JP2006242821A - Imaging method of optical panel, inspection method of optical panel, imaging device of optical panel and inspection device of optical panel - Google Patents

Imaging method of optical panel, inspection method of optical panel, imaging device of optical panel and inspection device of optical panel Download PDF

Info

Publication number
JP2006242821A
JP2006242821A JP2005060489A JP2005060489A JP2006242821A JP 2006242821 A JP2006242821 A JP 2006242821A JP 2005060489 A JP2005060489 A JP 2005060489A JP 2005060489 A JP2005060489 A JP 2005060489A JP 2006242821 A JP2006242821 A JP 2006242821A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
imaging
optical panel
image
liquid crystal
line sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2005060489A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuhiko Furuya
和彦 古屋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2005060489A priority Critical patent/JP2006242821A/en
Publication of JP2006242821A publication Critical patent/JP2006242821A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imaging device of a liquid crystal panel capable of imaging the liquid crystal panel clearly from the view angle direction. <P>SOLUTION: A CCD camera 510 has a line sensor. The CCD camera 510 is supported so that the line sensor becomes parallel to the liquid crystal panel 900. The angle at which the CCD camera 510 takes a view of the liquid crystal panel 900 is adjusted at the view angle θ. Then, the focal point of the CCD camera 510 is adjusted onto a display surface 960 of the liquid crystal panel 900. The CCD camera 510 is moved in parallel with the display surface 960 of the liquid crystal panel 900, and an imaging domain L of the line sensor is scanned along the display surface 960 of the liquid crystal panel 900. A synthetic image is generated by synthesizing image data on each imaged line. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光学パネルの撮像方法、光学パネルの検査方法、光学パネルの撮像装置、光学パネルの検査装置に関する。例えば、光学パネルの画像表示検査にあたって、光学パネルの画像を撮像する光学パネルの撮像方法および装置等に関する。   The present invention relates to an optical panel imaging method, an optical panel inspection method, an optical panel imaging device, and an optical panel inspection device. For example, the present invention relates to an imaging method and apparatus for an optical panel that captures an image of the optical panel in an image display inspection of the optical panel.

画像を表示する光学パネルとして、表示面上の各画素に配置された液晶セルを有し、この液晶セルに印加する電圧を制御することで表示画像を制御する液晶パネルが知られている。
このような液晶パネルにあっては、例えば、液晶セルの厚みのばらつきなどにより輝度ムラ等の表示欠陥が生じる。そこで、液晶パネルの製造過程において液晶パネルに表示欠陥が生じていないか等を検査する画像表示検査が行われる。
As an optical panel for displaying an image, a liquid crystal panel having a liquid crystal cell disposed in each pixel on a display surface and controlling a display image by controlling a voltage applied to the liquid crystal cell is known.
In such a liquid crystal panel, for example, display defects such as luminance unevenness occur due to variations in the thickness of the liquid crystal cell. Therefore, an image display inspection is performed to inspect whether or not a display defect has occurred in the liquid crystal panel during the manufacturing process of the liquid crystal panel.

このような画像表示検査としては、液晶パネルの画像をCCDカメラ等の撮像手段で撮像し、この撮像データに基づいて画素ごとの輝度のばらつきが所定の閾値内に入っているかどうかが判定される。そして、画素ごとの輝度のばらつきが所定閾値よりも大きい場合にはその液晶パネルは表示欠陥を有する不良品と判断され、輝度のばらつきが所定閾値よりも小さい液晶パネルのみが良品と判断されて出荷される。   As such an image display inspection, an image of a liquid crystal panel is picked up by an image pickup means such as a CCD camera, and it is determined whether or not the luminance variation for each pixel is within a predetermined threshold based on the image pickup data. . When the luminance variation for each pixel is larger than a predetermined threshold value, the liquid crystal panel is determined to be a defective product having a display defect, and only the liquid crystal panel having a luminance variation smaller than the predetermined threshold value is determined to be a non-defective product. Is done.

従来は、液晶パネルの表示画面をCCDカメラで撮像するにあたって、エリアセンサが内蔵されたCCDカメラを用い、このCCDカメラを液晶パネルの表示画面の直上にセットして撮像していた。   Conventionally, when imaging a display screen of a liquid crystal panel with a CCD camera, a CCD camera with an area sensor built in is used, and this CCD camera is set immediately above the display screen of the liquid crystal panel.

しかしながら、液晶パネルが実際に使用される際の視認角度に応じ、液晶パネルにはその表示画面が最も鮮鋭に見える視野角がある。
そして、この視野角方向から表示画面を見たときに最も鮮鋭に画像が見えるように各液晶層が形成されている。
そのため、視野角に関係なく液晶パネルの直上から撮像していたのでは表示画像を鮮鋭に撮像できないという問題が生じていた。
さらには、近年、高解像度の液晶パネルが望まれているために、表示画素が非常に細密となってきており、視野角から外れた撮像では表示欠陥の検査に必要な精度で撮像データを得ることができなくなっていた。
However, depending on the viewing angle when the liquid crystal panel is actually used, the liquid crystal panel has a viewing angle at which the display screen looks sharpest.
Each liquid crystal layer is formed so that an image can be seen most sharply when the display screen is viewed from the viewing angle direction.
For this reason, there has been a problem that a display image cannot be sharply picked up if the image is taken from directly above the liquid crystal panel regardless of the viewing angle.
Furthermore, in recent years, since a high-resolution liquid crystal panel is desired, the display pixels have become very fine, and when imaging is out of the viewing angle, imaging data is obtained with the accuracy required for inspection of display defects. I couldn't do it.

そこで、図3に示されるように、CCDカメラ10を液晶パネル900の視野角θにセットして撮像するようになってきている(例えば、特許文献1)。
図3に示される構成においては、液晶パネル900をバックライト300で照明しながらCCDカメラ10で撮像し、CCDカメラからの撮像データを画像処理部20で処理して欠陥検査が行われる。
このような構成によれば、視野角θからの撮像なので表示画素を鮮明に撮像でき、鮮明に取得された撮像データに基づいて欠陥検査が行われる。
Therefore, as shown in FIG. 3, the CCD camera 10 is set at the viewing angle θ of the liquid crystal panel 900 to capture an image (for example, Patent Document 1).
In the configuration shown in FIG. 3, the liquid crystal panel 900 is imaged by the CCD camera 10 while being illuminated by the backlight 300, and the defect inspection is performed by processing the image data from the CCD camera by the image processing unit 20.
According to such a configuration, since the image is picked up from the viewing angle θ, the display pixel can be picked up clearly, and the defect inspection is performed based on the clearly acquired image data.

特開2003−262843号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-262843

図3に示されるように、CCDカメラ10を視野角θにセットすれば、たしかに視野角θから撮像しているので最も鮮鋭な画像を撮像できるはずである。
しかしながら、CCDカメラ10から液晶パネル900を見込む角を直角から視野角方向にずらしたために焦点合わせが困難となるという問題が生じる。
つまり、液晶パネル900の表示面960を斜め方向から撮像するため、CCDカメラ10に近い側(図3中のP)とCCDカメラ10から遠い側(図3中のP)とができてしまう。
その結果、CCDカメラ10の撮像領域Rにおいて、仮に、中心で焦点距離があっていても、撮像領域Rの端部では焦点距離がずれてしまい、中心では鮮明な画像であったとしてもエリアの端部では焦点が合わずぼけた像を撮像することになる。
As shown in FIG. 3, if the CCD camera 10 is set to the viewing angle θ, the sharpest image should be able to be taken because the image is certainly taken from the viewing angle θ.
However, since the angle at which the liquid crystal panel 900 is viewed from the CCD camera 10 is shifted from the right angle to the viewing angle direction, there arises a problem that focusing becomes difficult.
That is, since the display surface 960 of the liquid crystal panel 900 is imaged from an oblique direction, a side closer to the CCD camera 10 (P 1 in FIG. 3) and a side farther from the CCD camera 10 (P 2 in FIG. 3) can be formed. End up.
As a result, in the imaging region R of the CCD camera 10, even if the focal length is at the center, the focal length is shifted at the end of the imaging region R, and even if the image is clear at the center, At the end, an out-of-focus image is taken.

