KR20090032979A

KR20090032979A - Heating apparatus

Info

Publication number: KR20090032979A
Application number: KR1020080085092A
Authority: KR
Inventors: 나오코 나카자와; 케이스케 엔도
Original assignee: 후지필름 가부시키가이샤
Priority date: 2007-09-27
Filing date: 2008-08-29
Publication date: 2009-04-01
Also published as: TW200922787A; JP2009078510A; CN101396897A

Abstract

A heater is provided to secure the operation and maintenance space by moving the main body member to the predetermined direction. A heater(45) heats a substrate(24) to the predetermined temperature in advance. A photosensitivity web(22) is adhered to the substrate by a laminating device(46). The heater comprises a delivering apparatus(74) and a plurality of heating devices(76,78). The delivering apparatus returns the substrate. The heater is arranged in the lowest par of the sending direction which is adjacent to the laminating device. The heater comprises a main body member, a transport mechanism, and an escape instrument. The main body member accommodates a delivering apparatus and a heating source. The transport mechanism is installed in the main body member. The transport mechanism is extended to the neighborhood of the laminating device. The transport mechanism transfers the substrate to the laminating device.

Description

Heating device {HEATING APPARATUS}

본 발명은 라미네이트 장치에 의해 감광성 웹이 부착되는 기판을 부착 처리 전에 미리 소정의 온도로 가열하는 가열 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the heating apparatus which heats the board | substrate with which the photosensitive web is affixed by a lamination apparatus to predetermined temperature before attachment processing.

예컨대, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP 패널용 기판에서는 감광 재료(감광성 수지)층을 갖는 감광성 시트체(감광성 웹)를 기판 표면에 부착한 감광성 적층체가 이용되고 있다. 이 감광성 시트체는 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광 재료층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 있다.For example, the photosensitive laminated body which attached the photosensitive sheet body (photosensitive web) which has a photosensitive material (photosensitive resin) layer to the board | substrate surface is used for the board | substrate for liquid crystal panels, the board | substrate for printed wirings, and the board | substrate for PDP panels. In this photosensitive sheet body, a photosensitive material layer and a protective film are laminated | stacked sequentially on the flexible plastic support body.

이 감광성 적층체를 제조할 때에는 통상 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판이 미리 소정의 온도로 가열되어 있다. 그리고, 보호 필름이 부분적 또는 전체적으로 박리된 감광성 웹과 가열된 기판은 라미네이트 장치를 구성하는 1쌍의 라미네이트 롤러 사이에 협지되어 가열됨으로써 상기 기판 상에 감광 재료층이 열압착되어 있다. 다음으로, 기판으로부터 가요성 플라스틱 지지체가 박리됨으로써 감광성 적층체가 제조되고 있다.When manufacturing this photosensitive laminated body, board | substrates, such as a glass substrate and a resin substrate, are normally heated at predetermined temperature previously. Then, the photosensitive web on which the protective film is partially or wholly peeled off and the heated substrate are sandwiched and heated between a pair of laminate rollers constituting the laminate apparatus, whereby the photosensitive material layer is thermocompressed on the substrate. Next, the photosensitive laminated body is manufactured by peeling a flexible plastic support body from a board | substrate.

예컨대, 일본 특허 공개 평8-183146호 공보에 개시되어 있는 드라이 레지스트 필름의 라미네이팅 방법에서는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 기판 예열부(1), 라미네이트부(2), 기판 냉각부(3), 기판상 필름 절단부(4) 및 필름 제거부(5)가 반송부(6)에 의한 기판(7)의 반송방향을 따라 배치되어 있다.For example, in the laminating method of the dry resist film disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 8-183146, as shown in FIG. 8, the board | substrate preheating part 1, the laminated part 2, the board | substrate cooling part 3, The board | substrate film cut part 4 and the film removal part 5 are arrange | positioned along the conveyance direction of the board | substrate 7 by the conveyance part 6. As shown in FIG.

기판 예열부(1)에서는 예열 히터(1a)를 통해서 기판(7)이 소정의 온도로 가열된 후, 이 기판(7)을 라미네이트부(2)에 송출하고 있다. 라미네이트부(2)에는 1쌍의 라미네이트 롤러(2a,2b)가 배치되어 있고, 상기 라미네이트 롤러(2a,2b) 사이에는 기판(7)과 드라이 레지스트 필름(8)이 보내지고 있다. 따라서, 드라이 레지스트 필름(8)은 기판(7)에 열압착되어 있다.In the board | substrate preheating part 1, the board | substrate 7 is heated to predetermined | prescribed temperature via the preheating heater 1a, and this board | substrate 7 is sent to the laminated part 2. A pair of laminate rollers 2a and 2b are arranged in the laminate part 2, and the board | substrate 7 and the dry resist film 8 are sent between the said laminate rollers 2a and 2b. Accordingly, the dry resist film 8 is thermocompressed to the substrate 7.

그런데, 상기의 종래기술에서는 기판 예열부(1)와 라미네이트 롤러(2a,2b)의 기판 삽입측 사이에서 기판(7)을 원활하게 이송할 필요가 있다. 이 때문에, 통상 라미네이트부(2)에는 기판 예열부(1)측으로 돌출하는 컨베이어(도시 생략)가 설치되어 있다.By the way, in the above prior art, it is necessary to smoothly transfer the substrate 7 between the substrate preheating unit 1 and the substrate insertion side of the laminate rollers 2a and 2b. For this reason, the laminated part 2 is normally provided with the conveyor (not shown) which protrudes to the board | substrate preheating part 1 side.

그러나, 라미네이트부(2)에서는 라미네이트 롤러(2a,2b)의 청소나 교환 등의 유지 보수 작업이 행해질 때에 컨베이어가 작업의 장해로 되고 있다. 따라서, 유지 보수시마다 컨베이어를 착탈하는 작업이 필요하지만, 이러한 종류의 작업은 상당히 번잡하기 때문에 유지 보수 전체를 효율적으로 행할 수 없다는 문제가 있다.However, in the laminate part 2, when the maintenance work, such as cleaning or replacement of the laminate rollers 2a and 2b, is performed, the conveyor becomes an obstacle of work. Therefore, although the operation | work which attaches and detaches a conveyor every time of maintenance is required, since this kind of operation is quite complicated, there exists a problem that the whole maintenance cannot be performed efficiently.

본 발명은 이러한 종류의 문제를 해결하는 것이며, 라미네이트 장치의 유지 보수 등의 작업을 효율적이고 또한 용이하게 수행할 수 있고 가열 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention solves this kind of problem, and an object of the present invention is to provide a heating device that can efficiently and easily carry out operations such as maintenance of a laminate device.

본 발명은 라미네이트 장치에 의해 감광성 웹이 부착되는 기판을 부착 처리 전에 미리 소정의 온도로 가열하는 가열 장치에 관한 것이다. 가열 장치는 기판을 반송하기 위한 반송 기구와, 상기 반송 기구에 의한 반송방향을 따라 배치되는 복수개의 가열 기구를 구비하고 있다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the heating apparatus which heats the board | substrate with which the photosensitive web is affixed by a lamination apparatus to predetermined temperature before attachment processing. The heating apparatus is provided with the conveyance mechanism for conveying a board | substrate, and the some heating mechanism arrange | positioned along the conveyance direction by the said conveyance mechanism.

그리고, 라미네이트 장치에 인접하는 반송방향 최하류에 배치되는 가열 기구는 반송 기구 및 가열원을 수용하는 본체부와, 상기 본체부에 설치되며 상기 라미네이트 장치의 근방까지 연장되어 기판을 상기 라미네이트 장치에 이송하기 위한 이송 기구와, 상기 본체부를 상기 라미네이트 장치에 대해서 이동시킬 수 있는 퇴피 기구를 구비하고 있다.The heating mechanism disposed downstream of the conveying direction adjacent to the laminating apparatus includes a main body portion accommodating the conveying mechanism and a heating source, and is provided to the main body portion and extends to the vicinity of the laminating apparatus to transfer the substrate to the laminating apparatus. And a retraction mechanism capable of moving the main body with respect to the lamination device.

본 발명에서는 가열 기구를 구성하는 본체부에 기판을 라미네이트 장치에 이송하기 위한 이송 기구가 설치되어 있고, 이 본체부는, 상기 이송 기구와 일체로, 퇴피 기구를 통해서 상기 라미네이트 장치로부터 이간될 수 있다. 이 때문에, 라미네이트 장치의 유지 보수시에 본체부를 소정의 방향으로 이동시키는 것만으로, 유지 보수용 공간을 확보하는 것이 가능하게 된다. 이것에 의해, 라미네이트 장치의 각종 유지 보수 작업이 효율적이고 또한 용이하게 수행된다.In this invention, the conveyance mechanism for conveying a board | substrate to a lamination apparatus is provided in the main-body part which comprises a heating mechanism, This main body part can be separated from the said laminated apparatus via the retraction mechanism integrally with the said transfer mechanism. For this reason, it becomes possible to ensure the space for maintenance only by moving a main body part to a predetermined direction at the time of maintenance of a lamination apparatus. Thereby, various maintenance work of the laminating apparatus is performed efficiently and easily.

첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터 상기의 목적 및 다른 목적, 특징 및 이점이 보다 명확해질 것이다.The foregoing and other objects, features, and advantages will become more apparent from the following description of the preferred embodiments, which cooperate with the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 가열 장치를 조립하는 감광성 적층체의 제조 시스템(20)의 개략적인 구성도이고, 이 제조 시스템(20)은 액정 또는 유기 EL용 컬러 필터의 제작 공정에서 길이가 긴 형상의 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)(후술하는)을 유리 기판(24)에 열전사하는 작업을 행한다.1 is a schematic configuration diagram of a manufacturing system 20 of a photosensitive laminate which assembles a heating device according to a first embodiment of the present invention, which is a manufacturing process of a color filter for liquid crystal or organic EL. In FIG. 2, the photosensitive resin layer 28 (to be described later) of the long photosensitive web 22 is thermally transferred to the glass substrate 24.

