KR20090089123A - 연마 헤드 - Google Patents

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KR20090089123A
KR20090089123A KR1020080014506A KR20080014506A KR20090089123A KR 20090089123 A KR20090089123 A KR 20090089123A KR 1020080014506 A KR1020080014506 A KR 1020080014506A KR 20080014506 A KR20080014506 A KR 20080014506A KR 20090089123 A KR20090089123 A KR 20090089123A
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권기만
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삼정엔지니어링 (주)
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Abstract

본 발명은 대형 유리기판을 연마하는 경우에도 연마헤드를 적게 회전시키면서도 균일한 평면조도를 가지는 대면적 유리기판을 연마할 수 있는 연마헤드를 제공하기 위해, 연마헤드를 자전시키기 위한 자전구동모터(102)에 의해 회전하는 고정축(103)과, 상기 고정축(103)에 의해 회전되도록 연결된 자전 캐리어(126)와, 상기 자전 캐리어(126)의 회전에 따라 회전되는 자전축(130)과, 상기 자전축(130)에 편심되도록 연결되어 자전축(130)의 회전에 따라 편심구동되는 요동축(140)과, 상기 고정축(103)에 동축으로 이 고정축(103)과는 별개로 회전가능하게 형성되는 편심 캐리어(105)와, 상기 고정축(103) 및 편심 캐리어(105)에 동축으로 연결되어 공전 구동모터(111)에 의해 공전하는 공전체(110)와, 상기 공전체(110)의 둘레부에 상측이 공전체(110)와 별개로 회전가능하게 삽입 고정되고 하측이 자전 캐리어(126)의 중심에 별개로 회전가능하게 삽입고정됨으로써 공전체(110)의 공전에 따라 자전 캐리어(126)를 함께 공전시키는 회전축(120)과, 상기 회전축(120)의 상측에서 이 회전축(102)의 중심과 편심되어 돌출 형성된 편심 돌출부(122)를 일 단부에서 회전가능하게 수용하며 상기 편심 캐리어(105)의 상측에서 외측으로 돌출되도록 형성된 캠부(105a)를 타 단부에서 회전능하게 수용하는 연결 로드(124)를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

연마 헤드{POLISHING HEAD}
본 발명은 대형 유리기판을 연마하기 위한 장치로서, 보다 구체적으로는 대형 유리기판을 평면연마하기 위한 연마헤드에 관한 것이다.
디스플레이장치에 사용되는 유리기판의 연마를 위해 종래에는 로터리 타입의 연마헤드가 사용되고 있었다.
로터리 타입의 연마헤드를 이용한 연마방식에서는 연마헤드에 연마포가 형성된 소형헤드가 형성되어 있고, 연마정반에는 캐리어에 장착되는 유리기판이 고정되어 있다.
유리기판을 연마하기 위해서는 연마헤드를 유리기판의 상면에 가압하여 압착시킨 다음 연마헤드가 회전하는 동시에 연마정반도 회전함으로써 양자가 서로 상대적으로 회전하면서 연마작업을 수행하게 된다.
그런데, 디스플레이장치가 대형화됨에 따라 대면적의 유리기판을 이러한 연마방식을 이용하여 연마하는 경우에는, 소형의 연마헤드가 유리기판의 일부면적만을 가압하면서 공전운동을 통해 이동하므로 연마된 유리기판의 두께가 불균일하게 되며 평면조도를 맞추기가 곤란한 문제점이 발생하게 된다.
