KR20090069931A - 증착 원료 공급 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 증착 원료 공급 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템에 관한 것으로, 회전하는 복수의 분말 저장 홀을 갖는 분말 공급부와, 상기 복수의 분말 저장 홀 중 적어도 하나의 일 분말 저장 홀에 분말 형태의 증착 원료를 제공하는 적어도 하나의 분말 저장부 및 상기 복수의 분말 저장홀 중 상기 분말 형태의 증착 원료가 저장된 적어도 하나의 타 분말 저장홀에 캐리어 가스를 제공하여 저장된 상기 분말 형태의 증착 원료를 외부로 배출시키는 적어도 하나의 캐리어 가스 공급부를 포함하는 증착 원료 공급 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템을 제공한다. 이와 같이 회전하는 분말 저장 홀에 증착 원료를 저장하고, 저장된 증착 원료를 순차적으로 증착 장치에 제공하여 일정량의 증착 원료를 지속적으로 증착 장치에 제공할 수 있다.

유기 분말, 분말 저장 홀, 캐리어 가스, 회전 몸체, 챔버, 기화

Description

증착 원료 공급 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템{Apparatus for supplying deposition meterial and film depositing system having the same}

본 발명은 증착 원료 공급 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템에 관한 것으로, 일정량의 분말을 연속적으로 제공할 수 있는 분말 정량 공급 장치와 일정량의 유기 분말을 제공받아 유기 박막을 증착하는 증착 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 유기 박막 증착 장치는 수 ㎛ 이하로 건조된 분말 형태의 유기 원료를 기화시켜 기판상에 유기 박막을 형성한다. 이에 분말 형태의 유기 원료를 유기 박막 증착 장치에 공급하기 위한 별도의 분말 공급 장치를 구비한다. 종래의 분말 공급 장치는 분말 공급 장치와 유기 박막 증착 챔버 사이의 압력차를 이용하여 분말을 증착 챔버에 제공하였다.

도 1은 종래의 유기 박막 증착 시스템의 개념도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 유기 박막 증착 장치는 반응 챔버(10)와, 반응 챔버(10) 상부에 배치된 기판(20)과, 반응 챔버(10) 하부에 소정의 증착 원료(40)가 저장된 도가니(30)를 포함한다.

여기서, 기판(20)에 소정의 유기 박막을 증착하기 위해서는 도가니(30)를 가열시켜 도가니(30) 내부의 증착 원료(40)를 증발시키고, 증발된 증착 원료가 기판(20)에 증착되도록 한다.

이와 같은 종래의 유기 박막 증착 장치를 통해 증착을 할 경우, 도가니 내에 저장할 수 있는 증착 원료의 양이 한정되어 있어 매 증착 공정마다 도가니 내에 증착 원료를 새로 넣어 주거나, 수 내지 수십 번의 증착 공정 후에 도가니 내부에 증착 원료를 새로 주입해야 하는 문제가 발생한다. 이때, 도가니 내부에 증착 원료를 새로 주입하기 위해서는 증착공정을 중지한 다음, 챔버내의 도가니에 증착 원료를 주입해야 한다. 따라서, 연속적인 박막 증착공정이 이루어지지 않고, 공정의 수율이 떨어지는 문제가 발생한다. 또한, 도가니를 통해 기화되는 증착 원료의 량이 매 기판마다 일정하지 않기 때문에 박막 재현성이 나빠지는 문제가 발생한다. 이는 다량의 증착 원료를 도가니를 통해 가열시켜 박막을 증착하기 때문이다. 그리고, 도가니의 개구부 폭이 좁기 때문에 기판상에 균일한 박막 증착이 어려워지는 문제가 발생한다.

이에 본 발명은 상기의 문제점들을 해결하기 위해 회전하는 복수의 분말 저장 공간을 구비하여 일 저장 공간은 분말을 제공받고, 다른 일 저장 공간은 저장된 분말을 챔버로 제공하여 일정량의 증착 원료인 분말을 지속적으로 챔버에 공급할 수 있는 증착 원료 공급 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

본 발명에 따른 회전하는 복수의 분말 저장 홀을 갖는 분말 공급부와, 상기 복수의 분말 저장 홀 중 적어도 하나의 일 분말 저장 홀에 분말 형태의 증착 원료를 제공하는 적어도 하나의 분말 저장부 및 상기 복수의 분말 저장홀 중 상기 분말 형태의 증착 원료가 저장된 적어도 하나의 타 분말 저장홀에 캐리어 가스를 제공하여 저장된 상기 분말 형태의 증착 원료를 외부로 배출시키는 적어도 하나의 캐리어 가스 공급부를 포함하는 증착 원료 공급 장치를 제공한다.

상기 적어도 하나의 일 분말 저장 홀의 압력을 조절하는 적어도 하나의 펌핑부를 더 구비하는 것이 바람직하다.

상기 복수의 분말 저장 홀은 제 1 사이즈의 직경을 갖는 복수의 제 1 분말 저장 홀과, 상기 제 1 사이즈보다 작은 제 2 사이즈의 직경을 갖는 복수의 제 2 분말 저장홀을 포함하는 것이 가능하다.

상기 분말 저장부는 상기 제 1 분말 저장홀에 제 1 증착 원료를 제공하는 제 1 분말 저장부와, 상기 제 2 분말 저장홀에 제 2 증착 원료를 제공하는 제 2 분말 저장부를 포함할 수 있다.

상기 분말 공급부는, 상기 복수의 분말 저장 홀을 갖는 회전 몸체부와, 상기 회전 몸체부 상측면에 밀착된 상측 차폐판과, 상기 회전 몸체부 하측면에 밀착된 하측 차폐판 및 상기 회전 몸체부를 회전시키는 구동부를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 회전 몸체부는, 원통 형상의 몸체와, 몸체 중심의 상하측 방향으로 연장되어 상기 구동부에 접속된 회전축을 구비하고, 상기 복수의 분말 저장 홀은 몸 체의 중심에서 동일 거리로 이격 배치되는 것이 바람직하다.

상기 회전 몸체부는, 원통 형상의 몸체와, 몸체 중심의 상하측 방향으로 연장되어 상기 구동부에 접속된 회전축을 구비하고, 상기 복수의 분말 저장 홀은 몸체의 중심에서 동일 거리로 이격 배치되는 것이 효과적이다.

상기 몸체는 상기 상측 차폐판에 밀착된 제 1 몸체와, 상기 하측 차폐판에 밀착된 제 2 몸체를 구비하고, 상기 제 1 몸체와 상기 제 2 몸체를 서로 동일 방향으로 회전하거나, 서로 반대 방향으로 회전하거나, 상기 제 1 및 제 2 몸체 중 어느 하나만이 회전하는 것이 바람직하다.

