KR20090053910A - 전자 컴포넌트를 보호하기 위한 침입 방지 시스템 - Google Patents

전자 컴포넌트를 보호하기 위한 침입 방지 시스템 Download PDF

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KR20090053910A
KR20090053910A KR1020097005338A KR20097005338A KR20090053910A KR 20090053910 A KR20090053910 A KR 20090053910A KR 1020097005338 A KR1020097005338 A KR 1020097005338A KR 20097005338 A KR20097005338 A KR 20097005338A KR 20090053910 A KR20090053910 A KR 20090053910A
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Abstract

본 발명의 주제는, 전자 컴포넌트들이 위치되는 기판 (2), 기판 (2) 의 표면 상에서 전자 컴포넌트들을 캡슐화하는 도전성 인클로저 (1) 를 포함하는 전자 컴포넌트들 (3) 을 보호하는 침입 방지 시스템에 관한 것이고, 상기 침입 방지 시스템은 또한 경고 디바이스를 포함하고, 적어도,
- 기판 (2) 의 표면 상에 위치된 전송 안테나,
- 신호 라인 가까이에 있는 경고 디바이스에 링크되어, 경고 디바이스를 작동시킬 수 있는 용량성 전자기계식 마이크로스위치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Figure P1020097005338
침입 방지 시스템, 경고 디바이스, 전자 컴포넌트, 기판, 도전성 인클로저

Description

전자 컴포넌트를 보호하기 위한 침입 방지 시스템{ANTI-INTRUSION SYSTEM FOR PROTECTING ELECTRONIC COMPONENTS}
본 발명의 분야는 전자 통신 분야에서 전자 컴포넌트 및 그 애플리케이션을 보호하기 위한 침입 방지 시스템에 관한 것이다.
침입 방지 시스템의 목적은, 보호되는 전자 디바이스로 어떤 침입이 시도되었는지 검출하고 적절한 경보 시스템을 작동시키는 것이다. 침입 방지 시스템은 기밀성이 유지되어야 하는 전자 컴포넌트를 보호하는데 사용된다.
침입 방지 시스템에 관한 기술의 상태에 따라서, 이 보호는 수지에 통합된 도전성 와이어의 네트워크를 포함하는 인클로저를 이용함으로써 제공될 수 있다. 그런 다음, 인클로저의 천공에 의해 증명된 침입은 도전성 와이어 내의 파손된 외관에 의해 검출된다. 이 유형의 시스템은, 특히, X 선을 이용한 침투를 차단하지 못하기 때문에, 그 성능에 있어서 완전한 만족을 주지 못한다.
본 발명은, 특히, X선 방사에 의한 침입의 문제를 극복하기 위해, 전자파 실드로 구성되고 침입을 검출하는데 사용되는 마이크로컴포넌트를 포함하는 완전 도전성 인클로저를 이용할 것을 제안한다.
보다 상세하게, 본 발명은, 전자 컴포넌트가 위치되는 기판, 이 기판의 표면 상에 전자 컴포넌트를 캡슐화하는 도전성 인클로저를 포함하는, 전자 컴포넌트들을 보호하는 침입 방지 시스템에 관한 것이고, 상기 시스템은 또한 경고 디바이스를 포함하고, 적어도, 상기 인클로저 내에 캡슐화된 침입 검출 회로를 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 침입 검출 회로는 적어도:
- 기판의 표면 상에 위치되고 전력 신호를 전송하는 전송 안테나,
- 전력 신호를 수신하는 수단과 연관되고, 신호 전력 강하를 검출하여, 적절할 경우, 침입 경고 디바이스를 작동시킬 수 있는 용량성 전자기계식 마이크로스위치, 및
- 전송된 전력 신호를 수신하고, 도전성 인클로저 내부로의 침입에 의한 신호 강하를 전송하고, 상기 마이크로스위치로 링크되는 수신 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 1 양태에 따르면, 수신 수단은, 기판의 표면 상에 위치하고 용량성 전자기계식 마이크로스위치에 링크되는 수신 안테나를 포함한다.
본 발명의 제 2 양태에 따르면, 수신 수단은, 도전성 인클로저 및 용량성 전자기계식 마이크로스위치에 링크된 도전성 엘리먼트를 포함한다.
