KR20090024619A - 광조사 방법, 광조사 장치 및 미립자 해석 장치 - Google Patents

광조사 방법, 광조사 장치 및 미립자 해석 장치 Download PDF

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Abstract

광원의 출력 파워를 올리지 않아도 조사 스폿의 에너지 밀도를 상대적으로 높게 할 수 있는 광조사 방법을 제공하는 것.
유로(流路)(11)중에 존재하는 시료 A에 지향성(指向性) 광 L12를 조사하는 광조사 방법으로서, 상기 유로(11)의 유로폭 D1보다도 작은 조사 스폿 D2를 가지는 지향성 광 L12를, 상기 유로 폭방향으로 주사시키면서 상기 시료 A에 대해서 조사하는 광조사 방법으로 함으로써, 광원의 출력 파워를 올리지 않아도 조사 스폿의 에너지 밀도를 높게 할 수가 있다.
광조사 장치, 유로, 광원, 검출부, 시료.

Description

광조사 방법, 광조사 장치 및 미립자 해석 장치{LIGHT IRRADIATION METHOD, LIGHT IRRADIATION DEVICE, AND FINE PARTICLE ANALYZING APPARATUS}
본 발명은, 광조사 방법, 광조사 장치 및 미립자 해석 장치에 관한 것이다. 보다 자세하게는, 유로에 존재하는 시료에 대해서 지향성(指向性) 광의 조사를 행하는 기술에 관한 것이다.
레이저 등의 지향성 광의 조사 기술은, 분광 측정이나 가공 기술 등에 폭넓게 사용되고 있다. 지향성 광은, 파장이 동일하고 위상이 일치되어 있기 때문에, 이것을 렌즈 등으로 집속시킨 경우, 광을 작은 점에 모을 수 있고, 그 조사점의 에너지 밀도가 높다고 하는 특성을 가지고 있다.
레이저 분광에 관해서는, 선형 레이저 분광이나 비선형 레이저 분광 등으로 분류할 수 있다. 흡수 스펙트럼이나 여기(勵起; excitation) 스펙트럼을 측정하는 선형 레이저 분광도 재래(在來)의 광원을 이용하는 분광에 비해서 고감도이고 또한 고분해능이다. 비선형 레이저 분광은, 더 고감도이고 또한 고분해능의 분광이 가능하게 된다. 이와 같은 것으로서, 예를 들면 레이저 유기(誘起) 형광 분광, 레이저·라만 분광법, CARS(Coherent anti-Stokes Raman Scattering), 편광 분광, 공명 이온화 분광, 광 음향 분광 등을 들 수 있다. 특히, 시간 분해능이 높은 것은, 피코초(picosecond) 분광이나 펨토초(femtosecond) 분광이라고도 불리고 있다.
예를 들면, 레이저 조사 기술은 플로 사이토메트리(flow cytometry)에도 이용되고 있다(비특허 문헌 1). 플로 사이토메트리라 함은, 측정 대상인 세포를 산 채로 분취(分取)(소팅)해서 세포의 기능 등을 해석하는 측정 수법이다. 세포를 라미나(laminar) 플로중에 흘려넣고, 플로 셀을 통과하는 세포에 레이저를 조사한다. 이것에 의해서 발생한 형광이나 산란광을 측정한다. 또, 펄스 검출계에서는, 세포가 레이저를 횡단(橫切; traverse)할 때에 생긴 형광이나 산란광을 전기 펄스로서 검출하고, 펄스 높이나 펄스 폭이나 펄스 면적 등을 분석함으로써 해석을 행한다. 이것에 의해서, 세포 1개 1개로부터 발광되는 산란광이나 형광을 검출함으로써, 각 세포의 특성을 산 채로 분석할 수가 있다.
[비특허 문헌 1] 나카우치 히로미츠(中內啓光)저(著), 「세포 공학 별책: 실험 프로토콜 시리즈, 플로 사이토메트리 자유자재」, 슈쥰샤(秀潤社), p.12∼p.13, 제2판, 2006년 8월 31일 발행.
유로내의 시료의 위치가 변화하기 때문에 충분한 또한 확실한 조사를 할 수 없는 경우 등에서는, 조사광의 조사 스폿 지름을 유로폭보다도 크게 하는 것이 행해지고 있지만, 조사 스폿의 에너지 밀도가 낮아지기 때문에 광원의 출력 파워를 올리지 않으면 안된다고 하는 문제가 있다.
그래서, 본 발명은, 광원의 출력 파워를 올리지 않아도 조사 스폿의 에너지 밀도를 상대적으로 높게 할 수 있는 광조사 방법을 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.
우선, 본 발명은, 유로중에 존재하는 시료에 광조사를 행하는 광조사 방법으로서,
상기 유로의 유로폭보다도 작은 조사 스폿을 가지는 광을, 상기 유로 폭방향으로 주사시키면서 상기 시료에 대해서 조사하는 광조사 방법을 제공한다. 
