KR20090051426A - 반도체 제조 설비의 원압 알람 처리 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조 설비의 복수 개의 처리 유닛으로 가스 및 약액을 공급하는 공급 라인의 원압 이상으로 발생되는 알람을 처리하는 원압 알람 처리 방법에 관한 것이다. 반도체 제조 설비는 가스 및 약액들을 공급하는 공급 라인의 원압 이상에 의한 알람 발생 시에도 처리 유닛에 공급된 웨이퍼의 손실을 방지하기 위하여, 원압 이상에 의한 알람 모드를 정의한다. 본 발명의 알람 모드는 알람 발생 시 알람 정보만을 디스플레이하는 제 1 알람 모드와, 알람 발생 시, 모든 처리 유닛들을 중지시키는 제 2 알람 모드 및, 알람이 발생되면, 알람 발생 전에 웨이퍼가 공급되어 공정이 진행 중인 처리 유닛은 계속해서 공정 처리를 진행하고, 공정 완료후 웨이퍼를 대기시키는 제 3 알람 모드를 포함한다. 따라서 제 3 알람 모드는 처리 유닛에 공급된 웨이퍼를 약액에 의해 정상적으로 공정 처리 가능한 경우에 처리된다. 본 발명에 의하면, 원압 이상에 의한 알람 발생 시, 웨이퍼의 손실을 최소화할 수 있다.

반도체 제조 설비, 처리 유닛, 원압 이상, 알람 모드, 웨이퍼 손실 방지

Description

반도체 제조 설비의 원압 알람 처리 방법{METHOD FOR PROCESSING ALARM MODE BY ABNORMAL CONDITION OF SUPPLYING PRESSURE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT}

본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 반도체 제조 설비의 복수 개의 처리 유닛으로 가스 및 약액을 공급하는 공급 라인의 원압 이상으로 발생되는 알람을 처리하는 원압 알람 처리 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 설비는 복수 매의 웨이퍼들이 수납된 캐리어 예를 들어 FOUP, 카세트 등을 이용하여 다양한 단위 공정들을 처리하는 처리 유닛으로 웨이퍼를 공급한다.

예를 들어, 세정, 식각, 린스 및 건조 공정을 처리하는 반도체 제조 설비는 매엽식 설비로, 전면의 로드 포트(load port)에 복수 개의 캐리어가 장착되고, 인덱스(index)에 설치된 이송 로봇을 이용하여 세정, 식각, 린스 또는 건조 공정을 각각 처리하는 복수 개의 처리 유닛(또는 공정 챔버)들로 웨이퍼를 공급한다. 또 반도체 제조 설비는 처리 유닛들로 다양한 가스 및 약액들을 공급하여 세정, 식각, 린스 또는 건조 공정을 처리한다.

이를 위해 반도체 제조 설비는 제반 동작을 제어하는 설비 제어부(예를 들어, 컴퓨터, 터치 스크린 등)를 구비하고, 이를 통해 공정 레시피 등을 설정하거나, 현재 공정 진행 상황 등을 모니터링한다. 예를 들어, 공정 진행 상황은 공정 시작과, 공정 종료와, 오동작, 웨이퍼 유무 등에 따른 에러 및, 현재 진행되는 공정 레시피의 내용 등이 포함된다.

이 때, 설비 제어부는 가스 및 약액들을 공급하는 공급 라인을 실시간으로 감지하여 압력 이상이 발생되는 경우, 외부로 알람을 발생한다. 이를 위해 설비 제어부는 알람이 발생되면, 알람을 처리하기 위한 복수 개의 알람 모드를 구비한다. 예를 들어, 알람 모드는 사용자에게 알람 정보만을 디스플레이하고, 런은 계속해서 진행하는 DisplayOnly 모드와, 알람 발생 시 공정을 처리하는 모든 유닛들을 중지시키는 EMG(Emergency)-Stop 모드를 포함한다. DisplayOnly 모드는 반도체 제조 설비의 조립 및 설치에 처리되고, EMG(Emergency)-Stop 모드는 실제 공정 진행시 처리된다.

이러한 알람 모드는 가스 및 약액의 공급단 압력 즉, 원압 이상으로 인한 알람이 발생될 때, DisplayOnly 모드 또는 EMG(Emergency)-Stop 모드로 알람을 처리함으로써, 알람 발생 전에 처리 유닛으로 공급된 웨이퍼가 손상되는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 반도체 제조 설비의 복수 개의 처리 유닛으로 가스 및 약액을 공급하는 공급 라인의 원압 이상으로 발생되는 알람을 처리하는 원압 알람 처리 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 원압 이상으로 발생되는 알람 모드를 정의하고, 이를 처리하는 반도체 제조 설비의 원압 알람 처리 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 공정 진행 중인 웨이퍼의 손실을 방지하기 위해반도체 제조 설비의 원압 이상으로 발생되는 알람을 처리하는 원압 알람 처리 방법을 제공하는 것이다.