이 감광성 웹(22)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과, 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과, 보호 필름(30)을 적층해서 구성된다.This photosensitive web 22 is comprised by laminating | stacking the flexible base film (support) 26, the photosensitive resin layer (photosensitive material layer) 28, and the protective film 30. As shown in FIG.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 시스템(20)은 감광성 웹(22)을 롤 형상으로 감은 감광성 웹 롤(22a)을 수용하고, 이 감광성 웹 롤(22a)로부터 상기 감광성 웹(22)을 송출하는 웹 송출 기구(32)와, 송출된 상기 감광성 웹(22)의 보호 필름(30)에 폭방향으로 절단가능한 하프컷 부위(34)(도 2 참조)를 형성하는 가공 기구(36)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 보호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비한다.As shown in FIG. 1, the manufacturing system 20 accommodates the photosensitive web roll 22a which wound the photosensitive web 22 in roll shape, and delivers the said photosensitive web 22 from this photosensitive web roll 22a. A processing mechanism 36 which forms a web cut mechanism 32, a half cut portion 34 (see FIG. 2) that can be cut in the width direction in the protective film 30 of the photosensitive web 22 sent out, and a part thereof. Is provided with a label adhesion mechanism 40 for adhering the adhesive label 38 (see FIG. 3) having the non-adhesive portion 38a to the protective film 30.

라벨 접착 기구(40)의 하류에는 감광성 웹(22)을 택트 반송에서 연속 반송으로 변경하기 위한 리저버 기구(42)와, 상기 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 박리 기구(44)와, 유리 기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태에서 부착 위치로 반송하는 제 1 실시형태에 따른 가열 장치(45)와, 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 부착하는 라미네이트 장치(46)가 배치된다. 또한, 라미네이트 장치(46)에 의해 유리 기판(24)에 감광성 웹(22)이 부착된 피처리물을 이하 단지 부착 기판(24a)이라고 한다.Downstream of the label adhesive mechanism 40, the reservoir mechanism 42 for changing the photosensitive web 22 from tact conveyance to continuous conveyance, and the protective film 30 are peeled from the photosensitive web 22 at predetermined length intervals. By peeling of the peeling mechanism 44 to be made, the heating apparatus 45 which concerns on 1st embodiment which conveys to the attachment position in the state which heated the glass substrate 24 to predetermined temperature, and the said protective film 30, The laminating apparatus 46 which attaches the exposed photosensitive resin layer 28 to the said glass substrate 24 is arrange | positioned. In addition, the to-be-processed object which the photosensitive web 22 adhered to the glass substrate 24 by the lamination apparatus 46 is only called the attachment substrate 24a hereafter.

라미네이트 장치(46)에 있어서의 부착 위치의 상류 근방에는 감광성 웹(22)의 경계 위치인 하프컷 부위(34)를 직접 검출하는 검출 기구(47)가 배치됨과 아울러, 상기 라미네이트 장치(46)의 하류에는 각 유리 기판(24) 사이의 상기 감광성 웹(22)을 절단하는 기판간 웹 절단 기구(48)가 배치된다. 이 기판간 웹 절단 기구(48)의 상류에는 운전 개시시 및 운전 종료시에 사용되는 웹 절단 기구(48a)가 설치된다.The detection mechanism 47 which directly detects the half cut part 34 which is a boundary position of the photosensitive web 22 is arrange | positioned in the upstream vicinity of the attachment position in the lamination apparatus 46, and the Downstream, an inter-substrate web cutting mechanism 48 for cutting the photosensitive web 22 between each glass substrate 24 is disposed. Upstream of the inter-substrate web cutting mechanism 48, a web cutting mechanism 48a used at the start of the operation and at the end of the operation is provided.

웹 송출 기구(32)의 하류 근방에는 대략 사용 완료된 감광성 웹(22)의 후단과, 새롭게 사용되는 감광성 웹(22)의 선단을 접합시키는 접합대(49)가 배치된다. 이 접합대(49)의 하류에는 감광성 웹 롤(22a)의 감기 어긋남에 의한 폭방향의 어긋남을 제어하기 위해 필름 끝 위치 검출기(51)가 배치된다.In the downstream vicinity of the web delivery mechanism 32, the joining table 49 which joins the rear end of the substantially used photosensitive web 22 and the front end of the photosensitive web 22 newly used is arrange | positioned. Downstream of this joining table 49, the film end position detector 51 is arrange | positioned in order to control the shift | offset of the width direction by the winding shift | offset | difference of the photosensitive web roll 22a.

가공 기구(36)는 웹 송출 기구(32)에 수용되어 감겨져 있는 감광성 웹 롤(22a)의 롤 지름을 산출하기 위한 롤러 쌍(50)의 하류에 배치된다. 이 가공 기구(36)는 단일의 둥근 칼날(52)을 구비하고, 이 둥근 칼날(52)은 감광성 웹(22)의 폭방향으로 주행해서 상기 감광성 웹(22)의 소정의 위치에 하프컷 부위(34)를 형성한다.The processing mechanism 36 is disposed downstream of the roller pair 50 for calculating the roll diameter of the photosensitive web roll 22a that is received and wound in the web delivery mechanism 32. This processing mechanism 36 is provided with a single round blade 52, the round blade 52 traveling in the width direction of the photosensitive web 22, the half cut portion at a predetermined position of the photosensitive web 22. 34 is formed.

도 2에 나타내는 바와 같이, 하프컷 부위(34)는 적어도 보호 필름(30)을 절단할 필요가 있고, 실제상, 이 보호 필름(30)을 확실하게 절단하기 위해서 감광성 수지층(28) 내지 베이스 필름(26)까지 절입하도록 둥근 칼날(52)의 절입 깊이가 설 정된다.As shown in FIG. 2, the half cut part 34 needs to cut | disconnect at least the protective film 30, and in fact, in order to reliably cut | disconnect this protective film 30, the photosensitive resin layers 28-base are shown. The cutting depth of the round blade 52 is set to cut to the film 26.

하프컷 부위(34)는 유리 기판(24)의 간격을 설정하는 것이고, 예컨대, 양측의 상기 유리 기판(24)에 각각 10㎜씩 들어간 위치로 설정된다. 유리 기판(24) 사이의 하프컷 부위(34)로 끼워진 부분은 후술하는 라미네이트 장치(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 테두리 형상으로 부착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.The half cut part 34 sets the space | interval of the glass substrate 24, for example, is set to the position which entered each of the said glass substrate 24 of both sides by 10 mm. The part sandwiched by the half cut part 34 between the glass substrates 24 functions as a mask at the time of attaching the photosensitive resin layer 28 to the said glass substrate 24 in an edge shape in the lamination apparatus 46 mentioned later. It is.

라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)을 남기기 때문에 박리측 전방의 박리 부분(30aa)과 박리측 후방의 박리 부분(30ab)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 사이에 두고 먼저 박리되는 부분을 전방의 박리 부분(30aa)이라고 하는 한편, 나중에 박리되는 부분을 후방의 박리 부분(30ab)이라고 한다.Since the label adhesion mechanism 40 leaves the remaining part 30b of the protective film 30 correspondingly between the glass substrates 24, the peeling part 30aa of the peeling side front and the peeling part 30ab of the peeling side back are left. The adhesive label 38 which connects is supplied. As shown in FIG. 2, the protective film 30 is called the peeling part 30aa of the front part, and the part peeled later is the peeling part 30ab of the back part, while the part peeled first is carried out with the remaining part 30b in between. It is called.

도 3에 나타내는 바와 같이, 접착 라벨(38)은 직사각형상으로 구성되어 있고, 예컨대, 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미점착을 포함하는)(38a)를 가짐과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양측, 즉, 상기 접착 라벨(38)의 길이방향 양단부에 전방의 박리 부분(30aa)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리 부분(30ab)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.As shown in FIG. 3, the adhesive label 38 is comprised in rectangular shape, for example, is formed with the same resin material as the protective film 30. As shown in FIG. The adhesive label 38 has a non-adhesive portion (including non-adhesive) 38a to which a pressure-sensitive adhesive is not applied, and both sides of the non-adhesive portion 38a, that is, in the longitudinal direction of the adhesive label 38. It has a 1st adhesion part 38b adhering to the peeling part 30aa of the front part at the both ends, and the 2nd adhesion part 38c adhering to the peeling part 30ab of the rear part.

도 1에 나타내는 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착할 수 있는 흡착 패드(54a~54g)를 구비함과 아 울러, 상기 흡착 패드(54a~54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착 위치에는 감광성 웹(22)을 하방으로부터 유지하기 위한 수용대(56)가 승강가능하게 배치된다.As shown in Fig. 1, the label adhesive mechanism 40 includes adsorption pads 54a to 54g to which a maximum of seven adhesive labels 38 can be attached at predetermined intervals. At the attachment position of the adhesive label 38 by 54a to 54g, a receiving table 56 for holding the photosensitive web 22 from below is liftable.

리저버 기구(42)는 상류측의 감광성 웹(22)의 택트 반송과, 하류측의 상기 감광성 웹(22)의 연속 반송의 속도차를 흡수하지만, 더욱 텐션 변동을 방지하기 위해서 요동 가능한 2련의 롤러(60)로 구성되는 댄서(61)를 구비한다. 또한, 롤러(60)는 리저브(reserve)량에 따라 1련 또는 3련 이상이어도 된다.The reservoir mechanism 42 absorbs the speed difference between the tact conveyance of the photosensitive web 22 on the upstream side and the continuous conveyance of the photosensitive web 22 on the downstream side, but in order to further prevent tension fluctuation, The dancer 61 comprised of the roller 60 is provided. In addition, the roller 60 may be one or three or more times according to the amount of reserves.

