KR20090051405A - Laser process equipment - Google Patents

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KR20090051405A
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Abstract

본 발명에 따른 레이저 가공장치는 레이저 빔을 발진시키는 레이저 발진부; 레이저 발진부에서 발진된 레이저 빔을 소정의 빔 폭을 구비한 빔 프로파일의 에너지 밀도를 가지도록 변환하는 광학계; 광학계에서 변환된 레이저 빔이 투과되며, 투과된 레이저 빔이 내부에 배치된 공정대상물에 조사되는 챔버; 레이저 발진부와 챔버 사이에 배치되며, 레이저 빔을 반사시키는 반사기; 및 챔버로 조사되는 레이저 빔을 정렬하기 위한 레이저 빔 정렬유닛;을 구비하는 레이저 가공장치에 있어서, 레이저 빔 정렬유닛은, 반사기와 공정대상물 사이에 설치되어 레이저 빔의 진행 경로 상에 배치되며, 레이저 빔이 통과 가능하도록 레이저 빔의 단면적 보다 더 크게 관통 형성된 관통공이 형성된 정렬부재; 반사기에서 반사된 레이저 빔의 진행경로가 조절되도록 반사기를 구동하는 구동기; 및 정렬부재의 관통공을 통과하는 것으로 검출된 레이저 빔을 기초로 레이저 빔의 중심과 관통공의 중심 간의 거리가 조절되도록 구동기를 제어하는 제어기;를 구비한다.Laser processing apparatus according to the present invention includes a laser oscillation unit for oscillating a laser beam; An optical system for converting the laser beam oscillated by the laser oscillator to have an energy density of a beam profile having a predetermined beam width; A chamber through which the laser beam converted by the optical system is transmitted, and the transmitted laser beam is irradiated to a process object disposed therein; A reflector disposed between the laser oscillation unit and the chamber and reflecting the laser beam; And a laser beam alignment unit for aligning the laser beam irradiated to the chamber, wherein the laser beam alignment unit is disposed between the reflector and the object to be disposed on the path of the laser beam. An alignment member having a through hole formed to penetrate larger than a cross-sectional area of the laser beam to allow the beam to pass therethrough; A driver for driving the reflector to adjust the path of the laser beam reflected from the reflector; And a controller controlling the driver to adjust a distance between the center of the laser beam and the center of the through hole based on the laser beam detected as passing through the through hole of the alignment member.

레이저 어닐링, 엑시머 레이저, 정렬(alignment), 호모지나이저 Laser annealing, excimer laser, alignment, homogenizer

Description

레이저 가공장치{Laser process equipment}Laser processing equipment

본 발명은 레이저 가공장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정대상물로 조사되는 레이저 빔이 정렬 가능하며 나아가 레이저 빔의 정렬 변경시 보정이 용이하도록 구조가 개선된 레이저 가공장치에 관한 것이다. The present invention relates to a laser processing apparatus, and more particularly, to a laser processing apparatus having an improved structure so that a laser beam irradiated to a process object can be aligned and furthermore, correction is easy when the alignment of the laser beam is changed.

유기 발광 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diode Display) 또는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display) 등의 기판으로는 일반적으로 유리기판이 사용된다. 그리고, 이 유리기판은 레이저 어닐링 공정을 거친 후, 결정화되거나 결정화도(crystallinity)가 향상되는데, 이러한 레이저 어닐링 공정은 도 1에 도시된 레이저 어닐링 장치에 의해 이루어진다. Glass substrates are generally used as substrates such as organic light emitting diode displays or liquid crystal displays. Then, the glass substrate is subjected to a laser annealing process, and then crystallized or crystallinity is improved. This laser annealing process is performed by the laser annealing apparatus shown in FIG.

도 1을 참조하면, 종래의 레이저 어닐링 장치(100')는 엑시머 레이저(Excimer Laser) 빔을 방출하는 레이저 발진부(10')와, 레이저 빔을 반사하는 다수의 반사기와, 텔레스코프 렌즈(telescope lens)(미도시), 호모지나이저(homogenizer)(미도시), 필드 렌즈(field lens)(미도시) 및 프로젝션 렌즈(projection lens)(24') 등을 포함하는 광학계와, 유리기판(33')이 내부에 배치되는 챔버(30')를 포함한다. 호모지나이저는 제2반사기(43')와 제3반사기(44') 사 이에 배치되어 있다. 그리고, 제1보조반사기(41')와 제1반사기(42') 사이에는 어테뉴에이터(46')가 배치되어 있다. 제1보조반사기(41')는 엑츄에이터(미도시)에 의해 화살표 방향으로 직선 이동 가능하게 배치되어, 레이저 발진부(10')에 방출된 레이저 빔은 에너지 미터(47')에 의해 측정 가능하다. 또한, 제2보조반사기(45')는 엑츄에이터(미도시)에 의해 화살표 방향으로 직선 이동 가능하게 배치되어 있어서, 제2보조반사기(45)에서 반사된 레이저 빔은 에너지 미터(47')에 의해 측정 가능하다. 그리고, 제1반사기(42') 및 제2반사기(43')에는 각각 한 쌍의 마이크로미터(611',621')가 결합되어 있어서, 마이크로미터의 구동에 의해 제1반사기(42') 및 제2반사기(43')의 반사면과 레이저 빔 간의 각도가 조절되어 레이저 빔의 반사 방향이 변경 가능하다. 그리고, 도 1에 도시된 일점쇄선은 레이저 빔의 광 경로를 지시한다. Referring to FIG. 1, a conventional laser annealing apparatus 100 ′ includes a laser oscillator 10 ′ that emits an excimer laser beam, a plurality of reflectors that reflect the laser beam, and a telescope lens. (Not shown), a homogenizer (not shown), an optical system including a field lens (not shown), a projection lens 24 ', and the like, and a glass substrate 33'. ) Includes a chamber 30 'disposed therein. The homogenizer is disposed between the second reflector 43 'and the third reflector 44'. An attenuator 46 'is disposed between the first auxiliary reflector 41' and the first reflector 42 '. The first auxiliary reflector 41 'is arranged to be linearly movable in the direction of the arrow by an actuator (not shown), and the laser beam emitted to the laser oscillator 10' can be measured by the energy meter 47 '. In addition, the second auxiliary reflector 45 'is arranged to be linearly moved in the direction of the arrow by an actuator (not shown), so that the laser beam reflected by the second auxiliary reflector 45 is moved by the energy meter 47'. It can be measured. A pair of micrometers 611 'and 621' are coupled to the first reflector 42 'and the second reflector 43', respectively, so that the first reflector 42 'and the second reflector 42' are driven by the micrometer. The angle between the reflective surface of the second reflector 43 'and the laser beam is adjusted to change the reflection direction of the laser beam. And the dashed-dotted line shown in FIG. 1 indicates the optical path of the laser beam.

상술한 바와 같이 구성된 레이저 어닐링 장치(100')에 있어서, 유리기판(33')에 원하는 모양과 빔 프로파일의 레이저 빔을 조사하기 위해서는, 광학계의 정렬(alignment)이 필요하다. 이러한 광학계의 정렬은 로 빔(raw beam) 정렬, 광학 부품의 정렬 및 파인 튜닝(fine tuning)으로 대별되며, 특히 로 빔 정렬이 중요하다. In the laser annealing apparatus 100 'configured as described above, in order to irradiate the glass substrate 33' with a laser beam having a desired shape and beam profile, alignment of the optical system is required. Such optical system alignment is roughly classified into raw beam alignment, optical component alignment and fine tuning, and in particular, the low beam alignment is important.

로 빔 정렬, 즉 레이저 발진부(10')에서 방출된 레이저 빔을 정렬하기 위해서는 레이저 빔이 일정한 높이에서 광 경로의 수평 또는 수직으로 진행하여 최종적으로 광학계의 중심으로 진행하도록 해야 한다. 그리고, 이러한 로 빔 정렬은 마이크로미터를 구동하여 제1반사기(42') 및 제2반사기(43')를 조절함으로써 이루어 진다. 특히, 광 경로 중 가우시안 프로파일을 가지는 레이저 빔 프로파일을 플랫-탑(flat-top) 형태로 변환시켜주는 호모지나이저가 배치되는 부분의 광 경로, 제2반사기(43')와 제3반사기(44') 사이에서 레이저 빔이 평행하게 진행하도록 하는 것이 중요하다. In order to align the low beam alignment, that is, the laser beam emitted from the laser oscillation unit 10 ', the laser beam must proceed horizontally or vertically of the optical path at a constant height and finally proceed to the center of the optical system. The low beam alignment is performed by driving the micrometer to adjust the first reflector 42 'and the second reflector 43'. Particularly, the optical path of the portion where the homogenizer is disposed to convert the laser beam profile having the Gaussian profile into a flat-top shape, the second reflector 43 'and the third reflector 44'. It is important to allow the laser beam to run in parallel between them.

