JPS59154131A - 蒸着試料供給装置 - Google Patents
蒸着試料供給装置Info
- Publication number
- JPS59154131A JPS59154131A JP2770783A JP2770783A JPS59154131A JP S59154131 A JPS59154131 A JP S59154131A JP 2770783 A JP2770783 A JP 2770783A JP 2770783 A JP2770783 A JP 2770783A JP S59154131 A JPS59154131 A JP S59154131A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- vapor deposition
- outlet
- discharge pipe
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/008—Feed or outlet control devices
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明は、蒸着試料供給装置に関し、史に詳しくはフラ
ッシュ蒸着法に２いて足１った粒径の蒸着試″４＋金時
間的に一足童蒸涜源に供給するための蒸着試料供給装置
に関する。
ッシュ蒸着法に２いて足１った粒径の蒸着試″４＋金時
間的に一足童蒸涜源に供給するための蒸着試料供給装置
に関する。
（２）技術の背景並びに従来技術と問題点フラッシュ蒸
着法とよばれる蒸着方法は、粉末あるいは細粒状の蒸着
試料を、高温に珠侍された蒸着源に落下させ瞬間的に蒸
発させるものであり、粒体組成の変化を有効に防止でき
る蒸着方法である。
着法とよばれる蒸着方法は、粉末あるいは細粒状の蒸着
試料を、高温に珠侍された蒸着源に落下させ瞬間的に蒸
発させるものであり、粒体組成の変化を有効に防止でき
る蒸着方法である。
このよ′）ｌフラッシュ蒸着法を実施する場合、蒸着源
に蒸着試料が一足量づつ供給されることが必髪である。
に蒸着試料が一足量づつ供給されることが必髪である。
従来、蒸着試料を供給するだめの装置は第１図に示され
るように、ホッパー１に導入された粉末状の試料２をシ
ーート３上に落下させ、該シーートをバイブレータ４で
振動させながら、該蒸着試料２を蒸着源５に供給してい
た。しかるにこのような装置を用いた場合、試料が粉末
であることなどの制ＰＲがあるのみならず、時間的に一
足量の蒸着試料を供給することが非常に困難であった。
るように、ホッパー１に導入された粉末状の試料２をシ
ーート３上に落下させ、該シーートをバイブレータ４で
振動させながら、該蒸着試料２を蒸着源５に供給してい
た。しかるにこのような装置を用いた場合、試料が粉末
であることなどの制ＰＲがあるのみならず、時間的に一
足量の蒸着試料を供給することが非常に困難であった。
（３）発明の目的勘よび画成
本発明は蒸Ｎ臨に供給する蒸着試料の速度（以下、供給
速度という）を制御することのできる蒸看試料供給装＃
を提供することをその目的とする。
速度という）を制御することのできる蒸看試料供給装＃
を提供することをその目的とする。
かかる目的のために、本発明は蒸着試料供給用ホッパー
の下部に、該ホッパー内の類Ｎ試料を排出させる排出管
を設け、該排出管からυＦ出された試料を受は入れる計
量筒体ｒ１該排出管の出口に対向させて該排出管と同軸
状に設け、該計二訛筒体の入口と出口をさえぎる二つの
回転板を互いに同軸に設け、両回転板には該回転板の回
転に伴って前記計量筒体の入口と出口を定期的に且つ互
いに時間的にずらして開放させる穴を設けたことを特徴
とする〇 このよう１本発明に２いて、排出管２よび計量量体内に
設けられた穴の大きさは、駆足はされないが、蒸着試料
を受は入れる程度が好ましい。
の下部に、該ホッパー内の類Ｎ試料を排出させる排出管
を設け、該排出管からυＦ出された試料を受は入れる計
量筒体ｒ１該排出管の出口に対向させて該排出管と同軸
状に設け、該計二訛筒体の入口と出口をさえぎる二つの
回転板を互いに同軸に設け、両回転板には該回転板の回
転に伴って前記計量筒体の入口と出口を定期的に且つ互
いに時間的にずらして開放させる穴を設けたことを特徴
とする〇 このよう１本発明に２いて、排出管２よび計量量体内に
設けられた穴の大きさは、駆足はされないが、蒸着試料
を受は入れる程度が好ましい。
（４ン 発明の実施汐Ｖ
以下、本発明の一実ＩｈｆＪ？１を第２図２よび第３図
に基づいて説明する〇 蒸着試料供給用ホッパー６の下部６ａに複数個の試料排
出管７が設けられている。この排出管７の内径は、例え
ば蒸着試料の粒径より約１０％程度人きいものとする。
に基づいて説明する〇 蒸着試料供給用ホッパー６の下部６ａに複数個の試料排
出管７が設けられている。この排出管７の内径は、例え
ば蒸着試料の粒径より約１０％程度人きいものとする。
