KR20090055996A - 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터, 그 제조방법. 및 이를구비한 마이크로 카메라 모듈 - Google Patents

조리개 기능을 갖는 초소형 셔터, 그 제조방법. 및 이를구비한 마이크로 카메라 모듈 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고속으로 작동하며, 조리개 기능을 할 수 있는 초소형 셔터에 관한 것이다. 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터는, 빛이 통과할 수 있으며, 이미지 센서에 대응되는 크기의 원형으로 형성된 투명부를 구비한 베이스판; 빛을 차단하는 재질로 삼각형의 박막으로 형성되며, 상기 베이스판에 상기 투명부의 둘레에 상기 투명부를 덮을 수 있도록 정다각형으로 배치되며, 각각 상기 베이스판에 고정되는 고정부와 상기 고정부 쪽으로 말리는 가동부를 구비하는 복수 개의 롤업 브레이드; 및 상기 베이스판과 상기 복수 개의 롤업 브레이드 사이에 전기적으로 연결되며, 상기 복수 개의 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 제어하는 제어부;를 포함한다.
롤업 브레이드, 투명전극, 카메라 모듈, 휴대용 기기, 조리개

Description

조리개 기능을 갖는 초소형 셔터, 그 제조방법. 및 이를 구비한 마이크로 카메라 모듈{Micro shutter having an iris function, Manufacturing method of the same, and Micro camera module having the same}
본 발명은 광학 셔터장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터 및 그 제조방법에 관한 것이다.
디지털 기술이 발전함에 따라, 이동통신 단말기, 휴대용 게임기, PDA(Personal Disital Assistant), PMP(Personal Multimedia Player), 디지털 캠코더와 같은 휴대용 디지털 기기는 일반적으로 카메라 기능을 구비하고 있다.
이와 같은 휴대용 디지털 기기에 설치되는 카메라 유닛은 일반 카메라와 마찬가지로 사진 촬영을 할 수 있도록 셔터를 포함하고 있다.
그런데, 휴대용 디지털 기기는 휴대성을 향상시키기 위해 가능한 한 소형으로 만드는 것이 요구된다. 따라서, 휴대용 디지털 기기에 사용되는 카메라 유닛은 전자 셔터(electronic shutter)를 사용하는 것이 일반적이다.
그러나, 일반 카메라와 마찬가지로 좋은 품질의 사진을 촬영하기 위해서는 기계식 셔터(mechanical shutter)를 사용하는 것이 바람직하다.
이와 같은 휴대용 디지털 기기에 사용되는 카메라 유닛과 같이 소형화가 필요한 카메라 유닛에 사용할 수 있는 기계식 셔터로서 리프 셔터(leaf shutter)가 있다. 그러나, 이와 같은 종래 기술에 의한 리프 셔터는 크기를 줄이는데 한계가 있으며, 동작 속도가 느리다는 문제점이 있다. 따라서, 종래 기술에 의한 기계식 셔터는 소형화 등의 기술적 문제와 제조비용 문제로 휴대용 디지털 기기에 적용하는 것이 쉽지 않았다.
또한, 조리개를 사용할 경우에는 셔터와 별개로 만든 조리개 유닛을 설치하여야 하므로 카메라 유닛을 소형화하는데 한계가 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 창안한 것으로서, 초소형으로 만들 수 있고, 고속으로 동작할 수 있으며, 조리개 기능을 할 수 있는 초소형 셔터 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 본 발명의 목적은, 빛이 통과할 수 있으며, 이미지 센서에 대응되는 크기의 원형으로 형성된 투명부를 구비한 베이스판; 빛을 차단하는 재질로 삼각형의 박막으로 형성되며, 상기 베이스판에 상기 투명부의 둘레에 상기 투명부를 덮을 수 있도록 정다각형으로 배치되며, 각각 상기 베이스판에 고정되는 고정부와 상기 고정부 쪽으로 말리는 가동부를 구비하는 복수 개의 롤업 브레이드; 및 상기 베이스판과 상기 복수 개의 롤업 브레이드 사이에 전기적으로 연결되며, 상기 복수 개의 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 제어하는 제어부;를 포함하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터를 제공함으로써 달성할 수 있다.
이때, 상기 복수 개의 롤업 브레이드의 각각은, 상기 베이스판과 접하는 하부 절연층; 및 상기 하부 절연층의 상측에 형성되는 상부 전극;을 포함하며, 상기 하부 절연층과 상부 전극은 상기 가동부가 상기 고정부 쪽으로 감기도록 서로 다른 잔류응력을 갖도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 상부 전극은 인장 잔류응력을 가지도록 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수 개의 롤업 브레이드의 각각은, 상기 베이스판과 접하는 하부 절연층; 및 상기 하부 절연층의 상측에 형성되는 압전구동층;을 포함하도록 형 성할 수 있다.
또한, 상기 복수 개의 롤업 브레이드의 각각은, 상기 베이스판과 접하는 압전구동층; 및 상기 압전구동층의 상측에 형성되는 절연층;을 포함하도록 형성할 수 있다.
또한, 상기 압전구동층은 제1전극층, 압전층, 제2전극층의 층상 구조로 형성되며, 상기 제1전극층 또는 제2전극층에는 상기 압전구동층을 동작시키고, 상기 절연층을 펼 수 있는 전압을 인가하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수 개의 롤업 브레이드는 인접하는 롤업 브레이드가 서로 일정 부분 중첩되도록 설치할 수 있다.
이때, 상기 복수 개의 롤업 브레이드는 적어도 2개 층으로 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수 개의 롤업 브레이드는 감기는 방향과 직각으로 형성된 복수 개의 주름을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 베이스판은, 투명기판; 및 상기 투명기판의 상측에 설치되는 투명전극;을 포함하도록 형성할 수 있다.