이와 같이 제2반사기(43')와 제3반사기(44') 사이를 진행하는 레이저 빔을 정렬(alignment)하기 위해서, 방출된 레이저 빔이 제1반사기(42')의 중심으로 조사되도록 레이저 발진부(10')를 조절하고 제1반사기에서 반사된 레이저 빔이 제2반사기(43')의 중심으로 조사되도록 마이크로미터를 구동하여 제2반사기를 조절한 후, 한 쌍의 크로스헤어(cross-hair)(50')를 제2반사기(42')와 제3반사기(43') 사이에 설치하고, 각 마이크로미터(611',621')를 구동하여 제1반사기(42') 및 제2반사기(43')를 조절함으로써 레이저 빔이 한 쌍의 크로스헤어(50')의 중심을 통과시키면 된다. 보다 구체적으로 살펴보면, 제2반사기(43')와 제3반사기(44') 사이의 광학 레일(미도시) 상에 한 쌍의 크로스헤어(50')가 서로 일정 간격 이격되게 설치하고, 제1반사기의 마이크로미터(611') 및 제2반사기의 마이크로미터(621')를 각각 구동하여 레이저 빔이 한 쌍의 크로스헤어(50')의 중심을 통과하도록 조절함으로써 레이저 빔이 각 크로스헤어의 중심을 통과하여 평행하게 진행하도록 정렬한다. 여기서, 각 크로스헤어(50')의 중심은 서로 동축적으로 배치되어 있으며, 레이저 빔이 크로스헤어의 중심을 통과하는 점은 번 페이퍼(burn paper)(미도시)를 이용하여 확인되며, 레이저 빔의 정렬 후에는 크로스헤어(50')가 제거되어야 한다. In this way, in order to align the laser beam traveling between the second reflector 43 'and the third reflector 44', the laser oscillator is irradiated to the center of the first reflector 42 '. 10 'and adjust the second reflector by driving a micrometer so that the laser beam reflected from the first reflector is irradiated to the center of the second reflector 43', and then a pair of crosshairs 50 'is installed between the second reflector 42' and the third reflector 43 ', and the micrometers 611' and 621 'are driven to drive the first reflector 42' and the second reflector. By adjusting 43 ', the laser beam may pass through the center of the pair of crosshairs 50'. In more detail, a pair of crosshairs 50 'are installed on the optical rail (not shown) between the second reflector 43' and the third reflector 44 ', spaced apart from each other by a predetermined distance, and the first The laser beam is centered at each crosshair by driving the micrometer 611 'of the reflector and the micrometer 621' of the second reflector, respectively, to adjust the laser beam to pass through the center of the pair of crosshairs 50 '. Align to pass through and run parallel. Here, the centers of the crosshairs 50 'are arranged coaxially with each other, and the point where the laser beam passes through the center of the crosshairs is confirmed by using burn paper (not shown), and the laser beam After the alignment of the crosshairs 50 'should be removed.

그런데, 상술한 바와 같은 크로스헤어(50')를 이용한 정렬 과정에서는, 정렬 과정이 수차례에 걸쳐 반복적으로 진행되어야 하는 번거로움이 있으며, 레이저 빔의 진행 상태를 확인하기 위해서 일일이 번 페이퍼를 사용하여 체크해야하며, 각 마이크로미터(611',621')를 수동으로 반복적으로 조절해야하는 불편함이 있다. 또한, 정렬 과정이 사람에 의해 이루어지는 바, 레이저 빔에 의해 직접 및 간접적으로 또는 실수에 의해 인체가 악영향을 받을 수도 있다. However, in the alignment process using the crosshair 50 'as described above, the alignment process has to be repeatedly performed several times, and the paper is used once to check the progress of the laser beam. It should be checked, and there is an inconvenience in that the micrometers 611 'and 621' need to be manually and repeatedly adjusted. In addition, the alignment process is performed by humans, which may adversely affect the human body directly and indirectly or by mistake.

그리고, 레이저 어닐링 장치의 사용과정에서, 레이저 어닐링 장치(100')에 발생하는 변화, 예를 들어 레이저 캐비티 윈도우(laser cavity window)의 클리닝 또는 교환, 레이저 튜브 정렬 또는 공진기(resonator)의 클리닝 또는 교환 시에 레이저 빔 프로파일에 변화가 발생하는 경우에는, 기본적으로 광학계를 통하는 레이저 빔의 상태를 확인해줘야 하며, 이를 위해서는 광학계를 분리한 후, 상술한 바와 같이 크로스헤어를 설치한 후 확인 보정해 줘야하므로, 상술한 바와 같은 문제점들이 야기된다. Then, in the process of using the laser annealing apparatus, changes occurring in the laser annealing apparatus 100 ', for example, cleaning or replacing the laser cavity window, cleaning or replacing the laser tube alignment or the resonator If the laser beam profile changes at the time, basically, the state of the laser beam through the optical system should be checked. To do this, after removing the optical system, it is necessary to check and correct it after installing the crosshair as described above. The above problems are caused.

한편, 일반적으로 유리기판(33') 상에 조사되는 레이저 빔의 프로파일은 플랫-탑 형태가 일반적이나. 공정을 최적화하기 위해서는 다양한 형태의 빔 프로파일에 대한 공정 테스트를 통해서 최적의 빔 프로파일을 선정하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 사선 형태의 빔 프로파일이 적용될 수 있다. 그러나, 이러한 빔 프로파일을 변경하기 위해서는, 레이저 발진부(10')의 도어를 열고 공진기, 특히 아웃풋 커플러(output coupler)에 구비된 마이크로미터(611',621')를 조절하거나 광학계의 커버를 열고 제1반사기(42') 및 제2반사기(43')에 구비된 마이크로미터(611',621')를 조절해야 하는 번거로움이 있었다.On the other hand, the profile of the laser beam irradiated onto the glass substrate 33 'is generally flat-top. In order to optimize the process, it is desirable to select an optimal beam profile through process tests on various types of beam profiles. For example, an oblique beam profile may be applied. However, to change this beam profile, open the door of the laser oscillator 10 'and adjust the micrometers 611', 621 'provided in the resonator, in particular the output coupler, or open the cover of the optical system. There was a need to adjust the micrometers 611 'and 621' provided in the first reflector 42 'and the second reflector 43'.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 레이저 빔과의 직접 및 간접적인 신체 접촉을 방지할 수 있고, 레이저 빔을 자동으로 용이하게 정렬할 수 있으며, 레이저 발진부의 캐비티 윈도우 및 공진기 각각의 클리닝 및 교환 등의 작업에 의한 레이저 빔의 광 경로 변경시 레이저 빔을 광학 부품의 분리 없이 용이하게 정렬할 수 있으며, 나아가 레이저 빔의 정렬 상태를 실시간으로 모니터링하여 이를 자동으로 보정함으로써 공정대상물로 조사되는 레이저 빔의 형상 및 프로파일을 균일하게 유지할 수 있도록 하는 레이저 가공장치를 제공하는 것이다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention, it is possible to prevent direct and indirect body contact with the laser beam, to easily align the laser beam automatically, the laser oscillator When changing the optical path of the laser beam by operations such as cleaning and replacing each cavity window and resonator, the laser beam can be easily aligned without separation of the optical components. It is to provide a laser processing apparatus that can maintain the shape and profile of the laser beam irradiated to the process object uniformly by correcting.

또한, 본 발명의 다른 목적은 레이저 빔의 일부가 차단 가능하도록 구조가 개선되어 공정대상물로 조사되는 레이저 빔의 최종 프로파일을 변경하여 공정조건을 최적화할 수 있는 레이저 가공장치를 제공하는 것이다. In addition, another object of the present invention is to provide a laser processing apparatus capable of optimizing the processing conditions by changing the final profile of the laser beam irradiated to the process object by improving the structure so that a part of the laser beam can be blocked.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 레이저 가공장치는 레이저 빔을 발진시키는 레이저 발진부; 상기 레이저 발진부에서 발진된 레이저 빔을 소정의 빔 폭을 구비한 빔 프로파일의 에너지 밀도를 가지도록 변환하는 광학계; 상기 광학계에서 변환된 레이저 빔이 투과되며, 상기 투과된 레이저 빔이 내부에 배치된 공정대상물에 조사되는 챔버; 상기 레이저 발진부와 상기 챔버 사이에 배치되며, 상기 레이저 빔을 반사시키는 반사기; 및 상기 챔버로 조사되는 레이저 빔을 정렬(alignment)하기 위한 레이저 빔 정렬유닛;을 구비하는 레이저 가공장치에 있어서, 상기 레이저 빔 정렬유닛은, 상기 반사기와 공정대상물 사이에 설치되어 상기 레이저 빔의 진행 경로 상에 배치되며, 상기 레이저 빔이 통과 가능하도록 상기 레이저 빔의 단면적 보다 더 크게 관통 형성된 관통공이 형성된 정렬부재; 상기 반사기에서 반사된 레이저 빔의 진행경로가 조절되도록 상기 반사기를 구동하는 구동기; 및 상기 정렬부재의 관통공을 통과하는 것으로 검출된 상기 레이저 빔을 기초로 상기 레이저 빔의 중심과 상기 관통공의 중심 간의 거리가 조절되도록 상기 구동기를 제어하는 제어기;를 구비하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the laser processing apparatus according to the present invention comprises a laser oscillation unit for oscillating a laser beam; An optical system for converting the laser beam oscillated by the laser oscillator to have an energy density of a beam profile having a predetermined beam width; A chamber through which the laser beam converted by the optical system is transmitted and irradiated to a process object disposed therein; A reflector disposed between the laser oscillation unit and the chamber and reflecting the laser beam; And a laser beam alignment unit for aligning a laser beam irradiated to the chamber, wherein the laser beam alignment unit is installed between the reflector and a process object to advance the laser beam. An alignment member disposed on a path, the alignment member having a through hole formed therein and larger than a cross-sectional area of the laser beam to allow the laser beam to pass therethrough; A driver for driving the reflector to adjust the path of the laser beam reflected from the reflector; And a controller controlling the driver so that a distance between the center of the laser beam and the center of the through hole is adjusted based on the laser beam detected as passing through the through hole of the alignment member.