이 리저버 기구(42)의 하류에 배치되는 박리 기구(44)는 감광성 웹(22)의 송출측의 텐션 변동을 저감하고, 라미네이팅시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해서 감광성 웹(22)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 제외하고 보호 필름 권취부(64)에 감겨진다.The peeling mechanism 44 disposed downstream of the reservoir mechanism 42 is provided with a suction drum 62 for reducing tension fluctuations on the feeding side of the photosensitive web 22 and stabilizing tension during laminating. The peeling roller 63 is arrange | positioned in the vicinity of the suction drum 62, and the protective film 30 peeled from the photosensitive web 22 at an acute peeling angle through this peeling roller 63 is the remaining part 30b. It is wound on the protective film winding 64 except for.

박리 기구(44)의 하류측에는 감광성 웹(22)에 텐션을 부여할 수 있는 텐션 제어 기구(66)가 배치된다. 텐션 제어 기구(66)는 실린더(68)를 구비하고, 이 실린더(68)의 구동 작용하에서 텐션 댄서(70)가 요동 변위함으로써 이 텐션 댄서(70)가 슬라이딩 접촉하는 감광성 웹(22)의 텐션이 조정가능하다. 또한, 텐션 제어 기구(66)는 필요에 따라 사용하면 되고, 삭제할 수도 있다.On the downstream side of the peeling mechanism 44, a tension control mechanism 66 capable of applying tension to the photosensitive web 22 is disposed. The tension control mechanism 66 includes a cylinder 68, and the tension of the photosensitive web 22 in which the tension dancer 70 is in sliding contact with the tension dancer 70 by oscillating displacement under the driving action of the cylinder 68. As shown in FIG. This is adjustable. In addition, the tension control mechanism 66 may be used as necessary, and may be deleted.

검출 기구(47)는 레이저 센서나 포토 센서 등의 광전 센서(72)를 구비하고 있고, 상기 광전 센서(72)는 하프컷 부위(34)의 쇄기 형상의 홈형상부나, 보호 필름(30)의 두께에 의한 단차, 또는, 이들의 조합에 의한 변화를 직접 검출하고, 이 검출 신호를 경계 위치 신호로 한다. 광전 센서(72)는 백업 롤러(73)에 대향해서 배치된다. 또한, 광전 센서(72) 대신에 비접촉 변위계나 CCD 카메라 등의 화상 검사 수단 등을 이용해도 된다.The detection mechanism 47 is provided with photoelectric sensors 72, such as a laser sensor and a photo sensor, The said photoelectric sensor 72 of the wedge-shaped groove-shaped part of the half cut part 34, and the protective film 30 of the A step due to thickness or a change due to a combination thereof is detected directly, and this detection signal is used as a boundary position signal. The photoelectric sensor 72 is disposed opposite the backup roller 73. Instead of the photoelectric sensor 72, an image inspection means such as a non-contact displacement meter or a CCD camera may be used.

가열 장치(45)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(24)을 화살표 C방향으로 반송하기 위한 반송 기구(74)와, 상기 반송 기구(74)에 의한 반송방향을 따라 배치되는 복수개, 적어도 제 1 가열 기구(76) 및 제 2 가열 기구(78)를 구비한다. As shown in FIG. 4, the heating device 45 includes a conveyance mechanism 74 for conveying the glass substrate 24 in the arrow C direction, and a plurality of dispositions arranged along the conveyance direction by the conveyance mechanism 74, At least the first heating mechanism 76 and the second heating mechanism 78 are provided.

반송 기구(74)는 화살표 C방향으로 배열되는 복수개의 수지제 원반 형상 반송 롤러(80)를 구비하고, 상기 반송 롤러(80)는 제 1 가열 기구(76)를 구성하는 본체부(76a) 내 및 제 2 가열 기구(78)를 구성하는 본체부(78a) 내에 배치된다.The conveyance mechanism 74 is equipped with the several resin disk shaped conveyance roller 80 arrange | positioned in the arrow C direction, The said conveyance roller 80 is in the main-body part 76a which comprises the 1st heating mechanism 76. And a main body portion 78a constituting the second heating mechanism 78.

제 1 가열 기구(76)는 제 2 가열 기구(78)보다 화살표 C방향 상류측에 배치되어 있고, 기대(82) 상에 적재되는 고정대(84)를 설치한다. 고정대(84) 상에는, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 서로 평행하게 화살표 C방향으로 연장되는 1쌍의 제 1 가이드 레일(86)이 설치되고, 이 가이드 레일(86) 상에는 본체부(76a)가 화살표 C방향으로 소정 거리(L1)만큼 진퇴 가능하게 배치된다.The 1st heating mechanism 76 is arrange | positioned rather than the 2nd heating mechanism 78 upstream in the arrow C direction, and provides the fixing stand 84 mounted on the base 82. As shown in FIG. As shown in FIG.4 and FIG.5, the pair of 1st guide rail 86 extended in the arrow C direction parallel to each other is provided on the fixing stand 84, and the main-body part 76a is provided on this guide rail 86. FIG. ) Is disposed so as to be able to move forward and backward by a predetermined distance L1 in the arrow C direction.

본체부(76a)는 화살표 C방향 선단부 및 화살표 C방향 후단부에 각각 인터록(도시 생략)이 설치되어 있고, 상기 본체부(76a)가 진퇴 위치에 유지된다. 본체부(76a)의 후퇴 위치, 즉, 유리 기판(24)의 입구측에는 로보트 펜스(88)가 설치된다. 본체부(76a) 내에는 반송 롤러(80)의 상방에 위치해서 제 1 적외선 히터(90a)가 설치된다.In the main body portion 76a, interlocks (not shown) are provided at the front end portion of the arrow C direction and the rear end portion of the arrow C direction, respectively, and the main body portion 76a is held at the retracted position. The robot fence 88 is provided in the retracted position of the main body portion 76a, that is, the entrance side of the glass substrate 24. In the main body 76a, the 1st infrared heater 90a is provided above the conveyance roller 80, and is installed.

제 2 가열 기구(78)는 본체부(78a)와, 상기 본체부(78a)에 설치되며 라미네 이트 장치(46)의 근방까지 연장되어 유리 기판(24)을 상기 라미네이트 장치(46)에 이송하기 위한 이송 기구(92)와, 상기 본체부(78a)를 상기 라미네이트 장치(46)에 대해서 이동시킬 수 있는 퇴피 기구(94)를 구비한다.The second heating mechanism 78 is installed in the main body 78a and the main body 78a and extends to the vicinity of the laminating device 46 to transfer the glass substrate 24 to the laminating device 46. The conveyance mechanism 92 and the evacuation mechanism 94 which can move the said main-body part 78a with respect to the said laminating apparatus 46 are provided.

이송 기구(92)는 유리 기판(24)의 폭 방향(도 5 중 화살표 D방향)으로 연장되는 케이스체(96)를 구비하고, 상기 케이스체(96)가 본체부(78a)의 화살표 C방향 선단측의 측면에 설치된다. 케이스체(96) 내에는 반송 기구(74)를 구성하는 복수개의 수지제 원반 형상 반송 롤러(80a)가 화살표 C방향을 따라 배치된다. 본체부(78a)에는 케이스체(96) 내에 연통하는 개구(98)가 형성됨과 아울러, 이 본체부(78a) 내에는 복수개의 반송 롤러(80)의 상방에 위치해서 제 2 적외선 히터(90b)가 화살표 C방향으로 연장되어 설치된다.The conveyance mechanism 92 is provided with the case body 96 extended in the width direction (arrow D direction in FIG. 5) of the glass substrate 24, and the said case body 96 is the arrow C direction of the main-body part 78a. It is installed on the side of the tip side. In the case body 96, a plurality of disk-shaped conveying rollers 80a constituting the conveying mechanism 74 are disposed along the arrow C direction. In the main body portion 78a, an opening 98 is formed in communication with the case body 96, and in the main body portion 78a, the opening 98 is located above the plurality of conveying rollers 80 and the second infrared heater 90b. Is installed extending in the direction of arrow C.

퇴피 기구(94)는 기대(82) 상에 서로 평행하게 화살표 D방향으로 연장되는 1쌍의 제 2 가이드 레일(100)을 구비하고, 이 제 2 가이드 레일(100) 상에는 가동대(102)가 화살표 D방향으로 진퇴 가능하게 배치된다. 가동대(102)의 화살표 D방향의 진퇴 위치에는 도시하지 않은 인터록이 설치되어 있고, 상기 가동대(102)를 양 위치에 유지할 수 있다.The evacuation mechanism 94 includes a pair of second guide rails 100 extending in the direction of an arrow D parallel to each other on the base 82, and on the second guide rails 100 a movable table 102 is provided. Arranged so as to be able to advance and retreat in the arrow direction D. An interlock (not shown) is provided at the forward and backward positions in the arrow D direction of the movable table 102, and the movable table 102 can be held at both positions.

가동대(102) 상에는 서로 평행하게 화살표 C방향으로 연장되는 1쌍의 제 3 가이드 레일(104)이 설치되고, 상기 제 3 가이드 레일(104) 상에는 본체부(78a)가 화살표 C방향으로 진퇴 가능하게 배치된다. 본체부(78a)는 화살표 C방향 선단 위치에서 라미네이트 장치(46)에 근접해서 고정되는 한편, 화살표 C방향 후단 위치에서 고정가능하다.On the movable table 102, a pair of third guide rails 104 extending in an arrow C direction in parallel with each other is provided, and on the third guide rail 104, the main body portion 78a can move forward and backward in the arrow C direction. To be placed. The main body portion 78a is fixed close to the laminating device 46 at the tip position in the arrow C direction, and is fixable at the rear end position in the arrow C direction.