ここで、視野角方向からの撮像であっても撮像領域Rの総てで合焦するようにカメラレンズをつくればいいという考え方もある。しかしながら、斜め方向からの撮像において領域Rの全域で合焦するための非球面レンズを製作することは技術的にも難しく、非常に高価である。また、液晶パネル900によって視野角θが様々に異なっているのであるから、その総てに対応して非球面レンズを製作していては製作の手間、製作のコストが甚大となり、現実的ではない。   Here, there is also an idea that a camera lens may be formed so that all of the imaging region R is in focus even when imaging from the viewing angle direction. However, it is technically difficult and very expensive to manufacture an aspheric lens for focusing on the entire region R in imaging from an oblique direction. In addition, since the viewing angle θ varies depending on the liquid crystal panel 900, manufacturing an aspheric lens corresponding to all of them makes the manufacturing effort and manufacturing cost enormous, which is not realistic. .

本発明の目的は、光学パネルを視野角方向から鮮明に撮像できる光学パネルの撮像方法、光学パネルの検査方法、光学パネルの撮像装置、光学パネルの検査装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an optical panel imaging method, an optical panel inspection method, an optical panel imaging device, and an optical panel inspection device that can clearly image the optical panel from the viewing angle direction.

本発明の光学パネルの撮像方法は、所定の視野角から鮮明な画像を視認可能な光学パネルを撮像する撮像方法であって、ラインセンサを有する撮像手段の前記ラインセンサを前記光学パネルに平行に保ちつつ、前記撮像手段が前記光学パネルを見込む角を前記ラインセンサによるライン状の撮像領域に直交する面内において前記視野角に調整する見込み角調整工程と、前記撮像手段の焦点を前記光学パネルの表示面に合わせる合焦調整工程と、焦点が合った状態の前記撮像手段と前記光学パネルとを前記光学パネルの表示面に平行に相対移動させて前記ラインセンサの撮像領域を前記光学パネルの表示面に沿って走査させる走査工程と、前記走査工程にて撮像されるラインごとの撮像データを合成して合成画像を生成する画像合成工程と、を備えることを特徴とする。   An image pickup method for an optical panel according to the present invention is an image pickup method for picking up an optical panel capable of visually recognizing a clear image from a predetermined viewing angle, and the line sensor of an image pickup means having a line sensor is parallel to the optical panel. A prospective angle adjusting step of adjusting an angle at which the image pickup unit looks at the optical panel to the viewing angle in a plane orthogonal to a line-shaped image pickup region by the line sensor while maintaining the focus of the image pickup unit; A focusing adjustment step for matching the display surface of the optical sensor, and the imaging means and the optical panel in a focused state are moved relative to each other in parallel to the display surface of the optical panel so that the imaging region of the line sensor is A scanning step of scanning along the display surface; and an image combining step of generating a combined image by combining the imaging data for each line imaged in the scanning step. Characterized in that it obtain.

このような構成において、撮像手段が光学パネルを見込む角度を光学パネルの視野角に合わせ(見込み角調整工程)、さらに、撮像手段の焦点を光学パネルの表示面に合わせる(合焦工程)。
ここで、撮像手段の見込み角を視野角に合わせるにあたっては、ラインセンサによる撮像領域に直交する面内で角度合わせを行う。
In such a configuration, the angle at which the imaging unit looks at the optical panel is adjusted to the viewing angle of the optical panel (expected angle adjustment step), and the focus of the imaging unit is adjusted to the display surface of the optical panel (focusing step).
Here, when the expected angle of the imaging means is adjusted to the viewing angle, the angle is adjusted within a plane orthogonal to the imaging area by the line sensor.

このように、ラインセンサの撮像領域に直交する面内で見込み角を変更して光学パネルを視野角方向である斜め方向から撮像した場合でも、撮像領域と撮像手段との距離に関し、例えば、撮像領域の中心から撮像手段までの距離と撮像領域の端点から撮像手段までの距離との関係には全く影響しない。
例えば、二次元的に広い領域を撮像するエリアセンサを有する撮像手段を用いて光学パネルの表示面を斜め方向から撮像すると、二次元的な撮像領域内において撮像手段に近い側と撮像手段から遠い側とができてしまうので、撮像領域の全体で合焦させることができない。
この点、本発明では、ラインセンサを有する撮像手段を用いるので、ラインセンサによる撮像領域に直交する面内で角度を変更すれば、撮像領域の中心でも撮像領域の端点でも合焦させることができる。したがって、ラインごとの撮像領域の全体で合焦させて鮮明な撮像データを得ることができる。
Thus, even when the optical panel is imaged from an oblique direction that is the viewing angle direction by changing the viewing angle in a plane orthogonal to the imaging area of the line sensor, for example, imaging is performed with respect to the distance between the imaging area and the imaging means. There is no influence on the relationship between the distance from the center of the area to the imaging means and the distance from the end point of the imaging area to the imaging means.
For example, when an imaging means having an area sensor that captures a two-dimensionally wide area is used to image the display surface of the optical panel from an oblique direction, the two-dimensional imaging region is closer to the imaging means and far from the imaging means. Therefore, the entire imaging area cannot be focused.
In this regard, in the present invention, since the imaging means having the line sensor is used, if the angle is changed within a plane orthogonal to the imaging area by the line sensor, the center of the imaging area or the end point of the imaging area can be focused. . Therefore, it is possible to obtain clear imaging data by focusing on the entire imaging area for each line.

さらに、見込み角調整工程において光学パネルを撮像する際の見込み角を調整するので、検査対象となる光学パネルに応じて見込み角を自在に調整し、検査対象となる光学パネルを常に視野角方向から撮像して最も鮮明な画像データを得ることができる。
そして、例えば、表示面の全体に渡って撮像領域を走査させて(走査工程)、この走査によって得られたラインごとの撮像データを合成することにより(画像合成工程)、表示面に表示された表示画像全体の画像データを得ることができる。
また、ラインセンサであるので、エリアセンサに比べて一方向に並ぶ撮像画素を細密にして撮像画素数を非常に多くできる。したがって、ラインセンサによる撮像データを合成した全体画像はエリアセンサで撮像した画像データよりも高解像度とすることができる。
In addition, since the prospective angle at the time of imaging the optical panel is adjusted in the prospective angle adjustment process, the prospective angle can be freely adjusted according to the optical panel to be inspected, and the optical panel to be inspected is always viewed from the viewing angle direction. The clearest image data can be obtained by imaging.
Then, for example, by scanning the imaging region over the entire display surface (scanning step) and combining the imaging data for each line obtained by this scanning (image combining step), the image is displayed on the display surface. Image data of the entire display image can be obtained.
Further, since it is a line sensor, the number of image pickup pixels can be greatly increased by making the image pickup pixels arranged in one direction finer than in the area sensor. Therefore, the entire image obtained by combining the image data captured by the line sensor can have a higher resolution than the image data captured by the area sensor.

本発明の光学パネルの検査方法は、前記光学パネルの撮像方法にて前記光学パネルの表示画像を撮像する撮像工程と、撮像された前記合成画像を画像処理して前記光学パネルの表示欠陥検出を行う検査工程と、を備えることを特徴とする。   The optical panel inspection method of the present invention includes an imaging step of capturing a display image of the optical panel by the imaging method of the optical panel, and image display processing of the composite image thus captured to detect a display defect of the optical panel. And an inspection process to be performed.

このような構成によれば、上記発明に係る光学パネルの撮像方法にて鮮明に撮像された画像に基づいて光学パネルの欠陥検査が行われる。その結果、検査精度を格段に向上させることができる。   According to such a configuration, the defect inspection of the optical panel is performed based on the image clearly captured by the optical panel imaging method according to the invention. As a result, the inspection accuracy can be significantly improved.

