KR20090082696A

KR20090082696A - 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지

Info

Publication number: KR20090082696A
Application number: KR1020080008607A
Authority: KR
Inventors: 최기봉; 이재종; 김기홍
Original assignee: 한국기계연구원
Priority date: 2008-01-28
Filing date: 2008-01-28
Publication date: 2009-07-31
Also published as: KR100947858B1

Abstract

본 발명은 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 초정밀 부품이 올려지는 출력플레이트를 이동시키는 제1변위구동부를 구비하고, 제1변위구동부와 반대로 작동되는 제2변위구동부를 구비하며, 출력플레이트가 직선이동되도록 안내하는 사이드플레이트 및 출력플레이트와 제1,2변위구동부, 출력플레이트와 사이드플레이트를 연결시키는 탄성힌지를 구비하여 제1변위구동부와 제2변위구동부가 출력플레이트에 추력 및 인력을 동시에 전달시켜 출력플레이트를 용이하게 직선변위 시킬 수 있고, 출력플레이트에 추력과 인력을 동시에 전달시키기 때문에 종래보다 변위 범위가 커져 대변위 구동이 가능하며, 제1변위구동부와 제2변위구동부에 의해 출력플레이트에 작용되는 힘이 배가되기 때문에 동특성을 향상시킬 수 있다.

초정밀, 추인력, 탄성힌지, 압전소자, 스테이지

Description

추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지{The ultraprecision linear stage driven by push-and-pull forces}

본 발명은 초정밀 선형 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 출력플레이트를 일방향으로 이동시키기 위해 추력과 인력을 발생시키는 제1변위구동부와 제2변위구동부를 구비한다.

그리고 출력플레이트가 직선이동되도록 안내하는 사이드플레이트 및 출력플레이트와 제1,2변위구동부, 출력플레이트와 사이드플레이트를 연결시키는 탄성힌지를 구비하여 제1변위구동부와 제2변위구동부가 출력플레이트에 추력 및 인력을 동시에 전달시켜 출력플레이트를 용이하게 직선변위 시킬 수 있다.

또한, 출력플레이트에 추력과 인력을 동시에 전달시키기 때문에 종래보다 변위 범위가 커져 대변위 구동이 가능하며, 제1변위구동부와 제2변위구동부에 의해 출력플레이트에 작동되는 힘이 배가되기 때문에 동특성을 향상시킬 수 있는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지에 관한 것이다.

일반적으로, 나노 분해능을 갖는 초정밀 스테이지는 압전소자 또는 전자기력 을 이용하여 물체를 탑재한 이동프레임에 힘을 인가하며, 인가된 힘이 원하는 방향으로만 작용하도록 간단한 탄성체에 의한 스프링기구를 이용하여 운동을 안내하였다.

이러한 초정밀 스테이지는 이동프레임의 각 변에 한 쌍의 탄성체가 각각 구비되고, 이 탄성체에는 복합스프링이 연결되어 이동프레임을 x축 또는 y축으로 이동시키게 된다.

복합스프링은 별도의 구동장치와 변위확대기구를 사용하여 힘을 전달시키는 것으로, 별도의 비용이 증가하는 문제점이 있다.

그리고 구동장치와 변위확대기구는 복합스프링과 접촉하거나 인접한 곳에 위치되어야 함으로, 설치장소에 제약이 따르고, 구조가 복잡한 문제점이 있다.

또한, 변위확대기구는 출력측에 확대된 변위는 얻을 수 있으나, 출력측에 발생되는 힘이 축소되어 나타나기 때문에 출력측의 동특성이 나빠지는 문제점이 있다.

이러한 변위확대기구의 동특성을 향상시키기 위해 출력측에 발생되는 힘을 배가시켜야 되는 것으로, 구동장치의 출력량을 증가시키기 위해 용적이 커져 설치장소 및 면적이 증가되고, 비용이 증가되는 문제점이 있다.

그리고 구동장치의 출력 증가에 따른 이동프레임의 구동방향 이외의 방향으로 필요불가결하게 원하지 않는 기생오차가 발생하는 문제점이 있다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해소하기 위해 안출된 것으로써, 출력플레이트를 일방향으로 이동시키기 위해 추력과 인력을 발생시키는 제1변위구동부와 제2변위구동부를 구비하여 출력플레이트를 용이하게 변위 시킬 수 있고, 종래보다 변위 범위가 커져 대변위 구동이 가능하다.

