KR20090054892A - Color filter defect correction device and color filter defect correction method - Google Patents

Color filter defect correction device and color filter defect correction method Download PDF

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KR20090054892A
KR20090054892A KR1020080092614A KR20080092614A KR20090054892A KR 20090054892 A KR20090054892 A KR 20090054892A KR 1020080092614 A KR1020080092614 A KR 1020080092614A KR 20080092614 A KR20080092614 A KR 20080092614A KR 20090054892 A KR20090054892 A KR 20090054892A
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히로아키 오바
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에누티에누 가부시기가이샤
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Abstract

A color filter defect correcting device and a color filter defect correcting method are provided to perform one of the irradiation of a laser beam and an ink coating in a region selected by a color filter by forming a correction process unit. A host computer(1) controls the whole operation of a color filter defect correcting device(101). A control computer(2) controls each unit mounted on the color filter defect correcting device. An image processor(3) detects the defect point of the color filter based on the photographed image of the color filter. A positioning apparatus(51) changes the position of the color filter. A Z-axis stage(4) changes the height of a correction processor(50) for an XY table(5). A laser irradiation unit(7) irradiates the laser beam to one pixel or more in the color filter through a slot of a variable slit unit(8). An ink coating unit(9) coats the ink for correcting the defect on one pixel or more. A monitor(10) displays the image of the color filter of the image processor.

Description

컬러필터 결함 수정 장치 및 컬러필터 결함 수정 방법{COLOR FILTER DEFECT CORRECTION DEVICE AND COLOR FILTER DEFECT CORRECTION METHOD}COLOR FILTER DEFECT CORRECTION DEVICE AND COLOR FILTER DEFECT CORRECTION METHOD}

본 발명은, 컬러필터 결함 수정 장치 및 컬러필터 결함 수정 방법에 관한 것이며, 특히, 컬러필터의 블랙매트릭스 영역 및 착색 영역의 결함을 수정하는 컬러필터 결함 수정 장치 및 컬러필터 결함 수정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a color filter defect correction apparatus and a color filter defect correction method, and more particularly, to a color filter defect correction apparatus and a color filter defect correction method for correcting defects in a black matrix region and a coloring region of a color filter.

액정 디스플레이의 구성 부품인 컬러필터에는, 블랙매트릭스라고 불리는 격자형상의 패턴(크롬, 산화 크롬 및 수지 등의 재료) 및 착색 영역(이하, 컬러필터 영역이라고도 칭한다)이 형성된다. 블랙매트릭스를 형성하는 단계에서의 결함에는, 컬러필터 영역(이 단계에서는 색 없음)까지 블랙매트릭스가 돌출한 흑결함과, 블랙매트릭스의 일부가 떨어져 나간 백결함이 있다. 또한, 착색 후에도 서로의 색이 혼색한 흑결함과, 색이 빠진 백결함이 있다. 종래는, 작업자가 카메라 화상을 보면서 레이저광으로 흑결함을 수정하거나, 잉크로 백결함을 메우거나 하여 수정하는 방법이 채용되고 있다.In the color filter which is a component of the liquid crystal display, a lattice pattern (material such as chromium, chromium oxide, resin) and colored region (hereinafter also referred to as color filter region) are formed called a black matrix. Defects in the step of forming the black matrix include black defects in which the black matrix protrudes to the color filter region (no color in this step), and white defects in which a part of the black matrix is separated. Moreover, even after coloring, there exist black defects in which the colors of each other are mixed, and white defects in which the colors are missing. Conventionally, the method of correct | amending black defects with a laser beam or filling up white defects with ink is employ | adopted while an operator looks at a camera image.

예를 들면, 일본 특개평9-61296호 공보(특허 문헌 1)에는 이하와 같은 컬러필터 결함 수정 장치가 개시되어 있다. 즉, 화상처리부에 의해 컬러필터의 결함 부 분을 인식하고, 인식된 컬러필터의 결함 부분에, 잉크도포부의 잉크 도포용 침으로 잉크를 도포하고, 잉크 경화부에 의해 도포하는 잉크를 경화시키고, 도포된 잉크중 불필요한 부분을 레이저 조사부로부터 레이저를 조사함에 의해 제거한다.For example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 9-61296 (Patent Document 1) discloses the following color filter defect correction apparatus. That is, the defective portion of the color filter is recognized by the image processing portion, the ink is applied to the recognized portion of the defective color filter by the ink coating needle of the ink coating portion, and the ink applied by the ink curing portion is cured. Remove unnecessary portions of the applied ink by irradiating the laser from the laser irradiation unit.

또한, 일본 특개2005-107327호 공보(특허 문헌 2)에는, 레이저광의 조사에 의해 컬러필터의 복수의 결함을 일시에 제거하는 구성이 개시되어 있다.In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 2005-107327 (Patent Document 2) discloses a configuration in which a plurality of defects of a color filter are temporarily removed by irradiation of laser light.

그러나, 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2에서는, 회소(繪素)와 동 사이즈로 동 형상의 슬릿을 이용하고 있고, 결함을 포함하는 회소 전체에 레이저를 조사하고 있기 때문에, 결함 이외의 제거된 부분에도 잉크를 도포할 필요가 있다. 이 때문에, 결함만으로 잉크를 도포하는 경우보다도 많은 시간을 필요로 한다.However, in Patent Literature 1 and Patent Literature 2, the same slit is used at the same size as the dust, and since the laser is irradiated to the entire dust including the defect, the removed portion other than the defect is also used. It is necessary to apply ink. For this reason, more time is required than when applying ink only by a defect.

본 발명의 목적은, 컬러필터의 결함 수정을 적절하게 행하는 것이 가능한 컬러필터 결함 수정 장치 및 컬러필터 결함 수정 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a color filter defect correction apparatus and a color filter defect correction method capable of appropriately correcting a defect of a color filter.

본 발명의 어느 국면에 관한 컬러필터 결함 수정 장치는, 광투과 영역 및 광투과 영역에 인접하는 차광 영역을 갖는 컬러필터의 결함을 수정하는 컬러필터 결함 수정 장치로서, 컬러필터의 결함을 검출하고, 검출된 결함과, 광투과 영역 및 차광 영역의 위치 관계에 의거하여, 컬러필터에서 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 화상처리부와, 컬러필터에서의 결정된 영역에의 레이저광의 조사 및 잉크 도포중 적어도 어느 한쪽의 수정 처리를 행하는 수정처리부를 구비한다.A color filter defect correction apparatus according to an aspect of the present invention is a color filter defect correction apparatus for correcting a defect of a color filter having a light transmission region and a light shielding region adjacent to the light transmission region, and detecting a defect of the color filter. An image processing unit that determines a region to be corrected in the color filter based on the detected defect, the positional relationship between the light transmitting region and the light shielding region, and at least one of irradiating laser light and applying ink to the determined region in the color filter; A correction processing unit that performs either correction processing is provided.

바람직하게는, 수정처리부는, 슬릿을 형성하는 슬릿부와, 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사하는 레이저 조사부를 포함하고, 화상처리부는, 검출된 결함의 전(全)영역이 광투과 영역에 존재하는 경우에는, 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역이 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 차광 영역과 겹치지 않도록 슬릿의 위치를 결정하고, 레이저 조사부는, 결정된 위치에서의 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.Preferably, the correction processing portion includes a slit portion for forming a slit and a laser irradiation portion for irradiating a laser light to the color filter through the slit, and the image processing portion includes the entire region of the detected defect is a light transmission region. In the case of, the position of the slit is determined so that the area of the color filter to which the laser light is irradiated contains at least a part of the detected defect and does not overlap with the light shielding area, and the laser irradiator is provided through the slit at the determined position. The laser beam is irradiated to the color filter.

바람직하게는, 수정처리부는, 슬릿을 형성하는 슬릿부와, 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사하는 레이저 조사부를 포함하고, 화상처리부는, 검출된 결함이 차광 영역 및 광투과 영역에 걸쳐서 존재하는 경우에는, 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역이 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역과 차광 영역의 겹치는 영역이 최소가 되도록 슬릿의 위치 를 결정하고, 레이저 조사부는, 결정된 위치에서의 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.Preferably, the correction processing portion includes a slit portion for forming a slit and a laser irradiation portion for irradiating a laser light to the color filter through the slit, and the image processing portion includes a detected defect over the light shielding region and the light transmitting region. In this case, the position of the slit is determined so that the area of the color filter to which the laser light is irradiated includes at least a part of the detected defect, and the area of the color filter to which the laser light is irradiated and the overlapping area of the light shielding area is minimized. The laser irradiation unit irradiates the laser light to the color filter through the slit at the determined position.

바람직하게는, 화상처리부는, 또한, 검출된 결함이 차광 영역 및 광투과 영역에 걸쳐서 존재하는 경우에는, 검출된 결함중의 차광 영역에서의 결함의 크기와 광투과 영역에서의 결함의 크기를 비교하여, 수정처리부는, 차광 영역 및 광투과 영역중, 결함이 큰 쪽의 영역에 대응하는 색의 잉크를 선택하고, 컬러필터에서의 결정된 영역에 선택한 색의 잉크를 도포하는 잉크도포부를 포함한다.Preferably, the image processing unit further compares the size of the defect in the light blocking area among the detected defects with the size of the defect in the light transmitting area when the detected defect exists over the light shielding area and the light transmitting area. The correction processing unit includes an ink coating unit which selects ink of a color corresponding to a region having a larger defect among the light shielding region and the light transmitting region, and applies ink of the selected color to the determined region in the color filter. .

바람직하게는, 컬러필터는, 차광 영역을 통하여 대향하여 배치되는 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역을 가지며, 수정처리부는, 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역 사이의 거리보다 큰 폭을 갖는 슬릿을 형성하는 슬릿부와, 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사하는 레이저 조사부를 포함하고, 화상처리부는, 검출된 결함의 전영역이 차광 영역에 존재하는 경우에는, 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역이 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 차광 영역 및 하나의 광투과 영역과 겹치도록 슬릿의 위치를 결정하고, 레이저 조사부는, 결정된 위치에서의 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.Preferably, the color filter has a first light transmission region and a second light transmission region which are disposed to face each other through the light shielding region, and the correction processing unit is disposed between the first light transmission region and the second light transmission region. A slit portion for forming a slit having a width greater than the distance of the laser beam; and a laser irradiation portion for irradiating a laser light to the color filter through the slit, wherein the image processing portion includes: The position of the slit is determined so that the area of the color filter to which the laser light is irradiated includes at least a part of the detected defect, and overlaps the light shielding area and one light transmission area, and the laser irradiation unit determines the slit at the determined position. The laser beam is irradiated to the color filter through.

바람직하게는, 컬러필터는, 차광 영역을 통하여 대향하여 배치되는 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역을 가지며, 수정처리부는, 컬러필터에 있어서, 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역 사이의 거리보다 큰 폭을 갖는 영역에 잉크를 도포하는 잉크도포부를 포함하고, 화상처리부는, 검출된 결함의 전영역이 차광 영역에 존재하는 경우에는, 잉크가 도포되는 컬러필터의 영역이 검출된 결함 의 적어도 일부를 포함하고, 또한 차광 영역 및 하나의 광투과 영역과 겹치도록 잉크도포부의 위치를 결정하고, 잉크도포부는, 결정된 위치에서 컬러필터에 잉크를 도포한다.Preferably, the color filter has a first light transmission region and a second light transmission region that are disposed to face each other through the light shielding region, and the correction processing unit includes a first light transmission region and a second light transmission region in the color filter. An ink coating portion for applying ink to a region having a width greater than the distance between the light transmissive regions of the image processing portion, wherein the image processing portion includes a color filter to which ink is applied when the entire area of the detected defect exists in the light shielding region. An area of the ink coating portion is positioned so as to include at least a part of the detected defect, and overlaps the light shielding region and one light transmitting region, and the ink coating portion applies ink to the color filter at the determined position.

바람직하게는, 수정처리부는, 슬릿을 형성하는 슬릿부와, 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사하는 레이저 조사부를 포함하고, 화상처리부는, 검출된 결함의 위치에 의거하여 슬릿의 제 1의 위치를 결정하고, 검출된 결함의 전영역이 광투과 영역에 존재하는 경우에는, 제 1의 위치에서의 슬릿을 통하여 레이저광이 조사되게 될 컬러필터의 영역과 차광 영역의 겹치는 영역에 의거하여 제 1의 위치를 보정함에 의해 슬릿의 제 2의 위치를 결정하고, 레이저 조사부는, 제 2의 위치에서의 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.Preferably, the correction processing portion includes a slit portion for forming a slit and a laser irradiation portion for irradiating a laser light to the color filter through the slit, and the image processing portion includes the first portion of the slit based on the detected position of the defect. If the position is determined and the entire area of the detected defect is present in the light transmission area, it is based on the overlapping area of the light filter area and the area of the color filter to which the laser light is to be irradiated through the slit at the first position. The 2nd position of a slit is determined by correcting the position of 1, and a laser irradiation part irradiates a laser beam to a color filter through the slit at a 2nd position.

바람직하게는, 수정처리부는, 슬릿을 형성하는 슬릿부와, 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사하는 레이저 조사부를 포함하고, 화상처리부는, 검출된 결함의 위치에 의거하여 슬릿의 제 1의 위치를 결정하고, 검출된 결함의 전영역이 차광 영역에 존재하는 경우에는, 제 1의 위치에서의 슬릿을 통하여 레이저광이 조사되게 될 컬러필터의 영역과 광투과 영역의 겹치는 영역에 의거하여 제 1의 위치를 보정함에 의해 슬릿의 제 2의 위치를 결정하고, 레이저 조사부는, 제 2의 위치에서의 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.Preferably, the correction processing portion includes a slit portion for forming a slit and a laser irradiation portion for irradiating a laser light to the color filter through the slit, and the image processing portion includes the first portion of the slit based on the detected position of the defect. If the position is determined and the entire area of the detected defect is present in the light shielding area, it is based on the overlapping area of the area of the color filter and the light transmitting area to which the laser light is to be irradiated through the slit at the first position. The 2nd position of a slit is determined by correcting the position of 1, and a laser irradiation part irradiates a laser beam to a color filter through the slit at a 2nd position.

본 발명의 어느 국면에 관한 컬러필터 결함 수정 방법은, 광투과 영역 및 광투과 영역에 인접하는 차광 영역을 갖는 컬러필터의 결함을 수정하는 컬러필터 결함 수정 방법으로서, 컬러필터의 결함을 검출하는 스텝과, 검출된 결함과, 광투과 영역 및 차광 영역의 위치 관계에 의거하여, 컬러필터에서 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝과, 컬러필터에서의 결정된 영역에의 레이저광의 조사 및 잉크 도포중 적어도 어느 한쪽의 수정 처리를 행하는 스텝을 포함한다.The color filter defect correction method according to any aspect of the present invention is a color filter defect correction method for correcting a defect of a color filter having a light transmission region and a light shielding region adjacent to the light transmission region, the method comprising: detecting a defect of a color filter And determining a region to be corrected in the color filter based on the detected defects, the positional relationship between the light transmitting region and the light shielding region, and irradiating laser light to the determined region in the color filter and applying ink. A step of performing at least one correction process is included.

바람직하게는, 컬러필터 결함 수정 방법은, 또한, 슬릿을 형성하는 스텝을 포함하고, 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝에서는, 검출된 결함의 전영역이 광투과 영역에 존재하는 경우에는, 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역이 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 차광 영역과 겹치지 않도록 슬릿의 위치를 결정하고, 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 결정된 위치에서의 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.Preferably, the color filter defect correction method further includes a step of forming a slit, and in the step of determining a region to be corrected, when the entire region of the detected defect is present in the light transmission region, In the step of determining the position of the slit so that the area of the color filter to which the laser light is irradiated contains at least a part of the detected defect and does not overlap with the light shielding area, and performing the correction process, the color filter through the slit at the determined position The laser beam is irradiated to it.

바람직하게는, 컬러필터 결함 수정 방법은, 또한, 슬릿을 형성하는 스텝을 포함하고, 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝에서는, 검출된 결함이 차광 영역 및 광투과 영역에 걸쳐서 존재하는 경우에는, 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역이 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역과 차광 영역의 겹치는 영역이 최소가 되도록 슬릿의 위치를 결정하고, 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 결정된 위치에서의 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.Preferably, the color filter defect correction method further includes a step of forming a slit, and in the step of determining the region to be corrected, when the detected defect is present over the light shielding region and the light transmitting region. The position of the slit is determined so that the area of the color filter to which the laser light is irradiated contains at least a part of the detected defect, and the area of the color filter to which the laser light is irradiated and the overlapping area of the light shielding area are minimized and corrected. In the step of performing a process, a laser beam is irradiated to a color filter through the slit at the determined position.

바람직하게는, 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝에서는, 또한, 검출된 결함이 차광 영역 및 광투과 영역에 걸쳐서 존재하는 경우에는, 검출된 결함중의 차광 영역에서의 결함의 크기와 광투과 영역에서의 결함의 크기를 비교하여, 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 차광 영역 및 광투과 영역중, 결함이 큰 쪽의 영역에 대응하는 색의 잉크를 선택하고, 컬러필터에서의 결정된 영역에 선택한 색의 잉크를 도포한다.Preferably, in the step of determining the region to be corrected, if the detected defect exists over the light shielding region and the light transmission region, the size and light of the defect in the light shielding region among the detected defects are also present. In the step of performing the correction process by comparing the size of the defect in the transmission region, an ink of a color corresponding to the region having the larger defect is selected from the light shielding region and the light transmission region, and selected in the determined region of the color filter. Apply colored ink.

바람직하게는, 컬러필터는, 차광 영역을 통하여 대향하여 배치되는 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역을 가지며, 컬러필터 결함 수정 방법은, 또한, 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역 사이의 거리보다 큰 폭을 갖는 슬릿을 형성하는 스텝을 포함하고, 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝에서는, 검출된 결함의 전영역이 차광 영역에 존재하는 경우에는, 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역이 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 차광 영역 및 하나의 광투과 영역과 겹치도록 슬릿의 위치를 결정하고, 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 결정된 위치에서의 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.Preferably, the color filter has a first light transmission region and a second light transmission region which are disposed to face each other through the light shielding region, and the color filter defect correction method further includes the first light transmission region and the second light transmission region. Forming a slit having a width larger than the distance between the light transmissive regions of the laser beam; and in the step of determining the region to be corrected, if the entire region of the detected defect is present in the light shielding region, In the step of determining the position of the slit so that the area of the color filter to which light is irradiated contains at least a part of the detected defect and overlaps the light shielding area and one light transmitting area, and performs a correction process, the slit at the determined position The laser beam is irradiated to the color filter through.

바람직하게는, 컬러필터는, 차광 영역을 통하여 대향하여 배치되는 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역을 가지며, 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역 사이의 거리보다 큰 폭을 갖는 컬러필터의 영역에 잉크를 도포하고, 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝에서는, 검출된 결함의 전영역이 차광 영역에 존재하는 경우에는, 잉크가 도포되는 컬러필터의 영역이 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 차광 영역 및 하나의 광투과 영역과 겹치도록 잉크를 도포하는 위치를 결정하고, 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 결정된 위치에서, 컬러필터의 영역에 잉크를 도포한다.Preferably, the color filter has a first light transmission region and a second light transmission region which are disposed to face each other through the light shielding region, and in the step of performing the correction process, the first light transmission region and the second light In the step of applying ink to an area of a color filter having a width larger than the distance between the transmission areas and determining the area to be corrected, when the entire area of the detected defect is present in the light shielding area, the ink In the step of determining the position at which the ink is applied so that the region of the color filter to be applied contains at least a part of the detected defect and overlaps the light shielding region and one light transmitting region, and in the correcting process, the color is determined at the determined position. Apply ink to the area of the filter.

바람직하게는, 컬러필터 결함 수정 방법은, 또한, 슬릿을 형성하는 스텝을 포함하고, 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝은, 검출된 결함의 위치 에 의거하여 슬릿의 제 1의 위치를 결정하는 스텝과, 검출된 결함의 전영역이 광투과 영역에 존재하는 경우에는, 제 1의 위치에서의 슬릿을 통하여 레이저광이 조사되게 될 컬러필터의 영역과 차광 영역의 겹치는 영역에 의거하여 제 1의 위치를 보정함에 의해 슬릿의 제 2의 위치를 결정하는 스텝을 포함하고, 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 제 2의 위치에서의 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.Preferably, the color filter defect correction method further includes a step of forming a slit, and the step of determining a region to be corrected comprises setting the first position of the slit on the basis of the detected position of the defect. In the case where the determining step and the entire area of the detected defect exist in the light transmission area, the step is based on the overlapping area of the light filter area and the area of the color filter to which the laser light is to be irradiated through the slit at the first position. Comprising a step of determining the second position of the slit by correcting the position of 1, and in the step of performing the correction process, the laser light is irradiated to the color filter through the slit at the second position.

바람직하게는, 컬러필터 결함 수정 방법은, 또한, 슬릿을 형성하는 스텝을 포함하고, 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝은, 검출된 결함의 위치에 의거하여 슬릿의 제 1의 위치를 결정하는 스텝과, 검출된 결함의 전영역이 차광 영역에 존재하는 경우에는, 제 1의 위치에서의 슬릿을 통하여 레이저광이 조사되게 될 컬러필터의 영역과 광투과 영역의 겹치는 영역에 의거하여 제 1의 위치를 보정함에 의해 슬릿의 제 2의 위치를 결정하는 스텝을 포함하고, 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 제 2의 위치에서의 슬릿을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.Preferably, the color filter defect correction method further includes a step of forming a slit, and the step of determining a region to be corrected comprises setting the first position of the slit based on the position of the detected defect. In the case where the determining step and the entire area of the detected defect exist in the light shielding area, the step is based on the overlapping area of the color filter area and the light transmitting area to which the laser light is to be irradiated through the slit at the first position. Comprising a step of determining the second position of the slit by correcting the position of 1, and in the step of performing the correction process, the laser light is irradiated to the color filter through the slit at the second position.

본 발명에 의하면, 컬러필터의 결함 수정을 적절하게 행할 수 있다.According to the present invention, defect correction of a color filter can be appropriately performed.

이하, 본 발명의 실시의 형태에 관해 도면을 이용하여 설명한다. 또한, 도면중 동일 또는 상당 부분에는 동일 부호를 붙이고 그 설명은 반복하지 않는다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described using drawing. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same or equivalent part in drawing, and the description is not repeated.

[구성 및 기본 동작]Configuration and default behavior

도 1은, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치의 구성을 도시하는 외관도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is an external view which shows the structure of the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention.

도 1을 참조하면, 컬러필터 결함 수정 장치(101)는, 호스트 컴퓨터(1)와, 제 어용 컴퓨터(제어부)(2)와, 화상처리부(3)와, Z축 스테이지(4)와, XY테이블(5)과, 척 대(6)와, 레이저 조사부(7)와, 가변 슬릿부(8)와, 잉크도포부(9)와, 모니터(10)와, 대물 렌즈(21)를 구비한다. 레이저 조사부(7)와, 가변 슬릿부(8)와, 잉크도포부(9)는, 수정처리부(50)를 구성한다. Z축 스테이지(4)와, XY테이블(5)은, 위치 결정 기구(51)를 구성한다. 가변 슬릿부(8)는, 후술하는 XY슬릿 기구(61)와, θ슬릿 기구(62)를 포함한다.Referring to Fig. 1, the color filter defect correction apparatus 101 includes a host computer 1, a control computer (control unit) 2, an image processing unit 3, a Z-axis stage 4, and XY. The table 5, the chuck stand 6, the laser irradiation part 7, the variable slit part 8, the ink application part 9, the monitor 10, and the objective lens 21 are provided. . The laser irradiation section 7, the variable slit section 8, and the ink coating section 9 constitute a correction processing section 50. The Z-axis stage 4 and the XY table 5 constitute the positioning mechanism 51. The variable slit part 8 includes the XY slit mechanism 61 and the (theta) slit mechanism 62 mentioned later.

호스트 컴퓨터(1)는, 컬러필터 결함 수정 장치(101) 전체의 제어를 행한다.The host computer 1 controls the color filter defect correction apparatus 101 as a whole.

제어용 컴퓨터(2)는, 컬러필터 결함 수정 장치(101)에 실장되어 있는 각 유닛을 제어한다.The control computer 2 controls each unit mounted in the color filter defect correction apparatus 101.