본 발명의 제 3 양태에 따르면, 수신 수단은,
- 상기 기판의 표면 상에 위치되고 제 1 용량성 전자기계식 마이크로스위치에 링크된 수신 안테나,
- 도전성 인클로저와 제 2 용량성 전자기계식 마이크로스위치에 링크된 도전성 엘리먼트를 포함한다.
본 발명의 양태에 따르면, 용량성 전자기계식 마이크로스위치들 중 적어도 하나는 시리즈 형태이다.
본 발명의 양태에 따르면, 전자기계식 마이크로스위치들 중 적어도 하나는, 가요성 멤브레인, 및 유전체층을 포함하는 어셈블리를 포함하는 구조체, 및 2개의 신호 라인을 포함하고, 상기 2개의 신호 라인은 서로의 연장에 있어서 동일 평면에 위치되고 상기 신호 라인의 단부는 제 1 금속층을 형성하며, 상기 멤브레인은 유전체 갭에 의해 어셈블리로부터 분리된다.
본 발명의 양태에 따르면, 전송 안테나는 전력 신호를 전송하며, 멤브레인과 전극 사이에 인가된 전압 Veq는 작동 전압 Vp과 릴리즈 전압 Vr (release voltage) 사이에 있고, 상기 작동 전압 및 릴리즈 전압은 각각 다음 식을 만족하며,
Figure 112009015486793-PCT00001
,
Figure 112009015486793-PCT00002
w는 신호 라인들의 폭이고, W는 멤브레인의 폭이고, g0는 멤브레인에 전압이 인가되지 않은 유전체 갭의 두께이고, ε0은 진공의 유전율이고 k는 상기 멤브레인의 강성 (stiffness) 계수이며,
td는 멤브레인으로부터 금속층을 분리하는 유전체 두께이고, εr은 유전체의 상대적 유전율이고, A는 곱 wW와 동일하고, ε'은 전극들의 유전율을 수정하는 유전체 갭의 존재의 영향을 고려할 수 있게 하는 상수이다.
유익하게, 전송 안테나 및 수신 안테나는 양방향성 형태이다.
본 발명 및 본 발명의 다른 이점들은, 실시예로 제한하고자 주어지는 것이 아닌 다음 설명을 읽고 첨부된 도면을 참고함으로써 더욱 잘 이해되고, 명확해질 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 용량성 전자기계식 마이크로스위치에 링크된 적어도 하나의 수신 안테나를 포함하는 제 1 침입 방지 시스템의 단면을 도시한다.
도 2는 본 발명에 따른 인클로저 내부를 위에서 본 제 1 침입 방지 시스템을 도시한다.
도 3은 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치의 상부를 도시한다.
도 4는 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치의 단면을 도시한다.
도 5는 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치가 동작된 때 이것에 인가된 전압의 함수으로서 유전체 갭의 두께의 기울기를 도시한다.
도 6은 본 발명에 따른 도전성 엘리먼트에 의해 도전성 인클로저에 링크된 전자기계식 마이크로스위치를 구비한 제 2 침입 방지 시스템의 단면을 도시한다.
도 7은 본 발명에 따른 인클로저 내부를 위에서 본 제 2 침입 방지 시스템의 일부를 도시한다.
도 8은 본 발명에 따른, 제 1 용량성 전자기계식 마이크로스위치에 링크된 수신 안테나 및 도전성 엘리먼트에 의해 도전성 인클로저에 링크된 제 2 용량성 전자기계식 마이크로스위치 중 적어도 하나를 포함하는 제 3 침입 방지 시스템의 단면을 도시한다.
본 발명에 따라 전자 컴포넌트 (3) 를 보호하는 침입 방지 시스템은, 전자 컴포넌트가 위치되는 기판 (2), 이 기판 (2) 의 표면 상의 전자 컴포넌트를 캡슐화하는 도전성 인클로저 (1) 를 포함한다. 침입 방지 회로는 상기 인클로저 (1) 내에 캡슐화된다. 이것은 적어도:
기판 (2) 의 표면 상에 위치되고 신호를 전송하는 전송 안테나 (4),
신호 전력 강하를 검출하기 위해, 신호 라인에 의해 경고 디바이스에 링크되고, 경고 디바이스를 동작시킬 수 있는 용량성 전자기계식 마이크로스위치, 및
전송된 전력 신호를 수신하고, 침입에 의한 신호 강하를 인클로저 내부로 전송하고, 마이크로스위치로 링크되는 수신 수단을 포함한다.
