JP2007121243A - Device and method for inspecting image display panel - Google Patents
Device and method for inspecting image display panel Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007121243A JP2007121243A JP2005317550A JP2005317550A JP2007121243A JP 2007121243 A JP2007121243 A JP 2007121243A JP 2005317550 A JP2005317550 A JP 2005317550A JP 2005317550 A JP2005317550 A JP 2005317550A JP 2007121243 A JP2007121243 A JP 2007121243A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- display
- image display
- panel
- image data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
本発明は、視差を持つ複数の画像を表示可能な画像表示パネルの検査方法および検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection method and an inspection apparatus for an image display panel capable of displaying a plurality of images having parallax.
異なる2つ以上の方向(以下、画像表示方向と記す)に対して独立な画像を表示することが可能な画像表示パネル、すなわち、複数画像表示パネルが近年様々な用途で用いられている。 In recent years, an image display panel capable of displaying independent images with respect to two or more different directions (hereinafter referred to as image display directions), that is, a multi-image display panel, has been used in various applications in recent years.
上記複数画像表示パネルを用い、観察者の右目と左目が位置する方向に対して、それぞれ右目用画像と左目用画像とを表示することで、観察者における立体視を実現することができる。立体視を実現する複数画像表示パネルは、エンターテインメントやバーチャルリアリティー等の用途で実用化されている。 By using the multi-image display panel and displaying the right-eye image and the left-eye image in the direction in which the viewer's right eye and left eye are positioned, stereoscopic viewing by the observer can be realized. Multi-image display panels that realize stereoscopic viewing have been put to practical use in applications such as entertainment and virtual reality.
また、上記複数画像表示パネルを用いれば、プライバシー保護や安全性確保の目的で、画像表示パネルに対して異なる方向に位置する複数の観察者に対し、独立な画像をそれぞれ表示することも可能である。 In addition, if the above-described multiple image display panel is used, independent images can be displayed for a plurality of observers located in different directions with respect to the image display panel for the purpose of protecting privacy and ensuring safety. is there.
異なる2つ以上の方向に対して独立な画像を表示する複数画像表示パネルとしては、各画像表示方向へ光を射出することが可能な透過光源を備え、該光源の光の射出方向と、透過型画像表示パネルに表示する画像とをごく短い時間毎に切り替えることで、各表示方向に異なる画像表示する画像表示パネルが知られている。また、画像表示パネルに光の射出方向を制限する視差生成デバイスを備え、表示領域毎にその表示領域から射出される光の方向をいずれかの画像表示方向に制御することにより、表示方向毎に異なる画像を表示する複数画像表示パネルも知られている。
The multi-image display panel that displays independent images in two or more different directions includes a transmissive light source capable of emitting light in each image display direction, and the light emission direction of the light source and the
上記複数画像表示パネルの表示品質を決める要素としては、画像表示パネルの表示方向特性(観察方向に対する輝度分布)が重要である。特に、上記画像表示パネルの各表示領域から定められた画像表示方向へ正しく光が射出されていることが重要である。また、複数画像表示パネルにおける代表的な欠陥として、隣接する表示領域におけるクロストーク欠陥がある。ここでクロストーク欠陥とは、第1の画像表示方向へ光を射出する第1の表示領域と、第1の画像表示方向とは異なる第2の画像表示方向へ光を射出する第1の表示領域に隣接する第2の表示領域とがあるときに、第1の表示領域における光の射出方向の制御が正しく行われず、第2の表示領域から射出される光に、第1の表示領域から射出される光が影響を与えることである。 As an element that determines the display quality of the multi-image display panel, display direction characteristics (luminance distribution with respect to the observation direction) of the image display panel are important. In particular, it is important that light is correctly emitted from each display area of the image display panel in a predetermined image display direction. A typical defect in a multi-image display panel is a crosstalk defect in an adjacent display area. Here, the crosstalk defect refers to a first display area that emits light in the first image display direction and a first display that emits light in a second image display direction different from the first image display direction. When there is a second display area adjacent to the area, the light emission direction in the first display area is not correctly controlled, and the light emitted from the second display area is changed from the first display area to the light. The emitted light has an effect.
製品出荷前の画像表示パネルについては、通常、目視検査や欠陥検査装置を用いての検査が実施されている。特に、画像表示パネルの表示方向特性に関する欠陥検査を行う装置としては、例えば、図9に示す欠陥検査装置100が知られている(特許文献1)。
An image display panel before product shipment is usually inspected using a visual inspection or a defect inspection apparatus. In particular, for example, a
上記欠陥検査装置100は、集光レンズ101と複数のセンサ素子を2次元的に配置してなる2次元センサアレイ102とから構成される検査ユニット110を備えており、上記集光レンズ101は、被検査パネル103の表示面が前焦点位置に一致するように配置されている。
The
被検査パネルの一の画像表示領域103aから各方向へ射出された光線は、集光レンズ101により平行光線となり、2次元センサアレイ102を構成する各センサ素子に入射する。すなわち、該表示領域103aの表示方向特性は、図示した位置に検査ユニット110があるときに、2次元センサアレイを構成する各受光素子により受光された光の強度として検出される。さらに、検査ユニット110を被検査パネル103に対して相対的に移動し、検査パネル103の全ての表示領域全体を2次元的に走査することにより、検査パネル103の各表示領域に関する表示方向特性が測定される。
Light rays emitted in one direction from one
しかしながら、上記欠陥検出装置100においては、検査ユニット110が図示した位置にあっても、該表示領域103a以外の表示領域から射出された光(例えば、表示領域103bから射出された光)が2次元センサアレイ102に入射することは避けられない。
However, in the
そこで、第1のレンズ201と、ピンホール202と、第2のレンズ203と、複数のセンサ素子を2次元的に配置してなる2次元センサアレイ204とを備える図10に示す欠陥検査装置200が提案されている(特許文献1)。
Therefore, the
上記構成によれば、検査ユニット210が図示した位置にあるとき、表示領域103a以外の表示領域から射出された光線はピンホール202を通過することができないため、所定の表示領域(図示した配置では、表示領域103a)に関する表示方向特性を検査することが可能になる。
According to the above configuration, when the
また、画像表示パネル表示方向特性に関する欠陥検査を行う別の装置として、図11に示す検査装置300が知られている(特許文献2)。 Further, as another apparatus that performs defect inspection relating to the image display panel display direction characteristics, an inspection apparatus 300 shown in FIG. 11 is known (Patent Document 2).
上記欠陥検査装置300は、集光レンズ301と複数のセンサ素子を2次元的に配置してなる2次元センサアレイ302とを備えており、上記集光レンズ301は、上記2次元センサアレイ302上に被検査パネル103の実像が結像するように配置されている。すなわち、被検査パネル103における一つの表示領域から射出された光は、集光レンズ301により集光され、2次元センサアレイ103を構成する一つの受光素子に入射する。
The defect inspection apparatus 300 includes a
上記検査装置300では、上記集光レンズ301と上記2次元センサアレイ302とからなる検査ユニット310を、被検査パネル103に対して相対的に移動することにより、各表示領域に対する表示方向特性が測定される。
しかしながら、上述のような複数画像表示パネルに対しては、複数の角度から該複数画像表示パネルを観察する必要があり、目視検査で不良状態を定量化することは困難で、検査精度が安定しないといった問題がある。 However, for the multi-image display panel as described above, it is necessary to observe the multi-image display panel from a plurality of angles, and it is difficult to quantify the defective state by visual inspection, and the inspection accuracy is not stable. There is a problem.
また、上述した従来の欠陥検査装置は、特別な画像表示方向を有さない画像表示パネルにおける輝度の角度分布を評価することを目的とするものであり、該欠陥検査装置を複数画像表示パネルに適用するにあたっては、クロストーク欠陥を検出することが困難である。さらには、検査速度が遅い、あるいは、検査精度が低いという問題があった。 The above-described conventional defect inspection apparatus is intended to evaluate the angular distribution of luminance in an image display panel that does not have a special image display direction. The defect inspection apparatus can be used as a multi-image display panel. In application, it is difficult to detect a crosstalk defect. Furthermore, there is a problem that the inspection speed is slow or the inspection accuracy is low.
上記問題に関して、さらに詳しく説明すれば、以下の通りである。 The above problem will be described in more detail as follows.
特許文献1の欠陥検査装置200を用いて画像表示パネルを検査する場合、ある一つの表示領域から各方向に射出された光を同時に観察することが可能である。しかしながら、上記欠陥検出装置200においては、表示方向特性の検査が表示領域毎になされ、隣接する表示領域の影響は除去されている。このため、複数画像表示パネルに対しては、本来他の表示方向に光を射出するべき他の表示領域から射出された光による影響、すなわちクロストークの影響を直接測定することはできなかった。
When inspecting an image display panel using the
また、画像表示パネルの精密な検査を行うには、検査単位となる表示領域数を該画像表示パネルの画素数と同程度に設定する必要があるが、近年画像表示パネルの画素数は増加傾向にあり、画像表示パネルの全表示領域を検査するにあたって2次元的な走査を必要とする上記検査装置では、十分な検査速度が得られないという問題がある。 In addition, in order to perform a precise inspection of an image display panel, the number of display areas serving as an inspection unit needs to be set to the same level as the number of pixels of the image display panel. In the inspection apparatus that requires two-dimensional scanning when inspecting the entire display area of the image display panel, there is a problem that a sufficient inspection speed cannot be obtained.
上記検査速度の問題に鑑みて、欠陥検査装置200において、複数の検査ユニット210を1次元、あるいは、2次元的に配置することにより、検査の高速化を図ることも可能である。しかしながら、複数の検査ユニット210を備える構成は、欠陥検査装置のコスト高騰という新たな問題を招来する。
In view of the above inspection speed problem, in the
欠陥検査装置300を用いて画像表示パネルを検査する場合、該画像表示パネルを構成する全表示領域を同時に観察することが可能である。しかしながら、複数画像表示パネルに対して欠陥検出装置300を用い、複数画像表示パネルの画像表示方向に対する光の射出状態を検査する場合、該複数画像表示パネルの画像表示方向毎に、該表示方向から該画像表示パネルを見込む位置へ検査ユニット310を適宜移動し、各画像表示方向に対する光の射出状態を検査する必要が生じる。
When inspecting an image display panel using the defect inspection apparatus 300, it is possible to simultaneously observe all display areas constituting the image display panel. However, when the defect detection apparatus 300 is used for a multi-image display panel and the light emission state with respect to the image display direction of the multi-image display panel is inspected, the display direction is changed for each image display direction of the multi-image display panel. It is necessary to appropriately move the
このため、欠陥検査装置300を用いて、複数画像表示パネルにより各表示方向に表示される画像を同時に撮像し、これらの比較に基づき該複数画像表示パネルの欠陥を検出することは困難であった。 For this reason, it has been difficult to simultaneously detect images displayed in the respective display directions by the multi-image display panel using the defect inspection apparatus 300 and detect defects in the multi-image display panel based on the comparison of these images. .
欠陥検査装置300においては、センサアレイ302が被検査パネルの一表示領域を見込む角度が一定になるよう、検査ユニット310を移動することも可能である。しかしながら、この場合も被検査パネルの表示領域毎に、表示領域か2次元センサアレイまでの光路長が異なるため、各表示領域にフォーカスを合わせるのが困難であった。
In the defect inspection apparatus 300, the
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は上記複数画像表示パネルの表示方向特性、特に各表示領域における射出方向の制御状態、あるいは、クロストーク欠陥を、高精度かつ高速に評価あるいは検出できる検査装置、および、検査方法を実現することにある。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and its object is to display the display direction characteristics of the above-described multiple image display panel, in particular, the control state of the emission direction in each display region, or the crosstalk defect with high accuracy and high speed. It is to implement an inspection apparatus and an inspection method that can be evaluated or detected.
本発明に係る画像表示パネルの検査方法は、異なる2つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査方法であって、検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得工程と、それぞれの画像表示方向から撮像された画像データの比較に基づいて上記画像表示パネルの欠陥検出を行う欠陥検出工程とを有することを特徴としている。 An inspection method for an image display panel according to the present invention is an inspection method for detecting a defect in an image display panel that displays independent images for two or more different image display directions, and is provided with a display signal for inspection. In the image display panel, the defect detection of the image display panel is performed based on the comparison between the image data acquisition process for acquiring the image data captured from each image display direction and the image data captured from each image display direction. And a defect detection step to be performed.
また、上記検査方法を可能とする、本発明に係る画像表示パネルの検査装置は、異なる2つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査装置であって、上記画像表示パネルを保持するパネル保持部と、上記画像表示パネルに検査用表示信号を与える信号供給部と、検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得部とを備えることを特徴としている。 An inspection apparatus for an image display panel according to the present invention that enables the above-described inspection method is an inspection apparatus that detects a defect in an image display panel that displays independent images for two or more different image display directions. A panel holding unit for holding the image display panel, a signal supply unit for supplying an inspection display signal to the image display panel, and an image display direction for each of the image display panels to which the inspection display signal is applied. And an image data acquisition unit for acquiring image data picked up from.
