KR20090020556A - Double arm robot - Google Patents

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KR20090020556A
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사토시 스에요시
켄타로 타나카
신이치 이시카와
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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

A double arm robot having double arms vertically movable independent of each other, having a compact column achieved by controlling the distance between upper and lower support members to an appropriate range, having a reduced installation area and swing radius, and in which adverse effect to a workpiece by operation of the upper and lower members is minimized. The double arm robot (1) has two support members (101, 102) for individually supporting two multi-joint arms arranged in a top-bottom relationship and also has a movement mechanism (11) for connecting the two support members so that they are independently movable in the top-bottom direction along the column (12). When either or both of the two support members (101, 102) move up and down, the distance between the two support members (101, 102) in the top-bottom direction is increased, and when the distance reaches a first predetermined value, the up-down movement of the two support members (101, 102) is stopped.

Description

더블암형 로봇{DOUBLE ARM ROBOT}Double Arm Robot {DOUBLE ARM ROBOT}

본 발명은 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 얇은 판 형상의 피작업물(work)을 스토커(stocker)와의 사이에 출납하는 암을 구비한 로봇에 관계되고, 특히 암을 2개 구비한 더블암형 로봇에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a robot having an arm for discharging a thin plate-like work such as a glass substrate or a semiconductor wafer between a stocker and a double arm type robot having two arms. It is about.

종래부터 유리 기판이나 반도체 웨이퍼라고 하는 얇은 판 형상의 피작업물의 반송에 로봇이 많이 이용되고 있다. 특히 근래에는 액정 패널이나 PDP(플라즈마 디스플레이 패널)용의 유리가 대형화함에 따라, 이들을 반송하는 로봇도 대형화하는 경향이 현저하다.Background Art Conventionally, robots have been used for conveying thin plate-shaped workpieces, such as glass substrates and semiconductor wafers. In particular, in recent years, as the glass for liquid crystal panels and PDPs (plasma display panels) increases in size, there is a tendency for the robots that carry them to also increase in size.

이러한 가운데 로봇을 공간 절약화함과 아울러 반송 효율을 올려 스루풋(throughput)을 향상시킬 수 있도록 피작업물을 재치하고 반송하기 위한 암을 2개 구비한 더블암형 로봇이 채용되고 있다.Among them, a double-armed robot having two arms for placing and conveying the workpieces is employed to save space and improve throughput and improve throughput.

특히, 2개의 암을 상하 방향으로 다른 높이로 설치한 더블암형 로봇을 채용함으로써 한쪽의 암으로 스토커에 피작업물을 반입하면서 다른 한쪽의 암으로 스토커의 다른 선반으로부터 피작업물을 반출함으로써 반송 효율의 향상을 도모하고, 또한 2개의 암을 상하 방향으로 겹쳐지도록 배치함으로써 로봇의 설치에 필요한 면적을 억제하여 공간 절약화를 달성할 수가 있다고 하는 것이다(예를 들면, 특허 문 헌 1).In particular, by adopting a double-armed robot with two arms installed at different heights in the vertical direction, carrying work to the stocker with one arm and transporting the work from the other shelf of the stocker with the other arm results in carrying efficiency. In order to improve the efficiency of the robot and to arrange the two arms so as to overlap each other in the vertical direction, the space required for the installation of the robot can be suppressed and space saving can be achieved (for example, Patent Document 1).

특허 문헌 1의 더블암형 로봇을 도 7에 나타낸다. 특허 문헌 1의 더블암형 로봇에서는 2개의 암이 하나의 지지 부재에 연결되어 상하 이동하는 기구로 이루어져 있고, 그 때문에 2개의 암의 상하 방향의 간격이 일정하면서 2개의 암의 상하 이동은 동시에 행해진다. 따라서 2개의 암의 상하 방향의 간격을 바꾸거나 서로 독립하여 상하 이동을 행하거나 하는 일을 할 수가 없다고 하는 문제가 있다.The double arm type robot of patent document 1 is shown in FIG. In the double arm type robot of Patent Document 1, two arms are connected to one support member to move up and down. Therefore, the two arms are moved up and down simultaneously while the two arms are spaced vertically. . Therefore, there is a problem that it is not possible to change the distance between the two arms in the up and down direction or to move up and down independently of each other.

즉, 스토커 등의 선반의 피치(pitch, 상하 간격)가 2개의 암의 상하 방향의 간격과 일치하지 않는 경우, 우선 한쪽의 암으로 스토커의 어떤 선반에 수납되어 있는 피작업물의 반출을 행한 후 2개의 암을 상하 방향으로 이동시키고, 또한 한쪽의 암으로 다른 선반으로부터 피작업물을 반출한다는 동작을 행하게 되어 2개의 암을 구비하면서도 반송의 사이클 타임(cycle time)이 길어져 버린다.That is, when the pitch of the shelves such as stockers and the like does not coincide with the space between the two arms in the up and down directions, first, after carrying out the workpieces stored in a shelf of the stocker with one arm, 2 The dog arm is moved in the vertical direction, and the operation of carrying out the workpiece from the other shelf by one arm is performed, and the cycle time of conveyance becomes longer while having two arms.

이러한 문제를 해결하기 위해 2개의 암을 개별적으로 상하 이동 가능하게 하는 것이 있다(예를 들면 특허 문헌 2).In order to solve such a problem, there exist some which can make two arms move up and down separately (for example, patent document 2).

특허 문헌 2에 기재된 더블암형 로봇을 도 8에 나타낸다. 2개의 수평 다관절 암(45A, 45B)의 상하 방향의 간격을 자유롭게 변화시킬 수가 있기 때문에, 암의 상하 방향의 간격을 스토커 등의 선반의 피치에 맞추어 2개의 암이 병행하여 동시에 피작업물의 반입·반출을 행하는 것이 가능하게 된다. 이 결과 더블 암의 이점을 살려 반송 효율을 향상시킬 수가 있다는 것이다.The double arm type robot of patent document 2 is shown in FIG. Since the horizontal gap between the two horizontal articulated arms 45A and 45B can be changed freely, two arms move in parallel to the pitch of the shelf such as a stocker, so that the two workpieces can be brought in simultaneously. · It is possible to carry out. As a result, the conveyance efficiency can be improved utilizing the advantage of the double arm.

또, 특허 문헌 2에 기재된 더블암형 로봇 암은, 도 9에 나타내듯이, 각각의 암을 지지하는 2개의 지지 부재(44A, 44B)의 측부를 서로 엇갈리게 돌출한 형상으 로 함으로써 2개의 암의 상하 간격이 소정의 최소 거리 이하로 되지 않도록 구성되어 있다.Moreover, as shown in FIG. 9, the double arm type robot arm described in patent document 2 has two support members 44A and 44B. It is comprised so that an space may not become below a predetermined minimum distance.

특허 문헌 1 : 일본국 특허공개공보 2001－274218호Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2001-274218

특허 문헌 2 : 일본국 특허공개공보 2005－150575호Patent Document 2: Japanese Patent Publication No. 2005-150575

<발명이 해결하고자 하는 과제>  Problems to be Solved by the Invention

그렇지만, 특허 문헌 2의 더블암형 로봇에서는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the double arm type robot of patent document 2 has the following problems.

상하 2개의 지지 부재(44A, 44B)의 측부의 접촉면이 외부에 노출하고 있기 때문에, 접촉할 때에 파티클(particle)이 발생하여 높은 청정도가 요구되는 피작업물에 악영향을 줄 가능성이 있다. 또한, 질량이 큰 지지 부재끼리가 접촉하기 때문에, 그 때의 충격에 의해 핸드(48A, 48B) 상의 피작업물이 위치 어긋남을 일으키고, 최악의 경우에는 핸드(hand)로부터 낙하한다는 가능성이 있다.Since the contact surfaces of the side portions of the upper and lower support members 44A and 44B are exposed to the outside, particles may be generated at the time of contact, adversely affecting the workpiece to which high cleanliness is required. Moreover, since support members with a large mass contact each other, there is a possibility that the workpiece on the hands 48A and 48B is displaced due to the impact at that time and, in the worst case, falls from the hand.

또한, 지지 부재(44A, 44B)의 측부가 크게 돌출하고 있기 때문에 질량이 증가하고, 그에 따라 암(45A, 45B) 및 지지 부재(44A, 44B)를 상하로 움직이기 위한 모터나 동력 전달 기구라고 하는 구동 기구도 대형화한다는 문제가 있다.In addition, since the side portions of the support members 44A and 44B protrude greatly, the mass increases, and accordingly, a motor or a power transmission mechanism for moving the arms 45A and 45B and the support members 44A and 44B up and down. There is also a problem that the drive mechanism to be enlarged.