조사광의 조사 스폿을 유로 폭방향으로 주사시킴으로써, 적어도 조사광의 조사 스폿의 에너지 밀도를 상대적으로 높게 할 수가 있다. 그 결과, 광원의 출력 파워의 저감이나, 조사광의 집광 효율의 개선이 가능하게 된다.
다음에, 본 발명은, 상기 광조사는, 갈바노 미러, 전기 광학 소자, 폴리곤 미러, MEMS 소자의 적어도 어느것인가를 이용해서 주사시키는 광조사 방법을 제공한다.
그리고, 본 발명은, 상기 지향성 광의 주사를, 하기 식 (1)을 만족시키는 조건에서 행하는 광조사 방법을 제공한다.
[수학식 1]
Figure 112008057700966-PAT00001
이와 같은 조건에서 주사함으로써, 주사 스폿이 유로폭을 통과하는 시간내에, 시료가 주사 스폿을 1회 이상 횡단할 수 있다. 그 결과, 유로내에 존재하는 시료를 주사 스폿으로 확실히(반드시) 검출할 수 있다.
유로중에 존재하는 시료에 광조사하는 광조사 장치로서, 상기 유로의 유로폭보다도 작은 조사 스폿을 가지는 광을 조사하는 광원과, 상기 광을 상기 유로 폭방향으로 주사시키는 주사 수단을 적어도 구비한 광조사 장치를 제공한다. 상기 주사 수단을 구비함으로써, 광원의 출력 파워의 저감이나, 조사광의 집광 효율의 개선이 이루어진 광조사 장치로 할 수가 있다. 
또, 본 발명은, 상기 광조사 장치를 구비한 미립자 해석 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 광원의 출력 파워를 올리지 않아도 광조사의 조사 스폿의 에너지 밀도를 상대적으로 높게 할 수 있다.
이하, 첨부 도면에 의거해서, 본 발명에 관계된 광조사 방법, 광조사 장치 및 미립자 해석 장치의 매우 적합한 1예에 대해서 설명한다. 또한, 첨부 도면에 도시된 각 실시형태는, 본 발명의 예시로서, 이것에 의해 본 발명의 범위가 좁게 해석되는 일은 없다.
도 1은, 본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치의 1예의 설명에 제공되는 개략도이다.
도 1의 부호 (1)은, 광조사 장치(1)을 나타내고 있다. 그 광조사 장치(1)는, 유로(11)와 광원(12)을 구비하고 있다. 이하, 부호 A는 조사 대상인 시료를 나타내고 있다. 부호 S는 조사하는 광의 조사 스폿을 나타내고 있다. 시료 A는, 유로(11)중에 존재하고 있으며, 속도 v1로 이동하고 있다. 지향성 광 L12는 속도 v2로 주사함으로써, 복수의 조사 스폿 S12를 가지고 있다.
본 발명에서 유로(11)내에 존재하는 시료 A의 종류는 한정되지 않는다. 예를 들면, 시료 A가 세포나 비즈 등의 미소 입자 등이더라도 좋다. 유로(11)내의 매체는 유체(流體)이면 좋고, 여러가지 용액이나 기체 등을 이용할 수 있다. 시료 A의 종류나 조사 조건 등을 고려해서 매우 적합한 매체를 선택할 수가 있다.
그리고, 복수의 조사 스폿 S12를 광주사에 의해서 형성하는 것은, 유로(11)의 소망의(원하는) 위치에서 행할 수 있다. 따라서, 시료 A가 유로(11)내의 어떠한 위치에 존재하고 있다고 해도, 그 유로(11)내를 고속으로 광조사 스캔을 행하도록 할 수 있다.
광원으로부터 조사되는 지향성 광 L12의 종류는 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 레이저나 LED(Light Emission Diode; 발광 다이오드) 등을 이용할 수가 있 다.
지향성 광 L12로서 레이저를 이용하는 경우, 그의 매체로서는, 예를 들면 반도체 레이저나 액체 레이저나 기체 레이저나 고체 레이저 등을 들 수 있다.
반도체 레이저로서는, GaAs 레이저나 InGaAsP 레이저 등을 들 수 있다. 가스 레이저로서는, He-Ne 레이저(적색), Ar 레이저(가시(可視), 청색 또는 녹색), CO2 레이저(적외선), 엑시머 레이저(자색(紫色; purple) 등) 등을 들 수 있다. 액체 레이저로서는, 색소 레이저 등을 들 수 있다. 고체 레이저로서는, 루비 레이저나 YAG 레이저나 유리 레이저 등을 들 수 있다. 또, 레이저 다이오드(LD)로 Nd:YAG 등의 고체 매체를 여기해서 발진시키는 DPSS(다이오드 여기 고체 레이저) 등도 이용할 수가 있다.