도전성 인클로저 (1) 의 물리적 무결성에 대한 어떤 침입 또는 공격은 전송 안테나 (4) 로부터 수신 수단으로의 신호 전송을 교란시켜, 전송된 신호의 전력을 감소시키고 마이크로스위치의 상태를 변경시킨다.
시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치를 이용한 본 발명에 따른 전자 컴포넌트를 보호하는 침입 방지 시스템의 제 1 양태는 도 1 및 도 2에 도시된다.
본 발명에 따른 시스템의 제 1 양태는, 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치 (6) 의 아래에 있는 2개의 전송 라인 (7, 8) 에 의해 경고 시스템 (미도시) 에 링크된 수신 안테나 (5), 전송 안테나 (4), 기판 (2) 의 표면 상의 밀폐성 및 도전성 인클로저 (1) 를 포함한다.
침입 방지 시스템은 다음과 같이 작동한다. 이 시스템은, 밀폐성 및 도전성 인클로저 (1) 의 침입에 의해 생성된 기준 신호의 변화를 이용하여, 경고 디 바이스를 트리거링한다. 실질적으로, 이 시스템은, 로우 상태인 도전 상태로 이 시스템을 위치시킴으로써, 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치 (6) 의 동작에 의해 보호된다. 그런 다음, 신호가 전송 안테나 (4) 를 통해 송신되고, 수신 안테나 (5) 에 의해 수신된 후, 전송 라인 (7, 8) 을 통해 경고 디바이스로 전송된다. 경고 디바이스는, 이 디바이스가 더 이상 신호를 수신하지 않을 때 트리거링되도록 구성된다. 더욱이, 이 신호의 전력은, 다음 문단에서 설명되며 소위 셀프 메인터넌스 (self-maintenance) 로 지칭되는 원리에 따라서 로우 (도전) 상태에서 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치 (6) 를 유지하기 위한 방식으로 결정된다. 도전성 인클로저 (1) 의 물리적 무결성에 대한 어떤 침입 또는 공격은 전송 안테나 (4) 로부터 수신 안테나 (5) 로의 신호의 전송을 교란시켜, 전송된 신호의 전력을 감소시킨다. 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치 (6) 를 통과하는 신호에 있어서 이 전력 감소는 하이 상태 (비도전 상태) 로 이행하게 한다. 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치 (6) 의 출력과 연결된 경고 디바이스는 더 이상 어떤 신호도 수신하지 않고, 트리거링된다.
·가요성 멤브레인,
·유전체 층,
·금속 층
을 포함하는 시리즈 형태의 마이크로스위치 구조를 다음에 보다 상세하게 설명한다.
도 3은 이러한 마이크로스위치의 상면도를 도시하고 도 4는 단면도를 도시한다.
시리즈의 제 1 마이크로스위치의 구조는, (신호 라인 7에 링크된) 제 1 신호 라인 (107) 과 (신호 라인 8에 링크된) 제 2 신호 라인 (108), 금속 층 (105) 상에 위치되는 유전체 재료 (104) 를 포함하는데, 상기 신호 라인은 서로의 연장에 있어서 동일 평면에 위치되고, 스위칭 존에 의해 분리되고, 신호 라인의 단부는 바텀 전극으로서 동작하는 금속 층 (105) 을 형성하고, 기판 (2) 상에 위치된다. 멤브레인 (101) 은 신호 라인 위에 걸쳐지고 기판 상에 위치된 필러 (102, 103) 를 링크한다. 멤브레인은 그라운드 평면 (9) 으로부터 절연된다.
마이크로스위치는 다음과 같이 동작한다:
멤브레인 (101) 하에서 작동 전압의 인가는 멤브레인을 비도전 레스트 상태인 오픈에서 도전 상태인 클로즈로 변경시킨다. 마이크로스위치는 금속 층 (105) 과 멤브레인 (101) 사이에 전위차를 부과하기 위한 특정 수단 (미도시) 을 구비한다. 작동 전압의 영향 하에서, 멤브레인은 유전체 (104) 를 접촉할 때까지 변형 (deformed) 된다. 그런 다음, 2개의 신호 라인 (107, 108) 은 용량성 효과에 의해 인터링크된다. 도 5는 동작시, 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치에 인가된 전압의 함수로서 유전체 갭의 두께의 기울기를 도시하는 도면으로서, g0는 멤브레인 (101) 과 유전체 (104) 사이의 유전체 갭의 초기 두께이다.