なお、検査工程における画像処理としては、取得された画像データから各表示画素の輝度値を算出するともに、画像上における輝度値の分布を算出して、全体あるいは周囲との輝度値の比較から輝度不良が生じている画素あるいは領域を検出することが例として挙げられる。そして、このような画像処理によって検出される表示欠陥としては、表示画素の輝度不良によって生じる点欠陥、シミ欠陥、ムラ欠陥、線欠陥や、表示画素内のミクロな輝度不良によって生じる輝点欠陥または黒点欠陥などが例として挙げられる。   As image processing in the inspection process, the luminance value of each display pixel is calculated from the acquired image data, the luminance value distribution on the image is calculated, and the luminance value is determined by comparing the entire or surrounding luminance value. An example is detecting a pixel or region in which a defect has occurred. Display defects detected by such image processing include point defects, spot defects, unevenness defects, line defects caused by luminance defects of display pixels, bright spot defects caused by micro luminance defects in display pixels, or An example is a sunspot defect.

本発明の光学パネルの撮像装置は、所定の視野角から鮮明な画像を視認可能な光学パネルを撮像する撮像装置であって、ラインセンサを有する撮像手段と、前記ラインセンサと前記光学パネルの表示面とを互いに平行として前記撮像手段を支持する支持手段と、前記撮像手段および前記光学パネルの少なくとも一方の姿勢を変更して前記撮像手段が前記光学パネルを見込む角を前記ラインセンサによる撮像領域に直交する面内において前記視野角に調整する見込み角調整手段と、前記撮像手段および前記光学パネルの少なくとも一方を移動させて前記撮像手段の焦点を前記光学パネルの表示面に合焦させる合焦調整手段と、前記撮像手段および前記光学パネルの少なくとも一方を前記光学パネルの表示面に平行な方向に相対移動させて前記ラインセンサの撮像領域を光学パネルの表示面に沿って走査させる走査手段と、前記撮像手段のラインセンサにて撮像されたラインごとの撮像データを合成して合成画像を生成する画像合成手段と、を備えることを特徴とする。   An image pickup apparatus for an optical panel according to the present invention is an image pickup apparatus for picking up an optical panel capable of visually recognizing a clear image from a predetermined viewing angle, and includes an image pickup means having a line sensor, a display of the line sensor and the optical panel. A support means for supporting the imaging means with surfaces parallel to each other; and an angle at which the imaging means looks at the optical panel by changing the posture of at least one of the imaging means and the optical panel in an imaging area by the line sensor Focus angle adjustment means for adjusting the viewing angle within the orthogonal plane, and focusing adjustment for moving at least one of the imaging means and the optical panel to focus the imaging means on the display surface of the optical panel And at least one of the imaging means and the optical panel is relatively moved in a direction parallel to the display surface of the optical panel to Scanning means for scanning the imaging region of the sensor along the display surface of the optical panel, and image synthesizing means for synthesizing imaging data for each line imaged by the line sensor of the imaging means to generate a synthesized image. It is characterized by providing.

このような構成において、支持手段によりラインセンサが表示面に平行となるようにして撮像手段を支持したうえで、見込み角調整手段によって撮像手段が光学パネルを見込む角度を光学パネルの視野角に合わせ、さらに、合焦調整手段により撮像手段の焦点を光学パネルの表示面に合わせる。
ここで、撮像手段の見込み角を視野角に合わせるにあたっては、ラインセンサによる撮像領域に直交する面内において角度合わせを行う。
In such a configuration, the imaging unit is supported by the support unit so that the line sensor is parallel to the display surface, and the angle at which the imaging unit looks at the optical panel is adjusted to the viewing angle of the optical panel by the viewing angle adjustment unit. Further, the focus of the image pickup means is adjusted to the display surface of the optical panel by the focus adjustment means.
Here, when the expected angle of the imaging means is adjusted to the viewing angle, the angle adjustment is performed in a plane orthogonal to the imaging area by the line sensor.

このように、ラインセンサを有する撮像手段を用い、さらに、ラインセンサによる撮像領域に直交する面内で角度を調整すれば、撮像領域の中心でも撮像領域の端点でも合焦させることができる。したがって、ラインごとの撮像領域の全体で合焦させて鮮明な撮像データを得ることができる。   In this way, by using an imaging unit having a line sensor and further adjusting the angle in a plane orthogonal to the imaging area by the line sensor, it is possible to focus at the center of the imaging area or at the end point of the imaging area. Therefore, it is possible to obtain clear imaging data by focusing on the entire imaging area for each line.

さらに、視野角方向から撮像するので、光学パネルの画像を最も鮮明に撮像することができる。また、ラインセンサであるので、エリアセンサに比べて撮像画素を細密にして撮像画素数を非常に多くでき、高解像度の撮像データを取得することができる。
そして、走査手段により例えば表示面の全体に渡って撮像領域を走査させて、この走査によって得られたラインごとの撮像データが画像合成手段により合成されると、表示面に表示された表示画像全体の画像データが得られる。
Furthermore, since the image is taken from the viewing angle direction, the image of the optical panel can be taken most clearly. In addition, since it is a line sensor, the number of imaging pixels can be increased by making the number of imaging pixels finer than that of an area sensor, and high-resolution imaging data can be acquired.
Then, for example, when the image pickup area is scanned over the entire display surface by the scanning unit, and the image data for each line obtained by the scan is combined by the image combining unit, the entire display image displayed on the display surface is displayed. Image data is obtained.

本発明では、前記見込み角調整手段は、前記撮像手段が取り付け固定されているとともに前記ラインセンサによる撮像領域に平行な回動軸を有し前記ラインセンサによる撮像領域に直交する面内において回動自在に設けられた回動部材を備えていることが好ましい。   In the present invention, the visibility angle adjusting means rotates in a plane perpendicular to the imaging area by the line sensor, having the imaging means attached and fixed, and having a rotation axis parallel to the imaging area by the line sensor. It is preferable to include a freely provided rotating member.

このような構成によれば、回動部材を回動させることによって、撮像手段が光学パネルを見込む角を自在に調整することができる。
したがって、検査対象となる光学パネルごとに視野角が異なる場合でも、見込み角を自在に調整することができる。
その結果、常に検査対象となる光学パネルを視野角方向から撮像して最も鮮明な画像データを得ることができる。
According to such a configuration, the angle at which the imaging unit looks at the optical panel can be freely adjusted by rotating the rotating member.
Therefore, even when the viewing angle is different for each optical panel to be inspected, the expected angle can be freely adjusted.
As a result, the clearest image data can be obtained by always imaging the optical panel to be inspected from the viewing angle direction.

ここで、本発明では、前記撮像手段は、単色光に感応する単一のラインセンサを有することが好ましい。
このような構成において、単色光にのみ感応するモノクロのラインセンサであれば安価であるので、撮像装置自体を安価にすることができる。
そして、例えば、撮像した画像データを光学パネルの表示欠陥検査に用いる場合には、カラー画像を表示可能な光学パネルであっても単色での点灯検査を行うことが多いので、モノクロのラインセンサで十分に対応できる。
Here, in the present invention, it is preferable that the imaging unit has a single line sensor sensitive to monochromatic light.
In such a configuration, a monochrome line sensor sensitive only to monochromatic light is inexpensive, so that the imaging device itself can be made inexpensive.
For example, when the captured image data is used for display defect inspection of an optical panel, a monochrome line sensor is often used because a single color lighting inspection is often performed even for an optical panel capable of displaying a color image. It can respond enough.

また、本発明では、前記撮像手段は、それぞれが所定の色の光に感応する複数のラインセンサを有することが好ましい。
このような構成において、例えば、R(赤色)、G(緑色)、B(青色)などの複数の色に感応するラインセンサを有することで、カラー画像を撮像することができる。例えば、カラー表示可能な光学パネルのカラー画像を撮像することで、このカラー画像データに基づき各表示画素における発色の異常を検査することができる。
In the present invention, it is preferable that the imaging unit has a plurality of line sensors each sensitive to light of a predetermined color.
In such a configuration, for example, a color image can be captured by having a line sensor that is sensitive to a plurality of colors such as R (red), G (green), and B (blue). For example, by picking up a color image of an optical panel capable of color display, it is possible to inspect the color development abnormality in each display pixel based on this color image data.