排出管７の出口側に該出口に対向させて、該排出管７か
ら排出された試料を受は入れる計量筒体８を該排出管７
と同軸状に設ける。この計量筒体の内径は該排出管７０
円径とＮ径であり、その筒長は１回に供給する試料の数
を粒径に乗じたものより、粒径の１０〜２０％程度大と
する。排出管７の排出側と計量筒体８０入口側との間に
上部回転板９を、計量筒体８の出口側に下部回転板９′
を互いに同軸に設ける。下部回転板９′は上部回転板９
と同一の軸１０で固定されてｊ８′ジ、この軸は回転速
度が変えられる駆動装置１１で回転用能である。この場
合、該装［’ｌ １のオン−オフおよび回転速度は蒸着
装置の外部から制御できる機僧になっている。上部回転
板９ｊ、′よび下部回転板９′には試料が通過できる程
度の大きさを有する複数の穴１２ 、１２’がそれぞれ
排出管の数に応じて設けられている。また、上部回転板
９０大１２と下部回転板９′の穴１２’との位置関係は
それらの穴の位ｔＩ！ｔが重ならない程度に互いに同一
円周方向にずれているものである。
ら排出された試料を受は入れる計量筒体８を該排出管７
と同軸状に設ける。この計量筒体の内径は該排出管７０
円径とＮ径であり、その筒長は１回に供給する試料の数
を粒径に乗じたものより、粒径の１０〜２０％程度大と
する。排出管７の排出側と計量筒体８０入口側との間に
上部回転板９を、計量筒体８の出口側に下部回転板９′
を互いに同軸に設ける。下部回転板９′は上部回転板９
と同一の軸１０で固定されてｊ８′ジ、この軸は回転速
度が変えられる駆動装置１１で回転用能である。この場
合、該装［’ｌ １のオン−オフおよび回転速度は蒸着
装置の外部から制御できる機僧になっている。上部回転
板９ｊ、′よび下部回転板９′には試料が通過できる程
度の大きさを有する複数の穴１２ 、１２’がそれぞれ
排出管の数に応じて設けられている。また、上部回転板
９０大１２と下部回転板９′の穴１２’との位置関係は
それらの穴の位ｔＩ！ｔが重ならない程度に互いに同一
円周方向にずれているものである。
かかる装置を用いて蒸着試料を供給する場合の作動を説
明する。蒸着試料供給用ホッパー６内の試料１３は試料
リド出前７に導入される。導入された試料１３は回転板
９の穴１２が該すＦ出管７の位置に位置した場合、排出
管７から排出され穴１２を通過して計量筒体８に入る。
明する。蒸着試料供給用ホッパー６内の試料１３は試料
リド出前７に導入される。導入された試料１３は回転板
９の穴１２が該すＦ出管７の位置に位置した場合、排出
管７から排出され穴１２を通過して計量筒体８に入る。
この場合、回転板９′の穴１２′は計量筒体８に軸方向
に位置していないので、試料の落下は停止し、一定量の
個数の試料粒子が計量筒体８に収納される。次に回転板
９′の穴１２′の位置が計量筒体８と＠１方向の位置関
係になった場合、収納された試料は落下し、４管１３を
通過して蒸看源１４に移ｓ−ｒる。この場合、回転板９
の穴１２は排出管７と互いに軸方向の位置関係にないの
で計量筒体８に収納された数の試料粒子のみが然漸源１
４に供給される。尚、この装置に２いて試料の供ｌＩ＠
速度は計量筒体の数２よび長さ、回転板９，９′の回転
速度および穴１２゜１２′の数により好ましく制御でき
る０（５）発明の詳細 な説明したように本発明は構成されるものであるから、
フラッシュ類Ｎを行′）場合、蒸着試料の供給速度をｆ
足的に一足に保付する効果を奏する。従って、蒸着速度
を一足に保つことが可能となると共に供給速度を変化で
きるので、蒸着速度も容易に例＃することが口Ｊ能とｌ
る０
に位置していないので、試料の落下は停止し、一定量の
個数の試料粒子が計量筒体８に収納される。次に回転板
９′の穴１２′の位置が計量筒体８と＠１方向の位置関
係になった場合、収納された試料は落下し、４管１３を
通過して蒸看源１４に移ｓ−ｒる。この場合、回転板９
の穴１２は排出管７と互いに軸方向の位置関係にないの
で計量筒体８に収納された数の試料粒子のみが然漸源１
４に供給される。尚、この装置に２いて試料の供ｌＩ＠
速度は計量筒体の数２よび長さ、回転板９，９′の回転
速度および穴１２゜１２′の数により好ましく制御でき
る０（５）発明の詳細 な説明したように本発明は構成されるものであるから、
フラッシュ類Ｎを行′）場合、蒸着試料の供給速度をｆ
足的に一足に保付する効果を奏する。従って、蒸着速度
を一足に保つことが可能となると共に供給速度を変化で
きるので、蒸着速度も容易に例＃することが口Ｊ能とｌ
る０
第１図は従来の蒸着試料供給装置の説明図であジ１
第２図は本発明の一実施例の蒸着試料供給装置の説明図
であり、 第３図は第２図の装置に用いられる回転板の平面図であ
る。 ６・・・蒸着試料供給用ホッパー ７・・・排出管 ８・・・計量筒体 ９・・・上部回転板 ９１・・・下郡回転板 １２ 、１２’・・・大 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 育 木 朗 弁理士 西 浦 本口 之 ９Ｐ埋士 内田辛男 弁理士 山 口 昭 之
