KR20090053043A - 카세트 처리 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 카세트를 웨이퍼링 테이블에 로딩 및 언로딩하는 카세트 처리 시스템에 관한 것으로서, 상기 직선이동부의 하부에 결합된 카세트 이송용 셔틀을 상하로 이동시키는 상하이동부와, 상기 상하이동부에 의해 상하로 이동하는 카세트를 임시로 반입 및 반출하기 위한 다수의 프레임에 의해 사각틀 형상으로 형성된 측방의 버퍼수단에 대하여 진퇴이동하되, 상기 카세트 이송용 셔틀에 현가된 카세트의 하부를 받치는 선반부재를 진퇴이동하는 제1 직동수단을 구비하고, 상기 제1 직동수단은, 상기 선반부재의 일측에 일단이 지지되고, 타단은 상기 카세트 이송용 셔틀에 고정된 제1 서보 모터와, 상기 제1 서보 모터의 구동축에 결합된 제1 피니언의 회동에 연동하여 좌우이동하도록 기어 맞물림 결합된 제1 구동 랙부재와, 상기 제1 구동 랙부재의 좌우방향 이동력에 의해 회전되는 전동 피니언 쌍의 회전운동을 직선운동으로 전환하되, 상기 제1 구동 랙부재의 이동력을 상기 선반부재에 전달하도록 상기 제1 구동 랙부재의 상하 대응면에 배열된 제1 및 제2 지지 랙부재와 이 제1 및 제2 지지 랙부재 사이에 개재되고 상기 제1 구동 랙부재에 회전 가능하게 양단측에 이격되어 지지되고, 전동부재가 상호 걸어감김 결합된 전동 피니언 쌍으로 구성되어, 카세트에 대한, 설정 처리영역에서 웨이퍼링 테이블까지의 로딩 및 언로딩하는 시간을 대폭 줄여 제조수율을 향상시킬 수 있도록 하였다.

Description

카세트 처리 시스템{Cassette processing system having buffer space}

본 발명은 웨이퍼를 이송하는 데 필요한 버퍼수단를 구비하는 반도체 소자 제조용 카세트 처리 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼를 효율적으로 로딩 및 언로딩하여 웨이퍼 공급시간을 단축할 수 있게 한 버퍼수단을 갖는 카세트 처리 시스템에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 패키지의 제조공정은 크게 웨이퍼의 불량을 체크하는 원자재 검사, 웨이퍼를 절단하여 반도체칩을 낱개로 분리하는 소잉공정, 낱개로 분리된 반도체칩을 리드프레임의 탑재판에 부착시키는 다이본딩공정, 반도체칩 상에 구비된 칩패드와 리드프레임의 리드를 와이어로 연결시켜주는 와이어본딩공정, 반도체칩의 내부회로와 그 외의 구성부품을 보호하기 위하여 봉지재로 외부를 감싸는 몰딩공정, 리드와 리드를 연결하고 있는 댐바를 커팅하는 트림공정 및 리드를 원하는 형태로 구부리는 포밍공정, 상기 공정을 거쳐 완성된 패키지의 불량을 검사하는 공정으로 이루어진다.

리드 프레임의 패드에 다이를 접착하는 다이본딩 공정은 상세하게는 각각의 반도체 제작공장에서 최종적으로 각기 다른 장비를 이용하여 정밀검사를 한 웨이퍼의 각 다이중에 선정된 다이만을 픽업하여 리드프레임의 패드에 접착하는 공정이 다.

일예로, 다이본더에 웨이퍼를 공급하는 방법은 웨이퍼를 내장한 카세트를 카세트 반송장치에 장착한 후, 각각의 웨이퍼를 카세트 처리 시스템에 의해 카세트를 하나씩 하강하여 웨이퍼링 테이블에 로딩 및 언로딩 한후, 이 웨이퍼 카세트에서 하나씩 웨이퍼를 꺼내어 처리하게 된다.

이때, 일반적으로, 이러한 처리공정상에서 다수의 웨이퍼를 적치하여 운반하는 카세트 반송장치는 가세트를 설정된 후프 오프너 테이블과 같은, 웨이퍼링 테이블에 로딩 및 언로딩하기 위해 직선이동부를 매개로 직선방향으로 이동한 후, 상하이동부를 매개로 승하강시키는 상하이동부를 구비하고 있다.