또, 특허 문헌 2에서는 상세하게 다루고 있지 않지만, 암, 지지 부재, 칼럼(41A, 41B)의 각각의 내부에는, 각 암이나 지지 부재의 구동원을 구동시키거나 이들의 위치를 취득하거나 하기 위한 케이블류나 핸드에 재치된 피작업물을 검출하는 목적으로 설치된 센서용의 케이블이 내장되어 있다.Moreover, although it is not dealt with in detail in patent document 2, in each of the arm, the support member, and columns 41A, 41B, the cable for driving the drive source of each arm or support member, or acquiring these positions, Built-in cables for sensors installed for the purpose of detecting the workpiece placed on the hand.

2개의 암이 개별적으로 상하로 동작하는 구조의 경우, 이들의 케이블도 암의 상하 움직임에 따라 칼럼 내를 상하로 움직이기 위해 칼럼 내부에 충분한 공간이 필요하게 된다. 그 결과 암의 상하 이동의 스트로크(stroke)가 크게 됨에 따라 칼럼이 대형화하게 되어 설치 면적이나 선회 반경의 확대로 연결된다. 예를 들면 특허 문헌 2의 더블암형 로봇에 있어서는 지지 부재를 보유하는 칼럼이 2개(41A, 41B)로 이루어져 있고, 그 결과 넓은 설치 면적이 필요하게 되거나 대좌(50)의 선회 기구에 의한 선회 반경이 커지거나 한다는 문제가 있다.In the case of the structure in which the two arms operate up and down separately, their cables also need enough space inside the column to move up and down within the column as the arm moves up and down. As a result, as the stroke of the up and down movement of the arm becomes larger, the column becomes larger, leading to an enlargement of the installation area and the turning radius. For example, in the double arm type robot of Patent Document 2, two columns (41A, 41B) holding a supporting member are formed. As a result, ë � requires an installation area or a turning radius of the pivot mechanism of the pedestal 50. There is a problem that it grows.

본 발명은 이들의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 각각이 독립하여 상하 이동 가능한 더블 암을 구비하고, 상하의 지지 부재의 간격을 적절한 범위로 제어함으로써 반송 효율을 향상시킴과 아울러, 칼럼을 컴팩트(compact)하게 하고, 설치 면적이나 선회 반경을 작게 억제하여 상하의 지지 부재의 동작에 따른 피작업물에의 악영향을 억제할 수가 있는 더블암형 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of these problems, and each has a double arm that can move up and down independently, and improves the conveyance efficiency by controlling the distance between the upper and lower support members in an appropriate range, and compacts the column. It is an object of the present invention to provide a double-armed robot that can suppress an installation area and a turning radius small and can suppress adverse effects on the workpiece caused by the operation of the upper and lower supporting members.

<과제를 해결하기 위한 수단>  Means for solving the problem

상기 문제를 해결하기 위해 본 발명은 다음과 같이 구성한 것이다.In order to solve the above problems, the present invention is configured as follows.

청구항 1에 기재의 발명은, 반송물을 재치하는 핸드부와, 상기 핸드부에 연결되고, 적어도 2개의 회전 관절을 가지고, 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축 동작하는 다관절 암을 상하에 2개 배치하고, 상기 2개의 다관절 암을 각각 지지하는 2개의 지지 부재와, 상기 2개의 지지 부재가 장착되는 칼럼과, 상기 2개의 지지 부재를 상기 칼럼을 따라 각각 상하 방향으로 이동 가능하게 상기 칼럼에 연결하는 이동 기구를 구비한 더블암형 로봇에 있어서, 상기 2개의 지지 부재의 한쪽 혹은 양쪽이 상하 이동함으로써 상기 2개의 지지 부재의 상하 방향의 간격이 넓어지고, 그 간격이 제1의 소정값에 이르면, 상기 지지 부재의 상하 동작을 정지하는 것을 특징으로 하는 것이다.Invention of Claim 1 has the hand part which mounts a conveyed object, and the articulated arm which is connected to the said hand part, has at least two rotary joints, and expands and contracts to move the said hand part in one direction up and down. Two support members for supporting the two articulated arms, a column on which the two support members are mounted, and the two support members on the column such that the two support members are movable in the vertical direction along the column. In a double-armed robot having a moving mechanism for connecting, when the one or both of the two support members move up and down, the interval between the two support members in the vertical direction is widened, and the interval reaches the first predetermined value. The vertical motion of the support member is stopped.

청구항 2에 기재의 발명은, 상기 2개의 지지 부재의 한쪽 혹은 양쪽이 상하 이동함으로써 상기 2개의 지지 부재의 상하 방향의 간격이 좁아지고, 그 간격이 제2의 소정값에 이르면 상기 지지 부재의 상하 동작을 정지하는 것을 특징으로 하는 것이다.In the invention according to claim 2, when one or both of the two support members moves up and down, the interval between the two support members in the vertical direction is narrowed, and when the gap reaches a second predetermined value, the support member is moved up and down. It is characterized by stopping the operation.

청구항 3에 기재의 발명은, 상기 2개의 지지 부재는 상기 칼럼 내에 각각 다른 한쪽의 지지 부재를 향하여 설치된 돌기부를 가지고, 상기 돌기부는 리미트 스위치(limit switch)를 구비하고, 상기 리미트 스위치는 상기 2개의 지지 부재의 상하 방향의 간격이 상기 제1의 소정값 또는 상기 제2의 소정값으로 되었을 때에 다른 한쪽의 상기 지지 부재의 돌기부에 의해 작동하는 것을 특징으로 하는 것이다.The invention according to claim 3, wherein the two support members each have a protrusion provided in the column toward the other support member, the protrusion has a limit switch, and the limit switch has two When the space | interval of the up-down direction of a support member becomes the said 1st predetermined value or the said 2nd predetermined value, it operates by the protrusion part of the said other support member, It is characterized by the above-mentioned.

청구항 4에 기재의 발명은, 상기 2개의 지지 부재의 한쪽 혹은 양쪽은, 각각 다른 한쪽의 상기 지지 부재를 향하여 설치된 거리 센서를 구비하고, 상기 거리 센서는 상기 2개의 지지 부재의 상하 방향의 간격을 계측하는 것을 특징으로 하는 것이다.According to the invention of claim 4, one or both of the two support members each have a distance sensor provided toward the other support member, and the distance sensor provides a distance between the two support members in the vertical direction. It is characterized by measuring.

청구항 5에 기재의 발명은, 반송물을 재치하는 핸드부와, 상기 핸드부에 연결되고, 적어도 2개의 회전 관절을 가지고, 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축 동작하는 다관절 암을 상하에 2개 배치하고, 상기 2개의 다관절 암을 각각 지지하는 2개의 지지 부재와, 상기 2개의 지지 부재가 장착되는 칼럼과, 상기 2개의 지지 부재를 상기 칼럼을 따라 각각 상하 방향으로 이동 가능하게 상기 칼럼에 연결하는 이동 기구를 구비한 더블암형 로봇에 있어서, 상기 2개의 다관절 암 중 상방에 배치되는 제1의 다관절 암의 내부에 배설된 케이블은, 상기 2개의 지지 부재 중, 상기 제1의 다관절 암을 지지하는 제1의 지지 부재의 내부를 경유하여 상기 제1의 지지 부재의 외부에 배설된 후에 제2의 상기 지지 부재 내에 수납되고, 제2의 상기 다관절 암의 내부에 배설된 케이블은 상기 제1의 지지 부재로부터 수납된 케이블과 아울러 상기 제2의 지지 부재의 내부를 경유하여 상기 칼럼의 내부에 수납되고, 상기 칼럼 내부의 케이블은 상기 칼럼 하단에 배설된 후에 상기 더블암형 로봇의 외부에 배설되는 것을 특징으로 하는 것이다.According to the invention of claim 5, there is provided a hand part for placing a conveyed article and two articulated arms connected to the hand part and having at least two rotary joints, which are stretchable to move the hand part in one direction. Two support members for supporting the two articulated arms, a column on which the two support members are mounted, and the two support members on the column such that the two support members are movable in the vertical direction along the column. In the double-armed robot provided with the movement mechanism to connect, the cable arrange | positioned inside the 1st articulated arm arrange | positioned upward among the said 2 articulated arms is the said 1st multi among the said 2nd support members. After being disposed outside the first support member via the interior of the first support member supporting the articulated arm, it is stored in the second support member and disposed inside the second articulated arm. The cable is stored in the column via the inside of the second support member as well as the cable received from the first support member, and the cable inside the column is disposed at the lower end of the column and then the double arm type. Exposed to the outside of the robot is characterized in that.