레이저 빔의 정렬시 레이저 빔과의 직접 및 간접적인 신체 접촉을 방지할 수 있게 된다. 또한, 레이저 빔을 자동으로 용이하게 정렬할 수 있으며, 레이저 발진부의 캐비티 윈도우 및 공진기 각각의 클리닝 및 교환 등의 작업에 의해 레이저 빔의 광 경로 변경시 레이저 빔을 광학 부품의 분리 없이 용이하게 정렬할 수 있다. 그리고, 레이저 빔의 정렬 상태를 실시간으로 모니터링하여 이를 자동으로 보정함으로써 공정대상물로 조사되는 레이저 빔의 형상 및 프로파일을 균일하게 유지할 수 있다. 또한, 공정대상물로 조사되는 레이저 빔의 최종 프로파일을 변경하여 공정조건을 최적화할 수 있다.It is possible to prevent direct and indirect physical contact with the laser beam during alignment of the laser beam. In addition, the laser beam can be easily aligned automatically, and the laser beam can be easily aligned without changing optical components when the optical path of the laser beam is changed by cleaning and replacing the cavity window of the laser oscillation unit and the resonators, respectively. Can be. Also, by monitoring the alignment state of the laser beam in real time and automatically correcting the alignment state, the shape and profile of the laser beam irradiated to the process object can be maintained uniformly. In addition, it is possible to optimize the process conditions by changing the final profile of the laser beam irradiated to the process object.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공장치의 개략적인 구성도이고, 도 3은 도 2에 도시된 한 쌍의 정렬부재의 개략적인 사시도이며, 도 4는 도 2에 도시된 레이저 가공장치에 있어서 레이저 빔의 정렬 제어를 설명하기 위한 제어 블록도이다. Figure 2 is a schematic configuration diagram of a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a schematic perspective view of the pair of alignment members shown in Figure 2, Figure 4 is a laser machining shown in Figure 2 It is a control block diagram for demonstrating the alignment control of a laser beam in an apparatus.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예의 레이저 가공장치(100)는 종래기술에서 설명한 바와 마찬가지로 레이저 어닐링장치로 구성된다. 도 2에 도시된 일점쇄선은 레이저 빔의 광 경로를 지시한다. 2 to 4, the laser processing apparatus 100 of this embodiment is constituted by a laser annealing apparatus as described in the prior art. The dashed dashed line shown in FIG. 2 indicates the optical path of the laser beam.

레이저 가공장치(100)는 레이저 발진부(10)와, 광학계(20)와, 챔버(30)와, 반사기와, 레이저 빔 정렬유닛을 구비한다. The laser processing apparatus 100 includes a laser oscillation unit 10, an optical system 20, a chamber 30, a reflector, and a laser beam alignment unit.

레이저 발진부(10)는 레이저 빔, 예를 들어 엑시머 레이저 빔을 발생시켜 발진시킨다.The laser oscillator 10 generates a laser beam, for example, an excimer laser beam, to oscillate.

광학계(20)는 레이저 빔을 소정의 빔 폭을 구비한 빔 프로파일의 에너지 밀도를 가지도록 변환한다. 광학계(20)는 텔레스코프 렌즈(21), 호모지나이저(22), 필드 렌즈(23) 및 프로젝션 렌즈(24) 등 다수의 광학 부품을 포함하며, 레이저 빔을 확대, 균질화시켜 대략 장방형의 레이저 빔으로 변환하는 기능을 한다.The optical system 20 converts the laser beam to have an energy density of a beam profile with a predetermined beam width. The optical system 20 includes a plurality of optical components, such as a telescope lens 21, a homogenizer 22, a field lens 23, and a projection lens 24, and enlarges and homogenizes a laser beam to form a substantially rectangular laser. It converts into a beam.

챔버(30)는 어닐링 공정이 이루어지는 내부공간(31)을 가진다. 챔버의 내부공간(31)에는 스테이지(32)가 설치되며, 스테이지(32)에는 공정대상물, 즉 레이저 어닐링되는 유리 기판(33)이 배치된다. 챔버(30)의 상측에는 광학계(20)에서 변환된 레이저 빔이 투과되는 투명한 윈도우(34)가 설치되어 있다. The chamber 30 has an internal space 31 in which an annealing process is performed. A stage 32 is installed in the internal space 31 of the chamber, and a process object, that is, a glass substrate 33 that is laser annealed, is disposed on the stage 32. The upper side of the chamber 30 is provided with a transparent window 34 through which the laser beam converted by the optical system 20 is transmitted.

반사기는 레이저 빔을 반사시킨다. 반사기는 레이저 발진부(10)와 챔버(30) 사이에 배치되어 있다. 본 실시예에서 반사기는 복수, 특히 5개 설치되어 있다. 즉, 레이저 빔의 진행 방향을 따라 순차적으로, 제1보조반사기(41), 제1반사기(42), 제2반사기(43), 제3반사기(44) 및 제2보조반사기(45)가 설치되어 있다. 제1보조반사기(41)와 제1반사기(42) 사이에는 어테뉴에이터(46)가, 제1반사기(42)와 제2반사기(43) 사이에는 텔레스코프 렌즈(21)가, 제2반사기(43)와 제3반사기(44) 사이에는 호모지나이저(22) 및 필드 렌즈(23)가, 제3반사기(44)와 제2보조반사기(45) 사이에는 프로젝션 렌즈(24)가 설치되어 있다. 여기서, 제1보조반사기(41) 및 제2보조반사기(45)는 엑츄에이터(미도시)에 의해 직선 이동 가능하게 설치되어 있어서, 제1보조반사기(41)와 제2보조반사기(45)가 레이저 빔의 광 경로 상에 배치되는 경우에는 에너지 미터(47)를 통해 레이저 빔의 에너지를 측정할 수 있다.The reflector reflects the laser beam. The reflector is disposed between the laser oscillation section 10 and the chamber 30. In the present embodiment, a plurality of reflectors are provided, particularly five. That is, the first auxiliary reflector 41, the first reflector 42, the second reflector 43, the third reflector 44 and the second auxiliary reflector 45 are sequentially installed along the traveling direction of the laser beam. It is. The attenuator 46 is between the first auxiliary reflector 41 and the first reflector 42, and the telescope lens 21 is between the first reflector 42 and the second reflector 43, and the second reflector ( The homogenizer 22 and the field lens 23 are provided between the third reflector 44 and the projection lens 24 between the third reflector 44 and the second auxiliary reflector 45. . Here, the first auxiliary reflector 41 and the second auxiliary reflector 45 are installed so as to be linearly moved by an actuator (not shown), so that the first auxiliary reflector 41 and the second auxiliary reflector 45 are laser. When disposed on the optical path of the beam, the energy of the laser beam can be measured by the energy meter 47.

레이저 빔 정렬유닛은 챔버(30)로 조사되는 레이저 빔을 정렬하기 위한 것이다. 레이저 빔 정렬유닛은 정렬부재(51,52)와, 구동기(61,62)와, 센서(71,72,73,74)와, 제어기(80)를 포함한다. The laser beam alignment unit is for aligning the laser beam irradiated into the chamber 30. The laser beam alignment unit includes alignment members 51 and 52, drivers 61 and 62, sensors 71, 72, 73 and 74, and a controller 80.

정렬부재(51,52)는 서로 인접한 반사기 사이에 설치되어 있으며, 레이저 빔의 진행 경로 상에 복수 배치되어 있다. 특히, 본 실시예에서는 정렬부재(51,52)는 제2반사기(43)와 제3반사기(44) 사이에 한 쌍이 배치되어 있다. 즉, 제2반사기(43)와 제3반사기(44) 사이에 레이저 빔의 진행방향을 따라 순차적으로 제1정렬부재(51) 및 제2정렬부재(52)가 배치되어 있다. 제1정렬부재(51)와 제2정렬부재(52)에는 각각 관통공(511,521)이 형성되어 있다. 관통공(511,521)은 레이저 빔 의 단면적 보다 더 크게 형성되어 있어서, 레이저 빔은 관통공(511,521)을 통과할 수 있다. 그리고, 제1정렬부재의 관통공(511) 및 제2정렬부재의 관통공(521)은 서로 동축적으로 배치되어 있다. 제1정렬부재(51)와 제2정렬부재(52)는 광학 레일(미도시)로부터 동일한 높이에 설치되어 있으며, 특히 본 실시예에서는 각 정렬부재의 관통공(511,521)의 중심(C)이 레일의 바닥면으로부터 90mm 높이에 배치되어 있다. The alignment members 51 and 52 are provided between reflectors adjacent to each other, and are arranged in plural on the traveling path of the laser beam. In particular, in this embodiment, the pair of alignment members 51 and 52 is disposed between the second reflector 43 and the third reflector 44. That is, the first alignment member 51 and the second alignment member 52 are sequentially disposed between the second reflector 43 and the third reflector 44 along the traveling direction of the laser beam. Through-holes 511 and 521 are formed in the first alignment member 51 and the second alignment member 52, respectively. The through holes 511 and 521 are larger than the cross-sectional area of the laser beam, so that the laser beams may pass through the through holes 511 and 521. The through holes 511 of the first alignment member and the through holes 521 of the second alignment member are disposed coaxially with each other. The first alignment member 51 and the second alignment member 52 are installed at the same height from the optical rail (not shown). In particular, in the present embodiment, the centers C of the through holes 511 and 521 of each alignment member are formed. It is arranged at a height of 90 mm from the bottom of the rail.