상기한 종래의 카세트 반송 처리에 의하면, 상기 카세트 반송 시, 상기 웨이퍼링 테이블에 로딩한 후, 다른 비어있는 웨이퍼 이송용 셔틀의 상하이동부를 통해 상기 카세트를 파지하여 리프트업하고, 또 다른 웨이퍼 이송용 셔틀을 매개로 새로운 카세트를 픽업하여 웨이퍼링 테이블에 로딩하게 한다.

그러나, 이러한 로딩-언로딩방식은 카세트를 이동시키는데 시간이 많이 걸리게 되어 제조수율을 저하시키는 요인이 되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로써 구체적으로, 웨이퍼를 카세트 승하강장치에서 웨이퍼링 테이블로 효율적으로 로딩 및 언로딩시킬 수 있는 직동수단을 갖는 카세트 처리 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 카세트 처리 시스템은, 카세트 이송용 셔틀을 직선방향으로 이동시키는 직선이동부를 매개로 웨이퍼링 테이블에 로딩 및 언로딩하는 카세트 처리 시스템에 관한 것으로서, 상기 직선이동부의 하부에 결합된 카세트 이송용 셔틀을 상하로 이동시키는 상하이동부와, 상기 상하이동부에 의해 상하로 이동하는 카세트를 임시로 반입 및 반출하기 위한 다수의 프레임에 의해 사각틀 형상으로 형성된 측방의 버퍼수단에 대하여 진퇴이동하되, 상기 카세트 이송용 셔틀에 현가된 카세트의 하부를 받치는 선반부재를 진퇴이동하는 제1 직동수단을 구비하고, 상기 제1 직동수단은, 상기 선반부재의 일측에 일단이 지지되고, 타단은 상기 카세트 이송용 셔틀에 고정된 제1 서보 모터와, 상기 제1 서보 모터의 구동축에 결합된 제1 피니언의 회동에 연동하여 좌우이동하도록 기어 맞물림 결합된 제1 구동 랙부재와, 상기 제1 구동 랙부재의 좌우방향 이동력에 의해 회전되는 전동 피니언 쌍의 회전운동을 직선운동으로 전환하되, 상기 제1 구동 랙부재의 이동력을 상기 선반부재에 전달하도록 상기 제1 구동 랙부재의 상하 대응면에 배열된 제1 및 제2 지지 랙부재와 이 제1 및 제2 지지 랙부재 사이에 개재되고 상기 제1 구동 랙부재에 회전 가능하게 양단측에 이격되어 지지되고, 전동부재가 상호 걸어감김 결합된 전동 피니언 쌍으로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 카세트 이송용 셔틀의 중앙 일측에는 상기 버퍼수단에 대하여 진퇴이동 가능한 제2 구동 랙부재와 이 제2 구동 랙부재와 기어 맞물림 결합하는 제2 피니언을 회전구동하는 제2 서보모터가 고정결합되고, 상기 제2 서보모터의 제2 구동 랙부재는 상기 버퍼수단에 배치된 카세트 파지용 파워척기구를 작동하기 위한 작동력을 인가하며, 상기 파워척기구는, 상기 버퍼수단의 상측에 상기 카세트의 상부 걸림턱을 양측에서 조임 및 조임해제하도록 중앙의 힌지축을 중심으로 회동하는 단면이 L 자 형상의 조임블록 쌍과, 상기 조임블록 쌍의 상측이 회동 가능하게 지지된 조임 액츄에이터 링크 쌍과, 상기 조임 액츄에이터 쌍의 중앙에 회동 가능하게 결합되고, 상기 제2 구동 랙부재의 끝단에 결합된 푸시로드로 이루어지도록 구성함이 바람직하다.

또, 상기 제2 구동 랙부재는 제2 서보모터의 제2 피니언의 회전에 연동하여 직선운동하는 제2 구동 랙부재의 이동을 가이드하도록 상기 카세트 이송용 셔틀의 중앙 일측에 고정된 리니어가이드를 추가로 구비함이 바람직하다.

