JP2005249946A - Defect inspecting apparatus for display device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a defect inspecting apparatus for a display device capable of imaging display of the display device such as a liquid crystal panel and specifying an absolute position of a point defect precisely from an acquired imaged data. <P>SOLUTION: The apparatus is equipped with CCD cameras 5A and 5B using a solid state imaging device for imaging display of a display area and a controller 20 which is for performing display for defect inspection on the display area by driving a liquid crystal panel 10, and for performing display of a reference position pattern whose position on the display area is known and which detects an existence of the defect on each pixel of the display area and a position in the display area of the pixel having the defect based on image information which is imaged by the CCD cameras 5A and 5B. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、表示装置の欠陥検査装置に関する。   The present invention relates to a defect inspection apparatus for a display device.

液晶パネルの製造過程においては、液晶パネル上に輝点や黒点等の点欠陥を検出する検査が行われる。液晶パネルには、点欠陥が少なからず存在するが、人間の目に写る画像の品質に影響を及ぼさない範囲で点欠陥の存在は許容されているが、液晶パネルの画面の高精細化に伴い、点欠陥の数の許容範囲は狭まっており、点欠陥の検出を確実にする必要がある。特に、投射型表示装置の光変調素子として用いられる液晶パネルに点欠陥が存在すると、点欠陥がスクリーンに拡大されて投射されてしまいうので、点欠陥の検出が重要である。
液晶パネルの欠陥検査の方法としては、たとえば、特許文献１等に開示されているいわゆる点灯検査と呼ばれる検査方法が知られている。
たとえば、液晶パネルの背面側から照明光を当て、液晶パネルの表示をスクリーンに投射し、これをＣＣＤ(Charge Coupled Device) カメラで撮像する。そして、ＣＣＤカメラで撮像した画像データから得られる輝度むらから欠陥のある画素を特定する。
特開２００１−２２８０５１号公報 In the manufacturing process of the liquid crystal panel, an inspection for detecting point defects such as bright spots and black spots is performed on the liquid crystal panel. There are not a few point defects in liquid crystal panels, but the presence of point defects is allowed to the extent that it does not affect the quality of images seen by the human eye. The allowable range of the number of point defects is narrow, and it is necessary to ensure the detection of point defects. In particular, when a point defect is present in a liquid crystal panel used as a light modulation element of a projection display device, the point defect is enlarged and projected on a screen, so detection of the point defect is important.
As a defect inspection method for a liquid crystal panel, for example, an inspection method called a lighting inspection disclosed in Patent Document 1 is known.
For example, illumination light is applied from the back side of the liquid crystal panel, the display on the liquid crystal panel is projected onto a screen, and this is captured by a CCD (Charge Coupled Device) camera. Then, a defective pixel is specified from the luminance unevenness obtained from the image data captured by the CCD camera.
JP 2001-228051 A

ところで、液晶パネルに点欠陥がある場合に、歩留り改善のための、不良解析や欠陥補正を行うためには、点欠陥の絶対位置を正確に特定する必要がある。
液晶パネルの表示画面を一台のＣＣＤカメラで撮像した画像データに基づいて、点欠陥の表示画面内の絶対位置を特定するには、ＣＣＤカメラに用いるＣＣＤの分解能を十分高くする必要がある。
たとえば、液晶パネルの一つの画素を検出するのにＣＣＤ側で４つの画素が割り当てられているとすると仮定する。液晶パネルの画素の欠陥がＣＣＤ側の４つの画素の中心部に位置した場合、４つの画素すべてが欠陥を検出し、ＣＣＤ側の４つの画素に対する液晶パネルの欠陥の正確な位置は特定できない。すなわち、ＣＣＤ側の分解能が低いとＣＣＤの撮像した画像データから、液晶パネルの欠陥の正確な位置を特定することができない。
したがって、液晶パネルの欠陥の正確な位置を特定するには、液晶パネルの一つの画素に対してＣＣＤ側では少なくとも９つの画素を割り当てる必要がある。この場合には、液晶パネルの画素数をたとえば、８０万とすると、８００万画素程度のＣＣＤが必要となる。
液晶パネルの画素数は、画面の高精細化に伴い増加しており、欠陥検査に使用できるＣＣＤを入手することが困難である。 By the way, when the liquid crystal panel has a point defect, it is necessary to accurately specify the absolute position of the point defect in order to perform defect analysis and defect correction for improving the yield.
In order to specify the absolute position in the point defect display screen based on image data obtained by imaging the display screen of the liquid crystal panel with one CCD camera, it is necessary to sufficiently increase the resolution of the CCD used in the CCD camera.
For example, assume that four pixels are allocated on the CCD side to detect one pixel of the liquid crystal panel. When the defect of the pixel of the liquid crystal panel is located at the center of the four pixels on the CCD side, all four pixels detect the defect, and the exact position of the defect of the liquid crystal panel with respect to the four pixels on the CCD side cannot be specified. That is, if the resolution on the CCD side is low, the exact position of the defect of the liquid crystal panel cannot be specified from the image data captured by the CCD.
Therefore, in order to specify the exact position of the defect of the liquid crystal panel, it is necessary to assign at least nine pixels on the CCD side to one pixel of the liquid crystal panel. In this case, if the number of pixels of the liquid crystal panel is 800,000, for example, a CCD of about 8 million pixels is required.
The number of pixels of the liquid crystal panel is increasing with the high definition of the screen, and it is difficult to obtain a CCD that can be used for defect inspection.

一方、液晶パネルの表示画面を複数台のＣＣＤカメラで撮像すれば、比較的少ない画素数のＣＣＤカメラを用いることも可能であるが、複数台のＣＣＤカメラでそれぞれ撮像した画像データを合成することによって、液晶パネルの表示画面内での欠陥の位置を正確に特定するのは困難である。   On the other hand, if the display screen of the liquid crystal panel is imaged by a plurality of CCD cameras, it is possible to use a CCD camera having a relatively small number of pixels. However, the image data captured by each of the plurality of CCD cameras can be combined. Therefore, it is difficult to accurately specify the position of the defect in the display screen of the liquid crystal panel.