상기 상측 차폐판은 상기 분말 저장부에 접속된 분말 유입공과, 상기 캐리어 가스 공급부에 접속된 가스 유입공을 구비하고, 상기 분말 유입공과 상기 가스 유입공 사이에 적어도 하나 이상의 분말 저장홀이 배치되도록 상기 분말 유입공과 상기 가스 유입공이 이격 배치되는 것이 바람직하다.

상기 가스 유입공 내측에 마련되고 분말의 사이즈보다 작은 미세홀을 갖는 판 형상의 상부 차단부를 더 구비하는 것이 효과적이다.

상기 하측 차폐판은 외부 배출구에 접속된 분말 배출공과, 압력 조절을 위한 펌프부에 접속된 압력 조절공 및 상기 회전 몸체부의 회전축이 관통하는 축 관통공을 구비하고, 상기 분말 배출공은 상기 가스 유입공 하측에 대향 배치되고, 상기 압력 조절공은 상기 분말 유입공 하측에 대향 배치되는 것이 효과적이다.

분말의 사이즈보다 작은 미세홀을 갖는 판 형상으로 제작되어 상기 압력 조절공에 마련된 하부 차단부를 더 구비하는 것이 바람직하다.

상기 상측 차폐판과 상기 회전 몸체부 사이 그리고, 상기 하측 차폐판과 상기 회전 몸체부 사이에 마련된 상측 실링부재를 더 구비하는 것이 효과적이다.

상기 분말 저장부에 부착된 바이브레이터 또는 상기 분말 저장부 내에 마련된 분말 혼합 부재를 더 구비하는 것이 가능하다.

또한, 본 발명에 따른 분말 형태의 증착 원료를 제공받아 기판상에 박막을 증착하는 증착 장치 및 상기 분말 형태의 증착 원료가 저장된 분말 저장부와, 캐리어 가스를 제공하는 캐리어 가스 공급부와, 회전하는 복수의 분말 저장 홀을 구비하고, 상기 복수의 분말 저장 홀에 상기 분말 저장부의 상기 분말 형태의 증착 원료를 저장하고, 상기 복수의 분말 저장 홀에 저장된 상기 분말 형태의 증착 원료를 상기 캐리어 가스를 이용하여 순차적으로 증착 장치에 제공하는 분말 공급부를 구비하는 증착 원료 공급 장치를 포함하는 박막 증착 시스템을 제공한다.

상기 분말 공급부는, 상기 복수의 분말 저장 홀을 갖는 회전 몸체부와, 상기 회전 몸체부 상측면에 밀착되어 상기 분말 저장부와 상기 캐리어 가스 공급부에 각기 접속된 상측 차폐판과, 상기 회전 몸체부 하측면에 밀착되어 상기 증착 장치에 접속된 하측 차폐판 및 상기 회전 몸체부를 회전시키는 구동부를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 하측 차폐판과 상기 증착 장치는 파이프를 통해 접속되고, 상기 증착 원료 공급 장치는 상기 파이프에 퍼지 가스를 제공하는 퍼지 가스 공급부를 더 포함하는 것이 효과적이다.

또한, 본 발명에 따른 회전하는 복수의 분말 저장 홀에 분말 형태의 증착 원 료를 제공하는 단계와, 상기 복수의 분말 저장 홀에 저장된 상기 증착 원료를 배출하는 단계 및 상기 배출된 증착 원료를 이용하여 복수의 기판상에 순차적으로 박막을 증착하는 단계를 포함하는 박막 증착 방법을 제공한다.

상기 일 분말 저장 홀에 저장되는 상기 증착 원료의 량은 일 기판에 박막을 형성시킬 양과 동일한 것이 효과적이다.

상기 증착 원료는 펌핑 및 자중에 의한 강하에 의해 상기 분말 저장 홀에 저장되고, 상기 분말 저장 홀에 저장된 증착 원료는 캐리어 가스에 의해 배출되는 것이 효과적이다.

상기 증착 원료는 제 1 증착 원료와 제 2 증착 원료를 포함하고, 상기 복수의 분말 저장홀 중 일부의 분말 저장홀에 제 1 증착 원료를 제공하고, 나머지 분말 저장홀에 제 2 증착 원료를 제공하며, 상기 제 1 증착 원료가 제공된 일 분말 저장홀과, 상기 제 2 증착 원료가 제공된 일 분말 저장홀에 캐리어 가스를 제공하여 제 1 증착 원료와 제 2 증착 원료를 배출하는 것이 가능하다.

상기 순차적으로 배출된 증착 원료를 이용하여 상기 복수의 기판상에 순차적으로 박막을 증착하는 단계는, 일 기판을 증착 장치 내측에 안치시키는 단계와, 일 분말 저장 홀의 상기 증착 원료를 상기 증착 장치에 제공하는 단계와, 상기 증착 원료를 기화시켜 상기 일 기판 상에 일 박막을 증착하는 단계와, 일 박막이 증착된 상기 일 기판을 상기 증착 장치 외부로 언로딩하는 단계와, 상기 증착 장치 내측으로 타 기판을 안치시키는 단계와, 타 분말 저장 홀의 상기 증착 원료를 상기 증착 장치에 제공하는 단계와, 상기 증착 원료를 기화시켜 상기 타 기판 상에 타 박막을 증착하는 단계 및 상기 타 박막이 증착된 상기 타 기판을 상기 증착 장치 외부로 언로딩하는 단계를 구비하는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이 본 발명은 회전하는 복수의 분말 저장 홀에 순차적으로 분말 형태의 증착 원료를 제공하고, 분말 저장 홀에 저장된 증착 원료를 순차적으로 증착 장치에 제공하여 증착 원료를 지속적으로 증착 장치에 제공할 수 있다.

또한, 본 발명은 분말 저장 홀의 사이즈를 일 증착 공정 시 사용되는 증착 원료의 량에 대응하게 하여 복수의 분말 저장 홀을 통해 제공되는 증착 원료의 량을 일정하게 유지할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 시스템의 블록도이다.

도 3은 일 실시예에 따른 분말 공급부의 단면 개념도이다. 도 4는 일 실시예 에 따른 분말 공급부의 분해 사시도이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 박막 증착 시스템은 유기 박막을 증착하는 증착 장치(100)와, 증착 장치(100)에 분말 형태의 증착 원료를 제공하는 분말 공급 장치(1000)를 구비한다.

증착 장치(100)는 도 2에 도시된 바와 같이 반응 공간을 갖는 챔버(110)와, 챔버(110) 내에 마련되어 기판(101)이 안치되는 기판 안치부(120)와, 분말 공급 장치(200)로부터 제공된 분말 형태의 유기 원료를 기화시켜 기판(101)에 분사하는 분사부(130)를 포함한다. 그리고, 증착 장치(100)는 챔버(110)의 압력을 조절하기 위한 압력 조절부(미도시)를 더 구비할 수 있다.