구동기(61,62)는 반사기를 구동하여 레이저 빔의 진행경로를 조절한다. 본 실시예에서, 구동기(61,62)는 레이저 발진부(10)와 정렬부재(51,52) 사이에 배치된 복수의 반사기, 특히 제1반사기(42) 및 제2반사기(43)를 각각 구동하도록 한 쌍 설치되어 있다. 즉, 제1구동기(61)는 제1반사기(42)를, 제2구동기(62)는 제2반사기(43)를 구동한다. 여기서, 각 구동기(61,62)는 종래 기술에서 설명한 바와 같은 한 쌍의 마이크로미터(611,621)를 포함하도록 형성되어 있다. 각 구동기의 마이크로미터(611,621)를 구동하게 되면, 레이저 빔의 진행 방향에 대한 반사기(42,43)의 반사각도를 변화시킬 수 있게 되므로, 레이저 빔이 반사되어 진행하는 경로를 조절할 수 있게 된다. The drivers 61 and 62 drive the reflectors to adjust the path of the laser beam. In this embodiment, the drivers 61 and 62 drive a plurality of reflectors, in particular, the first reflector 42 and the second reflector 43, respectively, disposed between the laser oscillation section 10 and the alignment members 51, 52. A pair is installed. That is, the first driver 61 drives the first reflector 42, and the second driver 62 drives the second reflector 43. Here, each of the drivers 61, 62 is formed to include a pair of micrometers 611, 621 as described in the prior art. When the micrometers 611 and 621 of each driver are driven, the reflection angles of the reflectors 42 and 43 with respect to the advancing direction of the laser beam can be changed, so that the path in which the laser beam is reflected and proceeds can be adjusted.

센서(71,72,73,74)는 입사되는 레이저 빔을 검출하며, 레이저 빔의 검출시 후술하는 제어기(80)로 검출신호를 출력한다. 본 실시예에서, 센서(71,72,73,74)는 포토센서로 구성되며 제1정렬부재(51) 및 제2정렬부재(52)에 각각 4개씩 결합되어 있다. 즉, 각 정렬부재(51,52)에는 제1센서(71), 제2센서(72), 제3센서(73) 및 제4센서(74)가 결합되어 있다. The sensors 71, 72, 73, and 74 detect incident laser beams, and output detection signals to the controller 80 described later when the laser beams are detected. In the present embodiment, the sensors 71, 72, 73, and 74 are configured as photosensors and are respectively coupled to the first and second alignment members 51 and 52, respectively. That is, the first sensor 71, the second sensor 72, the third sensor 73, and the fourth sensor 74 are coupled to each of the alignment members 51 and 52.

제1센서(71) 및 제2센서(72)는 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 각 관통 공(511,512)의 양측에 배치되어 좌우방향에 서로 마주하고 있으며, 제3센서(73) 및 제4센서(74)도 각 관통공(511,512)의 양측에 배치되어 상하방향에 서로 마주하고 있어서, 전체적으로 4개의 센서(71,72,73,74)는 각 관통공(511,521)을 중심(C)으로 방사형으로 배치되어 있다. 따라서, 서로 마주하는 센서(71,72;73,74) 간의 중심은 관통공(511,521)의 중심(C)과 일치한다. 그리고, 제1센서(71) 및 제2센서(72) 사이의 거리 및 제3센서(73) 및 제4센서(74) 사이의 거리는, 레이저 빔이 제1센서(71) 및 제2센서(72) 사이 및 제3센서(73) 및 제4센서(74) 사이로 통과 가능하도록 형성되어 있다. 즉, 서로 마주하는 한 쌍의 센서(71,72:73,74)는 동시에 레이저 빔을 검출할 수 없게 되며, 서로 마주하는 한 쌍의 센서(71,72:73,74) 중 어느 하나의 센서만이 관통공(511,521)을 통과하는 레이저 빔을 검출할 수 있게 된다. 예를 들어 제1센서(71) 및 제3센서(73)가 레이저 빔을 검출하면, 제2센서(71) 및 제4센서(74)는 레이저 빔을 검출할 수 없다. As illustrated in FIG. 3, the first sensor 71 and the second sensor 72 are disposed at both sides of each through hole 511 and 512 to face each other in the left and right directions, and the third sensor 73 and the fourth sensor. The sensors 74 are also disposed on both sides of each through hole 511 and 512 to face each other in the up and down direction, so that the four sensors 71, 72, 73 and 74 generally have each through hole 511, 521 as the center C. It is arranged radially. Therefore, the center between the sensors 71, 72; 73, 74 facing each other coincides with the center C of the through holes 511, 521. In addition, the distance between the first sensor 71 and the second sensor 72 and the distance between the third sensor 73 and the fourth sensor 74, the laser beam is the first sensor 71 and the second sensor ( It is formed to pass through between the 72 and the third sensor (73) and the fourth sensor (74). That is, the pair of sensors 71, 72: 73, 74 facing each other cannot detect the laser beam at the same time, and the sensor of any one of the pair of sensors 71, 72: 73, 74 facing each other. Only the laser beam passing through the through holes 511 and 521 can be detected. For example, when the first sensor 71 and the third sensor 73 detect the laser beam, the second sensor 71 and the fourth sensor 74 cannot detect the laser beam.

제어기(80)는 각 센서(71,72,73,74)로부터 입력된 검출신호를 기초로 레이저 빔의 중심과 관통공(511,521)의 중심(C) 간의 거리가 조절되도록 제1구동기(61) 및 제2구동기(62)를 제어한다. 특히, 본 실시예에서 제어기(80)는 제1구동기의 한 쌍의 마이크로미터(611) 및 제2구동기의 한 쌍의 마이크로미터(621)를 각각 제어한다. 그리고, 제어기(80)는 제1구동기(61) 및 제2구동기(62)를 제어하여 레이저 빔의 중심이 제1정렬부재(51) 및 제2정렬부재(52) 각각의 관통공(511,521)의 중심(C)을 통과하도록 제어한다. The controller 80 may adjust the distance between the center of the laser beam and the center C of the through holes 511 and 521 based on the detection signals input from the sensors 71, 72, 73, and 74. And the second driver 62. In particular, in the present embodiment, the controller 80 controls the pair of micrometers 611 of the first driver and the pair of micrometers 621 of the second driver, respectively. The controller 80 controls the first driver 61 and the second driver 62 so that the center of the laser beam is the through hole 511, 521 of each of the first and second alignment members 51 and 52. Control to pass through the center (C) of.

제어기(80)의 제어 과정의 일례를 살펴보면, 다음과 같다.An example of the control process of the controller 80 is as follows.

제어기(80)는, 제1구동기(61)를 제어하여 레이저 빔이 제1정렬부재의 관통공(511)의 중심(C)을 통과하도록 작동한다. 즉, 제어기(80)는 제1정렬부재에 결합된 제1센서(71), 제2센서(72), 제3센서(73) 및 제4센서(74)의 검출신호를 기초로 제1구동기(61)를 제어하며, 이에 따라 레이저 빔이 제1정렬부재의 관통공(511)의 중심(C)을 통과하도록 제어된다. The controller 80 controls the first driver 61 to operate the laser beam to pass through the center C of the through hole 511 of the first alignment member. That is, the controller 80 is based on the detection signals of the first sensor 71, the second sensor 72, the third sensor 73 and the fourth sensor 74 coupled to the first alignment member. 61 is controlled so that the laser beam passes through the center C of the through hole 511 of the first alignment member.

제1센서(71) 및 제2센서(72)를 이용하게 되면 레이저 빔이 각 정렬부재의 수평방향의 중심을 진행하도록 정렬할 수 있게 되며, 그 상세한 과정은 다음과 같다. When the first sensor 71 and the second sensor 72 are used, the laser beams can be aligned so as to proceed in the center of the horizontal direction of each alignment member, and the detailed process is as follows.

레이저 빔이 제1센서(71)와 접촉하여 제1센서가 검출신호를 출력하는 경우에는, 제어기(80)는 제2센서(72)가 검출신호를 출력하도록 제1구동기(61)를 구동하여 레이저 빔의 진행경로를 조절한다. 이 때에는 제2센서(72)만이 검출신호를 출력한다. 그리고 나서, 제어기(80)는 제1센서(71)가 검출신호를 다시 출력하도록 제1구동기(61)를 구동하여 레이저 빔의 진행경로를 조절한다. 이 때에는 제1센서(61)만이 검출신호를 출력한다. 그 후, 제어기(80)는 제1기준시간(t1) 동안 구동신호를 출력하여 레이저 빔이 제1센서(71)와 제2센서(72) 사이의 중앙을 통과하도록 제어한다. 여기서, 제1기준시간(t1)은 제2센서(72)가 검출신호를 출력하는 시점으로부터 제1센서(71)가 검출신호를 다시 출력하는 시점까지의 시간을 기초로 설정된다. When the laser beam contacts the first sensor 71 and the first sensor outputs the detection signal, the controller 80 drives the first driver 61 so that the second sensor 72 outputs the detection signal. Adjust the path of the laser beam. At this time, only the second sensor 72 outputs the detection signal. Then, the controller 80 controls the traveling path of the laser beam by driving the first driver 61 so that the first sensor 71 outputs the detection signal again. At this time, only the first sensor 61 outputs the detection signal. Thereafter, the controller 80 outputs a driving signal for the first reference time t 1 to control the laser beam to pass through the center between the first sensor 71 and the second sensor 72. Here, the first reference time t 1 is set based on the time from the time when the second sensor 72 outputs the detection signal to the time when the first sensor 71 outputs the detection signal again.