本発明は、上述の問題に鑑みて成されたものであって、その目的は、液晶パネル等の表示装置の表示を撮像し、得られた撮像データから点欠陥の絶対位置を正確に特定することが可能な欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and its purpose is to image the display of a display device such as a liquid crystal panel and accurately specify the absolute position of a point defect from the obtained imaging data. It is an object of the present invention to provide a defect inspection apparatus and a defect inspection method that can be used.

本発明は、画像を表示する表示装置の表示領域の各画素の欠陥を検出する欠陥検出装置であって、前記表示領域の表示を撮像する、固体撮像素子を使用した撮像手段と、前記表示装置を駆動して、前記表示領域に欠陥検出用の表示を行うとともに、前記表示領域における位置が既知の基準位置パターンの表示を行い、前記撮像手段の撮像した画像情報に基づいて、前記表示領域の各画素の欠陥の有無および当該欠陥を有する画素の表示領域内における位置を検出する欠陥検出手段とを有する。   The present invention is a defect detection device that detects a defect of each pixel in a display area of a display device that displays an image, the imaging means using a solid-state imaging device that images the display of the display region, and the display device To display a defect detection in the display area, display a reference position pattern whose position in the display area is known, and based on the image information captured by the imaging means, And defect detection means for detecting the presence / absence of a defect in each pixel and the position of the pixel having the defect in the display area.

好適には、前記欠陥検出手段は、前記基準位置パターンの表示位置を前記撮像手段による撮像毎に制御する手段を有する。   Preferably, the defect detection means includes means for controlling the display position of the reference position pattern for each image pickup by the image pickup means.

また、前記撮像手段は、前記欠陥検出手段からの制御指令を受けて、前記表示領域の撮像範囲を変更させるズーム手段を有し、前記欠陥検出手段は、欠陥を検出した場合には、当該欠陥の近傍に前記基準位置パターンを表示させるとともに、前記ズーム手段を駆動して当該欠陥の存在する領域を拡大して撮像させ、拡大して撮像された前記欠陥および基準位置パターンの画像データに基づいて、当該欠陥を有する画素の位置を検出する構成とすることも可能である。
この場合、さらに好適には、前記欠陥検出手段は、前記欠陥の周囲を囲むように前記基準位置パターンを表示させる。 In addition, the imaging unit has a zoom unit that receives a control command from the defect detection unit and changes an imaging range of the display area. When the defect detection unit detects a defect, the defect detection unit The reference position pattern is displayed in the vicinity of the image, and the zoom means is driven to enlarge and image the area where the defect exists, and based on the image data of the defect and the reference position pattern that are enlarged and imaged It is also possible to adopt a configuration in which the position of a pixel having the defect is detected.
In this case, more preferably, the defect detection means displays the reference position pattern so as to surround the periphery of the defect.

さらに、本発明は、前記欠陥検出手段からの制御指令を受けて、前記表示装置に対する前記撮像手段の位置を変更する移動手段をさらに有する構成とすることも可能である。   Furthermore, the present invention may further include a moving unit that receives a control command from the defect detection unit and changes the position of the imaging unit with respect to the display device.

本発明では、表示装置の表示領域に存在する欠陥を検出する際に、欠陥検出用の表示を行うとともに、基準位置パターンの表示を行う。これらを撮像手段により撮像する。撮像手段から得られる画像データには、欠陥の情報と基準位置パターンの情報が含まれている。欠陥検出手段は、欠陥の情報と基準位置パターンの情報から欠陥の位置を検出する。
したがって、本発明では、表示装置の表示領域の全てを一度に撮像しなくとも、表示領域の一部を撮像した場合に、この撮像データに基準位置パターンが含まれるように表示すれば、常に、欠陥の位置を正確に特定することができる。また、表示領域を部分的に複数回に渡って撮像し、複数の画像データを基準位置パターンに基づいて合成すれば、欠陥の位置が正確に特定される。 In the present invention, when a defect existing in the display area of the display device is detected, a defect detection display and a reference position pattern are displayed. These are imaged by an imaging means. The image data obtained from the imaging means includes defect information and reference position pattern information. The defect detection means detects the position of the defect from the defect information and the reference position pattern information.
Therefore, in the present invention, even if not all of the display area of the display device is imaged at once, when a part of the display area is imaged, if it is displayed so that the reference position pattern is included in this imaging data, The position of the defect can be accurately identified. Further, if the display area is partially imaged a plurality of times and a plurality of pieces of image data are combined based on the reference position pattern, the position of the defect can be accurately identified.

本発明によれば、表示装置の表示を撮像した撮像データから点欠陥の絶対位置を正確に特定することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to pinpoint the absolute position of a point defect correctly from the imaging data which imaged the display of the display apparatus.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
第１実施形態
図１は、本発明の一実施形態に係る液晶パネルの欠陥検査装置の構成図である。
図１において、欠陥検査装置１は、複数（２台）のＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂと、コントローラ２０と、投射光学系８と、照明装置３と、スクリーンＳＣとを有する。
なお、ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂは本発明の撮像手段の一実施態様である。また、後述するように、コントローラ２０は本発明の欠陥検出手段を構成する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
First Embodiment FIG. 1 is a configuration diagram of a defect inspection apparatus for a liquid crystal panel according to an embodiment of the present invention.
In FIG. 1, a defect inspection apparatus 1 includes a plurality (two) of CCD cameras 5A and 5B, a controller 20, a projection optical system 8, an illumination device 3, and a screen SC.
The CCD cameras 5A and 5B are an embodiment of the imaging means of the present invention. Further, as will be described later, the controller 20 constitutes the defect detection means of the present invention.