상술한 분사부(130)는 소정의 가열 수단을 구비한다. 이를 통해 분사부(130)로 제공되는 분말 형태의 유기 원료를 자체 기화시키고, 기화된 유기 원료를 챔버(110) 내부의 반응 공간에 제공하여 상기 기판(101) 상에 유기 박막이 형성되도록 한다. 이때, 기판(101) 상에 형성되는 박막은 분말 형태의 증착 원료에 따라 다양하게 변화될 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고, 상기 챔버(110) 내측으로 기화된 유기 증착 원료가 제공될 수도 있다. 여기서, 분말 형태의 유기 원료는 단일의 재료일 수 있고, 단일 원료에 적어도 하나의 분순물이 포함된 재료일 수 있다.

또한, 도시되지 않았지만, 증착 장치(100)는 기판 안치부(120) 또는 분사부(130)를 회전시키기 위한 회전 수단을 더 구비할 수도 있다. 또한, 챔버(110)의 일측에는 기판(101)의 입출입을 위한 출입구가 더 마련될 수도 있다. 또한, 상기 기판 안치부(120)를 상하로 승강시키는 승강 수단을 더 구비할 수도 있다.

분말 공급 장치(1000)는 회전하는 복수의 분말 저장 홀(1111a 내지 1111h; 1111)을 갖는 분말 공급부(1100)와, 상기 복수의 분말 저장 홀(1111) 중 일 분말 저장 홀(1111a)에 분말 형태의 증착 원료를 제공하는 분말 저장부(1200)와, 상기 복수의 분말 저장 홀(1111) 중 다른 일 분말 저장 홀(1111e)에 저장된 분말 형태의 증착 원료를 캐리어 가스를 통해 외부(즉, 증착 장치(100))로 배출시키는 캐리어 가스 공급부(1300)를 구비한다. 그리고, 분말 공급 장치(1000)는 상기 일 분말 저장홀의 압력을 조절하는 펌핑부(1400)를 더 구비한다.

분말 공급부(1100)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 복수의 분말 저장 홀(1111)을 갖는 회전 몸체부(1110)와, 회전 몸체부(1110) 상측면에 밀착된 상측 차폐판(1120)과, 회전 몸체부(1110) 하측면에 밀착된 하측 차폐판(1130) 그리고, 회전 몸체부(1110)를 회전시키는 구동부(1140)를 구비한다. 분말 공급부(1100)는 도 4에 도시된 바와 같이 회전 몸체부(1110)와 상측 차폐판(1120) 사이에 마련된 복수의 상측 실링부재(1150)와, 회전 몸체부(1110)와 하측 차폐판(1130) 사이에 마련된 복수의 하측 실링부재(1160)를 더 구비한다.

회전 몸체부(1110)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 원형 통 형상으로 제작되고 통의 상측에서 하측 방향으로 관통된 복수의 분말 저장 홀(1111)을 갖는 몸체(1112)와, 몸체(1112)의 중심에서 상하측 방향으로 연장된 회전축(1113)을 구비한다.

상기 복수의 분말 저장 홀(1111)은 원통형의 몸체(1112)의 중심에서 동일 거리 이격 배치되는 것이 효과적이다. 이를 통해 몸체(1112)가 회전하더라도 복수의 분말 저장 홀(1111)의 이동 위치가 동일해 질 수 있다. 그리고, 복수의 분말 저장 홀(1111)들의 사이즈는 동일한 것이 바람직하다. 이를 통해 복수의 분말 저장 홀(1111) 각각은 동일한 양의 분말을 제공받거나 제공할 수 있다. 본 실시예에서는 분말 저장 홀(1111)의 사이즈를 조절하여 증착 장치(100)로 제공되는 분말의 양을 조절할 수 있다. 물론 분말 저장 홀(1111)의 사이즈는 홀의 직경과 홀의 깊이에 따라 다양하게 조절될 수 있다. 도 4에서는 원통 형상으로 제작된 8개의 분말 저장 홀(1111)이 도시되었다. 하지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 이보다 많거나 적은 개수의 분말 저장 홀(1111)을 구비할 수 있다. 그리고, 분말 저장 홀(1111)의 형상도 원통 형상(즉, 그 단면이 사각형 형상)에 한정되지 않고 다양한 변형이 가능하다. 예를 들어 절두 원뿔 형상(즉, 그 단면이 삼각형 형상)으로 제작되거나, 원통과 절두 원뿔이 혼합된 형상으로 제작될 수 있다. 물론 분말 저장 홀(1111)이 형성된 몸체(1112)의 형상도 원통에 한정되지 않고, 다각통 형상으로 제작될 수도 있다.

회전축(1113)은 몸체(1112)의 중심에서 상측과 하측 방향으로 연장된다. 이때, 몸체(1112)의 하측 방향으로 연장된 회전축(1113)은 구동부(1140)에 접속된다. 이를 통해 구동축(1140)의 회전력이 회전축(1113)을 통해 몸체(1112)에 전달된다. 그리고, 몸체(1112)의 상측 방향으로 연장된 회전축(1113)은 상측 차폐판(1120)을 관통하여 몸체(1112)가 좌우 방향으로 움직이는 것을 방지한다. 본 실시예에서는 상기 몸체(1112)와 회전축(1113)이 단일 몸체로 제작됨을 설명하였다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 이들이 각기 분리 제작될 수 있다. 즉, 몸체(1112)의 중심에 홀 이 마련되고, 중심 홀의 내측으로 회전축(1113)을 인입시켜 회전 몸체부(1110)를 제작할 수도 있다.

상측 차폐판(1120)은 회전축(1113)이 관통하는 축 관통공(1121)과, 분말 저장부(1200)로부터 분말을 제공받아 분말 저장 홀(1111)에 제공하는 분말 유입 공(1122)과, 캐리어 가스 공급부의 캐리어 가스를 통해 분말 저장 홀(1111)에 제공하는 가스 유입 공(1123)을 구비한다. 그리고, 가스 유입공(1123)의 내측에는 분말의 확산을 방지하는 상부 차단부(1124)를 구비한다.

여기서, 분말 유입공(1122)과 가스 유입공(1123)의 사이즈는 분말 저장 홀(1111)의 사이즈와 동일하거나, 작은 것이 효과적이다. 또한, 분말 유입공(1122)과 가스 유입공(1123)은 회전하는 복수의 분말 저장 홀(1111)의 회전 이동 영역 내에 위치되는 것이 바람직하다. 이를 통해 회전 몸체부(1110)이 회전하더라도, 분말 유입공(1122)과 분말 저장 홀(1111) 그리고, 가스 유입공(1123)과 분말 저장홀(1111)이 항상 일치될 수 있다. 그리고, 분말 유입공(1122)과 가스 유입공(1123) 각각은 상측 차폐판(1120)의 대향 영역에 배치되는 것이 효과적이다. 이를 통해 분말 유입공(1122)과 가스 유입공(1123)을 연결하는 가상 선을 기준으로 가상 선의 양측에 위치하는 분말 저장 홀(1111)의 개수가 동일할 수 있다.