그리고, 본 발명에서 행하는 광조사의 용도는 한정되지 않고, 용도에 따라서 매우 적합한 광원(12)을 적당히 선택할 수 있다. 광조사의 용도로서는, 예를 들면 각종 분석용이나 측량용이나 가열용이나 가공용 등을 들 수 있다.
예를 들면, 분석이나 측량을 행하는 경우, 지향성 광 L12를 시료 A에 조사해서 얻어지는 측정 대상 광 L12'를 검출하는 수단으로서, 검출부(13)를 설치할 수 있다. 도시는 하지 않지만, 검출부(13)에는, 아날로그 디지털 컨버터(ADC)를 설치하는 것에 의해, 검출한 측정 대상 광 L12'를 디지털 신호로 변환하여 CPU(도시하지 않음) 등에 의해서 연산 처리된다.
측정 대상 광 L12'의 종류는 한정되지 않고, 시료 A의 종류나 측정 조건 등 을 고려해서 적당히 매우 적합한 검출 방법을 채용할 수 있다. 측정 대상 광으로서는, 시료 A로부터 발광되는 형광이나 산란광을 들 수 있다. 검출 방법으로서는, 예를 들면 미리 시료 A를 특정의 형광 물질로 라벨링해 두고, 광원(12)으로부터 여기광으로서 광 L12를 조사한다. 이것에 의해 발광하는 형광을 측정 대상 광 L12'로서 검출하는 것을 들 수 있다.
형광 색소를 이용하는 경우는, 광원(12)으로부터 조사되는 광 L12를 지향성 광으로 하고, 이 파장(예를 들면, 레이저의 파장)에 대응한 형광 색소를 이용할 수가 있다.
예를 들면, Ar 이온 레이저(488㎚)의 경우에는, FITC(fluorescein isothiocyanate)나 PE(phycoerythrin)나 PerCP(peridinin chlorophyll protein) 등의 형광 색소를 이용할 수가 있다. 또, He-Ne 레이저(633㎚)의 경우에는, APC(allophycocyanin)나 APC-Cy7 등의 형광 색소를 이용할 수가 있다. 다이 레이저(598㎚)의 경우에는, TR(Texas Red) 등의 형광 색소를 이용할 수 있다. Cr 레이저(407㎚)나 반도체 레이저의 경우에는, Cascade Blue 등의 형광 색소를 이용할 수가 있다.
측정 대상 광을 이용한 다른 검출 방법으로서는, 라벨링 등을 행하지 않고 시료 A로부터의 산란광(전방 산란광이나 측방 산란광)을 검출해도 좋다. 예를 들면, 조사 스폿 S12를 시료 A가 통과했을 때에 발광되는 산란광을 검출해도 좋다. 이 경우에도, 광 L12를 지향성 광으로 함으로써, 보다 고정밀도의 위치 정보의 검출을 할 수 있다.
그리고, 유로(11)내를 시료 A가 이동하는 경우, 유로(11)내의 시료 A의 위치가 변화한다. 특히, 시료 A의 크기가 유로(11)의 유로폭 D1에 비해서 상당히 작은 경우에는, 유로(11)내에서 시료 A가 일정한 자유도를 가지고 이동하기 때문에, 큰 조사 불균일(斑; unevenness)이나 조사 위치 어긋남(displacement)이나 포커스 위치 어긋남 등이 생기는 경우가 있다. 이와 같은 것이 지향성 광 L12의 조사 효율 저하의 한 요인으로 되고 있었다. 이것에 관해서, 종래에는, 조사 시간을 길게 하거나, 조사 스폿 지름 D2를 유로폭 D1보다도 크게 하는 것 등이 행해지고 있었다(도 1의 R상태 참조). 종래의 1예로서 나타내는 R상태 등에서는, 시료 AR의 대략 전체 영역에 조사할 수 있지만, 조사 스폿 SR이 커지기 때문에, 빔 출력을 올릴 필요가 있다. 또, 조사 스폿 SR을 소망의 타원 형상으로 정형할 필요 등이 있다.
이것에 대해서, 본 발명에서는, 지향성 광 L12를 유로 폭방향으로 주사시키면서 조사한다(도 1의 v2 참조). 복수의 조사 스폿 S12를 유로(11)내에 만들어 냄으로써, 시료 A는 적어도 어느것인가의 조사 스폿 S12를 통과한다. 이것에 의해, 조사 스폿 S12의 조사 스폿 지름 D2를 크게 하지 않아도, 유로(11)내를 이동하는 시료 A에 대해서 충분한 또한 정확한 광조사를 할 수 있다.
