KR20090059032A - Inspection method and inspection apparatus of display panel - Google Patents

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KR20090059032A
KR20090059032A KR1020080111555A KR20080111555A KR20090059032A KR 20090059032 A KR20090059032 A KR 20090059032A KR 1020080111555 A KR1020080111555 A KR 1020080111555A KR 20080111555 A KR20080111555 A KR 20080111555A KR 20090059032 A KR20090059032 A KR 20090059032A
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KR
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display panel
image
lens system
image pickup
ccd
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KR1020080111555A
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Korean (ko)
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켄타로 카나자와
쿠니히로 미즈노
마코토 키쿠타
Original Assignee
가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

A display panel inspection method and an inspection apparatus are provided to mount an optical filter in a compact size as suppressing generation of moire conveniently and effectively. Through a photographing device(2) including a lens system(7) and a photographing device(8), an image displayed on a display panel is photographed. Through the photographed image, a display spot of the display panel is inspected. Focusing on the display panel of the photographing unit is performed. By dispersing image light applied to the photographing device by controlling a distance between the lens system and the photographing device, a dispersion process for suppressing moire generated when photographing the image displayed on the display panel is prepared.

Description

디스플레이 패널의 검사 방법 및 검사 장치{Inspection Method and Inspection Apparatus of Display Panel}Inspection Method and Inspection Apparatus of Display Panel

본 발명은, 액정 디스플레이 등의 디스플레이 패널의 검사에 관한 것으로, 특히 디스플레이 패널의 표시 얼룩을 검사하는데 있어 디스플레이 패널에 표시된 화상을 촬영하여 표시할 경우, 무아레(moire)(간섭무늬) 및 케라레가 발생하는 것을 억제하는, 디스플레이 패널의 검사 방법 및 검사 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to inspection of display panels, such as liquid crystal displays, and in particular, when inspecting display unevenness of display panels, moire (interference patterns) and kerare are generated when photographing and displaying an image displayed on the display panel. An inspection method and an inspection apparatus of a display panel which suppress that it does.

액정 디스플레이 등의 디스플레이 패널을 검사하는데 있어, 디스플레이 패널에 표시된 화상을, CCD를 이용한 카메라(CCD 카메라)로 촬영하면, 무아레가 발생한다고 알려져 있다. 이 무아레는, 규칙적인 격자 패턴으로 배열된 화소에서 받아들이는 빛의 휘도(輝度)가, 조금씩 규칙적으로 변화를 반복함에 따라 발생한다. 즉, 디스플레이 패널과 CCD는 모두, 표시 화상의 단위인 화소가 규칙적인 격자 패턴으로 배열되어 있지만, 디스플레이 패널의 각 화소와 CCD의 각 화소 간의 상대적인 위치 오차에 의해, CCD의 화소에서 받아들이는 디스플레이 패널의 빛의 휘도가 조 금씩 규칙적으로 변화를 반복함으로써 무아레가 발생하는 것이다. In inspecting a display panel such as a liquid crystal display, it is known that moire occurs when an image displayed on the display panel is photographed by a camera (CCD camera) using a CCD. This moire occurs as the luminance of light received by the pixels arranged in a regular lattice pattern repeats a change regularly little by little. That is, in both the display panel and the CCD, the pixels, which are the units of the display image, are arranged in a regular lattice pattern, but the display panel accepts in the pixels of the CCD due to the relative position error between each pixel of the display panel and each pixel of the CCD. Moire occurs when the brightness of light is repeatedly changed regularly.

무아레는 농담차(濃淡差)가 커서, 디스플레이 패널의 표시 얼룩을 검사할 때 장애가 되므로, 이 무아레를 제거할 필요가 있다. 이 경우에 있어, 이상적(이론적)으로는, 디스플레이 패널의 각 화소와 CCD의 각 화소 간에 상대적인 위치 오차가 없으면 무아레는 발생하지 않지만, 이 위치 오차를 없애는 것이 곤란하기 때문에, 통상적으로는, 예를 들어 특허 문헌 1, 2에 기재된 것처럼, 촬영한 화상에 발생한 무아레에 대하여, 그 화상을 화상 처리함으로써 무아레를 제거하는 방법이 있다. The moire has a large difference in color, which is an obstacle when inspecting the display unevenness of the display panel. Therefore, it is necessary to remove the moire. In this case, ideally (theoretical), moire does not occur if there is no relative position error between each pixel of the display panel and each pixel of the CCD, but since it is difficult to eliminate this position error, For example, as described in Patent Literatures 1 and 2, there is a method for removing moire by image-processing the image on the moire generated in the picked-up image.

또한, 특허 문헌 3, 4에 기재된 것처럼, 촬영시에 카메라를 디스플레이 패널에 대하여 수평으로 이동시켜 초점을 조금씩 흐리게 함으로써 무아레의 발생을 막는 방법도 있다. In addition, as described in Patent Documents 3 and 4, there is also a method of preventing the generation of moire by moving the camera horizontally with respect to the display panel at the time of photographing and blurring the focus little by little.

나아가, 특허 문헌 5에 기재된 것처럼, 카메라와 디스플레이 패널 사이에 산란판을 삽입하는 방법도 사용되고 있지만, 이 경우, 산란판으로 무아레를 희미하게 할 수는 있으나, 표시 얼룩 자체도 희미해져 버릴 가능성이 있기 때문에, 보다 간편한 방법으로서, CCD 카메라의 렌즈계와 디스플레이 패널 간의 거리를 조정하여 초점맞추기(프론트 포커스)를 한 후, 렌즈계를 조금씩 움직이며(이른바, 「초점을 흐리게 하며」) 촬영함으로써 무아레의 발생을 억제하는 방법도 사용되고 있다. Furthermore, as described in Patent Document 5, a method of inserting a scattering plate between a camera and a display panel is also used. In this case, although the moire may be blurred by the scattering plate, the display spots themselves may fade. Therefore, as a simpler method, after adjusting the distance between the lens system of the CCD camera and the display panel (front focus), the lens system is moved little by little (so-called `` blur focus '') to prevent the occurrence of moire. A suppression method is also used.

또한, 특허 문헌 6과 같이, 렌즈 앞면에 광학 필터를 배치하여 불필요한 빛을 제거 처리하는 예도 있다. 예를 들어, 반사광을 제거하는 PL 필터나, 근 적외선을 차단하는 IR 컷 필터(IR Cut Filter) 등을 렌즈 앞면에 설치하여, 불필요한 빛을 제거하고 있다. Further, as in Patent Document 6, there is an example in which an optical filter is disposed on the front surface of a lens to remove unnecessary light. For example, a PL filter for removing reflected light, an IR cut filter for blocking near infrared rays, and the like are provided on the front of the lens to remove unnecessary light.

특허문헌 1: 일본 특허출원 공개 평07-146211호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 07-146211

특허문헌 2: 일본 특허출원 공개 평11-352011호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 11-352011

특허문헌 3: 일본 특허출원 공개 제2005-72816호 공보Patent Document 3: Japanese Patent Application Publication No. 2005-72816

특허문헌 4: 일본 특허출원 공개 평11-101712호 공보Patent Document 4: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-101712

특허문헌 5: 일본 특허출원 공개 평11-6786호 공보Patent Document 5: Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 11-6786

특허문헌 6: 일본 특허출원 공개 제2003-344761호 공보Patent Document 6: Japanese Patent Application Publication No. 2003-344761

그러나, 특허문헌 1, 2의, 화상 처리에 의해 무아레를 제거하는 방법은, 복잡한 화상 처리 프로그램을 필요로 하고, 그 화상 처리에 시간이 걸리므로, 검사 효율이 떨어진다는 과제가 있다.However, the method of removing moire by image processing of patent documents 1 and 2 requires a complicated image processing program, and since the image processing takes time, there exists a subject that the inspection efficiency falls.

또한, 특허문헌 3, 4의 방법은, 디스플레이 패널에 대하여 초점을 맞춘 상태 그대로 카메라를 정확히 수평으로 이동시키기 위한 정밀한 제어를 필요로 하고, 그 카메라의 수평 이동 제어에 시간이 걸리므로 검사 효율이 떨어짐과 동시에, 비용이 늘어난다는 과제가 있다. In addition, the methods of Patent Documents 3 and 4 require precise control for precisely moving the camera horizontally as it is focused on the display panel, and the inspection efficiency is inferior because the horizontal movement control of the camera takes time. At the same time, the cost increases.

또한, 특허문헌 5의 초점을 흐리게 하는 방법은, 렌즈계를 움직일 때 광축(光軸) 오차가 발생하거나, 초점 위치의 재현성을 확보하기 어렵다는 이유로 디스플레이 패널마다 카메라와 디스플레이 패널 간에 위치 오차가 발생하여, 작업성이 떨어진다는 과제가 있다.In addition, in the method of blurring the focus of Patent Document 5, an optical axis error occurs when the lens system is moved, or a position error occurs between the camera and the display panel for each display panel because it is difficult to secure the reproducibility of the focus position. There is a problem that workability is poor.

또한, 렌즈 앞면에 광학 필터를 배치할 경우, 2차원 테스터의 특성상, 광각(廣角) 촬영을 필요로 하기 때문에, 화상의 네 모퉁이가 어두워지는 케라레 현상을 일으키게 된다. 이러한 케라레 현상을 고려하여 설계하면, 필터 직경 자체를 크게 해야 할 필요가 있다. 또한, 필터 교환 기구를 설치할 경우, 필터 직경에 맞춰 필터 교환 기구도 커져 버리게 되며, 디스플레이 패널의 해상도가 높아지면 높아질수록 사이즈, 중량 및 비용 면에서 불리해지게 된다. In addition, when the optical filter is disposed on the front surface of the lens, wide-angle imaging is required due to the characteristics of the two-dimensional tester, which causes a Kerare phenomenon in which four corners of the image become dark. In consideration of such Kerare phenomenon, it is necessary to increase the filter diameter itself. In addition, when the filter replacement mechanism is provided, the filter replacement mechanism becomes larger according to the filter diameter, and the higher the resolution of the display panel, the more disadvantageous in terms of size, weight and cost.