또한, 대형화된 연마정반을 회전시켜야 하므로 이에 따라 더 넓은 작업공간이 요구되어야 하는 문제가 존재하게 된다
본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위한 것으로서, 대형 유리기판을 연마하는 경우에도 연마헤드를 적게 회전시키면서도 균일한 평면조도를 가지는 대면적 유리기판을 연마할 수 있는 연마헤드를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
본 발명은 전술한 과제를 달성하기 위해, 연마헤드를 자전시키기 위한 자전구동모터(102)에 의해 회전하는 고정축(103)과, 상기 고정축(103)에 의해 회전되도록 연결된 자전 캐리어(126)와, 상기 자전 캐리어(126)의 회전에 따라 회전되는 자전축(130)과, 상기 자전축(130)에 대해 편심되도록 연결되어 자전축(130)의 회전에 따라 편심구동되는 요동축(140)과, 상기 고정축(103)에 동축으로 이 고정축(103)과는 별개로 회전가능하게 형성되는 편심 캐리어(105)와, 상기 고정축(103) 및 편심 캐리어(105)에 동축으로 연결되어 공전 구동모터(111)에 의해 공전하는 공전체(110)와, 상기 공전체(110)의 둘레부에 상측이 공전체(110)와 별개로 회전가능하게 삽입 고정되고 하측이 자전 캐리어(126)의 중심에 회전가능하게 삽입됨으로써 공전체(110)의 공전에 따라 자전 캐리어(126)를 함께 공전시키는 회전축(120)과, 상기 회전축(120)의 상측에서 이 회전축(102)의 중심과 편심되어 돌출 형성된 편심 돌출부(122)를 일 단부에서 회전가능하게 수용하며 상기 편심 캐리어(105)의 상측 에서 외측으로 돌출되도록 형성된 캠부(105a)를 타 단부에서 회전가능하게 수용하는 연결 로드(124)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 연마헤드에서, 상기 연결로드(124)는, 상기 편심 캐리어(105)의 캠부(105a)를 수용하기 위한 수용홈(124a)이 중앙에 형성된 제1수용부(124b)와, 상기 제1수용부(124b)에서 외측으로 연장되는 로드(124c)와, 상기 회전축(120)의 편심 돌출부(122)를 수용하기 위한 수용홈(124d)이 중앙에 형성되며 상기 로드(124c)의 단부에 형성된 제2수용부(124e)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 연마헤드에서, 연마헤드를 자전시키기 위한 자전구동모터(102)에 의해 회전하는 고정축(103)과, 상기 고정축(103)에 의해 회전되도록 연결된 자전 캐리어(126)와, 상기 자전 캐리어(126)의 회전에 따라 회전되는 자전축(130)과, 상기 자전축(130)에 대해 편심되도록 연결되어 자전축(130)의 회전에 따라 편심구동되는 요동축(140)과, 상기 고정축(103)에 동축으로 이 고정축(103)과는 별개로 회전가능하게 형성되는 편심 캐리어(105)와, 상기 편심 캐리어(105)를 중앙에서 회전가능하게 지지하는 동시에 공전 구동모터(111)에 의해 공전하는 공전체(110)와, 상기 공전체(110)의 둘레에서 상부(120a)가 공전체(110)와 별개로 회전가능하게 지지되고 하부(120a)가 자전 캐리어(126)의 중심에 회전가능하게 삽입됨으로써 공전체(110)의 공전에 따라 자전 캐리어(126)를 공전시키는 회전축(120)과, 상기 공전체(110)의 둘레에서 상부(120a)가 공전체(110)와 별개로 회전가능하게 지지되는 아이들 회전축(128)과, 상기 회전축(120) 및 아이들 회전축(128)의 상측에서 각각 회전축(120) 및 아이들 회전축(128)의 중심과 편심되어 돌출 형성된 편심 돌출 부(122,129)를 복수 개의 일 단부에서 회전가능하게 수용하며 상기 편심 캐리어(105)의 상측에서 외측으로 돌출되도록 형성된 캠부(105a)를 타 단부에서 회전능하게 수용하는 연결 로드(160)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 연마헤드에서, 상기 연결로드(160)는, 상기 편심 캐리어(105)의 캠부(105a)를 수용하기 위한 수용홈(160a)이 중앙에 형성된 제1수용부(160b)와, 상기 제1수용부(160b)를 중심으로 하여 방사방향으로 연장되며 등간격으로 서로 이격되도록 형성되는 복수 개의 로드(160c)와, 상기 회전축(120)의 편심 돌출부(122) 및 아이들 회전축(128)의 편심 돌출부(129)를 수용하기 위한 수용홈(160d)이 중앙에 형성되며 상기 복수 개의 각각의 로드(124c)의 단부에 형성되는 제2수용부(160e)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 연마헤드에서, 상기 자전 캐리어(126)는 원형 형상으로 형성되며, 중앙에는 회전축(120)의 하부가 삽입되어 지지되는 홀(126a)이 형성되고, 상기 자전 캐리어(126)의 둘레부 내측에는 자전축(130)에 형성된 기어(130a)가 내접하여 맞물리는 내측 기어(126b)가 형성되고, 상기 자전 캐리어의 둘레부 외측에는 공전구동모터(111)의 기어(111a)와 맞물리는 외측 기어(126c)가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 연마헤드에서, 상기 회전축(120)의 하부(120b)를 지지하는 홈 형상으로 형성된 회전축 수용부(151)가 중앙에 형성되고 양 단부에 자전축(130)을 회전가능하게 수용하는 관통홀 형상의 자전축 수용부(152)가 형성된 자전축 캐리어(150)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 연마헤드에서, 상기 공전체(110)는 원형형상이며 외측 둘레에는 공전구동모터(111)의 축에 형성된 기어(111a)와 맞물리는 기어(110a)가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 연마헤드에서, 상기 공전체(110)의 중앙에는 편심 캐리어(105)를 수용하기 위한 편심 캐리어 수용부(112)가 형성되고, 둘레에는 회전축(120)을 수용하기 위한 하나의 회전축 수용부(113) 또는 회전축(120) 및 아이들 회전축(128)를 수용하기 위한 복수 개의 회전축 수용부(113)가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 전술한 구성에 의해 연마헤드를 적게 회전시키면서도 넓은 면적의 유리기판의 연마가 가능하게 되어 단위시간당 수율이 획기적으로 향상하게 된다.
