KR20090082964A

KR20090082964A - Scribing machine with pressure control by the weight of the wheel module itself

Info

Publication number: KR20090082964A
Application number: KR1020080008855A
Authority: KR
Inventors: 위해성; 한순수; 김종수; 이창환; 신용화; 김유순
Original assignee: 나노전광 주식회사
Priority date: 2008-01-29
Filing date: 2008-01-29
Publication date: 2009-08-03

Abstract

A pressure conditioning scribing apparatus by wheel module weight reducing the management cost is provided to form a vertical crack on the brittle material substrate by pressing static pressure to the wheel holder. A wheel(11) forms crack on a brittle material substrate. A wheel holder(12) supports the wheel. A wheel module(13) interposes the wheel holder. The wheel module presses the wheel to the fixed pressure by the weight in the substrate surface. A wheel module driving unit(15) moves the wheel module according to the side of the substrate surface. The wheel module moves the wheel in horizontal direction.

Description

Scribing Machine with pressure control by the weight of the wheel module itself}

본 발명은 휠모듈 자중에 의한 압력조절 스크라이빙 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리를 비롯한 취성재료에 스크라이빙 라인을 형성하는 휠과, 상기 휠을 회전가능하게 지지하는 휠홀더와, 상기 휠홀더를 개재하여 자중에 의한 일정한 압력으로 휠을 기판 표면에 압착하는 휠모듈, 및 상기 휠모듈을 제어하여 기판 표면의 면을 따라 이동시키는 휠모듈 구동부로 구성되는 휠모듈 자중에 의한 압력조절 스크라이빙 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure regulating scribing apparatus based on the weight of a wheel module, and more particularly, a wheel for forming a scribing line on a brittle material including glass, a wheel holder for rotatably supporting the wheel, Pressure control by the wheel module self-weight consisting of a wheel module for pressing the wheel to the surface of the substrate at a constant pressure due to its own weight through the wheel holder, and a wheel module driving unit for controlling the wheel module to move along the surface of the substrate surface It relates to a scribing device.

일반적으로, LCD 등과 같은 평판 디스플레이 등의 기판으로 사용되는 유리 기판은 대형의 모기판을 디스플레이의 규격에 따른 크기로 절단하여 가공된다. 상기 유리 기판과 같은 취성 재료를 절단하기 위한 공정은 유리 기판보다 경도가 높은 다이아몬드 또는 초경합금 재질의 휠 (wheel)을 이용하여 기판의 표면에 절단선을 형성하는 스크라이브(Scribe) 공정과, 상기 유리 기판에 형성된 절단선을 중심으로 가압하여 절단 하는 브레이크(Break) 공정으로 이루어진다.In general, a glass substrate used as a substrate such as a flat panel display such as an LCD is processed by cutting a large mother substrate to a size according to the standard of the display. The process for cutting a brittle material such as the glass substrate is a scribe process for forming a cutting line on the surface of the substrate by using a wheel of diamond or cemented carbide material of higher hardness than the glass substrate, and the glass substrate It is made of a brake (Break) process for pressing by cutting around the cutting line formed in the.

상기 스크라이브 공정은 다이아몬드 또는 초경합금 재질의 휠이 기판 표면에 일정한 압력을 가하면서 회전하여 지나가면, 압력이 기판의 스트레스 디스토션 (stress distortion)의 임계치를 넘을 때 압력이 가해지는 방향 즉, 기판의 표면에 대하여 수직 방향으로 흠집을 만들면서 메디안 크랙 (median crack)이라는 수직크랙을 형성하는 공정이다.In the scribing process, when a wheel made of diamond or cemented carbide is rotated while applying a constant pressure to the substrate surface, the pressure is applied when the pressure exceeds a threshold of stress distortion of the substrate, that is, the surface of the substrate. This is a process of forming vertical cracks called median cracks by making scratches in the vertical direction.