청구항 6에 기재의 발명은, 상기 제1의 지지 부재와 상기 제2의 지지 부재의 사이에 배설되는 케이블은, 상기 2개의 지지 부재의 한쪽 혹은 양쪽이 상하 이동함으로써 변화하는 상기 2개의 지지 부재의 상하 방향의 간격에 대해서 미리 설정된 상한값보다 길고, 상기 제1의 지지 부재의 외부로 나온 후, 거의 U자형을 이루어 상기 제2의 지지 부재에 수납되는 것을 특징으로 하는 것이다.The invention according to claim 6, wherein the cable disposed between the first support member and the second support member includes the two support members which are changed by one or both of the two support members moved up and down. It is longer than a predetermined upper limit with respect to the space | interval of an up-down direction, and after exiting out of the said 1st support member, it becomes a substantially U-shape and is accommodated in the said 2nd support member, It is characterized by the above-mentioned.

청구항 7에 기재의 발명은, 상기 2개의 지지 부재는 모두 상기 핸드부의 이동 방향과 직교하는 방향으로 돌출하여 상기 다관절 암을 지지함과 아울러, 상기 칼럼의 상기 핸드부의 이동 방향과 직교하는 면에 장착되고, 상기 제1의 지지 부재와 상기 제2의 지지 부재의 사이에 배설되는 케이블은 상기 2개의 지지 부재의 돌출 방향의 반대측에 설치되는 것을 특징으로 하는 것이다.In the invention according to claim 7, the two supporting members both protrude in a direction orthogonal to the moving direction of the hand portion to support the articulated arm, and on the surface perpendicular to the moving direction of the hand portion of the column. The cable which is mounted and disposed between the first support member and the second support member is installed on the opposite side of the protruding direction of the two support members.

청구항 8 기재의 발명은, 상기 칼럼 내에 배설된 케이블은 상기 칼럼의 높이 방향의 거의 중앙부에 설치된 케이블 계류부를 경유하여 상기 칼럼 하단에 배설되는 것을 특징으로 하는 것이다.The invention according to claim 8 is characterized in that the cable disposed in the column is disposed at the lower end of the column via a cable mooring portion provided at a substantially central portion in the height direction of the column.

청구항 9 기재의 발명은, 상기 다관절 암은 상기 회전 관절이 수직축 둘레로 회전하는 수평 다관절 암인 것을 특징으로 하는 것이다.The invention according to claim 9 is characterized in that the articulated arm is a horizontal articulated arm in which the rotatable joint rotates about a vertical axis.

청구항 10에 기재의 발명은, 상기 2개의 다관절 암은 상하 방향으로 서로 대면하도록 각각 상기 지지 부재로 지지되는 것을 특징으로 하는 것이다.The invention according to claim 10 is characterized in that the two articulated arms are supported by the support members so as to face each other in the vertical direction.

<발명의 효과>  Effect of the Invention

청구항 1에 기재의 발명에 의하면, 2개의 지지 부재의 간격을 여러가지 스토커 등의 선반의 피치에 대응시킬 수가 있어 피작업물의 반송 효율이 향상한다.According to invention of Claim 1, the space | interval of two support members can be made to correspond to the pitch of shelves, such as various stockers, and the conveyance efficiency of a workpiece | work improves.

청구항 2에 기재의 발명에 의하면, 2개의 지지 부재의 간격이 작아지는 경우에도, 지지 부재끼리가 직접 접촉하는 일이 없이 상하 동작을 정지하기 위해, 피작업물에 악영향을 주는 파티클이나 진동의 발생을 억제할 수가 있다.According to invention of Claim 2, even if the space | interval of two support members becomes small, generation | occurrence | production of particle | grains and a vibration which adversely affect a workpiece | work are made in order to stop an up-and-down operation without directly contacting supporting members. Can be suppressed.

청구항 3 내지 청구항 4에 기재의 발명에 의하면, 2개의 지지 부재의 간격을 일정 범위 내로 제어할 때에 피작업물에 악영향을 주는 파티클이나 진동의 발생을 억제할 수가 있다.According to the invention of Claims 3 to 4, it is possible to suppress the generation of particles and vibrations that adversely affect the workpiece when the distance between the two support members is controlled within a certain range.

청구항 5에 기재의 발명에 의하면, 2개의 다관절 암이 독립하여 상하 이동을 할 수 있도록 하면서, 2개 암 내에 배설된 케이블을 일체화하여 칼럼 내에 배설할 수 있어 칼럼을 컴팩트하게 할 수가 있다. According to the invention described in claim 5, while the two articulated arms can be moved up and down independently, the cables arranged in the two arms can be integrated and disposed in the column, thereby making the column compact.

청구항 6에 기재의 발명에 의하면, 2개의 지지 부재의 상하 간격의 변화에 대해서도 2개의 지지 부재 사이에 배설된 케이블은 유연하게 대응할 수가 있어 장력이 걸리는 일이 없다.According to the invention described in claim 6, the cable disposed between the two support members can flexibly cope with a change in the vertical gap between the two support members, and the tension is not applied.

청구항 7에 기재의 발명에 의하면, 2개의 지지 부재의 사이에 배설된 케이블을 핸드부로부터 매우 멀리 배치할 수가 있고, 지지 부재의 상하 이동에 따라 해당 케이블로부터 파티클이 발생하는 경우에도, 핸드부에 재치된 피작업물에 대한 악영향을 아주 배제할 수가 있다.According to the invention of claim 7, the cable disposed between the two support members can be arranged very far from the hand portion, and even if particles are generated from the cable according to the vertical movement of the support member, The adverse effects on the mounted workpiece can be very excluded.

청구항 8에 기재의 발명에 의하면, 칼럼 내의 케이블을 지지 부재의 상하 이동에 대응시키면서 칼럼 내의 구성을 간략화할 수 있어 칼럼을 컴팩트하게 할 수가 있다.According to invention of Claim 8, the structure in a column can be simplified while making the cable in a column correspond to the vertical movement of a support member, and a column can be made compact.

청구항 9 내지 청구항 10에 기재의 발명에 의하면, 2개의 암의 상하 방향의 최소 간격을 작게 할 수가 있고, 여러가지 피치의 스토커에 대응할 수 있음과 아울러, 더블암형 로봇의 설치 면적과 선회 반경을 작게 억제할 수가 있다.According to the invention of Claims 9-10, the minimum space | interval of the two arms can be made small, and it can respond to the stocker of various pitches, and also restrains the installation area and turning radius of a double arm type robot small. You can do it.

도 1은 본 발명의 더블암형 로봇의 사시도이다.1 is a perspective view of a double arm robot of the present invention.

도 2는 본 발명의 더블암형 로봇의 3면도이다.2 is a three side view of the double-armed robot of the present invention.

도 3은 본 발명의 동작예를 나타내는 측면도이다.3 is a side view showing an operation example of the present invention.

도 4는 지지 부재 사이의 간격이 커지는 경우의 스토퍼 기구의 동작을 설명하는 단면도이다.It is sectional drawing explaining the operation | movement of the stopper mechanism in the case where the space | interval between support members becomes large.

도 5는 지지 부재 사이의 간격이 작아지는 경우의 스토퍼 기구의 동작을 설명하는 단면도이다.It is sectional drawing explaining the operation | movement of the stopper mechanism when the space | interval between support members becomes small.

도 6은 본 발명의 더블암형 로봇의 케이블 배선의 모습을 나타내는 3면도이다.6 is a three-side view showing the state of cable wiring of the double-armed robot of the present invention.

도 7은 특허 문헌 1의 더블암형 로봇의 사시도이다.7 is a perspective view of the double arm robot of Patent Document 1. FIG.

도 8은 특허 문헌 2의 더블암형 로봇의 사시도이다.8 is a perspective view of a double arm robot of Patent Document 2. FIG.