본체부(78a)는 화살표 C1방향에 대해서 소정의 거리(L1)만큼 이동한 후, 가이드 레일(100)을 따라 화살표 D방향으로 이동가능하다. 화살표 C1방향으로의 이동 거리(L1)는 이송 기구(92)가 화살표 D방향으로 이동할 때에 라미네이트 장치(46)에 간섭하지 않는 치수로 설정됨과 아울러, 화살표 D방향으로의 이동 거리(L2)는 작업자가 상기 라미네이트 장치(46)에 대해서 여러가지의 유지 보수 작업을 행할 때에 본체부(78a)가 간섭하지 않는 치수로 설정된다.The main body 78a is movable in the direction of arrow D along the guide rail 100 after moving the predetermined distance L1 with respect to the direction of arrow C1. The movement distance L1 in the direction of arrow C1 is set to a dimension that does not interfere with the laminating device 46 when the transfer mechanism 92 moves in the direction of arrow D, and the movement distance L2 in the direction of arrow D is set by the operator. Is set to a dimension such that the main body portion 78a does not interfere when various maintenance operations are performed on the laminate device 46.

또한, 반송 기구(74)에서는 도시하지 않은 에어 부상 플레이트가 배치되고, 유리 기판(24)이 부상되어 화살표 C방향으로 반송되는 구성을 채용해도 좋다.In addition, in the conveyance mechanism 74, the air floating plate which is not shown in figure is arrange | positioned, and the glass substrate 24 may be employ | adopted and the structure conveyed in the arrow C direction may be employ | adopted.

도 1에 나타내는 바와 같이, 가열 장치(45)의 상류에는 복수개의 유리 기판(24)이 수용되는 기판 스토커(110)가 설치된다. 기판 스토커(110)에는 투입 및 인출구 이외의 3방향의 측면에 제진용 팬 유닛(또는 덕트 유닛)(112)이 부설된다. 팬 유닛(112)은 기판 스토커(110) 내에 제전 크린 에어의 분출을 행한다. 기판 스토커(110)에 수용되어 있는 각 유리 기판(24)은 로보트(114)의 핸드부(114a)에 설치된 흡착 패드(116)에 흡착되어 인출되고, 가열 장치(45)에 반입된다.As shown in FIG. 1, the substrate stocker 110 in which the some glass substrate 24 is accommodated is provided upstream of the heating apparatus 45. As shown in FIG. The substrate stocker 110 is provided with a vibration damping fan unit (or duct unit) 112 on three sides in the three directions other than the inlet and the outlet. The fan unit 112 ejects antistatic clean air into the substrate stocker 110. Each glass substrate 24 accommodated in the substrate stocker 110 is adsorbed by the adsorption pad 116 provided in the hand part 114a of the robot 114, is taken out, and is carried in to the heating apparatus 45. As shown in FIG.

라미네이트 장치(46)는 상하에 배치됨과 아울러, 소정 온도로 가열되는 라미네이트용 고무 롤러(120a,120b)를 구비한다. 고무 롤러(120a,120b)에는 백업 롤러(122a,122b)가 슬라이딩 접촉함과 아울러, 상기 백업 롤러(122b)는 롤러 클램프부(124)를 통해서 고무 롤러(120b)측으로 압박된다.The laminating apparatus 46 is equipped with the rubber rollers 120a and 120b for lamination | stacking which are arrange | positioned up and down and heated to predetermined temperature. The backup rollers 122a and 122b are in sliding contact with the rubber rollers 120a and 120b, and the backup roller 122b is pressed toward the rubber roller 120b through the roller clamp portion 124.

고무 롤러(120a)의 근방에는 감광성 웹(22)이 상기 고무 롤러(120a)에 접촉하는 것을 방지하기 위한 접촉 방지 롤러(126)가 이동할 수 있게 배치된다. 라미네 이트 장치(46)의 상류 근방에는 감광성 웹(22)을 미리 소정 온도로 예비 가열하기 위한 예비 가열부(127)가 배치된다. 이 예비 가열부(127)는 예컨대 적외선 바 히터 등의 가열 수단을 구비한다.In the vicinity of the rubber roller 120a, a contact preventing roller 126 for preventing the photosensitive web 22 from contacting the rubber roller 120a is arranged to be movable. In the upstream vicinity of the laminating device 46, a preheating unit 127 for preheating the photosensitive web 22 to a predetermined temperature is arranged. This preliminary heating part 127 is provided with heating means, such as an infrared bar heater.

라미네이트 장치(46)와 기판간 웹 절단 기구(48) 사이에는 필름 반송 롤러(128a)와 기판 반송 롤러(128b)가 배치된다. 기판간 웹 절단 기구(48)의 하류측에는 냉각 기구(130)가 배치됨과 아울러, 이 냉각 기구(130)의 하류측에는 베이스 박리 기구(132)가 배치된다. 냉각 기구(130)는 기판간 웹 절단 기구(48)를 통해서 부착 기판(24a) 사이의 감광성 웹(22)이 절단된 후, 이 부착 기판(24a)에 냉풍을 공급해서 냉각 처리를 실시한다. 구체적으로는 냉풍 온도가 10℃이고, 풍량이 1.0~2.0㎥/min으로 설정된다. 또한, 냉각 기구(130)를 사용할 일이 없고, 후술하는 감광성 적층체 스토커(146)에서 자연 냉각해도 좋다. 또한, 냉풍 대신에 실내풍에 의한 송풍을 행해도 된다.The film conveyance roller 128a and the substrate conveyance roller 128b are arrange | positioned between the laminating apparatus 46 and the inter-substrate web cutting mechanism 48. FIG. The cooling mechanism 130 is disposed downstream of the inter-substrate web cutting mechanism 48, and the base peeling mechanism 132 is disposed downstream of the cooling mechanism 130. After the photosensitive web 22 between the attachment substrates 24a is cut | disconnected through the inter-substrate web cutting mechanism 48, the cooling mechanism 130 supplies cooling air to this attachment substrate 24a, and performs a cooling process. Specifically, cold air temperature is 10 degreeC, and air volume is set to 1.0-2.0 m <3> / min. In addition, the cooling mechanism 130 may not be used, and natural cooling may be performed by the photosensitive laminate stocker 146 described later. In addition, you may blow by indoor wind instead of cold wind.

냉각 기구(130)의 하류에 배치되는 베이스 박리 기구(132)는 부착 기판(24a)을 하방으로부터 흡착하는 복수의 흡착 패드(134)를 구비하고, 이 흡착 패드(134)에 상기 부착 기판(24a)이 흡착 유지된 상태에서 로보트 핸드(136)를 통해서 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)을 박리한다. 흡착 패드(134)의 상류, 하류 및 양측방에는 부착 기판(24a)의 라미네이트 부분 전체에 4방향의 측면으로부터 제전 에어를 분사하는 제전 블로어(도시 생략)가 배치되어 있다. 또한, 박리는 제진을 위해 테이블을 수직으로 하거나, 또는 경사지게 하거나, 또는 뒤집어서 행해도 된다.The base peeling mechanism 132 disposed downstream of the cooling mechanism 130 includes a plurality of adsorption pads 134 that adsorb the attachment substrate 24a from below, and the adsorption pad 134 is attached to the attachment substrate 24a. ) Is peeled off and the base film 26 and the remaining part 30b are peeled off through the robot hand 136. The upstream, downstream, and both sides of the adsorption pad 134 are provided with the static elimination blower (not shown) which injects static electricity from the side surface of 4 directions to the whole laminated part of the attachment substrate 24a. In addition, peeling may be performed to make a table vertical, inclined, or upside-down for damping.

베이스 박리 기구(132)의 하류에는 복수개의 감광성 적층체(140)가 수용되는 감광성 적층체 스토커(146)가 설치된다. 베이스 박리 기구(132)에 의해 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 박리된 감광성 적층체(140)는 로보트(142)의 핸드부(142a)에 설치된 흡착 패드(144)에 흡착되어 인출되고, 감광성 적층체 스토커(146)에 수용된다. 또한, 핸드부(142a)는 흡착에 의하지 않고, 예컨대, 마찰에 의한 유지 방식을 사용해도 좋다.Downstream of the base peeling mechanism 132, a photosensitive laminate stocker 146 in which a plurality of photosensitive laminates 140 are accommodated is provided. The photosensitive laminated body 140 in which the base film 26 and the remaining part 30b were peeled from the attachment substrate 24a by the base peeling mechanism 132 is provided with the adsorption pad provided in the hand part 142a of the robot 142 ( 144 is absorbed and taken out, and is accommodated in the photosensitive laminate stocker 146. In addition, the hand part 142a may use a friction holding system, for example, without adsorption.

감광성 적층체 스토커(146)에는 투입 및 인출구 이외의 3방향의 측면에 제진용 팬 유닛(또는 덕트 유닛)(112)이 부설된다. 팬 유닛(112)은 감광성 적층체 스토커(146) 내에 제전 크린 에어의 분출을 행한다.The photosensitive laminated stacker 146 is provided with a vibration damping fan unit (or duct unit) 112 on side surfaces in three directions other than the injection and withdrawal ports. The fan unit 112 blows out the antistatic clean air in the photosensitive laminated body stocker 146.