이에 본 발명의 구성을 첨부된 도면에 의하여 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예를 적용한 카세트 처리 시스템을 개략적으로 나타낸 정면 구조도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 1의 카세트 처리 시스템에서 카세트가 버퍼수단으로 반송되는 상태를 개략적으로 나타낸 정면 구조도이며, 도 3은 도 2에서 화살표 A 방향에서 바라보아 도시한 제1 구동 랙부재와 제1 및 제2 지지 랙부재의 좌우이동을 위한 제1 직동수단의 구조를 상세하게 나타내기 위한 저면 구조도와 좌우 이동을 나타내기 위한 우측이동 및 좌측이동상 상태 도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 카세트의 반입 및 반출을 위한 제1 직동수단과 카세트의 파지를 위한 제2 직동수단을 정면에서 바라보아 도시한 개략적인 정면 구조도이며, 도 5는 도 4에 도시된 카세트 처리 시스템의 우측 파지 구조를 B방향에서 하방향으로 바라보아 도시한 평면 구조도이고, 도 6는 도 4에 도시된 카세트 처리 시스템의 카세트 파지 구조를 C방향에서 하방향으로 바라보아 도시한 측면 구조도이며, 도 7은 상기 선반부재에 배치된 제2 파워척기구를 도시하기 위한 일부 발췌 구조도이고, 도 8은 도 7의 D방향에서 바라보아 도시한 측면 구조도이다.

도 1은 카세트 처리 시스템을 보여주는 사시도이다.

상기한 카세트 반송장치로서의 카세트 이송용 셔틀을 직선방향으로 이동시키는 직선이동부(130)를 매개로 웨이퍼링 테이블에 로딩 및 언로딩하는 카세트 처리 시스템은, 상기 직선이동부(130)의 하부에 결합된 카세트 이송용 셔틀(110)을 상하로 이동시키는 상하이동부(120)와, 상기 상하이동부(120)에 의해 상하로 이동하는 카세트(10)를 임시로 반입 및 반출하기 위한 다수의 프레임(F)에 의해 사각틀 형상으로 형성된 측방의 버퍼수단(200)에 대하여 진퇴이동하되, 상기 카세트 이송용 셔틀(110)에 현가된 카세트(10)의 하부를 받치는 선반부재(500)를 진퇴이동하는 제1 직동수단(300)을 구비한 카세트 반송장치(100)를 포함하는 카세트 처리 시스템에 구축되어 있다.

또, 상기 제1 직동수단(300)은, 상기 선반부재(500)의 일측에 일단이 지지되고, 타단은 상기 카세트 이송용 셔틀(110)에 고정된 제1 서보 모터(310)와, 상기 제1 서보 모터(310)의 구동축에 결합된 제1 피니언(320)의 회동에 연동하여 좌우이동하도록 기어 맞물림 결합된 제1 구동 랙부재(330)와, 상기 제1 구동 랙부재(330)의 좌우방향 이동력에 의해 회전되는 전동 피니언 쌍(R1, R2)의 회전운동을 직선운동으로 전환하되, 상기 제1 구동 랙부재(330)의 이동력을 상기 선반부재(500)에 전달하도록 상기 제1 구동 랙부재(330)의 상하 대응면에 배열된 제1 및 제2 지지 랙부재(340, 350)와 이 제1 및 제2 지지 랙부재(340, 350) 사이에 개재되고 상기 제1 구동 랙부재(330)에 회전 가능하게 양단측에 이격되어 지지되고, 전동부재(T)가 상호 걸어감김 결합된 전동 피니언 쌍(R1, R2)으로 구성되어 있다.

다시 말해서, 상기 전동 피니언 쌍(R1, R2)의 일측 제1 전동 피니언(R1)은 상기 제1 구동 랙부재(330)의 일측에 고정 배치된 제1 지지 랙부재(340)에 기어 맞물림 결합되고, 타측 제2 전동 피니언(R2)은 상기 제1 전동 피니언(R1)과 상호 걸어맞춤 결합된 전동부재(T)에 의해 전동 회전되어 상기 제1 구동 랙부재(330)의 좌우방향 이동에 연동하여 이동되도록 상기 제1 지지 랙부재(340)의 대향측에서 상기 제2 전동 피니언(R2)과 기어 맞물림 결합되는 제2 지지 랙부재(350)가 선반부재(500)의 일측에 고정배치된 구성으로 되어 있는 것이다.