上記の構成によれば、上記パネル保持部に保持され、上記信号供給部より検査用表示信号を与えられた画像表示パネルに対し、上記画像データ取得部によりそれぞれの画像表示方向から撮像した画像データが取得される。 According to the above configuration, image data captured from each image display direction by the image data acquisition unit with respect to the image display panel held in the panel holding unit and supplied with the display signal for inspection from the signal supply unit. Is acquired.
この画像データでは、例えば、上記画像データの表示領域(撮像された方向に光を出射するように設定されている画素)において輝度の低下が検出されれば、その画素において、設定された画像表示方向に正しく光を射出していないことが判断できる。また、例えば、上記画像データの非表示領域(撮像された方向に光を出射しないように設定されている画素)において輝度の上昇が検出されれば、その画素において、クロストークの要因となる漏れ光が発生していることが判断できる。 In this image data, for example, if a decrease in luminance is detected in the display area of the image data (pixels set to emit light in the imaged direction), the image display set in that pixel is displayed. It can be determined that light is not emitted correctly in the direction. Further, for example, if an increase in luminance is detected in a non-display area of the image data (a pixel set so as not to emit light in the direction in which the image is captured), a leak that causes crosstalk in the pixel. It can be determined that light is generated.
そして、上記画像データでは、データ上の全ての画素において、同一の画像表示方向からの視認状態が反映される。これにより、異なる2つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルに対して、上述のような欠陥検査を、検査のための画像データを特殊な光学系や画像処理機器を用いること無く取得でき、検査装置を低コストに実現できる。さらに、検査のための画像データの取得を最小として、欠陥検査を迅速に行うことができる。 And in the said image data, the visual recognition state from the same image display direction is reflected in all the pixels on data. As a result, the defect inspection as described above is performed on the image display panel displaying independent images in two or more different image display directions, and the image data for the inspection is converted into a special optical system or image processing device. The inspection apparatus can be realized at low cost. Furthermore, it is possible to perform defect inspection quickly while minimizing the acquisition of image data for inspection.
また、上記画像表示パネルの検査方法においては、上記画像データ取得工程で、上記画像表示パネル上の一次元領域の輝度を検出する撮像装置を上記画像表示パネルに対して相対的に移動しながら、該画像表示パネルの全面を撮像することによって上記画像データを取得する構成とすることが好ましい。 Further, in the image display panel inspection method, in the image data acquisition step, while moving an imaging device that detects the luminance of a one-dimensional region on the image display panel relative to the image display panel, It is preferable that the image data is acquired by imaging the entire surface of the image display panel.
上記構成によれば、一度の撮像で上記撮像装置により撮像される上記画像表示パネル上の領域は一次元領域となる。このため、光学歪みやフォーカス変動のない高品質な画像データが得られる。従って、上記高品質な画像データに基づく欠陥判定が可能になり、上記画像表示パネルに対する欠陥検査の精度を向上させることができる。 According to the above configuration, the area on the image display panel that is imaged by the imaging apparatus with one imaging is a one-dimensional area. For this reason, high-quality image data free from optical distortion and focus fluctuation can be obtained. Therefore, defect determination based on the high-quality image data can be performed, and the accuracy of defect inspection for the image display panel can be improved.
尚、上記撮像装置を画像表示パネルに対して相対的に移動するには、検査装置において、撮像装置を移動させても良いし、あるいは、画像表示パネル(を保持するパネル保持部)を移動させても良い。 In order to move the imaging apparatus relative to the image display panel, the imaging apparatus may be moved in the inspection apparatus, or the image display panel (panel holding unit that holds the image display panel) may be moved. May be.
また、上記画像表示パネルの検査方法においては、上記画像データ取得工程で、検査用表示信号として、上記画像表示パネルの全ての画像表示方向に対して同一の画像を表示させる信号を与え、上記欠陥検出工程で、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断する構成とすることが好ましい。 In the image display panel inspection method, in the image data acquisition step, as the inspection display signal, a signal for displaying the same image in all image display directions of the image display panel is provided, and the defect A configuration in which, in the detection step, a difference between corresponding display areas or non-display areas corresponding to each image data is taken, and it is determined that a defect has occurred in a pixel whose difference value is larger than a predetermined reference value. It is preferable to do.
上記の構成によれば、画像表示パネルの全ての画像表示方向に対して同一画像表示を行わせる信号を与え、この画像表示パネルに対してそれぞれの画像表示方向から撮像すれば、得られる画像データでは、高輝度に検出される表示領域と低輝度に検出される非表示領域とが交互に発生する。 According to said structure, the signal which gives the signal which performs the same image display with respect to all the image display directions of an image display panel, and if it images from each image display direction with respect to this image display panel, image data obtained Then, a display area detected with high luminance and a non-display area detected with low luminance alternately occur.
そして、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士が重なるようにしてその差分を取れば、画像データパネルに欠陥が無い時には、パネルの全面でその差分値は概ね0になる。すなわち、あらかじめノイズなどの影響を見込んで基準値を定め、差分値がこの値より大きくなる画素があれば、その画素には欠陥が発生していると判断できる。このように画像データの差分を取ることにより、画像表示方向がそれぞれ異なる複数の画像データに対して同時に欠陥検出が行え、検査の迅速化を図ることができる。 Then, if the difference is obtained so that the corresponding display areas or non-display areas corresponding to the respective image data overlap each other, the difference value is substantially 0 on the entire surface of the panel when there is no defect in the image data panel. That is, if a reference value is determined in advance in consideration of the influence of noise or the like, and there is a pixel whose difference value is larger than this value, it can be determined that the pixel has a defect. By taking the difference between the image data in this way, defect detection can be performed simultaneously on a plurality of image data having different image display directions, and the inspection can be speeded up.
また、画像表示パネルには、全ての画像表示方向に対して同一画像表示を行わせるため、検査装置において、それぞれの画像表示方向に対応する複数の画像データ取得部を備え、それぞれの画像表示方向に対応する画像データを同時に取得するようにすれば、画像データ取得工程においても処理の迅速化を図ることができる。 In addition, the image display panel includes a plurality of image data acquisition units corresponding to the respective image display directions in the inspection apparatus in order to perform the same image display in all the image display directions. If the image data corresponding to is acquired at the same time, it is possible to speed up the processing even in the image data acquisition step.
また、上記画像表示パネルの検査方法においては、上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、上記画像表示パネルの全ての画像表示方向に対してそれぞれ黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号を与え、上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する構成とすることができる。 In the image display panel inspection method, in the image data acquisition step, an image having a uniform gradation that is not black with respect to all image display directions of the image display panel is displayed as an inspection display signal. In the defect detection step, a pixel having a defect can be determined by comparing the detection value of each pixel with a predetermined threshold for each image data.
上記の構成によれば、画像表示パネルの全ての画像表示方向に対してそれぞれ一様な階調の画像を行わせる信号を与え、この画像表示パネルに対してそれぞれの画像表示方向から撮像すれば、得られる画像データでは、高輝度に検出される表示領域と低輝度に検出される非表示領域とが交互に発生する。 According to the above configuration, if a signal for performing a uniform gradation image is given to all the image display directions of the image display panel, and the image display panel is imaged from each image display direction. In the obtained image data, a display area detected with high luminance and a non-display area detected with low luminance alternately occur.
そして、それぞれの画像データにおける表示領域を特定の閾値と比較し、表示領域の画素において上記閾値より輝度の低い画素が検出されれば、その画素においては、設定された画像表示方向に正しく光を射出していないことが判断できる。また、それぞれの画像データにおける非表示領域を特定の閾値と比較し、非表示領域の画素において上記閾値より輝度の高い画素が検出されれば、その画素においては、クロストークの要因となる漏れ光が発生していることが判断できる。 Then, the display area in each image data is compared with a specific threshold value, and if a pixel having a luminance lower than the threshold value is detected in the pixel in the display area, the pixel correctly emits light in the set image display direction. It can be determined that no injection has occurred. Further, the non-display area in each image data is compared with a specific threshold value, and if a pixel having a luminance higher than the threshold value is detected in a pixel in the non-display area, leak light that causes crosstalk is detected in the pixel. Can be determined.
上述の欠陥方法では、画像表示方向の異なるそれぞれの画像データ毎に欠陥判定が行えるため、精度の高い判定が可能となる。 In the above-described defect method, defect determination can be performed for each image data having different image display directions, so that determination with high accuracy is possible.
また、上記画像表示パネルの検査方法においては、上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与え、上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断する構成とすることができる。 In the image display panel inspection method, in the image data acquisition step, as a display signal for inspection, pixels in the display area are displayed with a non-black uniform gradation image, and pixels in the non-display area are displayed. In the defect detection step, a difference between corresponding display areas or non-display areas of each image data is taken, and the difference value is larger than a predetermined reference value. On the other hand, it can be set as the structure which judges that the defect has generate | occur | produced.
あるいは、上記画像表示パネルの検査方法においては、上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与え、上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する構成とすることができる。 Alternatively, in the inspection method for the image display panel, in the image data acquisition step, the pixels in the display area are caused to perform image display with a non-black uniform gradation as the display signal for inspection, and the pixels in the non-display area Is provided with a signal for performing black display, and in the defect detection step, for each image data, a detection value of each pixel is compared with a predetermined threshold to determine a pixel in which a defect has occurred. It can be.
上記の構成によれば、検査対象とする画像表示方向の画像データに対し、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる。このため、検査対象外となる画像表示方向へ射出されるべき光の影響を排除した上で、検査対象の画像表示方向へ射出される光の射出方向の制御状態だけを高精度に評価することが可能になる。 According to the above configuration, the image data in the image display direction to be inspected is displayed with a non-black uniform gradation image display on the pixels in the display area and black display on the pixels in the non-display area. Let it be done. For this reason, only the control state of the emission direction of the light emitted in the image display direction to be inspected is evaluated with high accuracy after eliminating the influence of the light to be emitted in the image display direction that is not the inspection target. Is possible.
また、上記画像データ取得工程では、検査用表示信号として、表示領域の画素には黒色表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせる信号を与え、上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する構成とすることができる。 In the image data acquisition step, as a display signal for inspection, a signal for causing the pixels in the display area to perform black display and for the pixels in the non-display area to perform image display with a uniform gradation that is not black is given. In the defect detection step, a pixel in which a defect is generated can be determined by comparing the detection value of each pixel with a predetermined threshold for each image data.
上記の構成によれば、検査対象とする画像表示方向の画像データに対し、表示領域の画素には黒色表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせる。このため、検査対象となる画像表示方向へ射出されるべき光の影響を排除した上で、それとは異なる画像表示方向へ射出されるべき光が、検査対象となる表示方向に表示される画像に与える影響を、高精度に評価することが可能になる。 According to the above configuration, for the image data in the image display direction to be inspected, the pixels in the display area are displayed in black, and the pixels in the non-display area are displayed with a non-black uniform gradation image. Let it be done. For this reason, after eliminating the influence of the light to be emitted in the image display direction to be inspected, the light to be emitted in a different image display direction is displayed on the image displayed in the display direction to be inspected. It is possible to evaluate the influence on the object with high accuracy.
なお、上記画像表示パネルの検査装置においては、コンピュータを制御手段として用い、該制御手段により上記パネル保持部および上記画像データ取得部を制御することにより上記画像データを取得する構成としても良い。この場合、コンピュータを制御手段として機能させるためのプログラム、および、それを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も本発明の範疇に含まれる。 In the image display panel inspection apparatus, a computer may be used as a control unit, and the control unit may control the panel holding unit and the image data acquisition unit to acquire the image data. In this case, a program for causing a computer to function as control means and a computer-readable recording medium on which the program is recorded are also included in the scope of the present invention.
また、上記画像表示パネルの検査装置においては、上記欠陥検出部をコンピュータにより実現しても良い。この場合、コンピュータを上記欠陥検出部として機能させるためのプログラム、および、それを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に含まれる。 In the image display panel inspection apparatus, the defect detection unit may be realized by a computer. In this case, a program for causing a computer to function as the defect detection unit and a computer-readable recording medium on which the program is recorded are also included in the scope of the present invention.
本発明に係る画像表示パネルの検査方法は、以上のように、異なる2つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査方法であって、検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得工程と、それぞれの画像表示方向から撮像された画像データの比較に基づいて上記画像表示パネルの欠陥検出を行う欠陥検出工程とを有する構成である。 As described above, an inspection method for an image display panel according to the present invention is an inspection method for detecting defects in an image display panel that displays independent images in two or more different image display directions. For the image display panel to which the display signal is given, the above image display is based on the comparison of the image data acquisition process for acquiring the image data captured from each image display direction and the image data captured from each image display direction. And a defect detection step for detecting a defect in the panel.
また、上記検査方法を可能とする、本発明に係る画像表示パネルの検査装置は、異なる2つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルの欠陥を検出する検査装置であって、上記画像表示パネルを保持するパネル保持部と、上記画像表示パネルに検査用表示信号を与える信号供給部と、検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得部とを備える構成である。 An inspection apparatus for an image display panel according to the present invention that enables the above-described inspection method is an inspection apparatus that detects a defect in an image display panel that displays independent images for two or more different image display directions. A panel holding unit for holding the image display panel, a signal supply unit for supplying an inspection display signal to the image display panel, and an image display direction for each of the image display panels to which the inspection display signal is applied. And an image data acquisition unit that acquires image data picked up from.
