KR20090068902A - Inspection apparatus of a probe card - Google Patents

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Abstract

An inspection apparatus of a probe card is provided to prevent vibration by vacuum-absorbing a mother board fixing plate by a vacuum port installed in a main frame. A mainframe assembly(10) includes a main frame, a mother board fixing plate, and a flatness measuring unit. The flatness measuring unit is installed in other side of the main frame and inspects the flatness of the probe card. A tester frame assembly(60) includes a tester frame and an interface pogo assembly. The tester frame is combined in one side of the main frame. The pogo assembly receiving unit is formed in one side of the tester frame. A tester rack is installed inside the tester frame. An interface pogo assembly is received in the pogo assembly receiving unit and connects the tester rack and the mother board. A scope frame assembly(70) includes a scope frame, a screen display unit, and a microscope unit. The scope frame is coupled in other side of the main frame. A sliding member moving left and right is coupled in one side of the scope frame.

Description

프로브 카드의 검사장치{Inspection apparatus of a probe card}Inspection apparatus of a probe card

본 발명은 프로브 카드의 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 칩의 주요 검사 장치인 프로브 카드에 니들(needle) 및 여러 부품 들을 부착한 상태에서도 테스트가 가능한 프로브 카드의 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for a probe card, and more particularly, to an inspection apparatus for a probe card that can be tested even with needles and various components attached to a probe card, which is a main inspection apparatus for a semiconductor chip.

프로브 카드(Probe card)는 특정 반도체 제조 공정(FAB)이 완료된 웨이퍼(Wafer) 상에 있는 각각의 칩(Chip)들을 검사하기 위한 것으로, PCB 위에 에폭시(Epoxy)로 고정시킨 니들을 이용하여 각각의 테스트하려는 칩의 패드(Pad)에 접촉시킨 후 테스트 시스템의 전기적 신호를 칩 상에 전달하여 웨이퍼의 양품과 불량품을 구분하는데 사용되는 핵심 장치이다.A probe card is used to inspect each chip on a wafer on which a specific semiconductor fabrication process (FAB) is completed. Each probe card uses an epoxy fixed needle on a PCB. After contacting the pad of the chip to be tested, it transmits the electrical signal of the test system on the chip and is a key device used to distinguish between good and bad wafers.

종래에는 현미경이 준비된 단순한 테이블 위에 프로브 카드를 올려놓은 상태에서 작업자가 검사 위치를 수동적으로 설정해 가면서 검사하게 되므로 정확한 검사를 실시하지 못하였다.In the related art, the operator did not accurately perform the inspection while manually setting the inspection position while the probe card was placed on a simple table prepared with a microscope.