도 9는 특허 문헌 2의 더블암형 로봇의 지지 부재의 동작을 나타내는 사시도이다.It is a perspective view which shows the operation | movement of the support member of the double arm type robot of patent document 2.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>  <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1　더블 암 형 로봇1 double arm robot

2　수평 다관절 암2 horizontal arthritis cancer

3　견관절부 4　팔의 관절부3 shoulder joint 4 arm joint

5　핸드 관절부5 Hand joint

6　상완 7　전완6 Upper arm 7 Forearm

8　핸드부 9　피작업물(work)8 Hand 9 Work

10　지지 부재 11　상하 이동 기구10 Support member 11 Up and down moving mechanism

12　칼럼(column) 13　대좌(pedestal)12 column 13 pedestal

14　기대(其臺)14 Expectation

16　칼럼 블록(column block)16 column block

17　외부 케이블 18　내부 케이블17 external cable 18 internal cable

19　브래킷(bracket)19 Bracket

21　상암(upper arm) 22　하암(lower arm)21 upper arm 22 lower arm

31, 32　스토퍼 기구 33, 34　스토퍼 기구31, 32 Stopper Mechanism 33, 34 Stopper Mechanism

101　상 지지 부재 102　하 지지 부재101 upper support member 102 lower support member

41A　좌측 지주 41B　우측 지주41A 'left pillar 41B' right pillar

44A　하암 지지 부재 44B　상암 지지 부재44A Lower Arm Support Member 44B Upper Arm Support Member

45A　하측의 수평 다관절 암 45B　상측의 수평 다관절 암45A 'horizontal multi-arm arm below 45B' horizontal multi-arm arm above

48A　하 핸드(lower hand) 48B　상 핸드(upper hand)48A lower hand 48B upper hand

50　대좌(pedestal)50 pedestal

51　하측 체결판 52　상측 체결판51 Lower Fastening Plate 52 Upper Fastening Plate

이하, 본 발명의 실시의 형태에 대해서 도를 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings.

<실시예 1>  <Example 1>

도 1은 본 발명의 더블암형 로봇의 전체 구조를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing the overall structure of a double-armed robot of the present invention.

본 발명의 더블암형 로봇(1)은, 견관절부(3), 팔의 관절부(4), 핸드 관절부(5)에 의해 회전 가능하게 연결되어 회전 구동원에 의한 회전력을 전달하고 소망한 동작을 시키는 수평 다관절 암(2)을 2조 구비하고 있다. 또, 암(2)의 선단에 장착되고 피작업물을 재치하는 핸드부(8)는, 암(2)에 의해 도면 중에 나타내는 신축 방향(직교 좌표계의 X축 방향)으로 직선적으로 동작하고, 스토커 등에 대한 피작업물의 반입·반출 동작을 행한다.The double arm robot 1 of the present invention is horizontally connected by the shoulder joint 3, the joint 4 of the arm, the hand joint 5, to transmit the rotational force by the rotational drive source and to perform a desired motion. Two sets of articulated arm (2) are provided. Moreover, the hand part 8 attached to the front-end | tip of the arm 2 and mounting a workpiece | work is linearly operated by the arm 2 in the expansion-contraction direction (X-axis direction of a rectangular coordinate system) shown in drawing, Carrying in and out of the workpiece with respect to the etc. is performed.

(101) 및 (102)는 암의 지지 부재이고, (101)은 한쪽의 암을 매달고, (102)는 또한 한쪽의 암을 지탱하도록 구성되어 있다. 암(2)은 각각 견관절부(3)에 의해 지지 부재(101) 또는 지지 부재(102)에 연결되어 있고, 그 결과 2개의 암은 상하 방향으로 서로 대면하도록 배치되어 있다.101 and 102 are arm supporting members, 101 are suspended from one arm, and 102 are also configured to support one arm. The arms 2 are each connected to the support member 101 or the support member 102 by the shoulder joint 3, and as a result, the two arms are arranged to face each other in the vertical direction.

또한, 본 발명의 더블암형 로봇(1)은 지지 부재(101) 및 지지 부재(102)를 칼럼(12)을 따라 개별적으로 상하로 이동시키는 상하 이동 기구(11)를 구비하고 있어 암(2)의 상하 위치를 조정 가능하게 하고 있다.In addition, the double-armed robot 1 of the present invention is provided with a vertical movement mechanism 11 for moving the support member 101 and the support member 102 up and down separately along the column 12. The upper and lower positions of the can be adjusted.

상술한 바와 같이 2개의 암(2)을 대면 배치함으로써, 지지 부재(101)와 지지 부재(102)를 가장 접근시켰을 때의 2개의 핸드부(8)의 상하 간격을 매우 작게 할 수가 있고 그 결과, 여러가지의 피치의 스토커에 대응 가능하게 된다.By disposing the two arms 2 as described above, the vertical gap between the two hand parts 8 when the support member 101 and the support member 102 are brought closest to each other can be made very small. It becomes possible to cope with stockers of various pitches.

도 2는 본 발명의 더블암형 로봇의 동작을 상세하게 나타내는 3면도이다.2 is a three-sided view showing in detail the operation of the double-armed robot of the present invention.

도 2(a)는 상면도로, 도 1의 직교 좌표계의 Z축 방향으로부터 원점 방향으로 내려다 본 도에 상당한다. 도 2(b)는 측면도로, 도 1의 직교 좌표계의 원점으로부터 Y축 방향으로 본 도에 상당한다. 도 2(c)는 정면도로, 도 1의 직교 좌표계의 원점으로부터 X축 방향으로 본 도에 상당한다. 또, 도 2에서는 핸드부(8)를 생략하여 그리고 있다.FIG. 2 (a) is a top view and corresponds to the view viewed from the Z-axis direction of the rectangular coordinate system of FIG. FIG.2 (b) is a side view and corresponds to the figure seen from the origin of the Cartesian coordinate system of FIG. 1 in the Y-axis direction. FIG.2 (c) is a front view and corresponds to the figure seen from the origin of the Cartesian coordinate system of FIG. 1 from the X-axis direction. In addition, the hand part 8 is abbreviate | omitted in FIG.

도 2(a)는 암(2)의 신축 동작 범위를 나타내고 있다. 도에서는 상완(6)과 전완(7)이 겹치도록 암(2)을 작게 접은 상태를 실선으로 나타내고, 신축 동작의 최대 스트로크(stroke)를 점선으로 나타내고 있다.2 (a) shows the stretching operation range of the arm 2. In the figure, the state in which the arm 2 is folded small so that the upper arm 6 and the forearm 7 overlap is shown by a solid line, and the maximum stroke of the stretching operation is shown by the dotted line.

또, 대좌(13)는 기대(14)에 대해서 회동 가능하게 설치되고 암(2)이나 지지 부재마다 칼럼(12)을 선회시켜 그 방향을 바꿀 수 있게 되어 있다. 이 선회 기능에 의해, 더블암형 로봇(1)의 주위에 배치된 복수의 스토커에 대해서 피작업물의 반송 작업을 행하는 것이 가능하게 되고 단위면적당의 작업 효율을 향상할 수가 있다.Moreover, the pedestal 13 is rotatably provided with respect to the base 14, and the direction of the column 12 can be changed by turning the column 12 for every arm 2 or support member. By this turning function, it becomes possible to carry out the conveyance work of a workpiece with respect to the several stocker arrange | positioned around the double arm-type robot 1, and can improve the work efficiency per unit area.

한편, 도 2(b), 도 2(c)는 암(2)의 승강 동작 범위를 나타내고 있다. 도에서 는 암(2)이 승강 동작의 상단에 위치하고 있는 상태를 실선으로 나타내고, 암(2)이 승강 동작의 하단에 위치하고 있는 상태를 점선으로 나타내고 있다.2 (b) and 2 (c) show the lifting operation range of the arm 2. In the figure, the state in which the arm 2 is located at the upper end of the lifting operation is shown by a solid line, and the state in which the arm 2 is located at the lower end of the lifting operation is shown by a dotted line.

도 2(a)에 나타내듯이, 상하 이동 기구(11)는 칼럼(12)에 대해서 핸드부(8)의 펼친 방향과 같은 방향으로 배치되고, 지지 부재(101, 102)는 상하 이동 기구(11)로부터 핸드부(8)의 이동 방향에 대해서 직교하는 방향으로 돌출하고, 그 선단부에 암(2)의 견관절부(3)가 연결되어 있다. 이러한 배치에 의해 암(2)의 신축 동작시에 칼럼(12)이 방해가 되는 일이 없다.As shown in FIG. 2A, the vertical movement mechanism 11 is disposed in the same direction as the extended direction of the hand portion 8 with respect to the column 12, and the support members 101 and 102 are vertical movement mechanisms 11. ) Projects in the direction orthogonal to the moving direction of the hand part 8, and the shoulder joint 3 of the arm 2 is connected to the distal end thereof. By this arrangement, the column 12 is not disturbed during the stretching operation of the arm 2.