それゆえ、上記画像データでは、データ上の全ての画素において、同一の画像表示方向からの視認状態が反映される。これにより、異なる2つの以上の画像表示方向に対して独立な画像を表示する画像表示パネルに対して、検査のための画像データを特殊な光学系や画像処理機器を用いること無く取得でき、検査装置を低コストに実現できる。さらに、検査のための画像データの取得を最小として、欠陥検査を迅速に行うことができる。 Therefore, in the image data, the visual recognition state from the same image display direction is reflected in all the pixels on the data. As a result, image data for inspection can be acquired without using a special optical system or image processing device for an image display panel that displays independent images for two or more different image display directions. The device can be realized at low cost. Furthermore, it is possible to perform defect inspection quickly while minimizing the acquisition of image data for inspection.
本発明に係る実施の形態について、図1から図8を用いて説明すれば以下の通りである。 Embodiments according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
なお、以下の説明において、本発明に係る検査装置あるいは検査方法により検査を行う被検査パネルは、透過型画像表示パネルであって、視差を持つ2つの画像を観察者の右目方向と左目方向とに対して表示する画像表示パネルとする。しかしながら、上記被検査パネルは説明の便宜上特定したものであって、本発明に係る検査装置あるいは検査方法により検査可能な画像表示パネルは、これに限定されるものでない。 In the following description, the panel to be inspected that is inspected by the inspection apparatus or the inspection method according to the present invention is a transmissive image display panel, and two images having parallax are represented by the observer's right eye direction and left eye direction. An image display panel to be displayed. However, the panel to be inspected is specified for convenience of description, and the image display panel that can be inspected by the inspection apparatus or inspection method according to the present invention is not limited to this.
また、被検査パネルに表示される画像はモノクロ画像とし、図面においては、輝度が高い表示領域を白色で、また輝度が低い表示領域を黒色で、これらの中間の輝度にある表示領域をハッチングにて表現している。しかしながら、上記モノクロ画像は説明の簡単化のために特定したものであって、本発明に係る検査装置あるいは検査方法により検査可能が画像表示パネルはモノクロ画像を表示する画像表示パネルに限られるものではない。 In addition, the image displayed on the panel to be inspected is a monochrome image, and in the drawing, the display area with high luminance is white, the display area with low luminance is black, and the display area at the intermediate luminance is hatched. Is expressed. However, the monochrome image is specified for simplification of description, and the image display panel can be inspected by the inspection apparatus or the inspection method according to the present invention, but the image display panel is not limited to the image display panel displaying the monochrome image. Absent.
まず、図1を用いて本実施の形態に係る検査装置の構成について説明を行う。 First, the configuration of the inspection apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
図1に示した通り、欠陥検査装置1は、検査ユニット10、パネル保持ステージ11、点灯回路12、コンタクト部13、透過照明14、周辺機器制御部15、画像処理装置16、および、出力部17を備えており、被検査パネル2に対して検査を行うものである。
As shown in FIG. 1, the defect inspection apparatus 1 includes an
検査ユニット10は2つのラインセンサカメラ10aと10bとを備える。ラインセンサカメラ10aおよびラインセンサカメラ10bは、撮像素子(例えば、CCD(Charge-Coupled Device)素子)を一次元形状(列状)に配列してなる撮像手段であり、被検査パネル2上の一次元領域を撮像することが可能である。ラインセンサカメラ10a、あるいは、ラインセンサカメラ10bが撮像する一次元領域は、被検査パネル2の画像表示特性、あるいは、必要な検査項目に合わせて適宜決定することが可能である。すなわち、上記一次元領域は、一画素列であっても良いし、いくつかの隣接する画素列からなる領域でも良い。あるいは逆に、上記ラインセンサカメラは、一画素列を複数の一次元領域として分解できる分解能を有しても良い。
The
本実施の形態においては、撮像装置として上記ラインセンサカメラを用いる構成に関して説明するが、本発明に係る検査装置は必ずしもこれに限定されるものではない。すなわち、本発明に係る検査装置に備えられる撮像装置は、被検査パネル上の一次元領域を撮像し、上記一次元領域の輝度を検出できる手段であれば良い。例えば、上記撮像装置は、1つ以上の撮像素子を備え、撮像対象である一次元領域を走査することにより、上記一次元領域の輝度を検出する撮像装置であっても良い。また、撮像対象である一次元領域を複数回撮像し、撮像結果を積分あるいは平均することにより、該一次元領域上の各表示領域の輝度を検出する、いわゆるTDI(時間遅延差分方式)センサであっても良い。 In the present embodiment, the configuration using the above-described line sensor camera as an imaging device will be described, but the inspection device according to the present invention is not necessarily limited to this. That is, the imaging apparatus provided in the inspection apparatus according to the present invention may be any means that can image a one-dimensional area on the panel to be inspected and detect the luminance of the one-dimensional area. For example, the imaging apparatus may be an imaging apparatus that includes one or more imaging elements and detects the luminance of the one-dimensional area by scanning the one-dimensional area that is an imaging target. In addition, a so-called TDI (time delay difference method) sensor that detects the luminance of each display area on the one-dimensional area by imaging the one-dimensional area to be imaged a plurality of times and integrating or averaging the imaging results. There may be.
検査ユニット10は、ラインセンサカメラ10aとラインセンサカメラ10bとが、被検査パネル2上の共通の一次元領域を、2つの画像表示方向から撮像できる位置に配置されるよう構成されている。あるいは、検査ユニット10は、ラインセンサカメラ10aおよびラインセンサカメラ10bの位置および角度を調整する機構を備え、被検査パネル2に応じて、ラインセンサカメラ10aとラインセンサカメラ10bとは、被検査パネル2上の共通の一次元領域を、2つの画像表示方向から撮像できる位置に調整される。
The
被検査パネル2はパネル保持ステージ11により保持される。パネル保持ステージ11は、被検査パネル2を、上記ラインセンサカメラにより撮像される一次元領域と直交する方向(図示したx軸方向)に、移動する機構を備えている。このため、ラインセンサカメラ10aおよびラインセンサカメラ10bにより撮像される一次元領域を、被検査パネル2上にて順次移動することが可能である。すなわち、上記ラインセンサカメラにより被検査パネル全体を走査することが可能である。
The panel to be inspected 2 is held by a
パネル保持ステージ11に保持された被検査パネル2は、コンタクト部13により点灯回路と接続される。すなわち、被検査パネル2には、コンタクト部13を介して点灯回路12により駆動信号が与えられる。
The panel to be inspected 2 held by the
なお、被検査パネル2にあらかじめソースドライバ、ゲートドライバ等の駆動手段が備えられている場合、被検査パネル2と点灯回路12とをFPC(Flexible Print Circuit)やコネクタなどで接続する構成とすることも可能である。
If the panel to be inspected 2 is provided with driving means such as a source driver and a gate driver in advance, the panel to be inspected 2 and the
透過照明14は、被検査パネル2が透過型画像表示パネルであって透過光源を備えない半製品である場合、上記ラインセンサカメラ10aおよび10bにより撮像される一次元領域に対する透過型光源として用いる。なお、被検査パネル2が透過光源を備える画像表示パネルであれば、欠陥検査装置1は透過照明14を具備しない構成とすることも可能である。
When the inspected
被検査パネル2は搬送装置あるいは人手によりパネル保持ステージ11に設置される。その後、周辺機器制御部15は、透過照明14を点灯し、点灯回路12に被検査パネル2への駆動信号の供給を開始させる。また、同時に、周辺機器制御部15はパネル保持ステージ11に被検査パネル2の移動を開始させる。これにより、被検査パネル2の全表示面が、一次元領域毎にラインセンサカメラ10aおよびラインセンサカメラ10bにより順次撮像される。ラインセンサカメラ10aおよびラインセンサカメラ10bにより撮像された画像信号は、画像処理装置16に送られる。
The
次に、被検査パネルである、視差を持つ複数(ここでは2つ)の画像を観察者の右目方向と左目方向とに対して表示する透過型画像表示パネルに関して図2を用いて説明する。さらに、上記被検査パネル2に即して、欠陥検査装置1に備えられた検査ユニット10におけるラインセンサカメラ10aとラインセンサカメラ10bとの配置、および、上記2つのラインセンサカメラにより同時に撮像される一次元領域に関して具体的に説明する。
Next, a transmission-type image display panel that displays a plurality (two in this case) of images having parallax in the right eye direction and the left eye direction of the observer, which is a panel to be inspected, will be described with reference to FIG. Further, in line with the
図2(a)は被検査パネル2の実際の画像表示状態を示すものであり、仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を表している。すなわち、図2(e)に示される観察者の左目方向に表示される画像(文字‘L’)と、図2(f)に示される観察者の右目方向に表示される画像(文字‘X’)を同時に表現したものである。
FIG. 2A shows an actual image display state of the
図2(a)は視差がない状態の仮想的な見え方を示すものであり、実際には同図(b)に示されように、視差生成デバイス21を、マトリクス型表示デバイス22に付加することにより左側観察者に提示する画像と、右側観察者に提示する画像を分離している。図2(b)は図2(a)のA−A’断面を示すものである。マトリクス型表示デバイス22の水平方向を行、垂直方向を列、表示の最小単位を画素とした時、視差生成デバイス21は、奇数列の画素を左目方向のみに表示するよう、かつ、偶数列の画素を右目方向のみに表示するよう、各画素における光の射出方向を制御している。マトリクス型表示デバイスの各画素における光の射出方向を、視差生成デバイスを用い画素列毎に右目方向と左目方向とに制限することにより、左右の観察者に異なる画像データを同時に提示することが可能になっている。すなわち、図2(a)に示した画像は、左目方向の観察者には図2(e)のように見え、右目方向の観察者には図2(f)のように見える。
FIG. 2A shows a virtual appearance in the absence of parallax. Actually, as shown in FIG. 2B, the
上述したように、ラインセンサカメラ10aおよびラインセンサカメラ10bは、被検査パネル2の視角特性に応じて配置を調整することが可能である。より具体的には、ラインセンサカメラ10aおよびラインセンサカメラ10bは、上記被検査パネル2の特性に即して、隣接する2つの画素列を左目方向と右目方向から同時に撮像するよう調整される。なお、左右のラインセンサカメラ10aおよび10bにより同時に撮像される隣接する2つの画素列は、画像表示パネルに表示される画像の同一の一次元領域に対応するものとする。
As described above, the arrangement of the
被検査パネル2を移動させながら、上記のように配置を調整されたラインセンサカメラ10aにより撮像された画像は、図2(c)に示すように、輝度の低い画素列が1画素列ごとに現れた画像となる。また、同様に、上記のように配置を調整されたラインセンサカメラ10bにより撮像された画像は図2(d)に示すように、輝度の低い画素列が一画素列おきに現れた画像となる。
As shown in FIG. 2 (c), the image captured by the
図2(c)に示した左目方向に表示される画像において、輝度の高い画素列(以下、画像表示画素列(表示領域)と呼ぶ)と輝度の低い画素列(以下、画像非表示画素列(非表示領域)と呼ぶ)が交互に現れている。これは、奇数画素列は左目方向に光を射出し、偶数画素列は右目方向に光を射出するよう、各画素列における光の射出方向が視差生成デバイスにより制御されているため、奇数画素列から射出された光だけがラインセンサカメラ10aに入射し、偶数画素列から射出された光はラインセンサカメラ10aに入射しないためである。図2(d)において、輝度の高い画素列と輝度の低い画素列が交互に現れるのも同様の理由による。
In the image displayed in the left-eye direction shown in FIG. 2C, a pixel column with high luminance (hereinafter referred to as an image display pixel column (display region)) and a pixel column with low luminance (hereinafter, image non-display pixel column). (Referred to as non-display areas) appear alternately. This is because the light emission direction in each pixel column is controlled by the parallax generation device so that the odd pixel columns emit light in the left eye direction and the even pixel columns emit light in the right eye direction. This is because only the light emitted from the laser beam enters the
被検査パネルを目視した場合、被検査パネルの表示解像度は十分に高精細であるため、図2(c)および図2(d)に示されたような一列おきに現れる輝度の低い画素列は視認できず、図2(e)あるいは図2(f)に示すように、文字‘L’あるいは文字‘X’の画像が観察されることになる。 When the panel to be inspected is viewed, the display resolution of the panel to be inspected is sufficiently high, so that the pixel columns with low luminance appearing every other column as shown in FIGS. 2 (c) and 2 (d) As shown in FIG. 2E or FIG. 2F, the image of the character “L” or the character “X” is observed.