또한, 상기 투명기판에는 광학부품이 형성될 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 복수 개의 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 3단계 이상으로 제어하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제어부는 자기력을 이용하여 상기 복수 개의 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 제어하도록 형성할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 초소형 셔터는 상기 베이스판에 상기 복수 개의 롤업 브레이드 상측에 설치되는 커버를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에서, 상기와 같은 본 발명의 목적은, 빛이 통과할 수 있으며, 이미지 센서에 대응되도록 형성된 투명부를 구비한 베이스판; 빛을 차단하는 재질로 박막 형상으로 형성되며, 상기 베이스판에 상기 투명부를 사이에 두고 서로 마주 보도록 배치되며, 각각 상기 베이스판에 고정되는 고정부와 상기 고정부 쪽으로 말리는 가동부를 구비하는 한 쌍의 롤업 브레이드; 및 상기 베이스판과 상기 한 쌍의 롤업 브레이드 사이에 전기적으로 연결되며, 상기 한 쌍의 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 제어하는 제어부;를 포함하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터를 제공함으로써 달성할 수 있다.
이때, 상기 제어부는 상기 한 쌍의 롤업 브레이드가 슬릿을 형성하고, 상기 슬릿이 상기 투명부의 일측에서 반대측으로 이동하도록 상기 한 쌍의 롤업 브레이드를 제어할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에서, 상기와 같은 본 발명의 목적은, 이미지 센서; 상기 이미지 센서의 상측에 설치되며, 상기 이미지 센서에 대응되도록 형성되며 빛이 통과하는 투명부를 구비한 베이스판; 빛을 차단하는 재질로 박막 형상으로 형성되며, 상기 베이스판에 상기 투명부의 일측에 고정되는 고정부와, 상기 투명부에 대응되는 형상으로 형성되며 상기 고정부 쪽으로 말리는 가동부를 구비한 롤업 브레이드; 및 상기 베이스판과 상기 롤업 브레이드 사이에 전기적으로 연결되며, 상기 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 적어도 3단계 이상으로 제어하는 제어부;를 포함하는 마이크로 카메라 모듈을 제공함으로써 달성할 수 있다.
이때, 상기 롤업 브레이드는, 상기 베이스판과 접하는 하부 절연층; 및 상기 하부 절연층의 상측에 형성되며 인장 잔류응력을 갖는 상부 전극;을 포함하여 형성하는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 측면에서, 상기와 같은 본 발명의 목적은, 투명기판에 투명전극층을 형성하는 단계; 상기 투명전극층의 상측에 투명부에 대응되는 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층과 투명전극층의 상측에 롤업 브레이드에 대응되는 형상으로 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층의 상측에 얇은 전극층을 형성하는 단계; 및 상기 희생층을 제거하는 단계;를 포함하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터의 제조방법을 제공함으로써 달성할 수 있다.
이때, 상기 절연층과 전극층은 서로 다른 잔류응력을 갖도록 형성하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터, 그 제조방법, 및 이를 구비한 마이크로 카메라 모듈에 대하여 상세하게 설명한다.
다만, 이하에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명 및 구체적인 도시를 생략한다.
도 1a는 개방된 상태의 본 발명의 제1실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초 소형 셔터를 나타내는 사시도이고, 도 1b는 도 1a의 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터가 빛을 차단한 상태를 나타내는 사시도이며, 도 1c는 도 1a의 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터가 조리개를 형성한 상태를 나타내는 사시도이다. 도 2a와 도 2b는 각각 도 1a와 도 1b의 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터를 선Ⅱ-Ⅱ에서 절단하여 나타낸 단면도이다.
도 1a 내지 도 2b를 참조하면, 본 발명이 제1실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터(100)는 베이스판(110), 복수 개의 롤업 브레이드(120), 및 제어부(150)를 포함한다.
도 1a 및 도 2a를 참조하면, 베이스판(110)은 빛이 통과할 수 있는 투명기판(111)과 투명기판(111)의 상측에 형성된 투명전극(112)을 포함한다. 투명전극(112)의 상면에는 투명부(113)가 형성된다. 본 실시예의 경우에는 투명부(113)가 대략 원형으로 형성되어 있다. 그러나, 투명부(113)는 필요에 따라 원, 삼각형, 타원, 사다리꼴, 다각형, 비정형의 폐곡선 도형 등 다양한 형상으로 형성할 수 있다. 또한, 투명부(113) 외측으로 투명전극(112)의 상면에는 빛이 통과하지 못하도록 불투명부(140)가 형성될 수 있다. 불투명부(140)는 가시광선이 투과하는 것을 차단하는 광학적 불투명 재료로 형성될 수 있다. 다른 예로서, 투명부(113)의 외측의 투명전극(112)에 불투명부(140)를 형성하지 않을 수도 있다. 이 경우는, 초소형 셔터(100)가 조립되는 카메라 모듈의 다른 부품이 투명부(113) 외측으로 빛이 통과하는 것을 차단하도록 구성된다.
투명기판(111)은 유리(glass), 석영(quartz), 플라스틱(plastic), 실리카(silica) 등의 물질로 형성되고, 투명전극(112)은 ITO(Indium Tin Oxide), ZnO, SnO2 , 탄소나노튜브(CNT), 전도성 폴리머(conductive polymer) 등의 물질로 형성된다. 불투명부(140)는 크롬(Cr)으로 형성할 수 있다. 또한, 불투명부(140)는 광학적 검정(optical black) 특성을 갖는 물질로도 형성할 수 있다.
복수 개의 롤업 브레이드(120)는 선택적으로 베이스판(110)의 투명부(113)를 덮어 빛이 투명부(113)를 통과하는 것을 차단할 수 있도록 형성된다. 즉, 복수 개의 롤업 브레이드(120)에 구동력이 인가되지 않으면, 복수 개의 롤업 브레이드(120)는 말린 상태로 있고, 구동력이 인가되면, 복수 개의 롤업 브레이드(120)가 펴져 투명부(113)를 덮어 빛이 투명부(113)를 투과하는 것을 차단한다. 이와 같은 복수 개의 롤업 브레이드(120)는 각각 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 2개의 층(121,122)으로 형성되며, 투명부(113)의 일측으로 베이스판(110)에 고정된 고정부(120a)와 고정부(120a) 쪽으로 말리는 가동부(120b)를 포함한다. 즉, 롤업 브레이드(120)는 투명부(113)에 대응되는 박막(thin film) 형상으로 형성되며, 베이스판(110)과 접하는 하부 절연층(121)과, 하부 절연층(121)의 상측에 형성되는 상부 전극(122)을 포함한다. 따라서, 복수 개의 롤업 브레이드(120)는 투명부(113)와 대응되도록 원, 삼각형, 타원, 사다리꼴, 다각형, 비정형의 폐곡선 도형 등 다양한 형상으로 형성할 수 있으며, 복수 개의 롤업 브레이드(120)의 하부 절연층(121)은 베이스판(110)의 투명부(113)와 접촉하게 된다.