전술한 문제점을 해결하기 위한 선행기술이 한국등록특허공보 제10-0180610 호(1999.04.01) "프로브카드 검사기"에 개시되어 있다. 상기 선행기술은 본 수평으로 분리되서 전,후방향과 좌,우방향으로 위치를 변경시켜 줄 수 있도록 하는 X, Y방향이동장치를 구성하는 카드벤취를 일정한 구간에서만 회전할 수 있게 하는 메세조정용 회전장치를 구성하며 상기의 X, Y방향이동장치와 미세조정용 회전장치를 동시에 상승시켜 주거나 하강시켜주는 리프트장치를 구성하고 현미경이 전·후·좌·우로 자유롭게 슬라이드 이동하는 현미경 슬라이드 이동 장치를 가진 프로브카드(probe card) 검사기를 구성하되, 상기의 프로브카드 검사기는, 판상의 테이블을 형성하여 그 저면에는 지지각을 형성하고 일측면의 중앙에는 핸들축지지부를 형성하며, 상기의 테이블 상면에는 회전축을 결합하여 회전판베어링을 회동 설치한 회전판이 360°자유회동할 수 있게 결합하되 그 상면에는 가이드베어링지지판을 형성하여 리프트가이드베어링을 결합하는 한편 반구형홈에 아암지지베어링이 자유회동할 수 있게 된 베어링홀더를 결합하고 또한, 상기의 아암지지베어링 상면에는 양단부중 일단부에는 스크류축을 가진 높낮이조정핸들과 그 반대쪽에 리프트베어링을 결합한 리프트아암을 결합하며, 상기의 리프트아암 상면에는 가이드베어링지지각을 하방향으로 형성하여 리프트가이드베어링을 결합한 리프트판을 결합하며 그 상면에는 사각판체의 상면양쪽에 Y방향가이드베어링을 결합하고 전면 중앙에는 마이크로미터브라켓을 결합한 고정판을 결합하며 상기의 고정판 상면에는 저면 중심부와 양쪽부에 장축간의 스프링입설홈과 기이드베어링홈을 형성하여 장축간 압축스프링과 Y방향가이드베어링을 결합한 Y방향이동판을 결합하고 상기의 Y방향이동판 상면에는 X방향가이드베어링을 결합하고 중심 저면부에 스프링입설홈을 형성하여 압축스프링 을 탄설하고 X방향마이크로미터로 조정되는 X방향이동판을 형성하여 결합하며 상기 X방향이동판의 상면에는 일측면에 두 개의 마이크로브라켓을 결합하여 회전용 마이크로미터를 결합한 회전판벤취를 결합하되, 그 외주연 일측에는 축브라켓을 형성하여 수직상의 회전유도축을 결합하고 저면 중심부에는 회전축을 형성하여 상기의 회전판벤취 상면에서 회전가능하게 결합하며 상기 카드벤취회전판의 상면에는 평면상 원형 또는 사각형의 진공홈과 연통구멍을 형성하고 판체의 사면에는 구멍을 형성하여 자석을 입설한 프로브카드벤취를 결합하고 또한 상기 회전판의 네곳 모서리 상면에는 후레임포스트를 입설하여 그 상면에 작업대후레임을 결합하고 그 작업대후레임의 상면 양측에는 작업대가이드를 결합하여 초점판과 작업판을 결합하고 상기의 테이블 배면 양쪽에는 수직상 현미경포스트를 입설하여 그 상단부 양쪽에 종축브라켓을 결합하고 그 종축브라켓에는 두 개의 수평간 좌,우횡축을 입설하여 횡축하우징을 결합하며 그 횡축하우징에는 전,후횡축을 수평간 입설하여 현미경회전축을 가진 현미경축하우징을 결합하고 또 전,후횡축브라켓을 결합하고 현미경을 결합 구성함을 특징으로 하는 프로브카드 검사기에 관한 것이다.Prior art for solving the above-mentioned problems is disclosed in Korean Patent Publication No. 10-0180610 (1999.04.01) "probe card checker". The prior art rotates for adjusting the mesh so that the card bend constituting the X, Y direction moving device can be rotated only in a certain section so that the position can be changed in the front, rear direction and the left and right directions. Probe with a microscope slide shifting device for constructing the device and constructing a lift device that raises or lowers the X, Y direction moving device and the fine adjustment rotating device at the same time, and the microscope slides freely forward, backward, left and right. Probe card tester, wherein the probe card tester, the plate-shaped table to form a support angle on the bottom surface, the handle shaft support portion is formed in the center of one side, the rotating shaft on the table The rotating plate installed by rotating the rotating plate bearing is combined so that it can rotate 360 ° freely, but the upper surface of the guide bearing is supported. The bearing holder which allows the arm support bearing to be freely rotated in the hemispherical groove, and the upper and lower adjustment handles having screw shafts at one end of both ends thereof on the upper surface of the arm support bearing. The lift arm coupled with the lift bearing is coupled to the opposite side, and the upper surface of the lift arm forms a guide bearing support angle downward to engage the lift plate coupled with the lift guide bearing, and the upper surface has a Y direction guide on both sides of the square plate body. Combining the bearings and the fixed plate combined with the micrometer bracket at the center of the front surface, and the spring installation grooves and guide bearing grooves between the long shafts are formed on the center of the bottom and on both sides at the upper surface of the fixed plate to form the compression spring and the Y-direction guide bearings between the long shafts. Combined Y-direction plate and combined Y-direction plate Combine the X-direction guide bearing to the surface and form a spring recessed groove in the bottom of the center to install the compression spring and to form the X-direction moving plate adjusted by the X-direction micrometer, and to the upper surface of the X-direction moving plate. Combine the two micro brackets to the rotating plate bench combined with the micrometer for rotation, the outer peripheral side of the shaft bracket to form a combination of the vertical rotation induction axis and the bottom center of the rotation axis to form a rotating shaft in the upper surface of the rotating plate bench Rotatably coupled to the upper surface of the card bent rotating plate to form a communication hole with a flat circular or square vacuum groove and a hole on the slope of the plate to combine the probe card bench with the magnet, and also the four corners of the rotating plate The frame post is placed on the upper surface, and the work frame frame is combined with the upper surface. Combine the workbench guides on both sides of the upper frame of the workbench to combine the focusing plate and the workbench. A vertical microscope post is placed on both sides of the table. The horizontal and horizontal shafts are joined by placing the right and horizontal axes, and the horizontal and horizontal axes are inserted horizontally into the horizontal housings, and the microscope shaft housings with the microscope rotation axes are combined, and the front and rear horizontal brackets are combined and the microscope is combined. It relates to a probe card tester.

전술한 선행기술은 프로브 카드가 작업판에 고정되지 않아 테이블이나 회전판의 진동에 의한 영향을 받기 쉽고, 이 영향으로 프로브 탐침의 접촉이 안정되기 어려우며, 나아가서는 검사의 안정화가 어려운 단점이 있다.The above-mentioned prior art has a disadvantage in that the probe card is not fixed to the working plate and is easily affected by the vibration of the table or the rotating plate, and the contact of the probe probe is difficult to be stabilized by this effect, and furthermore, the inspection is difficult to stabilize.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출 된 것으로, 본 발명의 일 실시예는 프로브 카드에 니들(needle) 및 여러 부품 들을 부착한 상태에서도 안정적으로 테스트가 가능한 프로브 카드의 검사장치와 관련된다.The present invention has been made to solve the problems described above, an embodiment of the present invention relates to the inspection apparatus of the probe card that can be stably tested even when the needle (needle) and various components attached to the probe card do.