照明装置３は、液晶パネル１０の背面から照明光を液晶パネル１０へ当てる。照明装置３は、光源、各種光学フィルタ等から構成され、略均一な平行光を照射する。
液晶パネル１０は、たとえば、マトリックス状に配列された画素毎に電極および薄膜トランジスタを備えたＴＦＴ液晶パネルである。また、偏光フィルムや各種フィルタを備えている。 The illumination device 3 applies illumination light to the liquid crystal panel 10 from the back surface of the liquid crystal panel 10. The illumination device 3 is composed of a light source, various optical filters, and the like, and irradiates substantially uniform parallel light.
The liquid crystal panel 10 is, for example, a TFT liquid crystal panel including an electrode and a thin film transistor for each pixel arranged in a matrix. Moreover, a polarizing film and various filters are provided.

投射光学系８は、液晶パネル１０を透過し、液晶パネル１０の液晶によって変調された光が入射され、これを拡大してスクリーンＳＣに投射する。これにより、スクリーンＳＣには、液晶パネル１０の表示に応じた画像が投射される。   The projection optical system 8 is transmitted through the liquid crystal panel 10, receives light modulated by the liquid crystal of the liquid crystal panel 10, enlarges it, and projects it onto the screen SC. Thereby, an image corresponding to the display on the liquid crystal panel 10 is projected onto the screen SC.

ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂは、スクリーンＳＣに投射された画像を撮像し、撮像した画像データをコントローラ２０にする。ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂは、固体撮像素子であるＣＣＤ(Charge Coupled Device) の各画素のフォトダイオードにより、入射する光を光電変換し、画像データを生成する。ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂは、それぞれズームレンズおよびアクチュエータ等からなるズーム機構６を備えており、コントローラ２０からの制御指令６ＳＡ，６ＳＢに応じて、スクリーンＳＣ上の撮像範囲を変えることができるようになっている。
また、２台のＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂの初期状態における撮像範囲ＲＡおよびＲＢによって、液晶パネル１０上の画像の全てをカバーしている。さらに、撮像範囲ＲＡおよびＲＢは、一部が重複している。 The CCD cameras 5A and 5B capture an image projected on the screen SC and use the captured image data as the controller 20. The CCD cameras 5A and 5B photoelectrically convert incident light by a photodiode of each pixel of a CCD (Charge Coupled Device) that is a solid-state imaging device, and generate image data. Each of the CCD cameras 5A and 5B includes a zoom mechanism 6 including a zoom lens and an actuator, and the imaging range on the screen SC can be changed according to control commands 6SA and 6SB from the controller 20. ing.
In addition, all the images on the liquid crystal panel 10 are covered by the imaging ranges RA and RB in the initial state of the two CCD cameras 5A and 5B. Furthermore, the imaging ranges RA and RB partially overlap.

コントローラ２０は、液晶パネル１０の駆動、ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂの駆動制御、ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂから得られる画像データに基づいて液晶パネル１０に存在する点欠陥の検出を行う。
図２は、コントローラ２０の機能ブロック図である。
コントローラ２０は、カメラ駆動部２１、画像処理部２２、パネル駆動部２３、および、欠陥検出部２４を有する。これらは、プロセッサ、メモリ等のハードウエアおよび所要のソフトウエアから構成される。 The controller 20 performs driving of the liquid crystal panel 10, drive control of the CCD cameras 5A and 5B, and detection of point defects existing in the liquid crystal panel 10 based on image data obtained from the CCD cameras 5A and 5B.
FIG. 2 is a functional block diagram of the controller 20.
The controller 20 includes a camera drive unit 21, an image processing unit 22, a panel drive unit 23, and a defect detection unit 24. These are composed of hardware such as a processor and a memory, and necessary software.

カメラ駆動部２１は、上記したＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂのズーム機構６を欠陥検出部２４からの制御指令２１Ｓに応じて駆動制御する。
画像処理部２２は、ＣＣＤカメラ５Ａ，５ＢのＣＣＤの各画素の検出した輝度レベルからなる画像データを、たとえば、２値化処理あるいは階調処理するなどして、欠陥検出に必要なデータに変換する。 The camera drive unit 21 drives and controls the zoom mechanism 6 of the CCD cameras 5A and 5B according to the control command 21S from the defect detection unit 24.
The image processing unit 22 converts the image data composed of the luminance levels detected by the CCD pixels of the CCD cameras 5A and 5B into data necessary for defect detection, for example, by binarization processing or gradation processing. To do.

パネル駆動部２３は、欠陥検出部２４からの欠陥検出用の指令２３ＳＡと基準位置パターン用の指令２３ＳＢに応じて、液晶パネル１０を駆動する。
欠陥検出用の指令２３ＳＡは、液晶パネル１０の各画素が正常に動作するかを検査するために必要な欠陥検出用の表示を行うためのものである。この欠陥検出用の表示は、検出条件等により様々であるが、基本的には、液晶パネル１０の画素を点灯させる駆動信号を与える。点灯する信号を与えた画素が正常に点灯するか否かで判断することができる。
基準位置パターン用の指令２３ＳＢは、欠陥検出部２４側で予め認識している液晶パネル１０における既知の位置座標に基準位置パターンを表示させるための指令である。なお、基準位置パターンの表示方法については後述する。 The panel drive unit 23 drives the liquid crystal panel 10 according to the defect detection command 23SA and the reference position pattern command 23SB from the defect detection unit 24.
The defect detection command 23SA is for performing a defect detection display necessary for inspecting whether each pixel of the liquid crystal panel 10 operates normally. This defect detection display varies depending on detection conditions and the like, but basically a drive signal for lighting the pixels of the liquid crystal panel 10 is given. It can be determined by whether or not the pixel to which the signal to be lit is lit normally.
The reference position pattern command 23SB is a command for displaying the reference position pattern at known position coordinates in the liquid crystal panel 10 recognized in advance on the defect detection unit 24 side. The reference position pattern display method will be described later.

