KR20090020783A - 기판 반송 장치 - Google Patents

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KR20090020783A
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Abstract

본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것으로서, 본체와; 상기 본체의 상부에 구성되며, 서로 동일 극성을 가지는 제1자석과 제2자석이 서로 대면되는 자기부상장치와; 상기 자기부상장치의 상부에 구성되며, 기판이 실장되는 카세트가 안착되는 카세트안착대를 포함하는 기판 반송 장치를 제공하여, 기판의 운송을 수행하는 반송장치의 진동 및 충격 완화에 자기부상장치를 도입함으로써 반영구적 사용과 더불어 유지 및 보수가 간편하기 때문에 비용이 절감되는 장점이 있으며 또한 다양한 무게의 기판 이송시에도 자력 제어를 통해 즉시 유연하게 대응할 수 있는 장점이 있다.

Description

기판 반송 장치{apparatus for transportation of substrate}
본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것으로서, 특히 노후 및 파손으로 인한 장비 교체의 단점을 개선하고 보다 안정된 기판 반송을 수행할 수 있는 표시장치 제조용 기판 반송 장치에 관한 것이다.
표시장치 중, 예를 들어 액정표시장치의 제조공정은 기판 세정과, 박막 패터닝, 배향막형성, 기판합착/액정주입, 실장 공정으로 나누어진다. 기판세정 공정에서는 상/하부기판의 패터닝 전후에 기판들의 이물질을 세정제를 이용하여 제거하게 된다. 박막 패터닝 공정에서는 상부기판의 박막 패터닝과 하부기판의 박막 패터닝으로 나누어진다. 상부기판에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성된다. 하부기판에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선이 형성되고, 데이터라인과 게이트라인의 교차부에 TFT가 형성되며, TFT의 소스전극에 접속되도록 데이터라인과 게이트라인 사이의 화소영역에 화소전극이 형성된다. 기판합착/액정주입 공정에서는 하부기판 상에 배향막을 도포하고 러빙하는 공정에 이어서, 실(Seal)재를 이용한 상/하부기판 합착공정, 액정주입, 주입구 봉지공정이 순차적으로 이루어져 액정패널이 완성된다.
이러한, 액정패널은 생산에 있어서 각 공정을 진행하기 위하여 또는 물류의 흐름상 단절된 공정의 연결을 위해, 공정의 후단부에 구성된 AGV에 다수의 액정패널이 안착된 이송용 카세트(Cassette)를 실어 다른 공정으로 이송한다.
이러한 AGV(Automated Guided Vehicle)는 통제시스템과의 무선 통신을 위한 무선통신장치, 이동을 위한 주행장치, 장애물 감지 등을 위한 감지센서, 상기 카세트의 상/하차를 위한 로봇암, 중앙처리장치 등을 구비하고 상기 통제시스템의 제어에 의해 적재된 카세트를 목표 지점까지 이송하는 무인반송차량이다.
도 1은 표시장치용 기판의 제조에 사용되는 일반적인 AGV의 설명을 위한 간략 도면으로서, 다수의 기판이 적재된 카세트(1)가 안착된 형태를 도시한 일종의 측면도이다.
구성을 살펴보면, 상부에 카세트(1)가 안착되는 카세트안착대(10)와, 상기 카세트(1)로 전달되는 진동 및 충격을 완화시키기 위한 충격완충장치(20)와, 상기 카세트(1)의 상/하차를 수행하는 로봇암(30)과, 상기 카세트(1)의 이탈을 방지하기 위한 격벽(40)과, 본체(50)와, 상기 본체(50) 내에 구성되는 주행장치(60)로 구성된다. 물론, 도시하지는 않았지만 상기 구성 외에 전원공급장치, 장애물 감지센서, 무선 통신 장치, 중앙처리장치 등이 더욱 구성되는 것은 당연하다.
상기 구성을 통해 카세트(1)를 이송하는 AGV는 주행중 상기 카세트(1)로 전달되는 진동 및 충격을 완화시키기 위해 고무 또는 α-gel 등의 소재로 된 상기 충 격완충장치(20)를 상기 카세트안착대(10)의 하부에 다수 구성하게 된다.
도 2는 상기 충격완충장치(20)의 설명을 위한 부분확대도로서, 제1고정판(22) 및 제2고정판(24) 사이에 충격완충판(26)이 구성되고, 상기 충격완충판(26)의 중심부는 상하 방향으로 투공되어 상기 제1고정판(22)과 제2고정판(24)에 나사 결합되어 고정된다.
그런데 상기와 같은 구성 및 구조의 특징을 가지는 충격완충장치(20)는 상기 카세트안착대(10)에 안착되는 카세트(1)의 무게가 무거워 질수록 구성 개수를 더욱 늘려야 하는 단점이 있으며, 또한 장기간 사용시 상기 충격완충판(26)이 누적된 스트레스로 인해 파열되는 단점이 있어 유지/보수에 상당한 비용과 인력 및 시간이 낭비되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 기판 이송용 AGV의 유지/보수에 소요되는 비용과 인력 및 시간을 절감할 수 있는 충격완충장치를 구비한 기판 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 본체와; 상기 본체의 상부에 구성되며, 서로 동일 극성을 가지는 제1자석과 제2자석이 서로 대면되는 자기부상 장치와; 상기 자기부상장치의 상부에 구성되며, 기판이 실장되는 카세트가 안착되는 카세트안착대를 포함하는 기판 반송 장치를 제공한다.
상기 제1자석과 제2자석은 각각 영구자석 또는 전자석인 것을 특징으로 한다.
상기 제1자석은 상기 카세트안착대에 고정되고, 상기 제2자석은 상기 본체에 고정되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1자석과 제2자석에 전원을 공급하여 자력을 제어하기 위한 전원공급장치를 더욱 포함한다.