상기 브레이크 공정은 기판에 수직크랙이 형성된 상태에서 절단선 좌우로 휨모멘트나 충격력 등을 작용시키면 이미 만들어진 수직크랙을 기점으로 크랙이 성장하면서 전파되어 반대 측까지 도달하여 순간적으로 절단이 이루어지는 공정이다.The brake process is a process in which cracks grow and propagate from the vertical cracks generated to the opposite side to reach the opposite side when a bending moment or an impact force is applied to the left and right of the cutting line in a state where vertical cracks are formed on the substrate.

이렇게 스크라이브에 영향을 미치는 요인으로서는 대표적으로 다음과 같은 것이 있다.The factors influencing scribe like this are as follows.

(1) 휠 : 종류, 재질, 휠의 날부 각도, 휠의 직경(1) Wheel: type, material, wheel blade angle, wheel diameter

(2) 기판 : 표면 부근의 특성, 조성, 잔류 응력(2) Substrate: characteristics, composition, residual stress near the surface

(3) 스크라이브 조건 : 휠 하중, 스크라이브 속도(3) scribe conditions: wheel load, scribe speed

(4) 환경 : 분위기의 온도와 습도, 휠 오일의 유무(4) Environment: temperature and humidity of the atmosphere, the presence of wheel oil

상기 휠을 이용한 스크라이빙 공정에서, 스크라이브를 시작하는 시작점에서 끝점까지 충분한 압력으로 균일하게 해야만 균일하고 깨끗한 수직크랙을 형성할 수 있어 기판의 절단면이 깨끗하게 이루어지고 절단면의 충격파괴 인성값이 크다.In the scribing process using the wheel, uniform and clean vertical cracks can be formed only by sufficient pressure from the start point to the end point of scribing, so that the cut surface of the substrate is clean and the impact fracture toughness of the cut surface is large.

이를 위해 종래에는 공압식 실린더를 이용하여 휠을 가압하는 방법, 보이스 코일 모터 (VCM; Voice Coil Motor)로 구성된 모터로 구성된 모터 제어 방식, 공압과 스프링을 이용하여 하중을 제어하는 방식, 영구자석이나 전자석으로 이루어지는 가압 자석과 수압 자석간에 발생된 척력에 의한 일정한 가압력으로 기판에 형성된 수직크랙의 깊이를 균일하게 유지하는 방법을 사용하였다. 어느 것이나 스크라이빙 장치의 기본 구조는 도1에 나타낸 바와 같이 휠(11)이 장착된 휠 홀더(12)와, 상기 휠 홀더(12)를 개재하여 가압수단(14)으로 휠을 기판 표면에 일정한 압력으로 압착하는 휠모듈(13), 및 상기 휠모듈(13)을 제어하여 기판 표면의 면을 따라 이동시키는 휠모듈 구동부(15)로 구성된다.To this end, conventionally, a method of pressurizing a wheel using a pneumatic cylinder, a motor control method consisting of a motor consisting of a voice coil motor (VCM), a method of controlling a load using pneumatics and a spring, a permanent magnet or an electromagnet A method of maintaining the depth of the vertical crack formed on the substrate uniformly by a constant pressing force caused by the repulsive force generated between the pressure magnet and the hydraulic magnet was used. In either case, the basic structure of the scribing apparatus is as shown in FIG. 1. The wheel is mounted on the substrate surface by the pressing means 14 via the wheel holder 12 on which the wheel 11 is mounted, and the wheel holder 12. The wheel module 13, which is pressed at a constant pressure, and the wheel module 13 for controlling the wheel module 13 to move along the surface of the substrate surface.

여기서 상기 가압수단(14)으로 공압식 실린더를 이용하는 방법에서는 공압 라인을 통해 압축 공기를 구동시켜 주는 에어 실린더로 구성되고, 모터 제어 방식에서는 보이스 코일 모터로 구성되고, 공압과 스프링을 이용하여 하중을 제어하는 방식에서는 에어 실린더와 스프링의 결합으로 구성되고, 자석을 이용하는 방법에서는 영구자석 또는 전자석들로 구성된다.Here, in the method using the pneumatic cylinder as the pressurizing means 14 is composed of an air cylinder for driving the compressed air through the pneumatic line, in the motor control method is composed of a voice coil motor, the load is controlled using the pneumatic and spring It consists of the combination of the air cylinder and the spring, and in the method using a magnet is composed of permanent magnets or electromagnets.