특히, 본 실시예에서는 제어기(80)는 제2센서(72)가 검출신호를 최초로 출력한 후 제1센서(71)가 검출신호를 다시 최초로 출력하도록 제1구동기(61)를 제어하게 구성되어 있으며, 이러한 경우에는 제1기준시간(t1)은 제2센서(72)가 검출신호를 최초로 출력하는 시점으로부터 제1센서(71)가 검출신호를 다시 최초로 출력하는 시점까지 시간의 절반으로서 제어기(80)에서 연산된다. 이와 같이 제1기준시간(t1) 동안 구동신호가 출력되면, 레이저 빔의 중심이 제1센서(71)와 제2센서(72) 사이의 중심선(C1)을 통과하도록 정렬할 수 있게 된다. In particular, in the present embodiment, the controller 80 is configured to control the first driver 61 such that the first sensor 71 outputs the detection signal for the first time after the second sensor 72 outputs the detection signal for the first time. In this case, the first reference time t 1 is the half of the time from the time when the second sensor 72 first outputs the detection signal to the time when the first sensor 71 outputs the detection signal for the first time. Computed at 80. As such, when the driving signal is output during the first reference time t 1 , the center of the laser beam may be aligned to pass through the center line C1 between the first sensor 71 and the second sensor 72.

한편, 레이저 빔이 제1센서(71)와 제2센서(72) 사이를 통과하여 제1센서와 제2센서가 모두 검출신호를 출력하지 않는 경우에는, 제어기(80)는 제1센서(71)가 검출신호를 출력하도록 제1구동기(61)에 구동하여 레이저 빔의 진행경로를 조절한다. 이 때에는 제1센서(71)만이 검출신호를 출력한다. 그리고 나서, 제어기(80)는 제2센서(72)가 검출신호를 출력하도록 제1구동기(61)를 구동하여 레이저 빔의 진행경로를 조절한다. 이 때에는 제2센서(72)만이 검출신호를 출력한다. 그 후, 제어기(80)는 제2기준시간(t2) 동안 구동신호를 출력하여 레이저 빔이 제1센서(71)와 제2센서(72) 사이의 중앙을 통과하도록 제어한다. 여기서, 제2기준시간(t2)은 제1센서(71)가 검출신호를 출력하는 시점으로부터 제2센서(72)가 검출신호를 출력하는 시점까지의 시간을 기초로 설정된다. On the other hand, when the laser beam passes between the first sensor 71 and the second sensor 72 so that neither the first sensor nor the second sensor outputs a detection signal, the controller 80 may be configured as a first sensor 71. ) Is driven by the first driver 61 to output the detection signal to adjust the path of the laser beam. At this time, only the first sensor 71 outputs the detection signal. Then, the controller 80 drives the first driver 61 so that the second sensor 72 outputs the detection signal to adjust the path of the laser beam. At this time, only the second sensor 72 outputs the detection signal. Thereafter, the controller 80 outputs a driving signal for the second reference time t 2 to control the laser beam to pass through the center between the first sensor 71 and the second sensor 72. Here, the second reference time t 2 is set based on the time from the time when the first sensor 71 outputs the detection signal to the time when the second sensor 72 outputs the detection signal.

특히, 본 실시예에서는 제어기(80)는 제1센서(71)가 검출신호를 최초로 출력한 후 제2센서(72)가 검출신호를 최초로 출력하도록 제어하게 구성되어 있으며, 이러한 경우에는 제2기준시간(t2)은 제1센서(71)가 검출신호를 최초로 출력하는 시점으로부터 제2센서(72)가 검출신호를 최초로 출력하는 시점(t2)까지 시간의 절반으로 서 제어기(80)에서 연산된다. 이와 같이 제2기준시간(t2) 동안 구동신호가 출력되면, 레이저 빔의 중심이 제1센서(71)와 제2센서(72) 사이의 중심선(C1)을 통과하도록 정렬할 수 있게 된다. In particular, in this embodiment, the controller 80 is configured to control the second sensor 72 to output the detection signal first after the first sensor 71 first outputs the detection signal, in which case the second reference. The time t 2 is half of the time from the time when the first sensor 71 first outputs the detection signal to the time t 2 when the second sensor 72 first outputs the detection signal. It is calculated. As such, when the driving signal is output during the second reference time t 2 , the center of the laser beam may be aligned to pass through the center line C1 between the first sensor 71 and the second sensor 72.

이와 같이, 제1센서(71)가 검출신호를 출력하든 출력하지 않든 간에, 제어기(80)는 구동신호를 제1기준시간(t1) 또는 제2기준시간(t2) 동안 출력하여, 레이저 빔의 중심이 제1센서(71)와 제2센서(72) 사이의 중심선(C1)을 통과하도록 제어할 수 있게 된다. As such, whether the first sensor 71 outputs the detection signal or not, the controller 80 outputs the driving signal for the first reference time t 1 or the second reference time t 2 , so that the laser is output. The center of the beam can be controlled to pass through the center line C1 between the first sensor 71 and the second sensor 72.

그리고, 제3센서(73) 및 제4센서(74)를 이용하게 되면 레이저 빔이 각 정렬부재의 수직방향의 중심을 설정할 수 있게 된다. 이와 같이 제3센서(73) 및 제4센서(74)를 이용하여 제어하는 과정도 제1센서와 제2센서를 이용하여 제어하는 과정과 동일하다. 즉, 제3센서(73)가 검출신호를 출력하는 경우에는, 제어기(80)는 제4센서(74)가 검출신호를 최초로 출력하도록 제1구동기(61)를 구동하고 제3센서(73)가 검출신호를 다시 최초로 출력하도록 제1구동기(61)를 구동한 후, 최종적으로 제3기준시간(t3) 동안 구동신호를 출력하여 레이저 빔을 정렬한다. 여기서, 제3기준시간(t3)은 제4센서(74)가 검출신호를 최초로 출력하는 시점으로부터 제3센서(73)가 검출신호를 다시 최초로 출력하는 시점까지 시간의 절반이다. When the third sensor 73 and the fourth sensor 74 are used, the laser beam can set the center of the vertical direction of each alignment member. As described above, the process of controlling using the third sensor 73 and the fourth sensor 74 is also the same as the process of controlling using the first sensor and the second sensor. That is, when the third sensor 73 outputs the detection signal, the controller 80 drives the first driver 61 so that the fourth sensor 74 first outputs the detection signal and the third sensor 73. Drives the first driver 61 to output the detection signal again for the first time, and finally outputs the driving signal for the third reference time t 3 to align the laser beam. Here, the third reference time t 3 is half of the time from the time when the fourth sensor 74 first outputs the detection signal to the time when the third sensor 73 first outputs the detection signal again.

또한, 제3센서(73) 및 제4센서(74) 모두가 검출신호를 출력하지 않는 경우에는. 제어기(80)는 제3센서(73)가 검출신호를 최초로 출력하도록 제1구동기(61)를 구동하고 제4센서(74)가 최초로 검출신호를 출력하도록 제1구동기(61)를 구동한 후, 최종적으로 제4기준시간(t4) 동안 구동신호를 출력하여 레이저 빔을 정렬한다. 여기서, 제4기준시간(t4)은 제3센서(73)가 검출신호를 최초로 출력하는 시점으로부터 제4센서(74)가 검출신호를 최초로 출력하는 시점까지 시간의 절반이다. In addition, when neither the third sensor 73 nor the fourth sensor 74 outputs the detection signal. The controller 80 drives the first driver 61 so that the third sensor 73 first outputs the detection signal, and drives the first driver 61 so that the fourth sensor 74 first outputs the detection signal. Finally, the driving signal is output for the fourth reference time t 4 to align the laser beam. Here, the fourth reference time t 4 is half of the time from the time when the third sensor 73 first outputs the detection signal to the time when the fourth sensor 74 first outputs the detection signal.

이와 같이, 제3센서(73)가 검출신호를 출력하든 출력하지 않든 간에, 제어기(80)는 구동신호를 제3기준시간(t3) 또는 제4기준시간(t4) 동안 출력하여 레이저 빔의 중심이 제3센서(73)와 제4센서(74) 사이의 중심선(C2)을 통과하도록 제어한다. As such, whether the third sensor 73 outputs the detection signal or not, the controller 80 outputs the driving signal for the third reference time t 3 or the fourth reference time t 4 to generate the laser beam. The center of the control to pass through the center line (C2) between the third sensor (73) and the fourth sensor (74).

상술한 바와 같이, 제어기(80)가 제1기준시간(t1) 또는 제2기준시간(t2) 동안 구동신호를 출력하면 레이저 빔의 중심이 제1센서(71) 및 제2센서(72) 사이의 중심선(C1)을 통과 가능하며, 제어기(80)가 제3기준시간(t3) 또는 제4기준시간(t4) 동안 구동신호를 출력하면 레이저 빔의 중심이 제3센서(73) 및 제4센서(74) 사이의 중심선(C2)을 통과 가능하다. 따라서, 제어기(80)가 제1기준시간(t1) 또는 제2기준시간(t2) 동안 구동신호를 출력함과 아울러 제3기준시간(t3) 또는 제4기준시간(t4) 동안 구동신호를 출력하게 되면, 레이저 빔의 중심이 제1센서(71)와 제2센서(72) 사이의 중심선(C1) 및 제3센서(73)와 제4센서(74) 사이의 중심선(C2) 모두를 통과하도록 정렬되어 궁극적으로 제1정렬부재의 관통공(511)의 중심(C)을 통과하게 정렬된다.As described above, when the controller 80 outputs a driving signal for the first reference time t 1 or the second reference time t 2 , the centers of the laser beams are the first sensor 71 and the second sensor 72. The center of the laser beam is transmitted to the third sensor 73 when the controller 80 outputs the driving signal during the third reference time t 3 or the fourth reference time t 4 . And the center line C2 between the fourth sensor 74. Therefore, the controller 80 outputs the driving signal during the first reference time t 1 or the second reference time t 2 , and also during the third reference time t 3 or the fourth reference time t 4 . When the driving signal is output, the center of the laser beam is the center line C1 between the first sensor 71 and the second sensor 72 and the center line C2 between the third sensor 73 and the fourth sensor 74. ) Are aligned to pass through all of them and ultimately to pass through the center (C) of the through hole 511 of the first alignment member.