제조 시스템(20)에서는 웹 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 리저버 기구(42), 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(66) 및 검출 기구(47)가 라미네이트 장치(46)의 상방에 배치되어 있지만, 이것과는 반대로, 상기 웹 송출 기구(32)로부터 상기 검출 기구(47)를 상기 라미네이트 장치(46)의 하방에 배치하고, 감광성 웹(22)의 상하가 반대로 되어 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 하측에 부착되어도 되고, 또한, 상기 제조 시스템(20) 전체를 직선상으로 구성해도 된다.In the manufacturing system 20, the web delivery mechanism 32, the processing mechanism 36, the label adhesion mechanism 40, the reservoir mechanism 42, the peeling mechanism 44, the tension control mechanism 66, and the detection mechanism 47 are provided. Is arranged above the laminating device 46, but on the contrary, the detection mechanism 47 is disposed below the laminating device 46 from the web sending mechanism 32, and the photosensitive web 22 is disposed. The upper and lower sides of the reverse side are reversed, and the photosensitive resin layer 28 may be affixed below the glass substrate 24, and the whole manufacturing system 20 may be comprised linearly.

제조 시스템(20)은 라미네이트 공정 제어부(150)를 통해서 전체 제어되어 있고, 이 제조 시스템(20)의 각 기능부마다 예컨대 라미네이트 제어부(152), 기판 가열 제어부(154) 및 베이스 박리 제어부(156) 등이 설치되고, 이들이 공정 내 네트워크에 의해 연결되어 있다.The manufacturing system 20 is fully controlled through the lamination process control unit 150, and for example, the laminate control unit 152, the substrate heating control unit 154, and the base peeling control unit 156 for each functional unit of the manufacturing system 20. Etc. are installed and they are connected by an in-process network.

라미네이트 공정 제어부(150)는 공장 네트워크에 연결되어 있고, 도시하지 않은 공장 CPU로부터의 지시 정보(조건 설정이나 생산 정보)의 생산 관리나 가동 관리 등 생산을 위한 정보 처리를 행한다.The lamination process control unit 150 is connected to a factory network and performs information processing for production, such as production management or operation management of instruction information (condition setting and production information) from a factory CPU (not shown).

라미네이트 제어부(152)는 공정 전체의 마스터로서 각 기능부의 제어를 행하는 것이며, 검출 기구(47)에 의해 검출된 감광성 웹(22)의 하프컷 부위(34)의 위치 정보에 기초하여 예컨대 가열 장치(45)를 제어하는 제어 기구를 구성하고 있다.The laminate control unit 152 performs control of each functional unit as a master of the whole process, and based on the positional information of the half cut portion 34 of the photosensitive web 22 detected by the detection mechanism 47, for example, a heating device ( A control mechanism for controlling 45) is configured.

베이스 박리 제어부(156)는 라미네이트 장치(46)로부터 공급되는 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리하고, 더욱 하류 공정에 감광성 적층체(140)를 배출하는 동작의 제어를 행함과 아울러, 상기 부착 기판(24a) 및 상기 감광성 적층체(140)의 정보를 핸들링 제어한다.The base peeling control part 156 peels off the base film 26 from the adhesion board 24a supplied from the laminating apparatus 46, and performs control of the operation which discharges the photosensitive laminated body 140 further downstream, Handling information of the attachment substrate 24a and the photosensitive laminate 140 is controlled.

제조 시스템(20) 내에는 칸막이 벽(160)을 통해서 제 1 클린룸(162a)과 제 2 클린룸(162b)으로 분할된다. 제 1 클린룸(162a)에는 웹 송출 기구(32)로부터 텐션 제어 기구(66)까지가 수용됨과 아울러, 제 2 클린룸(162b)에는 검출 기구(47) 이후가 수용된다. 제 1 클린룸(162a)과 제 2 클린룸(162b)은 관통부(164)를 통해서 연통한다.Within the manufacturing system 20 is partitioned into a first clean room 162a and a second clean room 162b via partition walls 160. From the web delivery mechanism 32 to the tension control mechanism 66 is accommodated in the first clean room 162a, and after the detection mechanism 47 is accommodated in the second clean room 162b. The first clean room 162a and the second clean room 162b communicate with each other through the through part 164.

이 제조 시스템(20)의 동작에 대해서 이하에 설명한다.The operation of this manufacturing system 20 will be described below.

우선, 도 1에 나타내는 바와 같이, 가공 기구(36)에서는 둥근 칼날(52)이 감광성 웹(22)의 폭방향으로 이동하여 이 감광성 웹(22)을 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 베이스 필름(26)까지 절입하여 하프컷 부위(34)를 형성한다(도 2 참조). 또한, 감광성 웹(22)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)의 치수에 대응해서 화살표 A방향으로 반송된 후, 정지되어 둥근 칼날(52)의 주행 작용하에 하프컷 부위(34)가 형성된다. 이것에 의해, 감광성 웹(22)에는 잔존 부분(30b)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(30aa)과 후방의 박리 부분(30ab)이 형성된다(도 2 참조).First, as shown in FIG. 1, in the processing mechanism 36, the round blade 52 moves to the width direction of the photosensitive web 22, and this photosensitive web 22 is moved from the protective film 30 to the photosensitive resin layer 28 ) To the base film 26 to form a half cut portion 34 (see FIG. 2). In addition, as shown in FIG. 1, after the photosensitive web 22 is conveyed in the arrow A direction corresponding to the dimension of the residual part 30b of the protective film 30, it stops and the traveling action of the round blade 52 is carried out. The half cut portion 34 is formed underneath. As a result, the front peeling part 30aa and the rear peeling part 30ab are formed in the photosensitive web 22 with the remaining part 30b in between (refer FIG. 2).

다음으로, 감광성 웹(22)은 라벨 접착 기구(40)에 반송되어 보호 필름(30)의 소정의 부착 부위가 수용대(56) 상에 배치된다. 라벨 접착 기구(40)에서는 소정장수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54a~54g)에 의해 흡착 유지되고, 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)을 걸쳐서 전방의 박리 부분(30aa)과 후방의 박리 부분(30ab)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).Next, the photosensitive web 22 is conveyed to the label adhesive mechanism 40, and the predetermined attachment site | part of the protective film 30 is arrange | positioned on the accommodating stand 56. Next, as shown in FIG. In the label adhesive mechanism 40, a predetermined number of adhesive labels 38 are adsorbed and held by the adsorption pads 54a to 54g, and each adhesive label 38 extends forward over the remaining portion 30b of the protective film 30. It is adhered integrally to the peeling part 30aa and the peeling part 30ab of the back (refer FIG. 3).

예컨대, 7개의 접착 라벨(38)이 접착된 감광성 웹(22)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 리저버 기구(42)를 통해서 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 박리 기구(44)에 연속적으로 반송된다. 박리 기구(44)에서는 감광성 웹(22)의 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 상기 감광성 웹(22)으로부터 박리된다. 이 보호 필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해서 예각의 박리각으로 박리되어 보호 필름 권취부(64)에 감겨진다.For example, the photosensitive web 22 to which the seven adhesive labels 38 are adhered is continuously connected to the peeling mechanism 44 after preventing the tension variation on the feeding side through the reservoir mechanism 42 as shown in FIG. 1. Is returned. In the peeling mechanism 44, the base film 26 of the photosensitive web 22 is adsorbed and held on the suction drum 62, and the protective film 30 is peeled off from the photosensitive web 22 while leaving the remaining portion 30b. do. The protective film 30 is peeled off at an acute peeling angle through the peeling roller 63 and wound around the protective film winding 64.

박리 기구(44)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(66)에 의해 텐션 조정이 행해지며, 또한 검출 기구(47)로 광전 센서(72)에 의해 하프컷 부위(34)의 검출이 행해진다.Under the action of the peeling mechanism 44, after the protective film 30 is peeled off from the base film 26 leaving the remaining portion 30b, the photosensitive web 22 is tensioned by the tension control mechanism 66. In addition, the half cut portion 34 is detected by the photoelectric sensor 72 by the detection mechanism 47.

감광성 웹(22)은 하프컷 부위(34)의 검출 정보에 기초하여 필름 반송 롤러(128a)의 회전 작용하에 라미네이트 장치(46)에 정량 반송된다. 그 때, 접촉 방 지 롤러(126)가 상방에 대기함과 아울러, 고무 롤러(120b)가 하방에 배치되어 있다.The photosensitive web 22 is quantitatively conveyed to the laminating apparatus 46 under the rotational action of the film conveying roller 128a based on the detection information of the half cut part 34. At that time, while the contact preventing roller 126 is waiting above, the rubber roller 120b is arrange | positioned below.

한편, 가열 장치(45)에서는 라미네이트 장치(46)에 있어서의 라미네이트 온도에 대응해서 제 1 및 제 2 가열 기구(76,78) 내의 가열 온도가 설정되어 있다. 예컨대, 라미네이트 온도가 110℃이면, 제 1 및 제 2 적외선 히터(90a,90b)를 통해서 제 1 및 제 2 가열 기구(76,78) 내의 가열 온도가 120℃ 전후로 설정된다.On the other hand, in the heating apparatus 45, the heating temperature in the 1st and 2nd heating mechanisms 76 and 78 is set corresponding to the lamination temperature in the laminating apparatus 46. FIG. For example, when the lamination temperature is 110 ° C, the heating temperature in the first and second heating mechanisms 76 and 78 is set to about 120 ° C via the first and second infrared heaters 90a and 90b.