그런데 상기의 가압수단에서 공압식은 공압 라인의 특성 상 응답성이 느려서 정확한 하중 제어가 이루어지 않고, 부수적인 공압 라인을 필요로 하고, 공압 라인의 경우에는 균일한 압력을 유지하는 것이 다른 방식에 비하여 상대적으로 떨어지기 때문에 스크라이브 공정 중에 기판에 충격이 가해질 위험이 많아 매우 정밀한 압력 제어 기능을 가지는 공압라인을 사용할 필요가 있기 때문에 생산성을 저해하는 요인으로 작용하는 문제점이 있다.However, in the above pressure means, the pneumatic type is slow in responsiveness due to the characteristics of the pneumatic line, which does not perform accurate load control, requires an additional pneumatic line, and in the case of pneumatic lines, maintaining a uniform pressure in comparison with other methods. Since it falls relatively, there is a high risk of impact on the substrate during the scribing process, so it is necessary to use a pneumatic line having a very precise pressure control function.

상기의 가압수단에서 모터 제어 방식은 VCM 모터를 이용하는 종래의 방식의 경우 기판에 가해지는 충격을 제한하기 위해 설정되는 토크 제한치 때문에 휠에 충분한 하중을 인가할 수 없는 문제점이 있고, 로터리 모터(rotary motor)를 이용하는 방식의 경우 로터리 모터의 속성상 구조가 매우 복잡한 문제점이 있다.In the pressurizing means, the motor control method has a problem in that a sufficient load cannot be applied to the wheel because of the torque limit value set to limit the impact applied to the substrate in the conventional method using the VCM motor, and a rotary motor In the case of using), the structure of the rotary motor has a very complicated problem.

상기의 가압수단에서 공압과 스프링을 이용하는 방식은 스크라이브 시작점부터 기판에 유효한 수직크랙을 형성하는 기능만을 할 뿐, 스크라이브 전 공정에 대한 일정한 하중 제어는 불가능한 문제점을 안고 있으며 공압식 스크라이빙 장치와 유사한 문제점을 안고 있다.The method of using the pneumatic pressure and the spring in the pressing means only functions to form effective vertical cracks on the substrate from the scribing start point, and there is a problem that a constant load control for the entire scribing process is impossible and similar to the pneumatic scribing device. Is holding.

상기의 가압수단에서 자석을 이용하는 방식은 비교적 안정하게 일정한 압력을 가하는 방식이라 하겠으나, 역시 압력 조절을 위해서는 전자석에 전류를 흘려야 하므로 전류의 정밀도가 문제가 될수 있다.The method of using a magnet in the pressing means is a method of applying a constant pressure relatively stable, but also the accuracy of the current can be a problem because a current must flow through the electromagnet for pressure control.

따라서, 본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 손쉽고 간단하면서도 높은 신뢰도와 정밀도로 일정한 압력을 휠홀더에 가하여 균일한 수직크랙을 취성재료 기판에 형성할 수 있는 휠모듈 자중에 의한 압력 조절 스크라이빙 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, which is easy and simple, with high reliability and precision, the wheel module which can form a uniform vertical crack on the brittle material substrate by applying a constant pressure to the wheel holder. It is an object of the present invention to provide a pressure regulating scribing apparatus.

상기한 목적을 달성하기 위한 기술적인 구성으로서, 본 발명에 따른 휠모듈 자중에 의한 압력조절 스크라이빙 장치는 일정한 압력을 휠홀더에 가하여 균일한 수직크랙을 취성재료 기판에 형성하는 장치에 있어서, 유리를 비롯한 취성재료에 스크라이빙 라인을 형성하는 휠과, 상기 휠을 회전가능하게 지지하는 휠홀더와, 상기 휠홀더를 개재하여 자중에 의한 일정한 압력으로 휠을 기판 표면에 압착하는 휠모듈, 및 상기 휠모듈을 제어하여 기판 표면의 면을 따라 이동시키는 휠모듈 구동부로 구성됨을 특징으로 한다.As a technical configuration for achieving the above object, the pressure regulating scribing apparatus by the weight of the wheel module according to the present invention is a device for forming a uniform vertical crack on the brittle material substrate by applying a constant pressure to the wheel holder, A wheel module for forming a scribing line on a brittle material such as glass, a wheel holder rotatably supporting the wheel, and a wheel module for pressing the wheel to a substrate surface at a constant pressure due to its own weight through the wheel holder; And a wheel module driving unit controlling the wheel module to move along the surface of the substrate surface.