도 2(a)로부터 알 수 있듯이, 2조의 암(2)의 견관절부(3)의 회전 중심축은 동일선 상은 아니고, 하암(22)의 견관절부(3)가 상암(21)의 견관절부(3)에 대해서 핸드부(8)의 펼친 방향으로 오프셋(offset)하여 배치되어 있다.As can be seen from FIG. 2 (a), the central axis of rotation of the shoulder joint 3 of the two sets of arms 2 is not collinear, and the shoulder joint 3 of the lower arm 22 is the shoulder joint 3 of the upper arm 21. ) Is offset in the open direction of the hand 8.

또, 하암(22)에 연결하는 지지 부재(102)도 지지 부재(101)에 대해서 핸드부(8)의 펼친 방향으로 오프셋하고 있기 때문에, 상하 이동 기구(11)에 의해 지지 부재(102)가 상방으로 이동했을 때에 대좌(13)에 간섭하는 일이 없어 승강 동작 범위를 크게 잡을 수가 있다. 또, 상하 이동 기구(11)는 실드(shield) 기능을 가지는 보호 커버(도시하지 않음)로 덮이고, 칼럼(12) 내부에서 발생한 파티클이 외부로 비산하는 것을 억제하고 있다.Moreover, since the support member 102 connected to the lower arm 22 is also offset in the extended direction of the hand part 8 with respect to the support member 101, the support member 102 is moved by the vertical movement mechanism 11. When moving upward, it does not interfere with the pedestal 13, and a lifting operation range can be made large. Moreover, the vertical movement mechanism 11 is covered with the protective cover (not shown) which has a shield function, and suppresses the particle which generate | occur | produced in the column 12 scattering to the outside.

본 발명의 더블암형 로봇에서는, 지지 부재(101) 및 지지 부재(102)가 칼럼(12)을 따라 개별적으로 상하 이동함으로써 스토커의 피치에 맞추어 2개의 암의 상하 간격을 조정할 수 있고, 각각의 암으로 피작업물의 반입, 반출을 동시에 행하여 반송 효율을 향상시킬 수가 있다.In the double arm robot of the present invention, the support member 101 and the support member 102 move up and down separately along the column 12 to adjust the vertical gap between the two arms in accordance with the pitch of the stocker. Therefore, carrying in and out of a workpiece can be carried out simultaneously, and conveyance efficiency can be improved.

예를 들면 도 3과 같이, 우선 설치면으로부터 1000[mm]의 높이에서, 각각의 암에 의해 도시하지 않는 스토커A로부터 피작업물의 반출을 동시에 행하고, 계속하여 대좌(13)를 선회시켜 칼럼(12)의 방향을 바꾸면서 지지 부재(101) 및 지지 부재(102)를 상승시키고, 설치면으로부터 3000[mm]의 높이에서 도시하지 않는 스토커B(스토커A와 선반의 피치가 다르다)에 대해서 각각의 암이 동시에 피작업물을 반입한다는 작업을 행할 수 있다.For example, as shown in Fig. 3, at the height of 1000 [mm] from the mounting surface, the workpieces are simultaneously taken out of the stocker A, not shown by the respective arms, and then the pedestal 13 is pivoted to continue the column ( The support member 101 and the support member 102 are raised while changing the direction of 12), and for each stocker B (the pitcher A and the shelf pitch are different) which are not shown at a height of 3000 [mm] from the installation surface, The operation of bringing in the workpiece can be performed at the same time.

여기서 스토커B의 선반의 피치가 스토커A의 선반의 피치보다 크고, 스토커B에 맞추기 위해서 지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 간격을 스토커A의 경우로부터 50[mm] 크게 할 필요가 있다고 하면, 지지 부재(101)의 상하 방향의 이동 거리는 2050[mm], 지지 부재(102)의 이동 거리는 2000[mm]로 된다. 이 경우, 지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 이동 거리의 비는 2050：2000 = 1.025：1 이므로, 지지 부재(102)의 이동 속도에 대해서 지지 부재(101)의 이동 속도를 2.5[%] 빠르게 설정하고, 2개의 지지 부재를 동시에 이동을 개시시키고 동시에 정지시키면 스토커B의 선반의 피치에 맞출 수가 있다.Here, the pitch of the shelf of the stocker B is larger than the pitch of the shelf of the stocker A, and in order to fit the stocker B, it is necessary to increase the distance between the supporting member 101 and the supporting member 102 by 50 [mm] from the case of the stocker A. On the lower surface, the moving distance of the support member 101 in the vertical direction is 2050 [mm], and the moving distance of the support member 102 is 2000 [mm]. In this case, since the ratio of the movement distance of the support member 101 and the support member 102 is 2050: 2000 = 1.025: 1, the movement speed of the support member 101 is set to 2.5 [with respect to the movement speed of the support member 102. %] If it is set quickly and two support members are started simultaneously and stopped simultaneously, the pitch of the shelf of stocker B can be matched.

즉, 지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 상하 이동량이 다른 경우에도, 그 차에 맞추어 양자의 이동 속도를 적절하게 조정하고, 동시에 이동 개시, 동시에 정지시킴으로써 단시간에 소망한 위치로 이동시킬 수가 있다.That is, even when the vertical movement amount of the support member 101 and the support member 102 is different, it can be moved to a desired position in a short time by adjusting the movement speed of both suitably according to the difference, and simultaneously starting and stopping movement simultaneously. There is a number.

또, 스토커A와 스토커B의 선반의 피치가 동일한 경우에는 지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 이동 속도를 동일하게 하고, 2개의 지지 부재를 동시에 이동을 개시시키고 동시에 정지시키면 좋다.When the pitches of the shelves of the stockers A and the stockers B are the same, the moving speeds of the supporting member 101 and the supporting member 102 are the same, and the two supporting members may be started at the same time and stopped at the same time.

한편, 지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 간격이 일정 범위 외로 되지 않도록 구성되어 있다. 이것에 의해 상술한 바와 같이 지지 부재(101, 102)의 이동 제어를 간략화하면서 그 간격을 여러가지 선반의 피치에 대응시킬 수가 있고, 또한 후술하는 케이블 배선을 적용하여 칼럼을 싱글(single) 암형 로봇 혹은 2개의 암이 일체로 되어 상하 이동하는 더블암형 로봇의 경우와 마찬가지로 컴팩트하게 할 수가 있다.On the other hand, it is comprised so that the space | interval of the support member 101 and the support member 102 may not become out of a fixed range. As a result, as described above, the movement control of the support members 101 and 102 can be simplified, and the gap can be matched to the pitches of various shelves, and the cable wiring described later can be applied to a single female robot or a column. As in the case of a double-armed robot in which two arms are integrated and move up and down, it can be made compact.

이하에서는 지지 부재(101, 102)의 간격을 일정 범위 내로 제한하는 기구에 대해서 설명한다.Below, the mechanism which limits the space | interval of the support members 101 and 102 to a predetermined range is demonstrated.

도 4는 도 2(b)와 같은 방향으로부터 보는 경우의 지지 부재(101, 102) 및 상하 이동 기구(11)의 일부의 단면을 모식적으로 나타낸 도이다. 상하 이동 기구(11)의 일부는 칼럼(12)의 내부에 저장되어 있다.FIG. 4: is a figure which shows typically the cross section of a part of the support members 101 and 102 and the vertical movement mechanism 11 when it sees from the same direction as FIG.2 (b). A part of the vertical movement mechanism 11 is stored inside the column 12.

상술한 바와 같이 2개의 지지 부재(101, 102)는, 칼럼(12)을 따라 개별적으로 상하 이동하지만, 스토퍼 기구(31, 32)에 의해 그 간격이 일정 이상이 되지 않도록 구성되어 있다. 스토퍼 기구(31)는 L자형을 하고 있어 지지 부재(101)와 일체로 되어 칼럼(12) 내를 상하 이동하고, 스토퍼 기구(32)는 T자형을 하고 있어 지지 부재(102)와 일체로 되어 칼럼(12) 내를 상하 이동한다.As mentioned above, although the two support members 101 and 102 move up and down separately along the column 12, the stopper mechanisms 31 and 32 are comprised so that the space | interval may not become more than a fixed level. The stopper mechanism 31 has an L shape and is integrated with the support member 101 to move up and down in the column 12. The stopper mechanism 32 has a T shape and is integrated with the support member 102. The column 12 is moved up and down.