한편, 제어기(80)는, 제2구동기(62)를 제어하여 레이저 빔이 제2정렬부재의 관통공(521)의 중심(C)을 통과하도록 작동한다. 즉, 제어기(80)가 제2정렬부재(52)에 결합된 제1센서(71), 제2센서(72), 제3센서(73) 및 제4센서(74)의 검출신호를 기초로 제2구동기(62)를 제어하면, 레이저 빔이 제2정렬부재의 관통공(521)의 중심(C)을 통과하도록 정렬된다. 그리고, 레이저 빔이 제2정렬부재의 관통공(521)의 중심(C)을 통과하도록 제어되는 과정은, 레이저 빔의 중심이 제1정렬부재의 관통공(511)의 중심(C)을 통과하도록 제어되는 과정과 동일하므로, 여기서는 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.On the other hand, the controller 80 controls the second driver 62 to operate the laser beam to pass through the center C of the through hole 521 of the second alignment member. That is, the controller 80 is based on the detection signals of the first sensor 71, the second sensor 72, the third sensor 73, and the fourth sensor 74 coupled to the second alignment member 52. When the second driver 62 is controlled, the laser beam is aligned to pass through the center C of the through hole 521 of the second alignment member. In addition, in the process in which the laser beam is controlled to pass through the center C of the through hole 521 of the second alignment member, the center of the laser beam passes through the center C of the through hole 511 of the first alignment member. Since the process is the same as the process controlled to, the detailed description thereof will be omitted here.

상술한 바와 같이, 제어기(80)는 제1구동기(61) 및 제2구동기(62)를 각각 제어하여 레이저 빔이 제1정렬부재 및 제2정렬부재 각각의 관통공(511,521)의 중심(C)을 통과 가능하며 제1정렬부재의 관통공(511)과 제2정렬부재의 관통공(521)이 동일 높이에 배치되어 있어서, 궁극적으로 레이저 빔이 각 관통공(511,521)의 중심(C)을 통과하면서 평행하게 진행하도록 정렬할 수 있게 된다. 이와 같이, 본 실시예에서는, 정렬부재(51,52)를 제거할 필요도 없이 제어기(80)를 통해 구동기(61,62)를 자동적으로 제어함으로써 레이저 빔을 정렬할 수 있으므로, 종래에 비해 레이저 빔의 정렬이 보다 용이하게 이루어질 수 있게 되며 정렬과정에서 레이저 빔에 인체가 노출될 염려도 없다. As described above, the controller 80 controls the first driver 61 and the second driver 62 so that the laser beam is the center C of each of the through holes 511 and 521 of the first and second alignment members. ) And the through hole 511 of the first alignment member and the through hole 521 of the second alignment member are disposed at the same height, so that the laser beam is ultimately the center C of each of the through holes 511 and 521. It can be aligned to proceed in parallel while passing through. As described above, in the present embodiment, since the laser beams can be aligned by automatically controlling the drivers 61 and 62 through the controller 80 without having to remove the alignment members 51 and 52, the laser beam is compared with the prior art. Alignment of the beam can be made easier and there is no fear of exposure of the human body to the laser beam during the alignment process.

한편, 레이저 빔의 정렬은 레이저 발진부(10)의 정비시에도 필요하다. On the other hand, the alignment of the laser beam is also necessary at the time of maintenance of the laser oscillation unit 10.

레이저 캐비티 윈도우(laser cavity window)의 클리닝 또는 교환에 따른 아웃풋 커플러(output coupler)(11)의 조절시, 공진기(resonator)의 클리닝 또는 교환시 및 레이저 튜브의 정렬 및 교환시에도 레이저 빔의 방향 및 빔 프로파일이 변 하게 된다. 이러한 변화는 레이저 빔이 광학계를 통과하는 동안 이전과 다른 특성을 가지게 되어 공정대상물로 조사되는 빔 프로파일의 변화를 초래하게 된다. 이러한 변화는 로 빔이 제대로 정렬되지 않았기 때문에 발생된다. 따라서, 앞서 설명한 바와 같이 레이저 빔을 정렬하게 되면, 레이저 발진부의 정비시 발생되는 레이저 빔의 프로파일 변화를 보정할 수 있으며, 특히 어닐링 공정 중에 예기치 않은 로 빔 정렬의 틀어짐이 발생하는 경우에도 이를 용이하게 보정하여 레이저 어닐링 공정을 안정적으로 수행할 수 있게 된다. When adjusting the output coupler 11 by cleaning or replacing the laser cavity window, when cleaning or replacing the resonator and when aligning and replacing the laser tube, the direction of the laser beam and The beam profile will change. This change causes the laser beam to have different characteristics from the previous while passing through the optical system, resulting in a change in the beam profile irradiated to the process object. This change occurs because the furnace beam is not properly aligned. Therefore, when the laser beam is aligned as described above, it is possible to correct the profile change of the laser beam generated during the maintenance of the laser oscillator, and in particular, even when an unexpected low beam alignment occurs during the annealing process. By correcting, the laser annealing process can be stably performed.

한편, 레이저 빔 정렬유닛은 센서 엑츄에이터(미도시)와, 정렬부재 엑츄에이터(90)를 더 포함한다.On the other hand, the laser beam alignment unit further includes a sensor actuator (not shown) and the alignment member actuator 90.

센서 엑츄에이터(미도시)는 센서의 갯수 만큼 복수 구비되어, 각 센서(71,72,73,74)를 직선 구동한다. 즉, 각 센서(71,72,73,74)는 도 3에 화살표로 도시되어 있는 바와 같이 관통공의 중심(C)에 대해 접근 또는 이격되는 방향으로 직선 이동 가능하다. 이와 같이, 각 센서(71,72,73,74)가 센서 엑츄에이터에 의해 직선 이동하여 각 센서의 위치가 변경되면, 각 정렬부재에 결합된 4개의 센서의 중심을 각 정렬부재의 관통공(511,512)의 중심(C)으로부터 이격되게 배치할 수 있게 된다. 따라서, 사용자의 의도에 따라 레이저 빔의 중심이 관통공(511,512)의 중심(C)으로부터 이격되게 진행하도록 정렬할 수 있게 된다.A plurality of sensor actuators (not shown) are provided as many as the number of sensors, and each of the sensors 71, 72, 73, and 74 is linearly driven. That is, each sensor 71, 72, 73, 74 may be linearly moved in a direction approaching or spaced apart from the center C of the through hole as shown by an arrow in FIG. 3. As described above, when the sensors 71, 72, 73, and 74 are linearly moved by the sensor actuators, and the positions of the sensors are changed, the centers of the four sensors coupled to the respective alignment members may be through holes 511, 512 of the alignment members. It can be arranged spaced apart from the center (C) of the (). Therefore, according to the intention of the user, the center of the laser beam can be aligned so as to proceed to be spaced apart from the center C of the through holes 511 and 512.

정렬부재 엑츄에이터(90)는 한 쌍이 구비되며, 각 정렬부재 엑츄에이터는 각 정렬부재(51,52)를 직선 구동한다. 각 정렬부재 엑츄에이터(90)는 각 정렬부재(51,52)를 각 정렬부재를 통과하는 레이저 빔의 진행 경로에 대해 교차하는 방 향, 특히 도 3에 화살표로 도시되어 있는 바와 같이 상하 및 수평방향으로 이동시킨다. 이와 같이 각 정렬부재(51,52)가 직선 이동 가능하므로, 도 5 도시되어 있는 바와 같이 레이저 빔이 제2반사기(43)와 제3반사기(44) 사이에서 평행하게 진행하도록 정렬된 상태에서, 어느 하나의 정렬부재(51,52), 예를 들어 제1정렬부재(51)를 상방으로 이동시키면, 레이저 빔의 일부가 도 6에 도시되어 있는 바와 같이 제1정렬부재(51)에 의해 차폐되어 레이저 빔의 프로파일을 변경할 수 있게 된다. The alignment member actuator 90 is provided with a pair, and each alignment member actuator linearly drives each alignment member 51, 52. Each alignment member actuator 90 intersects each alignment member 51, 52 with respect to the path of the laser beam passing through each alignment member, in particular up and down and horizontal directions as shown by arrows in FIG. Move to. Since the alignment members 51 and 52 are linearly movable in this manner, as shown in FIG. 5, in a state in which the laser beam is aligned to run in parallel between the second reflector 43 and the third reflector 44, When one of the alignment members 51, 52, for example, the first alignment member 51 is moved upward, a portion of the laser beam is shielded by the first alignment member 51 as shown in FIG. This makes it possible to change the profile of the laser beam.