여기서, 가스 유입공(1123)은 캐리어 가스를 제공받아 그 하측에 위치한 분말 저장 홀(1111)에 제공한다. 이때, 가스 유입공(1123)을 통해 분말 저장 홀(1111)에 저장된 분말이 역류할 수 있다. 따라서, 상기 가스 유입공(1123) 내에는 상부 차단부(1124)를 설치한다. 이때, 상부 차단부(1124)는 미세홀이 형성된 얇 은 판 형상으로 제작한다. 이때, 미세홀의 사이즈는 분말의 사이즈보다 작게 제작한다. 이를 통해 미세홀을 통해 캐리어 가스는 통과하고 분말은 통과하지 못하게 되어 분말의 역류를 방지할 수 있다. 그리고, 상부 차단부(1124)를 통해 캐리어 가스를 분말 저장 홀(1111)에 균일하게 제공할 수 있다.

그리고, 도시되지 않았지만, 축 관통홀(1121)의 내측에는 베어링이 위치하여 회전축(1113)을 지지할 수 있다.

상측 실링부재(1150)는 분말 유입공(1122)과 가스 유입공(1123) 그리고, 분말 저장 홀(1111)의 외측의 상측 차폐판(1120)과 회전 몸체부(1110) 사이에 마련된 외측 실링 부재(1151)와, 분말 유입공(1122)과 가스 유입공(1123) 그리고, 분말 저장 홀(1111)의 내측의 상측 차폐판(1120)과 회전 몸체부(1110) 사이에 마련된 내측 실링 부재(1152)를 구비한다.

여기서, 상측 실링부재(1150)로 오링을 사용할 수 있다. 물론, 상측 차폐판(1120)은 고정되어 있고, 회전 몸체부(1110)는 회전한다. 따라서, 상측 실링 부재(1150)로 오링 및 마그네틱 실 중 적어도 어느 하나를 사용할 수 있다.

하측 차폐판(1130)은 회전축(1113)이 관통하는 축 관통공(1131)과, 분말 저장 홀(1111)의 압력 조절을 위해 펌프부(1400)에 접속된 압력 조절 공(1132)과, 분말 저장 홀(1111)의 분말을 배출하는 분말 배출공(1133)을 구비한다. 그리고, 압력 조절공(1132)에 마련된 분말의 확산을 방지하는 하부 차단부(1134)를 구비한다.

상기 분말 배출공(1133)의 사이즈는 분말 저장 홀(1111)의 사이즈와 동일한 것이 효과적이다. 압력 조절공(1132)의 사이즈는 분말 저장 홀(1111)의 사이즈보다 작은 것이 효과적이다. 그리고, 압력 조절 공(1132)에 마련된 하부 차단부(1134)는 분말 저장 홀(1111)의 사이즈와 동일한 것이 효과적이다. 이는 압력 조절공(1132)을 통해 분말 저장 홀(1111) 내부의 공기가 펌프부(1400)로 빠져나간다. 이때, 분말 저장 홀(1111)로 유입되는 분말도 함께 배출될 수 있다. 따라서, 하부 차단부(1134)를 두어 분말이 펌프부(1400)로 배출되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 하부 차단부(1134)는 미세홀이 형성된 얇은 판 형상으로 제작한다. 이때, 미세홀의 사이즈는 분말의 사이즈보다 작게 제작한다.

여기서, 상기 압력 조절공(1132)은 분말 유입공(1122) 하측 영역에 위치하고, 분말 배출공(1133)은 가스 유입공(1123) 하측 영역에 위치한다. 이를 통해 분말 저장 홀(1111)의 상측 영역이 압력 조절공(1132)에 정렬되는 순간, 분말 저장 홀(1111)의 하측 영역이 압력 조절공(1132)에 자동으로 정렬된다. 이를 통해 압력 조절공(1132)을 통해 분말 저장 홀(1111) 내부의 압력을 낮게 하면 분말 유입공(1122) 상측의 분말들이 떨어져 분말 저장 홀(1111) 내측으로 유입될 수 있게 된다. 또한, 분말 저장 홀(1111)의 상측 영역이 가스 유입공(1123)에 정렬되는 순간, 분말 저장 홀(1111)의 하측 영역이 분말 배출공(1133)에 자동으로 정렬된다. 이를 통해 가스 유입공(1123)을 통해 제공된 가스에 의해 분말들이 분말 배출공(1133)을 통해 외부로 배출될 수 있게 된다.

그리고, 도시되지 않았지만, 축 관통홀(1131)의 내측에는 베어링이 위치하여 회전축(1113)을 지지할 수 있다.

하측 실링 부재(1160)는 압력 조절공(1132)과 분말 배출공(1133) 그리고, 분 말 저장 홀(1111) 외측의 하측 차폐판(1130)과 회전 몸체부(1110) 사이에 마련된 외측 실링 부재(1161)와, 압력 조절공(1132)과 분말 배출공(1133) 그리고, 분말 저장 홀(1111)의 내측의 하측 차폐판(1130)과 회전 몸체부(1110) 사이에 마련된 내측 실링 부재(1162)를 구비한다.

이와 같은 본 실시예의 분말 공급부(1100)는 회전 몸체부(1110)를 회전시켜 복수의 분말 저장 홀(1111)이 순차적으로 분말 유입공(1122)과 압력 조절공(1132) 사이에 위치되도록 하여 복수의 분말 저장 홀(1111)에 순차적으로 분말을 저장시킨다. 즉, 분말 유입공(1122)과 압력 조절공(1132) 사이에 제 1 분말 저장 홀(1111a)이 배치되면 분말 저장부(1200)와 제 1 분말 저장 홀(1111a)은 연통된다. 이를 통해 분말 저장부(1200) 내의 분말이 제 1 분말 저장 홀(1111a) 내측으로 떨어지게 된다. 이때, 압력 조절공(1132)을 통해 제 1 분말 저장 홀(1111a) 내의 압력을 낮춤으로 인해 빠른시간 동안 분말을 제 1 분말 저장 홀(1111a)에 저장시킬 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고, 바이브레이터(1201)를 통해 분말 저장부(1200)를 움직여 분말의 강하 속도를 향상시킬 수 있다. 또한, 도시되지는 않았지만, 분말 저장부(1200) 내에 분말 혼합 부재를 두고, 이를 작동시킴으로써 분말의 강하속도를 향상시킬 수 있다. 이와 같이 제 1 분말 저장 홀(1111a)에 분말이 저장된 이후, 회전 몸체부(1110)를 회전시킨다. 이를 통해 제 2 분말 저장 홀(1111b)이 분말 유입공(1122)과 압력 조절공(11320 사이에 배치되고, 앞서와 같은 동작에 의해 분말이 채워진다. 이를 복수의 분말 저장 홀(1111)에 대하여 연속적으로 실시한다.