본 발명의 바람직한 일 실시예는 마더보드에 고정되는 프로브 카드의 검사장치에 있어서, 메인프레임과, 이 메인프레임의 일측에 회동 가능하도록 결합 되며 마더보드가 고정되는 마더보드 고정플레이트와, 메인프레임의 타측에 설치되어 프로브 카드의 평탄도를 검사하는 평탄도 측정부가 구비된 메인프레임 어셈블리; 이 메인프레임의 일측에 결합 되며 일측에 포고어셈블리 수납부가 형성되고 내부에 테스터랙이 설치된 테스터프레임과, 포고어셈블리 수납부에 수납되어 테스터랙과 마더보드를 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리가 구비된 테스터프레임 어셈블리; 이 메인프레임의 타측에 결합 되며 일측에 좌우로 이동되는 슬라이딩부재가 결합 된 스코프프레임과, 슬라이딩부재의 일측에 결합 되는 화면표시수단과, 슬라이딩부재의 타측에 결합 되는 마이크로스코프부가 구비된 스코프프레임 어셈블리를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치를 제공한다.According to one preferred embodiment of the present invention, in the inspection apparatus of a probe card fixed to a motherboard, a main frame, a motherboard fixing plate which is rotatably coupled to one side of the main frame and the motherboard is fixed, A mainframe assembly having a flatness measuring unit installed at the other side and inspecting flatness of the probe card; A tester frame assembly which is coupled to one side of the mainframe and has a pogo assembly housing formed at one side and a tester frame having a tester rack installed therein, and an interface pogo assembly housed in the pogo assembly storage unit to connect the tester rack and the motherboard. ; Scope frame assembly is provided with a scope frame coupled to the other side of the main frame coupled to the sliding member is moved left and right on one side, a screen display means coupled to one side of the sliding member, and a microscope coupled to the other side of the sliding member It provides a test device for a probe card, characterized in that comprises a.

상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면 첫째, 프로브 카드가 고정된 마더보드를 마드보드 고정플레이트에 고정시켜 안정적으로 프로브 카드를 검사 할 수 있다.According to an embodiment of the present invention as described above, first, the probe card is fixed to the motherboard fixed plate to the motherboard fixed, it is possible to stably test the probe card.

둘째, 메인프레임에 설치된 진공포트에 의해 마더보드 고정플레이트를 진공 흡착시켜 작업중에 발생 될 수 있는 진동을 미리 방지할 수 있다.Second, by vacuum suction the motherboard fixing plate by the vacuum port installed in the main frame can prevent the vibration that may occur during the operation in advance.

셋째, 메인프레임에 설치된 평탄도 측정부에 의해 프로브 카드의 평탄도(탐침의 높낮이)을 정확하게 측정할 수 있다.Third, the flatness (probe height) of the probe card can be accurately measured by the flatness measuring unit installed in the main frame.

넷째, 테스터프레임에 설치된 역진공포트에 의해 마더보드 고정플레이트가 180°회전된 상태에서도 진공 흡착시켜 진동을 방지할 수 있다.Fourth, even if the motherboard fixing plate is rotated by 180 ° by the reverse vacuum port installed in the tester frame can be prevented by vacuum adsorption.

다섯째, 마더보드 고정플레이트에 형성된 후크와 테스터프레임에 설치된 역로커에 의해 역진공포트의 흡착이 해제된 상태에서도 마더보드 고정플레이트의 갑작스런 회전을 방지할 수 있다.Fifth, a sudden rotation of the motherboard fixing plate can be prevented even when the suction of the reverse vacuum port is released by a hook formed on the motherboard fixing plate and a reverse locker installed in the tester frame.

여섯째, 마이크로스코프를 슬라이딩부재에 의해 좌우로 이동시킴과 더불어 Y축 이동레일에 의해 전후 이동시킬 수 있다.Sixth, the microscope can be moved back and forth by the sliding member and moved back and forth by the Y-axis moving rail.

일곱째, 마더보드 고정플레이트에 연결된 하중균형모듈에 의해 마더보드 고정플레이트를 부드럽게 180°회전시킬 수 있다.Seventh, by the load balancing module connected to the motherboard fixing plate it is possible to gently rotate the motherboard fixing plate 180 °.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드의 검사장치를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing an inspection apparatus of a probe card according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브 카드의 검사장치(1)는 마더보드가 안착되며 프로브 카드(90)의 평탄도를 측정하는 메인프레임 어셈블리(10)와, 상기 마더보드(80)와 테스터랙(61a)을 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리(62)가 수납되는 테스터프레임 어셈블리(60)와, 마더보드(80)에 고정된 프로브 카드(90)를 검사하는 마이크로스코프(73b)와 화면표시수단(72)이 구비된 스코프프레임 어셈블리(70)를 포함한다.The inspection apparatus 1 of the probe card according to the preferred embodiment of the present invention includes a mainframe assembly 10 for measuring a flatness of a probe card 90 on which a motherboard is mounted, the motherboard 80, and a tester rack. The tester frame assembly 60, which houses the interface pogo assembly 62 for connecting the 61a, and the microscope 73b for inspecting the probe card 90 fixed to the motherboard 80, and the screen display means 72. ) Is provided with a scope frame assembly (70).