이러한 시리즈 마이크로스위치는 2개의 전압: 작동 전압 Vp과 릴리즈 전압 Vr을 특징으로 한다. Vp는 다음식:
Figure 112009015486793-PCT00003
에 의해 결정되고,
w는 신호 라인들의 폭이고, W는 멤브레인의 폭이고 (곱 wW는 신호 라인 및 멤브레인을 대향하는 표면 면적을 나타낸다), g0는 전압이 인가되지 않는 유전체 갭의 두께이고, ε0은 진공의 유전율이고 k는 멤브레인의 강성 계수이다.
Vr은 다음 식:
Figure 112009015486793-PCT00004
에 의해 결정되고,
td는 상기 멤브레인으로부터 상기 금속층을 분리하는 유전체 두께이고, εr은 유전체의 상대적 유전율이며, A는 곱 wW와 동일하고 ε'은 전극들의 유전율을 수정하는 유전체 갭의 존재의 영향을 고려할 수 있게 하는 상수이다.
ε' 계수는 0.4와 0.8 사이에 있다. 이것은 평면 커패시턴스의 이론상의 계산과 측정 결과를 비교함으로써 실험적으로 결정될 수 있다.
P를 시리즈 형태의 마이크로스위치를 통과하는 신호의 전력이라 하고, Veq는 이 전력에 대응하는 평균 전압이라 한다. 다음 관계:
Figure 112009015486793-PCT00005
가 성립하며, R은 신호 라인의 임피던스이다. 시리즈 마이크로스위치는 3가지 상태가 가능할 수 있다.
·Veq > Vp : 셀프 액츄에이션 상태를 나타낸다. 이것은, 마이크로스위치를 통해 신호가 통과하는 단순한 사실이 그 상태를 로우 상태인 도전 상태로 천이하게 한다는 것을 의미한다.
·Vr < Veq < Vp : 이것은 셀프 메인터넌스 상태를 나타낸다. 이것은, 마이크로스위치를 통해 신호가 통과하는 단순한 사실이, 멤브레인이 동작후 다시 상승하는 것을 방지한다는 것을 의미한다.
·Veq < Vr : 마이크로스위치는 단순한 방식으로 동작하고, 이 신호는 하이 상태인 비도전 상태에 있는 마이크로스위치의 동작을 교란시키지 않는다.
본 발명에 따른 침입 방지 시스템에 있어서, 신호의 전력은, 제 2 및 제 3 경우의 제한이 적용되도록 디멘젼된다. 그런다음, 신호의 전력에 약간의 감소가 있다면, 마이크로스위치는 셀프 메인터넌스 상태에서 하이 상태로 스위칭할 수 있다.
유익하게, 전자기계식 마이크로스위치들 중 적어도 하나는 유전체 (104) 상에 위치된 제 2 금속층 (106) 을 포함한다. 제 2 금속 층 (106) 의 이점은, 신호의 전력의 변화 검출 레벨에 대한 저하를 나타내는, 유전체 층 (104) 상에서 시간에 따라 발생하는 전기 방전의 문제를 궁극적으로 극복한다는 것이다.
이제, 도 6 및 도 7에 의해, 본 발명에 따른 제 2 침입 방지 시스템의 양태를 설명할 것이며, 전자기계식 마이크로스위치 (32) 는 제 1 도전성 엘리먼트 (31) 에 의해 도전성 인클로저 (1) 에 링크된다. 또한, 전자기계식 마이크로스위치 (32) 는 제 2 도전성 엘리먼트 (34) 에 의해 경고 디바이스에 링크된다.
제 2 양태의 침입 방지 시스템은 다음과 같이 동작한다. 시스템은 인클로저 상의 안테나 (33) 에 의해 생성된 와전류 (eddy current) 의 교란을 이용한다. 인클로저의 침입은 이러한 와전류의 변화에 반영된다. 제 1 양태의 침입 방지 시스템에서와 같이, 이 양태는 전자기계식 마이크로스위치 (32) 의 상태를 변경시키는데 사용될 것이다. 신호를 통과하는 신호의 전력의 저하는, 이것을 로우 (도전) 상태에서 하이 (비도전) 상태로 스위칭시켜, 어떤 신호도 더 이상 수신하지 않을 때 트리거링되도록 구성되는 경고 디바이스를 작동시킨다.