여기서 분말 공급부(1100)의 분말 저장 홀(1111)들에 분말이 채워지는 동작 과 분말이 배출되는 동작이 동시에 수행될 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고, 분말이 채워지는 동작 후에 분말이 배출되는 동작이 수행될 수 있다. 여기서, 분말이 채워지는 동작은 챔버(110)에 기판이 로딩되거나 언로딩 되는 동안 수행되는 것이 효과적이다. 그리고 분말이 배출되는 동작은 챔버(110)에 기판(101)이 안치된 이후에 수행되는 것이 효과적이다. 즉, 여기서, 일 분말 저장 홀(1111)에 채워진 분말의 양은 일 증착 공정시 사용되는 양인 것이 바람직하다.

그리고, 분말 공급부(1100)는 회전 몸체부(1110)를 회전시켜 분말이 저장된 복수의 분말 저장 홀(1111)이 순차적으로 가스 유입공(1123)과 분말 배출공(11330 사이에 위치되도록 하여 복수의 분말 저장 홀(1111)에 저장된 분말을 증착 장치(100)로 방출시킨다. 즉, 앞선 방법에 의해 분말이 채워진 제 4 분말 저장 홀(1111e)은 회전 몸체부(1110)의 회전에 의해 회전하여 가스 유입공(1123)과 분말 배출공(1133) 사이에 배치된다. 이를 통해 제 4 분말 저장 홀(1111e)은 증착 장치(100)와 연통된다. 이때, 가스 유입공(1123)을 통해 캐리어 가스가 제공되면, 캐리어 가스에 의해 제 4 분말 저장 홀(1111e)에 저장된 분말들은 증착 장치(100)로 쓸려 나가게 된다. 이후, 회전 몸체부(1110)를 회전시켜 제 5 분말 저장 홀(1111f)이 가스 유입공(1123)과 분말 배출공(11330 사이에 배치되도록 한다. 이와 같은 동작을 복수번 반복하여 복수의 분말 저장 홀(1111) 내의 분말을 증착 장치(100)에 순차적으로 제공한다.

상술한 실시예에서는 분말 공급부(1100)가 회전 몸체부(1110), 상측 차폐판(1120) 및 하측 차폐판(1130)으로 분리됨을 설명하였다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 분말 공급부(1110)는 회전 몸체부(1110)와, 회전 몸체부(1110)의 측면을 감싸는 하우징 형태의 측면부를 더 구비할 수 있다. 그리고, 상측 차폐판(1120)과 하측 차폐판(1130) 및 하우징 형태의 측면부를 통해 소정의 내부 공간이 형성되고, 이 내부 공간 내에서 회전 몸체부(1110)가 회전할 수도 있다.

분말 저장부(1200)는 분말 형태의 증착 원료가 저장된 탱크이다. 앞서 언급한 바와 같이, 분말 저장부(1200)는 탱크 내측의 분말의 뭉침을 방지하고, 분말의 낙하를 원활히 하기 위해 바이브레이터 또는 분말 혼합 부재(즉, 뭉침 방지를 위한 부재)를 더 구비할 수 있다.

캐리어 가스 공급부(1300)는 캐리어 가스가 저장된 탱크이다. 이때, 캐리어 가스로는 질소(N2) 가스, 아르곤(Ar) 가스 및 헬륨(He) 가스 중 적어도 어느 하나를 사용하는 것이 바람직하다. 캐리어 가스 공급부(1300)는 일정한 캐리어 가스를 분말 공급부(1100)에 제공한다. 이를 위해 캐리어 가스 공급부(1300)는 질량 유량계(Mass Flow Controller; MFC)을 더 포함하는 것이 바람직하다.

그리고 분말 공급 장치(1000)는 도 2에 도시된 바와 같이 챔버(110)와 분말 공급부(1100) 사이에 연결된 배관을 퍼지하기 위한 퍼지부(1500)를 더 구비한다. 즉, 챔버(110)와 분말 공급부(1100) 사이에 분말이 잔류하는 경우 퍼지부(1500)가 작동하여 퍼지 가스를 배관에 공급하여, 챔버(110)와 분말 공급부(1100) 사이의 배관에 잔류하는 분말을 제거할 수 있다.

상술한 구조의 분말 공급 장치(1000)를 갖는 본 실시예의 박막 증착 시스템의 동작 방법을 설명하면 다음과 같다.

증착 장치(100)의 챔버(110) 내측으로 기판(101)을 로딩하고, 로딩된 기판(101)을 기판 안치부(120)에 안치시킨다. 이어서, 분말 공급부(1100)의 회전 몸체부(1110)가 회전하여 분말이 저장된 분말 저장 홀(1111) 중 어느 하나가 캐리어 가스 공급부(1300)에 접속된 배관과 증착 장치(100)의 분사부(130)에 연통된 배관 사이에 위치되도록 한다. 그리고, 캐리어 가스 공급부(1300)를 통해 캐리어 가스를 제공하면 분말 저장 홀(1111)에 저장된 분말 형태의 증착 원료는 분사부(130)에 제공된다. 이와 같이 분사부(130)에 제공된 분말 형태의 증착 원료는 분사부(130) 내에서 기화되고, 기화된 증착 원료가 기판(101) 상에 흡착되어 박막을 형성하게 된다. 이때, 일 분말 저장 홀(1111)의 분말이 분사부(130)에 제공되는 동안 분말이 배출된 다른 일 분말 저장 홀(1111)의 내측으로는 분말 저장부(1200)로 부터 분말이 채워지게 된다. 이후, 박막 증착이 완료된 기판을 챔버(110) 외측으로 언로딩한다. 본 실시예의 박막 증착 시스템은 상술한 증착 공정을 복수번 반복할 수 있다. 즉, 박막이 증착된 기판(101)을 언로딩한 다음, 새로운 기판(101)을 챔버(110) 내부로 로딩하고, 분말 저장 홀(1111)에 저장된 분말 형태의 증착 원료를 챔버(110)에 제공하여 기판(101)에 박막을 증착하고, 이를 언로딩한다.

이와 같이 본 실시예의 분말 공급부(1100)는 복수의 분말 저장 홀(1111)이 회전하도록 하여 일측에서는 분말을 분말 저장 홀(1111)에 부어 넣고, 타측에서는 분말 저장 홀(1111)의 분말을 증착 장치(100) 장치에 제공하여, 증착 시스템의 가동 중지 없이 일정량의 분말 형태의 증착 원료를 증착 장치에 지속적으로 제공할 수 있다.

본 실시예의 분말 공급부(1100)는 상술한 설명에 한정되지 않고, 다양한 변형예가 가능하다.

도 5는 일 실시예의 제 1 변형예에 따른 분말 공급부의 평면도이다. 도 6은 도 5의 분말 공급부를 A-A 선에 대해 자른 단면도 개념도이다.