화상처리부(3)는, 도시하지 않은 CCD(Charge Coupled Devices) 카메라로 컬러필터를 촬영하고, 촬영한 화상에 의거하여 컬러필터의 결함 개소를 검출한다.The image processing unit 3 photographs the color filter with a CCD (Charge Coupled Devices) camera (not shown), and detects a defect point of the color filter based on the captured image.

또한, 화상처리부(3)는, 결함 검출 결과에 의거하여, 2치화(値化)된 결함 추출 화상을 생성하고, 2치화된 정상시의 마스크 화상과 결함 추출 화상의 논리곱에 의거하여 컬러필터의 블랙매트릭스 영역에서의 결함 및 컬러필터 영역에서의 결함을 판별한다.The image processing unit 3 also generates a binarized defect extraction image based on the defect detection result, and based on the logical product of the binarized normal mask image and the defect extraction image. The defects in the black matrix area and the defects in the color filter area are determined.

위치 결정 기구(51)는, 컬러필터의 위치를 변경한다. 즉, Z축 스테이지(4)는, XY테이블(5)에 대한 수정처리부(50)의 높이를 변경한다. XY테이블(5)은, 컬러필터의 수평 방향의 위치를 변경한다.The positioning mechanism 51 changes the position of the color filter. That is, the Z-axis stage 4 changes the height of the correction process part 50 with respect to the XY table 5. The XY table 5 changes the position of the color filter in the horizontal direction.

척 대(6)는, 수정 대상인 컬러필터 등이 얹혀져 고정되는 대(臺)이다.The chuck stand 6 is a stand on which a color filter or the like to be corrected is placed and fixed.

레이저 조사부(7)는, 가변 슬릿부(8)가 형성하는 슬릿을 통하여 컬러필터에 서의 1개 이상의 화소에 레이저광을 조사한다.The laser irradiation part 7 irradiates a laser beam to one or more pixels of the color filter through the slit formed by the variable slit part 8.

여기서, 제어용 컴퓨터(2)는, 레이저광의 1회당의 조사 범위를 1개 이상 보존하는 도시하지 않은 기억부를 포함한다. 기억부는, 예를 들면 컬러필터의 종류마다 레이저광의 1회당의 조사 범위를 보존한다.Here, the control computer 2 includes a storage unit (not shown) which stores one or more irradiation ranges per laser beam. The storage unit stores, for example, the irradiation range per laser beam for each type of color filter.

또한, 제어용 컴퓨터(2)는, 화상처리부(3)의 결함 검출 결과에 의거하여 XY테이블(5) 및 Z축 스테이지(4)를 제어하여, 컬러필터에 대한 레이저광의 조사 위치 및 잉크의 도포 위치를 각각 적어도 1개소 결정한다.Further, the control computer 2 controls the XY table 5 and the Z-axis stage 4 on the basis of the defect detection result of the image processing unit 3 to irradiate the position where the laser light is irradiated to the color filter and the ink application position. Determine at least one place each.

가변 슬릿부(8)는, 화상처리부(3)의 결함 검출 결과에 의거하여, 기억부에 보존된 1개 이상의 조사 범위로부터 1개의 조사 범위를 선택하고, 선택한 레이저광의 조사 범위에 의거하여 슬릿의 형상 및 크기를 조정함에 의해, 레이저 조사부(7)로부터의 레이저광의 컬러필터에서의 조사 범위를 조정한다. 여기서, 가변 슬릿부(8)의 슬릿 사이즈 즉 기억부가 보존한 레이저광의 1회당의 조사 범위는, 컬러필터의 회소(繪素)보다 작게 하는 것이 가능하다. XY슬릿 기구(61)는, 슬릿의 종횡 사이즈를 조정한다. θ슬릿 기구(62)는, 슬릿의 각도를 조정한다.The variable slit unit 8 selects one irradiation range from one or more irradiation ranges stored in the storage unit on the basis of the defect detection result of the image processing unit 3, and selects the slit based on the selected laser beam irradiation range. By adjusting a shape and a magnitude | size, the irradiation range in the color filter of the laser beam from the laser irradiation part 7 is adjusted. Here, the slit size of the variable slit portion 8, that is, the irradiation range per stroke of the laser beam stored in the storage portion, can be made smaller than that of the color filter. The XY slit mechanism 61 adjusts the longitudinal and horizontal size of the slit. The slit mechanism 62 adjusts the angle of the slit.

잉크도포부(9)는, 결함을 수정하기 위한 잉크를 컬러필터에서 1개 이상의 화소에 도포한다. 여기서, 잉크도포부(9)의 1회당의 잉크 도포 범위는, 컬러필터의 회소보다 작게 설정하는 것이 가능하다.The ink coating unit 9 applies ink for correcting defects to one or more pixels in the color filter. Here, the ink application range per one time of the ink application part 9 can be set smaller than the cleaning of a color filter.

모니터(10)는, 화상처리부(3)의 촬영한 컬러필터의 화상을 표시한다.The monitor 10 displays the image of the color filter picked up by the image processing unit 3.

도 2는, XY슬릿 기구의 구성을 도시하는 도면이다.2 is a diagram illustrating a configuration of an XY slit mechanism.

도 2를 참조하면, XY슬릿 기구(61)는, X방향 사이즈 조정용 모터(31)와, Y방 향 사이즈 조정용 모터(32)를 포함한다.2, the XY slit mechanism 61 includes the X direction size adjustment motor 31 and the Y direction size adjustment motor 32. As shown in FIG.

도 3은, XY슬릿 기구에 포함되는 X방향의 조정 기구의 구성을 도시하는 외관 평면도이다.3 is an external plan view showing the configuration of an adjustment mechanism in the X direction included in the XY slit mechanism.

도 3을 참조하면, X방향 사이즈 조정용 모터(31)가 구동되어 축(38)이 회전하면, 회전 방향에 따라 개폐부(33 내지 34)가 각각 화살표의 방향으로 이동한다. 예를 들면, X방향 사이즈 조정용 모터(31)가 한쪽의 방향으로 회전하면 개폐부(33 내지 34)는 서로 떨어져 가고, 다른쪽의 방향으로 회전하면 개폐부(33 내지 34)는 근접한다.Referring to FIG. 3, when the X direction-sizing motor 31 is driven to rotate the shaft 38, the opening and closing portions 33 to 34 move in the directions of the arrows, respectively, according to the rotational direction. For example, when the X-direction size adjusting motor 31 rotates in one direction, the opening and closing portions 33 to 34 are separated from each other, and when the X direction size adjusting motor 31 is rotated in the other direction, the opening and closing portions 33 to 34 are close to each other.

도 4는, θ슬릿 기구의 구성을 도시하는 외관 평면도이다.4 is an external plan view showing the configuration of the slit mechanism.

도 4를 참조하면, θ슬릿 기구(62)는, 회전 각도 조정용 모터(35)와, 벨트(36)와, 회전 테이블(37)을 포함한다. 회전 각도 조정용 모터(35)는, 벨트(36)를 구동하여 회전 테이블(37)을 회전시킨다. XY슬릿 기구(61)는, θ슬릿 기구(62)의 회전 중심(C2)과 도 2에 도시하는 XY슬릿 기구(61)의 중심(C1)이 일치하도록 회전 테이블(37)상에 배치되고, 조립된다.Referring to FIG. 4, the slit mechanism 62 includes a rotation angle adjusting motor 35, a belt 36, and a rotation table 37. The rotation angle adjustment motor 35 drives the belt 36 to rotate the turntable 37. The XY slit mechanism 61 is disposed on the turntable 37 so that the rotational center C2 of the slit mechanism 62 and the center C1 of the XY slit mechanism 61 shown in FIG. 2 coincide with each other. Are assembled.

도 5는, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치의 잉크도포부의 구성을 도시하는 외관도이다.5 is an external view showing a configuration of an ink coating unit of the color filter defect correction device according to the embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 잉크도포부(9)는, 잉크 도포용 위치 결정 실린더(11)와, 잉크 탱크 테이블(12)과, 잉크 탱크(13)와, 잉크 도포용 침(14)을 포함한다.Referring to FIG. 5, the ink application unit 9 includes an ink application positioning cylinder 11, an ink tank table 12, an ink tank 13, and an ink application needle 14. .

잉크 도포용 위치 결정 실린더(11)는, 잉크 도포용 침(14)의 상하 방향의 위치 결정을 행한다.The ink application positioning cylinder 11 performs positioning in the vertical direction of the ink application needle 14.

잉크 탱크 테이블(12)은, 잉크 탱크(13)의 둘레방향의 위치 결정을 행한다.The ink tank table 12 performs positioning in the circumferential direction of the ink tank 13.

잉크 도포용 침(14)은, 잉크 도포용 위치 결정 실린더(11)의 하단부에 부착된다. 잉크 도포 동작시에는 잉크 도포용 위치 결정 실린더(11)가 하강하여 잉크 도포용 침(14)이 도포면에 접촉하고, 잉크 도포용 침(14)의 선단에 부착한 잉크가 컬러필터의 결함 개소에 도포된다. 도포 후는, 잉크를 잉크 도포용 침(14)의 선단부에 부착시키기 위해, 잉크 도포용 침(14)이 잉크 탱크 테이블(12)에 설치된 잉크 탱크(13)에 침지된다.The ink application needle 14 is attached to the lower end of the ink application positioning cylinder 11. During the ink application operation, the ink application positioning cylinder 11 is lowered so that the ink application needle 14 contacts the application surface, and the ink attached to the tip of the ink application needle 14 is applied to a defect point of the color filter. Is applied. After application, the ink application needle 14 is immersed in the ink tank 13 provided in the ink tank table 12 in order to adhere the ink to the tip portion of the ink application needle 14.

또한, 잉크도포부(9)는, 상기한 바와 같이 실린더(11) 및 잉크 탱크 테이블(12) 등을 포함하는 구성으로 한정되는 것이 아니고, 예를 들면 이하와 같은 구성으로 할 수 있다. 즉, 잉크도포부는, 선단에 부착한 수정액을 결함에 부착시키기 위한 도포침을 포함한다. 또한, 결함을 관찰하는 관찰 광학계의 시야 외의 소정 위치에 마련되고, 수정액을 보존하는 도포 팔레트를 포함한다. 또한, 도포침을 컬러필터에 평행한 XY 평면 내에서 이동시킴과 함께 컬러필터에 수직한 Z방향으로 이동시키고, 관찰 광학계의 시야 내 또는 그 부근의 도포 대기 위치와 도포 팔레트 부근의 준비 위치중 어느 한쪽의 위치에 도포침을 위치시키는 액추에이터를 포함한다.In addition, the ink coating part 9 is not limited to the structure containing the cylinder 11, the ink tank table 12, etc. as mentioned above, For example, it can be set as the following structures. That is, the ink coating portion includes a coating needle for attaching the correction liquid attached to the tip to the defect. Moreover, it is provided in the predetermined position out of the visual field of the observation optical system which observes a defect, and includes the application | coating palette which preserves correction liquid. In addition, the application needle is moved in the XY plane parallel to the color filter and in the Z direction perpendicular to the color filter, and either the application standby position in or near the field of view of the observation optical system and the preparation position near the application palette. An actuator for positioning the applicator in one position is included.

도 6은, 컬러필터에서의 블랙매트릭스 영역, 컬러필터 영역 및 회소의 관계를 도시하는 도면이다.FIG. 6 is a diagram showing a relationship between a black matrix region, a color filter region, and a pixel in the color filter.

도 6을 참조하면, 수정 대상인 컬러필터는, 격자형상으로 형성된 블랙매트릭스 영역(차광 영역)과, 블랙매트릭스 영역에 인접하고, 또한 둘러싸인 컬러필터 영 역(광투과 영역)을 포함한다.Referring to FIG. 6, the color filter to be corrected includes a black matrix area (light shielding area) formed in a lattice shape, and a color filter area (light transmission area) adjacent to the black matrix area and enclosed.

또한, 컬러필터는, 복수개의 컬러필터 영역으로 이루어지고, 각각을 회소(繪素)라고 부른다. 화상처리부(3)의 결함 검출 처리에서는, 회소를 다음과 같이 정의한다. 종횡으로 형성되어 있는 블랙매트릭스 영역의 교차 위치에, 회소의 시초(DS) 및 회소의 끝(DE)이 존재한다. 또한, 회소의 시초(DS)를 컬러필터의 위치라고 칭한다. 화상처리부(3)는 이 컬러필터의 위치를 특정한다. 또한, 도 6에서 사각으로 둘러싸인 회소의 시초(DS)로부터 회소의 끝(DE)까지의 범위가 1개의 회소(P)가 된다. 또한, 화상을, 임계치(T)보다도 밝은 화소를 1, 어두운 화소를 0으로 하여 2치화한 때, 회소(P)에서의 값 1인 화소의 집합이 회소(P)의 컬러필터 영역이고, 값 0(도 6의 해칭 부분)의 화소의 집합이 회소(P)의 블랙매트릭스 영역이다. 또한, 각 회소(P)는 각각 RGB(Red, Green, Blue)중의 어느 하나의 색을 가지며, 하나의 회소(P)의 컬러필터 영역에 포함되는 각 화소는 동일색을 갖는다.In addition, a color filter consists of several color filter area | regions, and each is called an element. In the defect detection processing of the image processing unit 3, the sweep is defined as follows. At the intersection of the longitudinally formed black matrix regions, there is the beginning of the restoration DS and the end of the restoration DE. In addition, the beginning DS of a picture is called the position of a color filter. The image processing unit 3 specifies the position of this color filter. In addition, in FIG. 6, the range from the start DS of a circle | round | yen surrounded by square to the edge DE of a circle | round | yen is set to one place P. In FIG. In addition, when the image is binarized by 1 pixel that is brighter than the threshold value T and dark pixels that are 0, the set of pixels having a value of 1 in the pixel P is the color filter region of the pixel P, The set of pixels of 0 (hatched portion in FIG. 6) is the black matrix area of the pixel P. FIG. Each pixel P has one color among RGB (Red, Green, Blue), and each pixel included in the color filter region of one pixel P has the same color.

[동작][action]

다음에, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에 있어서의 화상처리부(3)가 컬러필터의 결함 개소를 검출할 때의 동작에 관해 설명한다.Next, an operation when the image processing unit 3 in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention detects a defect location of the color filter will be described.

도 7은, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치가 컬러필터의 하나의 결함을 수정할 때의 동작 순서를 정한 플로우 차트이다.FIG. 7 is a flowchart in which the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention determines an operation procedure when correcting one defect of a color filter.

여기서는, 컬러필터가 척 대(6)에 얹혀 있고, 컬러필터의 기울기 등의 위치 보정이 완료되어 있다고 가정하고 설명한다. 또한, 검사 데이터, 즉 컬러필터에서의 결함의 좌표치, 컬러필터의 면적치, 컬러필터의 사이즈 종별(대, 중, 소 등) 및 결함 종별 등의 데이터를, 컬러필터 결함 수정 장치(101)가 상위 컴퓨터로부터 수집하고 있다고 가정하고 설명한다.Here, it is assumed that the color filter is placed on the chuck 6, and the position correction such as the inclination of the color filter is completed. In addition, the color filter defect correction apparatus 101 stores inspection data, that is, coordinate values of defects in the color filter, area values of the color filters, size types of the color filters (large, medium, small, etc.) and defect types. Suppose you are collecting from a host computer.

제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어하여, 수정처리부(50)가 컬러필터의 결함을 수정할 수 있는 위치로 컬러필터를 이동한다. 또한, 제어용 컴퓨터(2)는, 컬러필터의 결함 검출을 행할 수 있도록, 도시하지 않은 조명부의 밝기를 조정하고, 대물 렌즈(21)를 소정의 배율로 전환한다(S1).The control computer 2 controls the positioning mechanism 51 to move the color filter to a position where the correction processor 50 can correct the defect of the color filter. Further, the control computer 2 adjusts the brightness of the lighting unit (not shown) so as to detect the defect of the color filter, and switches the objective lens 21 to a predetermined magnification (S1).

화상처리부(3)는, 컬러필터에 초점을 맞추기 위해, 대물 렌즈(21)의 포커스 조정을 행한다(S2).The image processing unit 3 performs focus adjustment of the objective lens 21 to focus on the color filter (S2).

화상처리부(3)는, 검사 대상인 컬러필터를 촬영하고, 촬영한 입력 화상을 받아들이고, 입력 화상에서의 화소의 밝기에 의거하여 컬러필터의 결함 개소를 검출한다(S3 및 S4).The image processing unit 3 photographs the color filter as the inspection target, receives the photographed input image, and detects a defect point of the color filter based on the brightness of the pixel in the input image (S3 and S4).

화상처리부(3)는, 결함 검출 결과에 의거하여 결함의 중심(重心) 위치를 산출한다. 제어용 컴퓨터(2)는, 화상처리부(3)의 산출한 결함의 중심 위치에 의거하여 센터링을 행한다, 즉 결함의 중심 위치가 입력 화상의 중심(中心)에 위치하도록 위치 결정 기구(51)를 제어한다(S5).The image processing unit 3 calculates the center position of the defect based on the defect detection result. The control computer 2 performs the centering on the basis of the center position of the defect calculated by the image processing unit 3, that is, the positioning mechanism 51 is controlled so that the center position of the defect is located at the center of the input image. (S5).

제어용 컴퓨터(2)는, 반복 회수(Try)=1로 한다(S6).The control computer 2 sets the number of repetitions (Try) = 1 (S6).

화상처리부(3)는, 반복 회수(Try)가 최대 반복 회수(Max) 이하인 경우에는(S7에서 YES), 정밀한 결함위치를 구하기 위해, 대물 렌즈(21)를 고배율로 전환한다(S8).When the number of repetitions Try is less than or equal to the maximum number of repetitions Max (YES in S7), the image processing unit 3 switches the objective lens 21 to a high magnification in order to obtain a precise defect position (S8).

화상처리부(3)는, 컬러필터에 초점을 맞추기 위해, 대물 렌즈(21)의 포커스 조정을 행한다(S9).The image processing unit 3 adjusts the focus of the objective lens 21 in order to focus on the color filter (S9).

화상처리부(3)는, 검사 대상인 컬러필터를 촬영하고, 촬영한 입력 화상을 받아들인다(S10).The image processing unit 3 photographs the color filter as the inspection target and accepts the photographed input image (S10).

화상처리부(3)는, 반복 회수(Try)가 1인 경우에는(S11에서 YES), 받아들인 입력 화상을 수정 전의 입력 화상으로서 보존한다(S12).If the number of repetitions (Try) is 1 (YES in S11), the image processing unit 3 saves the received input image as an input image before correction (S12).

화상처리부(3)는, 반복 회수(Try)가 2 이상인 경우에는(S11에서 N0), 받아들인 입력 화상을 수정 후의 입력 화상으로서 보존한다(S13).When the number of repetitions (Try) is 2 or more (N0 in S11), the image processing unit 3 saves the received input image as an input image after correction (S13).

화상처리부(3)는, 받아들인 입력 화상에서의 화소의 밝기에 의거하여 컬러필터의 결함 개소를 검출한다(S14).The image processing part 3 detects the defect location of a color filter based on the brightness of the pixel in the received input image (S14).

화상처리부(3)는, 받아들인 입력 화상에서 결함을 검출한 경우(S15에서 YES)에는, 결함 개소에 대응하는 회소의 색판정을 행하여 도포하는 잉크의 색을 구하고, 또한, 잉크의 도포 위치를 산출한다. 또한, 화상처리부(3)는 레이저광의 조사 위치를 산출한다(S16).When the image processing unit 3 detects a defect in the received input image (YES in S15), the color of the ink to be applied by determining the color corresponding to the defect location is obtained, and the application position of the ink is determined. Calculate. The image processing unit 3 also calculates the irradiation position of the laser light (S16).

제어용 컴퓨터(2)는, 대물 렌즈(21)를 소정의 배율로 전환한다. 또한, 화상처리부(3)는, 컬러필터에 초점을 맞추기 위해, 대물 렌즈(21)의 포커스 조정을 행한다(S17).The control computer 2 switches the objective lens 21 to a predetermined magnification. In addition, the image processing unit 3 performs focus adjustment of the objective lens 21 in order to focus on the color filter (S17).

수정처리부(50)는, 화상처리부(3)가 산출한 수정 위치 등에 의거하여 컬러필터에 대한 레이저광의 조사 및 잉크 도포중 적어도 어느 한쪽의 수정 처리를 행한다(S18).The correction processing unit 50 performs at least one of correction processing of irradiating laser light and applying ink to the color filter based on the correction position calculated by the image processing unit 3 (S18).

제어용 컴퓨터(2)는, 반복 회수(Try)에 1를 더한다(S19).The control computer 2 adds 1 to the number of iterations Try (S19).

화상처리부(3)는, 반복 회수(Try)가 최대 반복 회수(Max) 이하인 경우에는(S7에서 YES), 수정 후의 입력 화상에 대해 재차 결함 검출 처리를 행한다(S8 내지 S14).When the number of repetitions (Try) is less than or equal to the maximum number of repetitions (Max) (YES in S7), the image processing unit 3 performs defect detection processing again on the corrected input image (S8 to S14).

그리고, 화상처리부(3)는, 수정 후의 입력 화상에서 결함을 검출한 경우(S15에서 YES)에는, 재차 결함 수정 처리를 행한다(S16 내지 S18).And when the image processing part 3 detects a defect in the corrected input image (YES in S15), it performs a defect correction process again (S16-S18).

한편, 화상처리부(3)는, 수정 후의 입력 화상에서 결함이 검출되지 않은 경우(S15에서 N0)로서, 반복 회수(Try)가 2 이상인 때(S21에서 N0)에는, 금회의 결함의 수정에 성공하였다고 판단하고, 예를 들면 재차 스텝 S1로 되돌아와 다른 결함의 수정을 행한다(S23).On the other hand, when the defect is not detected in the corrected input image (N0 in S15), the image processing unit 3 succeeds in correcting the current defect when the number of repetitions (Try) is two or more (N0 in S21). It is judged that it has been done, for example, it returns to step S1 again and correct | amends another defect (S23).

또한, 화상처리부(3)는, 수정 후의 입력 화상에서 결함이 검출되지 않은 경우(S15에서 N0)로서, 반복 회수(Try)가 1인 때(S21에서 YES)에는, 컬러필터에 결함이 존재하고 있는지의 여부가 분명하지 않다고 판단하고, 예를 들면 재차 스텝 S1로 되돌아와 다른 결함의 수정을 행한다(S20).Further, the image processing unit 3 has a defect in the color filter when no defect is detected in the corrected input image (N0 in S15), and when the number of repetitions (Try) is 1 (YES in S21). It is judged whether or not it is clear, for example, it returns to step S1 again and correct | amends another defect (S20).

또한, 제어용 컴퓨터(2)는, 반복 회수(Try)가 최대 반복 회수(Max)를 초과하는 경우에는(S7에서 N0) 결함 수정 불가라고 판단하고, 예를 들면 재차 스텝 S1로 되돌아와 다른 결함의 수정을 행한다(S20).Further, the control computer 2 determines that the defect cannot be corrected when the number of repetitions Try is greater than the maximum number of repetitions Max (N0 in S7). For example, the control computer 2 returns to step S1 again to determine other defects. Correction is made (S20).

이하, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치의 동작을 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation of the color filter defect correction device according to the embodiment of the present invention will be described in detail.

[2치화 입력 화상의 생성][Generation of Binary Input Image]

우선, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치가 2치화 입력 화상을 생성할 때의 동작에 관해 설명한다.First, the operation when the color filter defect correction device according to the embodiment of the present invention generates a binary input image will be described.

도 8의 (a) 및 도 8의 (b)는 입력 화상 및 2치화 입력 화상을 도시하는 도면이다.8A and 8B are diagrams showing an input image and a binarized input image.