도 2 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 메인프레임 어셈블리를 도시한 사시도이고, 도 3 은 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 마더보드 고정부의 하중균형모듈을 도시한 사시도이고, 도 4 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 평탄도 측정부를 도시한 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a mainframe assembly employed in the inspection apparatus of the probe card illustrated in FIG. 1, and FIG. 3 illustrates a load balancing module of the motherboard fixing portion employed in the inspection apparatus of the probe card illustrated in FIG. 1. 4 is a perspective view showing a flatness measuring unit employed in the inspection apparatus of the probe card shown in FIG.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 메인프레임 어셈블리(10)는 메인프레임(20), 마더보드 고정부(30), 평탄도 측정부(40), 진공포트(50)를 구비한다.The mainframe assembly 10 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a mainframe 20, a motherboard fixing part 30, a flatness measuring part 40, and a vacuum port 50.

메인프레임(20)은 도 2에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상으로 전면과 측면에는 후술할 테스터프레임 어셈블리(60), 스코프프레임 어셈블리(70)와 연결되는 연결핀(21)이 다수 형성된다. 또한, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(22)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(23)가 다수 결합 된다. 나아가, 그 상측에는 마우스와 키보드가 놓여 지는 작업플레이트(24)가 볼트 결합 되고, 이 작업플레이트(24)의 상측에는 후술할 진공포트(50) 등을 작동하는 조작패널(25)이 고정된다.Main frame 20 is preferably a rectangular parallelepiped shape, as shown in Figure 2 is formed on the front and side of the tester frame assembly 60, the connection frame 21 is connected to the scope frame assembly 70 will be described later . In addition, the bottom of the wheel 22 to be conveniently moved and a plurality of fixing members 23 to be fixed to a predetermined position is coupled. Furthermore, the work plate 24 on which the mouse and the keyboard are placed is bolted to the upper side thereof, and the operation panel 25 for operating the vacuum port 50 and the like, which is described later, is fixed to the upper side of the work plate 24.

마더보드 고정부(30)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 메인프레임(20)의 상측에 힌지 결합되며 일측에 후크(31a)가 형성되고 중앙 부분에 큰 홀이 형성된 마더보드 고정플레이트(31)와, 상기 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되어 마더보드 고정플레이트(31)가 부드럽게 180° 회전되도록 하는 하중균형모듈(32)을 구비한다.Motherboard fixing part 30 is hinged to the upper side of the main frame 20, as shown in Figure 2, the hook 31a is formed on one side and the motherboard fixing plate 31 formed with a large hole in the center portion And a load balancing module 32 connected to the motherboard fixing plate 31 so as to rotate the motherboard fixing plate 31 smoothly by 180 °.

상기 하중균형모듈(32)은 도 3에 도시된 바와 같이 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되는 메인베이스(32a)와, 상기 메인베이스(32a)의 일측에 이동가능하도록 결합 되는 균형추(32b)와, 상기 메인베이스(32a)의 타측에 결합 되어 균형추(32b)를 상하로 이동시키는 균형추 구동모터(32c)와, 상기 메인베이스(32a)에 결합 되어 전원을 온(ON) 시켰을 경우 균형추 구동모터(32c)의 회전 위치를 파악하는 리미트 센서(32d)와 전원을 온/오프(ON/OFF) 시켰을 경우 균형추(32b)의 위치를 파악하는 홈센서(32e)와, 메인베이스(32a)를 스코프프레임(71)에 볼트 고정하도록 하는 브래킷(32f)을 구비한다. 상기 균형추 구동모터(32c)는 바람직하게는 스텝핑 모터를 사용한다.As shown in FIG. 3, the load balancing module 32 has a main base 32a axially connected to the motherboard fixing plate 31 and a balance weight 32b coupled to be movable on one side of the main base 32a. ) And a counterweight drive motor 32c coupled to the other side of the main base 32a to move the counterweight 32b up and down, and counterweight drive when coupled to the main base 32a to turn on the power. The limit sensor 32d which grasps the rotational position of the motor 32c, the home sensor 32e which grasps the position of the counterweight 32b, and the main base 32a when the power source is turned on / off A bracket 32f for bolting to the scope frame 71 is provided. The counterweight drive motor 32c preferably uses a stepping motor.

상기 메인베이스(32a)는 도 3에 도시된 바와 같이 바람직하게는 긴 직육면체 형상으로 일측에는 마더보드 고정플레이트(31)와 축 연결되는 연결로커(32aa)가 볼트 결합되고, 내부에는 리드스크류(32ab)에 의해 상하 이동되는 이동블록(32ac)이 설치되고, 상·하측에는 균형추(32b)를 안내하는 가이드레일(32ad)이 설치된다. 이 메인베이스(32a)의 전·후면에는 이동블록(32ac)과 균형추(32b)가 연결되도록 하는 슬롯(32ae)이 형성된다.The main base 32a is preferably a long rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. 3, and a connection rocker 32aa axially connected to the motherboard fixing plate 31 is bolted to one side thereof, and a lead screw 32ab is formed therein. The moving block 32ac which is moved up and down by () is provided, and the guide rail 32ad which guides the counterweight 32b is provided in the upper and lower sides. The front and rear surfaces of the main base 32a are provided with slots 32ae through which the movable block 32ac and the counterweight 32b are connected.