본 발명은, 이들 종래 기술의 과제를 해결하여, 디스플레이 패널의 표시 얼룩을 검사할 경우, 간편하고 효과적으로 무아레의 발생을 억제할 수 있음과 동시에, 광학 필터를 컴팩트 사이즈로 장착한 디스플레이 패널의 검사 방법 및 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM This invention solves the subject of these prior arts, and when inspecting the display unevenness of a display panel, the generation | occurrence | production of a moire can be suppressed easily and effectively, and the inspection method of the display panel which mounted the optical filter in compact size. And an inspection apparatus.

본 발명은, 상술한 과제의 문제점을 거울삼아 만들어진 것으로, 본 발명에 따른 디스플레이 패널의 검사 방법은, 렌즈계와 촬상소자(撮像素子, Image Pickup Device)를 구비한 촬상 수단으로 디스플레이 패널에 표시된 화상을 촬영하고, 촬영한 화상으로 상기 디스플레이 패널의 표시 얼룩을 검사하는 방법으로 되어 있으며, 상기 촬상 수단의, 상기 디스플레이 패널에 대하여 초점 맞추기를 하는 포커싱 공정과, 상기 렌즈계와 상기 촬상소자 간의 거리를 조정하여 상기 촬상소자에 입사되는 상기 화상광(畵像光)을 분산시킴으로써 상기 디스플레이 패널에 표시된 화상을 촬영시 무아레가 발생하는 것을 억제하는 분산 공정을 갖춘 것을 특징으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the problems of the above-described problems, and the inspection method of the display panel according to the present invention includes an image displayed on the display panel by an image pickup means including a lens system and an image pick-up device. And a method of inspecting the display unevenness of the display panel with a photographed image, focusing the focusing of the image pickup means on the display panel, and adjusting the distance between the lens system and the image pickup device. And a dispersion step of preventing moire from occurring when the image displayed on the display panel is photographed by dispersing the image light incident on the image pickup device.

본 발명에 따른 디스플레이 패널의 검사 장치는, 디스플레이 패널에 표시된 화상을 촬영하는 촬상 수단과, 상기 촬상 수단에 의해 촬영된 상기 디스플레이 패널의 화상을 처리하는 화상 처리 수단과, 상기 화상 처리 수단으로 처리한 화상을 표시하는 화상 표시 수단을 구비하며, 이 중, 상기 촬상 수단은, 렌즈계, 촬상소자, 상기 렌즈계를 이동시켜 상기 디스플레이 패널의 화상에 대하여 초점 맞추기를 하는 포커싱 수단, 상기 촬상소자를 이동시켜 상기 렌즈계와 상기 촬상소자 간의 거리를 조정하는 백 포커스(Back Focus) 조정 수단, 및 상기 포커싱 수단과 백 포커스 조정 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하며, 상기 제어 수단은, 상기 촬상 수단으로 촬영한 화상으로 상기 디스플레이 패널의 표시 얼룩을 검사시, 상기 촬상 수단의 상기 포커싱 수단을 제어하여 상기 디스플레이 패널에 대하여 초점 맞추기를 하는 포커싱 처리 기능과, 상기 백 포커스 조정 수단을 제어하여 상기 렌즈계와 상기 촬상소자 간의 거리를 조정하여 상기 촬상소자에 입사되는 상기 화상광을 분산시킴으로써 상기 디스플레이 패널에 표시된 화상을 촬영시 무아레가 발생하는 것을 억제하는 분산 처리 기능을 갖춘 것을 특징으로 한다. An inspection apparatus for a display panel according to the present invention includes an image pickup means for photographing an image displayed on a display panel, an image processing means for processing an image of the display panel photographed by the image pickup means, and the image processing means. An image display means for displaying an image, wherein the image pickup means includes: a focusing means for moving a lens system, an image pickup device, and the lens system to focus on an image of the display panel; A back focus adjusting means for adjusting a distance between a lens system and the imaging device, and a control means for controlling the focusing means and the back focus adjusting means, wherein the control means is an image photographed by the imaging means. When checking the display unevenness of the display panel, the focusing means of the imaging means For example, a focusing processing function for focusing on the display panel, and controlling the back focus adjusting means to adjust the distance between the lens system and the image pickup device to disperse the image light incident on the image pickup device to distribute the image panel. And a dispersion processing function for suppressing generation of moire when photographing an image displayed on the screen.

또한, 상기 디스플레이 패널의 검사 장치는, 상기 촬상 수단인 렌즈계와 촬상소자 사이에, 광학 필터를 장착하는 필터 장착부를 갖추고, 상기 제어 수단이, 광학 필터를 장착 또는 교환함에 따라 일어나는 굴절에 의해 발생하는 포커스의 오차를 수정하기 위하여 상기 백 포커스 조정 수단을 제어하여 상기 렌즈계와 상기 촬상소자 간의 거리를 미세하게 조정하는 미세 조정 처리 기능을 추가로 갖추는 것이 바람직하다. 상기 필터 장착부는, 복수의 필터를 자동적으로 교환하는 필터 교 환 기구를 갖추는 것이 바람직하다. In addition, the inspection apparatus of the display panel includes a filter mounting portion for mounting an optical filter between the lens system, which is the imaging means, and the imaging device, wherein the control means is caused by refraction caused by mounting or replacing the optical filter. In order to correct a focus error, it is preferable to further include a fine adjustment processing function of controlling the back focus adjustment means to finely adjust the distance between the lens system and the image pickup device. It is preferable that the said filter attaching part is provided with the filter switching mechanism which automatically replaces a some filter.

본 발명에 따르면, 상기 촬상소자에 받아들인 상기 화상광을 분산시킴으로써 상기 무아레의 발생을 억제하기 때문에, 확실한 표시 얼룩 검사를 할 수 있다. According to the present invention, since the generation of the moire is suppressed by dispersing the image light received in the image pickup device, reliable display unevenness inspection can be performed.

또한, 상기 필터 장착부에 요구되는 기능을 갖춘 광학 필터를 임의로 장착 또는 교환함과 동시에, 상기 제어 수단으로 상기 렌즈계와 상기 촬상소자 간의 거리를 미세하게 조정하고 노이즈광의 제거 등을 한 검사광을 상기 촬상소자에 받아들여, 정밀도가 높은 검사를 할 수 있다. Further, the optical sensor having a function required for the filter mounting portion may be arbitrarily mounted or replaced, and at the same time, the control means finely adjusts the distance between the lens system and the image pickup device and removes the inspection light. It can be taken in an element and the inspection with high precision can be performed.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 가장 적합한 실시 형태에 관하여 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, with reference to drawings, embodiment which is the most suitable for this invention is described.

[제1 실시 형태][First Embodiment]

이하에, 본 발명의 제1 실시 형태에 관하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, 1st Embodiment of this invention is described.

도1은 본 발명의 실시 형태에 따른 디스플레이 패널 검사 장치 중 촬상 장치를 개략적으로 나타내는 구성도, 도2는 디스플레이 패널 검사 장치를 개략적으로 나타내는 구성도, 도3은 본 발명의 실시 형태에 따른 촬상 장치의 프론트 포커스와 백 포커스에 관하여 초점 거리를 모식적으로 나타내는 설명도, 도4는 디스플레이 패널을 촬상 장치로 촬영했을 때의, CCD 소자의 각 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨의 분포를 모식적으로 나타내는 그래프, 도5는 무아레가 발생하고 있는 상태에서 디스플레이 패널을 촬상 장치로 촬영했을 때의, CCD 소자의 각 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨의 분포를 모식적으로 나타내는 그래프, 도6은 촬상 장치의 CCD 소자의 화소와 디스플레이 패널의 화소 간의 대응 상태를 나타내는 모식도, 도7은 촬상 장치에 받아들인 빛을 백 포커스 조정으로 분산시켰을 때의, CCD 소자의 각 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨의 분포를 모식적으로 나타내는 그래프, 도8은 디스플레이 패널에 표시 얼룩이 발생하고 있을 때의, CCD 소자의 각 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨의 분포를 모식적으로 나타내는 그래프이다. 1 is a configuration diagram schematically showing an image pickup device among display panel inspection devices according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a configuration diagram schematically showing a display panel inspection device, and FIG. 3 is an image pickup device according to an embodiment of the present invention. 4 is a diagram schematically illustrating a focal length with respect to the front focus and the back focus of FIG. 4. FIG. 4 is a diagram schematically illustrating a distribution of luminance levels of light detected by each pixel of a CCD element when the display panel is photographed with an imaging device. Fig. 5 is a graph schematically showing a distribution of luminance levels of light detected by each pixel of a CCD element when a display panel is photographed with an imaging device in a state where moire is occurring, and Fig. 6 is an imaging device. 7 is a schematic diagram showing a correspondence state between pixels of a CCD element and pixels of a display panel, FIG. Is a graph schematically showing a distribution of luminance levels of light detected by each pixel of a CCD element when the pixels are dispersed by back focus adjustment, and FIG. 8 shows each pixel of the CCD element when display unevenness occurs in the display panel. This graph schematically shows the distribution of luminance levels of light detected by.

본 발명에 따른 디스플레이 패널의 검사 방법 및 검사 장치는, 디스플레이 패널의 검사, 특히 점결함(點缺陷, Charged Point Defect) 등의 각종 표시 얼룩을 검사하기 위하여, 디스플레이 패널에 표시된 화상(백색 표시를 포함하는 각종 화상)을 카메라(예를 들어, CCD 카메라)로 촬영시, 카메라의 초점맞추기를 한 후, 카메라의 렌즈계와 촬상소자 간의 거리를 변화시킴(백 포커스 조정을 실시)으로써, 촬영한 화상에서 무아레가 발생하는 것을 억제하는 것이다. An inspection method and an inspection apparatus for a display panel according to the present invention include an image (including a white mark) displayed on a display panel in order to inspect various display stains such as inspection of the display panel, in particular, charged point defects. When shooting various images) with a camera (for example, a CCD camera), after focusing the camera, change the distance between the lens system of the camera and the image pickup device (by performing back focus adjustment) to moire the captured image. Will be suppressed from occurring.

[디스플레이 패널 검사 장치][Display panel inspection device]

우선, 본 발명의 디스플레이 패널 검사 방법을 실시하기 위한 디스플레이 패널 검사 장치에 관하여 설명한다. First, the display panel inspection apparatus for implementing the display panel inspection method of the present invention will be described.