欠陥検出部２４は、画像処理部２２から得られる画像データ２２Ｓに基づいて、液晶パネル１０上の欠陥およびその位置を検出する。
また、欠陥検出部２４は、液晶パネル１０、ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂを駆動するための指令を生成する。
さらに、欠陥検出部２４は、液晶パネル１０上の欠陥およびその位置を検出した結果を表示装置３０へ表示させる。 The defect detection unit 24 detects a defect and its position on the liquid crystal panel 10 based on the image data 22S obtained from the image processing unit 22.
Further, the defect detection unit 24 generates a command for driving the liquid crystal panel 10 and the CCD cameras 5A and 5B.
Further, the defect detection unit 24 causes the display device 30 to display the result of detecting the defect on the liquid crystal panel 10 and its position.

次に、欠陥検出装置１による具体的な液晶パネル１０の欠陥検出処理について図３を参照して説明する。
欠陥検査装置１は、たとえば、遮光された暗室内に設置される。
また、ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂは、液晶パネル１０によりスクリーンＳＣに投射された全画像のうち少なくとも半分の領域を撮像可能となっているとともに、ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂに使用されるＣＣＤによって撮像されたスクリーンＳＣ上の画像から液晶パネル１０の各画素の欠陥の位置を検出できる分解能、すなわち、画素数を有するものとする。１枚の液晶パネル１０に対して複数のＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂを用いることにより、一台のＣＣＤカメラを用いる場合よりも、液晶パネル１０の一画素に対してＣＣＤ側の画素をより多く割り当てることができる。 Next, a specific defect detection process of the liquid crystal panel 10 by the defect detection apparatus 1 will be described with reference to FIG.
The defect inspection apparatus 1 is installed, for example, in a dark room that is shielded from light.
The CCD cameras 5A and 5B can capture at least half of the entire image projected on the screen SC by the liquid crystal panel 10 and are captured by the CCD used for the CCD cameras 5A and 5B. It is assumed that the resolution, that is, the number of pixels, that can detect the position of the defect of each pixel of the liquid crystal panel 10 from the image on the screen SC is assumed. By using a plurality of CCD cameras 5A and 5B for one liquid crystal panel 10, more pixels on the CCD side are allocated to one pixel of the liquid crystal panel 10 than when a single CCD camera is used. Can do.

まず、照明装置３の前方に検査対象である液晶パネル１０を配置し、液晶パネル１０に照明光を当てる。
次いで、欠陥検出部２４は、たとえば、液晶パネル１０の全ての画素を点灯させる指令２３ＳＡおよび図３（ａ）に示す基準位置パターンＢＰを表示させる指令２３ＳＢをパネル駆動部２３へ出力する。なお、図３は、液晶パネル１０上の表示例である。 First, the liquid crystal panel 10 to be inspected is disposed in front of the illumination device 3 and illumination light is applied to the liquid crystal panel 10.
Next, the defect detection unit 24 outputs, for example, a command 23SA for lighting all the pixels of the liquid crystal panel 10 and a command 23SB for displaying the reference position pattern BP shown in FIG. FIG. 3 is a display example on the liquid crystal panel 10.

図３（ａ）に示すように、基準位置パターンＢＰは、液晶パネル１０上の縦方向、横方向に所定間隔で表示される。液晶パネル１０の画素に欠陥ＤＰが存在すると、この欠陥ＤＰと基準位置パターンＢＰの画像がスクリーンＳＣに投射される。
スクリーンＳＣに投射された画像は、たとえば、図３（ａ）に示す、領域Ｒａに対応する部分がＣＣＤカメラ５Ａによって撮像され、領域Ｒｂに対応する部分がＣＣＤカメラ５Ｂによって撮像される。これらの撮像された画像データは、コントローラ２０の画像処理部２２に送られ、所定の画像処理が行われる。
また、画像処理部２２に送られた画像データは、基準位置パターンＢＰの情報を持っていることから、２つの画像データは位置座標に関して正確に合成することができる。 As shown in FIG. 3A, the reference position patterns BP are displayed at predetermined intervals in the vertical and horizontal directions on the liquid crystal panel 10. When the defect DP exists in the pixel of the liquid crystal panel 10, an image of the defect DP and the reference position pattern BP is projected on the screen SC.
In the image projected on the screen SC, for example, the portion corresponding to the region Ra shown in FIG. 3A is imaged by the CCD camera 5A, and the portion corresponding to the region Rb is imaged by the CCD camera 5B. These captured image data are sent to the image processing unit 22 of the controller 20 and predetermined image processing is performed.
Further, since the image data sent to the image processing unit 22 has the information of the reference position pattern BP, the two image data can be accurately combined with respect to the position coordinates.

欠陥検出部２４では、図３（ａ）に示す表示に対応する情報から、欠陥ＤＰの検出および検出した欠陥ＤＰの位置の検出が行われる。
欠陥ＤＰの検出は、たとえば、正常な画素よりも輝度値が低いことから判別される。
検出された各欠陥ＤＰの位置は、たとえば、図３（ａ）に示すように、欠陥ＤＰに近い位置にある基準位置パターンＢＰからの横方向の距離Ｘａ，Ｘｂおよび縦方向の距離Ｙａ，Ｙｂを検出することにより特定することができる。すなわち、検出した基準位置パターンＢＰからの距離にある画素が欠陥ＤＰを有する画素である。 In the defect detection unit 24, the defect DP is detected and the position of the detected defect DP is detected from the information corresponding to the display shown in FIG.
The detection of the defect DP is determined, for example, because the luminance value is lower than that of a normal pixel.
The positions of the detected defects DP are, for example, as shown in FIG. 3A, the horizontal distances Xa and Xb and the vertical distances Ya and Yb from the reference position pattern BP located near the defect DP. Can be identified by detecting. That is, a pixel at a distance from the detected reference position pattern BP is a pixel having a defect DP.