이하에서 하중균형모듈(32)의 작동 원리를 설명한다. 마더보드 고정플레이트(31)는 메인프레임(20)에 힌지 결합 된 상태에서 연결로커(32aa)와 축 연결되어 있고, 연결로커(32aa)는 메인베이스(32a)에 탈착 가능하도록 볼트 결합 되어 있고, 균형추(32b)는 메인베이스(32a)에 결합 되어 있으므로, 균형추(32b)는 지렛대의 원리에 의해 마더보드(80)가 장착된 마더보드 고정플레이트(31,도 7 참조)를 지지한다. 이때, 균형추(32b)는 균형추 구동모터(32c)에 의해 마더보드(80)가 장착된 마더보드 고정플레이트(31)와 동일한 무게를 같도록 특정 위치에 미리 세팅된다.Hereinafter, the operating principle of the load balancing module 32 will be described. The motherboard fixing plate 31 is axially connected to the connecting rocker 32aa in a hinged state to the mainframe 20, the connecting rocker 32aa is bolted to be detachable to the main base 32a, Since the counterweight 32b is coupled to the main base 32a, the counterweight 32b supports the motherboard fixing plate 31 (see FIG. 7) on which the motherboard 80 is mounted by the principle of the lever. At this time, the counterweight 32b is set in advance in a specific position so as to have the same weight as the motherboard fixed plate 31 on which the motherboard 80 is mounted by the counterweight drive motor 32c.

평탄도 측정부(40)는 프로브 카드(90) 탐침의 평탄도를 측정하는 것으로 도 2에 도시된 바와 같이 메인프레임(20)의 중앙 부분에 설치되며 내설 된 볼스크류(41ba)를 갖는 Z축 스테이지(41)와, 상기 Z축 스테이지(41)의 일측에 결합되어 볼스크류(41ba)를 구동하는 볼스크류 구동모터(42)와, 상기 Z축 스테이지(41)에 고정되어 볼스크류 구동모터(42)를 정밀 제어하는 선형 엔코더(43)와, 상기 Z축 스테이지(41)의 상측에 고정되어 프로브 카드(90)의 탐침 평편도를 측정하는 평탄플레이트부(44)를 구비한다. 상기 볼스크류 구동모터(42)는 바람직하게는 스텝핑 모터를 사용한다.The flatness measuring unit 40 measures the flatness of the probe of the probe card 90 and is installed at the center portion of the main frame 20 as illustrated in FIG. 2 and has a Z-axis having a ball screw 41ba built in. A stage screw, a ball screw drive motor 42 coupled to one side of the Z axis stage 41 to drive a ball screw 41ba, and a ball screw drive motor fixed to the Z axis stage 41 ( A linear encoder 43 for precisely controlling 42 and a flat plate portion 44 fixed to the upper side of the Z-axis stage 41 to measure the probe flatness of the probe card 90 are provided. The ball screw drive motor 42 preferably uses a stepping motor.

상기 Z축 스테이지(41)는 평탄플레이트부(44)를 상하 이동시키는 것으로 메인프레임(20)의 일측에 고정되는 베이스플레이트(41a)와, 볼스크류 구동모터(42)와 볼스크류(41ba)로 연결되어 베이스플레이트(41a) 내에서 전후 이동되는 슬라이딩부(41b)와, 상기 슬라이딩부(41b)와 리니어 베어링에 의해 면 접촉되어 마찰력에 의해 상하 이동되는 피슬라이딩부(41c)로 구성된다.The Z-axis stage 41 moves the flat plate 44 up and down by a base plate 41a fixed to one side of the main frame 20, a ball screw drive motor 42, and a ball screw 41ba. The sliding portion 41b is connected to and moved back and forth within the base plate 41a, and the sliding portion 41c is brought into surface contact with the sliding portion 41b by a linear bearing and vertically moved by frictional force.

상기 평탄플레이트부(44)는 상기 피슬라이딩부(41c)의 상측에 결합 되며 일측에 연결포트(44aa)가 형성된 에폭시공간블록(44a)과, 상기 에폭시공간블록(44a)의 상측에 볼트 고정되며 상측에 연결용 PCB(44ba)가 결합 된 평탄플레이트(44b)로 구성된다.The flat plate portion 44 is coupled to the upper side of the pipe sliding portion 41c and the epoxy space block 44a having a connection port 44aa formed on one side thereof, and bolted to the upper side of the epoxy space block 44a. It consists of a flat plate (44b) coupled to the connection PCB 44ba on the upper side.

이하에서 프로브 카드(90)의 탐침 평탄도 측정 원리를 설명한다. 먼저 후술할 테스터랙(61a)에 프로브 카드의 테이터, 유효 평탄값, 마더보드 높이, 프로브 카드의 높이를 입력한 후 평탄플레이트부(44)를 Z축 스테이지(41)를 이용하여 맨 아래로 이동한다. 다음으로, 평탄플레이트부(44)를 일정 위치로 상향이동한다. 계속해서 상승중에 50k ohm 이하의 저항이 검출되면 탐침이 평탄플레이트(44b)에 닿은 것으로 간주하여 접촉된 탐침의 수를 측정한다. 계속해서 평탄플레이트(44b)를 1μm 상향 이동시킨다. 이때, 평탄플레이트(44b)가 그 거리만큼 이동하면 평탄플레이트(44b)를 맨 아래로 이동시켜 작업을 마무리한다. 마지막으로, 평균 평탄도와 측정데이터를 출력하여 작업을 마무리한다. 만약, 입력된 거리 만큼 이동하지 않으면 접촉한 탐침수를 측정하는 단계로 돌아가서 전술한 측정단계를 반복한다.Hereinafter, the principle of measuring probe flatness of the probe card 90 will be described. First, the data of the probe card, the effective flat value, the motherboard height, and the height of the probe card are input to the tester rack 61a to be described later, and then the flat plate part 44 is moved to the bottom using the Z-axis stage 41. do. Next, the flat plate 44 is moved upward to a predetermined position. If a resistance of 50 k ohm or less is detected during the ascending, the probe is regarded as touching the flat plate 44b and the number of probes in contact is measured. Subsequently, the flat plate 44b is moved upward by 1 m. At this time, when the flat plate 44b moves by that distance, the flat plate 44b is moved to the bottom to finish the work. Finally, the average flatness and measurement data are output to complete the work. If it does not move by the input distance, it returns to the step of measuring the number of probes touched and repeats the aforementioned measuring step.