먼저, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 분말 저장부(1200)를 통해 분말 저장홀(1111)에 분말이 충진되는 시점과, 캐리어 가스 공급부(1300)를 통해 분말 저장홀(1111)에 충진된 분말이 토출되는 시점이 일치하지 않을 수 있다.

이는 도면에서와 같이 분말 저장부(1200)에 접속되는 분말 유입공(1122)과 제 1 분말 저장홀(1111a)이 연통된다. 이를 통해 제 1 분말 저장홀(1111a)에 분말 형태의 증착 원료를 충진한다. 이때, 캐리어 가스 공급부(1300)에 접속되는 가스 유입공(1123)이 제 4 및 제 5 분말 저장홀(1111d, 1111e) 사이 공간에 위치한다. 이로인해 가스 유입공(1123)은 몸체(1112)에 의해 차폐된다. 여기서, 회전 몸체부(1110)가 시계 방향으로 회전하기 때문에 가스 유입공(1122)은 제 5 분말 저장홀(1111e)과 연통된다. 이를 통해 제 5 분말 저장홀(1111e)에 저장된 증착 원료가 캐리어 가스에 의해 토출된다. 이때, 분말 유입공(1122)은 제 1 및 제 2 분말 저장홀(1111a, 1111b) 사이 공간에 위치한다. 이와 같이 분말을 분말 저장홀(1111)에 충진하는 단계와 분말을 외부도 토출 시키는 단계를 분리시켜 충진시 발생할 수 있는 문제(예를 들어, 진동에 의한 분말 공급부(1100)의 흔들림)가 토출시에 영향을 미치지 않도록 할 수 있다.

도 7은 일 실시예의 제 2 변형예에 따른 분말 공급부의 평면도이다. 도 8은 도 7의 분말 공급부를 A-A 선에 대해 자른 단면도이고, 도 9는 도 7의 분말 공급부를 B-B선에 대해 자른 단면도이다.

도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이 복수의 분말 저장부(1200a, 1200b)를 통해 복수의 분말 저장홀(1111)에 동시에 분말 형태의 증착 원료를 공급할 수 있다. 그리고, 캐리어 가스 공급부(1300a. 1300b)를 통해 복수의 분말 저장홀(1111)에 공급된 분말 형태의 증착 원료를 동시에 토출할 수 있다.

이를 위해 상측 차폐판(1120)에 복수의 분말 유입공(1122a 1122b)과 복수의 가스 유입공(1123a, 1123b)이 마련되고, 하측 차폐판(1130)에 복수의 압력 조절공(1132a, 1132b)과 복수의 분말 배출공(1133a, 1133b)이 마련된다. 상기 복수의 분말 유입공(1122a, 1122b)에는 각기 분말 저장부(1200a, 1200b)가 결합된다. 이때, 압력 조절 공(1132a, 1132b)에는 단일의 펌핑부(1400)에 결합된다. 그리고, 복수의 가스 유입공(1123a, 1123b)에는 단일의 캐리어 가스 공급부(1300)가 결합된다. 복수의 분말 배출공(1133a, 1133b)에는 하나의 출력단에 결합된다.

이와 같이 복수의 분말 배출공(1111)에 분말 형태의 증착 원료를 동시에 충진하고, 복수의 분말 배출공(1111)에 충진된 증착 원료를 동시에 토출하여 회전 몸체부(1110)의 회전 속도를 증가시키지 않고 분말 공급 속도를 증가시킬 수 있다.

본 변형예의 도면에서는 복수의 분말 저장부(1200a, 1200b)가 서로 다향하도록 이격 배치됨이 도시되었다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 복수의 분말 저장부(1200a, 12000b)가 인접 배치될 수도 있다.

도 10은 일 실시예의 제 3 변형예에 따른 분말 공급부의 평면도이다. 도 11 은 도 10의 분말 공급부를 A-A 선에 대해 자른 단면도이고, 도 12는 도 10의 분말 공급부를 B-B선에 대해 자른 단면도이다.

도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이 분말 배출공(1111)의 사이즈를 다르게 하여 분말 공급부(1100)를 통해 토출되는 분말 형태의 증착 원료의 량을 제어할 수 있다. 또한, 분말 배출공(1111)의 사이즈를 다르게 하여 제 1 사이즈의 분말 배출공으로는 제 1 증착 원료를 제공하고, 제 2 사이즈의 분말 배출공으로는 제 2 증착 원료를 제공할 수 있다. 즉, 단일의 분말 공급부(1100)를 통해 그 증착량이 각기 다른 다양한 증착 원료를 토출할 수 있다.

이에 도 10에 도시된 바와 같이 분말 배출공(1111)은 제 1 사이즈의 분말 배출공(1111a, 1111b, 1111c, 1111h)과 상기 제 1 사이즈보다 작은 제 2 사이즈의 분말 배출공(1111d, 1111e, 1111f, 1111g)을 포함한다. 앞선 변형예에서와 같이 각기 사이즈가 다른 분말 배출공(1111)에 분말 형태의 증착 원료를 제공하는 제 1 및 제 2 분말 저장부(1200a, 1200b) 그리고, 제 1 및 제 2 펌핑부(1400)를 구비한다. 또한, 각기 사이즈가 다른 분말 배출공(1111)의 분말을 토출시키는 제 1 및 제 2 캐리어 가스 공급부(1300a, 1300b)를 더 구비한다. 이는 분말 배출공(1111)의 사이즈가 다르기 때문에 각 분말 배출공(1111)에 제공되는 압력과 캐리어 가스의 유량이 다른 것이 효과적이다. 물론 이에 한정되지 않고, 앞선 제 2 변형예에서와 같이 단일의 캐리어 가스 공급부를 사용할 수도 있다.

여기서, 제 1 분말 저장부(1200a)는 제 1 사이즈의 분말 배출공(1111a, 1111b, 1111c, 1111h)에 제 1 증착 원료를 제공하고, 제 2 분말 저장부(1200b)는 제 2 사이즈의 분말 배출공(1111d, 1111e, 1111f, 1111g)에 제 2 증착 원료를 제공한다.

여기서, 제 1 사이즈의 분말 배출공(1111a, 1111b, 1111c, 1111h)은 회전 몸체부(1110)의 좌측 영역에 배치되고, 제 2 사이즈의 분말 배출공(1111d, 1111e, 1111f, 1111g)은 회전 몸체부(1110)의 우측 영역에 배치된다. 따라서, 회전 몸체부(1110)는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 1회전을 하지 않고, 정해진 각도 범위(예를 들어 30도 내지 180도) 내에서 시계 방향과 반시계 방향의 회전을 수행할 수도 있다. 하지만 이에 한정되지 않고, 제 1 및 제 2 사이즈의 분말 배출공이 교번으로 배치될 수 있다. 즉, 인접 배치될 수 있다. 이 경우, 회전 몸체부(1110)의 회전각도(예를 들어 90도)를 증대시켜 일 분말 배출공에 분말을 공급한 이후, 인접한 분말 배출공이 아닌 다음번 분말 배출공에 동일한 분말을 제공할 수 있다.