또한, 상기 카세트 이송용 셔틀(110)의 중앙 일측에는 상기 버퍼수단(200)에 대하여 진퇴이동 가능한 제2 구동 랙부재(430)와 이 제2 구동 랙부재(430)와 기어 맞물림 결합하는 제2 피니언(420)을 회전구동하는 제2 서보모터(410)가 고정결합되고, 상기 제2 서보모터(410)의 제2 구동 랙부재(430)는 상기 버퍼수단(200)에 배치된 카세트 파지용 제1 파워척기구(600)를 작동하기 위한 작동력을 인가하도록 상기 제2 서보모터(410)에 의해 구동되도록 구성되어 있다.

또, 상기 제1 파워척기구(600)는, 상기 버퍼수단(200)의 상측에 상기 카세트(10)의 상부 걸림턱(11)을 양측에서 조임 및 조임해제하도록 중앙의 제1 힌지축(P1)을 중심으로 회동하는 단면이 L자 형상의 제1 조임블록 쌍(610, 610)과, 상기 제1 조임블록 쌍(610, 610)의 상측이 회동 가능하게 지지된 제1 조임 액츄에이터 링크 쌍(620, 620)과, 상기 제1 조임 액츄에이터 쌍(620, 620)의 중앙에 힌지회동 가능하게 결합되고, 상기 제2 구동 랙부재(430)의 끝단에 결합된 푸시로드(630)로 이루어져 있다.

또한, 상기 제2 구동 랙부재(430)는 제2 서보모터(410)의 제2 피니언(420)의 회전에 연동하여 직선운동하는 제2 구동 랙부재(430)의 이동을 가이드하도록 상기 카세트 이송용 셔틀(110)의 중앙 일측에 고정된 리니어가이드(440)에 접속되어 있다.

또, 상기 선반부재(500)는, 상기 카세트 이송용 셔틀(110)의 상하이송부(120)의 현가기구(121)의 현가력이 해지되거나, 상기 버퍼수단(200)의 제1 파워척기구(600)의 파지력이 해지되어, 상기 버퍼수단(200)에 대하여 반입 및 반출 작동을 조력하도록 카세트(10)의 바닥을 재치하는 제2 파워척기구(700)를 구비하고, 상기 제2 파워척기구(700)는, 상기 카세트(10)의 하부를 양측에서 조임 및 조임해제하도록 상기 선반부재(500)의 양측 블록 쌍의 중앙의 제2 힌지축(P2)을 중심으로 회동하는 단면이 L자 형상의 제2 조임블록 쌍(710)과, 상기 제2 조임블록 쌍(710)이 힌지회동 가능하게 결합되고, 상기 제 선반부재(500)의 양측 블록(510)에 회전 가능하게 지지된 회전로드(720)와, 상기 회전로드(720)를 회전 구동하도록 상기 선반부재(500)의 양측에 결합된 제4 서보 모터(740)와, 상기 제4 서보 모터(740)와 상기 회전로드(720) 사이에 걸어 감김 결합된 전동부재(730)로 이루어져 있다.

또, 상기 버퍼수단(200)에는, 상기 카세트 이송용 셔틀(110)에 현가된 카세트(10)의 하부를 받치면서 진퇴이동하는 선반부재(500)가 배치되는 바, 상기 선반부재(500)의 제2 지지 랙부재(350)와 함께 연계 동작하도록 구성되어 있다.

또, 상기 상하이동부(120)는 상기 웨이퍼 카세트(10)가 장착되는 상부 클립을 파지하는 기존의 현가기구(121)를 매개로 상하로 이동시키고, 이미 픽업이 완료된 웨이퍼를 삽입하는 삽입구가 상기 카세트 이송용 셔틀(110)로 향하는 상태에서 상기 버퍼수단(200)의 프레임(F) 내부로 반입 및 반송되도록 처리함이 바람직하다.

상기 카세트 처리 시스템과 카세트(10)를 재치하는 선반부재(500)를 이동시키는 제1 직동수단은, 유공압 파워실린더를 통해, 일직선상으로 이동시키도록 제2 지지 랙부재(350)를 직동 가능하게 구성해도 좋다.

미설명 부호(601)는 카세트 파지 고정유지용 스프링이고, 부호(G1, G2)는 전동 피니언 쌍(R1, R2)의 구름 이동력을 조력하기 위한 가이드 피니언 쌍이다.