진공포트(50)는 도 2에 도시된 바와 같이 메인프레임(20)의 일측에 바람직하게는 한 쌍이 이격 형성되며, 진공장치(미도시)에 의해 발생 되는 공압에 의해 마더보드 고정플레이트(31)를 진공 흡착한다.As shown in FIG. 2, a pair of vacuum ports 50 is preferably formed on one side of the main frame 20, and the motherboard fixing plate 31 is formed by pneumatic pressure generated by a vacuum device (not shown). Is vacuum adsorbed.

도 5 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 테스터프레임 어셈블리를 도시한 사시도이다.FIG. 5 is a perspective view illustrating a tester frame assembly employed in the inspection apparatus of the probe card shown in FIG. 1.

테스터프레임 어셈블리(60)는 도 5에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상이며 내부에 테스터랙(61a,제어부)이 설치되고 상측에 포고어셈블리 수납부(61b)가 형성된 테스터프레임(61)과, 상기 포고어셈블리 수납부(61b)에 수납되며 테스터랙(61a)과 마더보드(80)를 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리(62)와, 상기 테스터프레임(61)의 일측에 설치되어 진공장치(미도시)에 의해 발생 되는 공압에 의해 마더보드 고정플레이트(31)를 진공 흡착하는 역진공포트(63)와, 상기 테스터프레임(61)의 상측에 설치되어 마더보드 고정플레이트(31)의 후크(31a)와 맞물리는 역로커(64)를 구비한다.Tester frame assembly 60 is preferably a rectangular parallelepiped shape as shown in Figure 5, the tester rack 61a (control unit) is installed therein and a tester frame 61 having a pogo assembly accommodating portion 61b on the upper side, An interface pogo assembly 62 that is stored in the pogo assembly accommodating portion 61b and connects the tester rack 61a and the motherboard 80, and is installed on one side of the tester frame 61 to install a vacuum device (not shown). Reverse vacuum port 63 for vacuum adsorption of the motherboard fixing plate 31 by the pneumatic pressure generated by the air, and the hook 31a of the motherboard fixing plate 31 are installed above the tester frame 61. An interlocking reverse locker 64 is provided.

상기 테스터프레임(61)의 측면에는 메인프레임(20)의 연결핀(21)과 연결되는 테스터프레임 연결핀(61c)이 다수 형성되고, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(61d)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(61e)가 다수 결합 된다A plurality of tester frame connecting pins 61c are formed on the side of the tester frame 61 and connected to the connecting pins 21 of the main frame 20, and the wheels 61d and the predetermined positions are conveniently located on the bottom thereof. A plurality of fixing members (61e) to be fixed to the coupled

상기 역로커(64)는 테스터프레임(61)의 상측에 고정되는 역로커몸체(64a)와, 이 역로커몸체(64a)에 탄성 지지 되는 고정후크(64b)로 구성되며, 180° 회전된 마더보드 고정플레이트(31)를 고정되도록 한다.The reverse rocker 64 is composed of a reverse rocker body 64a fixed to the upper side of the tester frame 61, and a fixed hook 64b elastically supported by the reverse rocker body 64a. The board fixing plate 31 is fixed.

도 6 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 스코프프레임 어셈블리를 도시한 사시도이다.6 is a perspective view illustrating the scope frame assembly employed in the inspection apparatus of the probe card shown in FIG.

스코프프레임 어셈블리(70)는 도 6에 도시된 바와 같이 바람직하게는 직육면체 형상이며 상측에 형성된 X축 이동레일(71a)과 상기 이동레일에 결합 된 슬라이딩부재(71b)를 갖는 스코프프레임(71)과, 상기 슬라이딩부재(71b)의 일측에 고정되는 화면표시수단(72)과, 상기 슬라이딩부재(71b)의 타측에 고정되는 마이크로스코프부(73)를 구비한다.Scope frame assembly 70 is preferably a rectangular parallelepiped shape, as shown in Figure 6 and the scope frame 71 having an X-axis moving rail (71a) formed on the upper side and a sliding member (71b) coupled to the moving rail; And a screen display means 72 fixed to one side of the sliding member 71b, and a microscope portion 73 fixed to the other side of the sliding member 71b.