ここで、基準位置パターンＢＰを図３（ａ）のように液晶パネル１０に表示すると、基準位置パターンＢＰ上に存在する欠陥ＤＰを検出することができない。
このため、欠陥検出部２４は、図３（ａ）に示した画像データから欠陥の検出および位置の検出を行った後に、図３（ｂ）に示すように、基準位置パターンＢＰに変えて、新たな基準位置パターンＮＢＰを表示し、基準位置パターンの表示位置を変える。その後、図３（ｂ）に示す表示に対応する画像を再びＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂによって撮像し、上記と同様の処理を行う。
このように、ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂの撮像毎に、基準位置パターンの表示位置を変えることにより、液晶パネル１０の欠陥が基準位置パターンに埋もれて検出できなくなるのを防ぐことができる。 Here, when the reference position pattern BP is displayed on the liquid crystal panel 10 as shown in FIG. 3A, the defect DP existing on the reference position pattern BP cannot be detected.
For this reason, after detecting the defect and detecting the position from the image data shown in FIG. 3A, the defect detection unit 24 changes to the reference position pattern BP as shown in FIG. A new reference position pattern NBP is displayed, and the display position of the reference position pattern is changed. Thereafter, an image corresponding to the display shown in FIG. 3B is picked up again by the CCD cameras 5A and 5B, and the same processing as described above is performed.
In this way, by changing the display position of the reference position pattern for each image pick-up by the CCD cameras 5A and 5B, it is possible to prevent defects in the liquid crystal panel 10 from being buried in the reference position pattern and being unable to be detected.

以上のように、本実施形態によれば、液晶パネル１０の点灯検査において、基準位置パターンＢＰを同時に表示し、これに対応する画像を撮像することにより、液晶パネル１０内で欠陥を有する画素の位置を正確に特定することができる。また、液晶パネル１０上に画素の位置を求めるための基準位置パターンＢＰを表示するので、液晶パネル１０の表示領域を複数のＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂにより複数領域に分けて撮像した画像データであっても、欠陥画素の位置を正確に特定することが可能となる。   As described above, according to the present embodiment, in the lighting inspection of the liquid crystal panel 10, the reference position pattern BP is simultaneously displayed, and an image corresponding to the reference position pattern BP is picked up. The position can be specified accurately. In addition, since the reference position pattern BP for obtaining the pixel position is displayed on the liquid crystal panel 10, the display area of the liquid crystal panel 10 is image data obtained by dividing the display area into a plurality of areas using a plurality of CCD cameras 5A and 5B. In addition, the position of the defective pixel can be accurately specified.

第２実施形態
図４を参照して本発明の他の実施形態に係る欠陥検査装置について説明する。
上述した第１の実施形態では、ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂに使用されるＣＣＤが、液晶パネル１０の欠陥およびその位置を正確に検出できる分解能をもつ場合について説明した。 本実施形態では、液晶パネル１０の欠陥をおおよそ検出するだけの分解能（画素数）は有するが、欠陥画素の位置を正確には特定できるほどの分解能（画素数）しかない場合について説明する。なお、本実施形態に係る欠陥検査装置の基本構成は第１の実施形態と同様である。 Second Embodiment A defect inspection apparatus according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the first embodiment described above, the case where the CCD used in the CCD cameras 5A and 5B has a resolution capable of accurately detecting the defect of the liquid crystal panel 10 and its position has been described. In the present embodiment, a case will be described in which the resolution (number of pixels) is sufficient to roughly detect a defect in the liquid crystal panel 10, but the resolution (number of pixels) is sufficient to accurately identify the position of the defective pixel. The basic configuration of the defect inspection apparatus according to this embodiment is the same as that of the first embodiment.

図４（ａ）は、液晶パネル１０の表示をスクリーンＳＣに投射し、その画像をＣＣＤカメラ５Ａまたは５Ｂによって撮像した画像ＧＩである。
撮像画像ＧＩの円Ａで示す領域において欠陥ＤＰが検出されたとき、コントローラ２０の欠陥検出部２４では、ＣＣＤカメラ５Ａ，５ＢのＣＣＤの分解能が低いため、欠陥は認識できてもその位置を正確には特定できない。
この場合に、欠陥検出部２４は、ＣＣＤカメラ５Ａ，５Ｂのズーム機構６を駆動し、図４（ｂ）に示すように、欠陥ＤＰの存在する付近を画素単位で位置が特定できる程度まで拡大し、再び、撮像させる。
すなわち、ズーム機構６を駆動して欠陥ＤＰの存在する付近を拡大すると、液晶パネル１０の一画素の検出に割り当てられるＣＣＤの画素数を増やすことができる。 FIG. 4A shows an image GI obtained by projecting the display of the liquid crystal panel 10 onto the screen SC and capturing the image by the CCD camera 5A or 5B.
When the defect DP is detected in the area indicated by the circle A of the captured image GI, the defect detection unit 24 of the controller 20 has a low resolution of the CCD of the CCD cameras 5A and 5B. Cannot be specified.
In this case, the defect detection unit 24 drives the zoom mechanism 6 of the CCD cameras 5A and 5B, and as shown in FIG. 4B, the vicinity where the defect DP exists is enlarged to such an extent that the position can be specified in pixel units. Then, the image is taken again.
That is, when the zoom mechanism 6 is driven to enlarge the vicinity where the defect DP exists, the number of CCD pixels allocated to the detection of one pixel of the liquid crystal panel 10 can be increased.