본 실시예의 경우에는, 복수 개의 롤업 브레이드(120)는 원형의 투명부(113) 외측에 설치된다. 이때, 복수 개의 롤업 브레이드(120)는 원형의 투명부(113)를 완전히 덮을 수 있도록 원형의 투명부(113)를 둘러싸는 정다각형을 형성하도록 설치된다(도 1b 참조). 따라서, 각각의 롤업 브레이드(120)는 투명부(113)의 중심(113c)을 꼭지점으로 하는 삼각형으로 형성된다. 이때, 도 1b에 도시된 바와 같이 삼각형 형상의 롤업 브레이드(120)의 밑변(120d)은 정다각형의 각 변에 위치하게 된다. 따라서, 롤업 브레이드(120)의 밑변 부분은 베이스판(110)에 고정되는 고정부(120a)를 이루고, 나머지 부분이 감겼다 펴지면서 선택적으로 투명부(113)를 덮는 가동부(120b)를 형성한다. 본 실시예의 경우에는 도 1b 및 도 1c에 도시된 바와 같이 복수 개의 롤업 브레이드(120)가 정12각형을 이루도록 형성된다. 정다각형의 변의 개수가 많아 질수록 복수 개의 롤업 브레이드(120)에 의해 형성되는 조리개 구멍(101)이 원형에 근접하게 된다.
또한, 롤업 브레이드(120)가 일정한 방향으로 감기도록 가동부(120b)에 복수 개의 주름(120c)을 형성할 수 있다. 도 1a도시된 바와 같이 롤업 브레이드(120)가 감기도록 하기 위해서는 롤업 브레이드(120)가 감기고 펴지는 방향(화살표 A)에 대해 직각으로 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)에 복수 개의 주름(120c)을 형성하는 것이 바람직하다.
롤업 브레이드(120)는 구동력이 인가되지 않으면, 가동부(120b)가 말린 상태를 유지할 수 있도록, 하부 절연층(121)과 상부 전극(122)은 서로 다른 잔류응력을 갖는다. 롤업 브레이드(120)의 잔류응력 분포의 일 예가 도 3a에 도시되어 있다. 도 3a를 참조하면, 상부 전극(122)은 인장 잔류응력(σ1)을 갖고 있으며, 하부 절 연층(121)은 압축 잔류응력(σ2)을 갖고 있다. 따라서, 상부 전극(121)에 구동력이 인가되지 않으면, 상부 전극(122)은 인장 잔류응력(σ1)에 의해 압축되는 방향으로 힘을 받고, 하부 절연층(121)은 압축 잔류응력(σ2)에 의해 인장하는 방향으로 힘을 받는다. 따라서, 롤업 브레이드(120)는 도 3b에 도시된 바와 같이 상부 전극(122)의 상측으로 감겨 상부 전극(122)이 오목하게 굽게 된다. 도 3b에서 R1은 오목하게 굽은 롤업 브레이드(120)의 상부 전극(122)의 곡률반경을 나타낸다.
또한, 도 4a에 도시된 바와 같이, 롤업 브레이드(120)의 상부 전극(122)이 인장 잔류응력(σ1)을 갖고 있고, 하부 절연층(121)은 잔류응력을 갖지 않는 경우에는, 상부 전극(122)에만 인장 잔류응력(σ1)에 의해 압측되는 방향으로 힘이 인가되므로 롤업 브레이드(120)가 상부 전극(122)의 상측으로 오목하게 굽게 된다. 이 경우에는 상부 전극(122)의 곡률반경(R2)이 R1보다 크게 된다.
또한, 도 4b에 도시된 바와 같이, 롤업 브레이드(120)의 상부 전극(122)이 인장 잔류응력(σ1)을 갖고 있고, 하부 절연층(121)은 상부 전극(122)의 인장 잔류응력(σ1)보다 작은 인장 잔류응력(σ3)을 갖고 있는 경우에도, 상부 전극(122)에 작용하는 압축력이 하부 절연층(121)에 작용하는 압축력보다 크므로 롤업 브레이드(120)는 상부 전극(122)의 상측으로 오목하게 굽게 된다. 이 경우에는 상부 전극(122)의 곡률반경(R3)이 R2보다 크게 된다.
따라서, 본 발명에 사용되는 롤업 브레이드(120)는 상부 전극(122)의 잔류응력(σ1)과, 하부 절연층(121)의 잔류응력(σ2,σ3)을 적절하게 조절함으로써 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)가 감기는 곡률을 조절할 수 있다. 롤업 브레이 드(120)의 가동부(120b)의 곡률반경을 작게 하여, 롤업 브레이드(120)가 도 1a 및 도 2a에 도시된 바와 같이 1바퀴 이상 감기도록 하면, 셔터(100)의 높이를 낮출 수 있다.
롤업 브레이드(120)의 하부 절연층(121)은 PECVD, Si3N4, SiO2, Parylene 등의 물질을 사용하여 만들 수 있으며, 상부 전극(122)으로는 Cr, Al, Au, Mo, Cu 등의 물질을 사용하여 만들 수 있다. 또한, 롤업 브레이드(120)의 하부 절연층(121)과 상부 전극(122)의 적어도 하나는 가시광을 차단할 수 있는 광학적 검정(optical black)의 성질을 갖는 물질을 사용하여 제작하면 좋다.
도 5a 및 도 5b는 롤업 브레이드(120',120")의 다른 예를 나타낸다. 도 5a 및 도 5b에 도시된 롤업 브레이드(120',120")는 2개의 층 중 한 층이 압전구동층(125,127)으로 형성된다.