本発明の光学パネルの検査装置は、前記撮像装置と、前記画像合成手段にて合成された前記合成画像を画像処理して前記光学パネルの表示欠陥検出を行う検査手段と、を備えることを特徴とする。   An inspection apparatus for an optical panel according to the present invention includes the imaging apparatus, and an inspection unit that performs image processing on the combined image combined by the image combining unit to detect display defects of the optical panel. And

このような構成によれば、上記発明に係る撮像装置にて鮮明に撮像された画像に基づいて光学パネルの欠陥検査が行われるので、検査精度を格段に向上させることができる。   According to such a configuration, since the defect inspection of the optical panel is performed based on the image that is clearly captured by the imaging device according to the invention, the inspection accuracy can be significantly improved.

以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
(第1実施形態)
本発明の検査装置に係る第1実施形態について説明する。
図1は、検査装置100の全体構成を示す図である。
この検査装置100は、液晶パネル(光学パネル)900の表示欠陥の有無を検査する画像表示検査を行う装置であるところ、まず、検査対象となる液晶パネル900について簡単に説明する。
液晶パネル900は、液晶層910を挟み込む上基板920と下基板930とを有し、さらに上基板920と下基板930とが上偏光板940と下偏光板950とにて挟持されている。液晶層910において、表示画素ごとに液晶セルが配設されており、各液晶セルに配線された走査線およびデータ線に所定の電圧が印加されると各液晶セルが駆動される。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be illustrated and described with reference to reference numerals attached to respective elements in the drawings.
(First embodiment)
A first embodiment according to the inspection apparatus of the present invention will be described.
FIG. 1 is a diagram illustrating an overall configuration of the inspection apparatus 100.
The inspection apparatus 100 is an apparatus that performs an image display inspection for inspecting the presence or absence of display defects in the liquid crystal panel (optical panel) 900. First, the liquid crystal panel 900 to be inspected will be briefly described.
The liquid crystal panel 900 includes an upper substrate 920 and a lower substrate 930 that sandwich the liquid crystal layer 910, and the upper substrate 920 and the lower substrate 930 are sandwiched between the upper polarizing plate 940 and the lower polarizing plate 950. In the liquid crystal layer 910, a liquid crystal cell is provided for each display pixel, and each liquid crystal cell is driven when a predetermined voltage is applied to the scanning line and the data line wired to each liquid crystal cell.

ここで、各液晶セルは、所定の視野角方向からの視認において最も鮮明に画像を表示するように視野角方向へ向けて傾斜して配設されている。
そして、背面からバックライト300により液晶パネル900を照明すると、各液晶セルによって表示画素ごとに光の透過率が制御されて、表示面960に画像が表示される。
Here, each liquid crystal cell is disposed so as to be inclined toward the viewing angle direction so as to display an image most clearly when viewed from a predetermined viewing angle direction.
When the liquid crystal panel 900 is illuminated from the back by the backlight 300, the light transmittance is controlled for each display pixel by each liquid crystal cell, and an image is displayed on the display surface 960.

次に、検査装置100の構成について説明する。
検査装置100は、基台200と、検査対象となる液晶パネル900を背面から照明するバックライト300と、検査対象となる液晶パネル900に検査用の駆動信号を入力する液晶パネル駆動部400と、液晶パネル900の画像を撮像する撮像部500と、撮像部500により取得された撮像データを画像処理して液晶パネル900の表示欠陥を検査する画像処理部600と、を備えて構成されている。
Next, the configuration of the inspection apparatus 100 will be described.
The inspection apparatus 100 includes a base 200, a backlight 300 that illuminates a liquid crystal panel 900 to be inspected from the back, a liquid crystal panel drive unit 400 that inputs a driving signal for inspection to the liquid crystal panel 900 to be inspected, An image capturing unit 500 that captures an image of the liquid crystal panel 900 and an image processing unit 600 that performs image processing on image data acquired by the image capturing unit 500 and inspects a display defect of the liquid crystal panel 900 are configured.

バックライト300は基台200上に配設され、バックライト300の上面側に検査対象となる液晶パネル900を水平にしてセットできるようになっている。
液晶パネル駆動部400は、液晶パネル900の上基板920に設けられた接続端子(不図示)に検査用接続プローブ410を介して接続される。
液晶パネル駆動部400は、所定のタイミングで液晶パネル900に検査用の駆動信号を印加して、液晶パネル900の表示面960に検査用の画像を表示させる。
The backlight 300 is arranged on the base 200 so that the liquid crystal panel 900 to be inspected can be set horizontally on the upper surface side of the backlight 300.
The liquid crystal panel driving unit 400 is connected to a connection terminal (not shown) provided on the upper substrate 920 of the liquid crystal panel 900 via the inspection connection probe 410.
The liquid crystal panel driving unit 400 applies a driving signal for inspection to the liquid crystal panel 900 at a predetermined timing to display an image for inspection on the display surface 960 of the liquid crystal panel 900.

撮像部500の構成について説明する。
撮像部500は、撮像手段としてのCCDカメラ510と、CCDカメラ510を支持するとともにCCDカメラ510を液晶パネル900に対して移動させる駆動部520と、駆動部520を駆動制御する駆動制御部560と、を備える。
A configuration of the imaging unit 500 will be described.
The imaging unit 500 includes a CCD camera 510 as an imaging unit, a drive unit 520 that supports the CCD camera 510 and moves the CCD camera 510 relative to the liquid crystal panel 900, and a drive control unit 560 that drives and controls the drive unit 520. .

CCDカメラ510は、図2に示されるラインセンサ511を内臓し、撮像対象を一ラインずつ撮像するカメラである。
なお、ラインセンサ511としては、単色光に感応する単一のラインセンサであってもよく、あるいは、RGBなどの所定の色の光に感応する複数のラインセンサを有していてもよい。
The CCD camera 510 is a camera that incorporates the line sensor 511 shown in FIG. 2 and images the imaging target line by line.
The line sensor 511 may be a single line sensor that is sensitive to monochromatic light, or may have a plurality of line sensors that are sensitive to light of a predetermined color such as RGB.

駆動部520は、CCDカメラ510を基台200に対して垂直方向であるZ方向に移動させるZ方向駆動部530と、CCDカメラ510を水平方向であるX方向へ移動させるX方向駆動部540と、CCDカメラ510の角度を調整する角度調整部550と、を備えている。   The drive unit 520 includes a Z-direction drive unit 530 that moves the CCD camera 510 in the Z direction that is perpendicular to the base 200, and an X-direction drive unit 540 that moves the CCD camera 510 in the X direction that is the horizontal direction. An angle adjusting unit 550 that adjusts the angle of the CCD camera 510.

Z方向駆動部530は、基台200に立設されたZ軸コラム531と、このZ軸コラム531を上下に摺動可能に設けられたZスライダ532と、を備えて構成されている。
ここで、Zスライダ532は所定のモータによりZ軸コラム531に対してスライド駆動され、このような駆動機構としては、例えば、Z軸コラム531に平行にねじ軸を設けたうえでZスライダ532に固設されたナットをこのねじ軸に螺合し、ねじ軸を所定のモータで回転駆動させることが例として挙げられる。また、Zスライダ532とZ軸コラム531との間にはエアベアリング等が設けられ、摺動時におけるZスライダ532の振動を抑制する機構が内蔵されている。
The Z-direction drive unit 530 includes a Z-axis column 531 erected on the base 200 and a Z-slider 532 that can slide up and down on the Z-axis column 531.
Here, the Z slider 532 is slid and driven with respect to the Z axis column 531 by a predetermined motor. As such a drive mechanism, for example, a screw shaft is provided in parallel to the Z axis column 531 and then the Z slider 532 is provided. As an example, a fixed nut is screwed onto the screw shaft, and the screw shaft is rotated by a predetermined motor. Further, an air bearing or the like is provided between the Z slider 532 and the Z axis column 531, and a mechanism for suppressing vibration of the Z slider 532 during sliding is built in.