디스플레이 패널 검사 장치(1)는, 도1, 2에 나타나 있듯이 주로, 촬상 장치(2), 화상 처리 장치(3), 그리고 화상 표시 장치(4)로 구성되어 있다. As shown in Figs. 1 and 2, the display panel inspection device 1 is mainly composed of an imaging device 2, an image processing device 3, and an image display device 4. As shown in Figs.

촬상 장치(2)는, 검사 대상이 되는 디스플레이 패널(액정 디스플레이 패 널)(5)에 표시된 화상을 촬영하는 촬상 수단이다. 이 촬상 장치(2)는, 렌즈계(7), 촬상소자(8), 포커싱 수단(9), 백 포커스 조정 수단(10), 패널 컨트롤부(11), 그리고 제어 수단(12)로 구성되어 있다. 또한, 디스플레이 패널(5), 렌즈계(7) 및 촬상소자(8)는, 암실(15) 내에 수납하여, 외부 빛을 차단하고 있다. The image capturing apparatus 2 is image capturing means for capturing an image displayed on the display panel (liquid crystal display panel) 5 to be inspected. This imaging device 2 is composed of a lens system 7, an imaging device 8, a focusing means 9, a back focus adjusting means 10, a panel control unit 11, and a control means 12. . In addition, the display panel 5, the lens system 7, and the imaging device 8 are housed in the dark room 15 to block external light.

렌즈계(7)는, 암실(15) 내에서 상기 디스플레이 패널(5)과 촬상소자(8) 사이에 위치하여 초점을 조정하기 위한 광학 장치이다. 렌즈계(7)는, 1개의 렌즈 또는 복수의 렌즈, 필터 등을 조합하여 구성되어 있다. 촬상소자(8)는, 디스플레이 패널(5)을 위에서 촬영하기 위한 소자(素子)이다. 촬상소자(8)는 구체적으로는 CCD 소자를 이용한 카메라로 구성되어 있다. The lens system 7 is an optical device for adjusting focus by being located between the display panel 5 and the image pickup device 8 in the dark room 15. The lens system 7 is configured by combining one lens, a plurality of lenses, a filter, or the like. The imaging element 8 is an element for photographing the display panel 5 from above. The imaging element 8 is specifically comprised by the camera using a CCD element.

포커싱 수단(9)은, 상기 렌즈계(7) 및 촬상소자(8)를 함께 이동시켜 상기 디스플레이 패널(5)의 화상에 대하여 초점 맞추기를 하는 수단이다. 포커싱 수단(9)은, 수직 이동 기구(13)와 렌즈 지지부(14)로 구성되어 있다. The focusing means 9 is a means for moving the lens system 7 and the image pickup device 8 together to focus the image of the display panel 5. The focusing means 9 consists of the vertical movement mechanism 13 and the lens support part 14.

수직 이동 기구(13)는, 디스플레이 패널 검사 장치(1)의 장치 본체 쪽에 설치되어, 렌즈계(7) 및 촬상소자(8)를 함께 수직 방향으로 이동시켜 디스플레이 패널(5)에 대하여 초점 맞추기를 하기 위한 기구이다. 이 수직 이동 기구(13)는, 장치 본체 쪽에 고정되어 렌즈 지지부(14)의 슬라이드를 지지하는 고정부(16)와, 렌즈 지지부(14)에 고정된 상태로 고정부(16)에 상하 방향으로 슬라이드 가능하게 지지된 이동부(17)로 구성되어 있다. 고정부(16)에는, 이동부(17)를 수직 방향으로 이동시키는 기구(도시되어 있지 않음)가 장착되어 있어, 이동부(17)를 지지하며 수직 방향으로 이동시킨다. 이동부(17)는, 렌즈 지지부(14)를 지지하고 이 렌즈 지지 부(14)를 사이에 두고 렌즈계(7)를 수직 방향으로 이동시킨다. The vertical movement mechanism 13 is provided on the apparatus main body side of the display panel inspection apparatus 1 to move the lens system 7 and the image pickup device 8 together in the vertical direction to focus on the display panel 5. It is an appliance for. This vertical movement mechanism 13 is fixed to the apparatus main body side and supports the slide of the lens support part 14, and is fixed to the lens support part 14 in the up-down direction to the fixing part 16. It is comprised by the moving part 17 supported slidably. The fixed part 16 is equipped with the mechanism (not shown) which moves the moving part 17 to a vertical direction, and supports the moving part 17, and moves it to a vertical direction. The moving part 17 supports the lens support part 14 and moves the lens system 7 in the vertical direction with this lens support part 14 interposed.

렌즈 지지부(14)는, 렌즈계(7)를 촬상소자(8)와 함께 지지하기 위한 부재이다. 렌즈 지지부(14)는, 측면 형상이 L자형으로 형성된 세로판부(縱板部)(14A)와, 이 세로판부(14A)의 중간 위치에서 수평으로 연장되어 나온 가로판부(橫板部)(14B)로 구성되어 있다. 렌즈계(7)는 가로판부(14B)의 아래쪽에, 디스플레이 패널(5)을 향한 상태로 지지되어 있다. The lens support part 14 is a member for supporting the lens system 7 together with the imaging element 8. The lens support part 14 is a vertical plate part 14A in which the side shape was L-shaped, and the horizontal plate part 14B extended horizontally in the intermediate position of this vertical plate part 14A. It consists of). The lens system 7 is supported under the horizontal plate portion 14B in a state of facing the display panel 5.

백 포커스 조정 수단(10)은, 촬상소자(8)를 이동시켜 렌즈계(7)와 촬상소자(8)의 간격을 조정하기 위한 장치이다. 백 포커스 조정 수단(10)은, 정밀 이동 기구(19)와, 촬상소자 지지부(20)로 구성되어 있다. 정밀 이동 기구(19)는, 렌즈 지지부(14)의 세로판부(14A)에 지지된 상태로 촬상소자 지지부(20)를 지지하여 정밀하게 이동시키기 위한 기구이다. 이 촬상소자 지지부(20)를 정밀하게 이동시킴으로써, 촬상소자 지지부(20)에 지지된 촬상소자(8)의 위치를 조정하여 백 포커스를 미세하게 조정한다. 정밀 이동 기구(19)는, 미세한 거리의 이동을 조정할 수 있는 직동(直動) 기구로 구성되어 있다. 이 직동 기구로, 볼나사(ball螺絲) 기구, 리니어 모터 등과 같이, 촬상소자(8)의 위치를 미세하게 조정할 수 있는 장치 전부를 사용할 수 있다. 촬상소자 지지부(20)는, 촬상소자(8)를 직접 지지하기 위한 부재이다. 촬상소자 지지부(20)는, 촬상소자(8)를 지지한 상태에서 정밀 이동 기구(19)에 지지되고, 정밀 이동 기구(19)로 그 위치가 미세하게 조정됨으로써 상기 렌즈계(7)와 상기 촬상소자(8)의 간격이 미세하게 조정된다. The back focus adjustment means 10 is an apparatus for adjusting the space | interval of the lens system 7 and the imaging element 8 by moving the imaging element 8. The back focus adjustment means 10 is comprised by the precision movement mechanism 19 and the imaging element support part 20. As shown in FIG. The precision movement mechanism 19 is a mechanism for supporting and accurately moving the image pickup device support portion 20 while being supported by the vertical plate portion 14A of the lens support portion 14. By precisely moving the imaging device support 20, the position of the imaging device 8 supported by the imaging device support 20 is adjusted to finely adjust the back focus. The precision movement mechanism 19 is comprised with the linear motion mechanism which can adjust the movement of a minute distance. As the linear motion mechanism, any device capable of finely adjusting the position of the imaging device 8 can be used, such as a ball screw mechanism, a linear motor, or the like. The imaging device support 20 is a member for directly supporting the imaging device 8. The image pickup device support unit 20 is supported by the precision moving mechanism 19 in a state in which the image pickup device 8 is supported, and its position is finely adjusted by the precision moving mechanism 19 so that the lens system 7 and the imaging are carried out. The spacing of the elements 8 is finely adjusted.

패널 컨트롤부(11)는, LCD패널용 전원(22)과, LCD패널 구동 신호 발생기(23) 로 구성되어 있다. LCD패널용 전원(22)으로 디스플레이 패널(5)에 전원이 공급되고, LCD패널 구동 신호 발생기(23)로 발생시킨 구동 신호에 의해 디스플레이 패널(5)이 구동된다. 이에 따라, 디스플레이 패널(5)이 발광되고, 자동으로 검사용 화상이 표시된다. The panel control unit 11 is composed of an LCD panel power supply 22 and an LCD panel drive signal generator 23. Power is supplied to the display panel 5 by the LCD panel power supply 22, and the display panel 5 is driven by a drive signal generated by the LCD panel drive signal generator 23. As a result, the display panel 5 emits light, and the inspection image is automatically displayed.

제어 수단(12)은, 각 부분을 제어하여 검사하기 위한 장치이다. 제어 수단(12)은, 구체적으로는 제어 기능을 갖춘 컴퓨터로 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 하나의 컴퓨터로 화상 처리 장치(3)와 제어 수단(12)의 두 기능을 모두 갖추고 있다. 또한, 제어 수단(12)을 하나의 컴퓨터로, 화상 처리 장치(3)를 다른 하나의 컴퓨터로 각각 구성해도 된다. 또한, 그 밖의 다른 구성이어도 상관없다. The control means 12 is an apparatus for controlling and inspecting each part. The control means 12 is specifically comprised by the computer with a control function. In this embodiment, one computer has both functions of the image processing apparatus 3 and the control means 12. In addition, you may comprise the control means 12 with one computer, and the image processing apparatus 3 with the other computer, respectively. In addition, you may be another structure.