화상처리부(3)는, 컬러필터를 촬영하고, 촬영한 입력 화상에 의거하여 2치화 입력 화상을 생성하고, 입력 화상을 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)으로 분리한다. 입력 화상의 위치(x, y)에서의 화소의 밝기를 f(x, y)로 하고, 2치화 입력 화상을 b(x, y)로 하고, 임계치를 T로 하면, f(x, y)로부터 b(x, y)로의 변환식은 이하의 식으로 표시된다.The image processing unit 3 photographs the color filter, generates a binary input image based on the photographed input image, and separates the input image into a black matrix area BM and a color filter area CF. If the brightness of the pixel at the position (x, y) of the input image is f (x, y), the binarized input image is b (x, y), and the threshold is T, f (x, y) To b (x, y) is expressed by the following equation.

Figure 112008066339706-PAT00001
Figure 112008066339706-PAT00001

b(x, y)로 표시되는 복수개의 화소중, 밝기 1의 화소가 컬러필터 영역(CF)이고, 밝기 0의 화소가 블랙매트릭스 영역(BM)이다.Of the plurality of pixels represented by b (x, y), the pixel with brightness 1 is the color filter area CF and the pixel with brightness 0 is the black matrix area BM.

여기서, 블랙매트릭스 영역(BM)의 밝기의 평균치를 IBM으로 하고, 컬러필터 영역(CF)의 화소(RGB)중, 가장 어두운 화소의 밝기의 평균치를 ICF로 하면, 임계치(T)는 이하의 식으로 표시된다.Here, if the average value of the brightness of the black matrix area BM is IBM, and the average value of the brightness of the darkest pixel among the pixels RGB of the color filter area CF is ICF, the threshold value T is expressed by the following equation. Is displayed.

Figure 112008066339706-PAT00002
Figure 112008066339706-PAT00002

[컬러필터 영역의 마스크 화상의 생성][Creation of Mask Image in Color Filter Area]

다음에, 화상처리부(3)가, 생성한 2치화 입력 화상에 의거하여 컬러필터 영역의 마스크 화상을 생성하는 동작에 관해 설명한다.Next, the operation of generating the mask image of the color filter area on the basis of the generated binary input image by the image processing unit 3 will be described.

도 9의 (a)는 등록 화상을 도시하는 도면이다. (b)는 2치화 입력 화상을 도시하는 도면이다. (c)는 컬러필터 영역의 마스크 화상을 도시하는 도면이다.9A is a diagram illustrating a registered image. (b) is a figure which shows a binarized input image. (c) is a figure which shows the mask image of a color filter area | region.

화상처리부(3)는, 패턴 매칭에 의해, 화상상의 RGB 각 회소의 위치를 검출한다.The image processing unit 3 detects the position of each RGB picture on the image by pattern matching.

화상처리부(3)는, 결함이 없는 이상적인 컬러필터를 미리 촬영하고, 등록 화상(m(x, y))으로서 기억한다.The image processing unit 3 photographs in advance an ideal color filter without a defect and stores it as a registered image m (x, y).

화상처리부(3)는, 등록 화상(m(x, y))으로부터, 2치화 입력 화상(b(x, y))과 마찬가지로 임계치(T)를 이용하여, 컬러필터 영역이 1(백)이고, 그 이외가 0(흑)인 2치화 등록 화상을 생성한다.The image processing unit 3 uses the threshold value T from the registered image m (x, y) in the same manner as the binary input image b (x, y), and the color filter area is 1 (white). And a binary registration image other than 0 (black) are generated.

화상처리부(3)는, 2치화 등록 화상에서의 서치 대상(S) 및 컬러필터 영역(CF)의 좌표를 미리 등록하고 있다. 보다 상세하게는, 화상처리부(3)는, 서치 대상(S)에 관해서는 좌상단의 좌표와 종횡 사이즈를 등록하고, 또한, 컬러필터 영역(CF)에 관해서는 단점(端点)의 좌표를 등록하고 있다.The image processing unit 3 registers in advance the coordinates of the search target S and the color filter area CF in the binarized registration image. More specifically, the image processing unit 3 registers the coordinates of the upper left and the vertical and horizontal sizes with respect to the search object S, and also registers the coordinates of the disadvantages with respect to the color filter area CF. have.

또한, 화상처리부(3)는, 서치 대상(S)과 컬러필터 영역의 위치 관계를 미리 구하고 있다. 서치 대상(S)의 좌상단 좌표를 (xs, ys)로 하고, 컬러필터 영역(CF)의 각 단점의 좌표를 (xi, yi)로 하면, 서치 대상(S) 및 컬러필터 영역(CF)의 위치 관계는 (xi-xs, yi-ys)가 된다.In addition, the image processing unit 3 obtains in advance the positional relationship between the search target S and the color filter area. When the upper left coordinate of the search target S is (xs, ys) and the coordinates of the respective disadvantages of the color filter region CF are (xi, yi), the search target S and the color filter region CF The positional relationship is (xi-xs, yi-ys).

그리고, 화상처리부(3)는, 2치화 입력 화상(b(x, y))으로부터 서치 대상(S)과 유사한 부위를 패턴 매칭에 의해 서치하고, 서치 대상(S)과 유사한 부위의 좌상단 좌표를 구한다. 또한, 화상처리부(3)는, 등록시에 구한 서치 대상(S) 및 컬러필 터 영역(CF)의 위치 관계로부터, 서치 대상(S)과 유사한 부위에 대응하는 컬러필터 영역(CF)의 위치를 검출한다.Then, the image processing unit 3 searches a portion similar to the search object S from the binarized input image b (x, y) by pattern matching, and adjusts the upper left coordinates of the portion similar to the search object S. Obtain Further, the image processing unit 3 determines the position of the color filter area CF corresponding to the portion similar to the search object S from the positional relationship between the search object S and the color filter area CF obtained at the time of registration. Detect.

도 9의 (b)의 점선으로 도시하는 바와 같이, 컬러필터에 결함이 발생하고 있고 서치 대상(S)과 유사한 부위를 검출할 수 없는 경우에는, 화상처리부(3)는, 결함 개소의 주위의 검출 결과를 이용하여 서치 대상(S)과 유사한 부위의 좌상단 좌표를 추정한다.As shown by the dotted line in FIG. 9B, when a defect occurs in the color filter and a portion similar to the search target S cannot be detected, the image processing unit 3 is located near the defect. The upper left coordinate of the site similar to the search target S is estimated using the detection result.

이상과 같은 처리에 의해, 화상처리부(3)는, 컬러필터 영역(CP)의 각 단점의 좌표를 명확히 하여 컬러필터 영역을 백(白)으로 하고, 배경부를 흑(黑)으로 하는 컬러필터 영역의 마스크 화상을 작성한다. 이와 같은 구성에 의해, 마스크 화상을 단지 등록 화상으로부터 생성하는 구성에 비하여, 위치 결정 오차 등에 의한 마스크 화상의 어긋남을 최소한으로 할 수 있다.By the above processing, the image processing unit 3 clarifies the coordinates of the disadvantages of the color filter area CP, makes the color filter area white, and makes the background part black. A mask image is created. With such a configuration, the deviation of the mask image due to positioning error or the like can be minimized as compared with the configuration in which the mask image is merely generated from the registered image.

또한, RGB 각 화소의 밝기는 다르기 때문에, 서치 대상(S)과 유사한 부위를 농담 패턴 매칭에 의해 서치할 때에는, 통상, 색마다 참조용의 등록 화상을 준비하지 않으면 오인식의 가능성이 높아진다. 그러나, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에서는, 화상처리부(3)가, 촬영한 입력 화상에 의거하여 2치화 입력 화상을 생성하고, 2치화 입력 화상에 의거하여 컬러필터 영역의 마스크 화상을 생성하는 구성에 의해, 참조용의 등록 화상을 1종류만 준비하면 좋고, 컬러필터 결함 수정 장치(101)의 구성 및 처리의 간이화를 도모할 수 있다.In addition, since the brightness of each pixel of RGB is different, when searching a part similar to the search target S by the shade pattern matching, the possibility of misperception increases normally unless a registered image for reference is prepared for each color. However, in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention, the image processing unit 3 generates a binarized input image based on the captured input image, and based on the binarized input image, With the configuration for generating a mask image, only one type of registered image for reference may be prepared, and the configuration and processing of the color filter defect correction apparatus 101 can be simplified.

[결함 검출][Defect Detection]

다음에, 화상처리부(3)가, 입력 화상을 검사하여 결함 개소를 검출할 때의 동작에 관해 설명한다.Next, the operation when the image processing unit 3 inspects the input image and detects a defect point will be described.

도 10의 (a) 및 (b)는 화상처리부가 입력 화상의 수평 방향으로 결함 검출을 행할 때의 동작을 도시하는 도면이다.10A and 10B are diagrams showing an operation when the image processing unit detects a defect in the horizontal direction of the input image.

화상처리부(3)는, 컬러필터의 회소의 밝기에 의거하여 결함 개소를 검출한다. 보다 상세하게는, 화상처리부(3)는, 주기적으로, 즉 등간격으로 배치되어 있는 회소의 간격을 P라고 하면, 입력 화상에서의 위치(x, y)의 밝기 f(x, y)에 대해, 이하와 같이 비교 검사를 행한다.The image processing unit 3 detects a defect point based on the brightness of the element of the color filter. More specifically, the image processing unit 3, with respect to the brightness f (x, y) of the position (x, y) in the input image, if P is a periodic interval, i.e., the interval of elements arranged at equal intervals. The comparison test is carried out as follows.

Figure 112008066339706-PAT00003
Figure 112008066339706-PAT00003

상기한 바와 같이, 화상처리부(3)는, 밝기 f(x, y)와, 1주기 전의 밝기 f(x-P, y) 및 1주기 후의 밝기 f(x+P, y)를 비교한다. As described above, the image processing unit 3 compares the brightness f (x, y) with the brightness f (x-P, y) before one cycle and the brightness f (x + P, y) after one cycle.

여기서, s-p(x, y)는 f(x, y)와 f(x-P, y)의 비교 결과를, s+p(x, y)는 f(x, y)와 f(x+P, y)의 비교 결과를 나타낸다.Where sp (x, y) is the result of comparing f (x, y) and f (xP, y), and s + p (x, y) is f (x, y) and f (x + P, y). ) Shows a comparison result.

화상처리부(3)는, s-p(x, y) 및 s+p(x, y)의 부호가 일치하고 있는 경우에 sH(x, y)를 슬라이스 레벨(Td)과 비교한다. 또한, 화상처리부(3)는, s-p(x, y) 및 s+p(x, y)의 부호가 일치하지 않는 경우에는, 위치(x-P, y) 또는 위치(x+P, y)에서의 화소에 결함이 있을 가능성이 높고, 검사의 신뢰성이 낮기 때문에, 위치(x, y) 를 검사 대상으로부터 제외한다. 이와 같은 구성에 의해, 입력 화상의 노이즈에 의한 결함 검출의 오류를 막을 수 있다.The image processing unit 3 compares sH (x, y) with the slice level Td when the signs of s-p (x, y) and s + p (x, y) coincide. In addition, the image processing unit 3, at the position (xP, y) or the position (x + P, y) when the signs of sp (x, y) and s + p (x, y) do not match. The position (x, y) is excluded from the inspection object because the pixel is likely to be defective and the inspection reliability is low. Such a structure can prevent the error of defect detection by the noise of an input image.

그리고, 화상처리부(3)는, sH(x, y)가 Td 이상인 경우는 위치(x, y)에서의 화소를 결함이라고 판단하고, 결과를 dH(x, y)에 격납한다. dH(x, y)에서, 값 1의 화소는 결함인 것을, 값 0의 화소는 정상인 것을 나타낸다.And if sH (x, y) is Td or more, the image processing part 3 judges that the pixel in position (x, y) is a defect, and stores the result in dH (x, y). In dH (x, y), a pixel of value 1 indicates a defect and a pixel of value 0 is normal.

또한, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에서는, 화상처리부(3)는, 밝기 f(x, y)와, 1주기 전의 밝기 f(x-P, y) 및 1주기 후의 밝기 f(x+P, y)를 비교하는 구성이라고 하였지만, 이것으로 한정하는 것이 아니다. 화상처리부(3)가, 예를 들면 밝기 f(x, y)와, 2주기 전의 밝기 f(x-2×P, y) 및 3주기 후의 밝기 f(x+3×P, y)를 비교하는 등, 위치(x, y)의 화소의 밝기와, 위치(x, y)의 화소가 속하는 회소와는 다른 회소에 속하는 화소의 밝기를 비교하는 구성이라도 좋다.In the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention, the image processing unit 3 includes the brightness f (x, y), the brightness f (xP, y) before one cycle, and the brightness f (1) after one cycle. Although it is called the structure which compares x + P and y), it is not limited to this. The image processing unit 3 compares, for example, the brightness f (x, y) with the brightness f (x-2 × P, y) before two cycles and the brightness f (x + 3 × P, y) after three cycles. For example, the configuration may be such that the brightness of the pixel at the position (x, y) is compared with the brightness of the pixel belonging to a different location than the pixel to which the pixel at the position (x, y) belongs.

또한, 위치(x, y)의 화소의 밝기와, 위치(x, y)의 화소 이외의 화소의 밝기를 비교하는, 즉 같은 회소에 속하는 화소끼리의 밝기를 비교하는 구성으로 하는 것도 가능하다. 단, 위치(x, y)의 화소의 밝기와, 위치(x, y)의 화소가 속하는 회소와는 다른 회소에 속하는 화소의 밝기를 비교하는 구성에서는, 결함 검출 대상의 화소와 비교되는 화소가 정상일 가능성이 높기 때문에, 보다 정확하게 화소의 결함을 검출할 수 있고, 바람직한 구성이라고 할 수 있다.In addition, it is also possible to make the structure which compares the brightness of the pixel of position (x, y) and the brightness of pixels other than the pixel of position (x, y), ie, compares the brightness of the pixels which belong to the same place. However, in the configuration in which the brightness of the pixel at the position (x, y) is compared with the brightness of the pixel belonging to a different location than the pixel to which the pixel at the position (x, y) belongs, the pixel to be compared with the pixel of the defect detection target is Since the possibility of normality is high, the defect of a pixel can be detected more correctly, and it can be said that it is a preferable structure.

도 11의 (a) 및 (b)는 화상처리부가 입력 화상의 수직 방향으로 결함 검출을 행할 때의 동작을 도시하는 도면이다.11A and 11B are diagrams showing an operation when the image processing unit detects a defect in the vertical direction of the input image.

화상처리부(3)는, 주기적으로, 즉 등간격으로 배치되어 있는 회소의 간격을 P라고 하면, 입력 화상에서 위치(x, y)의 밝기 f(x, y)에 대해, 이하와 같이 비교 검사를 행한다.The image processing unit 3 compares the brightness f (x, y) of the position (x, y) in the input image as follows when the interval of the elements arranged at regular intervals, that is, at equal intervals, is as follows. Is done.

Figure 112008066339706-PAT00004
Figure 112008066339706-PAT00004

상기한 바와 같이, 화상처리부(3)는, 밝기 f(x, y)와, 1주기 전의 밝기 f(x-P, y) 및 1주기 후의 밝기 f(x+P, y)를 비교한다. As described above, the image processing unit 3 compares the brightness f (x, y) with the brightness f (x-P, y) before one cycle and the brightness f (x + P, y) after one cycle.

여기서, s-p(x, y)는 f(x, y)와 f(x-P, y)의 비교 결과를, s+p(x, y)는 f(x, y)와 f(x+P, y)의 비교 결과를 나타낸다.Where sp (x, y) is the result of comparing f (x, y) and f (xP, y), and s + p (x, y) is f (x, y) and f (x + P, y). ) Shows a comparison result.

화상처리부(3)는, s-p(x, y) 및 s+p(x, y)의 부호가 일치하고 있는 경우에 sV(x, y)를 슬라이스 레벨(Td)과 비교한다.The image processing unit 3 compares sV (x, y) with the slice level Td when the signs of s-p (x, y) and s + p (x, y) coincide.

그리고, 화상처리부(3)는, sV(x, y)가 Td 이상인 경우는 위치(x, y)에서의 화소를 결함이라고 판단하고, 결과를 dV(x, y)에 격납한다. dV(x, y)에서, 값 1의 화소는 결함인 것을, 값 0의 화소는 정상인 것을 나타낸다.And if sV (x, y) is Td or more, the image processing part 3 judges the pixel in position (x, y) as a defect, and stores the result in dV (x, y). In dV (x, y), a pixel of value 1 indicates a defect and a pixel of value 0 is normal.

다음에, 화상처리부가 입력 화상의 수평 방향 및 수직 방향의 양쪽에 결함 검출을 행할 때의 동작에 관해 설명한다.Next, an operation when the image processing unit detects defects in both the horizontal direction and the vertical direction of the input image will be described.

화상처리부(3)는, 수평 방향 및 수직 방향의 밝기 f(x, y)와, 1주기 전의 밝기 f(x-P, y) 및 1주기 후의 밝기 f(x+P, y)의 비교 결과를 이용하여 다음과 같이 결함 검출을 행한다.The image processing unit 3 utilizes the result of comparing the brightness f (x, y) in the horizontal and vertical directions with the brightness f (xP, y) before one cycle and the brightness f (x + P, y) after one cycle. Defect detection is performed as follows.

Figure 112008066339706-PAT00005
Figure 112008066339706-PAT00005

화상처리부(3)는, sH(x, y) 또는 sV(x, y)가 Td 이상인 경우는 위치(x, y)에서의 화소를 결함이라고 판단하고, 결과를 dHV(x, y)에 격납한다. dHV(x, y)에서, 값 1의 화소는 결함인 것을, 값 0의 화소는 정상인 것을 나타낸다.If sH (x, y) or sV (x, y) is Td or more, the image processing unit 3 judges the pixel at position (x, y) as a defect and stores the result in dHV (x, y). do. In dHV (x, y), a pixel of value 1 indicates a defect and a pixel of value 0 is normal.

상기 각 결함 검출 방법의 사용예로서는, 입력 화상에서 복수개의 회소가 수평 방향으로 배치되어 있고, 또한 수직 방향으로는 1회소밖에 배치되어 있지 않은 경우에는, 입력 화상의 수평 방향으로 결함 검출을 행하는 방법을 채용한다. 또한, 입력 화상에서 복수개의 회소가 수직 방향으로 배치되어 있고, 또한 수평 방향으로는 1회소밖에 배치되어 있지 않은 경우에는, 입력 화상의 수직 방향으로 결함 검출을 행하는 방법을 채용한다. 또한, 입력 화상에서 각각 2개 이상의 회소가 수직 방향 및 수평 방향으로 배치되어 있는 경우에는, 입력 화상의 수평 방향 및 수직 방향의 양방으로 결함 검출을 행하는 방법을 채용한다. 이들 3개의 결함 검출 방법은, 결함 검출 검사에서 사용하는 대물 렌즈(21)의 배율 및 회소의 사이즈에 따라 선택된다.As a use example of each of the defect detection methods described above, when a plurality of elements are arranged in the horizontal direction in the input image and only one time is arranged in the vertical direction, a method of detecting defects in the horizontal direction of the input image is provided. Adopt. In addition, when a plurality of elements are arranged in the vertical direction in the input image and only one time is arranged in the horizontal direction, a method of detecting defects in the vertical direction of the input image is adopted. In the case where two or more elements are arranged in the vertical direction and the horizontal direction, respectively, in the input image, a method of detecting defects in both the horizontal direction and the vertical direction of the input image is adopted. These three defect detection methods are selected according to the magnification of the objective lens 21 used for defect detection inspection, and the size of sweep.

다음에, 화상처리부(3)가 흑결함의 슬라이스 레벨(Td)을 결정할 때의 동작에 관해 설명한다.Next, an operation when the image processing unit 3 determines the slice level Td of black defects will be described.

도 12의 (a) 및 (b)는 블랙매트릭스 영역, RGB 각 화소 및 흑결함의 슬라이스 레벨(Td)(7) 관계를 도시하는 도면이다.12 (a) and 12 (b) are diagrams showing the relationship of the slice level (Td) 7 of the black matrix area, the RGB pixels, and the black defects.

블랙매트릭스 영역의 밝기를 IBM으로 하고, RGB 각 화소의 밝기를 IR, IG, IB로 한다. IBM을 기준으로 하였을 때, IR, IG, IB의 각 콘트라스트 값은 이하의 식으로 표시된다.The brightness of the black matrix area is set to IBM, and the brightness of each RGB pixel is set to IR, IG, and IB. Based on IBM, each contrast value of IR, IG, and IB is represented by the following equation.

Figure 112008066339706-PAT00006
Figure 112008066339706-PAT00006

화상처리부(3)는, 블랙매트릭스 영역이 가장 어둡기 때문에 min(CR, CG, CB)보다 작은 값을 슬라이스 레벨(Td)로서 선택한다.The image processing unit 3 selects a value smaller than min (CR, CG, CB) as the slice level Td because the black matrix area is the darkest.

Figure 112008066339706-PAT00007
Figure 112008066339706-PAT00007

여기서, 컬러필터에서는, 인접하는 회소에서 컬러필터 영역의 밝기는 동등하지 않다. 관찰 광학계에도 의하지만, 일반적으로 CCD(Charge Coupled Device) 카메라는 녹색의 파장에 대한 감도가 가장 높다. 이 때문에, 녹색의 회소가 입력 화상에서 가장 밝게 보이고, 계속해서 적색, 청색이라는 순서가 된다.Here, in the color filter, the brightness of the color filter area is not equal in adjacent places. In general, CCD (Charge Coupled Device) cameras have the highest sensitivity to the green wavelength. For this reason, green recall appears the brightest in the input image, followed by red, blue.

전술한 입력 화상의 수평 방향, 수직 방향 및 수평 방향 및 수직 방향의 양방으로 각각 결함 검출을 행하는 방법에서는, 인접하는 회소의 컬러필터 영역의 밝기를 비교하기 때문에, 다른 밝기끼리를 비교하는 것이 된다. 그러나, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치는, 슬라이스 레벨(Td)을 min(CR, CG, CB)보다 작은 값으로 하는 구성이기 때문에, 다른 밝기끼리를 비교하는 경우에도, 결함 검출을 정확하게 행할 수 있다.In the method of performing defect detection in the horizontal direction, the vertical direction, and the horizontal direction and the vertical direction of the above-mentioned input image, respectively, since the brightness of the color filter area | region of the adjacent pixel is compared, it is to compare different brightness. However, since the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention has a configuration in which the slice level Td is smaller than min (CR, CG, CB), even when comparing different brightnesses, Detection can be performed correctly.

또한, 시야가 넓은 경우, 즉 화상처리부(3)의 1회의 촬영 면적이 큰 경우에는, 동일색에 대응하는 3개 걸러 회소에서의 컬러필터 영역의 밝기를 비교하는 구성이라도 좋다.In addition, when the field of view is wide, i.e., when the image capturing area 3 has a large one shot area, the configuration may be used to compare the brightness of the color filter areas in three different colors corresponding to the same color.

다음에, 화상처리부(3)가 백결함의 슬라이스 레벨(Td)을 결정할 때의 동작에 관해 설명한다.Next, an operation when the image processing unit 3 determines the slice level Td of white defects will be described.

도 13의 (a) 및 (b)는 블랙매트릭스 영역, RGB 각 화소 및 백결함의 슬라이스 레벨(Td)의 관계를 도시하는 도면이다.13A and 13B are diagrams showing the relationship between the black matrix area, each RGB pixel, and the slice level Td of the white defect.

백결함부의 밝기를 IWH로 하고, RGB 각 화소의 밝기를 IR, IG, IB로 한다. IWH를 기준으로 하였을 때, IR, IG, IB의 각 콘트라스트 값은 이하의 식으로 표시된다. The brightness of the white defect part is set to IWH, and the brightness of each pixel of RGB is set to IR, IG, and IB. Based on IWH, the contrast values of IR, IG, and IB are expressed by the following equations.

Figure 112008066339706-PAT00008
Figure 112008066339706-PAT00008

화상처리부(3)는, 백결함부가 가장 밝게 되기 때문에 min(CR, CG, CB)보다 작은 값을 슬라이스 레벨(Td)로서 선택한다.The image processing unit 3 selects as the slice level Td a value smaller than min (CR, CG, CB) because the white defect is brightest.

Figure 112008066339706-PAT00009
Figure 112008066339706-PAT00009

도 14의 (a)는 결함이 존재하는 컬러필터의 입력 화상을 도시하는 도면이다. 도 14의 (b)는 화상처리부가 생성한 흑결함 추출 화상을 도시하는 도면이다.FIG. 14A is a diagram showing an input image of a color filter in which a defect exists. FIG. 14B is a diagram showing a black defect extracted image generated by the image processing unit.