상기 스코프프레임(71)의 전면에는 테스터프레임 어셈블리(60)의 연결핀(21)과 연결되는 스코프프레임 연결핀(71c)이 다수 형성되고, 그 바닥에는 편리하게 이동되도록 하는 바퀴(71d)와 정해진 위치에 고정되도록 하는 고정부재(71e)가 다수 결합 된다.A plurality of scope frame connecting pins 71c connected to the connection pins 21 of the tester frame assembly 60 are formed on the front of the scope frame 71, and the wheels 71d and the predetermined to be conveniently moved on the bottom thereof. A plurality of fixing members 71e to be fixed in position are coupled.

상기 마이크로스코프부(73)는 슬라이딩부재(71b)의 하면에 전후 이동가능하도록 고정되는 Y축 이동레일(73a)과, 이 Y축 이동레일(73a)과 스코프 연결부재(73c)에 의해 연결되는 마이크로스코프(73b)로 구성된다. 상기 스코프 연결부재(73c)는 마이크로스코프(73b)가 정해지 위치에 고정되도록 락핸들을 사용하는 것이 바람직하다.The microscope unit 73 is connected to the Y-axis moving rail 73a fixed to the front and rear surfaces of the sliding member 71b by the Y-axis moving rail 73a and the scope connecting member 73c. It consists of the microscope 73b. The scope connecting member 73c preferably uses a lock handle so that the microscope 73b is fixed at a predetermined position.

본 발명은 특허청구범위에서 청구하는 청구의 요지를 벗어나지 않고도 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양하게 변경 실시될 수 있으므로, 본 발명의 기술보호범위는 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 않는다. Since the present invention can be variously modified by those skilled in the art without departing from the scope of the claims claimed in the claims, the technical protection scope of the present invention is limited to the specific preferred embodiments described above. It is not limited.

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드의 검사장치를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing an inspection apparatus of a probe card according to an embodiment of the present invention;

도 2 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 메인프레임 어셈블리를 도시한 사시도,FIG. 2 is a perspective view illustrating a mainframe assembly employed in the inspection apparatus of the probe card shown in FIG. 1;

도 3 은 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 마더보드 고정부의 하중균형모듈을 도시한 사시도,Figure 3 is a perspective view showing a load balancing module of the motherboard fixing portion employed in the inspection device of the probe card shown in Figure 1,

도 4 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 평탄도 측정부를 도시한 사시도,4 is a perspective view showing a flatness measuring unit employed in the inspection device of the probe card shown in FIG.

도 5 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 테스터프레임 어셈블리를 도시한 사시도,5 is a perspective view showing a tester frame assembly employed in the inspection device of the probe card shown in FIG.

도 6 는 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치에 채용된 스코프프레임 어셈블리를 도시한 사시도,6 is a perspective view showing a scope frame assembly employed in the inspection device of the probe card shown in FIG.

도 7 은 도 1에 도시된 프로브 카드의 검사장치의 사용 상태도이다.7 is a state diagram of use of the inspection apparatus of the probe card shown in FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 프로브 카드의 검사장치 10 : 메인프레임 어셈블리1: Inspection device of the probe card 10: Mainframe assembly

20 : 메인프레임 21 : 연결핀20: mainframe 21: connection pin

22 : 바퀴 23 : 고정부재22: wheel 23: fixing member

24 : 작업플레이트 25 : 조작패널24: work plate 25: operation panel

30 : 마더보드 고정부 31 : 마더보드 고정플레이트30: motherboard fixing portion 31: motherboard fixing plate

31a : 후크 32 : 하중균형모듈31a: hook 32: load balancing module

32a : 메인베이스 32aa : 연결로커32a: main base 32aa: connection locker

32ab : 리드스크류 32ac : 이동블록32ab: lead screw 32ac: moving block

32ad : 가이드레일 32ae : 슬롯32ad: guide rail 32ae: slot

32b : 균형추 32c : 균형추 구동모터32b: Counterweight 32c: Counterweight driving motor

32d : 리미트센서 32e : 홈센서32d: limit sensor 32e: home sensor

32f : 브래킷 40 : 평탄도 측정부32f: bracket 40: flatness measuring unit

41 : Z축 스테이지 41a : 베이스플레이트41: Z axis stage 41a: base plate

41b : 슬라이딩부 41ba : 볼스크류41b: Sliding part 41ba: Ball screw

41c : 피슬라이딩부 42 : 볼스크류 구동모터41c: blood sliding part 42: ball screw drive motor

43 : 선형 엔코더 44 : 평탄플레이트부43: linear encoder 44: flat plate portion

44a : 에폭시공간블록 44aa : 연결포트44a: epoxy space block 44aa: connection port

44b : 평탄플레이트 44ab : 연결용 PCB44b: flat plate 44ab: PCB for connection

50 : 진공포트 60 : 테스트프레임 어셈블리50: vacuum port 60: test frame assembly

61 : 테스트프레임 61a : 테스터랙61: test frame 61a: tester rack

61b : 포고어셈블리 수납부 61c : 테스터프레임 연결핀61b: Pogo assembly compartment 61c: Tester frame connecting pin