따라서, 상기 카세트(10)를 임시로 반입 및 반출하기위한 버퍼수단(200)에 대하여 진퇴이동하기 위한 제1 직동수단(300)에 통해, 상기 상하이동부(120)를 포함하는 카세트 반송장치(100)의 카세트(10)를 한 개 픽업한 후, 일예로, 상기 제2 지지 랙부재(350)의 도면상 우측방향 이동에 따라 상기 버퍼수단(200)으로 이송하여 카세트(10)를 반입시킨다.

한편, 웨이퍼링 테이블에 있던 웨이퍼 처리가 완료되면, 이 웨이퍼를 담은 카세트(10)를 픽업하여 이 픽업이 완료되면 상기 카세트 이송용 셔틀(110)의 상하이동부(120)를 매개로 상기 카세트(10)를 파지하여 상기 카세트 이송용 셔틀(110)로 리프트업하되, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 셔틀(110)의 다른 쪽에 버퍼수단(200)을 두어, 이 다른 쪽의 버퍼수단(200)에 상기 제1 구동 랙부재(330)을 상기한 방향과 역방향으로 이동시켜 상기 카세트(10)를 반입한 후, 버퍼수단(200)의 제1 파워척기구(600)의 제1 조임블록(610)을 도 4의 하부 도면과 같이 조임작동시켜 피처리될 웨이퍼 카세트(10)를 안전하게 버퍼링 시킨다.

이때, 상기 제1 조임블록 쌍(610, 610)을 조임작동시키기 위해서는, 상기 제2 구동 랙부재(430)를 상기 버퍼수단(200) 쪽에서 상기 셔틀(110) 쪽으로 축소 이동시키고, 이 축소 이동에 의해 제1 조임 액츄에이터 링크 쌍(620, 620)이 일자형으로 변환 이동되면서 시이소오 운동하는 조임블록 쌍(610, 610)이 상부가 상호 멀어지면서 하부는 조임작동하도록 운동하게 되는 것이다.

물론, 상기 제1 구동 랙부재(330)의 상기 제1 직동수단(300)의 제1 서보모터(310)를 정방향으로 회전시키면서 상기 카세트를 반출시킨 후, 상기 상하이동부(120)를 통해 상기 웨이퍼링 테이블로 하강하여 새로운 카세트(10)를 로딩하게 된다.

한편, 대향측의 버퍼수단(200)의 피처리될 웨이퍼 카세트(10)를 재차 상기 카세트 이송용 셔틀(110)로 상기 제1 직동수단(300)의 제1 서보모터(310)를 역방향으로 2배 회전시키면서 반입시킨 후, 상기 대향측의 버퍼수단(200)의 제1 조임블록 쌍(610, 610)으로 카세트(10)를 현가 지지하여 버퍼링 시키는 것이다.

본 발명에 의하면, 상기 지지 랙부재(350)는 상기 선반부재(500)의 양측에는 배열되어 상하 이동이 원활하도록 설치됨이 바람직하다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 작동예를 상세하게 설명한다.

도2 는 본 발명에 따른 카세트 처리 시스템을 보여주는 정면 구조도이다.

도시된 바와 같이, 버퍼수단(200)을 갖는 카세트 처리 시스템는 카세트(10)를 재치하여 이동시키는 선반부재(500)와 이 선반부재(500)를 일직선상으로 이동시키는 제1 직동수단(300)과, 상기 선반부재에 의해 버퍼수단(200)으로 반입된 카세트를 파지하는 제1 파워척기구(600) 및 버퍼수단(200)의 몸체를 이루는 직방형 프레임틀로 구성된다.

상기 제1 직동수단(300)의 제1 서보 모터(310)와 이 모터(310)의 회전력을 제1 피니언(320)을 통해 전달받는 제1 구동 랙부재(330)로 구성되고, 이 제1 구동 랙부재(330)의 이동력에 의해 고정된 제1 지지 랙부재에 기어맞물림된 제1 전동 피니언(R1)의 회전력을 전동부재(T)를 매개로 전달받아 회전되는 제2 전동 피니언(R1)의 회전력을 직선이동으로 전환하여 좌우 이동 가능하게 전동되도록 제2 지지 랙부재(350)가 배치되어 있기 때문에, 상기 제1 서보 모터(310)의 회전에 따라 리니어 이동하는 제1 구동 랙부재(330)가 직선이동하면서 이에 전동하는 상기 제2 지지 랙부재(350)를 상기 버퍼수단(200)으로 직선 이동시켜 넘어가게 함으로써, 안전하게 버퍼수단(200)으로 선반부재(500)에 재치된 카세트(10)가 연동하여 이송되 게 되는 것이다.