그리고 출력플레이트가 직선이동되도록 안내하는 사이드플레이트를 구비하여 출력플레이트의 기생오차를 최소화시켜 용이하게 직선이동시킬 수 있다.

또한, 출력플레이트와 제1,2변위구동부, 출력플레이트와 사이드플레이트를 각각 연결시키고, 제1,2변위구동부의 구성부품들을 연결시키는 탄성힌지를 구비하여 제1변위구동부와 제2변위구동부에 의해 발생된 배가된 힘에 의해 출력플레이트를 변위시킴으로, 동특성을 향상시킬 수 있는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지를 제공하는 것이 목적이다.

상기 목적을 이루기 위한 본 발명은, 초정밀 부품이 올려지는 출력플레이트, 인가되는 전원에 의해 상기 출력플레이트를 이동시키는 제1변위구동부, 상기 제1변위구동부와 동시에 작동되어 상기 츨력플레이트를 이동시키되 제1변위구동부와 동일한 방향으로 출력플레이트를 이동시키는 제2변위구동부, 상기 출력플레이트의 양단에 각각 구비되어 출력플레이트와 동일한 방향으로 이동되는 사이드플레이트, 및 상기 출력플레이트와 사이드플레이트 및 사이드플레이트와 설치장소의 고정단에 각각 연결시키는 다수의 탄성힌지를 포함하여 이루어지며, 상기 제1,2변위구동부의 추인력이 출력플레이트에 전달되어 변위되고, 변위된 출력플레이트의 이동력이 상기 탄성힌지에 의해 사이드플레이트에 전달되되, 탄성힌지에 의해 고정단에 고정된 사이드플레이트에 의해 상기 출력플레이트의 진행방향 이탈을 방지하여 일 방향으로 안내된다.

바람직하게, 상기 제1변위구동부는, 인가되는 전원에 의해 길이방향으로 인장되는 제1변위플레이트, 상기 제1변위플레이트의 길이방향 양단부에 각각 설치되는 한 쌍의 제1입력플레이트, 상기 각 제1입력플레이트의 양단부에 각각 위치되는 제1중간플레이트, 및 상기 제1중간플레이트의 양단 일측에 상호 대각선방향에 일단이 연결되고, 타단이 상기 제1입력플레이트와 고정단 및 상기 출력플레이트에 연결되는 다수의 제1탄성힌지를 포함하여 이루어지고, 상기 제1변위플레이트의 인장에 의해 제1입력플레이트가 이동되며, 제1입력플레이트의 변위에 따라 제1탄성힌지가 굽힘변형되어 상기 제1중간플레이트를 일방향으로 회전시켜 상기 출력플레이트를 변위시킨다.

그리고 상기 제1변위플레이트는 압전소자(피에조 스택)이다.

또한, 상기 제1탄성힌지는 판스프링이다.

그리고 상기 제2변위구동부는, 인가되는 전원에 의해 길이방향으로 인장되는 제2변위플레이트, 상기 제2변위플레이트의 길이방향 양단부에 각각 설치되는 한 쌍의 제2입력플레이트, 상기 각 제2입력플레이트의 양단부에 각각 위치되는 제2중간 플레이트, 및 상기 제2중간플레이트의 양단 일측에 상호 대각선방향에 일단이 연결되고, 타단이 상기 제2입력플레이트와 고정단 및 상기 출력플레이트에 연결되는 다수의 제2탄성힌지를 포함하여 이루어지고, 상기 제2변위플레이트의 인장에 의해 제2입력플레이트가 이동되며, 제2입력플레이트의 변위에 따라 제2탄성힌지가 굽힘변형되어 상기 제2중간플레이트를 일방향으로 회전시킨다.

또한, 상기 제2변위플레이트는 압전소자(피에조 스택)이다.

그리고 상기 제2탄성힌지는 판스프링이다.

또한, 상기 탄성힌지는 판스프링이다.