도 5a에 도시된 롤업 브레이드(120')는 하부에 절연층(124)이 있고, 절연층(124)의 상측에 압전구동층(125)이 형성된다. 이때, 롤업 브레이드(120')가 상측으로 말리도록 하기 위해, 하부의 절연층(124)은 압축 잔류응력을 가지며, 상측의 압전구동층(125)은 인장 잔류응력을 갖도록 형성된다. 도 5b에 도시된 롤업 브레이드(120")는 하부에 압전구동층(127)이 있고, 압전구동층(127)의 상부에 절연층(126)이 형성된다. 롤업 브레이드(120")가 상측으로 말리도록 하기 위해 하부의 압전구동층(127)은 압축 잔류응력을 가지며, 상측의 절연층(126)은 인장 잔류응력을 갖도록 형성된다. 여기서, 압전구동층(125,127)은 층상 구조로 제1전극 층(125a,127a), 압전층(125b,127b), 제2전극층(125c,127c)으로 형성된다. 따라서, 도 5b의 롤업 브레이드(120")가 접촉하는 베이스판(110)의 투명전극(112)의 상측에는 압전구동층(127)의 제2전극층(127c)이 투명전극(112)과 접촉하는 것을 방지할 수 있도록 투명한 절연층(117)을 형성한다.
이때, 베이스판(110)의 투명전극(112)에 가장 가까운 롤업 브레이드(120',120")의 압전구동층(125,127)의 전극층(125c,127c)에는 롤업 브레이드(120',120")를 펼 수 있는 정전력을 발생시킬 수 있는 전압이 인가된다. 즉, 압전구동층(125,127)의 2개의 전극층(125a,125c,127a,127c) 중 투명전극(112)에 가까운 전극층(125c,127c)은 전극층(125c,127c)과 투명전극(112) 사이에 정전력을 발생시키고, 압전구동층(125,127)의 다른 전극층(125a,127a)과의 사이에는 압전구동력을 발생시키는 전극으로 사용된다.
예를 들면, 도 5a와 같이 압전구동층(125)이 절연층(124)의 상측에 있는 경우에는 압전구동층(125)의 제2전극층(125c)과 베이스판(110)의 투명전극(112) 사이에 정전력이 발생하고, 압전구동층(125)의 제1전극층(125a)과 제2전극층(125c) 사이에는 압전구동력이 발생하도록 투명전극(112), 제1전극층(125a), 및 제2전극층(125c)에 전압이 인가된다. 예를 들면, 압전구동층(125)의 제2전극층(125c)에 +5V의 전압을 인가하고, 투명전극(112)과 제1전극층(125a)을 0V로 하는 것이다. 이와 같이 압전구동층(125)과 투명전극(112)에 전압을 인가하면, 투명전극(112)과 제2전극층(125c) 사이에는 정전력이 발생하고, 제1전극층(125a)과 제2전극층(125b) 사이에는 압전구동력이 발생하여, 롤업 브레이드(120')를 압전구동력과 정전력으로 동시에 구동할 수 있다. 상기의 설명에서 투명전극(112)과 제1전극층(125a)과 제2전극층(125c)에 인가되는 전압은 일 예일 뿐이며, 여러 가지 방법으로 전압을 인가할 수 있다.
또한, 도 5b와 같이 압전구동층(127)이 절연층(126)의 하측에 있는 경우에는 압전구동층(127)의 제2전극층(127c)과 투명전극(112) 사이에 정전력이 발생하고, 압전구동층(127)의 제1전극층(127a)과 제2전극층(127c) 사이에는 압전구동력이 발생하도록 투명전극(112), 제1전극층(127a), 및 제2전극층(127c)에 전압을 인가한다. 이와 같이 압전구동층(125,127)의 한 개의 전극층(125c,127c)을 정전력 구동을 위한 전극으로 사용하면, 압전구동력과 정전력을 동시에 사용하여 롤업 브레이드(120',120")의 펴짐 정도를 제어할 수 있다.
상기의 설명과 같이, 롤업 브레이드(120',120")가 압전구동층(125,127)을 포함하도록 구성하면, 롤업 브레이드(120',120")와 투명전극(112) 사이에 작용하는 정전력과 압전구동층(125,127)의 압전구동력을 이용하여 롤업 브레이드(120',120")를 펼 수 있다. 따라서, 롤업 브레이드(120',120")를 동작시키기 위해 필요한 전압을 낮출 수 있는 효과가 있다.
다시 도 1a 내지 도 2b를 참조하면, 제어부(150)는 복수 개의 롤업 브레이드(120)의 상부 전극(122)과 베이스판(110)의 투명전극(112)에 소정의 전압을 인가하여 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)가 펴져서 투명부(113)에 밀착하도록 한다. 제어부(150)는 복수 개의 롤업 브레이드(120)와 베이스판(110)에 인가하는 전압의 크기를 조절하여 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)가 펴지는 정도를 여러 단계로 제어할 수 있다. 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)가 펴지는 정도에 따라서 빛이 통과할 수 있는 투명부(113)의 면적이 변화하므로, 투명부(113)를 통과하는 빛의 양이 변화하게 된다. 따라서, 복수 개의 롤업 브레이드(120)가 조리개의 기능을 할 수 있다.
이하, 상기와 같은 본 발명의 제1실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터(100)의 작용에 대하여 도 1a 내지 도 2b를 참조하여 설명한다.
제어부(150)가 복수 개의 롤업 브레이드(120)에 전압을 인가하지 않으면, 복수 개의 롤업 브레이드(120)는 도 1a 및 도 2a에 도시된 바와 같이 가동부(120b)가 말린 상태로 고정부(120a)의 위에 위치한다. 이때는, 베이스판(110)의 투명부(113)가 완전히 개방되어 있으므로, 최대 량의 빛이 투명부(113)를 통과하게 된다.
이 상태에서, 제어부(150)가 셔터 작동신호를 받으면, 제어부(150)는 복수 개의 롤업 브레이드(120)의 상부 전극(122)과 베이스판(110)의 투명전극(112)에 셔터전압을 인가하게 된다. 복수 개의 롤업 브레이드(120)와 투명전극(112) 사이에 셔터전압이 인가되면, 복수 개의 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)와 투명전극(112) 사이의 정전력에 의해 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)가 점점 펴져 도 1b와 도 2b와 같이 투명부(113)를 덮게 된다. 복수 개의 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)가 베이스판(110)의 투명부(113)를 완전히 덮으면, 빛이 차단된다. 여기서, 셔터전압은 복수 개의 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)를 완전히 펴서 베이스판(110)의 투명부(113)에 밀착시킬 수 있는 크기의 전압을 말한다.