또한, 상기 버퍼수단(200)에 카세트(10)를 픽업한 후, 제2 서보 모터(410)가 구동하면 제2 피니언(420)이 역회전하게 되고 이 제2 피니언(420)에 연동하는 제2 구동 랙부재(430)가 리니어 이동하면서, 상기 제1 파워척기구(600)의 푸시로드(630)를 잡아당겨 도 4의 하부에 도시된 바와 같이, 상기 버퍼수단(200)의 상부에 배치된 제1 파워척기구(600)를 매개로 현가 지지되게 되어 버퍼링 되는 것이다.

또, 상기 카세트(10)를 버퍼수단(200)으로부터 빼내오기 위해서는, 상기한 작동의 역순으로 제2 서보 모터(420)를 정회전하게 되면, 상기 제1 파워척기구(600)의 푸시로드(630)를 밀어 도 4의 상부에 도시된 바와 같이, 상기 조임블록 쌍(610, 610)의 조임 작동이 해제되게 되어 이동 가능한 상태가 되게 되는 것이다.

이때, 상기 카세트(10) 하부의 선반부재(500)에 설비된 제2 파워척기구(700)의 제2 조임블록 쌍(710)이 도 5의 중앙부에 도시된 바와 같이, 직교 상태로 회동함으로써, 상기 카세트(10)를 리프트업시켜 이동이 원활한 상태로 전환되게 되는 것이다.

따라서, 상기 버퍼수단(200)을 이중의 버퍼 영역으로 설정하게 되면, 상기 버퍼수단(200)으로부터 웨이퍼링 테이블까지의 로딩 시간, 그리고 웨이퍼링 테이블에서 재차 다른 처리영역까지의 로딩 처리 시간을 대폭 절감시킨다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 버퍼수단(200)을 갖는 카세트 처리 시스템은 카세트(10)에서 웨이퍼링 테이블까지의 로딩 및 언로딩하는 시간을 대폭 줄여 생산성 향상의 효과가 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예를 적용한 카세트 처리 시스템을 개략적으로 나타낸 정면 구조도,

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 1의 카세트 처리 시스템에서 카세트가 버퍼수단으로 반송되는 상태를 개략적으로 나타낸 정면 구조도,

도 3은 도 2에서 화살표 A 방향에서 바라보아 도시한 제1 구동 랙부재와 제1 및 제2 지지 랙부재의 좌우이동을 위한 제1 직동수단의 구조를 상세하게 나타내기 위한 저면 구조도와 좌우 이동을 나타내기 위한 우측이동 및 좌측이동상 상태도,

도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 카세트의 반입 및 반출을 위한 제1 직동수단과 카세트의 파지를 위한 제2 직동수단을 정면에서 바라보아 도시한 개략적인 정면 구조도,

도 5는 도 4에 도시된 카세트 처리 시스템의 우측 파지 구조를 B방향에서 하방향으로 바라보아 도시한 평면 구조도,

도 6는 도 4에 도시된 카세트 처리 시스템의 카세트 파지 구조를 C방향에서 하방향으로 바라보아 도시한 측면 구조도,

도 7은 상기 선반부재에 배치된 제2 파워척기구를 도시하기 위한 일부 발췌 구조도, 및

도 8은 도 7의 D방향에서 바라보아 도시한 측면 구조도.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 카세트 110 : 카세트 이송용 셔틀

120 : 상하이동부 130 : 직선이동부

200 : 버퍼수단

300 : 제1 직동수단 310 : 제1 서보 모터

320 : 제1 피니언 330 : 제1 구동 랙부재

350 : 제2 지지 랙부재 410 : 제2 서보 모터

420 : 제2 피니언 430 : 제2 구동 랙부재

500 : 선반부재 600 : 제1 파워척기구

610 : 제1 조임블록 620 : 제1 조임 액츄에이터 링크

630 : 푸시 로드

Claims (4)

