)을 적층하여 라미네이트 하고(도2l), 레이저 드릴 공정을 진행하여 개구부(141)을 형성한다(도2m). 그리고 나면, 도2m의 단계에서 개구부(141)에 의해 노출된 내층 동박과 상부 표면 동박이 서로 전기적으로 연결되도록 표면 전면에 대해 화학동을 실시하여 동도금층(149)을 형성한다. Subsequently, the resin-based insulating layer 138 and the copper foil 140 are laminated and laminated (FIG. 2L), and the laser drill process is performed to form the openings 141 (FIG. 2M). Then, the copper plating layer 149 is formed by performing chemical copper on the entire surface of the inner surface copper foil and the upper surface copper foil exposed by the opening 141 in the step of FIG. 2M.

도2o를 참조하면, 드라이 필름을 밀착하고 선정된 회로에 따라 드라이 필름을 사진/현상/식각하여 드라이 필름 패턴(150)을 형성한다. 이어서, 전기 동도금을 실시하여 노출된 도전층 위에 동을 채워 넣어 동박층(160)을 형성하고(도2p), 드라이 필름(150)을 박리 제거하면 도2q와 같은 단면을 이루게 된다. 이어서, 플래시 에칭을 실시하면 드라이 필름이 박리되어 노출된 부위의 화학동이 제거된다(도2r 참조). Referring to FIG. 2O, the dry film is closely adhered to each other and the dry film is photographed / developed / etched according to the selected circuit to form the dry film pattern 150. Subsequently, the copper foil layer 160 is filled with copper on the exposed conductive layer to form copper foil layer 160 (FIG. 2P), and the dry film 150 is peeled off to form a cross section as illustrated in FIG. 2Q. Subsequently, when flash etching is carried out, the dry film is peeled off to remove the chemical copper of the exposed portion (see Fig. 2R).

도2s를 참조하면, 플래시 에칭을 수행한 기판에 대해 솔더 레지스트(170)와 동박(172)를 적층한다. 본 발명의 양호한 실시예로서, 솔더 레지스트(170)는 PSR을 사용하거나 필름 타입의 SR을 사용할 수 있다.Referring to FIG. 2S, the solder resist 170 and the copper foil 172 are laminated on the substrate on which the flash etching is performed. As a preferred embodiment of the present invention, the solder resist 170 may use PSR or film type SR.

이어서, Ni/Au 도금을 실시하여 니켈 층(173)과 금 도금층(174)를 형성한다. 그리고 나면, 최종적으로 라우터를 이용하여 기판을 절단함으로써 캐리어를 기판으로부터 벗겨내어 분리한다(도2u). 그리고 나서, 알칼리 에칭을 하여 캐리어를 구성하였던 동박을 벗겨 낸다(도2v). Subsequently, Ni / Au plating is performed to form the nickel layer 173 and the gold plating layer 174. Then, the carrier is finally peeled off from the substrate by separating the substrate using a router (Fig. 2u). Then, the copper foil that constituted the carrier is peeled off by alkali etching (Fig. 2V).

도3은 본 발명의 양호한 실시예에 따라 플라즈마 에칭을 수행한 후의 동박 표면 및 Ni/Au 도금을 수행한 후의 단면을 나타낸 도면이다. 도3을 참조하면, 패드 형성을 위하여 개구부에 대해서 플라즈마 에칭을 수행한 후의 표면 거칠기가 비교적 균일한 것을 알 수 있다.3 is a view showing a copper foil surface after performing plasma etching and a cross section after performing Ni / Au plating according to a preferred embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, it can be seen that the surface roughness after performing plasma etching on the openings to form the pads is relatively uniform.

전술한 내용은 후술할 발명의 특허 청구 범위를 더욱 잘 이해할 수 있도록 본 발명의 특징과 기술적 장점을 다소 폭넓게 개선하였다. 본 발명의 특허 청구 범위를 구성하는 부가적인 특징과 장점들이 이하에서 상술될 것이다. 개시된 본 발명의 개념과 특정 실시예는 본 발명과 유사 목적을 수행하기 위한 다른 구조의 설계나 수정의 기본으로서 즉시 사용될 수 있음이 당해 기술 분야의 숙련된 사람들에 의해 인식되어야 한다. The foregoing has somewhat broadly improved the features and technical advantages of the present invention to better understand the claims that follow. Additional features and advantages that make up the claims of the present invention will be described below. It should be appreciated by those skilled in the art that the conception and specific embodiments of the invention disclosed may be readily used as a basis for designing or modifying other structures for carrying out similar purposes to the invention.