그리고 초정밀 부품이 올려지는 출력플레이트, 상기 출력플레이트를 변위시키도록 인가되는 전원에 의해 길이방향으로 인장되는 압전소자(피에조 스택)의 제1변위플레이트와 상기 제1변위플레이트의 길이방향 양단부에 각각 설치되어 이동되는 한 쌍의 제1입력플레이트, 상기 각 제1입력플레이트의 양단부에 각각 위치되는 제1중간플레이트 및 상기 제1중간플레이트의 양단 일측에 상호 대각선방향에 일단이 연결되고, 타단이 상기 제1입력플레이트와 고정단 및 상기 출력플레이트에 연결되는 판스프링인 다수의 제1탄성힌지를 가지며, 상기 제1변위플레이트의 인장에 의해 제1입력플레이트를 이동시키고, 제1입력플레이트의 이동에 의해 제1탄성힌지가 당겨지거나 밀려 제1중간플레이트를 일 방향으로 회전시켜 출력을 발생시키는 제1변위구동부, 상기 출력플레이트를 변위시키도록 상기 제1변위구동부와 반대방향에 설치되어 인가되는 전원에 의해 길이방향으로 인장되는 압전소자(피에조 스택)의 제2변위플레이트와 상기 제2변위플레이트의 길이방향 양단부에 각각 설치되어 이동 되는 한 쌍의 제2입력플레이트, 상기 각 제2입력플레이트의 양단부에 각각 위치되는 제2중간플레이트 및 상기 제2중간플레이트의 양단 일측에 상호 대각선방향에 일단이 연결되고, 타단이 상기 제2입력플레이트와 고정단 및 상기 출력플레이트에 연결되는 판스프링인 다수의 제2탄성힌지를 가지며, 상기 제1변위구동부와 동시에 작동되어 상기 출력플레이트를 변위시키도록 상기 제2변위플레이트의 인장에 의해 제2입력플레이트를 이동시키고, 제2입력플레이트의 이동에 의해 제2탄성힌지가 당겨지거나 밀려 제1중간플레이트를 일 방향으로 회전시켜 출력을 발생시키는 제2변위구동부, 상기 출력플레이트의 양단에 각각 구비되어 출력플레이트와 동일한 방향으로 이동되는 사이드플레이트, 및 상기 출력플레이트와 사이드플레이트 및 사이드플레이트와 설치장소의 고정단에 각각 연결시키는 판스프링인 다수의 탄성힌지를 포함하여 이루어지며, 상기 제1,2변위구동부의 추인력이 출력플레이트에 전달되어 변위되고, 변위된 출력플레이트의 이동력이 상기 탄성힌지에 의해 사이드플레이트에 전달되되, 탄성힌지에 의해 고정단에 고정된 사이드플레이트에 의해 상기 출력플레이트의 진행방향 이탈을 방지하여 일 방향으로 안내된다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 의한 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지에 의하면, 제1변위구동부와 제2변위구동부가 출력플레이트에 추력 및 인력을 동시에 전달시켜 출력플레이트를 용이하게 직선변위 시킬 수 있고, 출력플레이트에 추력과 인력을 동시에 전달시키기 때문에 종래보다 변위 범위가 커져 대변위 구동이 가능 하며, 제1변위구동부와 제2변위구동부에 의해 발생된 배가된 힘에 의해 출력플레이트를 변위시킴으로, 동특성을 향상시킬 수 있게 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.

또한, 본 실시 예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고 단지 예시로 제시된 것이며, 그 기술적 요지를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변경이 가능하다.

도 1은 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 제1변위구동부를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 제1변위구동부의 작동상태를 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 제2변위구동부를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 제2변위구동부의 작동상태를 도시한 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 사이드플레이트를 도시한 도면이며, 도 7은 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 사이드플레이트의 작동상태를 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 작동상태를 도시한 도면이다.

도면에서 도시한 바와 같이, 초정밀 선형 스테이지(10)는 출력플레이트(100) 와 제1변위구동부(200), 제2변위구동부(300), 사이드플레이트(400) 및 탄성힌지(500)로 구성되며, 출력플레이트(100)는 초정밀 부품이나 별도의 이동되는 프레임을 변위시키게 된다.