欠陥検出部２４は、ズーム機構６を駆動してスクリーンＳＣ上の画像を拡大するとともに、図４（ｃ）に示すように、液晶パネル１０の欠陥画素の周囲を囲む矩形状の基準位置パターンＸＢＰを液晶パネル１０上に表示させる。
欠陥検出部２４は、液晶パネル１０上での基準位置パターンＸＢＰの位置を認識している。
欠陥検出部２４は、図４（ｃ）に示す表示を行った状態で、スクリーンＳＣ上の画像を拡大して撮像して得られた画像データから欠陥ＤＰを有する画素の位置を正確に検出することができる。
また、基準位置パターンＸＢＰを、たとえば、矩形状のような特徴的な形状にし、かつ、欠陥ＤＰの周りを囲むことにより、欠陥検出部２４での欠陥ＤＰの検出処理が非常に容易となる。
なお、基準位置パターンＸＢＰの形状は、矩形状でなくとも、画像認識しやすい形状であればよい。 The defect detection unit 24 drives the zoom mechanism 6 to enlarge the image on the screen SC and, as shown in FIG. 4C, a rectangular reference position pattern XBP surrounding the defective pixels of the liquid crystal panel 10. Is displayed on the liquid crystal panel 10.
The defect detection unit 24 recognizes the position of the reference position pattern XBP on the liquid crystal panel 10.
The defect detection unit 24 accurately detects the position of the pixel having the defect DP from the image data obtained by enlarging the image on the screen SC in the state shown in FIG. 4C. be able to.
Further, by making the reference position pattern XBP a characteristic shape such as a rectangular shape and surrounding the defect DP, the defect detection process in the defect detection unit 24 becomes very easy.
The shape of the reference position pattern XBP is not limited to a rectangular shape, but may be a shape that allows easy image recognition.

第３実施形態
図５は、本発明のさらに他の実施形態に係る欠陥検査装置の構成図である。
図５に示す本実施形態に係る欠陥検査装置１００と第１の実施形態に係る欠陥検査装置１との異なるは、欠陥検査装置１００は一台のＣＣＤカメラ５のみを備えるとともに、ＣＣＤカメラ５を移動させる移動機構５０を備えている点である。 Third Embodiment FIG. 5 is a block diagram of a defect inspection apparatus according to still another embodiment of the present invention.
The defect inspection apparatus 100 according to the present embodiment shown in FIG. 5 is different from the defect inspection apparatus 1 according to the first embodiment in that the defect inspection apparatus 100 includes only one CCD camera 5 and includes the CCD camera 5. It is a point provided with the moving mechanism 50 to move.

移動機構５０は、ＣＣＤカメラ５が固定された可動部５１と、この可動部５１を移動自在に保持する固定部５２とを有する。
可動部５１は、モータ等のアクチュエータを備えており、コントローラ２０からの指令５１Ｓに応じて、固定部５２を移動し、位置決めされる。これにより、ＣＣＤカメラ５は、スクリーンＳＣに沿って移動する。 The moving mechanism 50 includes a movable part 51 to which the CCD camera 5 is fixed, and a fixed part 52 that holds the movable part 51 movably.
The movable part 51 includes an actuator such as a motor, and moves and positions the fixed part 52 in accordance with a command 51S from the controller 20. As a result, the CCD camera 5 moves along the screen SC.

本実施形態では、ＣＣＤカメラ５の撮像位置を複数箇所に変えて、第１実施形態と同様に液晶パネル１０からスクリーンＳＣに投射される画像を撮像することにより、画像全体を撮像する。
得られた複数の画像データには、基準位置パターンの情報が含まれれているので、これら複数の画像データを精度良く合成することができる。
ＣＣＤカメラ５の分解能に応じて、スクリーンＳＣを撮像する回数を調整すればよい。すなわち、分解能が低いほどスクリーンＳＣに投射される画像を細かく分けて撮像すれば、ＣＣＤの画素数を多く割り当てることができる。 In the present embodiment, the entire image is captured by capturing an image projected from the liquid crystal panel 10 onto the screen SC in the same manner as in the first embodiment by changing the imaging position of the CCD camera 5 to a plurality of locations.
Since the obtained plurality of image data includes reference position pattern information, the plurality of image data can be synthesized with high accuracy.
The number of times the screen SC is imaged may be adjusted according to the resolution of the CCD camera 5. That is, if the image projected onto the screen SC is divided and captured as the resolution is lower, a larger number of CCD pixels can be allocated.

また、ＣＣＤカメラ５の撮像位置に変更に応じて、基準位置パターンの表示位置や表示形態を変更すれば、各画像データ毎に検出される欠陥の位置の特定が容易となる。
さらに、ＣＣＤカメラ５の撮像した画像データには、基準位置パターンの情報が含まれているので、移動機構５０の位置決めに高い精度は要求されない。 Further, if the display position and display form of the reference position pattern are changed in accordance with the change in the imaging position of the CCD camera 5, it is easy to specify the position of the defect detected for each image data.
Furthermore, since the image data captured by the CCD camera 5 includes information on the reference position pattern, high accuracy is not required for positioning of the moving mechanism 50.

第４実施形態
図６は、本発明のさらに他の実施形態に係る欠陥検査装置の構成図である。なお、上述した実施形態と同様の構成部分については同一の符号を使用している。
上述した実施形態では、液晶パネル１０の表示をスクリーンＳＣに投射し、スクリーンＳＣ上の画像をＣＣＤカメラにより撮像する場合について説明した。本実施形態では、スクリーンＳＣを用いない場合について説明する。 Fourth Embodiment FIG. 6 is a block diagram of a defect inspection apparatus according to still another embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is used about the component similar to embodiment mentioned above.
In the above-described embodiment, the case where the display on the liquid crystal panel 10 is projected onto the screen SC and the image on the screen SC is captured by the CCD camera has been described. In the present embodiment, a case where the screen SC is not used will be described.

本実施形態に係る欠陥検査装置２００は、図６に示すように、液晶パネル１０の前方に設置された分割用プリズム１３０と、分割用プリズム１３０に対して所定位置に配置された複数（２個）のＣＣＤ１５０Ａ，１５０Ｂとを備えている。   As shown in FIG. 6, the defect inspection apparatus 200 according to the present embodiment includes a splitting prism 130 installed in front of the liquid crystal panel 10 and a plurality (two) of splitting prisms 130 arranged at predetermined positions with respect to the splitting prism 130. ) CCDs 150A and 150B.