지향성 광 L12는 정속도(定速度)로 주사하는 것에 한정되지 않고, 사용 목적이나 조사 조건 등을 고려해서 적당히 변속으로 주사시켜도 좋지만, 고속으로 주사시키는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 유로(11)를 이동하는 시료 A에 대해서 보 다 확실히 광조사할 수 있고, 나아가서는 복수회(여러차례) 광조사할 수 있다. 특히, 바람직하게는, 하기 식 (1)에 나타내는 조건에서 광조사하는 것이 바람직하다.
[수학식 2]
Figure 112008057700966-PAT00002
식 (1)의 좌변은, 「조사 스폿 지름 D2」를 「유로(11)내에서의 시료 A의 이동 속도 v1」로 나눈(나눗셈한) 것이다. 이것은, 시료 A가 조사 스폿 지름을 통과하는 시간을 근사(近似)하는 것이다. 조사 스폿 지름 D2는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 1㎛∼100㎛인 것이 바람직하다. 유로(11)내에서의 시료의 이동 속도 v1은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 0.1m/s∼10m/s인 것이 바람직하다.
식 (1)의 우변은, 「유로폭 D1」을 「지향성 광의 주사 속도 v2」로 나눈 것이다. 이것은, 유로폭을 지향성 광이 주사하기 위해서 소요되는 주사 시간을 근사하는 것이다. 유로폭 D1은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 10㎛∼1㎜인 것이 바람직하다. 지향성 광의 주사 속도 v2는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 1m/s∼50m/s인 것이 바람직하다.
즉, 시료 A가 조사 스폿 지름을 통과할 때에, 적어도 1회는 유로폭의 전폭 (全幅)에 광조사되게 된다. 따라서, 보다 많이 주사하기 위해서는, (D2/V1)이 (D1/v2)에 비해서 충분히 큰 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, (D2/V1)이 (D1/v2)의 2∼10배인 것이 바람직하다. 이 경우라면, 조사 스폿 S12를 시료 A가 통과하는 동안에, 2∼10회 주사할 수 있다. 이것에 의해, 지향성 광 L12의 이용 효율(efficiency)을 높일 수 있고, 복수회의 주사에 의한 검출 신호를 정산(精算)하는 것에 의해, 지향성 광 L12의 S/N비를 한층더 향상시킬 수 있다. 예를 들면, 형광과 같이 비교적 어두운 대상을 취급하는 경우에는, 형광 신호를 높이면서 노이즈를 내릴 수 있기 때문에, 특히 매우 적합하다.
또, 고속으로 주사시키는 것 이외에, 유로폭 D1을 보다 좁게 하는 것으로도 마찬가지 효과를 얻을 수 있다. 유로폭 D1을 좁게 함으로써, 조사 스폿 S12의 주사 소요 시간(즉, D1/V2)을 단축할 수 있다. 이와 같은 주사 조건, 유로 구조로 함으로써, 시료에 대해서 복수회 광조사할 수가 있다. 예를 들면, N회 광조사할 수 있으면, 그 신호를 정산하는 것에 의해서, 검출광 신호의 S/N비를 (N)1/2배로 향상시킬 수가 있다.
광조사의 주사 수단은 특별히 한정되지 않지만, 매우 적합하게는, 갈바노 미러나, 전기 광학 소자나, 폴리곤 미러나, MEMS 소자 등에 의해서 조사 스폿 S12를 주사시키는 것이 바람직하다. 특히, 전기 광학 소자는 가동부가 없기 때문에, 안정성이나 신뢰성이 특히 높다는 점에서 매우 적합하다. 또, 이들 주사 수단을 복 수 이용해도 좋다.
본 발명에 관계된 광조사 장치(1)로서는, 유로(11)의 유로폭 D1보다도 작은 조사 스폿 D2를 가지는 지향성 광 L12를 조사하는 광원(12)과, 상기 지향성 광 L12를 유로 폭방향으로 주사시키는 주사 수단을 적어도 구비한 장치로 할 수가 있다. 또, 상기 조사 스폿 S12에서 발생한 측정 대상 광 L12'를 검출하는 광학 검출계를 구비할 수가 있다.
도 2는, 본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치의 다른 1예의 설명에 제공되는 개략도이다. 도 2의 부호 (2)는 광조사 장치를 나타내고 있다.
도 2에 도시하는 광조사 방법 및 광조사 장치(2)는, 유로(21)내를 이송되어지는 시료 A에 대해서, 위치 정보를 얻기 위한 광 L22를 광원(22)으로부터 조사하는 것을 하나의 특징으로 하고 있다. 이하, 도 1과의 상위점(相違点; 차이점)을 중심으로 설명한다.
시료 A는 유로(21)내를 속도 v1로 이동한다. 시료 A에 대해서 위치 정보를 얻기 위한 광 L22를 광원(22)으로부터 조사한다. 조사 스폿 S22를 주사시킴으로써, 이 조사 위치를 통과하는 시료 A에 확실히 광조사된다. 이것에 의해 발생하는 측정 대상 광 L22'를 검출부(23)에서 검출함으로써, 시료 A의 위치 정보를 얻을 수가 있다.