1. 카세트 이송용 셔틀을 직선방향으로 이동시키는 직선이동부를 매개로 웨이퍼링 테이블에 로딩 및 언로딩하는 카세트 처리 시스템에 있어서,

   상기 직선이동부의 하부에 결합된 카세트 이송용 셔틀을 상하로 이동시키는 상하이동부와, 상기 상하이동부에 의해 상하로 이동하는 카세트를 임시로 반입 및 반출하기 위한 다수의 프레임에 의해 사각틀 형상으로 형성된 측방의 버퍼수단에 대하여 진퇴이동하되, 상기 카세트 이송용 셔틀에 현가된 카세트의 하부를 받치는 선반부재를 진퇴이동하는 제1 직동수단을 구비하고,

   상기 제1 직동수단은,

   상기 선반부재의 일측에 일단이 지지되고, 타단은 상기 카세트 이송용 셔틀에 고정된 제1 서보 모터와,

   상기 제1 서보 모터의 구동축에 결합된 제1 피니언의 회동에 연동하여 좌우이동하도록 기어 맞물림 결합된 제1 구동 랙부재와,

   상기 제1 구동 랙부재의 좌우방향 이동력에 의해 회전되는 전동 피니언 쌍의 회전운동을 직선운동으로 전환하되, 상기 제1 구동 랙부재의 이동력을 상기 선반부재에 전달하도록 상기 제1 구동 랙부재의 상하 대응면에 배열된 제1 및 제2 지지 랙부재와 이 제1 및 제2 지지 랙부재 사이에 개재되고 상기 제1 구동 랙부재에 회전 가능하게 양단측에 이격되어 지지되고, 전동부재가 상호 걸어감김 결합된 전동 피니언 쌍으로 구성된 것을 특징으로 하는 카세트 처리 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 카세트 이송용 셔틀의 중앙 일측에는 상기 버퍼수단에 대하여 진퇴이동 가능한 제2 구동 랙부재와 이 제2 구동 랙부재와 기어 맞물림 결합하는 제2 피니언을 회전구동하는 제2 서보모터가 고정결합되고,

   상기 제2 서보모터의 제2 구동 랙부재는 상기 버퍼수단에 배치된 카세트 파지용 제1 파워척기구를 작동하기 위한 작동력을 인가하며,

   상기 제1 파워척기구는,

   상기 버퍼수단의 상측에 상기 카세트의 상부 걸림턱을 양측에서 조임 및 조임해제하도록 중앙의 제1 힌지축을 중심으로 회동하는 단면이 L자 형상의 제1 조임블록 쌍과,

   상기 제1 조임블록 쌍의 상측이 회동 가능하게 지지된 제1 조임 액츄에이터 링크 쌍과,

   상기 제1 조임 액츄에이터 쌍의 중앙에 힌지회동 가능하게 결합되고, 상기 제1 구동 랙부재의 끝단에 결합된 푸시로드로 이루어진 것을 특징으로 하는 카세트 처리 시스템.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 제2 구동 랙부재는 제2 서보모터의 제2 피니언의 회전에 연동하여 직선 운동하는 제2 구동 랙부재의 이동을 가이드하도록 상기 카세트 이송용 셔틀의 중앙 일측에 고정된 리니어가이드를 추가로 구비한 것을 특징으로 하는 카세트 처리 시스템.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 선반부재는,

   상기 카세트 이송용 셔틀의 상하이송부의 현가력이 해지되거나, 상기 버퍼수단의 파워척기구의 파지력이 해지되어, 상기 버퍼수단에 대하여 반입 및 반출 작동을 조력하도록 카세트의 바닥을 재치하는 제2 파워척기구를 구비하고,

   상기 제2 파워척기구는,

   상기 제2 파워척기구는,

   상기 카세트의 하부를 양측에서 조임 및 조임해제하도록 상기 선반부재의 양측 블록 쌍의 중앙의 제2 힌지축을 중심으로 회동하는 단면이 L자 형상의 제2 조임블록 쌍과,

   상기 제2 조임 액츄에이터 쌍이 힌지회동 가능하게 결합되고, 상기 제 선반부재의 양측 블록에 회전 가능하게 지지된 회전로드와,

   상기 회전로드를 회전 구동하도록 상기 선반부재의 양측에 결합된 제4 서보 모터와,

   상기 제4 서보 모터와 상기 회전 로드 사이에 걸어 감김 결합된 전동부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 카세트 처리 시스템.

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