이 상태에서, 제어부(150)가 복수 개의 롤업 브레이드(120)에 인가하는 셔터 전압을 차단하면, 복수 개의 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)는 잔류응력에 의해 스스로 반 시계방향으로 말려 도 1a 및 도 2a에 도시된 바와 같이 고정부(120a) 상에 위치하게 된다. 그러면, 베이스판(110)의 투명부(113)가 개방되므로, 빛이 개방된 투명부(113)를 통과할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 초소형 셔터(100)를 조리개로 사용하고자 할 경우에는 제어부(150)가 복수 개의 롤업 브레이드(120)의 상부 전극(122)과 투명전극(112) 사이에 셔터전압보다 작은 전압을 인가한다. 복수 개의 롤업 브레이드(120)와 투명전극(112) 사이에 전압이 인가되면, 인가된 전압의 크기에 따라 복수 개의 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)가 도 1c에 도시된 바와 같이 투명부(113)의 일부를 덮어 중앙에 대략 원형의 조리개 구멍(101)을 형성하게 된다. 따라서, 빛은 이 조리개 구멍(101)을 통해서 투명부(113)를 통과하게 된다. 제어부(150)는 복수 개의 롤업 브레이드(120)에 인가되는 전압의 크기를 제어함으로써, 조리개 구멍(101)의 크기를 임의로 제어할 수 있다. 따라서, 제어부(150)가 투명부(113)를 통과하는 빛의 양을 조절할 수 있다. 즉, 제어부(150)는 복수 개의 롤업 브레이드(120)에 인가되는 전압의 크기를 제어함으로써 복수 개의 롤업 브레이드(120)의 펴짐 정도를 롤업 브레이드(120)가 완전히 말린 상태, 완전히 펴진 상태, 일부만 펴진 상태의 적어도 3단계 이상으로 제어할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 제1실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터(100)는 복수 개의 롤업 브레이드(120)가 박막형상으로 형성되어 있으므로, 저전력으로 구동이 가능하다. 따라서, 전력의 소모가 작으며, 제어가 용이하다. 또한, 롤업 브레이드(120)가 박막으로 형성되어 관성질량이 적으므로 고속의 동작이 가능하다. 또한, 복수 개의 롤업 브레이드(120)를 정다각형으로 배치하면, 조리개를 원형에 근사하게 할 수 있는 장점이 있다.
이상에서는 롤업 브레이드(120)의 펴짐을 제어하는 구동력으로 정전력을 사용하는 경우에 대해 설명하였으나, 다른 예로서, 롤업 브레이드(120)와 베이스판(110) 사이에 선택적으로 자기력을 발생할 수 있도록 구성하고 이 자기력을 이용하여 롤업 브레이드(120)의 펴짐 정도를 제어할 수도 있다.
도 6에는, 빛의 차단효과를 높이기 위해, 인접한 롤업 브레이드(220)가 부분적으로 서로 중첩되도록 형성된 복수 개의 롤업 브레이드(220)를 구비한 초소형 셔터(200)가 도시되어 있다. 이때, 복수 개의 롤업 브레이드(220)는 복수 층으로 형성할 수 있다. 예를 들면, 복수 개의 롤업 브레이드(220) 중 홀수 번째의 롤업 브레이드(도 6의 n1,n3)는 1층으로 형성하고, 짝수 번째의 롤업 브레이드(도 6의 n2,n4)는 2층으로 형성하는 것이다. 이때, 도 6에 도시된 바와 같이 1층과 2층의 롤업 브레이드(220)의 양변의 일부분(221)이 서로 중첩되도록 하면 인접하는 롤업 브레이드(220) 사이로 빛이 통과하는 것을 완전히 차단할 수 있다.
또는, 도 6에는 도시하지 않았지만, 복수 개의 롤업 브레이드(220)는 상술한 홀수 번째의 롤업 브레이드로 이루어진 1층과 짝수 번째의 롤업 브레이드로 이루어진 2층 외에 복수 개의 롤업 브레이드(220)의 꼭지점이 모이는 중심을 막는 중심 커버용 층(미도시)을 한층 더 형성하여 3개의 층으로 형성할 수도 있다. 또한, 복수 개의 롤업 브레이드(220)는 각각의 롤업 브레이드(220)를 각각 다른 층으로 형 성할 수도 있다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 제2실시예로서 24개의 롤업 브레이드(320)를 갖는 초소형 셔터(300)를 나타낸다. 즉, 복수 개의 롤업 브레이드(320)가 정24각형을 이루도록 배치되어 있다. 도 7a는 베이스판(110)의 투명부(113)가 개방된 상태를 나타내며, 도 7c는 복수 개의 롤업 브레이드(320)가 투명부(113)를 덮어 빛을 차단한 상태를 나타낸다. 도 7b는 복수 개의 롤업 브레이드(320)에 셔터전압보다 작은 소정의 전압이 인가되어 복수 개의 롤업 브레이드(320)가 완전히 개방된 투명부(113)보다 작은 지름의 조리개 구멍(301)을 형성한 경우를 나타낸다. 도 7b의 조리개 구멍(301)이 도 1c의 조리개 구멍(101)보다 더 원형에 근접한 것을 알 수 있다. 복수 개의 롤업 브레이드(320) 각각의 구조는 상술한 제1실시예에 의한 초소형 셔터(100)의 롤업 브레이드(120)와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
제어부(150)는 복수 개의 롤업 브레이드(320)에 전압을 인가하여 롤업 브레이드(320)의 펴짐을 여러 단계로 제어한다. 제어부(150)가 복수 개의 롤업 브레이드(320)에 셔터전압을 인가하면, 모든 롤업 브레이드(320)가 펴져 원형의 투명부(113)를 덮어 빛을 차단하게 된다. 제어부(150)가 셔터전압을 차단하면, 복수 개의 롤업 브레이드(320)는 가동부(320b)가 스스로 상측으로 말려 고정부(320a)의 위에 위치하게 된다. 따라서, 베이스판(110)의 투명부(113)가 완전히 개방된다.