더욱이, 연마헤드의 공전궤적인 사각형의 유리기판의 사각형 모서리 부분도 용이하게 충분히 연마할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 대형 유리기판을 한번에 연마함으로써 종래의 로터리 타입에 비해 평편조도가 훨씬 개선되며 불량율이 저감되는 효과를 가지게 된다.
더욱이, 연마정반이 회전할 필요가 없게 되는 바, 대형 유리기판을 회전시킬 필요가 없게 되어 연마공간을 확장하지 않고 효율적으로 사용할 수 있게 된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 연마헤드의 일 실시예에 대해 설명한다. [제 1 실시예]
도 1 은 본 발명의 연마헤드가 설치된 연마장치를 도시하는 도면이다.
본 발명의 연마헤드가 설치된 연마장치는 연마정반(200), 연마정반(200)의 상측에 설치되는 연마헤드(100), 연마헤드(100)를 상하로 이송시키기 위한 수직이송장치(300)를 구비한다.
도 2 는 본 발명의 제1실시예의 연마헤드의 단면도이다. 도 3 은 본 발명의 제1실시예의 연마헤드의 분해 사시도이다. 도 4 은 본 발명의 제1실시예의 연결로드를 도시하는 도면이다.
본 발명의 연마헤드(100)는 대략 사각형상의 몸체(101)를 구비하며, 몸체(101)의 상측에는 자전구동모터(102)가 고정되고 자전구동모터(102)의 축단부에는 기어(102a)가 형성되어 있다.
몸체(101)의 중앙부에는 고정축(103)이 삽입되며, 고정축(103)의 상측에는 자전구동모터(102)의 기어(102a)와 맞물려 회전하는 고정축 상부 기어(103a)가 설치되어 있다.
고정축(103)의 외측에는 베어링(104a)에 의해 고정축(103)과 동축으로 지지되는 축형상의 편심 캐리어(105)가 설치된다. 편심 캐리어(105)의 상부에는 횡방향으로 돌출되도록 형성된 캠부(105a)가 마련되어 있다.
공전체(110)의 대략 원형형상이며 상부 원주 외측 둘레에는 기어(110a)가 형성되어 있으며, 이 기어(110a)가 회전하는 공전구동모터(111)의 축단부에 형성된 기어(111a)와 맞물림으로써 공전체(110)가 회전하게 된다.
공전체(110)의 중앙에는 베어링(104b)에 의해 이 편심 캐리어(105)를 회전가 능하게 수용하는 편심 캐리어 수용부(112)가 형성되고, 공전체(110)의 내측 둘레에는 회전축(120)을 수용하는 회전축 수용부(113)가 형성되어 있다.
회전축(120)은 공전체(110)의 회전축 수용부(113)에 회전가능하게 지지되는 상부(120a) 및 상부(120a)의 하측에 형성되며 자전 캐리어(126)를 삽입관통하여 자전축 캐리어(150)에 의해 지지되는 하부(120b)로 이루어진다.
회전축(120)의 상부 단부에는 회전축(120) 중심과 편심되는 위치에서 상방으로 돌출되는 편심 돌출부(122)가 형성되어 있다.