그래서, 로보트(114)는 기판 스토커(110)에 수용되어 있는 유리 기판(24)을 파지하고, 이 유리 기판(24)을 제 1 가열 기구(76)에 반입한다. 제 1 가열 기구(76) 내에서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제 1 적외선 히터(90a)의 가열 작용하에 유리 기판(24)이 승온된 후, 반송 기구(74)를 통해서 상기 유리 기판(24)이 제 2 가열 기구(78)에 보내진다.Therefore, the robot 114 grips the glass substrate 24 accommodated in the substrate stocker 110, and carries this glass substrate 24 into the first heating mechanism 76. In the 1st heating mechanism 76, as shown in FIG. 4, after the glass substrate 24 heated up under the heating effect of the 1st infrared heater 90a, the said glass substrate 24 through the conveyance mechanism 74. FIG. ) Is sent to the second heating mechanism 78.

제 2 가열 기구(78) 내에서는 제 2 적외선 히터(90b)를 통해서 유리 기판(24)이 가열되어 소정의 온도로 유지된 상태에서 이송 기구(92)를 통해서 라미네이트 장치(46)에 보내진다. 라미네이트 장치(46)에서는 유리 기판(24)이 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)의 부착 부분에 대응해서 고무 롤러(120a,120b) 사이에 일단 배치된다.In the 2nd heating mechanism 78, the glass substrate 24 is heated by the 2nd infrared heater 90b, and is sent to the lamination apparatus 46 through the transfer mechanism 92 in the state maintained at the predetermined temperature. In the lamination apparatus 46, the glass substrate 24 is once arrange | positioned between the rubber rollers 120a and 120b corresponding to the attachment part of the photosensitive resin layer 28 of the photosensitive web 22.

이 상태에서, 롤러 클램프부(124)를 통해서 백업 롤러(122b) 및 고무 롤러(120b)를 상승시킴으로써 고무 롤러(120a,120b) 사이에 유리 기판(24)이 소정의 프레스 압력으로 끼워넣어진다. 또한, 고무 롤러(120a)의 회전 작용하에 이 유리 기판(24)에는 감광성 수지층(28)이 가열 용융에 의해 전사(라미네이팅)된다.In this state, the glass substrate 24 is sandwiched between the rubber rollers 120a and 120b at a predetermined press pressure by raising the backup roller 122b and the rubber roller 120b through the roller clamp portion 124. In addition, the photosensitive resin layer 28 is transferred (laminated) by heat-melting to this glass substrate 24 under the rotation action of the rubber roller 120a.

여기서, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(120a,120b)의 온도가 80℃~150℃, 상기 고무 롤러(120a,120b)의 고무 경도가 40°~90°, 상기 고무 롤러(120a,120b)의 프레스압(선압)이 50N/㎝~400N/㎝이다.Here, as laminating conditions, the speed is 1.0 m / min to 10.0 m / min, the temperature of the rubber rollers 120a and 120b is 80 ° C to 150 ° C, and the rubber hardness of the rubber rollers 120a and 120b is 40 ° to 90 °. The press pressure (linear pressure) of the rubber rollers 120a and 120b is 50 N / cm to 400 N / cm.

고무 롤러(120a,120b)를 통해서 유리 기판(24)에 감광성 웹(22)의 1매분의 라미네이트가 종료되면, 상기 고무 롤러(120a)의 회전이 정지되는 한편, 상기 감광성 웹(22)이 라미네이팅된 상기 유리 기판(24), 즉, 부착 기판(24a)이 기판 반송 롤러(128b)에 의해 클램핑된다.When the lamination of one sheet of the photosensitive web 22 on the glass substrate 24 is terminated through the rubber rollers 120a and 120b, the rotation of the rubber roller 120a is stopped while the photosensitive web 22 is laminated. The said glass substrate 24, ie, the attachment substrate 24a, is clamped by the substrate conveyance roller 128b.

그리고, 고무 롤러(120b)가 고무 롤러(120a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(128b)의 회전이 개시되어 부착 기판(24a)이 화살표 C방향으로 정량 반송되고, 감광성 웹(22)의 기판간 위치가 고무 롤러(120a)의 하방 부근의 소정 위치로 이동한다. 한편, 가열 장치(45)를 통해서 다음의 유리 기판(24)이 부착 위치를 향해서 반송된다.Then, the rubber roller 120b retracts in the direction away from the rubber roller 120a, the clamp is released, the rotation of the substrate transfer roller 128b is started, and the substrate 24a is fixedly conveyed in the arrow C direction. The inter-substrate position of the photosensitive web 22 moves to a predetermined position near the lower side of the rubber roller 120a. On the other hand, the next glass substrate 24 is conveyed toward the attachment position through the heating apparatus 45. As shown in FIG.

이 다음의 유리 기판(24)의 선단이 고무 롤러(120a,120b) 사이에 배치되면, 상기 고무 롤러(120b)가 상승하여 상기 고무 롤러(120a,120b)에 의해 상기 다음의 유리 기판(24)과 감광성 웹(22)이 클램핑된다. 그리고, 고무 롤러(120a,120b) 및 기판 반송 롤러(128b)의 회전 작용하에 라미네이팅이 개시됨과 아울러, 부착 기판(24a)이 화살표 C방향으로 반송된다.When the front end of the next glass substrate 24 is disposed between the rubber rollers 120a and 120b, the rubber roller 120b is raised to the next glass substrate 24 by the rubber rollers 120a and 120b. And photosensitive web 22 is clamped. And laminating is started under the rotation action of the rubber rollers 120a and 120b and the board | substrate conveyance roller 128b, and the adhesion board | substrate 24a is conveyed in the arrow C direction.

부착 기판(24a)은 화살표 C방향으로 정량 반송되고, 기판간 웹 절단 기구(48)를 통해서 유리 기판(24) 사이의 감광성 웹(22)이 절단된 후, 냉각 기구(130)를 통해서 냉각되고, 또한 베이스 박리 기구(132)에 이송된다. 이 베이스 박리 기구(132)에서는 흡착 패드(134)에 부착 기판(24a)이 흡착 유지된 상태에서 로보트 핸드(136)를 통해서 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 박리되어 감광성 적층체(140)가 얻어진다.The adhered substrate 24a is quantitatively conveyed in the direction of an arrow C, and after the photosensitive web 22 between the glass substrates 24 is cut through the inter-substrate web cutting mechanism 48, it is cooled through the cooling mechanism 130. And the base peeling mechanism 132. In this base peeling mechanism 132, the base film 26 and the remaining part 30b are peeled through the robot hand 136 in the state in which the adhesion | attachment board 24a was adsorbed-held on the adsorption pad 134, and the photosensitive laminated body ( 140) is obtained.

그 때, 흡착 패드(134)의 상류, 하류 및 양측방에는 부착 기판(24a)의 라미네이트 부분 전체에 4방향의 측면으로부터 제전 에어가 분사되고 있다. 또한, 감광성 적층체(140)는 로보트(142)의 핸드부(142a)에 유지되어 감광성 적층체 스토커(146)에 소정의 수만큼 수용된다.At that time, antistatic air is injected from the side surfaces in four directions to the entire laminate portion of the attachment substrate 24a on the upstream, downstream, and both sides of the suction pad 134. In addition, the photosensitive laminated body 140 is held by the hand part 142a of the robot 142, and is accommodated in the photosensitive laminated body stocker 146 by a predetermined number.

이 경우, 제 1 실시형태에서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제 2 가열 기구(78)를 구성하는 본체부(78a)의 화살표 C방향 선단면에는 이송 기구(92)가 설치되어 있고, 상기 이송 기구(92)는 라미네이트 장치(46)에 근접해서 배치되어 있다.In this case, in 1st Embodiment, as shown in FIG. 4, the conveyance mechanism 92 is provided in the arrow C direction front-end surface of the main-body part 78a which comprises the 2nd heating mechanism 78, and the said conveyance The mechanism 92 is disposed proximate to the laminate device 46.

이 때문에, 특히, 박육이고 또한 대형의 유리 기판(24)이 이용될 때에도 이 유리 기판(24)의 반송방향 선단측을 확실하게 유지할 수 있고, 라미네이트 장치(46)를 구성하는 고무 롤러(120a,120b) 사이에 상기 유리 기판(24)을 원활하고 또한 확실하게 반송할 수 있게 된다.For this reason, especially when the thin and large glass substrate 24 is used, the front end side of the conveyance direction of this glass substrate 24 can be reliably maintained, and the rubber roller 120a which comprises the lamination apparatus 46, The glass substrate 24 can be smoothly and reliably conveyed between 120b).

또한, 라미네이트 장치(46)의 유지 보수 작업 등을 행할 때에는 이하와 같이 제 1 가열 기구(76) 및 제 2 가열 기구(78)가 퇴피 이동된다. 즉, 제 1 가열 기구(76)에서는 본체부(76a)가 제 1 가이드 레일(86)을 따라 화살표 C1방향으로 소정의 거리(L1)만큼 이동함과 아울러, 제 2 가열 기구(78)를 구성하는 본체부(78a)는 마찬가지로 제 3 가이드 레일(104)을 따라 화살표 C1방향으로 소정의 거리(L1)만큼 이동한다. 여기서, 제 1 가열 기구(76) 및 제 2 가열 기구(78)는 화살표 C방향으로 의 이동을 저지하기 위해 인터록이 걸어진다.In addition, when performing maintenance work etc. of the laminating apparatus 46, the 1st heating mechanism 76 and the 2nd heating mechanism 78 are retracted and moved as follows. That is, in the 1st heating mechanism 76, the main-body part 76a moves along the 1st guide rail 86 by the predetermined distance L1 in the arrow C1 direction, and comprises the 2nd heating mechanism 78. FIG. The main body portion 78a similarly moves along the third guide rail 104 in the direction of arrow C1 by a predetermined distance L1. Here, the first heating mechanism 76 and the second heating mechanism 78 are interlocked to prevent movement in the arrow C direction.