제어 수단(12)은 적어도, 포커싱 처리 기능과 분산 처리 기능을 갖추고 있다. 포커싱 처리 기능은, 상기 촬상 장치(2)로 촬영한 화상으로 상기 디스플레이 패널(5)의 표시 얼룩을 검사할 때, 상기 촬상 장치(2)의 상기 포커싱 수단(9)을 제어하여 상기 디스플레이 패널(5)에 대하여 초점맞추기를 하기 위한 처리 기능이다. 포커싱 수단(9)은, 상기 렌즈계(7) 및 촬상소자(8)를 함께 이동시키고 상기 디스플레이 패널(5)의 화상에 대하여 초점 맞추기를 한 후에는, 렌즈계(7)를 움직이지 않고, 렌즈계(7)와 디스플레이 패널(5) 간의 거리를 일정하게 유지한다. The control means 12 has at least the focusing process function and the distributed process function. The focusing processing function controls the focusing means 9 of the imaging device 2 by inspecting the display unevenness of the display panel 5 with an image photographed by the imaging device 2 to display the display panel ( 5) is a processing function for focusing on. The focusing means 9 does not move the lens system 7 after moving the lens system 7 and the image pickup device 8 together and focuses on the image of the display panel 5. The distance between 7) and the display panel 5 are kept constant.

분산 처리 기능은, 상기 백 포커스 조정 수단(10)을 제어하여 상기 렌즈계(7)와 상기 촬상소자(8) 간의 거리를 조정하여 상기 디스플레이 패널(5)에서 나온 화상광을 분산시킴으로써 디스플레이 패널(5)에 표시된 화상의 촬영시 무아레가 발생하는 것을 억제하기 위한 처리 기능이다. 이 분산 처리 기능은 구체적으로는, 상기 백 포커스 조정 수단(10)을 제어하여, 상기 렌즈계(7)와 상기 촬상소자(8) 간의 거리를 조정하여, 상기 디스플레이 패널(5)의 1개의 화소가 상기 촬상소자(8)의 CCD의 여러 개(예를 들어 3개)의 화소에 대응하도록 상기 화상광을 분산시킨다. The dispersion processing function controls the back focus adjusting means 10 to adjust the distance between the lens system 7 and the imaging device 8 to disperse the image light emitted from the display panel 5 to display the display panel 5. This is a processing function for suppressing the generation of moire during shooting of the image displayed in the figure. Specifically, this dispersion processing function controls the back focus adjusting means 10 to adjust the distance between the lens system 7 and the imaging device 8 so that one pixel of the display panel 5 The image light is dispersed so as to correspond to several (for example, three) pixels of the CCD of the imaging device 8.

화상 처리 장치(3)는, 화상 장치(2)로 촬영한 화상을 처리하여, 화상 표시 장치(4)에 표시시키기 위한 장치이다. 화상 처리 장치(3)는, 구체적으로는 화상 처리 기능을 갖춘 컴퓨터로 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 상술한 바와 같이, 하나의 컴퓨터로 화상 처리 장치(3)와 제어 수단(12)의 두 기능을 모두 갖추고 있다. 또한, 화상 처리 장치(3)에는, 키보드(24)나 마우스(25)가 임의로 접속된다. The image processing apparatus 3 is an apparatus for processing the image photographed by the image apparatus 2, and making it display on the image display apparatus 4. As shown in FIG. The image processing apparatus 3 is specifically comprised by the computer with an image processing function. In the present embodiment, as described above, one computer has both functions of the image processing apparatus 3 and the control means 12. In addition, a keyboard 24 or a mouse 25 is arbitrarily connected to the image processing apparatus 3.

화상 표시 장치(4)는, 촬상 장치(2)로 촬영하고, 화상 처리 장치(3)로 화상 처리된 화상 데이터를 표시하기 위한 장치이다. 화상 표시 장치(4)는, 결함 화상용 모니터(27)와, 조작용 모니터(28)로 구성되어 있다. 결함 화상용 모니터(27)는, 촬상 장치(2)로 촬영하고 화상 처리 장치(3)로 분산 처리한 후의 디스플레이 패널(5)의 표면의 화상을 표시한다. 조작용 모니터(28)는, 촬상 장치(2)의 포커싱 등을 할 때 디스플레이 패널(5)을 표시한다. 오퍼레이터는, 이 조작용 모니터(28)를 보면서 촬상 장치(2)의 포커싱 등의 조작을 하고, 결함 화상용 모니터(27)를 보며, 디스플레이 패널(5)에 표시 얼룩이 없는지 검사한다. The image display device 4 is a device for shooting with the imaging device 2 and displaying image data processed by the image processing device 3. The image display apparatus 4 is comprised from the defect image monitor 27 and the operation monitor 28. As shown in FIG. The defect image monitor 27 displays an image of the surface of the display panel 5 after shooting with the imaging device 2 and subjected to dispersion processing by the image processing device 3. The operation monitor 28 displays the display panel 5 when focusing the imaging device 2 or the like. The operator performs operations such as focusing of the imaging device 2 while looking at the operation monitor 28, looks at the defect image monitor 27, and checks whether the display panel 5 is free of display irregularities.

[디스플레이 패널의 검사 방법][Inspection method of display panel]

다음으로, 상기와 같이 구성된 디스플레이 패널 검사 장치(1)를 이용한 디스플레이 패널의 검사 방법에 관하여 설명한다. Next, the inspection method of the display panel using the display panel inspection apparatus 1 comprised as mentioned above is demonstrated.

본 실시 형태의 디스플레이 패널의 검사 방법은, 렌즈계(7)와 촬상소자(8)를 구비한 상기 디스플레이 패널 검사 장치(1)의 촬상 장치(2)를 이용하여, 디스플레이 패널(5)에 표시된 화상을 촬영하고, 촬영한 화상으로 화상 처리 장치(3) 및 화상 표시 장치(4)를 이용하여, 상기 디스플레이 패널(5)의 표시 얼룩을 검사하는 방법이다. The inspection method of the display panel of this embodiment is an image displayed on the display panel 5 using the imaging device 2 of the said display panel inspection apparatus 1 provided with the lens system 7 and the imaging element 8. Is a method of inspecting the display unevenness of the display panel (5) using the image processing apparatus (3) and the image display apparatus (4).

이 디스플레이 패널의 검사 방법은, 포커싱 공정과, 분산 공정으로 구성되어 있다. The inspection method of this display panel consists of a focusing process and a dispersion process.

포커싱 공정은, 상기 촬상 장치(2)의 상기 디스플레이 패널(5)에 대하여 초점 맞추기를 하는 공정이다. The focusing step is a step of focusing on the display panel 5 of the imaging device 2.

암실(15) 내에 장착된 디스플레이 패널(5)에 대해 렌즈계(7)를 향하게 한 상태에서, 제어 수단(12)이 포커싱 수단(9)을 제어하여 이동부(17)를 상하로 이동시키고, 렌즈 지지부(14)를 사이에 두고 렌즈계(7)의 위치를 조정하여, 렌즈계(7)의 초점을 디스플레이 패널(5)에 맞춘다. With the display system 5 mounted in the dark room 15 facing the lens system 7, the control means 12 controls the focusing means 9 to move the moving part 17 up and down, and the lens The position of the lens system 7 is adjusted with the support part 14 interposed therebetween to focus the lens system 7 on the display panel 5.

분산 공정은, 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 간의 거리를 조정하여 상기 디스플레이 패널(5)의 화상광을 분산시키는 공정이다. The dispersion step is a step of dispersing the image light of the display panel 5 by adjusting the distance between the lens system 7 and the image pickup device 8.

분산 공정에서는, 상기 포커싱 공정으로 렌즈계(7)의 초점이 디스플레이 패널(5)에 맞춰진 상태에서, 상기 렌즈계(7)와 상기 촬상소자(8) 간의 거리를 조정하여 상기 디스플레이 패널(5)의 화상광을 분산시킴으로써, 디스플레이 패널(5)에 표시된 화상을 촬영시 무아레가 발생하는 것을 억제한다. 이 분산 공정에서, 상기 렌즈계(7)와 상기 촬상소자(8) 간의 거리인 백 포커스(Back Focus) 거리를 조정하여, 디스플레이 패널(5)의 1개의 화소가 촬상소자(8)의 CCD의 3개의 화소에 대응하도록 상기 화상광을 분산시킨다. In the dispersing step, the focus of the lens system 7 is adjusted to the display panel 5 in the focusing step, and the distance between the lens system 7 and the image pickup device 8 is adjusted to adjust the image of the display panel 5. By dispersing the light, moire is suppressed from occurring when the image displayed on the display panel 5 is photographed. In this dispersion step, a back focus distance, which is a distance between the lens system 7 and the image pickup device 8, is adjusted so that one pixel of the display panel 5 is set to 3 of the CCD of the image pickup device 8. The image light is dispersed to correspond to the two pixels.

이하, 분산 공정에서의 백 포커스 조정에 관하여 상세히 서술한다.Hereinafter, back focus adjustment in a dispersion process is explained in full detail.

일반적으로, 카메라에 있어서는, 도3에 나타나 있듯이, 촬영 대상인 피사체(디스플레이 패널(5))에서 렌즈계(렌즈계(7))까지의 거리를 (a), 렌즈계에서 촬상소자(CCD나 필름으로 되어 있으며, 본 실시 형태에서는 촬상소자(8))까지의 거리를 (b), 렌즈의 조점 거리를 (f)라 하면, 다음과 같은 관계식(렌즈의 공식)이 성립한다. In general, in the camera, as shown in Fig. 3, the distance from the subject (display panel 5) to the lens system (lens system 7) to be photographed is (a), and the imaging system (CCD or film) from the lens system. In the present embodiment, assuming that the distance to the imaging device 8 is (b) and the distance between the lenses is (f), the following relational formula (lens formula) holds.

1/a+1/b=1/f1 / a + 1 / b = 1 / f

통상적으로, 피사체에서 렌즈계까지의 거리(a)를 조정(프론트 포커스를 조정)하는 것을「포커싱(초점맞추기)」이라 한다.Usually, adjusting the distance a from the subject to the lens system (adjusting the front focus) is referred to as "focusing".

본 실시 형태에서는, 카메라의 포커싱, 즉 프론트 포커스 조정으로 카메라의 초점을 피사체(디스플레이 패널(5))에 맞춘 후, 피사체에서 렌즈계(7)까지의 거리(a)를 조정한 상태에서, 렌즈계(7)에서 촬상소자(8)까지의 거리(b)를 조정하는 백 포커스 조정을 함으로써, 뒤에서 설명하듯이 무아레가 발생하는 것을 억제한다. In this embodiment, after focusing the camera to the subject (display panel 5) by focusing the camera, that is, front focus adjustment, the lens system (in the state in which the distance a from the subject to the lens system 7 is adjusted) By performing the back focus adjustment to adjust the distance b from 7) to the image pickup device 8, generation of moire is suppressed as described later.