제1변위구동부(200)는 인가되는 전원에 의해 출력플레이트(100)를 이동시키게 되고, 제2변위구동부(300)는 제1변위구동부(200)와 동일하게 출력플레이트(100)를 이동시키되 제1변위구동부(200)와 동일한 방향으로 출력플레이트(100)를 이동시킨다.

다시 말해, 제1변위구동부(200)와 제2변위구동부(300)는 출력플레이트(100)의 양측에 위치되어 출력플레이트(100)를 동일한 방향으로 이동시키기 위해 추력(push force)과 인력(pull force)을 각각 발생시키는 것이다.

사이드플레이트(400)는 출력플레이트(100)의 양단부에 위치되는 것으로, 출력플레이트(100)가 이동방향 외의 방향으로 이동되어 기생오차가 발생되는 것을 방지하게 된다.

그리고 탄성힌지(500)는 출력플레이트(100)와 사이드플레이트(400) 및 사이드플레이트(400)와 설치장소의 고정단 사이에 각각 위치되어 상호 연결시킨다.

이때, 탄성힌지(500)는 판스프링으로 이루어져 제1,2변위구동부(200, 300)에서 전달되는 추인력에 의해 변위된 출력플레이트(100)에 의해 굽힘변형됨이 바람직하다.

도 2 내지 도 3에서 도시한 바와 같이, 제1변위구동부(200)는 제1변위플레이트(210)와 제1입력플레이트(220), 제1중간플레이트(230) 및 제1탄성힌지(240)로 구 성되며, 제1변위플레이트(210)는 인가되는 전원에 의해 인장된다.

제1입력플레이트(220)는 제1변위플레이트(210)의 양단부에 각각 설치되어 제1변위플레이트(210)와 동일하게 변위된다.

그리고 제1중간플레이트(230)는 제1입력플레이트(220)의 일측 양단에 각각 위치되어 제1탄성힌지(240)에 의해 제1입력플레이트(220)와 설치장소의 고정단 및 출력플레이트(100)에 연결된다.

다시 말해, 전원이 인가되어 제1변위플레이트(210)가 인장되면, 한 쌍의 제1입력플레이트(220)가 제1변위플레이트(210)를 따라 이동된다.

그리고 제1변위플레이트(210)는 제1탄성힌지(240)에 인장력을 작용시켜 제1중간플레이트(230)를 회전시키게 되고, 이 제1중간플레이트(230)의 회전에 의해 굽힘변형된 제1탄성힌지(240)가 출력플레이트(100)를 일 방향으로 밀어 이동시키게 된다.

이때, 제1탄성힌지(240)는 제1중간플레이트(230)의 양단 일측에 상호 대각선방향으로 일단이 연결되고, 타단이 제1입력플레이트(220)와 설치장소의 고정단 및 출력플레이트(100)에 연결되기 때문에, 제1중간플레이트(230)가 일 방향으로 회전하게 된다.

그리고 제1변위플레이트(210)는 압전소자(피에조 스택)로, 인가되는 전원에 의해 인장된 후, 전원을 제거하면 원상태로 복귀되며, 제1변위플레이트(210)의 복귀에 의해 제1입력플레이트(220), 제1중간플레이트(230) 및 제1탄성힌지(240)가 원상태로 복귀하게 된다.

또한, 제1탄성힌지(240)는 판스프링으로 이루어져 제1입력플레이트(220)에서 전달되는 힘을 제1중간플레이트(230)를 통해 출력플레이트(100)에 전달되도록 굽힘변형됨이 바람직하다.

도 4 내지 도 5에서 도시한 바와 같이, 제2변위구동부(300)는 제2변위플레이트(310)와 제2입력플레이트(320), 제2중간플레이트(330) 및 제2탄성힌지(340)로 구성되며, 제2변위플레이트(310)는 인가되는 전원에 의해 인장된다.

제2입력플레이트(320)는 제2변위플레이트(310)의 양단부에 각각 설치되어 제2변위플레이트(310)와 동일하게 변위된다.