만일, 제어부(150)가 셔터전압보다 작은 전압을 복수 개의 롤업 브레이드(320)에 인가하면, 복수 개의 롤업 브레이드(320)는 도 7b에 도시된 바와 같이 중앙에 조리개 구멍(301)을 형성하게 된다. 따라서, 빛은 이 조리개 구멍(301)을 통해서 투명부(113)를 통과하게 된다. 제어부(150)는 복수 개의 롤업 브레이드(320)에 인가되는 전압의 크기를 제어함으로써, 조리개 구멍(301)의 크기가 거의 직선적으로 변화하도록 제어할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의한 초소형 셔터(300)를 조리개로 이용하는 것이 가능하다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제3실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터(400)를 나타내는 사시도이다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터(400)는 베이스판(410)과, 롤업 브레이드(420), 및 제어부(430)를 포함한다.
베이스판(410)은 투명기판(411)과 투명기판(411)의 상측에 형성된 투명전극(412)을 포함한다. 투명전극(412)의 상면에는 투명부(413)가 형성된다. 본 실시예의 경우에는 투명부(413)가 직사각형으로 형성되어 있다. 그러나, 투명부(413)는 필요에 따라 원, 삼각형, 타원, 사다리꼴, 다각형, 비정형의 폐곡선 도형 등 다양한 형상으로 형성할 수 있다. 또한, 투명부(413) 외측으로 투명전극(412)의 상면에는 빛이 통과하지 못하도록 불투명부(414)가 형성될 수 있다.
롤업 브레이드(420)는 선택적으로 베이스판(410)의 투명부(413)를 덮어 빛이 투명부(413)를 통과하는 것을 차단할 수 있도록 형성된다. 즉, 롤업 브레이드(420)에 구동력이 인가되지 않으면, 롤업 브레이드(420)는 말린 상태로 있고, 구동력이 인가되면, 롤업 브레이드(420)가 펴져 투명부(413)를 덮어 빛이 투명부(413)를 투과하는 것을 차단한다. 롤업 브레이드(420)는 2개의 층으로 형성되며, 투명부(413) 의 일측으로 베이스판(410)에 고정된 고정부(420a)와 고정부(420a) 쪽으로 말리는 가동부(420b)를 포함한다. 또한, 롤업 브레이드(420)가 감기고 펴지는 방향에 대해 직각으로 롤업 브레이드(420)의 가동부(420b)에는 복수 개의 주름(420c)이 형성될 수 있다.
제어부(430)는 롤업 브레이드(420)에 전압을 인가하여 롤업 브레이드(420)의 펴짐을 여러 단계로 제어한다.
본 실시예에 의한 초소형 셔터(400)는 한 개의 롤업 브레이드(420)가 투명부(413)를 개폐하는 것 외에는 그 구성 및 작용은 상술한 제1실시예에 의한 초소형 셔터(100)와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 제4실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터(500)를 나타내는 사시도이다.
도 9a 내지 도 9c를 참조하면, 본 발명의 제4실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터(500)는 베이스판(510)과 한 쌍의 롤업 브레이드(520,530)를 포함한다.
베이스판(510)은 투명기판(511)과 투명기판(511)의 상측에 형성된 투명전극(512)을 포함한다. 투명기판(511)에는 대략 직사각형의 투명부(513)가 형성된다. 투명부(513)의 외측에는 빛을 차단하는 불투명부(540)가 마련될 수 있다. 이와 같은 베이스판(510)의 구성은 상술한 제1실시예에 의한 초소형 셔터(100)와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
한 쌍의 롤업 브레이드(520,530)는 투명부(513)를 덮을 수 있도록 투명 부(513)의 양측에 투명전극(512) 위에 서로 마주 보도록 설치된다. 한 쌍의 롤업 브레이드(520,530)는 각각이 투명부(513)를 완전히 덮을 수 있는 크기로 형성된다. 한 쌍의 롤업 브레이드(520,530)의 구조 및 동작은 상술한 제1실시예에 의한 초소형 셔터(100)의 롤업 브레이드(120)와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
제어부(550)는 한 쌍의 롤업 브레이드(520,530)에 전압을 인가하여 한 쌍의 롤업 브레이드(520,530)가 펴지는 정도를 여러 단계로 제어한다. 도 9a는 제어부(550)가 우측의 롤업 브레이드(530)에 셔터전압을 인가하고, 좌측의 롤업 브레이드(520)에는 전압을 인가하지 않은 상태이다. 그러면, 우측 롤업 브레이드(530)가 펴져 투명부(513)를 덮게 되므로, 빛이 투명부(513)를 통과하지 못한다. 도 9c는 제어부(550)가 좌측의 롤업 브레이드(520)에 셔터전압을 인가하고, 우측의 롤업 브레이드(530)에는 전압을 인가하지 않은 상태이다. 그러면, 좌측 롤업 브레이드(520)가 펴져 투명부(513)를 덮게 되므로, 빛이 투명부(513)를 통과하지 못한다.
도 9b는 본 실시예에 의한 초소형 셔터(500)가 동작하는 모습을 나타내는 사시도이다. 제어부(550)는 한 쌍의 롤업 브레이드(520,530)에 소정의 전압을 인가하여 한 쌍의 롤업 브레이드(520,530)가 접촉하지 않고 서로 일정 간격(W) 떨어지도록 한다. 그러면, 한 쌍의 롤업 브레이드(520,530)의 사이에 슬릿(slit)(501)이 형성되며, 이 슬릿(501)이 빛이 통과하는 영역이 된다. 이어서, 제어부(550)는 슬릿(501)이 투명부(513)의 일측에서 반대측으로 이동하도록 한 쌍의 롤업 브레이드(520,530)를 제어한다. 즉, 제어부(550)가 한쪽의 롤업 브레이드(520,530)에 인가되는 전압은 증가시키고 다른 쪽의 롤업 브레이드(530,520)에 인가되는 전압을 낮추면, 슬릿(501)이 투명부(513)를 따라 이동하게 된다. 따라서, 본 발명에 의한 초소형 셔터(500)는 속도가 빠른 슬릿 포컬 플레인 셔터(slit focal plane shutter)로 사용할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터(100)를 구비한 마이크로 카메라 모듈(600)의 일 예를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
마이크로 카메라 모듈(600)은 초소형 셔터(100), 렌즈유닛(700), 이미지 센서(800)를 포함한다.