상기 휠모듈의 자중은 휠모듈 내부의 공간에 놓여지는 고체, 액체, 또는 기체로 이루어진 물체의 무게에 의하여 제어되는 것을 특징으로 한다.The weight of the wheel module is controlled by the weight of an object made of solid, liquid, or gas placed in the space inside the wheel module.

상기 휠모듈은 슬라이더를 통하여 휠모듈 구동부와 연결되어 수직 방향의 작은 힘에도 바로 반응하여 움직이는 것을 특징으로 한다.The wheel module is connected to the wheel module driving unit through a slider, characterized in that to move directly in response to a small force in the vertical direction.

상기 휠모듈 구동부는 상기 휠모듈과 연결되어 휠모듈의 자중을 제어하는 수단을 갖추고 있음을 특징으로 한다.The wheel module driving unit is connected to the wheel module and has a means for controlling the weight of the wheel module.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 휠모듈 자중에 의한 압력조절 스크라이빙 장치는 압력을 일정하게 유지하기 위한 고가의 압력조절 장치가 필요없고, 압력을 일정하게 유지하기 위한 고도의 복잡한 기계적 구조가 필요없고, 기판 레벨의 변화나 평탄도 변화에 따르는 압력변화 보상을 위한 일체의 기작이 필요없는 초간단 고정밀의 신뢰성 높은 일정 압력으로 취성재료 기판에서 수직크랙의 깊이를 균일하게 유지하면서 스크라이빙할수 있는 효과가 있다.As described above, the pressure regulating scribing apparatus by the weight of the wheel module according to the present invention does not require an expensive pressure regulating device for maintaining the pressure constant, and a highly complicated mechanical structure for maintaining the pressure constant. Ultrasonic, high-precision, reliable and constant pressure with no need for any mechanism to compensate for pressure changes caused by changes in substrate level or flatness. It has an effect.

그리고, 본 발명은 스크라이빙 장치의 가압력을 설정하기 위해 휠모듈의 자중을 이용하여 간단하게 구성되기 때문에 운용 비용이 절감되는 효과를 제공한다.In addition, the present invention provides an effect of reducing the operating cost because it is simply configured using the weight of the wheel module to set the pressing force of the scribing device.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의거하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention in more detail as follows.

첨부한 도면, 도 2는 본 발명에 따른 휠모듈 자중에 의한 압력조절 스크라이빙 장치의 실시 예 구성을 설명하기 위한 도면이다.The accompanying drawings, Figure 2 is a view for explaining the configuration of an embodiment of the pressure regulating scribing apparatus by the weight of the wheel module according to the present invention.

본 발명에 따른 휠모듈 자중에 의한 압력조절 스크라이빙 장치는 휠모듈 자중의 크기를 제어하여 일정한 압력으로 양질의 수직크랙을 형성하는 스크라이빙 장치의 실시 예로 이루어지는데, 이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 도 2에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.Pressure regulating scribing apparatus by the weight of the wheel module according to the present invention is made of an embodiment of the scribing apparatus to form a high quality vertical crack at a constant pressure by controlling the size of the weight of the wheel module, preferred according to the present invention An embodiment is described in detail with reference to FIG. 2 as follows.