상기 제2자석은 상기 제1자석을 내치하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2자석의 내측 바닥면에 구성되는 접촉감지센서를 더욱 포함한다.
상기 본체의 상면 중 외곽부에 구성되며, 상기 카세트의 이탈을 방지하기 위한 격벽을 더욱 포함한다.
상기 본체에 구성되며, 외부장치와의 무선데이터통신을 수행하기 위한 무선통신장치를 더욱 포함한다.
상기 본체에 구성되며, 상기 기판 반송 장치의 이동을 수행하는 주행장치를 더욱 포함한다.
상기한 특징을 가지는 본 발명에 따르면, 기판의 운송을 수행하는 반송장치의 진동 및 충격 완화에 자기부상장치를 도입함으로써 반영구적 사용과 더불어 유 지 및 보수가 간편하기 때문에 비용이 절감되는 장점이 있으며 또한 다양한 무게의 기판 이송시에도 자력 제어를 통해 즉시 유연하게 대응할 수 있는 장점과 더불어 자력의 감소를 자체적으로 감지하여 이의 대응을 수행할 수 있는 장점이 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 반송 장치를 도시한 도면으로서, 카세트안착대(110)와, 자기부상장치(120)와, 로봇암(130)과, 격벽(140)과, 본체(150)와, 기판 반송장치의 기동을 위한 주행장치(160)를 포함하는 표시패널의 제조에 사용되는 기판 이송용 AGV의 구성을 나타낸다.
상기 카세트안착대(110)는 상부에 기판을 실장한 카세트(2)가 안착되며, 자세히 도시하지는 않았지만 상기 로봇암(130)에 의해 상기 카세트(2)의 상/하차가 수행된다.
아울러 상기 격벽(140)은 상기 본체의 상부면 외곽부에 구성되어 상기 카세트(2)의 이탈을 방지하는 기능을 제공한다.
상기 자기부상장치(120)는 자력을 이용하여 상기 카세트안착대(110)를 부상시키기 위한 장치로서, 서로 동일한 극성의 제1자석 및 제2자석으로 구성된다.
도 4의 부분확대도를 참조하면, 상기 자기부상장치(120)는 상기 카세트안착대(110) 측에 연결된 제1고정판(121)의 하부에 고정되는 제1자석(122)과 상기 본체(150) 측에 연결된 제2고정판(123)의 상부에 고정되는 제2자석(124)으로 구성된 다. 이때 상기 제1자석(122)과 제2자석(124)은 영구자석이거나 또는 전자석일 수 있다.
이때 상기 제2자석(124)은 상기 제1자석(122)을 감싸는 형태로, 즉 천정의 중앙부에 홀(126)이 형성되고 상기 홀(126)을 관통하여 상기 제1자석(122)이 상기 제2자석(124) 내에 내치되는 형태를 가지는, 예를 들어 상기 제2자석(124)은 내부에 빈 육면체 또는 원기둥 형태를 가지는 것이 상기 카세트안착대(110)의 위치 고정에 유리하다.
즉, 상기 제1자석(122)과 제2자석(124)에 의해 상기 카세트안착대(110)가 부상하더라도 "A"방향으로의 반발력과 "B"방향으로의 반발력 및 "C"방향으로의 반발력에 의해 상기 제1자석(122)은 상기 제2자석(124)과 접촉하지 않으면서 상기 카세트안착대(110)를 부상한 상태로 유지시킬 수 있는 것이다. 물론 상기 제1자석(122)의 형태도 상기 홀(126)을 관통하는 부분과 상기 제2자석(124)의 내부에 위치하는 부분의 수평 단면이 상기 제2자석(124)의 형태와 유사하도록 원형이거나 또는 사각형을 이루는 것이 바람직하다.
이에 상기 본 발명에 따른 기판 반송 장치는 상기 자기부상장치(120)를 이용하여 상기 카세트(2)를 부상시켜 이송하기 때문에 상기 카세트(2)로 전달되는 진동과 충격이 거의 없으며, 또한 기존의 충격완충장치(도 1의 20)와 달리 자석을 이용하기 때문에 유지/보수에 소요되는 비용 및 시간의 절감 효과를 제공하는 장점이 있다.
아울러 상기 제1자석(122)과 제2자석(124)을 전자석으로 구성할 경우, 상기 본체(150) 내부에 상기 제1자석(122)과 제2자석(124)의 자력을 제어하기 위한 전원공급장치(미도시함)를 구성할 수 있을 것이며, 또한 외부통신장치와 무선 데이터통신이 가능한 무선통신장치를 상기 본체(150) 내에 구성하여 주행경로, 주행 속도, 상/하차 위치정보 등을 제공받는 것은 당연할 것이다.
도 5는 상기한 구성의 본 발명에 따른 기판 반송 장치 중 자기부상장치(120)의 응용을 도시한 것으로서, 상기 제1자석(122)과 제2자석(124)의 접촉 여부를 판단할 수 있는 접촉감지센서(170)를 상기 제1자석(122)과 제2자석(124)이 대면되는 일 위치에 구성한 형상을 나타낸다.
상기와 같이 접촉감지센서(170)를 구성할 경우, 상기 제1자석(122)과 제2자석(124)의 자력 감소를 감지할 수 있으며, 이에 전자석의 경우 상기 전원공급장치를 통해 각각의 자석(122, 124)으로 제공되는 전류 제어를 통해 즉시 정상적인 자력 회복을 수행할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 표시장치용 기판의 제조에 사용되는 일반적인 AGV의 설명을 위한 간략 도면
도 2는 도 1의 AGV 구성 중 충격완충장치(20)의 설명을 위한 부분확대도
도 3은 본 발명에 따른 기판 반송 장치를 도시한 도면
도 4는 도 3의 기판 반송 장치 구성 중 자기부상장치(120)를 도시한 부분확대도
도 5는 본 발명에 따른 기판 반송 장치 중 자기부상장치(120)의 응용을 도시한 도면
<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>
110 : 카세트안착대 120 : 자기부상장치
130 : 로봇암 140 : 격벽
150 : 본체 160 : 주행장치
170 : 접촉감지센서