초소형 셔터(100)는 복수 개의 롤업 브레이드(120)를 동작시켜 이미지 센서(800)로 인입되는 빛의 양을 제어하는 것으로서, 상술한 바와 같이 조리개로서도 기능할 수 있다. 초소형 셔터(100)의 베이스판(110)에는 복수 개의 롤업 브레이드(120)를 보호하기 위한 커버(102)가 설치될 수 있다. 또한, 초소형 셔터(100)의 베이스판(110)의 투명기판(111)에는 투명부(113)를 통과한 빛을 조절하는데 사용되는 필터, 렌즈 등과 같은 광학부품(701)을 일체로 형성할 수 있다.
렌즈유닛(700)은 초소형 셔터(100)를 통과한 빛이 이미지 센서(800)에 초점을 맺도록 한다. 도시하지는 않았으나, 렌즈유닛(700)은 초소형 셔터(100)의 상측에도 설치될 수 있다.
이미지 센서(800)는 원하는 해상도의 사진을 촬영할 수 있도록 수많은 화소(pixel)를 갖는다. 예를 들면, 200만~800만 화소의 이미지 센서(800)가 사용될 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 의한 초소형 셔터(100)가 작동하면, 이미지 센서(800)는 사용자가 원하는 화상을 형성하게 된다.
이하, 도 11a 내지 도 11e를 참조하여 본 발명의 일 실시예 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터(100)의 제조방법에 대하여 상세하게 설명한다. 본 발명에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터(100)를 제조할 때는 웨이퍼 레벨의 반도체 공정을 이용한다. 도면에서는 설명의 편의를 위해 한 개의 롤업 브레이드(120)를 형성하는 과정만을 도시하였다.
먼저, 투명기판(110)을 준비하고, 그 위에 투명전극층(112)을 형성한다. 투명기판(111)으로는 유리(glass), 석영(quartz), 플라스틱(plastic), 실리카(silica) 등의 물질을 사용할 수 있으며, 투명전극층(112)을 형성하기 위해서는 ITO(Indium Tin Oxide), Electro active polymer 등의 물질이 사용될 수 있다.
투명전극층(112) 위에 희생층(118)을 패터닝하여 형성한다. 회생층(118)은 롤업 브레이드(120)의 가동부(120b)의 형상에 대응되도록 형성할 수 있다. 희생층(118)은 포토레지스트(Photoresist), 파릴린(Parylene), PECVD a-Si(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition amorphous Silicon), poly-Si(Poli-Silicon)등의 물질을 사용하여 형성한다.
희생층(118)의 상측에 롤업 브레이드(120)의 하부 절연층에 해당하는 절연층(121)을 패터닝하여 형성한다. 이때, 롤업 브레이드(120)의 고정부(120a)에 해당하는 절연층 부분(121a)은 투명전극층(112) 위에 형성된다. 절연층(121)은 광학적 검정의 성질을 갖는 물질로 형성하는 것이 바람직하다. 이와 같은 절연층(121)은 PECVD, Si3N4, SiO2 Parylene등의 물질을 사용하여 형성할 수 있다.
이어서, 절연층(121)의 상면에 롤업 브레이드(120)의 상부 전극에 해당하는 전극층(122)을 패터닝하여 형성한다. 전극층(122)은 금속 또는 기타 전극물질을 사용하여 형성한다. 예컨대, Cr, Al, Au, Mo, Cu 등의 물질을 사용하여 전극층(122)을 형성할 수 있다. 또한, 전극층(122)은 광학적 검정의 성질을 갖는 물질로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 절연층(121)과 전극층(122)으로 형성되는 롤업 브레이드(120)가 스스로 상측으로 감길 수 있도록, 전극층(122)과 절연층(121)의 잔류응력을 적절하게 조절하여 형성한다.
마지막으로, 플라즈마 에칭(plasma etching), 기상 에칭(vapor phase etching) 공정 등을 이용하여 희생층(118)을 제거한다. 그러면, 롤업 브레이드(20)를 형성하는 절연층(121)과 전극층(122)이 잔류응력의 작용으로 스스로 도 11e에 도시된 바와 같이 상측으로, 즉 반 시계방향으로 말리게 된다.
이와 같이 웨이퍼 레벨의 반도체 공정을 이용하여 초소형 셔터(100)를 제작하는 경우에는 제조공정상 포토 마스크의 디자인을 변경하여 롤업 브레이드(120)의 개수를 쉽게 조절할 수 있다. 따라서, 사용되는 롤업 브레이드(120)의 개수를 쉽게 늘릴 수 있다. 또한, 반도체 생산공정을 이용하므로 초소형의 셔터(100)를 제조하는 것이 용이하며 생산성이 높다. 필요한 경우에는 웨이퍼 레벨의 렌즈 어레이(lens array)나 이미지 센서 모듈과 결합 생산하는 것도 가능하다.
본 발명은 상술한 특정의 실시예들에 한정되지 아니하며, 후술하는 청구범위에 기재된 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 행할 수 있는 단순한 구성요소의 치환, 부가, 삭제, 변경은 본 발명의 청구범위 기재 범위 내에 속하게 된다.