이제, 상술된 2가지 양태를 이용하여 본 발명에 따른 제 3 침입 방지 시스템의 양태를 동시에 설명할 것이다. 본 발명에 따른 제 3 침입 방지 시스템의 양태는 기판 (2) 상에 위치된 밀폐성 및 도전성 인클로저 (1); 제 1 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치 (86) 의 아래에 있는 전송 라인 (미도시) 가까이에 있는 경고 시스템 (미도시) 에 링크된 수신 안테나 (85) 및 송신 안테나 (84) 를 포함하는 제 1 검출 어셈블리, 및 제 1 도전성 엘리먼트 (81) 에 의해 밀폐성 및 도전성 인클로저 (1) 에 링크되고 제 2 도전성 엘리먼트에 의해 경고 디바이스 (미도시) 에 링크된 제 2 시리즈 형태의 용량성 전자기계식 마이크로스위치 (82) 를 포함하는 제 2 검출 어셈블리를 포함한다.
제 3 침입 방지 시스템의 양태는 다음과 같다. 2개의 검출 어셈블리들은 동시에 동작한다. 제 1 검출 어셈블리는 제 1 검출 시스템의 양태에 대응한다. 제 2 검출 어셈블리는 제 2 검출 시스템의 양태에 대응한다. 2개의 검출 어셈블리는 동일한 전송 안테나 (84) 를 이용할 수 있다.
유익하게, 도전성 엘리먼트들 중 적어도 하나는 기판 (2) 의 표면 상에 위치된다.
유익하게, 전송 및 수신 안테나는 양방향성 형태이다.
본 발명에 따른 보호 시스템을 위한 전자기계식 마이크로스위치의 예시적인 실시 형태에 따르면, 멤브레인 (101) 은 2개의 금속 층으로 0.7 ㎛의 두께, 즉 0.5 ㎛의 제 1 알루미늄 층과 0.2㎛의 제 2 티타늄-텅스텐 합금층을 갖는다. 멤브레인 (101) 은 약 100 ㎛의 폭과 동일 평면 라인에 의존하는 길이를 나타낸다.
동일 평면 라인은, 금속 도전 라인 (일반적으로 금) 과 이 라인의 어느 한 쪽이 위치되는 2개의 그라운드 평면 (일반적으로 금) 의 아래에 있는 기판 (비용이 저렴하고 기판의 품질이 동일 평면 라인의 성능에 거의 영향을 미치지 않는다면, 일반적으로 실리콘) 으로 구성된 초단파 신호 도전체이다. 동일 평면 라인은 라인 및 그라운드 평면의 두께, 중심 라인의 폭, 및 이 그라운드 평면으로부터 중심 라인을 분리하는 거리로 정의된다. 이와 같이, 중심 라인에 관한 대칭 구조가 얻어진다.
용량성 전자기계식 마이크로스위치를 위한 지지체로서 역할을 하는 동일 평면 라인 (107, 108) 은 3 ㎛의 두께를 가지며, 이들은 0.7 ㎛의 두께로 멤브레인 하에서 정련된다. 이들은 두께가 0.2 ㎛와 0.4㎛ 사이에서 변하는 유전체에 의해 이 위치 내에서 커버된다.
필러 (102, 103, 높이 3 ㎛) 는 멤브레인 (101) 을 위한 지지체로서 역할을 하는 신호 라인 (107, 108) 중 어느 한 쪽에 위치되고, 상기 그라운드와 동일한 레벨에서 필러 (102, 103) 를 가질 수 있도록 구멍이 뚫어진 그라운드 (9) 와는 독립적이다. 신호 라인 (107, 108) 을 분리하는 스페이스는 10 ㎛이다.