도 14의 (a)를 참조하면, 컬러필터에는, 흑결함 및 백결함이 혼재하고 있다. 화상처리부(3)는, 흑결함의 슬라이스 레벨(Td)을 이용하여 흑결함을 검출하고, 도 14의 (b)에 도시하는 바와 같은 2치화된 흑결함 추출 화상을 생성한다.Referring to Fig. 14A, black defects and white defects are mixed in the color filter. The image processing unit 3 detects black defects using the slice level Td of black defects, and generates a binarized black defect extracted image as shown in Fig. 14B.

도 15의 (a)는 결함이 존재하는 컬러필터의 입력 화상을 도시하는 도면이다. 도 15의 (b)는 화상처리부가 생성한 백결함 추출 화상을 도시하는 도면이다.FIG. 15A is a diagram showing an input image of a color filter in which a defect exists. FIG. 15B is a diagram showing a white defect extracted image generated by the image processing unit.

도 15의 (a)를 참조하면, 컬러필터에는, 흑결함 및 백결함이 혼재하고 있다. 화상처리부(3)는, 백결함의 슬라이스 레벨(Td)을 이용하여 백결함을 검출하고, 도 15의 (b)에 도시하는 바와 같은 2치화된 백결함 추출 화상을 생성한다.Referring to Fig. 15A, black defects and white defects are mixed in the color filter. The image processing unit 3 detects white defects using the slice level Td of the white defects, and generates a binarized white defect extracted image as shown in Fig. 15B.

이와 같이, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에서는, 컬러필터에서 흑결함 및 백결함이 혼재하고 있는 경우에도, 흑결함 및 백결함을 구별하여 검출할 수 있다.As described above, in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention, even when black defects and white defects are mixed in the color filter, black defects and white defects can be distinguished and detected.

그런데, 백결함은, 블랙매트릭스 영역에서의 백결함 및 컬러필터 영역에서의 백결함의 2종류가 존재한다. 예를 들면 블랙매트릭스 영역에서의 백결함에 대해서는, 잉크를 도포하여 빠진 부분을 메워서 수정을 행하는데, 잉크의 도포 범위를 블랙매트릭스 영역의 폭에 맞출수는 없다. 이것은, 잉크 도포침의 사이즈를 백결함의 사이즈에 맞추고 변경할 수 없기 때문이다. 또한, 다른 지름을 갖는 복수개의 침을 컬러필터 결함 수정 장치(101)가 구비하는 구성으로 하는 것은 가능하지만, 모든 백결함을 망라할 수는 없다.By the way, there exist two types of white defects: the white defect in a black matrix area | region, and the white defect in a color filter area | region. For example, the whiteness in the black matrix area is corrected by filling the missing portions by applying ink, but the application range of the ink cannot be adjusted to the width of the black matrix area. This is because the size of the ink coating needle cannot be changed to match the size of the white defect. In addition, although it is possible to make the structure which the color filter defect correction apparatus 101 has several needles which have a different diameter, it cannot cover all white defects.

이 때문에, 블랙매트릭스 영역에서의 백결함을 수정할 때에 잉크를 도포하면 비어져나옴이 발생한다. 즉, 블랙매트릭스 영역에 잉크를 도포하면 컬러필터 영역 으로 비어져나오게 되고, 잉크가 비어져나온 부분은 컬러필터 영역의 흑결함이 된다. 그러면, 이 컬러필터 영역에서의 흑결함을 검출하고, 레이저광을 조사하여 흑결함을 제거하고, 흑결함을 제거한 부분에 잉크를 도포할 필요가 생긴다.For this reason, when ink is applied when correcting the white defect in the black matrix area, it will come out. In other words, when ink is applied to the black matrix area, the ink is protruded to the color filter area, and the portion of the ink protruding becomes black defect of the color filter area. Then, it is necessary to detect black defects in the color filter area, to irradiate laser light to remove black defects, and to apply ink to a portion where the black defects are removed.

컬러필터 영역에서의 백결함을 수정한 후에 블랙매트릭스 영역에서의 백결함을 수정하면, 상기한 바와 같이 컬러필터 영역으로 비어져나온 잉크, 즉 흑결함을 제거하고, 흑결함을 제거한 부분에 재차 잉크를 도포할 필요가 생기고, 결함 수정 시간이 증대하여 버린다. 따라서 수정 순서로서는, 블랙매트릭스 영역에서의 백결함을 수정한 후에 컬러필터 영역에서의 백결함을 수정하는 순서가 바람직하다.After correcting the white defects in the color filter area after correcting the white defects in the color filter area, the ink bulging into the color filter area as described above, that is, the black defects are removed, and the ink is reapplied to the portion where the black defects are removed. Needs to be applied, and the defect correction time increases. Therefore, as the correction order, the order of correcting white defects in the black matrix area and then correcting the white defects in the color filter area is preferable.

또한, 컬러필터 영역에서의 백결함을 수정할 때에 잉크가 블랙매트릭스 영역으로 비어져나오는 경우가 있지만, 블랙매트릭스 영역으로 비어져나온 잉크는 컬러필터를 통과하여야 할 광을 차단하지 않기 때문에, 큰 문제로는 되지 않는다.In addition, ink may bleed into the black matrix area when correcting white defects in the color filter area. However, ink that bleeds into the black matrix area does not block light that must pass through the color filter. Does not.

그러면, 화상처리부(3)는, 블랙매트릭스 영역에서의 백결함 및 컬러필터 영역에서의 백결함을 판별하고, 블랙매트릭스 영역에서의 백결함을 수정한 후에 컬러필터 영역에서의 백결함을 수정한다.Then, the image processing unit 3 determines the white defect in the black matrix area and the white defect in the color filter area, corrects the white defect in the black matrix area, and then corrects the white defect in the color filter area.

도 16은 화상처리부가 컬러필터 영역에서의 백결함 추출 화상을 생성하는 동작을 도시하는 도면이다. 도 17은 화상처리부가 블랙매트릭스 영역에서의 백결함 추출 화상을 생성하는 동작을 도시하는 도면이다.16 is a diagram illustrating an operation of the image processing unit generating a white defect extracted image in the color filter area. 17 is a diagram illustrating an operation of the image processing unit generating a white defect extracted image in the black matrix area.

컬러필터 영역의 마스크 화상은, 컬러필터 영역이 1이고, 블랙매트릭스 영역을 포함하는 컬러필터 영역 이외의 부분이 0인 2치화된 화상이다. 또한, 백결함 추출 화상은, 결함 부분이 1이고, 결함 부분 이외의 부분이 0인 2치화된 화상이다. 따라서 화상처리부(3)는, 컬러필터 영역의 마스크 화상과 백결함 추출 화상의 논리곱을 연산함에 의해, 컬러필터 영역에서의 백결함 추출 화상을 생성한다. 또한, 화상처리부(3)는, 컬러필터 영역의 마스크 화상의 논리 레벨을 반전(反轉)한 화상과 백결함 추출 화상과의 논리곱을 연산함에 의해, 블랙매트릭스 영역에서의 백결함 추출 화상을 생성한다.The mask image of the color filter region is a binarized image in which the color filter region is 1 and the portion other than the color filter region including the black matrix region is zero. The white defect extracted image is a binarized image in which a defective portion is 1 and a portion other than the defective portion is zero. Therefore, the image processing unit 3 generates the white defect extracted image in the color filter region by calculating the logical product of the mask image of the color filter region and the white defect extracted image. Further, the image processing unit 3 generates a white defect extracted image in the black matrix region by calculating a logical product of the image obtained by inverting the logic level of the mask image of the color filter region and the white defect extracted image. do.

[센터링][Centering]

다음에, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에 있어서 제어용 컴퓨터(2)가 센터링을 행할 때의 동작에 관해 설명한다.Next, the operation when the control computer 2 performs the centering in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention will be described.

도 18은, 화상처리부가 결함 마스크 화상을 생성하는 동작을 도시하는 도면이다.18 is a diagram illustrating an operation of the image processing unit generating a defect mask image.

도 18을 참조하면, 화상처리부(3)는, 전술한 바와 같이 흑결함 추출 화상 및 백결함 추출 화상을 생성하고, 양자의 논리합을 연산함에 의해, 결함 마스크 화상을 생성한다.Referring to FIG. 18, the image processing unit 3 generates a black defect extracted image and a white defect extracted image as described above, and generates a defect mask image by calculating a logical sum of both.

그리고, 화상처리부(3)는, 결함 마스크 화상에서 값이 1인 부분(도 18에서 해칭이 없는 부분)의 중심 위치를 계산한다.And the image processing part 3 calculates the center position of the part whose value is 1 (the part without hatching in FIG. 18) in a defect mask image.

즉, 화상처리부(3)는, 결함 마스크 화상에서, 값 1의 화소의 총수를 N으로 하여, 값 1의 화소(i)의 좌표를 (xi, yi)로 하면, 결함 부위의 중심 좌표(XG, YG)를 다음 식에 의거하여 산출한다.That is, in the defect mask image, if the total number of pixels having a value of 1 is N and the coordinates of the pixel i having a value of 1 are (xi, yi), the center coordinates (XG) of the defective portion are determined. , YG) is calculated based on the following equation.

Figure 112008066339706-PAT00010
Figure 112008066339706-PAT00010

그리고, 제어용 컴퓨터(2)는, 화상처리부(3)의 산출 결과에 의거하여, 결함 부위의 중심 좌표(XG, YG)가 화면 중심에 일치하도록 위치 결정 기구(51)를 제어한다.Then, the control computer 2 controls the positioning mechanism 51 so that the center coordinates XG and YG of the defective portion coincide with the center of the screen based on the calculation result of the image processing unit 3.

[색판정][Color judgment]

다음에, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치가 결함을 포함하는 회소의 색판정을 행할 때의 동작에 관해 설명한다.Next, an operation when the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention performs color determination of the pixel containing the defect will be described.

도 19는 결함 추출 화상의 한 예를 도시하는 도면이다.19 is a diagram illustrating an example of a defect extraction image.

생성한 컬러필터 영역의 마스크 화상으로부터 각 회소에서의 컬러필터 영역의 위치가 명확하게 되어 있기 때문에, 화상처리부(3)는, 각 회소의 컬러필터 영역의 위치와 결함 추출 화상을 대조함에 의해, 결함(ERR)을 포함하는 회소(PERR)를 특정한다. 보다 상세하게는, 화상처리부(3)는, 결함의 위치 정보로서 결함에 외접하는 직사각형(R)의 정점(頂点) 좌표를 구하고, 이 직사각형(R)을 포함하는 회소(이하, 결함 회소라고도 칭한다)를 검출한다.Since the position of the color filter region in each pixel is made clear from the mask image of the generated color filter region, the image processing unit 3 compares the position of the color filter region of each pixel with the defect extraction image, The recall PERR containing (ERR) is specified. More specifically, the image processing unit 3 obtains the vertex coordinates of the rectangle R that circumscribes the defect as position information of the defect, and is referred to as a recall (hereinafter referred to as a defect recall) including the rectangle R. FIG. ).

다음에, 화상처리부(3)는, 미리 등록되어 있는 색정보와 결함 회소(PERR)의 색정보를 비교하여, 결함 회소의 색을 특정한다.Next, the image processing unit 3 compares the color information registered in advance with the color information of the defect recovery PERR, and specifies the color of the defect recovery.

보다 상세하게는, 화상처리부(3)에, 미리 RGB 각 회소의 색상 대표치를 등록 하여 둔다. RGB 각각의 색상 대표치를 HR, HG, HB라고 하면, HR, HG, HB는 이하의 식으로 표시된다.More specifically, the color representative value of each RGB picture is registered in advance in the image processing unit 3. If the color representative values of RGB are HR, HG and HB, HR, HG and HB are expressed by the following equation.

Figure 112008066339706-PAT00011
Figure 112008066339706-PAT00011

식(D1)에서, Hm(x, y)은 색상치를 나타내고, 등록 화상(m(x, y))에서의 RGB 값으로부터 후술하는 변환식에 의해 구하여진다. 또한, (x1,y1)은 측정 영역의 좌상단 좌표이고, (x2, y2)는 측정 영역의 우하단 좌표를 나타낸다. 즉, HR, HG, HB는 측정 영역 내의 색상 평균치이다.In formula (D1), Hm (x, y) represents a color value and is obtained by a conversion formula described later from the RGB values in the registered image m (x, y). In addition, (x1, y1) is the upper left coordinate of the measurement area, and (x2, y2) represents the lower right coordinate of the measurement area. In other words, HR, HG and HB are color average values in the measurement area.

도 20은, RGB 각 회소의 색상 히스토그램을 도시하는 도면이다.20 is a diagram showing color histograms of RGB pixels.

도 20을 참조하면, 실제로는 RGB 각 회소의 색상치는 각각 HR, HG, HB를 중심으로 하여 분포하고 있기 때문에, 화상처리부(3)는, RGB 각 회소의 색상 대표치를 (HR±rR), (HG±rG), (HB±rB)으로서 보존한다. rR, rG, rB는, HR, HG, HB를 중심으로 하는 각 분포의 표준 편차를 σ로 두면 예를 들면 3×σ이다.Referring to FIG. 20, since the color values of each RGB element are actually distributed around HR, HG and HB, respectively, the image processing unit 3 displays the color representative values of each RGB element (HR ± rR), ( HG ± rG) and (HB ± rB). rR, rG, rB is 3xσ, for example, when σ is the standard deviation of each distribution centering on HR, HG, and HB.

도 21은, 화상처리부가 색상 정보 계산 마스크 화상을 생성하는 동작을 도시하는 도면이다.21 is a diagram illustrating an operation of the image processing unit generating a color information calculation mask image.

도 21을 참조하면, 화상처리부(3)는, 결함 추출 화상과 컬러필터 영역 마스크 화상의 배타적 논리합을 연산함에 의해, 색상 정보 계산 마스크 화상을 생성한다.Referring to FIG. 21, the image processing unit 3 generates a color information calculation mask image by calculating an exclusive logical sum of the defect extraction image and the color filter area mask image.

화상처리부(3)는, 색상 정보 계산 마스크 화상에서 값 1(도 21에서 해칭이 없는 부분)의 화소에 대해서만 색상치를 계산한다. 화상처리부(3)는, 블랙매트릭스 영역과 같은 값 0인 결함 부분은 색상치가 분명하지 않기 때문에, 계산 대상 외로 한다.The image processing unit 3 calculates a color value only for pixels having a value 1 (the part without hatching in Fig. 21) in the color information calculation mask image. The image processing unit 3 is excluded from the calculation target because the color value of the defective portion having the same value 0 as that of the black matrix area is not obvious.

생성한 컬러필터 영역의 마스크 화상으로부터 각 회소의 컬러필터 영역의 위치가 명확하게 되어 있기 때문에, 화상처리부(3)는, 각 컬러필터 영역에서 색상 정보 계산 마스크의 값이 1인 화소의 색상치를 누산(累算)하고, 컬러필터 영역마다 색상치의 평균치를 구한다. 그리고, 화상처리부(3)는, 구한 평균치와 RGB 각 회소의 색상 대표치를 비교하고, 구한 평균치가 가장 가까운 색상 대표치에 대응하는 색을 컬러필터 영역의 색으로 결정한다.Since the position of each color filter region is made clear from the mask image of the generated color filter region, the image processing unit 3 accumulates the color values of the pixel whose value of the color information calculation mask is 1 in each color filter region. (Iii), the average value of the color values is obtained for each color filter area. Then, the image processing unit 3 compares the obtained average value with the color representative values of the RGB pixels, and determines the color corresponding to the color representative value closest to the obtained average value as the color of the color filter region.

여기서, 컬러필터 내의 색상 정보 계산 마스크가 전부 0인 경우는, 색 부정(否定)이 된다. 이 경우는 후술하는 바와 같이 미리 등록된 색 나열 정보에 의거하여 컬러필터 영역의 색을 특정한다.Here, when all the color information calculation masks in a color filter are zero, it becomes color indefiniteness. In this case, as described later, the color of the color filter area is specified based on color registration information registered in advance.

다음에, 등록 화상(m(x, y))에서의 RGB 값으로부터 색상치를 산출하는 방법을 설명한다.Next, a method of calculating the color value from the RGB value in the registered image m (x, y) will be described.

컬러 CCD 카메라로 촬영된 화상에서는, 색의 3원색이다 RGB의 3개의 값을 이용하여 색을 표시하는데, 색조 및 선명도 등의 감각적인 양은 RGB의 값으로는 이해하기 어렵기 때문에, 인간의 감각에 가까운 표색계(表色系)가 고안되어 있다. 표색계의 하나로서 HSV 표색계가 있다. 여기서, H는 색상, S는 채도, V은 명도를 나타낸다. HSV 표색계는 RGB 값으로부터 용이하게 계산할 수 있고, 컴퓨터에 의한 화상 처리의 분야에서 이용되고 있다.In an image taken with a color CCD camera, the three primary colors of the color are displayed using three values of RGB. The sensory quantities such as hue and sharpness are difficult to understand by the RGB values, A close color system has been devised. One of the color systems is the HSV color system. Here, H represents hue, S represents saturation, and V represents lightness. The HSV colorimetric system can be easily calculated from RGB values and is used in the field of computer image processing.

RGB 값중, 최소치를 fmin으로 하여, 최대치를 fmax로 하면, 명도(V)는 V=fmax로 표시된다. If the minimum value is fmin and the maximum value is fmax among the RGB values, the brightness V is expressed as V = fmax.

또한, 색상(H) 및 채도(S)는 이하와 같이 산출된다.In addition, the hue H and the saturation S are calculated as follows.

Figure 112008066339706-PAT00012
Figure 112008066339706-PAT00012

[색판정의 신뢰도][Reliability of Color Judgment]

다음에, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에서의 색판정의 신뢰도의 산출 방법 및 사용 방법에 관해 설명한다.Next, the calculation method and the usage method of the reliability of color determination in the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention are demonstrated.

도 22의 (a) 및 (b)는 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에 있어서 회소의 색판정의 신뢰도가 낮은 경우에 행하여지는 색판정의 양상을 도시하는 도면이다.22A and 22B are diagrams showing aspects of color determination performed when the reliability of color determination in the drawing is low in the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention.

각 컬러필터 영역에서, 색판정을 행하는 회소의 컬러필터 영역에 상당하는 촬상 화상상의 총화소수를 N으로 하고, 색판정에 이용한 색상 정보 마스크의 값 1에 상당하는 촬상 화상상의 화소수를 Nm으로 하면, 회소의 색판정에 대한 신뢰도(R)는 R=Nm/N으로 표시된다.In each color filter area, if the total number of pixels on the picked-up image corresponding to the color filter area for performing color determination is N, and the number of pixels on the picked-up image corresponding to the value 1 of the color information mask used for color determination is Nm, , The reliability R for the color judgment of the circuit is expressed as R = Nm / N.

화상처리부(3)는, 신뢰도(R)가 소정치 이상의 회소에 관해서는 전술한 컬러필터 영역의 색상치의 평균치와 색상 대표치와의 비교에 의한 색판정 결과를 신뢰한다. 한편, 화상처리부(3)는, 신뢰도(R)가 소정치 미만의 회소에 관해서는, 미리 등록되어 있는 색 나열 정보와 대조하고, 색 나열 정보에 대해 모순이 있는 경우는 색판정 결과를 정정한다.The image processing unit 3 trusts the color judgment result by comparing the average value of the color values in the color filter area and the color representative value with respect to the recovery of the reliability R having a predetermined value or more. On the other hand, the image processing unit 3 contrasts the color ordering information registered in advance for the recall below the predetermined value, and corrects the color determination result when there is a contradiction in the color ordering information. .

여기서, 색 나열 정보는 논리곱인 것이고, 예를 들면 컬러필터의 입력 화상의 횡방향이 RGB라는 배열로 되어 있는 것이면 (RGB)라는 나열 순서를 기억하여 둔다. 색 나열 정보는, 예를 들면 컬러필터 결함 수정 장치(101)에 설정하는 레시피에 입력하여 둔다. 또한, 레시피는, 예를 들면 제어용 컴퓨터(2)에서의 기억부에 보존된다.Here, the color ordering information is a logical product. For example, when the horizontal direction of the input image of the color filter is an arrangement of RGB, the order of (RGB) is stored. Color order information is input to the recipe set to the color filter defect correction apparatus 101, for example. In addition, a recipe is stored in the memory | storage part in the control computer 2, for example.

우선, 도 22의 (a)에 도시하는 바와 같이, 입력 화상의 횡방향에 있어서 RGB 각 회소가 (RGB)의 순서로 스트라이프형상으로 배열되어 있는 경우에 관해 설명한다. 화상처리부(3)는, 입력 화상의 좌상부터 우하를 향하여 회소를 주사하어 가고, 신뢰도(R)가 낮은 회소(도 22의 (a)의 D1)가 출현한 경우, 신뢰도(R)가 낮은 회소의 바로앞의 회소(도 22의 (a)의 D2)의 다음의 회소의 색을 색 나열 정보로부터 검 색한다. 그리고, 색 나열 정보로부터 검색한 색과 신뢰도(R)가 낮은 회소의 위의 회소(도 22의 (a)의 D3)의 색이 같은 경우에는 색 나열 정보로부터 검색한 색을 신뢰도(R)가 낮은 회소의 색으로 결정한다. 또한, 신뢰도(R)가 낮은 회소의 위의 회소의 색이 부정인 경우에는, 신뢰도(R)가 낮은 회소의 아래의 회소(도 22의 (a)의 D4)의 색과 색 나열 정보로부터 검색한 색을 대조한다. 신뢰도(R)가 낮은 회소의 아래의 회소의 색이 부정인 경우에는, 신뢰도(R)가 낮은 회소의 다음의 회소(도 22의 (a)의 D5)의 바로앞의 회소의 색을 색 나열 정보로부터 검색하고, 신뢰도(R)가 낮은 회소의 다음의 회소(도 22의 (a)의 D5)의 위의 회소(도 22의 (a)의 D6) 또는 신뢰도(R)가 낮은 회소의 다음의 회소의 아래의 회소(도 22의 (a)의 D7)의 색과 색 나열 정보로부터 검색한 색을 대조한다.First, as shown in Fig. 22A, the case where the RGB elements are arranged in a stripe pattern in the order of (RGB) in the horizontal direction of the input image will be described. The image processing unit 3 scans the sweep from the upper left to the lower right of the input image, and when the sweep having a low reliability R (D1 in FIG. 22A) appears, the ash having a low reliability R The color of the next pixel after the cattle immediately before the cattle (D2 in Fig. 22A) is retrieved from the color sequence information. Then, when the color retrieved from the color sequence information and the color of the above-described element (D3 in FIG. 22A) of the low-referential association are the same, the color retrieved from the color sequence information has the reliability R. Decide on a low recall color. In addition, when the color of the recall above the low reliability R is negative, the search is performed from the color and the color ordering information of the recall below the low reliability R (D4 in FIG. 22A). Contrast one color. When the color of the recall below the recall with low reliability R is negative, the color of the recall immediately before the next recall (D5 in FIG. 22A) of the recall with low reliability R is color-ordered. Retrieved from the information and following the recall (D6 in FIG. 22 (a)) above the recall (D5 in FIG. 22A) or the recall with low reliability R The color searched from the color of the information below (the D7 of FIG. 22 (a)) and the color order information is performed.