그리고, 이 위치 정보에 의거해서, 후속 광원(24)으로부터 지향성 광 L24를 조사 스폿 S24에 대해서 조사한다. 이 조사 스폿 S24는 도 1에 도시하는 광조사 방법과 마찬가지로 주사되는 것이지만, 상기 위치 정보에 의거해서 시료 A의 주사를 개시할 수 있다. 즉, 조사 스폿 S22에서의 시료 A의 존재 위치를 확인하고(도 2의 사선 영역 참조), 이와 같은 위치 정보로부터 조사 스폿 S24에서의 존재 위치를 예측할 수 있다(도 2의 사선 영역 참조).
또, 위치 정보를 얻음으로써, 시료 A를 조사 스폿 S24에서 지향성 광 L24를 조사하는 타이밍을 제어할 수도 있다. 즉, 조사 스폿 S22로부터 조사 스폿 S24까지 도달하는 시간을 예측할 수 있다. 예를 들면, 위치 정보를 검출하는 광 L22의 조사 후로부터 (D3/v1) 경과 후에, 광원(24)으로부터 광조사를 행하도록 설정할 수 있다.
본 발명에서는, 시료 A가 조사 스폿 S22에 도달했을 때에 지향성 광 L24를 조사하도록 타이밍을 제어할 수도 있다. 이 경우, 광원(24)으로부터 지향성 광 L24를 장시간 혹은 연속 조사할 필요가 없기 때문에, 광원(24)의 수명이나 장치에의 부담의 경감 등에 기여할 수 있다.
위치 정보를 얻는 광 L22를 복수의 조사 스폿 S24에 조사함으로써, 해당 위치에서의 시료 A의 통과 시간 뿐만 아니라, 위치 정보를 검출할 수 있다. 그 결과, 후속 지향성 광 L24를 보다 높은 정밀도로 조사할 수 있다. 또, 조사 타이밍이나 조사의 주사 개시 위치에 대해서도 최적인 조건을 선택할 수 있기 때문에, 효율좋게 광조사할 수 있다.
이에 부가해서, 유로중의 다른 영역에서 시료의 가공이나 처리나 분별 등의 공정을 행하는 경우에도, 얻어진 위치 정보나 속도 정보를 이들 공정의 트리거 신호로서 이용할 수가 있다. 즉, 광조사에 의해서 얻은 시료의 위치 정보를, 별도의 공정을 행하기 위한 장치 부위에 신호로서 출력하고, 이 위치 정보를 장치 부위의 트리거 신호로서 이용할 수가 있다.
이와 같이 유로(21)중의 시료 A의 위치 정보를 얻음으로써, 광원(24)으로부터의 지향성 광 L24의 조사 강도나 조사 시간이나 조사 위치 등을 조절하거나 최적화하거나 할 수 있다. 그 결과, 조사 스폿 S24에서의 조사 불균일이나 조사 어긋남이나 디포커스 등을 한층더 개선할 수 있다.
위치 정보를 얻는 광 L22를 복수의 조사 스폿 S22에 조사하는 방법은 한정되지 않고, 각 조사 스폿 S22에 대응하는 광원(22)을 복수 설치해도 좋지만, 광원(22)으로부터 조사되는 광 L22를 주사시키는 것이 바람직하다. 주사 기구를 이용함으로써 광원(22)이 하나의 광원이어도 좋기 때문에, 장치 구성의 간이화가 가능하게 된다.
시료 A의 위치 정보라 함은, 유로(21)중에 존재하는 시료 A의 유속이나 존재 위치 등에 관한 정보를 가리키고, 유로(21)내에서의 시료 A의 벡터에 관련된 모든 정보를 포함한다. 본 발명에서는, 위치 정보로서 필요한 정보만을 검출하면 좋고, 위치 정보의 대상에 대해서 한정되는 것은 아니다.
그리고, 도시는 하지 않지만, 위치 정보를 검출하는 수단으로서, 검출부(23)에 의해 측정 대상 광 L22'를 검출해서 얻어진 위치 정보에 의거해서, 지향성 광의 조사를 제어하는 제어 수단을 별도로 설치할 수도 있다. 예를 들면, 검출 부(23)에서 검출한 측정 대상 광 L22'의 측정 데이터를 아날로그 디지털 컨버터(ADC) 등에 의해서 디지털 신호로 변환하고, 이 신호를 컴퓨터에 의해 연산 처리하여, 광원(24)의 조사를 제어하기 위한 정보로서 피드백할 수가 있다.