図６において、分割用プリズム１３０は、反射面１３０ａを備えている。この反射面１３０ａによって投影レンズ１０８によって投影される液晶パネル１０の表示画像の一部をＣＣＤ１５０Ｂへ向けて反射する。分割用プリズム１３０は、残り表示画像を通過させてＣＣＤ１５０Ａへ導く。すなわち、分割用プリズム１３０は、液晶パネル１０の表示画像を分割し、２個のＣＣＤ１５０Ａ，１５０Ｂに導く。
このような構成とすることにより、ＣＣＤの画素数を多く割り当てることができるとともに、コントローラ２０における画像の処理速度を向上させることができる。また、同時に複数のＣＣＤ１５０Ａ，１５０Ｂにより液晶パネル１０の表示画像を同時に取り込むことができるので、検査時間を短縮できる。 In FIG. 6, the splitting prism 130 includes a reflecting surface 130a. A part of the display image of the liquid crystal panel 10 projected by the projection lens 108 is reflected toward the CCD 150B by the reflecting surface 130a. The splitting prism 130 passes the remaining display image and guides it to the CCD 150A. That is, the dividing prism 130 divides the display image of the liquid crystal panel 10 and guides it to the two CCDs 150A and 150B.
With such a configuration, a large number of CCD pixels can be allocated, and the image processing speed in the controller 20 can be improved. Further, since the display image of the liquid crystal panel 10 can be simultaneously captured by the plurality of CCDs 150A and 150B, the inspection time can be shortened.

図７は、液晶パネル１０の表示画像を４分割する場合の構成例である。
図７に示すように、３つの分割用プリズム１３０Ａ〜１３０Ｃを用いれば、４つのＣＣＤ１５１Ａ〜１５１Ｄへ液晶パネル１０の表示画像を４分割して取り込むことができる。 FIG. 7 is a configuration example in the case where the display image of the liquid crystal panel 10 is divided into four.
As shown in FIG. 7, if the three splitting prisms 130A to 130C are used, the display image of the liquid crystal panel 10 can be taken into four CCDs 151A to 151D by dividing into four.

本発明は、上述した実施形態に限定されない。
上述した各実施形態では、本発明の表示装置として液晶パネルの場合について説明したが、これに限定されない。たとえば、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイにも本発明を適用することができる。
また、本発明の撮像手段としてＣＣＤカメラを用いた場合について説明したが、固体撮像素子としてＣＭＯＳを用いたカメラを用いることも可能である。 The present invention is not limited to the embodiment described above.
In each of the embodiments described above, the case of a liquid crystal panel has been described as the display device of the present invention, but the present invention is not limited to this. For example, the present invention can be applied to flat panel displays such as plasma displays and organic EL displays.
Further, although the case where a CCD camera is used as the image pickup means of the present invention has been described, a camera using a CMOS as a solid-state image pickup device can also be used.

本発明の一実施形態に係る液晶パネルの欠陥検査装置の構成図である。It is a block diagram of the defect inspection apparatus of the liquid crystal panel which concerns on one Embodiment of this invention. コントローラの機能ブロック図である。It is a functional block diagram of a controller. 欠陥検出部における欠陥の検出方法の一例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an example of the detection method of the defect in a defect detection part. 本発明の他の実施形態に係る欠陥検査装置における欠陥の検出方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the detection method of the defect in the defect inspection apparatus which concerns on other embodiment of this invention. 本発明のさらに他の実施形態に係る欠陥検査装置の構成図である。It is a block diagram of the defect inspection apparatus which concerns on further another embodiment of this invention. 本発明のさらに他の実施形態に係る欠陥検査装置の構成図である。It is a block diagram of the defect inspection apparatus which concerns on further another embodiment of this invention. 本発明のさらに他の実施形態に係る欠陥検査装置の構成図である。It is a block diagram of the defect inspection apparatus which concerns on further another embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１，１００，２００，３００…欠陥検出装置、３…照明装置、５Ａ，５Ｂ…ＣＣＤカメラ、６…ズーム機構、８…投射光学系、１０…液晶パネル、２０…コントローラ、２１…カメラ駆動部、２２…画像処理部、２３…パネル駆動部、２４…欠陥検出部、３０…表示装置、ＳＣ…スクリーン。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,100,200,300 ... Defect detection apparatus, 3 ... Illumination device, 5A, 5B ... CCD camera, 6 ... Zoom mechanism, 8 ... Projection optical system, 10 ... Liquid crystal panel, 20 ... Controller, 21 ... Camera drive part, 22 ... Image processing unit, 23 ... Panel drive unit, 24 ... Defect detection unit, 30 ... Display device, SC ... Screen.

Claims (5)