Claims (9)

  1. 본체와;
    상기 본체의 상부에 구성되며, 서로 동일 극성을 가지는 제1자석과 제2자석이 서로 대면되는 자기부상장치와;
    상기 자기부상장치의 상부에 구성되며, 기판이 실장되는 카세트가 안착되는 카세트안착대
    를 포함하는 기판 반송 장치
  2. 청구항 제 1 항에 있어서,
    상기 제1자석과 제2자석은 각각 영구자석 또는 전자석인 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치
  3. 청구항 제 1 항에 있어서,
    상기 제1자석은 상기 카세트안착대에 고정되고, 상기 제2자석은 상기 본체에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치
  4. 청구항 제 1 항에 있어서,
    상기 제1자석과 제2자석에 전원을 공급하여 자력을 제어하기 위한 전원공급장치
    를 더욱 포함하는 기판 반송 장치
  5. 청구항 제 1 항에 있어서,
    상기 제2자석은 상기 제1자석을 내치하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치
  6. 청구항 제 1 항에 있어서,
    상기 제2자석의 내측 바닥면에 구성되는 접촉감지센서
    를 더욱 포함하는 기판 반송 장치
  7. 청구항 제 1 항에 있어서,
    상기 본체의 상면 중 외곽부에 구성되며, 상기 카세트의 이탈을 방지하기 위한 격벽
    을 더욱 포함하는 기판 반송 장치
  8. 청구항 제 1 항에 있어서,
    상기 본체에 구성되며, 외부장치와의 무선데이터통신을 수행하기 위한 무선통신장치
    를 더욱 포함하는 기판 반송 장치
  9. 청구항 제 1 항에 있어서,
    상기 본체에 구성되며, 상기 기판 반송 장치의 이동을 수행하는 주행장치
    를 더욱 포함하는 기판 반송 장치
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