연결로드(124)는, 상기 편심 캐리어(105)의 캠부(105a)를 수용하기 위한 수용홈(124a)이 중앙에 형성된 제1수용부(124b)와, 상기 제1수용부(124b)에서 외측으로 연장되는 로드(124c)와, 상기 회전축(120)의 편심 돌출부(122)를 수용하기 위한 수용홈(124d)이 중앙에 형성되며 상기 로드(124c)의 단부에 형성된 제2수용부(124e)로 이루어진다.
한편, 자전 캐리어(126)는 대략 원판 형상으로 중앙에는 회전축(120)이 삽입되기 위한 원형 홀(126a)이 형성되어 있으며, 원형 둘레부 내측에는 원형 형상으로 배열된 내측 기어(126b)가 형성되고 원형 둘레부 외측에도 외측 기어(126c)가 형성되어 있다.
자전 캐리어(126)의 하측으로 설치되는 자전축 캐리어(150)는 바아 형상을 가지며 중앙에는 회전축(120)의 하부(120b)가 수용지지되도록 홈 형상으로 이루어지는 회전축 수용부(151)와, 양 단부에서 자전축(130)을 회전가능하게 지지하기 수용할 수 있도록 관통홀 형상으로 형성된 자전축 수용부(152)를 구비한다.
자전축(130)은 2개로 이루어지며 각 자전축(130)의 상부에는 내측 기어(126b)에 내접하면서 맞물리는 기어(130a)가 형성되어 있다.
한편, 각 자전축(130)의 하부 단부에는 자전축(130)의 중심에 대해 편심되도록 형성된 편심 링크(133)가 연결되어 있다.
각 편심 링크(133)의 단부에는 요동축(140)이 형성되어 있으며, 각각의 요동축(140)은 모두 베어링(141)에 의해 회전가능하게 요동 캐리어(142)에서 지지되며, 요동 캐리어(142)는 캔버스(C)에 고정되어 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 실시예의 작용에 대해 설명한다. 도 7 는 본 발명의 연마헤드가 자전하는 궤적을 도시하는 도면이다.
본 발명의 연마헤드(100)를 구비하는 연마장치에서는 먼저 유리기판(G)을 캔버스(C)에 점착시키는 공정을 수행한다.
다음으로, 수직 이송장치(300)를 이용하여 연마헤드(100)를 하측으로 이송시켜 연마를 위한 슬러리액이 도포된 연마정반(200)에 대해 가압시킨 다음, 연마헤드(100)를 회전구동시킨다.
자전구동모터(102)가 회전함에 따라 모터축 단부에 형성된 기어(102a)가 회전하고 이에 맞물린 고정축 상부 기어(103a)가 회전하여 고정축(103)이 회전하게 된다. 이때, 고정축(103)은 몸체(101)의 중앙에서 자전운동만 하게 된다.
고정축(103)의 회전에 따라 고정축 하부 기어(103b)가 회전하여 이에 맞물린 자전 캐리어(126)의 원주 외측에 형성된 외측 기어(126c)가 회전함으로써 자전 캐리어(126)가 자전하게 된다.
자전 캐리어(126)가 자전함에 따라 자전 캐리어(126)의 내측에 형성된 환형 형상의 내측 기어(126b)가 회전하게 되며, 이에 따라 내측 기어(126b)에 내접하는 자전축 기어(130a)가 형성된 자전축(130)이 회전축(120)을 중심으로 하여 내측 기어(126b)의 원형둘레를 따라 자전하면서 공전하게 되며 동시에 자전축(130)을 수용하는 자전축 캐리어(150)도 공전하게 된다.
한편, 각각의 자전축(130)에는 편심 링크(133)에 의해 요동축(140)이 자전축(130)의 중심과 편심되도록 연결되어 있으므로 요동축(140)이 자전축(130)을 중심으로 요동하면서 자전 및 공전하게 된다. 이에 따라 요동축(140)이 고정된 요동 캐리어(142) 및 요동 캐리어(142)가 고정된 캔버스(C)도 요동되면서 회전하고, 이러한 캔버스(C)의 운동 궤적 자전축 캐리어(150)의 공전각도에 따라 궤적으로 나타내면 도 7 에 도시된 바와 같다.
본 실시예에서는 이와 같이 편심 링크(133)에 의해 자전축(130)에 대해 편심되도록 형성된 요동축(140)에 의해 캔버스(C)가 요동되므로 자전축인 고정축(103)을 동일하게 회전시키더라도 더 넓은 면적을 균일하게 연마할 수 있는 작용을 하게 된다.