画像を表示する表示装置の表示領域の各画素の欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
前記表示領域の表示を撮像する、固体撮像素子を使用した撮像手段と、
前記表示装置を駆動して、前記表示領域に欠陥検出用の表示を行うとともに、前記表示領域における位置が既知の基準位置パターンの表示を行い、前記撮像手段の撮像した画像情報に基づいて、前記表示領域の各画素の欠陥の有無および当該欠陥を有する画素の表示領域内における位置を検出する欠陥検出手段と
を有する表示装置の欠陥検出装置。 A defect detection device for detecting a defect of each pixel in a display area of a display device for displaying an image,
Imaging means using a solid-state imaging device for imaging the display of the display area;
The display device is driven to perform display for defect detection in the display area, display a reference position pattern whose position in the display area is known, and based on the image information captured by the imaging unit, A defect detection device for a display device, comprising: defect detection means for detecting presence / absence of a defect in each pixel in the display region and a position of the pixel having the defect in the display region. 前記欠陥検出手段は、前記基準位置パターンの表示位置を前記撮像手段による撮像毎に制御する手段を有する
請求項１に記載の表示装置の欠陥検出装置。 The defect detection device for a display device according to claim 1, wherein the defect detection unit includes a unit that controls a display position of the reference position pattern for each imaging performed by the imaging unit. 前記撮像手段は、前記欠陥検出手段からの制御指令を受けて、前記表示領域の撮像範囲を変更させるズーム手段を有し、
前記欠陥検出手段は、欠陥を検出した場合には、当該欠陥の近傍に前記基準位置パターンを表示させるとともに、前記ズーム手段を駆動して当該欠陥の存在する領域を拡大して撮像させ、拡大して撮像された前記欠陥および基準位置パターンの画像データに基づいて、当該欠陥を有する画素の位置を検出する
請求項１に記載の表示装置の欠陥検出装置。 The imaging unit includes a zoom unit that receives a control command from the defect detection unit and changes an imaging range of the display area;
When the defect detection unit detects a defect, the defect detection unit displays the reference position pattern in the vicinity of the defect, and drives the zoom unit to enlarge and image an area where the defect exists. The defect detection device for a display device according to claim 1, wherein the position of a pixel having the defect is detected based on the image data of the defect and the reference position pattern captured in this manner. 前記欠陥検出手段は、前記欠陥の周囲を囲むように前記基準位置パターンを表示させる
請求項３に記載の表示装置の欠陥検出装置。 The defect detection device for a display device according to claim 3, wherein the defect detection means displays the reference position pattern so as to surround the periphery of the defect. 前記欠陥検出手段からの制御指令を受けて、前記表示装置に対する前記撮像手段の位置を変更する移動手段をさらに有する
請求項１に記載の表示装置の欠陥検出装置。
The defect detection apparatus for a display device according to claim 1, further comprising a moving unit that receives a control command from the defect detection unit and changes a position of the imaging unit with respect to the display device.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008013137A1 (en) * 2006-07-27 2008-01-31 Sharp Kabushiki Kaisha Position detecting apparatus, position detecting method, inspecting apparatus, position detecting program and computer readable recording medium
CN102189331A (en) * 2010-03-05 2011-09-21 奥林巴斯株式会社 Defect correction device and defect tracking method
JP2011203710A (en) * 2010-03-05 2011-10-13 Olympus Corp Defect correction device, defect tracking method, and defect tracking program
JP2014206547A (en) * 2008-01-16 2014-10-30 オルボテック リミテッド Inspection of substrate using multiple cameras
TWI608461B (en) * 2016-08-04 2017-12-11 和碩聯合科技股份有限公司 Defect inspection method and inspection apparatus for display
CN109900705A (en) * 2019-03-18 2019-06-18 合肥京东方光电科技有限公司 A kind of substrate detection apparatus and detection method
WO2022088096A1 (en) * 2020-10-30 2022-05-05 京东方科技集团股份有限公司 Method for measuring actual area of defect, and method and apparatus for testing display panel

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0727714A (en) * 1993-07-13 1995-01-31 Sharp Corp Inspection apparatus for plane display panel
JPH08178797A (en) * 1994-12-22 1996-07-12 Casio Comput Co Ltd Display defect extraction method for flat panel display and apparatus therefor
JPH1031730A (en) * 1996-07-16 1998-02-03 Advantest Corp Calibration method
JPH1039843A (en) * 1996-07-29 1998-02-13 Yokogawa Ee D S Kk Marking method and marking device of defective pixel in display device
JPH11132750A (en) * 1997-10-30 1999-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Point defect detecting device and method therefor
JP2000105167A (en) * 1998-09-30 2000-04-11 Advantest Corp Address calibration method of image quality inspection device
JP2003167530A (en) * 2001-12-04 2003-06-13 Mitsubishi Electric Corp Method and device for display picture inspection
JP2005156396A (en) * 2003-11-27 2005-06-16 Yokogawa Electric Corp Apparatus for inspecting defect

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0727714A (en) * 1993-07-13 1995-01-31 Sharp Corp Inspection apparatus for plane display panel
JPH08178797A (en) * 1994-12-22 1996-07-12 Casio Comput Co Ltd Display defect extraction method for flat panel display and apparatus therefor
JPH1031730A (en) * 1996-07-16 1998-02-03 Advantest Corp Calibration method
JPH1039843A (en) * 1996-07-29 1998-02-13 Yokogawa Ee D S Kk Marking method and marking device of defective pixel in display device
JPH11132750A (en) * 1997-10-30 1999-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Point defect detecting device and method therefor
JP2000105167A (en) * 1998-09-30 2000-04-11 Advantest Corp Address calibration method of image quality inspection device
JP2003167530A (en) * 2001-12-04 2003-06-13 Mitsubishi Electric Corp Method and device for display picture inspection
JP2005156396A (en) * 2003-11-27 2005-06-16 Yokogawa Electric Corp Apparatus for inspecting defect

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008013137A1 (en) * 2006-07-27 2008-01-31 Sharp Kabushiki Kaisha Position detecting apparatus, position detecting method, inspecting apparatus, position detecting program and computer readable recording medium
JP2014206547A (en) * 2008-01-16 2014-10-30 オルボテック リミテッド Inspection of substrate using multiple cameras
US11113803B2 (en) 2008-01-16 2021-09-07 Orbotech Ltd. Inspection of a substrate using multiple cameras
CN102189331A (en) * 2010-03-05 2011-09-21 奥林巴斯株式会社 Defect correction device and defect tracking method
JP2011203710A (en) * 2010-03-05 2011-10-13 Olympus Corp Defect correction device, defect tracking method, and defect tracking program
TWI608461B (en) * 2016-08-04 2017-12-11 和碩聯合科技股份有限公司 Defect inspection method and inspection apparatus for display
CN109900705A (en) * 2019-03-18 2019-06-18 合肥京东方光电科技有限公司 A kind of substrate detection apparatus and detection method
WO2022088096A1 (en) * 2020-10-30 2022-05-05 京东方科技集团股份有限公司 Method for measuring actual area of defect, and method and apparatus for testing display panel

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