지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 간격이 작을 때는, 도 4(a)와 같은 상태이지만, 지지 부재(101, 102)의 어느 쪽이든, 혹은 양쪽이 상하 이동하여 그 간격이 커지면 도 4(b)와 같이 T자형의 스토퍼 기구(32)가 L자형의 스토퍼 기구(31)에 걸리는 형태로 된다. 이 기구에 의해 지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 간격이 소정의 크기를 넘는 일이 없다. 또, 지지 부재(101, 102)를 상하 이동시키는 구동 기구에 일정 이상의 부하가 걸리면, 이것을 검지한 로봇 콘트롤러(robot controller)(도시하지 않음)가 구동 기구의 동작을 정지하도록 되어 있어 구동 기구에 과부하가 걸리는 일은 없다.When the distance between the support member 101 and the support member 102 is small, it is the same state as FIG.4 (a), but when either or both of the support members 101 and 102 move up and down, and the space becomes large, FIG. As shown in (b), the T-shaped stopper mechanism 32 is caught by the L-shaped stopper mechanism 31. By this mechanism, the space | interval of the support member 101 and the support member 102 does not exceed predetermined size. Moreover, when a load or more is applied to the drive mechanism which moves the support members 101 and 102 up and down, the robot controller (not shown) which detected this is made to stop the operation of a drive mechanism, and overloads a drive mechanism. It does not take a while.

또한, 상하 이동 기구(11)의 고장 등에 의해 지지 부재(102)가 중력에 의해 칼럼(12)을 따라 낙하하는 경우에도, 이 기구에 의해 지지 부재(102)는 지지 부재(101)에 매달린 상태로 멈추기 때문에 지지 부재(102)가 하암(22)마다 대좌(13)까지 낙하하는 것을 방지할 수 있다.In addition, even when the support member 102 falls along the column 12 by gravity due to failure of the vertical movement mechanism 11 or the like, the support member 102 is suspended from the support member 101 by this mechanism. Since the support member 102 stops, the support member 102 can be prevented from falling to the pedestal 13 for each lower arm 22.

스토퍼 기구(31, 32)는 칼럼(12) 내부에 수납되어 있기 때문에, 스토퍼의 접촉시에 발생한 파티클이 직접 피작업물에 대해서 비산하는 일이 없고, 피작업물에의 악영향을 억제할 수가 있다. 또, 스토퍼 기구(31, 32)의 접촉부에 탄성체를 이용함으로써 스토퍼 기구(31, 32)의 접촉시에 지지 부재에 가해지는 충격을 완화할 수 있고, 핸드부(8)에 재치된 피작업물의 위치 어긋남 등을 억제할 수가 있다.Since the stopper mechanisms 31 and 32 are housed inside the column 12, particles generated at the time of contact of the stopper do not scatter directly on the workpiece, and adverse effects on the workpiece can be suppressed. . In addition, by using an elastic body at the contact portion of the stopper mechanisms 31 and 32, the impact applied to the support member during the contact of the stopper mechanisms 31 and 32 can be alleviated, and the workpiece placed on the hand portion 8 can be reduced. Position shift and the like can be suppressed.

계속하여, 지지 부재(101, 102)의 간격이 작아지는 경우에 기능하는 스토퍼 기구에 대해서 설명한다. 도 5는 도 4와 마찬가지로 도 2(b)와 같은 방향으로부터 보는 경우의 지지 부재(101, 102) 및 상하 이동 기구(11)의 일부의 단면을 모식적으로 나타낸 도이다. 본 실시예에 있어서는, 도 4의 스토퍼 기구(33, 34)는 도 3에 나타낸 스토퍼 기구(31, 32)보다 앞에 배치되어 있다.Next, the stopper mechanism which functions when the space | interval of the support members 101 and 102 becomes small is demonstrated. FIG. 5: is a figure which shows typically the cross section of a part of the support members 101 and 102 and the vertical movement mechanism 11 when it sees from the same direction as FIG.2 (b) similarly to FIG. In the present embodiment, the stopper mechanisms 33 and 34 in FIG. 4 are disposed in front of the stopper mechanisms 31 and 32 shown in FIG. 3.

지지 부재(101, 102)의 어느 쪽이든, 혹은 양쪽이 상하 이동하여 그 간격이 작아지면, 도 5(a)의 상태로부터 도 5(b)와 마찬가지의 상태로 되어 스토퍼 기 구(33)과 스토퍼 기구(34)의 선단부 끼리가 접촉한다. 이것에 의해 지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 간격이 그 이상 작아지는 일이 없다. 또, 도 4의 경우와 마찬가지로, 지지 부재(101, 102)를 상하 이동시키는 구동 기구에 일정 이상의 부하가 걸리면 이것을 검지한 로봇 콘트롤러(도시하지 않음)가 구동 기구의 동작을 정지하도록 되어 있어 구동 기구에 과부하가 걸리는 일은 없다.When either or both of the support members 101 and 102 move up and down, and the interval becomes small, the state becomes the same as that of FIG. 5 (b) from the state of FIG. 5 (a), and the stopper mechanism 33 and the stopper The leading ends of the mechanism 34 contact each other. Thereby, the space | interval of the support member 101 and the support member 102 does not become small anymore. In addition, similarly to the case of FIG. 4, when a load or more is applied to the drive mechanism for moving the support members 101 and 102 up and down, a robot controller (not shown) that detects this stops the operation of the drive mechanism. There is no overloading.

스토퍼 기구(33, 34)도 칼럼(12) 내부에 수납되어 있기 때문에, 스토퍼의 접촉시에 발생한 파티클이 직접 피작업물에 대해서 비산하는 일이 없고 피작업물에의 악영향을 억제할 수가 있다. 또, 스토퍼 기구(33, 34)의 접촉부에 탄성체를 이용함으로써 스토퍼 기구(33, 34)의 접촉시에 지지 부재에 가해지는 충격을 완화할 수 있고, 핸드부(8)에 재치된 피작업물의 위치 어긋남 등을 억제할 수가 있다.Since the stopper mechanisms 33 and 34 are also housed inside the column 12, the particles generated at the contact of the stopper do not scatter directly on the workpiece, and adverse effects on the workpiece can be suppressed. In addition, by using an elastic body at the contact portion of the stopper mechanisms 33 and 34, the impact applied to the support member during the contact of the stopper mechanisms 33 and 34 can be alleviated, and the workpiece placed on the hand portion 8 can be reduced. Position shift and the like can be suppressed.

이상의 설명에서는, 지지 부재(101, 102)의 간격을 일정 범위 내로 제한하는 기구로서 단순한 메카니즘(mechanism)적 기구를 이용했지만 이것은 일례에 지나지 않고 다른 수법을 이용하는 것도 가능하다. 예를 들면 도 4, 도 5의 각각의 스토퍼 기구의 한쪽 또는 양쪽에 스위치를 설치하고, 한쪽의 스토퍼 기구가 접촉했을 때에 그 스위치를 누르도록 구성하여도 좋다. 스위치의 온/오프(ON/OFF)를 로봇 콘트롤러(도시하지 않음)로 검지하고, 지지 부재(101, 102)를 상하 이동시키는 구동 기구를 정지하도록 하면 지지 부재(101, 102)의 간격을 일정 범위 내로 제한할 수가 있다.In the above description, a simple mechanism mechanism is used as the mechanism for limiting the interval between the support members 101 and 102 within a certain range, but this is only an example and other techniques may be used. For example, you may provide a switch in one or both of each stopper mechanism of FIG. 4, FIG. 5, and may comprise so that a switch may be pressed when one stopper mechanism contacts. When the ON / OFF of the switch is detected by a robot controller (not shown), and the drive mechanism for moving the support members 101 and 102 up and down is stopped, the interval between the support members 101 and 102 is fixed. You can limit it within range.

또, 지지 부재(101, 102)의 한쪽 또는 양쪽에 다른 쪽의 지지 부재를 향하여 거리 센서를 설치하고, 같은 로봇 콘트롤러로 지지 부재(101, 102)의 간격을 검지 하고, 필요에 따라서 지지 부재(101, 102)를 상하로 진동시키는 구동 기구를 정지하도록 해도 좋다.　거리 센서를 이용하는 경우에는 지지 부재(101, 102)의 접촉을 회피할 수 있으므로, 파티클이나 피작업물의 위치 어긋남의 발생을 억제하는데 효과적이다. 또는 이들의 수법을 병용하여도 좋다.Further, a distance sensor is provided on one or both of the support members 101 and 102 toward the other support member, the same robot controller detects the distance between the support members 101 and 102, and the support member (if necessary). You may stop the drive mechanism which vibrates 101 and 102 up and down. In the case of using the distance sensor, the contact between the support members 101 and 102 can be avoided, which is effective in suppressing the occurrence of the positional shift of the particles or the workpiece. Or you may use these methods together.