제2중간플레이트(330)는 제2입력플레이트(320)의 일측 양단에 각각 위치되어 제2탄성힌지(340)에 의해 제2입력플레이트(320)와 설치장소의 고정단 및 출력플레이트(100)에 연결된다.

다시 말해, 전원이 인가되어 제2변위플레이트(310)가 인장되면, 한 쌍의 제2입력플레이트(320)가 제2변위플레이트(310)를 따라 이동된다.

이때 제2변위플레이트(310)는 압전소자(피에조 스택)로, 인가되는 전원에 의해 인장된 후, 전원을 제거하면 원상태로 복귀된다.

그리고 제2변위플레이트(310)는 제2탄성힌지(340)에 인장력을 작용시켜 제2중간플레이트(330)를 회전시키게 되고, 이 제2중간플레이트(330)의 회전에 의해 굽힘변형된 제2탄성힌지(340)가 출력플레이트(100)를 일 방향으로 당겨 이동시키게 된다.

이때, 제2탄성힌지(340)는 제2중간플레이트(330)는 양단 일측에 상호 대각선 방향으로 일단이 연결되고, 타단이 제2입력플레이트(320)와 고정단 및 출력플레이트(100)에 연결되기 때문에, 제2중간플레이트(330)가 일 방향으로 회전하게 된다.

그리고 제2탄성힌지(340)는 판스프링으로 이루어져 제2입력플레이트(320)에서 전달되는 힘을 제2중간플레이트(330)를 통해 출력플레이트(100)에 전달되도록 굽힘변형됨이 바람직하다.

이때, 제2변위구동부(300)와 제1변위구동부(200)는 출력플레이트(100)에 반대되는 힘을 작용시키는 것으로, 제1변위구동부(200)는 인력이 발생되고, 제2변위구동부(300)는 추력이 발생된다.

이에 따라, 상기 제1탄성힌지(240)와 제2탄성힌지(340)는 제1중간플레이트(230)와 제2중간플레이트(330)의 단부에 다른 일측에 연결되는 것이다.

다시 말해, 제1탄성힌지(240)는 제1중간플레이트(230)의 일단 좌측에 연결될 경우, 제2탄성힌지(340)는 제2중간플레이트(330)의 일단 우측에 연결되어 각 변위플레이트(210, 310)의 인장에 의해 제1중간플레이트(230)와 제2중간플레이트(330)의 회전방향은 반대가 되며, 상호 반대로 회전되는 제1중간플레이트(230)와 제2중간플레이트(330)에 의해 각 탄성힌지(240, 340)이 굽힘변형되어 출력플레이트(100)가 이동하게 된다.

이러한 제1변위구동부(200)와 제2변위구동부(300)는 출력플레이트(100)를 일 방향으로 이동시키는 것으로, 제1변위구동부(200)가 출력플레이트(100)에 추력을 전달할 때, 제2변위구동부(300)는 출력플레이트(100)에 인력을 전달하게 되어 출력플레이트(100)를 일방향으로 이동시키게 된다.

도 6 내지 도 7에서 도시한 바와 같이, 사이드플레이트(400)는 출력플레이트(100)의 양단부 외측에 위치되는 것으로, 다수의 탄성힌지(500)에 의해 출력플레이트(100)와 고정단에 연결된다.

제1변위구동부(200)와 제2변위구동부(300)에 의해 출력플레이트(100)가 이동되면, 출력플레이트(100)에 연결된 탄성힌지(500)가 굽힘변형되고, 이 굽힘변형된 탄성힌지(500)는 사이드플레이트(400)를 출력플레이트(100)의 이동방향과 동일하게 이동된다.

이는, 사이드플레이트(400)의 양단부가 탄성힌지(500)에 의해 설치장소의 고정단에 고정되어 있어 출력플레이트(100)의 이동방향과 수직방향으로 사이드플레이트(400)가 이동되는 것을 방지하게 된다.

상기와 같이, 이동이 제한된 사이드플레이트(400)는 출력플레이트(100)가 이동방향 이외의 방향으로 이동되는 것을 방지하여 기생오차를 방지하고, 직선이동을 안내하는 것이다.