그리고, 도 12에서는 제 1 증착 원료와 제 2 증착 원료가 각기 다른 배관을 통해 토출됨이 도시되었다. 하지만, 이에 한정되지 않고, 제 1 및 제 2 증착 원료가 분기된 단일 배관을 통해 토출될 수 있다.

도 13은 일 실시예의 제 4 변형예에 따른 분말 공급부의 단면도이다.

도 13에 도시된 바와 같이 회전 몸체부(1110)는 제 1 몸체(1112a)와, 제 2 몸체(1112b)를 구비한다. 여기서, 제 2 몸체(1112b)는 제 1 몸체(1112a)의 분말 저장홀(1111)에 대응하는 분말 수납홀(1114)을 구비한다. 이때, 제 1 몸체(1112a)와 제 2 몸체(1112b) 사이에는 몸체 실링 부재(1170)이 마련될 수 있다.

이때, 제 1 몸체(1112a)와 제 2 몸체(1112b)는 동시에 동일 방향으로 회전하 거나 각기 서로 다른 방향으로 회전하거나, 제 1 몸체(1112a)가 회전하고, 제 2 몸체부(1112b)는 필요에 따라 회전하지 않고 고정될 수도 있다. 물론 제 2 몸체(1112b)가 회전하고, 제 1 몸체(1112a)가 고정될 수도 있다. 이와 같은 회전과 고정 동작이 조합될 수도 있다.

이를 통해 분말 공급부(1100)를 통해 제공되는 분말 형태의 증착 원료의 량을 다양하게 제어할 수 있다. 즉, 만일 제 1 몸체(1112a)와 제 2 몸체(1112b)가 동시에 동일 방향으로 회전하는 경우, 제 1 및 제 2 몸체(1112a, 1112b)의 분말 저장홀(1111)과 분말 수납홀(1114) 내에 증착 원료가 충진 된다. 그리고, 제 1 및 제 2 몸체(1112a, 1112b)가 동일 방향으로 회전하여 분말 저장홀(1111)과 분말 수납홀(1114)에 저장된 증착 원료가 토출된다. 만일 제 1 몸체(1112a)가 회전하고, 제 2 몸체부(1112b)는 필요에 따라 회전하지 않고 고정된 경우, 제 1 및 제 2 몸체(1112a, 1112b)의 분말 저장홀(1111)과 분말 수납홀(1114) 내에 증착 원료가 충진 된다. 그리고, 제 1 몸체(1112a)가 회전하고, 제 2 몸체(1112b)가 고정된 경우, 제 1 몸체(1112a)의 분말 저장홀(1111) 만이 회전한다. 따라서, 분말 저장홀(1111) 내에 충진된 양 만큼의 증착 원료가 토출된다. 이와 같이 본 실시예에서는 회전하는 몸체(1112)를 분리하고, 분리된 몸체 각각의 회전을 제어하여 토출되는 분말 형태의 증착 원료의 량을 자유롭게 제어할 수 있다.

상술한 변형예들의 기술은 각각의 변형예에 국한되지 않고, 서로 조합될 수 있고, 조합된 기술이 실시예에 적용될 수 있다.

본 발명은 상기에서 서술된 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양 한 형태로 구현될 수 있다. 즉, 상기의 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명의 범위는 본원의 특허 청구 범위에 의해서 이해되어야 한다.

도 1은 종래의 유기 박막 증착 시스템의 개념도.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 시스템의 블록도.

도 3은 일 실시예에 따른 분말 공급부의 단면 개념도.

도 4는 일 실시예에 따른 분말 공급부의 분해 사시도.

도 5는 일 실시예의 제 1 변형예에 따른 분말 공급부의 평면도.

도 6은 도 5의 분말 공급부를 A-A 선에 대해 자른 단면도 개념도.

도 7은 일 실시예의 제 2 변형예에 따른 분말 공급부의 평면도.

도 8은 도 7의 분말 공급부를 A-A 선에 대해 자른 단면도.

도 9는 도 7의 분말 공급부를 B-B선에 대해 자른 단면도.

도 10은 일 실시예의 제 3 변형예에 따른 분말 공급부의 평면도.

도 11은 도 10의 분말 공급부를 A-A 선에 대해 자른 단면도.

도 12는 도 10의 분말 공급부를 B-B선에 대해 자른 단면도.

도 13은 일 실시예의 제 4 변형예에 따른 분말 공급부의 단면도.

<도면의 주요 부호에 대한 부호의 설명>

100 : 증착 장치 1000 : 분말 공급 장치

1100 : 분말 공급부 1110 : 회전 몸체

1120 : 상측 차폐부 1130 : 하측 차폐부

1200 : 분말 저장부 1300 : 캐리어 가스 공급부

1111a 내지 1111h : 분말 저장 홀

Claims (22)

1. 회전하는 복수의 분말 저장 홀을 갖는 분말 공급부;

   상기 복수의 분말 저장 홀 중 적어도 하나의 일 분말 저장 홀에 분말 형태의 증착 원료를 제공하는 적어도 하나의 분말 저장부; 및

   상기 복수의 분말 저장홀 중 상기 분말 형태의 증착 원료가 저장된 적어도 하나의 타 분말 저장홀에 캐리어 가스를 제공하여 저장된 상기 분말 형태의 증착 원료를 외부로 배출시키는 적어도 하나의 캐리어 가스 공급부를 포함하는 증착 원료 공급 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 적어도 하나의 일 분말 저장 홀의 압력을 조절하는 적어도 하나의 펌핑부를 더 구비하는 증착 원료 공급 장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 복수의 분말 저장 홀은 제 1 사이즈의 직경을 갖는 복수의 제 1 분말 저장 홀과, 상기 제 1 사이즈보다 작은 제 2 사이즈의 직경을 갖는 복수의 제 2 분말 저장홀을 포함하는 증착 원료 공급 장치.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 분말 저장부는 상기 제 1 분말 저장홀에 제 1 증착 원료를 제공하는 제 1 분말 저장부와, 상기 제 2 분말 저장홀에 제 2 증착 원료를 제공하는 제 2 분말 저장부를 포함하는 증착 원료 공급 장치.
5. 청구항 1에 있어서, 상기 분말 공급부는,

   상기 복수의 분말 저장 홀을 갖는 회전 몸체부;

   상기 회전 몸체부 상측면에 밀착된 상측 차폐판;