이하, 본 발명에서의 무아레 억제의 원리를 설명한다. Hereinafter, the principle of moire suppression in this invention is demonstrated.

디스플레이 패널, 특히 컬러 액정 디스플레이 패널에서는, 빨강(R), 초록(G), 파랑(B)의 각각의 색을 표시하는 화소가 한 세트가 되어 하나의 표시점(도트)을 형성하고 있다. In a display panel, especially a color liquid crystal display panel, the pixel which displays each color of red (R), green (G), and blue (B) becomes one set, and forms one display point (dot).

여기서, 디스플레이 패널을 백색 표시, 즉, RGB의 모든 색을 표시시킨 경우로서, 디스플레이 패널(5)의 1개의 화소에서 나온 빛을 촬상소자(8)의 3개의 CCD 소자로 검출하는 경우를 생각해 보자. 만약, 디스플레이 패널(5)에 표시 얼룩이 없으면, 디스플레이 패널(5) 전체가 한 가지 색으로 균일하게 빛나게 된다. 이때, 디스플레이 패널(5)을 촬상소자(8)로 촬영하면, 디스플레이 패널(5)의 각 화소와 촬상소자(8)의 CCD 소자의 각 화소 간에 위치 오차가 없으면, 도4에 나타나 있듯이, CCD 소자의 각 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨은, 규칙적으로 변화하여, 디스플레이 패널(5)의 화소마다의 불규칙성은 사라질 것이다. 또한, 도4는, CCD 소자의 각 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨이 규칙적으로 변화하는 상태를 모식적으로 나타낸 것으로, 도면의 상부에 표시된 산 형상(山形)은 디스플레이 패널(5)에서 나온 표시색의 빛의 휘도 레벨을 나타낸 것이고, 도면의 하부에 표시된 히스토그램은 CCD의 각 화소에서 검출한 디스플레이 패널(5)에서 나온 빛의 휘도 레벨을 나타낸 것이다. 디스플레이 패널(5)에 표시 얼룩이 존재하지 않으면, 도4와 같이, 디스플레이 패널(5)을 백색으로 표시시킨 경우, 디스플레이 패널(5)의 각 화소에 대응하는 모든 CCD의 화소에 입력되는 빛의 휘도 레벨에, 디스플레이 패널(5)의 화소마다의 불규칙성은 사라질 것이다. Here, as a case where the display panel displays white color, that is, all colors of RGB, let us consider the case where the light from one pixel of the display panel 5 is detected by the three CCD elements of the image pickup device 8. . If there is no display unevenness on the display panel 5, the entire display panel 5 is uniformly shined with one color. At this time, when the display panel 5 is photographed by the imaging device 8, if there is no position error between each pixel of the display panel 5 and each pixel of the CCD device of the imaging device 8, as shown in FIG. The luminance level of light detected in each pixel of the element changes regularly, so that the irregularities for each pixel of the display panel 5 will disappear. 4 schematically shows a state in which the luminance level of the light detected by each pixel of the CCD element changes regularly, and the mountain shape shown at the top of the figure shows the display from the display panel 5. The luminance level of the colored light is shown, and the histogram displayed at the bottom of the figure shows the luminance level of the light emitted from the display panel 5 detected at each pixel of the CCD. If there is no display unevenness in the display panel 5, as shown in FIG. 4, when the display panel 5 is displayed in white, the luminance of light input to all the pixels of the CCD corresponding to each pixel of the display panel 5 At the level, irregularities per pixel of the display panel 5 will disappear.

그리고, 만약 디스플레이 패널(5)에 표시 얼룩이 존재하는 경우는, 표시 얼룩이 생긴 화소에서 나오는 빛을 그 화소에 대응하는 CCD의 화소에서 검출했을 때의 빛의 휘도 레벨이, 표시 얼룩이 생기지 않는 화소에서 나온 빛을 검출하는 다른 화소에서의 휘도 레벨과는 달라지므로, 이러한 휘도 레벨의 변화로 디스플레이 패널(5)의 표시 얼룩을 검출하는 일이 가능해진다. If there is display irregularity in the display panel 5, the luminance level of the light when the light emitted from the pixel having the display unevenness is detected by the pixel of the CCD corresponding to the pixel is derived from the pixel where the display unevenness does not occur. Since it is different from the luminance level in other pixels which detect light, it is possible to detect the display unevenness of the display panel 5 by such a change of the luminance level.

또한, 디스플레이 패널(5)의 각 화소와 촬상소자(8)의 CCD의 각 화소 간에 위치 오차가 없는 경우는, CCD의 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨의 비율이 변화하지 않고, 무아레도 발생하지 않게 된다. In addition, when there is no position error between each pixel of the display panel 5 and each pixel of the CCD of the imaging device 8, the ratio of the luminance level of light detected by the pixel of the CCD does not change, and moire does not occur. Will not.

그러나, 실제로는 디스플레이 패널(5)의 각 화소와 촬상소자(8)의 CCD의 각 화소 간에 위치 오차가 존재하는 경우가 있고, 이 경우는 도5에 나타나 있듯이, 디스플레이 패널(5)에 표시 얼룩이 존재하지 않아도 촬상소자(8)의 CCD의 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨의 비율이 CCD 전체에서 불균일해져 버리므로, 이것이 무아레가 발생하는 원인이 된다. 예를 들어, 도5의 예에서는, 좌측 그래프에 표시된 화소에서는 밝은 줄무늬가 되고, 우측 그래프에 표시된 화소에서는 어두운 줄무늬가 된다. However, in practice, a position error may exist between each pixel of the display panel 5 and each pixel of the CCD of the image pickup device 8, and in this case, as shown in FIG. 5, display unevenness occurs in the display panel 5. Even if it does not exist, the ratio of the luminance level of the light detected by the pixels of the CCD of the image pickup device 8 becomes nonuniform in the entire CCD, which causes moire. For example, in the example of Fig. 5, the pixels displayed on the left graph become bright stripes, and the pixels displayed on the right graph become dark stripes.

상술한 바와 같이, 종래는 이러한 무아레의 발생을 화상 처리로 제거하거나, 카메라의 프론트 포커스 조정으로 무아레를 억제했으나, 본 발명에서는 백 포커스 조정으로 무아레를 억제하고 있다. As described above, in the past, such moire is eliminated by image processing or moire is suppressed by the front focus adjustment of the camera. However, in the present invention, moire is suppressed by the back focus adjustment.

구체적으로는, 일단 촬상 장치(2)의 렌즈계(7)의 초점맞추기를 한 후, 백 포커스 조정 수단(10)의 정밀 이동 기구(19)로 촬상소자(8)를 이동시켜, 렌즈계(7)와 촬상소자(8)간의 거리(b)를 변화시킨다. 변화시키는 양은, 디스플레이 패널(5)의 화소 1개에 대하여 촬상소자(8)의 CCD의 화소 3개가 대응하게 되는 위치까지이다. 즉, 도6에 나타나 있듯이, RGB의 3 화소로 이루어진 1 도트의 빛을 9개의 CCD 화소에서 검출하는 위치까지, 거리(b)를 변화시킨다. 바꿔 말하면, 디스플레이 패널(5)의 단색 1 화소에서 나온 빛을 촬상소자(8)의 3개의 CCD에, 즉 1 도트를 형성하는 RGB 3 화소에서 나온 빛을 9개의 CCD 화소에 분산시켜 검출시키도록 촬상소자(8)를 이동시킨다.Specifically, after focusing the lens system 7 of the imaging device 2 once, the imaging device 8 is moved by the precision movement mechanism 19 of the back focus adjustment means 10, and the lens system 7 And the distance b between the image pickup device 8 is changed. The amount to be changed is up to a position at which three pixels of the CCD of the imaging device 8 correspond to one pixel of the display panel 5. That is, as shown in Fig. 6, the distance b is changed to the position where the light of one dot consisting of three pixels of RGB is detected by nine CCD pixels. In other words, the light emitted from one monochrome pixel of the display panel 5 is distributed to three CCDs of the image pickup device 8, that is, the light emitted from the RGB three pixels forming one dot is distributed to nine CCD pixels. The imaging device 8 is moved.

그 결과, 도7에 나타나 있듯이, 디스플레이 패널(5)에 표시 얼룩이 없고, 디스플레이 패널(5) 전체가 균일하게 백색으로 빛나고 있는 경우에는, 모든 CCD 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨이 일정해지고, 휘도 레벨의 규칙적인 변화를 억제할 수 있어 무아레가 발생하는 것을 억제한다. 그 결과, 무아레에 의한 시각적인 장애 없이, 디스플레이 패널(5)의 표시 얼룩의 유무만을 인식할 수 있게 되어, 표시 얼룩이 없는 것을 정확하게 검출할 수 있다. As a result, as shown in Fig. 7, when there is no display unevenness on the display panel 5, and the entire display panel 5 is uniformly shining white, the luminance level of the light detected by all the CCD pixels becomes constant and the luminance Regular change of level can be suppressed and moire suppresses occurrence. As a result, only the presence or absence of the display unevenness of the display panel 5 can be recognized without visual disturbance by moire, and it can be detected correctly that there is no display unevenness.

한편, 디스플레이 패널(5)에 표시 얼룩이 존재하는 경우에는 다음과 같아진다. 즉, 도8에 나타나 있듯이, 디스플레이 패널(5)의 표면에 표시 얼룩의 결함이 있는 경우는, 그 부분의 휘도 레벨이 다른 부분에 비해 변화한다. 게다가, 넓은 범위(3개의 CCD)에서 휘도 레벨이 변화하기 때문에, 표시 얼룩에 의한 디스플레이 패널(5)에서 생기는 빛의 휘도의 차이를 촬상소자(8)의 CCD로 손쉽고 확실하게 검출할 수 있다.On the other hand, when the display unevenness exists in the display panel 5, it becomes as follows. That is, as shown in Fig. 8, when there is a defect in the display unevenness on the surface of the display panel 5, the luminance level of the portion changes compared with other portions. In addition, since the luminance level changes over a wide range (three CCDs), it is possible to easily and reliably detect the difference in the luminance of the light generated by the display panel 5 due to display irregularities with the CCD of the image pickup device 8.