このZ方向駆動部530により、CCDカメラ510と液晶パネル900の表示面960との距離をCCDカメラ510の焦点距離に調整する合焦調整手段が構成されている。   The Z direction drive unit 530 constitutes a focus adjustment unit that adjusts the distance between the CCD camera 510 and the display surface 960 of the liquid crystal panel 900 to the focal length of the CCD camera 510.

X方向駆動部540は、Zスライダ532から水平方向に延設されたX軸ビーム541と、X軸ビーム541を摺動可能に設けられたXスライダ542と、を備えている。
Xスライダ542は、所定のモータによりX軸ビーム541に対してスライド駆動される。そして、Xスライダ542とX軸ビーム541との間にはエアベアリング等が設けられ、摺動時におけるXスライダ542の振動を抑制する機構が内蔵されている。
The X-direction drive unit 540 includes an X-axis beam 541 extending in the horizontal direction from the Z slider 532 and an X slider 542 provided to be slidable with the X-axis beam 541.
The X slider 542 is slid and driven with respect to the X axis beam 541 by a predetermined motor. An air bearing or the like is provided between the X slider 542 and the X axis beam 541, and a mechanism for suppressing vibration of the X slider 542 during sliding is built in.

このX方向駆動部540により、CCDカメラ510と液晶パネル900とを液晶パネル900の表示面960に平行な方向に相対移動させてラインセンサ511の撮像領域Lを液晶パネル900の表示面960に沿って走査させる走査手段が構成されている。   The X direction driving unit 540 causes the CCD camera 510 and the liquid crystal panel 900 to move relative to each other in a direction parallel to the display surface 960 of the liquid crystal panel 900 so that the imaging region L of the line sensor 511 extends along the display surface 960 of the liquid crystal panel 900. Scanning means for scanning is configured.

角度調整部550は、Xスライダ542から垂下されるように設けられた支持軸部551と、この支持軸部551に対して回動自在に設けられた回動部材552と、を備えている。
回動部材552は支持軸部551に対して回動軸により軸支されている。回動軸は液晶パネル900の表示面960に対して平行に設けられており、これにより回動部材552は表示面960に垂直な面内において回動する。そして、この回動部材552にCCDカメラ510が取付固定されている。このとき、CCDカメラ510を回動部材552に取り付けるにあたっては、CCDカメラ510に内蔵されたラインセンサ511が回動軸に平行になるようにし、回動部材552はラインセンサ511による撮像領域Lに直交する面S内において回動するようにする。
The angle adjustment unit 550 includes a support shaft portion 551 provided so as to be suspended from the X slider 542, and a rotation member 552 provided to be rotatable with respect to the support shaft portion 551.
The rotation member 552 is pivotally supported by the rotation shaft with respect to the support shaft portion 551. The rotation axis is provided in parallel to the display surface 960 of the liquid crystal panel 900, whereby the rotation member 552 rotates in a plane perpendicular to the display surface 960. The CCD camera 510 is attached and fixed to the rotating member 552. At this time, when the CCD camera 510 is attached to the rotation member 552, the line sensor 511 built in the CCD camera 510 is made parallel to the rotation axis, and the rotation member 552 is placed in the imaging region L by the line sensor 511. It rotates in the orthogonal surface S.

この角度調整部550により、CCDカメラ510が液晶パネル900を見込む角を視野角θに調整する見込み角調整手段が構成される。   The angle adjusting unit 550 constitutes a prospective angle adjusting unit that adjusts the angle at which the CCD camera 510 views the liquid crystal panel 900 to the viewing angle θ.

また同時に、表示面960に平行な回動軸553に対してラインセンサ511が平行になるようにCCDカメラ510を回動部材552に取り付けたことにより、この回動部材552がラインセンサ511と液晶パネル900の表示面960とを互いに平行としてCCDカメラ510を支持する支持手段を構成する。
なお、回動部材552は所定のモータにより支持軸部551に対して回動駆動される。
At the same time, the CCD camera 510 is attached to the rotating member 552 so that the line sensor 511 is parallel to the rotating shaft 553 parallel to the display surface 960, so that the rotating member 552 is connected to the line sensor 511 and the liquid crystal. The supporting means for supporting the CCD camera 510 is configured with the display surface 960 of the panel 900 being parallel to each other.
The rotating member 552 is rotationally driven with respect to the support shaft portion 551 by a predetermined motor.

駆動制御部560は、回動部材552を回動させてCCDカメラ510の光軸Aと液晶パネル900の表示面960とがなす角を調整する角度制御部561と、Zスライダ532を駆動制御するZスライダ制御部562と、Xスライダ542を駆動制御するXスライダ制御部563と、を備えている。   The drive control unit 560 drives and controls the Z slider 532 and the angle control unit 561 that adjusts the angle formed by the optical axis A of the CCD camera 510 and the display surface 960 of the liquid crystal panel 900 by rotating the rotation member 552. A Z-slider control unit 562 and an X-slider control unit 563 that controls driving of the X-slider 542 are provided.

角度制御部561は、液晶パネル900の視野角θに応じて回動部材552を回動させ、CCDカメラ510の光軸Aが液晶パネル900の表示面960に対してなす角が視野角θとなるようにする。これにより、CCDカメラ510が液晶パネル900の表示面960を見込む角が視野角θとなり、液晶パネル900の表示画素を鮮明に撮像できる角度となる。
ここで、検査対象となる液晶パネル900の視野角θは液晶パネル900の設計データに基づいて予め角度制御部561に設定入力される。
The angle control unit 561 rotates the rotation member 552 according to the viewing angle θ of the liquid crystal panel 900, and the angle formed by the optical axis A of the CCD camera 510 with respect to the display surface 960 of the liquid crystal panel 900 is the viewing angle θ. To be. As a result, the angle at which the CCD camera 510 views the display surface 960 of the liquid crystal panel 900 is the viewing angle θ, and the angle at which the display pixels of the liquid crystal panel 900 can be clearly imaged.
Here, the viewing angle θ of the liquid crystal panel 900 to be inspected is set and inputted in advance to the angle control unit 561 based on the design data of the liquid crystal panel 900.

Zスライダ制御部562は、CCDカメラ510が有するレンズの焦点距離に基づいて液晶パネル900を視野角θで見込んだときの合焦位置を算出する。
そして、Zスライダ532を駆動させてCCDカメラ510と液晶パネル900との垂直距離を調整してCCDカメラ510を合焦位置に駆動制御する。
The Z slider control unit 562 calculates a focus position when the liquid crystal panel 900 is viewed at a viewing angle θ based on the focal length of the lens of the CCD camera 510.
Then, the Z slider 532 is driven to adjust the vertical distance between the CCD camera 510 and the liquid crystal panel 900, and the CCD camera 510 is driven and controlled to the in-focus position.

Xスライダ制御部563は、Xスライダ542をX軸ビーム541に沿って摺動させて、ライン状の撮像領域Lを液晶パネル900の表示面960全体に渡って走査させる。ここで、Xスライダ542の移動速度は、ラインセンサ511による画像の取り込み時間(走査周期)に応じて適宜設定される。   The X slider control unit 563 slides the X slider 542 along the X-axis beam 541 to scan the line-shaped imaging region L over the entire display surface 960 of the liquid crystal panel 900. Here, the moving speed of the X slider 542 is appropriately set according to the image capture time (scanning cycle) by the line sensor 511.