Claims (11)

  1. 전자 컴포넌트들이 위치되는 기판 (2), 상기 기판 (2) 의 표면 상에서 상기 전자 컴포넌트들을 캡슐화하는 도전성 인클로저 (1) 를 포함하며, 전자 컴포넌트들 (3) 을 보호하는 침입 방지 시스템으로서,
    경고 디바이스를 또한 포함하고,
    상기 도전성 인클로저 (1) 내에 캡슐화된 침입 검출 회로를 포함하며,
    상기 침입 검출 회로는 적어도,
    - 상기 기판 (2) 의 상기 표면 상에 위치되고 전력 신호를 전송하는 전송 안테나 (4),
    - 상기 전력 신호를 수신하는 수단과 연관되고, 신호 전력 강하를 검출하여, 적절할 경우, 침입 경고 디바이스를 작동시킬 수 있는 용량성 전자기계식 마이크로스위치, 및
    - 상기 전송된 전력 신호를 수신하고, 상기 도전성 인클로저 내부로의 침입에 의한 신호 강하를 전송하고, 상기 용량성 전자기계식 마이크로스위치에 링크되는 수신 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 침입 방지 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 수신 수단은, 상기 기판 (2) 의 상기 표면 상에 위치되고 상기 용량성 전자기계식 마이크로스위치에 링크되는 수신 안테나 (5) 를 포함하는 것을 특징으 로 하는 침입 방지 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 수신 수단은, 상기 도전성 인클로저 (1) 및 상기 용량성 전자기계식 마이크로스위치에 링크된 도전성 엘리먼트 (31) 를 포함하는 것을 특징으로 하는 침입 방지 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 수신 수단은,
    - 상기 기판 (2) 의 상기 표면 상에 위치되고 제 1 용량성 전자기계식 마이크로스위치 (86) 에 링크된 수신 안테나 (85), 및
    - 상기 도전성 인클로저 (1) 및 제 2 용량성 전자기계식 마이크로스위치 (82) 에 링크된 도전성 엘리먼트 (81) 를 포함하는 것을 특징으로 하는 침입 방지 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 용량성 전자기계식 마이크로스위치들 중 적어도 하나는 시리즈 형태 (series type) 인 것을 특징으로 하는 침입 방지 시스템.
  6. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도전성 엘리먼트들 중 적어도 하나는 상기 기판 (2) 의 상기 표면 상에 위치되는 것을 특징으로 하는 침입 방지 시스템.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 용량성 전자기계식 마이크로스위치들 중 적어도 하나는,
    가요성 멤브레인 (101), 및 유전체층 (104) 을 포함하는 어셈블리를 포함하는 구조체, 및
    2개의 신호 라인 (107, 108) 을 포함하고,
    상기 2개의 신호 라인은 서로의 연장 부분에 있어서 동일 평면에 위치되고 상기 신호 라인의 단부들은 제 1 금속층 (105) 을 형성하고,
    상기 가요성 멤브레인은 유전체 갭에 의해 상기 어셈블리로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 침입 방지 시스템.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 용량성 전자기계식 마이크로스위치들 중 적어도 하나는 상기 유전체층 (104) 상에 위치된 제 2 금속층 (106) 을 포함하는 것을 특징으로 하는 침입 방지 시스템.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전송 안테나 (4, 33) 는, 상기 용량성 전자기계식 마이크로스위치 (6, 32, 82, 86) 에 대해, 상기 가요성 멤브레인 (101) 과 전극 (105) 사이에 인가된 전압 Veq가 작동 전압 Vp와 릴리즈 전압 Vr (release voltage) 사이에 있도록 전력 신호를 전송하고, 상기 작동 전압 및 릴리즈 전압은 각각,
    Figure 112009015486793-PCT00006
    Figure 112009015486793-PCT00007
    의 식을 만족하며,
    w는 상기 신호 라인들의 폭이고, W는 상기 가요성 멤브레인의 폭이고, g0는 전압이 인가되지 않은 상기 유전체 갭의 두께이고, ε0은 진공의 유전율이고 k는 상기 가요성 멤브레인의 강성 (stiffness) 계수이며,
    td는 상기 가요성 멤브레인으로부터 상기 금속층을 분리하는 유전체 두께이고, εr은 상기 유전체의 상대적 유전율이고 ε'은 상기 전극들의 유전율을 수정하는 상기 유전체 갭의 존재의 영향을 고려할 수 있게 하는 상수이고, A는 곱 wW와 동일한 것을 특징으로 하는 침입 방지 시스템.
  10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도전성 인클로저 (1) 는 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 침입 방지 시스템.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전송 안테나 및 상기 수신 안테나는 양방향성 형태인 것을 특징으로 하는 침입 방지 시스템.
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