   상기 회전 몸체부 하측면에 밀착된 하측 차폐판; 및

   상기 회전 몸체부를 회전시키는 구동부를 포함하는 증착 원료 공급 장치.
6. 청구항 5에 있어서, 상기 회전 몸체부는,

   원통 형상의 몸체와, 몸체 중심의 상하측 방향으로 연장되어 상기 구동부에 접속된 회전축을 구비하고,

   상기 복수의 분말 저장 홀은 몸체의 중심에서 동일 거리로 이격 배치된 증착 원료 공급 장치.
7. 청구항 5에 있어서, 상기 회전 몸체부는,

   원통 형상의 몸체와, 몸체 중심의 상하측 방향으로 연장되어 상기 구동부에 접속된 회전축을 구비하고,

   상기 복수의 분말 저장 홀은 몸체의 중심에서 동일 거리로 이격 배치된 증착 원료 공급 장치.
8. 청구항 6에 있어서,

   상기 몸체는 상기 상측 차폐판에 밀착된 제 1 몸체와, 상기 하측 차폐판에 밀착된 제 2 몸체를 구비하고,

   상기 제 1 몸체와 상기 제 2 몸체를 서로 동일 방향으로 회전하거나, 서로 반대 방향으로 회전하거나, 둘중 어느 하나만이 회전하는 증착 원료 공급 장치.
9. 청구항 5에 있어서,

   상기 상측 차폐판은 상기 분말 저장부에 접속된 분말 유입공과, 상기 캐리어 가스 공급부에 접속된 가스 유입공을 구비하고,

   상기 분말 유입공과 상기 가스 유입공 사이에 적어도 하나 이상의 분말 저장홀이 배치되도록 상기 분말 유입공과 상기 가스 유입공이 이격 배치된 증착 원료 공급 장치.
10. 청구항 9에 있어서,

    상기 가스 유입공 내측에 마련되고 분말의 사이즈보다 작은 미세홀을 갖는 판 형상의 상부 차단부를 더 구비하는 증착 원료 공급 장치.
11. 청구항 9에 있어서,

    상기 하측 차폐판은 외부 배출구에 접속된 분말 배출공과, 압력 조절을 위한 펌프부에 접속된 압력 조절공 및 상기 회전 몸체부의 회전축이 관통하는 축 관통공을 구비하고,

    상기 분말 배출공은 상기 가스 유입공 하측에 대향 배치되고, 상기 압력 조절공은 상기 분말 유입공 하측에 대향 배치되는 증착 원료 공급 장치.
12. 청구항 11에 있어서,

    분말의 사이즈보다 작은 미세홀을 갖는 판 형상으로 제작되어 상기 압력 조절공에 마련된 하부 차단부를 더 구비하는 증착 원료 공급 장치.
13. 청구항 11에 있어서,

    상기 상측 차폐판과 상기 회전 몸체부 사이 그리고, 상기 하측 차폐판과 상기 회전 몸체부 사이에 마련된 상측 실링부재를 더 구비하는 증착 원료 공급 장치.
14. 청구항 1에 있어서,

    상기 분말 저장부에 부착된 바이브레이터 또는 상기 분말 저장부 내에 마련된 분말 혼합 부재를 더 구비하는 증착 원료 공급 장치.
15. 분말 형태의 증착 원료를 제공받아 기판상에 박막을 증착하는 증착 장치; 및

    상기 분말 형태의 증착 원료가 저장된 분말 저장부와, 캐리어 가스를 제공하는 캐리어 가스 공급부와, 회전하는 복수의 분말 저장 홀을 구비하고, 상기 복수의 분말 저장 홀에 상기 분말 저장부의 상기 분말 형태의 증착 원료를 저장하고, 상기 복수의 분말 저장 홀에 저장된 상기 분말 형태의 증착 원료를 상기 캐리어 가스를 이용하여 순차적으로 증착 장치에 제공하는 분말 공급부를 구비하는 증착 원료 공급 장치를 포함하는 박막 증착 시스템.
16. 청구항 15에 있어서, 상기 분말 공급부는,

    상기 복수의 분말 저장 홀을 갖는 회전 몸체부;

    상기 회전 몸체부 상측면에 밀착되어 상기 분말 저장부와 상기 캐리어 가스 공급부에 각기 접속된 상측 차폐판;

    상기 회전 몸체부 하측면에 밀착되어 상기 증착 장치에 접속된 하측 차폐판; 및

    상기 회전 몸체부를 회전시키는 구동부를 포함하는 박막 증착 시스템.
17. 청구항 16에 있어서,

    상기 하측 차폐판과 상기 증착 장치는 파이프를 통해 접속되고,

    상기 증착 원료 공급 장치는 상기 파이프에 퍼지 가스를 제공하는 퍼지 가스 공급부를 더 포함하는 박막 증착 시스템.
18. 회전하는 복수의 분말 저장 홀에 분말 형태의 증착 원료를 제공하는 단계;

    상기 복수의 분말 저장 홀에 저장된 상기 증착 원료를 배출하는 단계; 및

    상기 배출된 증착 원료를 이용하여 복수의 기판상에 순차적으로 박막을 증착하는 단계를 포함하는 박막 증착 방법.
19. 청구항 18에 있어서,

    상기 일 분말 저장 홀에 저장되는 상기 증착 원료의 량은 일 기판에 박막을 형성시킬 양과 동일한 박막 증착 방법.
20. 청구항 18에 있어서,

    상기 증착 원료는 펌핑 및 자중에 의한 강하에 의해 상기 분말 저장 홀에 저장되고, 상기 분말 저장 홀에 저장된 증착 원료는 캐리어 가스에 의해 배출되는 박막 증착 방법.
21. 청구항 18에 있어서,

    상기 증착 원료는 제 1 증착 원료와 제 2 증착 원료를 포함하고,

    상기 복수의 분말 저장홀 중 일부의 분말 저장홀에 제 1 증착 원료를 제공하고, 나머지 분말 저장홀에 제 2 증착 원료를 제공하며,

    상기 제 1 증착 원료가 제공된 일 분말 저장홀과, 상기 제 2 증착 원료가 제 공된 일 분말 저장홀에 캐리어 가스를 제공하여 제 1 증착 원료와 제 2 증착 원료를 배출하는 박막 증착 방법.
22. 청구항 18에 있어서, 상기 순차적으로 배출된 증착 원료를 이용하여 상기 복수의 기판상에 순차적으로 박막을 증착하는 단계는,

    일 기판을 증착 장치 내측에 안치시키는 단계;

    일 분말 저장 홀의 상기 증착 원료를 상기 증착 장치에 제공하는 단계;

    상기 증착 원료를 기화시켜 상기 일 기판 상에 일 박막을 증착하는 단계;

    일 박막이 증착된 상기 일 기판을 상기 증착 장치 외부로 언로딩하는 단계;

    상기 증착 장치 내측으로 타 기판을 안치시키는 단계;

    타 분말 저장 홀의 상기 증착 원료를 상기 증착 장치에 제공하는 단계;

    상기 증착 원료를 기화시켜 상기 타 기판 상에 타 박막을 증착하는 단계; 및

    상기 타 박막이 증착된 상기 타 기판을 상기 증착 장치 외부로 언로딩하는 단계를 구비하는 박막 증착 방법.

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