画像処理部600は、CCDカメラ510からの撮像データを合成して液晶パネル900による表示画像の像を生成する画像合成部(画像合成手段)610と、画像合成部610により合成された表示画像の像に基づいて液晶パネル900の欠陥検査を行う欠陥検査部(検査手段)620と、を備えている。
画像合成部610は、CCDカメラ510からラインごとの撮像データをXスライダ542の移動速度に合わせて合成していく。画像合成部610における画像合成によって液晶パネル900による表示画像の全体像が生成される。
欠陥検査部620は、画像合成部610により合成された合成画像を画像処理して、液晶パネル900の表示画像中に生じた欠陥の検査を行う。例えば、撮像された像から表示画素ごとの輝度値を算出して、輝度値の分布状態を所定の閾値と比較して輝度のムラが生じていないか検査が行われる。
The image processing unit 600 combines an image data from the CCD camera 510 to generate an image of a display image by the liquid crystal panel 900, and an image combining unit 610 that displays the display image combined by the image combining unit 610. A defect inspection unit (inspection means) 620 that performs defect inspection of the liquid crystal panel 900 based on the image.
The image composition unit 610 synthesizes the image data for each line from the CCD camera 510 in accordance with the moving speed of the X slider 542. An overall image of the display image by the liquid crystal panel 900 is generated by image synthesis in the image synthesis unit 610.
The defect inspection unit 620 performs image processing on the combined image combined by the image combining unit 610 and inspects defects generated in the display image of the liquid crystal panel 900. For example, a luminance value for each display pixel is calculated from the captured image, and the distribution state of the luminance value is compared with a predetermined threshold value to check whether luminance unevenness has occurred.

このような構成を備える第1実施形態の動作について説明する。
まず、検査対象となる液晶パネル900の視野角θおよび表示面960の大きさ(縦×横)などを設計データから抽出して駆動制御部560に設定入力しておく。
そのうえで、液晶パネル900をバックライト300の上面にセットするとともに検査用接続プローブ410を介して液晶パネル駆動部400と液晶パネル900とを接続する。
The operation of the first embodiment having such a configuration will be described.
First, the viewing angle θ of the liquid crystal panel 900 to be inspected and the size (vertical × horizontal) of the display surface 960 are extracted from the design data and set and input to the drive control unit 560.
In addition, the liquid crystal panel 900 is set on the upper surface of the backlight 300 and the liquid crystal panel driving unit 400 and the liquid crystal panel 900 are connected via the inspection connection probe 410.

次に、角度制御部561による駆動制御によってCCDカメラ510の角度調整が行われる(見込み角調整工程)。このとき角度制御部561からの制御信号により角度調整部550の回動部材552が液晶パネル900の視野角θに応じた角度だけ回動する。これにより、CCDカメラ510が視野角θで液晶パネル900を見込むようになる。
そして、Zスライダ制御部562による駆動制御によってZスライダ532の位置調整が行われ、CCDカメラ510の焦点合わせが行われる(合焦調整工程)。すなわち、CCDカメラ510と液晶パネル900の表示面960との距離が調整されて、CCDカメラ510が液晶パネル900の表示面960に合焦する。
Next, angle adjustment of the CCD camera 510 is performed by drive control by the angle control unit 561 (expected angle adjustment step). At this time, the rotation member 552 of the angle adjustment unit 550 is rotated by an angle corresponding to the viewing angle θ of the liquid crystal panel 900 by a control signal from the angle control unit 561. As a result, the CCD camera 510 looks at the liquid crystal panel 900 at the viewing angle θ.
Then, the position adjustment of the Z slider 532 is performed by drive control by the Z slider control unit 562, and the focusing of the CCD camera 510 is performed (focus adjustment step). That is, the distance between the CCD camera 510 and the display surface 960 of the liquid crystal panel 900 is adjusted, and the CCD camera 510 is focused on the display surface 960 of the liquid crystal panel 900.

CCDカメラ510が液晶パネル900の表示面960に合焦したところで、バックライト300を点灯し、続いて、Xスライダ制御部563による駆動制御によって液晶パネル900の表示面960を走査しながらの撮像が実行される(走査工程)。
このとき、Xスライダ542がX軸ビーム541のどちらかの端寄りから移動を開始し、ラインセンサ511の走査周期に応じた所定の一定速度で移動を継続する。
すると、ラインセンサ511の撮像領域Lが液晶パネル900の表示部960を端から端まで走査することになる。
When the CCD camera 510 is focused on the display surface 960 of the liquid crystal panel 900, the backlight 300 is turned on, and then imaging is performed while scanning the display surface 960 of the liquid crystal panel 900 by drive control by the X slider control unit 563. Executed (scanning step).
At this time, the X slider 542 starts moving from either end of the X-axis beam 541 and continues moving at a predetermined constant speed according to the scanning cycle of the line sensor 511.
Then, the imaging region L of the line sensor 511 scans the display unit 960 of the liquid crystal panel 900 from end to end.

そして、ラインごとに撮像された撮像データが順次画像合成部610に出力され、ラインごとの撮像データが画像合成部610において合成される(画像合成工程)。すると、一枚の合成画像が生成される。
この合成画像に基づいて欠陥検査部620において輝度ムラ等の欠陥検査が行われる(検査工程)。
Then, the imaging data captured for each line is sequentially output to the image synthesis unit 610, and the imaging data for each line is synthesized by the image synthesis unit 610 (image synthesis step). Then, a single composite image is generated.
Based on this synthesized image, defect inspection such as luminance unevenness is performed in the defect inspection unit 620 (inspection process).

このような構成を備える第1実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
(1)ラインセンサ511を有するCCDカメラ510を用い、ラインセンサ511による撮像領域Lに直交する面S内で角度を変更するので、撮像領域Lの中心Pcでも撮像領域の端点Psでも合焦させることができる。したがって、ラインごとの撮像領域Lの全体で合焦させて鮮明な撮像データを得ることができる。さらに、視野角方向からの撮像を行うことができるので、液晶パネル900の画像を最も鮮明に撮像することができる。
According to 1st Embodiment provided with such a structure, there can exist the following effects.
(1) The CCD camera 510 having the line sensor 511 is used and the angle is changed in the plane S orthogonal to the imaging region L by the line sensor 511, so that the center Pc of the imaging region L and the end point Ps of the imaging region are focused. be able to. Therefore, it is possible to obtain clear imaging data by focusing on the entire imaging area L for each line. Furthermore, since imaging from the viewing angle direction can be performed, the image of the liquid crystal panel 900 can be captured most clearly.

(2)ラインセンサ511を用いるので、エリアセンサに比べて撮像画素を細密にして撮像画素数を非常に多くでき、高解像度の撮像データを取得することができる。 (2) Since the line sensor 511 is used, the number of imaging pixels can be greatly increased by making the imaging pixels finer than the area sensor, and high-resolution imaging data can be acquired.

(3)ラインセンサ511によって視野角方向から撮像することにより鮮明に撮像された画像データを得ることができので、この鮮明に撮像された画像データに基づいて高精度に液晶パネル900の欠陥検査を行うことができる。 (3) Since it is possible to obtain image data that is clearly imaged by imaging from the viewing angle direction by the line sensor 511, a defect inspection of the liquid crystal panel 900 can be performed with high accuracy based on the image data that is clearly imaged. It can be carried out.

(4)回動部材552を回動させることによってCCDカメラ510が液晶パネル900を見込む角を自在に調整することができるので、検査対象となる液晶パネル900ごとに視野角が異なる場合でも、見込み角を自在に調整することができる。その結果、常に検査対象となる液晶パネルを視野角方向から撮像して最も鮮明な画像データを得ることができる。 (4) Since the angle at which the CCD camera 510 looks at the liquid crystal panel 900 can be freely adjusted by rotating the rotating member 552, even if the viewing angle differs for each liquid crystal panel 900 to be inspected, it is expected The corner can be adjusted freely. As a result, it is possible to obtain the clearest image data by always imaging the liquid crystal panel to be inspected from the viewing angle direction.

なお、本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
例えば、角度調整部によるCCDカメラの角度調整やZ方向制御部によるZスライダ532の位置調整については、駆動制御部560によって自動的に数値制御されてもよいが、例えば、CCDカメラからの像をモニタで観察しながら手動で焦点合わせ等を行ってもよいことはもちろんである。
上記実施形態では、光学パネルの表示面全体にわって撮像領域を走査して光学パネルの表示面全体を撮像する場合を例にして説明したが、表示面の全体ではなく検査対象とする領域のみを撮像してもよいことはもちろんである。
検査対象となる光学パネルとしては液晶パネルを例にして説明したが、視野角を有する光学パネルであれば、本発明を適用することで鮮明に画像を撮像できることはもちろんである。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.
For example, the angle adjustment of the CCD camera by the angle adjustment unit and the position adjustment of the Z slider 532 by the Z direction control unit may be automatically numerically controlled by the drive control unit 560. Of course, focusing may be performed manually while observing on a monitor.
In the above-described embodiment, the case where the imaging region is scanned over the entire display surface of the optical panel and the entire display surface of the optical panel is imaged is described as an example, but only the region to be inspected, not the entire display surface. Of course, the image may be taken.
The liquid crystal panel has been described as an example of the optical panel to be inspected. However, as long as the optical panel has a viewing angle, it is a matter of course that a clear image can be captured by applying the present invention.