본 발명의 실시 예는 도 2에 나타낸 바와 같이, 가압수단으로 적절한 무게를 가지는 고체, 액체, 또는 기체로 이루어지는 물체(14)가 내장되는 공간을 포함하는 휠모듈(13)과, 상기 휠모듈(13)의 내부 공간에 놓여지는 물체의 양을 조절하여 그에 따른 휠모듈(13)의 자중(20)의 크기를 제어하는 수단을 갖추고, 상기 휠모듈을 제어하여 기판(10) 표면의 면을 따라 이동시키는 휠모듈 구동부(15)로 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, an embodiment of the present invention includes a wheel module 13 and a wheel module 13 including a space in which an object 14 made of a solid, a liquid, or a gas having a proper weight is used as a pressing means. Means for controlling the size of the weight 20 of the wheel module 13 according to the amount of the object placed in the inner space of the control panel 13, and controlling the wheel module along the surface of the substrate 10 surface. It is composed of a wheel module driving unit 15 to move.

상기 휠모듈(13)은 슬라이더(16)를 통하여 휠모듈 구동부(15)와 연결되어 있어서 도 3에서 보는 바와 같이 휠(11)이 미소한 요철(17)을 만나 저항력을 받아도 바로 휠모듈(13) 자중과 균형을 이루는 높이로 휠모듈(13)이 수직 이동하도록 구성된다.The wheel module 13 is connected to the wheel module driving unit 15 through the slider 16, so that even if the wheel 11 meets the minute unevenness 17 as shown in FIG. The wheel module 13 is vertically moved to a height balanced with self weight.

도 2에서와 같이 스크라이빙 공정이 진행되는 과정에 있어서, 기판(10)의 표면에 인가되는 압력은 전적으로 휠모듈(13)의 자중에 의한 것으로 스크라이빙 장치의 작업대 공간 범위에서는 공정 중에 전혀 그 값이 변할 이유가 없다. 지구과학 측면에서 중력이 위치에 따라 변하기는 하나 그 값은 공압, 자기력, 스프링과 같은 여타 다른 가압 방식에 의한 압력 값의 변화 량과는 비교가 되지 않는다. 따라서 거의 절대적으로 일정한 압력에 의해 신뢰도가 높은 고정밀도의 스크라이빙 공정이 가능하게 된다.In the scribing process as shown in FIG. 2, the pressure applied to the surface of the substrate 10 is entirely due to the weight of the wheel module 13. There is no reason for that value to change. In terms of earth science, gravity varies with location, but its value is not comparable to the amount of change in pressure values caused by other pressure methods such as pneumatics, magnetic forces, and springs. Therefore, a highly reliable scribing process with high reliability is possible with almost absolutely constant pressure.

도 3에서와 같이 스크라이빙 공정 도중에 휠(11)이 미소한 요철(17)을 만나게 될 때도 휠모듈(13) 자중에 의한 스크라이빙 공정 신뢰도의 개선 효과는 거의 절대적이다. 왜냐 하면 공압, 자기력, 스프링과 같은 여타 다른 가압 방식에서는 휠(11)이 요철(17)을 타고 올라가는 순간 공압의 증가, 자기력의 증가, 스프링 탄력의 증가가 발생하여 일정 압력의 유지가 깨지게 된다. 비싸고 성능이 좋은 가압 수단에서는 단지 그 깨진 일정 압력의 복원을 매우 빠르게 할 뿐 압력 변동 자체를 없애지는 못한다. 그러나 휠모듈 자중에 의한 스크라이빙 공정에서는 휠(11)이 요철(17)을 타고 올라가는 순간에도 중력이 순간적으로 변하는 일은 없으므로 압력 변동 자체가 없다. 따라서 거의 절대적으로 일정한 압력에 의해 신뢰도가 높은 고정밀도의 스크라이빙 공정이 가능하게 된다.When the wheel 11 encounters the minute unevenness 17 during the scribing process as shown in FIG. 3, the improvement effect of the reliability of the scribing process due to the weight of the wheel module 13 is almost absolute. This is because in other pressurization methods such as pneumatic, magnetic force, and spring, the moment the wheel 11 rises on the unevenness 17, an increase in pneumatic pressure, an increase in magnetic force, and an increase in spring elasticity occur, thereby maintaining a constant pressure. Expensive, high performance pressurization means only very quickly restore the broken constant pressure and do not eliminate the pressure fluctuations themselves. However, in the scribing process by the weight of the wheel module, gravity does not change instantaneously even when the wheel 11 rides up the unevenness 17 so there is no pressure fluctuation itself. Therefore, a highly reliable scribing process with high reliability is possible with almost absolutely constant pressure.