다음으로 본 실시예의 연마헤드의 공전작용에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 도 8 은 본 발명의 연마헤드가 자전하면서 공전하는 궤적을 도시하는 도면이다.
자전구동모터(102)를 구동시켜 연마헤드를 자전시키는 동시에 공전구동모터(111)를 구동시키게 되면 이 구동모터(111)의 축단부에 형성된 기어(111a)가 회 전함에 따라 이 기어(111a)와 맞물린 기어(110a)가 회전하여 공전체(110)가 회전하게 된다.
공전체(110)가 회전함에 따라 이 공전체(110)에 형성된 회전축 수용부(113)가 회전하고 이에 따라 회전축 수용부(113)의 내부에 회전축(120)이 베어링(131)에 의해 지지되어 회전축(120)이 고정축(103)을 중심으로 공전하게 된다.
회전축(120)의 하부는 자전 캐리어(126)를 관통하여 자전축 캐리어(150)에 의해 지지되는 바, 회전축(120)의 공전에 따라 자전 캐리어(126) 및 자전축 캐리어(150)가 함께 공전하게 된다.
회전축(120)의 공전에 따라 회전축(120)의 하부에 지지되는 자전축 캐리어(150)가 공전함으로써, 궁극적으로 자전축(130)은 회전축(120)을 중심으로 자전 캐리어(126)의 내측 기어(126b)의 원형 둘레를 따라 자전 및 공전하면서 동시에 고정축(103)을 중심으로 공전하게 된다.
이 자전 캐리어(126)에 연결된 자전축(130), 이 자전축(130)에 연결된 편심 링크(133), 이 편심 링크(133)에 연결된 요동축(140)과 요동 캐리어(142)가 공전됨으로써, 유리기판(G)이 접착된 캔버스(C)도 회전축(120)을 중심으로 자전 캐리어(126)의 내측 기어(126b)의 원형 둘레를 따라 자전 및 공전하면서 동시에 고정축(103)을 중심으로 공전하게 된다.
이에 따라, 연결로드(124)도 함께 회전하게 되는 데, 연결 로드(124)의 일 단부는 편심 캐리어(105)에서 돌출되어 편심된 캠부(105a)에 연결되어 있고 연결로드(124)의 타 단부는 공전체(110)와는 별개로 회전가능한 회전축(120)에 대해 편심 되게 위치하는 편심돌출부(122)에 연결되어 있는 바, 이러한 양자의 작용에 의해 캔버스(C)는 도 8 에 도시된 바와 같이 요동하면서 공전하게 된다.
따라서, 본 실시예의 연마헤드는 사각형의 유리기판을 연마하는 경우에도 사각형의 모서리도 효과적으로 충분히 연마할 수 있게 된다.
[제 2 실시예]
다음으로, 본 발명의 제 2 실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 5 은 본 발명의 제 2 실시예의 연마헤드의 분해 사시도이다. 도 6 은 본 발명의 제 2 실시예의 연결로드를 도시하는 도면이다.
본 발명의 제 2 실시예는 회전축(120)이외에도 복수 개의 아이들 회전축(128)을 추가로 구비하며 이를 수용하기 위한 공전체(110) 및 연결로드(160)의 구성이 상이하게 되는 점만이 제 1 실시예와 다르며, 이하 상이한 부분에 대하여만 설명한다.
공전체(110)에 있어서 추가되는 복수 개의 아이들 회전축(128)을 수용하기 위해 회전축 수용부(113)를 이에 대응하도록 복수 개로 형성되며, 이 아이들 회전축(128)은 베어링(미도시)에 의해 회전가능하게 회전축 수용부(113)에 지지된다.
아이들 회전축(128)은 공전체(110)의 회전축 수용부(113)에 회전가능하게 지지되는 상부(128a)만으로 이루어진다는 점에서, 공전체(110)의 회전축 수용부(113)에 회전가능하게 지지되는 상부(120a) 및 상부(120a)의 하측에 형성되며 자전 캐리어(126)를 삽입관통하여 자전축 캐리어(150)에 의해 지지되는 하부(120b)로 이루어지는 회전축(120)과 구별된다.
아이들 회전축(128)의 상부 단부에도 회전축(120)의 경우와 마찬가지로 아이들 회전축(128)의 중심축과 편심되는 위치에서 상방으로 돌출되는 편심 돌출부( 129)가 형성되어 있다.