다음에, 도 22의 (b)에 도시하는 바와 같이, 입력 화상의 종방향에 있어서 RGB 각 회소가 (RGB)의 순서로 스트라이프형상으로 배열되어 있는 경우에 관해 설명한다. 화상처리부(3)는, 입력 화상의 좌상부터 우하를 향하여 회소를 주사하여 가고, 신뢰도(R)가 낮은 회소(도 22의 (b)의 D1)가 출현한 경우, 신뢰도(R)가 낮은 회소의 바로앞의 회소(도 22의 (b)의 D2)의 다음의 회소의 색을 색 나열 정보로부터 검색한다. 그리고, 색 나열 정보로부터 검색한 색과 신뢰도(R)가 낮은 회소의 왼쪽의 회소(도 22의 (b)의 D3)의 색이 같은 경우에는 색 나열 정보로부터 검색한 색을 신뢰도(R)가 낮은 회소의 색으로 결정한다. 또한, 신뢰도(R)가 낮은 회소의 왼쪽의 회소의 색이 부정인 경우에는, 신뢰도(R)가 낮은 회소의 윗 회소 (도 22의 (b)의 D4)의 색과 색 나열 정보로부터 검색한 색을 대조한다. 신뢰도(R)가 낮은 회 소의 윗 회소의 색이 부정인 경우에는, 신뢰도(R)가 낮은 회소의 다음의 회소(도 22의 (b)의 D5)의 바로앞의 회소의 색을 색 나열 정보로부터 검색하고, 신뢰도(R)가 낮은 회소의 다음의 회소(도 22의 (b)의 D5)의 왼쪽의 회소(도 22의 (b)의 D6) 또는 신뢰도(R)가 낮은 회소의 다음의 회소의 윗 회소(도 22의 (b)의 D7)의 색과 색 나열 정보로부터 검색한 색을 대조한다.Next, as shown in Fig. 22B, the case where the RGB elements are arranged in a stripe pattern in the order of (RGB) in the longitudinal direction of the input image will be described. The image processing unit 3 scans the sweep from the upper left of the input image to the lower right, and when the recall with low reliability R (D1 in FIG. 22B) appears, the reliability with low reliability R appears. The color of the next picture after the picture just before the cow (D2 in Fig. 22B) is retrieved from the color sequence information. And when the color searched from the color ordering information and the color of the left search (D3 of FIG. 22 (b)) of the left of the low low recall are the same, the color searched from the color ordering information has the reliability R Decide on a low recall color. In addition, when the color of the left side of the recall with low reliability R is negative, the color and color sequence information of the upper recall (D4 in FIG. 22B) of the low reliability R are retrieved. Contrast the colors. In the case where the color of the upper picture of the low reliability R is negative, the color of the color immediately before the next picture (D5 in FIG. 22 (b)) of the low low reliability R is color coded. Searched for from the next (after D6 in FIG. 22 (b)) or the next after the low reliability (R). The color searched from the color of the upper chamber of the chamber (D7 in FIG. 22B) and the color sequence information is compared.

다음에, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치가 컬러필터에서의 레이저 조사 영역 및 잉크 도포 영역을 결정할 때의 동작에 관해 설명한다. 또한, 레이저 조사 영역 및 잉크 도포 영역의 결정은, 화상처리부(3) 대신에 제어용 컴퓨터(2)가 행하는 구성이라도 좋다.Next, an operation when the color filter defect correction device according to the embodiment of the present invention determines the laser irradiation area and the ink application area in the color filter will be described. The laser irradiation area and the ink coating area may be determined by the control computer 2 instead of the image processing unit 3.

이하에서는, 예를 들면, 슬릿(SL)의 형상은 사각형이고, 컬러필터에서 도포되는 잉크의 형상은 원(圓)이라고 가정하여 설명한다. 또한, 예를 들면, 이하에 도시하는 도면의 지면(紙面) 횡방향에 있어서, 블랙매트릭스 영역(BM)의 폭을 W로 하고, 잉크 도포원(IA)의 직경을 D로 하고, 컬러필터 영역(CF)의 폭을 C로 하고, 슬릿(SL)의 폭을 S로 하면, C≥S>W 또한 C≥D>W라고 가정하여 설명한다.In the following description, for example, the shape of the slit SL is rectangular and the shape of the ink applied by the color filter is assumed to be a circle. For example, the width of the black matrix area | region BM is W, the diameter of the ink application source IA is D, and the color filter area | region in the paper horizontal direction of the figure shown below. When the width of CF is set to C and the width of the slit SL is set to S, it is assumed that C≥S> W and C≥D> W.

또한, 잉크 도포원(IA)의 직경에 관해서는, 통상, 기판에 잉크를 도포하면, 기판 표면에 부착한 잉크는 원형상으로 퍼진다. 그리고, 이 원의 직경을 실측하고, 실측한 직경을 잉크 도포원(IA)의 직경(D)으로 하여 컬러필터 결함 수정 장치(101)에 사용시킨다. 또한, 잉크 도포 및 잉크 도포원(IA)의 직경의 측정을 반복하여 행하고, 복수회 측정한 직경의 평균치를 잉크 도포원(IA)의 직경(D)으로서 컬러필터 결함 수정 장치(101)에 사용시키는 경우도 있다.In addition, regarding the diameter of the ink application source IA, when ink is apply | coated to a board | substrate normally, the ink adhering to the board | substrate surface spreads circularly. Then, the diameter of the circle is measured, and the measured diameter is used as the diameter D of the ink application source IA and used in the color filter defect correction apparatus 101. In addition, ink application | coating and the measurement of the diameter of the ink application source IA are repeated, and the average value of the diameter measured in multiple times is used for the color filter defect correction apparatus 101 as the diameter D of the ink application source IA. In some cases.

제어용 컴퓨터(2)는, 화상처리부(3)에 의한 레이저 조사 영역 및 잉크 도포 영역의 산출 결과에 의거하여 레이저 조사부(7), 잉크도포부(9) 및 위치 결정 기구(51)를 제어하여, 컬러필터의 결함 개소에 레이저광을 조사하고, 또한, 잉크를 도포한다.The control computer 2 controls the laser irradiation unit 7, the ink application unit 9, and the positioning mechanism 51 based on the calculation results of the laser irradiation area and the ink application area by the image processing unit 3, A laser beam is irradiated to the defect location of a color filter, and ink is apply | coated further.

제어용 컴퓨터(2)는, 가변 슬릿부(8)에 의해 형성되는 슬릿(SL)을 초기위치로 이동시킨다. 보다 상세하게는, 화상처리부(3)는, 검출된 결함(ERR)의 위치에 의거하여 슬릿(SL)의 초기위치를 결정한다. 예를 들면, 화상처리부(3)는, 결함(ERR)에 외접하는 직사각형(R)의 중심과 슬릿(SL)의 중심이 일치하도록 슬릿(SL)의 초기위치를 결정한다. 그리고, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)을 초기위치로 이동시킨다.The control computer 2 moves the slit SL formed by the variable slit part 8 to an initial position. More specifically, the image processing unit 3 determines the initial position of the slit SL based on the position of the detected defect ERR. For example, the image processing unit 3 determines the initial position of the slit SL so that the center of the rectangle R circumscribed to the defect ERR and the center of the slit SL coincide with each other. And the control computer 2 moves the slit SL to an initial position by controlling the positioning mechanism 51. FIG.

다음에, 화상처리부(3)는, 초기위치에서의 슬릿(SL)을 통하여 레이저광이 조사되게 될 컬러필터의 영역(임시 레이저 조사 영역)과 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 겹침 영역에 의거하여 슬릿(SL)의 초기위치를 보정함에 의해 슬릿(SL)의 최종위치, 즉 실제로 레이저광을 조사할 때의 슬릿(SL)의 위치를 결정한다.Next, the image processing unit 3 includes the area of the color filter (temporary laser irradiation area), the black matrix area BM and the color filter area CF to which the laser light is irradiated through the slit SL at the initial position. The final position of the slit SL, that is, the position of the slit SL at the time of actually irradiating the laser light is determined by correcting the initial position of the slit SL based on the overlap region of.

그리고, 레이저 조사부(7)는, 최종위치에서의 슬릿(SL)을 통하여 컬러필터에 레이저광을 조사한다.And the laser irradiation part 7 irradiates a laser beam to a color filter through the slit SL in a final position.

도 23의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 23의 (b)는 도 23의 (a)에서의 XXⅢB-XXⅢB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 24의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블 랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 24의 (b)는 도 24의 (a)에서의 XXⅣB-XXⅣB 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 23A is a diagram illustrating an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the XXIIIB-XXIIIB cross section in FIG.23 (a). FIG. 24A is a diagram showing an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the XXIVB-XXIVB cross section in FIG.24 (a).

화상처리부(3)는, 검출된 결함(ERR)이 블랙매트릭스 영역(BM) 부근의 컬러필터 영역(CF)에 존재하는 경우 등, 결함(ERR)의 전영역이 컬러필터 영역(CF)에 존재하는 경우에는, 슬릿(SL)을 통하여 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역(이하, 레이저 조사 영역(RA)이라고도 칭한다)이, 결함(ERR)의 적어도 일부를 포함하고, 또한 블랙매트릭스 영역(BM)과 겹치지 않도록 슬릿(SL)의 초기위치를 보정함에 의해 슬릿(SL)의 최종위치를 결정한다.The image processing unit 3 has the entire area of the defect ERR present in the color filter area CF, such as the case where the detected defect ERR exists in the color filter area CF near the black matrix area BM. In this case, the area of the color filter irradiated with laser light through the slit SL (hereinafter also referred to as laser irradiation area RA) includes at least a part of the defect ERR, and also the black matrix area BM. ), The final position of the slit SL is determined by correcting the initial position of the slit SL so as not to overlap.

도 23을 참조하면, 화상처리부(3)는, 레이저 조사 영역(RA)의 상테두리측의 영역과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹쳐 있는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 상테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L)를 구한다.Referring to FIG. 23, when the image bordering area of the laser irradiation area RA overlaps the black matrix area BM, the image processing unit 3 uses the black matrix from the image border of the laser irradiation area RA. The distance L to the boundary between the area BM and the color filter area CF is obtained.

도 24를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L)만큼 하테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹치지 않도록 할 수 있다.Referring to FIG. 24, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the lower edge side by the distance L by controlling the positioning mechanism 51. Thereby, the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be prevented from overlapping.

도 25의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 25의 (b)는 도 25의 (a)에서의 XXVB-XXVB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 26의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 26의 (b)는 도 26의 (a)에서의 XXⅥB-XXⅥB 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 25A is a diagram illustrating an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 25B is a cross-sectional view illustrating a XXVB-XXVB cross section in FIG. 25A. FIG. 26A is a diagram illustrating an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the XXVIB-XXVIB cross section in FIG.26 (a).

도 25를 참조하면, 화상처리부(3)는, 레이저 조사 영역(RA)의 좌테두리측의 영역과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹쳐 있는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 좌테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L)를 구한다.Referring to FIG. 25, in the case where the left border side of the laser irradiation area RA overlaps with the black matrix area BM, the image processing unit 3 uses the black matrix from the left edge of the laser irradiation area RA. The distance L to the boundary between the area BM and the color filter area CF is obtained.

도 26을 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L)만큼 우테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹치지 않도록 할 수 있다.Referring to FIG. 26, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the right edge side by the distance L by controlling the positioning mechanism 51. Thereby, the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be prevented from overlapping.

도 27의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 27의 (b)는 도 27의 (a)에서의 XXⅦB-XXⅦB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 28의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 28의 (b)는 도 28의 (a)에서의 XXⅧB-XXⅧB 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 27A is a diagram illustrating an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the XX'B-XX'B cross section in (a) of FIG. FIG. 28A is a diagram showing an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the XX'B-XX'B cross section in FIG.

도 27을 참조하면, 화상처리부(3)는, 레이저 조사 영역(RA)의 하테두리측의 영역과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹쳐 있는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 하테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L)를 구한다.Referring to FIG. 27, in the case where the area on the edge of the laser irradiation area RA and the black matrix area BM overlap, the image processing unit 3 is arranged from the black matrix from the border of the laser irradiation area RA. The distance L to the boundary between the area BM and the color filter area CF is obtained.

도 28을 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L)만큼 상테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹치지 않도록 할 수 있다.Referring to FIG. 28, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the upper edge side by the distance L by controlling the positioning mechanism 51. Thereby, the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be prevented from overlapping.

도 29의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함 위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 29의 (b)는 도 29의 (a)에서의 XXⅨB-XXⅨB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 30의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 30의 (b)는 도 30의 (a)에서의 XXXB-XXXB 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 29A is a diagram illustrating an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. (B) is sectional drawing which shows the XX'B-XX'B cross section in FIG. FIG. 30A is a diagram illustrating an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the XXXB-XXXB cross section in FIG.

도 29의 (a) 및 (b)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 레이저 조사 영역(RA)의 우테두리측의 영역과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹쳐 있는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 우테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L)를 구한다.Referring to FIGS. 29A and 29B, when the area on the rim side of the laser irradiation area RA and the black matrix area BM overlap with each other, the image processing unit 3 includes the laser irradiation area ( The distance L from the border of the RA) to the boundary between the black matrix area BM and the color filter area CF is obtained.

도 30의 (a) 및 (b)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L)만큼 좌테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹치지 않도록 할 수 있다.Referring to FIGS. 30A and 30B, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the left edge side by the distance L by controlling the positioning mechanism 51. Thereby, the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be prevented from overlapping.

도 31의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 31의 (b)는 도 31의 (a)에서의 XXXIB-XXXIB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 31의 (c)는 도 31의 (a)에서의 XXXIC-XXXIC 단면을 도시하는 단면도이다. 도 32의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 32의 (b)는 도 32의 (a)에서의 XXXⅡB-XXXⅡB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 32의 (c)는 도 32의 (a)에서의 XXXⅡC-XXXⅡC 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 31A is a diagram illustrating an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 31B is a cross-sectional view showing a XXXIB-XXXIB cross section in FIG. 31A. (C) of FIG. 31 is sectional drawing which shows the XXXIC-XXXIC cross section in FIG. FIG. 32A is a diagram illustrating an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 32B is a cross-sectional view showing a XXXIIB-XXXIIB cross section in FIG. 32A. FIG. 32C is a cross-sectional view illustrating a XXXIIC-XXXIIC cross section in FIG. 32A.

도 31의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 레이저 조사 영역(RA)의 상테두리측의 영역 및 좌테두리측의 영역과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹쳐 있는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 상테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L1)와, 레이저 조사 영역(RA)의 좌테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L2)를 구한다.Referring to (a) to (c) of FIG. 31, the image processing unit 3 is a case where the black border region BM and the region on the upper border side and the left border side of the laser irradiation area RA overlap. The distance L1 from the top border of the laser irradiation area RA to the boundary between the black matrix area BM and the color filter area CF, and the black matrix area BM from the left edge of the laser irradiation area RA. ) And the distance L2 to the boundary of the color filter area CF.

도 32의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L1)만큼 하테두리측으로 이동시키고, 또한 슬릿(SL)의 중심을 거리(L2)만큼 우테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 슬릿(SL)의 최종위치와 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹치지 않도록 할 수 있다.Referring to FIGS. 32A to 32C, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the lower edge side by a distance L1 by controlling the positioning mechanism 51. In addition, the center of the slit SL is moved to the right edge side by the distance L2. As a result, the final position of the slit SL and the black matrix area BM can be prevented from overlapping.

도 33의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 33의 (b)는 도 33의 (a)에서의 XXXⅢB-XXXⅢB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 33의 (c)는 도 33의 (a)에서의 XXXⅢC-XXXⅢC 단면을 도시하는 단면도이다. 도 34의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 34의 (b)는 도 34의 (a)에서의 XXXⅣB-XXXⅣB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 34의 (c)는 도 34의 (a)에서의 XXXⅣC-XXXⅣC 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 33A is a diagram illustrating an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 33B is a cross-sectional view showing a XXXIIIB-XXXIIIB cross section in FIG. 33A. FIG. 33C is a cross-sectional view illustrating a XXXIIIC-XXXIIIC cross section in FIG. 33A. 34A is a diagram illustrating an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 34B is a cross-sectional view illustrating a XXXIVB-XXXIVB cross section in FIG. 34A. FIG. 34C is a cross-sectional view illustrating a XXXIVC-XXXIVC cross section in FIG. 34A.

도 33의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 레이저 조사 영역(RA)의 하테두리측의 영역 및 우테두리측의 영역과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹쳐 있는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 하테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L1)와, 레이저 조사 영역(RA)의 우테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L2)를 구한다.Referring to FIGS. 33A to 33C, the image processing unit 3 includes a case where the black border region BM and the region on the lower border side and the border of the laser irradiation region RA overlap. The distance L1 from the edge of the laser irradiation area RA to the boundary of the black matrix area BM and the color filter area CF, and the black matrix area BM from the rim of the laser irradiation area RA. ) And the distance L2 to the boundary of the color filter area CF.

도 34의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51) 를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L1)만큼 상테두리측으로 이동시키고, 또한 슬릿(SL)의 중심을 거리(L2)만큼 좌테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 슬릿(SL)의 최종위치와 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹치지 않도록 할 수 있다.Referring to FIGS. 34A to 34C, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the upper edge side by a distance L1 by controlling the positioning mechanism 51. In addition, the center of the slit SL is moved to the left edge side by the distance L2. As a result, the final position of the slit SL and the black matrix area BM can be prevented from overlapping.

도 35의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 35의 (b)는 도 35의 (a)에서의 XXXVB-XXXVB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 35의 (c)는 도 35의 (a)에서의 XXXVC-XXXVC 단면을 도시하는 단면도이다. 도 36의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 36의 (b)는 도 36의 (a)에서의 XXXⅥB-XXXⅥB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 36의 (c)는 도 36의 (a)에서의 XXXⅥC-XXXⅥC 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 35A shows an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 35B is a cross-sectional view showing a XXXVB-XXXVB cross section in FIG. 35A. FIG. 35C is a cross-sectional view showing a XXXVC-XXXVC cross section in FIG. 35A. 36A is a diagram showing an example of the final position of the slit, the color filter area, the black matrix area, and the defect location. FIG. 36B is a cross-sectional view illustrating a XXXVIB-XXXVIB cross section in FIG. 36A. FIG. 36C is a cross-sectional view illustrating a XXXVIC-XXXVIC cross section in FIG. 36A.

도 35의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 레이저 조사 영역(RA)의 상테두리측의 영역 및 우테두리측의 영역과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹쳐 있는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 상테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L1)와, 레이저 조사 영역(RA)의 우테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L2)를 구한다.Referring to FIGS. 35A to 35C, when the image processing unit 3 overlaps the area on the upper border side and the area around the rim border of the laser irradiation area RA, the black matrix area BM overlaps. The distance L1 from the edge of the laser irradiation area RA to the boundary between the black matrix area BM and the color filter area CF, and the black matrix area BM from the rim of the laser irradiation area RA are shown in FIG. ) And the distance L2 to the boundary of the color filter area CF.

도 36의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L1)만큼 하테두리측으로 이동시키고, 또한 슬릿(SL)의 중심을 거리(L2)만큼 좌테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 슬릿(SL)의 최종위치와 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹치지 않도록 할 수 있다.Referring to FIGS. 36A to 36C, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the lower edge side by the distance L1 by controlling the positioning mechanism 51. In addition, the center of the slit SL is moved to the left edge side by the distance L2. As a result, the final position of the slit SL and the black matrix area BM can be prevented from overlapping.

도 37의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함 위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 37의 (b)는 도 37의 (a)에서의 XXXⅦB-XXXⅦB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 37의 (c)는 도 37의 (a)에서의 XXXⅦC-XXXⅦC 단면을 도시하는 단면도이다. 도 38의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 38의 (b)는 도 38의 (a)에서의 XXXⅧB XXXⅧB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 38의 (c)는 도 38의 (a)에서의 XXXⅧC-XXXⅧC 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 37A is a diagram illustrating an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 37B is a cross-sectional view showing a cross-sectional view of XXX 'B-XXX' B in FIG. FIG. 37C is a cross-sectional view showing a cross-sectional view of XXXC-XXXXXXC in FIG. FIG. 38A is a diagram illustrating an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 38 (b) is a cross-sectional view showing a XXX_B XXX_B cross section in FIG. 38 (a). FIG. 38C is a cross-sectional view showing a cross-sectional view of XXXXC-XXXXC in FIG. 38A.

도 37의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 레이저 조사 영역(RA)의 하테두리측의 영역 및 좌테두리측의 영역과 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹쳐 있는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 하테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L1)와, 레이저 조사 영역(RA)의 좌테두리로부터 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 경계까지의 거리(L2)를 구한다.Referring to FIGS. 37A to 37C, when the image processing unit 3 overlaps the lower border side region and the left border side region of the laser irradiation region RA with the black matrix region BM. The distance L1 from the lower edge of the laser irradiation area RA to the boundary between the black matrix area BM and the color filter area CF, and the black matrix area BM from the left edge of the laser irradiation area RA. ) And the distance L2 to the boundary of the color filter area CF.

도 38의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L1)만큼 상테두리측으로 이동시키고, 또한 슬릿(SL)의 중심을 거리(L2)만큼 우테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 슬릿(SL)의 최종위치와 블랙매트릭스 영역(BM)이 겹치지 않도록 할 수 있다.Referring to FIGS. 38A to 38C, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the upper edge side by a distance L1 by controlling the positioning mechanism 51. In addition, the center of the slit SL is moved to the right edge side by the distance L2. As a result, the final position of the slit SL and the black matrix area BM can be prevented from overlapping.

도 39의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 39의 (b)는 도 39의 (a)에서의 XXXⅨB-XXXⅨB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 40의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 40의 (b)는 도 40의 (a)에서의 XLB-XLB 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 39A is a diagram illustrating an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 39B is a cross-sectional view showing a cross-sectional view of XXX 'B-XXX' B in FIG. 39 (a). 40A is a diagram illustrating an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows XLB-XLB cross section in FIG. 40 (a).

화상처리부(3)는, 검출된 결함(ERR)이 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)에 걸쳐서 존재하는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)이 결함(ERR)의 적어도 일부를 포함하고, 또한 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)의 겹침 영역이 최소가 되도록 슬릿(SL)의 초기위치를 보정함에 의해 슬릿(SL)의 최종위치를 결정한다.When the detected defect ERR exists over the black matrix area BM and the color filter area CF, the image processing unit 3 includes the laser irradiation area RA at least a part of the defect ERR. Further, the final position of the slit SL is determined by correcting the initial position of the slit SL such that the overlap region of the laser irradiation region RA and the black matrix region BM is minimized.

도 39의 (a) 및 (b)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 전술한 결함 검출 처리에 의해, 결함(ERR)에 외접하는 직사각형(R)의 정점(A) 내지 정점(D)의 좌표를 구한다. 화상처리부(3)는, 직사각형(R)과 블랙매트릭스 영역(BM)의 겹침 영역에 의거하여 슬릿(SL)의 초기위치를 보정함에 의해 슬릿(SL)의 최종위치를 결정한다.Referring to FIGS. 39A and 39B, the image processing unit 3 vertices A through D of the rectangle R circumscribed to the defect ERR by the above-described defect detection process. Find the coordinates of. The image processing unit 3 determines the final position of the slit SL by correcting the initial position of the slit SL based on the overlap region of the rectangle R and the black matrix area BM.

즉, 화상처리부(3)는, 결함(ERR)이 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)에 걸쳐서 존재하고, 또한 결함(ERR)의 상부가 블랙매트릭스 영역(BM)에 존재하는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 상테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L)를 구한다.That is, in the image processing unit 3, the defect ERR exists over the black matrix area BM and the color filter area CF, and the upper part of the defect ERR exists in the black matrix area BM. The distance L from the upper edge of the laser irradiation area RA to the rectangle R is obtained.

도 40의 (a) 및 (b)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L)만큼 하테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)의 겹침 영역을 최소로 할 수 있다.Referring to FIGS. 40A and 40B, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the lower edge side by the distance L by controlling the positioning mechanism 51. Thereby, the overlapping area of the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be minimized.

도 41의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 41의 (b)는 도 41의 (a)에서의 XLIB-XLIB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 42의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블 랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 42의 (b)는 도 42의 (a)에서의 XLⅡB-XLⅡB 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 41A is a diagram showing an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the XLIB-XLIB cross section in FIG. 41 (a). FIG. 42A is a diagram illustrating an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 42B is a cross-sectional view illustrating a cross section of XLIIB-XLIIB in FIG. 42A.

도 41의 (a) 및 (b)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 결함(ERR)이 블랙매트릭스영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)에 걸쳐서 존재하고, 또한 결함(ERR)의 좌부(左部)가 블랙매트릭스 영역(BM)에 존재하는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 좌테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L)를 구한다.Referring to FIGS. 41A and 41B, in the image processing unit 3, the defect ERR is present over the black matrix area BM and the color filter area CF, and the defect ERR is not displayed. When the left part exists in the black matrix area BM, the distance L from the left edge of the laser irradiation area RA to the rectangle R is obtained.