또한, 이러한 구성을 이용함으로써 특허 문헌 2와 같이 지지 부재의 측부를 크게 돌출시킬 필요가 없기 때문에 지지 부재의 질량을 억제할 수가 있고, 이에 따른 지지 부재의 구동 기구를 컴팩트화 할 수가 있다.Moreover, by using such a structure, it is not necessary to protrude the side part of a support member like patent document 2, and the mass of a support member can be suppressed, and the drive mechanism of a support member can be made compact by this.

또, 지지 부재(101)와 지지 부재(102)를 연결하는 외부 케이블(17)의 길이는 지지 부재 사이의 소정의 최대 간격에 근거하여 결정된다. 구체적으로는, 지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 간격이 최대로 되어도 장력이 걸리지 않도록 하는 충분한 길이로, 또한 지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 간격이 최소로 되었을 때, 여유분의 길이가 크게 남지 않도록 하는 길이로 한다. 또한, 지지 부재(101)와 지지 부재(102)의 간격의 변화에 스무스(smooth)하게 대응할 수 있도록 거의 U자를 그리도록 배설되어 있다. 외부 케이블(17)에 대해서는 후술한다.In addition, the length of the external cable 17 connecting the support member 101 and the support member 102 is determined based on a predetermined maximum distance between the support members. Specifically, when the gap between the support member 101 and the support member 102 is at a sufficient length so as not to be tensioned even when the distance between the support member 101 and the support member 102 is maximized, and the distance between the support member 101 and the support member 102 is minimized, The length should be such that the length of the margin does not remain large. Moreover, it arrange | positions so that it may draw substantially U shape so that the change of the space | interval of the support member 101 and the support member 102 may respond smoothly. The external cable 17 is mentioned later.

계속하여, 본 발명의 더블암형 로봇의 내부의 케이블 배선에 대해서 설명한다.Subsequently, the cable wiring inside the double arm robot of the present invention will be described.

도 6은 더블암형 로봇(1)의 내부의 케이블 배선의 모습을 나타낸 3면도이다.6 is a three-side view showing the state of cable wiring inside the double-armed robot 1.

도 6(a)는 도 2(a)와 마찬가지의 상면도로 암(2) 내의 케이블 배선의 모습을 나타내고 있다. 도 6(a)에서는 대좌부(13) 내의 케이블 배선은 생략하여 그리고 있다.FIG. 6 (a) shows a state of the cable wiring in the arm 2 in the same top view as in FIG. 2 (a). In FIG. 6A, the cable wiring in the pedestal portion 13 is omitted.

도 6(b)는 도 2(b)와 마찬가지의 측면도로 지지 부재(101, 102) 내와 칼럼(12) 내의 케이블 배선의 모습을 나타내고 있다.FIG. 6 (b) shows the state of cable wiring in the support members 101 and 102 and the column 12 in the side view similar to FIG. 2 (b).

도 6(c)는 도 2(c)와 마찬가지의 정면도로 암(2) 내와 칼럼(12) 내의 일부, 그리고 대좌부(13) 내의 케이블 배선의 모습을 나타내고 있다. 또, 도 5에서는 핸드부(8)를 생략하여 그리고 있다.FIG. 6 (c) is a front view similar to FIG. 2 (c) which shows the state of the cable wiring in the arm 2, in the column 12, and in the pedestal part 13. In addition, the hand part 8 is abbreviate | omitted in FIG.

지지 부재(101) 내에는 상암(21)을 신축 동작시키는 구동 기구나 핸드부(8) 상에 재치된 피작업물의 위치를 검출하는 센서용의 케이블이 수납되어 있다. 마찬가지로 지지 부재부(102) 내에는 하암(22)을 신축 동작시키는 구동 기구나 핸드부(8) 상에 재치된 피작업물의 위치를 검출하는 센서용의 내부 케이블(18)을 수납할 수 있다. 그리고, 지지 부재(101) 내의 케이블은 정리하여 외부 케이블(17)로서 일단 지지 부재(101)의 외부에 노출하도록 배설된 후에 지지 부재(102)에 수납되고, 지지 부재(102) 내를 경유하여 하암(22)의 내부 케이블과 정리하여 칼럼(12)에 수납된다.In the support member 101, a cable for a sensor for detecting the position of the workpiece placed on the drive mechanism and the hand portion 8 for stretching and operating the upper arm 21 is housed. Similarly, the support member 102 can accommodate a drive mechanism for stretching and lowering the lower arm 22 and an internal cable 18 for a sensor for detecting the position of the workpiece placed on the hand portion 8. Then, the cables in the support member 101 are collectively arranged to be exposed to the outside of the support member 101 once as an external cable 17, and then stored in the support member 102, via the inside of the support member 102. The inner cable of the lower arm 22 is stored together with the column 12.

또, 도 6에 나타낸 것처럼, 외부 케이블(17)은 지지 부재(101, 102)와 암(2)의 연결부의 내측에 노출하도록 배치되어 있다. 이와 같이 외부 케이블을 핸드부(8)로부터 멀리 배치함으로써, 지지 부재(101, 102)의 간격이 변화했을 때에 외부 케이블(17)로부터 발생하는 파티클에 의한 피작업물에의 악영향을 아주 배제할 수가 있다.6, the external cable 17 is arrange | positioned so that it may expose inside the connection part of the support members 101 and 102 and the arm 2. As shown in FIG. By arranging the external cable away from the hand portion 8 in this manner, it is possible to completely eliminate adverse effects on the workpiece due to particles generated from the external cable 17 when the distance between the support members 101 and 102 changes. have.

도 6(b)에 나타내듯이, 칼럼(12) 내의 내부 케이블(18)은 브래킷(19)에 의해 칼럼(12)의 중앙부에 계류되고 S자를 옆으로 쓰러트린것 같은 형태로 배설된다. 중 앙부에 내부 케이블(18)을 계류함으로써 지지 부재(101, 102)의 상하 이동시에 내부 케이블(18)에 장력이 걸리지 않는다. 또한, 단순한 구성에 의해 내부 케이블(18)을 지지 부재(101, 102)의 상하 이동에 추종시키게 되고, 칼럼을 컴팩트하게 할 수가 있다.As shown in Fig. 6 (b), the inner cable 18 in the column 12 is moored to the center of the column 12 by the bracket 19 and is disposed in the form of knocking down the letter S sideways. By mooring the inner cable 18 in the center, tension is not applied to the inner cable 18 when the supporting members 101 and 102 move up and down. Moreover, the simple structure allows the inner cable 18 to follow the up-and-down movement of the support members 101 and 102, and can make a column compact.

내부 케이블(18)은 칼럼(12)의 하단으로부터 대좌(13)의 내부를 경유한 후, 더블암형 로봇(1)의 외부로 나온다. 외부로 나온 케이블은 도시하지 않는 로봇 콘트롤러에 접속된다.The inner cable 18 passes through the inside of the pedestal 13 from the lower end of the column 12 and then comes out of the double arm robot 1. The external cable is connected to a robot controller (not shown).

만일 지지 부재(101, 102)로부터 칼럼(12) 내에 개별적으로 케이블이 배설되어 있다고 하면, 각각의 지지 부재의 상하 이동에 대응하여 각각의 케이블을 칼럼(12) 내에 적절하게 처리하기 위한 설비나 공간이 필요하게 된다. 즉 칼럼(12)이 대형화하고, 질량이 증가함으로써 설치 면적이 커지거나, 대좌(13)를 선회시키기 위해서 대형의 구동 장치가 필요하게 되거나 한다.If cables are separately disposed in the column 12 from the support members 101 and 102, a facility or space for appropriately treating each cable in the column 12 in response to vertical movement of each support member. This is necessary. In other words, as the column 12 is enlarged and the mass is increased, the installation area is increased, or a large drive device is required to pivot the pedestal 13.