한편, 연결로드(160)는 상기 편심 캐리어(105)의 캠부(105a)를 수용하기 위한 수용홈(160a)이 중앙에 형성된 제1수용부(160b)와, 상기 제1수용부(160b)를 중심으로 하여 방사방향으로 연장되며 등간격으로 서로 이격되도록 형성되는 복수 개의 로드(160c)와, 상기 회전축(120)의 편심 돌출부(122) 및 아이들 회전축(128)의 편심 돌출부(129)를 수용하기 위한 수용홈(160d)이 중앙에 형성되며 상기 복수 개의 각각의 로드(160c)의 단부에 형성되는 제2수용부(160e)로 이루어진다.
제 2 실시예의 경우도 기본적인 작용 및 회전궤적의 발생작용은 제 1 실시예의 경우와 동일하다.
자전 캐리어(126) 및 자전축 캐리어(150)는 회전축(120)에 의해 공전되므로 회전축(120)이 수용된 회전축 수용부(113)에 설치되는 베어링(106)에 가장 큰 공전부하가 걸리게 된다. 제 2 실시예 경우 연결로드(160c)가 복수 개로 형성됨으로써 회전축(120)에 가해지는 공전부하가 공전체(110)에 수용된 복수 개의 아이들 회전축(128)에 의해 분담됨으로써 공전체(110)에서 회전축(120)을 수용하는 회전축 수용부(113)의 베어링(106)으로 공전부하가 분담되는 작용을 하게 된다.
따라서, 회전축(120)을 지지하는 베어링(106)에 가해지는 하중이 감소하여 베어링 손상이 방지되고 수명이 연장됨으로써 궁극적으로 연마헤드의 고장이 방지되며 제품의 신뢰성이 향상되는 작용을 하게 된다.
도 1 은 본 발명의 연마헤드가 설치된 연마장치를 도시하는 도면이다.
도 2 는 본 발명의 제1실시예의 연마헤드의 단면도이다.
도 3 은 본 발명의 제1실시예의 연마헤드의 분해 사시도이다.
도 4 은 본 발명의 제1실시예의 연결로드를 도시하는 도면이다.
도 5 은 본 발명의 제2실시예의 연마헤드의 분해 사시도이다.
도 6 은 본 발명의 제2실시예의 연결로드를 도시하는 도면이다.
도 7 는 본 발명의 연마헤드가 자전하는 궤적을 도시하는 도면이다.
도 8 은 본 발명의 연마헤드가 자전하면서 공전하는 궤적을 도시하는 도면이다.

Claims (8)

  1. 연마헤드를 자전시키기 위한 자전구동모터(102)에 의해 회전하는 고정축(103)과,
    상기 고정축(103)에 의해 회전되도록 연결된 자전 캐리어(126)와,
    상기 자전 캐리어(126)의 회전에 따라 회전되는 자전축(130)과,
    상기 자전축(130)에 대해 편심되도록 연결되어 자전축(130)의 회전에 따라 편심구동되는 요동축(140)과,
    상기 고정축(103)에 동축으로 이 고정축(103)과는 별개로 회전가능하게 형성되는 편심 캐리어(105)와,
    상기 고정축(103) 및 편심 캐리어(105)에 동축으로 연결되어 공전 구동모터(111)에 의해 공전하는 공전체(110)와,
    상기 공전체(110)의 둘레부에 상측이 공전체(110)와 별개로 회전가능하게 삽입 고정되고 하측이 자전 캐리어(126)의 중심에 회전가능하게 삽입됨으로써 공전체(110)의 공전에 따라 자전 캐리어(126)를 함께 공전시키는 회전축(120)과,
    상기 회전축(120)의 상측에서 이 회전축(102)의 중심과 편심되어 돌출 형성된 편심 돌출부(122)를 일 단부에서 회전가능하게 수용하며 상기 편심 캐리어(105)의 상측에서 외측으로 돌출되도록 형성된 캠부(105a)를 타 단부에서 회전가능하게 수용하는 연결 로드(124)를 구비하는 것을 특징으로 하는 연마헤드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결로드(124)는,
    상기 편심 캐리어(105)의 캠부(105a)를 수용하기 위한 수용홈(124a)이 중앙에 형성된 제1수용부(124b)와,
    상기 제1수용부(124b)에서 외측으로 연장되는 로드(124c)와,
    상기 회전축(120)의 편심 돌출부(122)를 수용하기 위한 수용홈(124d)이 중앙에 형성되며 상기 로드(124c)의 단부에 형성된 제2수용부(124e)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마헤드.