上記実施形態においては、CCDカメラが液晶パネルを見込む角θを調整するにあたって、CCDカメラの姿勢を回動部材の回動によって調整する例を説明したが、CCDカメラを固定する一方で、検査対象である液晶パネルの姿勢を変更して見込み角を視野角θに調整してもよいことはもちろんである。さらに、焦点合わせの際や撮像領域を液晶パネルの表示面に沿って走査させるにあたっても、液晶パネルを移動させてもよい。   In the above-described embodiment, the example in which the orientation of the CCD camera is adjusted by the rotation of the rotating member when adjusting the angle θ at which the CCD camera looks at the liquid crystal panel has been described. Of course, the prospective angle may be adjusted to the viewing angle θ by changing the orientation of the liquid crystal panel. Further, the liquid crystal panel may be moved during focusing or when the imaging region is scanned along the display surface of the liquid crystal panel.

本発明は、液晶パネルの撮像および液晶パネルの検査に利用できる。   The present invention can be used for liquid crystal panel imaging and liquid crystal panel inspection.

第1実施形態において、検査装置100の全体構成を示す図。The figure which shows the whole structure of the test | inspection apparatus 100 in 1st Embodiment. 第1実施形態において、ラインセンサを示す図。The figure which shows a line sensor in 1st Embodiment. 従来技術において、CCDカメラにて液晶パネルを撮像する様子を示す図。The figure which shows a mode that a liquid crystal panel is imaged with a CCD camera in a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

10…CCDカメラ、20…画像処理部、100…検査装置、200…基台、300…バックライト、400…液晶パネル駆動部、410…検査用接続プローブ、500…撮像部、510…CCDカメラ、511…ラインセンサ、520…駆動部、530…Z方向駆動部、531…Z軸コラム、532…Zスライダ、540…X方向駆動部、541…X軸ビーム、542…Xスライダ、550…角度調整部、551…支持軸部、552…回動部材、553…回動軸、560…駆動制御部、561…角度制御部、562…Zスライダ制御部、563…Xスライダ制御部、600…画像処理部、610…画像合成部、620…欠陥検査部、900…液晶パネル、910…液晶層、920…上基板、930…下基板、940…上偏光板、950…下偏光板、960…表示部、960…表示面。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... CCD camera, 20 ... Image processing part, 100 ... Inspection apparatus, 200 ... Base, 300 ... Back light, 400 ... Liquid crystal panel drive part, 410 ... Connection probe for inspection, 500 ... Imaging part, 510 ... CCD camera, 511 ... Line sensor, 520 ... Drive unit, 530 ... Z direction drive unit, 531 ... Z axis column, 532 ... Z slider, 540 ... X direction drive unit, 541 ... X axis beam, 542 ... X slider, 550 ... Angle adjustment 551 ... support shaft, 552 ... rotating member, 553 ... rotating shaft, 560 ... drive controller, 561 ... angle controller, 562 ... Z slider controller, 563 ... X slider controller, 600 ... image processing Part 610 ... image composition part 620 ... defect inspection part 900 ... liquid crystal panel 910 ... liquid crystal layer 920 ... upper substrate 930 ... lower substrate 940 ... upper polarizing plate 950 ... lower Light plate, 960 ... display unit, 960 ... display surface.

Claims (5)

所定の視野角から鮮明な画像を視認可能な光学パネルを撮像する撮像方法であって、
ラインセンサを有する撮像手段の前記ラインセンサを前記光学パネルに平行に保ちつつ、前記撮像手段が前記光学パネルを見込む角を前記ラインセンサによるライン状の撮像領域に直交する面内において前記視野角に調整する見込み角調整工程と、
前記撮像手段の焦点を前記光学パネルの表示面に合わせる合焦調整工程と、
焦点が合った状態の前記撮像手段と前記光学パネルとを前記光学パネルの表示面に平行に相対移動させて前記ラインセンサの撮像領域を前記光学パネルの表示面に沿って走査させる走査工程と、
前記走査工程にて撮像されるラインごとの撮像データを合成して合成画像を生成する画像合成工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネルの撮像方法。
An imaging method for imaging an optical panel capable of visually recognizing a clear image from a predetermined viewing angle,
While keeping the line sensor of the imaging means having a line sensor parallel to the optical panel, the angle at which the imaging means looks at the optical panel is set to the viewing angle in a plane orthogonal to the line-shaped imaging area by the line sensor. A prospective angle adjustment process to be adjusted;
A focus adjustment step of focusing the imaging means on the display surface of the optical panel;
A scanning step of scanning the imaging region of the line sensor along the display surface of the optical panel by relatively moving the imaging means and the optical panel in focus in parallel with the display surface of the optical panel;
An image synthesizing process for synthesizing imaging data for each line imaged in the scanning process to generate a synthesized image. An imaging method for an optical panel, comprising:
請求項1に記載の光学パネルの撮像方法にて前記光学パネルの表示画像を撮像する撮像工程と、
撮像された前記合成画像を画像処理して前記光学パネルの表示欠陥検出を行う検査工程と、を備える
ことを特徴とする光学パネルの検査方法。
An imaging step of imaging a display image of the optical panel by the optical panel imaging method according to claim 1;
An inspection step of performing image processing on the captured composite image to detect display defects of the optical panel. An inspection method for an optical panel, comprising:
所定の視野角から鮮明な画像を視認可能な光学パネルを撮像する光学パネルの撮像装置であって、
ラインセンサを有する撮像手段と、
前記ラインセンサと前記光学パネルの表示面とが互いに平行な状態で前記撮像手段を支持する支持手段と、
前記撮像手段および前記光学パネルの少なくとも一方の姿勢を変更して前記撮像手段が前記光学パネルを見込む角を前記ラインセンサによる撮像領域に直交する面内において前記視野角に調整する見込み角調整手段と、
前記撮像手段および前記光学パネルの少なくとも一方を移動させて前記撮像手段の焦点を前記光学パネルの表示面に合焦させる合焦調整手段と、
前記撮像手段および前記光学パネルの少なくとも一方を前記光学パネルの表示面に平行な方向に相対移動させて前記ラインセンサの撮像領域を光学パネルの表示面に沿って走査させる走査手段と
前記撮像手段のラインセンサにて撮像されたラインごとの撮像データを合成して合成画像を生成する画像合成手段と、を備える
ことを特徴とする光学パネルの撮像装置。
An optical panel imaging device that images an optical panel capable of visually recognizing a clear image from a predetermined viewing angle,
Imaging means having a line sensor;
Support means for supporting the imaging means in a state in which the line sensor and the display surface of the optical panel are parallel to each other;
A prospective angle adjusting unit that changes the attitude of at least one of the imaging unit and the optical panel so that the angle at which the imaging unit looks at the optical panel is adjusted to the viewing angle in a plane orthogonal to the imaging region by the line sensor; ,
Focusing adjustment means for moving at least one of the imaging means and the optical panel to focus the imaging means on the display surface of the optical panel;
A scanning unit that relatively moves at least one of the imaging unit and the optical panel in a direction parallel to the display surface of the optical panel, and scans the imaging region of the line sensor along the display surface of the optical panel; An image synthesizing unit that synthesizes imaging data for each line imaged by a line sensor and generates a synthesized image. An imaging apparatus for an optical panel, comprising:
請求項3に記載の光学パネルの撮像装置において、
前記見込み角調整手段は、
前記撮像手段が取り付け固定されているとともに前記ラインセンサによる撮像領域に平行な回動軸を有し前記ラインセンサによる撮像領域に直交する面内において回動自在に設けられた回動部材を備えている
ことを特徴とする光学パネルの撮像装置。
In the imaging device of the optical panel according to claim 3,
The prospective angle adjusting means includes:
The image pickup means is mounted and fixed, and has a rotation member that has a rotation axis parallel to the image pickup region by the line sensor and is rotatably provided in a plane orthogonal to the image pickup region by the line sensor. An image pickup apparatus for an optical panel.
請求項3または請求項4に記載の光学パネルの撮像装置と、
前記画像合成手段にて合成された前記合成画像を画像処理して前記光学パネルの表示欠陥検出を行う検査手段と、を備える
ことを特徴とする光学パネルの検査装置。
An imaging device for an optical panel according to claim 3 or 4, and
An inspection device for an optical panel, comprising: inspection means for performing image processing on the composite image synthesized by the image synthesis means to detect display defects of the optical panel.
JP2005060489A 2005-03-04 2005-03-04 Imaging method of optical panel, inspection method of optical panel, imaging device of optical panel and inspection device of optical panel Withdrawn JP2006242821A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005060489A JP2006242821A (en) 2005-03-04 2005-03-04 Imaging method of optical panel, inspection method of optical panel, imaging device of optical panel and inspection device of optical panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005060489A JP2006242821A (en) 2005-03-04 2005-03-04 Imaging method of optical panel, inspection method of optical panel, imaging device of optical panel and inspection device of optical panel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006242821A true JP2006242821A (en) 2006-09-14