측정 대상 광 L22'의 종류는 한정되지 않으며, 시료 A의 종류나 측정 조건 등을 고려해서 적당히 매우 적합한 검출 방법을 채용할 수가 있다. 측정 대상 광으로서는, 시료 A로부터 발광되는 형광이나 산란광을 들 수 있다. 검출 방법으로서는, 전술한 바와 마찬가지로, 미리 시료 A를 특정의 형광 물질로 라벨링해 두고, 광원(22)으로부터 여기광으로서 광 L22를 조사하는 방법을 들 수 있다. 이것에 의해 발광하는 형광을 측정 대상 광 L22'로서 검출할 수 있다. 또, 라벨링을 행하지 않고 시료 A로부터 발광하는 산란광을 위치 정보로서 검출해도 좋다.
또, 상기 위치 정보를 반영시키는 것은 광조사를 행하는 광학계에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기 시료의 위치 정보(특히, 이동 속도 등)를 고려해서, 유로(21)중의 매체의 유속(즉, 시료 A의 이동 속도 v1)을 제어하는 수단을 설치할 수가 있다. 상기 위치 정보에 의거해서 유로(21)내의 매체의 유속을 조절함으로써, 시료 A에 대해서 보다 정확하게 지향성 광 L24를 조사할 수 있다.
위치 정보를 얻는 광 L22를 주사하면서 조사하는 경우, 주사 조건은 특별히 한정되지 않지만, 고속으로 주사시키는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 유로(11)내를 이동하는 시료 A에 대해서 보다 확실히 광조사할 수 있다. 상기 식 (1)과 마찬가지 이유로 인해, 하기 식 (2)의 조건에서 광조사하는 것이 특히 바람직하다.
[수학식 3]
Figure 112008057700966-PAT00003
따라서, 본 발명에 관계된 광조사 장치로서는, 유로(21)에서 시료 A의 위치 정보를 얻는 광 L22를 조사하는 광원(22)과, 상기 위치 정보를 얻는 광 L22를 주사시키는 주사 수단과, 상기 위치 정보를 얻는 광 L22가 시료 A에 조사됨으로써 발광하는 측정 대상 광 L22'를 검출하는 광학 검출계를 더 구비하는 광조사 장치로 할 수가 있다.
그리고, 이 광학 검출계에 의해 얻어진 측정 데이터를 연산 처리함으로써 위치 정보로서 얻는 연산 처리부와, 지향성 광 L24의 조사를 상기 위치 정보에 의거해서 제어하는 조사 제어 수단을 더 설치할 수가 있다. 또, 상기 위치 정보를 얻는 광 L22의 조사 스폿 지름 D4가, 유로(21)의 유로폭 D1보다도 작은 것이 바람직하다. 이와 같이 함으로써, 장치 구성의 간편화가 가능하게 되고, 광원의 수도 줄일 수 있기 때문에 경제적이며, 장치의 메인터넌스도 경감할 수 있다.
도 3은, 본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치의 1예의 설명에 제공되는 개략도이다. 도 3의 부호 (3)은 광조사 장치를 나타내고 있다.
도 3에 도시하는 광조사 방법 및 광조사 장치(3)는, 유로(31)내를 이송되어 지는 시료 A에 대해서, 위치 정보를 얻기 위한 광의 조사 스폿 S32를 유로 방향과 폭방향에 대해서 각각 다른 위치에 조사해 가는 것을 하나의 특징으로 하고 있다. 이하, 도 1, 도 2와의 상위점을 중심으로 설명한다.
시료 A는 유로(31)내를 속도 v1로 이동한다. 시료 A에 대해서 위치 정보를 얻기 위한 광 L32를 광원(32)으로부터 조사한다. 이 조사 스폿 S32를 유로 방향(X 방향)과 폭방향(Y 방향)의 각각에 주사시킨다. 조사 스폿 S32를 통과하는 시료 A로부터 발광하는 측정 대상 광 L32'를 검출부(33)에서 검출함으로써, 시료 A의 위치 정보를 얻을 수가 있다. 그리고, 이 위치 정보에 의거해서, 광원(34)으로부터 지향성 광 L34를 조사 스폿 S34에 대해서 조사한다.
특히, 이 조사 스폿 S32를 유로 방향(X 방향)과 폭 방향(Y 방향)의 각각에 주사시킴으로써, 시간차(時間差)를 두고 시료 A의 위치 정보를 얻을 수가 있다. 그 결과, 시료 A가 유로(31)의 유로 방향과 폭방향에 관하여, 어느 위치에 존재하고 있는지를 보다 정확히 알 수가 있다. 또, 2차원(유로 방향과 폭 방향)의 검출에 한정되지 않고, 깊이 방향(Z 방향)도 포함시킨 3차원의 위치 정보의 검출을 행하도록 주사시켜도 좋은 것은 물론이다.
도 4는, 본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치의 다른 1예의 설명에 제공되는 개략도이다. 도 4의 부호 (4)는 광조사 장치를 나타내고 있다.