도 42의 (a) 및 (b)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L)만큼 우테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)의 겹침 영역을 최소로 할 수 있다.Referring to FIGS. 42A and 42B, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the rim side by the distance L by controlling the positioning mechanism 51. Thereby, the overlapping area of the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be minimized.

도 43의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 43의 (b)는 도 43의 (a)에서의 xLⅢB-XLⅢB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 44의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 44의 (b)는 도 44의 (a)에서의 XLⅣB-XLⅣB 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 43A is a diagram showing an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the xLIIIB-XLIIIB cross section in (a) of FIG. FIG. 44A shows an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region and the defect position. FIG. 44B is a cross-sectional view showing a XLIV-XLIVB cross section in FIG. 44A.

도 43의 (a) 및 (b)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 결함(ERR)이 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)에 걸쳐서 존재하고, 또한 결함(ERR)의 하부가 블랙매트릭스 영역(BM)에 존재하는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 하테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L)를 구한다.Referring to FIGS. 43A and 43B, in the image processing unit 3, the defect ERR is present over the black matrix area BM and the color filter area CF, and the defect ERR is not displayed. When the lower part exists in the black matrix area | region BM, the distance L from the edge of the laser irradiation area | region RA to the rectangle R is calculated | required.

도 44의 (a) 및 (b)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L)만큼 상테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)의 겹침 영역을 최소로 할 수 있다.Referring to FIGS. 44A and 44B, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the upper edge side by the distance L by controlling the positioning mechanism 51. Thereby, the overlapping area of the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be minimized.

도 45의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 45의 (b)는 도 45의 (a)에서의 XLVB-XLVB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 46의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 46의 (b)는 도 46의 (a)에서의 XLⅥB-XLⅥB 단면을 도시하는 단면도이다.45A is a diagram illustrating an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 45B is a cross-sectional view illustrating a cross section of XLVB-XLVB in FIG. 45A. 46A is a diagram showing an example of the final position of the slit, the color filter area, the black matrix area, and the defect location. FIG. 46B is a cross-sectional view showing a cross section of XLVIB-XLVIB in FIG. 46A.

도 45의 (a) 및 (b)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 결함(ERR)이 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)에 걸쳐서 존재하고, 또한 결함(ERR)의 우부(右部)가 블랙매트릭스 영역(BM)에 존재하는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 우테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L)를 구한다.Referring to FIGS. 45A and 45B, in the image processing unit 3, the defect ERR is present over the black matrix area BM and the color filter area CF, and the defect ERR is not displayed. When the right part exists in the black matrix area | region BM, the distance L from the edge of the laser irradiation area RA to the rectangle R is calculated | required.

도 46의 (a) 및 (b)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L)만큼 좌테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)의 겹침 영역을 최소로 할 수 있다.Referring to FIGS. 46A and 46B, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the left edge side by the distance L by controlling the positioning mechanism 51. Thereby, the overlapping area of the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be minimized.

도 47의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 47의 (b)는 도 47의 (a)에서의 XLⅦB-XLⅦB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 47의 (c)는 도 47의 (a)에서의 XLⅦC-XLⅦC 단면을 도시하는 단면도이다. 도 48의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매 트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 48의 (b)는 도 48의 (a)에서의 xLⅧB-xLⅧB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 48의 (c)는 도 48의 (a)에서의 XLⅧC-XLⅧC 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 47A shows an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 47B is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional view of XL_B-XL_B in FIG. 47A. FIG. 47C is a cross-sectional view showing a cross-sectional view of XLC-XL_C in FIG. 47A. FIG. 48A is a diagram illustrating an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the xL_B-xL_B cross section in FIG. 48 (a). FIG. 48C is a cross-sectional view showing a cross-section of XLC-XL_C in FIG. 48A.

도 47의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 결함(ERR)이 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)에 걸쳐서 존재하고, 또한 결함(ERR)의 상부 및 좌부가 블랙매트릭스 영역(BM)에 존재하는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 상테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L1)와, 레이저 조사 영역(RA)의 좌테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L2)를 구한다.Referring to FIGS. 47A to 47C, in the image processing unit 3, the defect ERR is present over the black matrix area BM and the color filter area CF, and the defect ERR is not displayed. When the upper part and the left part exist in the black matrix area BM, the distance L1 from the top edge of the laser irradiation area RA to the rectangle R and the left edge of the laser irradiation area RA from the left border Find the distance L2 to R).

도 48의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L1)만큼 하테두리측으로 이동시키고, 또한 슬릿(SL)의 중심을 거리(L2)만큼 우테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)의 겹침 영역을 최소로 할 수 있다.Referring to FIGS. 48A to 48C, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the lower edge side by a distance L1 by controlling the positioning mechanism 51. In addition, the center of the slit SL is moved to the right edge side by the distance L2. Thereby, the overlapping area of the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be minimized.

도 49의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 49의 (b)는 도 49의 (a)에서의 xL1XB-XLⅨB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 49의 (c)는 도 49의 (a)에서의 XLⅨC-XLⅨC 단면을 도시하는 단면도이다. 도 50의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 50의 (b)는 도 50의 (a)에서의 LB-LB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 50의 (c)는 도 50의 (a)에서의 LC-LC 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 49A is a diagram illustrating an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the xL1XB-XL_B cross section in FIG. 49 (a). FIG. 49C is a cross-sectional view showing a cross-sectional view of XLC-XL_C in FIG. 49A. 50A is a diagram illustrating an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the LB-LB cross section in (a) of FIG. (C) is sectional drawing which shows the LC-LC cross section in (a) of FIG.

도 49의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 결함(ERR)이 블랙매트 릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)에 걸쳐서 존재하고, 또한 결함(ERR)의 하부 및 우부가 블랙매트릭스 영역(BM)에 존재하는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 하테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L1)와, 레이저 조사 영역(RA)의 우테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L2)를 구한다.Referring to FIGS. 49A to 49C, in the image processing unit 3, the defect ERR is present over the black matrix area BM and the color filter area CF, and the defect ERR is also present. In the case where the lower part and the lower part of the are present in the black matrix area BM, the distance L1 from the edge of the laser irradiation area RA to the rectangle R and the rectangle from the rim of the laser irradiation area RA are rectangular. The distance L2 to (R) is obtained.

도 50의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L1)만큼 상테두리측으로 이동시키고, 또한 슬릿(SL)의 중심을 거리(L2)만큼 좌테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)의 겹침 영역을 최소로 할 수 있다.Referring to FIGS. 50A to 50C, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the upper edge side by a distance L1 by controlling the positioning mechanism 51. In addition, the center of the slit SL is moved to the left edge side by the distance L2. Thereby, the overlapping area of the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be minimized.

도 51의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 51의 (b)는 도 51의 (a)에서의 LIB-LIB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 51의 (c)는 도 51의 (a)에서의 LIC-LIC 단면을 도시하는 단면도이다. 도 52의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 52의 (b)는 도 52의 (a)에서의 LⅡB-LⅡB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 52의 (c)는 도 52의 (a)에서의 LⅡC-LⅡC 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 51A shows an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 51B is a cross-sectional view illustrating the LIB-LIB cross section in FIG. 51A. FIG. 51C is a cross-sectional view illustrating a LIC-LIC cross section in FIG. 51A. FIG. 52A is a diagram showing an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. (B) is sectional drawing which shows the LIIB-LIIB cross section in (a) of FIG. (C) of FIG. 52 is sectional drawing which shows LIIC-LIIC cross section in FIG.

도 51의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 결함(ERR)이 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)에 걸쳐서 존재하고, 또한 결함(ERR)의 상부 및 우부가 블랙매트릭스 영역(BM)에 존재하는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 상테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L1)와, 레이저 조사 영역(RA)의 우테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L2)를 구한다.Referring to FIGS. 51A to 51C, in the image processing unit 3, the defect ERR is present over the black matrix area BM and the color filter area CF, and the defect ERR is not displayed. When the upper part and the right part are present in the black matrix area BM, the distance L1 from the top border of the laser irradiation area RA to the rectangle R, and the rectangle (from the rim of the laser irradiation area RA), Find the distance L2 to R).

도 52의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L1)만큼 하테두리측으로 이동시키고, 또한 슬릿(SL)의 중심을 거리(L2)만큼 좌테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)의 겹침 영역을 최소로 할 수 있다.Referring to FIGS. 52A to 52C, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the lower edge side by the distance L1 by controlling the positioning mechanism 51. In addition, the center of the slit SL is moved to the left edge side by the distance L2. Thereby, the overlapping area of the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be minimized.

도 53의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 53의 (b)는 도 53의 (a)에서의 LⅢB-LⅢB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 53의 (c)는 도 53의 (a)에서의 LⅢC-LⅢC 단면을 도시하는 단면도이다. 도 54의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면이다. 도 54의 (b)는 도 54의 (a)에서의 LⅣB-LⅣB 단면을 도시하는 단면도이다. 도 54의 (c)는 도 54의 (a)에서의 LⅣC-LⅣC 단면을 도시하는 단면도이다.FIG. 53A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 53B is a cross-sectional view showing a LIIIB-LIIIB cross section in FIG. 53A. FIG. 53C is a cross-sectional view illustrating a LIIIC-LIIIC cross section in FIG. 53A. FIG. 54A is a diagram showing an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 54B is a cross-sectional view illustrating a LIVB-LIVB cross section in FIG. 54A. FIG. 54C is a cross-sectional view illustrating a LIVC-LIVC cross section in FIG. 54A.

도 53의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 결함(ERR)이 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)에 걸쳐서 존재하고, 또한 결함(ERR)의 하부 및 좌부가 블랙매트릭스 영역(BM)에 존재하는 경우에는, 레이저 조사 영역(RA)의 하테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L1)와, 레이저 조사 영역(RA)의 좌테두리로부터 직사각형(R)까지의 거리(L2)를 구한다.Referring to FIGS. 53A to 53C, in the image processing unit 3, the defect ERR is present over the black matrix area BM and the color filter area CF, and the defect ERR is not displayed. When the lower part and the left part exist in the black matrix area BM, the distance L1 from the lower edge of the laser irradiation area RA to the rectangle R, and the rectangle (from the left edge of the laser irradiation area RA) Find the distance L2 to R).

도 54의 (a) 내지 (c)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 슬릿(SL)의 중심을 거리(L1)만큼 상테두리측으로 이동시키고, 또한 슬릿(SL)의 중심을 거리(L2)만큼 우테두리측으로 이동시킨다. 이로써, 레이저 조사 영역(RA)과 블랙매트릭스 영역(BM)의 겹침 영역을 최소로 할 수 있다.Referring to FIGS. 54A to 54C, the control computer 2 moves the center of the slit SL to the upper edge side by the distance L1 by controlling the positioning mechanism 51. In addition, the center of the slit SL is moved to the right edge side by the distance L2. Thereby, the overlapping area of the laser irradiation area RA and the black matrix area BM can be minimized.

도 55는 블랙매트릭스 영역 및 컬러필터 영역에 걸쳐서 결함이 존재하는 상태를 도시하는 도면이다.Fig. 55 is a diagram showing a state in which defects exist over the black matrix area and the color filter area.

화상처리부(3)는, 검출된 결함(ERR)이 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)에 걸쳐서 존재하는 경우, 즉 검출된 결함(ERR)이 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)의 양방에 존재하는 경우에는, 블랙매트릭스 영역(BM)에서의 결함 영역의 크기와 컬러필터 영역(CF)에서의 결함 영역의 크기를 비교한다.The image processing unit 3, when the detected defect ERR exists across the black matrix area BM and the color filter area CF, that is, the detected defect ERR is present in the black matrix area BM and the color filter. When present in both of the areas CF, the size of the defective area in the black matrix area BM and the size of the defective area in the color filter area CF are compared.

그리고, 잉크도포부(9)는, 화상처리부(3)의 비교 결과에 의거하여, 블랙매트릭스 영역(BM) 및 컬러필터 영역(CF)중, 결함 영역이 큰 쪽의 영역에 대응하는 색의 잉크를 선택하고, 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역에 선택한 색의 잉크를 도포한다.Then, the ink coating unit 9, based on the comparison result of the image processing unit 3, the ink of the color corresponding to the region where the defect region is larger among the black matrix region BM and the color filter region CF. Then, the ink of the selected color is applied to the area of the color filter irradiated with the laser light.

구체적으로는, 블랙매트릭스 영역(BM)에서의 결함 영역 즉 블랙매트릭스 영역(BM)과 같은 색으로 착색되어야 할 부분의 면적을 SA, 컬러필터 영역(CF)에서의 화소와 같은 색으로 착색되어야 할 부분의 면적을 SB로 한다. 잉크도포부(9)는, SA>SB인 경우에는, 블랙매트릭스 영역(BM)과 같은 색의 잉크를 선택하고, SA≤SB인 경우에는, 화소와 같은 색의 잉크를 선택한다.Specifically, the area of the defect area in the black matrix area BM, that is, the portion to be colored in the same color as the black matrix area BM, should be colored in the same color as the pixel in the SA, color filter area CF. Let the area of a part be SB. The ink coating unit 9 selects ink of the same color as the black matrix area BM when SA> SB, and selects ink of the same color as the pixel when SA≤SB.

여기서, 상기한 방법에서는, 본래 도포되어야 할 잉크와는 다른 색의 잉크가 도포되는 부분이 생기지만, 이 부분의 면적이 제품의 규격을 만족한 경우에는, 상기한 방법을 채용할 수 있다. 이와 같은 방법에 의해, 블랙매트릭스 영역(BM)에 대응하는 색의 잉크 및 컬러필터 영역(CF)에 대응하는 색의 잉크의 양쪽을 이용하여 결함 수정을 행하는 경우에 비하여 단시간에 수정 작업을 완료할 수 있다.Here, in the above method, a portion to which ink of a color different from that of the ink to be originally applied is applied is formed. However, when the area of the portion satisfies the product standard, the above method can be employed. By such a method, the correction operation can be completed in a short time as compared with the case where defect correction is performed by using both the ink of the color corresponding to the black matrix area BM and the ink of the color corresponding to the color filter area CF. Can be.

도 55를 참조하면, 블랙매트릭스 영역(BM)에서의 결함(ERR)의 영역(AR1)은, 컬러필터 영역(CF)에서의 결함(ERR)의 영역(AR2) 보다 작다. 이 경우, 잉크도포부(9)는, 화상처리부(3)의 비교 결과에 의거하여, 컬러필터 영역(CF)에 대응하는 RGB 어느 하나의 색의 잉크를 선택한다.Referring to FIG. 55, the area AR1 of the defect ERR in the black matrix area BM is smaller than the area AR2 of the defect ERR in the color filter area CF. In this case, the ink applying unit 9 selects ink of any one of RGB colors corresponding to the color filter area CF based on the comparison result of the image processing unit 3.

도 56은, 블랙매트릭스 영역 및 컬러필터 영역에 걸쳐서 결함이 존재하는 상태를 도시하는 도면이다.Fig. 56 is a diagram showing a state in which defects exist over the black matrix area and the color filter area.

도 56을 참조하면, 블랙매트릭스 영역(BM)에서 결함(ERR)의 영역(AR1)은, 컬러필터 영역(CF)에서의 결함(ERR)의 영역(AR2)보다 크다. 이 경우, 잉크도포부(9)는, 화상처리부(3)의 비교 결과에 의거하여, 블랙매트릭스 영역(BM)에 대응한 색의 잉크를 선택한다.Referring to FIG. 56, the area AR1 of the defect ERR in the black matrix area BM is larger than the area AR2 of the defect ERR in the color filter area CF. In this case, the ink applying unit 9 selects ink of a color corresponding to the black matrix area BM based on the comparison result of the image processing unit 3.

또한, 잉크도포부(9)는, 결함(ERR)의 전영역이 컬러필터 영역(CF)에 존재하는 경우에는, 컬러필터 영역(CF)에 대응하는 색의 잉크를 선택하고, 레이저광이 조사된 컬러필터의 영역에 선택한 색의 잉크를 도포한다. 또한, 잉크도포부(9)는, 결함(ERR)의 전영역이 블랙매트릭스 영역(BM)에 존재하는 경우에는, 블랙매트릭스 영역(BM)에 대응하는 색의 잉크를 선택하고, 레이저광이 조사된 컬러필터의 영역에 선택한 색의 잉크를 도포한다.In addition, when the entire area of the defect ERR exists in the color filter area CF, the ink applying unit 9 selects ink of a color corresponding to the color filter area CF, and the laser light is irradiated. Ink of the selected color is applied to the area of the color filter. In addition, when the entire area of the defect ERR exists in the black matrix area BM, the ink coating unit 9 selects ink of a color corresponding to the black matrix area BM, and the laser light is irradiated. Ink of the selected color is applied to the area of the color filter.

도 57의 (a) 내지 (c)는 블랙매트릭스 영역에 결함의 전영역이 존재하는 경우의 슬릿 위치(SL)를 도시하는 도면이다. 여기서는, 도 57의 지면 횡방향이 x축 방향이고, 지면 종방향이 y축 방향이라고 하여 설명한다.57A to 57C are diagrams showing the slit position SL when the entire region of the defect exists in the black matrix region. Here, it will be described that the paper transverse direction in Fig. 57 is the x-axis direction, and the paper longitudinal direction is the y-axis direction.

도 57의 (a)를 참조하면, 검출된 결함(ERR)의 전영역이 블랙매트릭스 영 역(BM)의 폭방향의 전부 및 연재 방향의 일부에 존재하고 있다.Referring to Fig. 57A, the entire area of the detected defect ERR is present in all of the width direction of the black matrix area BM and part of the extending direction.

제어용 컴퓨터(2)는, 가변 슬릿부(8)에 의해 형성되는 슬릿(SL)을 초기위치로 이동시킨다. 보다 상세하게는, 제어용 컴퓨터(2)는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 컬러필터의 결함(ERR)의 중심 즉 블랙매트릭스 영역(BM)의 중심선(ML)과 슬릿(SL)의 중심이 일치하도록 슬릿(SL)을 이동시킨다.The control computer 2 moves the slit SL formed by the variable slit part 8 to an initial position. More specifically, the control computer 2 controls the positioning mechanism 51 to control the center of the defect ERR of the color filter, that is, the center line ML and the slit SL of the black matrix area BM. The slit SL is moved to coincide with the center.

도 57의 (b)를 참조하면, 다음에, 화상처리부(3)는, 레이저 조사 영역(RA)이 결함(ERR)의 적어도 일부를 포함하고, 또한 블랙매트릭스 영역(BM) 및 하나의 컬러필터 영역(CF)과 겹치도록 슬릿(SL)의 초기위치를 보정함에 의해 슬릿(SL)의 최종위치를 결정한다.Referring to FIG. 57B, next, the image processing unit 3 includes a black matrix area BM and one color filter in which the laser irradiation area RA includes at least a part of the defect ERR. The final position of the slit SL is determined by correcting the initial position of the slit SL so as to overlap the region CF.

보다 상세하게는, 화상처리부(3)는, 블랙매트릭스 영역(BM)의 중심선(ML)으로부터 (S-W)/2만큼 블랙매트릭스 영역(BM)의 폭방향에 슬릿(SL)의 초기위치를 시프트한 위치를, 블랙매트릭스 영역(BM)의 폭방향에 있어서의 슬릿(SL)의 최종위치로 결정한다.More specifically, the image processing unit 3 shifts the initial position of the slit SL in the width direction of the black matrix region BM by (SW) / 2 from the center line ML of the black matrix region BM. The position is determined as the final position of the slit SL in the width direction of the black matrix area BM.

도 57의 (c)를 참조하면, 다음에, 화상처리부(3)는, 슬릿(SL)을 블랙매트릭스 영역(BM)의 연재 방향으로 시프트한다. 예를 들면, 화상처리부(3)는, 도 57의 (c)에서 지면 상부로부터 지면 하부로 슬릿(SL)을 시프트하는 경우에는, 슬릿(SL)의 상변과 결함(ERR)의 상변이 일치하도록, 최초에 레이저광을 조사하는 영역 즉 블랙매트릭스 영역(BM)의 연재 방향에서의 슬릿(SL)의 초기위치를 결정한다. 이 때의 슬릿(SL)의 중심의 y좌표를 pB로 한다.Referring to FIG. 57C, the image processing unit 3 then shifts the slit SL in the extending direction of the black matrix region BM. For example, in the case where the slit SL is shifted from the upper portion of the sheet to the lower portion of the sheet in FIG. 57C, the image processing unit 3 is arranged such that the upper edge of the slit SL coincides with the upper edge of the defect ERR. First, the initial position of the slit SL in the extending direction of the area | region which irradiates a laser beam, ie, the black matrix area | region BM, is determined. The y-coordinate of the center of the slit SL at this time is set to pB.

또한, 화상처리부(3)는, 슬릿(SL)의 하변과 결함(ERR)의 하변이 일치하도록, 최후에 레이저광을 조사하는 영역 즉 블랙매트릭스 영역(BM)의 연재 방향에 있어서의 슬릿(SL)의 최종위치를 결정한다. 이 때의 슬릿(SL)의 중심의 y좌표를 pT로 한다.In addition, the image processing unit 3 includes the slit SL in the extending direction of the area irradiated with laser light, that is, the black matrix area BM, so that the lower side of the slit SL and the lower side of the defect ERR coincide. Determine the final position of). The y-coordinate of the center of the slit SL at this time is set to pT.

슬릿(SL)의 최대 시프트량을 P로 하고, 레이저 조사에 의한 커트 총회수를 n으로 하면, 슬릿(SL)의 중심의 y좌표, 및 슬릿(SL)의 시프트량(p)은 이하의 식으로 표시된다.If the maximum shift amount of the slit SL is P and the total number of cuts by laser irradiation is n, the y coordinate of the center of the slit SL and the shift amount p of the slit SL are as follows. Is displayed.

Figure 112008066339706-PAT00013
Figure 112008066339706-PAT00013

도 58의 (a) 내지 (e)는, 지면 종방향으로 연재하는 블랙매트릭스 영역에 결함의 전영역이 존재하는 경우에, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치가 결함을 수정할 때의 동작을 도시하는 도면이다. 또한, 도 59의 (a) 내지 (e)는, 지면 횡방향으로 연재하는 블랙매트릭스 영역에 결함의 전영역이 존재하는 경우에, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치가 결함을 수정할 때의 동작을 도시하는 도면이다.58A to 58E show when the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention corrects a defect when all regions of the defect exist in the black matrix region extending in the paper longitudinal direction. It is a figure which shows the operation | movement of. 59A to 59E show the color filter defect correcting apparatus according to the embodiment of the present invention, in the case where the entire region of the defect exists in the black matrix region extending in the paper transverse direction. It is a figure which shows the operation | movement at the time of correction.

우선, 제어용 컴퓨터(2)는, 잉크 도포원(塗布圓)(IA)을 초기위치로 이동시킨다. 보다 상세하게는, 화상처리부(3)는, 검출된 결함(ERR)의 전영역이 블랙매트릭스 영역(BM)에 존재하는 경우에는, 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 컬러필터의 결함(ERR)의 중심 즉 블랙매트릭스 영역(BM)의 중심선(ML)과 잉크 도포원(IA)이 일치하도록 잉크도포부(9)를 이동시킨다.First, the control computer 2 moves the ink application source IA to the initial position. More specifically, the image processing unit 3 controls the positioning mechanism 51 when the entire area of the detected defect ERR exists in the black matrix area BM, whereby the defect of the color filter ( The ink coating portion 9 is moved so that the center of the ERR, that is, the center line ML of the black matrix region BM and the ink application source IA coincide.

도 58의 (a) 및 도 59의 (a)를 참조하면, 다음에, 화상처리부(3)는, 잉크 도포원(IA)이 결함(ERR)의 적어도 일부를 포함하고, 또한 블랙매트릭스 영역(BM) 및 하나의 컬러필터 영역(CF)과 겹치도록 잉크 도포원(IA)(0 초기위치를 보정함에 의해 잉크 도포원(IA)의 최종위치를 결정한다.Referring to Figs. 58A and 59A, next, in the image processing unit 3, the ink application source IA includes at least a part of the defect ERR, and the black matrix area ( The final position of the ink application source IA is determined by correcting the zero application position of the ink application source IA so as to overlap the BM and one color filter area CF.