한편, 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 레이저 빔이 정렬된 상태에서, 제1구동기(61) 및 제2구동기(62) 중 적어도 하나를 구동하여 레이저 빔의 중심이 제1정렬부재(51)에 대해 직교하지 않고 교차하는 방향으로 입사되도록 레이저 빔을 기울이게 되면, 레이저 빔이 도 7에 도시되어 있는 바와 같이 기울어진 상태로 진행하며 레이저 빔의 일부가 제1정렬부재(51)에 의해 차폐되어 레이저 빔의 프로파일을 변경할 수 있게 된다. Meanwhile, as shown in FIG. 5, in a state in which the laser beams are aligned, at least one of the first driver 61 and the second driver 62 is driven to center the laser beam on the first alignment member 51. When the laser beam is tilted so as to be incident in a direction crossing with each other instead of orthogonal with respect to the laser beam, the laser beam proceeds in an inclined state as shown in FIG. 7, and a part of the laser beam is shielded by the first alignment member 51 so that the laser beam is tilted. It is possible to change the profile of the beam.

이와 같이, 본 실시예에서는, 정렬부재(51,52)의 직선 이동 또는 구동기(61,62)의 구동에 의해 레이저 빔의 프로파일을 변경할 수 있게 된다. 따라서, 공정의 변수로서 작용하는 레이저 빔의 프로파일을 변경하여 최적의 공정 조건을 찾을 수 있게 된다. As described above, in the present embodiment, the profile of the laser beam can be changed by the linear movement of the alignment members 51 and 52 or the driving of the drivers 61 and 62. Thus, it is possible to find the optimum process conditions by changing the profile of the laser beam acting as a process variable.

그리고, 상술한 바와 같이 레이저 빔의 프로파일을 변경하기 위해, 본 실시예의 제어기(80)는 각 센서(71,72,73,74)로부터 입력된 검출신호를 기초로 레이저 빔의 프로파일이 변경되도록 구동기(61,62) 및 정렬부재 엑츄에이터(미도시) 중 적 어도 하나를 제어한다. 특히, 제어기는 구동기(61,62) 및 정렬부재 엑츄에이터(미도시)를 모두 제어하도록 구성되어 있어서, 앞서 설명한 바와 같이 레이저 빔이 평행하게 또는 기울어지게 진행하는 상태에서 레이저 빔의 일부가 차폐되어 레이저 빔의 프로파일이 변경되게 된다. And, in order to change the profile of the laser beam as described above, the controller 80 of the present embodiment is a driver so that the profile of the laser beam is changed based on the detection signal input from each sensor (71, 72, 73, 74) At least one of (61, 62) and the alignment member actuator (not shown). In particular, the controller is configured to control both the actuators 61 and 62 and the alignment member actuators (not shown), so that the laser beam is partially shielded in a state where the laser beam proceeds in parallel or inclined as described above. The beam's profile will be changed.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예들을 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 변형이 가능함은 명백하다. As mentioned above, the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made by those skilled in the art within the technical idea of the present invention. It is obvious.

예를 들어, 본 실시예에서는 정렬부재가 한 쌍 구비되는 것으로 구성되어 있으나, 정렬부재가 하나 또는 세개 이상 구비되도록 구성할 수도 있다. For example, in the present embodiment, but a pair of alignment members is provided, but may be configured to be provided with one or three or more alignment members.

또한, 본 실시예에서는 각 정렬부재에 4개의 센서가 결합되도록 구성되어 있으나, 센서가 반드시 4개 구성될 필요는 없으며 예를 들어 서로 마주하는 한 쌍의 센서만 결합되도록 구성할 수도 있다. In addition, in the present embodiment, four sensors are configured to be coupled to each alignment member, but four sensors are not necessarily configured, and for example, only one pair of sensors facing each other may be configured.

또한, 본 실시예에서는 레이저 빔의 중심이 관통공의 중심을 통과하도록 구성되어 있으나, 기준시간을 다르게 설정하게 되면 레이저 빔의 중심이 관통공의 중심으로부터 이격되도록 구성할 수도 있다. In addition, in the present embodiment, the center of the laser beam is configured to pass through the center of the through hole, but if the reference time is set differently, the center of the laser beam may be configured to be spaced apart from the center of the through hole.

도 1은 종래의 일례에 따른 레이저 가공장치의 개략적인 구성도이다. 1 is a schematic configuration diagram of a laser processing apparatus according to a conventional example.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공장치의 개략적인 구성도이다. 2 is a schematic configuration diagram of a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에 도시된 한 쌍의 정렬부재의 개략적인 사시도이다. 3 is a schematic perspective view of the pair of alignment members shown in FIG. 2.

도 4는 도 2에 도시된 레이저 가공장치에 있어서 레이저 빔의 정렬 제어를 설명하기 위한 제어 블록도이다. FIG. 4 is a control block diagram for explaining alignment control of a laser beam in the laser processing apparatus shown in FIG. 2.

도 5 내지 도 7은 도 2에 도시된 레이저 가공장치를 이용하여 레이저 빔의 프로파일의 변경을 설명하기 위한 단면도이다. 5 to 7 are cross-sectional views for explaining the change of the profile of the laser beam using the laser processing apparatus shown in FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10...레이저 발진부 20...광학계10 ... laser oscillation part 20 ... optical system

30...챔버 20...빔 덤프30 ... chamber 20 ... beam dump

21...흡수부재 41,42,43,44,45...반사기21 Absorbing members 41, 42, 43, 44, 45

51,52...정렬부재 61,62...구동기 51,52 Alignment member 61,62 Actuator

71,72,73,74...센서 80...제어기71,72,73,74 ... sensor 80 ... controller

100...레이저 가공장치 611,621...마이크로미터100 ... laser processing unit 611,621 ... micrometer

Claims (9)