次に、上記ラインセンサカメラ10aおよびラインセンサカメラ10bにより撮像された画像に基づいて、被検査パネル2の欠陥を検出する基本的な方法に関して、図3、および、図4を用いて説明する。はじめに図3を用いて、被検査パネル2に欠陥が存在しない場合に関する説明を行う。
Next, a basic method for detecting a defect in the
図3(a)は、左目方向と右目方向とに同一の白色画像を表示した被検査パネルを、仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の画像を示している。すなわち、被検査パネル2は左目方向と右目方向とに表示する画像信号として一様な白色信号を点灯回路12により与えられ、奇数画素列は左目方向へ、偶数画素列は右目方向へ、正しく光を射出しているものとする。尚、説明の簡略化のため、以下の説明においては、奇数画素列をL0〜L7の8列、偶数画素列をR0〜R7の8列とし、計16画素列にて表示画像が形成されるものとしている。
FIG. 3A shows an image when the panel to be inspected displaying the same white image in the left-eye direction and the right-eye direction is observed from the front in a state where there is virtually no parallax. That is, the panel to be inspected 2 is given a uniform white signal as an image signal to be displayed in the left-eye direction and the right-eye direction by the
図3(b)は上記欠陥のない被検査パネル2を、ラインセンサカメラ10aにより左目方向から撮像した画像であり、図3(c)は同被検査パネル2を、ラインセンサカメラ10bにより右目方向から撮像した画像である。
FIG. 3B shows an image obtained by imaging the
ここで、左側ラインセンサ10aにより撮像された画像(図3(b))は、パネル保持ステージ11により被検査パネル2を2つのラインセンサカメラが同時に撮像する画素列とは直交する方向に移動させながら、L0、R0、L1、R1、・・・、L7の各画素列を順次撮像することにより得られた画像である。また、右側ラインセンサカメラ10bにより撮像された画像(図3(c))は、同様に、R0、L1、R1、・・・、L7、R7の各画素列を順次撮像することにより得られた画像である。
Here, the image captured by the
ラインセンサカメラにより撮像された図3(b)および図3(c)に示した2つの画像は、画像処理装置16に送られる。画像処理装置16は、各表示方向から撮像された両画像の差分を計算する。上記被検査パネルに即して言えば、同一の表示領域に対応する画素列について、該画素列を構成する各画素における輝度の差が計算される。
The two images shown in FIG. 3B and FIG. 3C captured by the line sensor camera are sent to the
図3(d)は、図3(b)と図3(c)とに示した画像に関して、得られた輝度の差を濃淡値で表した差分画像である。左目方向と右目方向とに同一の白色画像を表示しており、かつ、被検査パネル2が欠陥を含まない場合、左目方向のラインセンサカメラ10aと右目方向のラインセンサカメラ10bとにより撮像された画像は同一であり、図3(d)に示すように輝度の差は全て0になる。
FIG. 3D is a difference image in which the brightness difference obtained with respect to the images shown in FIG. 3B and FIG. When the same white image is displayed in the left-eye direction and the right-eye direction and the
なお、各表示方向から撮像された画像についての輝度の差分計算は、上述したようにラインセンサカメラにより撮像される一次元表示領域毎に行われても良いし、あるいは、複数の一次元表示領域に関する画像信号を任意ライン分記録し、記憶された任意ライン分の画像について一括して行っても良い。 Note that the luminance difference calculation for the images captured from each display direction may be performed for each one-dimensional display area captured by the line sensor camera as described above, or a plurality of one-dimensional display areas. The image signal for the arbitrary line may be recorded, and the stored image for the arbitrary line may be collectively recorded.
各表示方向から撮像された画像が同一のとき、すなわち各表示方向から撮像された画像に関して輝度の差が検出されないとき、出力部17より被検査パネルに欠陥が存在しないという判定結果が出力される。
When the images picked up from the respective display directions are the same, that is, when no difference in luminance is detected with respect to the images picked up from the respective display directions, the
次に、被検査パネル2が点欠陥を含む場合、該欠陥を検出する方法に関して図4を用いて説明する。ここでは特に、視差生成デバイス21の部分的不良により、一部の画素における光の射出方向が所定の画像表示方向に正しく制御されず、該画素を所定の画像表示方向から観察した際、該画素の輝度が所定の値に達しない欠陥に関して説明する。このように、白色画像を表示した際、画素の電気的異常や光学的異常により、該画素が正しく白色画像を表示しない欠陥を黒点欠陥と呼ぶ。
Next, when the panel to be inspected 2 includes a point defect, a method for detecting the defect will be described with reference to FIG. Here, in particular, due to a partial failure of the
被検査パネル2に、右目方向と左目方向とに表示する同一の画像信号として、一様な白色信号を与える。図4(a)は、上記画像信号を与えられた被検査パネル2を仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を示している。被検査パネル2においては、後述するように一部の画素における黒点欠陥が存在しているが、図4(a)は観察方向を定めない仮想的な図であるため、該図において欠陥画素は示されていない。
A uniform white signal is given to the
上記黒点欠陥を有する被検査パネル2をラインセンサカメラ10aおよびラインセンサカメラ10bにより撮像した画像を、図4(b)および図4(c)に示す。この時、視差生成デバイス21の部分的不良により、ラインセンサカメラ10aにより撮像された画像では、画素列L1の画素KL1において輝度低下が見られものとする。また、同じく視差生成デバイス21の部分的不良により、ラインセンサカメラ10bにより撮像された画像では、画素列R1およびR5の画素KR1および画素KR5において輝度低下が見られるものとする。
Images taken by the
図4(b)に示したラインセンサカメラ10aにより撮像された画像と、図4(c)に示したラインセンサカメラ10bにより撮像された画像とを比較し、各画素に対して輝度の差分を取ることにより図4(d)に示された差分画像が得られる。ここで、P1、P2、・・・、P7は画像表示画素列間の差分に対応し、Q1、Q2、・・・、Q7は画像非表示画素列間の差分に対応する。上記差分画像中、予め定めた基準値より大きい輝度の差を有する画素として黒点欠陥KR5が検出される。なお、上記予め定めた基準値とは、ノイズなどの影響を考慮して許容誤差として定めた値であり、必要な検査精度に応じて任意に設定することが可能である。
The image captured by the
なお、上記説明では、非検査パネル2において右目方向と左目方向とに表示する画像信号として一様な白色信号を与えたが、差分画像に基づく欠陥画素検出のために非検査パネル2に与えられる画像信号はこれに限定されるものではない。すなわち、上記差分画像に基づく検査のみを行う場合、右目方向に与えられる画像信号と左目方向に与えられる画像信号が同一であれば、その画像信号は任意のものであってかまわない。
In the above description, a uniform white signal is given as an image signal to be displayed in the right eye direction and the left eye direction in the
図4(d)に示した差分画像からは、同一の表示領域に対応するKL1とKR1における欠陥は検出されない。すなわち、同一表示領域に対応し、異なる表示方向に画像を表示する画素に同様の欠陥(同等の濃淡値となる黒点欠陥)が存在する場合、上記差分画像による欠陥検出だけでは、上記のような欠陥が検出できない。 From the difference image shown in FIG. 4D, no defect in KL 1 and KR 1 corresponding to the same display area is detected. That is, when a similar defect (a black spot defect with an equivalent gray value) exists in pixels that correspond to the same display area and display an image in different display directions, the above-described defect detection alone using the difference image A defect cannot be detected.
上記問題を防ぐためには、各画像表示方向から撮像された画像毎に、閾値検査を行えばよい。具体的には、ラインセンサカメラにより撮像される画素列毎に輝度のプロフィールを求め、該画素列の中から輝度が該閾値を下回る画素を輝度低下部位として検出すればよい。 In order to prevent the above problem, a threshold test may be performed for each image captured from each image display direction. Specifically, a luminance profile may be obtained for each pixel column imaged by the line sensor camera, and a pixel whose luminance is lower than the threshold value may be detected as a luminance reduction portion.
図4(e)に、図4(b)において示した画素列L1に関する輝度のプロフィールを示した。図示した閾値Th0を下回る輝度を有する画素として、KL1における黒点欠陥が検出される。また図4(f)には、図4(c)に示した画素列R1とR5とに対する輝度のプロフィールを示した。上記プロフィールによれば、図示した閾値Th0を下回る輝度を有する画素として、KR1とKR5とにおける黒点欠陥が検出することが可能である。 FIG. 4E shows a luminance profile related to the pixel column L1 shown in FIG. A black spot defect in KL1 is detected as a pixel having a luminance lower than the illustrated threshold value Th0. FIG. 4F shows a luminance profile for the pixel columns R1 and R5 shown in FIG. According to the above profile, it is possible to detect a black spot defect in KR 1 and KR 5 as a pixel having a luminance lower than the illustrated threshold Th0.
上述した差分画像に基づき欠陥として検出された画素と、上述した画素列毎のプロフィールにより欠陥として検出された画素に対応する画素とに高い画素値を割り当てることにより、図4(g)に示すように、被検査パネル2に存在する黒点欠陥の情報をもれなく有する検出結果画像データが得られる。
By assigning high pixel values to the pixels detected as defects based on the above-described difference image and the pixels corresponding to the pixels detected as defects based on the above-described profile for each pixel column, as shown in FIG. In addition, detection result image data having all the information of black spot defects existing in the
なお、上述した説明では、視差生成デバイス21の部分的不良により一部の画素において光が所定の画像表示方向に射出されず、該画像表示方向に対する上記欠陥画素の輝度低下が生じる場合の閾値処理に関して説明した。しかしながら、視差生成デバイス21の不良により生じる欠陥のみに限らず、液晶層に異物を含むなどして液晶の配向特性を乱すような場合や、TFT素子自体の電気的不良によって、欠陥画素(あるいはそれに隣接する画素)の画像表示方向に対する輝度が所定の輝度より上昇する欠陥も存在する。このような欠陥に対しては、上記閾値処理において上限輝度を設定し、これを上回る画素を輝度上昇部位として検出することで、欠陥を検出することが可能である。また、上記輝度上昇部位を検出するには、各ラインセンサカメラ画像の画像非表示画素列に対して上記閾値処理が実施される。
In the above description, threshold processing in the case where light is not emitted in a predetermined image display direction in some pixels due to a partial failure of the
また、上記説明では、黒点欠陥の検出を目的とし、被検査パネル2には一様な白色画像信号を与えて行う検査について説明した。このため、図4(e)、(f)における閾値Th0としては一様な値を用いている。しかしながら、上記白色以外の信号を与えて検査を実行することも可能である。例えば、黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号であれば、任意の中間階調をもつ画像信号を用いて、上記検査を実行することが可能である。この場合、被検査パネル2に与えられる駆動信号に応じて適当な閾値を設定し、上記閾値処理をすることが可能である。また、必要に応じて、上述した下限輝度を下回る画素を検出する閾値処理と、上限輝度を上回る画素を検出する閾値処理とを同時に実行することも可能である。
In the above description, for the purpose of detecting black spot defects, the inspection performed by giving a uniform white image signal to the
被検査パネル2に与えられる駆動信号が複雑な画像信号である場合、上述した閾値処理において閾値の設定は困難になる。この場合、上述した差分画像に基づく検査が有効である。 When the drive signal given to the panel to be inspected 2 is a complex image signal, it is difficult to set the threshold value in the above threshold processing. In this case, the inspection based on the above-described difference image is effective.
逆に、上記説明において述べたように、被検査パネル2に一様な画像信号を与えて検査を実行する場合、閾値処理による欠陥検出が有効である。このため、被検査パネル2に与える駆動信号に応じて、閾値処理による検査と差分画像に基づく検査とを適宜組み合わせたり、あるいは、一方の検査のみを実施することも可能である。
On the contrary, as described in the above description, defect detection by threshold processing is effective when a uniform image signal is given to the
また、上記説明では、ラインセンサカメラ10aにより撮像された図4(b)に示す画像と、ラインセンサカメラ10bにより撮像された図4(c)に示す画像との、全画素列に対する差分画像に基づいて行う検査について説明したが、黒点欠陥のみが検査対象であれば、上記二つの画像の画像表示画素列のみに対する差分画像を用いてもよい。しかしながら、全画素列に対する差分画像を生成する検査であれば、後述するクロストーク欠陥の検出も同時に行えるという利点がある。
In the above description, the difference image for all the pixel columns between the image shown in FIG. 4B captured by the
次に、被検査パネル2がクロストーク欠陥を含む場合、該欠陥を検出する方法に関して図5を用いて説明する。ここでクロストーク欠陥とは、例えば、右目方向に光を射出するべき画素において光の射出方向の制御が正しく行われず、左目方向の観察者に対して右目方向に光を射出するべき上記画素から射出された光が観察されてしまう欠陥である。 Next, when the panel to be inspected 2 includes a crosstalk defect, a method for detecting the defect will be described with reference to FIG. Here, the crosstalk defect means, for example, that the light emission direction is not correctly controlled in the pixel that should emit light in the right eye direction, and the light from the pixel that should emit light in the right eye direction to the observer in the left eye direction. This is a defect in which the emitted light is observed.