  3. 연마헤드를 자전시키기 위한 자전구동모터(102)에 의해 회전하는 고정축(103)과,
    상기 고정축(103)에 의해 회전되도록 연결된 자전 캐리어(126)와,
    상기 자전 캐리어(126)의 회전에 따라 회전되는 자전축(130)과,
    상기 자전축(130)에 대해 편심되도록 연결되어 자전축(130)의 회전에 따라 편심구동되는 요동축(140)과,
    상기 고정축(103)에 동축으로 이 고정축(103)과는 별개로 회전가능하게 형성되는 편심 캐리어(105)와,
    상기 편심 캐리어(105)를 중앙에서 회전가능하게 지지하는 동시에 공전 구동모터(111)에 의해 공전하는 공전체(110)와,
    상기 공전체(110)의 둘레에서 상부(120a)가 공전체(110)와 별개로 회전가능 하게 지지되고 하부(120a)가 자전 캐리어(126)의 중심에 회전가능하게 삽입됨으로써 공전체(110)의 공전에 따라 자전 캐리어(126)를 공전시키는 회전축(120)과,
    상기 공전체(110)의 둘레에서 상부(120a)가 공전체(110)와 별개로 회전가능하게 지지되는 아이들 회전축(128)과,
    상기 회전축(120) 및 아이들 회전축(128)의 상측에서 각각 회전축(120) 및 아이들 회전축(128)의 중심과 편심되어 돌출 형성된 편심 돌출부(122,129)를 복수 개의 일 단부에서 회전가능하게 수용하며 상기 편심 캐리어(105)의 상측에서 외측으로 돌출되도록 형성된 캠부(105a)를 타 단부에서 회전능하게 수용하는 연결 로드(160)를 구비하는 것을 특징으로 하는 연마헤드.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 연결로드(160)는,
    상기 편심 캐리어(105)의 캠부(105a)를 수용하기 위한 수용홈(160a)이 중앙에 형성된 제1수용부(160b)와,
    상기 제1수용부(160b)를 중심으로 하여 방사방향으로 연장되며 등간격으로 서로 이격되도록 형성되는 복수 개의 로드(160c)와,
    상기 회전축(120)의 편심 돌출부(122) 및 아이들 회전축(128)의 편심 돌출부(129)를 수용하기 위한 수용홈(160d)이 중앙에 형성되며 상기 복수 개의 각각의 로드(124c)의 단부에 형성되는 제2수용부(160e)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 연마헤드.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 자전 캐리어(126)는 원형 형상으로 형성되며, 중앙에는 회전축(120)의 하부가 삽입되어 지지되는 홀(126a)이 형성되고,
    상기 자전 캐리어(126)의 둘레부 내측에는 자전축(130)에 형성된 기어(130a)가 내접하여 맞물리는 내측 기어(126b)가 형성되고,
    상기 자전 캐리어의 둘레부 외측에는 공전구동모터(111)의 기어(111a)와 맞물리는 외측 기어(126c)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연마헤드.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 회전축(120)의 하부(120b)를 지지하는 홈 형상으로 형성된 회전축 수용부(151)가 중앙에 형성되고 양 단부에 자전축(130)을 회전가능하게 수용하는 관통홀 형상의 자전축 수용부(152)가 형성된 자전축 캐리어(150)를 구비하는 것을 특징으로 하는 연마헤드.
  7. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공전체(110)는 원형형상이며 외측 둘레에는 공전구동모터(111)의 축에 형성된 기어(111a)와 맞물리는 기어(110a)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연마헤드.
  8. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공전체(110)의 중앙에는 편심 캐리어(105)를 수용하기 위한 편심 캐리어 수용부(112)가 형성되고, 둘레에는 회전축(120)을 수용하기 위한 하나의 회전축 수용부(113) 또는 회전축(120) 및 아이들 회전축(128)를 수용하기 위한 복수 개의 회전축 수용부(113)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 연마헤드.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102922420A (zh) * 2012-11-05 2013-02-13 北京理工大学 一种可调大偏心量公转箱体式气压施力数控抛光装置
KR20210041962A (ko) * 2019-10-08 2021-04-16 주식회사 신화콘텍 반도체 웨이퍼 재생장치

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