であり、 第３図は第２図の装置に用いられる回転板の平面図であ
る。 ６・・・蒸着試料供給用ホッパー ７・・・排出管 ８・・・計量筒体 ９・・・上部回転板 ９１・・・下郡回転板 １２ 、１２’・・・大 特許出願人 富士通株式会社 特許出願代理人 弁理士 育 木 朗 弁理士 西 浦 本口 之 ９Ｐ埋士 内田辛男 弁理士 山 口 昭 之
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、蒸着試料供給用ホッパーの下部に、該ホッパー内の
蒸着試料を排出させる排出管を設け、該排出管から排出
された試料を受は入れる計重筒体を、該排出管の出口に
別間させて咳排出管と同軸状に設け、該計重筒体の入口
と出口をさえぎる二つの回転板を互いに同軸に設け、両
回転板には該回転板の回転に伴って前記計重筒体の入口
と出口を定期的に且つ互いに時間的にずらして開放させ
る穴を設けたことを特徴とする、蒸着試料供給装置。 ２、前記排出管２よび計重筒体が試料を一列状態で受は
入れる大きさである、特許請求の範囲第１ 項自己載の
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2770783A JPS59154131A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 蒸着試料供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2770783A JPS59154131A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 蒸着試料供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59154131A true JPS59154131A (ja) | 1984-09-03 |
Family
ID=12228461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2770783A Pending JPS59154131A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 蒸着試料供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59154131A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6020730U (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-13 | 象印マホービン株式会社 | ストロ−付き水筒 |
| JP2006045589A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Ulvac Japan Ltd | 成膜材料供給装置 |
| CN102513030A (zh) * | 2012-01-09 | 2012-06-27 | 北京林业大学 | 一种重力式生物质进料装置 |
| KR101195131B1 (ko) * | 2007-12-26 | 2012-10-29 | (주)에이디에스 | 증착 원료 공급 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템 |
-
1983
- 1983-02-23 JP JP2770783A patent/JPS59154131A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6020730U (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-13 | 象印マホービン株式会社 | ストロ−付き水筒 |
| JPH0127697Y2 (ja) * | 1983-07-18 | 1989-08-22 | ||
| JP2006045589A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Ulvac Japan Ltd | 成膜材料供給装置 |
| KR101195131B1 (ko) * | 2007-12-26 | 2012-10-29 | (주)에이디에스 | 증착 원료 공급 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템 |
| CN102513030A (zh) * | 2012-01-09 | 2012-06-27 | 北京林业大学 | 一种重力式生物质进料装置 |
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