被検査パネル2に、右目方向と左目方向とに表示する同一の画像信号として、一様な白色信号を与える。図5(a)は、上記画像信号を与えられた被検査パネル2を仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を示している。被検査パネル2においては、後述するように一部の画素におけるクロストーク欠陥が存在しているが、図5(a)は観察方向を定めない仮想的な図であるため、該図において欠陥画素は示されていない。
A uniform white signal is given to the
上記クロストーク欠陥を有する被検査パネル2をラインセンサカメラ10aおよびラインセンサカメラ10bにより撮像した画像を、図5(c)および図5(d)に示す。
Images taken by the
図5(c)において、画素列R0および画素列R5が中間階調で表現されている。これは図5(b)に示すように、本来右目方向に射出方向が制御されるべき画素列R0および画素列R5から射出された光が、左目方向に位置するラインセンサカメラ10aに入射したためである。また、図5(d)において、画素列L1が中間階調で表現されている。これは、本来左目方向に射出方向が制御されるべき画素列L1から射出された光が、右目方向に位置するラインセンサカメラ10bに入射したためである。
In FIG. 5C, the pixel column R0 and the pixel column R5 are represented by intermediate gradations. This is because, as shown in FIG. 5B, the light emitted from the pixel row R0 and the pixel row R5 whose emission direction should be controlled in the right eye direction is incident on the
図5(c)に示したラインセンサカメラ10aにより撮像された画像と、図5(d)に示したラインセンサカメラ10bにより撮像された画像とを比較し、各画素に対して輝度の差分を取ることにより図5(e)に示された差分画像が得られる。ここで、P1、P2、・・・、P7は画像表示画素列間の差分に対応し、Q1、Q2、・・・、Q7は画像非表示画素列間の差分に対応する。上記差分画像中、予め定めた基準値より大きい輝度の差を有する画素列として画素列Q5が検出される。なお、予め定めた基準値とは、ノイズなどの影響を考慮して許容誤差として定めた値であり、必要な検査精度に応じて任意に設定することが可能である。
The image captured by the
なお、上記説明では、非検査パネル2において右目方向と左目方向とに表示する画像信号として一様な白色信号を与えたが、差分画像に基づく欠陥画素検出のために非検査パネル2に与えられる画像信号はこれに限定されるものではない。すなわち、上記差分画像に基づく検査のみを行う場合、右目方向に与えられる画像信号と左目方向に与えられる画像信号が同一であれば、その画像信号は任意のものであってかまわない。
In the above description, a uniform white signal is given as an image signal to be displayed in the right eye direction and the left eye direction in the
同一の表示領域に対応する画素列L0とが画素列R0とおける欠陥は、図5(e)に示した差分画像からは検出されない。すなわち、同一表示領域に対応し、異なる表示方向に画像を表示する画素に同様の欠陥が存在する場合、各画像表示方向から撮像された画像の差分画像による欠陥検出だけでは、上記のような欠陥が検出できない。 A defect in which the pixel row L0 corresponding to the same display area is the pixel row R0 is not detected from the difference image shown in FIG. That is, when there is a similar defect in pixels that correspond to the same display area and display an image in different display directions, the above-described defect can be obtained only by detecting a defect based on a difference image of images captured from each image display direction. Cannot be detected.
上記問題を防ぐためには、各画像表示方向から撮像された画像毎に、閾値検査を行えばよい。具体的には、ラインセンサカメラにより撮像される画素列毎に輝度のプロフィールを求め、予め設定した閾値を上回る画素列をクロストーク欠陥として検出すればよい。 In order to prevent the above problem, a threshold test may be performed for each image captured from each image display direction. Specifically, a luminance profile may be obtained for each pixel column imaged by the line sensor camera, and a pixel column exceeding a preset threshold value may be detected as a crosstalk defect.
図5(f)に、図5(c)において示した画素列R0、画素列R1、および、画素列R5に関する輝度のプロフィールを示した。図5(f)では、図示した閾値Th1を上回る輝度を有する画素として、画素列R0と画素列R5とを構成する全ての画素が検出されている。これにより、画素列R0および画素列R5は、予め設定した閾値を上回る画素列、すなわちクロストーク欠陥を有する画素列として検出される。比較のために示した画素列R1は光の射出方向が正しく制御された画素列であり、従って左目方向に設置されたラインセンサカメラ10aに画素列R1から射出した光は入射しない。このため、ラインセンサカメラ10aにより撮像された図5(c)に示した画像において、画素列R1の輝度は閾値Th1を下回る。
FIG. 5F shows the luminance profiles related to the pixel column R0, the pixel column R1, and the pixel column R5 shown in FIG. In FIG. 5 (f), the as pixels having a brightness above a threshold Th 1 shown, all the pixels constituting the pixel row R0 and the pixel row R5 are detected. Accordingly, the pixel column R0 and the pixel column R5 are detected as pixel columns exceeding a preset threshold value, that is, pixel columns having a crosstalk defect. The pixel row R1 shown for comparison is a pixel row in which the light emission direction is correctly controlled. Therefore, the light emitted from the pixel row R1 does not enter the
また図5(g)には、図5(d)に示した画素列L1とL2とに関する輝度のプロフィールを示した。上記プロフィールによれば、図示した閾値Th1を上回る輝度を有する画素として、L1を構成する全ての画素が検出される。これにより、画素列L1は、予め設定した閾値を上回る画素列、すなわちクロストーク欠陥を有する画素列として検出される。また、比較のために示した画素列L2に関しては、全ての画素における輝度が閾値Th1を下回るため、画素列L2においてクロストーク欠陥は検出されない。 FIG. 5G shows a luminance profile regarding the pixel columns L1 and L2 shown in FIG. According to the above profile, all the pixels constituting L1 are detected as pixels having a luminance exceeding the illustrated threshold value Th1. Thereby, the pixel column L1 is detected as a pixel column exceeding a preset threshold value, that is, a pixel column having a crosstalk defect. Further, regarding the pixel column L2 shown for comparison, since the luminance in all the pixels is lower than the threshold value Th1, no crosstalk defect is detected in the pixel column L2.
上述した差分画像に基づき欠陥として検出された画素と、上述した比較に先立つ閾値処理により欠陥として検出された画素に対応する画素とに高い画素値を割り当てることにより、図5(h)に示す被検査パネル2に存在するクロストーク欠陥の情報をもれなく有する検出結果画像データが得られる。
By assigning a high pixel value to the pixel detected as a defect based on the above-described difference image and the pixel corresponding to the pixel detected as a defect by the threshold processing prior to the above-described comparison, a pixel value shown in FIG. Detection result image data having all the information of the crosstalk defect existing in the
上述の閾値処理は、必要に応じて各ラインセンサカメラ画像データの画像表示画素列に対しても実施可能であり、その場合は、クロストーク欠陥検出と同時に、あらかじめ設定した閾値を下回る画素を輝度低下部位として検出することが可能である。 The threshold processing described above can be performed on the image display pixel column of each line sensor camera image data as necessary. In this case, pixels that fall below the preset threshold value are detected at the same time as the crosstalk defect is detected. It can be detected as a lowered site.
なお、上記説明においては、クロストーク欠陥の検出を目的とし、被検査パネル2には、一様な白色画像信号を与えて検査を行う場合を例示している。このため、閾値Th1としては一様な値を用いている。しかしながら、検査対象に求められる画像表示品質に応じて、被検査パネル2に上記白色以外の駆動信号を与えて検査を実行することも可能である。例えば、黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号であれば、任意の中間階調をもつ画像信号を用いて、上記検査を実行することが可能である。この場合、閾値処理に用いる閾値は、被検査パネル2に与えられる駆動信号に応じて適宜設定すればよい。また、上記閾値は、必要に応じて上限および下限の両方を設定することも可能である。
In the above description, for the purpose of detecting a crosstalk defect, a case where inspection is performed by giving a uniform white image signal to the
被検査パネル2に与えられる駆動信号が複雑な画像信号である場合、閾値設定も複雑になる。この場合、上述した差分画像に基づく検査が有効である。
When the drive signal given to the
逆に、被検査パネル2に一様な画像信号を与えて検査を実行する場合、閾値処理による欠陥検出が有効である。このため、被検査パネル2に与える駆動信号に応じて、閾値処理による検査と差分画像に基づく検査とを適宜組み合わせたり、あるいは、一方の検査のみを実施することも可能である。
On the contrary, when a uniform image signal is given to the
また、上記説明では、ラインセンサカメラ10aにより撮像された図5(c)に示す画像と、ラインセンサカメラ10bにより撮像された図5(d)に示す画像との、全画素列に対する差分画像に基づいて行う検査について説明したが、クロストーク欠陥のみが検査対象であれば、上記二つの画像の画像非表示画素列のみに対する差分画像を用いてもよい。しかしながら、全画素列に対する差分画像を生成する検査であれば、上述した黒点欠陥の検出も同時に行えるという利点がある。
In the above description, the difference image for all the pixel columns between the image shown in FIG. 5C captured by the
以上、被検査パネルが欠陥を有さない場合、黒点欠陥を有する場合、および、クロストーク欠陥を有する場合について、本発明に係る検査装置の働き、および、本発明に係る検査方法の一部を説明した。なお、上記説明では視差生成デバイスの不良に起因する点状の欠陥や線状の欠陥を検出しているが、検出可能な欠陥の発生原因はこれに制限されず、電気的な不良により点状欠陥もしくは線状欠陥となるものの検出も可能である。 As described above, when the panel to be inspected does not have a defect, has a black spot defect, and has a crosstalk defect, the function of the inspection apparatus according to the present invention and a part of the inspection method according to the present invention are described. explained. In the above description, a point-like defect or a line-like defect due to a defect in the parallax generation device is detected. However, the cause of the detectable defect is not limited to this, and the point-like defect is caused by an electric defect. Detection of defects or linear defects is also possible.
次に、被検査パネルにおける上述の各欠陥を検出する一連の検査に関して、図6に示すフローチャートに基づいて説明する。 Next, a series of inspections for detecting the above-described defects in the panel to be inspected will be described based on a flowchart shown in FIG.
はじめに、搬送装置、あるいは、人手により、被検査パネル2をパネル保持ステージ11に保持する。このとき、同時に、点灯回路12と被検査パネル2が、コンタクト部13を介して接続される(第1の工程S1)。
First, the
パネル保持ステージ11に被検査パネル2が設置され、点灯回路12と被検査パネル2とが接続された後、周辺機器制御部15は点灯回路12に制御信号を送り、被検査パネル2への駆動信号の出力を開始させる。これを第2の工程S2とする。
After the panel to be inspected 2 is installed on the
次に、周辺機器制御部15は透過照明14に制御信号を送り、透過光の照射を開始させる。なお、上記透過光の強度は、被検査パネルの透過光源として適切な強度に調整される。また、被検査パネル2自体が光源を有している場合は、該被検査パネル2の光源における発光量を調節する。これを第3の工程S3とする。
Next, the peripheral
次に、周辺機器制御部15は、検査ユニット10に撮像を開始させるための制御信号を送る。上記制御信号に従い検査ユニット10は、ラインセンサカメラ10aにより、被検査パネル2上の一画素列を左目方向から撮像する。これを第4の工程S4とする。同時に、検査ユニット10は、ラインセンサカメラ10bにより、上記画素列に隣接する一画素列を右目方向から撮像する。これを第5の工程S5とする。
Next, the peripheral
次に、ラインセンサカメラ10aにより撮像されたが画素列が、画像表示画素列か画像非表示が画素列か、が判定される。すなわち、ラインセンサカメラ10aにより左目方向から撮像された画素列が、本来左目方向に光を射出するべき画素列(例えば、図3に示した画素列L0、L1、・・・、L7のうちの何れか一画素列)であるか否かが判定される。これを第6の工程S6とする。同時に、ラインセンサカメラ10bにより撮像されたが画素列が、画像表示画素列か画像非表示が画素列か、が判定される。すなわち、ラインセンサカメラ10bにより右目方向から撮像された画素列が、本来右目方向に光を射出するべき画素列(例えば、図3に示した画素列R0、R1、・・・、R7のうちの何れか一画素列)であるか否かが判定される。これを第7の工程S7とする。
Next, it is determined whether the pixel row captured by the
なお、ラインセンサカメラ10aとラインセンサカメラ10bとは、同一の一次元表示領域、すなわち隣接する画素列を撮像するよう配置されているため、上記判定の結果は一致する。また、上記判定は、画像処理装置16において、パネル保持ステージ11から出力される被検査パネル設置位置信号に基づいて下される。
Note that the
第6の工程S6と第7の工程S7とにおいて、ラインセンサカメラ10aとラインセンサカメラ10bとが、それぞれラインセンサカメラが配置された方向に光が射出するべき表示部の画素列を撮像していると判定された場合(S6およびS7でYESの場合)、第8の工程S8と第9の工程S9とにおいて、画像処理装置16によって、上記ラインセンサカメラにより撮像された2つの画像が比較され、同一表示領域に対応する画素間の輝度差が計算され、第1の画像データ(差分画像)が生成される。
In the sixth step S6 and the seventh step S7, the
第8の工程S8と第9の工程S9とに引き続き、画像処理装置16によって、上記ラインセンサカメラにより撮像された画像に対して閾値処理が行われる。これを第10の工程S10および第11の工程S11とする。例えば、被検査パネルに一様な白色信号が与えられる場合であれば、閾値を下回る輝度を有する画素が輝度低下部位として検出される。上記検出結果に基づき、欠陥画素に高い輝度を割り当てた第2の画像データが生成される。
Subsequent to the eighth step S8 and the ninth step S9, the
上記S8からS11までの一連の処理は、図4を用いて説明した検査方法に対応し、上記S8からS11までの処理により、被検査パネル2における黒点欠陥が検出される。
The series of processing from S8 to S11 corresponds to the inspection method described with reference to FIG. 4, and black spot defects in the
第6の工程S6と第7の工程S7とにおいて、ラインセンサカメラ10aとラインセンサカメラ10bとが、それぞれラインセンサカメラが配置された方向に光が射出するべきでない非表示部の画素列を撮像していると判定された場合(S6およびS7でNOの場合)、該画素列に対しては図5で説明したようなクロストーク欠陥に対する検査が行われる。
In the sixth step S6 and the seventh step S7, the
すなわち、第12の工程S12と第13の工程S13とにおいて、画像処理装置16によって、上記ラインセンサカメラにより撮像された2つの画像が比較され、同一表示領域に対応する画素間の輝度差が計算され、第3の画像データ(差分画像)が生成される。さらに、S12とS13に引き続き、第14の工程S14と第15の工程S15において、閾値処理が行われる。上記閾値処理により、閾値を上回る輝度を有する画素がクロストーク欠陥画素として検出される。そして、上記検出結果に基づき、欠陥画素に高い画素値を割り当てた第4の画像データが生成される。
That is, in the twelfth step S12 and the thirteenth step S13, the
第16の工程S16において、上記第1の画像データから第4画像データまでが合成される。具体的には、各表示領域について、上記4つの画像データにおける対応する画素に割り当てられた画素値の論理和を計算し、上記計算結果を該表示領域に割り当てた第5の画像データを生成すれば良い。 In the sixteenth step S16, the first image data to the fourth image data are synthesized. Specifically, for each display area, calculate the logical sum of the pixel values assigned to the corresponding pixels in the four image data, and generate the fifth image data in which the calculation result is assigned to the display area. It ’s fine.