이 촬상소자(8)의 CCD에서의 검출값에 근거하여 화상 표시 장치(4)의 결함 화상용 모니터(27)에 표시하고, 검사원의 시각이나 임계값(Threshold)의 비교에 따른 화상 처리로 표시 얼룩을 검출한다. Based on the detected value by the CCD of this imaging element 8, it displays on the defect image monitor 27 of the image display apparatus 4, and displays it by the image processing according to the inspection time or the comparison of a threshold value. Detect stains.

이에 따라, 복잡하고 시간이 걸리는 화상 처리를 할 필요 없이, 촬영된 화상으로 확실한 표시 얼룩 검사를 할 수 있다. As a result, it is possible to reliably check the display unevenness with the photographed image without the need for complicated and time-consuming image processing.

또한, 프론트 포커스 조정이 아닌 백 포커스 조정을 함으로써, 한 차례 렌즈계(7)의 초점 맞추기를 하면 그 후 렌즈계(7)를 이동시킬 필요가 없으므로, 카메 라(촬상 장치(2))의 광축 오차가 발생하지 않고, 또한 검사 대상이 되는 디스플레이 패널(5)을 교환할 때마다 카메라의 초점 맞추기를 할 필요가 없어지므로, 작업성이 향상된다. Also, if the lens system 7 is focused once by performing the back focus adjustment instead of the front focus adjustment, there is no need to move the lens system 7 afterwards, so that an optical axis error of the camera (the imaging device 2) Since it does not occur and the camera does not need to be focused every time the display panel 5 to be inspected is replaced, workability is improved.

상술한 바에 따라, 디스플레이 패널(5)의 표시 얼룩 검사를 신속하면서도 정확히 할 수 있게 된다. As described above, inspection of the display unevenness of the display panel 5 can be performed quickly and accurately.

[제2 실시 형태]Second Embodiment

다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태에 관하여 설명한다. Next, a second embodiment of the present invention will be described.

본 실시 형태의 디스플레이 패널의 검사 장치는, 상기 제1 실시 형태의 디스플레이 패널 검사 장치(1)에 광학 필터를 추가한 바 있다. 전체 구성은 상기 제1 실시 형태의 디스플레이 패널 검사 장치(1)와 같기 때문에, 여기서는 동일한 부재에는 동일한 부호를 달아 그 설명을 생략하고, 광학 필터를 중심으로 설명한다. The inspection apparatus of the display panel of this embodiment added the optical filter to the display panel inspection apparatus 1 of the said 1st embodiment. Since the whole structure is the same as that of the display panel test | inspection apparatus 1 of the said 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the same member here, the description is abbreviate | omitted, and it demonstrates centering on an optical filter.

본 실시 형태의 디스플레이 패널 검사 장치는, 도9에 나타나 있듯이, 촬상 장치(2)의 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 사이에, 광학 필터(30)를 장착하는 필터 장착부(31)를 구비하고 있다. As shown in FIG. 9, the display panel inspection device of the present embodiment includes a filter mounting portion 31 for mounting an optical filter 30 between the lens system 7 and the imaging device 8 of the imaging device 2. Doing.

광학 필터(30)는, 디스플레이 패널 검사 장치에 요구되는 기능을 갖춘 필터가 사용된다. 예를 들어, 근적외선을 차단하는 IR 컷 필터(IR Cut Filter), 반사광을 없애는 PL 필터나 로퍼스 필터 등과 같이 여러 가지 기능을 갖춘 필터 중에서, 디스플레이 패널 검사 장치에 필요로 하는 기능을 갖춘 필터를 선택하여 설치한다. As the optical filter 30, a filter having a function required for a display panel inspection device is used. For example, select a filter with a function required for a display panel inspection device from a filter having various functions such as an IR cut filter that blocks near infrared rays, a PL filter that eliminates reflected light, or a loafer filter. Install it.

필터 장착부(31)는, 광학 필터(30)를 장착하기 위한 부분이다. 필터 장착부(31)는, 수동으로 광학 필터(30)를 교환하는 경우와, 자동으로 광학 필터(30)를 교환하는 경우가 있으며, 이들에 따라 구성된다. 필터 장착부(31)는, 렌즈 지지부(14)의 세로판부(縱板部)(14A)에 설치되어, 광학 필터(30)를 지지한다. The filter attaching part 31 is a part for attaching the optical filter 30. The filter mounting part 31 may replace the optical filter 30 manually, and may replace the optical filter 30 automatically, and is comprised according to these. The filter attaching part 31 is provided in 14 A of vertical plate parts of the lens support part 14, and supports the optical filter 30. As shown in FIG.

이 필터 장착부(31)는, 광학 필터(30)를 수동으로 교환하는 구성일 경우, 광학 필터(30)에 감합하여 이 광학 필터(30)를 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 사이에서 지지하는 부재로 구성된다. 이 경우, 필터 장착부(31)에 새로운 광학 필터(30)가 장착된 것을 검지(檢知)하는 스위치 또는 센서를 구비하여, 새로운 광학 필터(30)의 장착을 검지함으로써, 뒤에서 서술할 제어 수단(12)의 미세 조정 처리 기능을 작동시키게 해도 된다. When the filter mounting part 31 is a structure which replaces the optical filter 30 manually, it fits into the optical filter 30, and supports this optical filter 30 between the lens system 7 and the imaging device 8. It consists of a member. In this case, it is provided with the switch or sensor which detects that the new optical filter 30 was attached to the filter mounting part 31, and detects the attachment of the new optical filter 30, and controls the control means (described later) ( The fine adjustment processing function of 12) may be activated.

필터 장착부(31)가 광학 필터(30)를 자동으로 교환하는 구성일 경우, 그 필터 장착부(31)는 예를 들어 도10에 나타나 있듯이, 필터 지지부(32)와, 회전 구동 모터(33)로 이루어진 필터 교환 기구(34)를 갖춘 상태로 구성된다. 필터 지지부(32)는, 광학 필터(30)를 지지하는 지지암부(支持腕部)(36)를 3개 설치한 상태로 구성되어 있고, 각 지지암부(36)로 동시에 3장의 광학 필터(30)를 지지한다. 필터 지지부(32)는, 그 지지암부(36)로 지지된 광학 필터(30)가, 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 사이에 위치하도록 설치되어 있다. 또한, 지지암부(36)는 4개 이상 설치해도 된다. 회전 구동 모터(33)는, 필터 지지부(32)를 임의로 회전시킨다. 이 회전 구동 모터(33)는, 상기 제어 수단(12)에 접속되어 있다. 이 경우, 제어 수단(12)은, 광학 필터(30)의 장착 또는 교환 후에 미세 조정 처리 기능을 자동으로 작동시키도록 설정된다. When the filter mounting part 31 is a structure which replaces the optical filter 30 automatically, the filter mounting part 31 will be comprised of the filter support part 32 and the rotation drive motor 33, as shown, for example in FIG. It is comprised with the filter replacement mechanism 34 made. The filter support part 32 is comprised in the state which provided three support arm parts 36 which support the optical filter 30, and each of the support arm parts 36 supports three optical filters 30 simultaneously. ). The filter support part 32 is provided so that the optical filter 30 supported by the support arm part 36 may be located between the lens system 7 and the imaging element 8. In addition, four or more support arm parts 36 may be provided. The rotation drive motor 33 rotates the filter support part 32 arbitrarily. The rotation drive motor 33 is connected to the control means 12. In this case, the control means 12 is set to automatically operate the fine adjustment processing function after mounting or replacing the optical filter 30.

상기 제어 수단(12)은, 상기 제1 실시 형태에서 설명한 기능에 더하여, 렌 즈계(7)와 촬상소자(8) 간의 거리를 미세하게 조정하는 미세 조정 처리 기능을 추가로 갖추고 있다. 이 미세 조정 처리 기능은, 광학 필터(30)의 장착 또는 교환에 따라 일어나는 굴절에 의한 포커스의 오차를 수정하기 위하여, 백 포커스 조정 수단(10)을 제어하여 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 간의 거리를 미세하게 조정하는 기능이다. 더욱이, 제어 수단(12)은, 필터 교환 기구(34)의 회전 구동 모터(33)를 제어하여, 소정의 광학 필터(30)를 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 사이에 이동시킴으로써, 디스플레이 패널 검사 장치의 광학 특성을 변경하도록 구성되어 있다. 즉, 필터 장착부(31)가 필터 교환 기구(34)를 갖추어 구성되는 경우에는, 상기 제어 수단(12)은, 필터 교환 기구(34)의 회전 구동 모터(33)를 제어하여, 필터 지지부(32)의 지지암부(36)를 회전시키고, 선택된 광학 필터(30)를 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 사이에 이동시켜 지지한다.  In addition to the function described in the first embodiment, the control means 12 further includes a fine adjustment processing function for finely adjusting the distance between the lens system 7 and the image pickup device 8. This fine adjustment processing function controls the back focus adjusting means 10 to correct the error of focus due to refraction caused by the mounting or replacement of the optical filter 30 so that the lens system 7 and the imaging device 8 can be controlled. This function finely adjusts the distance between them. Moreover, the control means 12 controls the rotation drive motor 33 of the filter replacement mechanism 34, and moves the predetermined optical filter 30 between the lens system 7 and the imaging element 8, and displays it. It is comprised so that the optical characteristic of a panel inspection apparatus may be changed. That is, when the filter attachment part 31 is comprised with the filter replacement mechanism 34, the said control means 12 controls the rotation drive motor 33 of the filter replacement mechanism 34, and the filter support part 32 The support arm 36 of () is rotated, and the selected optical filter 30 is moved between the lens system 7 and the imaging device 8 to be supported.

이상과 같이 구성된 디스플레이 패널 검사 장치는 다음과 같이 작동한다. The display panel inspection device configured as described above operates as follows.