상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 원압 알람 처리 방법은 원압 이상에 의한 알람 발생 전에 반도체 제조 설비의 처리 유닛에 공급된 웨이퍼의 손상을 방지하기 위하여, 새로운 웨이퍼의 공급은 중지하고, 기존에 공급된 웨이퍼는 계속해서 공정 처리하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 방법은 복수 개의 처리 유닛들을 구비하는 반도체 제조 설비의 원압 알람 처리 방법을 제공한다. 이 방법에 의하면, 상기 처리 유닛들로 가스 및/또는 약액을 공급하는 적어도 하나의 공급 라인의 원압을 실시간으로 감지한다. 상기 공급 라인의 원압 이상에 의한 알람이 발생되면, 상기 처리 유닛들로 웨이퍼의 공급을 중지하고, 동시에 상기 처리 유닛들 중 상기 알람 발생 이전에 웨이퍼가 공급되어 상기 약액을 이용하여 공정 처리 중인 처리 유닛은 웨이퍼를 정상적으로 공정 처리 완료시켜서 대기한다. 상기 알람을 조치한다. 이어서 상기 처리 유닛들로 웨이퍼를 공급하고, 상기 대기 중인 웨이퍼는 회수한다.

한 실시예에 있어서, 상기 원압 알람 처리 방법은; 상기 공급 라인의 원압 이상이 발생되어도, 상기 약액에 의해 정상적으로 공정 처리 가능한 경우에 처리하고; 그리고 상기 공급 라인의 원압 이상이 발생되어 정상적으로 공정 처리 불가능한 경우에는 알람 정보를 출력하거나, 상기 반도체 제조 설비의 공정 처리를 중지시킨다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 원압 알람 처리 방법은 원압에 의한 알람이 발생되면, 반도체 제조 설비의 처리 유닛으로 새로운 웨이퍼의 공급은 중지하고, 기존에 공급된 웨이퍼는 계속해서 공정 처리하게 함으로써, 원압 이상에 의한 알람 발생 전에 반도체 제조 설비의 처리 유닛에 공급된 웨이퍼의 손상을 최소화할 수 있다.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

이하 첨부된 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 구성을 도시한 도면이다.

도 1을 참조하면, 반도체 제조 설비(100)는 예를 들어, 세정, 식각, 린스 및 건조 공정 등을 처리하는 웨트 스테이션(wet sation) 또는 매엽식 식각 장치로, 반도체 제조 설비의(100) 전면에 배치되어 복수 개의 캐리어(102)들이 로딩 및 언로딩되는 로드 포트(101)와, 각각의 캐리어(102)들로부터 웨이퍼를 인출하는 적어도 하나의 이송 로봇(106)이 구비되는 인덱스(104)와, 이송 로봇(106)으로부터 웨이퍼를 공급받아서 공정을 처리하는 복수 개의 처리 유닛(110 ~ 120)으로 공급하기 위해 임시로 저장하는 버퍼(108)와, 공정을 처리하는 복수 개의 처리 유닛(SCR1 ~ SCR6)(또는 공정 챔버)(110 ~ 120)들 및, 처리 유닛(110 ~ 120)들 사이에 배치되어, 적어도 하나의 이송 로봇(124)을 구비하고, 이송 로봇(124)을 통해 처리 유닛(110 ~ 120)들 및 버퍼(108)로 웨이퍼를 공급하거나 회수하는 기판 이송부(122)를 포함한다.

또 반도체 제조 설비(100)는 세정, 식각, 린스 및 건조 공정 등을 처리하기 위하여 처리 유닛(110 ~ 120)들로 가스(예를 들어, 질소, 에어 등) 및 약액(예를 들어, 케미컬, 순수 등)들을 공급하는 복수 개의 공급 라인들(140)과, 각각의 공급 라인들(140)에 설치되어, 각 공급 라인들(140)의 공급 압력(즉, 원압)을 실시간으로 감지하는 복수 개의 센서들(130 : 132 ~ 138) 및, 반도체 제조 설비(100)의 제반 동작을 제어하고, 특히 센서들(130)과 전기적으로 연결되어, 공급 라인(140)을 실시간으로 모니터링하고 공급 라인(140)의 원압 이상에 의한 알람이 발생되면 알 람을 처리하도록 제어하는 설비 제어부(150)를 구비한다.

그리고 설비 제어부(150)는 예를 들어, 클러스터 툴 컨트롤러(Cluster Tool Controller : CTC)로 구비되어, 센서들(130)로부터 공급 라인들(140)의 원압을 실시간으로 감지하도록 제어하여 모니터링하고, 센서들(130) 중 적어도 어느 하나로부터 원압에 이상이 발생되면, 본 발명에 따른 알람 모드를 정의하고, 이를 처리한다.