도 4에 도시하는 광조사 방법 및 광조사 장치(4)는, 위치 정보를 얻는 광 L42, L45의 조사 스폿 S42, S45가, 지향성 광 L44의 조사 스폿 S44의 전후에 설치 되어 있는 것을 하나의 특징으로 하고 있다. 이하, 도 1∼도 3과의 상위점을 중심으로 설명한다.
시료 A는 유로(41)내를 속도 v1로 이동한다. 시료 A에 대해서 위치 정보를 얻기 위한 광 L42를 광원(42)으로부터 조사하고, 측정 대상 광 L42'를 검출부(43)에서 검출한다. 그리고, 광원(44)으로부터 지향성 광 L44를 유로 폭방향으로 주사시키면서 시료 A에 대해서 조사한다. 그 후, 재차 위치 정보를 얻기 위한 광 L45를 후속 광원(45)으로부터 조사하고, 측정 대상 광 L45'를 검출부(46)에서 검출한다.
지향성 광 L44를 조사 스폿 S44에 조사한 후에, 위치 정보를 얻는 광 L45를 조사 스폿 S45에 조사함으로써, 시료 A가 유로(41)의 후방 영역에서 어느 위치에 존재하고 있는지 등을 알 수가 있다. 또, 전방의 조사 스폿 S42에서 측정 대상 광 L42'를 충분히 검출할 수 없었던 경우이더라도, 후방의 조사 스폿 S45에서 측정 대상 광 L45'를 검출할 수 있기 때문에, 보다 상세한 위치 정보를 얻을 수가 있다. 이와 같이, 유로(41)의 후방 영역에서의 시료 A의 위치 정보도 지향성 광 L44의 광조사 등에 반영시킬 수가 있다.
위치 정보를 얻기 위한 광의 조사 스폿을 복수 개소 설치함으로써, 시료 A의 위치 정보를 보다 높은 정밀도로 얻을 수가 있다. 특히, 유로(41)내를 시료 A가 일정한 자유도를 가지고 이동하는 경우, 지향성 광 L44의 광조사 전, 광조사 후의 위치 정보를 각각 얻어 둠으로써 고도의 광조사를 행할 수가 있다.
도 5는, 본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치의 다른 1예의 설명에 제공되는 개략도이다. 도 5의 부호 (5)는 광조사 장치를 나타내고 있다.
도 5에 도시하는 광조사 방법 및 광조사 장치(5)는 위치 정보를 얻는 광조사의 조사 스폿이 지향성 광의 조사 스폿의 전후에 설치되어 있는 것을 하나의 특징으로 하고 있다. 이하, 도 1∼도 4와의 상위점을 중심으로 설명한다.
유로(51)는, 대략 Y자 모양의 유로 구조이다. 즉, 유로(511, 512)로부터 이송되어 온 시료 A가 합류해서 조사 위치에 이송되어 온다. 광원(52)으로부터 위치 정보를 얻기 위한 광 L52를 9개소의 조사 스폿 S52에 조사한다. 이것에 의해 발광하는 측정 대상 광 L52'를 검출부(53)에서 검출해서 위치 정보를 얻는다. 이것에 의해서 얻어진 위치 정보에 의거해서, 광원(54)으로부터 지향성 광 L54를 조사 스폿 S54에 조사한다.
위치 정보를 얻는 광의 조사 스폿 S52를 유로(51)내의 복수 개소에 조사함으로써, 시료 A의 보다 상세한 위치 정보를 검출할 수가 있다. 특히, 유로(51)내를 대략 원고지칸 모양(box-shaped)으로 분할해서 형성된 각 영역에 대해서, 위치 정보를 얻는 광 L52를 조사함으로써, 보다 정확한 위치 정보를 얻을 수가 있다.
유로(51)가 분기되어 있는 경우 등에서는, 시료 A가 유로(51)내의 합류 영역에서 부딪치는 것 등에 의해서 격렬하게 운동하면서 조사 스폿 S52까지 이송되어 온다. 위치 정보를 얻는 광 L52의 조사 스폿 S52를 보다 많이 설치해서, 유로(51)내의 유로 공간을 망라(網羅; include)하도록 조사함으로써, 시료 A의 경시적(經時的)인 위치 정보를 상세히 얻을 수가 있다. 그 결과, 보다 정확한 위치 정보를 검 출할 수가 있다.
도시는 하지 않지만, 유로(51)의 후방에서 시료 A를 분취(소팅)하는 경우 등에서는, 시료가 유로(51)내의 어느 위치에 존재하고, 어느 정도의 속도로 후속 분취 예정 위치까지 이동해 오는 것인지 등에 대해서도 위치 정보를 이용할 수 있다.
또, 예를 들면 유로(511, 512)에 각각 다른 시료를 흐르게 하고, 마이크로리액터로서 이용하는 경우에 매우 적합하다. 유로(511, 512)의 합류에 의해서 어떠한 반응이 진행되며, 그 후의 반응물에 대해서 지향성 광 L54를 조사해서 분광 검출을 행하고, 또한 그 결과에 따라서 분취한다고 하는 용도로도 이용할 수가 있다.