Family

ID=37049386

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005060489A Withdrawn JP2006242821A (en) 2005-03-04 2005-03-04 Imaging method of optical panel, inspection method of optical panel, imaging device of optical panel and inspection device of optical panel

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006242821A (en)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008076216A (en) * 2006-09-21 2008-04-03 Toppan Printing Co Ltd Inspection device for irregularity in cyclic pattern
JP2008170288A (en) * 2007-01-12 2008-07-24 Yokogawa Electric Corp Device for inspecting flaw, and method for inspecting flaw
JP2009014699A (en) * 2007-07-06 2009-01-22 Icp Electronics Inc Luminance detector
WO2012153662A1 (en) * 2011-05-10 2012-11-15 旭硝子株式会社 Method for inspecting minute defect of translucent board-like body, and apparatus for inspecting minute defect of translucent board-like body
JP2013088128A (en) * 2011-10-13 2013-05-13 Toray Eng Co Ltd Film thickness non-uniformity examination apparatus
CN107071221A (en) * 2017-04-06 2017-08-18 广州全纬图像信息科技有限公司 A kind of industrial scanning device of platform mobile model wide cut and scan method
KR101830679B1 (en) * 2010-07-29 2018-02-22 삼성디스플레이 주식회사 Apparatus for testing a display panel and method thereof
CN108918533A (en) * 2018-06-27 2018-11-30 武汉精测电子集团股份有限公司 A kind of Demura multiaxis full-automatic detector structure
CN108956623A (en) * 2018-07-06 2018-12-07 武汉精测电子集团股份有限公司 A kind of Demura multiaxis automatic detection mechanism
WO2019061461A1 (en) * 2017-09-30 2019-04-04 贺碧先 Tile feeding in-place detection apparatus
CN109949728A (en) * 2019-04-24 2019-06-28 苏州华兴源创科技股份有限公司 A kind of detection device of display panel
JP2019152518A (en) * 2018-03-02 2019-09-12 セイコーエプソン株式会社 Inspection device, inspection system, and method for inspection
CN111638227A (en) * 2020-05-18 2020-09-08 歌尔光学科技有限公司 VR optical module image defect detection method and device
CN111947887A (en) * 2020-08-13 2020-11-17 昆山国显光电有限公司 Display module testing method and system

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008076216A (en) * 2006-09-21 2008-04-03 Toppan Printing Co Ltd Inspection device for irregularity in cyclic pattern
JP2008170288A (en) * 2007-01-12 2008-07-24 Yokogawa Electric Corp Device for inspecting flaw, and method for inspecting flaw
JP2009014699A (en) * 2007-07-06 2009-01-22 Icp Electronics Inc Luminance detector
KR101830679B1 (en) * 2010-07-29 2018-02-22 삼성디스플레이 주식회사 Apparatus for testing a display panel and method thereof
WO2012153662A1 (en) * 2011-05-10 2012-11-15 旭硝子株式会社 Method for inspecting minute defect of translucent board-like body, and apparatus for inspecting minute defect of translucent board-like body
JP2013088128A (en) * 2011-10-13 2013-05-13 Toray Eng Co Ltd Film thickness non-uniformity examination apparatus
CN107071221B (en) * 2017-04-06 2024-01-05 广州全纬图像信息科技有限公司 Platform movable type wide-width industrial scanning equipment and scanning method
CN107071221A (en) * 2017-04-06 2017-08-18 广州全纬图像信息科技有限公司 A kind of industrial scanning device of platform mobile model wide cut and scan method
WO2019061461A1 (en) * 2017-09-30 2019-04-04 贺碧先 Tile feeding in-place detection apparatus
JP2019152518A (en) * 2018-03-02 2019-09-12 セイコーエプソン株式会社 Inspection device, inspection system, and method for inspection
CN108918533A (en) * 2018-06-27 2018-11-30 武汉精测电子集团股份有限公司 A kind of Demura multiaxis full-automatic detector structure
CN108918533B (en) * 2018-06-27 2024-04-05 武汉精测电子集团股份有限公司 Full-automatic Demura multiaxis detection mechanism
CN108956623A (en) * 2018-07-06 2018-12-07 武汉精测电子集团股份有限公司 A kind of Demura multiaxis automatic detection mechanism
CN108956623B (en) * 2018-07-06 2024-02-27 武汉精测电子集团股份有限公司 Demura multiaxis automated inspection mechanism
CN109949728B (en) * 2019-04-24 2022-10-11 苏州华兴源创科技股份有限公司 Detection apparatus for display panel
CN109949728A (en) * 2019-04-24 2019-06-28 苏州华兴源创科技股份有限公司 A kind of detection device of display panel
CN111638227B (en) * 2020-05-18 2023-11-24 歌尔光学科技有限公司 VR optical module picture defect detection method and device
CN111638227A (en) * 2020-05-18 2020-09-08 歌尔光学科技有限公司 VR optical module image defect detection method and device
CN111947887A (en) * 2020-08-13 2020-11-17 昆山国显光电有限公司 Display module testing method and system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006242821A (en) Imaging method of optical panel, inspection method of optical panel, imaging device of optical panel and inspection device of optical panel
TWI414780B (en) Inspection system
JP2009156857A (en) Display panel inspection method and inspection device
KR20160013813A (en) Auto-Focus system
CN107155058B (en) Object automatic correction method and automatic correction detection device thereof
JP2007251143A (en) Visual inspection system
JP2008076218A (en) Visual inspection apparatus
KR100803043B1 (en) Apparatus and method for inspecting defects of display device
KR102037384B1 (en) Apparatus and method for inspecting a panel
US5686959A (en) Image quality inspection system and image synthesis method
KR101015807B1 (en) Apparatus for inspecting surface and method for inspecting surface
JPH0735645A (en) Apparatus for inspecting liquid crystal panel
JP2009077114A (en) Camera module inspection device and camera module inspection method
CN106200036B (en) Lighting detection equipment
JP2011145160A (en) Device and method for multi-focus inspection
JP2010243212A (en) Tilt detection method and device of the same
JP2005274272A (en) Calibration method in line sensor camera, and visual examination apparatus
JP2006078317A (en) Inspection method for body under inspection and its device
JP2012068188A (en) Adjustment method
JP2010127703A (en) Determination method of verticality of imaging means
JP2008241607A (en) Apparatus and method for detecting optical unevenness
KR101601131B1 (en) resolution chart generaton apparatus and resolution evaluating system using the same
JP4369158B2 (en) Display panel inspection method
JP2005249946A (en) Defect inspecting apparatus for display device
JP2010008188A (en) Apparatus of inspecting display panel, inspection method, and method of manufacturing display panel using it

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080513