다음으로, 제 2 가열 기구(78)에서는 본체부(78a)가 가동대(102)와 일체로 제 2 가이드 레일(100)을 따라 화살표 D방향(도 5 참조)으로 소정의 거리(L2)만큼 이동되어 인터록이 걸어진다.Next, in the second heating mechanism 78, the main body portion 78a integrally with the movable table 102 along the second guide rail 100 in the arrow D direction (see FIG. 5) by a predetermined distance L2. It is moved and the interlock is walked.

이 때문에, 라미네이트 장치(46)에서는 가열 장치(45)측에 유지 보수 작업용 공간이 형성되고, 이 공간을 사용해서 작업자가 라미네이트 장치(46)를 구성하는 고무 롤러(120a,120b)의 청소나 교환 등의 유지 보수 작업을 행할 수 있다.For this reason, in the laminating apparatus 46, the space for maintenance work is formed in the heating apparatus 45 side, and an operator uses this space to clean or replace the rubber rollers 120a and 120b which comprise the laminating apparatus 46. FIG. Maintenance work can be performed.

이와 같이, 제 2 가열 기구(78)의 본체부(78a)에는 가열 장치(45)로부터 라미네이트 장치(46)에 유리 기판(24)을 이송하기 위한 이송 기구(92)가 설치되어 있다. 그리고, 라미네이트 장치(46)의 유지 보수 작업 등을 행할 때에는 제 2 가열 기구(78)를 일단 화살표 C1방향으로 소정의 거리(L1)만큼, 즉, 본체부(78a)를 화살표 D방향으로 이동시킬 때에 이송 기구(92)가 상기 라미네이트 장치(46)에 간섭하지 않을 위치까지 일단 이동시킨 후, 상기 본체부(78a)를 화살표 D방향으로 이동시키고 있다.Thus, the transfer mechanism 92 for transferring the glass substrate 24 from the heating apparatus 45 to the lamination apparatus 46 is provided in the main-body part 78a of the 2nd heating mechanism 78. And when carrying out maintenance work etc. of the laminating apparatus 46, once the 2nd heating mechanism 78 is moved to the arrow C1 direction by the predetermined distance L1, ie, the main-body part 78a will be moved to arrow D direction. At this time, the transfer mechanism 92 is once moved to a position where it will not interfere with the laminate device 46, and then the main body portion 78a is moved in the direction of arrow D.

이 때문에, 제 2 가열 기구(78)의 본체부(78a)를 화살표 C1방향 및 화살표 D방향으로 이동시키는 것만으로, 이송 기구(92)가 상기 본체부(78a)와 일체로 라미네이트 장치(46)로부터 퇴피할 수 있다. 이것에 의해, 간단한 조작으로 유지 보수용 공간을 확보하는 것이 가능하게 되고, 라미네이트 장치(46)의 각종 유지 보수 작업이 효율적이고 또한 용이하게 수행된다.For this reason, only by moving the main-body part 78a of the 2nd heating mechanism 78 to arrow C1 direction and the arrow D direction, the transfer mechanism 92 is integral with the said main-body part 78a, and the laminating apparatus 46 is carried out. You can escape from. Thereby, it becomes possible to ensure the space for maintenance by simple operation, and various maintenance work of the laminating apparatus 46 is performed efficiently and easily.

또한, 제 1 실시형태에서는 유리 기판(24)은 택트 반송에 의한 소위 배 치(batch) 반송을 행하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 상기 유리 기판(24)을 연속 반송하는 구성에도 적용할 수 있다.In addition, in 1st Embodiment, although the glass substrate 24 performs what is called batch conveyance by tact conveyance, it is not limited to this, It is applicable to the structure which carries out the said glass substrate 24 continuously conveyance. have.

도 6은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 가열 장치(170)의 개략적인 구성 설명도이다. 또한, 제 1 실시형태에 따른 가열 장치(45)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 상세한 설명은 생략한다.6 is a schematic configuration explanatory diagram of a heating device 170 according to a second embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same component as the heating apparatus 45 which concerns on 1st Embodiment, and the detailed description is abbreviate | omitted.

가열 장치(170)는 반송 기구(74)에 의한 반송방향을 따라 배치되는 적어도 제 1 가열 기구(172) 및 제 2 가열 기구(174)를 구비한다. 제 1 가열 기구(172)를 구성하는 본체부(172a)는 고정대(176)를 통해서 기대(82) 상에 고정되어 있다.The heating device 170 is provided with at least the 1st heating mechanism 172 and the 2nd heating mechanism 174 arrange | positioned along the conveyance direction by the conveyance mechanism 74. As shown in FIG. The main body portion 172a constituting the first heating mechanism 172 is fixed on the base 82 through the fixing table 176.

제 2 가열 기구(174)는 본체부(174a)와, 상기 본체부(174a)에 설치되며 라미네이트 장치(46)의 근방까지 연장되어 유리 기판(24)을 상기 라미네이트 장치(46)에 이송하는 이송 기구(178)와, 상기 본체부(174a)를 상기 라미네이트 장치(46)에 대해서 화살표 C방향에 교차하는 방향(도 5 중 화살표 D방향)으로 이동시킬 수 있는 퇴피 기구(180)를 구비한다.The second heating mechanism 174 is installed in the main body 174a and the main body 174a and extends to the vicinity of the laminating device 46 to transfer the glass substrate 24 to the laminating device 46. The mechanism 178 and the evacuation mechanism 180 which can move the said main-body part 174a to the lamination apparatus 46 in the direction which cross | intersects the arrow C direction (arrow D direction in FIG. 5) are provided.

이송 기구(178)는 제 2 가열 기구(174)의 본체부(174a)에 대하여 수평 자세에서 연직 하향 자세로 요동 가능하게 구성된다. 이 이송 기구(178)는 복수개의 반송 롤러(80a)를 배치하는 요동대(182)를 구비하고, 이 요동대(182)는 본체부(174a) 내에 고정되는 지축(184)을 통해서 일단부가 요동 가능하게 지지된다. 본체부(174a) 내에는 실린더(186)가 요동 가능하게 배치되고, 이 실린더(186)로부터 연장되는 로드(186a)는 요동대(182)의 요동 선단측에 연결된다.The transfer mechanism 178 is configured to be able to swing from the horizontal posture to the vertical downward posture with respect to the main body portion 174a of the second heating mechanism 174. The conveying mechanism 178 has a swinging table 182 for arranging a plurality of conveying rollers 80a. The swinging table 182 swings at one end thereof through a support shaft 184 fixed in the main body 174a. Possibly supported. A cylinder 186 is swingably arranged in the main body 174a, and the rod 186a extending from the cylinder 186 is connected to the swinging tip side of the swinging table 182.

퇴피 기구(180)는 요동대(182) 상에 화살표 C방향에 교차하는 방향으로 연장 되는 1쌍의 가이드 레일(188)을 구비한다. 이 가이드 레일(188) 상에는 본체부(174a)가 진퇴 가능하게 배치된다.The evacuation mechanism 180 includes a pair of guide rails 188 extending on the swing table 182 in a direction crossing the arrow C direction. The main body portion 174a is disposed on the guide rail 188 so as to be able to move forward and backward.

이 제 2 실시형태에서는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 이송 기구(178)를 구성하는 요동대(182)는 수평방향을 향해 지지된 상태로 라미네이트 장치(46)에 근접해 있다. 따라서, 제 1 가열 기구(172) 및 제 2 가열 기구(174)에 의해 소정의 온도로 가열된 유리 기판(24)은 이송 기구(178)를 구성하는 반송 롤러(80a)를 통해서 라미네이트 장치(46)에 원활하고 또한 확실하게 이송될 수 있다.In this 2nd Embodiment, as shown in FIG. 6, the swinging table 182 which comprises the feed mechanism 178 is close to the laminating apparatus 46 in the state supported toward the horizontal direction. Therefore, the glass substrate 24 heated to the predetermined temperature by the 1st heating mechanism 172 and the 2nd heating mechanism 174 is laminated device 46 via the conveyance roller 80a which comprises the transfer mechanism 178. As shown in FIG. Can be transferred smoothly and reliably.

다음으로, 라미네이트 장치(46)의 유지 보수 작업을 행할 때에는 우선, 이송 기구(178)를 구성하는 실린더(186)가 구동되어 로드(186a)가 안쪽으로 이동한다. 이것에 의해, 로드(186a)에 연결되어 있는 요동대(182)는 지축(184)을 지점으로 해서 연직 하방으로 요동된다(도 6 중 2점 쇄선 참조).Next, when performing maintenance work of the laminating apparatus 46, the cylinder 186 which comprises the transfer mechanism 178 is first driven, and the rod 186a moves inward. As a result, the swing table 182 connected to the rod 186a swings vertically downward with the support shaft 184 as a point (see the dashed-dotted line in FIG. 6).

그래서, 퇴피 기구(180)를 구성하는 가이드 레일(188)을 따라 본체부(184a)가 화살표 C방향에 직교하는 방향으로 이동한다. 이 때문에, 가열 장치(170)에는 제 2 가열 기구(174)의 작업용 배치 공간에 대응해서 유지 보수용 공간을 확보할 수 있게 된다.Therefore, the main body 184a moves in the direction orthogonal to the arrow C direction along the guide rail 188 constituting the evacuation mechanism 180. For this reason, the heating apparatus 170 can secure the maintenance space corresponding to the working arrangement space of the second heating mechanism 174.