디스플레이 패널 검사 장치의 전체적인 동작은 상기 제1 실시 형태의 디스플레이 패널 검사 장치(1)와 같기 때문에, 여기서는 광학 필터(30)의 교환 작업을 중심으로 설명한다. Since the whole operation | movement of a display panel test | inspection apparatus is the same as that of the display panel test | inspection apparatus 1 of the said 1st Embodiment, it demonstrates centering around the operation of replacing the optical filter 30 here.

광학 필터(30)는, 기능이 다른 필터를 여러 장 준비한다. 이 복수의 광학 필터(30) 중에서 디스플레이 패널 검사 장치에 요구되는 기능에 부합하는 광학 필터(30)를 선택하여, 필터 장착부(31)에 새로 장착하거나, 또는 기존의 광학 필터(30)와 교환한다.The optical filter 30 prepares several filters from which a function differs. Among the plurality of optical filters 30, an optical filter 30 corresponding to a function required for the display panel inspection apparatus is selected and newly mounted in the filter mounting unit 31 or replaced with an existing optical filter 30. .

이때, 수동으로 광학 필터(30)를 교환하는 구성의 필터 장착부(31)의 경우 는, 작업자가 광학 필터(30)를 필터 장착부(31)에 직접 설치한다. 이때, 기존의 광학 필터(30)가 필터 장착부(31)에 설치되어 있는 경우는, 우선 그것을 떼어 내고, 그 후 새로운 광학 필터(30)를 필터 장착부(31)에 장착한다. At this time, in the case of the filter mounting part 31 of the structure which replaces the optical filter 30 manually, an operator installs the optical filter 30 directly in the filter mounting part 31. FIG. At this time, when the existing optical filter 30 is provided in the filter mounting part 31, it removes it first, and after that, the new optical filter 30 is attached to the filter mounting part 31. FIG.

다음으로, 상기 스위치 또는 센서를 구비하고 있는 경우는 자동으로, 구비하지 않은 경우는 수동으로, 제어 수단(12)의 상기 미세 조정 처리 기능을 작동시킨다.Next, when the switch or sensor is provided, the fine adjustment processing function of the control means 12 is automatically activated when the switch or sensor is not provided.

또한, 자동으로 광학 필터(30)를 교환하는 구성을 갖는 필터 장착부(31)의 경우는, 제어 수단(12)에 의한 필터 교환 기구(34)의 제어에 의해 회전 구동 모터(33)가 작동되어 필터 지지부(32)가 회전하여, 소정의 광학 필터(30)를 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 사이에 장착시킨다. 이어서, 상기 미세 조정 처리 기능을 작동시킨다. In addition, in the case of the filter mounting part 31 which has the structure which replaces the optical filter 30 automatically, the rotation drive motor 33 is operated by the control of the filter replacement mechanism 34 by the control means 12, The filter support part 32 rotates, and the predetermined optical filter 30 is mounted between the lens system 7 and the imaging element 8. Then, the fine adjustment processing function is activated.

그리고, 상기 미세 조정 처리 기능에 따라, 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 간의 거리를 미세하게 조정하고, 광학 필터(30)의 교환 작업을 종료한다. In accordance with the fine adjustment processing function, the distance between the lens system 7 and the image pickup device 8 is finely adjusted, and the replacement operation of the optical filter 30 is finished.

그 후, 디스플레이 패널 검사 장치에 따른 통상적인 검사를 실시한다. Thereafter, a normal inspection according to the display panel inspection apparatus is performed.

상술한 바에 따라, 요구되는 기능을 갖춘 광학 필터(30)를 상기 필터 장착부(31)에 임의로 장착 또는 교환함과 동시에, 제어 수단(12)으로 상기 렌즈계(7)와 상기 촬상소자(8) 간의 거리를 미세하게 조정하고, 광학 필터(30)의 기능에 따라 노이즈광 등을 제거한 검사광을 상기 촬상소자(8)에 받아들이기 때문에, 상기 제1 실시 형태의 기능과 서로 작용하여, 높은 정밀도의 검사를 할 수 있다. As described above, the optical filter 30 having the required function is arbitrarily mounted or replaced in the filter mounting portion 31, and the control means 12 between the lens system 7 and the imaging device 8 Since the distance is finely adjusted and the inspection light from which noise light or the like is removed in accordance with the function of the optical filter 30 is received by the image pickup device 8, the optical device 30 interacts with the function of the first embodiment, thereby providing high accuracy. You can check.

또한, 필터 장착부(31)를 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 사이에 설치하고, 광학 필터(30)를 렌즈계(7)와 촬상소자(8) 사이에 장착하기 위하여, 광학 필터(30)를 컴팩트한 사이즈로 장착할 수 있다. 즉, 광학 필터(30)의 사이즈를 작게 할 수 있다. 더욱이 광학 필터(30)는, 앵글(畵角)의 여하에 관계없이 같은 사이즈로 할 수 있다. 이는, 백 포커스 부분이, 렌즈계(7)의 내부에 한 차례 맺힌 상(結像)을 촬상소자(8)의 사이즈에 맞추어 전개하고 있기 때문이다. 이에 따라, 디스플레이 패널 검사 장치도 부피가 크지 않게 컴팩트한 사이즈로 구성할 수 있다. 또한, 광학 필터(30)가 작아지기 때문에, 경량화 및 비용 저감을 도모할 수 있다. In addition, in order to install the filter attachment part 31 between the lens system 7 and the imaging element 8, and to mount the optical filter 30 between the lens system 7 and the imaging element 8, the optical filter 30 is carried out. Can be mounted in a compact size. That is, the size of the optical filter 30 can be made small. Furthermore, the optical filter 30 can be made the same size irrespective of an angle. This is because the back focus portion expands the image formed once inside the lens system 7 in accordance with the size of the imaging device 8. Accordingly, the display panel inspection apparatus can also be configured in a compact size without being bulky. Moreover, since the optical filter 30 becomes small, weight reduction and cost reduction can be aimed at.

[변형예][Modification]

상기 제1 실시 형태에서는, 상기 분산 공정에서, 콘트라스트(Contrast)의 저하에 따른 정밀도의 저하를 고려하여, 디스플레이 패널(5)의 1개의 화소가 촬상 장치(2)의 CCD의 3개의 화소에 대응하도록 상기 화상광을 분산시켰으나, 검출 정밀도가 확보되면, 2개 또는 4개 이상의 화소와 대응하도록 상기 화상광을 분산시켜도 된다. 즉, 빛을 분산시키는 범위가 너무 크면, 이웃하는 어드레스(Address)의 LCD 화소에 대응하고 있는 CCD에도 빛이 들어가 버려, 결함 자체가 분산되어 콘트라스트가 저하하고, 결함을 검출하지 못할 가능성이 있기 때문에, 상기 실시 형태에서는 CCD의 3개의 화소에 대응하도록 빛의 분산 범위를 설정했으나, 콘트라스트의 저하없이 검출 정밀도가 확보되면, 2개 또는 4개 이상의 화소와 대응하도록 상기 화상광을 분산시켜도 된다. In the first embodiment, in the dispersion step, one pixel of the display panel 5 corresponds to three pixels of the CCD of the imaging device 2 in consideration of the degradation of the precision caused by the lowering of the contrast. The image light is dispersed so that the detection light is secured, but if the detection accuracy is secured, the image light may be dispersed to correspond to two or four or more pixels. In other words, if the light spreading range is too large, light may enter the CCD corresponding to the LCD pixel of the neighboring address, and the defect itself may be dispersed, resulting in a low contrast, and a defect may not be detected. In the above embodiment, the light dispersion range is set so as to correspond to the three pixels of the CCD. However, if the detection accuracy is ensured without decreasing the contrast, the image light may be dispersed to correspond to two or four or more pixels.

상기 제1 실시 형태에서는, 포커싱 공정에 이어 분산 공정을 했으나, 디스플 레이 패널(5)의 종류에 따라서는, 분산 공정 다음에 포커싱 공정을 해도 된다. 검사 대상의 디스플레이 패널(5)에 따라, 이 디스플레이 패널(5)과 상기 렌즈계(7) 간의 거리 및 렌즈계(7)와 상기 촬상소자(8) 간의 거리를 미리 알 수 있는 경우가 있기 때문에, 그 경우는 포커싱 공정과 분산 공정을 반대로 해도 된다. 즉, 분산 공정 다음에 포커싱 공정을 해도 된다.In the first embodiment, a dispersion step is performed following the focusing step. Depending on the type of the display panel 5, the focusing step may be performed after the dispersion step. Depending on the display panel 5 to be inspected, the distance between the display panel 5 and the lens system 7 and the distance between the lens system 7 and the imaging device 8 may be known in advance. In this case, the focusing process and the dispersion process may be reversed. That is, you may perform a focusing process after a dispersion process.

상기 제2 실시 형태에서는, 필터 교환 기구(34)를, 회전 구동 모터(33)로 지지암부(36)를 회전시켜 광학 필터(30)를 교환하는 구성으로 했으나, 다른 구성으로 해도 되는 것은 말할 필요도 없다. 예를 들어, 주크 박스와 마찬가지로, 복수의 광학 필터(30)를 수납하는 수납부와, 이 수납부 내의 광학 필터(30)를 자동으로 꺼내어 필터 장착부(31)에 운송하여 장착하는 운송부로 구성해도 된다. In the second embodiment, the filter replacement mechanism 34 is configured to replace the optical filter 30 by rotating the support arm 36 with the rotation drive motor 33. There is no. For example, similarly to a juke box, even if it consists of the accommodating part which accommodates the some optical filter 30, and the transport part which automatically removes the optical filter 30 in this accommodating part, and transports and mounts it to the filter mounting part 31, do.

도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 디스플레이 패널 검사 장치 중 촬상 장치를 개략적으로 나타내는 구성도이다.1 is a configuration diagram schematically showing an imaging device of the display panel inspecting apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도2는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 디스플레이 패널 검사 장치를 개략적으로 나타내는 구성도이다. 2 is a configuration diagram schematically showing a display panel inspecting apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도3은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 촬상 장치의 프론트 포커스와 백 포커스에 관하여 초점 거리를 모식적으로 나타내는 설명도이다. 3 is an explanatory diagram schematically showing a focal length with respect to the front focus and the back focus of the imaging device according to the first embodiment of the present invention.