도 8에 도시한 바와 같이, 초정밀 선형 스테이지(10)의 작동상태를 살펴보면, 제1변위구동부(200)의 제1변위플레이트(210)와 제2변위구동부(300)의 제2변위플레이트(310)에 전원이 동시에 인가되어 출력플레이트(100)를 밀고 당기게 된다.

이는 제1변위구동부(200)가 추력을 발생시켜 출력플레이트(100)를 일방향으로 미는 동시에, 제2변위구동부(300)가 인력을 발생시켜 출력플레이트(100)를 동일한 방향으로 당기게 되어 출력플레이트(100)의 변위 범위를 증가시키게 된다.

그리고 사이드플레이트(400)가 출력플레이트(100)의 양단에서 다수의 탄성힌 지(500)와 연결되어 출력플레이트(100)가 이동방향에서 이탈하는 것을 방지하게 되어 기생오차를 방지하게 되는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지를 도시한 도면이고,

도 2는 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 제1변위구동부를 도시한 도면이며,

도 3은 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 제1변위구동부의 작동상태를 도시한 도면이고,

도 4는 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 제2변위구동부를 도시한 도면이며,

도 5는 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 제2변위구동부의 작동상태를 도시한 도면이고,

도 6은 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 사이드플레이트를 도시한 도면이며,

도 7은 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 사이드플레이트의 작동상태를 도시한 도면이고,

도 8은 본 발명에 따른 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지의 작동상태를 도시한 도면이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 초정밀 선형 스테이지 100 : 출력플레이트

200 : 제1변위구동부 210 : 제1변위플레이트

220 : 제1입력플레이트 230 : 제1중간플레이트

240 : 제1탄성힌지 300 : 제2변위구동부

310 : 제2변위플레이트 320 : 제2입력플레이트

330 : 제2중간플레이트 340 : 제2탄성힌지

400 : 사이드플레이트 500 : 탄성힌지

Claims

초정밀 부품이 올려지는 출력플레이트;

인가되는 전원에 의해 상기 출력플레이트를 이동시키는 제1변위구동부;

상기 제1변위구동부와 동시에 작동되어 상기 츨력플레이트를 이동시키되 제1변위구동부와 동일한 방향으로 출력플레이트를 이동시키는 제2변위구동부;

상기 출력플레이트의 양단에 각각 구비되어 출력플레이트와 동일한 방향으로 이동되는 사이드플레이트; 및

상기 출력플레이트와 사이드플레이트 및 사이드플레이트와 설치장소의 고정단에 각각 연결시키는 다수의 탄성힌지를 포함하여 이루어지며,

상기 제1,2변위구동부의 추인력이 출력플레이트에 전달되어 변위되고, 변위된 출력플레이트의 이동력이 상기 탄성힌지에 의해 사이드플레이트에 전달되되, 탄성힌지에 의해 고정단에 고정된 사이드플레이트에 의해 상기 출력플레이트의 진행방향 이탈을 방지하여 일 방향으로 안내되는 것을 특징으로 하는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지.
제 1항에 있어서, 상기 제1변위구동부는,

인가되는 전원에 의해 길이방향으로 인장되는 제1변위플레이트;

상기 제1변위플레이트의 길이방향 양단부에 각각 설치되는 한 쌍의 제1입력 플레이트;

상기 각 제1입력플레이트의 양단부에 각각 위치되는 다수의 제1중간플레이트; 및

상기 제1중간플레이트의 양단 일측에 상호 대각선방향에 일단이 연결되고, 타단이 상기 제1입력플레이트와 고정단 및 상기 출력플레이트에 연결되는 다수의 제1탄성힌지를 포함하여 이루어지고,

상기 제1변위플레이트의 인장에 의해 제1입력플레이트가 이동되며, 제1입력플레이트의 변위에 따라 제1탄성힌지가 굽힘변형되어 상기 제1중간플레이트를 일방향으로 회전시켜 상기 출력플레이트를 변위시키는 것을 특징으로 하는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지.
제 2항에 있어서,

상기 제1변위플레이트는 압전소자(피에조 스택)인 것을 특징으로 하는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지.
제 2항에 있어서,

상기 제1탄성힌지는 판스프링인 것을 특징으로 하는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지.
제 1항에 있어서, 상기 제2변위구동부는,