상기 휠모듈(13)의 자중(20)의 크기를 제어하는 수단은 휠모듈 구동부(15)에 포함시키지 않고 따로 분리할 수도 있다.The means for controlling the size of the weight 20 of the wheel module 13 may be separated separately without being included in the wheel module driver 15.

상기 휠모듈(13)의 자중(20)의 크기를 제어하는 수단으로는, 휠모듈(13) 내부의 공간에 놓여지는 물체의 양을 가감할 수 있는 수단을 갖추고 있으며, 이를테면 액체나 기체의 경우 제어수단과 휠모듈(13) 사이의 연결 수단(18)을 통한 액체 또는 기체의 입력으로 휠모듈(13) 자중(20)의 크기를 늘리거나 액체 또는 기체의 흡입으로 휠모듈(13) 자중(20)의 크기를 줄일 수 있다. 고체의 경우에도 미세 알갱이의 형태로 하여 연결 수단(18)을 통하여 입력 및 흡입 작용으로 휠모듈(13) 자중(20)의 크기를 조절할 수 있다. 이러한 실시 예 외에도 휠모듈(13) 자중(20)의 크기를 제어하는 수단으로 여타 어떤 다른 원리나 수단을 사용하여도 무방하다.As a means for controlling the size of the weight 20 of the wheel module 13, there is provided a means for adding or subtracting the amount of the object placed in the space inside the wheel module 13, for example, in the case of liquid or gas Increasing the size of the wheel module 13 self-weight 20 by the input of the liquid or gas through the connecting means 18 between the control means and the wheel module 13 or by the suction of the liquid or gas the wheel module 13 self-weight ( 20) can be reduced in size. Even in the case of a solid, it is possible to adjust the size of the weight of the wheel module 13 by the input and suction action through the connecting means 18 in the form of fine grains. In addition to these embodiments, any other principle or means may be used as a means for controlling the size of the weight 20 of the wheel module 13.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 청구범위뿐만 아니라, 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, in the detailed description of the present invention has been described with respect to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications without departing from the scope of the invention Of course it is possible. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined by the equivalents as well as the claims to be described later.

도 1은 종래의 스크라이빙 장치를 도시한 도면,1 is a view showing a conventional scribing apparatus,

도 2는 본 발명에 따른 휠모듈 자중에 의한 압력조절 스크라이빙 장치를 도시한 도면,2 is a view showing a pressure regulating scribing apparatus by the weight of the wheel module according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 휠모듈 자중에 의한 압력조절 스크라이빙 장치에서 휠이 기판상의 요철을 만났을 때의 상황을 도시한 도면이다.3 is a view showing a situation when the wheel meets the irregularities on the substrate in the pressure regulating scribing apparatus by the weight of the wheel module according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호설명><Code Description of Main Parts of Drawing>

10 : 기판 11 : 휠10: substrate 11: wheel

12 : 휠홀더 13 : 휠모듈12: wheel holder 13: wheel module

14 : 가압 수단 15 : 휠모듈 구동부14 pressurization means 15 wheel module driving unit

16 : 슬라이더 17 : 요철16: slider 17: irregularities

18 : 연결 수단 20 : 자중18: connection means 20: self-weight

Claims

A scribing apparatus for forming a scribe line on the brittle material substrate by maintaining a constant pressure of the wheel against the brittle material substrate,

A wheel for forming cracks in the brittle material substrate;

A wheel holder rotatably supporting the wheel;

A wheel module for pressing the wheel to the substrate surface at a constant pressure by its own weight through the wheel holder;

The wheel module driving unit for controlling the wheel module to move along the surface of the substrate surface;

The wheel module is connected to the wheel module driving unit through a slider, the scribing device, characterized in that the vertical movement to the height to balance the weight of the wheel module immediately even if the wheel meets the minute unevenness and resistance

The method of claim 1,

Scribing device, characterized in that for controlling the size of the weight of the wheel module to adjust the amount of material consisting of a solid, liquid, or gas placed in the inner space of the wheel module