이와 같이, 제 2 실시형태에서는 이송 기구(178)를 구성하여 반송 롤러(80a)를 설치한 요동대(182)가 수평 자세와 연직 자세로 자세 변환 가능하게 구성되어 있다. 이것에 의해, 유리 기판(24)의 이송시에는 요동대(182)가 수평 자세로 배치됨으로써 특히 큰 치수이며 박육 형상의 유리 기판(24)을 라미네이트 장치(46)를 구성하는 고무 롤러(120a,120b) 사이에 확실하게 보내줄 수 있다.As described above, in the second embodiment, the swinging table 182 constituting the conveying mechanism 178 and provided with the conveying roller 80a is configured to be capable of converting the posture into a horizontal posture and a vertical posture. Thereby, when the glass substrate 24 is conveyed, the rocking | swing stand 182 is arrange | positioned in a horizontal attitude | position, especially the rubber roller 120a which comprises the lamination apparatus 46 for the thin glass substrate 24 of the large dimension, 120b) can be sent reliably.

한편, 라미네이트 장치(46)의 유지 보수시에는 요동대(182)가 수평 자세에서 연직 자세로 자세 변환된 후, 본체부(174a)를 가이드 레일(188)을 따라 이동시키는 것만으로 좋다. 따라서, 이송 기구(178)는 라미네이트 장치(46)에 간섭할 일이 없고, 소망하는 유지 보수용 공간을 확보할 수 있어 작업성의 향상이 도모된다.On the other hand, at the time of maintenance of the laminating apparatus 46, after the rocking | swing stand 182 is changed into a posture from a horizontal posture to a vertical posture, only the main body 174a is moved along the guide rail 188. Therefore, the transfer mechanism 178 does not interfere with the lamination apparatus 46, can secure the desired maintenance space, and the workability is improved.

또한, 제 2 실시형태에서는 요동대(182)는 실린더(186)를 통해서 자동적으로 요동 가능하게 구성되어 있지만, 이것 대신에, 예컨대, 요동대(182)를 수동 조작에 의해 수평 자세와 연직 자세로 자세 변환하도록 구성해도 좋다.In the second embodiment, the swing table 182 is configured to be automatically swingable through the cylinder 186. Instead, for example, the swing table 182 is moved in a horizontal posture and a vertical posture by manual operation. You may comprise so that a posture change may be carried out.

도 7은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 가열 장치(190)의 개략적인 구성 설명도이다. 또한, 제 2 실시형태에 따른 가열 장치(170)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 붙여 그 상세한 설명은 생략한다.7 is a schematic structural explanatory diagram of a heating apparatus 190 according to a third embodiment of the present invention. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same component as the heating apparatus 170 which concerns on 2nd Embodiment, and the detailed description is abbreviate | omitted.

가열 장치(190)는 반송 기구(74)에 의한 반송방향을 따라 배치되는 적어도 제 1 가열 기구(172) 및 제 2 가열 기구(192)를 구비한다. 제 2 가열 기구(192)는 본체부(192a)에 대해서 수용 가능한 이송 기구(194)를 구비한다.The heating apparatus 190 is equipped with the at least 1st heating mechanism 172 and the 2nd heating mechanism 192 arrange | positioned along the conveyance direction by the conveyance mechanism 74. As shown in FIG. The second heating mechanism 192 includes a transfer mechanism 194 that can be accommodated with respect to the body portion 192a.

이송 기구(194)는 복수개의 반송 롤러(80a)를 설치한 슬라이드 베이스(196)와, 본체부(192a) 내에 설치되며 상기 슬라이드 베이스(196)를 상기 본체부(192a)의 내부와 상기 본체부(192a)의 외부로 이동시킬 수 있는 슬라이드 레일(198)을 구비한다. 슬라이드 베이스(196)의 단부에는 슬라이드 레일(198)에 형성되어 있는 가이드 홈(198a)에 안내되는 가이드 핀(200)이 설치된다.The transport mechanism 194 is provided in the slide base 196 provided with the plurality of conveying rollers 80a and in the main body 192a, and the slide base 196 is provided inside the main body 192a and the main body. A slide rail 198 that can be moved outside of the 192a is provided. Guide pins 200 guided to the guide grooves 198a formed in the slide rails 198 are installed at the ends of the slide base 196.

슬라이드 베이스(196)는 가이드 핀(200)이 가이드 홈(198a)의 외방측 단부에 배치될 때에 라미네이트 장치(46)에 근접하고, 또한 복수개의 반송 롤러(80)와 동 일 면형상으로 복수개의 반송 롤러(80a)를 배치하고 있고, 수용대(202)에 의해 수평 자세로 지지된다. 슬라이드 베이스(196)는 가이드 핀(200)이 가이드 홈(198a)의 안쪽측 단부에 배치될 때에 반송 롤러(80)의 하방으로 퇴피함과 아울러, 수용대(204)에 선단부측이 지지된다.The slide base 196 is close to the laminating device 46 when the guide pin 200 is disposed at the outer end of the guide groove 198a, and the slide base 196 has the same plane shape as the plurality of conveying rollers 80. The conveyance roller 80a is arrange | positioned, and is supported by the storage stand 202 in a horizontal attitude | position. The slide base 196 retracts below the conveyance roller 80 when the guide pin 200 is disposed at the inner end of the guide groove 198a, and the tip end side is supported by the receiving table 204.

이 제 3 실시형태에서는, 슬라이드 베이스(196)는 본체부(192a)로부터 인출되어 수용대(202)에 지지됨으로써 반송 롤러(80a)가 반송 기구(74)를 구성하는 다른 반송 롤러(80)와 동일 면형상으로 배치됨과 아울러, 라미네이트 장치(46)에 근접해서 위치 결정된다. 따라서, 유리 기판(24)을 제 2 가열 기구(192)로부터 라미네이트 장치(46)로 원활하게 이송할 수 있다.In this 3rd Embodiment, the slide base 196 is pulled out from the main-body part 192a, and is supported by the receiving stand 202, and the conveyance roller 80a and the other conveyance roller 80 which comprise the conveyance mechanism 74 are compared. In addition to being arranged in the same plane shape, it is positioned in proximity to the laminating device 46. Therefore, the glass substrate 24 can be smoothly conveyed from the 2nd heating mechanism 192 to the lamination apparatus 46. FIG.

한편, 라미네이트 장치(46)의 유지 보수시에는, 슬라이드 베이스(196)는 가이드 핀(200)과 슬라이드 레일(198)의 안내 작용하에 본체부(192a) 내에 수용된 후 (도 7 중 2점 쇄선 참조), 상기 본체부(192a)가 가이드 레일(188)을 따라 퇴피된다.On the other hand, during maintenance of the laminate device 46, the slide base 196 is accommodated in the main body 192a under the guiding action of the guide pin 200 and the slide rail 198 (see the dashed-dotted line in FIG. 7). ), The main body 192a is retracted along the guide rail 188.

이것에 의해, 간단하고 또한 신속한 조작으로 유지 보수용 공간을 확보할 수 있어 작업성이 유효하게 향상하는 등 제 1 및 제 2 실시형태와 동일한 효과가 얻어진다.Thereby, the effect similar to 1st and 2nd embodiment is acquired, such as the maintenance space can be secured by simple and quick operation, and workability improves effectively.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 가열 장치를 조립한 제조 시스템의 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a manufacturing system incorporating a heating apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 상기 제조 시스템에 사용되는 길이가 긴 형상의 감광성 웹의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an elongated shape photosensitive web used in the manufacturing system.

도 3은 상기 길이가 긴 형상의 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.It is explanatory drawing of the state which the adhesive label adhere | attached on the said photosensitive web of length elongate shape.

도 4는 상기 가열 장치의 개략적인 구성 설명도이다.4 is a schematic configuration explanatory diagram of the heating device.

도 5는 상기 가열 장치의 평면 설명도이다.5 is a plan explanatory view of the heating device.

도 6은 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 가열 장치의 개략적인 구성 설명도이다.6 is a schematic configuration explanatory diagram of a heating apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 가열 장치의 개략적인 구성 설명도이다.7 is a schematic configuration explanatory diagram of a heating apparatus according to a third embodiment of the present invention.

도 8은 일본 특허 공개 평8-183146호 공보에 개시되어 있는 드라이 레지스트 필름의 라미네이팅 방법의 설명도이다.8 is an explanatory diagram of a laminating method of a dry resist film disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 8-183146.

Claims

As the heating apparatus 45 which heats the board | substrate 24 with which the photosensitive web 22 is attached by the lamination apparatus 46 to predetermined temperature before an adhesion | attachment process:

A conveyance mechanism 74 for conveying the substrate 24;

A plurality of heating mechanisms (76, 78) arranged along the conveying direction by said conveying mechanism (74);

The heating mechanism 78 disposed at the downstream side in the conveying direction adjacent to the laminating device 46 includes a main body portion 78a for receiving the conveying mechanism 74 and the heating source 90b;

A transfer mechanism 92 installed in the main body 78a and extending to the vicinity of the lamination device 46 to transfer the substrate 24 to the lamination device 46;

And a retraction mechanism (94) capable of moving said body portion (78a) with respect to said laminating device (46).

The heating apparatus according to claim 1, wherein said transfer mechanism (92) is fixed with respect to said main body portion (78a).

The heating apparatus according to claim 1, wherein the evacuation mechanism (94) is configured to advance and retract the main body portion (78a) in the direction intersecting the conveyance direction and the conveyance direction.

The heating apparatus according to claim 1, wherein said transfer mechanism (178) is configured to be swingable with respect to said main body portion (174a).

5. Heating device according to claim 4, characterized in that the transfer mechanism (178) comprises a swinging cylinder (186).

The heating apparatus according to claim 1, wherein the transfer mechanism (194) is configured to be receivable with respect to the main body portion (192a).

7. The heating apparatus according to claim 4 or 6, wherein the evacuation mechanism (180) is configured to be able to advance and retract the main body portion (174a, 192a) at least in a direction crossing the conveying direction.