인가되는 전원에 의해 길이방향으로 인장되는 제2변위플레이트;

상기 제2변위플레이트의 길이방향 양단부에 각각 설치되는 한 쌍의 제2입력플레이트;

상기 각 제2입력플레이트의 양단부에 각각 위치되는 제2중간플레이트; 및

상기 제2중간플레이트의 양단 일측에 상호 대각선방향에 일단이 연결되고, 타단이 상기 제2입력플레이트와 고정단 및 상기 출력플레이트에 연결되는 다수의 제2탄성힌지를 포함하여 이루어지고,

상기 제2변위플레이트의 인장에 의해 제2입력플레이트가 이동되며, 제2입력플레이트의 변위에 따라 제2탄성힌지가 굽힘변형되어 상기 제2중간플레이트를 일방향으로 회전시켜 상기 출력플레이트를 변위시키는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지.
제 5항에 있어서,

상기 제2변위플레이트는 압전소자(피에조 스택)인 것을 특징으로 하는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지.
제 5항에 있어서,

상기 제2탄성힌지는 판스프링인 것을 특징으로 하는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지.
제 1항에 있어서,

상기 탄성힌지는 판스프링인 것을 특징으로 하는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지.
초정밀 부품이 올려지는 출력플레이트;

상기 출력플레이트를 변위시키도록 인가되는 전원에 의해 길이방향으로 인장되는 압전소자(피에조 스택)의 제1변위플레이트와 상기 제1변위플레이트의 길이방향 양단부에 각각 설치되어 이동되는 한 쌍의 제1입력플레이트, 상기 각 제1입력플레이트의 양단부에 각각 위치되는 제1중간플레이트 및 상기 제1중간플레이트의 양단 일측에 상호 대각선방향에 일단이 연결되고, 타단이 상기 제1입력플레이트와 고정단 및 상기 출력플레이트에 연결되는 판스프링인 다수의 제1탄성힌지를 가지며, 상기 제1변위플레이트의 인장에 의해 제1입력플레이트를 이동시키고, 제1입력플레이트의 이동에 의해 제1탄성힌지가 당겨지거나 밀려 제1중간플레이트를 일 방향으 로 회전시켜 출력을 발생시키는 제1변위구동부;

상기 출력플레이트를 변위시키도록 상기 제1변위구동부와 반대방향에 설치되어 인가되는 전원에 의해 길이방향으로 인장되는 압전소자(피에조 스택)의 제2변위플레이트와 상기 제2변위플레이트의 길이방향 양단부에 각각 설치되어 이동되는 한 쌍의 제2입력플레이트, 상기 각 제2입력플레이트의 양단부에 각각 위치되는 제2중간플레이트 및 상기 제2중간플레이트의 양단 일측에 상호 대각선방향에 일단이 연결되고, 타단이 상기 제2입력플레이트와 고정단 및 상기 출력플레이트에 연결되는 판스프링인 다수의 제2탄성힌지를 가지며, 상기 제1변위구동부와 동시에 작동되어 상기 출력플레이트를 변위시키도록 상기 제2변위플레이트의 인장에 의해 제2입력플레이트를 이동시키고, 제2입력플레이트의 이동에 의해 제2탄성힌지가 당겨지거나 밀려 제1중간플레이트를 일 방향으로 회전시켜 출력을 발생시키는 제2변위구동부;

상기 출력플레이트의 양단에 각각 구비되어 출력플레이트와 동일한 방향으로 이동되는 사이드플레이트; 및

상기 출력플레이트와 사이드플레이트 및 사이드플레이트와 설치장소의 고정단에 각각 연결시키는 판스프링인 다수의 탄성힌지를 포함하여 이루어지며,

상기 제1,2변위구동부의 추인력이 출력플레이트에 전달되어 변위되고, 변위된 출력플레이트의 이동력이 상기 탄성힌지에 의해 사이드플레이트에 전달되되, 탄성힌지에 의해 고정단에 고정된 사이드플레이트에 의해 상기 출력플레이트의 진행방향 이탈을 방지하여 일 방향으로 안내되는 것을 특징으로 하는 추인력 구동용 초정밀 선형 스테이지.