이것에 대해, 지지 부재(101) 내의 케이블을 지지 부재(102)에 수납하고, 지지 부재(102)로부터 칼럼(12) 내에 수납하는 구성으로 함으로써, 칼럼(12) 내의 케이블을 하나로 정리하여 칼럼(12)을 컴팩트 또는 경량으로 할 수 있고, 더블암형 로봇의 설치 면적을 작게 한다는 효과를 가져온다.On the other hand, when the cable in the support member 101 is accommodated in the support member 102 and accommodated in the column 12 from the support member 102, the cable in the column 12 is put together in one column ( 12) can be made compact or light, and the effect of reducing the installation area of the double arm robot is obtained.

상기 실시예에서는, 유리 기판이나 반도체 웨이퍼라고 하는 얇은 판 형상의 피작업물의 반송 용도를 예로 들어 기재했지만, 본원 발명의 기구는 그 외의 반송 용도에도 널리 이용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.In the said Example, although the conveyance use of the thin plate-shaped workpiece | work such as a glass substrate and a semiconductor wafer was described as an example, it cannot be overemphasized that the mechanism of this invention can be widely used also for other conveyance uses.

Claims (10)

반송물을 재치하는 핸드부와, 상기 핸드부에 연결되고, 적어도 2개의 회전 관절을 가지고, 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축 동작하는 다관절 암을 상하에 2개 배치하고,A hand part for placing a conveyed article and two articulated arms connected to the hand part and having at least two rotational joints and extending and contracting to move the hand part in one direction; 상기 2개의 다관절 암을 각각 지지하는 2개의 지지 부재와,Two support members each supporting the two articulated arms; 상기 2개의 지지 부재가 장착되는 칼럼과,A column on which the two support members are mounted; 상기 2개의 지지 부재를 상기 칼럼을 따라 각각 상하 방향으로 이동 가능하게 상기 칼럼에 연결하는 이동 기구를 구비한 더블암형 로봇에 있어서,In the double-armed robot having a moving mechanism for connecting the two support members to the column so as to be movable in the vertical direction along the column, 상기 2개의 지지 부재의 한쪽 혹은 양쪽이 상하 이동함으로써 상기 2개의 지지 부재의 상하 방향의 간격이 넓어지고, 그 간격이 제1의 소정값에 이르면 상기 지지 부재의 상하 동작을 정지하는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.By moving one or both of the two support members up and down, the interval between the two support members in the vertical direction is widened, and when the gap reaches the first predetermined value, the vertical motion of the support member is stopped. Double arm robot. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 2개의 지지 부재의 한쪽 혹은 양쪽이 상하 이동함으로써 상기 2개의 지지 부재의 상하 방향의 간격이 좁아지고, 그 간격이 제2의 소정값에 이르면 상기 지지 부재의 상하 동작을 정지하는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.By moving one or both of the two support members up and down, the interval between the two support members in the vertical direction is narrowed, and when the distance reaches the second predetermined value, the vertical motion of the support member is stopped. Double arm robot. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 2개의 지지 부재는, 상기 칼럼 내에 각각 다른 한쪽의 지지 부재를 향 하여 설치된 돌기부를 가지고, 상기 돌기부는 리미트 스위치를 구비하고, 상기 리미트 스위치는 상기 2개의 지지 부재의 상하 방향의 간격이 상기 제1의 소정값 또는 상기 제2의 소정값으로 되었을 때에 다른 한쪽의 상기 지지 부재의 돌기부에 의해 작동하는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.The two supporting members each have protrusions provided in the column toward the other supporting member, and the protrusions have limit switches, and the limit switches have a vertical gap between the two supporting members. The double-armed robot which operates by the projection part of the said other supporting member when it becomes a predetermined value of 1 or the said 2nd predetermined value. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 2개의 지지 부재의 한쪽 혹은 양쪽은, 각각 다른 한쪽의 상기 지지 부재를 향하여 설치된 거리 센서를 구비하고, 상기 거리 센서는 상기 2개의 지지 부재의 상하 방향의 간격을 계측하는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.One or both of the two supporting members each have a distance sensor provided toward the other supporting member, and the distance sensor measures an interval in the vertical direction of the two supporting members. robot. 반송물을 재치하는 핸드부와, 상기 핸드부에 연결되고, 적어도 2개의 회전 관절을 가지고, 상기 핸드부를 한 방향으로 이동하도록 신축 동작하는 다관절 암을 상하에 2개 배치하고,A hand part for placing a conveyed article and two articulated arms connected to the hand part and having at least two rotational joints and extending and contracting to move the hand part in one direction; 상기 2개의 다관절 암을 각각 지지하는 2개의 지지 부재와,Two support members each supporting the two articulated arms; 상기 2개의 지지 부재가 장착되는 칼럼과,A column on which the two support members are mounted; 상기 2개의 지지 부재를 상기 칼럼을 따라 각각 상하 방향으로 이동 가능하게 상기 칼럼에 연결하는 이동 기구를 구비한 더블암형 로봇에 있어서,In the double-armed robot having a moving mechanism for connecting the two support members to the column so as to be movable in the vertical direction along the column, 상기 2개의 다관절 암 중 상방에 배치되는 제1의 다관절 암의 내부에 배설된 케이블은, 상기 2개의 지지 부재 중, 상기 제1의 다관절 암을 지지하는 제1의 지지 부재의 내부를 경유하여 상기 제1의 지지 부재의 외부에 배설된 후에 제2의 상기 지지 부재 내에 수납되고, The cable disposed inside the first articulated arm disposed above the two articulated arms includes an interior of a first support member which supports the first articulated arm among the two support members. Stored in the second support member after being disposed outside the first support member via 제2의 상기 다관절 암의 내부에 배설된 케이블은, 상기 제1의 지지 부재로부터 수납된 케이블과 아울러 상기 제2의 지지 부재의 내부를 경유하여 상기 칼럼의 내부에 수납되고, 상기 칼럼 내부의 케이블은 상기 칼럼 하단에 배설된 후에 상기 더블암형 로봇의 외부에 배설되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.The cable disposed inside the second articulated arm is housed in the column via the inside of the second support member as well as the cable received from the first support member, The cable is excreted at the bottom of the column, the double-arm type robot, characterized in that the external distribution of the double-armed robot. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제1의 지지 부재와 상기 제2의 지지 부재의 사이에 배설되는 케이블은, 상기 2개의 지지 부재의 한쪽 혹은 양쪽이 상하 이동함으로써 변화하는 상기 2개의 지지 부재의 상하 방향의 간격에 대해서 미리 설정된 상한값보다 길고, 상기 제1의 지지 부재의 외부로 나온 후, 거의 U자형을 이루어 상기 제2의 지지 부재에 수납되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.The cable disposed between the first support member and the second support member is set in advance with respect to the vertically spaced interval of the two support members which are changed by one or both of the two support members moving up and down. It is longer than an upper limit, and after coming out of the said 1st support member, it becomes substantially U-shaped and is accommodated in the said 2nd support member, The double-arm robot characterized by the above-mentioned. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 2개의 지지 부재는 모두 상기 핸드부의 이동 방향과 직교하는 방향으로 돌출하여 상기 다관절 암을 지지함과 아울러, 상기 칼럼의 상기 핸드부의 이동 방향과 직교하는 면에 장착되고, 상기 제1의 지지 부재와 상기 제2의 지지 부재의 사이에 배설되는 케이블은 상기 2개의 지지 부재의 돌출 방향의 반대측에 설치되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.The two supporting members both protrude in a direction orthogonal to the direction of movement of the hand portion, support the articulated arm, and are mounted on a surface orthogonal to the direction of movement of the hand portion of the column, wherein the first support is supported. The cable disposed between the member and the second support member is installed on the opposite side of the protruding direction of the two support members. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 칼럼 내에 배설된 케이블은, 상기 칼럼의 높이 방향의 거의 중앙부에 설치된 케이블 계류부를 경유하여 상기 칼럼 하단에 배설되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.The cable disposed in the column is disposed at the lower end of the column via a cable mooring portion provided in a substantially central portion in the height direction of the column. 제1항 또는 제5항에 있어서,The method according to claim 1 or 5, 상기 다관절 암은 상기 회전 관절이 수직축 둘레로 회전하는 수평 다관절 암인 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.The articulated arm is a double arm-type robot, characterized in that the horizontal joint articulated arm is rotated around the vertical axis. 제1항 또는 제5항에 있어서,The method according to claim 1 or 5, 상기 2개의 다관절 암은 상하 방향으로 서로 대면하도록 각각 상기 지지 부재로 지지되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.And the two articulated arms are supported by the support members so as to face each other in the vertical direction.
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