61d : 바퀴 61e : 고정부재61d: wheel 61e: fixing member

62 : 인터페이스 포고 어셈블리 63 : 역진공포트62: interface pogo assembly 63: reverse vacuum port

64 : 역로커 64a : 역로커 몸체64: reverse locker 64a: reverse locker body

64b : 고정후크 70 : 스코프프레임 어셈블리64b: fixed hook 70: scope frame assembly

71 : 스코프프레임 71a : X축 이동레일71: Scope frame 71a: X-axis moving rail

71b : 슬라이딩부재 71c : 스코프프레임 연결핀71b: Sliding member 71c: Scope frame connecting pin

71d : 바퀴 71e : 고정부재71d: wheel 71e: fixing member

72 : 화면표시수단 73 : 마이크로스코프부72: screen display means 73: the microscope portion

73a : Y축 이동레일 73b : 마이크로스코프73a: Y-axis moving rail 73b: Microscope

73c : 스코프 연결부재 80 : 마더보드73c: scope connection member 80: motherboard

90 : 프로브 카드90: probe card

Claims (7)

마더보드에 고정되는 프로브 카드의 검사장치에 있어서,In the inspection device of the probe card fixed to the motherboard, 메인프레임과, 상기 메인프레임의 일측에 회동 가능하도록 결합 되며 상기 마더보드가 고정되는 마더보드 고정플레이트와, 상기 메인프레임의 타측에 설치되어 상기 프로브 카드의 평탄도를 검사하는 평탄도 측정부가 구비된 메인프레임 어셈블리;A main frame, a motherboard fixing plate which is rotatably coupled to one side of the main frame and fixed to the motherboard, and a flatness measuring unit installed on the other side of the main frame to inspect the flatness of the probe card. Mainframe assembly; 상기 메인프레임의 일측에 결합 되며 일측에 포고어셈블리 수납부가 형성되고 내부에 테스터랙이 설치된 테스터프레임과, 상기 포고어셈블리 수납부에 수납되어 상기 테스터랙과 마더보드를 연결하는 인터페이스 포고 어셈블리가 구비된 테스터프레임 어셈블리; 및A tester coupled to one side of the main frame and having a pogo assembly accommodating portion formed at one side and a tester rack installed therein, and an interface pogo assembly accommodated in the pogo assembly accommodating portion to connect the tester rack and the motherboard. Frame assembly; And 상기 메인프레임의 타측에 결합 되며 일측에 좌우로 이동되는 슬라이딩부재가 결합 된 스코프프레임과, 상기 슬라이딩부재의 일측에 결합 되는 화면표시수단과, 상기 슬라이딩부재의 타측에 결합 되는 마이크로스코프부가 구비된 스코프프레임 어셈블리를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.Scope frame coupled to the other side of the main frame and coupled to the sliding member to move left and right on one side, the screen display means coupled to one side of the sliding member, and the scope having a microscope coupled to the other side of the sliding member Probe card inspection apparatus comprising a frame assembly. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 메인프레임에는 상기 마더보드 고정플레이트를 진공 흡착 고정하는 진공포트가 설치된 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.The main frame inspection apparatus of the probe card, characterized in that the vacuum port for vacuum suction fixing the motherboard fixing plate is installed. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 평탄도 측정부는 상기 메인프레임의 일측에 고정되며 내설 된 볼스크류를 갖는 Z축 스테이지와, 상기 Z축 스테이지의 일측에 결합 되어 상기 볼스큐를 구동하는 볼스크류 구동모터와, 상기 Z축 스테이지의 상측에 결합 되어 상기 볼스크류의 회전에 의해 상하로 이동되는 평탄플레이트부를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.The flatness measuring unit is fixed to one side of the main frame Z axis stage having a ball screw, and a ball screw drive motor coupled to one side of the Z axis stage to drive the ball skew, and the Z axis stage Is coupled to the upper side of the probe card inspection apparatus characterized in that it comprises a flat plate portion which is moved up and down by the rotation of the ball screw. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 테스터프레임에는 회전된 상기 마더보드 고정플레이트를 진공 흡착 고정하는 역진공포트가 설치된 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.And a reverse vacuum port for vacuum suction fixing the rotated motherboard fixing plate to the tester frame. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 마더보드 고정플레이트의 일측에는 후크가 형성되고, 상기 테스터프레임의 일측에는 상기 후크가 고정되는 고정후크를 갖는 역로커가 설치된 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.A hook is formed at one side of the motherboard fixing plate, and a reverse locker having a fixed hook to which the hook is fixed is installed at one side of the tester frame. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 마이크로스코프부는 상기 슬라이딩부재의 일측에 전후 이동가능하도록 결합되는 Y축이동레일과, 스코프 연결부재에 의해 상기 Y축이동레일과 연결되는 마이크로스코프를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 검사장치.And the microscope unit includes a Y-axis moving rail coupled to one side of the sliding member so as to be movable back and forth, and a microscope connected to the Y-axis moving rail by a scope connecting member. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 6, 상기 메인프레임 어셈블리는 상기 마더보드 고정플레이트에 축 연결되며 내설 된 리드스크류에 의해 이동되는 이동블록을 갖는 메인베이스와, 상기 이동블록에 연결되어 이동되는 균형추와, 상기 메인베이스의 일측에 결합 되어 상기 리드스크류을 회전시키는 균형추 구동모터가 구비된 하중균형모듈을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브카드의 검사장치.The mainframe assembly is coupled to the motherboard fixed plate and the main base having a moving block moved by the insulated lead screw, the balance weight is connected to the moving block and coupled to one side of the main base, The probe card inspection apparatus, characterized in that further comprises a load balancing module having a counterweight drive motor for rotating the lead screw.
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