보다 상세하게는, 화상처리부(3)는, 블랙매트릭스 영역(BM)의 중심선(ML)으로부터 (D-W)/2만큼 블랙매트릭스 영역(BM)의 폭방향으로 잉크 도포원(IA)을 시프트한 위치를, 블랙매트릭스 영역(BM)의 폭방향에서의 잉크 도포원(IA)의 최종위치로 결정한다. 또한, 화상처리부(3)는, 블랙매트릭스 영역(BM)의 연재 방향에서의 잉크 도포원(IA)의 중심 좌표는, 예를 들면 블랙매트릭스 영역(BM)의 연재 방향에서의 슬릿(SL)의 중심 좌표와 같은 위치에 설정한다.More specifically, the image processing unit 3 shifts the ink application source IA in the width direction of the black matrix region BM by (DW) / 2 from the center line ML of the black matrix region BM. Is determined as the final position of the ink application source IA in the width direction of the black matrix region BM. In addition, the image processing part 3 is a center coordinate of the ink application source IA in the extending direction of the black matrix area | region BM, for example, of the slit SL in the extending direction of the black matrix area | region BM. Set to the same position as the center coordinate.

도 58의 (b) 및 도 59의 (b)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 화상처리부(3)가 결정한 커트 위치 즉 슬릿(SL)의 최종위치에 의거하여 레이저 조사부(7) 및 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 컬러필터의 결함 개소에 레이저광을 조사한다.Referring to Figs. 58 (b) and 59 (b), the control computer 2 is based on the laser irradiation section 7 and the cut position determined by the image processing section 3, that is, the final position of the slit SL. By controlling the positioning mechanism 51, a laser beam is irradiated to the defect location of a color filter.

도 58의 (c) 및 도 59의 (c)를 참조하면, 제어용 컴퓨터(2)는, 화상처리부(3)가 결정한 잉크 도포 영역 즉 잉크 도포원(IA)의 최종위치에 의거하여 잉크도포부(9) 및 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 컬러필터의 결함 개소에 블랙매트릭스 영역(BM)과 같은 색의 잉크를 도포한다. 이 때, 컬러필터 영역(CF2)에는 블랙매트릭스 영역(BM)과 같은 색의 잉크가 비어져나와 있지만, 컬러필터 영역(CF1) 으로는 비어져나와 있지 않다.Referring to FIGS. 58 (c) and 59 (c), the control computer 2 is based on the ink application area determined by the image processing unit 3, that is, the final position of the ink application source IA. By controlling (9) and the positioning mechanism 51, ink of the same color as the black matrix area BM is applied to the defect location of the color filter. At this time, ink of the same color as the black matrix area BM is projected to the color filter area CF2, but not to the color filter area CF1.

도 58의 (d) 및 도 59의 (d)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 컬러필터 영역(CF2)에 비어져나와 있는 잉크를 커트하기 위한 슬릿 위치(SL)를 결정한다. 이 경우, 화상처리부(3)는, 예를 들면, 결함(ERR)의 전영역이 컬러필터 영역(CF)에 존재하는 경우인 전술한 도 23 내지 도 38에 도시하는 경우와 같은 방법으로 커트 위치 즉 슬릿 위치(SL)의 최종위치를 결정한다.Referring to FIGS. 58D and 59D, the image processing unit 3 determines the slit position SL for cutting the ink protruding from the color filter area CF2. In this case, the image processing section 3 has the cut position in the same manner as in the case shown in Figs. 23 to 38 described above, for example, when the entire area of the defect ERR exists in the color filter area CF. That is, the final position of the slit position SL is determined.

그리고, 제어용 컴퓨터(2)는, 화상처리부(3)가 결정한 커트 위치 즉 슬릿(SL)의 최종위치에 의거하여 레이저 조사부(7) 및 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 컬러필터에 레이저광을 조사한다.And the control computer 2 controls the laser irradiation part 7 and the positioning mechanism 51 based on the cut position determined by the image processing part 3, ie, the final position of the slit SL, and a laser to a color filter. Irradiate light.

도 58의 (e) 및 도 59의 (e)를 참조하면, 화상처리부(3)는, 예를 들면, 잉크 도포원(IA)의 중심을 슬릿(SL)의 중심과 같은 위치에 설정한다.Referring to FIGS. 58E and 59E, the image processing unit 3 sets, for example, the center of the ink application source IA to the same position as the center of the slit SL.

그리고, 제어용 컴퓨터(2)는, 화상처리부(3)가 결정한 잉크 도포 영역 즉 잉크 도포원(IA)의 최종위치에 의거하여 잉크도포부(9) 및 위치 결정 기구(51)를 제어함에 의해, 도 58의 (d) 및 도 59의 (d)에서 도시하는 레이저광의 조사 영역에 컬러필터 영역(CF2)과 같은 색의 잉크를 도포한다.And the control computer 2 controls the ink application part 9 and the positioning mechanism 51 based on the ink application area | region determined by the image processing part 3, ie, the final position of the ink application source IA, Ink of the same color as the color filter region CF2 is applied to the irradiation region of the laser light shown in FIGS. 58D and 59D.

이상과 같이, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에서는, 블랙매트릭스 영역에 결함의 전영역이 존재하는 경우에는, 블랙매트릭스 영역(BM)을 통하여 대향하여 배치된 2개의 컬러필터 영역(CF)의 양방에 잉크가 비어져나오는 일이 없도록 컬러필터의 결함 수정을 행한다. 즉, 블랙매트릭스 영역(BM)과 같은 색의 잉크를 도포할 때에 한쪽의 컬러필터 영역(CF)만에 잉크가 비어져나 오도록 잉크 도포 영역을 결정한다.As described above, in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention, in the case where the entire region of the defect exists in the black matrix region, two color filter regions disposed to face each other through the black matrix region BM. The defect of the color filter is corrected so that ink does not bleed out of both CFs. That is, when the ink of the same color as the black matrix area BM is applied, the ink application area is determined so that the ink bulges out on only one color filter area CF.

여기서, 블랙매트릭스 영역(BM)의 폭(W) 보다도 작은 잉크 도포원(IA)의 직경(D)을 얻을 수 있는 잉크 도포용 침(14)을 잉크도포부(9)가 포함하는 구성으로 하면, 블랙매트릭스 영역(BM)에 결함의 전영역이 존재하는 경우에, 블랙매트릭스 영역(BM)과 같은 색의 잉크가 컬러필터 영역(CF)으로 비어져나오는 것을 막을 수 있다. 그러나, 그와 같은 지름이 작은 잉크 도포침을 제조하는 것은 곤란하고, 또한, 제조 비용이 높아져 버린다.Here, when the ink coating part 9 includes the ink coating needle 14 which can obtain the diameter D of the ink application source IA smaller than the width W of the black matrix area | region BM, it is set as the structure which the ink coating part 9 contains. When the entire area of the defect exists in the black matrix area BM, ink of the same color as the black matrix area BM can be prevented from protruding into the color filter area CF. However, it is difficult to manufacture such a small ink coating needle, and manufacturing cost becomes high.

그러나, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에서는, 지름이 큰 잉크 도포용 침(14)을 사용하여도, 2개의 컬러필터 영역(CF)의 양방으로 잉크가 비어져나오는 것을 막을 수 있기 때문에, 잉크 도포 후의 수정 작업을 단시간에 완료할 수 있다. 또한, 블랙매트릭스 영역(BM)과 같은 색의 잉크가 비어져나온 부분에 레이저광을 조사할 때에 동시에 제거되어 버리는 컬러필터 영역(CF)에서의 정상적인 영역을 최소한으로 억제할 수 있다.However, in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention, even when the ink coating needle 14 having a large diameter is used, ink is prevented from escaping to both of the two color filter regions CF. Thus, the correction work after ink application can be completed in a short time. In addition, it is possible to minimize the normal area in the color filter area CF, which is simultaneously removed when irradiating the laser light to the portion where the ink of the same color as the black matrix area BM is projected.

그런데, 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2 기재의 구성에서는, 컬러필터의 결함 수정에 관한 것으로, 결함보다도 큰 면적을 레이저로 커트한 경우가 있고, 이 경우에는 본 발명의 작업 내용과 비교하여 수정 작업에 시간을 필요로 하는 문제점이 있다.By the way, in the structure of patent document 1 and patent document 2, it relates to the correction | amendment of the defect of a color filter, and the area larger than a defect may be cut with a laser, and in this case, compared with the operation content of this invention, There is a problem that requires time.

또한, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치가 행하는 상기 슬릿 위치의 산출 방법 외에, 슬릿(SL)의 사이즈를 결함의 사이즈에 맞추는 방법도 고려된다. 그러나, 슬릿(SL)의 사이즈는 도포된 잉크의 퍼짐을 고려하여 결정 할 필요가 있다. 즉, 슬릿(SL)의 사이즈 즉 커트 사이즈를 작게 하면 컬러필터에서의 정상 영역에의 잉크의 비어져나오는 량이 많아진다. 그러면, 잉크가 비어져나온 영역의 막두께가 허용치를 초과하여 커지기 때문에, 새롭게 결함을 만들어 버리는 경우가 있다. 이 때문에, 결함의 사이즈가 잉크 도포 영역보다 작은 경우에는, 결함의 사이즈에 맞추어서 슬릿(SL)의 사이즈를 작게 변경하는 것은 곤란하다.In addition to the calculation method of the slit position performed by the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention, a method of matching the size of the slit SL to the size of the defect is also considered. However, the size of the slit SL needs to be determined in consideration of the spread of the applied ink. That is, when the size of the slit SL, i.e., the cut size, is reduced, the amount of ink protruding from the color filter to the normal region increases. Then, since the film thickness of the area | region where ink bulged out becomes large beyond a permissible value, a defect may be newly created. For this reason, when the size of a defect is smaller than an ink application area | region, it is difficult to change the size of the slit SL small according to the size of a defect.

또한, 레이저광이 조사되는 컬러필터의 영역에서 잉크가 도포되지 않는 부분이 생기는 것을 막기 위해, 또한 정상 영역으로의 잉크의 비어져나옴을 억제하기 위해, 잉크 도포원(IA)이 슬릿(SL)의 테두리에 내접하도록 슬릿(SL)의 사이즈를 설정하는 경우가 있다. 따라서 결함(ERR)의 사이즈가 잉크 도포원(IA)보다 작은 경우, 슬릿(SL)의 사이즈를 결함(ERR)의 사이즈에 맞추어서 변경하는 것은 곤란하다.In addition, in order to prevent the non-applied portion from occurring in the region of the color filter irradiated with the laser light, and to suppress the outflow of the ink to the normal region, the ink application source IA is the slit SL. In some cases, the size of the slit SL is set to be inscribed to the edge of the edge. Therefore, when the size of the defect ERR is smaller than the ink application source IA, it is difficult to change the size of the slit SL in accordance with the size of the defect ERR.

그러나, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에서는, 화상처리부(3)는, 컬러필터의 결함을 검출하고, 검출된 결함과, 컬러필터 영역(CF) 및 블랙매트릭스 영역(BM)의 위치 관계에 의거하여, 컬러필터에서 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정한다. 이와 같이, 결함이 발생한 위치에 따라 적절하게 컬러필터의 수정 영역을 산출하는 구성에 의해, 슬릿(SL)의 사이즈를 결함의 사이즈에 맞추어서 변경하는 일 없이, 컬러필터의 정상적인 영역에 대해 쓸데없는 수정 처리가 행하여지는 것을 최소한으로 억제할 수 있다. 따라서 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에서는, 컬러필터의 결함 수정을 적절하게 행할 수 있다.However, in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention, the image processing unit 3 detects a defect of the color filter, detects the detected defect, the color filter region CF, and the black matrix region BM. Based on the positional relationship of, the area to be corrected in the color filter is determined. In this way, the structure for calculating the corrected color filter area appropriately according to the position where the defect is generated makes it unnecessary to correct the normal area of the color filter without changing the size of the slit SL according to the size of the defect. The processing can be minimized. Therefore, in the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention, defect correction of a color filter can be performed suitably.

본 발명은 상기 기재된 것으로 한정되는 것이 아니며, 본 발명은 당업자의 필요에 따라 이하 첨부된 청구범위의 범위 내에서 다양하게 변형, 수정, 조합될 수 있다. The present invention is not limited to the above description, and the present invention can be variously modified, modified and combined within the scope of the appended claims as required by those skilled in the art.

도 1은 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치의 구성을 도시하는 외관도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The external view which shows the structure of the color filter defect correction apparatus which concerns on embodiment of this invention.

도 2는 XY슬릿 기구의 구성을 도시하는 도면.2 is a diagram illustrating a configuration of an XY slit mechanism.

도 3은 XY슬릿 기구에 포함되는 X방향의 조정 기구의 구성을 도시하는 외관 평면도.3 is an external plan view showing a configuration of an adjustment mechanism in the X direction included in the XY slit mechanism.

도 4는 θ슬릿 기구의 구성을 도시하는 외관 평면도.4 is an external plan view showing the configuration of the slit mechanism;

도 5는 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치의 잉크도포부의 구성을 도시하는 외관도.Fig. 5 is an external view showing the configuration of an ink coating unit of the color filter defect correction device according to the embodiment of the present invention.

도 6은 컬러필터에서의 블랙매트릭스 영역, 컬러필터 영역 및 회소의 관계를 도시하는 도면.Fig. 6 is a diagram showing a relationship between a black matrix area, a color filter area, and a pixel in the color filter.

도 7은 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치가 컬러필터의 하나의 결함을 수정할 때의 동작 순서를 정한 플로우 차트.Fig. 7 is a flowchart in which the color filter defect correction device according to the embodiment of the present invention determines an operation sequence when correcting one defect of a color filter.

도 8의 (a) 및 도 8의 (b)는 입력 화상 및 2치화 입력 화상을 도시하는 도면.8A and 8B are diagrams showing an input image and a binarized input image.

도 9의 (a)는 등록 화상을 도시하는 도면. 도 9의 (b)는 2치화 입력 화상을 도시하는 도면. 도 9의 (c)는 컬러필터 영역의 마스크 화상을 도시하는 도면.Fig. 9A is a diagram showing a registered image. Fig. 9B is a diagram showing a binarized input image. Fig. 9C is a diagram showing a mask image of the color filter area.

도 10의 (a) 및 도 10의 (b)는 화상처리부가 입력 화상의 수평 방향으로 결함 검출을 행할 때의 동작을 도시하는 도면.10A and 10B show an operation when the image processing unit detects a defect in the horizontal direction of the input image.

도 11의 (a) 및 도 11의 (b)는 화상처리부가 입력 화상의 수직 방향으로 결 함 검출을 행할 때의 동작을 도시하는 도면.11A and 11B show an operation when the image processing unit detects defects in the vertical direction of the input image.

도 12의 (a) 및 도 12의 (b)는 블랙매트릭스 영역, RGB 각 화소 및 흑결함의 슬라이스 레벨(Td)의 관계를 도시하는 도면.12A and 12B are diagrams showing the relationship between the black matrix area, each RGB pixel, and the slice level Td of black defects.

도 13의 (a) 및 도 13의 (b)는 블랙매트릭스 영역, RGB 각 화소 및 백결함의 슬라이스 레벨(Td)의 관계를 도시하는 도면.13A and 13B are diagrams showing the relationship between the black matrix area, each RGB pixel, and the slice level Td of the white defect.

도 14의 (a)는 결함이 존재하는 컬러필터의 입력 화상을 도시하는 도면. 도 14의 (b)는 화상처리부가 생성한 흑결함 추출 화상을 도시하는 도면.Fig. 14A is a diagram showing an input image of a color filter in which a defect exists. Fig. 14B is a diagram showing a black defect extracted image generated by the image processing unit.

도 15의 (a)는 결함이 존재하는 컬러필터의 입력 화상을 도시하는 도면. 도 15의 (b)는 화상처리부가 생성한 백결함 추출 화상을 도시하는 도면.Fig. 15A is a diagram showing an input image of a color filter in which a defect exists. Fig. 15B is a diagram showing a white defect extracted image generated by the image processing unit.

도 16은 화상처리부가 컬러필터 영역에서의 백결함 추출 화상을 생성하는 동작을 도시하는 도면.16 is a diagram showing an operation of an image processing unit generating a white defect extracted image in a color filter area;

도 17은 화상처리부가 블랙매트릭스 영역에서의 백결함 추출 화상을 생성하는 동작을 도시하는 도면.FIG. 17 is a diagram showing an operation of an image processing unit generating a white defect extracted image in a black matrix area; FIG.

도 18은 화상처리부가 결함 마스크 화상을 생성하는 동작을 도시하는 도면.18 is a diagram illustrating an operation of an image processing unit generating a defect mask image.

도 19는 결함 추출 화상의 한 예를 도시하는 도면.19 is a diagram illustrating an example of a defect extraction image.

도 20은 RGB 각 회소의 색상 히스토그램을 도시하는 도면.Fig. 20 is a diagram showing the color histogram of each RGB RGB.

도 21은 화상처리부가 색상 정보 계산 마스크 화상을 생성하는 동작을 도시하는 도면.21 is a diagram illustrating an operation of an image processing unit generating color information calculation mask images;

도 22의 (a) 및 도 22의 (b)는 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치에 있어서 회소의 색판정의 신뢰도가 낮은 경우에 행하여지는 색판정의 양상을 도시하는 도면.22A and 22B are diagrams showing aspects of color determination performed when the reliability of color determination in the resolution is low in the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention.

도 23의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 23의 (b)는 도 23의 (a)에서의 XXⅢB-XXⅢB 단면을 도시하는 단면도.Fig. 23A is a diagram showing an example of the initial position of the slit, the color filter region, the black matrix region and the defect position. (B) is sectional drawing which shows XXIIIB-XXIIIB cross section in FIG.23 (a).

도 24의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 24의 (b)는 도 24의 (a)에서의 XXⅣB-XXⅣB 단면을 도시하는 단면도.Fig. 24A is a diagram showing an example of the final position of the slit, the color filter area, the black matrix area and the defect location. (B) is sectional drawing which shows XXIVB-XXIVB cross section in FIG.24 (a).

도 25의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 25의 (b)는 도 25의 (a)에서의 XXVB-XXVB 단면을 도시하는 단면도.25A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 25B is a cross-sectional view illustrating a XXVB-XXVB cross section in FIG. 25A.

도 26의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 26의 (b)는 도 26의 (a)에서의 XXⅥB-XXⅥB 단면을 도시하는 단면도.Fig. 26A is a diagram showing an example of the final position of the slit, the color filter area, the black matrix area and the defect location. (B) is sectional drawing which shows XXVIB-XXVIB cross section in FIG.26 (a).

도 27의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 27의 (b)는 도 27의 (a)에서의 XXⅦB-XXⅦB 단면을 도시하는 단면도.27A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. (B) is sectional drawing which shows the XX'B-XX'B cross section in FIG.

도 28의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 28의 (b)는 도 28의 (a)에서의 XXⅧB-XXⅧB 단면을 도시하는 단면도.FIG. 28A shows an example of a final position of a slit, a color filter area, a black matrix area, and a defect location; (B) is sectional drawing which shows the XX'B-XX'B cross section in (a) of FIG.

도 29의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함 위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 29의 (b)는 도 29의 (a)에서의 XXⅨB-XXⅨB 단면을 도시하는 단면도.29A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. (B) is sectional drawing which shows the XX'B-XX'B cross section in (a) of FIG.

도 30의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 30의 (b)는 도 30의 (a)에서의 XXXB-XXXB 단면을 도시하는 단면도.30A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter area, a black matrix area, and a defect location. (B) is sectional drawing which shows the XXXB-XXXB cross section in (a) of FIG.

도 31의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 31의 (b)는 도 31의 (a)에서의 XXXIB-XXXIB 단면을 도시하는 단면도. 도 31의 (c)는 도 31의 (a)에서의 XXXIC-XXXIC 단면을 도시하는 단면도.31A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. (B) is sectional drawing which shows the XXXIB-XXXIB cross section in FIG. (C) is sectional drawing which shows the XXXIC-XXXIC cross section in FIG.

도 32의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 32의 (b)는 도 32의 (a)에서의 XXXⅡB-XXXⅡB 단면을 도시하는 단면도. 도 32의 (c)는 도 32의 (a)에서의 XXXⅡC-XXXⅡC 단면을 도시하는 단면도.FIG. 32A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position; FIG. FIG. 32B is a cross-sectional view showing a XXXIIB-XXXIIB cross section in FIG. 32A. FIG. 32C is a cross-sectional view showing a XXXIIC-XXXIIC cross section in FIG. 32A.

도 33의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 33의 (b)는 도 33의 (a)에서의 XXXⅢB-XXXⅢB 단면을 도시하는 단면도. 도 33의 (c)는 도 33의 (a)에서의 XXXⅢC-XXXⅢC 단면을 도시하는 단면도.33A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 33B is a cross-sectional view showing a XXXIIIB-XXXIIIB cross section in FIG. 33A. FIG. 33C is a sectional view showing a XXXIIIC-XXXIIIC cross section in FIG. 33A;

도 34의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 34의 (b)는 도 34의 (a)에서의 XXXⅣB-XXXⅣB 단면을 도시하는 단면도. 도 34의 (c)는 도 34의 (a)에서의 XXXⅣC-XXXⅣC 단면을 도시하는 단면도.34A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 34B is a sectional view of the XXXIVB-XXXIVB cross section in FIG. 34A; FIG. 34C is a cross-sectional view illustrating a XXXIVC-XXXIVC cross section in FIG. 34A.

도 35의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 35의 (b)는 도 35의 (a)에서의 XXXVB-XXXVB 단면을 도시하는 단면도. 도 35의 (c)는 도 35의 (a)에서의 XXXVC-XXXVC 단면을 도시하는 단면도.35A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. (B) is sectional drawing which shows the XXXVB-XXXVB cross section in (a) of FIG. (C) is sectional drawing which shows the XXXVC-XXXVC cross section in FIG.

도 36의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 36의 (b)는 도 36의 (a)에서의 XXXⅥB-XXXⅥB 단면을 도시하는 단면도. 도 36의 (c)는 도 36의 (a)에서의 XXXⅥC-XXXⅥC 단면을 도시하는 단면도.36A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 36B is a cross-sectional view showing a XXXVIB-XXXVIB cross section in FIG. 36A. FIG. 36C is a cross-sectional view showing a XXXVIC-XXXVIC cross section in FIG. 36A.

도 37의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 37의 (b)는 도 37의 (a)에서의 XXXⅦB-XXXⅦB 단면을 도시하는 단면도. 도 37의 (c)는 도 37의 (a)에서의 XXXⅦC-XXXⅦC 단면을 도시하는 단면도.37A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 37B is a cross-sectional view showing a XXXB-XXXXXXB cross section in FIG. 37A. FIG. FIG. 37C is a cross-sectional view showing a cross-sectional view of XXXC-XXXXXXC in FIG. 37A. FIG.

도 38의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 38의 (b)는 도 38의 (a)에서의 XXXⅧB-XXXⅧB 단면을 도시하는 단면도. 도 38의 (c)는 도 38의 (a)에서의 XXXⅧC-XXXⅧC 단면을 도시하는 단면도.38A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter area, a black matrix area, and a defect location. FIG. 38 (b) is a cross-sectional view showing a XXX ′ B-XXX ′ B cross section in FIG. 38 (a). FIG. FIG. 38 (c) is a cross-sectional view showing a cross-sectional view of XXXC-XXXXXXC in FIG. 38A. FIG.

도 39의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 39의 (b)는 도 39의 (a)에서의 XXXⅨB-XXXⅨB 단면을 도시하는 단면도.FIG. 39A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position; FIG. FIG. 39B is a cross-sectional view showing a XXXB-XXXXXXB cross section in FIG. 39A. FIG.

도 40의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 40의 (b)는 도 40의 (a)에서의 XLB-XLB 단면을 도시하는 단면도.40A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter area, a black matrix area, and a defect location. (B) is sectional drawing which shows XLB-XLB cross section in FIG. 40 (a).

도 41의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 41의 (b)는 도 41의 (a)에서의 XLIB-XLIB 단면을 도시하는 단면도.41A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. (B) is sectional drawing which shows the XLIB-XLIB cross section in FIG. 41 (a).