또한, 본 발명에서 개시된 발명 개념과 실시예가 본 발명의 동일 목적을 수행하기 위하여 다른 구조로 수정하거나 설계하기 위한 기초로서 당해 기술 분야의 숙련된 사람들에 의해 사용될 수 있을 것이다. 또한, 당해 기술 분야의 숙련된 사람에 의한 그와 같은 수정 또는 변경된 등가 구조는 특허 청구 범위에서 기술한 발명의 사상이나 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 진화, 치환 및 변경이 가능하다. In addition, the inventive concepts and embodiments disclosed herein may be used by those skilled in the art as a basis for modifying or designing other structures for carrying out the same purposes of the present invention. In addition, such modifications or altered equivalent structures by those skilled in the art may be variously evolved, substituted and changed without departing from the spirit or scope of the invention described in the claims.

본 발명은 표면에 평탄도가 양호하지 않은 잉크 타입의 솔더 레지스트 대신에 필름 타입의 솔더 레지스트를 사용하므로 다이 본딩 시에 표면의 높낮이로 인한 본딩시 겪는 문제를 해결한다. 또한, 본 발명은 잉크 타입의 솔더 레지스트를 적용하는 경우 필수적으로 진행하여야 하는 잉크 도포 → 세미 큐어 → 노광 → 현상 → 포스트 큐어 과정을 생략할 수 있으므로 공정 시간 및 비용을 절감할 수 있게 된다.The present invention solves the problem encountered in bonding due to the height of the surface during die bonding since the film type solder resist is used instead of the ink type solder resist having poor flatness on the surface. In addition, the present invention can omit the process of ink application → semi-cure → exposure → development → post cure which is essential when applying an ink type solder resist, thereby reducing process time and cost.

Claims (7)