도4는 디스플레이 패널을 촬상 장치로 촬영했을 때의, CCD 소자의 각 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨의 분포를 모식적으로 나타내는 그래프이다. 4 is a graph schematically showing a distribution of luminance levels of light detected by each pixel of a CCD element when a display panel is photographed with an imaging device.

도5는 무아레가 발생하고 있는 상태에서 디스플레이 패널을 촬상 장치로 촬영했을 때의, CCD 소자의 각 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨의 분포를 모식적으로 나타내는 그래프이다. FIG. 5 is a graph schematically showing a distribution of luminance levels of light detected by each pixel of a CCD element when a display panel is photographed by an imaging device in a state where moire is occurring. FIG.

도6은 촬상 장치의 CCD 소자 및 디스플레이 패널의 각 화소의 대응 상태를 나타내는 모식도이다. Fig. 6 is a schematic diagram showing the correspondence state of each pixel of the CCD element of the imaging device and the display panel.

도7은 촬상 장치에 받아들인 빛을 백 포커스 조정으로 분산시켰을 때의, CCD 소자의 각 화소에서 검출하는 빛의 휘도 레벨의 분포를 모식적으로 나타내는 그래프이다.FIG. 7 is a graph schematically showing a distribution of luminance levels of light detected by each pixel of a CCD element when light received by an imaging device is dispersed by back focus adjustment. FIG.

도8은 디스플레이 패널에 표시 얼룩이 발생하고 있을 때의, CCD 소자의 각 화소에서 검출하는 휘도 레벨의 분포를 모식적으로 나타내는 그래프이다. 8 is a graph schematically showing a distribution of luminance levels detected by each pixel of a CCD element when display unevenness occurs in a display panel.

도9는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 디스플레이 패널 검사 장치 중 촬상 장치를 개략적으로 나타내는 구성도이다. FIG. 9 is a configuration diagram schematically showing an image pickup device among display panel inspection devices according to a second embodiment of the present invention. FIG.

도10은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 디스플레이 패널 검사 장치의 필터 장착부를 개략적으로 나타내는 구성도이다. 10 is a configuration diagram schematically showing a filter mounting portion of the display panel inspecting apparatus according to the second embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부호에 대한 설명** Description of Major Symbols in Drawings *

1: 디스플레이 패널 검사 장치 2: 촬상 장치1: display panel inspection device 2: imaging device

3: 화상 처리 장치 4: 화상 표시 장치3: image processing apparatus 4: image display apparatus

5: 디스플레이 패널 7: 렌즈계5: display panel 7: lens system

8: 촬상소자(撮像素子) 9: 포커싱 수단8: Imaging element 9: Focusing means

10: 백 포커스 조정 수단 11: 패널 컨트롤부10: back focus adjustment means 11: panel control unit

12: 제어 수단 13: 수직 이동 기구12: control means 13: vertical moving mechanism

14: 렌즈 지지부 15: 암실14: lens support 15: darkroom

16: 고정부 17: 이동부16: fixed part 17: moving part

19: 정밀 이동 기구 20: 촬상소자 지지부19: precision moving mechanism 20: image pickup device support

22: LCD 패널용 전원 23: LCD 패널 구동 신호 발생기22: power supply for LCD panel 23: LCD panel drive signal generator

27: 결함 화상용 모니터 28: 조작용 모니터27: monitor for defective images 28: monitor for operation

30: 광학 필터 31: 필터 장착부30: optical filter 31: filter mounting portion

32: 필터 지지부 33: 회전 구동 모터32: filter support 33: rotary drive motor

34: 필터 교환 기구 36: 지지암부(支持腕部)34: filter changing mechanism 36: support arm

Claims (8)

렌즈계와 촬상소자를 구비한 촬상 수단으로 디스플레이 패널에 표시된 화상을 촬영하고, 촬영한 화상으로 상기 디스플레이 패널의 표시 얼룩을 검사하는 방법으로서,A method of photographing an image displayed on a display panel by an image pickup means having a lens system and an image pickup device, and checking the display unevenness of the display panel with the photographed image. 상기 촬상 수단의 상기 디스플레이 패널에 대한 초점 맞추기를 하는 포커싱 공정과, A focusing process of focusing the display panel of the imaging means; 상기 렌즈계와 상기 촬상소자 간의 거리를 조정하여 상기 촬상소자에 입사되는 상기 화상광을 분산시킴으로써 상기 디스플레이 패널에 표시된 화상의 촬영시 무아레가 발생하는 것을 억제하는 분산 공정을 갖춘 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 검사 방법.And dispersing the image light incident on the image pickup device by adjusting the distance between the lens system and the image pickup device to suppress generation of moire during the imaging of the image displayed on the display panel. method of inspection. 제1항에 있어서, 상기 촬상소자는 CCD이며,The method of claim 1, wherein the image pickup device is a CCD, 상기 분산 공정은, 상기 렌즈계와 상기 CCD의 거리를 조정하여, 상기 디스플레이 패널의 1개의 화소가 상기 CCD의 여러 개의 화소에 대응하도록 상기 화상광을 분산시키는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 검사 방법.And wherein said dispersing step adjusts the distance between said lens system and said CCD to disperse said image light so that one pixel of said display panel corresponds to several pixels of said CCD. 제2항에 있어서, 상기 분산 공정은, 상기 디스플레이 패널의 1개의 화소가 상기 CCD의 3개의 화소에 대응하도록 상기 화상광을 분산시키는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 검사 방법.The inspection method of a display panel according to claim 2, wherein said dispersing step disperses said image light so that one pixel of said display panel corresponds to three pixels of said CCD. 디스플레이 패널에 표시된 화상을 촬영하는 촬상 수단, 상기 촬상 수단에 의해 촬영된 상기 디스플레이 패널의 화상을 처리하는 화상 처리 수단, 및 상기 화상 처리 수단으로 처리한 화상을 표시하는 화상 표시 수단을 구비하는 디스플레이 패널의 검사 장치로서, A display panel comprising image pickup means for shooting an image displayed on a display panel, image processing means for processing an image of the display panel photographed by the image pickup means, and image display means for displaying an image processed by the image processing means. As the inspection device of, 상기 촬상 수단은, 렌즈계와, 촬상소자와, 상기 렌즈계를 이동시켜 상기 디스플레이 패널의 화상에 대하여 초점 맞추기를 하는 포커싱 수단, 상기 촬상소자를 이동시켜 상기 렌즈계와 상기 촬상소자 간의 거리를 조정하는 백 포커스 조정 수단, 그리고 상기 포커싱 수단 및 백 포커스 조정 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하고,The imaging means includes a focusing means for moving the lens system, the imaging device, and the lens system to focus on an image of the display panel, and a back focus for moving the imaging device to adjust the distance between the lens system and the imaging device. Adjusting means and control means for controlling said focusing means and back focus adjusting means, 상기 제어 수단은, 상기 촬상 수단으로 촬영한 화상으로 상기 디스플레이 패널의 표시 얼룩의 검사시, 상기 촬상 수단의 상기 포커싱 수단을 제어하여 상기 디스플레이 패널에 대하여 초점 맞추기를 하는 포커싱 처리 기능과, 상기 백 포커스 조정 수단을 제어하여 상기 렌즈계와 상기 촬상소자 간의 거리를 조정하여 상기 촬상소자에 입사되는 상기 화상광을 분산시킴으로써 상기 디스플레이 패널에 표시된 화상을 촬영시 무아레가 발생하는 것을 억제하는 분산 처리 기능을 갖춘 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 검사 장치.The control means has a focusing processing function of controlling the focusing means of the imaging means to focus on the display panel when inspecting the display unevenness of the display panel with the image photographed by the imaging means, and the back focus. Controlling the adjusting means to adjust the distance between the lens system and the image pickup device to disperse the image light incident on the image pickup device, thereby having a dispersion processing function for suppressing the generation of moire when shooting the image displayed on the display panel. An inspection apparatus for a display panel. 제4항에 있어서, 상기 촬상 수단의 상기 촬상소자는 CCD이며,The image pickup device according to claim 4, wherein the image pickup device of the image pickup means is a CCD, 상기 제어 수단은, 상기 백 포커스 조정 수단을 사이에 두고 상기 렌즈계와 상기 CCD 간의 거리를 조정하여, 상기 디스플레이 패널의 1개의 화소가 상기 CCD의 여러 개의 화소에 대응하도록 상기 화상광을 분산시키는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 검사 장치.And said control means adjusts the distance between said lens system and said CCD with said back focus adjusting means therebetween so as to disperse said image light so that one pixel of said display panel corresponds to several pixels of said CCD. The inspection apparatus of a display panel. 제5항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 디스플레이 패널의 1개의 화소가 상기 CCD의 3개의 화소에 대응하도록 상기 화상광을 분산시키는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 검사 장치.6. The inspection apparatus of claim 5, wherein the control means distributes the image light so that one pixel of the display panel corresponds to three pixels of the CCD. 제4항에 있어서, 상기 촬상 수단의 렌즈계와 촬상소자 사이에, 광학 필터를 장착하는 필터 장착부를 구비하고,5. The filter mounting apparatus according to claim 4, further comprising a filter mounting portion for mounting an optical filter between the lens system of the imaging means and the imaging device. 상기 제어 수단은, 상기 광학 필터의 장착 또는 교환에 따라 일어나는 굴절에 의해 발생하는 포커스의 오차를 수정하기 위하여 상기 백 포커스 조정 수단을 제어하여 상기 렌즈계와 상기 촬상소자 간의 거리를 미세하게 조정하는 미세 조정 처리 기능을 추가로 갖춘 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 검사 장치.The control means finely adjusts the distance between the lens system and the image pickup device by controlling the back focus adjusting means to correct an error in focus caused by refraction caused by mounting or replacing the optical filter. An inspection apparatus for a display panel further comprising a processing function. 제7항에 있어서, 상기 필터 장착부는 복수의 필터를 자동적으로 교환하는 필터 교환 기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널의 검사 장치.8. The inspection apparatus for a display panel according to claim 7, wherein the filter mounting portion is provided with a filter replacement mechanism for automatically replacing a plurality of filters.
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