도 42의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 42의 (b)는 도 42의 (a)에서의 XLⅡB-XLⅡB 단면을 도시하는 단면도.FIG. 42A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position; FIG. (B) is sectional drawing which shows XLIIB-XLIIB cross section in FIG. 42 (a).

도 43의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 43의 (b)는 도 43의 (a)에서의 XLⅢB-XLⅢB 단면을 도시하는 단면도.FIG. 43A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position; (B) is sectional drawing which shows XLIIIB-XLIIIB cross section in FIG. 43 (a).

도 44의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 44의 (b)는 도 44의 (a)에서의 XLⅣB-xLⅣB 단면을 도시하는 단면도.FIG. 44A shows an example of the final position of the slit, the color filter region, the black matrix region, and the defect position. FIG. 44B is a cross-sectional view showing a XLIV-xLIVB cross section in FIG. 44A.

도 45의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 45의 (b)는 도 45의 (a)에서의 XLVB-XLVB 단면을 도시하는 단면도.45A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. FIG. 45B is a cross-sectional view showing a cross section of XLVB-XLVB in FIG. 45A. FIG.

도 46의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 46의 (b)는 도 46의 (a)에서의 XLⅥB-XLⅥB 단 면을 도시하는 단면도.FIG. 46A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position; (B) is sectional drawing which shows XLVIB-XLVIB cross section in FIG. 46 (a).

도 47의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 47의 (b)는 도 47의 (a)에서의 XLⅦB-xLⅦB 단면을 도시하는 단면도. 도 47의 (c)는 도 47의 (a)에서의 XLⅦC-XLⅦC 단면을 도시하는 단면도.FIG. 47A shows an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position; FIG. 47B is a cross-sectional view showing a XL_B-xL_B cross section in FIG. 47A. FIG. FIG. 47C is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional view of XLC-XL_C in FIG. 47A. FIG.

도 48의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 48의 (b)는 도 48의 (a)에서의 XLⅧB-XLⅧB 단면을 도시하는 단면도. 도 48의 (c)는 도 48의 (a)에서의 XLⅧC-XLⅧC 단면을 도시하는 단면도.FIG. 48A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter area, a black matrix area, and a defect location; FIG. 48B is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional view of XL_B-XL_B in FIG. 48A. FIG. FIG. 48C is a cross-sectional view showing a cross-section of XLC-XL_C in FIG. 48A. FIG.

도 49의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 49의 (b)는 도 49의 (a)에서의 XLⅨB-XLⅨB 단면을 도시하는 단면도. 도 49의 (c)는 도 49의 (a)에서의 XLⅨC-XLⅨC 단면을 도시하는 단면도.FIG. 49A shows an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position; FIG. 49B is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional view of XL_B-XL_B in FIG. 49A. FIG. FIG. 49C is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional view of XLC-XL_C in FIG. 49A. FIG.

도 50의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 50의 (b)는 도 50의 (a)에서의 LB-LB 단면을 도시하는 단면도. 도 50의 (c)는 도 50의 (a)에서의 LC-LC 단면을 도시하는 단면도.50A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. (B) is sectional drawing which shows the LB-LB cross section in (a) of FIG. (C) is sectional drawing which shows the LC-LC cross section in (a) of FIG.

도 51의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 51의 (b)는 도 51의 (a)에서의 LIB-LIB 단면을 도시하는 단면도. 도 51의 (c)는 도 51의 (a)에서의 LIC-L1C 단면을 도시하는 단면도.51A is a diagram showing an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position. (B) is sectional drawing which shows the LIB-LIB cross section in FIG. 51 (a). (C) is sectional drawing which shows the LIC-L1C cross section in (a) of FIG.

도 52의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 52의 (b)는 도 52의 (a)에서의 LⅡB-LⅡB 단면을 도시하는 단면도. 도 52의 (c)는 도 52의 (a)에서의 LⅡC-LⅡC 단면을 도시하는 단면도.FIG. 52A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position; (B) is sectional drawing which shows LIIB-LIIB cross section in (a) of FIG. FIG. 52C is a cross-sectional view illustrating a LIIC-LIIC cross section in FIG. 52A.

도 53의 (a)는 슬릿의 초기위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 53의 (b)는 도 53의 (a)에서의 LⅢB-LⅢB 단면을 도시하는 단면도. 도 53의 (c)는 도 53의 (a)에서의 LⅢC-LⅢC 단면을 도시하는 단면도.FIG. 53A shows an example of an initial position of a slit, a color filter region, a black matrix region, and a defect position; (B) is sectional drawing which shows LIIIB-LIIIB cross section in FIG. 53 (a). (C) is sectional drawing which shows LIIIC-LIIIC cross section in (a) of FIG.

도 54의 (a)는 슬릿의 최종위치, 컬러필터 영역, 블랙매트릭스 영역 및 결함위치의 한 예를 도시하는 도면. 도 54의 (b)는 도 54의 (a)에서의 LⅣB-LⅣB 단면을 도시하는 단면도. 도 54의 (c)는 도 54의 (a)에서의 LⅣC-LⅣC 단면을 도시하는 단면도.FIG. 54A is a diagram showing an example of a final position of a slit, a color filter area, a black matrix area, and a defect location; FIG. FIG. 54B is a sectional view of the LIVB-LIVB cross section in FIG. 54A. FIG. FIG. 54C is a sectional view of the LIVC-LIVC cross section in FIG. 54A. FIG.

도 55는 블랙매트릭스 영역 및 컬러필터 영역에 걸쳐서 결함이 존재하는 상태를 도시하는 도면.Fig. 55 is a diagram showing a state in which defects exist over the black matrix area and the color filter area.

도 56은 블랙매트릭스 영역 및 컬러필터 영역에 걸쳐서 결함이 존재하는 상태를 도시하는 도면.Fig. 56 is a diagram showing a state where a defect exists over a black matrix area and a color filter area.

도 57의 (a) 내지 (c)는 블랙매트릭스 영역에 결함의 전영역이 존재하는 경우의 슬릿 위치(SL)를 도시하는 도면.57A to 57C show slit positions SL when all regions of defects exist in the black matrix region.

도 58의 (a) 내지 (e)는 지면 종방향으로 연재하는 블랙매트릭스 영역에 결함의 전영역이 존재하는 경우에 있어서, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치가 결함을 수정할 때의 동작을 도시하는 도면.58A to 58E show the case where the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention corrects a defect in the case where the entire region of the defect exists in the black matrix region extending in the paper longitudinal direction. A diagram showing the operation of the.

도 59의 (a) 내지 (e)는 지면 횡방향으로 연재하는 블랙매트릭스 영역에 결함의 전영역이 존재하는 경우에 있어서, 본 발명의 실시의 형태에 관한 컬러필터 결함 수정 장치가 결함을 수정할 때의 동작을 도시하는 도면.59A to 59E show a case in which the color filter defect correction apparatus according to the embodiment of the present invention corrects a defect in the case where the entire region of the defect exists in the black matrix region extending in the paper transverse direction; A diagram showing the operation of the.

Claims (16)

광투과 영역 및 상기 광투과 영역에 인접하는 차광 영역을 갖는 컬러필터의 결함을 수정하는 컬러필터 결함 수정 장치로서,A color filter defect correction apparatus for correcting a defect of a color filter having a light transmitting area and a light shielding area adjacent to the light transmitting area, 상기 컬러필터의 결함을 검출하고, 상기 검출된 결함과, 상기 광투과 영역 및 상기 차광 영역의 위치 관계에 의거하여, 상기 컬러필터에서 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 화상처리부와,An image processing unit which detects a defect of the color filter and determines an area to be corrected in the color filter based on the detected defect, the positional relationship between the light transmission area and the light shielding area; 상기 컬러필터에서의 상기 결정된 영역에의 레이저광의 조사 및 잉크 도포중 적어도 어느 한쪽의 수정 처리를 행하는 수정처리부를 구비하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 장치.And a correction processing unit that performs at least one correction processing of irradiating laser light and applying ink to the determined area of the color filter. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수정처리부는,The correction processing unit, 슬릿을 형성하는 슬릿부와,A slit portion forming a slit, 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 레이저 조사부를 포함하고,It includes a laser irradiation unit for irradiating a laser light to the color filter through the slit, 상기 화상처리부는, 상기 검출된 결함의 전영역이 상기 광투과 영역에 존재하는 경우에는, 상기 레이저광이 조사되는 상기 컬러필터의 영역이 상기 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 상기 차광 영역과 겹치지 않도록 상기 슬릿의 위치를 결정하고,When the entire area of the detected defect exists in the light transmission area, the image processing unit includes an area of the color filter to which the laser light is irradiated includes at least a part of the detected defect, and further includes the light shielding area. Determine the position of the slit so that it does not overlap with, 상기 레이저 조사부는, 상기 결정된 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 장치.And the laser irradiator irradiates a laser beam to the color filter through the slit at the determined position. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수정처리부는,The correction processing unit, 슬릿을 형성하는 슬릿부와,A slit portion forming a slit, 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 레이저 조사부를 포함하고,It includes a laser irradiation unit for irradiating a laser light to the color filter through the slit, 상기 화상처리부는, 상기 검출된 결함이 상기 차광 영역 및 상기 광투과 영역에 걸쳐서 존재하는 경우에는, 상기 레이저광이 조사되는 상기 컬러필터의 영역이 상기 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 상기 레이저광이 조사되는 상기 컬러필터의 영역과 상기 차광 영역의 겹치는 영역이 최소가 되도록 상기 슬릿의 위치를 결정하고,The image processing unit, when the detected defect exists over the light shielding area and the light transmission area, the area of the color filter to which the laser light is irradiated includes at least a part of the detected defect, The position of the slit is determined such that an area of the color filter to which laser light is irradiated overlaps with the area of the light shielding area to be minimum, 상기 레이저 조사부는, 상기 결정된 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 장치.And the laser irradiator irradiates a laser beam to the color filter through the slit at the determined position. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화상처리부는, 또한, 상기 검출된 결함이 상기 차광 영역 및 상기 광투과 영역에 걸쳐서 존재하는 경우에는, 상기 검출된 결함중의 상기 차광 영역에서의 결함의 크기와 상기 광투과 영역에서의 결함의 크기를 비교하여,The image processing unit is further configured to determine the size of a defect in the light shielding region and the defect in the light transmission region among the detected defects when the detected defect exists over the light shielding region and the light transmission region. By comparing the size, 상기 수정처리부는,The correction processing unit, 상기 차광 영역 및 상기 광투과 영역중, 상기 결함이 큰 쪽의 영역에 대응하는 색의 잉크를 선택하고, 상기 컬러필터에서의 상기 결정된 영역에 상기 선택한 색의 잉크를 도포하는 잉크도포부를 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 장치.An ink coating unit for selecting ink of a color corresponding to the area of the larger defect among the light blocking area and the light transmitting area, and applying the ink of the selected color to the determined area of the color filter; Color filter defect correction device, characterized in that. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컬러필터는, 상기 차광 영역을 통하여 대향하여 배치되는 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역을 가지며,The color filter has a first light transmission region and a second light transmission region disposed to face each other through the light blocking region, 상기 수정처리부는,The correction processing unit, 상기 제 1의 광투과 영역 및 상기 제 2의 광투과 영역 사이의 거리보다 큰 폭을 갖는 슬릿을 형성하는 슬릿부와,A slit portion for forming a slit having a width greater than a distance between the first light transmitting region and the second light transmitting region; 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 레이저 조사부를 포함하고,It includes a laser irradiation unit for irradiating a laser light to the color filter through the slit, 상기 화상처리부는, 상기 검출된 결함의 전영역이 상기 차광 영역에 존재하는 경우에는, 상기 레이저광이 조사되는 상기 컬러필터의 영역이 상기 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 상기 차광 영역 및 하나의 상기 광투과 영역과 겹치도록 상기 슬릿의 위치를 결정하고,When the entire area of the detected defect exists in the light shielding area, the image processing unit includes an area of the color filter to which the laser light is irradiated, includes at least a part of the detected defect, and further includes the light shielding area and Determine the position of the slit to overlap one of the light transmission areas, 상기 레이저 조사부는, 상기 결정된 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 장치.And the laser irradiator irradiates a laser beam to the color filter through the slit at the determined position. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컬러필터는, 상기 차광 영역을 통하여 대향하여 배치되는 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역을 가지며,The color filter has a first light transmission region and a second light transmission region disposed to face each other through the light blocking region, 상기 수정처리부는,The correction processing unit, 상기 컬러필터에 있어서, 상기 제 1의 광투과 영역 및 상기 제 2의 광투과 영역 사이의 거리보다 큰 폭을 갖는 영역에 잉크를 도포하는 잉크도포부를 포함하고,The color filter comprising an ink coating portion for applying ink to a region having a width greater than a distance between the first light transmitting region and the second light transmitting region, 상기 화상처리부는, 상기 검출된 결함의 전영역이 상기 차광 영역에 존재하는 경우에는, 상기 잉크가 도포되는 상기 컬러필터의 영역이 상기 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 상기 차광 영역 및 하나의 상기 광투과 영역과 겹치도록 상기 잉크도포부의 위치를 결정하고,The image processing unit includes, when the entire area of the detected defect exists in the light shielding area, an area of the color filter to which the ink is applied includes at least a part of the detected defect, and the light shielding area and one Determine the position of the ink coating portion so as to overlap the light transmitting region of 상기 잉크도포부는, 상기 결정된 위치에서 상기 컬러필터에 잉크를 도포하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 장치.And the ink applying unit applies ink to the color filter at the determined position. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수정처리부는,The correction processing unit, 슬릿을 형성하는 슬릿부와,A slit portion forming a slit, 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 레이저 조사부를 포함하고,It includes a laser irradiation unit for irradiating a laser light to the color filter through the slit, 상기 화상처리부는, 상기 검출된 결함의 위치에 의거하여 상기 슬릿의 제 1의 위치를 결정하고, 상기 검출된 결함의 전영역이 상기 광투과 영역에 존재하는 경우에는, 상기 제 1의 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 레이저광이 조사되게 될 상기 컬러필터의 영역과 상기 차광 영역의 겹치는 영역에 의거하여 상기 제 1의 위치를 보정함에 의해 상기 슬릿의 제 2의 위치를 결정하고,The image processing unit determines the first position of the slit based on the position of the detected defect, and when the entire area of the detected defect exists in the light transmission area, Determining a second position of the slit by correcting the first position based on an overlapping area of the light shielding region with the region of the color filter to which the laser light is to be irradiated through the slit, 상기 레이저 조사부는, 상기 제 2의 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 장치.And the laser irradiator irradiates the color filter with a laser beam through the slit at the second position. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수정처리부는,The correction processing unit, 슬릿을 형성하는 슬릿부와,A slit portion forming a slit, 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 레이저 조사부를 포함하고,It includes a laser irradiation unit for irradiating a laser light to the color filter through the slit, 상기 화상처리부는, 상기 검출된 결함의 위치에 의거하여 상기 슬릿의 제 1의 위치를 결정하고, 상기 검출된 결함의 전영역이 상기 차광 영역에 존재하는 경우에는, 상기 제 1의 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 레이저광이 조사되게 될 상기 컬러필터의 영역과 상기 광투과 영역의 겹치는 영역에 의거하여 상기 제 1의 위치를 보정함에 의해 상기 슬릿의 제 2의 위치를 결정하고,The image processing unit determines the first position of the slit based on the position of the detected defect, and when the entire area of the detected defect exists in the light shielding region, the image at the first position Determine a second position of the slit by correcting the first position based on an overlapping region of the color filter region and the light transmission region to which the laser light is to be irradiated through a slit, 상기 레이저 조사부는, 상기 제 2의 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 장치.And the laser irradiator irradiates the color filter with a laser beam through the slit at the second position. 광투과 영역 및 상기 광투과 영역에 인접하는 차광 영역을 갖는 컬러필터의 결함을 수정하는 컬러필터 결함 수정 방법으로서,A color filter defect correction method for correcting a defect of a color filter having a light transmitting area and a light shielding area adjacent to the light transmitting area, 상기 컬러필터의 결함을 검출하는 스텝과,Detecting a defect of the color filter; 상기 검출된 결함과, 상기 광투과 영역 및 상기 차광 영역의 위치 관계에 의거하여, 상기 컬러필터에서 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝과,Determining an area to be corrected in the color filter based on the detected defects and the positional relationship between the light transmitting area and the light blocking area; 상기 컬러필터에서의 상기 결정된 영역에의 레이저광의 조사 및 잉크 도포중 적어도 어느 한쪽의 수정 처리를 행하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 방법.And correcting at least one of irradiating laser light and applying ink to the determined area of the color filter. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 컬러필터 결함 수정 방법은, 또한,The color filter defect correction method, 슬릿을 형성하는 스텝을 포함하고,Including a step of forming a slit, 상기 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝에서는, 상기 검출된 결함의 전영역이 상기 광투과 영역에 존재하는 경우에는, 상기 레이저광이 조사되는 상기 컬러필터의 영역이 상기 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 상기 차광 영역과 겹치지 않도록 상기 슬릿의 위치를 결정하고,In the step of determining an area to be subjected to the correction process, when the entire area of the detected defect exists in the light transmission area, the area of the color filter to which the laser light is irradiated is at least the detected defect. Determine the location of the slit, including a portion and not overlapping with the light shielding area, 상기 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 상기 결정된 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 방법.And in the step of performing the correction processing, laser light is irradiated to the color filter through the slit at the determined position. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 컬러필터 결함 수정 방법은, 또한,The color filter defect correction method, 슬릿을 형성하는 스텝을 포함하고,Including a step of forming a slit, 상기 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝에서는, 상기 검출된 결함이 상기 차광 영역 및 상기 광투과 영역에 걸쳐서 존재하는 경우에는, 상기 레이저광이 조사되는 상기 컬러필터의 영역이 상기 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 상기 레이저광이 조사되는 상기 컬러필터의 영역과 상기 차광 영역의 겹치는 영역이 최소가 되도록 상기 슬릿의 위치를 결정하고,In the step of determining an area to be subjected to the correction process, when the detected defect exists over the light shielding area and the light transmission area, the area of the color filter to which the laser light is irradiated is detected. And determine the position of the slit so that the region of the color filter to which the laser light is irradiated and the overlapping region of the light shielding region are minimized, 상기 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 상기 결정된 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 방법.And in the step of performing the correction processing, laser light is irradiated to the color filter through the slit at the determined position. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝에서는, 또한, 상기 검출된 결함이 상기 차광 영역 및 상기 광투과 영역에 걸쳐서 존재하는 경우에는, 상기 검출된 결함중의 상기 차광 영역에서의 결함의 크기와 상기 광투과 영역에서의 결함의 크기를 비교하여,In the step of determining the area to be subjected to the correction process, further, when the detected defect exists over the light shielding area and the light transmission area, the size of the defect in the light shielding area among the detected defects And the size of the defect in the light transmission region, 상기 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 상기 차광 영역 및 상기 광투과 영역중, 상기 결함이 큰 쪽의 영역에 대응하는 색의 잉크를 선택하고, 상기 컬러필터에 서의 상기 결정된 영역에 상기 선택한 색의 잉크를 도포하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 방법.In the step of performing the correction process, an ink of a color corresponding to a region having the larger defect is selected from the light shielding region and the light transmission region, and the ink of the selected color is selected in the determined region of the color filter. Color filter defect correction method characterized in that the coating. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 컬러필터는, 상기 차광 영역을 통하여 대향하여 배치되는 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역을 가지며,The color filter has a first light transmission region and a second light transmission region disposed to face each other through the light blocking region, 상기 컬러필터 결함 수정 방법은, 또한,The color filter defect correction method, 상기 제 1의 광투과 영역 및 상기 제 2의 광투과 영역 사이의 거리보다 큰 폭을 갖는 슬릿을 형성하는 스텝을 포함하고,Forming a slit having a width greater than a distance between the first light transmissive region and the second light transmissive region, 상기 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝에서는, 상기 검출된 결함의 전영역이 상기 차광 영역에 존재하는 경우에는, 상기 레이저광이 조사되는 상기 컬러필터의 영역이 상기 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 상기 차광 영역 및 하나의 상기 광투과 영역과 겹치도록 상기 슬릿의 위치를 결정하고,In the step of determining an area to be subjected to the correction process, when the entire area of the detected defect exists in the light shielding area, the area of the color filter to which the laser light is irradiated is at least part of the detected defect. And determining a position of the slit so as to overlap the light blocking area and the one light transmitting area, 상기 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 상기 결정된 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 방법.And in the step of performing the correction processing, laser light is irradiated to the color filter through the slit at the determined position. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 컬러필터는, 상기 차광 영역을 통하여 대향하여 배치되는 제 1의 광투과 영역 및 제 2의 광투과 영역을 가지며,The color filter has a first light transmission region and a second light transmission region disposed to face each other through the light blocking region, 상기 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 상기 제 1의 광투과 영역 및 상기 제 2의 광투과 영역 사이의 거리보다 큰 폭을 갖는 상기 컬러필터의 영역에 잉크를 도포하고,In the step of performing the correction process, ink is applied to an area of the color filter having a width larger than the distance between the first light transmission area and the second light transmission area, 상기 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝에서는, 상기 검출된 결함의 전영역이 상기 차광 영역에 존재하는 경우에는, 상기 잉크가 도포되는 상기 컬러필터의 영역이 상기 검출된 결함의 적어도 일부를 포함하고, 또한 상기 차광 영역 및 하나의 상기 광투과 영역과 겹치도록 잉크를 도포하는 위치를 결정하고,In the step of determining an area to be subjected to the correction process, when the entire area of the detected defect is present in the light shielding area, the area of the color filter to which the ink is applied is at least a part of the detected defect. And determine a position at which ink is applied so as to overlap the light blocking region and one light transmitting region, 상기 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 상기 결정된 위치에서, 상기 컬러필터의 영역에 잉크를 도포하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 방법.And in the step of performing the correction process, ink is applied to an area of the color filter at the determined position. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 컬러필터 결함 수정 방법은, 또한,The color filter defect correction method, 슬릿을 형성하는 스텝을 포함하고,Including a step of forming a slit, 상기 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝은,The step of determining the area to be subjected to the correction process, 상기 검출된 결함의 위치에 의거하여 상기 슬릿의 제 1의 위치를 결정하는 스텝과,Determining a first position of the slit based on the detected position of the defect; 상기 검출된 결함의 전영역이 상기 광투과 영역에 존재하는 경우에는, 상기 제 1의 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 레이저광이 조사되게 될 상기 컬러필터의 영역과 상기 차광 영역의 겹치는 영역에 의거하여 상기 제 1의 위치를 보정함에 의해 상기 슬릿의 제 2의 위치를 결정하는 스텝을 포함하고,In the case where the entire area of the detected defect exists in the light transmission area, the area of the color filter to which the laser light is to be irradiated through the slit at the first position is based on the overlapping area of the light shielding area. Determining the second position of the slit by correcting the first position, 상기 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 상기 제 2의 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 방법.And in the step of performing the correction process, laser light is irradiated to the color filter through the slit at the second position. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 컬러필터 결함 수정 방법은, 또한,The color filter defect correction method, 슬릿을 형성하는 스텝을 포함하고,Including a step of forming a slit, 상기 수정 처리를 행하여야 할 영역을 결정하는 스텝은,The step of determining the area to be subjected to the correction process, 상기 검출된 결함의 위치에 의거하여 상기 슬릿의 제 1의 위치를 결정하는 스텝과,Determining a first position of the slit based on the detected position of the defect; 상기 검출된 결함의 전영역이 상기 차광 영역에 존재하는 경우에는, 상기 제 1의 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 레이저광이 조사되게 될 상기 컬러필터의 영역과 상기 광투과 영역의 겹치는 영역에 의거하여 상기 제 1의 위치를 보정함에 의해 상기 슬릿의 제 2의 위치를 결정하는 스텝을 포함하고,When the entire area of the detected defect exists in the light shielding area, the area of the color filter to which the laser light is to be irradiated through the slit at the first position is based on an overlapping area of the light transmitting area. Determining the second position of the slit by correcting the first position, 상기 수정 처리를 행하는 스텝에서는, 상기 제 2의 위치에서의 상기 슬릿을 통하여 상기 컬러필터에 레이저광을 조사하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 결함 수정 방법.And in the step of performing the correction process, laser light is irradiated to the color filter through the slit at the second position.
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