레이저 빔을 발진시키는 레이저 발진부; 상기 레이저 발진부에서 발진된 레이저 빔을 소정의 빔 폭을 구비한 빔 프로파일의 에너지 밀도를 가지도록 변환하는 광학계; 상기 광학계에서 변환된 레이저 빔이 투과되며, 상기 투과된 레이저 빔이 내부에 배치된 공정대상물에 조사되는 챔버; 상기 레이저 발진부와 상기 챔버 사이에 배치되며, 상기 레이저 빔을 반사시키는 반사기; 및 상기 챔버로 조사되는 레이저 빔을 정렬(alignment)하기 위한 레이저 빔 정렬유닛;을 구비하는 레이저 가공장치에 있어서, A laser oscillator for oscillating a laser beam; An optical system for converting the laser beam oscillated by the laser oscillator to have an energy density of a beam profile having a predetermined beam width; A chamber through which the laser beam converted by the optical system is transmitted and irradiated to a process object disposed therein; A reflector disposed between the laser oscillation unit and the chamber and reflecting the laser beam; And a laser beam alignment unit for aligning a laser beam irradiated into the chamber. 상기 레이저 빔 정렬유닛은, The laser beam alignment unit, 상기 반사기와 공정대상물 사이에 설치되어 상기 레이저 빔의 진행 경로 상에 배치되며, 상기 레이저 빔이 통과 가능하도록 상기 레이저 빔의 단면적 보다 더 크게 관통 형성된 관통공이 형성된 정렬부재; An alignment member disposed between the reflector and the process object and disposed on a path of the laser beam, the alignment member having a through hole formed through the laser beam to allow passage of the laser beam larger than the cross-sectional area of the laser beam; 상기 반사기에서 반사된 레이저 빔의 진행경로가 조절되도록 상기 반사기를 구동하는 구동기; 및 A driver for driving the reflector to adjust the path of the laser beam reflected from the reflector; And 상기 정렬부재의 관통공을 통과하는 것으로 검출된 상기 레이저 빔을 기초로 상기 레이저 빔의 중심과 상기 관통공의 중심 간의 거리가 조절되도록 상기 구동기를 제어하는 제어기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치. And a controller for controlling the driver to adjust a distance between the center of the laser beam and the center of the through hole based on the laser beam detected as passing through the through hole of the alignment member. Device. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제어기는, 상기 레이저 빔의 중심이 상기 관통공의 중심을 통과하도록 상기 구동기를 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치. And the controller controls the driver so that the center of the laser beam passes through the center of the through hole. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 레이저 빔 정렬유닛은, 상기 관통공의 양측에 배치되도록 상기 정렬부재에 각각 결합되며, 입사되는 레이저 빔을 검출하며, 상기 레이저 빔의 검출시 상기 제어기로 검출신호를 출력하는 제1센서 및 제2센서;를 더 구비하며, The laser beam alignment unit is coupled to the alignment member so as to be disposed at both sides of the through hole, and detects an incident laser beam, and outputs a detection signal to the controller when the laser beam is detected. 2 sensors; further provided, 상기 제1센서 및 제2센서 간의 거리는, 상기 레이저 빔이 상기 제1센서 및 제2센서 사이로 통과 가능하도록 형성되어 있으며,The distance between the first sensor and the second sensor is formed so that the laser beam can pass between the first sensor and the second sensor, 상기 제어부는, The control unit, 상기 제1센서가 상기 레이저 빔에 접촉하여 상기 검출신호를 출력하는 경우, 상기 제2센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점까지 상기 구동기를 구동하고 상기 제1센서가 상기 검출신호를 다시 출력하는 시점까지 상기 구동기에 구동한 후, 상기 제2센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점으로부터 상기 제1센서가 상기 검출신호를 다시 출력하는 시점까지의 시간을 기초로 설정된 제1기준시간 동안 상기 레이저 빔의 중심이 상기 관통공의 중심을 통과하도록 상기 구동기를 구동하는 구동신호를 출력하며, When the first sensor contacts the laser beam and outputs the detection signal, a point in time at which the driver drives the driver until the second sensor outputs the detection signal and the first sensor outputs the detection signal again. After driving to the driver until, the laser beam of the laser beam for a first reference time set based on the time from the time when the second sensor outputs the detection signal to the time when the first sensor outputs the detection signal again Outputs a driving signal for driving the driver so that a center passes through the center of the through hole, 상기 제1센서 및 제2센서 모두 상기 레이저 빔의 경로로부터 벗어나 상기 검출신호를 출력하지 않는 경우, 상기 제1센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점까지 상기 구동기를 구동하고 상기 제2센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점까지 상기 구동기를 구동한 후, 상기 제1센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점으로부터 상기 제2센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점까지의 시간을 기초로 설정된 제2기준시간 동안 상기 레이저 빔의 중심이 상기 관통공의 중심을 통과하도록 상기 구동기를 구동하는 구동신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치. When both the first sensor and the second sensor do not output the detection signal from the path of the laser beam, the driver is driven until the first sensor outputs the detection signal, and the second sensor detects the detection signal. After driving the driver to the point of time to output the signal, for a second reference time set based on the time from the point of time when the first sensor outputs the detection signal to the point of time when the second sensor outputs the detection signal And a driving signal for driving the driver so that the center of the laser beam passes through the center of the through hole. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 레이저 빔 정렬유닛은, 상기 관통공의 양측에 배치되어 상기 관통공을 중심으로 상기 제1센서 및 제2센서와 함께 방사형으로 배치되도록 상기 정렬부재에 각각 결합되며, 입사되는 레이저 빔을 검출하며, 상기 레이저 빔의 검출시 상기 제어기로 검출신호를 출력하는 제3센서 및 제4센서;를 더 구비하며, The laser beam alignment unit is disposed on both sides of the through hole and coupled to the alignment member so as to be radially disposed together with the first sensor and the second sensor around the through hole, and detects an incident laser beam. And a third sensor and a fourth sensor for outputting a detection signal to the controller when the laser beam is detected. 상기 제3센서 및 제4센서 간의 거리는, 상기 레이저 빔이 상기 제1센서 및 제2센서 사이로 통과 가능하도록 형성되어 있으며,The distance between the third sensor and the fourth sensor is formed so that the laser beam can pass between the first sensor and the second sensor, 상기 제어기는, The controller, 상기 제3센서가 상기 레이저 빔에 접촉하여 상기 검출신호를 출력하는 경우, 상기 제4센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점까지 상기 구동기를 구동하고 상기 제3센서가 상기 검출신호를 다시 출력하는 시점까지 상기 구동기에 구동한 후, 상기 제4센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점으로부터 상기 제3센서가 상기 검출신호를 다시 출력하는 시점까지의 시간을 기초로 설정된 제3기준시간 동안 상기 레이저 빔의 중심이 상기 관통공의 중심을 통과하도록 상기 구동기를 구동하는 구동신호를 출력하며, When the third sensor contacts the laser beam and outputs the detection signal, a point in time at which the fourth sensor drives the driver until the fourth sensor outputs the detection signal and the third sensor outputs the detection signal again. After driving to the driver until, the laser beam of the laser beam for a third reference time set based on the time from the time when the fourth sensor outputs the detection signal to the time when the third sensor outputs the detection signal again. Outputs a driving signal for driving the driver so that a center passes through the center of the through hole, 상기 제3센서 및 제4센서 모두 상기 레이저 빔의 경로로부터 벗어나 상기 검출신호를 출력하지 않는 경우, 상기 제3센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점까지 상기 구동기를 구동하고 상기 제4센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점까지 상기 구동기를 구동한 후, 상기 제3센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점으로부터 상기 제4센서가 상기 검출신호를 출력하는 시점까지의 시간을 기초로 설정된 제4기준시간 동안 상기 레이저 빔의 중심이 상기 관통공의 중심을 통과하도록 상기 구동기를 구동하는 구동신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치. When both the third sensor and the fourth sensor do not output the detection signal from the path of the laser beam, the driver is driven until the third sensor outputs the detection signal, and the fourth sensor detects the detection signal. After driving the driver to the time point to output the signal, for a fourth reference time set based on the time from the time point when the third sensor outputs the detection signal to the time point when the fourth sensor outputs the detection signal And a driving signal for driving the driver so that the center of the laser beam passes through the center of the through hole. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 제1기준시간은 상기 제2센서가 상기 검출신호를 최초로 출력하는 시점으로부터 상기 제1센서가 상기 검출신호를 다시 최초로 출력하는 시점까지 시간의 절반이며, The first reference time is half of the time from the time when the second sensor first outputs the detection signal to the time when the first sensor outputs the detection signal again. 상기 제2기준시간은 상기 제1센서가 상기 검출신호를 최초로 출력하는 시점으로부터 상기 제2센서가 상기 검출신호를 최초로 출력하는 시점까지 시간의 절반이며, The second reference time is half of the time from the time when the first sensor first outputs the detection signal to the time when the second sensor first outputs the detection signal, 상기 제3기준시간은 상기 제4센서가 상기 검출신호를 최초로 출력하는 시점으로부터 상기 제3센서가 상기 검출신호를 다시 최초로 출력하는 시점까지 시간의 절반이며, The third reference time is half of the time from the time when the fourth sensor first outputs the detection signal to the time when the third sensor first outputs the detection signal again. 상기 제4기준시간은 상기 제3센서가 상기 검출신호를 최초로 출력하는 시점으로부터 상기 제4센서가 상기 검출신호를 최초로 출력하는 시점까지 시간의 절반 인 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치. And the fourth reference time is half of the time from the time when the third sensor first outputs the detection signal to the time when the fourth sensor first outputs the detection signal. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 반사기는 상기 레이저 발진부와 공정대상물 사이에 복수 배치되어 있으며, The reflector is disposed in plurality between the laser oscillation unit and the process object, 상기 정렬부재는 서로 인접한 상기 반사기 사이에 복수 설치되어 있으며, The alignment member is provided in plurality between the reflector adjacent to each other, 상기 복수의 정렬부재는 상기 각 정렬부재의 관통공이 동축적으로 배치되도록 설치되어 있으며, The plurality of alignment members are installed so that the through holes of each of the alignment members are arranged coaxially, 상기 각 정렬부재에는 상기 제1센서, 제2센서, 제3센서 및 제4센서가 각각 결합되어 있으며, The first sensor, the second sensor, the third sensor and the fourth sensor are coupled to each of the alignment members, 상기 구동기는, 상기 레이저 발진부와 상기 복수의 정렬부재 사이에 배치된 복수의 반사기가 구동 가능하도록 각 반사기에 대응되게 복수 설치되며, The driver may be provided in plurality in correspondence with each reflector such that a plurality of reflectors disposed between the laser oscillation unit and the plurality of alignment members can be driven. 상기 제어기는, 상기 레이저 빔이 상기 각 정렬부재의 관통공의 중심을 통과하도록 상기 각 구동기를 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치. And the controller controls the respective drivers such that the laser beam passes through the center of the through hole of each of the alignment members. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 광학계는 호모지나이저를 포함하며,The optical system includes a homogenizer, 상기 레이저 발진부와 상기 정렬부재 사이에는, 상기 레이저 빔의 진행방향을 따라 순차적으로 제1반사기, 제2반사기 및 제3반사기가 배치되어 있으며,Between the laser oscillation unit and the alignment member, a first reflector, a second reflector, and a third reflector are sequentially disposed along the advancing direction of the laser beam. 상기 제2반사기와 제3반사기 사이에는 상기 레이저 빔의 진행방향을 따라 순 차적으로 제1정렬부재, 호모지나이저 및 제2정렬부재가 배치되어 있으며,Between the second reflector and the third reflector, a first alignment member, a homogenizer, and a second alignment member are sequentially disposed along the traveling direction of the laser beam. 상기 제1반사기 및 제2반사기는 각각 제1구동기 및 제2구동기에 의해 구동 가능하며,The first reflector and the second reflector can be driven by the first driver and the second driver, respectively, 상기 제어기는, 상기 레이저 빔의 중심이 상기 제1정렬부재의 관통공 및 상기 제2정렬부재의 관통공의 중심을 각각 통과하도록 상기 제1구동기 및 제2구동기를 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.The controller controls the first driver and the second driver so that the center of the laser beam passes through the center of the through hole of the first alignment member and the through hole of the second alignment member, respectively. Device. 제 3항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 3 to 8, 상기 레이저 빔 정렬유닛은, The laser beam alignment unit, 상기 센서가 상기 관통공의 중심에 대해 접근 또는 이격되는 방향으로 이동 가능하도록 상기 센서를 구동하는 센서 엑츄에이터; 및 A sensor actuator for driving the sensor to be movable in a direction in which the sensor is approached or spaced from the center of the through hole; And 상기 정렬부재가 상기 관통공을 통과하는 레이저 빔의 진행 경로에 대해 교차하는 방향으로 이동 가능하도록 상기 정렬부재를 구동하는 정렬부재 엑츄에이터;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.And an alignment member actuator for driving the alignment member such that the alignment member is movable in a direction crossing the path of the laser beam passing through the through hole. 제 8항 중 어느 한 항에 있어서, The method of claim 8, wherein 상기 제어기는, 상기 정렬부재의 관통공으로 진행하는 것으로 검출된 레이저 빔을 기초로 상기 레이저 빔의 일부가 상기 정렬부재에 의해 가려져 상기 정렬부재의 관통공을 통과하는 레이저 빔의 프로파일이 변경되도록 상기 구동기 및 정렬부재 엑츄에이터 중 적어도 하나를 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.The controller may be configured such that a part of the laser beam is covered by the alignment member based on the laser beam detected to proceed to the through hole of the alignment member so that the profile of the laser beam passing through the through hole of the alignment member is changed. And controlling at least one of the alignment member actuators.
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