캐리어를 코어로 하여 상기 캐리어 양 표면에 도전층과 절연층의 적층 구조물을 제작한 후, 상기 적층 구조물로부터 상기 캐리어를 분리하여 제거하는 코어 리스 인쇄회로기판을 제조하는 방법에 있어서,In the method of manufacturing a coreless printed circuit board for manufacturing a laminated structure of a conductive layer and an insulating layer on both surfaces of the carrier after the carrier as a core, the carrier is separated and removed from the laminated structure, (a) 캐리어 상하 표면 위에 필름 타입의 솔더 레지스트를 형성하고, 그 위에 동박을 형성하는 단계;(a) forming a film type solder resist on the upper and lower surfaces of the carrier and forming a copper foil thereon; (b) 상기 필름 타입의 솔더 레지스트의 동박 층을 소정의 회로 패턴에 따라 표면에 패턴 형성된 드라이 필름 층을 마스크로 하여 선택 식각함으로써, 상기 솔더 레지스트 층을 선택적으로 노출하고, 상기 패턴 형성된 드라이 필름 마스크 하에 노출된 솔더 레지스트 층을 식각함으로써 캐리어 표면을 선택적으로 노출하고, 노출된 캐리어 표면에 금/니켈 도금층을 형성하는 단계;(b) selectively etching the copper foil layer of the film type solder resist using a dry film layer patterned on the surface according to a predetermined circuit pattern as a mask, thereby selectively exposing the solder resist layer, and forming the patterned dry film mask. Selectively exposing the carrier surface by etching the exposed solder resist layer, and forming a gold / nickel plating layer on the exposed carrier surface; (c) 상기 패턴 형성된 드라이 필름을 박리 제거하고 기판 표면 전체에 대해 화학 동도금을 실시하여 표면에 동박을 형성하는 단계; (c) peeling off the patterned dry film and performing chemical copper plating on the entire surface of the substrate to form copper foil on the surface; (d) 상기 기판 표면의 동박 위에 소정의 회로 패턴에 따라 드라이 필름을 패턴 형성하고, 상기 패턴 형성된 드라이 필름을 마스크로 하여 동도금을 실시하여 마스크에 대해 노출된 화학동 위에만 구리를 충진하여 평탄한 동박층을 형성한 후 상기 드라이 필름을 박리 제거하고 플래시 에칭을 함으로써 상기 드라이 필름이 선택적으로 형성되어 있던 위치의 솔더 레지스트를 노출함으로써 패드를 형성하는 단계; 및(d) Dry film is patterned according to a predetermined circuit pattern on the copper foil on the surface of the substrate, and copper plating is performed using the patterned dry film as a mask to fill copper only on the chemical copper exposed to the mask to form a flat copper foil. Forming a pad by exposing the solder resist at a position where the dry film was selectively formed by peeling and removing the dry film and flash etching after forming a layer; And (e) 상기 기판을 라우터로 절단하여 상기 기판으로부터 캐리어를 필오프 분리하여 상하 두 개의 기판으로 분리하고, 알칼리 에칭을 수행하여 상기 캐리어 동박을 상기 두 개의 기판으로부터 박리 제거하는 단계(e) cutting the substrate with a router to separate the carrier from the substrate by peeling off and separating the carrier into two substrates, and performing alkali etching to peel and remove the carrier copper foil from the two substrates. 를 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.Printed circuit board manufacturing method comprising a. 제1항에 있어서, 상기 단계(a)의 필름 타입의 솔더 레지스트 위에 형성하는 동박은 솔더 레지스트 위에 동도금을 수행하여 형성하거나 또는 동박을 적층하여 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조 방법.The method of claim 1, wherein the copper foil formed on the film type solder resist of step (a) is formed by performing copper plating on the solder resist or by laminating copper foil. 제1항에 있어서, 상기 단계(d)에 후속하여The method of claim 1, subsequent to step (d). 상기 기판의 표면에 절연층과 동박을 적층 라미네이트하고 소정의 회로 패턴에 따라 식각 및 도금 공정을 반복하여 적층 구조물을 형성하는 단계;Laminating an insulating layer and copper foil on the surface of the substrate, and repeating etching and plating processes according to a predetermined circuit pattern to form a laminated structure; 를 더 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.Printed circuit board manufacturing method further comprising. 제3항에 있어서, 상기 적층 구조물을 형성하는 단계는The method of claim 3, wherein forming the laminate structure (d-a) 상기 기판 표면에 절연층과 동박을 적층 라미네이트하고, 상기 절연층과 동박을 소정의 회로 패턴에 따라 선택적으로 식각 개구하여 상기 솔더 레지스트 하부의 동박층 표면이 노출되도록 하고 화학동을 실시하여 표면 동박과 내층 동박층이 서로 접속되도록 하는 단계;(d) laminating an insulating layer and copper foil on the substrate surface, selectively etching opening the insulating layer and copper foil according to a predetermined circuit pattern to expose the surface of the copper foil layer under the solder resist, and performing chemical copper Allowing the surface copper foil and the inner layer copper foil layer to be connected to each other; (d-b) 상기 기판 표면의 동박 위에 소정의 회로 패턴에 따라 드라이 필름을 패턴 형성하고, 상기 패턴 형성된 드라이 필름을 마스크로 하여 동도금을 실시하여 마스크에 대해 노출된 화학동 위에만 구리를 충진하여 평탄한 동박층을 형성한 후 상기 드라이 필름을 박리 제거하고 플래시 에칭을 함으로써 상기 드라이 필름이 선택적으로 형성되어 있던 위치의 화학동을 식각 제거하는 단계; 및(db) A flat copper foil is formed by patterning a dry film on a copper foil on the surface of the substrate according to a predetermined circuit pattern and copper plating using the patterned dry film as a mask to fill copper only on the chemical copper exposed to the mask. Etching away the chemical copper at the position where the dry film was selectively formed by peeling and removing the dry film and flash etching after forming a layer; And (d-c) 상기 기판 표면에 솔더 레지스트를 선택적으로 형성하고 노출된 동박 표면에 니켈/금 도금층을 형성하여 패드를 형성하는 단계(d-c) forming a pad by selectively forming a solder resist on the substrate surface and forming a nickel / gold plating layer on the exposed copper foil surface; 를 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.Printed circuit board manufacturing method comprising a. 제1항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 캐리어는 중앙에 절연층과, 상기 절연층 양면에 동박이 피복된 동박/절연층/동박 구조인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조 방법. The method of manufacturing a printed circuit board according to any one of claims 1 to 4, wherein the carrier has an insulating layer in the center and a copper foil / insulating layer / copper structure in which copper foil is coated on both surfaces of the insulating layer. 제4항에 있어서, 상기 단계 (d-c) 단계의 솔더 레지스트를 선택적으로 형성하는 과정은 필름 타입의 솔더 레지스트를 적층하고 동박을 박리하거나 또는 PSR을 선택적으로 도포하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조 방법.The method of claim 4, wherein the step of selectively forming the solder resist of the step (dc) comprises laminating a film type solder resist and peeling copper foil or selectively applying PSR. . 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 인쇄회로기판 제조 방법에 따라 제조된 패키지 기판.A package substrate manufactured according to the printed circuit board manufacturing method according to any one of claims 1 to 4.
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KR101021344B1 (en) * 2009-10-19 2011-03-14 (주)인터플렉스 Method of manufacturing flexible printed circuit board
KR101109216B1 (en) * 2010-03-03 2012-01-30 삼성전기주식회사 A method of manufacturing a printed circuit board
CN111465208A (en) * 2020-03-24 2020-07-28 惠州市金百泽电路科技有限公司 Method for realizing high-precision convex copper plating

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