본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치는, 여러 가지 기술 분야에 응용할 수 있고, 예를 들면 입자 지름 분포 측정이나 유체 화상 해석이나 3차원 측정이나 레이저 현미경 등을 비롯한 지향성 광을 이용한 계측 장치·해석 장치에 응용할 수 있다. 그 중에서도, 유로중에 존재하는 시료에 대해서 조사를 행하는 기술로서, 미소 입자를 측정 대상으로 하는 미립자 해석 장치 등에 매우 적합하게 이용할 수가 있다.
미립자 해석 장치로서는, 플로 사이토메터(flow cytometry analyzing device)나 비즈 어세이(bead assay device)(플로 비즈 어세이) 등의 해석 장치를 들 수 있다. 즉, 미소 입자에 대해서 광조사를 행하고, 얻어지는 형광이나 산란광 등의 측정 대상 광을 검출함으로써, 미소 입자를 분취하는 것 등을 행하는 기술에 응용할 수가 있다.
플로 사이토메트리에는, 미소 입자의 크기나 구조 등을 측정하는 것만을 목 적으로 하는 것이나, 측정된 크기나 구조 등에 의거해서 소망의 미소 입자를 분취할 수 있도록 구성된 것이 있다. 이 중, 특히 세포의 분취를 행하는 것을 셀 소터로서 이용할 수가 있다. 셀 소터에 의하면, 매초 수만∼10만이라고 하는 세포의 고속 측정 및 분취가 가능하지만, 특히 미소 입자에 대해서 광조사하는 경우이더라도, 보다 정확히 조사할 수 있다.
미소 입자를 소팅할 때에, 본 발명의 광조사 장치를 광학적 검출 기구에 이용할 수가 있다. 즉, 유로중에 존재하는 미소 입자(생체 세포 등)에 대해서 정확한 위치에 레이저 조사하는 것이 가능하기 때문에, 생체 세포중에 아주 조금 존재하는 줄기(幹; stem) 세포 등이더라도 정확하게 또한 효율좋게 소팅할 수가 있다.
이와 같이, 유로내에 존재하는 미소 입자(세포나 비즈 등)에 대해서, 조사 누락(빠짐, 결락) 등이 적은 적절한 레이저 조사를 행할 수 있기 때문에, 보다 고정밀도의 검출이 가능하게 된다. 나아가서는, 리얼타임의 검출도 가능한 미립자 해석 장치로 할 수도 있다는 점에서 매우 적합하다.
본 발명에 관계된 광조사 방법, 광조사 장치 및 미립자 해석 장치에 의하면, 보다 정확한 지향성 광의 조사가 가능하기 때문에, 각종 측정 기기나 분석 기기를 비롯한 폭넓은 분야에 응용할 수 있다.
도 1은 본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치의 1예의 설명에 제공되는 개략도,
도 2는 본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치의 다른 1예의 설명에 제공되는 개략도,
도 3은 본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치의 다른 1예의 설명에 제공되는 개략도,
도 4는 본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치의 다른 1예의 설명에 제공되는 개략도,
도 5는 본 발명에 관계된 광조사 방법 및 광조사 장치의 다른 1예의 설명에 제공되는 개략도.
[부호의 설명]
1, 2, 3, 4, 5: 광조사 장치, 11, 21, 31, 41, 51: 유로, 12, 22, 24, 32, 34, 42, 44, 45, 52, 54: 광원, 13, 23, 33, 43, 46, 53: 검출부, A: 시료.

Claims (5)

  1. 유로(流路)중에 존재하는 시료에 지향성(指向性) 광을 조사(照射)하는 광조사 방법으로서,
    상기 유로의 유로 폭보다도 작은 조사 스폿을 가지는 지향성 광을, 상기 유로 폭방향으로 주사(走査)시키면서 상기 시료에 대해서 조사하는 광조사 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지향성 광의 주사는, 갈바노 미러, 전기 광학 소자, 폴리곤 미러, MEMS 소자의 적어도 어느것인가에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 광조사 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지향성 광의 주사를, 하기 식 (1)을 만족시키는 조건에서 행하는 것을 특징으로 하는 광조사 방법.
    [수학식 4]
    Figure 112008057700966-PAT00004
  4. 유로중에 존재하는 시료에 지향성 광을 조사하는 광조사 장치로서,
    상기 유로의 유로 폭보다도 작은 조사 스폿을 가지는 광을 조사하는 광원과,
    상기 광을 상기 유로 폭방향으로 주사시키는 주사 수단
    을 적어도 구비한 광조사 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    청구항 제4항에 기재된 광조사 장치를 구비한 미립자 해석 장치.
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