S17においては、上記S16で求められた第5の画像データに基づいて、欠陥画素または欠陥画素列の検出結果が出力される。すなわち、第5の画像データにおいては、欠陥の無い画素が低い濃淡値で表され、欠陥のある画素が高い濃淡値で表されるため、欠陥のある画素位置が容易に認識できる。 In S17, the detection result of the defective pixel or defective pixel row is output based on the fifth image data obtained in S16. That is, in the fifth image data, a pixel without a defect is represented by a low gray value, and a defective pixel is represented by a high gray value, so that a defective pixel position can be easily recognized.
上記S1からS17までの一連の処理は被検査パネル2の1画素列に対する検査を実行するためのものである。上記S17までの処理が終了した後、パネル保持ステージ11により、被検査パネル2を一表示領域分、上記ラインセンサカメラにより撮像される一次元表示領域と直交する方向へ移動する。これによりラインセンサカメラにより撮像される画素列は、前回撮像された画素列に隣接する画素列となる。被検査パネル2を上記のように移動した後、S4およびS5に戻り、上記S4からS17までの工程を、被検査パネル2に備えられた画素列分繰り返すことにより、被検査パネル2の全画素列に対する検査が実行される。
The series of processes from S1 to S17 is for executing an inspection for one pixel column of the
なお、上述した検査フローにおいては、一画素列毎に輝度差計算、および、閾値処理が行われ、これを繰り返すことにより被検査パネルの全画素列に対する検査が行われている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、例えば、画像処理装置は記録部を備え、ラインセンサカメラにより撮像された画像データを複数画素列分上記記録部に記録し、上記記録部に記録された複数画素列分の画像データに関して輝度差計算、および、閾値処理が行われる構成とすることも可能である。 In the above-described inspection flow, luminance difference calculation and threshold processing are performed for each pixel column, and the inspection is performed on all the pixel columns of the panel to be inspected by repeating this. However, the present invention is not limited to this. That is, for example, the image processing apparatus includes a recording unit, records image data captured by the line sensor camera for a plurality of pixel columns in the recording unit, and brightness for the image data for the plurality of pixel columns recorded in the recording unit. It is also possible to adopt a configuration in which difference calculation and threshold processing are performed.
また、上述した検査フローにおいては、点欠陥検査に引き続き、クロストーク検査が行われ、上記第16の工程において上記第1の画像データから上記第4の画像データまでが合成され、上記第17の工程において上記合成された画像データに基づき検査結果が出力される。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、例えば、点欠陥検査(S8〜S11)に引き続き、上記第1の画像データと上記第2の画像データの合成を行い、合成された画像データに基づき点欠陥検査に関する結果を出力し、さらに、クロストーク検査(S12〜S15)に引き続き、上記第3の画像データと上記第4の画像データの合成を行い、合成された画像データに基づきクロストーク検査に関する結果を出力する、検査フローとすることも可能である。 Further, in the inspection flow described above, the crosstalk inspection is performed following the point defect inspection, and the first to fourth image data are synthesized in the sixteenth step, and the seventeenth seventeenth is combined. In the process, an inspection result is output based on the synthesized image data. However, the present invention is not limited to this. That is, for example, following the point defect inspection (S8 to S11), the first image data and the second image data are combined, and a result regarding the point defect inspection is output based on the combined image data. Subsequently to the crosstalk inspection (S12 to S15), the third image data and the fourth image data are combined, and a result regarding the crosstalk inspection is output based on the combined image data. It is also possible.
次に、被検査パネルに備えられた各画素が、各画素に対して定められた光の射出方向に正しく光を射出しているかを、より精度良く評価する方法について、図7を用いて説明する。 Next, a method for more accurately evaluating whether each pixel provided in the panel to be inspected correctly emits light in the light emission direction determined for each pixel will be described with reference to FIG. To do.
被検査パネル2に、第1の制御信号として、左目方向に表示する画像信号として一様な白色信号を、右目方向に表示する画像信号として一様な黒色信号を与える。図7(a)は、上記画像信号を与えられた被検査パネル2を仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を示している。また、被検査パネル2に、第2の制御信号として、左目方向に表示する画像信号として一様な黒色信号を、右目方向に表示する画像信号として一様な白色信号を与える。図7(b)は、上記画像信号を与えられた被検査パネル2を仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を示している。なお、被検査パネル2においては、後述するように一部の画素で光の射出方向が正しく制御されていないが、図7(a)、(b)は観察方向を定めない仮想的な図であるため、これらの図において欠陥画素は示されていない。なお、第1の制御信号における左目方向に表示する画像信号、および、第2の制御信号における右目方向に表示する画像信号は、黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号であれば、任意の中間階調をもつ画像信号を用いても良い。
As the first control signal, a uniform white signal as an image signal displayed in the left eye direction and a uniform black signal as an image signal displayed in the right eye direction are given to the
被検査パネル2は、画素列L2、画素列R2、および画素列R7における視差生成デバイスの不良があり、図7(c)あるいは図7(d)に示すように、上記画素列からは定められた画像表示方向とは異なる方向に光が射出されている。 The panel to be inspected 2 has a defect in the parallax generation device in the pixel column L2, the pixel column R2, and the pixel column R7, and is determined from the pixel column as shown in FIG. 7 (c) or FIG. 7 (d). Light is emitted in a direction different from the image display direction.
第1の制御信号を与えられた被検査パネル2を左目方向に配置されたラインセンサカメラ10aにより撮像した画像を図7(e)に示す。また、第2の制御信号を与えられた被検査パネル2を右目方向に配置されたラインセンサカメラ10bにより撮像した画像を図7(f)に示す。図7(e)の画像では、画素列L2から出射される光が正確にラインセンサカメラ10aに入射されないことにより、該画素列L2において輝度が低く検出されている。同様に、図7(f)の画像では、画素列R2および画素列R7において輝度が低く検出されている。
FIG. 7E shows an image obtained by imaging the
図7(e)に示した画像と図7(f)に示した画像との差分を取ることにより、図7(g)に示す差分画像が得られる。これを必要に応じて、閾値処理により2値化することにより、S1とS7とにおける射出方向異常による線状の輝度低下欠陥が検出される。 The difference image shown in FIG. 7G is obtained by taking the difference between the image shown in FIG. 7E and the image shown in FIG. 7F. If necessary, binarization is performed by threshold processing to detect a linear luminance lowering defect due to an abnormal emission direction in S1 and S7.
さらに、第1の制御信号を与えられた被検査パネル2をラインセンサカメラ10aにより左目方向から撮像した図7(e)に示した画像に対して閾値処理を施す。すなわち、上記ラインセンサカメラが撮像する方向とは異なる方向に光を射出するべき画素列R0、R1、・・・、R7に関しては、求められる輝度のプロフィール(図7(h))において、あらかじめ設定した閾値Th2を下回る輝度を有する画素が輝度低下欠陥として検出される。
Further, threshold processing is performed on the image shown in FIG. 7E obtained by imaging the
また同様に、第2の制御信号を与えられた被検査パネル2をラインセンサカメラ10bにより右目方向から撮像した図7(f)に示した画像に対して閾値処理を施す。すなわち、上記ラインセンサカメラが撮像する方向とは異なる方向に光を射出するべき画素列L0、L1、・・・、L7に関して、輝度のプロフィールを求める(図7(i))。そして、上記輝度プロフィールに対して、あらかじめ設定した閾値Th2を下回る輝度を有する画素を輝度低下欠陥として検出する。
Similarly, threshold processing is performed on the image shown in FIG. 7F obtained by imaging the
上記閾値処理により、輝度低下欠陥が検出された画素に高い輝度を割り当てることにより生成された画像データを図7(j)に示す。 FIG. 7J shows image data generated by assigning high luminance to the pixel in which the luminance reduction defect is detected by the threshold processing.
上述した方法による黒点欠陥検査において、被検査パネル2に与えられる駆動信号は、一つの画像表示方向には一様な白色画像を表示し、その他の画像表示方向には黒色画像を表示するよう被検査パネル2を駆動する信号とした。このため、白色画像が表示される画像表示方向以外へ光が射出されるべき画素から射出される光の影響を排除した上で、白色画像が表示される画像表示方向へ射出される光の射出方向の制御状態だけを高精度に評価することが可能になる。
In the black spot defect inspection by the above-described method, the drive signal given to the panel to be inspected 2 displays a uniform white image in one image display direction and displays a black image in the other image display directions. A signal for driving the
次に、被検査パネルの各表示領域におけるクロストーク欠陥を、より高い精度で評価する方法について、図8を用いて説明する。 Next, a method for evaluating the crosstalk defect in each display region of the panel to be inspected with higher accuracy will be described with reference to FIG.
被検査パネル2には、制御信号として、左目方向に表示する画像信号として一様な黒色信号を、右目方向に表示する画像信号として一様な白色信号を与える。図8(a)は、上記画像信号を与えられた被検査パネル2を仮想的に視差がない状態で正面から観察した場合の見え方を示している。被検査パネル2においては、後述するように一部の画素におけるクロストーク欠陥が存在しているが、図8(a)は観察方向を定めない仮想的な図であるため、該図において欠陥画素は示されていない。なお、上記右目方向に表示する画像信号は、黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号であれば、任意の中間階調をもつ画像信号を用いても良い。しかしながら、右目方向へ表示するべき画像が左目方向に表示する画像に影響するクロストーク欠陥を高精度に検出するためには、上述したように右目方向に白色画像を表示することが好ましい。
The
被検査パネル2は、画素列R0、画素列R1、および画素列R7における視差生成デバイスの不良があり、図8(b)に示すように、上記画素列からは定められた画像表示方向とは異なる方向に光が射出されている。 The panel to be inspected 2 has a defect in the parallax generation device in the pixel column R0, the pixel column R1, and the pixel column R7. As shown in FIG. 8B, the image display direction determined from the pixel column is Light is emitted in different directions.
上記制御信号を与えられた被検査パネル2をラインセンサカメラ10aにより左目方向から撮像した画像を図8(c)に示す。図8(c)において、画素列R0、および、画素列R1、および画素列R7が中間階調を有するのは、該画素列から射出された光が本来射出されるべき右目方向に正しく制御されていないため、左目方向から被検査パネル2を撮像するラインセンサカメラ10aに該画素列から射出された光が入射するためである。
FIG. 8C shows an image obtained by imaging the panel to be inspected 2 to which the control signal is given from the left eye direction by the
上記制御信号を与えられた被検査パネル2をラインセンサカメラ10aにより左目方向から撮像した図8(c)に示した画像に閾値処理を施す。すなわち、上記ラインセンサカメラが撮像する方向とは異なる方向に光を射出するべき画素列R0、R1、・・・、R7に関しては、求められる輝度のプロフィール(図8(e))において、あらかじめ設定した閾値を下回る輝度を有する画素が検出される。
Threshold processing is performed on the image shown in FIG. 8C in which the
上記閾値処理により、輝度低下欠陥が検出された画素に高い輝度を割り当てることにより生成された画像データを図8(f)に示す。ここで、P1、P2、・・・、P7は画像表示画素列間の差分に対応し、Q1、Q2、・・・、Q7は画像非表示画素列間の差分に対応する。 FIG. 8F shows image data generated by assigning high luminance to the pixel in which the luminance reduction defect is detected by the threshold processing. Here, P1, P2,..., P7 correspond to differences between image display pixel columns, and Q1, Q2,..., Q7 correspond to differences between image non-display pixel columns.