도 1a는 개방된 상태의 본 발명의 제1실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터를 나타내는 사시도;
도 1b는 도 1a의 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터가 빛을 차단한 상태를 나타내는 사시도;
도 1c는 도 1a의 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터가 조리개를 형성한 상태를 나타내는 사시도;
도 2a와 도 2b는 각각 도 1a 및 도 1b의 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터를 선Ⅱ-Ⅱ에서 절단하여 나타낸 단면도;
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터의 롤업 브레이드의 잔류응력의 분포를 나타낸 부분 단면도;
도 3b는 도 3a의 잔류응력 분포를 갖는 롤업 브레이드의 굽힘을 나타내는 부분 단면도;
도 4a와 도 4b는 각각 다른 잔류응력 분포를 갖는 본 발명의 일 실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터의 롤업 브레이드를 나타낸 부분 단면도;
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명의 일 실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터에 사용할 수 있는 롤업 브레이드의 예를 나타낸 부분 단면도;
도 6은 복수 개의 롤업 브레이드를 중첩하여 형성한 본 발명의 일 실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터를 나타내는 사시도;
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 제2실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터의 동작을 나타내는 사시도;
도 8a 내지 도 8b는 본 발명의 제3실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터의 동작을 나타내는 사시도;
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 제4실시예에 의한 초소형 셔터의 동작을 나타내는 사시도;
도 10은 본 발명의 일 실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터를 구비한 마이크로 카메라 모듈을 개략적으로 나타낸 단면도;
도 11a 내지 도 11e는 본 발명의 일 실시예에 의한 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터를 제조하는 공정을 나타낸 공정도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100,200,300,400,500 : 초소형 셔터 110,310,410,510 ; 베이스판
111,311,411,511; 투명기판 112,312,412,512; 투명전극
113,313,413,513; 투명부 140,340.440,540; 불투명부
120,320,420,520; 롤업 브레이드 121; 하부 절연층
122; 상부 전극 150,350,430,550; 제어부
101,301; 조리개 구멍 102; 커버
501; 슬릿 600; 마이크로 카메라 모듈
700; 렌즈유닛 800; 이미지 센서

Claims (23)

  1. 빛이 통과할 수 있으며, 이미지 센서에 대응되는 크기의 원형으로 형성된 투명부를 구비한 베이스판;
    빛을 차단하는 재질로 형성되며, 상기 베이스판에 상기 투명부의 둘레에 상기 투명부를 덮을 수 있도록 정다각형으로 배치되며, 각각 상기 베이스판에 고정되는 고정부와 상기 고정부 쪽으로 말리는 가동부를 구비하는 복수 개의 롤업 브레이드; 및
    상기 베이스판과 상기 복수 개의 롤업 브레이드 사이에 전기적으로 연결되며, 상기 복수 개의 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 롤업 브레이드는 삼각형의 박막으로 형성된 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 복수 개의 롤업 브레이드의 각각은,
    상기 베이스판과 접하는 하부 절연층; 및
    상기 하부 절연층의 상측에 형성되는 상부 전극;을 포함하며, 상기 하부 절 연층과 상부 전극은 상기 가동부가 상기 고정부 쪽으로 감기도록 서로 다른 잔류응력을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 상부 전극은 인장 잔류응력을 가지도록 형성된 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 롤업 브레이드의 각각은,
    상기 베이스판과 접하는 하부 절연층; 및
    상기 하부 절연층의 상측에 형성되는 압전구동층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 롤업 브레이드의 각각은,
    상기 베이스판과 접하는 압전구동층; 및
    상기 압전구동층의 상측에 형성되는 절연층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 압전구동층은 제1전극층, 압전층, 제2전극층의 층상 구조로 형성되며, 상기 제1전극층 또는 제2전극층에는 상기 압전구동층에 압전구동력을 발생시키고, 상기 절연층과의 사이에 정전력을 발생시키는 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 롤업 브레이드는 인접하는 롤업 브레이드가 서로 일정 부분 중첩되도록 설치된 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 복수 개의 롤업 브레이드는 적어도 2개 층으로 형성된 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 롤업 브레이드는 감기는 방향과 직각으로 형성된 복수 개의 주름을 포함하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스판은,
    투명기판; 및
    상기 투명기판의 상측에 설치되는 투명전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 투명기판에는 광학부품이 형성된 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 복수 개의 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 3단계 이상으로 제어하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는 자기력을 이용하여 상기 복수 개의 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 제어하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스판에 상기 복수 개의 롤업 브레이드 상측에 설치되는 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  16. 빛이 통과할 수 있으며, 이미지 센서에 대응되도록 형성된 투명부를 구비한 베이스판;
    빛을 차단하는 재질로 박막 형상으로 형성되며, 상기 베이스판에 상기 투명부를 사이에 두고 서로 마주 보도록 배치되며, 각각 상기 베이스판에 고정되는 고정부와 상기 고정부 쪽으로 말리는 가동부를 구비하는 한 쌍의 롤업 브레이드; 및
    상기 베이스판과 상기 한 쌍의 롤업 브레이드 사이에 전기적으로 연결되며, 상기 한 쌍의 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 한 쌍의 롤업 브레이드가 슬릿을 형성하고, 상기 슬릿이 상기 투명부의 일측에서 반대측으로 이동하도록 상기 한 쌍의 롤업 브레이드를 제어하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터.
  18. 이미지 센서;
    상기 이미지 센서의 상측에 설치되며, 상기 이미지 센서에 대응되도록 형성되며 빛이 통과하는 투명부를 구비한 베이스판;
    빛을 차단하는 재질로 박막 형상으로 형성되며, 상기 베이스판에 상기 투명부의 일측에 고정되는 고정부와, 상기 투명부에 대응되는 형상으로 형성되며 상기 고정부 쪽으로 말리는 가동부를 구비한 롤업 브레이드; 및
    상기 베이스판과 상기 롤업 브레이드 사이에 전기적으로 연결되며, 상기 롤업 브레이드의 펴짐 정도를 적어도 3단계 이상으로 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 카메라 모듈.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 투명부는 원형으로 형성되며,
    상기 롤업 브레이드는 상기 투명부의 둘레에 상기 투명부를 덮을 수 있도록 정다각형으로 배치되는 복수 개로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 카메라 모듈.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 롤업 브레이드는 삼각형으로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 카메라 모듈.
  21. 제 18 항 내지 제 20 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 롤업 브레이드는,
    상기 베이스판과 접하는 하부 절연층; 및
    상기 하부 절연층의 상측에 형성되며 인장 잔류응력을 갖는 상부 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 카메라 모듈.
  22. 투명기판에 투명전극층을 형성하는 단계;
    상기 투명전극층의 상측에 투명부에 대응되는 희생층을 형성하는 단계;
    상기 희생층과 투명전극층의 상측에 롤업 브레이드에 대응되는 형상으로 절 연층을 형성하는 단계;
    상기 절연층의 상측에 얇은 전극층을 형성하는 단계; 및
    상기 희생층을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터의 제조방법.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 절연층과 전극층은 서로 다른 잔류응력을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 조리개 기능을 갖는 초소형 셔터의 제조방법.
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