KR20090021023A - 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사 방법 및 이를사용한 검사 대상물의 경사 표면 검사 장치 - Google Patents
전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사 방법 및 이를사용한 검사 대상물의 경사 표면 검사 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 전자부품의 양측단에 형성되는 경사 표면을 갖는 검사대상물에 대하여 서로 다른 각도에서 상기 경사 표면에 백색광을 순차적으로 조사하는 제 1단계; 및상기 경사 표면에서 서로 다른 각도를 이루어 반사되는 상기 백색광으로부터 서로 다른 색 성분들을 순차적으로 추출하고, 상기 추출된 색 성분들을 서로 합성하여 상기 검사대상물의 경사 표면에 대한 양부를 결정하는 제 2단계를 포함하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사방법.
- 제 1항에 있어서,상기 추출되는 색 성분들은 적색(Red)과, 청색(Blue)인 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제 2단계는,화상 취득 수단을 사용하여 상기 검사 대상물의 상부에 위치되어 상기 서로 다른 각도에서 조사되는 백색광에 의하여 반사되는 상기 검사대상물을 포함한 상기 검사대상물에 대한 화상 정보를 순차적으로 취득하는 단계와,색 성분 추출 수단을 사용하여 상기 화상취득부로부터 순차적으로 취득된 상기 화상 정보로부터 상기 서로 다른 색 성분을 각각 추출하는 단계와,색 성분 합성 수단을 사용하여 상기 추출된 상기 서로 다른 색 성분들을 서로 합성시키는 단계와,판별 수단을 사용하여 상기 검사 대상물의 경사 표면에 대한 양부를 판별하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사방법.
- 제 3항에 있어서,상기 판별 수단은 기 설정되는 기준 패턴정보와 상기 합성된 색 성분으로부터 취득되는 상기 색 성분들의 패턴 정보를 서로 비교하여 상기 검사 대상물의 경사 표면에 대한 양부를 판별하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사방법.
- 제 4항에 있어서,상기 패턴 정보는 상기 검사 대상물의 경사 표면에서 반사된 상기 서로 다른 색 정보들이 상기 검사 대상물의 일정 기준점으로부터 순차적으로 배치되는 상기 색 정보들의 배열 패턴인 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사방법.
- 제 4항에 있어서,상기 패턴 정보는 상기 서로 다른 색 정보들 전체에 대하여 상기 서로 다른 색 정보들이 이루는 비율인 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사방법.
- 제 3항에 있어서,상기 판별 수단은 기 설정되는 기준 체적정보와 상기 추출된 서로 다른 색 성분들로부터 산출되는 체적정보를 서로 비교하여 상기 검사 대상물의 경사 표면에 대한 양부를 판별하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사방법.
- 제 7항에 있어서,상기 체적 정보는,상기 경사 표면에 대한 검사 영역을 설정하고,상기 검사 영역 내에서 추출되어 서로 합성된 색 성분들의 전체에서 상기 색성분들을 순차적으로 선택하여 상기 선택되는 색 성분의 함유율을 산출하고,상기 산출되는 색 성분들의 함유율을 상기 색 성분들 각에 따르는 기울기값으로 매칭시키고,상기 기울기값을 적분하여 상기 검사 대상물의 체적을 산출하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사방법.
- 전자부품의 양측단에 형성되는 경사 표면을 갖는 검사대상물에 대하여 서로 다른 각도에서 상기 경사 표면에 백색광을 조사하는 광 조사부; 및상기 경사 표면에서 서로 다른 각도를 이루어 반사되는 상기 백색광으로부터 서로 다른 색 성분들을 순차적으로 추출하고, 상기 추출된 색 성분들을 서로 합성하여 상기 검사대상물의 경사 표면에 대한 양부를 결정하는 색 성분 검사부를 포함하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사장치.
- 제 9항에 있어서,상기 추출되는 색 성분들은 적색(Red)과, 청색(Blue)인 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사장치.
- 제 9항에 있어서,상기 광 조사부는 상기 검사 대상물의 저면을 기준으로 제 1각을 이루는 방향을 따라 백색광을 상기 경사 표면에 조사하는 제 1광원과, 상기 검사 대상물의 저면을 기준으로 제 1각보다 큰 제 2각을 이루는 방향을 따라 백색광을 상기 경사 표면에 조사하는 제 2광원과, 상기 검사대상물의 저면을 기준으로 수직이 되도록 상기 경사표면의 상부에 백색광을 조사하는 제 3광원을 구비하고,상기 색 성분 검사부는 상기 검사 대상물의 상부에 위치되어 상기 서로 다른 각도에서 조사되는 백색광에 의하여 반사되는 상기 검사대상물을 포함한 상기 검사대상물에 대한 화상 정보를 순차적으로 취득하는 화상 취득 수단과, 상기 화상취득부로부터 순차적으로 취득된 상기 화상 정보로부터 상기 서로 다른 색 성분을 각각 추출하는 색 성분 추출 수단과, 상기 추출된 상기 서로 다른 색 성분들을 서로 합성시키는 색 성분 합성 수단과, 상기 검사 대상물의 경사 표면에 대한 양부를 판별하는 판별 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사장치.
- 제 11항에 있어서,상기 판별 수단은 기 설정되는 기준 패턴정보와 상기 합성된 색 성분으로부터 취득되는 상기 색 성분들의 패턴 정보를 서로 비교하여 상기 검사 대상물의 경사 표면에 대한 양부를 판별하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사장치.
- 제 12항에 있어서,상기 패턴 정보는 상기 검사 대상물의 경사 표면에서 반사된 상기 서로 다른 색 정보들이 상기 검사 대상물의 일정 기준점으로부터 순차적으로 배치되는 상기 색 정보들의 배열 패턴인 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사장치.
- 제 12항에 있어서,상기 패턴 정보는 상기 서로 다른 색 정보들 전체에 대하여 상기 서로 다른 색 정보들이 이루는 비율인 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표 면 검사장치.
- 제 11항에 있어서,상기 판별 수단은 기 설정되는 기준 체적정보와 상기 추출된 서로 다른 색 성분들로부터 산출되는 체적정보를 서로 비교하여 상기 검사 대상물의 경사 표면에 대한 양부를 판별하는 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사장치.
- 제 15항에 있어서,상기 체적 정보는,상기 경사 표면에 대한 검사 영역을 설정하고,상기 검사 영역 내에서 추출되어 서로 합성된 색 성분들의 전체에서 상기 색성분들을 순차적으로 선택하여 상기 선택되는 색 성분의 함유율을 산출하고,상기 산출되는 색 성분들의 함유율을 상기 색 성분들 각에 따르는 기울기값으로 매칭시키고,상기 기울기값을 적분하여 상기 검사 대상물의 체적을 산출하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자부품의 검사 대상물용 경사 표면 검사장치.
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