上述した方法によるクロストーク欠陥検査においては、検査対象とする画像表示方向を一つ定め、上記画像表示方向には一様な黒色画像を表示し、その他の画像表示方向には白色画像を表示する。このため、検査対象となる画像表示方向へ射出されるべき光の影響を排除した上で、それとは異なる画像表示方向へ射出されるべき光が、検査対象となる表示方向に表示される画像に与える影響を、高精度に評価することが可能になる。 In the crosstalk defect inspection by the above-described method, one image display direction to be inspected is determined, a uniform black image is displayed in the image display direction, and a white image is displayed in the other image display directions. . For this reason, after eliminating the influence of the light to be emitted in the image display direction to be inspected, the light to be emitted in a different image display direction is displayed on the image displayed in the display direction to be inspected. It is possible to evaluate the influence on the object with high accuracy.
上述した方法によるクロストーク欠陥検査において、被検査パネル2に与えられる駆動信号は、一つの画像表示方向には一様な黒色画像を表示し、その他の画像表示方向には一様な白色画像を表示するよう被検査パネル2を駆動する信号とした。このため、黒色画像が表示される画像表示方向への本来他の方向へ射出されるべき光の漏れ込み、すなわち、クロストーク欠陥を、高精度に評価することが可能になる。
In the crosstalk defect inspection by the above-described method, the drive signal given to the
なお、本実施の形態において例示した、左目方向と右目方向との2方向に画像を表示する画像表示パネルに対する検査に際しては、図7に示した方法により右目方向への光の射出状態を検査するために被検査パネル2に与える駆動信号と、図8に示した方法により右目方向へ射出されるべき光が左目方向に漏れこむクロストーク欠陥を検査するために被検査パネルに与える駆動信号とは一致する。このため、図7に示した検査の一部と、図8に示した検査を同時に実行することも可能である。 When inspecting the image display panel that displays images in the two directions of the left eye direction and the right eye direction exemplified in this embodiment, the light emission state in the right eye direction is inspected by the method shown in FIG. Therefore, the drive signal given to the panel to be inspected 2 and the drive signal given to the panel to be inspected for inspecting a crosstalk defect in which light to be emitted in the right eye direction leaks in the left eye direction by the method shown in FIG. Match. Therefore, a part of the inspection shown in FIG. 7 and the inspection shown in FIG. 8 can be executed simultaneously.
なお、本実施の形態においては、本発明に係る検査装置および検査方法を、視差生成デバイスにより2つの異なる視差を持つ画像を独立に表示するモノクロの透過型画像表示パネルに適用する場合について説明したが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、被検査パネルは、カラー画像を表示する画像表示パネルでも構わない。例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)によりカラー画像を表示する画像表示パネルであれば、各色毎に上記検査を実行することが可能である。 In the present embodiment, the case where the inspection apparatus and the inspection method according to the present invention are applied to a monochrome transmissive image display panel that independently displays images having two different parallaxes by the parallax generation device has been described. However, the present invention is not necessarily limited to this. For example, the panel to be inspected may be an image display panel that displays a color image. For example, in the case of an image display panel that displays color images in red (R), green (G), and blue (B), the above inspection can be executed for each color.
被検査パネルとしては、視差生成デバイス以外の手段により複数の画像表示方向に対する画像表示を実現する画像表示パネルでも構わない。複数のラインセンサが同時に撮像する領域を、被検査パネルの画像表示方法に合わせて適宜調整することにより、視差生成デバイス以外の手段による複数画像表示パネルの欠陥検査が、上記と同等の方法により実現できる。 The panel to be inspected may be an image display panel that realizes image display in a plurality of image display directions by means other than the parallax generation device. By appropriately adjusting the area that multiple line sensors capture simultaneously in accordance with the image display method of the panel to be inspected, the defect inspection of the multiple image display panel by means other than the parallax generation device is realized by the same method as above it can.
また、被検査パネルの画像表示方向は、右目方向と左目方向の2方向に限らず、さらに3つ以上の表示方法を有していても構わない。この場合、検査ユニット10には被検査パネルの画像表示方向数と同数のラインセンサカメラを備える構成とし、上記ラインセンサカメラを同一の一次元領域を撮像するように配置すれば良い。
Further, the image display direction of the panel to be inspected is not limited to the two directions of the right eye direction and the left eye direction, and may further include three or more display methods. In this case, the
さらに、被検査パネルはあらかじめ透過光源を備えた自発光型画像表示パネルであっても構わない。この場合、上記検査装置から透過照明を省略することが可能である。 Further, the panel to be inspected may be a self-luminous image display panel provided with a transmissive light source in advance. In this case, it is possible to omit transmitted illumination from the inspection apparatus.
なお、上記画像表示パネルの検査装置1におけるラインセンサカメラ10、パネル保持ステージ11、および点灯回路12を制御、ならびに、画像処理装置16の各部や各処理ステップは、CPUなどの演算手段が、ROM(Read Only Memory)やRAMなどの記憶手段に記憶されたプログラムを実行し、キーボードなどの入力手段、ディスプレイなどの出力手段、あるいは、インターフェース回路などの通信手段を制御することにより実現することができる。したがって、これらの手段を有するコンピュータが、上記プログラムを記録した記録媒体を読み取り、当該プログラムを実行するだけで、本実施形態の検査装置の各種機能および各種処理を実現することができる。また、上記プログラムをリムーバブルな記録媒体に記録することにより、任意のコンピュータ上で上記の各種機能および各種処理を実現することができる。
The
この記録媒体としては、マイクロコンピュータで処理を行うために図示しないメモリ、例えばROMのようなものがプログラムメディアであっても良いし、また、図示していないが外部記憶装置としてプログラム読取り装置が設けられ、そこに記録媒体を挿入することにより読取り可能なプログラムメディアであっても良い。 As this recording medium, a program medium such as a memory (not shown) such as a ROM may be used for processing by the microcomputer, or a program reader is provided as an external storage device (not shown). It may be a program medium that can be read by inserting a recording medium therein.
また、何れの場合でも、格納されているプログラムは、マイクロプロセッサがアクセスして実行される構成であることが好ましい。さらに、プログラムを読み出し、読み出されたプログラムは、マイクロコンピュータのプログラム記憶エリアにダウンロードされて、そのプログラムが実行される方式であることが好ましい。なお、このダウンロード用のプログラムは予め本体装置に格納されているものとする。 In any case, the stored program is preferably configured to be accessed and executed by the microprocessor. Furthermore, it is preferable that the program is read out, and the read program is downloaded to a program storage area of the microcomputer and the program is executed. It is assumed that this download program is stored in advance in the main unit.
また、上記プログラムメディアとしては、本体と分離可能に構成される記録媒体であり、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスクやCD/MO/MD/DVD等のディスクのディスク系、ICカード(メモリカードを含む)等のカード系、あるいはマスクROM、EPROM(Erasable Programmable Read Only Memory)、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)、フラッシュROM等による半導体メモリを含めた固定的にプログラムを担持する記録媒体等がある。 The program medium is a recording medium configured to be separable from the main body, such as a tape system such as a magnetic tape or a cassette tape, a magnetic disk such as a flexible disk or a hard disk, or a disk such as a CD / MO / MD / DVD. Fixed disk, IC card (including memory card), etc., or semiconductor ROM such as mask ROM, EPROM (Erasable Programmable Read Only Memory), EEPROM (Electrically Erasable Programmable Read Only Memory), flash ROM, etc. In particular, there are recording media that carry programs.
また、インターネットを含む通信ネットワークを接続可能なシステム構成であれば、通信ネットワークからプログラムをダウンロードするように流動的にプログラムを担持する記録媒体であることが好ましい。 In addition, if the system configuration is capable of connecting to a communication network including the Internet, the recording medium is preferably a recording medium that fluidly carries the program so as to download the program from the communication network.
さらに、このように通信ネットワークからプログラムをダウンロードする場合には、そのダウンロード用のプログラムは予め本体装置に格納しておくか、あるいは別な記録媒体からインストールされるものであることが好ましい。 Further, when the program is downloaded from the communication network as described above, it is preferable that the download program is stored in the main device in advance or installed from another recording medium.
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術範囲に含まれる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims. That is, embodiments obtained by combining technical means appropriately changed within the scope of the claims are also included in the technical scope of the present invention.
1 欠陥検査装置(検査装置)
2 被検査パネル(画像表示パネル)
10 ラインセンサカメラ(画像データ取得部)
11 パネル保持ステージ(パネル保持部)
12 点灯回路(信号供給部)
15 周辺機器制御部(制御手段)
16 画像処理装置(欠陥検出部)
1 Defect inspection equipment (inspection equipment)
2 Panel to be inspected (image display panel)
10 Line sensor camera (image data acquisition unit)
11 Panel holding stage (panel holding part)
12 Lighting circuit (signal supply unit)
15 Peripheral device controller (control means)
16 Image processing device (defect detection unit)
Claims (23)
検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得工程と、
それぞれの画像表示方向から撮像された画像データの比較に基づいて上記画像表示パネルの欠陥検出を行う欠陥検出工程とを有することを特徴とする検査方法。 An inspection method for detecting defects in an image display panel that displays images independent of two or more different image display directions,
An image data acquisition process for acquiring image data captured from each image display direction for an image display panel to which an inspection display signal is given;
And a defect detection step of detecting a defect of the image display panel based on comparison of image data captured from each image display direction.
上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。 In the image data acquisition step, as an inspection display signal, a signal for displaying the same image in all image display directions of the image display panel is given,
In the defect detection step, a difference between corresponding display areas or non-display areas corresponding to each image data is taken, and it is determined that a defect has occurred in a pixel whose difference value is larger than a predetermined reference value. The inspection method according to claim 1.
上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。 In the image data acquisition step, as a display signal for inspection, a signal for displaying an image having a uniform gradation that is not black with respect to all image display directions of the image display panel is provided.
2. The inspection according to claim 1, wherein in the defect detection step, a pixel in which a defect is generated is determined by comparing a detection value of each pixel with a predetermined threshold for each image data. Method.
上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。 In the image data acquisition step, as a display signal for inspection, a signal for causing the pixels in the display area to display an image with a uniform gradation that is not black, and a signal for performing black display to the pixels in the non-display area are given,
In the defect detection step, a difference between corresponding display areas or non-display areas corresponding to each image data is taken, and it is determined that a defect has occurred in a pixel whose difference value is larger than a predetermined reference value. The inspection method according to claim 1.
上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。 In the image data acquisition step, as a display signal for inspection, a signal for causing the pixels in the display area to display an image with a uniform gradation that is not black, and a signal for performing black display to the pixels in the non-display area are given,
2. The inspection according to claim 1, wherein in the defect detection step, a pixel in which a defect is generated is determined by comparing a detection value of each pixel with a predetermined threshold for each image data. Method.
上記欠陥検出工程では、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。 In the image data acquisition step, as a display signal for inspection, a signal for causing a pixel in the display area to perform black display and a pixel in the non-display area to perform non-black uniform gradation image display is provided.
2. The inspection according to claim 1, wherein in the defect detection step, a pixel in which a defect is generated is determined by comparing a detection value of each pixel with a predetermined threshold for each image data. Method.
上記画像表示パネルを保持するパネル保持部と、
上記画像表示パネルに検査用表示信号を与える信号供給部と、
検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得部とを備えることを特徴とする検査装置。 An inspection apparatus for detecting defects in an image display panel that displays images independent of two or more different image display directions,
A panel holding unit for holding the image display panel;
A signal supply unit for supplying an inspection display signal to the image display panel;
An inspection apparatus, comprising: an image data acquisition unit that acquires image data captured from each image display direction with respect to an image display panel to which an inspection display signal is given.
上記画像表示パネルを保持するパネル保持部と、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに検査用表示信号を与える信号供給部と、
上記信号供給部から検査用表示信号が与えられた画像表示パネルに対し、それぞれの画像表示方向から撮像した画像データを取得する画像データ取得部と、
上記画像データ取得部により取得された、それぞれの画像表示方向から撮像された画像データの比較に基づいて上記画像表示パネルの欠陥検出を行う欠陥検出部とを備えることを特徴とする検査装置。 An inspection apparatus for detecting defects in an image display panel that displays images independent of two or more different image display directions,
A panel holding unit for holding the image display panel;
A signal supply unit for supplying an inspection display signal to the image display panel held by the panel holding unit;
An image data acquisition unit that acquires image data captured from each image display direction for an image display panel to which an inspection display signal is given from the signal supply unit;
An inspection apparatus comprising: a defect detection unit configured to detect a defect of the image display panel based on comparison of image data acquired from each image display direction acquired by the image data acquisition unit.
上記撮像装置に対する上記画像表示パネルの相対位置を移動しながら、上記画像表示パネルの全面を撮像することを特徴とする請求項8または9に記載の検査装置。 The image data acquisition unit is an imaging device that detects the luminance of a one-dimensional area on the image display panel,
The inspection apparatus according to claim 8 or 9, wherein the entire surface of the image display panel is imaged while moving a relative position of the image display panel with respect to the imaging apparatus.
上記欠陥検出部は、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断することを特徴とする請求項9に記載の検査装置。 The signal supply unit gives a signal for displaying the same image for all image display directions of the image display panel as a display signal for inspection,
The defect detection unit calculates a difference between corresponding display areas or non-display areas corresponding to each image data, and determines that a defect has occurred in a pixel whose difference value is larger than a predetermined reference value. The inspection apparatus according to claim 9.