즉, 본 발명의 알람 모드는 사용자에게 알람 정보만을 디스플레이하고, 런은 계속해서 진행하는 DisplayOnly 모드와, 알람 발생 시 공정을 처리하는 모든 유닛들을 중지시키는 EMG(Emergency)-Stop 모드 및, 알람 발생 전에 처리 유닛으로 공급된 웨이퍼의 손상을 방지하기 위하여, 새로운 웨이퍼의 공급은 중지하고, 기존에 공급된 웨이퍼는 계속해서 공정 처리하는 CycleStop 모드를 포함한다. DisplayOnly 모드는 반도체 제조 설비(100)의 조립 및 설치에 처리되고, EMG(Emergency)-Stop 모드는 실제 공정 진행시 처리된다. 그리고 CycleStop 모드는 처리 유닛에 공급된 가스 및 약액에 의해 공정을 계속해서 진행해도 정상 처리가 가능한 경우에 처리된다. 이는 원압에 이상이 발생되어도 이미 처리 유닛으로 가스 및 약액들이 공급되어 있기 때문에, 정상적인 처리가 가능하다.

따라서 기존에는 알람 발생 시, 공정 처리 중인 처리 유닛에 가스 및 약액이 이미 공급 완료된 상태이더라도 모든 처리 유닛들의 동작을 중지시키기 때문에, 공정 처리 중인 처리 유닛에 공급된 웨이퍼가 손상된다. 그러나 본 발명에서는 가스 및 약액이 이미 공급 완료된 상태의 처리 유닛에 공급된 웨이퍼는 계속해서 공정 처리가 가능하므로, 원압에 의한 알람이 발생되어도 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있다.

계속해서 도 2는 도 1에 도시된 반도체 제조 설비의 원압 알람 발생 시의 동작 수순을 나타내는 흐름도이다.

도 2를 참조하면, 단계 S200에서 원압 알람에 대한 복수 개의 알람 모드를 설비 제어부(150)에 정의한다.

단계 S202에서 복수 개의 처리 유닛(110 ~ 120)으로 공정 처리에 필요한 가스(예를 들어, 질소, 에어 등) 및 약액(예를 들어, 케미컬, 순수 등)들을 공급하는 복수 개의 공급 라인들(140)에 설치된 센서들(130)을 이용하여 각 공급 라인(140)의 공급 압력(원압)을 실시간으로 감지하여 모니터링한다.

단계 S204에서 모니터링 중 원압 이상으로 알람이 발생되면, 단계 S206에서 처리 유닛(110 ~ 120)으로 웨이퍼 공급을 중지하고, 동시에 공정 처리 중인 처리 유닛의 웨이퍼는 공정 처리 완료 후, 처리 유닛에 대기한다.

단계 S208에서 알람 발생 원인을 제거하기 위한 조치(알람 트리트)를 처리한다. 예를 들어, 알람 트리트(alarm treat)는 설비 제어부(150)의 알람 정보를 표시하는 프로그램 창(window)에서 처리되며, 원압 복구 후, 반도체 제조 설비(100)는 재시동된다. 이 때, 알람 정보는 알람이 발생된 유닛 명칭, 알람 명칭, 알람 발생 원인, 알람 조치 사항 및 알람 리스트 등을 표시한다.

이어서 단계 S210에서 알람 원인이 제거되면, 이송 로봇(124)을 제어하여 처리 유닛(110 ~ 120)으로 웨이퍼 공급시키고, 처리 유닛(110 ~ 120)에 대기 중인 웨 이퍼는 수거 후, 새로운 웨이퍼를 공급시킨다.

이상에서, 본 발명에 따른 원압 이상에 의한 알람을 처리하는 반도체 제조 설비의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 구성을 도시한 도면; 그리고

도 2는 도 1에 도시된 반도체 제조 설비의 원압 알람 발생 시의 동작 수순을 나타내는 흐름도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

100 : 반도체 제조 설비 101 : 로드 포트

102 : 캐리어(카세트) 104 : 인덱스

106, 124 : 이송 로봇 108 : 버퍼

110 ~ 120 : 처리 유닛 122 : 기판 이송부

130, 132 ~ 138 : 센서 140 : 공급 라인

150 : 설비 제어부(CTC)

Claims (2)

1. 복수 개의 처리 유닛들을 구비하는 반도체 제조 설비의 원압 알람 처리 방법에 있어서:

   상기 처리 유닛들로 가스 및/또는 약액을 공급하는 적어도 하나의 공급 라인의 원압을 실시간으로 감지하고;

   상기 공급 라인의 원압 이상에 의한 알람이 발생되면, 상기 처리 유닛들로 웨이퍼의 공급을 중지하고, 동시에 상기 처리 유닛들 중 상기 알람 발생 이전에 웨이퍼가 공급되어 상기 약액을 이용하여 공정 처리 중인 처리 유닛은 웨이퍼를 정상적으로 공정 처리 완료시켜서 대기하고;

   상기 알람을 조치하고; 이어서

   상기 처리 유닛들로 웨이퍼를 공급하고, 상기 대기 중인 웨이퍼는 회수하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 원압 알람 처리 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 원압 알람 처리 방법은;

   상기 공급 라인의 원압 이상이 발생되어도, 상기 약액에 의해 정상적으로 공정 처리 가능한 경우에 처리하고; 그리고

   상기 공급 라인의 원압 이상이 발생되어 정상적으로 공정 처리 불가능한 경우에는 알람 정보를 출력하거나, 상기 반도체 제조 설비의 공정 처리를 중지시키는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 원압 알람 처리 방법.

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