上記欠陥検出部は、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項9に記載の検査装置。 The signal supply unit gives a signal for displaying an image with a uniform gradation that is not black for all image display directions of the image display panel as an inspection display signal,
The inspection according to claim 9, wherein the defect detection unit determines, for each image data, a pixel in which a defect has occurred by comparing a detection value of each pixel with a predetermined threshold value. apparatus.
上記欠陥検出部は、それぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断することを特徴とする請求項9に記載の検査装置。 The signal supply unit gives a signal for causing the pixels in the display region to display an image with a uniform gradation that is not black, and the pixels in the non-display region to perform black display as a display signal for inspection,
The defect detection unit calculates a difference between corresponding display areas or non-display areas corresponding to each image data, and determines that a defect has occurred in a pixel whose difference value is larger than a predetermined reference value. The inspection apparatus according to claim 9.
上記欠陥検出部は、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項9に記載の検査装置。 The signal supply unit gives a signal for causing the pixels in the display region to display an image with a uniform gradation that is not black, and the pixels in the non-display region to perform black display as a display signal for inspection,
The inspection according to claim 9, wherein the defect detection unit determines, for each image data, a pixel in which a defect has occurred by comparing a detection value of each pixel with a predetermined threshold value. apparatus.
上記欠陥検出部は、それぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断することを特徴とする請求項9に記載の検査装置。 The signal supply unit provides a signal for causing the pixels in the display area to perform black display and the pixels in the non-display area to perform non-black uniform gradation image display as a display signal for inspection,
The inspection according to claim 9, wherein the defect detection unit determines, for each image data, a pixel in which a defect has occurred by comparing a detection value of each pixel with a predetermined threshold value. apparatus.
上記パネル保持部と上記撮像装置とに接続されたコンピュータを、
上記画像データ取得部と上記画像表示パネルとの相対位置を移動しながら、上記画像データ取得部が上記画像表示パネルの全面を撮像するよう、上記パネル保持部と上記画像データ取得部とを制御する制御手段として機能させるための制御プログラム。 A control program for causing the inspection apparatus according to claim 10 to detect a defect of the image display panel,
A computer connected to the panel holding unit and the imaging device;
The panel holding unit and the image data acquisition unit are controlled so that the image data acquisition unit images the entire surface of the image display panel while moving the relative position between the image data acquisition unit and the image display panel. A control program for functioning as a control means.
上記信号供給部と上記画像データ取得部とに接続されたコンピュータを、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに、全ての画像表示方向に対して同一の画像を表示させる信号を与えるよう、上記信号供給部を制御する信号供給部制御手段、
および、上記画像データ取得部により取得された画像データにおける表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断する欠陥検出手段として機能させるための欠陥検出プログラム。 A defect detection program for causing the inspection apparatus according to claim 8 to detect a defect of the image display panel,
A computer connected to the signal supply unit and the image data acquisition unit,
Signal supply unit control means for controlling the signal supply unit so as to give a signal for displaying the same image in all image display directions to the image display panel held by the panel holding unit;
Further, the difference between display areas or non-display areas in the image data acquired by the image data acquisition unit is taken, and it is determined that a defect has occurred in a pixel whose difference value is larger than a predetermined reference value. A defect detection program for functioning as defect detection means.
上記信号供給部と上記画像データ取得部とに接続されたコンピュータを、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに、全ての画像表示方向に対してそれぞれ黒色でない一様な階調の画像を表示させる信号を与えるよう上記信号供給部を制御する信号供給部制御手段、
および、上記画像データ取得部により取得されたそれぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する欠陥検出手段として機能させるための欠陥検出プログラム。 A defect detection program for causing the inspection apparatus according to claim 8 to detect a defect of the image display panel,
A computer connected to the signal supply unit and the image data acquisition unit,
Signal supply unit control means for controlling the signal supply unit so as to give the image display panel held by the panel holding unit a signal for displaying an image having a uniform gradation that is not black in all image display directions. ,
And, for each image data acquired by the image data acquisition unit, to function as a defect detection means for judging a pixel in which a defect has occurred by comparing the detection value of each pixel with a predetermined threshold value Defect detection program.
上記信号供給部と上記画像データ取得部とに接続されたコンピュータを、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与えるよう上記信号供給部を制御する信号供給部制御手段、
および、上記画像データ取得部により取得された画像データにおけるそれぞれの画像データの対応する表示領域または非表示領域同士の差分を取り、その差分値が予め定めた基準値より大きくなる画素に対して欠陥が発生していると判断する欠陥検出手段として機能させるための欠陥検出プログラム。 A defect detection program for causing the inspection apparatus according to claim 8 to detect a defect of the image display panel,
A computer connected to the signal supply unit and the image data acquisition unit,
The image display panel held in the panel holding unit is configured to give a signal for performing non-black uniform gradation image display on the pixels in the display region and black display on the pixels in the non-display region. A signal supply unit control means for controlling the signal supply unit;
In addition, a difference between display areas or non-display areas corresponding to each image data in the image data acquired by the image data acquisition unit is obtained, and a defect is detected with respect to a pixel whose difference value is larger than a predetermined reference value. A defect detection program for functioning as a defect detection means for determining that an error has occurred.
上記信号供給部と上記画像データ取得部とに接続されたコンピュータを、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに、表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色表示を行わせる信号を与えるよう上記信号供給部を制御する信号供給部制御手段、
および、上記画像データ取得部により取得されたそれぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する欠陥検出手段として機能させるための欠陥検出プログラム。 A defect detection program for causing the inspection apparatus according to claim 8 to detect a defect of the image display panel,
A computer connected to the signal supply unit and the image data acquisition unit,
The image display panel held in the panel holding unit is configured to give a signal for performing non-black uniform gradation image display on the pixels in the display region and black display on the pixels in the non-display region. A signal supply unit control means for controlling the signal supply unit;
And, for each image data acquired by the image data acquisition unit, to function as a defect detection means for judging a pixel in which a defect has occurred by comparing the detection value of each pixel with a predetermined threshold value Defect detection program.
上記信号供給部と上記画像データ取得部とに接続されたコンピュータを、
上記パネル保持部に保持された画像表示パネルに、表示領域の画素には黒色表示を行わせ、非表示領域の画素には黒色でない一様な階調の画像表示を行わせる信号を与えるよう上記信号供給部を制御する信号供給部制御手段、
および、上記画像データ取得部により取得されたそれぞれの画像データに対して、各画素の検出値を所定の閾値と比較することによって欠陥が発生している画素を判断する欠陥検出手段として機能させるための欠陥検出プログラム。 A defect detection program for causing the inspection apparatus according to claim 8 to detect a defect of the image display panel,
A computer connected to the signal supply unit and the image data acquisition unit,
The image display panel held in the panel holding unit is configured to give a signal for causing the pixels in the display area to perform black display and the pixels in the non-display area to perform non-black uniform gradation image display. A signal supply unit control means for controlling the signal supply unit;
And, for each image data acquired by the image data acquisition unit, to function as a defect detection means for judging a pixel in which a defect has occurred by comparing the detection value of each pixel with a predetermined threshold value Defect detection program.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005317550A JP2007121243A (en) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | Device and method for inspecting image display panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005317550A JP2007121243A (en) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | Device and method for inspecting image display panel |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007121243A true JP2007121243A (en) | 2007-05-17 |
Family
ID=38145232
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005317550A Pending JP2007121243A (en) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | Device and method for inspecting image display panel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007121243A (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012063685A (en) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Toshiba Corp | Inspection system and inspection method of cell substrate |
CN109856156A (en) * | 2019-01-22 | 2019-06-07 | 武汉精立电子技术有限公司 | A kind of display panel tiny flaw determination method and device based on AOI |
CN112198642A (en) * | 2019-11-01 | 2021-01-08 | 株式会社目白67 | Imaging lens |
CN113362751A (en) * | 2021-06-01 | 2021-09-07 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Data compensation method and data compensation device of display panel |
CN113916511A (en) * | 2021-11-29 | 2022-01-11 | Tcl华星光电技术有限公司 | Fault detection system and fault detection method |
WO2022150986A1 (en) * | 2021-01-12 | 2022-07-21 | 深圳市艾比森光电股份有限公司 | Image quality inspection method and related product for led display screen |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0829361A (en) * | 1994-07-14 | 1996-02-02 | Advantest Corp | Lcd panel picture quality inspection device |
JP2001281049A (en) * | 2000-03-28 | 2001-10-10 | Japan Science & Technology Corp | Measuring device and method for view angle dependency and location dependency of luminance |
JP2002333407A (en) * | 2001-05-09 | 2002-11-22 | Horiba Ltd | Defect inspection device of plane display device |
JP2004279815A (en) * | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Nitto Denko Corp | Light guide plate, surface light source device and liquid crystal display device |
WO2007034611A1 (en) * | 2005-09-21 | 2007-03-29 | Fujitsu Ten Limited | Display, its inspecting method, its manufacturing method, display panel inspecting method, and display panel manufacturing method |
-
2005
- 2005-10-31 JP JP2005317550A patent/JP2007121243A/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0829361A (en) * | 1994-07-14 | 1996-02-02 | Advantest Corp | Lcd panel picture quality inspection device |
JP2001281049A (en) * | 2000-03-28 | 2001-10-10 | Japan Science & Technology Corp | Measuring device and method for view angle dependency and location dependency of luminance |
JP2002333407A (en) * | 2001-05-09 | 2002-11-22 | Horiba Ltd | Defect inspection device of plane display device |
JP2004279815A (en) * | 2003-03-17 | 2004-10-07 | Nitto Denko Corp | Light guide plate, surface light source device and liquid crystal display device |
WO2007034611A1 (en) * | 2005-09-21 | 2007-03-29 | Fujitsu Ten Limited | Display, its inspecting method, its manufacturing method, display panel inspecting method, and display panel manufacturing method |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012063685A (en) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Toshiba Corp | Inspection system and inspection method of cell substrate |
CN102411005A (en) * | 2010-09-17 | 2012-04-11 | 株式会社东芝 | Cell substrate inspection system and method |
CN109856156A (en) * | 2019-01-22 | 2019-06-07 | 武汉精立电子技术有限公司 | A kind of display panel tiny flaw determination method and device based on AOI |
CN112198642A (en) * | 2019-11-01 | 2021-01-08 | 株式会社目白67 | Imaging lens |
CN112198642B (en) * | 2019-11-01 | 2021-06-08 | 株式会社目白67 | Imaging lens |
WO2022150986A1 (en) * | 2021-01-12 | 2022-07-21 | 深圳市艾比森光电股份有限公司 | Image quality inspection method and related product for led display screen |
CN113362751A (en) * | 2021-06-01 | 2021-09-07 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Data compensation method and data compensation device of display panel |
CN113362751B (en) * | 2021-06-01 | 2023-11-28 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Data compensation method and data compensation device of display panel |
CN113916511A (en) * | 2021-11-29 | 2022-01-11 | Tcl华星光电技术有限公司 | Fault detection system and fault detection method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI414780B (en) | Inspection system | |
KR0150689B1 (en) | Checking apparatus for flat type display panels | |
JP2002195910A (en) | System for testing optical part | |
WO2013175703A1 (en) | Display device inspection method and display device inspection device | |
WO2010058759A1 (en) | Transparent body inspecting device | |
JP2007121243A (en) | Device and method for inspecting image display panel | |
KR101630596B1 (en) | Photographing apparatus for bottom of car and operating method thereof | |
TW200408269A (en) | Apparatus and method for inspecting pattern defect | |
WO2013118306A1 (en) | Defect-detecting device, defect-detecting method, computer-readable recording medium for recording defect-detecting program | |
US9341852B2 (en) | Cell substrate inspection system and method | |
KR101876908B1 (en) | Enhancement method for location accuracy of display panel defect | |
KR20200081541A (en) | Imaging apparatus and driving method of the same | |
JP4610656B2 (en) | Inspection device, inspection method, program, and recording medium | |
JP3695120B2 (en) | Defect inspection method | |
JP2010098364A (en) | Method and device for measuring moving picture response characteristic using line sensor | |
JP4964718B2 (en) | Display panel inspection apparatus, display panel inspection method, display panel manufacturing method, program, and recording medium | |
KR101426487B1 (en) | Apparatus for inspecting of display panel and method thereof | |
JP4652301B2 (en) | Color display board image quality inspection method and image quality inspection apparatus | |
JP2005249946A (en) | Defect inspecting apparatus for display device | |
KR101351000B1 (en) | In-line camera inspection apparatus having plural mode | |
JP2010008188A (en) | Apparatus of inspecting display panel, inspection method, and method of manufacturing display panel using it | |
JP4009595B2 (en) | Pattern defect inspection apparatus and pattern defect inspection method | |
US12013602B2 (en) | Method of detecting defective pixels in electronic displays | |
JP2001083474A (en) | Method for inspecting liquid crystal display panel | |
JP2006250895A (en) | Method for manufacturing display panel, and inspection device for display panel |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100720 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101116 |